JPH1132169A - 光学式読取装置 - Google Patents
光学式読取装置Info
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- JPH1132169A JPH1132169A JP9184823A JP18482397A JPH1132169A JP H1132169 A JPH1132169 A JP H1132169A JP 9184823 A JP9184823 A JP 9184823A JP 18482397 A JP18482397 A JP 18482397A JP H1132169 A JPH1132169 A JP H1132169A
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- Pending
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Abstract
高速な色分解が得られ、小型化に適した光学式読取装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 ランプより、ガラス上の原稿に白色光を
照射し、画像光をミラーで折り返し、結像レンズを透過
させたのちカラーイメージセンサ6に入射し、カラーイ
メージセンサ6では干渉フィルタにより画像光をR,
G,B3原色に色分解し、3原色の透過光を独立したホ
トダイオード上に結像する。カラーイメージセンサ6
は、Si基板7上に形成された3ラインのCCD受光面
及びその直上に配置された誘電体多層膜からなるR,
G,Bの干渉フィルタ9,10,11及びそれらを形成
したガラス基板12及びガラス基板12とSi基板7と
の間に置かれたガラス製スペーサ13及びガラス基板1
2とSi基板7を接着するUV樹脂14及びセラミック
パッケージ15及びカバーガラス16から構成される。
Description
ファックス等に用いられるカラー原稿の光学式読取装置
に関するものである。
の事務所や個人などにおいてもカラー画像の入出力を行
う機会が増え、カラースキャナの用途が広がってきてお
り、従来のドラムスキャナに加え、構成が簡単で低価格
なイメージスキャナが多く用いられてきている。
方式を用いており、その中で主な方式としては、R,
G,B3色の光源切り替えをさせるもの(特公平5−3
28035号公報)、R,G,Bの3ラインのストライ
プ状フィルタを上下駆動させるもの(実公昭59−16
6556号公報等)、プリズムで3分光し、3つのイメ
ージセンサで読み取るもの等である。この中で、R,
G,Bの3ラインのストライプ状フィルタをリニアモー
ターで上下駆動させる方法は、光源やイメージセンサが
一つで良いという利点を備えている。
た光学式読取装置について説明する。図4は、従来のス
トライプ状フィルタを用いた光学式読取装置の構成図で
ある。ランプ1より、ガラス2上の原稿3に白色光を照
射し、画像光をミラー4で折り返し、結像レンズ5によ
ってモノクロのイメージセンサ19に原稿像を結像す
る。結像レンズ5とイメージセンサ19間にはR,G,
Bの各々のカラーフィルタを平行に配置したストライプ
フィルタ20が設置してあり、リニアモーターなどの駆
動装置21により光軸に垂直に上下運動できるようにな
っている。
動装置21の上下動により、R,G,Bフィルタをイメ
ージセンサ19の前面で順次切り替えることにより、画
像光を3原色に色分解してイメージセンサ19上に結像
する線順次と呼ばれる方法で行う。また副走査方向へは
以上の過程を繰り返すことにより、原稿3の読み取りを
行う。
法では、フィルタをリニアモーターなどの駆動装置によ
り機械的に切り替えるため、切り替え速度が遅く、また
変位量の精密な制御が難しいためフィルタの位置ずれに
よる混色が起こりやすい上、駆動機構の設置スペースが
必要となるため小型化しにくいなどの問題点があった。
ので、受光面上にR,G,B3原色の干渉フィルタを配
置したイメージセンサを用いて原稿のカラー読み取りを
行うことにより、フィルタ切り替え時間を不要とし、色
再現性に優れ、小型化に適した光学式読取装置を提供す
ることを目的とする。
は、原稿からの画像光をイメージセンサで3原色に色分
解して読取る光学式読取装置であって、原稿面を照明す
る照明手段と、画像を前記イメージセンサに結像する結
像光学系とを備え、R,G,B3原色の干渉フィルタを
有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラー読み取
りを行う。
不要とし、色再現性に優れ、小型化に適した光学式読取
装置を実現できる。
は、原稿からの画像光をイメージセンサで3原色に色分
解して読取る光学式読取装置であって、原稿面を照明す
る照明手段と、画像を前記イメージセンサに結像する結
像光学系とを備え、R,G,B3原色の干渉フィルタを
有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラー読み取
りを行うようにした。この構成により、波長の選択性お
よび透過特性に優れた誘電体干渉フィルタをイメージセ
ンサの受光面上に密接に配置されたカラーイメージセン
サを実現することにより光学式読取装置の色再現性の向
上および読み取り速度の高速化、装置の小型化を図るも
のである。即ち、原稿光は、イメージセンサに入射し、
透明基板上に形成された、R,G,B各々の波長領域の
みを透過する誘電体多層膜によって色分解され、ホトダ
イオードからなる受光面に入射される。従って、機械的
にフィルタ切り替えを行う必要がなく読み取り時間が短
縮できるとともに、カラーフィルタをイメージセンサの
パッケージに入れることができるため、装置を小型化で
きる。さらに、有機フィルタを用いたカラーイメージセ
ンサに比べ、波長選択性に優れ、原稿光の透過率が高い
ため、色再現性に優れるという特徴がある。
ジセンサが、R,G,B3原色の透過波長特性を持つ誘
電体多層膜を透明基板上に独立に形成した3原色干渉フ
ィルタを受光面の真上にスペーサを介して配置した。こ
の構成により、透明基板上に誘電体多層膜を形成し、イ
メージセンサの受光面上にスペーサを介して接着する構
成を有するため、受光面上に直接誘電体多層膜を形成す
る場合に比べ、成膜時やフィトリソグラフィーによる微
細加工時にSi基板上に形成された素子へのダメージが
発生しない。
ィルタにおいて透明基板と熱膨張係数の等しい基板上に
レジストを塗布し、前記透明基板を加熱接着により張り
合わせたのち、前記透明基板上に物理蒸着法およびリフ
トオフ工程によりR,G,B3原色の誘電体多層膜を独
立に形成後、前記レジストを除去し、前記透明基板を分
離する3原色干渉フィルタとした。この構成により、蒸
着時の熱による基板のそりの影響を軽減し、誘電体多層
膜の膜厚分布が基板のそりにより劣化することを防止で
き、一様な透過特性を得ることができる。
参照しながら説明する。図1に本発明の一実施の形態の
光学式読取装置の構成図を示す。図1において、ランプ
1、ガラス2、原稿3、ミラー4、結像レンズ5および
カラーイメージセンサ6から装置が構成される。
ラス2上の原稿3に白色光を照射し、画像光をミラー4
で折り返し、結像レンズ5を透過させたのちカラーイメ
ージセンサ6に入射する。カラーイメージセンサ6では
干渉フィルタにより画像光をR,G,B3原色に色分解
し、3原色の透過光を独立したホトダイオード上に結像
する。
る。図2は本発明の一実施の形態の光学式読取装置のイ
メージセンサの構成図である。カラーイメージセンサ6
は、図2に示すようにSi基板7上に形成された3ライ
ンのCCD受光面およびその直上に配置されたTi
O2,SiO2,MgF2,CaF2などの誘電体多層膜か
らなるR,G,Bの干渉フィルタ9,10,11および
それらを形成したガラス基板12およびガラス基板12
とSi基板7との間に置かれたガラス製スペーサ13お
よびガラス基板12とSi基板7を接着するUV樹脂1
4およびセラミックパッケージ15およびカバーガラス
16から構成される。
明する。図3は本発明の一実施の形態の光学式読取装置
の干渉フィルタ形成方法の工程図である。図3の(A)
は1mm厚さのホウケイ酸ガラス基板から成るSi基板
17に耐熱性ポジレジストをスピナーで約10μm塗布
し、100μm厚さのホウケイ酸ガラスから成る薄いガ
ラス基板12を乗せ、170°C×30分の加熱を行い
接着したものである。この張り合わせ基板の薄板ガラス
面上にCuをスパッタ法により成膜し、ポジレジストを
用いて、Cu膜に通常のフォトリソグラフィにより80
μm幅、3μm深さの溝を形成する。
からなる誘電体多層膜をTiO2,SiO2の蒸着々酸素
雰囲気中で電子ビーム蒸着する反応性蒸着法により、O
2流量20cc/分、真空度1×10−4Torr、加
熱温度300°Cで全面に形成した後、Cuエッチング
液に浸漬するリフトオフ法により余分な誘電体膜および
Cuを除去し、80μm幅のR膜のラインを形成する。
以下本工程の繰り返しにより図3の(B)に示すように
R,G,B干渉膜のラインを形成する。
ス基板12とSi基板17の間のポジレジスト18を溶
解し、ガラス基板12とSi基板17を分離する。ガラ
ス基板12はSi基板7上に12μm径のガラス製スペ
ーサを介してアライメントされ、UV樹脂14によりS
i基板7上に接着される。さらにパッケージ15にカバ
ーガラス16を接着してイメージセンサを作製する。な
お上記実施の形態は、カラー原稿の光学式読取装置なら
ばカラースキャナに限らず、ファックス、マルチファン
クションプリンタ、カラーコピー機にも適用できる。
れ、フィルタを機械的に駆動する必要がなく、色分解が
高速で行え、小型化に適した光学式読取装置を実現でき
る。また色分解を行う干渉フィルタを形成するにあたっ
てSi上に形成された素子へのダメージを少なくできる
カラーイメージセンサと、薄板ガラス上に誘電体多層膜
を形成できるカラー干渉フィルタを実現することができ
る。
図
ージセンサの構成図
フィルタ形成方法の工程図
取装置の構成図
Claims (3)
- 【請求項1】原稿からの画像光をイメージセンサで3原
色に色分解して読取る光学式読取装置であって、原稿面
を照明する照明手段と、画像を前記イメージセンサに結
像する結像光学系とを備え、R,G,B3原色の干渉フ
ィルタを有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラ
ー読み取りを行うことを特徴とする光学式読取装置。 - 【請求項2】前記イメージセンサが、R,G,B3原色
の透過波長特性を持つ誘電体多層膜を透明基板上に独立
に形成した3原色干渉フィルタを受光面の真上にスペー
サを介して配置した構成を有することを特徴とする請求
項1記載の光学式読取装置。 - 【請求項3】前記干渉フィルタにおいて透明基板と熱膨
張係数の等しい基板上にレジストを塗布し、前記透明基
板を加熱接着により張り合わせた後、前記透明基板上に
物理蒸着法およびリフトオフ工程によりR,G,B3原
色の誘電体多層膜を独立に形成後、前記レジストを除去
し、前記透明基板を分離する3原色干渉フィルタとした
ことを特徴とする請求項2記載の光学式読取装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9184823A JPH1132169A (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 光学式読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9184823A JPH1132169A (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 光学式読取装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1132169A true JPH1132169A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16159926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9184823A Pending JPH1132169A (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 光学式読取装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1132169A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6893941B2 (en) | 2001-03-21 | 2005-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and its manufacture method |
JP2010091567A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Xerox Corp | 分光光度計によって画像支持面上のトナー画像のカラー解析を行うためのシステム及び方法 |
-
1997
- 1997-07-10 JP JP9184823A patent/JPH1132169A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6893941B2 (en) | 2001-03-21 | 2005-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and its manufacture method |
KR100499317B1 (ko) * | 2001-03-21 | 2005-07-04 | 캐논 가부시끼가이샤 | 반도체장치 |
JP2010091567A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Xerox Corp | 分光光度計によって画像支持面上のトナー画像のカラー解析を行うためのシステム及び方法 |
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