JPH11309653A - ウェーハの平面加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェーハを保持するテーブルのスピンドルと、
砥石若しくは研磨布のスピンドルとの傾斜角度調整を手
間をかけることなく正確に行うことができるウェーハの
平面加工装置を提供する。 【解決手段】本発明は、カップ型砥石５６のスピンドル
９４の傾斜角度を調整する機構７８、８０と、傾斜角度
を示す情報を入力するキーボード１２８と、ＣＰＵ１２
０とを有し、キーボード１２８から情報を入力すると、
ＣＰＵ１２０は、前記情報に基づいて傾斜角度を算出
し、そして、算出した傾斜角度になるように傾斜角度調
整機構７８、８０を駆動制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハの平面加工
装置に係り、特に半導体ウェーハの製造工程で半導体ウ
ェーハの裏面を研削加工するウェーハの平面加工装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハの裏面を研削する平面研
削装置は、テーブルとカップ型砥石とを備えており、こ
のテーブルで半導体ウェーハの表面を吸着保持し、そし
て、半導体ウェーハの裏面にカップ型砥石を押し付ける
と共に、テーブル及びカップ型砥石を回転させてウェー
ハの裏面を研削する。

【０００３】このようなウェーハの平面研削装置では、
ウェーハを超精密に研削する方法として、カップ型砥石
のスピンドルをテーブルのスピンドルに対し僅かに傾斜
させた状態で固定して、この状態でウェーハを研削する
ことが知られている。斯かる研削方法によれば、カップ
型砥石とウェーハとの接触面積が小さくなるので研削抵
抗の増大を防止でき、また、切削水による冷却効率が向
上し、更に、研削後のソーマークがウェーハ中心部より
外周部に向け規則正しい一定方向の放射状になるという
効果がある。

【０００４】そこで、従来のウェーハの平面研削装置
は、カップ型砥石のスピンドルを傾斜させるための傾斜
角度調整機構を備えている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
平面研削装置は、傾斜角度調整機構を有するものの、こ
の傾斜角度調整機構は、作業者が手作業で調整するもの
なので、手間がかかると共に微調整が難しいという欠点
がある。本発明は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、スピンドル同士の傾斜角度調整を手間をかけるこ
となく正確に行うことができるウェーハの平面加工装置
を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、ウェーハを保持するテーブルと、該ウェー
ハを加工する砥石若しくは研磨布とを相対的に近づく方
向に移動して押し付けると共に、砥石若しくは研磨布と
テーブルとを回転させてウェーハを加工するウェーハの
平面加工装置において、前記テーブルのスピンドルと前
記砥石若しくは研磨布のスピンドルとを相対的に傾斜さ
せる傾斜角度調整機構と、傾斜角度を示す情報を入力す
る入力手段と、入力手段から入力された前記情報に基づ
いて傾斜角度を算出し、該算出した傾斜角度になるよう
に前記傾斜角度調整機構を制御する制御手段と、を備え
たことを特徴としている。

【０００７】本発明によれば、入力手段から傾斜角度を
示す情報を入力すると、制御手段は、前記情報に基づい
て傾斜角度を算出し、そして、算出した傾斜角度になる
ように傾斜角度調整機構を制御する。このように、本発
明は、傾斜角度調整機構の傾斜角度調整を自動化したの
で、傾斜角度調整を手間をかけることなく正確に行うこ
とができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハの平面加工装置の好ましい実施の形態につい
て詳説する。図１は、本発明が適用された半導体ウェー
ハの平面研削装置の斜視図であり、図２は平面図であ
る。図１に示すように平面研削装置１０の本体１２に
は、カセット収納ステージ１４、アライメントステージ
１６、粗研削ステージ１８、仕上げ研削ステージ２０、
及び洗浄ステージ２２が設けられている。

【０００９】前記カセット収納ステージ１４には、２台
のカセット２４、２４が着脱自在にセットされ、これら
のカセット２４、２４には裏面研削前のウェーハ２６が
多数枚収納されている。このウェーハ２６は、搬送用ロ
ボット２８によって１枚ずつ保持されて、次工程である
アライメントステージ１６に順次搬送される。前記搬送
用ロボット２８は、本体１２に立設されたビーム３０に
昇降装置３２を介して吊り下げ支持される。また、前記
昇降装置３２は、ビーム３０に内蔵された図示しない送
りねじ装置に連結されており、この送りねじ装置で前記
昇降装置３２を送り移動させると、前記搬送用ロボット
２８が、ビーム３０の配設方向に沿って図１、図２上矢
印Ａ、Ｂ方向に往復移動することができる。

【００１０】本実施の形態の如く搬送用ロボット２８を
吊り下げ支持すると、カセット収納ステージ１４とアラ
イメントステージ１６との間隔を狭くすることができる
ので、平面研削装置１０を小型化することができる。即
ち、搬送用ロボット２８を装置本体１２の上面に設置す
ると、ウェーハ２６を搬送する関係上、搬送用ロボット
２８をカセット収納ステージ１４とアライメントステー
ジ１６との間のスペースに設置しなければならない。こ
のため、前記スペースの分だけ平面研削装置１０が無用
に大型化する。これに対して、本実施の形態の平面研削
装置１０は、装置本体１２の上方空間を搬送用ロボット
２８の設置スペース及び動作スペースとして有効利用し
たので、装置の小型化を図ることができる。

【００１１】前記ロボット２８は、汎用の産業用ロボッ
トであり、その構成はウェーハ２６を吸着保持する馬蹄
形のアーム３４、及び３本のリンク３６、３８、４０等
から成っている。前記アーム３４の先端には、ウェーハ
２６を吸着する吸着パッド３５、３５が設けられる。ま
た、アーム３４は、リンク３６にその基端部が軸芯を中
心に回転自在に支持され、図示しないモータからの駆動
力で軸芯を中心に回転することができる。前記リンク３
６は、リンク３８に軸４２を介して回動自在に連結さ
れ、図示しないモータからの駆動力で軸４２を中心に回
転することができる。また、リンク３８は、軸４４を介
してリンク４０に回動自在に連結され、図示しないモー
タからの駆動力で軸４４を中心に回転することができ
る。さらに、リンク４０は、軸４６を介して図示しない
モータの出力軸に連結されているので、モータを駆動す
ることにより軸４６を中心に回転することができる。ま
た、モータは、昇降装置３２の図示しない昇降ロッドに
連結されている。したがって、前記ロボット２８によれ
ば、アーム３４及び３本のリンク３６、３８、４０の動
作を各々のモータで制御すると共に、昇降装置３２の昇
降ロッドの収縮動作を制御することにより、前記カセッ
ト２４に収納されたウェーハ２６を取り出してアライメ
ントステージ１６に搬送することができる。

【００１２】前記アライメントステージ１６は、カセッ
ト２４から搬送されたウェーハ２６を所定の位置に位置
合わせするステージである。このアライメントステージ
１６で位置合わせされたウェーハ２６は、前記搬送用ロ
ボット２８の吸着パッド３５、３５に再度吸着保持され
た後、空のチャックテーブル４８に向けて搬送され、こ
のチャックテーブル４８の所定の位置に吸着保持され
る。

【００１３】前記チャックテーブル４８は、ターンテー
ブル５０に設置され、また、同機能を備えたチャックテ
ーブル５２、５４がターンテーブル５２に所定の間隔を
もって設置されている。前記チャックテーブル５２は、
粗研削ステージ１８に位置されており、吸着したウェー
ハ２６がここで粗研削される。また、前記チャックテー
ブル５４は、仕上げ研削ステージ２０に位置され、吸着
したウェーハ２６がここで仕上げ研削（精研削、スパー
クアウト）される。

【００１４】前記チャックテーブル４８に吸着保持され
たウェーハ２６は、図示しない測定ゲージによってその
厚みが測定される。厚みが測定されたウェーハ２６は、
ターンテーブル５２の図１、図２上矢印Ｃ方向の回動で
粗研削ステージ１８に位置し、粗研削ステージ１８のカ
ップ型砥石５６によって、前記厚さに基づき粗研削され
る。この粗研削ステージ１８については後述する。

【００１５】粗研削ステージ１８で粗研削されたウェー
ハ２６は、ウェーハ２６からカップ型砥石５８が退避移
動した後、図示しない厚み測定ゲージによってその厚み
が測定される。厚みが測定されたウェーハ２６は、ター
ンテーブル５２の同方向の回動で仕上げ研削ステージ２
０に位置し、仕上げ研削ステージ２０の図２に示すカッ
プ型砥石６４によって、前記厚さに基づき精研削、スパ
ークアウトされる。この仕上げ研削ステージ２０の構造
は粗研削ステージ１８の構造と同一なので、以下に粗研
削ステージ１８の構造を説明することで、その説明を省
略する。

【００１６】仕上げ研削ステージ２０で仕上げ研削され
たウェーハ２６は、ウェーハ２６からカップ型砥石６４
が退避移動した後に、ターンテーブル５０の同方向の回
動で図１に示した空のチャックテーブル４８の位置に搬
送される。そして、前記ウェーハ２６は、搬送アーム６
６の先端に設けた、ウェーハと略同径の吸着パッド６８
に吸着された後、搬送アーム６６の図１上矢印Ｄ方向の
回動で洗浄ステージ２２に搬送され、ここで洗浄されて
乾燥される。

【００１７】洗浄ステージ２２で洗浄／乾燥されたウェ
ーハ２６は、前記搬送用ロボット２８によって吸着保持
されてカセット収納ステージ１４に搬送され、所定のカ
セット２４の所定の棚に収納される。以上が、本実施の
形態の平面研削装置１０によるウェーハ処理工程の流れ
である。次に、粗研削ステージ１８について説明する。

【００１８】図３に示すように前記粗研削ステージ１８
は、主としてケーシング７０、フィードテーブル（Ｚ方
向移動部）７２、チルトブロック（Ｙ方向揺動部）７
４、スピンドルケーシング（Ｘ方向揺動部）７６、送り
ねじ装置（Ｙ方向揺動手段）７８、スペーサ駆動装置
（Ｘ方向揺動手段）８０、及びジョイントバー８２等か
ら構成されている。

【００１９】前記ケーシング７０は本体１２に立設さ
れ、その内部に図示しない送りねじ装置が内設されてい
る。前記フィードテーブル７２は、前記ケーシング７０
に対し図示しないＬＭ（直動）ガイドを介して昇降移動
自在に設けられると共に、ケーシング７０に内設された
前記送りねじ装置のねじ棒にそのナット部が螺合されて
いる。したがって、フィードテーブル７２は、前記送り
ねじ装置を駆動することにより、昇降移動することがで
きる。

【００２０】前記フィードテーブル７２には、前記チル
トブロック７４がピン８４を介して揺動自在に支持され
ている。前記ピン８４は、フィードテーブル７２の側面
から水平方向に突設されており、このピン８４の先端部
にチルトブロック７４が支持されている。したがって、
前記チルトブロック７４は、前記ピン８４の周りに、即
ち、Ｙ方向に揺動することができる。

【００２１】前記チルトブロック７４は、送りねじ装置
７８によって揺動される。この送りねじ装置７８は図４
に示すように、モータ８６とねじ棒８８とから構成され
る。前記モータ８６は、フィードテーブル７２の上面に
固定されたコ字状フレーム９０の側面に固定されてお
り、このモータ８６のスピンドルに前記ねじ棒８８が連
結されている。ねじ棒８８は、前記フレーム９０に形成
された貫通孔９１に挿通配置され、その先端部が、チル
トブロック７４の上端に突設された凸部７５に螺合され
ている。したがって、前記モータ８６を駆動してねじ棒
８８を回転させると、ねじ棒８８と前記凸部７５との螺
合作用によって、凸部７５がモータ８６に対して進退移
動する。これにより、チルトブロック７４が、前記ピン
８４を支点としてＹ方向に揺動する。

【００２２】前記チルトブロック７４の側面には図３に
示すように、スピンドルケーシング７６が取付板９２を
介して取り付けられている。前記スピンドルケーシング
７６には、モータ（図示せず）が収納されており、この
モータのスピンドル９４にカップ型砥石５６が取り付け
られている。したがって、前記モータによってカップ型
砥石５６が回転される。

【００２３】ところで、前記スピンドルケーシング７６
は、複数本のボルト９６、９６…によって前記チルトブ
ロック７４に取り付けられている。前記ボルト９６は、
取付板９２に形成された貫通孔９３に遊挿されてチルト
ブロック７４に締結される。また、ボルト９６のヘッド
部９７と取付板９２との間には、皿ばね９８が介在され
ている。この皿ばね９８の付勢力によって、前記スピン
ドルケーシング７６は、前記チルトブロック７４から離
れる方向に付勢されている。

【００２４】また、スピンドルケーシング７６は、ジョ
イントバー８２を介して前記チルトブロック７４に揺動
自在に支持されている。このジョイントバー８２は円柱
状に形成されて、チルトブロック７４の側面にＹ方向に
形成されたＶ字状溝１００と、この溝１００に対向する
前記取付板９２の側面にＹ方向に形成されたＶ字状溝１
０２とに挟まれてＹ方向に配設されている。したがっ
て、前記スピンドルケーシング７６は、チルトブロック
７４に対しジョイントバー８２の周面方向、即ちＸ方向
に揺動することができる。

【００２５】前記スピンドルケーシング７６は、スペー
サ駆動装置８０によって揺動される。このスペーサ駆動
装置８０はモータ１０４、ねじ棒１０６、スペーサ１０
８、及び押動部材１１０から構成される。前記モータ１
０４は、チルトブロック７４の上面に固定されており、
このモータ１０４のスピンドルに前記ねじ棒１０６が連
結されている。ねじ棒１０６は、チルトブロック７４に
形成された貫通孔１１２に挿通配置され、その先端部に
前記スペーサ１０８が螺合されている。このスペーサ１
０８は、断面が略楔形状に形成され、その先細のテーパ
面１０９に前記押動部材１１０が押圧当接されている。
前記押動部材１１０は、ボール又は円柱部材であり、取
付部材９２の側面に形成されたＶ字状溝１１４に配置さ
れている。したがって、前記モータ１０４を駆動してね
じ棒１０６を回転させると、スペーサ１０８が上下移動
するので、押動部材１１０がテーパ面１０９に押され
る。これにより、スピンドルケーシング７６が前記ジョ
イントバー８２の周面をガイド面としてＸ方向に揺動す
る。なお、スピンドルケーシング７６は、チルトブロッ
ク７４にボルト９６で取り付けられているが、ボルト９
６と貫通孔９３との間の隙間によってスピンドルケーシ
ング７６の揺動が許容されている。

【００２６】次に、前記の如く構成された粗研削ステー
ジ１８のスピンドル傾斜角度調整方法について説明す
る。まず、Ｙ方向の傾斜角度を調整する場合には、送り
ねじ装置７８のモータ８６を駆動すると、図４に示した
ようにねじ棒８８と凸部７５との螺合作用によって、凸
部７５がモータ８６に対して進退移動し、チルトブロッ
ク７４がピン８４を支点としてＹ方向に揺動する。これ
により、Ｙ方向の傾斜角度が調整される。

【００２７】次に、Ｘ方向の傾斜角度を調整する場合に
は、図３に示したスペーサ駆動装置８０のモータ１０４
を駆動すると、スペーサ１０８が上下移動することによ
り、スピンドルケーシング７６が押動部材１１０を介し
てスペーサ１０８に押され、そして、ジョイントバー８
２の周面をガイド面としてＸ方向に揺動する。これによ
り、Ｘ方向の傾斜角度が調整され、以上でスピンドル９
４の傾斜角度の調整が終了する。

【００２８】次に、本実施の形態のカップ型砥石による
ウェーハ研削面の真直度について図５〜図９を参照して
解析する。カップ型砥石による研削方法は、ウェーハの
回転中心が、カップ型砥石の研削作業面内に位置するよ
うに配置し、研削面に垂直な方向の切込みを与えて研削
する研削方法であり、研削幅が常に一定なので、高精度
な真直度を得ることができる。しかしながら、図５に示
すように、カップ型砥石の回転軸（スピンドル）とテー
ブルの回転軸とが平行でないと、研削面の真直度にも影
響が出るので、まず、両回転軸の平行度が研削面の断面
形状に及ぼす影響を解析する。

【００２９】両回転軸の平行度を表すのに、ここではカ
ップ型砥石の回転軸を基準に考え、カップ型砥石の回転
軸に対するテーブルの回転軸の傾き量及び傾き方向で、
平行を表現する。即ち、図６に示すように、ウェーハ上
面の回転中心を原点Ｏ、原点Ｏを通りカップ型砥石の回
転軸に平行な軸をｚ軸、ｚ軸と直交し原点Ｏ及びカップ
型砥石の回転軸と交わる軸をｘ軸、ｘ軸及びｚ軸と直交
する軸をｙ軸と定める。このとき、テーブルの回転軸が
ｚ軸となす角θ（以下、傾斜角と呼ぶ）、及び、テーブ
ルの回転軸をｘｙ平面に投影したときに、この投影線が
ｘ軸となす角α（以下、方向角と呼ぶ）とで、平行度を
表す。方向角は、テーブルの回転軸のｚ＞０の部分がカ
ップ型砥石の回転軸の軸芯に向かって傾いた場合、すな
わち、その投影線がｘ軸の正方向と一致する場合を０と
し、これから反時計方向周りを正方向と定義する。な
お、ウェーハとカップ型砥石との位置関係はｘ軸に関し
て対称であるので、以下の解析では０≦α≦πの範囲を
取り扱う。

【００３０】図７、図８はｘｙ平面上でのカップ型砥石
とウェーハの位置関係を示したもので、カップ型砥石の
外周が原点Ｏを通るものとする。テーブルの回転軸がｚ
軸に対してθだけ傾斜することにより、ウェーハの上面
は、テーブルの回転軸のｘｙ平面への投影線に直角で原
点Ｏを通る線分Ｍ−Ｍ´の周りにθだけ回転する。した
がって、原点Ｏから半径ρの位置にあるウェーハ上の点
Ａは、図８に示すように、原点Ｏよりもｈぶんだけ余計
に研削される。このように、テーブルの回転軸とカップ
型砥石の回転軸とが相対的に傾斜することにより、ウェ
ーハ上の各点の切込み深さに違いが生じる。研削面の断
面形状は、ウェーハの各半径ρ上の点におけるｈの値を
求めることで知ることができる。

【００３１】原点Ｏをｈの基準（ｈ＝０）とし、原点Ｏ
よりも余分に切り込む方向をｈの負方向とすれば、θ≪
１であるので、

【００３２】

【数１】

【００３３】である。幾何学的関係から、数１は方向角
との関係で次の数２で表すことができる。

【００３４】０≦α≦π／２のとき

【００３５】

【数２】

【００３６】π／２≦α≦πのとき

【００３７】

【数３】

【００３８】ここで、ｒ：ウェーハの半径、Ｒ：カップ
型砥石の半径 一例として、カップ型砥石直径Ｄ＝２００ｍｍ、ウェー
ハ直径ｄ＝１００ｍｍ、傾斜角θ＝４１．３″（長さ１
００ｍｍ当たり０．０２ｍｍの傾きに相当）の場合につ
いて、数２、数３から、方向角と切削面の断面形状の関
係を示した結果を図９に示す。

【００３９】図９では、研削面の断面形状（表面形状）
を示しているが、本実施の形態の研削方法の原理から明
らかなように、どの方向の断面形状も図９に示した断面
形状と同じである。この結果から、テーブルの回転軸の
傾斜方向によって、また、カップ型砥石のスピンドルの
傾斜方向によって、研削面の断面形状は大別して、谷が
１つの中凹形状、谷が２つの中凹形状、谷のある中凸形
状、谷のない中凸形状の４つの形状に分けることができ
る。したがって、傾斜角θ、方向角αを設定すれば、即
ち、スピンドル９４の傾斜角度を調整すれば、ウェーハ
２６を所望の表面形状に研削することができる。

【００４０】以下、図１０に示すフローチャートと図１
１に示すブロック図とに従って本実施の形態の平面研削
装置１０によるウェーハ２６の研削方法について説明す
る。なお、以下に説明する研削方法は、粗研削ステージ
１８を例にしたものであるが、仕上げ研削ステージ２０
についても同様なので、仕上げ研削ステージ２０の説明
は省略している。

【００４１】まず、平面研削装置１０を駆動して１枚目
のウェーハ２６を研削する（ステップ（Ｓ）２００）。
即ち、平面研削装置１０のＣＰＵ１２０が粗研削ステー
ジ１８のＺ軸送りねじ装置１２２を駆動して、カップ型
砥石５６をウェーハ２６に押し付けると共に、ＣＰＵ１
２０がスピンドルモータ１２４とテーブルモータ１２６
とを駆動してカップ型砥石５６とウェーハ２６とを回転
させることにより、ウェーハ２６を研削する。

【００４２】次に、粗研削ステージ１８で研削されたウ
ェーハ２６を平面研削装置１０から取り出し、このウェ
ーハ２６の表面形状を表面形状測定機によって測定する
（Ｓ２１０）。次いで、前記表面形状測定機によって測
定されたウェーハ２６の表面形状に基づいて、次のウェ
ーハ２６が所望の表面形状となるように、例えば、図９
に示した複数の表面形状の種類から所望する表面形状を
示す情報、数値ｈ（原点よりも余分に研削する量）、及
びスピンドル９４の傾斜角θ若しくは方向角αをキーボ
ード１２８からＣＰＵ１２０に入力する（Ｓ２２０）。
これにより、ＣＰＵ１２０は、前記数２、数３の演算式
により、傾斜角θが入力された場合には方向角αを算出
し、方向角αが入力された場合には傾斜角θを算出する
（Ｓ２３０）。

【００４３】そして、ＣＰＵ１２０は、スピンドル９４
の傾斜角度が前記傾斜角θ及び方向角αとなるように調
整する（Ｓ２４０）。即ち、ＣＰＵ１２０がＹ軸の送り
ねじ装置７８と、Ｘ軸のスペーサ駆動装置８０とを駆動
して、スピンドル９４の傾斜角度を傾斜角θ及び方向角
αに設定する。この傾斜角度調整後、２枚目のウェーハ
２６を粗研削ステージ１８で再度研削する（Ｓ２５
０）。そして、研削後のウェーハ２６の表面形状を、表
面形状測定機によって再度測定する（Ｓ２６０）。そし
て、表面形状測定機によって測定されたウェーハ２６の
表面形状と、所望した表面形状とを比較して（Ｓ２７
０）、両者が一致した場合には、３枚目以降のウェーハ
２６を粗研削ステージ１８で連続研削処理する（Ｓ２８
０）。一方、両者が一致しない場合には、Ｓ２２０に戻
り、先に入力した情報とは別の情報を入力し、Ｓ２３０
〜Ｓ２６０までの工程を再度繰り返す。

【００４４】このように、本実施の形態では、キーボー
ド１２８から傾斜角度を示す情報を入力すると、ＣＰＵ
１２０が傾斜角度を算出し、算出した傾斜角度になるよ
うに傾斜角度調整機構を制御するので、その調整を自動
化することができる。これにより、本実施の形態は、傾
斜角度調整を手間をかけることなく正確に行うことがで
きる。

【００４５】なお、本実施の形態では、カップ型砥石の
スピンドルを傾斜させるようにしたが、これに限られる
ものではなく、テーブルのスピンドルを傾斜させても良
い。また、本実施の形態では、ウェーハの裏面を研削す
る平面研削装置について説明したが、カップ型砥石の代
わりに研磨布を使用してウェーハを加工するＣＭＰ装
置、カップ型砥石の代わりにブレードを使用してウェー
ハをダイス状に切断するダイシング装置に本発明を適用
しても良い。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るウェー
ハの平面加工装置によれば、傾斜角度調整機構の傾斜角
度調整を自動化したので、傾斜角度調整を手間をかける
ことなく正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る半導体ウェーハの平
面研削装置の全体斜視図

【図２】図１に示した平面研削装置の平面図

【図３】研削ステージの傾斜角度調整機構の構造を示す
一部断面を含む側面図

【図４】傾斜角度調整機構のＹ方向揺動部の構造を示す
斜視図

【図５】カップ型砥石によるウェーハ研削面の真直度を
解析するために用いた説明図

【図６】カップ型砥石によるウェーハ研削面の真直度を
解析するために用いた説明図

【図７】カップ型砥石によるウェーハ研削面の真直度を
解析するために用いた説明図

【図８】カップ型砥石によるウェーハ研削面の真直度を
解析するために用いた説明図

【図９】カップ型砥石によるウェーハ研削面の真直度を
解析するために用いた説明図

【図１０】本実施の形態の平面研削装置によるウェーハ
研削方法を示すフローチャート

【図１１】本実施の形態の平面研削装置の制御系を示す
ブロック図

【符号の説明】

１０…平面研削装置 １８…粗研削ステージ ２０…仕上げ研削ステージ ２６…ウェーハ ５６、６４…カップ型砥石 ７２…フィードテーブル ７４…チルトブロック ７６…スピンドルケーシング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハを保持するテーブルと、該ウェー
   ハを加工する砥石若しくは研磨布とを相対的に近づく方
   向に移動して押し付けると共に、砥石若しくは研磨布と
   テーブルとを回転させてウェーハを加工するウェーハの
   平面加工装置において、 前記テーブルのスピンドルと前記砥石若しくは研磨布の
   スピンドルとを相対的に傾斜させる傾斜角度調整機構
   と、 傾斜角度を示す情報を入力する入力手段と、 入力手段から入力された前記情報に基づいて傾斜角度を
   算出し、該算出した傾斜角度になるように前記傾斜角度
   調整機構を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするウェーハの平面加工装置。