JP2000042887A - ウェーハ面取り方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高精度な面取り加工を行うことができるウェー
ハ面取り方法の提供。 【解決手段】外周加工砥石１０８とウェーハＷとを同方
向に高速回転させ、その高速回転する外周加工砥石１０
８に向けて高速回転するウェーハＷをゆっくりとしたス
ピードで送り、ウェーハＷの周縁を小量ずつ研削して面
取りする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ面取り方法
に係り、特に半導体素子の素材となるシリコン、ガラ
ス、セラミック等の脆性材料のウェーハの周縁を面取り
するウェーハ面取り方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の素材となるシリコン等のウ
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
で薄く切り出されたのち、欠けや割れを防止するため
に、その周縁を面取り加工される。このウェーハの面取
り加工は、高速回転（周速度１０００〜３０００［ｍ／
ｍｉｎ］）させた砥石に、ウェーハを相対的に近づけて
所定量切り込み、その後、ウェーハをゆっくりと回転
（周速度０．６〜３［ｍ／ｍｉｎ］）させることによ
り、ウェーハの全周を面取りするようにしている。

【０００３】ところで、上記の方法でウェーハ１枚あた
りの加工時間を短縮してスループットを向上させるため
には、所定量切り込んだ後に回転させるウェーハの周速
度を上げればよい。そして、このウェーハの周速度を上
げる手段としては、砥石の回転速度を上げる方法と、砥
石のメッシュを粗くする方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、砥石は
消耗品であるため交換を要し、この交換した砥石のウェ
イトバランスが悪いと高速回転させた際に振動が発生
し、研削面に不良（深いダメージやコインマーク、チッ
ピング、クラック等）が発生するという欠点がある。こ
のため、砥石の高速化には限界がある。

【０００５】また、メッシュの粗い砥石は外周を削り取
る量が多いため、ダメージが深く入りやすいという欠点
がある。このため、エッチングにより外径を小さくする
方法や、面取り加工を段階的に行って直径を小さくする
方法が採られており、結果的にスループットが低下する
という欠点がある。本発明は、このような事情に鑑みて
なされたもので、高精度な面取り加工を行うことができ
るウェーハ面取り方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、砥石とウェーハとを高速回
転させ、その高速回転する砥石とウェーハとを相対的に
近づけることにより、ウェーハの周縁を砥石で小量ずつ
研削して面取り加工することを特徴とする。本発明によ
れば、砥石とウェーハとを高速回転させることにより、
加工スピードを上げることができ、加工時間の短縮化が
図れる。また、ウェーハの周縁を小量ずつ研削すること
により、研削面にダメージを受けるのを防止することが
でき、研削面の加工精度が向上する。

【０００７】また、請求項２に係る発明は、前記目的を
達成するために、所定間隔Ｄを有する互いに平行な２直
線上に砥石とウェーハとを別々に配置し、前記砥石と前
記ウェーハとを高速回転し、前記直線上を前記ウェーハ
若しくは前記砥石又はその双方を移動させて、前記ウェ
ーハの周縁に前記砥石を接触させて、前記ウェーハの周
縁を前記砥石で小量ずつ研削して面取り加工することを
特徴とする。

【０００８】本発明によれば、砥石とウェーハとを高速
回転させることにより、加工スピードを上げることがで
き、加工時間の短縮化が図れる。また、ウェーハの周縁
を小量ずつ研削することにより、研削面にダメージを受
けるのを防止することができ、研削面の加工精度が向上
する。また、請求項１２に係る発明は、前記目的を達成
するために、回転する砥石と、回転するウェーハとを相
対的に近づけることにより、ウェーハの周縁を砥石で研
削して面取り加工するウェーハ面取り方法において、大
径の砥石で粗面取り加工したのち、小径の砥石で仕上げ
面取り加工することを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、仕上げ面取り加工を小径
の砥石で実施することにより、砥石の振動の発生を抑制
することができ、加工精度の向上を図ることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ面取り方法の好ましい実施の形態について詳
説する。図１、図２は、それぞれ本発明に係るウェーハ
面取り方法が適用されるウェーハ面取り装置の構成を示
す側面図と平面図である。また、図３、図４は、それぞ
れ図１のＡ−Ａ断面図とＢ−Ｂ断面図である。

【００１１】図１及び図２に示すように、ウェーハ面取
り装置１０は、主としてウェーハ送りユニット４２、外
周加工ユニット４４及びノッチ加工ユニット４６から構
成されている。まず、ウェーハ送りユニット４２の構成
について説明する。図１及び図３に示すように、水平に
配設されたベースプレート５０上には、一対のＹ軸ガイ
ドレール５２、５２が所定の間隔をもって敷設されてい
る。この一対のＹ軸ガイドレール５２、５２上にはＹ軸
リニアガイド５４、５４、…を介してＹ軸テーブル５６
がスライド自在に支持されている。

【００１２】Ｙ軸テーブル５６の下面にはナット部材５
８が固着されており、該ナット部材５８は前記一対のＹ
軸ガイドレール５２、５２の間に配設されたＹ軸ボール
ネジ６０に螺合されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、そ
の両端部が前記ベースプレート５０上に配設された軸受
部材６２、６２に回動自在に支持されており、その一方
端には一方の軸受部材６２に設けられたＹ軸モータ６４
の出力軸が連結されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、こ
のＹ軸モータ６４を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｙ軸テーブル５６がＹ軸ガイドレール５２、５
２に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｙ軸テーブル５６がスライドする方向をＹ軸方向とす
る。

【００１３】前記Ｙ軸テーブル５６上には、図２及び図
４に示すように、前記一対のＹ軸ガイドレール５２、５
２と直交するように一対のＸ軸ガイドレール６６、６６
が敷設されている。この一対のＸ軸ガイドレール６６、
６６上にはＸ軸リニアガイド６８、６８、…を介してＸ
軸テーブル７０がスライド自在に支持されている。Ｘ軸
テーブル７０の下面にはナット部材７２が固着されてお
り、該ナット部材７２は前記一対のＸ軸ガイドレール６
６、６６の間に配設されたＸ軸ボールネジ７４に螺合さ
れている。Ｘ軸ボールネジ７４は、その両端部が前記Ｘ
軸テーブル７０上に配設された軸受部材７６、７６に回
動自在に支持されており、その一方端には一方の軸受部
材７６に設けられたＸ軸モータ７８の出力軸が連結され
ている。Ｘ軸ボールネジ７４は、このＸ軸モータ７８を
駆動することにより回動し、この結果、前記Ｘ軸テーブ
ル７０がＸ軸ガイドレール６６、６６に沿って水平にス
ライド移動する。なお、以下、このＸ軸テーブル７０が
スライドする方向をＸ軸方向とする。

【００１４】前記Ｘ軸テーブル７０上には、図２及び図
３に示すように、垂直にＺ軸ベース８０が立設されてお
り、該Ｚ軸ベース８０には一対のＺ軸ガイドレール８
２、８２が所定の間隔をもって敷設されている。この一
対のＺ軸ガイドレール８２、８２にはＺ軸リニアガイド
８４、８４を介してＺ軸テーブル８６がスライド自在に
支持されている。

【００１５】Ｚ軸テーブル８６の側面にはナット部材８
８が固着されており、該ナット部材８８は前記一対のＺ
軸ガイドレール８２、８２の間に配設されたＺ軸ボール
ネジ９０に螺合されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、そ
の両端部が前記Ｚ軸ベース８０に配設された軸受部材９
２、９２に回動自在に支持されており、その下端部には
下側の軸受部材９２に設けられたＺ軸モータ９４の出力
軸が連結されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、このＺ軸
モータ９４を駆動することにより回動し、この結果、前
記Ｚ軸テーブル８６がＺ軸ガイドレール８２、８２に沿
って垂直にスライド移動する。なお、以下、このＺ軸テ
ーブル８６がスライドする方向をＺ軸方向とする。

【００１６】前記Ｚ軸テーブル８６上にはθ軸モータ９
６が垂直に設置されている。このθ軸モータ９６の出力
軸にはθ軸シャフト９８が連結されており、このθ軸シ
ャフト９８の上端部にウェーハテーブル１００が水平に
固着されている。面取り加工するウェーハＷは、このウ
ェーハテーブル１００上に位置決めして載置され、真空
吸着によって保持される。そして、保持されたウェーハ
Ｗは、前記θ軸モータ９６を駆動することによりθ軸回
りに回転する。

【００１７】以上のように構成されたウェーハ送りユニ
ット４２において、ウェーハテーブル１００は、Ｙ軸モ
ータ６４を駆動することによりＹ軸方向に沿って水平に
スライド移動し、Ｘ軸モータ７８を駆動することにより
Ｘ軸方向に沿って水平にスライド移動する。そして、Ｚ
軸モータ９４を駆動することによりＺ軸方向に沿って垂
直にスライド移動し、θ軸モータ９６を駆動することに
よりθ軸回りに回転する。

【００１８】次に、外周加工ユニット４４の構成につい
て説明する。図１、図２及び図５に示すように、前記ベ
ースプレート５０上には垂直に架台１０２が設置されて
いる。架台１０２上には外周モータ１０４が垂直に設置
されており、この外周モータ１０４の出力軸には外周ス
ピンドル１０６が連結されている。ウェーハＷの外周を
面取り加工する外周加工砥石１０８は、この外周スピン
ドル１０６に装着される。そして、装着された外周加工
砥石１０８は、前記外周モータ１０４を駆動することに
より回転する。

【００１９】ここで、この外周加工砥石１０８の外周に
は、ウェーハＷに要求される面取り形状と同じ形状の溝
１０８ａ、１０８ｂが２段形成されており（総形砥
石）、この溝１０８ａ、１０８ｂにウェーハＷの周縁を
押し当てることにより、ウェーハＷの周縁が面取り加工
される（なお、このような溝形状の砥石を『Ｒ型砥石』
という。）。

【００２０】外周加工ユニット４４は以上のように構成
される。なお、以下、この外周加工ユニット４４の外周
加工砥石１０８の回転中心Ｏを通りＹ軸ガイドレール５
２、５２と平行な直線を『Ｙ軸』とし、外周加工砥石１
０８の回転中心Ｏを通りＸ軸ガイドレール６６、６６と
平行な直線を『Ｘ軸』とする。そして、外周加工砥石１
０８の回転軸を『Ｚ軸』とする。

【００２１】次に、ノッチ加工ユニット４６の構成につ
いて説明する。図１、図２及び図５に示すように、前記
架台１０２の側部には前記外周加工砥石１０８の回転軸
（Ｚ軸）に沿って支柱１１０が垂直に配設されている。
この支柱１１０の下端部は前記架台１０２の側面に支持
されており、その上端部には水平な梁部１１０Ａが一体
成形されている。梁部１１０Ａの先端には、一対の軸受
部材１１２、１１２が配設されており、該軸受部材１１
２、１１２にピン１１４を介してアーム１１６が揺動自
在に支持されている。

【００２２】アーム１１６の先端にはノッチモータ１１
８が支持されており、該ノッチモータ１１８の出力軸に
はノッチスピンドル１２０が連結されている。ノッチを
面取り加工するノッチ加工砥石１２２は、このノッチス
ピンドル１２０に装着される。そして、装着されたノッ
チ加工砥石１２２はノッチモータ１１８を駆動すること
により回転する。

【００２３】なお、前記アーム１１６は図示しないロッ
ク手段によって固定できるように構成されている。そし
て、このロック手段によって固定することにより、アー
ム１１６は、図１又は図５に示すように水平に保持さ
れ、この状態において、ノッチ加工砥石１２２はＹ軸上
に位置する。また、詳しくは図示されていないが、この
ノッチ加工砥石１２２の外周にも前記外周加工砥石１０
８と同様にウェーハＷに要求される面取り形状と同じ形
状の溝が２段形成されている。

【００２４】次に、前記のごとく構成されたウェーハ面
取り装置１０を用いた本発明に係るウェーハ面取り方法
の第１の実施の形態について説明する。加工開始前の初
期状態において、ウェーハテーブル１００は、その回転
軸θがＹ軸上に位置した状態で外周加工砥石１０８から
所定距離離れた位置に位置している。また、外周加工砥
石１０８に対して所定高さの位置に位置している。

【００２５】まず、ウェーハＷを図示しない搬送装置に
よってウェーハテーブル１００上に位置決めして載置す
る。この際、ウェーハＷは、その中心Ｏ_W がウェーハテ
ーブル１００の回転軸θと一致するように載置し、ま
た、そのノッチＮＯがＹ軸上に位置するように載置す
る。このようにしてウェーハテーブル１００上に載置さ
れたウェーハＷは、図６（ａ）に示すように、その中心
Ｏ_W がＹ軸上に位置するとともに、外周加工砥石１０８
から所定距離離れた位置に位置する。また、外周加工砥
石１０８の下側の溝１０８ａと同じ高さに位置する。以
下、この加工前のウェーハＷの位置を『基準位置』とす
る。

【００２６】次に、ウェーハテーブル１００上に載置さ
れたウェーハＷを真空吸着によって保持する。そして、
この保持後、面取り加工が開始される。面取りは、まず
初めにウェーハＷの外周（ウェーハＷの円形部Ｃ）から
行われる。図６（ａ）〜（ｄ）には、そのウェーハＷの
円形部Ｃを面取り加工する場合の加工手順が示されてい
る。

【００２７】まず、外周モータ１０４とθ軸モータ９６
が駆動される。これにより、外周加工砥石１０８とウェ
ーハテーブル１００が共に同方向に高速回転する。ここ
で、外周加工砥石１０８の周速度は、外周加工砥石１０
８を高速回転させた際に生じる振動値を測定し、その測
定結果に基づいて設定するが、余りに低い速度では本発
明の所望の効果を得ることができず、また、余りに速い
速度では研削面に振動の影響が出るので、外周加工砥石
１０８は、その周速度が１０００［ｍ／ｍｉｎ］以上、
好ましくは１５００〜３０００［ｍ／ｍｉｎ］の範囲の
速さで回転するように駆動する。

【００２８】また、ウェーハテーブル１００で保持した
ウェーハＷの周速度は、外周加工砥石１０８の粒度と周
速度からウェーハＷの加工量を算出し、その算出した加
工量に基づいて設定するが、余りに低い速度では本発明
の所望の効果を得ることができないので、ウェーハテー
ブル１００は、その保持したウェーハＷの周速度が３０
［ｍ／ｍｉｎ］以上、好ましくは１００〜１０００［ｍ
／ｍｉｎ］の範囲の速さで回転するように駆動する。

【００２９】外周加工砥石１０８とウェーハテーブル１
００の回転が安定したところで、次に、Ｙ軸モータ６４
が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を外周加工砥石１０８
に向かって送られる。ここで、このウェーハＷの送り速
度は、ウェーハＷが外周加工砥石１０８に接触する直前
で減速され、その後、ウェーハＷは外周加工砥石１０８
に向かってゆっくりとしたスピードで送られる。

【００３０】ここで、このウェーハＷの送り速度は、ウ
ェーハＷの研削面が受けるダメージを実験により測定
し、その測定結果に基づいて設定するが、約０．０１〜
０．０５［ｍｍ／ｓｅｃ］の範囲に設定するのが好まし
い。本実施の形態では、約０．０２［ｍｍ／ｓｅｃ］で
ウェーハＷを送る。外周加工砥石１０８に向かって送ら
れたウェーハＷは、図６（ｂ）に示すように、その周縁
が外周加工砥石１０８の溝１０８ａに接触する。この接
触後もウェーハＷは所定の送り速度（約０．０２［ｍｍ
／ｓｅｃ］）で外周加工砥石１０８に向けて送られ、こ
の結果、ウェーハＷの円形部Ｃが外周加工砥石１０８に
微小量ずつ研削されて面取り加工される。

【００３１】ウェーハＷの送りは、図６（ｃ）に示すよ
うに、外周加工砥石１０８とウェーハテーブル１００と
の軸間距離が所定距離Ｌに達するまで与えられる。そし
て、この軸間距離が所定距離Ｌに達するとＹ軸モータ６
４の駆動が停止され、停止後、逆方向に駆動される。こ
れにより、ウェーハＷは、図６（ｄ）に示すように、Ｙ
軸上を外周加工砥石１０８から離れる方向に移動し、基
準位置に復帰する。そして、ウェーハＷが初期位置に復
帰すると、θ軸モータ９６及び外周モータ１０４の駆動
が停止され、ウェーハテーブル１００及び外周加工砥石
１０８の回転が停止される。

【００３２】以上により、ウェーハＷの円形部Ｃの面取
り加工が終了する。次いで、ウェーハＷのノッチＮＯの
面取り加工が行われる。基準位置に復帰したウェーハＷ
は、図６（ｄ）に示すように、そのノッチＮＯがＹ軸上
に位置している。この状態からＺ軸モータ９４が駆動さ
れ、ウェーハテーブル１００が所定量上昇する。この結
果、ノッチ加工砥石１２２の下側の溝と同じ高さの位置
にウェーハＷが位置する。次に、Ｘ軸モータ７８が駆動
され、ウェーハＷがＸ軸方向に所定量移動する。この結
果、図７（ａ）に示すように、ウェーハＷに形成された
ノッチＮＯのコーナーＮＲがＹ軸上に位置する。以下、
このウェーハＷの位置を『ノッチ加工基準位置』とす
る。

【００３３】ノッチ加工基準位置にウェーハＷが位置す
ると、次に、ノッチモータ１１８が駆動され、ノッチ加
工砥石１２２が高速回転する。これと同時にＹ軸モータ
６４が駆動され、ウェーハＷがノッチ加工砥石１２２に
向かって移動する。ウェーハＷが所定距離移動するとＹ
軸モータ６４の駆動は停止され、この結果、図７（ｂ）
に示すように、ウェーハＷのノッチコーナーＮＲがノッ
チ加工砥石１２２の溝に当接する。そして、この当接と
同時にＸ軸モータ７８及びＹ軸モータ６４が同時に駆動
され、ウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の送りが与え
られる。このウェーハＷの送りは、ノッチコーナーＮＲ
の形状に沿って与えられ、この結果、ノッチコーナーＮ
Ｒが常にノッチ加工砥石１２２に当接して、ノッチコー
ナーＮＲが面取り加工される。

【００３４】ノッチコーナーＮＲの面取りが終了する
と、ウェーハＷに対して連続してＸ軸方向及びＹ軸方向
の送りが与えられ、ノッチＮＯの面取りが行われる。す
なわち、図７（ｃ）に示すように、ノッチＮＯが常にノ
ッチ加工砥石１２２に当接するように、ノッチＮＯの形
状に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。同図の場
合、ノッチＮＯはＶ字状に形成されているので、このＶ
字状のノッチＮＯの形状に沿ってＶ字を描くようにウェ
ーハＷに送りが与えられる。この結果、Ｖ字状に形成さ
れたノッチＮＯが面取り加工される。

【００３５】ノッチＮＯの面取りが終了すると、ノッチ
加工砥石１２２とウェーハＷとの接触点が他方側のノッ
チコーナーＮＲに達する。そして、この接触点が他方側
のノッチコーナーＮＲに達すると、連続的にノッチコー
ナーＮＲの面取りが行われる。すなわち、ウェーハＷに
Ｘ軸方向の送りとＹ軸方向の送りが与えられ、ノッチコ
ーナーＮＲが常にノッチ加工砥石１２２に当接するよう
に、ノッチコーナーＮＲの形状に沿ってウェーハＷに送
りが与えられる。この結果、ウェーハＷのノッチコーナ
ーＮＲが面取り加工される。

【００３６】他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが終
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から上記と逆の操作によってウェーハＷに
送りが与えられ、逆方向に向けてノッチコーナーＮＲ、
ノッチＮＯ及び他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが
行われる。以上の操作を複数回繰り返すことにより、ノ
ッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取り加工がなされ
る。

【００３７】ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取
りが終了すると、ウェーハＷはノッチの面取りを開始し
た位置、すなわち、図７（ｂ）に示す位置で停止する。
そして、その停止後、ノッチ加工砥石１２２から離れる
方向に向かって所定量移動し、図７（ａ）に示すノッチ
加工基準位置に復帰する。ノッチ加工基準位置に復帰し
たウェーハＷは、Ｘ軸方向に所定量移動するとともにＺ
軸方向の所定量下降し、基準位置に復帰する。一方、こ
れと同時にノッチモータ１１８の駆動も停止され、ノッ
チ加工砥石１２２の回転が停止する。

【００３８】以上の一連工程でウェーハＷの円形部Ｃ、
ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの面取り加工が終了
する。ウェーハＷが基準位置に復帰すると、ウェーハＷ
の吸着が解除され、図示しない搬送装置によってウェー
ハテーブル１００上からウェーハＷが取り上げられる。
そして、そのまま次工程に搬送されてゆく。以上説明し
たように、本実施の形態のウェーハ面取方法では、ウェ
ーハＷの円形部Ｃを面取り加工するに際して、外周加工
砥石１０８とウェーハＷとを同方向に高速回転させると
ともに、ウェーハＷをゆっくりと外周加工砥石１０８に
向けて送ることによりウェーハＷの周縁を面取り加工す
るようにしている。このように、外周加工砥石１０８と
ウェーハＷとを同方向に高速回転させることにより、ウ
ェーハＷに対する外周加工砥石１０８の相対的な周速度
が上がり（ウェーハＷの周速度と外周加工砥石１０８の
周速度の和となる。）、加工スピードを上げることがで
きる。この結果、加工時間を短縮することができるよう
になる。

【００３９】また、高速回転するウェーハＷをゆっくり
と外周加工砥石１０８に向けて送り、ゆっくりと切り込
んでゆくことにより、ウェーハＷの周縁は、微小量ずつ
研削されてゆくため、ウェーハＷの受けるダメージが少
なくて済む。この結果、ウェーハＷの研削面の精度が向
上する。なお、本実施の形態では、ウェーハＷの円形部
Ｃを面取りした後に、ノッチＮＯの面取りを行うように
しているが、この順番は逆でもよい。

【００４０】また、本実施の形態では、ウェーハＷをＹ
軸方向にのみ送って外周加工砥石１０８に接触させるよ
うにしているが、ウェーハＷをＸ軸方向とＹ軸方向の両
方同時に移動させて外周加工砥石１０８に接触させるよ
うにしてもよい。なお、本実施の形態では、ウェーハＷ
側を移動させて面取り加工するタイプのウェーハ面取り
装置１０に本発明を適用した例で説明しているが、外周
加工砥石１０８側を移動させて面取り加工するタイプの
装置、又は、双方を移動させて面取り加工するタイプの
装置にも同様に適用することができる。なお、本実施の
形態のウェーハ面取り装置１０のように外周加工砥石１
０８側が一定位置に固定されており回転のみする構成の
場合、装置剛性を上げることができるので、この結果、
外周加工砥石１０８に発生する振動を抑えることがで
き、研削面の精度を更に向上させることができる。

【００４１】次に、上記のウェーハ面取り装置１０を用
いた本発明に係るウェーハ面取り方法の第２の実施の形
態について説明する。図８は、本発明に係るウェーハ面
取り方法の第２の実施の形態の加工手順である。まず、
ウェーハＷを図示しない搬送装置によってウェーハテー
ブル１００上に位置決めして載置する。載置されたウェ
ーハＷは、図８（ａ）に示すように、その中心Ｏ_W がＹ
軸上に位置するとともに、外周加工砥石１０８から所定
距離離れた位置に位置する。また、外周加工砥石１０８
の下側の溝１０８ａと同じ高さに位置する。なお、この
位置を『第１基準位置』とする。

【００４２】ウェーハＷがウェーハテーブル１００上に
載置されると、次いで、そのウェーハＷが真空吸着によ
ってウェーハテーブル１００に保持される。次に、図８
（ｂ）に示すように、Ｘ軸モータ７８が駆動され、ウェ
ーハＷがＸ軸方向に沿って移動する。ウェーハＷは所定
距離移動すると停止し、この位置を『第２基準位置』と
する。

【００４３】次に、図８（ｃ）に示すように、Ｙ軸モー
タ６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸方向に沿って移動
する。ウェーハＷは外周加工砥石１０８との軸間距離が
所定の設定値Ｄに達したところで停止し、この位置を
『加工開始位置』とする。ここで、このウェーハＷと外
周加工砥石１０８との軸間距離Ｄの設定は次のように行
う。すなわち、外周加工砥石１０８の半径をＲ_G 、面取
り後のウェーハＷの半径をＲ₁ としたときに、

【００４４】

【数１】Ｄ＝Ｒ_G ＋Ｒ₁ となるように設定する。次に、外周モータ１０４とθ軸
モータ９６が駆動され、外周加工砥石１０８とウェーハ
テーブル１００が共に同方向に高速回転する。このと
き、外周加工砥石１０８は、周速度が１０００［ｍ／ｍ
ｉｎ］以上、好ましくは、１５００〜３０００［ｍ／ｍ
ｉｎ］の範囲の速さで回転するように駆動される。ま
た、ウェーハテーブル１００は、保持したウェーハＷの
周速度が３０［ｍ／ｍｉｎ］以上、好ましくは１００〜
１０００［ｍ／ｍｉｎ］の範囲の速さで回転するように
駆動される。

【００４５】次に、Ｘ軸モータ７８が駆動され、Ｘ軸方
向に沿ってウェーハＷが外周加工砥石１０８に向かって
送られる。Ｘ軸方向に沿って送られたウェーハＷは、そ
の周縁が外周加工砥石１０８の溝１０８ａに接触する直
前で減速され、所定の送り速度（約０．０２［ｍｍ／ｓ
ｅｃ］）でＸ軸方向に沿ってゆっくりと送られる。この
結果、図８（ｄ）に示すように、ウェーハＷの周縁が外
周加工砥石１０８に接触し、微小量ずつ研削されて面取
り加工されてゆく。そして、このようにＸ軸方向に沿っ
て送られたウェーハＷは、図８（ｅ）に示すように、そ
の中心Ｏ_W がＹ軸上に達すると移動が停止される。この
位置を『加工終了位置』とする。

【００４６】ウェーハＷが前記加工終了位置に到達する
と、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を
外周加工砥石１０８から離れる方向に移動する。このＹ
軸モータ６４の駆動は、図８（ｆ）に示すように、ウェ
ーハＷが第１基準位置に到達すると停止される。これに
より、ウェーハＷが第１基準位置に復帰する。そして、
ウェーハＷが第１基準位置に復帰すると、θ軸モータ９
６及び外周モータ１０４の駆動が停止され、ウェーハテ
ーブル１００及び外周加工砥石１０８の回転が停止され
る。

【００４７】以上により、ウェーハＷの周縁の面取り加
工が終了する。ウェーハＷが第１基準位置に復帰する
と、ウェーハＷの吸着が解除され、図示しない搬送装置
によってウェーハテーブル１００上からウェーハＷが取
り上げられる。そして、そのまま次工程に搬送されてゆ
く。このように、第２の実施の形態のウェーハ面取方法
では、ウェーハＷと外周加工砥石１０８との軸間距離Ｄ
（Ｙ軸方向の軸間距離）を一定に保ったままウェーハＷ
を移動させることにより、ウェーハＷの周縁を研削して
面取りするようにしている。この方法によれば、ウェー
ハＷの中心Ｏ_W がＹ軸上に近づくにつれて外周加工砥石
１０８に削られる量が少なくなってゆく（第１の実施の
形態の方法では、ウェーハＷを一定の送り速度で送った
場合、外周加工砥石１０８に削り取られる量は加工開始
から加工終了まで常にほぼ一定となる。）。このため、
加工終了間際に研削面が受けるダメージが少なくなり、
研削面の精度が向上する。

【００４８】なお、本実施の形態では、ウェーハＷを一
定の送り速度（約０．０２［ｍｍ／ｓｅｃ］）で送るこ
ととしているが、上記のようにウェーハＷの中心Ｏ_W が
Ｙ軸上に近づくにつれて外周加工砥石１０８に削られる
量が少なくなってゆくため、送り速度を高速化（約０．
２［ｍｍ／ｓｅｃ］）してもよい。また、接触開始から
から徐々に速度を上げるようにしてもよい。これによ
り、研削面の精度を維持しつつ加工時間の短縮化を図る
ことができる。

【００４９】また、本実施の形態では、ノッチが形成さ
れていないウェーハＷを面取り加工する場合について説
明したが、ノッチ付きウェーハＷの円形部を面取り加工
する場合も同様にして面取り加工することができる。こ
の場合、円形部の面取りが終了した後に（又は円形部を
面取りする前に）、上述した第１の実施の形態で説明し
た方法と同様の方法でノッチの面取りを行う。

【００５０】さらに、本実施の形態では、軸間距離Ｄを
外周加工砥石１０８の半径Ｒ_G と、面取り後のウェーハ
Ｗの半径Ｒ₁ との和となるように設定しているが、これ
に限定されるものではない。たとえば、軸間距離Ｄを外
周加工砥石１０８の半径Ｒ_Gと、面取り後のウェーハＷ
の半径Ｒ₁ の和（Ｒ_G ＋Ｒ₁ ）よりも小さく設定した場
合は、ウェーハＷをＸ軸方向に沿って送り、ウェーハＷ
が所定の径（Ｒ₁ ）まで研削されたところでＸ軸方向の
送りを停止するようにすればよい。

【００５１】また、本実施の形態では、ウェーハＷをＸ
軸方向にのみ送って外周加工砥石１０８に接触させるよ
うにしているが、ウェーハＷをＸ軸方向とＹ軸方向の両
方同時に移動させて外周加工砥石１０８に接触させるよ
うにしてもよい。さらに、本実施の形態では、ウェーハ
Ｗ側を移動させて面取り加工するタイプのウェーハ面取
り装置１０に本発明を適用した例で説明しているが、外
周加工砥石１０８側を移動させて面取り加工するタイプ
の装置、又は、双方を移動させて面取り加工するタイプ
の装置にも同様に適用することができる。なお、本実施
の形態のウェーハ面取り装置１０のように外周加工砥石
１０８側が一定位置に固定されており回転のみする構成
の場合、装置剛性を上げることができるので、この結
果、外周加工砥石１０８に発生する振動を抑えることが
でき、研削面の精度を更に向上させることができる。

【００５２】次に、上記のウェーハ面取り装置１０を用
いた本発明に係るウェーハ面取り方法の第３の実施の形
態について説明する。上述した第１及び第２の実施の形
態では、ウェーハＷを一定の送り速度で送って加工する
ようにしている。第３の実施の形態のウェーハ面取り方
法では、ウェーハＷを所定距離送ったら、所定時間停止
するという工程を繰り返しながらウェーハＷを加工す
る。具体的には、次のように加工する。

【００５３】外周加工砥石１０８に接触する直前で減速
したウェーハＷは、その後、所定の送り速度（約０．０
２［ｍｍ／ｓｅｃ］）で外周加工砥石１０８に向けて送
られる。そして、所定距離移動すると送りが停止され、
そのままその位置で所定時間待機する。所定時間経過
後、ウェーハＷは再び所定の送り速度で外周加工砥石１
０８に向けて送られ、所定距離だけ移動して停止する。
そして、そのままその位置で所定時間待機し、所定時間
経過後、ウェーハＷは再び所定の送り速度で外周加工砥
石１０８に向けて送られる。以上の工程を繰り返し行い
ながら加工を進行させる。いわゆるスパークアウト研削
を実施する。

【００５４】このように送りを制御しながら加工するこ
とにより、仕上げ面粗さと加工精度が向上する。すなわ
ち、送りを一旦止めることにより、弾性変形によって生
じた切残しが、その後の研削に伴う弾性復元力の減少に
よって徐々に削除され、なめらかな仕上がり面を形成す
ることができる。この加工方法は、ウェーハＷを低速で
送ることが困難な装置（砥石側を移動させる装置にあっ
ては砥石を低速で送ることが困難な装置）に本発明（請
求項１又は２に係る発明）を適用する場合に特に有効な
加工方法である。なお、本加工方法は、上述した第１又
は第２の実施の形態のウェーハ面取り方法のいずれにも
適用することができる。

【００５５】次に、上記のウェーハ面取り装置１０を用
いた本発明に係るウェーハ面取り方法の第４の実施の形
態について説明する。上述した第１及び第２の実施の形
態では、ウェーハＷを一定の周速度で高速回転させて加
工するようにしている。第４の実施の形態のウェーハ面
取り方法では、最後の仕上げ加工において、ウェーハＷ
を低速回転させて加工する。具体的には、次のように加
工する。

【００５６】第１の実施の形態のウェーハ面取り方法に
おいては、外周加工砥石１０８とウェーハテーブル１０
０との軸間距離が所定距離Ｌに達する直前にウェーハテ
ーブル１００の回転速度を減速し（外周加工砥石１０８
とウェーハテーブル１００との軸間距離がＬ＋δの位置
で減速：δは微小距離）、ウェーハＷを低速回転させる
（ウェーハＷの周速度が０．３〜３［ｍ／ｍｉｎ］の範
囲になるように回転させる。）。そして、その低速回転
させたウェーハＷを微小量δ切り込んで（外周加工砥石
１０８とウェーハテーブル１００の軸間距離は所定距離
Ｌとなる。）、そのままウェーハＷを１回転させる。

【００５７】一方、第２の実施の形態のウェーハ面取り
方法においては、ウェーハＷの中心Ｏ_W がＹ軸上に到達
する直前にウェーハテーブル１００の回転速度を減速し
（ウェーハＷの中心Ｏ_W からＹ軸までの距離がδの位置
で減速：δは微小距離）、ウェーハＷを低速回転させる
（ウェーハＷの周速度が０．３〜３［ｍ／ｍｉｎ］の範
囲になるように回転させる。）。そして、その低速回転
させたウェーハＷを微小量δ切り込んで（ウェーハＷの
中心Ｏ_W はＹ軸上に位置する。）、そのままウェーハＷ
を１回転させる。

【００５８】このような加工方法にすることにより、外
周加工砥石１０８に振れが発生している場合であって
も、ウェーハＷの面取り面にレボリューションマーク
（ウェーハＷの面取り面に生じる縞状の模様）が入るの
を有効に防止することができる。次に、上記のウェーハ
面取り装置１０を用いた本発明に係るウェーハ面取り方
法の第５の実施の形態について説明する。

【００５９】上述した第１及び第２の実施の形態では、
ウェーハＷを一定の周速度で高速回転させて加工するよ
うにしている。第５の実施の形態のウェーハ面取り方法
では、ウェーハＷの周速度を高速領域で周期的に変動さ
せて加工する。具体的には、次のように加工する。すな
わち、図９に示すように、ウェーハＷの研削量に応じて
ウェーハＷの周速度を高速領域（３０［ｍ／ｍｉｎ］以
上、好ましくは１００〜１０００［ｍ／ｍｉｎ］の範
囲）で周期的に変動させる。

【００６０】このような加工方法にすることにより、上
述した第４の実施の形態の加工方法と同様に、外周加工
砥石１０８に振れが発生している場合であっても、ウェ
ーハＷの面取り面にレボリューションマークが入るのを
有効に防止することができる。なお、本加工方法は、上
述した第１又は第２の実施の形態のウェーハ面取り方法
のいずれにも適用することができる。

【００６１】次に、上記のウェーハ面取り装置１０を用
いた本発明に係るウェーハ面取り方法の第６の実施の形
態について説明する。上述した第５の実施の形態では、
ウェーハＷの周速度を高速領域で周期的に変動させて加
工するようにしているが、ウェーハＷの回転方向は常に
一定である。第６の実施の形態のウェーハ面取り方法で
は、ウェーハＷの周速度を周期的に変動させ、ウェーハ
Ｗを正転、逆転させながら加工する。具体的には、次の
ように加工する。

【００６２】すなわち、図１０に示すように、ウェーハ
Ｗの研削量に応じてウェーハＷの周速度を周期的に変動
させ、ウェーハＷを正転、逆転させながら加工する。こ
の際、ウェーハＷは、高速領域（３０［ｍ／ｍｉｎ］以
上、好ましくは１００〜１０００［ｍ／ｍｉｎ］の範
囲）で回転している時にのみ研削されるようにするた
め、方向転換に伴う低速回転時は送りを与えないように
する。

【００６３】このような加工方法にすることにより、上
述した第４及び第５の実施の形態の加工方法と同様に、
外周加工砥石１０８の溝１０８ａに振れが発生している
場合であっても、ウェーハＷの面取り面にレボリューシ
ョンマークが入るのを有効に防止することができる。な
お、本加工方法は、上述した第１又は第２の実施の形態
のウェーハ面取り方法のいずれにも適用することができ
る。

【００６４】次に、本発明に係るウェーハ面取り方法の
第７の実施の形態について説明する。図１１〜図１３
は、それぞれ第７の実施の形態のウェーハ面取り方法が
適用されるウェーハ面取り装置２００の構成を示す正面
図、側面図、平面図である。同図に示すように、このウ
ェーハ面取り装置２００は、外周加工ユニット２０２及
びノッチ加工ユニット２０４の構成が上述したウェーハ
面取り装置１０と相違している。したがって、ここでは
外周加工ユニット２０２とノッチ加工ユニット２０４の
構成についてのみ説明し、他の構成については上述した
ウェーハ面取り装置１０と同一符号を付して、その説明
は省略する。

【００６５】外周加工ユニット２０２は、粗研用外周加
工装置２０２Ｒと精研用外周加工装置２０２Ｆとから構
成されている。まず、粗研用外周加工装置２０２Ｒの構
成について説明する。ベースプレート５０上に設置され
た架台１０２上には粗研用外周モータ１０４Ｒが垂直に
設置されており、この粗研用外周モータ１０４Ｒの出力
軸には粗研用外周スピンドル１０６Ｒが連結されてい
る。ウェーハＷの外周を粗面取り加工する粗研用外周加
工砥石１０８Ｒは、この外周スピンドル１０６Ｒに装着
される。なお、この粗研用外周加工砥石１０８Ｒの外周
には、断面台形状の溝１０８ｒが形成されており、この
溝１０８ｒにウェーハＷの周縁を押し当てて面取り加工
する（なお、このような溝形状の砥石を『Ｔ型砥石』と
いう。）。

【００６６】次に、精研用外周加工装置２０２Ｆの構成
について説明する（上述したウェーハ面取り装置１０の
外周加工ユニット４４に対応。）。前記架台１０２の両
側部には一対の支柱１１０Ａ、１１０Ｂが垂直に配設さ
れている。この支柱１１０Ａ、１１０Ｂの下端部は、そ
れぞれ架台１０２の両側面に固定されており、その上端
部には水平な梁部１１１Ａ、１１１Ｂが一体成形されて
いる。梁部１１１Ａ、１１１Ｂの先端には、それぞれ一
対の軸受部材１１２Ａ、１１２Ｂが配設されており、該
軸受部材１１２Ａ、１１２Ｂにピン１１４Ａ、１１４Ｂ
を介してアーム１１６Ａ、１１６Ｂが揺動自在に支持さ
れている。

【００６７】この一対のアーム１１６Ａ、１１６Ｂのう
ち一方側のアーム１１６Ａの先端には精研用外周モータ
１０４Ｆが垂直に設置されており、該精研用外周モータ
１０４Ｆは図中Ｘ方向に沿って所定角度傾けられて設置
されている。この精研用外周モータ１０４Ｆの出力軸に
は精研用外周スピンドル１０６Ｆが連結されており、ウ
ェーハＷの外周を仕上げ面取り加工する精研用外周加工
砥石１０８Ｆは、この精研用外周スピンドル１０６Ｆに
装着される。

【００６８】なお、図１１に示すように、この精研用外
周加工砥石１０８Ｆは、前記粗研用外周加工砥石１０８
Ｒに対して小径に形成されている（粗研用外周加工砥石
１０８Ｒには直径が１００〜３００ｍｍの砥石を用いる
のに対して、この粗研用外周加工砥石１０８Ｆには直径
が２〜５０ｍｍの砥石を用いる。）。また、この粗研用
外周加工砥石１０８Ｒの外周には、断面台形状の溝１０
８ｆが形成されており、この溝１０８ｆにウェーハＷの
周縁を押し当てて面取り加工する。

【００６９】なお、前記アーム１１６Ａは図示しないロ
ック手段によって固定できるように構成されている。そ
して、このロック手段によって固定することにより、ア
ーム１１６Ａは、図１１に示すように水平に保持され
る。次に、ノッチ加工ユニット２０４の構成について説
明する。前述した一対のアーム１１６Ａ、１１６Ｂのう
ち他方側のアーム１１６Ｂの先端部には粗研用ノッチモ
ータ１１８Ｒと精研用ノッチモータ１１８Ｆが配設され
ており、該粗研用ノッチモータ１１８Ｒと精研用ノッチ
モータ１１８Ｆの出力軸には、それぞれ粗研用ノッチス
ピンドル１２０Ｒと精研用ノッチスピンドル１２０Ｆが
連結されている。ノッチを粗面取り加工する粗研用ノッ
チ加工砥石１２２Ｒは、粗研用ノッチスピンドル１２０
Ｒに装着される。一方、ノッチを仕上げ面取り加工する
精研用ノッチ加工砥石１２２Ｆは、粗研用ノッチスピン
ドル１２０Ｆに装着される。

【００７０】なお、前記アーム１１６Ｂも、アーム１１
６Ａと同様に図示しないロック手段によって固定できる
ように構成されている。また、詳しくは図示されていな
いが、この粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒと精研用ノッ
チ加工砥石１２２Ｆの外周にも断面台形状の溝が形成さ
れている。前記のごとく構成されたウェーハ面取り装置
２００を用いた本発明に係るウェーハ面取り方法の第７
の実施の形態は次の通りである。

【００７１】加工開始前の初期状態において、ウェーハ
テーブル１００は、その回転軸θがＹ軸上に位置した状
態で粗研用外周加工砥石１０８Ｒから所定距離離れた位
置に位置している。また、粗研用外周加工砥石１０８Ｒ
に対して所定高さの位置に位置している。まず、ウェー
ハＷを図示しない搬送装置によってウェーハテーブル１
００上に位置決めして載置する。この際、ウェーハＷ
は、その中心Ｏ_W がウェーハテーブル１００の回転軸θ
と一致するように載置し、また、そのノッチＮＯがＹ軸
上に位置するように載置する。このようにしてウェーハ
テーブル１００上に載置されたウェーハＷは、その中心
Ｏ_W がＹ軸上に位置するとともに、粗研用外周加工砥石
１０８Ｒから所定距離離れた位置に位置する。また、粗
研用外周加工砥石１０８Ｒに対して所定高さの位置に位
置する。以下、この加工前のウェーハＷの位置を『原点
位置』とする。

【００７２】ウェーハテーブル１００上に載置されたウ
ェーハＷは、そのウェーハテーブル１００によって吸着
保持される。そして、このウェーハテーブル１００がウ
ェーハＷを吸着保持すると加工が開始される。加工は、
まず始めにウェーハＷの外周（ウェーハＷの円形部）の
粗面取り加工から行われる。まず、Ｚ軸モータ９４が駆
動され、ウェーハテーブル１００がＺ軸方向に沿って所
定量移動する。これにより、ウェーハテーブル１００に
保持されたウェーハＷが粗研用外周加工砥石１０８Ｒに
形成された溝１０８ｒと下側傾斜面と同じ高さに位置す
る。このウェーハＷの位置を『外周下縁粗研加工位置』
とする。

【００７３】次に、粗研用外周モータ１０４Ｒとθ軸モ
ータ９６が駆動され、粗研用外周加工砥石１０８Ｒとウ
ェーハテーブル１００が共に同方向に高速回転する。次
に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を
粗研用外周加工砥石１０８Ｒに向かって送られる。この
とき、ウェーハＷは粗研用外周加工砥石１０８Ｒに接触
する直前まで比較的速いスピードで送られ、その後、減
速してゆっくりとしたスピードで送られる。

【００７４】粗研用外周加工砥石１０８Ｒに向かって送
られたウェーハＷは、その外周が外周粗研用砥石１０８
ＲＡに形成された溝１０８ｒの下側傾斜面に接触する。
この接触後もウェーハＷはゆっくりとしたスピードで粗
研用外周加工砥石１０８Ｒに向けて送られ、この結果、
図１４（ａ）に示すように、ウェーハＷの外周部下縁が
外周粗研用砥石１０８Ｒに微小量ずつ研削されて粗面取
り加工される。

【００７５】ウェーハＷの送りは、粗研用外周加工砥石
１０８Ｒとウェーハテーブル１００との軸間距離が所定
距離Ｌ₁ に達するまで与えられる。そして、この軸間距
離が所定距離Ｌ₁ に達するとＹ軸モータ６４の駆動が停
止される。停止後、Ｙ軸モータ６４は逆方向に駆動さ
れ、これによりウェーハＷがＹ軸上を粗研用外周加工砥
石１０８Ｒから離れる方向に移動する。そして、ウェー
ハＷが前記外周下縁粗研加工位置に復帰すると、Ｙ軸モ
ータ６４の駆動が停止される。

【００７６】以上により、ウェーハＷの外周部下縁の粗
面取り加工が終了する。次に、ウェーハＷの外周部下縁
の粗面取り加工が行われる。前記ウェーハＷが外周下縁
粗研加工位置に位置すると、Ｚ軸モータ９４が駆動さ
れ、ウェーハテーブル１００がＺ軸方向に沿って所定量
移動する。これにより、ウェーハテーブル１００に保持
されたウェーハＷが粗研用外周加工砥石１０８Ｒに形成
された溝１０８ｒの上側傾斜面と同じ高さに位置する。
このウェーハＷの位置を『外周上縁粗研加工位置』とす
る。

【００７７】次に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェー
ハＷがＹ軸上を粗研用外周加工砥石１０８Ｒに向かって
送られる。このとき、ウェーハＷは粗研用外周加工砥石
１０８Ｒに接触する直前まで比較的速いスピードで送ら
れ、その後、減速してゆっくりとしたスピードで送られ
る。粗研用外周加工砥石１０８Ｒに向かって送られたウ
ェーハＷは、その外周が外周粗研用砥石１０８ＲＡに形
成された溝１０８ｒの上側傾斜面に接触する。この接触
後もウェーハＷはゆっくりとしたスピードで粗研用外周
加工砥石１０８Ｒに向けて送られ、この結果、図１４
（ｂ）に示すように、ウェーハＷの外周部上縁が外周粗
研用砥石１０８Ｒに微小量ずつ研削されて粗面取り加工
される。

【００７８】ウェーハＷの送りは、粗研用外周加工砥石
１０８Ｒとウェーハテーブル１００との軸間距離が所定
距離Ｌ₁ に達するまで与えられる。そして、この軸間距
離が所定距離Ｌ₁ に達するとＹ軸モータ６４の駆動が停
止される。停止後、Ｙ軸モータ６４は逆方向に駆動さ
れ、これによりウェーハＷがＹ軸上を粗研用外周加工砥
石１０８Ｒから離れる方向に移動する。そして、ウェー
ハＷが前記外周上縁粗研加工位置に復帰すると、Ｙ軸モ
ータ６４の駆動が停止される。Ｙ軸モータ６４の駆動停
止とともに、前記粗研用外周モータ１０４Ｒの駆動も停
止され、これにより、粗研用外周加工砥石１０８Ｒの回
転が停止する。

【００７９】以上により、ウェーハＷの外周部下縁の粗
面取り加工が終了する。次に、ウェーハＷの外周の仕上
げ面取り加工が行われる。ウェーハＷが外周下縁粗研加
工位置に復帰すると、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェ
ーハテーブル１００がＺ軸方向に沿って所定量移動す
る。この結果、ウェーハＷが外周精研用砥石１０８Ｆに
形成された溝１０８ｆと同じ高さに位置する。このウェ
ーハＷの位置を『外周精研加工位置』とする。

【００８０】次に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェー
ハＷがＹ軸上を精研用外周加工砥石１０８Ｆに向かって
送られる。このとき、ウェーハＷは前記同様に精研用外
周加工砥石１０８Ｒに接触する直前まで比較的速いスピ
ードで送られ、その後、減速してゆっくりとしたスピー
ドで送られる。精研用外周加工砥石１０８Ｆに向かって
送られたウェーハＷは、図１５及び図１６に示すよう
に、その外周が外周精研用砥石１０８Ｆに形成された溝
１０８ｆのほぼ中央の位置に接触する（図１５及び図１
６において（１）の位置）。この接触後もウェーハＷは
ゆっくりとしたスピードで精研用外周加工砥石１０８Ｆ
に向けて送られ、この結果、ウェーハＷの外周部周面が
外周精研用砥石１０８Ｆに微小量ずつ研削されて仕上げ
面取り加工される。

【００８１】ウェーハＷの送りは、精研用外周加工砥石
１０８Ｆとウェーハテーブル１００との軸間距離が所定
距離Ｌ₂ に達するまで与えられる。そして、この軸間距
離が所定距離Ｌ₂ に達するとＹ軸モータ６４の駆動が停
止される。Ｙ軸モータ６４の駆動停止後、次いで、Ｚ軸
モータ９４とＸ軸モータ７８が同時に駆動され、ウェー
ハＷが精研用外周加工砥石１０８Ｆの軸線に沿って斜め
上方に移動する。この結果、ウェーハＷの外周部上側面
取り面が精研用外周加工砥石１０８Ｆに形成された溝１
０８ｆの上側傾斜面に微小量ずつ研削されて仕上げ面取
り加工される。

【００８２】ウェーハＷが、図１５及び図１６において
（２）の位置まで移動すると、Ｚ軸モータ９４とＸ軸モ
ータ７８の駆動は一時停止される。次いで逆方向に駆動
され、ウェーハＷは、精研用外周加工砥石１０８Ｆの軸
線に沿って斜め下方に移動する。この結果、ウェーハＷ
の外周部下側面取り面が精研用外周加工砥石１０８Ｆに
形成された溝１０８ｆの下側傾斜面に微小量ずつ研削さ
れて仕上げ面取り加工される。

【００８３】ウェーハＷが、図１５及び図１６において
（３）の位置まで移動すると、Ｚ軸モータ９４とＸ軸モ
ータ７８の駆動は一時停止される。次いで逆方向に駆動
され、ウェーハＷは、精研用外周加工砥石１０８Ｆの軸
線に沿って斜め上方に移動する。そして、ウェーハＷ
が、図１５及び図１６において（１）の位置まで移動す
ると、Ｚ軸モータ９４とＸ軸モータ７８の駆動は停止さ
れる。Ｚ軸モータ９４とＸ軸モータ７８の駆動停止後、
Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を精研
用外周加工砥石１０８Ｆから離れる方向に移動する。そ
して、ウェーハＷが前記外周精研加工位置に復帰する
と、Ｙ軸モータ６４の駆動が停止される。

【００８４】前記Ｙ軸モータ６４の駆動停止とともに、
前記精研用外周モータ１０４Ｆとθ軸モータ９６の駆動
も停止され、これにより、精研用外周加工砥石１０８Ｆ
とウェーハＷの回転が停止する。以上により、ウェーハ
Ｗの外周の仕上げ面取り加工が終了する。ここで、前記
のごとくウェーハＷの外周を加工することの効果、すな
わち、始めに大径の粗研用外周加工砥石１０８Ｒで粗面
取り加工し、次いで、傾けた小径の精研用外周加工砥石
１０８Ｆで仕上げ面取り加工することの効果について説
明する。

【００８５】上述した仕上げ面取り加工時のように、ウ
ェーハＷの接線方向に所定角度傾けた砥石でウェーハＷ
を面取り加工すると仕上げ面精度が向上する。これは図
１７に示すように、砥石を傾けることにより、砥粒の運
動方向がウェーハＷの回転方向に対して傾斜するためで
あり、この結果、砥石の高速回転による条痕と、ウェー
ハＷの高速回転による条痕とが交差し、互いに打ち消し
あって仕上げ面精度が向上する。また、径の小さい砥石
においては砥石の振動が発生しにくいので、これによっ
ても仕上げ面精度の向上を図ることができる。

【００８６】ところで、砥石を傾けて面取り加工する場
合、砥石の溝幅は傾けていない場合よりも広くなり、ま
た、同じ角度で傾けた場合であっても、砥石の直径が大
きいほど広くなる。また、砥石の直径が小さくないと、
条痕の交差する度合いが大きくならず、所望の効果が得
られない。このため、砥石を傾けて有効さを増すために
は、砥石の直径を小さくする必要がある。

【００８７】一方、砥石の直径が小さいと、砥石の磨耗
が速くなる。また、シリコンウェーハの場合、スライス
時のチッピングを取り除くため、ウェーハの直径は面取
りでの仕上げ直径よりかなり大きくなっており（＋１ｍ
ｍ程度）、これを直径が小さい砥石で面取り加工する
と、すぐに砥石が磨耗してしまい効率が悪いという欠点
があった。

【００８８】そこで、本発明では、まず始めに磨耗の少
ない径の大きな砥石で所定径になるまで粗面取り加工
し、次いで、傾斜させた径の小さな砥石で仕上げ面取り
加工するようにしている。これにより、砥石の磨耗を効
果的に防止しつつ、面精度の高いウェーハを効率的に加
工することができる。前記のごとくウェーハＷの外周の
仕上げ面取り加工が終了すると、次いで、ウェーハＷの
ノッチＮＯの面取り加工が行われる。

【００８９】外周精研加工位置に復帰したウェーハＷ
は、そのノッチＮＯがＹ軸上に位置している。この状態
から、まず、Ｘ軸モータ７８が駆動され、ウェーハＷが
Ｘ軸方向に所定量移動する。この結果、ウェーハＷに形
成されたノッチＮＯの一方側のノッチコーナーＮＲが、
粗研用ノッチ砥石１２２Ｒを通りＹ軸と平行な直線上に
位置する。次に、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハ
ＷがＺ軸方向に沿って所定量移動する。この結果、ウェ
ーハＷが粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに形成された溝
の下側傾斜面と同じ高さに位置する。このウェーハＷの
位置を『ノッチ下縁粗研加工位置』とする。

【００９０】ノッチ下縁粗研加工位置にウェーハＷが位
置すると、次に、粗研用ノッチモータ１１８Ｒが駆動さ
れ、粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒが高速回転する。こ
れと同時にＹ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷが粗
研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに向かって移動する。ウェ
ーハＷが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停
止され、この結果、一方側のノッチコーナーＮＲの下縁
が粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに形成された溝の下側
傾斜面に当接する。そして、この当接と同時にＸ軸モー
タ７８及びＹ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハ
ＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の送りが与えられる。この送
りはノッチコーナーＮＲの形状に沿って与えられ、この
結果、ノッチコーナーＮＲの下縁が常に粗研用ノッチ加
工砥石１２２Ｒに当接して、ノッチコーナーＮＲの下縁
が粗面取り加工される。

【００９１】ノッチコーナーＮＲの下縁が粗面取りされ
ると、連続してウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の送
りが与えられ、ノッチＮＯの下縁が面取りされる。すな
わち、ノッチＮＯの下縁が常に粗研用ノッチ加工砥石１
２２Ｒに形成された溝の下側傾斜面に当接するように、
ノッチＮＯの形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられ
る。例えばＶ字状に形成されたノッチの場合は、Ｖ字を
描くようにウェーハＷに送りが与えられる。この結果、
Ｖ字状に形成されたノッチＮＯの下縁が粗面取り加工さ
れる。

【００９２】ノッチＮＯの下縁が粗面取り加工される
と、粗研用ノッチ加工砥石１２２ＲとウェーハＷとの接
触点が他方側のノッチコーナーＮＲに達する。そして、
この接触点が他方側のノッチコーナーＮＲに達すると、
連続的にノッチコーナーＮＲの下縁が面取りされる。す
なわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りとＹ軸方向の送り
が与えられ、ノッチコーナーＮＲの下縁が常に粗研用ノ
ッチ加工砥石１２２Ｒに形成された溝の下側傾斜面に当
接するようにウェーハＷに送りが与えられる（ノッチコ
ーナーＮＲの形状に沿った送りが与えられる。）。この
結果、他方側のノッチコーナーＮＲの下縁が粗面取り加
工される。

【００９３】他方側のノッチコーナーＮＲの下縁が面取
りされると、ウェーハＷの送りが一時停止される。そし
て、この状態から上記と逆の操作によってウェーハＷに
送りが与えられ、上記同様にノッチコーナーＮＲ、ノッ
チＮＯ及び他方側のノッチコーナーＮＲの下縁が順に粗
面取り加工される。以上の操作を複数回繰り返すことに
より、ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの下縁が粗面
取り加工される。

【００９４】ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの下縁
の粗面取り加工が終了すると、ウェーハＷは最初に粗研
用ノッチ加工砥石１２２Ｒと接触した位置で停止する。
そして、その停止後、ノッチ加工砥石１２２Ｒから離れ
る方向に向かって所定量移動し、ノッチ下縁粗研加工位
置に復帰する。ウェーハＷがノッチ下縁粗研加工位置に
復帰すると、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハＷが
Ｚ軸方向に沿って所定量移動する。この結果、ウェーハ
Ｗが粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに形成された溝の上
側傾斜面と同じ高さに位置する。このウェーハＷの位置
を『ノッチ上縁粗研加工位置』とする。

【００９５】ノッチ上縁粗研加工位置にウェーハＷが位
置すると、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷが粗
研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに向かって移動する。ウェ
ーハＷが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停
止され、この結果、一方側のノッチコーナーＮＲの下縁
が粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに形成された溝の上側
傾斜面に当接する。以下、上記ノッチの下縁を粗面取り
加工したときと同様の手順でノッチＮＯ及びノッチコー
ナーＮＲの上縁が粗面取り加工される。

【００９６】ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの上縁
の粗面取り加工が終了すると、ウェーハＷは最初に粗研
用ノッチ加工砥石１２２Ｒと接触した位置で停止する。
そして、その停止後、ノッチ加工砥石１２２Ｒから離れ
る方向に向かって所定量移動し、ノッチ上縁粗研加工位
置に復帰する。一方、ウェーハＷがノッチ上縁粗研加工
位置に復帰すると、粗研用ノッチモータ１１８Ｒの駆動
が停止され、粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒの回転が停
止する。

【００９７】以上により、ウェーハＷのノッチＮＯの粗
面取り加工が終了する。次いで、ウェーハＷのノッチＮ
Ｏの仕上げ面取り加工が行われる。ウェーハＷがノッチ
上縁粗研加工位置に復帰すると、Ｘ軸モータ７８が駆動
され、ウェーハＷがＸ軸方向に所定量移動する。この結
果、ウェーハＷに形成されたノッチＮＯの一方側のノッ
チコーナーＮＲが、精研用砥石１２２Ｆの中心を通りＹ
軸と平行な直線上に位置する。次に、Ｚ軸モータ９４が
駆動され、ウェーハＷがＺ軸方向に沿って所定量移動す
る。この結果、ウェーハＷが精研用ノッチ加工砥石１２
２Ｆに形成された溝の下側傾斜面と同じ高さの位置に位
置する。以下、このウェーハＷの位置を『ノッチ下縁精
研加工位置』とする。

【００９８】ノッチ下縁精研加工位置にウェーハＷが位
置すると、次に、精研用ノッチモータ１１８Ｆが駆動さ
れ、精研用ノッチ加工砥石１２２Ｆが高速回転する。こ
れと同時にＹ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷが精
研用ノッチ加工砥石１２２Ｆに向かって移動する。ウェ
ーハＷが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停
止され、この結果、ウェーハＷの一方側のノッチコーナ
ーＮＲが精研用ノッチ加工砥石１２２Ｆに形成された溝
の下側傾斜面に当接する。以下、上記ノッチの下縁を粗
面取り加工したときと同様の手順でノッチＮＯ及びノッ
チコーナーＮＲの下縁が仕上げ面取り加工される。

【００９９】ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの下縁
が仕上げ面取り加工されると、ウェーハＷは最初に精研
用ノッチ加工砥石１２２Ｆと接触した位置で停止する。
そして、その停止後、ノッチ加工砥石１２２Ｆから離れ
る方向に向かって所定量移動し、ノッチ下縁精研加工位
置に復帰する。ウェーハＷがノッチ下縁精研加工位置に
復帰すると、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェーハＷが
Ｚ軸方向に沿って所定量移動する。この結果、ウェーハ
Ｗが精研用ノッチ加工砥石１２２Ｆに形成された溝の上
側傾斜面と同じ高さに位置する。このウェーハＷの位置
を『ノッチ上縁精研加工位置』とする。

【０１００】ウェーハＷがノッチ上縁精研加工位置に位
置すると、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷが精
研用ノッチ加工砥石１２２Ｆに向かって移動する。ウェ
ーハＷが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停
止され、この結果、ウェーハＷの一方側のノッチコーナ
ーＮＲの上縁が粗研用ノッチ加工砥石１２２Ｒに形成さ
れた溝の上側傾斜面に当接する。以下、上記ノッチの下
縁を粗面取り加工したときと同様の手順でノッチＮＯ及
びノッチコーナーＮＲの上縁が仕上げ面取り加工され
る。

【０１０１】ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの上縁
の仕上げ面取り加工が終了すると、ウェーハＷは最初に
精研用ノッチ加工砥石１２２Ｆと接触した位置で停止す
る。そして、その停止後、ノッチ加工砥石１２２Ｒから
離れる方向に向かって所定量移動し、ノッチ上縁精研加
工位置に復帰する。一方、ウェーハＷがノッチ上縁精研
加工位置に復帰すると、精研用ノッチモータ１１８Ｆの
駆動が停止され、精研用ノッチ加工砥石１２２Ｆの回転
が停止する。また、ウェーハＷがノッチ上縁精研加工位
置に復帰すると、Ｘ軸モータ７８とＺ軸モータ９４が駆
動され、ウェーハテーブル１００が原点位置に復帰す
る。

【０１０２】以上の一連工程を経ることによりウェーハ
Ｗの外周とノッチＮＯの粗面取り加工と仕上げ面取り加
工が終了する。ウェーハテーブル１００が原点位置に復
帰すると、ウェーハＷの吸着が解除され、図示しない搬
送装置によってウェーハテーブル１００上からウェーハ
Ｗが取り上げられる。そして、そのまま次の工程へと搬
送されてゆく。

【０１０３】以上説明したように、第７の実施の形態の
ウェーハ面取り方法によれば、外周研削時において、ま
ず始めに磨耗の少ない径の大きな砥石で所定径になるま
で粗面取り加工し、次いで、傾斜させた径の小さな砥石
で仕上げ面取り加工するようにしているので、砥石の磨
耗を効果的に防止しつつ、面精度の高いウェーハを効率
的に加工することができる。また、径の小さな砥石は振
動が発生しにくいので、この砥石で仕上げ面取りを行う
ことにより仕上げ面精度が向上する。

【０１０４】なお、上記の説明では、外周加工時にウェ
ーハＷを高速回転させて面取り加工しているが、本実施
の形態においては上記第１から第６の実施の形態とは異
なり、ウェーハＷを低速回転させて加工するようにして
もよい。また、本実施の形態では、使用する砥石につい
ては、特に限定していないが、径の大きな砥石、すなわ
ち粗研用外周加工砥石１０８Ｒにはメタルボンド砥石を
用い、傾けた径の小さな砥石、すなわち精研用外周加工
砥石１０８Ｆにはレジンボンド砥石を用いるのが好まし
い。これには次の理由による。

【０１０５】すなわち、メタルボンド砥石は、剛性が高
く、砥粒保持力が高いため、砥石の寿命が長いという利
点があるが、その反面、研削面が粗くなるという欠点が
ある。一方、レジンボンド砥石は、弾性を持つため加工
面に衝撃を与えることが少なく、研削面の精度が高いと
いう利点がある。そこで、磨耗が少なく寿命が長いメタ
ルボンド砥石で先に粗面取りし、最後の仕上げのみレジ
ンボンド砥石で仕上げ面取りするようにすれば、砥石の
磨耗を効果的に防止しつつ、面精度の高いウェーハを効
率的に加工することができるようになる。このため、粗
研用外周加工砥石１０８Ｒにはメタルボンド砥石を用
い、精研用外周加工砥石１０８Ｆにはレジンボンド砥石
を用いる。

【０１０６】また、傾けた径の小さい砥石にレジンボン
ド砥石を使用することにより、その砥石のツルーイング
が不要になるという効果も得ることができる。これは以
下の理由による。すなわち、砥石の径を小さくすること
により、砥石自体が磨耗しやすくなり、しかも外周長が
短いため均等に磨耗するようになる。また、砥石を傾け
ることにより、ウェーハＷとの接触面積が大きくなる。
この結果、極部的な負荷が少なくなり均等に磨耗するよ
うになる。更に、粗面取り工程で仕上げ面取りと同じエ
ッジ形状になっているウェーハＷを面取り加工すること
により、ウェーハ自体がツルアーと同じ役割を果たす。
このため、敢えてツルアーによりツルーイングを実施し
なくても、砥石は一定形状に保持される。

【０１０７】また、次の方法により外周の仕上げ面取り
加工を行うことにより、砥石の成形効果を向上させるこ
とができる。すなわち、上記の実施の形態では、図１５
及び図１６に示すように、（１）始めにウェーハＷの外
周部周面を仕上げ面取り加工し、（２）次いで、ウェー
ハＷを上方に送ってウェーハＷの外周部上側面取り面を
仕上げ面取り加工し、（３）最後にウェーハＷを下方に
送ってウェーハＷの外周部下側面取り面を仕上げ面取り
加工するようにしているが、２枚目のウェーハＷを面取
り加工する場合は、上記（２）と（３）の工程を逆にす
る（（１）→（３）→（２）の順で加工する。）。そし
て、３枚目のウェーハＷを面取り加工する場合は、再び
上記（２）、（３）の工程で加工する（（１）→（２）
→（３）の順で加工する。）。このように、最初に面取
り加工する面（上側面取り面と下側面取り面）を交互に
換えて加工することにより、砥石に形成された溝の上側
径斜面と下側径斜面とが均等に磨耗するため、砥石は常
に一定の形状に保持される。

【０１０８】また、砥石は加工を繰り返すことにより、
図１８に示すように、徐々に削られて、上下の傾斜面及
び先端Ｒが広がるので、面取り加工する位置を溝の磨耗
に応じてずらしながら加工する。すなわち、溝の磨耗に
応じて、ウェーハＷの外周部周面の面取り加工を開始す
る位置（上下方向の位置）と、ウェーハＷの外周部上側
面取り面及び下側面取り面の面取り加工を終了する位置
（上下方向の位置）を徐々にずらしながら加工する。こ
れにより、常に高い精度を維持しながら加工することが
できる。

【０１０９】なお、溝の磨耗量は、加工前にウェーハＷ
の厚さを測定するとともに、加工後にウェーハＷの直径
及び面取り面の面幅を測定することにより知ることがで
きる。すなわち、面取り加工したウェーハＷが目標寸法
から外れてくることで溝の磨耗量を知ることができ、こ
れにより加工位置を修正する。次に、上記のウェーハ面
取り装置２００を用いた本発明に係るウェーハ面取り方
法の第８の実施の形態について説明する。

【０１１０】本実施の形態では、精研用外周加工砥石１
０８Ｆにレジンボンド砥石を使用した場合に、その砥石
形状を常に一定に保つことができる加工方法について説
明する。なお、本実施の形態のウェーハ面取り方法は、
外周の仕上げ面取り工程のみが上述した第７の実施の形
態のウェーハ面取り方法と異なるので、ここでは、この
外周の仕上げ面取り工程についてのみ説明する。

【０１１１】また、図１９に示すように、本実施の形態
のウェーハ面取り方法で使用する精研用外周加工砥石１
０８Ｆは、その溝１０８ｆの両端部がウェーハＷの先端
Ｒ（図２０（ａ）、（ｂ）参照）と同じ曲率の円弧状に
形成されている。ウェーハテーブル１００に保持された
ウェーハＷが『外周精研加工位置』に位置すると、Ｙ軸
モータ６４が駆動され、ウェーハＷがＹ軸上を精研用外
周加工砥石１０８Ｆに向かって送られる。

【０１１２】精研用外周加工砥石１０８Ｆに向かって送
られたウェーハＷは、図１９に示すように、その外周部
周面ｗ₁ が外周精研用砥石１０８Ｆに形成された溝１０
８ｆの平坦面１０８ｆ₁ のほぼ中央の位置に接触する
（図１９において（１）の位置）。この接触後もウェー
ハＷはゆっくりとしたスピードで精研用外周加工砥石１
０８Ｆに向けて送られ、精研用外周加工砥石１０８Ｆと
ウェーハテーブル１００との軸間距離が所定距離Ｌ₂ に
達するとＹ軸モータ６４の駆動が停止される。

【０１１３】次に、Ｚ軸モータ９４とＸ軸モータ７８が
同時に駆動され、ウェーハＷが精研用外周加工砥石１０
８Ｆの軸線に沿って斜め上方に移動する。この結果、ウ
ェーハＷの外周部周面ｗ₁ が、精研用外周加工砥石１０
８Ｆに形成された溝１０８ｆの平坦面１０８ｆ₁ に研削
されて仕上げ面取り加工される。ウェーハＷは所定距離
移動すると、その外周部上側面取り面ｗ₂ が精研用外周
加工砥石１０８Ｆに形成された溝１０８ｆの上側傾斜面
１０８ｆ₂ に当接するので（図１９において（２）の状
態）、その位置でＺ軸モータ９４とＸ軸モータ７８の駆
動が停止される。

【０１１４】次に、Ｚ軸モータ９４、Ｘ軸モータ７８及
びＹ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハＷが精研
用外周加工砥石１０８Ｆに形成された溝１０８ｆの上側
傾斜面１０８ｆ₂ に沿って斜め上方に移動する。この結
果、ウェーハＷの外周部上側面取り面ｗ₂ が、精研用外
周加工砥石１０８Ｆに形成された溝１０８ｆの上側傾斜
面１０８ｆ₂ に研削されて仕上げ面取り加工される。

【０１１５】ウェーハＷは所定距離移動すると、その外
周部周面の上側コーナー部ｗ₃ が精研用外周加工砥石１
０８Ｆの溝１０８ｆの上縁に形成された円弧面１０８ｆ
₃ に当接するので（図１９において（３）の状態）、そ
の位置でＺ軸モータ９４、Ｘ軸モータ７８及びＹ軸モー
タ６４の駆動が一時停止される。次に、Ｚ軸モータ９
４、Ｘ軸モータ７８及びＹ軸モータ６４が同時に駆動さ
れ、ウェーハＷが前記円弧面１０８ｆ₃ に沿って移動す
る。この結果、ウェーハＷの外周部周面上側コーナー部
ｗ₃ が円弧状に研削される。

【０１１６】ウェーハＷの外周部周面上側コーナー部ｗ
₃ が円弧状に研削されると（図１９において（４）の状
態）、Ｚ軸モータ９４、Ｘ軸モータ７８及びＹ軸モータ
６４の駆動が一時停止される。次に、Ｚ軸モータ９４と
Ｘ軸モータ７８が同時に駆動され、ウェーハＷが精研用
外周加工砥石１０８Ｆの軸線に沿って斜め下方に移動す
る。そして、ウェーハＷが、精研用外周加工砥石１０８
Ｆに形成された溝１０８ｆの平坦面１０８ｆ₁のほぼ中
央の位置に位置すると、Ｚ軸モータ９４とＸ軸モータ７
８の駆動が停止される。

【０１１７】次に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェー
ハＷがＹ軸上を精研用外周加工砥石１０８Ｆに形成され
た溝１０８ｆの平坦面１０８ｆ₁ に向かって送られる。
精研用外周加工砥石１０８Ｆに向かって送られたウェー
ハＷは、その外周部周面ｗ₁ が外周精研用砥石１０８Ｆ
に形成された溝１０８ｆの平坦面１０８ｆ₁ のほぼ中央
の位置に接触する（図１９において（５）の位置
〔（１）と同じ位置〕）。この接触後もウェーハＷはゆ
っくりとしたスピードで精研用外周加工砥石１０８Ｆに
向けて送られ、精研用外周加工砥石１０８Ｆとウェーハ
テーブル１００との軸間距離が所定距離Ｌ₂ に達すると
Ｙ軸モータ６４の駆動が停止される。

【０１１８】次に、Ｚ軸モータ９４とＸ軸モータ７８が
同時に駆動され、ウェーハＷが精研用外周加工砥石１０
８Ｆの軸線に沿って斜め下方に移動する。この結果、ウ
ェーハＷの外周部周面ｗ₁ が、精研用外周加工砥石１０
８Ｆに形成された溝１０８ｆの平坦面１０８ｆ₁ に研削
されて仕上げ面取り加工される。ウェーハＷは所定距離
移動すると、その外周部下側面取り面ｗ₄ が精研用外周
加工砥石１０８Ｆに形成された溝１０８ｆの下側傾斜面
１０８ｆ₄ に当接するので（図１９において（６）の状
態）、その位置でＺ軸モータ９４とＸ軸モータ７８の駆
動が停止される。

【０１１９】次に、Ｚ軸モータ９４、Ｘ軸モータ７８及
びＹ軸モータ６４が同時に駆動され、ウェーハＷが精研
用外周加工砥石１０８Ｆに形成された溝１０８ｆの下側
傾斜面１０８ｆ₄ に沿って斜め下方に移動する。この結
果、ウェーハＷの外周部下側面取り面ｗ₄ が、精研用外
周加工砥石１０８Ｆに形成された溝１０８ｆの下側傾斜
面１０８ｆ₄ に研削されて仕上げ面取り加工される。

【０１２０】ウェーハＷは所定距離移動すると、その外
周部周面の下側コーナー部ｗ₅ が精研用外周加工砥石１
０８Ｆの溝１０８ｆの下縁に形成された円弧面１０８ｆ
₅ に当接するので（図１９において（７）の状態）、そ
の位置でＺ軸モータ９４、Ｘ軸モータ７８及びＹ軸モー
タ６４の駆動が停止される。次に、Ｚ軸モータ９４、Ｘ
軸モータ７８及びＹ軸モータ６４が同時に駆動され、ウ
ェーハＷが前記円弧面１０８ｆ₅ に沿って移動する。こ
の結果、ウェーハＷの外周部周面下側コーナー部ｗ₅ が
円弧状に研削される。

【０１２１】ウェーハＷの外周部周面下側コーナー部ｗ
₅ が円弧状に研削されると（図１９において（８）の状
態）、Ｚ軸モータ９４、Ｘ軸モータ７８及びＹ軸モータ
６４の駆動が停止される。以上により、ウェーハＷの外
周の仕上げ面取り加工が終了し、この後、ウェーハは
『外周精研加工位置』に復帰する。

【０１２２】このようにウェーハＷの外周を加工するこ
とにより、精研用外周加工砥石１０８Ｆの溝１０８ｆは
全面に渡って均一に磨耗するので、型崩れが生じること
がない。この結果、加工を重ねても常に砥石の形状を常
に一定に保つことができる。したがって、ツルーイング
が不要になり、ツルーイングを実施することによるスル
ープットの低下を効果的に抑制することができる。

【０１２３】なお、上述した第７の実施の形態と同様
に、最初に面取り加工する面（外周部上側面取り面ｗ₂
と外周部下側面取り面ｗ₄ ）を交互に換えて加工するこ
とにより、更に効果的に砥石の型崩れを防止することが
できる。以上説明したように、本発明に係るウェーハの
面取り方法によれば、短時間で高精度な面取り加工を行
うことができる。

【０１２４】なお、上述した一連の実施の形態において
第１から第６までの実施の形態では砥石にＲ型砥石を用
いているが、このＲ型砥石に代えて第７の実施の形態で
使用したＴ型砥石を用いて加工してもよい。同様に第７
の実施の形態では砥石にＴ型砥石を用いているが、この
Ｔ型砥石に代えてＲ型砥石を使用してもよい。また、上
述した第１から第５までの実施の形態では、砥石とウェ
ーハとを同方向に高速回転させているが、互いに逆方向
に高速回転させてもよい。このように互いに逆方向に高
速回転させた場合であっても、ウェーハＷを高速回転さ
せれば、同様の効果をを得ることができる。また、面粗
さの向上を図ることができるとともに、チッピングの発
生を防止することができる。

【０１２５】なお、面取り加工するウェーハの断面形状
には、図２０（ａ）、（ｂ）に示すように２種類あり、
いずれの形状に加工する場合であっても本発明を適用す
ることができる。

【０１２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るウェ
ーハ面取り方法によれば、高精度な面取り加工を行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウェーハ面取り装置の構成を示す側面図

【図２】ウェーハ面取り装置の構成を示す平面図

【図３】図１のＡ−Ａ断面図

【図４】図１のＢ−Ｂ断面図

【図５】粗研用外周加工ユニットとノッチ加工ユニット
の構成を示す正面図

【図６】（ａ）〜（ｄ）は、ノッチ付きウェーハの円形
部の面取り方法の説明図

【図７】（ａ）〜（ｄ）は、ノッチ付きウェーハのノッ
チ及びノッチコーナーの面取り方法の説明図

【図８】（ａ）〜（ｆ）は、第２の実施の形態のウェー
ハ面取り方法の説明図

【図９】第５の実施の形態の作用を説明するグラフ

【図１０】第６の実施の形態の作用を説明するグラフ

【図１１】ウェーハ面取り装置の構成を示す正面図

【図１２】ウェーハ面取り装置の構成を示す側面図

【図１３】ウェーハ面取り装置の構成を示す平面図

【図１４】（ａ）、（ｂ）は第７の実施の形態のウェー
ハ面取り方法の説明図

【図１５】第７の実施の形態のウェーハ面取り方法の説
明図

【図１６】第７の実施の形態のウェーハ面取り方法の説
明図

【図１７】第７の実施の形態のウェーハ面取り方法の説
明図

【図１８】他の実施の形態の作用の説明図

【図１９】第８の実施の形態のウェーハ面取り方法の説
明図

【図２０】（ａ）、（ｂ）は面取り加工されたウェーハ
の断面図

【符号の説明】

１０、２００…ウェーハ面取り装置 ４２…ウェーハ送りユニット ４４…粗研用外周加工ユニット ４６…ノッチ加工ユニット ５６…Ｙ軸テーブル ６４…Ｙ軸モータ ７０…Ｘ軸テーブル ７８…Ｘ軸モータ ８６…Ｚ軸テーブル ９６…θ軸モータ １００…ウェーハテーブル １０４…外周モータ １０４Ｒ…粗研用外周モータ １０４Ｆ…精研用外周モータ １０８…外周加工砥石 １０８Ｒ…粗研用外周加工砥石 １０８Ｆ…精研用外周加工砥石 １１８…ノッチモータ １１８Ｒ…粗研用ノッチモータ １１８Ｆ…精研用ノッチモータ １２２…ノッチ加工砥石 １２２Ｒ…粗研用ノッチ加工砥石 １２２Ｆ…精研用ノッチ加工砥石 Ｗ…ウェーハ Ｃ…円形部 ＮＯ…ノッチ ＮＲ…ノッチコーナー

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥石とウェーハとを高速回転させ、その
   高速回転する砥石とウェーハとを相対的に近づけること
   により、ウェーハの周縁を砥石で小量ずつ研削して面取
   り加工することを特徴とするウェーハ面取り方法。
2. 【請求項２】 所定間隔Ｄを有する互いに平行な２直線
   上に砥石とウェーハとを別々に配置し、 前記砥石と前記ウェーハとを高速回転し、 前記直線上を前記ウェーハ若しくは前記砥石又はその双
   方を移動させて、前記ウェーハの周縁に前記砥石を接触
   させて、前記ウェーハの周縁を前記砥石で小量ずつ研削
   して面取り加工することを特徴とするウェーハ面取り方
   法。
3. 【請求項３】 前記２直線の間隔Ｄは、前記砥石の半径
   Ｒ_G と、前記ウェーハの面取り終了後の半径Ｒ₁ との和
   （Ｒ_G ＋Ｒ₁ ）であることを特徴とする請求項２記載の
   ウェーハ面取り方法。
4. 【請求項４】 前記砥石の周速度が１０００［ｍ／ｍｉ
   ｎ］以上であるとともに、前記ウェーハの周速度が３０
   ［ｍ／ｍｉｎ］以上であることを特徴とする請求項１又
   は２記載のウェーハ面取り方法。
5. 【請求項５】 所定距離移動すると、所定時間停止する
   ことを繰り返しながら前記砥石と前記ウェーハとを相対
   的に近づけることを特徴とする請求項１又は２記載のウ
   ェーハ面取り方法。
6. 【請求項６】 前記ウェーハの周縁を所定量研削したの
   ち、前記ウェーハを低速回転させて仕上げ面取り加工す
   ることを特徴とする請求項１又は２記載のウェーハ面取
   り方法。
7. 【請求項７】 前記ウェーハは、周速度が０．３〜３
   ［ｍ／ｍｉｎ］の範囲で低速回転させて仕上げ面取り加
   工することを特徴とする請求項６記載のウェーハ面取り
   方法。
8. 【請求項８】 前記ウェーハ又は前記砥石の周速度を高
   速度域で周期的に変動させることを特徴とする請求項１
   又は２記載のウェーハ面取り方法。
9. 【請求項９】 前記ウェーハ又は前記砥石の回転方向を
   周期的に変動させることを特徴とする請求項１又は２記
   載のウェーハ面取り方法。
10. 【請求項１０】 前記ウェーハ又は前記砥石の方向転換
    時は、前記砥石と前記ウェーハとを相対的に近づけるの
    を停止することを特徴とする請求項９記載のウェーハ面
    取り方法。
11. 【請求項１１】 回転する砥石と、回転するウェーハと
    を相対的に近づけることにより、ウェーハの周縁を砥石
    で研削して面取り加工するウェーハ面取り方法におい
    て、 大径の砥石で粗面取り加工したのち、小径の砥石で仕上
    げ面取り加工することを特徴とするウェーハ面取り方
    法。
12. 【請求項１２】 前記粗面取り加工に使用する砥石は直
    径が１００〜３００ｍｍの範囲の砥石であり、前記仕上
    げ面取り加工に使用する砥石は直径が２〜５０ｍｍの範
    囲の砥石であることを特徴とする請求項１１記載のウェ
    ーハ面取り方法。
13. 【請求項１３】 前記仕上げ面取り加工に使用する小径
    の砥石は、レジンボンド砥石であるとともに、外周に断
    面台形状の溝を有し、当接させるウェーハの接線方向に
    所定角度傾斜して設置されていることを特徴とする請求
    項１１又は１２記載のウェーハ面取り方法。
14. 【請求項１４】 前記砥石に形成された断面台形状の溝
    は両縁部が円弧状に形成されており、 まず、前記溝の平坦面に前記ウェーハの外周部周面を当
    接し、 次に、前記平坦面に沿って前記ウェーハを移動させ、前
    記溝の一方側の傾斜面に前記ウェーハの外周部一方側面
    取り面を当接し、 次に、前記傾斜面及び前記円弧面に沿って前記ウェーハ
    を移動させ、該ウェーハの外周部周面一方側コーナー部
    を前記円弧面と同じ曲率に研削し、 次に、前記溝の平坦面に前記ウェーハの外周部周面を当
    接し、 次に、前記平坦面に沿って前記ウェーハを移動させ、前
    記溝の他方側の傾斜面に前記ウェーハの外周部他方側面
    取り面を当接し、 次に、前記傾斜面及び前記円弧面に沿って前記ウェーハ
    を移動させ、該ウェーハの外周部周面他方側コーナー部
    を前記円弧面と同じ曲率に研削し、前記ウェーハを面取
    り加工することを特徴とする請求項１３記載のウェーハ
    面取り方法。