JPH11303966A - 電動シリンダ装置およびその製造方法 - Google Patents
電動シリンダ装置およびその製造方法Info
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- JPH11303966A JPH11303966A JP10462098A JP10462098A JPH11303966A JP H11303966 A JPH11303966 A JP H11303966A JP 10462098 A JP10462098 A JP 10462098A JP 10462098 A JP10462098 A JP 10462098A JP H11303966 A JPH11303966 A JP H11303966A
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Abstract
き、ボールねじのねじ軸を大径化してその危険速度や定
格荷重を改善でき、操作アームに十分な機械的強度を確
保でき、部品点数も削減できる電動シリンダ装置を提供
する。 【解決手段】 筒状のシリンダ1と、このシリンダ1の
内部に配置されるボールねじ20と、シリンダ1の一端
側でボールねじ20のねじ軸21と連結されてねじ軸2
1を回転駆動するモータ11と、シリンダ1の他端側に
設けられた案内手段としてのスプライン外筒42と、外
筒42により、ねじ軸21の軸線に沿ってシリンダ1の
他端側から突出動作可能に支持された操作アームとして
のスプライン軸41とを具備する電動シリンダ装置にお
いて、スプライン軸41の一端部の内周に、当該一端部
をボールねじ20のボールナット22として機能させる
ためのねじ溝22aを一体に設ける。
Description
係り、特に電動モータとボールねじとを利用して操作ア
ームを伸縮させる電動シリンダ装置およびその製造方法
に関する。
た電動シリンダ装置は、アクチユエー夕として各種の装
置に用いられている。電動シリンダ装置は、円筒状のシ
リンダ内にボールねじのねじ軸を回転自在に支承すると
ともに、このねじ軸に螺合するボールナットを備えた中
空状の操作アームをねじ軸に被せ、更にこの操作アーム
を上記シリンダに対してスライド自在に支承して構成さ
れている。
示す断面図である。図8において、符号1は円筒状のシ
リンダであり、シリンダ1の一端には減速機ハウジング
2が固定されている。減速機ハウジング2には軸受3が
保持されており、この軸受3によってボールねじ4のね
じ軸5が回転自在に支承されている。ねじ軸5の一端
は、プーリ9A,9B及びベルト10からなる減速機8
を介して減速機ハウジング2に固定された電動モータ1
1に連結されている。
ねじ4のねじ軸5には多数のボール6を介してボールナ
ット7が螺合する。また、ボールナット7はボールナッ
ト収容筒12にボルト13を利用して固定されている。
ボールスプライン14のスプライン外筒15が固定され
ている。このスプライン外筒15の中心部には中空のス
プライン軸16がボールねじ4のねじ軸5と同軸に取り
付けられている。スプライン軸16は、スプライン外筒
15によってシリンダ1に対する回り止めがなされた状
態で軸方向に進退自在である。このスプライン軸16が
電動シリンダ装置の操作アームとして機能する。スプラ
イン軸16の一端はシリンダ1内でボールナット収容筒
12を介してボールナット7に連結され、他端はシリン
ダ1から突出している。スプライン軸16のシリンダ1
からの突出端部およびハウジング2には、例えばユニバ
ーサルジョイント17A,17Bが取り付けられる。こ
れらユニバーサルジョイント17A,17Bを介して電
動シリンダ装置とその駆動対象とが連結される。
リンダ装置A0においては、スプライン軸16とボール
ナット7とを個別に製作し、ボールナット7をスプライ
ン軸16の一端に固定している。即ち、ボールナット7
をボールナット収容筒12に収容した後に、ボールナッ
ト7のフランジ部7aをボルト13によってボールナッ
ト収容筒12に固定し、かつボールナット7を固定した
ボールナット収容筒12をスプライン軸16に固定して
いる。この構造では、ボールナット7のナット部7bお
よびスプライン軸16の外周にボールナット筒12が覆
い被さる。従って、ボールナット収容筒12の外径が大
きくなってねじ軸5とスプライン軸16との連結部分の
質量が増加するとともに、大径化したナット収容筒12
を収容するシリンダ1も大きくなって装置全体の質量が
増加する。
6およびねじ軸5の力学的関係を考察してみると、スプ
ライン軸16はスプライン外筒15によって片持支持さ
れ、ねじ軸5は軸受3によって片持支持されている。即
ち、ボールナット7とねじ軸5との螺合部は、ねじ軸5
およびスプライン軸16のいずれにとっても自由端にな
っている。従って、ボールナット収容筒12の質量が大
きいと、スプライン軸16の自由端側に大きな荷重が加
わることになり、その結果、ねじ軸5の回転に伴ってボ
ールナット収容筒12には比較的大きな慣性力が働き、
スプライン軸16の一端がスプライン外筒15との嵌合
部(以下、スプライン嵌合部と称する場合がある。)の
中央を支点として振れ回わり運動をする。
6、ボールナット7およびボールナット収容筒12を相
互に組み合せているため、加工上及び組立上の誤差が積
み重なってスプライン軸16とボールナット7との軸心
がずれる場合がある。この軸心のずれが生じている場合
には、スプライン軸16の振れ回りが更に増幅される。
スプライン軸16やねじ軸5の振れ回りの周期がそれら
の固定振動数に一致した場合には共振が発生し、精度の
劣化等の不都合がさらに拡大する。
たユニバーサルジョイント17Aも同様にスプライン嵌
合部の中央を支点として振れ回わり運動をする。この場
合、振れ回わりの振幅は、ボールナット7からスプライ
ン嵌合部の中央までのスパンと、ユニバーサルジョイン
ト17Aからスプライン嵌合部の中央までのスパンとの
比率に対応することになり、スプライン軸16が伸びき
った場合にユニバーサルジョイント17Aの振れ回わり
の振幅は最大となる。このように、従来の電動シリンダ
装置は、ユニバーサルジョイント17Aが伸長しながら
振れ回わり運動をするので、高精度の直線運動が要求さ
れる装置のアクチュエータとしては使用できないという
間題点があった。
いては、ねじ軸5の危険速度(共振を起こす回転数)が
両端支持等の他の支持構造と比較して低くなるため、こ
れを改善するためにねじ軸5の直径をなるべく大きく設
定することが望ましい。しかしながら、ねじ軸5を大径
化すればボールナット7も大径化し、その結果、ナット
収容筒12がさらに大きく重くなって上述したスプライ
ン嵌合部の振れ回り運動が生じ易くなる。ボールナット
7やナット収容筒12が大径化すれば、これらを収容す
るシリンダ1も大きくなり、装置全体の質量がさらに増
加する。これらの事情からねじ軸5の直径が小さい値に
制限され、その結果、ボールねじ4の定格荷重も小さい
値に制限されていた。
との固定部は、他の部分より肉厚が薄い部分が存在する
ため、この部分が強度不足になるという問題点がある。
この場合、操作アームとしてのスプライン軸16には、
座屈荷重、引張荷重及び曲げ荷重が繰り返し作用するた
め、前記薄肉部が直ちに破壊に至ることはなくても、長
期問の使用によって疲労破壊を起こすという問題点があ
った。
2の存在により部品点数が増加する欠点もある。
で、操作アームの先端部の振れ回わりを防止して高精度
の直線運動を行なうことができ、装置の大きさや質量の
増加を防止しつつボールねじのねじ軸を大径化してボー
ルねじの危険速度や定格荷重等の物理特性を改善でき、
操作アームに十分な機械的強度を確保でき、部品点数も
削減できる電動シリンダ装置およびそれに適した製造方
法を提供することを目的とする。
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものではない。
と、このシリンダ(1)の内部に配置されるボールねじ
(20)と、シリンダ(1)の一端側でボールねじ(2
0)のねじ軸(21)と連結されて当該ねじ軸(21)
を回転駆動するモータ(11)と、シリンダ(1)の他
端側に設けられた案内手段(42)と、案内手段(4
2)により、ねじ軸(21)の軸線に沿ってシリンダ
(1)の他端側から突出動作可能に支持された操作アー
ム(41)と、を具備する電動シリンダ装置において、
操作アーム(41)の一端部の内周に、当該一端部をボ
ールねじ(20)のボールナット(22)として機能さ
せるためのねじ溝(22a)が一体に設けられた電動シ
リンダ装置により、上述した課題を解決する。
端部にボールナット(22)のねじ溝(22a)を一体
に形成したため、ボールねじ(20)のボールナット
(22)と操作アーム(41)との間から、別部材とし
ての中間部材が排除される。従って、ねじ軸(21)と
操作アーム(41)との連結部分に作用する荷重が減少
するとともに、ボールナット(22)のねじ溝(22
a)と操作アーム(41)の案内手段(42)に案内さ
れる部分との間から組立誤差が排除されてねじ軸(2
1)と操作アーム(41)との同軸度が向上する。従っ
て、ねじ軸(21)と操作アーム(41)との連結部分
の慣性力に起因して生ずる操作アーム(41)の振れ回
わりを最小限に抑えることができる。
リンダ(1)内に生じるスペースを利用して操作アーム
(41)およびその一端のボールナット(22)を外周
側に拡大でき、それに伴ってボールねじ(20)のねじ
軸(21)を大径化できる。これにより、ねじ軸(2
1)の危険速度が大きくなり、従来のものよりねじ軸
(21)を高速で回転させることができる。ねじ軸(2
1)の大径化により、ねじ軸(21)とボールナット
(22)との間に介在して荷重を受ける転動体(ボー
ル)の数が増えるので、ボールねじ(20)の負荷容量
が増加して定格荷重が大きくなる。
て薄肉部が存在することがなく、強度および耐久性をと
もに向上させることができる。ねじ軸(21)と操作ア
ーム(41)との間の中間部材の省略により部品点数が
減少する。
リンダ装置において、シリンダ(1)の他端側にボール
スプライン(40)が配置され、そのボールスプライン
の外筒(42)が前記案内手段として、スプライン軸
(41)が前記操作アームとしてそれぞれ使用されてい
ることを特徴とする。
が外筒(42)により周方向に回り止めされつつボール
ねじ(20)のねじ軸(21)の軸線方向に案内され
る。従って、操作アームの回り止めを別に設ける必要が
ない。また、操作アーム(41)が案内手段(42)に
よって周方向に回り止めされるので、操作アーム(4
1)とその駆動対象との間にベアリング等を介在させて
操作アーム(41)と駆動対象との間の周方向の相対運
動を許容することもできる。
リンダ装置において、前記操作アームとしてのスプライ
ン軸(41)の外周およびスプライン溝(41a)がス
プライン軸(41)に形成された所定の加工基準部に対
して所定精度に研削加工され、その研削加工された外周
を基準としてねじ溝(22a)が所定精度に研削加工さ
れていることを特徴とする。
a)とねじ溝(22a)との間に組立誤差が介在せず、
両溝の同軸度を向上させることができる。
と、このシリンダ(1)の内部に配置されるボールねじ
(20)と、シリンダ(1)の一端側でボールねじ(2
0)のねじ軸(21)と連結されて当該ねじ軸(21)
を回転駆動するモータ(11)と、シリンダ(1)の他
端側に設けられた案内手段(42)と、案内手段(4
2)により、ねじ軸(21)の軸線に沿ってシリンダ
(1)の他端側から突出動作可能に支持された操作アー
ム(41)と、を具備し、シリンダ(1)の他端側にボ
ールスプライン(40)が配置され、そのボールスプラ
インの外筒(42)が前記案内手段として、スプライン
軸(41)が前記操作アームとしてそれぞれ使用された
電動シリンダ装置の製造方法において、スプライン軸
(41)の外周およびスプライン溝(41a)をスプラ
イン軸(41)に形成された所定の加工基準面に対して
所定精度に研削加工する工程と、スプライン軸(41)
の一端部の内周に、当該一端部をボールねじ(20)の
ボールナット(22)として機能させるためのねじ溝
(22a)を、前記研削加工された外周を基準として所
定精度に研削加工する工程とを含む電動シリンダ装置の
製造方法により、上述した課題を解決する。
置によれば、請求項3の電動シリンダ装置と同様の作用
効果を奏することができる。
係る電動シリンダ装置を示すものであり、各図において
図8〜図10の電動シリンダ装置と共通する部分には同
一符号を付してある。
動シリンダ装置A1は、モータ11にて発生した回転運
動が減速機構8を介してボールねじ20のねじ軸21に
伝達され、そのねじ軸21の回転がボールナット22の
直線運動に変換され、その直線運動に応じてボールスプ
ライン40の中空のスプライン軸41が軸方向に駆動さ
れる点で、上述した図8の電動シリンダ装置A0と共通
する。しかしながら、従来の装置A0では、ボールナッ
ト7とスプライン軸16(図8参照)とが別部材として
構成されていたのに対して、本実施形態の電動シリンダ
装置A1は、スプライン軸41の一端部の内周にねじ溝
22aが一体に形成され、それによりスプライン軸41
の一端部がボールナット22として機能する。
ライン軸41の一端部を拡大して示す図であり、図3は
その一端部の平面図、図4は軸方向断面図である。これ
らの図から明らかなように、ボールナット22は、ねじ
軸21のねじ溝21aに対応してスプライン軸41の内
周面に形成されたねじ溝22aと、ねじ軸21の回転に
伴って両ねじ溝21a、22aの間をねじ溝22aの一
端まで転走したボール(転動体)6をねじ溝22aの他
端へ戻すべくスプライン軸41に取り付けられたリター
ンチューブ24と、そのリターンチューブ24を所定位
置に保持すべくスプライン軸41の外周の切欠平面部4
1bにボルト25を用いて固定されたチューブホルダ2
6とを有している。また、スプライン軸41の一端に
は、ねじ軸21の外周と接触する環状のシール部材27
が止め輪28を用いて装着されている。
詳細を示すものである。このボールスプライン40は、
操作アームとしてのスプライン軸41の一端部にボール
ナット22が一体に設けられている点を除き、一般のボ
ールスプラインと同様の構成を有している。すなわち、
スプライン軸41の外周を3等分する位置には、2条で
一組をなすスプライン溝41aがスプライン軸41の軸
線と平行に形成されており、スプライン外筒42の内周
にはそれらスプライン溝41aと協働してボール44を
挟み込むボール転走溝45が形成されている。スプライ
ン外筒42はシリンダ1の他端側(図1の右端側)の内
周に固定されて案内手段として機能する。スプライン外
筒42の内周にはスプライン軸41が抜き取られたとき
のボール44の脱落を防止するリテーナ46が挿入さ
れ、そのリテーナ46は止め輪47により軸方向に抜け
止めされている。リテーナ46には、ボール転走溝45
の一端まで転走したボール44をボール転走溝45の他
端まで戻すための戻し路48が形成されている。止め輪
47の内周にはスプライン軸41の外周に接触する環状
のシール部材49が取り付けられている。
スプライン溝41aの内周にボールナット22のねじ溝
22aを一体に設けたので、ボールナット22とスプラ
イン軸41との間に、従来の収容筒12(図8参照)の
ような大径で質量の嵩む中間部材を設ける必要がない。
従って、スプライン軸41の自由端部に加わる荷重を低
減できる。しかも、ねじ溝22aとスプライン溝41a
とを同一部材に加工しているので、これらの間から組立
誤差を排除でき、両者の同軸度を容易に高められる。こ
れにより、スプライン軸41の自由端に設けられたボー
ルナット22の振れ回りを最小限に抑え、スプライン軸
41を高精度に直線運動させることができるとともに、
ボールねじ20やボールスプライン40の摩耗や損傷を
抑えてそれらの耐久性を向上させることができる。
省略されるため、それによってシリンダ1内に生じたス
ペースを利用してスプライン軸41およびその一端のボ
ールナット22を拡大できる。これにより、ねじ軸21
を大径化してその危険速度を増加させ、ねじ軸21を従
来よりも高速で回転させることができる。また、ねじ軸
21およびボールナット22の大径化によって、それら
の間に介在して荷重を受けるボール6の数が増加する。
このため、ボールねじ20の負荷容量が増えてその定格
荷重が大きくなる。ねじ軸21の座屈荷重に対する強さ
も増す。
1との間に中間部材が存在しないため、部品点数が減少
するとともに、その中間部材を取り付けるロスや、強度
を保持するためのロスがなくなり、電動シリンダ装置の
長さを短縮でき、その結果装置のコンパクト化が可能と
なる。
ねじ溝22aをスプライン軸41の内周に直接形成して
いるので、スプライン軸41の内径とボールナット22
のねじ溝22aの内径とを近似させることができ、この
点でもねじ軸21を大径化できる。さらに、スプライン
軸41をその全長に亘ってほぼ均一な断面に形成できる
ので、スプライン軸41に作用する軸方向の圧縮や引張
荷重、あるいは軸方向と直交する曲げ荷重に対するスプ
ライン軸41の強さを高めてその疲労強度を向上させる
ことができる。
を図7により説明する。この手順では、まずスプライン
軸41の素材となる棒材またはパイプ材の内周および外
周を粗加し(ステップS1)、次いでその素材の両端に
センタ穴を加工する(ステップS2)。その後、加工さ
れたセンタ穴を基準として外周を仕上げ加工し(ステッ
プS3)、その仕上げ加工された外周を基準としてねじ
溝22aが形成される部分を仕上げ加工する(ステップ
S4)。続いて、仕上げ加工された外周を基準として素
材の内周にねじ溝22aを粗加工し(ステップS5)、
さらにセンタ穴を基準として外周にスプライン溝41a
を加工する(ステップS6)。
必要な部位、例えば切欠平面部41bやリターンチュー
ブ24を取り付ける穴を、既に形成されたねじ溝22a
に合わせて加工し(ステップS7)、続いてねじ溝22
aおよびスプライン溝41aの両者に対して焼き入れ焼
戻しの熱処理を行なう(ステップS8)。
し、まずセンタ穴を研削加工する(ステップS9)。続
いて、研削されたセンタ穴を基準として素材の外周を研
削仕上げし(ステップS10)、さらにセンタ穴を基準
としてスプライン溝41aを研削仕上げする(ステップ
S11)。次に、外周の研削面を基準としてねじ溝22
aが形成された部分の内周を研削仕上げし(ステップS
12)、その後、外周の研削面を基準としてねじ溝22
aを研削仕上げする(ステップS13)。以上により加
工工程を終了し、その後、リターンチューブ24やチュ
ーブホルダ26を組み付ける(ステップS14)。これ
によりスプライン軸41が完成する。
宜変更、省略、追加が可能である。例えばステップS1
0とステップS11は同一個所を基準として研削してい
るので、順番を入れ替えてもよい。ステップS12とス
テップS13についても順番を変更可能である。スプラ
イン溝41aとねじ溝22aとの同軸度を向上させるた
めには、ステップS8、ステップS9、ステップS11
およびステップS13が特に重要である。
スプライン軸41の先端部(図1の右端部)およびハウ
ジング2にはユニバーサルジョイント51,52がそれ
ぞれ取り付けられる。これらのユニバーサルジョイント
51,52は、例えば図11の6軸パラレルリンク機構
100に電動シリンダ装置A0を組み込む場合に使用さ
れる。
は、一対のフレーム101,102と、6本の電動シリ
ンダ装置A0…とを有しており、各フレーム101,1
02にはそれぞれ3本のアーム101a…,102a…
が設けられている。下部フレーム101の各アーム10
1aには、それぞれ二本の電動シリンダ装置A0のハウ
ジング2がユニバーサルジョイント52を介して連結さ
れる。そして、同一のアーム101a上に取り付けられ
た二本の電動シリンダ装置A0のスプライン軸41は、
ユニバーサルジョイント51を介して上側フレーム10
2の異なるアーム102aに連結される。
シリンダ装置A0のスプライン軸41の伸縮に応じてフ
レーム101,102とハウジング2およびスプライン
軸41との連結点に種々の方向の回転変位が生じる。そ
のためにユニバーサルジョイント51,52が必要とな
る。
は、スプライン軸41をその軸線の回りに回転自在に支
持するスラストベアリング53およびラジアルベアリン
グ54が組み込まれている点で、ハウジング2側のユニ
バーサルジョイント52と異なっている。これらのベア
リング53,54は、上述した6軸パラレルリンク機構
100でスプライン軸41とフレーム102との間に生
じるねじり変位を許容するために設けられたものであ
る。なお、図11の使用例の場合、ユニバーサルジョイ
ント51に代えて球面軸受けを利用してもよい。
0のスプライン軸41を操作アームとして、スプライン
外筒42を操作アームに対する案内手段としてそれぞれ
使用したが、本発明はボールスプラインを使用する例に
限定されない。すなわち、操作アームはそれと連結され
る駆動対象によって回り止めされる場合があり、そのよ
うな場合には案内手段としてボールブッシュやすべりブ
ッシュ等の回り止め機能を有しないものを利用し、操作
アームをそれらブッシュと嵌合する中空軸として構成で
きる。図1のユニバーサルジョイント51や球面軸受け
が使用される場合のように、駆動対象によって操作アー
ムを回り止めできない場合でも、ボールブッシュやすべ
りブッシュと操作アームとの間にすべりキー等を追加し
て操作アームを回り止めすることもできる。
一材料にて構成される必要はない。例えば操作アームの
一端部に別部材からなる筒体を焼き嵌めや圧入等の固着
手段を用いて脱着不能に嵌合させ、その後に操作アーム
の外周形状やねじ溝をそれぞれ加工してもよい。要は、
操作アームの案内手段にて案内される部分と、ねじ溝が
それらの加工後の組立工程を経ることなく一体化されて
いる構成であれば、本発明でいう「ねじ溝が一体に設け
られた」概念に含まれる。
作アームの一端部の内周にボールナットのねじ溝を一体
に設けたため、操作アームの自由端部に加わる荷重を低
減できるとともに、ボールナットのねじ溝と操作アーム
の案内手段にて案内される部分との間の組立誤差を排除
してねじ軸と操作アームとの同軸度を高めることがで
き、その結果、操作アームの振れ回わりを最小限に抑え
ることができる。したがって、スプライン軸の高度な直
線運動を確保することができるとともに、ボールねじお
よびボールスプラインの摩耗や損傷を防いでそれらの耐
久性を向上させることができる。
ら両者を連結するための中間部材が省略され、それに伴
ってシリンダ内に生じたスペースを利用して操作アーム
およびボールナットを拡大してねじ軸を大径化できるの
で、ねじ軸の危険速度を増加させてねじ軸を従来よりも
高速で回転させることができるとともに、ねじ軸とボー
ルナットとの間に介在して荷重を受ける転動体の数を増
やしてボールねじの負荷容量を増大させ、それによりボ
ールねじの定格荷重を従来よりも大きくできる。ねじ軸
の大径化によってその座屈強度も増加させることができ
る。
に中間部材が存在しないため、部品点数が減少するとと
もに、その中間部材を取り付けるロスや、強度を保持す
るためのロスがなくなり、電動シリンダ装置の長さを短
縮でき、その結果装置のコンパクト化が可能となる。
とすることができ、スプライン軸に加わる各種の荷重に
対して充分な強度を確保することができるとともに疲労
強度の向上を図ることができる。
シリンダ軸線に沿った断面図。
じとボールスプラインとの連結部分を拡大して示す図。
プラインを一部破断して示した斜視図。
示した正面図。
程図。
た断面図。
じとボールスプラインとの連結部分を拡大して示す図。
レルリンク機構の斜視図。
Claims (4)
- 【請求項1】 筒状のシリンダと、 このシリンダの内部に配置されるボールねじと、 前記シリンダの一端側で前記ボールねじのねじ軸と連結
されて当該ねじ軸を回転駆動するモータと、 前記シリンダの他端側に設けられた案内手段と、 前記案内手段により、前記ねじ軸の軸線に沿って前記シ
リンダの他端側から突出動作可能に支持された操作アー
ムと、 を具備する電動シリンダ装置において、 前記操作アームの一端部の内周に、当該一端部を前記ボ
ールねじのボールナットとして機能させるためのねじ溝
が一体に設けられたことを特徴とする電動シリンダ装
置。 - 【請求項2】 前記シリンダの他端側にボールスプライ
ンが配置され、そのボールスプラインの外筒が前記案内
手段として、スプライン軸が前記操作アームとしてそれ
ぞれ使用されていることを特徴とする請求項1記載の電
動シリンダ装置。 - 【請求項3】 前記操作アームとしての前記スプライン
軸の外周および前記スプライン溝が前記スプライン軸に
形成された所定の加工基準部に対して所定精度に研削加
工され、その研削加工された外周を基準として前記ねじ
溝が所定精度に研削加工されていることを特徴とする請
求項2記載の電動シリンダ装置。 - 【請求項4】 筒状のシリンダと、このシリンダの内部
に配置されるボールねじと、前記シリンダの一端側で前
記ボールねじのねじ軸と連結されて当該ねじ軸を回転駆
動するモータと、前記シリンダの他端側に設けられた案
内手段と、前記案内手段により、前記ねじ軸の軸線に沿
って前記シリンダの他端側から突出動作可能に支持され
た操作アームとを具備し、前記シリンダの他端側にボー
ルスプラインが配置され、そのボールスプラインの外筒
が前記案内手段として、スプライン軸が前記操作アーム
としてそれぞれ使用された電動シリンダ装置の製造方法
において、 前記スプライン軸の外周および前記スプライン溝を前記
スプライン軸に形成された所定の加工基準部に対して所
定精度に研削加工する工程と、 前記スプライン軸の一端部の内周に、当該一端部を前記
ボールねじのボールナットとして機能させるためのねじ
溝を、前記研削加工された外周を基準として所定精度に
研削加工する工程と、を含むことを特徴とする電動シリ
ンダ装置の製造方法。
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