JPH11300481A - 半導体製造装置用真空チャンバ及びその製造方法 - Google Patents
半導体製造装置用真空チャンバ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH11300481A JPH11300481A JP10663598A JP10663598A JPH11300481A JP H11300481 A JPH11300481 A JP H11300481A JP 10663598 A JP10663598 A JP 10663598A JP 10663598 A JP10663598 A JP 10663598A JP H11300481 A JPH11300481 A JP H11300481A
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/12—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating the heat being generated by friction; Friction welding
- B23K20/122—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating the heat being generated by friction; Friction welding using a non-consumable tool, e.g. friction stir welding
- B23K20/1265—Non-butt welded joints, e.g. overlap-joints, T-joints or spot welds
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型の設備を使用することなく、低コストで
組み立てることができ、寸法精度が高い半導体製造装置
用真空チャンバ及びその製造方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】 真空容器として使用されるアルミニウム
製真空チャンバにおいて、角筒状の側壁部1の上に、階
段状の突合せ部4を有する表面蓋2を嵌合させ、表面蓋
2の周縁部の上面をアルミニウム又はアルミニウム合金
よりも硬い金属からなるツール2を自転させた状態で接
触させ、この周縁部に沿ってツール3を移動させる。こ
れにより、ツール3と表面蓋2との摩擦熱を利用して表
面蓋2と側壁部1の上端面とが固相接合される。
組み立てることができ、寸法精度が高い半導体製造装置
用真空チャンバ及びその製造方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】 真空容器として使用されるアルミニウム
製真空チャンバにおいて、角筒状の側壁部1の上に、階
段状の突合せ部4を有する表面蓋2を嵌合させ、表面蓋
2の周縁部の上面をアルミニウム又はアルミニウム合金
よりも硬い金属からなるツール2を自転させた状態で接
触させ、この周縁部に沿ってツール3を移動させる。こ
れにより、ツール3と表面蓋2との摩擦熱を利用して表
面蓋2と側壁部1の上端面とが固相接合される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置にお
いて使用される真空チャンバ及びその製造方法に関し、
特にアルミニウム又はアルミニウム合金製の真空チャン
バ及びその製造方法に関する。
いて使用される真空チャンバ及びその製造方法に関し、
特にアルミニウム又はアルミニウム合金製の真空チャン
バ及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、半導体製造装置においては、超高
真空かつウルトラクリーンな性能を要求される真空チャ
ンバが使用されている。この真空チャンバは、アルミニ
ウム又はアルミニウム合金製(以下、アルミニウム又は
アルミニウム合金を総称してアルミニウムという)の厚
板又は鍛造品等から削りだす方法、アルミニウムの板材
を組み合わせて溶融溶接する方法、アルミニウムの板材
を組み合わせてろう付けする方法(特開平7−2510
58号公報)及びろう材を接合部に挿入しかつレーザー
又は電子ビーム溶接を用いる方法(特開平9−1942
4号公報)により製造されている。
真空かつウルトラクリーンな性能を要求される真空チャ
ンバが使用されている。この真空チャンバは、アルミニ
ウム又はアルミニウム合金製(以下、アルミニウム又は
アルミニウム合金を総称してアルミニウムという)の厚
板又は鍛造品等から削りだす方法、アルミニウムの板材
を組み合わせて溶融溶接する方法、アルミニウムの板材
を組み合わせてろう付けする方法(特開平7−2510
58号公報)及びろう材を接合部に挿入しかつレーザー
又は電子ビーム溶接を用いる方法(特開平9−1942
4号公報)により製造されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、厚板又は鍛造
品等から削り出すことによりチャンバを成形する方法に
おいては、大型のチャンバを製造する場合に、材料費及
び切削加工費が高くなる上に材料の無駄が多く発生し
て、製造コストが極めて高くなり過ぎるという問題があ
る。
品等から削り出すことによりチャンバを成形する方法に
おいては、大型のチャンバを製造する場合に、材料費及
び切削加工費が高くなる上に材料の無駄が多く発生し
て、製造コストが極めて高くなり過ぎるという問題があ
る。
【0004】また、アルミニウム板材を組み合わせてM
IG溶接又はTIG溶接等により溶接する方法は、条件
管理がシビアで欠陥が生じた場合の補修コストが高いと
共に、溶接作業の際に各パーツが溶接熱により高温に加
熱されるため歪が生じて寸法精度の悪化を招く。
IG溶接又はTIG溶接等により溶接する方法は、条件
管理がシビアで欠陥が生じた場合の補修コストが高いと
共に、溶接作業の際に各パーツが溶接熱により高温に加
熱されるため歪が生じて寸法精度の悪化を招く。
【0005】アルミニウム板材を組み合わせてろう付け
する方法は、大型のチャンバを製造する場合、大型の加
熱炉が必要となってしまうという問題がある。
する方法は、大型のチャンバを製造する場合、大型の加
熱炉が必要となってしまうという問題がある。
【0006】レーザー及び電子ビームにより溶接する方
法も、溶接のための設備が大型化し、溶接機及びそのシ
ステムに必要なコストが高くなってしまうという問題が
ある。
法も、溶接のための設備が大型化し、溶接機及びそのシ
ステムに必要なコストが高くなってしまうという問題が
ある。
【0007】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、大型の設備を使用することなく、低コスト
で組み立てることができ、寸法精度が高い半導体製造装
置用真空チャンバ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
のであって、大型の設備を使用することなく、低コスト
で組み立てることができ、寸法精度が高い半導体製造装
置用真空チャンバ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体製造
装置用真空チャンバは、底板及び/又は表面蓋と、側壁
部材とがアルミニウム又はアルミニウム合金により別体
で作られていて、側壁部材と底板及び/又は表面蓋とが
アルミニウム又はアルミニウム合金より硬い金属との摩
擦熱を使用した摩擦接合法により接合されて構成されて
いることを特徴とする。
装置用真空チャンバは、底板及び/又は表面蓋と、側壁
部材とがアルミニウム又はアルミニウム合金により別体
で作られていて、側壁部材と底板及び/又は表面蓋とが
アルミニウム又はアルミニウム合金より硬い金属との摩
擦熱を使用した摩擦接合法により接合されて構成されて
いることを特徴とする。
【0009】本発明に係る半導体製造装置用真空チャン
バの製造方法は、底板及び/又は表面蓋と、側壁部材と
をアルミニウム又はアルミニウム合金により別体で製造
し、この側壁部材と底板及び/又は表面蓋とをアルミニ
ウム又はアルミニウム合金より硬い金属との摩擦熱を使
用した摩擦接合法により接合することを特徴とする。
バの製造方法は、底板及び/又は表面蓋と、側壁部材と
をアルミニウム又はアルミニウム合金により別体で製造
し、この側壁部材と底板及び/又は表面蓋とをアルミニ
ウム又はアルミニウム合金より硬い金属との摩擦熱を使
用した摩擦接合法により接合することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について添
付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の
実施例方法を示す斜視図である。真空チャンバを角筒状
の側壁部1と、この側壁部1の上に配置される表面蓋2
とに分割して、各部材を別体で製造する。表面蓋2の側
壁1の上端に重ねられる下面の周縁部は、階段状に成形
されており、周縁部の外側部分が薄く、内側部分が厚く
なっている。そして、側壁部1の上端面も表面蓋2の下
面周縁部と整合するように階段状に成形されている。即
ち、側壁部1の上端面はその外面側の部分が高く、内面
側の部分が低くなっている。そして、この表面蓋2を側
壁部1の上端に嵌合する。表面蓋2及び側壁部1はアル
ミニウム又はアルミニウム合金材よりなり、鋳造、押出
し、圧延及び鍛造等の方法により製造することができ
る。
付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の
実施例方法を示す斜視図である。真空チャンバを角筒状
の側壁部1と、この側壁部1の上に配置される表面蓋2
とに分割して、各部材を別体で製造する。表面蓋2の側
壁1の上端に重ねられる下面の周縁部は、階段状に成形
されており、周縁部の外側部分が薄く、内側部分が厚く
なっている。そして、側壁部1の上端面も表面蓋2の下
面周縁部と整合するように階段状に成形されている。即
ち、側壁部1の上端面はその外面側の部分が高く、内面
側の部分が低くなっている。そして、この表面蓋2を側
壁部1の上端に嵌合する。表面蓋2及び側壁部1はアル
ミニウム又はアルミニウム合金材よりなり、鋳造、押出
し、圧延及び鍛造等の方法により製造することができ
る。
【0011】なお、真空チャンバの底板も同様にアルミ
ニウム又はアルミニウム合金からなり、側壁部1と別体
で成形することもでき、また、側壁部1と一体的に成形
することもできる。
ニウム又はアルミニウム合金からなり、側壁部1と別体
で成形することもでき、また、側壁部1と一体的に成形
することもできる。
【0012】表面蓋2を側壁部1の上に嵌合した後、表
面蓋2の上面の周縁部をツール3により摩擦接合する。
即ち、アルミニウム又はアルミニウム合金より硬い金属
からなる円柱状のツール3を自転させつつ、このツール
3を表面蓋2の周縁部に接触させてツール3と表面蓋2
とを摺動させる。この摺動により摩擦熱が発生し、この
摩擦熱により表面蓋2と、側壁部1との突合せ部4が加
熱され、局部的に攪拌することによって表面蓋2と側壁
部1とが接合される。そして、このツール3を表面蓋2
の周縁部に沿って移動させることにより、表面蓋2の周
縁部全体が側壁部1に接合される。これにより、図2
(a)に示すように、表面蓋2の周縁部に沿って材料が
溶融凝固した接合部5が形成され、真空チャンバが完成
する。
面蓋2の上面の周縁部をツール3により摩擦接合する。
即ち、アルミニウム又はアルミニウム合金より硬い金属
からなる円柱状のツール3を自転させつつ、このツール
3を表面蓋2の周縁部に接触させてツール3と表面蓋2
とを摺動させる。この摺動により摩擦熱が発生し、この
摩擦熱により表面蓋2と、側壁部1との突合せ部4が加
熱され、局部的に攪拌することによって表面蓋2と側壁
部1とが接合される。そして、このツール3を表面蓋2
の周縁部に沿って移動させることにより、表面蓋2の周
縁部全体が側壁部1に接合される。これにより、図2
(a)に示すように、表面蓋2の周縁部に沿って材料が
溶融凝固した接合部5が形成され、真空チャンバが完成
する。
【0013】本実施例の接合方法は、側壁部材1の上に
嵌合され載置された表面蓋2の上面にツール3を接触さ
せ、ツール3と表面蓋2との間の摩擦熱を利用して表面
蓋2と側壁部材1とを固相接合する方法であり、側壁部
材1と表面蓋2とが溶融温度にまで達しないため、溶接
熱による歪の影響が少なくて済むと同時に、突合せ部4
の強度低下も小さくて済むという利点がある。従って、
真空チャンバのような構造物の場合、これを少なくとも
表面蓋及び/又は底板と、側壁部材とに分割したアルミ
ニウム製の部材と製造し、これを摩擦接合により接合す
ることによって、厚板又は鍛造品等から削り出す必要が
ないと共に、パーツの点数を減らし、製作工数とコスト
を低減させることが可能となる。
嵌合され載置された表面蓋2の上面にツール3を接触さ
せ、ツール3と表面蓋2との間の摩擦熱を利用して表面
蓋2と側壁部材1とを固相接合する方法であり、側壁部
材1と表面蓋2とが溶融温度にまで達しないため、溶接
熱による歪の影響が少なくて済むと同時に、突合せ部4
の強度低下も小さくて済むという利点がある。従って、
真空チャンバのような構造物の場合、これを少なくとも
表面蓋及び/又は底板と、側壁部材とに分割したアルミ
ニウム製の部材と製造し、これを摩擦接合により接合す
ることによって、厚板又は鍛造品等から削り出す必要が
ないと共に、パーツの点数を減らし、製作工数とコスト
を低減させることが可能となる。
【0014】なお、部材1はアルミニウム押し出し形材
又は鋳物を使用することによって、より一層製造コスト
を低減することができる。
又は鋳物を使用することによって、より一層製造コスト
を低減することができる。
【0015】また、突合せ部4の形状は、図2(a)に
示す上記実施例のように、階段状のものに限らず、図2
(b)に示すように、側壁部材1の上端面の厚さ方向中
央部に突起6を有するものであってもよく、この突合せ
部の形状は、種々選択することができる。
示す上記実施例のように、階段状のものに限らず、図2
(b)に示すように、側壁部材1の上端面の厚さ方向中
央部に突起6を有するものであってもよく、この突合せ
部の形状は、種々選択することができる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体製造装置用アルミニウム製真空チャンバを大型の
設備を使用することなく固相接合により低コストで組み
立てることができる。
半導体製造装置用アルミニウム製真空チャンバを大型の
設備を使用することなく固相接合により低コストで組み
立てることができる。
【図1】本発明の実施例方法を示す模式的斜視図であ
る。
る。
【図2】(a)はその突合せ形状を示す図1の一部拡大
断面図、(b)は突合せ形状の変形例を示す一部拡大断
面図である。
断面図、(b)は突合せ形状の変形例を示す一部拡大断
面図である。
1:側壁部材 2:表面蓋 3:ツール 4:突合せ部 5:接合部 6:突起
Claims (8)
- 【請求項1】 底板及び/又は表面蓋と、側壁部材とが
アルミニウム又はアルミニウム合金により別体で作られ
ていて、側壁部材と底板及び/又は表面蓋とがアルミニ
ウム又はアルミニウム合金より硬い金属との摩擦熱を使
用した摩擦接合法により接合されて構成されていること
を特徴とする半導体製造装置用真空チャンバ。 - 【請求項2】 前記アルミニウム及びアルミニウム合金
より硬い金属からなるツールを自転させつつ前記部材に
対し相対的に移動させて摩擦熱を発生させることを特徴
とする請求項1に記載の半導体製造装置用真空チャン
バ。 - 【請求項3】 前記部材同士が突き合わされる開先部
は、階段状に屈曲していることを特徴とする請求項1又
は2に記載の半導体製造装置用真空チャンバ。 - 【請求項4】 前記屈曲部は内面から板厚の10乃至5
0%の位置であることを特徴とする請求項3に記載の半
導体製造装置用真空チャンバ。 - 【請求項5】 底板及び/又は表面蓋と、側壁部材とを
アルミニウム又はアルミニウム合金により別体で製造
し、この側壁部材と底板及び/又は表面蓋とをアルミニ
ウム又はアルミニウム合金より硬い金属との摩擦熱を使
用した摩擦接合法により接合することを特徴とする半導
体製造装置用真空チャンバの製造方法。 - 【請求項6】 前記アルミニウム又はアルミニウム合金
より硬い金属からなるツールを自転させつつ、前記部材
に対し相対的に移動させて摩擦熱を発生させることを特
徴とする請求項5に記載の半導体製造装置用真空チャン
バの製造方法。 - 【請求項7】 前記部材の突き合せ部に階段状に屈曲し
た開先を形成することを特徴とする請求項5又は6に記
載の半導体製造装置用真空チャンバの製造方法。 - 【請求項8】 前記屈曲部は内面から板厚の10乃至5
0%の位置であることを特徴とする請求項7に記載の半
導体製造装置用真空チャンバの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10663598A JPH11300481A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 半導体製造装置用真空チャンバ及びその製造方法 |
KR1019990013293A KR19990083213A (ko) | 1998-04-16 | 1999-04-15 | 진공챔버부재와 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10663598A JPH11300481A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 半導体製造装置用真空チャンバ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11300481A true JPH11300481A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14438584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10663598A Pending JPH11300481A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 半導体製造装置用真空チャンバ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11300481A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1188508A2 (en) * | 2000-09-13 | 2002-03-20 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welding |
EP1206995A2 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-22 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welding method |
US6474533B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-11-05 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welding method |
US6582831B2 (en) | 2000-02-25 | 2003-06-24 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welded body and frame member therefor |
JP2011011239A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Nippon Light Metal Co Ltd | 蓋接合方法 |
JP2011115846A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 摩擦攪拌接合方法 |
JP2011115847A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 摩擦攪拌接合方法及びその方法による製品 |
JP2011115845A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 摩擦攪拌接合方法及び摩擦攪拌接合製品 |
WO2015122441A1 (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-20 | アイセル株式会社 | 構造体の製造方法、構造体及び熱交換体 |
-
1998
- 1998-04-16 JP JP10663598A patent/JPH11300481A/ja active Pending
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6779706B2 (en) | 1999-11-24 | 2004-08-24 | Hitachi, Ltd. | Frame member for friction stir welding |
US6474533B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-11-05 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welding method |
US6582831B2 (en) | 2000-02-25 | 2003-06-24 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welded body and frame member therefor |
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AU777525B2 (en) * | 2000-11-17 | 2004-10-21 | Hitachi Limited | Friction stir welding method |
EP1206995A3 (en) * | 2000-11-17 | 2004-01-07 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welding method |
EP1206995A2 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-22 | Hitachi, Ltd. | Friction stir welding method |
JP2011011239A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Nippon Light Metal Co Ltd | 蓋接合方法 |
JP2011115846A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 摩擦攪拌接合方法 |
JP2011115847A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 摩擦攪拌接合方法及びその方法による製品 |
JP2011115845A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 摩擦攪拌接合方法及び摩擦攪拌接合製品 |
WO2015122441A1 (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-20 | アイセル株式会社 | 構造体の製造方法、構造体及び熱交換体 |
CN105209213A (zh) * | 2014-02-14 | 2015-12-30 | 亚伊色尔株式会社 | 构造体的制造方法、构造体和热交换体 |
US10093075B2 (en) | 2014-02-14 | 2018-10-09 | Isel Co., Ltd. | Method for manufacturing structure and structure |
CN105209213B (zh) * | 2014-02-14 | 2019-03-15 | 亚伊色尔株式会社 | 构造体的制造方法、构造体和热交换体 |
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