JPH11284398A - 基板バックアップ装置 - Google Patents

基板バックアップ装置

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JPH11284398A
JPH11284398A JP10098332A JP9833298A JPH11284398A JP H11284398 A JPH11284398 A JP H11284398A JP 10098332 A JP10098332 A JP 10098332A JP 9833298 A JP9833298 A JP 9833298A JP H11284398 A JPH11284398 A JP H11284398A
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backup
substrate
board
unit
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JP10098332A
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Yoshiro Shinoda
芳郎 篠田
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Shibaura Mechatronics Corp
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Shibaura Mechatronics Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】基板の品種変更に伴う段取り換え作業を容易か
つ短時間に行なうこと。 【解決手段】プリント基板5を支持するバックアップ部
29a乃至29fと、このバックアップ部を昇降動させ
るエアシリンダ30とを有するバックアップユニット2
8a乃至28fを、プリント基板5の搬送方向Aに配置
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板等の
基板を支持する基板バックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、プリント基板上にICチップ等
の電子部品を装着する電子部品装着装置においては、作
業位置に位置決めされたプリント基板に位置ずれや撓み
等が生じないように、基板バックアップ装置を用いてプ
リント基板を下方から支持するようにしている。
【0003】以下に、従来の基板バックアップ装置につ
いて図面を用いて説明する。
【0004】図8において基板バックアップ装置1は、
4本のガイドバー2により昇降動自在に支持され不図示
の昇降駆動源により昇降動されるベースプレート3と、
ベースプレート3上に配置されたバックアップブロック
4とを有する。そして、プリント基板5が、不図示の搬
送ベルトによりガイドレール6a、6bに沿って搬送さ
れ、不図示のストッパに当接して作業位置Pに位置決め
されると、ベースプレート3が上昇してプリント基板5
はバックアップブロック4の基板支持面4aにて下方か
ら支持される。次に、電子部品装着ヘッド7にてプリン
ト基板5上に電子部品8が装着される。この後、ベース
プレート3が下降して、プリント基板5は搬送ベルトに
より搬送される。
【0005】また、図9に示す基板バックアップ装置1
0は、4本のガイドバー2により昇降動自在に支持さ
れ、不図示の昇降駆動源により昇降動されるベースプレ
ート3と、このベースプレート3上でプリント基板5に
対応した位置に配置されたバックアップピン11とを有
する。そして、作業位置Pに位置決めされたプリント基
板5をバックアップピン11で支持する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図8の
ような基板バックアップ装置1によれば、品種変更等に
より搬送方向に長さが異なるプリント基板5、或いは仮
に長さが同じであっても、スルーホールやパターン突出
部、または切欠き等が存在するプリント基板5、底面に
先付けの電子部品が装着された両面実装用のプリント基
板5に変更される等、プリント基板5の形状が変更され
た場合、バックアップブロック4を変更後の新しいプリ
ント基板5の形状に合ったものに交換しなければなら
ず、そのための段取り換え作業に長時間を要し、作業能
率が低下するという問題を有していた。また、プリント
基板5の種類に合わせて何種類ものバックアップブロッ
ク4を用意しておく必要があり、バックアップブロック
4の管理が煩雑になるという問題を有していた。
【0007】また、図9の基板バックアップ装置10に
よれば、上述のように品種変更等によりプリント基板5
の形状が変更された場合、バックアップピン11の配置
位置を変更後の新しいプリント基板5に合わせて変更し
なければならない。この場合、バックアップピン11の
管理は比較的容易ではあるものの、やはりバックアップ
ピン11の配置換えのための段取り換え作業に長時間を
要し、作業能率が低下するという問題を有していた。
【0008】そして、近年、さらに多品種少ロット化、
並びに両面実装基板化が進みつつあり、このような段取
り換え作業に伴う作業能率の低下はさらに増加する傾向
にある。
【0009】本発明は、基板の品種変更に伴う段取り換
え作業を容易かつ短時間に行なうことができる基板バッ
クアップ装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、搬送手段にて
搬送されて作業位置に位置付けられた基板を支持する基
板バックアップ装置において、前記作業位置に位置付け
られた前記基板を支持するためのバックアップユニット
を、前記基板の搬送方向に複数配列したことを特徴とす
る。
【0011】また、本発明は、搬送手段にて搬送されて
作業位置に位置付けられた基板を支持する基板バックア
ップ装置において、前記作業位置に位置付けられた前記
基板を支持するためのバックアップユニットを、前記基
板の搬送方向並びに前記搬送方向と直交する方向に枡目
状に配列したことを特徴とする。
【0012】これにより、本発明によれば、基板の品種
に応じて、複数のバックアップユニットの中から今回の
基板に応じたバックアップユニットを選択し、使用する
ので、基板の品種の変更に伴う段取り換え作業を容易か
つ短時間に行なうことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態を図面
を用いて説明する。
【0014】図1は、本発明に係る基板バックアップ装
置を適用した電子部品装着装置の第1の実施の形態の斜
視図、図2は、本発明に係る基板バックアップ装置の正
面図、図3は、本発明に係る基板バックアップ装置の構
成を示すブロック図である。
【0015】図において、電子部品装着装置20は、プ
リント基板5を搬送する搬送手段21と、プリント基板
5に電子部品8を装着する電子部品装着ヘッド22と、
作業位置に位置決めされたプリント基板5を支持する基
板バックアップ装置23と、制御部24(図3)とを有
する。
【0016】搬送手段21は、プリント基板5の両端部
をガイドする一対のガイドレール21a、21bと、ガ
イドレール21a、21bに沿ってプリント基板5を搬
送する不図示の搬送ベルトと、搬送されたプリント基板
5を作業位置Pで停止させる不図示のストッパ手段とを
有し、プリント基板5を矢印A方向へ搬送する。
【0017】電子部品装着ヘッド22は、吸着ノズル2
5を有し、不図示の駆動手段にてX−Y−Z方向に移動
自在に支持され、不図示の電子部品供給手段にて供給さ
れる電子部品8を作業位置Pに位置決めされたプリント
基板5上の所定位置に装着する。
【0018】基板バックアップ装置23は、4本のガイ
ドバー26により昇降動自在に支持され不図示の昇降駆
動源により昇降動されるベースプレート27と、このベ
ースプレート27に、プリント基板5の搬送方向Aに並
設された6つのバックアップユニット28a乃至28f
とを有する。
【0019】ここで、バックアップユニット28a乃至
28fは、同一構造であるのでバックアップユニット2
8aについてのみ説明する。
【0020】図2に示すように、バックアップユニット
28aは、バックアップ部29aと、駆動手段としての
エアシリンダ30とを有する。バックアップ部29a
は、上面に基板支持面31aが形成されるとともに、ベ
ースプレート27に設けられた不図示のガイド機構にて
上下動自在な一対のガイドロッド32、33が連結され
る。エアシリンダ30は、ベースプレート27を貫通し
て固定されるとともに、作動ロッド34の作動端をバッ
クアップ部29aの底部に固定する。また、エアシリン
ダ30は電磁弁35を介して圧縮ポンプ36に接続され
る。そして、バックアップユニット28aは、エアシリ
ンダ30の作動により、バックアップ部29aをプリン
ト基板5の支持に供する動作位置(図2に2点鎖線で示
す位置)と、動作位置よりも下方に設定される待機位置
(図2に実線で示す位置)との間で昇降動される。な
お、待機位置は、ベースプレート27が上昇したときに
バックアップ部29a乃至29fが、プリント基板5の
下面やパターン突出部等に接触することがない高さに設
定する。
【0021】制御部24は、プリント基板5に関する情
報Iを入力する入力部37、電磁弁35、並びに電子部
品装着ヘッド22の不図示の駆動手段とに接続される。
そして、制御部24は、入力部37にて入力された基板
情報Iに基いてバックアップユニット28a乃至28f
の中から今回供給されるプリント基板5に応じたバック
アップユニットを選択し、電磁弁35を制御して選択さ
れたバックアップユニットのエアシリンダ30に圧縮空
気を供給し、バックアップ部を動作位置に位置付ける。
また、制御部24は、電子部品装着ヘッド22をX−Y
−Z方向に移動制御する。なお、基板情報Iとは、プリ
ント基板5の縦横寸法および、スルーホール、パターン
突出部、切欠き、先付け電子部品等の位置、大きさ等で
ある。
【0022】次に、裏面にパターン突出部を有するプリ
ント基板5に対して電子部品8を実装する場合を例にあ
げ、作動について説明する。
【0023】電子部品8の実装動作を行なうにあたり、
まず、入力部37にて基板情報Iを入力する。この場
合、基板情報Iとして、プリント基板5の縦横寸法、パ
ターン突出部の位置情報等が入力される。制御部24
は、この基板情報Iに基づいて作業位置Pにおけるプリ
ント基板5のパターン突出部とバックアップユニット2
8a乃至28fとの位置関係を比較し、バックアップユ
ニット28a乃至28fの中から今回のプリント基板5
に応じたバックアップユニット、例えば28a、28
b、28d、28e、28fを選択する。そして、選択
されたバックアップユニット28a、28b、28d、
28e、28fのバックアップ部29a、29b、29
d、28e、29fを動作位置に位置付けるとともに、
他のバックアップ部29cを待機位置に維持する。な
お、バックアップユニット28a乃至28fの配置位置
は、予め制御部24の記憶部に記憶させておくものとす
る。
【0024】ペースト塗布工程等の前工程から送られた
プリント基板5は、不図示の搬送ベルトによりガイドレ
ール21a、21bに沿って搬送され、不図示のストッ
パに当接して作業位置Pに位置決めされる。次に、ベー
スプレート27が上昇する。このとき、制御部24によ
りバックアップ部29a、29b、29d、29e、2
9fが動作位置に、他のバックアップ部29cが待機位
置に位置付けられていることから、プリント基板5はバ
ックアップ部29a、29b、29d、28e、29f
の基板支持面31a、31b、31d、31e、31f
にて下方から支持される。次いで、制御部24が電子部
品装着ヘッド22を制御し、不図示の電子部品供給部か
ら供給される電子部品8をプリント基板5上の所定の位
置に装着する。この後、ベースプレート27が下降し、
電子部品8が装着されたプリント基板5は、搬送ベルト
によりリフロー工程等の後工程へと搬送される。
【0025】ここで、品種変更により、例えば、プリン
ト基板5の形状が今回のプリント基板5よりも搬送方向
長さが短く、かつ裏面にパターン突出部がないプリント
基板5に変更された場合、上述と同様にして入力部37
にて入力された変更後の新たなプリント基板5に関する
基板情報Iに基いて、制御部24がバックアップユニッ
ト28a乃至28fの中から新たなプリント基板5に応
じたバックアップユニット、例えば28a乃至28dを
選択し、バックアップ部29a乃至29dを動作位置に
位置付けるように電磁弁35を制御する。これにより、
新たなプリント基板5が作業位置Pに位置付けられたと
きには、バックアップ部29a乃至29dの基板支持面
31a乃至31dにてプリント基板5を支持することが
できる。
【0026】このように、上記第1の実施の形態によれ
ば、バックアップユニット28a乃至28fをプリント
基板5の搬送方向Aに並設し、プリント基板5の品種変
更により、プリント基板5の搬送方向Aの寸法が異なる
プリント基板5、或いは仮に寸法が同じであってもスル
ーホールやパターン突出部、または切欠き等が存在する
プリント基板5、底面に先付けの電子部品が装着された
両面実装用のプリント基板5に変更される等、プリント
基板5の形状が変更された場合、制御部24が、入力部
37にて入力された基板情報Iに基いてバックアップユ
ニット28a乃至28fの中から変更後の新たなプリン
ト基板5に応じたバックアップユニットを選択してバッ
クアップ部を動作位置に位置付けることから、基板バッ
クアップ装置23の段取り換え作業を容易、かつ短時間
で行なうことができる。これにより、プリント基板5の
品種変更に伴う基板バックアップ装置23の段取り換え
作業に要する時間を短縮し、作業能率を向上させること
ができる。
【0027】また、バックアップ部29a乃至29fの
種類が1種類ですむため、バックアップ部29a乃至2
9fの管理がきわめて容易に行なえる。
【0028】次に、第2の実施の形態を図4を用いて説
明する。図4は、本発明に係る基板バックアップ装置を
適用した電子部品装着装置の第2の実施の形態の斜視図
である。
【0029】図4において、バックアップ部29a乃至
29fの基板支持面31a乃至31fに吸着孔40を設
けた点以外は図1と同一であるので同一部品には同一符
号を付し説明を省略する。
【0030】吸着孔40は、真空ポンプ等の不図示の真
空発生装置に接続されており、制御部24によりバック
アップ部29a乃至29fの単位で負圧の供給がON/
OFF制御される。
【0031】そして、電子部品8の実装動作を行なうに
あたり、入力部37にて今回供給されるプリント基板5
の基板情報Iが入力されると、制御部24は、第1の実
施の形態と同様にして、この基板情報Iに基いてバック
アップユニット28a乃至28fの中から今回のプリン
ト基板5に応じたバックアップユニット、例えば28
a、28b、28d、28e、28fを選択し、バック
アップ部29a、29b、29d、29e、20fを動
作位置に位置付ける。
【0032】次いで、搬送手段21にてプリント基板5
が作業位置Pに位置決めされると、制御部24は、ベー
スプレート27を上昇させると共に、動作位置に位置付
けられたバックアップ部29a、29b、29d、29
e、29fの吸着孔40に負圧を供給する。これによ
り、プリント基板5がバックアップ部29a、29b、
29d、29e、29fで支持されるとともに、吸着孔
40にて吸着される。
【0033】本実施の形態によれば、基板支持面31a
乃至31fに吸着孔40を設け、作業位置Pに位置決め
されたプリント基板5をバックアップ部29a、29
b、29d、29e、29fの基板支持面31a、31
b、31d、31e、31fにて下方から支持するとと
もに、吸着孔40で真空吸着することから、上記第1の
実施の形態の効果に加えて次の効果を有する。すなわ
ち、反りを有するプリント基板5や板厚が薄いプリント
基板5であっても、吸着孔40に作用する負圧によって
基板支持面31a、31b、31d、31e、31fに
密着させるがごとくに保持できるため、プリント基板5
の表面、第1の実施の形態においては電子部品8の実装
面を平らに保持することができる。この結果、プリント
基板5が基板支持面31a、31b、31d、31e、
31fから浮き上ることにより生じる実装面の高さにば
らつきに起因する実装ミスが防止できる。
【0034】次に、第3の実施の形態を図5を用いて説
明する。図5は、本発明の第3の実施の形態に係るバッ
クアップ部の斜視図である。
【0035】図5において、バックアップユニットの構
成以外は、図1と同様であるので、同一部品には同一符
号を付しその説明を省略する。
【0036】図5における基板バックアップ装置23
は、バックアップユニット50をプリント基板5の搬送
方向A(行方向)と、搬送方向Aと直交する方向(列方
向)に枡目状に配列する。そして、各バックアップユニ
ット50は、図2に示すバックアップユニット28aと
同様に、エアシリンダ51の駆動により昇降自在とされ
ている。また、エアシリンダ51は、制御部にて駆動制
御される。なお、本実施の形態において、ガイドレール
21a、21bは、その間隔が調整自在に設けられる。
具体的には、ガイドレール21bを基準として、ガイド
レール21aが、例えば送りネジ機構を用いた駆動手段
にて移動できるようになっている。
【0037】そして、電子部品8の実装動作を行なうに
あたり、入力部37にて今回供給されるプリント基板5
の基板情報Iが入力されると、制御部24は、この基板
情報Iに基いてバックアップユニット50の中から今回
のプリント基板5に応じたバックアップユニット50を
選択し、選択されたバックアップユニット50のバック
アップ部52を動作位置に位置付ける。例えば、図5に
示すように、プリント基板5に対応する手前側から1行
乃至3行、および1列乃至6列のバックアップユニット
50のうち、プリント基板5裏面のパターン突出部に対
応する、例えば1行3列及び2行3列のバックアップユ
ニット50を除いたバックアップユニット50を選択
し、これらバックアップユニット50のバックアップ部
52を動作位置に位置付ける。
【0038】この後、搬送手段21によりプリント基板
5が作業位置Pに位置決めされると、制御部24は、ベ
ースプレート27を上昇させ、プリント基板5は、バッ
クアップ部52により支持される。
【0039】このように第3の実施の形態によれば、バ
ックアップユニット50を枡目状に配置し、基板情報I
に応じてこれらのバックアップユニット50選択して用
いるようにしたことから、第1、2の実施の形態の効果
に加えて次の効果を有する。すなわち、入力部37にて
入力された基板情報Iに基いて制御部24がバックアッ
プユニット50の行、列の中から変更後の新たなプリン
ト基板5に応じたバックアップユニット50を選択して
バックアップ部52を動作位置に位置付けることから、
プリント基板の寸法が長さ方向のみならず幅方向におい
ても変更された場合であっても、基板バックアップ装置
23の段取り換え作業を容易、かつ短時間で行なうこと
ができる。そして、これにより、プリント基板5の品種
変更に伴う基板バックアップ装置23の段取り換え作業
に要する時間を短縮し、作業能率を向上させることがで
きる。
【0040】次に、第4の実施の形態を図6を用いて説
明する。図6は、本発明の第4の実施の形態に係るバッ
クアップ部の斜視図である。
【0041】図6において、バックアップ部52の基板
支持面53に吸着孔54を設けた点以外は図5と同一で
あるので、同一部品には同一符号を付しその説明を省略
する。
【0042】吸着孔54は、真空ポンプ等の不図示の真
空発生装置に接続されており、制御部24によりバック
アップ部52の単位で負圧の供給がON/OFF制御さ
れる。
【0043】そして、電子部品8の実装動作を行なうに
あたり、入力部37にて今回供給されるプリント基板5
の基板情報Iが入力されると、制御部24は、この基板
情報Iに基いてバックアップユニット50の中から今回
のプリント基板5に応じたバックアップユニット50を
選択し、バックアップ部52を動作位置に位置付ける。
例えば、図6に示すように、プリント基板5に対応する
手前側から1行乃至3行、および1列乃至6列のバック
アップユニット50のうち、プリント基板5裏面のパタ
ーン突出部に対応する、例えば1行3列及び2行3列の
バックアップユニット50を除いたバックアップユニッ
ト50を選択し、これらバックアップユニット50のバ
ックアップ部52を動作位置に位置付ける。
【0044】この後、搬送手段21にてプリント基板5
が作業位置Pに位置決めされると、制御部24は、ベー
スプレート27を上昇させると共に、動作位置に位置付
けられたバックアップ部52の吸着孔54に負圧を供給
する。これにより、プリント基板5がバックアップ部5
2で支持されるとともに、吸着孔54にて吸着保持され
る。
【0045】本実施の形態によれば、バックアップユニ
ット50を枡目状に配置するとともに、各バックアップ
ユニット50の基板支持面53に吸着孔54を設け、作
業位置Pに位置付けられたプリント基板5をバックアッ
プ部52の基板支持面53で下方から支持するととも
に、吸着孔54で真空吸着することから、プリント基板
5の裏面にパターン突出部がある場合でも、このパター
ン突出部を除くプリント基板5の裏面を基板支持面53
の吸着孔54にて吸着保持することができる。そのた
め、裏面にパターン突出部を有し、しかも反りを有する
プリント基板5や板厚が薄いプリント基板5であっても
基板支持面53に密着させるがごとくに保持でき、プリ
ント基板5の実装面を平らに保持することができる。こ
の結果、プリント基板5が基板支持面53から浮き上る
ことにより生じる実装面の高さのばらつきに起因する実
装ミスを極力防止できる。なお、この効果は、プリント
基板5の裏面に形成されるパターン突出部の数が多くな
るほど有効に作用する。すなわち、図4に示す基板バッ
クアップ装置23では、1つのバックアップユニットが
プリント基板の幅方向全域を受け持つことから、パター
ン突出部を回避するときにはそのパターン突出部に対応
する幅方向全域がバックアップユニットによる不支持状
態となる。これに対して、本実施の形態では、1つのバ
ックアップユニットが受け持つ基板の支持領域が行、列
に分割されることから、パターン突出部とその周囲(1
行3列および2行3列のバックアップユニット50に対
応する領域)だけが不支持状態となるだけで、他の領域
(3行3列のバックアップユニット50に対応する領
域)は支持状態となる。したがって、この領域分だけ確
実にプリント基板5を保持できるのである。
【0046】なお、上記実施の形態において、バックア
ップ部29a乃至29f、52を板状体で形成した例を
用いて説明したが、図7に示すように、支持プレート6
0上に複数のバックアップピン11を配置するものであ
ってもよい。この場合にも、基板情報Iに基いて支持プ
レート60を選択し、選択した支持プレート60を動作
位置に位置付けることにより、第1の実施の形態と同様
の効果を得ることができる。
【0047】また、上記実施の形態において、バックア
ップ部29a乃至29f、52を上下動させる手段とし
てエアシリンダを用いた例で説明したが、他の手段、例
えば、モータとカム機構からなる駆動部と接離動機構の
組み合わせや、モータと送りネジ機構からなる駆動部と
接離動機構の組み合わせ等を用いるようにしてもよい。
つまりは、バックアップ部29a乃至29f、52を動
作位置と待機位置との間で移動させることができる手段
であればたりるのである。
【0048】また、上記実施の形態において、入力部3
7にて入力された基板情報Iに応じて制御部24が、バ
ックアップユニット28a乃至28f、50の中から今
回のプリント基板5に応じたバックアップユニットを選
択し、選択されたバックアップユニットのバックアップ
部を動作位置に位置付ける例を用いて説明したが、これ
らの作業を作業者が行なってもよい。すなわち、エアシ
リンダ30を、例えばジャッキ機構に置換え、今回のプ
リント基板5に応じて作業者がジャッキ機構を操作し
て、プリント基板5に対応するバックアップ部を動作位
置に位置付けるようにしてもよく、また、エアシリンダ
30を、モータと送りネジ機構による上下動手段に置換
え、作業者が今回のプリント基板5に対応するバックア
ップユニットにおける上下動手段のモータの駆動スイッ
チを操作し、バックアップ部を動作位置に位置付けるよ
うにしてもよい。
【0049】また、上記実施の形態において、本発明に
係る基板バックアップ装置を電子部品装着装置に適用し
た例を用いて説明したが、本発明の適用範囲は電子部品
装着装置に限られるものではなく、クリームはんだ印刷
装置、接着剤塗布装置等、他の基板処理装置にも適用可
能である。
【0050】
【発明の効果】本発明によれば、基板の品種変更に伴う
基板バックアップ装置の段取り換え作業を容易、かつ短
時間で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板バックアップ装置を適用した
電子部品装着装置の第1の実施の形態の斜視図である。
【図2】本発明に係る基板バックアップ装置の正面図で
ある。
【図3】本発明に係る基板バックアップ装置の構成を示
すブロック図である。
【図4】本発明に係る基板バックアップ装置を適用した
電子部品装着装置の第2の実施の形態の斜視図である。
【図5】本発明に係る基板バックアップ装置を適用した
電子部品装着装置の第3の実施の形態の斜視図である。
【図6】本発明に係る基板バックアップ装置を適用した
電子部品装着装置の第4の実施の形態の斜視図である。
【図7】本発明の他の実施の形態に係るバックアップ部
の構成を示す斜視図である。
【図8】従来の基板バックアップ装置の構成を示す斜視
図である。
【図9】他の従来の基板バックアップ装置の構成を示す
斜視図である。
【符号の説明】
5 プリント基板 7 電子部品装着ヘッド 8 電子部品 20 電子部品装着装置 21 搬送手段 21a、21b ガイドレール 22 電子部品装着ヘッド 23 基板バックアップ装置 24 制御部(選択手段、制御手段) 27 ベースプレート 28a、28b、28c、28d、28e、28f、5
0 バックアップユニット 29a、29b、29c、29d、29e、29f、5
2 バックアップ部 30、51 エアシリンダ(接離動機構、駆動部) 31a、31b、31c、31d、31e、31f、5
3 基板支持面 35 電磁弁 36 圧縮ポンプ 37 入力部(入力手段) 40、54 吸着孔

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送手段にて搬送されて作業位置に位置
    付けられた基板を支持する基板バックアップ装置におい
    て、前記作業位置において前記基板を支持するバックア
    ップ部と、該バックアップ部を前記基板に対して接離動
    させる接離動機構とを有してなるバックアップユニット
    を、前記基板の搬送方向に複数配列したことを特徴とす
    る基板バックアップ装置。
  2. 【請求項2】 搬送手段にて搬送されて作業位置に位置
    付けられた基板を支持する基板バックアップ装置におい
    て、前記作業位置において前記基板を支持するバックア
    ップ部と、該バックアップ部を前記基板に対して接離動
    させる接離動機構とを有してなるバックアップユニット
    を、前記基板の搬送方向並びに前記搬送方向と直交する
    方向に枡目状に配列したことを特徴とする基板バックア
    ップ装置。
  3. 【請求項3】 前記接離動機構は、駆動部を有し、この
    駆動部の作動により前記バックアップ部が前記基板に対
    して接離動されることを特徴とする請求項1または2記
    載の基板バックアップ装置。
  4. 【請求項4】 前記バックアップ部に、前記基板を吸着
    保持する吸着孔を設けたことを特徴とする請求項1乃至
    3いずれかに記載の基板バックアップ装置。
  5. 【請求項5】 前記基板の品種に応じて前記バックアッ
    プ部を選択して用いいることを特徴とする請求項1乃至
    4いずれかに記載の基板バックアップ装置。
  6. 【請求項6】 前記基板に関する情報を入力する入力手
    段と、前記入力手段にて入力された基板情報に基いて前
    記バックアップユニットの中から前記基板に応じたバッ
    クアップユニットを選択する選択手段と、選択手段にて
    選択された前記バックアップユニットの前記駆動部を制
    御する制御手段とを有することを特徴とする請求項3ま
    たは4記載の基板バックアップ装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003110294A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Juki Corp 基板固定装置

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003110294A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Juki Corp 基板固定装置
JP4689116B2 (ja) * 2001-09-28 2011-05-25 Juki株式会社 基板固定装置

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