JPH1127116A - 半導体集積回路、電圧コントロールディレイライン、ディレイロックドループ、自己同期パイプライン式デジタルシステム、電圧制御発振器、およびフェーズロックドループ - Google Patents

半導体集積回路、電圧コントロールディレイライン、ディレイロックドループ、自己同期パイプライン式デジタルシステム、電圧制御発振器、およびフェーズロックドループ

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JPH1127116A
JPH1127116A JP9176867A JP17686797A JPH1127116A JP H1127116 A JPH1127116 A JP H1127116A JP 9176867 A JP9176867 A JP 9176867A JP 17686797 A JP17686797 A JP 17686797A JP H1127116 A JPH1127116 A JP H1127116A
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integrated circuit
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勝久 小川
Tadahiro Omi
忠弘 大見
Sunao Shibata
直 柴田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 遅延量を大きくするとジッター量が大きくな
る。 【解決手段】 センスアンプの入力端子に第一の容量手
段6を介して信号入力端子1が接続され、該センスアン
プの入力端子に第二の容量手段5を介して制御入力端子
10が接続され、前記センスアンプの入力端子と前記第
一及び第二の容量手段6,5との共通接続点がフローテ
ィングノードとなっており、少なくとも前記センスアン
プの判定しきい値近傍で、前記センスアンプの入力端子
に前記信号入力端子1を通して印加された信号が、前記
制御入力端子10に印加された制御信号によって、上下
にシフトすることにより、出力の遅延量を制御してな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路、特
に可変遅延回路に関するものである。また本発明は本発
明の半導体集積回路を用いた、電圧コントロールディレ
イライン、ディレイロックドループ、自己同期パイプラ
イン式デジタルシステム、電圧制御発振器、およびフェ
ーズロックドループに関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在のLSIの高速化技術の進歩により
数百MHzで動作するマイクロプロセッサや数GHz帯
の通信用LSIが製品化されている。これら高速化技術
の発達には、高周波のクロック同期技術を欠くことがで
きない。PLL,DLL等のパルス同期制御技術の要と
して電圧制御可変遅延回路の高精度、高速化が重要であ
る。従来の電圧制御可変遅延回路を図7に示す。入力端
子1に各々のゲート端子が接続され、インバーター88
の入力に各々のソース端子が接続されたNMOSトラン
ジスタ82とPMOSトランジスタ81とでCMOSイ
ンバーターが構成され、接地電位4とNMOSトランジ
スタ82のソース端子との間に、第一の制御端子86を
ゲート端子として持つNMOSトランジスタ83が接続
され、電源電圧3とPMOSトランジスタ81のソース
端子との間に、第二の制御端子85をゲート端子として
持つPMOSトランジスタ84が接続された構成となっ
ており、制御端子85,86の制御電圧を可変し、PM
OSトランジスタ84とNMOSトランジスタ83のコ
ンダクタンスを変えることで出力端子2に発生するパル
スの遅延をコントロールする。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
電圧制御可変遅延回路では、遅延量の違いにより発生す
るジッター量が増加するという問題があった。この問題
を図8、9、10を用いて説明する。図8は、従来のパ
ルス遅延コントロール時のタイムチャートである。89
が入力端子1に印加される入力信号で、ノード87の波
形は端子85,86に印加される電圧によって、そのス
ルレートがコントロールされ、90,91,92と変化
する。この波形がインバーター88の論理しきい値96
で2値化されることによって遅延が発生する。出力の遅
延を大きくしようとした場合、図8の波形90から92
へスルレートをコントロールすることで実現でき、波形
90,91,92に対応した出力波形93,94,95
から遅延量D1,D2,D3の値を持った可変遅延回路が
実現できる。
【0004】図9は波形90時のジッター量の説明図、
図10は波形92時のジッター量の説明図である。双方
とも波形には、回路の熱雑音及び外来雑音等からなる雑
音信号97が重畳されている。遅延時間D1の時、次段
のCMOSインバーター88が論理しきい値96で二値
化した場合、図9に示す様に雑音信号97の雑音密度が
ガウシャン分布とすると、J1の幅を持ったジッター9
8が発生する。コントロールされる遅延時間がD3とな
り、スルレートが落ちた時、図10に示す様に論理しき
い値96をまたがる信号及び雑音幅が増加する為、J2
の幅を持ったジッター99にその量が増加する。少なく
とも信号には、回路の熱雑音は存在しうるのが普通な
為、従来の方式で遅延量をコントロール使用とした場
合、遅延量を大きくすればする程、時間軸方向の揺らぎ
であるジッター量は大きくなる。
【0005】
【課題を解決する為の手段及び作用】本発明の第1の半
導体集積回路は、センスアンプの入力端子に第一の容量
手段を介して信号入力端子が接続され、該センスアンプ
の入力端子に第二の容量手段を介して制御入力端子が接
続され、前記センスアンプの入力端子と前記第一及び第
二の容量手段との共通接続点がフローティングノードと
なっており、少なくとも前記センスアンプの判定しきい
値近傍で、前記センスアンプの入力端子に前記信号入力
端子を通して印加された信号が、前記制御入力端子に印
加された制御信号によって、上下にシフトすることによ
り、出力の遅延量を制御してなるものである。
【0006】また、本発明の第2の半導体集積回路は、
前記センスアンプがバッファ機能を持った請求項1に記
載の半導体集積回路において、前段の半導体集積回路の
出力が、次段の半導体集積回路の信号入力端子と接続さ
れるように、前記半導体集積回路が複数個直列に接続さ
れ、該直列接続された全ての半導体集積回路の制御入力
端子が共通接続され、直列接続された初段の半導体集積
回路の信号入力端子に信号が印加され、終段の半導体集
積回路の出力端子を信号出力としたことを特徴とするも
のである。
【0007】また、本発明の第3の半導体集積回路は、
前記センスアンプがインバーター機能を持った請求項1
に記載の半導体集積回路において、前段の半導体集積回
路の出力が、次段の半導体集積回路の信号入力端子と接
続されるように、前記半導体集積回路が複数個直列に接
続され、該直列接続された複数の半導体集積回路のうち
の奇数番目の半導体集積回路の制御入力端子が共通接続
されるとともに、偶数番目の半導体集積回路の制御入力
端子が共通接続され、直列接続された初段の半導体集積
回路の信号入力端子に信号が印加され、終段の半導体集
積回路の出力端子を信号出力としたことを特徴とするも
のである。
【0008】さらに、本発明は上記本発明の半導体集積
回路を多数直列接続することで、遅延可変範囲のダイナ
ミックレンジの広い可変遅延を持たすことができ、広範
囲の引き込み特性を持ったPLL,DLLループや可変
範囲の広いディレイラインを構成することができ、また
波形のレベルシフトにより、遅延値をコントロールでき
る為、直線性のよい制御特性を確保でき、正確なコント
ロールを行える為、CPUのクロックダブラー回路や自
己同期パイプライン信号処理システムのハンドシェイク
用ディレイラインなど高精度及び低ジッターな遅延コン
トロールを必要とするシステムに最適な回路を提供する
ものである。
【0009】
【実施例】以下、本発明による実施例について、図面を
参照しつつ詳細に説明する。 [第一の実施例]図1は、本発明の第一実施例を示す回
路図である。図1において、ゲート端子及びドレイン端
子が各々共通接続されたNMOSトランジスタ8とPM
OSトランジスタ9で構成される第一のインバーターの
入力端子に相当するゲート共通接続点に第一の容量手段
6と第二の容量手段5が接続されフローティングノード
を形成し、第一の容量手段6の他方の端子には、入力端
子1が接続され入力パルス信号Vinが印加される。第
二の容量手段5の他方の端子には、制御端子10が接続
されコントロール信号Vcが印加される。NMOSトラ
ンジスタ8のソース端子は接地電位4に、PMOSトラ
ンジスタ9のソース端子は電源電圧3に接続されてい
る。第一のインバーターの出力であるノード7は、第二
のインバーター11の入力に接続され、最終波形は出力
端子2より取り出される。
【0010】図2は本発明におけるパルス遅延コントロ
ール時のタイムチャートである。12が入力端子1に印
加される入力パルスVinである。第一のインバーターの
入力端子に第一の容量手段6であるCinと第二の容量手
段5であるCcが接続されフローティングノードを形成
する。フローティングノードの初期電荷は0に設定され
ているとした場合、第一の容量手段6のCinに印加され
た入力パルスは第二の容量手段5のCcに印加される制
御電圧Vcによってレベルシフトされる。フローティン
グノードは、VinとVcをCinとCcで容量分割した電位
となる為、Vcの電位を上げ下げすることで、Vc・Cc
/(Cin+Cc)だけフローティングノードの電位は直
流的にシフトする。入力パルスVinは、Vin・Cin/
(Cin+Cc)の容量分割分だけ、振幅が減衰してフロ
ーティングノードに現れる。振幅減衰は伴うが周波数特
性は落ちず、波形の立ち上がり及び立ち下がりエッジは
そのまま保存されている。制御電圧Vcによってフロー
ティングノードをレベルシフトしたとしても、波形の立
ち上がり及び立ち下がりエッジの傾きが変わることはな
い。制御電圧Vcを接地電位から電源電位まで可変した
時のフローティングノードの変化を図2の13〜15に
示す。制御電圧Vcを上げる程、フローティングノード
の波形も上がり第一のインバーターの論理しきい値16
をよぎる時間軸方向の位置が変わり、これにより入力パ
ルスVinに対するノード7と出力端子2の波形に遅延の
変化をもたらす。図2の17〜19は第二のインバータ
ー11の出力2である。波形13は波形19と、波形1
4は波形18と、波形15は波形17と対応している。
制御電圧Vcを接地電位から電源電位まで可変していく
と、出力の遅延時間はD3′,D2′,D1′と可変する
ことができる。
【0011】図3が本発明による波形13〜15のジッ
ター量の説明図である。波形には、回路の熱雑音及び外
来雑音等からなる雑音信号20が重畳されている。第一
のインバーターが論理しきい値16でフローティングノ
ードの波形13〜15を二値化した場合、図3に示す様
に雑音信号20の雑音密度がガウシャン分布とすると、
Jの幅を持ったジッター21が発生する。コントロール
される遅延時間がD3′,D2′,D1′と変わっても、
フローティングノードの波形のスルレートは変わらず、
遅延時間には関係なくジッター量は一定となる。
【0012】本実施例によればスルレートを変えず第一
のインバーターの論理しきい値近傍で、入力波形をレベ
ルシフトすることで、遅延量を変えても、ジッター量の
増加のない電圧制御遅延回路を構成することができ、高
周波のクロック同期精度を向上させ、さらなる高速化ク
ロック技術が実現できる。
【0013】なお、図1に示した、容量手段5,6およ
びNMOSトランジスタ8,PMOSトランジスタ9は
フローティングデート電極を有する多入力のMOSトラ
ンジスタで構成することができる(この点は後述する実
施例でも同様である。)。この多入力のMOSトランジ
スタは2層ポリシリコンCMOSプロセス等で実現可能
である。
【0014】図11は、フローティングデート電極を有
する二つの入力のMOSトランジスタの概念図である。
【0015】n型半導体基板にpウエル領域を形成し、
pウエル領域およびn型半導体基板にそれぞれNMOS
トランジスタのソース領域及びドレイン領域、PMOS
トランジスタのソース領域及びドレイン領域を形成す
る。図11において、102はNMOSトランジスタ、
104はPMOSトランジスタ、100はNMOSトラ
ンジスタ102のソース領域、105はPMOSトラン
ジスタ104のソース領域、103は共通接続されたド
レイン領域を示す。
【0016】NMOSトランジスタ、PMOSトランジ
スタの互いに離間して設けられたソース領域とドレイン
領域間のチャネル上に第1のゲート絶縁膜を設け、これ
を介して第1の多結晶シリコンからなる共通接続された
フローティングゲート電極(制御電極)106を形成す
る。このフローティングゲート電極106上に第2のゲ
ート酸化膜を介して第2の多結晶シリコンから成る入力
ゲート電極107,108を形成する。入力ゲート電極
107,108はそれぞれ端子10,1に接続されてい
る。この様にしてフローティングゲート電極106に対
して、C1(Cin),C2(Cc)の容量結合を持った多
入力デバイスが実現出来る。
【0017】この様にフローティングゲート電極106
と容量結合するN個の入力ゲート電極(ここではN=
2)を形成する場合、フローティングゲート電極106
の電位は、多数の入力ゲートに加えられた入力電圧の加
重平均となり、加重平均値がトランジスタのしきい値
を、超えるか否かでトランジスタがON/OFFする。
これは、生体の脳の構成基本単位であるニューロンに動
作が似ている為、ニューロンMOS(以下、νMOSと
略す)と呼ぶ。
【0018】いま、フローティングゲート電極106と
入力ゲート電極108の間で形成される容量をC1、フ
ローティングゲート電極106と入力ゲート電極107
の間で形成される容量をC2、入力端子108に印加さ
れる電圧をV1、入力端子107に印加される電圧をV2
とするとフローティングゲート電極106の電位ΦF
は、次式で表わされる。
【0019】 ΦF=(C2・V2+C1・V1)/(C2+C1) この様に、フローティングゲート電極106の電位ΦF
は加重平均値となり、この加重平均値はそれぞれの容量
結合比で決まる。 [第二の実施例]図4は、本発明の第二実施例を示す回
路図である。図4は第一実施例の電圧制御遅延回路をN
段直列に接続したものであり、1段目の電圧制御遅延回
路は第一の実施例と同じ1から11の構成部材からなる
回路で構成され、同様に2段目、・・・、N段目も同じ
回路構成をとる。説明の便宜上、3段目〜N−1段目の
回路は省略する。なお、各電圧制御遅延回路において、
容量手段6,22,27は第一の容量手段、容量手段
5,23,28は第二の容量手段を構成する。
【0020】図4に示すように、1段目の電圧制御遅延
回路の出力2は2段目の電圧制御遅延回路の入力端子で
ある容量手段22に接続され、容量手段22の他方の端
子は容量手段23とNMOSトランジスタ25とPMO
Sトランジスタ24から成る第三のインバーターの入力
端子に接続される。容量手段23は遅延制御端子10に
接続される。第三のインバーターの出力は第四のインバ
ーター26に入力され、第四のインバーター26の出力
32が、2段目の電圧制御遅延回路の出力となり3段目
の電圧制御遅延回路の入力に接続される。そして、3段
目の電圧制御遅延回路からN−1段目の電圧制御遅延回
路まで同様な回路接続が行われる。
【0021】N−1段目の電圧制御遅延回路の出力はN
段目の電圧制御遅延回路の入力である容量手段27に接
続され、容量手段27の他方の端子は容量手段28とN
MOSトランジスタ30とPMOSトランジスタ29か
ら成る第2N−1のインバーターの入力端子に接続され
る。容量手段28は遅延制御端子10に接続される。第
2N−1のインバーターの出力は第2Nのインバーター
31に入力され、第2Nのインバーターの出力33が、
最終出力となる。
【0022】この様に第一実施例の回路を直列に接続
し、各制御端子を共通接続することで、可変範囲の広
く、制御電圧とのリニアリティがよい、電圧制御遅延回
路をシンプルな形で構成することができ、広範囲の引き
込み特性を持ったPPL,DLLループや可変範囲の広
いディレイラインを高速性を維持したまま実現すること
が可能となった。 [第三の実施例]図5は、本発明の第三実施例を示す回
路図である。図5は本発明の電圧制御遅延回路をN段直
列に接続したものであり、1段目、2段目、N−1段
目、N段目と内部回路は同一構成をとる。本実施例では
Nを奇数段にして説明するが、これに限定されるもので
はない。説明の便宜上、3段目〜N−2段目の回路は省
略する。なお、各電圧制御遅延回路において、容量手段
34,38,62,42は第一の容量手段、容量手段3
5,39,63,43は第二の容量手段を構成する。
【0023】図5に示すように、入力端子1は1段目の
電圧制御遅延回路の入力端子である容量手段34に接続
され、容量手段34の他方の端子は容量手段35とNM
OSトランジスタ37とPMOSトランジスタ36から
成る第一のインバーターの入力端子に接続される。容量
手段35は第一の遅延制御端子66に接続される。第一
のインバーターの出力は、1段目の電圧制御遅延回路の
出力となり2段目の電圧制御遅延回路の入力である容量
手段38に接続され、容量手段38の他方の端子は容量
手段39とNMOSトランジスタ41とPMOSトラン
ジスタ40から成る第二のインバーターの入力端子に接
続される。容量手段39は第二の遅延制御端子61に接
続される。第二のインバーターの出力は2段目の電圧制
御遅延回路の出力となり3段目の電圧制御遅延回路の入
力に接続される。そして、3段目の電圧制御遅延回路か
らN−2段目の電圧制御遅延回路まで同様な回路接続が
行われる。
【0024】第N−2段目の電圧制御遅延回路の出力は
N−1段目の電圧制御遅延回路の入力である容量手段6
2に接続され、容量手段62の他方の端子は容量手段6
3とNMOSトランジスタ65とPMOSトランジスタ
64から成る第N−1のインバーターの入力端子に接続
される。容量手段63は第二の遅延制御端子61に接続
される。第N−1のインバーターの出力は、第N−1段
目の電圧制御遅延回路の出力となりN段目の電圧制御遅
延回路の入力である容量手段42に接続され、容量手段
42の他方の端子は容量手段43とNMOSトランジス
タ45とPMOSトランジスタ44から成る第Nのイン
バーターの入力端子に接続される。容量手段43は第一
の遅延制御端子66に接続される。第Nのインバーター
の出力が、最終出力46となる。
【0025】この様にフローティングノードを介して1
段のインバーターのみで電圧制御遅延回路を直接接続
し、奇数段目の制御端子は第一の遅延制御端子66に接
続し、偶数段目の制御端子は第二の遅延制御端子61に
接続し、互いに逆相の制御電圧を印加して遅延量を制御
することで、遅延量制御電圧感度を第二の実施例により
低く抑えることが可能となった。ゆえに可変範囲が狭
く、制御電圧とのリニアリティがよい、電圧制御遅延回
路をシンプルな形で構成することができ、外乱ノイズの
影響を受け難い安定したPLL,DLLループを実現す
ることができる。 [第四の実施例]図6は、本発明の第四実施例を示す回
路図である。図6において、入力端子1に入力パルスV
inが印加され、第一の容量手段48を介して第二の容量
手段47とNMOSトランジスタ49のゲート端子に接
続される。第二の容量手段47の他方の端子は遅延制御
信号Vcが印加される制御端子10に接続される。NM
OSトランジスタ49のソースはNMOSトランジスタ
50のソースと接続され入力差動段を形成する。共通接
続されたソース端子と、接地電位4の間には、低電流源
51が接続され入力差動段のテール電流となる。差動段
を構成するNMOSトランジスタ49とNMOSトラン
ジスタ50のドレイン端子は、それぞれPMOSトラン
ジスタ52とPMOSトランジスタ54のドレイン端子
に接続される。PMOSトランジスタ52及びPMOS
トランジスタ54のドレイン端子とゲート端子とはショ
ートされている。PMOSトランジスタ52とPMOS
トランジスタ54のドレインとゲート端子がショートさ
れた共通接続点は、それぞれPMOSトランジスタ53
とPMOSトランジスタ55のゲートに接続され第一及
び第二のカレントミラー回路を構成する。第二のカレン
トミラー回路の出力であるPMOSトランジスタ55の
ドレイン端子はドレインとゲート端子がショートされた
共通接続点を持つNMOSトランジスタ56に接続さ
れ、この共通接続点はNMOSトランジスタ57のゲー
トに接続され、NMOSトランジスタ56とNMOSト
ランジスタ57で第三のカレントミラー回路を構成す
る。第三のカレントミラー回路の出力であるNMOSト
ランジスタ57のドレイン端子と第一のカレントミラー
回路の出力であるPMOSトランジスタ53のドレイン
端子が接続され、NMOSトランジスタ59とPMOS
トランジスタ58で構成されたCMOSインバーターの
入力に接続される。
【0026】NMOSトランジスタ59とPMOSトラ
ンジスタ58のドレイン共通接続点がCMOSインバー
ターの出力となり出力端子2に接続される。入力段の差
動アンプを構成するNMOSトランジスタ50のゲート
端子60は、基準電圧Vrefに固定され、NMOSトラ
ンジスタ49のゲート端子はフローティングノードとな
っており、入力端子1に印加された入力パルスVinは、
第一の容量手段48を介して、フローティングノードに
印加され、制御端子10に印加された遅延コントロール
信号Vcにてレベルシフトされる。本実施例も第一実施
例と同様に遅延コントロール信号Vcを用いて入力パル
スの二値化する位置をフローティングノードの波形を上
下にレベルシフトすることで入出力間に発生する遅延量
をコントロールすることを可能とした。この差動段での
二値化結果は差動対のNMOSトランジスタ49とNM
OSトランジスタ50の各ドレイン電流の変化となり第
一及び第二のカレントミラー回路に入力され、さらに第
二のカレントミラー回路の出力は、第三のカレントミラ
ー回路に電流変化として伝送され、第一のカレントミラ
ー回路の出力であるPMOSトランジスタ53のドレイ
ン端子と第三のカレントミラー回路の出力であるNMO
Sトランジスタ57のドレイン端子の接続点で電圧に変
換されNMOSトランジスタ59とPMOSトランジス
タ58で構成されるCMOSインバーターによって波形
整形され出力される。これにより制御端子10に印加さ
れるVcによって出力のパルスの遅延時間をコントロー
ルできる電圧制御遅延回路が構成できる。
【0027】本実施例の回路構成によれば、電源電圧3
に外来雑音が重畳されても、回路の各部は電流モードで
動作している為、回路の各ノードには外来雑音は現れ
ず、差動段で二値化する入力波形には回路で発生する熱
雑音しか発生せず低ジッター特性を持った電圧制御遅延
回路が実現できる。可変される遅延量にも依存せず、数
GHz帯の高精度低ジッター・クロック制御を可能とし
た。
【0028】なお、図6に示した、容量手段47,48
およびNMOSトランジスタ49はフローティングデー
ト電極を有する多入力のMOSトランジスタで構成する
ことができる。この多入力のMOSトランジスタは2層
ポリシリコンCMOSプロセス等で実現可能である。
【0029】図12は、フローティングデート電極を有
する多入力のMOSトランジスタの概念図である。
【0030】半導体基板上に互いに離間して設けられた
ソース(主電極)133とドレイン(主電極)134の
間のチャネル上に第1のゲート絶縁膜を設け、これを介
して第1の多結晶シリコンからなるフローティングゲー
ト電極(制御電極)126を形成する。このフローティ
ングゲート電極126上に第2のゲート酸化膜を介して
第2の多結晶シリコンから成る入力ゲート電極127,
128〜129をN個形成する。入力ゲート電極12
7,128〜129はそれぞれ入力端子130,131
〜132に接続されている。この様にしてフローティン
グゲート電極126に対して、C1,C2〜Cnの容量
結合を持った多入力デバイスが実現出来る。
【0031】この様にフローティングゲート電極126
と容量結合するN個の入力ゲート電極127,128〜
129を形成する場合、フローティングゲート電極12
6の電位は、多数の入力ゲートに加えられた入力電圧の
加重平均となり、加重平均値がトランジスタのしきい値
を、超えるか否かでトランジスタがON/OFFする。
これは、生体の脳の構成基本単位であるニューロンに動
作が似ている為、ニューロンMOS(以下、νMOSと
略す)と呼ぶ。
【0032】図13が、本実施例で用いることができる
2入力の容量結合を持ったνMOSの概念図である。図
13に示すνMOSは、ドレイン140とソース14
1、フローティングゲート電極135、入力ゲート電極
136,137、入力ゲート電極136,137に接続
される入力端子138,139から構成される。いま、
フローティングゲート電極135と入力ゲート電極13
6の間で形成される容量をCox、フローティングゲー
ト電極135と入力ゲート電極137の間で形成される
容量をCoy、入力端子138に印加される電圧をVo
x、入力端子139に印加される電圧をVoyとすると
フローティングゲート電極135の電位ΦFは、次式で
表わされる。
【0033】ΦF=(Cox・Vox+Coy・Vo
y)/(Cox+Coy) この様に、フローティングゲート電極135の電位ΦF
は加重平均値となり、この加重平均値はそれぞれの容量
結合比で決まる。 [第五の実施例]図14は本発明のディレイロックドル
ープの一実施例を示すブロック図である。図14におい
て、204はリファレンスとなる基準クロック、203
は本実施例で制御される入力クロックであり、本発明に
より構成された電圧コントロールディレイライン200
を通った出力クロック205と基準クロック204が位
相比較器202によって位相比較され、その位相誤差を
ローパスフィルター201を通して電圧コントロールデ
ィレイライン200の制御端子に入力することで閉ルー
プを構成し、入力クロック203と出力クロック205
の位相差がなくなるように電圧コントロールディレイラ
イン200のディレイ量をオートマチックに制御するデ
ィレイロックドループを構成することができる。
【0034】電圧コントロールディレイライン200に
本発明を用いることで基準クロックとの誤差の少ない出
力クロック205を得ることができる。 [第六の実施例]図15は本発明の自己同期パイプライ
ン式デジタルシステムの一実施例を示すブロック図であ
る。
【0035】図15において、300がデジタル入力デ
ータ、301が入力ラッチ、302が信号処理ロジック
回路、303が出力ラッチ、304がデジタル出力信
号、305,306がハンドシェイク回路、307が本
発明を用いた電圧コントロールディレイラインである。
【0036】前段の信号処理ロジック回路からの出力は
入力データ300に与えられ、入力ラッチ301でラッ
チ保持された後、信号処理ロジック回路302のディレ
イ量TD1だけおくれて、出力ラッチ303に渡される。
すなわち、出力ラッチでラッチ保持されるタイミングは
入力ラッチ301よりTD1だけ時間的に遅れる。もし、
入力ラッチクロック308と出力ラッチクロック309
が同一タイミングであると出力ラッチでラッチ保持する
タイミングはTD1だけずれている為に誤動作を起こす。
【0037】これを防止するために、入力ラッチクロッ
ク308と同一位相のクロックが電圧コントロールディ
レイライン307を通してハンドシェイク回路306に
入力され、これと同位相の信号が出力ラッチクロック3
09となる。いま、電圧コントロールディレイライン3
07のディレイ量を制御信号313で信号処理ロジック
回路のディレイ量TD1に設定してやると、出力ラッチ3
03の入力信号314と出力ラッチクロック309のタ
イミングを合わせることができる。これにより、高速な
パイプライン同期システムが実現できる。また制御信号
313を信号処理ロジック回路302のディレイ量に対
応して発生させてやることで自己同期パイプライン式デ
ジタルシステムを実現することができる。 [第七の実施例]図16は本発明の電圧制御発振器の一
実施例を示すブロック図である。なお、図5に示した本
発明の第三実施例の回路と同一構成部材については同一
動作をするので同一符号を付して説明を略する。
【0038】図16において、401(破線で囲った部
分)は本実施例の基準となる電圧コントロールディレイ
ラインの単位回路である。本実施例は単位回路401を
奇数個直列に接続したもので、最終段出力のPMOSト
ランジスタ44とNMOSトランジスタ45の共通ドレ
イン端が入力端子容量34に接続され、正帰還ループを
形成して自己発振する。端子400には発振応答が出力
される。この発振周波数は制御端子61,66でコント
ロールされ、低ジッターの電圧制御発振器が実現でき
る。 [第八の実施例]図17は本発明のフェーズロックドル
ープの一実施例を示すブロック図である。図17におい
て、500が位相比較器、501がローパスフィルタ
ー、502が前述した実施例7の電圧制御発振器(図1
6)である。
【0039】503に周波数f0の入力信号が入力され
ると、電圧制御発振器502の出力504との位相差を
位相比較器500が検出し、その位相誤差がローパスフ
ィルター501を介して電圧制御発振器502の制御端
子に入力される。
【0040】電圧制御発振器502は位相比較器500
の位相誤差がφになるように、出力504の発振周波数
を入力信号503の入力周波数にロックする。このよう
に本発明の電圧制御発振器を利用することで低ジッター
のフェーズロックドループを形成することができる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
入力パルスと制御信号を容量手段を介してフローティン
グノードで加算することで、入力パルスのスルレートを
変えずにセンスアンプの判定しきい値近傍で、入力波形
をレベルシフトすることで、遅延量を変えても、ジッタ
ー量の増加のない電圧制御遅延回路を構成することがで
き、遅延量可変によるジッター量増減の依存性をなく
し、低ジッター特性を実現し高周波のクロック同期精度
を向上させ、さらなる高速化クロック制御を可能とし
た。
【0042】また本発明によれば、電圧制御遅延回路を
多数直列接続することで、遅延可変範囲のダイナミック
レンジの広い可変遅延を持たすことができ、広範囲の引
き込み特性を持ったPLL,DLLループや可変範囲の
広いディレイラインを構成することができる。また波形
のレベルシフトにより遅延量をコントロールできる為、
直線性のよい制御特性を確保でき、正確なコントロール
を行える為、CPUのクロックダブラー回路や自己同期
パイプライン信号処理システムのハンドシェイク用ディ
レイラインなど高精度及び低ジッターな遅延コントロー
ルを必要とするシステムの高精度化及び高速化を実現し
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例を示す回路図である。
【図2】本発明の第一実施例におけるパルス遅延コント
ロール時のタイムチャートである。
【図3】本発明の第一実施例のジッター量の説明図であ
る。
【図4】本発明の第二実施例を示す回路図である。
【図5】本発明の第三実施例を示す回路図である。
【図6】本発明の第四実施例を示す回路図である。
【図7】従来の電圧制御可変遅延回路の回路図である。
【図8】従来のパルス遅延コントロール時のタイムチャ
ートである。
【図9】従来のジッター量の説明図である。
【図10】従来のジッター量の説明図である。
【図11】フローティングデート電極を有する多入力の
MOSトランジスタの概念図である。
【図12】フローティングデート電極を有する多入力の
MOSトランジスタの概念図である。
【図13】2入力の容量結合を持ったνMOSの概念図
である。
【図14】本発明のディレイロックドループの一実施例
を示すブロック図である。
【図15】本発明の自己同期パイプライン式デジタルシ
ステムの一実施例を示すブロック図である。
【図16】本発明の電圧制御発振器の一実施例を示すブ
ロック図である。
【図17】本発明のフェーズロックドループの一実施例
を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 入力端子 2 出力端子 3 電源電圧 4 接地電位 5 第二の容量手段 6 第一の容量手段 7 第一のインバーターの出力ノード 8 NMOSトランジスタ 9 PMOSトランジスタ 10 制御信号端子 11 第二のインバーター 12 入力パルス 13 フローティングノードの波形 14 フローティングノードの波形 15 フローティングノードの波形 16 論理しきい値 17 第二のインバーターの出力遅延波形 18 第二のインバーターの出力遅延波形 19 第二のインバーターの出力遅延波形 20 雑音信号 21 ジッター量 22 容量手段 23 容量手段 24 PMOSトランジスタ 25 NMOSトランジスタ 26 第四のインバーター 27 容量手段 28 容量手段 29 PMOSトランジスタ 30 NMOSトランジスタ 31 第Nのインバーター 32 第四のインバーターの出力ノード 33 出力端子 34 容量手段 35 容量手段 36 PMOSトランジスタ 37 NMOSトランジスタ 38 容量手段 39 容量手段 40 PMOSトランジスタ 41 NMOSトランジスタ 42 容量手段 43 容量手段 44 PMOSトランジスタ 45 NMOSトランジスタ 46 出力端子 47 第二の容量手段 48 第一の容量手段 49 NMOSトランジスタ 50 NMOSトランジスタ 51 定電流源 52 PMOSトランジスタ 53 PMOSトランジスタ 54 PMOSトランジスタ 55 PMOSトランジスタ 56 NMOSトランジスタ 57 NMOSトランジスタ 58 PMOSトランジスタ 59 NMOSトランジスタ 60 NMOSトランジスタ50のゲート端子 61 第二の遅延制御端子 62 容量手段 63 容量手段 64 PMOSトランジスタ 65 NMOSトランジスタ 66 第一の遅延制御端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市青葉区米ヶ袋2−1−17− 301 (72)発明者 柴田 直 東京都江東区越中島1丁目3番地16−411 号

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 センスアンプの入力端子に第一の容量手
    段を介して信号入力端子が接続され、該センスアンプの
    入力端子に第二の容量手段を介して制御入力端子が接続
    され、 前記センスアンプの入力端子と前記第一及び第二の容量
    手段との共通接続点がフローティングノードとなってお
    り、少なくとも前記センスアンプの判定しきい値近傍
    で、前記センスアンプの入力端子に前記信号入力端子を
    通して印加された信号が、前記制御入力端子に印加され
    た制御信号によって、上下にシフトすることにより、出
    力の遅延量を制御してなる半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記センスアンプがバッファ機能を持っ
    た請求項1に記載の半導体集積回路において、 前段の半導体集積回路の出力が、次段の半導体集積回路
    の信号入力端子と接続されるように、前記半導体集積回
    路が複数個直列に接続され、該直列接続された全ての半
    導体集積回路の制御入力端子が共通接続され、 直列接続された初段の半導体集積回路の信号入力端子に
    信号が印加され、終段の半導体集積回路の出力端子を信
    号出力としたことを特徴とする半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記センスアンプがインバーター機能を
    持った請求項1に記載の半導体集積回路において、 前段の半導体集積回路の出力が、次段の半導体集積回路
    の信号入力端子と接続されるように、前記半導体集積回
    路が複数個直列に接続され、該直列接続された複数の半
    導体集積回路のうちの奇数番目の半導体集積回路の制御
    入力端子が共通接続されるとともに、偶数番目の半導体
    集積回路の制御入力端子が共通接続され、 直列接続された初段の半導体集積回路の信号入力端子に
    信号が印加され、終段の半導体集積回路の出力端子を信
    号出力としたことを特徴とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記奇数番目の半導体集積回路の制御入
    力端子と、前記偶数番目の半導体集積回路の制御入力端
    子とに、互いに逆方向に変化する制御電圧を印加するこ
    とを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記センスアンプが、相補型MOSイン
    バーターで構成されていることを特徴とする請求項1〜
    4のいずれかの請求項に記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 前記センスアンプが、MOSトランジス
    タで構成された差動アンプを入力段とするコンパレータ
    ーであることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積
    回路。
  7. 【請求項7】 前記コンパレーターの入出力関係が、反
    転関係にある請求項6に記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記コンパレーターの入出力関係が、非
    反転関係にある請求項6に記載の半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 請求項5〜8のいずれかの請求項に記載
    のセンスアンプを構成するMOSトランジスタ及び第一
    及び第二の容量手段が、半導体基板上に離間して設けら
    れたソース・ドレイン領域間のチャネル領域上に、第一
    のゲート絶縁膜を介してフローティング電極を形成し、
    このフローティングゲート電極上に、第二のゲート酸化
    膜を介して、互いに電気的に絶縁された二つのゲート電
    極を有したトランジスタからなることを特徴とする半導
    体集積回路。
  10. 【請求項10】 請求項1〜3のいずれかの請求項に記
    載の半導体集積回路を含む電圧コントロールディレイラ
    インであって、前記信号入力端子に印加されたパルスを
    前記制御入力端子をコントロールすることで、出力され
    るパルスのディレイ量を制御してなることを特徴とする
    電圧コントロールディレイライン。
  11. 【請求項11】 請求項10に記載の電圧コントロール
    ディレイラインを含むことを特徴とするディレイロック
    ドループ。
  12. 【請求項12】 請求項10に記載の電圧コントロール
    ディレイラインを含むことを特徴とする自己同期パイプ
    ライン式デジタルシステム。
  13. 【請求項13】 請求項3に記載のインバーター機能を
    持ったセンスアンプを用いた半導体集積回路を奇数個直
    列に接続し最終出力を初段の信号入力端子に接続するこ
    とで、発振ループを形成し、前記奇数番目の半導体集積
    回路の制御入力端子及び偶数番目の半導体集積回路の制
    御入力端子のコントロール信号によって発振周波数を制
    御してなることを特徴とする電圧制御発振器。
  14. 【請求項14】 請求項13に記載の電圧制御発振器を
    含むことを特徴とするフェーズロックドループ。
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