JPH11258171A - Method and apparatus for inspection of defect in transparent boardlike object as well as manufacture of display device and display device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a method and an apparatus in which a very small defect in a transparent boardlike object can be detected with high sensitivity. SOLUTION: A raster image which is projected on, e.g. a color cathode-ray tube as an object to be inspected is imaged by a camera 3 comprising an optical system 2 whose visual field angle is prescribed by an aperture diaphragm. Thereby, a very small optical defect in a face panel on the color cathode-ray tube is visualized with high sensitivity. Then, when the part of the defect is extracted and processed by an image processor 4, a very small defect in a transparent boardlike object can be detected with high sensitivity.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ブラウン管フェー
スパネル、液晶ディスプレイ用ガラスパネル等の透明板
状物体の欠陥を高感度に検出する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a defect of a transparent plate-like object such as a cathode ray tube face panel or a glass panel for a liquid crystal display with high sensitivity.

【０００２】[0002]

【従来の技術】透明板状物体の欠陥検査方法として、た
とえば特開平８−２９７０９６号公報に記載されてい
る。これは、検査対象に平行光線を投光し、被検査透明
板状物体を挟んで光源と反対側に設置されたスクリーン
に透過光を投影し、その投影像をスクリーンを挟んで被
検査透明板状物体と反対側に配置された撮影手段により
撮影し欠陥を評価する、というものである。2. Description of the Related Art A method of inspecting a transparent plate-like object for defects is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-297096. This involves projecting parallel rays on the object to be inspected, projecting transmitted light onto a screen installed on the opposite side of the light source with the transparent plate-like object to be inspected, and projecting the projected image across the screen with the transparent plate to be inspected. The defect is evaluated by photographing with a photographing means arranged on the opposite side of the object.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来技
術では、欠陥部分と欠陥以外の部分のコントラストの高
い像を得るためには、欠陥の凹凸などの種類や大きさ、
深さなどにより被検査対象とスクリーンとの距離を調整
する必要があった。However, in the above-mentioned prior art, in order to obtain an image having a high contrast between a defective portion and a portion other than the defect, the type and size of the irregularities of the defect, etc.
It is necessary to adjust the distance between the inspection target and the screen depending on the depth or the like.

【０００４】本発明の目的は、かかる問題を解消し、表
示装置に用いる透明板状物体の傷、泡といった欠陥を高
感度に測定できるようにした欠陥検査方法、及び装置、
これを用いた表示装置の製造方法を提供することにあ
る。An object of the present invention is to solve such a problem and to provide a defect inspection method and apparatus capable of measuring defects such as scratches and bubbles of a transparent plate-like object used in a display device with high sensitivity.
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a display device using the same.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による透明板状物体の欠陥検査装置及び方法
は、開口絞りを有する光学系を撮像系に用い、照明系・
撮像系を合わせた全体の光学系において、被測定物を照
明する光源の位置と撮像系の絞りの位置が共役の関係に
あるように設置し撮像することにより、微小な光学的欠
陥を高感度に検出することを可能にするものである。In order to achieve the above object, a defect inspection apparatus and method for a transparent plate-like object according to the present invention uses an optical system having an aperture stop for an image pickup system and an illumination system.
In the entire optical system combined with the imaging system, by installing and imaging so that the position of the light source that illuminates the DUT and the position of the aperture of the imaging system are in a conjugate relationship, high sensitivity can be obtained for minute optical defects. This makes it possible to detect the

【０００６】また、表示装置前面に組み合わされた後の
透明パネル検査においては、被検査対象の照明は表示装
置の表示画素となり、パターンを持つ面照明となるが、
被検査面に対しデフォーカスすることにより微小な光学
的欠陥を顕現化することが可能となる。In a transparent panel inspection after being combined with the front surface of the display device, the illumination of the inspection target is a display pixel of the display device, and is a surface illumination having a pattern.
By defocusing the surface to be inspected, a minute optical defect can be revealed.

【０００７】また、本発明による透明板状物体の欠陥検
査方法及び装置を表示装置の製造工程に用いて、複数の
工程で検査を行い、部品の一つである透明パネルの品質
を判定し、判定結果に基づき、合格・再生処理・破棄の
選別を自動的に行う選別機を設け、判定結果により処理
を変えることにより不良品の作り込みを防ぐことができ
る。また、各工程での欠陥の増減をモニタリングするこ
とにより工程の管理を行うことができる。Further, the method and apparatus for inspecting a transparent plate-shaped object according to the present invention are used in a manufacturing process of a display device to perform an inspection in a plurality of steps to judge the quality of a transparent panel as one of components. Based on the determination result, a sorting machine that automatically performs selection of pass / reproduction processing / discarding is provided, and by changing the processing according to the determination result, it is possible to prevent defective products from being produced. Further, the process can be managed by monitoring the increase / decrease of defects in each process.

【０００８】[0008]

【発明の実施の形態】以下、検査対象としてカラーブラ
ウン管のフェースパネルを例に取り、透明板状物体の欠
陥を検査する本発明の実施形態を図面により説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention for inspecting a defect of a transparent plate-like object will be described below with reference to the drawings, taking a color CRT face panel as an example to be inspected.

【０００９】図１は本発明による透明板状物体測定方法
及び装置の一実施形態を示す構成図であって、１は検査
対象としてのフェースパネル、２は撮像系の光学系、３
はカメラ、４は欠陥を判定するための画像処理装置、５
は照明系の光学系、６は光ファイバ、７は光源装置であ
る。光源装置７からの光は、光ファイバ６によりガイド
されるため、実質的な光源は照明系の光学系５内に位置
することになる。FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of a method and an apparatus for measuring a transparent plate-like object according to the present invention, wherein 1 is a face panel to be inspected, 2 is an optical system of an image pickup system, 3
Denotes a camera, 4 denotes an image processing device for determining a defect, 5
Denotes an optical system of an illumination system, 6 denotes an optical fiber, and 7 denotes a light source device. Since the light from the light source device 7 is guided by the optical fiber 6, the substantial light source is located in the optical system 5 of the illumination system.

【００１０】同図において、光源装置７から発せられた
光は光ファイバ６を介し、照明系の光学系５よりフェー
スパネル１に向け投影される。フェースパネル１を透過
した光は、撮像系の光学系２を介し、カメラ３により撮
像され、画像処理装置４に取り込まれる。画像処理装置
４では、画像はメモリに記憶され、ＣＰＵにて処理を行
う。In FIG. 1, light emitted from a light source device 7 is projected onto a face panel 1 from an optical system 5 of an illumination system via an optical fiber 6. Light transmitted through the face panel 1 is imaged by the camera 3 via the optical system 2 of the imaging system, and is captured by the image processing device 4. In the image processing device 4, the image is stored in the memory, and is processed by the CPU.

【００１１】図２において、本発明の光学系の代表的な
実施例を示す。本実施例は、フェースパネル１に対し、
光源９、撮像系レンズ８、開口絞り１０、カメラの撮像
素子１１が配置される。そして、光源９と開口絞り１０
およびフェースパネル１の被検査面と撮像素子１１は共
役の関係に配置される。即ち、レンズから光源９までの
距離をａ、レンズから開口絞り１０までの距離をｂと
し、撮像系のレンズ８の焦点距離をｆとすると以下の式
が成り立つ。FIG. 2 shows a typical embodiment of the optical system of the present invention. In this embodiment, the face panel 1
A light source 9, an imaging lens 8, an aperture stop 10, and an image sensor 11 of a camera are arranged. Then, the light source 9 and the aperture stop 10
The surface to be inspected of the face panel 1 and the image sensor 11 are arranged in a conjugate relationship. That is, if the distance from the lens to the light source 9 is a, the distance from the lens to the aperture stop 10 is b, and the focal length of the lens 8 of the imaging system is f, the following equation is established.

【００１２】[0012]

【数１】 (Equation 1)

【００１３】また、レンズ８から被検査面までの距離を
ｃ、レンズからカメラの撮像素子１１までの距離をｄと
すると、以下の式が成り立つ。If the distance from the lens 8 to the surface to be inspected is c and the distance from the lens to the image pickup device 11 of the camera is d, the following equation is established.

【００１４】[0014]

【数２】 (Equation 2)

【００１５】本構成において、フェースパネルの欠陥部
分を高感度に検出できる理由を説明する。The reason why a defective portion of the face panel can be detected with high sensitivity in this configuration will be described.

【００１６】光源９より射出した光は、被測定物である
フェースパネル１を透過し、レンズ８により集光され、
開口絞り１０を通過した光束がカメラの撮像素子１１に
結像する。The light emitted from the light source 9 passes through the face panel 1, which is the object to be measured, and is collected by the lens 8,
The light beam that has passed through the aperture stop 10 forms an image on the image sensor 11 of the camera.

【００１７】本光学系において、結像に関わる光束は開
口絞りの開口Δｉを通過するため、合焦点位置での視野
角は規制される。図２においては、例えば欠陥部におけ
る視野角はΔΩに規制されることになる。ここで、フェ
ースパネルに凸や凹があると、図３に示すようにレンズ
効果をおこし、欠陥が凹であっても凸であっても光束は
広がる。In the present optical system, a light beam relating to image formation passes through the aperture Δi of the aperture stop, so that the viewing angle at the focal point is restricted. In FIG. 2, for example, the viewing angle at the defective portion is regulated to ΔΩ. Here, if the face panel has protrusions or depressions, a lens effect occurs as shown in FIG. 3, and the luminous flux spreads regardless of whether the defect is concave or convex.

【００１８】光源９からフェースパネル１を透過する光
は、欠陥のない部分ではそのまま透過するのに対し、欠
陥のある部分では上記レンズ効果を生じ、光がある角度
（Δω）で広がる。Δω＞ΔΩであるならば、欠陥部分
を透過した光はその一部の光束しか結像に関与しないこ
とになるため、欠陥の部分は他の部分より暗い像として
観察されることになる。Light transmitted from the light source 9 through the face panel 1 is transmitted as it is in a portion having no defect, whereas the lens effect occurs in a portion having a defect, and the light spreads at a certain angle (Δω). If Δω> ΔΩ, only a part of the light transmitted through the defective portion is involved in the image formation, so that the defective portion is observed as a darker image than the other portions.

【００１９】また、光源９と絞り１０が共役の関係にあ
ることにより、絞り１０を通る光軸以外の光線による影
響が排除されるため高Ｓ／Ｎにて観察することができ
る。Further, since the light source 9 and the stop 10 are in a conjugate relationship, the influence of light other than the optical axis passing through the stop 10 is eliminated, so that observation can be performed at a high S / N.

【００２０】本発明で検出すべき欠陥は、例えば大きさ
２０〜１００μｍ、深さ５〜３０μｍ程度のきわめて微
小な凹欠陥である。この欠陥を高コントラストで検出す
る構成例を以下に述べる。The defect to be detected in the present invention is, for example, a very minute concave defect having a size of about 20 to 100 μm and a depth of about 5 to 30 μm. A configuration example for detecting this defect with high contrast will be described below.

【００２１】レンズ口径の半径をｒ、素子サイズをｌと
すると、素子全面に像が結ぶためには次の式を満たす必
要がある。Assuming that the radius of the lens aperture is r and the element size is 1, the following equation must be satisfied in order to form an image on the entire surface of the element.

【００２２】[0022]

【数３】 (Equation 3)

【００２３】この式より式（数１）、式（数２）が関係
づけられるため、レンズ焦点距離ｆ、レンズ半径ｒ、素
子サイズｌ、およびａ，ｂ，ｃ，ｄのどれか一つを定め
れば全ての寸法が一意に定まる。Since Equations (1) and (2) are related by this equation, any one of the lens focal length f, the lens radius r, the element size l, and a, b, c, and d is determined. Once defined, all dimensions are uniquely determined.

【００２４】このとき、視野角ΔΩは以下の式で表され
ることになる。At this time, the viewing angle ΔΩ is expressed by the following equation.

【００２５】[0025]

【数４】 (Equation 4)

【００２６】ここで、検出される欠陥のコントラスト
を、頂角Δωの球分の体積Ｖωと頂角ΔΩの球分の体積
ＶΩの比として、次の式で定義する。Here, the contrast of the detected defect is defined by the following equation as the ratio of the volume VΩ of the sphere having the apex angle Δω to the volume VΩ of the sphere having the apex angle ΔΩ.

【００２７】[0027]

【数５】 (Equation 5)

【００２８】コントラストが例えば２倍以上となるため
には、視野角ΔΩ以下の条件を満たす必要がある。In order for the contrast to be twice or more, for example, it is necessary to satisfy a condition of a viewing angle ΔΩ or less.

【００２９】[0029]

【数６】 (Equation 6)

【００３０】傷の形状が凹状で、かつ球面と仮定して、
直径１００μｍ、深さ５μｍである場合、ガラスパネル
の屈折率を１.６とすると、拡散角度Δωは１４.１゜と
なる。これをコントラスト２倍以上で検出するために
は、式（数６）より視野角ΔΩはΔΩ≦１０.０゜であ
ればよい。Assuming that the shape of the wound is concave and spherical,
When the diameter of the glass panel is 100 μm and the depth is 5 μm, the diffusion angle Δω is 14.1 ° when the refractive index of the glass panel is 1.6. In order to detect this at twice or more the contrast, the viewing angle ΔΩ should be ΔΩ ≦ 10.0 ° from the equation (Equation 6).

【００３１】ここで、例えば、レンズ焦点距離ｆ：１
２.５ｍｍ、レンズ半径ｒ：７.５ｍｍ、素子サイズｌ：
４.８ｍｍ、レンズ一光源間距離ａ：５００ｍｍとする
と、式（数１）,（数２）,（数３）より、ｂ：１２.８
ｍｍ，ｃ：４７.８ｍｍ，ｄ：１６.９ｍｍとなる。この
とき、コントラスト２倍以上、すなわちΔΩ≦１０.０
゜とするためには、ピンホール径Δｉは式（数４）よ
り、Δｉ≦２.０３〔ｍｍ〕であればよいことになる。Here, for example, the lens focal length f: 1
2.5 mm, lens radius r: 7.5 mm, element size l:
Assuming that the distance between the lens and the light source is 4.8 mm and the distance a between the lens and the light source is 500 mm, b = 12.8 from the equations (Equation 1), (Equation 2) and (Equation 3).
mm, c: 47.8 mm, and d: 16.9 mm. At this time, the contrast is twice or more, that is, ΔΩ ≦ 10.0.
In order to obtain ゜, the pinhole diameter Δi only needs to be Δi ≦ 2.03 [mm] from the equation (Equation 4).

【００３２】また、図４のように照明系にレンズ１２を
設けても、光源９と絞り１０の位置関係が、照明系の光
学系と撮像系の光学系を合わせた光学系において共役な
位置であればよい。Further, even if the lens 12 is provided in the illumination system as shown in FIG. 4, the positional relationship between the light source 9 and the stop 10 is a conjugate position in the optical system combining the optical system of the illumination system and the optical system of the imaging system. Should be fine.

【００３３】また、図５のように、光源９を平行光を照
射する面光源として、レンズ１２により集光して照明し
てもよい。この場合、結像レンズ８の大きさに対してよ
り大きな範囲を検査することが可能となる。また、照明
の集光する位置からレンズまでの距離をａとしたときａ
に負号を掛けることにより同様の式で光学系を関係づけ
ることができる。Further, as shown in FIG. 5, the light source 9 may be a surface light source for irradiating parallel light and condensed by a lens 12 for illumination. In this case, it is possible to inspect a larger range with respect to the size of the imaging lens 8. Also, when the distance from the position where the light is focused to the lens is a, a
By multiplying by a negative sign, the optical system can be related by the same equation.

【００３４】このとき、光源９を線光源として、センサ
１１に一次元センサを用いてもよい。また、点光源を拡
大し、レンズにて平行光としてもよい。At this time, a one-dimensional sensor may be used as the sensor 11 using the light source 9 as a linear light source. Further, the point light source may be enlarged so as to be made into parallel light by a lens.

【００３５】画像処理部４では、このようにして得られ
た画像を微分することにより欠陥部分を抽出する。欠陥
部分の抽出には２値化を用いてもよい。The image processing section 4 extracts a defective portion by differentiating the image thus obtained. Binarization may be used to extract a defective portion.

【００３６】また、照明は、図６のようにハーフミラー
１３を用いて表面側から行ってもよい。このような構成
の場合、被測定物は必ずしも透明物体である必要はない
ことになる。The illumination may be performed from the front side using the half mirror 13 as shown in FIG. In such a configuration, the measured object does not necessarily need to be a transparent object.

【００３７】被測定物はブラウン管フェースパネルに限
定するものではなく、ガラス板、プラスチック材料、樹
脂材料でもよい。The object to be measured is not limited to the CRT face panel, but may be a glass plate, a plastic material, or a resin material.

【００３８】図７は、表示装置に組み合わされた状態で
の透明板状物体測定方法及び装置の一実施形態を示す構
成図であって、１は検査対象としてのフェースパネル、
２は開口絞りを有する視野角の規制された光学系、３は
カメラ、４は欠陥を判定するための画像処理装置、１４
は信号発生装置である。FIG. 7 is a block diagram showing an embodiment of a method and an apparatus for measuring a transparent plate-like object in a state combined with a display device, wherein 1 is a face panel to be inspected,
2 is an optical system having an aperture stop and having a restricted viewing angle, 3 is a camera, 4 is an image processing device for determining a defect, 14
Is a signal generator.

【００３９】同図において、検査対象１の表示画面に
は、信号発生装置１３から発生される画像信号により、
ラスタ画像（表示装置の表示画面全体を一様な輝度・色
度とする画像）が映出される。表示画面で表示されるか
かるラスタ画像の所望の一部が、光学系２を通し、カメ
ラ３により撮像され、画像処理装置４に取り込まれる。In FIG. 3, the display screen of the inspection object 1 is displayed on the display screen of the inspection object 1 by the image signal generated from the signal generator 13.
A raster image (an image in which the entire display screen of the display device has uniform luminance and chromaticity) is displayed. A desired part of the raster image displayed on the display screen is captured by the camera 3 through the optical system 2 and captured by the image processing device 4.

【００４０】視野角を規制した光学系を用いることで、
上記説明と同様に、欠陥部分を暗部として高Ｓ／Ｎにて
撮像することができる。By using an optical system with a restricted viewing angle,
As in the above description, an image can be taken at a high S / N with a defective portion as a dark portion.

【００４１】図８のように、この撮像系でも、視野角を
規制するためには開口絞り１０の位置は、式（数３）を
満たすようにする。As shown in FIG. 8, also in this image pickup system, the position of the aperture stop 10 is set so as to satisfy the equation (Equation 3) in order to restrict the viewing angle.

【００４２】ここで、フェースパネル表面に焦点を合わ
せても、蛍光面の蛍光ドット１５が明確に認識できる画
像が得られてしまう。この画像では蛍光ドットのエッジ
のコントラストが強いため、欠陥による暗部を見つけだ
すことは困難である。Here, even when focusing is performed on the face panel surface, an image in which the fluorescent dots 15 on the fluorescent screen can be clearly recognized is obtained. In this image, since the contrast of the edge of the fluorescent dot is strong, it is difficult to find a dark part due to a defect.

【００４３】そこで、図９のように、デフォーカスを行
い、光学的なローパスフィルタをかけて撮像する。こう
することにより、撮像素子上では蛍光ドットが存在する
ことにより発生する強いコントラストを減衰させ、欠陥
部分の微弱なコントラストとの相対的な差を小さくする
ことができる。Therefore, as shown in FIG. 9, defocusing is performed, and an image is taken by applying an optical low-pass filter. By doing so, it is possible to attenuate the strong contrast generated due to the presence of the fluorescent dots on the image sensor, and reduce the relative difference from the weak contrast of the defective portion.

【００４４】このようにして撮像することにより、図１
０のように、蛍光ドットパターン中に欠陥による暗部が
浮き出た画像が得られる。By taking an image in this way, FIG.
As in the case of 0, an image is obtained in which a dark portion due to a defect is raised in the fluorescent dot pattern.

【００４５】これを２値化処理をすることにより、図１
１のようにフェースパネルの欠陥部を検出することがで
きる。この、欠陥部を検出するための処理は、輝度の低
い部分を抽出するものであればよい。By subjecting this to a binarization process, FIG.
As shown in FIG. 1, a defective portion of the face panel can be detected. The process for detecting a defective portion may be any process that extracts a low-luminance portion.

【００４６】フェースパネルの全面を検査する場合に
は、検査対象１をＸ−Ｙステージにのせて検査対象を移
動して画像を得ることにより行ってもよい。また、光学
系３およびカメラ４を動かし、複数の画像を得ることに
より行ってもよい。また、光学系３およびカメラ４を複
数用意し、検査対象１に対して複数配置することにより
行ってもよい。When inspecting the entire face panel, the inspection object 1 may be placed on the XY stage, and the inspection object may be moved to obtain an image. Alternatively, the operation may be performed by moving the optical system 3 and the camera 4 to obtain a plurality of images. Alternatively, a plurality of optical systems 3 and cameras 4 may be prepared, and a plurality of optical systems 3 and cameras 4 may be arranged on the inspection target 1.

【００４７】センサには二次元固体撮像素子でもよく、
一次元固体撮像素子（ラインセンサ）でもよく、また撮
像管を用いてもよい。The sensor may be a two-dimensional solid-state image sensor,
A one-dimensional solid-state imaging device (line sensor) may be used, or an imaging tube may be used.

【００４８】また、以上説明した実施形態をカラーブラ
ウン管の製造の複数の工程中に配置し、各工程毎に欠陥
検出を行い、欠陥の数、大きさのデータから部品の、合
格、再生処理、廃棄の選別を自動的に行う機構を設ける
ことにより、高品質な製品を安定して製造することがで
きる。Further, the embodiment described above is arranged in a plurality of steps of manufacturing a color cathode ray tube, and a defect is detected for each step. By providing a mechanism for automatically selecting disposal, high-quality products can be stably manufactured.

【００４９】図１２はかかる欠陥測定装置を用いた本発
明による表示装置の製造工程の一実施形態を示すフロー
チャートである。同図において、ステップ１００はフェ
ースパネルの検査工程であり、ここでは、例えば、フェ
ースパネルを透過光で照明し、その透過光を本発明の測
定手法にて欠陥を検出する。FIG. 12 is a flow chart showing one embodiment of a manufacturing process of a display device according to the present invention using such a defect measuring device. In the figure, step 100 is a face panel inspection process. Here, for example, the face panel is illuminated with transmitted light, and the transmitted light is used to detect a defect by the measuring method of the present invention.

【００５０】本検出結果のデータを、ステップ１０１で
あるパネルを自動選別する機構に送り、欠陥の大きさ、
数により合格、不合格の判定を行い、不合格とされたも
のはラインから外され、返品、あるいは廃棄処分を行
う。これにより、フェースパネルの欠陥を早期に発見
し、不良品の作り込みを防ぐことができる。The data of the detection result is sent to a mechanism for automatically selecting panels in step 101, and the size of the defect is determined.
Pass / fail judgments are made based on the numbers, and the rejected ones are removed from the line and returned or disposed of. This makes it possible to detect a defect in the face panel at an early stage and prevent the production of a defective product.

【００５１】次に、ブラックマトリクス形成（ステップ
１０２）後に検査（ステップ１０３）を行い欠陥を検出
し、そのデータから同様に自動選別（ステップ１０４）
を行い、異物の付着など傷以外の欠陥であれば再生処理
を行う。Next, after the formation of the black matrix (step 102), an inspection (step 103) is performed to detect a defect, and the data is similarly automatically selected (step 104).
If a defect other than a flaw such as adhesion of a foreign substance is present, a regenerating process is performed.

【００５２】蛍光体塗布（ステップ１０５）後の検査
（ステップ１０６）でも同様に、検査データから選別を
行う（ステップ１０７）。In the inspection (step 106) after the application of the phosphor (step 105), selection is similarly performed from the inspection data (step 107).

【００５３】次に、反射防止膜コーティング（ステップ
１０８）後に検査（ステップ１０９）を行い、異物の付
着などによるコーティング欠陥を検出し、同様に選別を
行い（ステップ１１０）、欠陥があれば再生処理を行
う。Next, after the antireflection film coating (step 108), an inspection (step 109) is performed to detect a coating defect due to the adhesion of a foreign substance or the like, and the same is selected (step 110). I do.

【００５４】また、これら欠陥の数を工程全体にわたっ
て監視することにより、欠陥数が急激に増加したときに
警告を出すなどして工程の管理を行うことができる。Further, by monitoring the number of these defects over the entire process, the process can be managed by issuing a warning when the number of defects increases rapidly.

【００５５】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明はこの実施形態のみに限定されるものでは
ない。例えば、上記実施形態では、検査対象をカラーブ
ラウン管としたが、これのみに限定されるのではなく、
ＴＦＴなどの液晶表示装置、プラズマディスプレイ装
置、その他ＥＬ，ＦＥＤなどの表示装置を検査対象とし
てもよいことは明らかである。As described above, one embodiment of the present invention has been described, but the present invention is not limited to only this embodiment. For example, in the above embodiment, the inspection target is a color CRT, but is not limited thereto.
It is apparent that a liquid crystal display device such as a TFT, a plasma display device, and other display devices such as an EL and an FED may be inspected.

【００５６】[0056]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
透明板状物体を照明し、その透過光や反射光を、照明系
と撮像系を合わせた光学系において照明用光源の位置と
撮像系の絞りの位置が共役の関係にある撮像系で撮像す
るため、透明板状物体の傷などの欠陥を高感度に検出す
ることができる。As described above, according to the present invention,
A transparent plate-like object is illuminated, and its transmitted light and reflected light are imaged by an imaging system in which the position of the illumination light source and the position of the diaphragm of the imaging system have a conjugate relationship in an optical system that combines the illumination system and the imaging system. Therefore, defects such as scratches on the transparent plate-like object can be detected with high sensitivity.

【００５７】また、組み付け後の表示装置前面の透明パ
ネルにおいても、視野角が規制されている光学系を用い
て、デフォーカス撮像し、画像処理することにより透明
パネルの欠陥を検出することができる。Further, also on the transparent panel on the front of the display device after assembly, a defect of the transparent panel can be detected by performing defocus imaging and image processing using an optical system having a restricted viewing angle. .

【００５８】また、本発明を製造工程に配置し、検査結
果により自動選別することにより欠陥の生じた製品を作
り込むことなく、再生処理をすることによって高品質な
製品を高歩留まりで製造することができる。In addition, the present invention is arranged in a manufacturing process, and a high quality product is manufactured at a high yield by performing a reprocessing process without producing a product having a defect by automatically sorting according to an inspection result. Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明による欠陥検査方法及び装置の一実施形
態を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a defect inspection method and apparatus according to the present invention.

【図２】本発明の光学系の一実施形態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the optical system of the present invention.

【図３】本発明の透過する光の欠陥による変化を示す図
である。FIG. 3 is a diagram illustrating a change in transmitted light due to a defect according to the present invention.

【図４】本発明の光学系の他の一実施形態を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the optical system of the present invention.

【図５】本発明の光学系の他の一実施形態を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the optical system of the present invention.

【図６】本発明の光学系の他の一実施形態を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the optical system of the present invention.

【図７】本発明による欠陥検査方法及び装置の他の一実
施形態を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing another embodiment of the defect inspection method and apparatus according to the present invention.

【図８】本発明の光学系の結像原理を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an image forming principle of the optical system of the present invention.

【図９】本発明のデフォーカス時の光学系の結像原理を
示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating the principle of image formation of the optical system during defocusing according to the present invention.

【図１０】本発明のカラーブラウン管をデフォーカス撮
像した画像の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an example of an image obtained by performing defocus imaging of the color cathode ray tube of the present invention.

【図１１】本発明の図８に示す画像から欠陥を抽出した
一例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing an example of extracting a defect from the image shown in FIG. 8 of the present invention.

【図１２】図１、図７に示した実施形態を用いたブラウ
ン管製造方法の一実施形態を示すフローチャートであ
る。FIG. 12 is a flowchart showing one embodiment of a cathode ray tube manufacturing method using the embodiment shown in FIGS. 1 and 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…フェースパネル、２…撮像系の光学系、 ３…カメ
ラ、４…画像処理装置、 ５…照明系の光学系、 ６…
光ファイバ、７…光源装置、 ８…撮像系レンズ、
９…光源、 １０…開口絞り、１１…撮像素子、
１２…照明系のレンズ、１３…ハーフミラー、１４…
信号発生装置、１５…蛍光ドット。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Face panel, 2 ... Optical system of imaging system, 3 ... Camera, 4 ... Image processing apparatus, 5 ... Optical system of illumination system, 6 ...
Optical fiber, 7: light source device, 8: imaging lens,
9 light source, 10 aperture stop, 11 image sensor,
12: illumination system lens, 13: half mirror, 14 ...
Signal generator, 15: fluorescent dots.

フロントページの続き (72)発明者 野口 稔 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 小金沢 信之 千葉県茂原市早野3300番地株式会社日立製 作所電子デバイス事業部内Continued on the front page (72) Inventor Minoru Noguchi 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Hitachi, Ltd.Production Technology Research Institute (72) Inventor Nobuyuki Koganezawa 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. Within the Device Division

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】被測定物を光源により照明し、開口絞りを
有する光学系により画像を撮影し、得られた画像から処
理系により欠陥を抽出する透明板状物体検査方法におい
て、照明系、撮像系を合わせた光学系において、照明用
光源の位置と撮像系の絞りの位置が共役の関係にある光
学系にて撮像することを特徴とする透明板状物体の欠陥
検査方法。A transparent plate-like object inspection method for illuminating an object to be measured with a light source, taking an image with an optical system having an aperture stop, and extracting a defect from the obtained image by a processing system. A defect inspection method for a transparent plate-like object, wherein in a combined optical system, an image is taken by an optical system in which the position of a light source for illumination and the position of a stop of the imaging system have a conjugate relationship. 【請求項２】被測定物を照明する光源と、開口絞りを有
する光学系と、光学系を通して得られる画像を撮像する
手段と、得られた画像から欠陥を抽出する処理系と、を
有し、照明系、撮像系を合わせた光学系において、照明
用光源の位置と撮像系の絞りの位置が共役の関係にある
ことを特徴とする透明板状物体の欠陥検査装置。2. A light source for illuminating an object to be measured, an optical system having an aperture stop, means for capturing an image obtained through the optical system, and a processing system for extracting defects from the obtained image. A defect inspection apparatus for a transparent plate-shaped object, wherein the position of the illumination light source and the position of the stop of the imaging system are in a conjugate relationship in an optical system that combines the illumination system and the imaging system. 【請求項３】表示装置前面の透明パネルの欠陥検査方法
において、開口絞りを有し視野角を規制した光学系によ
り画像を撮像し、得られた画像から処理系により欠陥を
抽出する表示装置前面の透明パネルの欠陥検査方法にお
いて、検査対象の被検査面に対しデフォーカスを行い撮
像を行うことを特徴とする透明板状物体の欠陥検査方
法。3. A method for inspecting a defect of a transparent panel on a front surface of a display device, wherein an image is taken by an optical system having an aperture stop and a viewing angle is regulated, and a defect is extracted by a processing system from the obtained image. A defect inspection method for a transparent plate-like object, wherein the defect inspection method for a transparent panel according to the above, wherein defocusing is performed on a surface to be inspected to be inspected and imaging is performed. 【請求項４】表示装置前面の透明パネルの欠陥検査装置
において、開口絞りを用いて視野角を規制した光学系
と、光学系を通して得られる画像を撮像する手段と、得
られた画像から欠陥を抽出する処理系と、を有し、検査
対象の被検査面に対しデフォーカスを行い撮像を行うこ
とを特徴とする透明板状物体の欠陥検査装置。4. An apparatus for inspecting defects of a transparent panel in front of a display device, comprising: an optical system in which a viewing angle is regulated by using an aperture stop; a means for capturing an image obtained through the optical system; A defect inspection apparatus for a transparent plate-shaped object, comprising: a processing system for extracting the object; and performing defocusing and imaging on a surface to be inspected to be inspected. 【請求項５】表示装置前面に組み合わされる透明パネル
において、上記欠陥検査方法のうち、少なくとも１つを
用いて、透明パネル部品受け入れ、ブラックマトリクス
形成工程後、蛍光体塗布工程後、表面コーティング後の
少なくとも１つにおいて欠陥の自動検査を行い、欠陥の
大きさ、数から、合格、再生処理、廃棄の選別を自動的
に行う機構を有することを特徴とする表示装置製造方
法。5. A transparent panel combined with a front surface of a display device, wherein at least one of the defect inspection methods is used to receive a transparent panel component, after a black matrix forming step, after a phosphor coating step, and after a surface coating. A method of manufacturing a display device, comprising: a mechanism for automatically inspecting at least one defect and automatically selecting a pass, a regeneration process, or a discard based on the size and number of defects. 【請求項６】表示装置前面に組み合わされる透明パネル
において、上記欠陥検査方法のうち、少なくとも１つを
用いて、透明パネル部品受け入れ、ブラックマトリクス
形成工程後、蛍光体塗布工程後、表面コーティング後の
少なくとも１つの工程において欠陥の自動検査を行い、
欠陥の大きさ、数から、合格、再生処理、廃棄の選別を
自動的に行う機構を有することにより、透明パネルの欠
陥の大きさ、数のうち少なくとも１つを抑制したことを
特徴とする表示装置。6. A transparent panel combined with a front surface of a display device, wherein at least one of the defect inspection methods is used to receive a transparent panel component, after a black matrix forming step, after a phosphor coating step, and after a surface coating. Automatic inspection of defects in at least one process,
A display characterized in that at least one of the size and the number of defects in the transparent panel is suppressed by having a mechanism for automatically selecting a pass, a regeneration process, and a disposal based on the size and the number of defects. apparatus.