JPH11253897A - 除塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の装置では、クリーニングヘッドの外側
にエアー漏れが発生することによって塵を周囲に撒き散
らし、且つエアーの漏れを調節するためにステージの調
整を細かく行なわなければならなかった。また、エアー
の漏れによって装置近傍に設置された除電装置に悪影響
を与えていた。 【解決手段】 ２台の除塵装置１０Ａ，１０Ｂを連結し
て形成し、ガラス基板１の進行方向に対して、上流側に
設けられた除塵装置１０Ｂのプレッシャー側Ｐの配管７
にバルブ１１を設ける。ガラス基板１を洗浄する場合に
は、上流側のヘッド部２ｄより吸引する量を低下させな
いで上流側のヘッド部２ｃから排出されるエアーの排出
力を、前記バルブを開放することによって下流側のヘッ
ド部２ａから排出されるエアーの排出力より弱く設定す
る。上記手段により、クリーニングヘッド２の周囲への
エアー漏れを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に使
用されるガラス基板等の製造工程時に、ガラス基板等の
表面に付着した塵を除去することができる除塵装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】図４Ａおよび図５は、従来の除塵装置を
側面から見た断面図および平面図である。図４Ａに示す
除塵装置２０は、四角柱状のクリーニング用のヘッド部
２ａ，２ｂが並列して形成され、その長手方向の一面が
ガラス基板（ワーク）１の面に対向して配置されてい
る。ガラス基板１と対向する面には、それぞれスリット
３ａ，３ｂが長手方向に直線状に形成されている。なお
ガラス基板１は、除塵装置２０に対して矢印Ｗ方向へ進
行する。

【０００３】除塵装置２０は、ガラス基板１に対してガ
ラス基板１の下流側からエアーを吹付けて上流側でその
エアーを吸い込み、ガラス基板１上の塵を除去できるよ
うに形成されている。すなわち、除塵装置２０の下流側
に形成されたヘッド部２ａは、エアーを噴出させること
ができるエアー排出室Ｐを有し、上流側に形成されたヘ
ッド部２ｂは、前記ヘッド部２ａから排出されたエアー
を吸い込むことが可能なエアー吸引室Ｖを有している。

【０００４】上記のような除塵装置２０を使用すること
により、図４Ａの実線矢印Ｆ１で示されるようなエアー
の流れが形成され、ガラス基板１上に付着した塵を浮か
せて除去できるようになっている。さらに、ヘッド部２
ａの内部には超音波発生装置５が取付けられている。こ
の超音波発生装置５は、超音波を発生させることがで
き、ここで発生した超音波をエアーに当てることによっ
てエアーを振動させ、塵を除去する効果を高めている。

【０００５】また、ヘッド部２ａ，２ｂには、エアーを
排出および吸引させるための装置として、図５に示すよ
うなブロアユニット６が配管７，８を用いて接続されて
いる。またブロアユニット６には、フィルターが取付け
られており、常にクリーンなエアーがエアー排出室Ｐか
らガラス基板１上に吹付けられるようになっている。

【０００６】図４Ｂは、従来の除塵装置３０の他の形態
を示す。この除塵装置３０は、３つのクリーニング用の
ヘッド部２ａ，２ｂ，２ｃにより形成されている。ガラ
ス基板１の進行方向Ｗに対して一番下流側にエアー排出
室Ｐが形成され、その上流側にエアー吸引室Ｖ、そして
その上流側にエアー排出室Ｐがそれぞれ連続して形成さ
れている。また、上記と同様にクリーニング用のヘッド
部２ａ，２ｃの内部には超音波発生装置５，５が形成さ
れ、ここで発生した超音波をエアーに当てて振動させる
ことができるようになっている。また、その他の従来の
除塵装置としては、図４Ａに示す除塵装置２０を２台連
結したタイプの装置も使用されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の装置では、以下に示す問題があった。図４Ａと
図５に示す除塵装置２０では、ガラス基板１に向けてヘ
ッド部２ａからエアーを吹付け、それによってガラス基
板１上から剥離された塵の一部が、ヘッド部２ｂにより
すべての塵を吸引することができず、前記塵がヘッド部
２ｂの上流側へと逃げてしまい（点線矢印方向Ｆ１
ａ）、ガラス基板１上から剥離した塵を再び剥離しなけ
ればならず洗浄効率が悪く、またヘッド部２ａによるエ
アーの排出圧力によって塵を再び周囲に撒き散らすこと
になるという問題があった。

【０００８】また、図４Ｂに示す除塵装置３０を使用し
た場合には、ヘッド部２ａおよび２ｃのエアーの排出に
よって剥離された塵は、その中間に位置するヘッド部２
ｂによって吸引される。しかし、すべて吸引できずにヘ
ッド部２ｃの上流側へと漏れたり（Ｆ２）、あるいはヘ
ッド部２ｃで剥離された塵が、ヘッド部２ｂではすべて
吸引できずにヘッド部２ａの下流側に漏れてしまい（Ｆ
２）、すでにきれいになったガラス基板１表面が再び汚
れてしまうという問題があった。

【０００９】さらに、図４Ａに示す除塵装置２０を２台
組合わせたタイプの除塵装置では、下流側の１台目の除
塵装置２０で塵の除去が行なわれ、続いて上流側に形成
された除塵装置２０で前回除去できなかった塵の除去が
行なわれるが、この場合も図４Ａに示す除塵装置２０と
同様に、ガラス基板１から剥離された塵がすべて吸引で
きずに上流側の２台目の除塵装置２０のヘッド部２ｂの
上流側に漏れてしまうという問題があった。

【００１０】すなわち、前記した２台組合わせたタイプ
の除塵装置では、各除塵装置２０，２０にブロアユニッ
トが接続され、どちらの除塵装置も装置が有している１
００％の出力でエアーの排出が行われる。したがって、
上流側に形成された２台目の除塵装置２０で再度塵を除
去しようとしても、ヘッド部２ａのエアーの排出力が大
きすぎて、ガラス基板１から剥がされた塵が除塵装置２
０の上流側に漏れ出てしまうためであった。またガラス
基板１とヘッド部２ａ，２ｂ，２ｃとのギャップを調整
する場合には、ガラス基板を載せるステージの高さ調整
および平行出しを行なわなければならず、非常に手間の
かかるものであった。

【００１１】またガラス基板１は通常帯電しているた
め、ガラス基板１には静電気により塵が付着している。
このため除塵装置２０，３０の上流側にイオンを発生さ
せることができる除電装置が設置されているが、ガラス
基板１とヘッド部２ｂ，２ｃとの隙間からエアーが吹き
出すと、そのエアーの風圧によって、発生したイオンが
流されてガラス基板上に到達できず、除電効果が悪くな
るという問題もあった。また、図４Ｂに示す除塵装置３
０では、ブロアユニット６が１台で形成されているため
ヘッド部２ｃのエアーの排出力を弱めようとするとヘッ
ド部２ａの排出力まで弱くなってしまうという問題があ
る。

【００１２】本発明は、上記従来の課題を解決するため
になされたものであり、ステージを調整せず且つ除電装
置に悪影響を与えずしかも塵を含んだエアーを周囲に撒
き散らさずに、ワーク上の塵を完全に除去することがで
きる除塵装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の除塵装置は、エ
アーを排出させるエアー排出室とエアーを吸引するエア
ー吸引室とを設け、ワーク表面に付着した塵にエアーを
吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を吸引し、ワーク表
面を洗浄する除塵装置において、エアー排出室とエアー
吸引室とが設けられたクリーニングヘッドを複数組設
け、ワーク進行方向に対して上流側に位置するエアー排
出室のエアー排出力を下流側に位置するエアー排出室の
エアー排出力よりも弱くしたことを特徴とするものであ
る。

【００１４】上記のように上流側のエアー排出室の圧力
を下流側より弱く設定することにより、通常の圧力でエ
アーを排出するよりも、下流側で除去しきれずに残った
塵を周囲に撒き散らさずに確実に取り込むことができ
る。

【００１５】すなわち、上流側のエアー排出室の圧力を
通常の圧力に設定すると、下流側で除去しきれなかった
塵がさらに前回と同等の圧力でエアーが排出されて塵を
さらに周囲に撒き散らすという問題が発生するが、上流
側のエアー排出室の圧力を下流側のエアーの排出室の圧
力より弱めることにより、前述した問題が解決される。

【００１６】この場合の手段としては、エアー排出室側
の経路のいずれかにバルブを設け、エアーをリークさせ
るようにすることができる。例えば、エアーの排出およ
び吸引を行なうユニットとエアー排出室とを接続する配
管部分にバルブを設けてもよい。

【００１７】上記のように形成することにより、除塵装
置自体を大幅に設計変更することもなく安価に形成でき
且つ容易にエアー排出室の圧力を変更することができ
る。また、ワークとクリーニングヘッドとの間のギャッ
プから漏れるエアーの漏れ量を調節するために、ステー
ジの高さ調整や平行出しという面倒な作業を行なう必要
がない。

【００１８】上記においては、下流側にエアー排出室お
よび上流側にエアー吸引室が設けられたクリーニングヘ
ッドを連続して２組設けてもよい。あるいは、一方にエ
アー排出室および他方にエアー吸引室が設けられたクリ
ーニングヘッドを連続して２組設け且つ前記エアー吸引
室同士が向かい合うように配置してもよい。

【００１９】この場合も同様に上流側のエアー排出室の
圧力を下流側のエアー排出室の圧力よりも弱めに設定す
る。これによって、ワークとクリーニングヘッドとの隙
間から塵を含んだエアーが漏れることを防止できる。

【００２０】また、クリーニングヘッドの上流側には、
ワーク表面に静電気の影響で付着した塵を除去するため
の除電装置が取付けられているが、この除電装置が取付
けられている場合でも、ワークとクリーニングヘッドと
の隙間からエアーがほとんど漏れないようにすることに
よって除電装置から発生するイオンが流され、イオンが
ワークに到達できず除電効果が低下するといったことが
防止される。

【００２１】また、各エアー排出室のエアー吹出口が、
対になっているエアー吸引室の方向に斜めに形成されて
いることが好ましい。

【００２２】上記手段により、ワーク表面に付着した塵
を効率良く剥がすことができ、よって洗浄効果を上げる
ことができ、しかも排出されたエアーがクリーニングヘ
ッド外へ漏れてしまうことが防止される。

【００２３】なお、エアー排出室のエアー吹出口に超音
波発生装置を設けてもよい。この場合超音波をエアーに
当ててエアーを振動させ、この振動したエアーを塵に当
てることにより、ワーク表面に付着した塵をさらに確実
に除去することができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の除塵装置について
図面を参照して説明する。図１は本発明の除塵装置１０
を示す平面図、図２はクリーニングヘッド２を示す断面
図である。この除塵装置１０は、液晶表示装置に使用さ
れるガラス基板の製造工程においてガラス基板１上に付
着した塵を除去するために使用される。除塵装置１０
は、２つの除塵装置が組み合わされて形成されたもので
あり、一方の除塵装置１０Ａは、クリーニング用のヘッ
ド部２ａ，２ｂ、ブロアユニット６および前記ヘッド部
２ａ，２ｂとブロアユニット６とを結ぶ配管７，８によ
り形成されている。もう一方の除塵装置１０Ｂは、ヘッ
ド部２ｃ，２ｄ、ブロアユニット６、前記ヘッド部２
ｃ，２ｄとブロアユニット６とを結ぶ配管７，８および
バルブ１１により形成されている。

【００２５】除塵装置１０Ａのヘッド部２ａ，２ｂは、
四角柱状の筐体により形成され、その内部が完全にエア
ーの流れが遮断されてヘッド部２ａおよび２ｂの２部屋
に仕切られている。前記ヘッド部２ａは、エアーを排出
する側のヘッドであり、ヘッド部２ａの下面すなわちガ
ラス基板１と対向する面の長手方向に沿って直線状にス
リット３ａが形成されている。また、ヘッド部２ｂも上
記ヘッド部２ａと同様にガラス基板１と対向する面側に
スリット３ｂが形成されている。スリット３ａは、図２
に示すように、ガラス基板（ワーク）１の進行方向Ｗに
対して上流方向側へ斜めに切欠きが形成されている。ま
た、スリット３ｂは、ヘッド２ａからのエアーを吸い込
み易いようにガラス基板１の進行方向Ｗに対して下流方
向側へ斜めに切欠きが形成されている。

【００２６】ヘッド部２ａ，２ｂはそれぞれ配管７，８
に接続され、さらに前記配管７，８はブロアユニット６
に接続されている。ブロアユニット６は、エアーの排出
および吸引を行なう装置であり、エアーを排出させる側
（Ｐ：プレッシャー側）は、ブロアユニット６で生成さ
れたエアーが配管７を通りヘッド部２ａ内に送り込まれ
る。またこのときクリーンなエアーを送り込むために、
ブロアユニット６には塵等を除去できるフィルターが設
けられている。

【００２７】一方エアーを吸入する側（Ｖ：バキューム
側）は、ヘッド部２ｂで吸引された塵を含んだエアーが
配管８を通りブロアユニット６へ吸い込まれる。これら
除塵装置１０Ａおよび１０Ｂは、図２に示すように並列
に配置されて形成されている。除塵装置１０Ｂは、前記
除塵装置１０Ａと同様な装置で形成され、さらにこの装
置に配管７の経路上にバルブ１１が設けられている。こ
のバルブ１１は、ブロアユニット６から送られてきたエ
アーを一部外部に開放することによってプレッシャー側
のヘッド部２ｃから排出されるエアーの圧力を弱めるこ
とができるようになっている。

【００２８】また各除塵装置１０Ａ，１０Ｂの各ヘッド
部２ａ，２ｃ内には、超音波発生装置５，５が設けら
れ、この超音波発生装置５，５によって発生した超音波
をエアーに当ててエアーを振動させ、この振動したエア
ーをガラス基板１表面に吹付けることによってガラス基
板１上の塵を取り除き易いようになっている。上記のよ
うに本発明の除塵装置１０は、２台の除塵装置１０Ａお
よび１０Ｂを連結して形成し、かつ上流側の除塵装置１
０Ｂのプレッシャー側にバルブ１１を設けることによ
り、下流側の除塵装置１０Ａのプレッシャー側のエアー
の圧力より弱くできるように形成されている。

【００２９】上記の除塵装置１０を使用してガラス基板
１上に付着した塵を取り除く際のエアーの流れについて
説明する。図２に示されているように、本発明の除塵装
置１０は、ステージ１２上に載置されたガラス基板１の
進行方向Ｗに対して下流側からヘッド部２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄが順番に形成されている。一番下流側のヘッド
部２ａからは通常の圧力のエアーが排出されるが、この
ときヘッド部２ａの開口部に形成されたスリット３ａが
上流側に向けて斜めに切り欠かれているため、エアーは
上流方向に斜めに吹付けられる（矢印Ｆ１）。

【００３０】ヘッド部２ａから排出されたエアーは、ガ
ラス基板１上の塵を剥離しながら矢印Ｆ１で示されるエ
アーの流れに沿って上流方向へと流れる。上流方向へ流
れたエアーは、前記ヘッド部２ａに隣接して形成されて
いるヘッド部２ｂのスリット３ｂの開口部から吸引され
る。しかしながら、このヘッド部２ｂにおいて前記で剥
離された塵をすべて取り込むことはできず、その一部が
さらに上流側へ、ヘッド部２ａから排出されるエアーの
圧力によって漏れ出てしまう（矢印Ｆ４）。

【００３１】この場合、ヘッド部２ｂの上流側へエアー
が漏れ出ないようにヘッド部２ａから排出されるエアー
の排出力を弱めてしまうと、洗浄効果が低下するため好
ましくない。そのため、ヘッド部２ａの排出力は通常の
出力で行なうことが好ましい。上記で一部取り込むこと
ができなかった塵は、さらに上流側に形成された除塵装
置１０Ｂによって取除かれる。この除塵装置１０Ｂのヘ
ッド部２ｃからは、除塵装置１０Ａから排出されるエア
ーよりも弱い圧力を有するエアーが排出される。

【００３２】この場合のエアーの排出圧力の調整は、配
管７に形成されたバルブ１１を調節することにより行な
う。エアーの排出圧力をより低く設定したい場合にはバ
ルブをさらに開放しエアーをより多くリークさせること
により、ヘッド部２ｄからの吸引量を低下させずにヘッ
ド部２ｃからの排出圧力を調節することができる。前記
除塵装置１０Ａで取除くことができなかった一部の塵は
エアーと共に、前記ヘッド部２ｃの排出圧力によりさら
に上流側へと送られ、ヘッド部２ｄによって前記ヘッド
部２ｂで回収できなかった塵と共に吸引される（矢印Ｆ
３）。

【００３３】図３は、本発明の除塵装置の他の実施の形
態を示す断面図である。図３に示す除塵装置１５は、上
記した除塵装置１０と同様に２台の除塵装置１５Ａ，１
５Ｂを組合わせて形成されている。この除塵装置１５
は、上流側の除塵装置１５Ｂのプレッシャー側のヘッド
部２ｃとバキューム側のヘッド部２ｄの位置を逆にして
形成されている。この除塵装置１５では、ヘッド部２ａ
から排出されたエアーは塵と共にヘッド部２ｂで吸引さ
れる（矢印Ｆ１）が、ヘッド部２ｂで回収しきれずに残
った塵がさらに上流側へと押し出される（矢印Ｆ４）。
除塵装置１５Ａで漏れ出てきた塵は、除塵装置１５Ｂに
おけるヘッド部２ｃのエアーによって剥離された塵と共
にヘッド部２ｄで吸引される。

【００３４】この場合、除塵装置１５Ａ側から漏れてき
た塵は、除塵装置１５Ｂにおいて排出される側のエアー
がリークされているため、そのエアー排出の圧力によっ
て再び下流側に押し戻されることがなく、最終的に塵は
すべてヘッド部２ｄで吸引されて除去される。またこの
除塵装置１５に形成されるスリット３ａ，３ｄは上流側
に向いて斜めに切り欠かれて形成され、スリット３ｂ，
３ｃは下流側に向いて斜めに切り欠かれて形成されてい
る。

【００３５】この場合、スリット３ｃは、下流方向に斜
めに切り欠かれていることにより排出されたエアーによ
って塵がヘッド部２ｃの上流側へ流れ出てしまうことが
抑えられる。また、スリット３ａは上流側に斜めに切り
欠かれていることにより、剥離された塵がすでに洗浄さ
れた下流側のガラス基板１上に撒き散らされることが防
止される。スリットの形状は、ガラス基板１上から剥離
された塵を吸引し易いようにエアーの吸引側の開口部を
排出側よりも大きく形成してもよい。

【００３６】また、除塵装置１０Ａ，１５Ａのエアー排
出側にもバルブ１１を設け、より細かいエアーの排出圧
の制御を行なってもよい。本発明の除塵装置は、エアー
排出室およびエアー吸引室を有する除塵装置を２台並べ
て形成することが洗浄面およびコスト面からみて好まし
い。

【００３７】

【実施例】以下、本発明の除塵装置を使用した場合のエ
アー漏れの効果について詳述する。 ［実施例および比較例］図２で示される除塵装置１０を
使用し、クリーニングヘッド２とガラス基板１（ワー
ク）との隙間Ｑから漏れる風速が０．４ｍ／ｓ（Ｖ２）
以下となるように設定した場合の、クリーニングヘッド
２とガラス基板１とのギャップと、バルブ１１からリー
クさせるエアーの風速との関係を測定した。このときの
ガラス基板１とクリーニングヘッド２とのギャップをＬ
とし、バルブ１１においてリークさせる風速をＶ１とし
た。その結果を図６に示す。

【００３８】また比較例として、図２に示す除塵装置１
０を使用し、バルブ１１からエアーをリークさせないよ
うにした場合の、クリーニングヘッド２とガラス基板１
とのギャップＬと、クリーニングヘッド２とガラス基板
１との隙間Ｑから漏れるエアーの風速Ｖ２との関係を測
定した。その結果を図７に示す。図７の比較例に示すよ
うに、エアーをリークさせない場合はギャップＬが大き
くなるにつれてエアー漏れの風速Ｖ２が大きくなり、ガ
ラス基板１から剥離した塵を周囲に撒き散らし且つ除電
装置にも悪影響を与えるという問題が発生した。

【００３９】図６に示す実施例においては、バルブから
エアーをリークさせることによりたとえギャップＬが大
きくなったとしても隙間Ｑからのエアー漏れの風速Ｖ２
を０．４ｍ／ｓというほとんど無風状態に近い風速に維
持することができ、塵を周囲に撒き散らしたり、除電装
置に悪影響を与えることがなかった。また、上記隙間Ｑ
から漏れる風速Ｖ２を０．４ｍ／ｓ以下に設定すること
により、除電装置の設置場所付近では０．２５ｍ／ｓと
いうほとんど無風状態となり好ましい。

【００４０】

【発明の効果】本発明の除塵装置は、塵を周囲に撒き散
らさず且つ除電装置の除電効果を損なうことなく、液晶
表示装置に使用されるガラス基板等のワークを洗浄する
ことに優れているものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の除塵装置の全体を示す平面図、

【図２】本発明の除塵装置にかかるクリーニングヘッド
部を示す断面図、

【図３】本発明の除塵装置の他の実施の形態を示す断面
図、

【図４】Ａ，Ｂは従来の除塵装置を構造別に示す断面
図、

【図５】図４Ａに示す除塵装置の平面図、

【図６】本発明の除塵装置にかかるバルブからエアーを
リークさせる風速Ｖ１とギャップＬとの関係を示すグラ
フ、

【図７】バルブからエアーをリークさせない場合の、エ
アー漏れの風速Ｖ２とギャップＬとの関係を示すグラ
フ、

【符号の説明】

１ ガラス基板 ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ ヘッド部 ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ スリット ５ 超音波発生装置 ６ ブロアユニット ７，８ 配管 １０，１５ 除塵装置 １１ バルブ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エアーを排出させるエアー排出室とエア
   ーを吸引するエアー吸引室とを設け、ワーク表面に付着
   した塵にエアーを吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を
   吸引し、ワーク表面を洗浄する除塵装置において、 エアー排出室とエアー吸引室とが設けられたクリーニン
   グヘッドを複数組設け、ワーク進行方向に対して上流側
   に位置するエアー排出室のエアー排出力を下流側に位置
   するエアー排出室のエアー排出力よりも弱くしたことを
   特徴とする除塵装置。
2. 【請求項２】 エアー排出室側の経路のいずれかにバル
   ブを設け、エアーをリークさせた請求項１記載の除塵装
   置。
3. 【請求項３】 下流側にエアー排出室および上流側にエ
   アー吸入室が設けられたクリーニングヘッドを連続して
   ２組設けた請求項１または２記載の除塵装置。
4. 【請求項４】 一方にエアー排出室および他方にエアー
   吸引室が設けられたクリーニングヘッドを連続して２組
   設け且つ前記エアー吸引室同士が向かい合うように配置
   された請求項１または２記載の除塵装置。
5. 【請求項５】 各エアー排出室のエアー吹出口が、対に
   なっているエアー吸引室の方向に斜めに形成された請求
   項１ないし４のいずれかに記載の除塵装置。