JPH11253897A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
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- JPH11253897A JPH11253897A JP6007198A JP6007198A JPH11253897A JP H11253897 A JPH11253897 A JP H11253897A JP 6007198 A JP6007198 A JP 6007198A JP 6007198 A JP6007198 A JP 6007198A JP H11253897 A JPH11253897 A JP H11253897A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の装置では、クリーニングヘッドの外側
にエアー漏れが発生することによって塵を周囲に撒き散
らし、且つエアーの漏れを調節するためにステージの調
整を細かく行なわなければならなかった。また、エアー
の漏れによって装置近傍に設置された除電装置に悪影響
を与えていた。 【解決手段】 2台の除塵装置10A,10Bを連結し
て形成し、ガラス基板1の進行方向に対して、上流側に
設けられた除塵装置10Bのプレッシャー側Pの配管7
にバルブ11を設ける。ガラス基板1を洗浄する場合に
は、上流側のヘッド部2dより吸引する量を低下させな
いで上流側のヘッド部2cから排出されるエアーの排出
力を、前記バルブを開放することによって下流側のヘッ
ド部2aから排出されるエアーの排出力より弱く設定す
る。上記手段により、クリーニングヘッド2の周囲への
エアー漏れを防止することができる。
にエアー漏れが発生することによって塵を周囲に撒き散
らし、且つエアーの漏れを調節するためにステージの調
整を細かく行なわなければならなかった。また、エアー
の漏れによって装置近傍に設置された除電装置に悪影響
を与えていた。 【解決手段】 2台の除塵装置10A,10Bを連結し
て形成し、ガラス基板1の進行方向に対して、上流側に
設けられた除塵装置10Bのプレッシャー側Pの配管7
にバルブ11を設ける。ガラス基板1を洗浄する場合に
は、上流側のヘッド部2dより吸引する量を低下させな
いで上流側のヘッド部2cから排出されるエアーの排出
力を、前記バルブを開放することによって下流側のヘッ
ド部2aから排出されるエアーの排出力より弱く設定す
る。上記手段により、クリーニングヘッド2の周囲への
エアー漏れを防止することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に使
用されるガラス基板等の製造工程時に、ガラス基板等の
表面に付着した塵を除去することができる除塵装置に関
する。
用されるガラス基板等の製造工程時に、ガラス基板等の
表面に付着した塵を除去することができる除塵装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】図4Aおよび図5は、従来の除塵装置を
側面から見た断面図および平面図である。図4Aに示す
除塵装置20は、四角柱状のクリーニング用のヘッド部
2a,2bが並列して形成され、その長手方向の一面が
ガラス基板(ワーク)1の面に対向して配置されてい
る。ガラス基板1と対向する面には、それぞれスリット
3a,3bが長手方向に直線状に形成されている。なお
ガラス基板1は、除塵装置20に対して矢印W方向へ進
行する。
側面から見た断面図および平面図である。図4Aに示す
除塵装置20は、四角柱状のクリーニング用のヘッド部
2a,2bが並列して形成され、その長手方向の一面が
ガラス基板(ワーク)1の面に対向して配置されてい
る。ガラス基板1と対向する面には、それぞれスリット
3a,3bが長手方向に直線状に形成されている。なお
ガラス基板1は、除塵装置20に対して矢印W方向へ進
行する。
【0003】除塵装置20は、ガラス基板1に対してガ
ラス基板1の下流側からエアーを吹付けて上流側でその
エアーを吸い込み、ガラス基板1上の塵を除去できるよ
うに形成されている。すなわち、除塵装置20の下流側
に形成されたヘッド部2aは、エアーを噴出させること
ができるエアー排出室Pを有し、上流側に形成されたヘ
ッド部2bは、前記ヘッド部2aから排出されたエアー
を吸い込むことが可能なエアー吸引室Vを有している。
ラス基板1の下流側からエアーを吹付けて上流側でその
エアーを吸い込み、ガラス基板1上の塵を除去できるよ
うに形成されている。すなわち、除塵装置20の下流側
に形成されたヘッド部2aは、エアーを噴出させること
ができるエアー排出室Pを有し、上流側に形成されたヘ
ッド部2bは、前記ヘッド部2aから排出されたエアー
を吸い込むことが可能なエアー吸引室Vを有している。
【0004】上記のような除塵装置20を使用すること
により、図4Aの実線矢印F1で示されるようなエアー
の流れが形成され、ガラス基板1上に付着した塵を浮か
せて除去できるようになっている。さらに、ヘッド部2
aの内部には超音波発生装置5が取付けられている。こ
の超音波発生装置5は、超音波を発生させることがで
き、ここで発生した超音波をエアーに当てることによっ
てエアーを振動させ、塵を除去する効果を高めている。
により、図4Aの実線矢印F1で示されるようなエアー
の流れが形成され、ガラス基板1上に付着した塵を浮か
せて除去できるようになっている。さらに、ヘッド部2
aの内部には超音波発生装置5が取付けられている。こ
の超音波発生装置5は、超音波を発生させることがで
き、ここで発生した超音波をエアーに当てることによっ
てエアーを振動させ、塵を除去する効果を高めている。
【0005】また、ヘッド部2a,2bには、エアーを
排出および吸引させるための装置として、図5に示すよ
うなブロアユニット6が配管7,8を用いて接続されて
いる。またブロアユニット6には、フィルターが取付け
られており、常にクリーンなエアーがエアー排出室Pか
らガラス基板1上に吹付けられるようになっている。
排出および吸引させるための装置として、図5に示すよ
うなブロアユニット6が配管7,8を用いて接続されて
いる。またブロアユニット6には、フィルターが取付け
られており、常にクリーンなエアーがエアー排出室Pか
らガラス基板1上に吹付けられるようになっている。
【0006】図4Bは、従来の除塵装置30の他の形態
を示す。この除塵装置30は、3つのクリーニング用の
ヘッド部2a,2b,2cにより形成されている。ガラ
ス基板1の進行方向Wに対して一番下流側にエアー排出
室Pが形成され、その上流側にエアー吸引室V、そして
その上流側にエアー排出室Pがそれぞれ連続して形成さ
れている。また、上記と同様にクリーニング用のヘッド
部2a,2cの内部には超音波発生装置5,5が形成さ
れ、ここで発生した超音波をエアーに当てて振動させる
ことができるようになっている。また、その他の従来の
除塵装置としては、図4Aに示す除塵装置20を2台連
結したタイプの装置も使用されている。
を示す。この除塵装置30は、3つのクリーニング用の
ヘッド部2a,2b,2cにより形成されている。ガラ
ス基板1の進行方向Wに対して一番下流側にエアー排出
室Pが形成され、その上流側にエアー吸引室V、そして
その上流側にエアー排出室Pがそれぞれ連続して形成さ
れている。また、上記と同様にクリーニング用のヘッド
部2a,2cの内部には超音波発生装置5,5が形成さ
れ、ここで発生した超音波をエアーに当てて振動させる
ことができるようになっている。また、その他の従来の
除塵装置としては、図4Aに示す除塵装置20を2台連
結したタイプの装置も使用されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の装置では、以下に示す問題があった。図4Aと
図5に示す除塵装置20では、ガラス基板1に向けてヘ
ッド部2aからエアーを吹付け、それによってガラス基
板1上から剥離された塵の一部が、ヘッド部2bにより
すべての塵を吸引することができず、前記塵がヘッド部
2bの上流側へと逃げてしまい(点線矢印方向F1
a)、ガラス基板1上から剥離した塵を再び剥離しなけ
ればならず洗浄効率が悪く、またヘッド部2aによるエ
アーの排出圧力によって塵を再び周囲に撒き散らすこと
になるという問題があった。
た従来の装置では、以下に示す問題があった。図4Aと
図5に示す除塵装置20では、ガラス基板1に向けてヘ
ッド部2aからエアーを吹付け、それによってガラス基
板1上から剥離された塵の一部が、ヘッド部2bにより
すべての塵を吸引することができず、前記塵がヘッド部
2bの上流側へと逃げてしまい(点線矢印方向F1
a)、ガラス基板1上から剥離した塵を再び剥離しなけ
ればならず洗浄効率が悪く、またヘッド部2aによるエ
アーの排出圧力によって塵を再び周囲に撒き散らすこと
になるという問題があった。
【0008】また、図4Bに示す除塵装置30を使用し
た場合には、ヘッド部2aおよび2cのエアーの排出に
よって剥離された塵は、その中間に位置するヘッド部2
bによって吸引される。しかし、すべて吸引できずにヘ
ッド部2cの上流側へと漏れたり(F2)、あるいはヘ
ッド部2cで剥離された塵が、ヘッド部2bではすべて
吸引できずにヘッド部2aの下流側に漏れてしまい(F
2)、すでにきれいになったガラス基板1表面が再び汚
れてしまうという問題があった。
た場合には、ヘッド部2aおよび2cのエアーの排出に
よって剥離された塵は、その中間に位置するヘッド部2
bによって吸引される。しかし、すべて吸引できずにヘ
ッド部2cの上流側へと漏れたり(F2)、あるいはヘ
ッド部2cで剥離された塵が、ヘッド部2bではすべて
吸引できずにヘッド部2aの下流側に漏れてしまい(F
2)、すでにきれいになったガラス基板1表面が再び汚
れてしまうという問題があった。
【0009】さらに、図4Aに示す除塵装置20を2台
組合わせたタイプの除塵装置では、下流側の1台目の除
塵装置20で塵の除去が行なわれ、続いて上流側に形成
された除塵装置20で前回除去できなかった塵の除去が
行なわれるが、この場合も図4Aに示す除塵装置20と
同様に、ガラス基板1から剥離された塵がすべて吸引で
きずに上流側の2台目の除塵装置20のヘッド部2bの
上流側に漏れてしまうという問題があった。
組合わせたタイプの除塵装置では、下流側の1台目の除
塵装置20で塵の除去が行なわれ、続いて上流側に形成
された除塵装置20で前回除去できなかった塵の除去が
行なわれるが、この場合も図4Aに示す除塵装置20と
同様に、ガラス基板1から剥離された塵がすべて吸引で
きずに上流側の2台目の除塵装置20のヘッド部2bの
上流側に漏れてしまうという問題があった。
【0010】すなわち、前記した2台組合わせたタイプ
の除塵装置では、各除塵装置20,20にブロアユニッ
トが接続され、どちらの除塵装置も装置が有している1
00%の出力でエアーの排出が行われる。したがって、
上流側に形成された2台目の除塵装置20で再度塵を除
去しようとしても、ヘッド部2aのエアーの排出力が大
きすぎて、ガラス基板1から剥がされた塵が除塵装置2
0の上流側に漏れ出てしまうためであった。またガラス
基板1とヘッド部2a,2b,2cとのギャップを調整
する場合には、ガラス基板を載せるステージの高さ調整
および平行出しを行なわなければならず、非常に手間の
かかるものであった。
の除塵装置では、各除塵装置20,20にブロアユニッ
トが接続され、どちらの除塵装置も装置が有している1
00%の出力でエアーの排出が行われる。したがって、
上流側に形成された2台目の除塵装置20で再度塵を除
去しようとしても、ヘッド部2aのエアーの排出力が大
きすぎて、ガラス基板1から剥がされた塵が除塵装置2
0の上流側に漏れ出てしまうためであった。またガラス
基板1とヘッド部2a,2b,2cとのギャップを調整
する場合には、ガラス基板を載せるステージの高さ調整
および平行出しを行なわなければならず、非常に手間の
かかるものであった。
【0011】またガラス基板1は通常帯電しているた
め、ガラス基板1には静電気により塵が付着している。
このため除塵装置20,30の上流側にイオンを発生さ
せることができる除電装置が設置されているが、ガラス
基板1とヘッド部2b,2cとの隙間からエアーが吹き
出すと、そのエアーの風圧によって、発生したイオンが
流されてガラス基板上に到達できず、除電効果が悪くな
るという問題もあった。また、図4Bに示す除塵装置3
0では、ブロアユニット6が1台で形成されているため
ヘッド部2cのエアーの排出力を弱めようとするとヘッ
ド部2aの排出力まで弱くなってしまうという問題があ
る。
め、ガラス基板1には静電気により塵が付着している。
このため除塵装置20,30の上流側にイオンを発生さ
せることができる除電装置が設置されているが、ガラス
基板1とヘッド部2b,2cとの隙間からエアーが吹き
出すと、そのエアーの風圧によって、発生したイオンが
流されてガラス基板上に到達できず、除電効果が悪くな
るという問題もあった。また、図4Bに示す除塵装置3
0では、ブロアユニット6が1台で形成されているため
ヘッド部2cのエアーの排出力を弱めようとするとヘッ
ド部2aの排出力まで弱くなってしまうという問題があ
る。
【0012】本発明は、上記従来の課題を解決するため
になされたものであり、ステージを調整せず且つ除電装
置に悪影響を与えずしかも塵を含んだエアーを周囲に撒
き散らさずに、ワーク上の塵を完全に除去することがで
きる除塵装置を提供することを目的とする。
になされたものであり、ステージを調整せず且つ除電装
置に悪影響を与えずしかも塵を含んだエアーを周囲に撒
き散らさずに、ワーク上の塵を完全に除去することがで
きる除塵装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の除塵装置は、エ
アーを排出させるエアー排出室とエアーを吸引するエア
ー吸引室とを設け、ワーク表面に付着した塵にエアーを
吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を吸引し、ワーク表
面を洗浄する除塵装置において、エアー排出室とエアー
吸引室とが設けられたクリーニングヘッドを複数組設
け、ワーク進行方向に対して上流側に位置するエアー排
出室のエアー排出力を下流側に位置するエアー排出室の
エアー排出力よりも弱くしたことを特徴とするものであ
る。
アーを排出させるエアー排出室とエアーを吸引するエア
ー吸引室とを設け、ワーク表面に付着した塵にエアーを
吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を吸引し、ワーク表
面を洗浄する除塵装置において、エアー排出室とエアー
吸引室とが設けられたクリーニングヘッドを複数組設
け、ワーク進行方向に対して上流側に位置するエアー排
出室のエアー排出力を下流側に位置するエアー排出室の
エアー排出力よりも弱くしたことを特徴とするものであ
る。
【0014】上記のように上流側のエアー排出室の圧力
を下流側より弱く設定することにより、通常の圧力でエ
アーを排出するよりも、下流側で除去しきれずに残った
塵を周囲に撒き散らさずに確実に取り込むことができ
る。
を下流側より弱く設定することにより、通常の圧力でエ
アーを排出するよりも、下流側で除去しきれずに残った
塵を周囲に撒き散らさずに確実に取り込むことができ
る。
【0015】すなわち、上流側のエアー排出室の圧力を
通常の圧力に設定すると、下流側で除去しきれなかった
塵がさらに前回と同等の圧力でエアーが排出されて塵を
さらに周囲に撒き散らすという問題が発生するが、上流
側のエアー排出室の圧力を下流側のエアーの排出室の圧
力より弱めることにより、前述した問題が解決される。
通常の圧力に設定すると、下流側で除去しきれなかった
塵がさらに前回と同等の圧力でエアーが排出されて塵を
さらに周囲に撒き散らすという問題が発生するが、上流
側のエアー排出室の圧力を下流側のエアーの排出室の圧
力より弱めることにより、前述した問題が解決される。
【0016】この場合の手段としては、エアー排出室側
の経路のいずれかにバルブを設け、エアーをリークさせ
るようにすることができる。例えば、エアーの排出およ
び吸引を行なうユニットとエアー排出室とを接続する配
管部分にバルブを設けてもよい。
の経路のいずれかにバルブを設け、エアーをリークさせ
るようにすることができる。例えば、エアーの排出およ
び吸引を行なうユニットとエアー排出室とを接続する配
管部分にバルブを設けてもよい。
【0017】上記のように形成することにより、除塵装
置自体を大幅に設計変更することもなく安価に形成でき
且つ容易にエアー排出室の圧力を変更することができ
る。また、ワークとクリーニングヘッドとの間のギャッ
プから漏れるエアーの漏れ量を調節するために、ステー
ジの高さ調整や平行出しという面倒な作業を行なう必要
がない。
置自体を大幅に設計変更することもなく安価に形成でき
且つ容易にエアー排出室の圧力を変更することができ
る。また、ワークとクリーニングヘッドとの間のギャッ
プから漏れるエアーの漏れ量を調節するために、ステー
ジの高さ調整や平行出しという面倒な作業を行なう必要
がない。
【0018】上記においては、下流側にエアー排出室お
よび上流側にエアー吸引室が設けられたクリーニングヘ
ッドを連続して2組設けてもよい。あるいは、一方にエ
アー排出室および他方にエアー吸引室が設けられたクリ
ーニングヘッドを連続して2組設け且つ前記エアー吸引
室同士が向かい合うように配置してもよい。
よび上流側にエアー吸引室が設けられたクリーニングヘ
ッドを連続して2組設けてもよい。あるいは、一方にエ
アー排出室および他方にエアー吸引室が設けられたクリ
ーニングヘッドを連続して2組設け且つ前記エアー吸引
室同士が向かい合うように配置してもよい。
【0019】この場合も同様に上流側のエアー排出室の
圧力を下流側のエアー排出室の圧力よりも弱めに設定す
る。これによって、ワークとクリーニングヘッドとの隙
間から塵を含んだエアーが漏れることを防止できる。
圧力を下流側のエアー排出室の圧力よりも弱めに設定す
る。これによって、ワークとクリーニングヘッドとの隙
間から塵を含んだエアーが漏れることを防止できる。
【0020】また、クリーニングヘッドの上流側には、
ワーク表面に静電気の影響で付着した塵を除去するため
の除電装置が取付けられているが、この除電装置が取付
けられている場合でも、ワークとクリーニングヘッドと
の隙間からエアーがほとんど漏れないようにすることに
よって除電装置から発生するイオンが流され、イオンが
ワークに到達できず除電効果が低下するといったことが
防止される。
ワーク表面に静電気の影響で付着した塵を除去するため
の除電装置が取付けられているが、この除電装置が取付
けられている場合でも、ワークとクリーニングヘッドと
の隙間からエアーがほとんど漏れないようにすることに
よって除電装置から発生するイオンが流され、イオンが
ワークに到達できず除電効果が低下するといったことが
防止される。
【0021】また、各エアー排出室のエアー吹出口が、
対になっているエアー吸引室の方向に斜めに形成されて
いることが好ましい。
対になっているエアー吸引室の方向に斜めに形成されて
いることが好ましい。
【0022】上記手段により、ワーク表面に付着した塵
を効率良く剥がすことができ、よって洗浄効果を上げる
ことができ、しかも排出されたエアーがクリーニングヘ
ッド外へ漏れてしまうことが防止される。
を効率良く剥がすことができ、よって洗浄効果を上げる
ことができ、しかも排出されたエアーがクリーニングヘ
ッド外へ漏れてしまうことが防止される。
【0023】なお、エアー排出室のエアー吹出口に超音
波発生装置を設けてもよい。この場合超音波をエアーに
当ててエアーを振動させ、この振動したエアーを塵に当
てることにより、ワーク表面に付着した塵をさらに確実
に除去することができる。
波発生装置を設けてもよい。この場合超音波をエアーに
当ててエアーを振動させ、この振動したエアーを塵に当
てることにより、ワーク表面に付着した塵をさらに確実
に除去することができる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の除塵装置について
図面を参照して説明する。図1は本発明の除塵装置10
を示す平面図、図2はクリーニングヘッド2を示す断面
図である。この除塵装置10は、液晶表示装置に使用さ
れるガラス基板の製造工程においてガラス基板1上に付
着した塵を除去するために使用される。除塵装置10
は、2つの除塵装置が組み合わされて形成されたもので
あり、一方の除塵装置10Aは、クリーニング用のヘッ
ド部2a,2b、ブロアユニット6および前記ヘッド部
2a,2bとブロアユニット6とを結ぶ配管7,8によ
り形成されている。もう一方の除塵装置10Bは、ヘッ
ド部2c,2d、ブロアユニット6、前記ヘッド部2
c,2dとブロアユニット6とを結ぶ配管7,8および
バルブ11により形成されている。
図面を参照して説明する。図1は本発明の除塵装置10
を示す平面図、図2はクリーニングヘッド2を示す断面
図である。この除塵装置10は、液晶表示装置に使用さ
れるガラス基板の製造工程においてガラス基板1上に付
着した塵を除去するために使用される。除塵装置10
は、2つの除塵装置が組み合わされて形成されたもので
あり、一方の除塵装置10Aは、クリーニング用のヘッ
ド部2a,2b、ブロアユニット6および前記ヘッド部
2a,2bとブロアユニット6とを結ぶ配管7,8によ
り形成されている。もう一方の除塵装置10Bは、ヘッ
ド部2c,2d、ブロアユニット6、前記ヘッド部2
c,2dとブロアユニット6とを結ぶ配管7,8および
バルブ11により形成されている。
【0025】除塵装置10Aのヘッド部2a,2bは、
四角柱状の筐体により形成され、その内部が完全にエア
ーの流れが遮断されてヘッド部2aおよび2bの2部屋
に仕切られている。前記ヘッド部2aは、エアーを排出
する側のヘッドであり、ヘッド部2aの下面すなわちガ
ラス基板1と対向する面の長手方向に沿って直線状にス
リット3aが形成されている。また、ヘッド部2bも上
記ヘッド部2aと同様にガラス基板1と対向する面側に
スリット3bが形成されている。スリット3aは、図2
に示すように、ガラス基板(ワーク)1の進行方向Wに
対して上流方向側へ斜めに切欠きが形成されている。ま
た、スリット3bは、ヘッド2aからのエアーを吸い込
み易いようにガラス基板1の進行方向Wに対して下流方
向側へ斜めに切欠きが形成されている。
四角柱状の筐体により形成され、その内部が完全にエア
ーの流れが遮断されてヘッド部2aおよび2bの2部屋
に仕切られている。前記ヘッド部2aは、エアーを排出
する側のヘッドであり、ヘッド部2aの下面すなわちガ
ラス基板1と対向する面の長手方向に沿って直線状にス
リット3aが形成されている。また、ヘッド部2bも上
記ヘッド部2aと同様にガラス基板1と対向する面側に
スリット3bが形成されている。スリット3aは、図2
に示すように、ガラス基板(ワーク)1の進行方向Wに
対して上流方向側へ斜めに切欠きが形成されている。ま
た、スリット3bは、ヘッド2aからのエアーを吸い込
み易いようにガラス基板1の進行方向Wに対して下流方
向側へ斜めに切欠きが形成されている。
【0026】ヘッド部2a,2bはそれぞれ配管7,8
に接続され、さらに前記配管7,8はブロアユニット6
に接続されている。ブロアユニット6は、エアーの排出
および吸引を行なう装置であり、エアーを排出させる側
(P:プレッシャー側)は、ブロアユニット6で生成さ
れたエアーが配管7を通りヘッド部2a内に送り込まれ
る。またこのときクリーンなエアーを送り込むために、
ブロアユニット6には塵等を除去できるフィルターが設
けられている。
に接続され、さらに前記配管7,8はブロアユニット6
に接続されている。ブロアユニット6は、エアーの排出
および吸引を行なう装置であり、エアーを排出させる側
(P:プレッシャー側)は、ブロアユニット6で生成さ
れたエアーが配管7を通りヘッド部2a内に送り込まれ
る。またこのときクリーンなエアーを送り込むために、
ブロアユニット6には塵等を除去できるフィルターが設
けられている。
【0027】一方エアーを吸入する側(V:バキューム
側)は、ヘッド部2bで吸引された塵を含んだエアーが
配管8を通りブロアユニット6へ吸い込まれる。これら
除塵装置10Aおよび10Bは、図2に示すように並列
に配置されて形成されている。除塵装置10Bは、前記
除塵装置10Aと同様な装置で形成され、さらにこの装
置に配管7の経路上にバルブ11が設けられている。こ
のバルブ11は、ブロアユニット6から送られてきたエ
アーを一部外部に開放することによってプレッシャー側
のヘッド部2cから排出されるエアーの圧力を弱めるこ
とができるようになっている。
側)は、ヘッド部2bで吸引された塵を含んだエアーが
配管8を通りブロアユニット6へ吸い込まれる。これら
除塵装置10Aおよび10Bは、図2に示すように並列
に配置されて形成されている。除塵装置10Bは、前記
除塵装置10Aと同様な装置で形成され、さらにこの装
置に配管7の経路上にバルブ11が設けられている。こ
のバルブ11は、ブロアユニット6から送られてきたエ
アーを一部外部に開放することによってプレッシャー側
のヘッド部2cから排出されるエアーの圧力を弱めるこ
とができるようになっている。
【0028】また各除塵装置10A,10Bの各ヘッド
部2a,2c内には、超音波発生装置5,5が設けら
れ、この超音波発生装置5,5によって発生した超音波
をエアーに当ててエアーを振動させ、この振動したエア
ーをガラス基板1表面に吹付けることによってガラス基
板1上の塵を取り除き易いようになっている。上記のよ
うに本発明の除塵装置10は、2台の除塵装置10Aお
よび10Bを連結して形成し、かつ上流側の除塵装置1
0Bのプレッシャー側にバルブ11を設けることによ
り、下流側の除塵装置10Aのプレッシャー側のエアー
の圧力より弱くできるように形成されている。
部2a,2c内には、超音波発生装置5,5が設けら
れ、この超音波発生装置5,5によって発生した超音波
をエアーに当ててエアーを振動させ、この振動したエア
ーをガラス基板1表面に吹付けることによってガラス基
板1上の塵を取り除き易いようになっている。上記のよ
うに本発明の除塵装置10は、2台の除塵装置10Aお
よび10Bを連結して形成し、かつ上流側の除塵装置1
0Bのプレッシャー側にバルブ11を設けることによ
り、下流側の除塵装置10Aのプレッシャー側のエアー
の圧力より弱くできるように形成されている。
【0029】上記の除塵装置10を使用してガラス基板
1上に付着した塵を取り除く際のエアーの流れについて
説明する。図2に示されているように、本発明の除塵装
置10は、ステージ12上に載置されたガラス基板1の
進行方向Wに対して下流側からヘッド部2a,2b,2
c,2dが順番に形成されている。一番下流側のヘッド
部2aからは通常の圧力のエアーが排出されるが、この
ときヘッド部2aの開口部に形成されたスリット3aが
上流側に向けて斜めに切り欠かれているため、エアーは
上流方向に斜めに吹付けられる(矢印F1)。
1上に付着した塵を取り除く際のエアーの流れについて
説明する。図2に示されているように、本発明の除塵装
置10は、ステージ12上に載置されたガラス基板1の
進行方向Wに対して下流側からヘッド部2a,2b,2
c,2dが順番に形成されている。一番下流側のヘッド
部2aからは通常の圧力のエアーが排出されるが、この
ときヘッド部2aの開口部に形成されたスリット3aが
上流側に向けて斜めに切り欠かれているため、エアーは
上流方向に斜めに吹付けられる(矢印F1)。
【0030】ヘッド部2aから排出されたエアーは、ガ
ラス基板1上の塵を剥離しながら矢印F1で示されるエ
アーの流れに沿って上流方向へと流れる。上流方向へ流
れたエアーは、前記ヘッド部2aに隣接して形成されて
いるヘッド部2bのスリット3bの開口部から吸引され
る。しかしながら、このヘッド部2bにおいて前記で剥
離された塵をすべて取り込むことはできず、その一部が
さらに上流側へ、ヘッド部2aから排出されるエアーの
圧力によって漏れ出てしまう(矢印F4)。
ラス基板1上の塵を剥離しながら矢印F1で示されるエ
アーの流れに沿って上流方向へと流れる。上流方向へ流
れたエアーは、前記ヘッド部2aに隣接して形成されて
いるヘッド部2bのスリット3bの開口部から吸引され
る。しかしながら、このヘッド部2bにおいて前記で剥
離された塵をすべて取り込むことはできず、その一部が
さらに上流側へ、ヘッド部2aから排出されるエアーの
圧力によって漏れ出てしまう(矢印F4)。
【0031】この場合、ヘッド部2bの上流側へエアー
が漏れ出ないようにヘッド部2aから排出されるエアー
の排出力を弱めてしまうと、洗浄効果が低下するため好
ましくない。そのため、ヘッド部2aの排出力は通常の
出力で行なうことが好ましい。上記で一部取り込むこと
ができなかった塵は、さらに上流側に形成された除塵装
置10Bによって取除かれる。この除塵装置10Bのヘ
ッド部2cからは、除塵装置10Aから排出されるエア
ーよりも弱い圧力を有するエアーが排出される。
が漏れ出ないようにヘッド部2aから排出されるエアー
の排出力を弱めてしまうと、洗浄効果が低下するため好
ましくない。そのため、ヘッド部2aの排出力は通常の
出力で行なうことが好ましい。上記で一部取り込むこと
ができなかった塵は、さらに上流側に形成された除塵装
置10Bによって取除かれる。この除塵装置10Bのヘ
ッド部2cからは、除塵装置10Aから排出されるエア
ーよりも弱い圧力を有するエアーが排出される。
【0032】この場合のエアーの排出圧力の調整は、配
管7に形成されたバルブ11を調節することにより行な
う。エアーの排出圧力をより低く設定したい場合にはバ
ルブをさらに開放しエアーをより多くリークさせること
により、ヘッド部2dからの吸引量を低下させずにヘッ
ド部2cからの排出圧力を調節することができる。前記
除塵装置10Aで取除くことができなかった一部の塵は
エアーと共に、前記ヘッド部2cの排出圧力によりさら
に上流側へと送られ、ヘッド部2dによって前記ヘッド
部2bで回収できなかった塵と共に吸引される(矢印F
3)。
管7に形成されたバルブ11を調節することにより行な
う。エアーの排出圧力をより低く設定したい場合にはバ
ルブをさらに開放しエアーをより多くリークさせること
により、ヘッド部2dからの吸引量を低下させずにヘッ
ド部2cからの排出圧力を調節することができる。前記
除塵装置10Aで取除くことができなかった一部の塵は
エアーと共に、前記ヘッド部2cの排出圧力によりさら
に上流側へと送られ、ヘッド部2dによって前記ヘッド
部2bで回収できなかった塵と共に吸引される(矢印F
3)。
【0033】図3は、本発明の除塵装置の他の実施の形
態を示す断面図である。図3に示す除塵装置15は、上
記した除塵装置10と同様に2台の除塵装置15A,1
5Bを組合わせて形成されている。この除塵装置15
は、上流側の除塵装置15Bのプレッシャー側のヘッド
部2cとバキューム側のヘッド部2dの位置を逆にして
形成されている。この除塵装置15では、ヘッド部2a
から排出されたエアーは塵と共にヘッド部2bで吸引さ
れる(矢印F1)が、ヘッド部2bで回収しきれずに残
った塵がさらに上流側へと押し出される(矢印F4)。
除塵装置15Aで漏れ出てきた塵は、除塵装置15Bに
おけるヘッド部2cのエアーによって剥離された塵と共
にヘッド部2dで吸引される。
態を示す断面図である。図3に示す除塵装置15は、上
記した除塵装置10と同様に2台の除塵装置15A,1
5Bを組合わせて形成されている。この除塵装置15
は、上流側の除塵装置15Bのプレッシャー側のヘッド
部2cとバキューム側のヘッド部2dの位置を逆にして
形成されている。この除塵装置15では、ヘッド部2a
から排出されたエアーは塵と共にヘッド部2bで吸引さ
れる(矢印F1)が、ヘッド部2bで回収しきれずに残
った塵がさらに上流側へと押し出される(矢印F4)。
除塵装置15Aで漏れ出てきた塵は、除塵装置15Bに
おけるヘッド部2cのエアーによって剥離された塵と共
にヘッド部2dで吸引される。
【0034】この場合、除塵装置15A側から漏れてき
た塵は、除塵装置15Bにおいて排出される側のエアー
がリークされているため、そのエアー排出の圧力によっ
て再び下流側に押し戻されることがなく、最終的に塵は
すべてヘッド部2dで吸引されて除去される。またこの
除塵装置15に形成されるスリット3a,3dは上流側
に向いて斜めに切り欠かれて形成され、スリット3b,
3cは下流側に向いて斜めに切り欠かれて形成されてい
る。
た塵は、除塵装置15Bにおいて排出される側のエアー
がリークされているため、そのエアー排出の圧力によっ
て再び下流側に押し戻されることがなく、最終的に塵は
すべてヘッド部2dで吸引されて除去される。またこの
除塵装置15に形成されるスリット3a,3dは上流側
に向いて斜めに切り欠かれて形成され、スリット3b,
3cは下流側に向いて斜めに切り欠かれて形成されてい
る。
【0035】この場合、スリット3cは、下流方向に斜
めに切り欠かれていることにより排出されたエアーによ
って塵がヘッド部2cの上流側へ流れ出てしまうことが
抑えられる。また、スリット3aは上流側に斜めに切り
欠かれていることにより、剥離された塵がすでに洗浄さ
れた下流側のガラス基板1上に撒き散らされることが防
止される。スリットの形状は、ガラス基板1上から剥離
された塵を吸引し易いようにエアーの吸引側の開口部を
排出側よりも大きく形成してもよい。
めに切り欠かれていることにより排出されたエアーによ
って塵がヘッド部2cの上流側へ流れ出てしまうことが
抑えられる。また、スリット3aは上流側に斜めに切り
欠かれていることにより、剥離された塵がすでに洗浄さ
れた下流側のガラス基板1上に撒き散らされることが防
止される。スリットの形状は、ガラス基板1上から剥離
された塵を吸引し易いようにエアーの吸引側の開口部を
排出側よりも大きく形成してもよい。
【0036】また、除塵装置10A,15Aのエアー排
出側にもバルブ11を設け、より細かいエアーの排出圧
の制御を行なってもよい。本発明の除塵装置は、エアー
排出室およびエアー吸引室を有する除塵装置を2台並べ
て形成することが洗浄面およびコスト面からみて好まし
い。
出側にもバルブ11を設け、より細かいエアーの排出圧
の制御を行なってもよい。本発明の除塵装置は、エアー
排出室およびエアー吸引室を有する除塵装置を2台並べ
て形成することが洗浄面およびコスト面からみて好まし
い。
【0037】
【実施例】以下、本発明の除塵装置を使用した場合のエ
アー漏れの効果について詳述する。 [実施例および比較例]図2で示される除塵装置10を
使用し、クリーニングヘッド2とガラス基板1(ワー
ク)との隙間Qから漏れる風速が0.4m/s(V2)
以下となるように設定した場合の、クリーニングヘッド
2とガラス基板1とのギャップと、バルブ11からリー
クさせるエアーの風速との関係を測定した。このときの
ガラス基板1とクリーニングヘッド2とのギャップをL
とし、バルブ11においてリークさせる風速をV1とし
た。その結果を図6に示す。
アー漏れの効果について詳述する。 [実施例および比較例]図2で示される除塵装置10を
使用し、クリーニングヘッド2とガラス基板1(ワー
ク)との隙間Qから漏れる風速が0.4m/s(V2)
以下となるように設定した場合の、クリーニングヘッド
2とガラス基板1とのギャップと、バルブ11からリー
クさせるエアーの風速との関係を測定した。このときの
ガラス基板1とクリーニングヘッド2とのギャップをL
とし、バルブ11においてリークさせる風速をV1とし
た。その結果を図6に示す。
【0038】また比較例として、図2に示す除塵装置1
0を使用し、バルブ11からエアーをリークさせないよ
うにした場合の、クリーニングヘッド2とガラス基板1
とのギャップLと、クリーニングヘッド2とガラス基板
1との隙間Qから漏れるエアーの風速V2との関係を測
定した。その結果を図7に示す。図7の比較例に示すよ
うに、エアーをリークさせない場合はギャップLが大き
くなるにつれてエアー漏れの風速V2が大きくなり、ガ
ラス基板1から剥離した塵を周囲に撒き散らし且つ除電
装置にも悪影響を与えるという問題が発生した。
0を使用し、バルブ11からエアーをリークさせないよ
うにした場合の、クリーニングヘッド2とガラス基板1
とのギャップLと、クリーニングヘッド2とガラス基板
1との隙間Qから漏れるエアーの風速V2との関係を測
定した。その結果を図7に示す。図7の比較例に示すよ
うに、エアーをリークさせない場合はギャップLが大き
くなるにつれてエアー漏れの風速V2が大きくなり、ガ
ラス基板1から剥離した塵を周囲に撒き散らし且つ除電
装置にも悪影響を与えるという問題が発生した。
【0039】図6に示す実施例においては、バルブから
エアーをリークさせることによりたとえギャップLが大
きくなったとしても隙間Qからのエアー漏れの風速V2
を0.4m/sというほとんど無風状態に近い風速に維
持することができ、塵を周囲に撒き散らしたり、除電装
置に悪影響を与えることがなかった。また、上記隙間Q
から漏れる風速V2を0.4m/s以下に設定すること
により、除電装置の設置場所付近では0.25m/sと
いうほとんど無風状態となり好ましい。
エアーをリークさせることによりたとえギャップLが大
きくなったとしても隙間Qからのエアー漏れの風速V2
を0.4m/sというほとんど無風状態に近い風速に維
持することができ、塵を周囲に撒き散らしたり、除電装
置に悪影響を与えることがなかった。また、上記隙間Q
から漏れる風速V2を0.4m/s以下に設定すること
により、除電装置の設置場所付近では0.25m/sと
いうほとんど無風状態となり好ましい。
【0040】
【発明の効果】本発明の除塵装置は、塵を周囲に撒き散
らさず且つ除電装置の除電効果を損なうことなく、液晶
表示装置に使用されるガラス基板等のワークを洗浄する
ことに優れているものである。
らさず且つ除電装置の除電効果を損なうことなく、液晶
表示装置に使用されるガラス基板等のワークを洗浄する
ことに優れているものである。
【図1】本発明の除塵装置の全体を示す平面図、
【図2】本発明の除塵装置にかかるクリーニングヘッド
部を示す断面図、
部を示す断面図、
【図3】本発明の除塵装置の他の実施の形態を示す断面
図、
図、
【図4】A,Bは従来の除塵装置を構造別に示す断面
図、
図、
【図5】図4Aに示す除塵装置の平面図、
【図6】本発明の除塵装置にかかるバルブからエアーを
リークさせる風速V1とギャップLとの関係を示すグラ
フ、
リークさせる風速V1とギャップLとの関係を示すグラ
フ、
【図7】バルブからエアーをリークさせない場合の、エ
アー漏れの風速V2とギャップLとの関係を示すグラ
フ、
アー漏れの風速V2とギャップLとの関係を示すグラ
フ、
1 ガラス基板 2a,2b,2c,2d ヘッド部 3a,3b,3c,3d スリット 5 超音波発生装置 6 ブロアユニット 7,8 配管 10,15 除塵装置 11 バルブ
Claims (5)
- 【請求項1】 エアーを排出させるエアー排出室とエア
ーを吸引するエアー吸引室とを設け、ワーク表面に付着
した塵にエアーを吹付けて塵を浮かせ、その後その塵を
吸引し、ワーク表面を洗浄する除塵装置において、 エアー排出室とエアー吸引室とが設けられたクリーニン
グヘッドを複数組設け、ワーク進行方向に対して上流側
に位置するエアー排出室のエアー排出力を下流側に位置
するエアー排出室のエアー排出力よりも弱くしたことを
特徴とする除塵装置。 - 【請求項2】 エアー排出室側の経路のいずれかにバル
ブを設け、エアーをリークさせた請求項1記載の除塵装
置。 - 【請求項3】 下流側にエアー排出室および上流側にエ
アー吸入室が設けられたクリーニングヘッドを連続して
2組設けた請求項1または2記載の除塵装置。 - 【請求項4】 一方にエアー排出室および他方にエアー
吸引室が設けられたクリーニングヘッドを連続して2組
設け且つ前記エアー吸引室同士が向かい合うように配置
された請求項1または2記載の除塵装置。 - 【請求項5】 各エアー排出室のエアー吹出口が、対に
なっているエアー吸引室の方向に斜めに形成された請求
項1ないし4のいずれかに記載の除塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06007198A JP3655994B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | 除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06007198A JP3655994B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | 除塵装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11253897A true JPH11253897A (ja) | 1999-09-21 |
JP3655994B2 JP3655994B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=13131496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06007198A Expired - Fee Related JP3655994B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | 除塵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3655994B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040035661A (ko) * | 2004-04-08 | 2004-04-29 | 이대준 | 패널 제진장치의 양방향전환밸브장치 |
KR100445041B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2004-08-18 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 습식 처리 장치 |
JP2007216083A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Hugle Electronics Inc | 可動式除塵装置 |
WO2018173532A1 (ja) * | 2017-03-21 | 2018-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージクリーニング方法およびステージクリーニング部材、ステージクリーニング部材の製造方法、ならびに検査システム |
JP2019098294A (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-24 | 日産自動車株式会社 | 除塵装置 |
CN113070283A (zh) * | 2021-02-24 | 2021-07-06 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种液晶玻璃碎片清扫吸头装置 |
-
1998
- 1998-03-11 JP JP06007198A patent/JP3655994B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100445041B1 (ko) * | 2000-08-30 | 2004-08-18 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 습식 처리 장치 |
KR20040035661A (ko) * | 2004-04-08 | 2004-04-29 | 이대준 | 패널 제진장치의 양방향전환밸브장치 |
JP2007216083A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Hugle Electronics Inc | 可動式除塵装置 |
JP4684122B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2011-05-18 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | 可動式除塵装置 |
WO2018173532A1 (ja) * | 2017-03-21 | 2018-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージクリーニング方法およびステージクリーニング部材、ステージクリーニング部材の製造方法、ならびに検査システム |
JP2018157131A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージクリーニング方法およびステージクリーニング部材、ステージクリーニング部材の製造方法、ならびに検査システム |
JP2019098294A (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-24 | 日産自動車株式会社 | 除塵装置 |
CN113070283A (zh) * | 2021-02-24 | 2021-07-06 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种液晶玻璃碎片清扫吸头装置 |
CN113070283B (zh) * | 2021-02-24 | 2022-09-30 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种液晶玻璃碎片清扫吸头装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3655994B2 (ja) | 2005-06-02 |
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A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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