JPH11251362A - テープキャリアパッケージの外観検査装置 - Google Patents
テープキャリアパッケージの外観検査装置Info
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- JPH11251362A JPH11251362A JP10316597A JP31659798A JPH11251362A JP H11251362 A JPH11251362 A JP H11251362A JP 10316597 A JP10316597 A JP 10316597A JP 31659798 A JP31659798 A JP 31659798A JP H11251362 A JPH11251362 A JP H11251362A
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- Japan
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- carrier package
- illuminator
- resin
- package
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 画像処理システムを用いたテープキャリアパ
ッケージの外観検査装置を提供する。 【解決手段】 一側にはチップ１０ａが、他側には樹脂
１０ｂが塗布された状態で一方向に走行するテープキャ
リアパッケージ１０と、テープキャリアパッケージ１０
の上部及び下部に各々設けられた第１及び第２カメラ３
２ａ，３２ｂと、テープキャリアパッケージ１０の樹脂
１０ｂの塗布された他側を照明するように設けられた少
なくとも一つの照明器３３と、第１及び第２カメラ３２
ａ，３２ｂから画像信号を伝送されて処理する画像処理
装置３１と、を含むことを特徴とする。
ッケージの外観検査装置を提供する。 【解決手段】 一側にはチップ１０ａが、他側には樹脂
１０ｂが塗布された状態で一方向に走行するテープキャ
リアパッケージ１０と、テープキャリアパッケージ１０
の上部及び下部に各々設けられた第１及び第２カメラ３
２ａ，３２ｂと、テープキャリアパッケージ１０の樹脂
１０ｂの塗布された他側を照明するように設けられた少
なくとも一つの照明器３３と、第１及び第２カメラ３２
ａ，３２ｂから画像信号を伝送されて処理する画像処理
装置３１と、を含むことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は画像処理システムを
用いたテープキャリアパッケージの外観検査装置に関す
る。
用いたテープキャリアパッケージの外観検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】テープキャリアパッケージの外観検査装
置は、テープキャリアパッケージのフィルムと前記フィ
ルムに搭載される部品の状態を非接触式視覚認識方法で
検査する装置である。
置は、テープキャリアパッケージのフィルムと前記フィ
ルムに搭載される部品の状態を非接触式視覚認識方法で
検査する装置である。
【０００３】図１は従来のテープキャリアパッケージの
外観検査装置の構成を示している。同図を参照すれば、
前記装置はチップ１０ａの搭載されたテープキャリアパ
ッケージ１０と、画像を認識してその信号を伝送するＣ
ＣＤ(Charge Coupled Device)カメラ１２ａと、前記カ
メラ１２ａから画像信号を受取って処理する画像処理装
置１１と、前記テープキャリアパッケージ１０の上面を
照明する拡散ファイバリング状の第１照明器１３ａと、
前記テープキャリアパッケージ１０の下面を照明する透
過ファイバリング状の第２照明器１３ｂと、前記第１照
明器１３ａ及び第２照明器１３ｂに選択的に光を供給す
る光源１４とを含む。
外観検査装置の構成を示している。同図を参照すれば、
前記装置はチップ１０ａの搭載されたテープキャリアパ
ッケージ１０と、画像を認識してその信号を伝送するＣ
ＣＤ(Charge Coupled Device)カメラ１２ａと、前記カ
メラ１２ａから画像信号を受取って処理する画像処理装
置１１と、前記テープキャリアパッケージ１０の上面を
照明する拡散ファイバリング状の第１照明器１３ａと、
前記テープキャリアパッケージ１０の下面を照明する透
過ファイバリング状の第２照明器１３ｂと、前記第１照
明器１３ａ及び第２照明器１３ｂに選択的に光を供給す
る光源１４とを含む。
【０００４】前記テープキャリアパッケージ１０は図２
に示されたように、その幅が３５ｍｍ乃至７０ｍｍほど
であり、その長さは２０mほどである。また、前記テー
プキャリアパッケージ１０には、前記テープキャリアパ
ッケージ１０を移送するために連続的に穿孔された貫通
孔１０dが形成されている。
に示されたように、その幅が３５ｍｍ乃至７０ｍｍほど
であり、その長さは２０mほどである。また、前記テー
プキャリアパッケージ１０には、前記テープキャリアパ
ッケージ１０を移送するために連続的に穿孔された貫通
孔１０dが形成されている。
【０００５】前記テープキャリアパッケージ１０のチッ
プ１０ａの搭載された面の裏面には前記チップ１０ａを
保護する樹脂１０ｂが塗布されている。また、前記照明
器１３ａ、１３ｂは光源１４から光ファイバを通して光
が提供され、このような光路には光を断続するシャッタ
ー１５が設けられる。
プ１０ａの搭載された面の裏面には前記チップ１０ａを
保護する樹脂１０ｂが塗布されている。また、前記照明
器１３ａ、１３ｂは光源１４から光ファイバを通して光
が提供され、このような光路には光を断続するシャッタ
ー１５が設けられる。
【０００６】前記従来の装置を使用したテープキャリア
パッケージの検査方法は次の通りである。まず、電源が
印加されると高圧のハロゲンランプのような光源１４か
ら前記第１照明器１３ａに光が供給され、テープキャリ
アパッケージ１０の上面に光が照射される。前記前方照
明により反射された画像はカメラ１２ａに入射され、そ
の画像信号は前記画像処理装置１１に入力される。
パッケージの検査方法は次の通りである。まず、電源が
印加されると高圧のハロゲンランプのような光源１４か
ら前記第１照明器１３ａに光が供給され、テープキャリ
アパッケージ１０の上面に光が照射される。前記前方照
明により反射された画像はカメラ１２ａに入射され、そ
の画像信号は前記画像処理装置１１に入力される。
【０００７】次いで、前記シャッター１５により第１照
明器１３ａへの光供給は遮断され、第２照明器１３ｂに
光が供給されテープキャリアパッケージ１０の下面に光
を照射する。
明器１３ａへの光供給は遮断され、第２照明器１３ｂに
光が供給されテープキャリアパッケージ１０の下面に光
を照射する。
【０００８】前記背面照明により得られた画像はカメラ
１２ａに入射され、その画像信号は画像処理装置１１で
処理される。
１２ａに入射され、その画像信号は画像処理装置１１で
処理される。
【０００９】前記第１照明器１３ａ及び第２照明器１３
ｂに対する画像信号は画像処理装置１１のビジョン認識
用コンピュータ(図示せず)に貯蔵され、認識プログラム
によりテープキャリアパッケージ１０に装着されるチッ
プ１０ａの不良及び装着状態を検査する資料となる。例
えば、前記認識プログラムは撮影された部品の面積を基
準値と比較して前記テープキャリアパッケージ１０の異
常有無を判断することになる。
ｂに対する画像信号は画像処理装置１１のビジョン認識
用コンピュータ(図示せず)に貯蔵され、認識プログラム
によりテープキャリアパッケージ１０に装着されるチッ
プ１０ａの不良及び装着状態を検査する資料となる。例
えば、前記認識プログラムは撮影された部品の面積を基
準値と比較して前記テープキャリアパッケージ１０の異
常有無を判断することになる。
【００１０】ここで、第１照明器１３ａによる前方照明
に対する画像に応じてテープキャリアパッケージ１０上
の異物Ｂやチップ１０ａのリード１０e欠陥Ｃなどの異
常を検出しうる。また、第２照明器１３ｂによる背面照
明に対する画像に応じてはテープキャリアパッケージの
引裂かれＡや孔の発生有無及びチップ１０ａの状態を点
検しうる。
に対する画像に応じてテープキャリアパッケージ１０上
の異物Ｂやチップ１０ａのリード１０e欠陥Ｃなどの異
常を検出しうる。また、第２照明器１３ｂによる背面照
明に対する画像に応じてはテープキャリアパッケージの
引裂かれＡや孔の発生有無及びチップ１０ａの状態を点
検しうる。
【００１１】前記のような従来の装置では二つの照明器
１３ａ、１３ｂを交番にオン/オフさせるべきである。
即ち、シャッター１５により光の供給を転換させるべき
である。従って、装置が複雑で検査の工程時間が延び、
かつシャッターの寿命が短くて煩わしい補修が要求され
る。
１３ａ、１３ｂを交番にオン/オフさせるべきである。
即ち、シャッター１５により光の供給を転換させるべき
である。従って、装置が複雑で検査の工程時間が延び、
かつシャッターの寿命が短くて煩わしい補修が要求され
る。
【００１２】また、背面照明の第２照明器１３ｂは多量
の光を必要とするので、前記光源１４としてはハロゲン
ランプが採用されるが、これはシャッター１５の迅速な
断続転換に不利である。
の光を必要とするので、前記光源１４としてはハロゲン
ランプが採用されるが、これはシャッター１５の迅速な
断続転換に不利である。
【００１３】さらに、樹脂１０ｂが前記テープキャリア
パッケージ１０の下面に塗布された場合には、カメラ１
２ａを下部に移動させて装着すべきなので、これはセッ
トアップ時複雑な調整作業を必要とする。
パッケージ１０の下面に塗布された場合には、カメラ１
２ａを下部に移動させて装着すべきなので、これはセッ
トアップ時複雑な調整作業を必要とする。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
解決するために創出されたものであって、テープキャリ
アパッケージを迅速で効率よく検査しうるその構造の改
善されたテープキャリアパッケージの外観検査装置を提
供することを目的とする。
解決するために創出されたものであって、テープキャリ
アパッケージを迅速で効率よく検査しうるその構造の改
善されたテープキャリアパッケージの外観検査装置を提
供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明による装置は、一側にはチップが、他側には樹
脂が塗布された状態で一方向に走行するテープキャリア
パッケージと、前記テープキャリアパッケージの上部及
び下部に各々設けられた第１及び第２カメラと、前記テ
ープキャリアパッケージの樹脂の塗布された他側を照明
するように設けられた少なくとも一つの照明器と、前記
第１及び第２カメラから画像信号を伝送されて処理する
画像処理装置とを含むことを特徴とする。
に本発明による装置は、一側にはチップが、他側には樹
脂が塗布された状態で一方向に走行するテープキャリア
パッケージと、前記テープキャリアパッケージの上部及
び下部に各々設けられた第１及び第２カメラと、前記テ
ープキャリアパッケージの樹脂の塗布された他側を照明
するように設けられた少なくとも一つの照明器と、前記
第１及び第２カメラから画像信号を伝送されて処理する
画像処理装置とを含むことを特徴とする。
【００１６】ここで、前記照明器は前記テープキャリア
パッケージの上部及び下部に選択的に設置可能に構成さ
れることが望ましい。
パッケージの上部及び下部に選択的に設置可能に構成さ
れることが望ましい。
【００１７】本発明の他の側面によれば、前記照明器は
前記テープキャリアパッケージの上部及び下部に各々独
立的に設けられた第１及び第２照明器を含む。
前記テープキャリアパッケージの上部及び下部に各々独
立的に設けられた第１及び第２照明器を含む。
【００１８】この際、前記第１及び第２照明器は前記テ
ープキャリアパッケージの樹脂の塗布された他側を照明
可能に選択的に点灯される。
ープキャリアパッケージの樹脂の塗布された他側を照明
可能に選択的に点灯される。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明を詳しく説明する。図３は本発明の一実施形態による
テープキャリアパッケージの外観検査装置を示す図面で
ある。
明を詳しく説明する。図３は本発明の一実施形態による
テープキャリアパッケージの外観検査装置を示す図面で
ある。
【００２０】図３を参照すれば、前記装置は一側にはチ
ップ１０ａが装着され、他側には樹脂１０ｂが塗布され
て一方向に走行するテープキャリアパッケージ１０と、
前記テープキャリアパッケージ１０の上、下部に各々設
けられて画像を認識する第１及び第２カメラ３２ａ、３
２ｂと、前記第１及び第２カメラ３２ａ、３２ｂから画
像信号を受取って処理する画像処理装置３１と、前記樹
脂１０ｂの付着された側を照明するように設けられたフ
ァイバリング照明器３３とを含む。
ップ１０ａが装着され、他側には樹脂１０ｂが塗布され
て一方向に走行するテープキャリアパッケージ１０と、
前記テープキャリアパッケージ１０の上、下部に各々設
けられて画像を認識する第１及び第２カメラ３２ａ、３
２ｂと、前記第１及び第２カメラ３２ａ、３２ｂから画
像信号を受取って処理する画像処理装置３１と、前記樹
脂１０ｂの付着された側を照明するように設けられたフ
ァイバリング照明器３３とを含む。
【００２１】前記ファイバリング照明器３３は上面照明
機能と背面照明機能とを同時に行うものであって、図４
に示されたように、樹脂１０ｂが前記テープキャリアパ
ッケージ１０の下面に塗布された場合にはテープキャリ
アパッケージ１０の下部に設けられる。前記照明器３３
は前記テープキャリアパッケージ１０の上部及び下部に
選択的に設置可能に構成されることが望ましい(図示せ
ず)。本実施形態の構成によれば、樹脂がテープキャリ
アパッケージの上面または下面の何れに塗布されてもカ
メラを移動させる必要なく照明器のみを簡単に移動して
装着すればよい。
機能と背面照明機能とを同時に行うものであって、図４
に示されたように、樹脂１０ｂが前記テープキャリアパ
ッケージ１０の下面に塗布された場合にはテープキャリ
アパッケージ１０の下部に設けられる。前記照明器３３
は前記テープキャリアパッケージ１０の上部及び下部に
選択的に設置可能に構成されることが望ましい(図示せ
ず)。本実施形態の構成によれば、樹脂がテープキャリ
アパッケージの上面または下面の何れに塗布されてもカ
メラを移動させる必要なく照明器のみを簡単に移動して
装着すればよい。
【００２２】前記画像処理装置３１は前記第１及び第２
カメラ３２ａ、３２ｂと各々接続される二つの画像処理
ボード４１ａ、４１ｂを含み、前記画像処理装置３１で
処理された結果はモニター４６を通して示される。
カメラ３２ａ、３２ｂと各々接続される二つの画像処理
ボード４１ａ、４１ｂを含み、前記画像処理装置３１で
処理された結果はモニター４６を通して示される。
【００２３】前記のような構造を有する本実施形態によ
るテープキャリアパッケージの外観検査装置は次の通り
動作する。
るテープキャリアパッケージの外観検査装置は次の通り
動作する。
【００２４】前記照明器３３は動作中、常に点灯されて
いる。テープキャリアパッケージ１０が矢印方向に進行
して樹脂１０ｂの塗布部位が第１カメラ１２ａの直下に
停止すれば、前記照明器３３の上面照明によりテープキ
ャリアパッケージ１０の上面画像が第１カメラ３２ａに
撮像される。また、前記第２カメラ３２ｂは照明器３３
の背面照明による画像を撮像する。
いる。テープキャリアパッケージ１０が矢印方向に進行
して樹脂１０ｂの塗布部位が第１カメラ１２ａの直下に
停止すれば、前記照明器３３の上面照明によりテープキ
ャリアパッケージ１０の上面画像が第１カメラ３２ａに
撮像される。また、前記第２カメラ３２ｂは照明器３３
の背面照明による画像を撮像する。
【００２５】これら画像信号は第１及び第２カメラ３２
ａ、３２ｂから画像処理装置３１に伝送されて処理され
る。従って、テープキャリアパッケージ１０の不良及び
これに装着される部品の欠陥を判断しうる。例えば、認
識プログラムにより、前記装着部品の面積を基準値と比
較することにより、欠陥を検査しうる。
ａ、３２ｂから画像処理装置３１に伝送されて処理され
る。従って、テープキャリアパッケージ１０の不良及び
これに装着される部品の欠陥を判断しうる。例えば、認
識プログラムにより、前記装着部品の面積を基準値と比
較することにより、欠陥を検査しうる。
【００２６】これらの処理結果は前記画像処理装置３１
からモニター４６に出力されて作業者に提供される。
からモニター４６に出力されて作業者に提供される。
【００２７】本実施形態によれば、上面照明及び背面照
明による画像を同時に撮像して処理するので従来に比べ
て検査の所要時間が半分に短縮される。
明による画像を同時に撮像して処理するので従来に比べ
て検査の所要時間が半分に短縮される。
【００２８】図５は本発明の他の実施形態によるテープ
キャリアパッケージの外観検査装置を示す図面である。
ここで、前の図面と同一な部材番号は同一な部材を示
す。
キャリアパッケージの外観検査装置を示す図面である。
ここで、前の図面と同一な部材番号は同一な部材を示
す。
【００２９】本実施形態によれば、本発明の装置はテー
プキャリアパッケージ１０の上、下部に各々独立的に設
けられた第１及び第２照明器３３、３３'を含む。即
ち、テープキャリアパッケージ１０の上面に樹脂１０ｂ
が塗布された場合には第１照明器３３が点灯され、下面
に樹脂１０ｂが塗布された場合には第２照明器３３'が
点灯される。
プキャリアパッケージ１０の上、下部に各々独立的に設
けられた第１及び第２照明器３３、３３'を含む。即
ち、テープキャリアパッケージ１０の上面に樹脂１０ｂ
が塗布された場合には第１照明器３３が点灯され、下面
に樹脂１０ｂが塗布された場合には第２照明器３３'が
点灯される。
【００３０】このような構成は作業条件の変化に応じる
装置セットアップにかかる時間を大幅に節減させて生産
性を向上させうる。
装置セットアップにかかる時間を大幅に節減させて生産
性を向上させうる。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、テープキャリアパッケ
ージの上、下部に各々独立されたカメラを設置し、上面
照明及び背面照明による画像を同時に撮像することによ
り、従来の検査方法に比べて検査時間を短縮しうる。ま
た、照明器を前記テープキャリアパッケージの上部また
は下部に簡単に移動して設置しうるので作業性が向上さ
れる。さらに、前記テープキャリアパッケージの上下部
に独立的に設けられた照明器を選択的に点灯させること
により作業条件の変化に応じる対応を迅速にしうる。
ージの上、下部に各々独立されたカメラを設置し、上面
照明及び背面照明による画像を同時に撮像することによ
り、従来の検査方法に比べて検査時間を短縮しうる。ま
た、照明器を前記テープキャリアパッケージの上部また
は下部に簡単に移動して設置しうるので作業性が向上さ
れる。さらに、前記テープキャリアパッケージの上下部
に独立的に設けられた照明器を選択的に点灯させること
により作業条件の変化に応じる対応を迅速にしうる。
【図１】 従来のテープキャリアパッケージの外観検査
装置の構成を概略的に示す図面である。
装置の構成を概略的に示す図面である。
【図２】 テープキャリアパッケージとこれに半導体チ
ップと各種の不良状態を示す底面図である。
ップと各種の不良状態を示す底面図である。
【図３】 本発明の一実施形態によるテープキャリアパ
ッケージの外観検査装置の概略図である。
ッケージの外観検査装置の概略図である。
【図４】 本発明の他の実施形態よるテープキャリアパ
ッケージの外観検査装置の概略図である。
ッケージの外観検査装置の概略図である。
【図５】 本発明のさらに他の実施形態によるテープキ
ャリアパッケージの外観検査装置の概略図である。
ャリアパッケージの外観検査装置の概略図である。
１０ａ チップ １０ｂ 樹脂 １０ テープキャリアパッケージ ３２ａ 第１カメラ ３２ｂ 第２カメラ ３１ 画像処理装置 ３３ ファイバリング照明器
Claims (5)
- 【請求項１】 一側にはチップが、他側には樹脂が塗布
された状態で一方向に走行するテープキャリアパッケー
ジの外観検査装置において、 前記テープキャリアパッケージの上部及び下部に各々設
けられた第１及び第２カメラと、 前記テープキャリアパッケージの樹脂の塗布された他側
を照明するように設けられた少なくとも一つの照明器
と、 前記第１及び第２カメラから画像信号を伝送されて処理
する画像処理装置とを含むことを特徴とするテープキャ
リアパッケージの外観検査装置。 - 【請求項２】 前記照明器は、前記テープキャリアパッ
ケージの上部及び下部に選択的に設置可能に構成された
ことを特徴とする請求項１に記載のテープキャリアパッ
ケージの外観検査装置。 - 【請求項３】 前記照明器は、前記テープキャリアパッ
ケージの上部及び下部に各々独立的に設けられた第１及
び第２照明器を含むことを特徴とする請求項１に記載の
テープキャリアパッケージの外観検査装置。 - 【請求項４】 前記第１及び第２照明器は、前記テープ
キャリアパッケージの樹脂の塗布された他側を照明可能
に選択的に点灯されることを特徴とする請求項３に記載
のテープキャリアパッケージの外観検査装置。 - 【請求項５】 前記第１及び第２カメラは、各々別の画
像処理ボードに連結されていることを特徴とする請求項
１に記載のテープキャリアパッケージの外観検査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970060020A KR19990039797A (ko) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | 테이프 케리어 패키지 부품의 외관 검사방법 및 장치 |
| KR199760020 | 1997-11-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11251362A true JPH11251362A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=19524734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10316597A Pending JPH11251362A (ja) | 1997-11-14 | 1998-11-06 | テープキャリアパッケージの外観検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11251362A (ja) |
| KR (1) | KR19990039797A (ja) |
| CN (1) | CN1225508A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100338194B1 (ko) * | 1999-10-16 | 2002-05-27 | 김주환 | 3차원 반도체 패키지 검사방법 및 검사장치 |
| EP1731899A1 (fr) * | 2005-06-06 | 2006-12-13 | Axalto SA | Système et procédé de controle optique de modules électroniques |
| JP2009128268A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105635662A (zh) * | 2014-11-08 | 2016-06-01 | 智比特信息技术（镇江）有限公司 | 一种检测用载带重封机的监视***及其计算机监视方法 |
-
1997
- 1997-11-14 KR KR1019970060020A patent/KR19990039797A/ko not_active Application Discontinuation
-
1998
- 1998-11-06 JP JP10316597A patent/JPH11251362A/ja active Pending
- 1998-11-11 CN CN98124164A patent/CN1225508A/zh active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100338194B1 (ko) * | 1999-10-16 | 2002-05-27 | 김주환 | 3차원 반도체 패키지 검사방법 및 검사장치 |
| EP1731899A1 (fr) * | 2005-06-06 | 2006-12-13 | Axalto SA | Système et procédé de controle optique de modules électroniques |
| WO2006131883A1 (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Axalto Sa | Visual inspection system and process for electronic modules |
| JP2009128268A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1225508A (zh) | 1999-08-11 |
| KR19990039797A (ko) | 1999-06-05 |
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