JPH11248457A

JPH11248457A - 振動型ジャイロスコープ

Info

Publication number: JPH11248457A
Application number: JP10047717A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Hirozawa; 信之廣澤
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1998-02-27
Filing date: 1998-02-27
Publication date: 1999-09-17
Also published as: DE19908199A1; US6220093B1

Abstract

(57)【要約】【課題】切断し難く、作業性のよい振動型ジャイロス
コープを提供する。【解決手段】駆動電極１３、アース電極１４，１６そ
して検出電極１７ａ，１７ｂおよびこれら電極と導通す
るランド部１４ａ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ１，１７ｂ
１が形成された振動子１と、この振動子１を振動可能に
支持する支持部材４と，配線パターン５３１〜５３４が
形成され、振動子側端部５ａ，５ｂ、基板側端部５ｃお
よびこれら振動子側端部５ａ，５ｂと基板側端部間５ｃ
に位置する配線部５ｄとを備え、振動子側端部５ａ，５
ｂには配線パターンと電気的に導通しかつ振動子１のラ
ンド部と電気的に接続されるランド部５３１ａ…を備え
たフレキシブル配線基板５と、このフレキシブル配線基
板５の回路基板側端部に設けられた基板用接続端部５ｃ
と接続され、前記配線パターンと電気的に導通する回路
基板６とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えば自動車のナビ
ゲーション装置の角度センサなどに用いられる振動型ジ
ャイロスコープに関する。

【０００２】

【従来の技術】振動型ジャイロスコープは、振動してい
る物体に回転角速度が付与されると、その振動方向と直
角な方向にコリオリ力を生じるという力学現像を利用し
たジャイロスコープである。このような振動型ジャイロ
スコープは、振動子の複数面に電極を形成し、これら電
極に外部から交流電圧を印加し、圧電作用による検出出
力を取り出すようになっているが、例えば特開平８−１
２２０８２号公報や特開平９−３３２６０号公報に見ら
れるように、振動子との電気的な接続は、細いリード線
によって行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リード
線による接続は、接続作業において切断し易く、１本ず
つ接続する必要があるため、手作業でリード線の半田付
けをする場合には、非常に作業性が悪いという欠点があ
る。

【０００４】本発明の第１の課題は、接続強度を従来よ
り格段に高くすることができ、作業性を向上させること
もできる振動型ジャイロスコープを提供することであ
る。

【０００５】本発明の第２の課題は、回路基板の振動が
振動子に伝わり難くく、振動子の振動も回路基板に伝わ
り難い振動型ジャイロスコープを提供することである。

【０００６】本発明の第３の課題は、配線部の幅を狭く
できて、振動子と回路基板との間で、より振動が伝わり
難くした振動型ジャイロスコープを提供することであ
る。

【０００７】本発明の第４の課題は、振動子の振動を回
路基板側に伝わり難くした振動型ジャイロスコープを提
供することである。

【０００８】本発明の第５の課題は、振動子の両面にラ
ンド部が設けられていてもフレキシブル配線基板が１枚
で済む振動型ジャイロスコープを提供することである。

【０００９】本発明の第６の課題は、振動子の両面で同
電位となる電極がある場合にも、配線部の幅がひろくな
ることのない振動型ジャイロスコープを提供することで
ある。

【００１０】本発明の第７の課題は、振動のバランスの
よい振動型ジャイロスコープを提供することである。

【００１１】本発明の第８の課題は、電極と配線パター
ンが複数あっても、振動子の片面に対して一度の作業で
接続可能な振動型ジャイロスコープを提供することであ
る。

【００１２】本発明の第９の課題は、振動子のランド部
と配線パターンのランド部に不所望な力が作用しても接
続部分が切断しにくい振動型ジャイロスコープを提供す
ることである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記第１の課題は、電極
および該電極と導通するランド部が形成された振動子
と、前記振動子を振動可能に支持する支持部材と、配線
パターンが形成され、少なくとも振動子側端部、回路基
板側端部およびこれら振動子側端部と回路基板側端部間
に位置する配線部とを有し、前記振動子側端部には前記
配線パターンと電気的に導通しかつ前記振動子のランド
部と電気的に接続されるランド部を備えたフレキシブル
配線基板と、前記フレキシブル配線基板の回路基板側端
部に設けられたランド部と接続され、前記配線パターン
と電気的に導通する回路基板とを備えた第１の手段によ
り解決される。

【００１４】前記第２の課題は、第１の手段において、
前記フレキシブル配線基板の前記配線部は、前記振動子
側端部および前記回路基板側端部よりも幅狭になってい
る第２の手段により解決される。

【００１５】前記第３の課題は、第１または第２の手段
において、前記振動子のランド部は複数あり、少なくと
も隣接しかつ同電位となる振動子のランド部に対して
は、前記フレキシブル配線基板側の対応する前記ランド
部同士を前記振動子側端部内で接続し、前記フレキシブ
ル配線基板のこれらランド部に導通する配線パターンを
共通にして前記配線部に形成した第３の手段により解決
される。

【００１６】前記第４の課題は、第１ないし第３の手段
のいずれかにおいて、前記振動子は、先端部が自由端と
なって片持ち状態で振動する振動腕を備え、前記振動子
の基端部が前記支持部材に支持され、前記振動子の基端
部に前記振動子側のランド部が設けられ、前記支持部材
が前記回路基板に取り付けられている第４の手段により
解決される。

【００１７】前記第５の課題は、第４の手段において、
前記振動子は、概略板状をしており、表裏両面に駆動用
または検出用の電極とこれら電極と導通する前記ランド
部が形成されており、前記フレキシブル配線基板には、
前記配線部が中央部よりも前記振動子側で２つに分岐す
る分岐部と、前記振動子の表面用の前記振動子側端部お
よび裏面用の前記振動子側端部を備え、前記各振動子側
端部に設けられたランド部が、前記振動子の両面に存在
し対応するランド部に接続されている第５の手段により
解決される。

【００１８】前記第６の課題は、第５の手段において、
前記振動子の表面と裏面とで同電位となる前記振動子の
ランド部にそれぞれ導通する前記配線パターンは、前記
分岐部でまとめられて前記回路基板側端部に至る第６の
手段により解決される。

【００１９】前記第７の課題は、第１ないし第６の手段
のいずれかにおいて、前記配線部が前記振動子側端部の
ほぼ中央部から導出されている第７の手段により解決さ
れる。

【００２０】前記第８の課題は、第１ないし第７の手段
のいずれかにおいて、前記振動子の電極およびランド部
は、銀を主成分としたペーストを印刷することにより形
成され、前記フレキシブル配線基板の前記振動子側端部
のランド部にはクリーム半田あるいは半田メッキが施さ
れており、熱溶着により前記半田が溶融して前記振動子
のランド部と前記フレキシブル配線基板のランド部が接
続される第８の手段により解決される。

【００２１】前記第９の課題は、第８の手段において、
前記振動子のランド部と前記フレキシブル配線基板のラ
ンド部との熱溶着部に接着剤を塗布した第９の手段によ
り解決される。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下本発明について図面を参照し
て説明する。

【００２３】図１は本発明の一実施の形態を示す側面
図、図２Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは振動型ジャイロスコープ
の平面図、正面図、底面図、右側面図、及び背面図、図
３Ａ，Ｂは振動型ジャイロスコープのシールドカバーを
透過して示す縦断面図及び蓋体を取り外した状態の背面
図、図４Ａ，Ｂ，Ｃは振動子を支持部材で基板に取り付
けた状態の背面図、左側面図、及び底面図、図５は振動
型ジャイロスコープの分解斜視図、図６Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ，Ｅは蓋体の平面図、正面図、底面図、左側面図、及
び背面図、図７は図６Ｂの７−７線に沿った断面図、図
８は図６Ｅの８−８線に沿った断面図、図９Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄ，Ｅはケースの正面図、底面図、右側面図、背面
図、及び平面図、図１０は図９Ｄの１０−１０線に沿っ
た断面図、図１１Ａは振動子を表面から、Ｂは振動子を
裏面からそれぞれ見て示す振動子の駆動検出時の説明
図、図１２は図１１の矢印IV方向から見て、振動子の誘
電分極方向を示す説明図，図１３は振動子の製造および
分極方法を示す説明図、図１４はフレキシブル配線基板
を詳細に示す平面図、図１５Ａは振動子を裏面から、Ｂ
は振動子を表面からそれぞれ見て示す振動子とフレキシ
ブル配線基板の接続状態を示す説明図、図１６Ａは振動
子を裏面から、Ｂは振動子を表面からそれぞれ見て示す
振動子とフレキシブル配線基板の接続部分の対応関係を
説明するため両者を離した状態で示す拡大平面図、図１
７Ａは振動子を裏面から、Ｂは振動子を表面からそれぞ
れ見て示す振動子とフレキシブル配線基板を接続した状
態で示す拡大平面図、図１８Ａは振動子とフレキシブル
配線基板を半田付けした部分を示す部分平面図、Ｂはそ
の断面図である。なお、図１１、図１５、図１６及び図
１７において、フレキシブル配線基板に２つの振動子が
接続されているかのように図示しているが、これは理解
をしやすくするために振動子の表面と裏面とを各図に描
いているだけであり、１つのフレキシブル配線基板に接
続される振動子は１つである。

【００２４】図１において、符号１００は後述する三脚
音叉型の振動子１を内蔵した振動型ジャイロスコープで
あり、振動型ジャイロスコープ１００は例えばカーナビ
ゲーション装置の取付け基板１１０に取付け固定されて
いる。

【００２５】この振動子１は三脚音叉型（または二脚音
叉型）であり、回転系内でのコリオリ力による振動成分
を発生させて角速度を検出するジャイロスコープなどの
センサとして用いられる。

【００２６】振動型ジャイロスコープ１００は、図５に
示すように、上方が開口されたケース２と、振動子１の
基端部１Ａ側を防振用ゴム３で挟持して取り付けられた
支持部材４と、振動子１の基端部１Ａに熱溶着されて接
続固定されたフレキシブル配線基板５と、支持部材４に
取り付けられた振動子１が固定される基板（回路基板）
６と、基板６を収納したケース２の開口を覆う蓋体７
と、一体化したケース２及び蓋体７に被せられて外面を
シールドするシールドカバー８とから主に構成されてい
る。

【００２７】振動子１はエリンバなどの恒弾性材料の表
面に駆動手段および検出手段となる圧電材料が積層され
た板状のもの、または全体が駆動手段および検出手段と
しての圧電材料で形成された板状のものなどであり、圧
電材料の表面には、各振動腕を駆動するための駆動電
極、および振動検出用の検出電極が形成される。

【００２８】本実施の形態では、振動子１は、ＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛）等の板状の圧電セラミックな
どの圧電材料で形成されたものであり、図１１に示すよ
うに、その基端部１Ａの先部は溝１１，１１で分離され
て３個の振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃが一体に形成さ
れている。各振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃでの圧電材
料の誘電分極方向は図１２に矢印で示す通りであり、左
右両側の振動腕１２ｂと１２ｃとで誘電分極方向が同じ
であり、中央の振動腕１２ａでは、左右の振動腕１２ｂ
および１２ｃと誘電分極方向が左右および上下に対称で
ある。

【００２９】各振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃでは下面
（裏面）側にそれぞれ一対の駆動電極１３，１３，…が
導電性材料により形成されており、この駆動電極１３，
１３，…は、図１１のＢに示すように、振動子１の端面
１Ｂまで延びて基端部１Ａにランド部１３ａ，１３ｂが
形成されている。ランド部１３ｂは同電位が印加される
２本の駆動電極１３，１３につながっている。上記駆動
電極１３，１３，…は導電経路を介して、交流駆動電源
１５に接続されたおり、交流駆動電源１５から各駆動電
極１３，１３，…に同電位の駆動電圧が与えられる。中
央の振動腕１２ａの裏面に１本のアース電極１４が形成
されている。このアース電極１４は振動子１の端面１Ｂ
まで延びて基端部１Ａにランド部１４ａが形成されてお
り、配線経路により、アース電極１４は接地電位となっ
ている。同電位が印加される２つの駆動電極１３，１３
はその一端部において１つのランド部１３ｂにまとめら
れており、これによりランド部の数を削減することがで
き、後述するランド部とともにその面積を大きく設定で
きるので、半田付け作業などの作業性を改善することが
できる。

【００３０】振動子１の上面（表面）では、左右の振動
腕１２ｂ，１２ｃに一対のアース電極１６，１６…が、
中央の振動腕１２ａに一対の検出電極１７ａ，１７ｂ
が、そして中央の振動腕１２ａに一対の検出電極１７
ａ，１７ｂの間に１本のアース電極１６がそれぞれ形成
されている。図１１のＡに示すように、振動腕１２ｂ，
１２ｃに形成された４本のアース電極１６，１６…は、
振動子１の基端部１Ａの端面１Ｂに延びてランド部１６
ｂがそれぞれ基端部１Ａに形成されているが、中央の振
動腕１２ａに設けられた１本のアース電極１６は、振動
子１の端面１Ｂの手前まで延びて基端部１Ａにランド部
１６ａが形成されている。配線経路により、各アース電
極１６，１６…は接地電位となっている。なお、駆動電
極１３、アース電極１４，１６、検出電極１７ａはそれ
ぞれ、例えば銀ペーストや銀パラなどと称される銀とパ
ラジュウムの混合ペーストのような銀を主成分としたペ
ーストを印刷形成することにより形成されている。この
実施の形態においては、高価なパラジウムを含まない銀
ペーストを用いており、印刷後、焼成することにより、
銀粉及びバインダ材を溶解させた溶剤を揮発させて乾燥
した電極パターンとしている。なお、各ランド部１３
ａ，１３ｂ，１４ａは駆動電極１３，１３，…及びアー
ス電極１４と同時に印刷形成され、ランド部１６ａ，１
６ｂ，１７ａ１，１７ｂ１（後述）はアース電極１６及
び検出電極１７ａ，１７ｂと同時に印刷形成している。

【００３１】前記駆動電極１３，１３，…とアース電極
１４およびアース電極１６，１６，…とで、駆動手段で
ある圧電材料に対して駆動電圧が与えられる。図１２に
示す誘電分極構造にしたがって、左右の振動腕１２ｂと
１２ｃは、Ｘ方向へ同位相で振動駆動され、中央の振動
腕１２ａは左右の振動腕１２ｂ，１２ｃと逆の位相（１
８０度相違する位相）により同じくＸ方向へ振動駆動さ
れる。すなわち、ある時点において、左右の振動腕１２
ｂ，１２ｃのＸ方向への振幅と振動腕１２ａのＸ方向へ
の振幅とは逆向きである。なお、アース電極１４，１６
…が接地されていないと、振動腕１２ａ，１２ｂ，１２
ｃが振動駆動されないことから、アース電極１４，１
６，１６…も駆動用の電極として機能している。

【００３２】中央の振動腕１２ａの上面には、一対の検
出電極１７ａと１７ｂが形成されている。各検出電極１
７ａと１７ｂは、振動子１の後方にて端面１Ｂの位置ま
で延びており、それぞれの検出電極１７ａおよび１７ｂ
にはランド部１７ａ１と１７ｂ１が一体に形成されてい
る。これらのランド部１７ａ１と１７ｂ１は、アース電
極１６のランド部１６ａが振動子１の基端部１Ａの端面
１Ｂまで達していないので、基端部１Ａに幅広に形成さ
れている。

【００３３】なお、振動子１に形成された各駆動電極１
３，１３，…は、図１１では、図示省略しているフレキ
シブル配線基板５を介して、基板６の導電パターン（回
路パターン）に導通されており、この導電パターンを介
して図１１に示した交流駆動電源１５に導通されてい
る。また、各アース電極１４，１６，１６…及び検出電
極１７ａ，１７ｂもフレキシブル配線基板５を介して基
板６の所定の導電パターンに導通されている。フレキシ
ブル配線基板５は、一端側が二叉に分岐されて振動子１
の表裏側のランド部にそれぞれ熱溶着される振動子表側
接続端部５ａと振動子裏側接続端部５ｂが設けられ、他
端には基板６の導電パターン（図示せず）に接続される
基板用接続端部５ｃが設けられている。フレキシブル配
線基板５の各構成および接続の詳細については後述す
る。

【００３４】また、振動子１は１個の支持部材４により
片持ち支持されているために、固定のための部品が最小
ですむ。また振動子１の基端部１Ａは、支持部材４に支
持されているため、振動子１は支持部材４により安定し
て支持される。また支持部材４の防振用ゴム３を介して
振動子１を基板６上に取り付けているので、基板６に与
えられる外部衝撃や外部振動が防振用ゴム３により緩衝
でき、振動子１に衝撃や振動が直接的に伝達されるのを
防止できる。

【００３５】特に、図１以下に示す三脚音叉型の振動子
１では、左右の振動腕１２ｂ，１２ｃと、中央の振動腕
１２ａとが、１８０度相違する位相で振動するため、振
動子１全体での振動バランスが良く、振動子１の基端部
１Ａに振動が生じたとしても、その振動は極めて小さい
ものとなる。よって、基端部１Ａが支持部材４に支持さ
れた状態で、振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃは支持によ
る拘束を受けることなく振動でき、各振動腕の駆動能力
および検出感度が低下することがない。

【００３６】ところで、振動腕の質量をｍ、振動腕のＸ
軸方向の振動速度をｖ（ベクトル値）、回転系でのＺ軸
回りの角速度をω０（ベクトル値）とすると、コリオリ
力Ｆ（ベクトル値）は、Ｆ＝２ｍ（ｖ×ω０）（×はベクトル積）で表わされ、コリオリ力Ｆは角速度ω０に比例する。よ
って、振動腕１２ａのＹ軸方向への変形振動が検出電極
により検出されることにより、角速度ω０が求められ
る。

【００３７】振動子１がＺ軸回りの角速度を有する回転
系内に置かれると、上式に示したコリオリ力Ｆにより、
各振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃがＹ方向の振動成分を
持つ。両側の振動腕１２ｂおよび１２ｃと、中央の振動
腕１２ａとでは、駆動電圧による振動の位相が逆である
ため、コリオリ力による振動の位相も、振動腕１２ｂ，
１２ｃと、振動腕１２ａとで逆である。すなわち、ある
時点において、振動腕１２ｂ，１２ｃのコリオリ力によ
るＹ軸での振幅方向が同じであり、中央の振動腕１２ａ
のＹ軸での振幅方向は振動腕１２ｂ，１２ｃと逆向きで
ある。

【００３８】検出電極１７ａと１７ｂは、中央の振動腕
１２ａの同じ面に形成されており、中央の振動腕１２ａ
の圧電材料がコリオリ力の検出手段として機能する。こ
の検出電極１７ａと１７ｂが形成されている部分の圧電
材料の誘電分極方向が互いに逆であるため、コリオリ力
によるＹ方向の振動成分に関して、検出電極１７ａと検
出電極１７ｂとで１８０度位相の相違する圧電作用によ
る検出出力が得られる。両検出電極１７ａと１７ｂから
の検出出力の差を取ることにより、各検出電極１７ａと
１７ｂからの検出出力の絶対値が加算される。この検出
出力からＺ軸回りの角速度ω成分を算出することが可能
になる。

【００３９】図３及び図４及び図５に示すように、振動
子１の基端部１Ａは防振用ゴム３で挟持されて支持部材
４に支持される。この支持部材４は、図５に示すよう
に、支持部材用ケース４１と、防振用ゴム３を収納した
支持部材用ケース４１に取付け固定される支持部材用蓋
４２とからなっている。支持部材用ケース４１は板厚
０．３mmのりん青銅からなる金属板により曲げ形成され
たものであり、図５に示すように、四角板状で平面状の
底板部４１ａと、その３辺に折り曲げ形成された側板部
４１ｂ，４１ｂ，４１ｂと、対向する側板部４１ｂ，４
１ｂの上端に突設された支持部材用蓋４２の固定用片部
４１ｃと、対向する側板部４１ｂ，４１ｂから内側に切
り起こされた、防振用ゴム３の位置決め片部４１ｄと、
側板部４１ｂの上端に突設された基板６への取り付け用
足部４１ｅからなっている。板厚０．５mmの平面状のり
ん青銅板からなる支持部材用蓋４２には、固定用片部４
１ｃ、足部４１ｅ等を差し込むスリット４２ａが形成さ
れている。

【００４０】温度に対して硬度の変化の少ないシリコン
ゴムからなる防振用ゴム３は第１，２の防振用ゴム３
１，３２からなり、第１の防振用ゴム３１は、図５に示
すように、振動子１の基端部１Ａを嵌め込む凹部３１ａ
と、振動子１の基端部１Ａに溶着固定されたフレキシブ
ル配線基板５を引き出す切り欠き部３１ｂと、切り欠き
部３１ｂを構成している一対の壁部３１ｃ，３１ｃとが
設けられ、また第２の防振用ゴム３２は四角板状で両側
部に第１の防振用ゴム３１の壁部３１ｃが嵌め込まれる
切り欠き部３２ａ，３２ａが形成されている。

【００４１】そして、支持部材用ケース４１に第１の防
振用ゴム３１を嵌め込む。フレキシブル配線基板５を振
動子１の基端部１Ａに熱溶着して固定された振動子１
を、その基端部１Ａを第１の防振用ゴム３１の凹部３１
ａに嵌め込み、さらに第２の防振用ゴム３２を振動子１
の基端部１Ａを挟むようにして第１の防振用ゴム３１の
壁部３１ｃ，３１ｃに第２の防振用ゴム３２の切り欠き
部３２ａ，３２ａに嵌め込み、さらに支持部材用蓋４２
を被せてスリット４２ａから突出した固定用片部４１ｃ
を折り曲げることにより、振動子１に支持部材４が取り
付けられる。この際の防振用ゴム３の圧縮率を１０〜３
０％とし、支持部材４により振動子１の基端部１Ａが第
１，２の防振用ゴム３１，３２間に挟持される。

【００４２】この支持部材４の足部４１ｅを基板６のス
リット（孔６ｂ）に差し込んで裏面で半田付けすること
によって、図４に示すように、振動子１が防振用ゴム３
を介して支持部材４によって基板６に取り付けられる。
この実施の形態の場合、振動子１の基端部１Ａを下に、
各振動腕１２ａ，１２ｂ，１２ｃを上にして使用され
る。

【００４３】ケース２は上方を開口とした四角箱状に合
成樹脂で成形されており、図９及び１０に示すように、
四角形状の底部２０と、底部２０の四辺に形成された側
壁２１，２１…と、側壁２１の内面に設けられ、基板６
の高さを決める高さ決め段部２２と、基板６の切欠き部
６ａに嵌め込んで位置決めするとともに突出部分を熱か
しめして基板６を固定する固定リブ２３と、対向する側
壁２１，２１の外面に設けられ、シールドカバー８の挿
入時のガイドとなるテーパ部２４，２４と、テーパ部２
４に連続して形成され、シールドカバー８の抜け止め用
爪８７を折り曲げ加工する際の受け部となる凸段部２５
と、基板６の端子９をケース２の外部に出すための切欠
き部２６と、基板６の位置決め用ガイドピン２７と、底
部２０の外面に設けられ、シールドカバー８の挿入時の
ガイドとなるテーパ部２８が備えられている。この切欠
き部２６の底面２６ａは図１０に示すように平坦面とな
っている。

【００４４】なお、ケース２および蓋体の材料は、ＰＢ
Ｔ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＰＳ（ポリフェ
ニレンサルファイド）、ＡＢＳ（アクリルブタジエンス
チレン）等のエンジニアリングプラスティックと呼ばれ
る合成樹脂材が使用でき、耐熱性や強度の点からＰＢＴ
が好ましい。また、ケース２は底部も開口とし、底部開
口を底蓋を取り付けて塞ぐようにしても良い。

【００４５】ガラス入りエポキシ樹脂等からなるリジッ
ドな回路基板６には検出回路等が実装されており、ま
た、図４及び図５に示すように、固定リブ２３を嵌め込
む切欠き部６ａと、支持部材用ケース４１の取り付け用
足部４１ｅを差し込む差し込み孔６ｂと、ガイドピン２
７を挿入するガイド孔６ｃと、検出回路等と接続された
パターンに接続固定された端子９とが備えられている。
６１は回路基板６に実装された半固定可変抵抗器であ
る。なお、端子９は、図３及び図４に示すように、回路
基板６の板面と略平行になるように折り曲げ形成された
第１の水平板部９１と、第１の水平板部９１から略直角
に折り曲げ形成された第１の垂直板部９２と、第１の垂
直板部９２から略直角に折り曲げ形成された第２の水平
板部９３とを備え、全体として２段階状になっている。

【００４６】蓋体７はケース２の側壁２１の内側に位置
して開口を塞ぐように全体として四角板状に形成されて
おり、図６乃至図８に示すように、その平板部７０の下
面（ケース）側を凹状に形成された凹部（内底部）７１
と、凹部７１を囲むように形成された側部７２と、平板
部７０の上面側の周縁に沿って形成された傾斜面部７３
と、平板部７０の上面側に突設され、シールドカバー８
の挿入時のガイドとなるテーパ部７４，７４と、蓋体７
とケース２との接着時に加熱する際のケース２内の空気
抜き等用の貫通孔７５と、側部７２に切欠き形成された
端子９の導出用の切欠き部７６とが備えられている。

【００４７】蓋体７は全体的に皿を逆にした形状となっ
ており、蓋体７をケース２の開口を塞ぐように被せたと
き、図３に示すように、蓋体７の周縁（蓋体７とケース
２の接合部）に沿って、蓋体７の傾斜面部７３とケース
２の側壁２１の上端部によって凹溝部Ｇが構成される。
このような凹溝部Ｇに接着剤Ｓ（図３で破線の斜線を施
してある部分）を充填することにより、蓋体７とケース
２の接合部のみに接着剤Ｓを施すことができる。なお、
側部７２の四隅の先端が回路基板６に当接して、蓋体７
がケース２内に落ち込まないようにしている。

【００４８】シールドカバー８は一枚の鋼板等の金属板
を折り曲げて形成されており、図２及び図５に示すよう
に、長方形状の天板８１と、天板８１の両長辺から鈍角
にそれぞれ折り曲げ形成された一対の第１の側板８２，
８２と、第１の側板８２の両側縁からそれぞれ折り曲げ
形成された一対の補助側板８３と、天板８１の両短辺か
らそれぞれ折り曲げ形成された一対の第２の側板８４，
８４と、補助側板８３の遊端寄りに形成された係止用孔
８５と、第２の側板８４の先端寄りに形成され、係止用
孔８５にスナップインされる切り起こし爪８６と、第２
の側板８４の先端に形成されたケース２の抜け止め用爪
８７と、第１の側板８２の先端に形成された取付け基板
１１０への固定用爪８８とが備えられている。

【００４９】したがって、天板８１に対して９０度を越
えて広がっている第１の側板８２，８２を押し込むこと
によって係止用孔８５に切り起こし爪８６がスナップイ
ンされて図５等に示すような四角箱状のシールドケース
８となる。

【００５０】次に、図１３により、振動子１を構成する
圧電材料の分極処理について説明する。分極処理とは、
圧電材料であるセラミックに圧電効果を持たせるため、
図１２に矢印で示す誘電分極方向を持たせるための処理
を施すことである。この実施の形態においては、１枚の
圧電セラミック基板１０１を各振動子の長手方向を区切
る点線１０２、そして振動子の端面１Ｂとなる点線１０
３から切断することにより６つの振動子１（図１１）を
作るように構成している。この場合、振動子１は表裏を
交互にして分極用パターンが形成されて多数個取りする
ようにしてあり、図１３の圧電セラミック基板１０１の
裏面側にも対応する分極用パターンが形成されている。

【００５１】すなわち、圧電セラミック基板１０１の一
側縁には、図１３の左から１つ目の振動子の表面となる
３つの振動腕１２ｂ，１２ａ，１２ｃが溝１１で分離し
て形成され、振動腕１２ｃの右隣には所定の間隔をおい
て、２つ目の振動子の裏面となる３つの振動腕１２ｃ，
１２ａ，１２ｂが所定の間隔をおいて形成されている。
以下同様にして、２つ目の振動子の裏面の右隣には３つ
目の振動子の表面の振動腕１２ｂ，１２ａ，１２ｃが、
その右隣には４つめの振動子の裏面の振動腕１２ｃ，１
２ａ，１２ｂというように表裏を交互にして６つの振動
腕が形成されている。表面の各振動腕１２ａには、上述
したように、一対の検出電極１７ａ，１７ｂとその間に
位置するように１本のアース電極１６が、そして各振動
腕１２ｂ，１２ｃには一対のアース電極１６，１６がそ
れぞれ形成されている。各裏面の各振動腕１２ａには、
上述したように、一対の駆動電極１３，１３とその間に
位置する１本のアース電極１４が、そして各振動腕１２
ｂ，１２ｃには一対の駆動電極１３，１３がそれぞれ形
成されている。したがって、図１３に示す左から１つ目
の振動子の裏面には、図１１のＢの駆動電極１３及びア
ース電極１４がそれぞれ形成されている。図１３の左か
ら２つ目の振動子の裏面には、図１１のＡに示す各電極
が形成されている。以降も交互に各電極が形成されてい
る。

【００５２】図１３に示す圧電セラミック基板１０１の
表面側を例にとってさらに説明すると、左から１つ目の
振動子における表面の振動腕１２ｂの左側のアース電極
１６と、振動腕１２ａの右側の検出電極１７ａそして振
動腕１２ｃの左側のアース電極１６は、分極時において
はともに同電位の電圧が印加されるため、検出電極１７
ａとアース電極１６は、切断線１０３より下方の圧電セ
ラミック基板１０１の分極パターン形成部１０１ａにお
いて１本の導電パターン１０４にまとめられている。こ
の共通導電パターン１０４には、左から２つ目の振動子
の裏面（図１３においては表面側）における同電位の電
圧が印加されるところの振動腕１２ｃの左側の駆動電極
１３、振動腕１２ａの右側の駆動電極１３そして振動腕
１２ｂの左側の駆動電極１３も接続されている。以下、
交互に左から奇数番目の振動子（表面に対応する面）は
上記１つ目の振動子の振動腕と同様に、そして左から偶
数番目の振動子（裏面に対応する面）は上記２つ目の振
動子の振動腕と同様にして、共通導電パターン１０４に
接続されている。

【００５３】また、左から１つ目の振動子における振動
腕１２ｂの右側のアース電極１６と振動腕１２ａの左側
の検出電極１７ｂとは共通導電パターン１０４と電気的
に接続しないように圧電セラミック基板１０１の分極パ
ターン形成部１０１ａに独立して延在する１本の導電パ
ターン１０５に接続されている。振動腕１２ｃの右側の
アース電極１６も共通導電パターン１０４と電気的に接
続しないように圧電セラミック基板１０１の分極パター
ン形成部１０１ａに独立して延在する１本の導電パター
ン１０５に接続されている。左から２つ目の裏側を向い
た振動子においては、振動腕１２ｃの右側の駆動電極１
３と振動腕１２ａの左側の駆動電極１３とは共通導電パ
ターン１０４と電気的に接続しないように圧電セラミッ
ク基板１０１の分極パターン形成部１０１ａに独立して
延在する１本の導電パターン１０５に接続されている。
２つ目の振動子における振動腕１２ｂの右側の駆動電極
１３も共通導電パターン１０４と電気的に接続しないよ
うに圧電セラミック基板１０１の分極パターン形成部１
０１ａに独立して延在する１本の導電パターン１０５に
接続されている。以下の残り４つの振動子の振動腕も、
表側を向いている振動腕は、上記左から１つ目の振動子
と同様にして、共通導電パターン１０４とそれぞれ独立
する導電パターン１０５に、裏側を向いている振動腕
は、上記左から２つ目の振動子と同様にして、共通導電
パターン１０４とそれぞれ独立する導電パターン１０５
に接続されている。図１３の圧電セラミック基板１０１
の裏側も同様な共通導電パターン１０４とそれぞれ独立
する導電パターン１０５に接続されている。

【００５４】なお、振動腕１２ａのアース電極１４，１
６は分極には用いられなく、また上述したように短くな
っているので、共通導電パターン１０４や導電パターン
１０５には接続させない。

【００５５】このようにして圧電セラミック基板１０１
に６つの振動子が形成され、かつ各電極が導電パターン
に接続されたものを、共通導電パターン１０４を直流電
源１０６のプラス側に、そして１２本の独立する導電パ
ターン１０５を直流電源１０６のマイナス側に接続す
る。そして、この直流電源１０６に接続された圧電セラ
ミック基板１０１を１００〜２００°Ｃに熱したシリコ
ンオイル内に浸漬し、直流電源１０６により１〜２ｋＶ
の直流電圧を１〜３時間かけて、図１２に示すように分
極処理を施す。分極処理が終了したら、切断線１０２，
１０３に沿って切断すれば、図１１に示す振動子１を６
個得ることができる。

【００５６】このように本実施の形態においては、各振
動子１の両側の振動腕１２ｂ，１２ｃの外側に形成され
ている駆動電極１３やアース電極１６のランド部１３
ａ，１６ａは、振動子１の側縁でなく端面１Ｂまで達し
ており、そのまま延長することができるので、振動子１
の基端部１Ａの側縁から延出させるようなパターンは不
要であり、圧電セラミック基板１０１で多数個取りする
隣接する振動子との間隔を狭く設定することができ、圧
電セラミック基板１０１の歩留まりがよく、低コストで
振動子を製造することができる。

【００５７】次に、フレキシブル配線基板５の詳細な構
成を振動子１との接続関係とともに、図１４から図１８
により説明する。フレキシブル配線基板５は、総板厚５
０μｍ程度、幅は１〜１．５ｍｍ（振動子−回路基板間
で配線部５ｄとする部分）、ポリイミド、ポリエチレン
などの合成樹脂で作られたフィルム状のものが使用でき
るが、本実施の形態では、耐熱性を考慮してポリイミド
樹脂から構成している。前述したが、このフレキシブル
配線基板５は、図１４に示すように、一端に振動子１の
表裏側のランド部にそれぞれ熱溶着される振動子表側接
続端部５ａと振動子裏側接続端部５ｂが設けられ、他端
に回路基板６の導電パターン（図示せず）に接続される
基板用接続端部５ｃが設けられている。振動子表側接続
端部５ａと振動子裏側接続端部５ｂおよび基板用接続端
部５ｃとの間は、帯状の配線部５ｄにより連絡されてい
る。なお、配線部５ｄは、振動子１の振動のバランスを
よくするために、各接続端部５ａ，５ｂ，５ｃの中央部
より導出されている。そして、フレキシブル配線基板５
は、図１４及び図１８のＢに示すように、配線パターン
５３１，５３２，５３３，５３４をフイルム５１，５２
で挟み込んで一体化されている。すなわち、ベース材と
なるフィルム５２上に銅箔からなる配線パターン５３
１，５３２，５３３，５３４及び各配線パターンと導通
する５３１ａ等の各ランド部をエッチングにて同時に形
成し、配線パターンの短絡防止等のための保護用のフィ
ルム５１（カバーフィルム）を接着剤によりフィルム５
２上に貼り付ている。

【００５８】図１４に示すように、フレキシブル配線基
板５の振動子表側接続端部５ａには、配線パターン５３
１のランド部５３１ａと２本の配線パターン５３２、５
３３のランド部５３２ａ，５３３ａが形成されている。
これらのランド部５３１ａ，５３２ａ，５３３ａはフイ
ルム５１に形成した切欠き部５１ａ、あるいは開口部５
１ｂから露出されて半田付けできるようになっている。

【００５９】図１５ないし図１７に示すように、振動子
表側接続端部５ａのランド部５３１ａは振動腕１２ｂの
２本のアース電極１６の各ランド部１６ｂ、振動腕１２
ａの中央のアース電極１６のランド部１６ａそして振動
腕１２ｃの２本のアース電極１６の各ランド部１６ｂに
接続される。また、配線パターン５３２、５３３のラン
ド部５３２ａ，５３３ａは、振動腕１２ａの２本の検出
電極１７ｂ，１７ａの各ランド部１７ｂ１，１７ａ１に
それぞれ接続される。そして、同電位となる振動腕１２
ｂの２本のアース電極１６の各ランド部１６ｂ、振動腕
１２ａの中央のアース電極１６のランド部１６ａそして
振動腕１２ｃの２本のアース電極１６の各ランド部１６
ｂは、１本の連続する配線パターン５３１により接続さ
れている。

【００６０】また、図１４に示すように、フレキシブル
配線基板５の振動子裏側接続端部５ｂには、配線パター
ン５３４の４つのランド部５３４ａ，…及び配線パター
ン５３１と導通する１つのランド部５３１ａが形成され
ている。図１５ないし図１７に示すように、振動子裏側
接続端部５ｂの各ランド部５３４ａ，…は、振動腕１２
ｃの左側の駆動電極１３のランド部１３ａ、振動腕１２
ｃの右側の駆動電極１３および振動腕１２ａの左側の駆
動電極１３に共通のランド部１３ｂ、振動腕１２ａの右
側の駆動電極１３と振動腕１２ｂの左側の駆動電極１３
とに導通する共通のランド部１３ｂそして振動腕１２ｂ
の右側の駆動電極１３のランド部１３ａにそれぞれ接続
される。また、配線パターン５３１のランド部５３１ａ
は振動腕１２ａの中央のアース電極１４のランド部１４
ａに接続される。なお、配線部５ｄは振動子接続端部５
ａ，５ｂ側の分岐部５ｅで二股に分岐されており、ラン
ド部５３１ａが分岐部５ｅで分岐された配線パターン５
３１に接続されている。これらのランド部５３４ａ，５
３１ａもフイルム５１に形成した切欠き部５１ａ、ある
いは開口部５１ｂから露出されて半田付けできるように
なっている。このように配線パターン５３４に接続され
た各駆動電極１３は同電位となるため、これら電極を接
続する配線パターン５３４は１本の連続するパターンに
なっている。したがって、振動子１には裏表を合計する
と１４本の電極が形成されているが、同電位の電極が上
述したようにまとめられた結果、配線部５ｄには４本の
配線パターン５３１，５３２，５３３，５３４を形成す
るだけでよく、配線パターン数の減少により配線部５ｄ
の幅は振動子表側接続端部５ａや振動子裏側接続端部５
ｂの幅に比べて狭くすることができる。このように配線
部５ｄを狭くすることにより、この配線部５ｄ部分は撓
み易くなって振動を吸収しやすくなるので、回路基板６
からの振動が振動子１に伝わり難く、また、振動子１の
振動も回路基板６に伝わり難くなる。これにより、振動
子１から得られる検出信号が不所望な振動による影響を
受け難くすることができる。また、フレキシブル配線基
板５（配線部５ｄ）を図３Ａに示すように、振動子１と
回路基板６との間でＵ字状に湾曲させているので、この
湾曲部により配線部５ｄに弾性力を持たせることができ
るため、振動が湾曲部で吸収されやすくなり、振動子１
と回路基板６との間で不所望な振動が伝達されにくくな
る。

【００６１】図１４において、５３１ｂ，５３４ｂは溶
融した半田をためる為に各ランド部５３１ａ，５３４ａ
に形成したスリットである。また、基板用接続端部５ｃ
のランド部５３１ｃ，５３２ｃ，５３３ｃ，５３４ｃに
もスリット５３１ｂ，５３２ｂ，５３３ｂ，５３４ｂが
形成されている。なお、基板用接続端部５ｃのランド部
５３１ｃ，５３２ｃ，５３３ｃ，５３４ｃもフィルム５
１に形成した切欠き部５１ｃから露出されて半田付けで
きるようになっている。

【００６２】振動子１のランド部１３ａ，１３ｂ，１４
ａ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ１，１７ｂ１と相対し、熱
溶着される振動子表側接続端部５ａと振動子裏側接続端
部５ｂ及び基板用接続端部５ｃの各配線パターン５３
１，５３２，５３３，５３４のランド部は、クリーム半
田あるいは半田メッキなどで構成された半田５９がエッ
チングにて形成された銅箔上に設けられている（図１５
ないし図１７でハッチングを施した部分）。そして、熱
溶着によりこれら半田５９が溶融してこれらランド部１
３ａ，１３ｂ，１４ａ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ１，１
７ｂ１と配線パターン５３１，５３２，５３３，５３４
のランド部５３１ａ，５３２ａ，５３３ａ，５３４ａと
が図１７に示すように接続される。すなわち、振動子１
の裏面の各ランド部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１３ｂ，
１３ａ上に対応する各ランド部５３４ａ，５３４ａ，５
３１ａ，５３４ａ，５３４ａがそれぞれ当接するように
振動子裏側接続端部５ｂを載置する。そして、ヒータチ
ップとよばれる溶融ゴテを振動子裏側接続端部５ｂの裏
面側（フィルム５２側）に当接させて、加圧して加熱す
る。そして、半田５９が溶融して、対応するランド部同
士が接続された後、まず、加熱を止め、半田５９が硬化
した後、ヒータチップによる加圧（圧接）を解除する。
振動子１の表面の各ランド部と振動子裏側接続端部５ａ
の対応する各ランド部との接続も同様の方法で行われ
る。

【００６３】これにより、ランド部５３１ａ，５３２
ａ，５３３ａ，５３４ａや配線パターンが複数存在して
も、振動子１の表面と裏面とでそれぞれ一度ずつの熱溶
着により接続が可能になり、組立作業性を向上させるこ
とができる。これら半田付けされた部分には、熱硬化性
接着剤、常温硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤などの
接着剤（図示しない）を塗布してもよく、この実施の形
態の場合短時間での硬化、作業性の良さ及び強度の点か
らアクリル樹脂系の紫外線硬化型接着剤（ＵＶ硬化型接
着剤）にて半田付け部分を被覆している。このように、
これら半田付けされた部分（振動子１とフレキシブル配
線基板５との接続部分）にＵＶ硬化型樹脂を上から被覆
するようにすれば、半田付け部分の保護と補強をするこ
とができる。

【００６４】また、４本の配線パターン５３１，５３
２，５３３，５３４のうち、比較的幅の広いランド部１
３ａ，１３ｂ，１４ａ，１６ａに熱溶着される配線パタ
ーン５３１，５３４のランド部５３１ａ，５３４ａも幅
を広くすることができるが、この実施の形態においては
ランド部５３１ａ，５３４ａの中央部には銅箔および半
田のないスリット５３１ｂ，５３４ｂがそれぞれ形成さ
れている。これにより本来幅広になってしまうランド部
５３１ａ，５３４ａのパターンを細くすることができ、
ランド部５３１ａ，５３４ａを介して短時間で半田５９
の熱を高くできて半田が解け易くなる。また、溶融した
半田５９がスリット５３１ｂ，５３４ｂ内に流れ込み、
短時間で確実に熱溶着を施すことができる。さらに、半
田５９がスリット５３１ｂ，５３４ｂ内に流れ込むこと
から、半田の溶着状況を目視にて確認することができ
る。なお、基板用接続端部５ｃに設けられた各ランド部
５３１ｃ，５３２ｃ，５３３ｃ，５３４ｃも前述した振
動子裏側接続端部５ｂと同様に、回路基板６の対応する
導電パターン（図示せず）に、半田により熱溶着され、
接続部にＵＶ硬化型接着剤を塗布して補強している。

【００６５】更に、図１８にランド部１４ａに熱溶着さ
れる振動子裏側接続端部５ｂの配線パターン５３１の半
田５９の部分を例にとって説明する。図１５ないし図１
８に示すように、フレキシブル配線基板５の振動子裏側
接続端部５ｂには振動子１と接続させた振動子１の端面
１Ｂに位置するように貫通孔５４が穿設されている。ま
た、貫通孔５４は振動子裏側接続端部５ｂのランド部５
３１ａのスリット５３１ｂと連通している（ただし、ス
リット５３１ｂにはフィルム５２が存在する。）。した
がって、振動子裏側接続端部５ｂと振動子１とを重ねて
熱溶着させ、半田５９が溶融し、余った半田５９はスリ
ット５３１ｂ内を満たし、更に溢れると貫通孔５４内の
ランド部１４ａが存在する部分に余分となった半田５９
ａが溜るようになっている。なお、このような半田溜り
を構成する貫通孔５４は、図１４ないし図１７に示すよ
うに、振動子１のランド部１７ｂ１，１７ａ１に半田付
けされる振動子表側接続端部５ａのランド部５３２ａ，
５３３ａの各一部を横切る部分にも穿設されている。

【００６６】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、リード線
を用いずに、フレキシブル配線基板により振動子と回路
基板を接続しているので、接続強度を従来より格段に高
くすることができ、接続の作業性を向上させることもで
きる。

【００６７】請求項２記載の発明によれば、配線部が狭
いので、回路基板の振動が振動子に伝わり難く、逆に振
動子の振動も回路基板に伝わり難い。これにより、振動
子から得られる検出信号が不所望な振動による影響を受
け難くなる。

【００６８】請求項３記載の発明によれば、配線パター
ンを共通にしているので、配線部の幅を更に狭くするこ
とができ、振動子と回路基板との間でより振動が伝わり
難くくすることができる。

【００６９】請求項４記載の発明によれば、支持部材に
支持される振動子の基端部にランド部が設けられ、この
基端部でフレキシブル配線基板のランド部に接続される
ので、振動腕の振動が回路基板側に伝わり難くなる。

【００７０】請求項５記載の発明によれば、ランド部が
振動子の両面に存在していても、フレキシブル配線基板
は１枚ですみ、低コスト化が図れるともに、２枚のフレ
キシブル配線基板を使用するのに比べて作業性も向上す
る。

【００７１】請求項６記載の発明によれば、分岐部と回
路基板側端部との間の配線部には共通の配線パターンが
配置されるので、振動子の両面で同電位となる電極があ
る場合にも、この間の配線部の幅が広くなるのを防ぐこ
とができる。

【００７２】請求項７記載の発明によれば、配線部が振
動子側端部中央から導出されるので、振動のバランスを
向上させることができる。

【００７３】請求項８記載の発明によれば、振動子のラ
ンド部および配線パターンのランド部が複数あっても、
少ない回数での熱溶着により接続が可能であり、作業性
をさらに向上させることができる。

【００７４】請求項９記載の発明によれば、電極と配線
パターンのランド部間に不所望な力が作用しても接続部
分が切断し難くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す側面図である。

【図２】Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは振動型ジャイロスコープ
の平面図、正面図、底面図、右側面図、及び背面図であ
る。

【図３】Ａ，Ｂは振動型ジャイロスコープのシールドカ
バーを透過して示す縦断面図及び蓋体を取外した状態の
背面図である。

【図４】Ａ，Ｂ，Ｃは振動子を支持部材で基板に取り付
けた状態の背面図、左側面図、及び底面図である。

【図５】振動型ジャイロスコープの分解斜視図である。

【図６】Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは蓋体の平面図、正面図、
底面図、左側面図、及び背面図である。

【図７】図６Ｂの７−７線に沿った断面図である。

【図８】図６Ｅの８−８線に沿った断面図である。

【図９】Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅはケースの正面図、底面
図、右側面図、背面図、及び平面図である。

【図１０】図９Ｄの１０−１０線に沿った断面図であ
る。

【図１１】Ａは振動子を表面から、Ｂは振動子を裏面か
らそれぞれ見て示す振動子の駆動検出時の説明図であ
る。

【図１２】図１１の矢印IV方向から見て、振動子の誘電
分極方向を示す説明図である。

【図１３】振動子の製造および分極方法を示す説明図で
ある。

【図１４】図１４はフレキシブル配線基板を詳細に示す
平面図である。

【図１５】Ａは振動子を裏面から、Ｂは振動子を表面か
らそれぞれ見て示す振動子とフレキシブル配線基板の接
続状態を示す説明図である。

【図１６】Ａは振動子を裏面から、Ｂは振動子を表面か
らそれぞれ見て示す振動子とフレキシブル配線基板の接
続部分の対応関係を説明するため両者を離した状態で示
す拡大平面図（説明図）である。

【図１７】Ａは振動子を裏面から、Ｂは振動子を表面か
らそれぞれ見て示す振動子とフレキシブル配線基板を接
続した状態で示す拡大平面図（説明図）である。

【図１８】Ａは振動子とフレキシブル配線基板を半田付
けした部分を示す部分平面図、Ｂはその断面図である。

【符号の説明】

１振動子１Ａ基端部１Ｂ端面２ケース４支持部材５フレキシブル配線基板５ａ振動子表側接続端部５ｂ振動子裏側接続端部５ｃ基板用接続端部５ｄ配線部６基板（回路基板）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ振動腕１３駆動電極１４，１６アース電極１４ａ，１６ａ，１６ｂランド部１７ａ，１７ｂ検出電極１７ａ１，１７ｂ１ランド部１０１圧電セラミック基板１０４共通導電パターン１０５導電パターン５３１、５３２、５３３、５３４配線パターン５３１ａ、５３２ａ、５３３ａ、５３４ａランド部５９，５９ａ半田５３１ｂ，５３４ｂスリット５４貫通孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電極および該電極と導通するランド部が
形成された振動子と、前記振動子を振動可能に支持する支持部材と、配線パターンが形成され、少なくとも振動子側端部、回
路基板側端部およびこれら振動子側端部と回路基板側端
部間に位置する配線部とを有し、前記振動子側端部には
前記配線パターンと電気的に導通しかつ前記振動子の前
記ランド部と電気的に接続されるランド部を備えたフレ
キシブル配線基板と、前記フレキシブル配線基板の回路基板側端部に設けられ
たランド部と接続され、前記配線パターンと電気的に導
通する回路基板とを備えたことを特徴とする振動型ジャ
イロスコープ。
【請求項２】請求項１において、前記フレキシブル配
線基板の前記配線部は、前記振動子側端部および前記回
路基板側端部よりも幅狭になっていることを特徴とする
振動型ジャイロスコープ。
【請求項３】請求項１または請求項２において、前記
振動子の前記ランド部は複数あり、少なくとも隣接しか
つ同電位となる前記振動子のランド部に対しては、前記
フレキシブル配線基板側の対応する前記ランド部同士を
前記振動子側端部内で接続し、前記フレキシブル配線基
板のこれらランド部に導通する配線パターンを共通にし
て前記配線部に形成したことを特徴とする振動型ジャイ
ロスコープ。
【請求項４】請求項１ないし請求項３のいずれかにお
いて、前記振動子は、先端部が自由端となって片持ち状
態で振動する振動腕を備え、前記振動子の基端部が前記
支持部材に支持され、前記振動子の基端部に前記振動子
側のランド部が設けられ、前記支持部材が前記回路基板
に取り付けられていることを特徴とする振動型ジャイロ
スコープ。
【請求項５】請求項４において、前記振動子は、概略
板状をしており、表裏両面に駆動用または検出用の電極
とこれら電極と導通する前記ランド部が形成されてお
り、前記フレキシブル配線基板には、前記配線部が中央部よ
りも前記振動子側で２つに分岐する分岐部と、前記振動
子の表面用の前記振動子側端部および裏面用の前記振動
子側端部を備え、前記各振動子側端部に設けられたラン
ド部が、前記振動子の両面に存在し対応するランド部に
接続されていることを特徴とする振動型ジャイロスコー
プ。
【請求項６】請求項５において、前記振動子の表面と
裏面とで同電位となる前記振動子のランド部にそれぞれ
導通する前記配線パターンは、前記分岐部でまとめられ
て前記回路基板側端部に至ることを特徴とする振動型ジ
ャイロスコープ。
【請求項７】請求項１ないし６のいずれかにおいて、
前記配線部が前記振動子側端部のほぼ中央部から導出さ
れていることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
【請求項８】請求項１ないし７のいずれかにおいて、
前記振動子の電極およびランド部は、銀を主成分とした
ペーストを印刷することにより形成され、前記フレキシ
ブル配線基板の前記振動子側端部のランド部にはクリー
ム半田あるいは半田メッキなどの半田が設けられてお
り、熱溶着により前記半田が溶融して前記振動子のラン
ド部と前記フレキシブル配線基板のランド部が接続され
ることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
【請求項９】請求項８において、前記振動子のランド
部と前記フレキシブル配線基板のランド部との熱溶着部
に接着剤を塗布したことを特徴とする振動型ジャイロス
コープ。