JPH1124238A - Structure and method for housing pellicle - Google Patents
Structure and method for housing pellicleInfo
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- JPH1124238A JPH1124238A JP17363397A JP17363397A JPH1124238A JP H1124238 A JPH1124238 A JP H1124238A JP 17363397 A JP17363397 A JP 17363397A JP 17363397 A JP17363397 A JP 17363397A JP H1124238 A JPH1124238 A JP H1124238A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等を製造す
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造及びその収納方法に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellicle storage structure and a storage method of a pellicle used to prevent foreign matter from adhering to a photomask or a reticle used in a lithography process in manufacturing an LSI or the like. Things.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体回路パターン等の製造に於
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている（例えば特公昭５４ー２８７１８号公
報）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル
膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。2. Description of the Related Art Conventionally, in the production of semiconductor circuit patterns and the like, dust-proof means generally called a pellicle is used.
It has been practiced to prevent foreign matter from adhering to a photomask or a reticle (for example, Japanese Patent Publication No. 54-28718). The pellicle is a transparent polymer film (hereinafter referred to as pellicle) such as nitrocellulose or cellulose derivative having a thickness of about 10 μm or less, which is formed on the upper edge surface of a frame having a thickness conforming to the shape of a photomask or a reticle and having a thickness of about several millimeters. A film is stretched and adhered, an adhesive is applied to the lower edge surface of the frame, and a protective film is adhered on the adhesive with a predetermined adhesive force.
【０００３】前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。[0003] The adhesive is used to fix the pellicle to a photomask or a reticle, and the protective film is used to maintain the adhesive force of the adhesive until the adhesive is used. It protects the adhesive surface of the adhesive. In transporting this pellicle from the manufacturer to the user, in order to prevent foreign substances from adhering to the pellicle film or the like, or to prevent the pellicle from being damaged, the pellicle is stored in a case composed of a tray and a lid, Further, it is common to carry and store in a dustproof bag or the like.
【０００４】従来、前述の構造を有するペリクルのケー
スの収納は、図３乃至図４に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜５２は展張（ピンと張っ
た）状態で枠体５１の一方の上縁面に接着され、枠体５
１の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘着材５３が設
けられ、さらに粘着材５３の下面には保護フィルム５４
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ５５の平坦な面である設置面５５ａの上に
保護フィルム５４が接するように置かれる。Conventionally, housing of a pellicle case having the above-described structure has been performed as shown in FIGS.
That is, in the drawing, the pellicle film 52 is adhered to one upper edge surface of the frame body 51 in a stretched (tensed) state, and
The other surface (lower edge surface) is provided with an adhesive material 53 having an appropriate thickness, and a protective film 54 is provided on the lower surface of the adhesive material 53.
Are attached to form a pellicle. This pellicle is placed so that the protective film 54 is in contact with the flat installation surface 55 a of the tray 55.
【０００５】トレイ５５の設置面５５ａ上に載置された
ペリクルは、トレイ５５に設けられた突起状のポスト５
５ｂによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ５６
を上方からかぶせ、クリップ５７によってフタ５６とト
レイ５５との４隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ５６の斜面
５６ａと、ポスト５５ｂと、設置面５５ａとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。[0005] The pellicle mounted on the installation surface 55 a of the tray 55 includes a protruding post 5 provided on the tray 55.
5b restricts the left and right movement, and the lid 56
Is covered from above, and the four corners of the lid 56 and the tray 55 are fixed by the clips 57 to be accommodated in the case. As a result, the pellicle was constrained and surrounded by the slope 56a of the lid 56, the post 55b, and the installation surface 55a, and was housed in the case.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】然るに、前述のように
ペリクルはケースのフタ５６の斜面５６ａ、ポスト５５
ｂ及び設置面５５ａで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペルクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ５６の斜面
５６ａとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ５６にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。However, as described above, the pellicle is formed by the slope 56a of the case lid 56 and the post 55.
Although it is transported in a housed state constrained by b and the installation surface 55a, it was unavoidable to receive some vibration or impact during transportation. If there is a large gap between the pellicle and the slope 56a of the lid 56 of the case in a conventional pellicle restrained state in the case, the pellicle collides with the case lid 56 due to vibration and impact during transportation, and this part is In some cases, it was worn out due to strong rubbing and generated dust. In such a case, there has been a problem that the most important function of delivering the pellicle to the user in a state where there is no foreign matter is lost.
【０００７】一方で、ペリクルとケースとの間の隙間を
なくした場合には、すなわち前記斜面５６ａが前記枠体
５１（或いは前記ペリクル膜５２の端部）と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面５６ａの
内面或いは前記ペリクル膜５２の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。On the other hand, when the gap between the pellicle and the case is eliminated, that is, when the slope 56a is in contact with the frame 51 (or the end of the pellicle film 52) in advance, It has been known from experience that the inner surface of the slope 56a or the end of the pellicle film 52 is worn by the mutual contact pressure to generate foreign matter.
【０００８】そこで、かかるペリクルの収納構造に於い
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ５６の斜面５６ａとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ５５の上に置き、フタ５６をかぶせ、クリップ
５７でフタ５６とトレイ５５を相互に固定したとき、斜
面５６ａと枠体１の上端との間に０．１乃至０．３ｍｍ
程度の隙間を設ける構造である。Therefore, the most preferable manner in such a pellicle storage structure is to provide a very small gap between the pellicle and the slope 56a of the lid 56 of the case. Specifically, when the pellicle is placed on the tray 55, the lid 56 is covered, and the lid 56 and the tray 55 are fixed to each other with the clip 57, the distance between the slope 56a and the upper end of the frame 1 is 0.1 to 0.1 mm. 0.3mm
This is a structure in which a gap of the order is provided.
【０００９】発明者の実験によって、このような隙間の
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法（例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど）によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ５６とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ５５やフタ５６の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。[0009] Experiments by the inventor have confirmed that securing such a gap withstands a certain degree of vibration and impact. However, also in this case, there is a problem that dust is generated when a large impact is received. Further, it is necessary to provide a means for reducing the impact applied to the case or the pellicle by a packing method (for example, using a large amount of a soft foam material having a high impact effect), or to require a transportation means with less vibration and impact. In order to secure an appropriate gap between the lid 56 and the pellicle, the tray 55 and the lid 56 need to be formed with high accuracy. However, there has been a problem that it is extremely difficult to guarantee that many of these means do not generate dust at all in principle.
【００１０】本発明は前述の多くの問題点に鑑み開発さ
れた全く新しい技術であって、特にペリクルをケース内
に収納するに当たって、ペリクルをケースのトレイの設
置面上に所定の接着力で仮着することによって、ペリク
ルをケース内に拘束するようにし、これによって輸送時
の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く
新しい技術を提供するものである。The present invention is a completely new technique developed in view of the above-mentioned many problems. In particular, when storing a pellicle in a case, the pellicle is temporarily attached onto a tray installation surface of the case with a predetermined adhesive force. By attaching the pellicle to the case, the pellicle is restrained in the case, thereby providing a completely new technology capable of sufficiently withstanding vibration and impact during transportation.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明者は、前述の多く
の問題点に鑑み、長年の研究と種々の実験を行うことに
よって、ペリクルを、これを収納するケースのトレイに
固定することによって、前述の問題が解消されることを
発見した。しかし、ケース内に収納されたペリクルが使
用者側に届いた後では、使用者がペリクルをケース内か
ら容易に取り出すことが出来なくてはならないので、ペ
リクルをトレイに固定するに当たっては、この点を充分
考慮しなければならいことに思い至った。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned many problems, the present inventor has conducted long-term research and various experiments to fix a pellicle to a tray of a case for storing the pellicle. And found that the aforementioned problems were eliminated. However, after the pellicle stored in the case reaches the user, the user must be able to easily remove the pellicle from the case. I thought that I had to consider enough.
【００１２】即ち、ペリクルをトレイに固定するに当た
っては、使用者がこのトレイからペリクルを容易に取り
出すことが出来る所定の接着力で接着或いは粘着して一
時的に仮着しておくことを発明した。That is, when the pellicle is fixed to the tray, the user temporarily adheres the pellicle to the tray by temporarily attaching the pellicle with a predetermined adhesive force so that the pellicle can be easily taken out from the tray. .
【００１３】前述のように、ペリクルをトレイと所定の
接着力で仮着するとは、例えば、輸送中の振動や衝撃が
加わった時に、ペリクルとトレイとが接着状態を保つぎ
りぎりの強さとするのが合理的である。発明者の実験
で、適度の緩衝材を詰めた梱包では、通常の陸上輸送時
にケースには、５Ｇ乃至１０Ｇ程度の加速度が加わると
いうデータがある。従ってペリクルの重さの１０倍程度
の接着力が現実的な効果を得る上では適当であると考え
られる。As described above, temporarily attaching a pellicle to a tray with a predetermined adhesive force means, for example, a marginal strength at which the pellicle and the tray are kept in an adhesive state when vibration or impact is applied during transportation. Is reasonable. According to experiments conducted by the inventor, there is data indicating that an acceleration of about 5 G to 10 G is applied to a case during normal land transportation in a package packed with a moderate cushioning material. Therefore, it is considered that an adhesive force of about 10 times the weight of the pellicle is appropriate for obtaining a practical effect.
【００１４】しかし、原理的にいえば、いかなる小さい
接着力であっても衝撃に対しては抵抗力となり、前記ペ
リクルと前記フタとの擦れの強さを緩和する効果があ
る。従って本発明における前記接着力の下限を設定する
必要はないが、本発明の効果をより明瞭ならしめるた
め、および本発明に実施を明らかに判別出来るようにす
るために接着力或いは粘着力の下限を次のように設定す
る。However, in principle, any small adhesive force is resistant to impact, and has the effect of reducing the rubbing strength between the pellicle and the lid. Therefore, it is not necessary to set the lower limit of the adhesive force in the present invention, but in order to further clarify the effects of the present invention and to clearly determine the implementation in the present invention, the lower limit of the adhesive force or the adhesive force. Is set as follows.
【００１５】即ち、この接着力あるいは粘着力について
は定義しにくい面もあるが、本発明においては、接着部
に対して一定の荷重を加えて１秒以上完全剥離しないと
き、この接着力はこの一定荷重以上あると定義する。こ
の定義に基づく、前記接着力の下限は、前記ペリクルの
自重程度とすることが出来る。That is, although it is difficult to define the adhesive force or the adhesive force, in the present invention, when a constant load is applied to the bonded portion and complete peeling does not take place for 1 second or more, the adhesive force is determined as follows. Defined as having a certain load or more. Based on this definition, the lower limit of the adhesive force can be about the weight of the pellicle.
【００１６】一方で、前記接着力の上限は、ペリクルを
ケースから取り出す方法によって、条件が様々に変化す
るので、これを決定することは困難である。すなわち、
例えば単にトレイを自重に任せた状態で平坦な面上に置
き、その上に載っているペリクルを取り出すとすれば、
ペリクルとトレイとの接着力はトレイの自重以下である
必要がある。さもないとペリクルを取り出すために持ち
上げた時、トレイも持ち上がってしまうからである。On the other hand, the upper limit of the adhesive force varies depending on the method of taking out the pellicle from the case, so that it is difficult to determine the upper limit. That is,
For example, if you simply place the tray on its own weight and place it on a flat surface and take out the pellicle on it,
The adhesive strength between the pellicle and the tray needs to be less than the weight of the tray. Otherwise, when the pellicle is lifted to remove it, the tray will also lift.
【００１７】しかし、近年は使用者が自動貼付機を使用
してトレイからペリクルを取り出す方法が増えている。
この場合には、トレイを吸着パッドで固定するために、
更に強い接着力であっても、トレイからペリクルを脱離
させることが可能である。かかるごとく、ペリクルとト
レイとの接着力の上限は、ペリクルを取り出すときのト
レイの固定方法によって選択の余地があり、その状況に
よって適宜選ぶべきである。勿論、必要最小限の接着力
が実用上好ましいことは、言を待たない。However, in recent years, the method of taking out the pellicle from the tray using the automatic attaching machine has been increasing.
In this case, to fix the tray with the suction pad,
Even with a stronger adhesive force, the pellicle can be detached from the tray. As described above, the upper limit of the adhesive strength between the pellicle and the tray has room for selection depending on the method of fixing the tray when the pellicle is taken out, and should be appropriately selected depending on the situation. It goes without saying that the minimum necessary adhesive force is practically preferable.
【００１８】本発明に係るペリクルの収納構造は、前述
の如く従来の多くの問題を解決すべく発明されたもので
あって、その発明全体の構成をまとめると、先ず、第１
発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペ
リクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘
着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フ
ィルムからなるペリクルを、トレイのフタとよりなるケ
ースに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィ
ルムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成し
たことを特徴としたペリクルの収納構造である。The pellicle housing structure according to the present invention has been invented in order to solve many conventional problems as described above. The overall structure of the invention can be summarized as follows.
The gist of the invention is a frame, a pellicle film adhered to an upper edge surface of the frame, an adhesive applied to a lower edge of the frame, and a frame for protecting the adhesive. In a structure in which a pellicle made of a protective film adhered to a lower edge surface is housed in a case formed of a tray lid, the pellicle protective film is temporarily attached directly to the tray with a predetermined adhesive force. This is a pellicle storage structure characterized by the following.
【００１９】本発明のペリクルの収納構造は、前述のよ
うに、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納
するに当たって、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力で前記トレイに仮着したので、ペリクルをこの所定の
接着力を介してトレイに直接に拘束することが出来、こ
れによってペリクルを輸送する際に、振動や衝撃によっ
てペリクルがケースに強くぶつかることを防ぎ、塵が発
生することを防止することが出来る。In the pellicle storage structure of the present invention, as described above, when the pellicle is stored in the case including the tray and the lid, the pellicle protective film is temporarily attached to the tray with a predetermined adhesive force. Can be directly constrained to the tray via this predetermined adhesive force, thereby preventing the pellicle from strongly hitting the case due to vibration or impact when transporting the pellicle, and preventing dust from being generated. I can do it.
【００２０】本発明に係るペリクルの収納構造の第２発
明の要旨は、前記ペリクルの保護フィルムを前記トレイ
に仮着するに当たっては、該保護フィルムと枠体との接
着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程
度の接着力で仮着して構成したことを特徴とした第１発
明のペリクルの収納構造である。The gist of the second invention of the pellicle housing structure according to the present invention is that, when temporarily attaching the protective film of the pellicle to the tray, the weight of the pellicle which is weaker than the adhesive force between the protective film and the frame body. The pellicle housing structure according to the first aspect of the present invention is characterized in that the pellicle is temporarily attached with an adhesive force enough to support the pellicle.
【００２１】第２発明に於いては、前述のように、ペリ
クルの最下面に位置する保護フィルムをトレイに仮着さ
せるに当たって、保護フィルムと枠体との接着力よりも
弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度の接着力
でトレイに仮着したので、トレイに仮着されているペリ
クルを極めて弱い力でトレイから簡単に剥離して取り出
すことが出来る。In the second aspect of the present invention, as described above, when the protective film located on the lowermost surface of the pellicle is temporarily attached to the tray, the weight of the pellicle, which is weaker than the adhesive strength between the protective film and the frame, is supported. Since the pellicle is temporarily attached to the tray with such an adhesive force as possible, the pellicle temporarily attached to the tray can be easily peeled off from the tray with an extremely weak force.
【００２２】本発明に係るペリクルの収納方法も前述の
ペリクルの収納構造と同様に、従来の多くの問題点を根
本的に改善した技術であって、その発明の要旨は、枠体
と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体
の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するため
に枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリ
クルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する方法
に於いて、前記ペリクルの枠体の下縁面に粘着された保
護フィルムの下面或いはトレイの設置面に所定の接着力
を有する接着材あるいは粘着材を塗着した後、該保護フ
ィルムを前記トレイに所定の接着力で接着してペリクル
をトレイに仮着することを特徴とするペリクルの収納方
法である。The method for accommodating a pellicle according to the present invention, like the above-described pellicle accommodating structure, is a technique which fundamentally improves many problems in the prior art. A pellicle film adhered to the upper edge of the frame, an adhesive applied to the lower edge of the frame, and a protective film adhered to the lower edge of the frame to protect the adhesive. A pellicle having a predetermined adhesive strength on a lower surface of a protective film adhered to a lower edge surface of a frame of the pellicle or a mounting surface of the tray. Alternatively, there is provided a method of storing a pellicle, wherein the protective film is adhered to the tray with a predetermined adhesive force after applying an adhesive material, and the pellicle is temporarily attached to the tray.
【００２３】前述の本発明の収納方法に於いては、ペリ
クルの枠体の下縁面に粘着された保護フィルムの下面
に、所定の接着力を有する接着材あるいは粘着材を塗着
して該保護フィルムをトレイに仮着するので、ペリクル
をケース内のトレイの所定位置に正確かつ極めて容易に
仮着させ、これによってペリクルをトレイを介して安定
した状態で拘束することが出来る。In the storage method of the present invention described above, the lower surface of the protective film adhered to the lower edge surface of the pellicle frame is coated with an adhesive or an adhesive having a predetermined adhesive strength. Since the protective film is temporarily attached to the tray, the pellicle can be temporarily and accurately attached to a predetermined position of the tray in the case, whereby the pellicle can be restrained in a stable state via the tray.
【００２４】[0024]
【発明の実施の形態】図により本発明に係るペリクルの
収納構造及びその収納方法の一実施例について具体的に
説明すると、図１は本発明に係るペリクルの収納構造を
示す縦断面説明図、図２は図１の要部を拡大した状態の
縦断面拡大説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a pellicle storage structure according to the present invention. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a pellicle storage structure according to the present invention. FIG. 2 is an enlarged vertical cross-sectional explanatory view of a state where a main part of FIG. 1 is enlarged.
【００２５】図１及び図２に於いて、ペリクルは既に詳
述したように、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着され
たペリクル膜２と、該枠体１の下縁面に塗着された粘着
材３と、該粘着材３を保護するために粘着材３に粘着さ
れた保護フィルム４から構成されている。前記実施例に
於いては、枠体１の下縁面に粘着材３を塗着して形成し
たが、予め層状に形成された粘着材３は単に枠体１の下
縁面に積層して貼着するのみで良い（しかし、本明細書
に於いては、このような場合も含めて単に「塗着する」
と総称する）。In FIGS. 1 and 2, the pellicle has a frame 1, a pellicle film 2 bonded to the upper edge surface of the frame 1, and a lower edge of the frame 1, as described in detail. It comprises an adhesive material 3 applied to the surface and a protective film 4 adhered to the adhesive material 3 to protect the adhesive material 3. In the above embodiment, the adhesive 3 is applied to the lower edge surface of the frame 1, but the adhesive 3 formed in advance in a layer is simply laminated on the lower edge of the frame 1. It only needs to be attached (however, in the present specification, even in such a case, simply “apply”)
Collectively).
【００２６】前述のように構成されたペリクルを、トレ
イ５とフタ６とよりなるケースに収納するに当たって、
どのようにすれば効果的であるか、また、ペリクルをト
レイ５に具体的にどこで接着すべきか等について全体的
に、検討すると次の通りである。In storing the pellicle configured as described above in a case including the tray 5 and the lid 6,
The following is an overall study of how to be effective, and where to specifically bond the pellicle to the tray 5.
【００２７】即ち、先ずペリクルとトレイ５との接触す
る可能性がある部分は、前記枠体１とこの枠体１を周り
から支持している複数個のポスト５ｂとの間、あるいは
前記保護フィルム４と前記ポスト５ｂとの間、または前
記保護フィルム４と前記ペリクルの設置面５ａとの間が
考えられる。That is, first, a portion where the pellicle may come into contact with the tray 5 is located between the frame 1 and the plurality of posts 5b supporting the frame 1 from the periphery or the protective film. 4 and the post 5b, or between the protective film 4 and the installation surface 5a of the pellicle.
【００２８】勿論このほかにも、前記トレイ５に、前記
ペリクルに接触する構造を積極的に設けることも可能で
あるし、例えば粘着テープ等によって前記トレイ５と前
記枠体１とを結び合うことなども可能であるが、通常ペ
リクルのトレイ５への収納、輸送、取り出しは、図１の
ように、前記トレイ５を下にしてその上に前記ペリクル
が置かれているという構造上、最も安定的にペリクルを
トレイ５上に固定できるのは、前記保護フィルム４と前
記設置面５ａとの間を粘着材（或いは接着剤）８により
接着する構造である。図中、７はトレイ５及びフタ６の
コーナー部を固定するクリップである。Of course, in addition to this, it is also possible to positively provide the tray 5 with a structure that comes into contact with the pellicle. For example, the tray 5 and the frame 1 may be connected with an adhesive tape or the like. Although it is possible to store, transport, and remove the pellicle in the tray 5 as shown in FIG. 1, the most stable structure is that the pellicle is placed on the tray 5 with the tray 5 down. What can fix the pellicle on the tray 5 is a structure in which the protective film 4 and the installation surface 5a are bonded with an adhesive (or an adhesive) 8. In the figure, reference numeral 7 denotes a clip for fixing the corners of the tray 5 and the lid 6.
【００２９】この場合、前記ペリクルを前記トレイ５か
ら取り出すとき、従来通り前記保護フィルム４が前記粘
着剤３に固着したまま取り出せるように、前記保護フィ
ルム４とトレイ５との間の接着力は、前記保護フィルム
４と前記粘着材３との間の接着力よりも弱くすべきであ
る。In this case, when the pellicle is taken out of the tray 5, the adhesive force between the protection film 4 and the tray 5 is set so that the protection film 4 can be taken out while being fixed to the adhesive 3 as in the conventional case. The adhesive strength between the protective film 4 and the adhesive 3 should be weaker.
【００３０】このように、保護フィルム４と設置面５ａ
との間に粘着材８を設ける方法による場合、粘着材３と
保護フィルム４との間の粘着力と、保護フィルム４と粘
着材８との間の粘着力と、粘着材８と設置面５ａとの間
の粘着力とのバランスを調整するために、粘着材３、保
護フィルム４、粘着材８及び設置面５ａの材料を選択す
るのが有効的である。この粘着材８を保護フィルム４と
トレイ５との間に介在させるに当たっては、粘着材８を
予め保護フィルム４或いはトレイ５のいずれに塗着する
ことも可能である。As described above, the protective film 4 and the installation surface 5a
In this case, the adhesive force between the adhesive 3 and the protective film 4, the adhesive force between the protective film 4 and the adhesive 8, the adhesive 8 and the installation surface 5 a It is effective to select the materials of the adhesive 3, the protective film 4, the adhesive 8, and the installation surface 5a in order to adjust the balance with the adhesive force between the adhesive 3 and the adhesive. When the adhesive 8 is interposed between the protective film 4 and the tray 5, the adhesive 8 can be applied to either the protective film 4 or the tray 5 in advance.
【００３１】本発明に於いては、これ等の材料を特に限
定するものではないが、一般的に、粘着材３は、レティ
クルやマスク材料への接着性や剥離性の観点から、ゴム
系、アクリル系あるいはシリコン系などの粘着材を選択
する。また、設置面５ａすなわちトレイ５の材質は、成
形性や帯電防止性などの観点から、例えば制電性を付与
したアクリル樹脂や、ＡＢＳ樹脂などのプラスチックを
使用するのが一般的である。In the present invention, these materials are not particularly limited, but in general, the adhesive 3 is preferably made of a rubber-based material from the viewpoint of adhesiveness to a reticle or a mask material and release properties. Select an acrylic or silicone-based adhesive. As the material of the installation surface 5a, that is, the material of the tray 5, it is common to use, for example, a plastic such as an acrylic resin having an antistatic property or an ABS resin from the viewpoint of moldability and antistatic property.
【００３２】そこで上記粘着力のバランスを調整するた
めには、保護フィルム４の材質と粘着材８の材料の選択
によることが好ましい。保護フィルム４としてはポリエ
チレンやポリエステル等のフィルムが使用できる。これ
らの材料は単独で用いても良いが、フィルムの片面ある
いは両面にシリコーンなどの皮膜を形成して粘着力を制
御することもできる。In order to adjust the balance of the adhesive strength, it is preferable to select the material of the protective film 4 and the material of the adhesive 8. As the protective film 4, a film such as polyethylene or polyester can be used. These materials may be used alone, but it is also possible to form a film such as silicone on one or both surfaces of the film to control the adhesive strength.
【００３３】特に、シリコーン処理ポリエステルフィル
ムは、シリコーンの種類により表裏で粘着力を変えるこ
とも可能であり、設計の自由度が得られる。また粘着材
８は粘着力や発塵性の観点から、ゴム系、アクリル系あ
るいはシリコン系などの粘着材を適宜選択する。In particular, the silicone-treated polyester film can change the adhesive strength between the front and back sides depending on the type of silicone, and thus a degree of freedom in design can be obtained. The adhesive 8 is appropriately selected from rubber, acrylic, and silicone adhesives from the viewpoint of adhesive strength and dust generation.
【００３４】前述の本願発明のペリクルの収納構造及び
その収納方法の具体的実施例を詳細に説明すると、次の
通りである。The following is a detailed description of a specific embodiment of the pellicle housing structure and the housing method of the present invention described above.
【００３５】[0035]
【実施例１】図１および図２において、枠体１、ペリク
ル膜２、粘着材３、保護フィルム４からなるペリクル
を、設置面５ａの前記保護フィルム４に対応する箇所に
アクリルラテックス系の粘着材８を塗布し、前記保護フ
ィルム４を前記設置面５ａに仮着することによって、ペ
リクルをトレイ５に粘着固定し、ペリクルをトレイ５に
拘束してケースに収納した。EXAMPLE 1 In FIGS. 1 and 2, a pellicle composed of a frame 1, a pellicle film 2, an adhesive material 3, and a protective film 4 was attached to a location corresponding to the protective film 4 on an installation surface 5a using an acrylic latex adhesive. The pellicle was adhered and fixed to the tray 5 by applying the material 8 and temporarily attaching the protective film 4 to the installation surface 5a, and the pellicle was restrained by the tray 5 and stored in a case.
【００３６】この時前記ペリクルの上端と、フタ６の斜
面６ａとの間には、約０．３ｍｍの隙間が確保されてい
た。かかる収納状態のケースを１０セット段積みにし、
一般にエアキャップと呼ばれている緩衝材を周囲に配置
した上で、段ボール箱に収納するという梱包状態で、落
下テストを実施した。高さ１ｍからの落下テストを１０
回実施した結果、前記ペリクルと前記フタ６との擦れお
よび擦れに基づく発塵は全く認められなかった。At this time, a gap of about 0.3 mm was secured between the upper end of the pellicle and the slope 6a of the lid 6. The case in such a storage state is stacked in 10 sets,
A drop test was carried out in a packing state in which a cushioning material generally called an air cap was placed around and then stored in a cardboard box. 10 drop tests from 1m height
As a result of rubbing, the pellicle was not rubbed with the lid 6 and no dust was generated due to the rubbing.
【００３７】この実施例に於いては、前記アクリルラテ
ックス系の粘着材８は、前記保護フィルム４の全周に亘
って接着（粘着）するような塗布ではなく、８ヶ所のス
ポット的な塗布を行った。この時の接着力は、先の定義
で表現すれば、前記ペリクルの重量の８倍以上で、１５
倍以下であった。そして前記トレイ５を下面からエアの
吸着パッドで吸着固定した状態で、前記ペリクルを手で
トレイ５から容易に取り外すことが出来た。In this embodiment, the acrylic latex-based adhesive material 8 is applied in eight spots instead of being applied (adhered) over the entire circumference of the protective film 4. went. The adhesive force at this time is, as expressed by the above definition, 15 times or more the weight of the pellicle, and
It was less than double. The pellicle could be easily removed from the tray 5 by hand while the tray 5 was fixed by suction from the lower surface with an air suction pad.
【００３８】[0038]
【比較例１】前述の実施例１に対して、この比較例１で
は、前記アクリルラテックス系粘着材８を保護フィルム
４とトレイ５との間に介在させないで、従来の収納方法
と同じく、保護フィルム５をトレイ５に直接載置した状
態のままの構成にしておき、前述の実施例１と全く同一
の梱包状態で落下テストを実施した。その結果１０枚の
ペリクル全てに擦れが観察され、更にその内の半数では
発塵が認められた。なお、この落下テストに於ける衝撃
値は、外箱である前記段ボール箱では最大衝撃値５０Ｇ
が測定され、前記ペリクルを収納したケースでは最大１
０Ｇが測定された。（富士フィルム（株）製ショックセ
ンサー使用）。COMPARATIVE EXAMPLE 1 In Comparative Example 1, the acrylic latex-based adhesive 8 was not interposed between the protective film 4 and the tray 5 in the same manner as in Example 1 described above. The film 5 was left as it was directly placed on the tray 5, and a drop test was carried out in the same packaging state as in the first embodiment. As a result, rubbing was observed on all 10 pellicles, and furthermore, half of the pellicles were observed to generate dust. The shock value in this drop test was a maximum shock value of 50 G for the outer cardboard box.
Is measured, and a maximum of 1
OG was measured. (Using a shock sensor manufactured by Fuji Film Co., Ltd.).
【００３９】[0039]
【発明の効果】本発明に係るペリクル収納構造及びその
収納方法は、前述のような構成と作用とを有するので、
次のような多大な効果を有している。The pellicle housing structure and the housing method according to the present invention have the above-described configuration and operation.
It has the following tremendous effects.
【００４０】本発明では、ペリクルをトレイとフタより
なるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィ
ルムと所定の接着力で該トレイに仮着して構成したの
で、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によってペリク
ルがケースに強く接触することを防止することが出来
る。In the present invention, the pellicle is temporarily attached to the tray with a predetermined adhesive force with the protective film of the pellicle when the pellicle is stored in the case composed of the tray and the lid. This can prevent the pellicle from strongly contacting the case.
【００４１】従って、ペリクルがケースに強くぶつかっ
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生
し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来
る。Therefore, the pellicle strongly collides with the case and rubs against the case to damage the pellicle itself, or small dust due to strong rubbing between the pellicle and the case is generated, and this dust adheres to the pellicle. Can be prevented.
【００４２】本発明では、ペリクルの保護フィルムを所
定の接着力でトレイに接着させたので、該トレイよりペ
リクルを簡単に取り出すことが出来る。特にペリクルを
トレイに仮着させるに当たって、保護フィルムと枠体と
の接着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来
る程度の接着力でトレイに仮着した場合には、ペリクル
をトレイから弱い力で容易に取り出すことが出来る。In the present invention, since the protective film of the pellicle is adhered to the tray with a predetermined adhesive force, the pellicle can be easily taken out from the tray. In particular, when temporarily attaching the pellicle to the tray, if the pellicle is temporarily attached to the tray with an adhesive strength that can support the weight of the pellicle, which is weaker than the adhesive strength between the protective film and the frame, the pellicle is weakly attached from the tray. Can be easily taken out.
【００４３】本発明は前述のように全体の構成が極めて
簡単であるので、何ら特別の手段を用いることなく、容
易に実施することが出来、従って安価に効率良く実施す
ることが出来、しかもペリクルをその本来の機能を損な
うことなく、使用者に安全かつ安価に提供することが出
来る等の多大な効果を有するものである。Since the present invention has a very simple overall structure as described above, it can be easily implemented without using any special means, and therefore can be implemented efficiently at low cost. Can be provided safely and inexpensively to the user without impairing its original function.
【図１】本発明に係るペリクルの収納構造を示す縦断面
説明図である。FIG. 1 is an explanatory longitudinal sectional view showing a pellicle storage structure according to the present invention.
【図２】図１の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。FIG. 2 is an enlarged vertical cross-sectional explanatory view of a state where a main part of FIG. 1 is enlarged.
【図３】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図
である。FIG. 3 is an explanatory longitudinal sectional view showing an example of accommodating a conventional pellicle.
【図４】図３の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。FIG. 4 is an explanatory vertical cross-sectional enlarged view of a state where a main part of FIG. 3 is enlarged.
【図５】図３のペリクルの収納状態を示す要部の平面説
明図である。FIG. 5 is an explanatory plan view of a main part showing a stored state of the pellicle of FIG. 3;
１ 枠体 ２ ペリク
ル膜 ３ 粘着材 ４ 保護フ
ィルム ５ トレイ 5a 設置面 5b ポスト ６ フタ 6a 斜面 ７ クリッ
プ ８ 粘着材 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップReference Signs List 1 frame 2 pellicle film 3 adhesive 4 protective film 5 tray 5a installation surface 5b post 6 lid 6a slope 7 clip 8 adhesive 51 frame 52 pellicle film 53 adhesive 54 protective film 55 tray 56 lid 57 clip
Claims (3)
クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
スに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィル
ムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成した
ことを特徴としたペリクルの収納構造。1. A frame, a pellicle film adhered to an upper edge surface of the frame, an adhesive applied to a lower edge of the frame, and an adhesive formed on the frame to protect the adhesive. In a structure in which a pellicle made of a protective film adhered to a lower edge surface is housed in a case made up of a tray and a lid, the protective film of the pellicle is temporarily attached directly to the tray with a predetermined adhesive force. Pellicle storage structure characterized by the following.
に仮着するに当たって、該保護フィルムと枠体との接着
力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度
の接着力で仮着して構成したことを特徴とした請求項１
のペリクルの収納構造。2. A method for temporarily attaching a protective film of the pellicle to the tray, wherein the protective film is temporarily attached with an adhesive force that can support the weight of the pellicle, which is weaker than the adhesive force between the protective film and the frame. 2. The method according to claim 1, wherein
Pellicle storage structure.
クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
スに収納する方法に於いて、前記ペリクルの枠体の下縁
面に粘着された保護フィルムとトレイとの間に所定の接
着力を有する接着材あるいは粘着材を介在させた後、該
保護フィルムを前記トレイに所定の接着力で接着してペ
リクルをトレイに仮着することを特徴とするペリクルの
収納方法。3. A frame, a pellicle film adhered to an upper edge surface of the frame, an adhesive applied to a lower edge of the frame, and an adhesive applied to the frame to protect the adhesive. In a method of storing a pellicle made of a protective film adhered to a lower edge surface in a case made up of a tray and a lid, a method is provided in which the protective film adhered to the lower edge surface of the pellicle frame and the tray are interposed. A method for storing a pellicle, wherein a protective film is adhered to the tray with a predetermined adhesive force after an adhesive material or an adhesive material having a predetermined adhesive force is interposed, and the pellicle is temporarily attached to the tray.
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1997
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