JPH11236448A - ポリイミドフィルムとその製造方法 - Google Patents
ポリイミドフィルムとその製造方法Info
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Abstract
機械的特性や低吸水性をあわせ有するポリイミドフィル
ムとその製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 一般式(1) 【化1】 (但し、式中、R1は、 【化2】 (RZはH、CH3,Cl、Brから選択される少なくと
も1種、Zは0〜4の整数を表す。)で表される有機基
から選択される少なくとも1種、R2は 【化3】 (Rm、RnはH、CH3、Cl、Brから選択される少
なくとも1種、Zは0〜4の整数を表す。)で表される
有機基から選択される少なくとも1種示す。)で表され
る繰り返し単位を含有してなるポリイミドフィルムとそ
のとその製造方法を提供する。
Description
る機械的特性に優れ、更に低吸水性や耐熱性に優れた新
規なポリイミドフィルムとその製造方法に関するもので
ある。
メリット酸二無水物と4,4’−ジアノジフェニルエ−
テルからなるポリイミドや3,3’,4,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物とパラフェニレンジアミ
ンからなるポリイミドが広く用いられており、特にその
優れた耐熱性と電気絶縁特性によりフレキシブルプリン
ト配線板(以下、FPC)や半導体装置におけるリ−ド
オンチップ(LOC)テ−プ用ベ−スフィルム等の電子
材料として多く利用いられている。更に、ポリイミドフ
ィルムは、耐放射線性や極低温特性にも優れることか
ら、航空機材料、宇宙材料用途等にも多く利用されてい
る。
携帯電話等の電子機器の小型化、薄型化、軽量化に伴っ
てそれらに用いられる電子部品の小型化、薄型化、軽量
化が強く求められるようになってきた。そのため、電子
部品の材料として、ポリイミドフィルムに対しても厚み
が10ミクロン以下という極めて薄いフィルムが求めら
れてきている。しかしながら、従来のポリイミドフィル
ムでは、弾性率が不十分であり薄手化が困難になりつつ
あった。また、高耐熱性、高弾性率が要求される薄型の
高密度磁気記録テ−プ用ベ−スフィルムにも使用でき
ず、高弾性率のポリイミドフィルムへの要求が高まりつ
つあった。
弾性率ポリイミドフィルムとして、4,4’−ジアミノ
ベンズアニリドをジアミン成分、ピロメリット酸または
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物等の酸二無水物とを用いたポリイミドフィルムが提
案されている。(特開昭62−280224)しかしな
がら、ジアミノベンズアニリドは極性の高いアミド基を
有するため、得られるポリイミドフィルムの吸水率が高
くなってしまうという問題を有していた。
寸法安定性に劣り、また半導体装置を製造する際、封止
工程時にフィルムが吸収していた多量の水分を一気に放
出することによってパッケ−ジクラックを発生させてし
まう等加工性や信頼性の点で問題となる。そこで本発明
者らは、かかる実状に鑑み、従来の問題点を解決し、耐
熱性に優れ、また、高い弾性率等の優れた機械的特性や
低吸水性をあわせ有するポリイミドフィルムを提供する
ことを目的に鋭意検討を重ねた結果、本発明に至ったの
である。
ドフィルムの要旨とするところは、一般式(1)
れる少なくとも1種、Zは0〜4の整数を表す。)で表
される有機基から選択される少なくとも1種、R2は、
選択される少なくとも1種、Zは0〜4の整数を表
す。)で表される有機基から選択される少なくとも1種
示す。)で表される繰り返し単位を含有してなる、弾性
率が1000kg/mm2以上を有し、かつ吸水率が
1.5%以下を併せ有することにある(請求項1)。本
発明にかかるポリイミドフィルムの製造方法の要旨とす
るところは、テトラカルボン酸二無水物類とジアミン類
との重縮合反応によって得られるポリイミドフィルムの
前駆体であるポリアミド酸の溶液から流延法にて請求項
1に記載するポリイミドフィルムを製造する方法におい
て、前記ポリアミド酸の重量平均分子量が15万以上で
あることにある(請求項2)。
フィルムの実施形態の1例について説明する。本発明の
ポリイミドフィルムは、一般式(A)
と同じ2価の有機基を示す。)で表されるエステル基を
含むテトラカルボン酸二無水物及び一般式(B) H2N−R2−NH2 (B) (式中R2は、一般式(1)におけるR2と同じ2価の
有機基を示す。)で表される芳香族ジアミンを原料とし
て得ることができる。
二無水物の最も代表的な例としては、1,4−ヒドロキ
ノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,4’−テトラカル
ボン酸二無水物、2,5−ジメチル−1,4−ヒドロキ
ノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,4’−テトラカル
ボン酸二無水物、2,5−ジクロロ−1,4−ヒドロキ
ノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,4’−テトラカル
ボン酸二無水物、2−クロロ−1,4−ヒドロキノンジ
ベンゾエ−ト−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸
二無水物等が挙げられ、1種または2種以上混合して用
いることもできる。
ルボン酸二無水物は、トリメリット酸無水物モノクロラ
イドと2価フェノ−ル類とを室温以下で反応させる方
法、あるいは、トリメリット酸無水物と2価フェノ−ル
類のジメチルエステルとを200〜300℃の高温で反
応させる方法によって合成され得る。また、上記の原料
となる2価フェノ−ル類としては、ハイドロキノン、2
−クロロハイドロキノン、2,5−ジクロロハイドロキ
ノン、2,3,5,6−テトラクロロハイドロキノン、
2,5−ジメチルハイドロキノン等が挙げられる。
表例としては、4,4’−ジアミノベンズアニリド、
4、4’−ジアミノ−3,3’−ジクロロベンズアニリ
ド、1,4−ビス(4−アミノフェニルカルバモイル)
ベンゼン等が挙げられ、1種または2種以上混合して用
いることができる。一般式(1)で表される繰り返し単
位は、全繰り返し単位中50モル%以上、好ましくは7
0モル%以上、さらに好ましくは、90モル%以上含有
することが必要である。
有率が50%以下であると、高弾性率と低吸水率を併せ
有するフィルムを得ることが困難である。本発明のポリ
イミドフィルムは、一般式(1)で表される繰り返し単
位の全繰り返し単位中の含有形式に限定されない。即
ち、ランダム共重合体であってもよいし、交互共重合体
であってもよい。特に、一般式(1)のくり返し単位が
存在するセグメントの長さが重合体分子内において一定
である部分を20モル%以上、好ましくは50モル%以
上有する共重合体が機械的強度上好ましい。
されるくり返し単位を含有するポリイミドフィルムは、
1000kg/mm2以上の弾性率と1.5%以下の吸
水率を併せ有することができる。次に、本発明にかかる
ポリイミドフィルムの製造方法について、具体的に説明
する。
体である一般式(2)
るR1、R2と同じ有機基である。)で表されるポリア
ミド酸溶液から得られるが、このポリアミド酸溶液は公
知の方法で製造することができる。即ちテトラカルボン
酸二無水物類と芳香族ジアミン類を実質等モル使用し有
機極性溶媒中で重合して得られる。ポリアミド酸溶液を
得るのに用いるテトラカルボン酸二無水物類としては、
1,4−ヒドロキノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,
4’−テトラカルボン酸二無水物、2,5−ジメチル−
1,4−ヒドロキノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,
4’−テトラカルボン酸二無水物、2,5−ジクロロ−
1,4−ヒドロキノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,
4’−テトラカルボン酸二無水物、2−クロロ−1,4
−ヒドロキノンジベンゾエ−ト−3,3’,4,4’−
テトラカルボン酸二無水物等が挙げられ、1種または2
種以上混合して用いることもできる。
ボン酸二無水物とその他のテトラカルボン酸二無水物類
を1種以上混合して用いることもできる。その他のテト
ラカルボン酸二無水物類としては、3,3’,4,4’
−ジフェニルエ−テルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられ
る。
二無水物類と、その他の酸二無水物類を混合して用いる
場合、低吸水性の点で一般式(A)で表されるエステル
基を有するテトラカルボン酸二無水物類を主成分とする
ことが好ましい。エステル基含有のテトラカルボン酸二
無水物類を用いたポリイミドフィルムの低吸水性につい
ては、そのメカニズムは明らかになっていないが、電子
吸引性の基であるエステル基がイミド基の分極を弱めて
いるからであると推測している。
アミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノ−3,3’
−ジクロロベンズアニリド、1,4−ビス(4−アミノ
フェニルカルバモイル)ベンゼン等が挙げられ、1種ま
たは2種以上混合して用いることができる。一般式
(B)で表されるジアミン類とその他のジアミン類を1
種類以上混合して用いることもできる。その他のジアミ
ン類としては、パラフェニレンジアミン、2−クロロパ
ラフェニレンジアミン、2,5−ジクロロパラフェニレ
ンジアミン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチル
ビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジクロロ
ビフェニル、4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル類
などが挙げられる。特に高弾性率の点から、屈曲性の基
が少なくかつ置換基のない4,4’−ジアミノベンズア
ニリドを主成分とすることが好ましい。
される有機溶剤としては、ジメチルスルホキシド、ジエ
チルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N−ジ
メチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド等
のホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系
溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−
ピロリドン等のピロリドン系溶媒、フェノ−ル、o−,
m−,またはp−クレゾ−ル等のフェノ−ル系溶媒等を
挙げることができ、これらを単独または混合物として用
いるのが望ましいが、更にキシレン、トルエンのような
芳香族炭化水素の使用も可能である。また、このポリア
ミド酸は、前記の有機極性溶媒中に1〜40重量%、好
ましくは5〜25重量%溶解されているのが取り扱いの
面からも望ましい。
の重量平均分子量は、15万以上が好ましく、20万以
上が更に好ましい。重量平均分子量が15万以下である
と、強度に劣るポリイミドフィルムが得られるからであ
る。このポリアミド酸溶液から本発明のポリイミドフィ
ルムを得るには、(1)熱的に脱水しイミド化する熱的
方法と(2)脱水剤を用いる化学的方法のいずれを用い
てもよいが、伸びや強度などの機械的特性の優れるフィ
ルムを得やすい化学的方法による方がより好ましい。
製造する方法を例示する。(1)上記ポリアミド酸溶液
をドラムあるいはエンドレスベルト上に流延または塗布
して膜状とし、その膜を自己支持性を有するまで150
℃以下の温度で約5分〜60分乾燥させる。ついで、こ
れを支持体から引き剥がし端部を固定した後、膜の収縮
を制限しながら約100℃〜500℃のまで徐々に加熱
することにより乾燥及びイミド化し、冷却後これより取
り外し本発明のポリイミドフィルムを得る。
るフィルムを支持体から剥がれやすくするためにポリア
ミド酸溶液にかえてポリアミド酸溶液に剥離剤を加えた
混合溶液を用いてもよい。また、化学的方法によりポリ
イミドフィルムを得る場合は、ポリアミド酸溶液にかえ
て、ポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒量
の3級アミン類を加えた混合溶液を用いればよい。
レングリコ−ルジメチルエ−テル、トリエチレングリコ
−ルジメチルエ−テル等の脂肪族エ−テル類、ピリジ
ン、ピコリンなどの3級アミン類、トリフェニルホスフ
ィン、トリフェニルホスフェ−ト等の有機りん化合物類
等が挙げられる。また、脱水剤としては、例えば無水酢
酸、無水フタル酸などの脂肪族あるいは芳香族酸無水物
類等が挙げられる。触媒としては、例えばトリエチルア
ミンなどの脂肪族3級アミン、ピリジン、ピコリン、イ
ソキノリン等の複素環式3級アミン類などが挙げられ
る。
る際に、延伸してもよい。延伸することにより機械的特
性に優れるフィルムを得やすいからである。また、フィ
ルムに接着性や耐熱性、または滑り性等の各種特性を向
上させることを目的に、フィルム中に、酸化チタン、炭
酸カルシウム、アルミナ、シリカゲル等の微粒子を含有
させたり、フィルム表面を、シランカップリング剤など
の表面改質剤や微粒子とバインダ−樹脂を含む溶液等を
塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの放電処理
などを施してもよい。
について、製造方法も含め説明したが、本発明は、これ
らの実施の形態のみに限定されるものではなく、その趣
旨を逸脱しない範囲内で当事業者の知識に基づき種々な
る改良、修正、変形を加えた態様で実施し得るものであ
る。
るが、本発明はこれらの実施例のみによって限定される
ものではない。実施例中、DABAは4,4’−ジアミ
ノベンズアニリド、BDABAは、1,4−ビス(4−
アミノフェニルカルバモイル)ベンゼン、ODAは、
4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル、TMHQは
1,4−ヒドロキノンジベンゾエ−ト−3.3’,4,
4’−テトラカルボン酸二無水物、PMDAはピロメリ
ット酸二無水物、ODPAは3,3’,4,4’−ジフ
ェニルエ−テルテトラカルボン酸二無水物、NMPはN
−メチル−2−ピロリドンを表す。
えた1リットルの三口セパラブルフラスコにDABA
0.1molのNMP溶液にTMHQ 0.095mo
lの粉体を加え、窒素雰囲気で1時間攪拌した。次い
で、この溶液にゆっくりとTMHQ 0.005mol
のNMP溶液を加えて15重量%のポリアミド酸を得
た。
液から化学的方法によりポリイミドフィルムを作製し
た。フィルムの作製は、以下のようにして行う。100
gのポリアミド酸溶液に無水酢酸15g、β−ピコリン
5g、NMP10gを加え充分攪拌した後、PETフィ
ルム上にコ−タ−で塗布し、80℃で10分間加熱し自
己支持性を有する膜を得た。この膜をPETから剥した
のち、端部を固定して100℃〜450℃へ連続的に加
熱し、更に450℃で5分間加熱しイミド化させて、厚
みが15μmのポリイミドフィルム得た。
MD−882に準拠して行い、フィルムの弾性率と強度
を求め、結果を表1に示した。更に得られたフィルムの
吸水率をASTMD−570に準拠し測定し、結果を表
1に示した。 (実施例2)室温下において、攪拌機を備えた1リット
ルの三口セパラブルフラスコにBDABA 0.1mo
lのNMP溶液にTMHQ 0.095molの粉体を
加え、窒素雰囲気で1時間攪拌した。次いで、この溶液
にゆっくりとTMHQ 0.005molのNMP溶液
を加えて15重量%のポリアミド酸を得た。
1と同様にポリイミドフィルムを得て、弾性率、強度と
吸水率を測定した。その結果を表1に示す。 (実施例3)室温下において、攪拌機を備えた1リット
ルの三口セパラブルフラスコにDABA 0.1mol
のNMP溶液にTMHQ 0.075molとODPA
0.02molの粉体を加え、窒素雰囲気で1時間攪
拌した。次いで、この溶液にゆっくりとTMHQ 0.
005molのNMP溶液を加えて15重量%のポリア
ミド酸を得た。得られたポリアミド酸溶液を用いて実施
例1と同様にポリイミドフィルムを得、弾性率、強度と
吸水率を測定した。その結果を表1に示す。
えた1リットルの三口セパラブルフラスコにDABA
0.08molとODA 0.02molのNMP溶液
にTMHQ 0.095molの粉体を加え、窒素雰囲
気で1時間攪拌した。次いで、この溶液にゆっくりとT
MHQ 0.005molのNMP溶液を加えて15重
量%のポリアミド酸を得た。得られたポリアミド酸溶液
を用いて実施例1と同様にポリイミドフィルムを得、弾
性率、強度と吸水率を測定した。その結果を表1に示
す。
えた1リットルの三口セパラブルフラスコにODA
0.1molのNMP溶液にTMHQ 0.095mo
lの粉体を加え、窒素雰囲気で1時間攪拌した。次い
で、この溶液にゆっくりとTMHQ 0.005mol
のNMP溶液を加えて15重量%のポリアミド酸を得
た。
1と同様にポリイミドフィルムを得て、弾性率、強度と
吸水率を測定した。その結果を表1に示す。 (比較例2)室温下において、攪拌機を備えた1リット
ルの三口セパラブルフラスコにODA 0.1molの
NMP溶液にPMDA 0.095molの粉体を加
え、窒素雰囲気で1時間攪拌した。次いで、この溶液に
ゆっくりとPMDA 0.005molのNMP溶液を
加えて15重量%のポリアミド酸を得た。
1と同様にポリイミドフィルムを得て、弾性率、強度と
吸水率を測定した。その結果を表1に示す。
ドフィルムは、弾性率が1000kg/mm2以上、吸
水率が1.5%以下という、高弾性かつ低吸水性をあわ
せ有している。
Claims (2)
- 【請求項1】 下記一般式(1) 【化1】 (但し、式中、R1は、下記 【化2】 (RZはH、CH3、Cl、Brから選択される少なくと
も1種、Zは0〜4の整数を表す。)で表される有機基
から選択される少なくとも1種、R2は下記 【化3】 (Rm、RnはH、CH3、Cl、Brから選択される少
なくとも1種、Zは0〜4の整数を表す。)で表される
有機基から選択される少なくとも1種示す。)で表され
る繰り返し単位を含有してなる、弾性率が1000kg
/mm2以上を有し、かつ吸水率が1.5%以下を併せ
有することを特徴とするのポリイミドフィルム。 - 【請求項2】 テトラカルボン酸二無水物類とジアミン
類との重縮合反応によって得られるポリイミドフィルム
の前駆体であるポリアミド酸の溶液から流延法にて請求
項1に記載するポリイミドフィルムを製造する方法にお
いて、前記ポリアミド酸の重量平均分子量が15万以上
であることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4185798A JP3676073B2 (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | ポリイミドフィルムとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4185798A JP3676073B2 (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | ポリイミドフィルムとその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11236448A true JPH11236448A (ja) | 1999-08-31 |
JP3676073B2 JP3676073B2 (ja) | 2005-07-27 |
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ID=12619930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4185798A Expired - Lifetime JP3676073B2 (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | ポリイミドフィルムとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3676073B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001076866A1 (fr) * | 2000-04-12 | 2001-10-18 | Kaneka Corporation | Carte imprimee laminee et multicouche et fabrication correspondante |
KR100625504B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2006-09-20 | 가부시키가이샤 가네카 | 신규한 폴리이미드 조성물 및 이에 사용되는 신규한 산이무수물 |
WO2006134901A1 (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Advantest Corporation | 同軸ケーブルユニット、デバイスインターフェース装置及び電子部品試験装置 |
US11999823B2 (en) | 2019-02-01 | 2024-06-04 | Lg Chem, Ltd. | Polyimide-based polymer film, substrate for display device, and optical device using the same |
-
1998
- 1998-02-24 JP JP4185798A patent/JP3676073B2/ja not_active Expired - Lifetime
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US7252881B2 (en) | 2000-04-12 | 2007-08-07 | Kaneka Corporation | Multilayer structure and multilayer wiring board using the same |
WO2006134901A1 (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Advantest Corporation | 同軸ケーブルユニット、デバイスインターフェース装置及び電子部品試験装置 |
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