JPH11231192A - 光学素子支持装置及び鏡筒並びに投影露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学素子におけるたわみの発生量を低減で
き、光学素子の高い光学性能を容易に確保可能な光学素
子支持装置及び鏡筒、そして高精度の投影露光が可能な
露光装置を提供する。 【解決手段】 縦置きレンズ支持装置６１を、それぞ
れ、レンズ６２の重力方向下方側及び上方側の外周部に
係合する各可動支持部６３ａ、６３ｂと、固定支持部６
４とより構成する。各支持部６３ａ、６３ｂ、６４を、
レンズ６２の円周方向に等角度間隔をおいて配置する。
前記両可動支持部６３ａ、６３ｂで前記レンズ６２の荷
重を支持すると共に、前記固定支持部６４で前記両可動
支持部６３ａ、６３ｂを傾動中心とするレンズ６２の傾
動を規制する。また、各支持部６３ａ、６３ｂ、６４の
協働により、レンズ６２のＺ軸回りの回転を規制する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、レンズ、反射鏡
等の光学素子を支持するための光学素子支持装置、及
び、光学素子を有する鏡筒、さらには半導体素子等を製
造するための露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種光学機器の光学系を構成するレン
ズ、反射鏡等の光学素子は、支持装置を介して鏡筒内に
支持された状態で使用されることが多い。

【０００３】この種の光学素子支持装置としては、例え
ば次のような枠体を使用するものが従来より知られてい
た。すなわち、図１９及び図２０に示すように、枠体１
５１は、円環状の受け枠１５２と、その受け枠１５２に
螺合可能な円環状の止め輪１５３とよりなっている。前
記受け枠１５２の開口部１５４には、大径部１５４ａ及
び小径部１５４ｂが設けられている。それら大径部１５
４ａと小径部１５４ｂとの境界部分には、レンズ１５５
の周縁に形成されたつば部１５６の形状に対応する段部
１５７が形成されている。前記大径部１５４ａの内周面
はネジ孔１５８となっており、前記止め輪１５３の外周
面に形成されたネジ部１５９と螺合可能になっている。
そして、受け枠１５２の段部１５７にレンズ１５５のつ
ば部１５６の一側面を当接させた状態で、止め輪１５３
を前記つば部１５６の他側面に当接するまで締め込むこ
とにより、レンズ１５５を枠体１５１内に挟持するよう
になっている。これにより、レンズ１５５のつば部１５
６の一側面と受け枠１５２の段部１５７の底面１５７ａ
とが、また前記つば部１５６の他側面と止め輪１５３の
先端面１５３ａとが、それぞれ同つば部１５６のほぼ全
周にわたって面接触するようになっている。そして、枠
体１５１で支持されたレンズ１５５は、図示しない取付
金具を介して各種光学機器の鏡筒内に取り付けられるよ
うになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来構
成では、レンズ１５５のつば部１５６の両側面、受け枠
１５２における段部１５７の底面１５７ａ、及び止め輪
１５３の先端面１５３ａを、それぞれ表面うねり等のな
い完全に均一な平面に加工することは、いかに精密に加
工しようともほとんど不可能である。このため、レンズ
１５５が枠体１５１に挟持された状態では、レンズ１５
５、受け枠１５２及び止め輪１５３の表面うねり等に基
づく加工公差のかなりの部分がレンズ１５５に集中する
おそれがある。このような、レンズ１５５における公差
集中は、レンズ１５５のロット毎に異なる予測不能なた
わみを生じせしめ、レンズ１５５の光学性能の低下を招
くおそれがあるという問題があった。

【０００５】特に、光軸が重力方向と交差するように配
置された縦置きレンズでは、前記の公差集中によるたわ
みだけでなく、レンズの自重による非対称なたわみも加
わって、光学性能がさらに低下するおそれがあるという
問題があった。

【０００６】また、前記光学機器の内で、例えば半導体
素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ等）、または薄
膜磁気ヘッド等をフォトリソグラフィー法により製造す
るステッパ等の露光装置においては、光学素子の面精度
としてミクロンオーダーの精度あるいはさらに高い精度
が要求される。そのため、光学素子に前記のような予測
不能なたわみが生じていると、露光時のフォーカス制御
が非常に難しくなるとともに、各装置毎に面倒な微調整
が必要となって煩わしいという問題があった。

【０００７】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであり、その目的
は、光学素子におけるたわみの発生量を低減でき、光学
素子の高い光学性能を容易に確保できる光学素子支持装
置を提供することにある。また、この発明の別の目的
は、光学素子をその光学性能の低下を招くことなく保持
可能な鏡筒を提供することにある。加えて、この発明の
さらに別の目的は、光学素子の光学性能の低下を抑制で
き、高精度の投影露光が可能な露光装置を提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明では、光軸（ＡＸ２）が重力方向と
交差する方向に延びる光学素子（６２）を支持する光学
素子支持装置（６１，９１，１０６，１１１）におい
て、少なくとも３ヶ所で前記光学素子（６２）の外周部
（６２ａ）に係合する支持機構（６３ａ，６３ｂ，６
４，９２ａ，９２ｂ，９３，１０７ａ，１０７ｂ，１１
２ａ，１１２ｂ）を有し、前記支持機構（６３ａ，６３
ｂ，６４，９２ａ，９２ｂ，９３，１０７ａ，１０７
ｂ，１１２ａ，１１２ｂ）は、光学素子（６２）の荷重
を支持する荷重支持機能と、前記光学素子（６２）の荷
重の支持位置を傾動支点とする光学素子（６２）の傾動
を規制する傾動規制機能と、前記光軸（ＡＸ２）と直交
する軸線（Ｚ軸）を中心とする光学素子（６２）の回転
を規制する回転規制機能とを有することを要旨としてい
る。

【０００９】従って、請求項１の発明によれば、光学素
子の外周部が少なくとも３ヶ所の支持機構により支持さ
れて、光学素子の側面と支持装置の支持部との間に、前
記光学素子の側面の全周にわたる面接触を生じない。こ
のため、光学素子自身及び支持装置の支持部の加工公差
が、それら支持部を介して光学素子に集中するおそれが
低減される。

【００１０】請求項２の発明では、請求項１に記載の光
学素子支持装置（６１，９１，１０６，１１１）におい
て、前記支持機構（６３ａ，６３ｂ，６４，９２ａ，９
２ｂ，９３，１０７ａ，１０７ｂ，１１２ａ，１１２
ｂ）は、光学素子（６２）の外周部（６２ａ）の重力方
向下方部に係合する下方支持部（６３ａ，６３ｂ，９２
ａ，９２ｂ，１０７ａ，１０７ｂ）と、光学素子の外周
部の重力方向上方部に係合する上方支持部（６４，９
３，１１２ａ，１１２ｂ）とに分かれ、上方支持部（６
４，９３，１１２ａ，１１２ｂ）と下方支持部（６３
ａ，６３ｂ，９２ａ，９２ｂ，１０７ａ，１０７ｂ）と
の少なくとも一方には前記傾動規制機能を有する傾動規
制手段（８０，８４，９５）を設けると共に、上方支持
部（６４，９３，１１２ａ，１１２ｂ）と下方支持部
（６３ａ，６３ｂ，９２ａ，９２ｂ，１０７ａ，１０７
ｂ）との少なくとも他方には前記荷重支持機能を有する
荷重支持手段（６３ａ，６３ｂ，９２ａ，９２ｂ，１０
７ａ，１０７ｂ）を設けたことを要旨としている。

【００１１】従って、請求項２の発明によれば、請求項
１の発明の作用に加えて、光学素子の重量を確実に支持
しつつ、その光学素子の荷重支持手段を傾動支点とした
傾動が確実に抑制される。

【００１２】請求項３の発明では、請求項２に記載の光
学素子支持装置（６１，９１，１０６，１１１）におい
て、前記上方支持部（６４，９３，１１２ａ，１１２
ｂ）または下方支持部（６３ａ，６３ｂ，９２ａ，９２
ｂ，１０７ａ，１０７ｂ）の少なくとも一方は、第１支
持部（６３ａ，９２ａ，１０７ａ，１１２ａ）と、前記
第１支持部（６３ａ，９２ａ，１０７ａ，１１２ａ）に
対して光学素子（６２）の外周方向に所定間隔をおいて
配置される第２支持部（６３ｂ，９２ｂ，１０７ｂ，１
１２ｂ）とを有し、前記第１支持部（６３ａ，９２ａ，
１０７ａ，１１２ａ）と第２支持部（６３ｂ，９２ｂ，
１０７ｂ，１１２ｂ）とは重力方向に沿って延びる軸線
（Ｚ軸）に対して対称になるように配置されたことを要
旨としている。

【００１３】従って、請求項３の発明によれば、請求項
２の発明の作用に加えて、光学素子が重力方向に沿う軸
線に対してバランスよく支持される。また、請求項４の
発明では、請求項２または３に記載の光学素子支持装置
（６１，９１）において、前記各支持部（６３ａ，６３
ｂ，６４，９２ａ，９２ｂ，９３）は、光学素子（６
２）の中心（ＬＰ）と各支持部（６３ａ，６３ｂ，６
４，９２ａ，９２ｂ，９３）とを結ぶ線分（Ｌ１〜Ｌ
３）を仮想したときに、隣接する２つの線分のなす中心
角（θ）の角度がほぼ等間隔をなすように配置されたこ
とを要旨としている。

【００１４】従って、請求項４の発明によれば、請求項
２または３の発明の作用に加えて、光学素子が一層バラ
ンスよく支持される。請求項５の発明では、請求項３ま
たは４に記載の光学素子支持装置（１０６、１１１）に
おいて、前記下方支持部（１０７ａ，１０７ｂ）に荷重
支持手段（１０７ａ，１０７ｂ）を設けた時、前記第
１、第２支持部（１０７ａ，１０７ｂ）は、前記光学素
子（６２）を重力方向の上下に２分する水平面内におい
て光軸（ＡＸ２）と直交する軸線（Ｘ軸）と、光学素子
（６２）の中心（ＬＰ）と第１、第２支持部（１０７
ａ，１０７ｂ）の光学素子（６２）の荷重に対する光学
素子（６２）の中心（ＬＰ）方向への反力（Ｆａ，Ｆ
ｂ）の作用点（ＳＰａ，ＳＰｂ）とを結ぶ各線分とのな
す角度をΘとしたとき、前記各作用点における前記反力
（Ｆａ，Ｆｂ）の比がｓｉｎΘをなすように配置された
ことを要旨としている。

【００１５】従って、請求項５の発明によれば、請求項
３または４の発明の作用に加えて、第１、第２支持部に
おける支持荷重の分布がさらにバランスよくほぼ最適な
状態で配分されるため、光学素子がより安定した状態で
支持される。

【００１６】請求項６の発明では、請求項５に記載の光
学素子支持装置（６１，９１，１０６，１１１）におい
て、前記中心角（θｓ）は５°〜６０°の範囲内である
ことを要旨としている。

【００１７】ここで、前記中心角が５°未満では、前記
光軸に直交し重力方向に延びる軸線を中心とした光学素
子の回転に対して、両支持部での係合による規制効果が
小さくなると共に、隣接する支持部が干渉するおそれが
ある。一方、前記中心角が６０°を超えると、各支持部
に複数の支持点（前記作用点に対応する）で光学素子の
外周部に当接する受け部材を使用する場合において、同
受け部材の支持点が前記水平面を挟んで存在することに
なる。このため、その支持点における光学素子の重量の
支持効果が小さくなり、一部の支持点に荷重が集中しや
すくなる。

【００１８】これに対して、前記請求項６の発明によれ
ば、請求項５の発明の作用に加えて、光学素子の回転規
制が確保される共に、受け部材の各支持点における荷重
の分担効果が効率よく発揮される。

【００１９】請求項７の発明では、請求項３〜６のいず
れか一項に記載の光学素子支持装置（６１，９１，１０
６，１１１）において、前記第１、第２支持部（６３
ａ，６３ｂ，９２ａ，９２ｂ，１０７ａ，１０７ｂ）に
は、光学素子（６２）の外周部（６２ａ）との間に軸受
構造（７３，７４，７５，１０９）が介在されているこ
とを要旨としている。

【００２０】従って、請求項７の発明によれば、請求項
３〜６のいずれかの発明の作用に加えて、軸受構造の介
在により、光学素子と各支持部との間に相対配置の自由
度が生まれ、光学素子自身及び支持部等の各部材の加工
公差を吸収可能となる。

【００２１】請求項８の発明では、請求項３〜７のいず
れか一項に記載の光学素子支持装置（１０６，１１１）
において、前記第１、第２支持部（１０７ａ，１０７
ｂ，１１２ａ，１１２ｂ）の内、少なくとも１つの支持
部（１０７ａ）には、光学素子（６２）の円周方向にお
ける移動調節可能な調節手段（１０９）が形成されたこ
とを要旨としている。

【００２２】従って、請求項８の発明によれば、請求項
３〜７のいずれかの発明の作用に加えて、一部の支持部
が、光学素子の円周方向への移動調節されることによ
り、同方向における光学素子自身及び支持部等の各部材
の加工公差が吸収可能となる。また、この発明によれ
ば、光学素子への露光光照射時においては光学素子に熱
が蓄積されることがあるが、このような蓄積熱による光
学素子の熱膨張を吸収可能となる。

【００２３】請求項９の発明では、請求項２〜８のいず
れか一項に記載の光学素子支持装置（６１，９１，１０
６，１１１）において、前記傾動規制機能は、重力の上
下方向に自由度を有する弾性部材（８４，９５）の弾性
力で達成されたことを要旨としている。

【００２４】従って、請求項９の発明によれば、請求項
２〜８のいずれかの発明の作用に加えて、光学素子の傾
動を確実に抑制しつつ、各部材の加工公差及び環境温度
の変化に基づいて生じる光学素子と支持装置との寸法ず
れを吸収することができる。

【００２５】請求項１０の発明では、請求項９に記載の
光学素子支持装置（９１）において、前記傾動規制機能
は、光学素子（６２）の光軸（ＡＸ２）に直交すると共
に、重力に直交する方向に自由度を有する弾性部材（９
５）の弾性力で達成されたことを要旨としている。

【００２６】従って、請求項１０の発明によれば、請求
項９の発明の作用に加えて、前記加工公差及び寸法ずれ
をさらに確実に吸収することができる。請求項１１の発
明では、請求項２〜１０のいずれか一項に記載の光学素
子支持装置（１１１）において、前記上方支持部（６
４，１１２ａ，１１２ｂ）には、光学素子（６２）を牽
引する牽引手段（１１６）が設けられたことを要旨とし
ている。

【００２７】従って、請求項１１の発明によれば、請求
項２〜１０のいずれかの発明の作用に加えて、上方支持
部においても、光学素子の重量の一部または全部を支持
することができる。特に、下方支持部にも荷重支持手段
が設けられたような構成では、光学素子が下方で受承さ
れると共に上方から牽引されて、各支持部における分担
荷重がさらに低減され、光学素子のたわみ量が一層低減
される。

【００２８】請求項１２の発明では、請求項１１に記載
の光学素子支持装置（１１１）において、前記上方支持
部（１１２ａ，１１２ｂ）は、前記下方支持部の第１、
第２支持部（１０７ａ，１０７ｂ）と、光学素子（６
２）の中心（ＬＰ）に対してほぼ対称となる位置に配置
された第３支持部（１１２ａ）及び第４支持部（１１２
ｂ）を有することを要旨としている。

【００２９】従って、請求項１２の発明によれば、請求
項１１の発明の作用に加えて、光学素子の重量をさらに
バランスよく支持することができる。請求項１３の発明
では、光軸（ＡＸ２）が重力方向と交差する方向に延び
る光学素子（６２）を、光学素子支持装置（６１，９
１，１０６，１１１）を介して内周面に保持する鏡筒
（５１）において、前記光学素子支持装置（６１，９
１，１０６，１１１）は、前記請求項１〜１２のいずれ
か一項に記載の光学素子支持装置より構成されたことを
要旨としている。

【００３０】従って、請求項１３の発明によれば、請求
項１〜１２のいずれかの発明の作用を有する光学素子支
持装置により、鏡筒の本体内に光学性能の低下を招くこ
となく光学素子を保持することができる。

【００３１】請求項１４の発明では、鏡筒（５１）内に
光軸（ＡＸ２）が重力方向と交差する方向に延びる光学
素子（６２）を有する露光装置において、前記光学素子
（６２）は、前記請求項１〜１２のいずれか一項に記載
の光学素子支持装置を介して鏡筒内に支持されたことを
要旨としている。

【００３２】従って、請求項１４の発明によれば、請求
項１〜１２のいずれかの発明の作用を有する光学素子支
持装置により、光学素子の光学性能の低下が抑制され
て、高精度の投影露光が可能となる。

【００３３】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下に、本発明
の第１実施形態について図１〜図６に基づいて説明す
る。

【００３４】この第１実施形態は、いわゆるステップ・
アンド・スキャン方式の走査型露光装置において、本発
明の光学素子支持装置を縦置きレンズ支持装置に具体化
すると共に、本発明の鏡筒を投影光学系の一部に具体化
したものである。

【００３５】まず、走査型露光装置（以下、単に「露光
装置」とする）について、図１及び図２に基づいて説明
する。図１に示すように、露光装置３１は、レチクル、
フォトマスク等のマスクを照明するための露光光源３２
と、露光光を調整する照明光学系３３と、前記マスクを
載置するマスクステージ３４と、露光光により照明され
たマスク上の回路パターンをウェハ、ガラスプレート等
の基板上に投影する投影光学系３５と、前記基板を載置
する基板ステージ３６とから構成されている。これらの
構成部分の内、露光光源３２を除く部分は、温度、湿度
等が高精度に制御されたチャンバ３７内に収納されてい
る。以下、この実施形態では、前記マスクとしてレチク
ルＲを採用し、前記基板としてウェハＷを採用し、レチ
クルＲ上の回路パターンをウェハＷ上に所定の縮小倍率
にて縮小投影して転写する例について説明する。

【００３６】前記露光光源３２としては、例えば波長１
９３ｎｍのレーザ光を発するＡｒＦエキシマレーザが使
用される。露光光源３２からのレーザ光は、導光光学系
３３ａを介して、前記チャンバ３７内の照明光学系３３
に導かれる。

【００３７】前記照明光学系３３は、リレーレンズ、フ
ライアイレンズ、コンデンサーレンズ等の各種レンズ系
を備えている。また、同照明光学系３３には、開口絞り
及び前記マスクステージ３４上に載置されたレチクルＲ
のパターン面と共役な位置に配置されたブラインド等を
含んで構成されている。

【００３８】前記マスクステージ３４は、前記照明光学
系３３の下方において、そのマスク載置面４１が前記投
影光学系３５の光軸と直交するように配置されている。
このマスクステージ３４は、レチクルＲを載置保持する
ためのマスクホルダ４２を備えている。このマスクホル
ダ４２は、図示しない駆動機構により、水平面内をＹ軸
方向（図１において紙面の左右方向）に移動可能となっ
ている。また、このマスクホルダ４２は、Ｘ軸方向（図
１において紙面と直交する方向）の微動およびＺ軸（前
記露光光ＥＬの光軸と平行で重力方向に沿って延びる軸
線）周りの微小回転が可能なように構成されている。

【００３９】投影光学系３５は、例えば反射光学素子４
３及びレンズ群４４をそれぞれ３つ備えた３回反射の反
射屈折光学系により構成されている。そして、これらの
レンズ群により、露光光がこの投影光学系３５を通過す
る際に、その断面形状が所定の縮小倍率１／ｎ（ｎは正
の整数）に縮小されるようになっている。なお、この投
影光学系３５の構成については、後に詳述する。

【００４０】前記基板ステージ３６は、定盤４５と、前
記Ｘ軸方向に移動可能に配置されたＸステージ４６と、
Ｙ軸方向に移動可能に配置されたＹステージ４７とを備
えている。このＹステージ４７には、ウェハＷを載置す
るとともに真空吸着して支持する基板ホルダ４８が設け
られている。このＹステージ４７は、走査露光時に、前
記マスクステージ３４のマスクホルダ４２に対して、前
記投影光学系３５の縮小倍率に応じて定まる速度比をも
って反対方向に移動されるようになっている。

【００４１】次に、前記投影光学系３５について詳細に
説明する。図２に示すように、投影光学系３５は、πの
字状をなす鏡筒としてのレンズ鏡筒５１と、全体として
縮小光学系を構成する第１〜第３レンズ群４４ａ〜４４
ｃと複数の反射光学素子（凹面鏡または平面鏡）４３ａ
〜４４ｃとを備えている。

【００４２】前記レンズ鏡筒５１の前記マスクステージ
３４上のレチクルＲと対向するレチクル対向面部５２に
は、第１開口部５３が形成されている。また、前記レン
ズ鏡筒５１の前記基板ステージ３６上のウェハＷと対向
するウェハ対向面部５４には、第２開口部５５が形成さ
れている。

【００４３】第１レンズ群４４ａは、レンズ鏡筒５１の
第１脚部５１ａ内に収容され、レチクルＲの下方にＺ軸
方向に沿って延びる共通の光軸ＡＸ１を有する複数の凹
レンズ、凸レンズ等によって構成されている。第２レン
ズ群４４ｂは、レンズ鏡筒５１の横行部５１ｃ内に収容
され、前記Ｚ軸と直交する方向に沿って延びる共通の光
軸ＡＸ２を有する複数のレンズより構成されている。第
３レンズ群４４ｃは、レンズ鏡筒５１の第２脚部５１ｂ
内に収容され、ウエハＷの上方にＺ軸方向に沿って延び
る共通の光軸ＡＸ３を有する複数の凹レンズ、凸レンズ
によって構成されている。

【００４４】前記第１レンズ群４４ａの下方において、
反射光学素子をなす凹面鏡４３ａは、その光軸が前記第
１レンズ群４４ａの光軸ＡＸ１と一致するように配置さ
れている。また、第１レンズ群４４ａの上方で、投影光
学系３５の瞳面の位置には、同じく反射光学素子をなす
第１平面鏡４３ｂが斜設されている。また、第３のレン
ズ群４４ｃの上方には、同じく反射光学素子をなす比較
的大型の第２平面鏡４３ｃが斜設されている。この第２
平面鏡４３ｃは、露光光をほぼ１００パーセント反射す
る一般的な反射ミラーとなっている。そして、それらの
第１平面鏡４３ｂと第２平面鏡４３ｃとの間には、前記
第２レンズ群４４ｂが配置されている。

【００４５】前記レチクル対向面部５２の横行部５１ｃ
側部分には、第１レンズ群４４ａの光軸ＡＸ１の近傍ま
で延びる第１遮光板５６が設けられている。この第１遮
光板５６によって、第１レンズ群４４ａの図２における
右半分に対する上方からの光の入射が制限される。ま
た、レンズ鏡筒５１の第１脚部５１ａと横行部５１ｃと
の接合部の底側部分には、第２レンズ群４４ｂの光軸Ａ
Ｘ２の近傍まで延びる第２遮光板５７が設けられてい
る。この第２遮光板５７は、第１レンズ群４４ａと第２
レンズ群４４ｂとの境界部分に対応するように配置され
ている。そして、この第２遮光板５７によって、第１レ
ンズ４４ａ側からの余計な反射光や乱反射光の第２レン
ズ群４４ｂへの入射が抑制される。

【００４６】なお、この投影光学系３５は、瞳面に配置
された前記第１平面鏡４３ｂと第２レンズ群４４ｂとの
間の露光光ＥＬの光軸ＡＸＬ上に、露光光に関するウエ
ハＷ表面の共役点Ｋが存在するものとなっている。この
ように構成された反射屈折タイプ投影光学系３５は、全
屈折タイプの投影光学系と比べて、高開口数（Ｎ．
Ａ．）化、光学素子の数の減少、レーザ狭帯化の程度が
緩い等のメリットがある。

【００４７】次に、光学素子支持装置を構成し、前記第
２レンズ群４４ｂをレンズ鏡筒５１の横行部５１ｃ内に
支持するための縦置きレンズ支持装置について、詳細に
説明する。

【００４８】図３及び図４に示すように、縦置きレンズ
支持装置６１は、レンズ６２の重力方向下方側の外周部
に係合する下方支持部としての複数（ここでは、２つ）
の第１可動支持部６３ａ及び第２可動支持部６３ｂと、
レンズ６２の重力方向上方側の外周部に係合する上方支
持部としての固定支持部６４とよりなっている。これら
の各支持部６３ａ、６３ｂ、６４は、レンズ６２の円周
方向に等角度間隔をおいて配置されている。すなわち、
各支持部６３ａ、６３ｂ、６４とレンズ６３の中心ＬＰ
とを結ぶ線分Ｌ１〜Ｌ３を仮想したとき、隣接する線分
Ｌ１〜Ｌ３のなす複数の中心角θが、いずれも等しいも
のとなっている。また、前記第１可動支持部６３ａと第
２可動支持部６３ｂとは、レンズ６２の光軸ＡＸ２に直
交するとともに重力方向に沿って延びる軸線としてのＺ
軸に対してθ／２間隔で配置されている。すなわち、前
記第１可動支持部６３ａ及び第２可動支持部６３ｂは、
それぞれ、前記Ｚ軸に対して対称となるように配置され
た第１支持部及び第２支持部を構成している。

【００４９】図３、図４、図５（ｃ）、図５（ｄ）及び
図６に示すように、前記両可動支持部６３ａ、６３ｂ
は、前記レンズ６２の外周部に係合する受け部材６７
と、装置本体としてのレンズ鏡筒５１に接合保持される
基台部６８と、それらの間に介在された軸受構造とより
構成されている。これら各可動支持部６３ａ、６３ｂ
は、主にレンズ６２の重量に基づく荷重を支持する機能
を有する荷重支持手段を構成している。

【００５０】前記受け部材６７のレンズ６２側の対向面
の中央には、レンズ６２の円周方向に沿って延びる溝７
０が形成されており、その溝７０内の両端にはその溝７
０と交差するように延びる円弧状突部７１が形成されて
いる。前記溝７０にはレンズ６２の外周部に形成された
つば部６２ａが係合し、前記円弧状突部７１がレンズ６
２のつば部６２ａの外周面に当接するようになってい
る。つまり、２つの円弧状突部７１の稜線は、所定の間
隔をおいて存在する複数の支持点ＳＰをなしている。

【００５１】また、前記溝７０の内側面とレンズ６２の
つば部６２ａの側面との間には、ゴム等の弾性体により
なるパッキン７２が介装されている。また、受け部材６
７の前記レンズ６２側の対向面と反対側の面の中央に
は、前記軸受構造の一部を構成する円錐状凹部７３が形
成されている。

【００５２】一方、前記基台部６８のレンズ６２側の面
の中央には、前記受け部材６７の円錐状凹部７３に対向
するように、軸受構造の一部を構成する円錐状凹部７４
が形成されている。そして、前記両円錐状凹部７３、７
４の間に、軸受構造の一部を構成するボール７５が介装
されている。また、この基台部６８は、前記レンズ６２
側の面と反対側の面において、レンズ鏡筒５１の内周面
に形成された支持座７６に対してボルト７７により接合
固定される。

【００５３】ここで、前記ボール７５は、前記受け部材
６７の両円弧状突部７１のほぼ中間に対応する位置に配
置されている。そして、このことと、前述のように両可
動支持部６３ａ、６３ｂが前記Ｚ軸に対して対称に配置
されていることとから、各可動支持部６３ａ、６３ｂの
各支持点ＳＰも前記Ｚ軸に対して対称に配置されている
ことになる。

【００５４】図３、図４、図５（ａ）及び図５（ｂ）に
示すように、前記固定支持部６４は、前記レンズ６２の
外周部に係合する係合部８０と、弾性部材としての板状
弾性体８４とを備えている。そして、この実施形態で
は、これら係合部８０と板状弾性体８４とにより、傾動
規制の機能を有する傾動規制手段が構成されている。

【００５５】前記係合部８０のレンズ６２側の対向面に
は、前記第１支持部６３の受け部材６７の対向面と同様
の溝８１及び円弧状突部８２が形成されている。また、
この溝８１には、レンズ６２の外周部に形成されたつば
部６２ａが係合するようになっている。そして、レンズ
６２のつば部６２ａの一方の側面と、溝８１の内壁面と
の間には、ゴム、バネ等の弾性体よりなるパッキン８３
が介装されている。また、つば部６２ａの他方の側面と
溝８１の内壁面とは直接接触する。従って、他方の側面
が基準面となって構成されている。

【００５６】前記板状弾性体８４は平板状をなし、その
長手方向がレンズ６２の光軸ＡＸ２と同方向に、前記係
合部８０とレンズ鏡筒５１の内周面に形成された支持座
８５との間に介装されている。この板状弾性体８４は、
その中央において前記係合部８０の前記一側面と反対の
側面にボルト８６により固定されていると共に、その両
端において前記支持座８５の座面に一対のボルト８７に
より固定されている。また、支持座８５の座面には、両
ボルト８７の螺合位置の間において、前記板状弾性体８
４の弾性変形を許容する逃がし部８８が凹設されてい
る。このように、板状弾性体８４は、前記Ｚ軸方向のみ
に自由度を有するもの、つまり弾性変形可能なものとな
っているとともに、光軸ＡＸ２方向への移動が規制され
ている。これにより、レンズ６２の前記両可動支持部６
３ａ、６３ｂを傾動支点とする傾動が規制されるように
なっている。

【００５７】また、前述したように、この縦置きレンズ
支持装置６１では、前記３ヶ所の第１可動支持部６３
ａ、第２可動支持部６３ｂ、固定支持部６４が、等角度
間隔をおいて配置されている。その両可動支持部６３
ａ、６３ｂにおいてレンズ６２の重量が上向きに支持さ
れ、その固定支持部６４においてレンズ６２の傾動が規
制されている。そして、これらの支持部６３ａ、６３
ｂ、６４は、レンズ鏡筒５１の支持座７６、８５に接合
固定されている。このため、レンズ６２の前記Ｚ軸を中
心とする回転も規制されることになる。つまり、前記各
支持部６３ａ、６３ｂ、６４は、レンズ６２の回転規制
機能を有する回転規制手段をも構成している。

【００５８】次に、上記のように構成された露光装置３
１の動作について説明する。図１に示すように、ウエハ
ＷとレチクルＲのアライメントが行われた状態で、露光
光源３２から露光光ＥＬが照射されると、この露光光Ｅ
Ｌは照明光学系３３を通過する際に、照明光学系３３内
のブラインドによって、例えばスリット状に断面形状が
制限される。そして、このスリット状とされた露光光Ｅ
Ｌは、フライアイレンズ、コンデンサーレンズ等を介し
て回路パターンが描画されたレチクルＲ上のスリット状
の照明領域を均一な照度で照明する。

【００５９】次に、図２に示すように、このレチクルＲ
を透過した露光光ＥＬは、投影光学系３５に入射され、
第１レンズ群４４ａの主として左半部を透過して凹面鏡
４３ａに至る。ここで、露光光ＥＬは、その凹面鏡４３
ａの光軸ＡＸ１に関して入射方向と対称な方向に反射さ
れ、第１レンズ群４４ａの右半部を透過して第１平面鏡
４３ｂに至る。

【００６０】次に、この露光光ＥＬは、第１平面鏡４３
ｂで反射されて、第２レンズ群４４ｂの光軸ＡＸ２に平
行な方向に向けて方向変換され、第２レンズ群４４ｂの
主として上半部を透過して第２平面鏡４３ｃに至る。す
ると、この露光光ＥＬは、第２平面鏡４３ｃで反射され
て、第３レンズ群４４ｃの光軸ＡＸ３に平行な方向に方
向変換される。

【００６１】そして、この露光光ＥＬは、第３レンズ群
４４ｃの主として左半部を透過し、第２開口部５５を介
して、基板ステージ３６上のウエハＷに至る。このよう
に、レチクルＲ上の回路パターンの投影空間像は第１〜
第３レンズ群４４ａ〜４４ｃを透過する際に１／ｎ倍に
縮小され、前記ウエハＷ上には縮小されたレチクルＲ上
の回路パターンが投影露光される。

【００６２】この露光の際には、レチクルＲを載置支持
するマスクホルダ４２と、ウエハＷを載置支持する基板
ホルダ４８とが前記Ｙ軸方向に沿って互いに逆向きに所
定の速度比で同期走査される。これにより、レチクルＲ
のパターン全体が、ウエハＷ上の１ショット領域に転写
される。このような走査露光は、基板ステージ３６のＸ
ステージ４６及びＹステージ４７の移動により、ウエハ
Ｗを順次ステップ移動しながら行われる。そして、レチ
クルＲのパターンが、ウエハＷ上の全ショット領域に転
写される。

【００６３】以上のように構成されたこの第１実施形態
によれば、以下の作用効果を奏する。 （イ） この縦置きレンズ支持装置６１では、前記３ヶ
所の第１可動支持部６３ａ、第２可動支持部６３ｂ、固
定支持部６４が、等角度間隔をおいて配置されている。
そして、その両可動支持部６３ａ、６３ｂにおいてレン
ズ６２の重量が上向きに支持され、その固定支持部６４
においてレンズ６２の両可動支持部６３ａ、６３ｂを傾
動支点とする傾動が規制されている。さらに、これらの
支持部６３ａ、６３ｂ、６４の協働により、レンズ６２
の重力方向に沿うＺ軸回りの回転も規制されている。つ
まり、レンズ６２は、３ヶ所の支持部のみで確実に保持
されている。このため、従来構成のように、レンズ６２
とそれを支持する支持装置との間に、レンズ６２のほぼ
全円周にわたる面接触を生じることがない。

【００６４】このため、レンズ６２自身及び支持装置の
支持部における平面うねり等の加工公差が、レンズ６２
の支持状態において、レンズ６２に集中するおそれを低
減できる。従って、レンズ６２に予測不能なたわみが発
生するおそれを抑制できると共に、レンズ６２の面精度
を良好に確保することができ、レンズ６２の光学性能の
低下を抑制することができる。

【００６５】（ロ） この縦置きレンズ支持装置６１に
おいては、レンズ６２が下方の２つの可動支持部６３
ａ、６３ｂにおいてその重量が支持され、上方の１つの
固定支持部６４においてその傾動が規制されている。こ
の場合、下方の両可動支持部６３ａ、６３ｂの近傍にお
いて、レンズ６２の自重に基づく上下方向に非対称なた
わみを生じることがある。

【００６６】しかしながら、前述のような反射屈折型の
投影光学系３５では、縦置き状態となる第２レンズ群４
４ｂにおいて、露光光ＥＬは前記両可動支持部６３ａ、
６３ｂの近傍を含む下端部を通過することなく、例えば
図３及び図４に二点鎖線で示す範囲内のように主として
上半部を透過する。このため、前記のようなたわみがレ
ンズ６２の下方部分に生じてもその影響は小さい。従っ
て、この縦置きレンズ支持装置６１は、反射屈折型の投
影光学系３５のレンズ支持装置として特に好適である。

【００６７】（ハ） この縦置きレンズ支持装置６１に
おいては、レンズ６２の重量を支持する両可動支持部６
３ａ、６３ｂが、レンズ６２の中心ＬＰを通り重力方向
に沿うＺ軸に対して対称になるように配置されている。
また、その両可動支持部６３ａ、６３ｂの各支持点ＳＰ
も、前記Ｚ軸に対して対称になるように配置されてい
る。従って、レンズ６２の重量がバランスよく支持され
て、レンズ６２の水平方向に非対称なたわみの発生量を
低減することができる。

【００６８】（ニ） この縦置きレンズ支持装置６１で
は、各可動支持部６３ａ、６３ｂに２つの支持点ＳＰ
（本実施形態では円弧状突部７１）を有する受け部材６
７が用いられている。このため、レンズ６２の重量は、
各可動支持部６３ａ、６３ｂ内においても２つの支持点
ＳＰに分散されている。従って、各可動支持部６３ａ、
６３ｂ内において、レンズ６２の荷重が一点に集中する
ことが抑制され、各支持点ＳＰの近傍におけるレンズ６
２のたわみ量を低減することができる。

【００６９】（ホ） この縦置きレンズ支持装置６１の
各可動支持部６３ａ、６３ｂには、軸受構造（本実施例
では、一対の円錐状凹部７３、７４とボール７５とより
なる）が介在されている。このため、ボール７５の中心
ＢＰを揺動中心とした受け部材６７の揺動が許容され
る。つまり、レンズ６２の装着状態において、レンズ６
２と基台部６８との間に相対配置の自由度が生じている
ことになる。これにより、受け部材６７とレンズ６２と
の相対的位置が、レンズ６２のつば部６２ａの外周面に
沿うように自動的に微調整される。従って、この微調整
により、レンズ６２自身及び両可動支持部６３ａ、６３
ｂの各部材の加工公差を吸収することができる。

【００７０】また、レンズ６２を各可動支持部６３ａ、
６３ｂに装着した際に、レンズ６２が自重によりたわん
で、そのつば部６２ａの外周面がわずかに変形したとし
ても、その変形に応じて、前記受け部材６７が揺動され
る。従って、レンズ６２に前記変形が生じたとしても、
レンズ６２の外周面と受け部材６７の支持点ＳＰとの係
合を確保することができる。

【００７１】（ヘ） この縦置きレンズ支持装置６１に
おいては、固定支持部６４が板状弾性体８４を介してレ
ンズ鏡筒５１に接合固定されている。ここで、板状弾性
体８４はレンズ６２の光軸ＡＸ２の方向（即ち、重力方
向と直交する方向）には弾性変形が困難なものとなって
いるため、前記両可動支持部６３ａ、６３ｂを傾動支点
とするレンズ６２の傾動を確実に抑制することができ
る。

【００７２】ところで、レンズ６２の重量はその下方に
おいて両可動支持部６３ａ、６３ｂにより支持されてい
るため、レンズ６２をはじめとする各部材の重力に沿う
方向における加工公差はレンズ６２の上方側に集中する
ことになる。この加工公差の集中に基づいて、レンズ６
２と固定支持部６４との間に位置ずれを生じることがあ
る。また、レンズ６２と固定支持部６４の各部材とは線
膨張係数がそれぞれ異なるため、環境温度の変化に伴っ
て、同様の位置ずれを生じることもある。

【００７３】ここで、前記板状弾性体８４は、重力方向
である上下方向には弾性変形可能なものとなっているた
め、レンズ６２の半径方向における、前記位置ずれを容
易に吸収することができる。従って、レンズ６２の重力
方向におけるたわみの発生量を低減することができる。

【００７４】（ト） このレンズ鏡筒５１においては、
レンズ６２が前記構成の縦置きレンズ支持装置６１を介
して保持されている。従って、レンズ６２におけるたわ
みの発生量が低減されて、レンズ鏡筒５１内に光学性能
の低下を生じることなくレンズ６２を保持することがで
きる。 （チ） この露光装置３１において、その第２レンズ群
４４ｂを構成する複数のレンズ６２は、前記構成の縦置
きレンズ支持装置６１を介してレンズ鏡筒５１の横行部
５１ｃ内に保持されている。このため、各レンズ６２に
おける光学性能の低下が抑制されて、高精度の投影露光
が可能となる。

【００７５】（第２実施形態）次に、この発明の第２実
施形態について、前記第１実施形態と異なる部分を中心
に、図７〜図１０に基づいて説明する。この第２実施形
態の縦置きレンズ支持装置９１においては、可動支持部
９２ａ、９２ｂ及び第２支持部９３の構成が前記第１実
施形態と異なっている。

【００７６】図７〜図１０に示すように、この第２実施
形態の第１可動支持部９２ａ及び第２可動支持部９２ｂ
は、前記第１実施形態の受け部材６７に相当する部材が
省略されている。そして、レンズ６２のつば部６２ａの
外周面上には、両可動支持部９２の基台部６８の円錐状
凹部７４と対応するように、円錐状凹部９４が形成され
ている。それらの円錐状凹部７４、９４の間にはボール
７５が介装され、そのボール７５により各可動支持部９
２の支持点ＳＰが構成されている。つまり、本実施形態
の縦置きレンズ支持装置９１は、各可動支持部９２毎に
１つの支持点ＳＰを有している。

【００７７】また、固定支持部９３の係合部８０は、断
面Ｌ字状の板状弾性体９５を介して、レンズ６２の光軸
ＡＸ２に沿って延びるようにレンズ鏡筒５１の支持座８
５に形成された取付溝９６の内側面に取着されている。
この板状弾性体９５の折り曲げ部の中央には、スリット
９７が形成されている。このスリット９７の存在によ
り、板状弾性体９５の重力方向である上下方向（Ｚ軸方
向）及びレンズ６２の光軸ＡＸ２と交差する水平軸に沿
う方向（Ｘ軸方向）への自由度、つまり弾性変形機能が
確保されている。そして、板状弾性体９５は、水平面部
９８の中央においてボルト８６により前記係合部８０に
接合固定されている。また、板状弾性体９５は、垂直面
部９９の中央においてボルト１００により前記取付溝９
６の内側面に形成された支持突部１０１に接合固定され
ている。この支持突部１０１の両側は、板状弾性体９５
の前記Ｘ軸方向への弾性変形を許容する逃がし部１０２
となっている。

【００７８】以上のように構成されたこの第２実施形態
によれば、前記第１実施形態の（イ）〜（ハ）及び
（へ）とほぼ同様の効果に加えて、さらに以下の作用効
果を奏する。

【００７９】（リ） この縦置きレンズ支持装置９１で
は、前記両可動支持部９２ａ、９３ｂにおいて、ボール
７５が直接レンズ６２の外周面上に形成された円錐状凹
部９４に係合している。このため、部品点数を少なくで
きて、構成の簡素化を図ることができる。

【００８０】（ヌ） この縦置きレンズ支持装置９１の
固定支持部９３に介装された板状弾性体９５は、前記Ｚ
軸方向及びＸ軸方向への弾性変形が可能なものとなって
いる。このため、レンズ６２の半径方向のみならず、レ
ンズ６２のＸ軸方向における、レンズ６２と固定支持部
９３との位置ずれを容易に吸収することができる。従っ
て、レンズ６２のたわみの発生量をさらに低減すること
ができる。

【００８１】（第３実施形態）次に、この発明の第３実
施形態について、前記第１実施形態と異なる部分を中心
に図１１〜図１５に基づいて説明する。この第３実施形
態の縦置きレンズ支持装置１０６においては、両可動支
持部１０７ａ、１０７ｂの構成が前記第１実施形態と異
なっている。

【００８２】図１１及び図１２に示すように、この第３
実施形態の第１可動支持部１０７ａ及び第２可動支持部
１０７ｂは、そのレンズ６２の外周部に係合する受け部
材１０８がレンズ６２の円周方向に沿って延長されたも
のとなっている。また、一方の第１可動支持部１０７ａ
の基台部６８のレンズ６２側の対向面には、前記第１実
施形態の円錐状凹部７４に代えてレンズ６２の円周方向
に沿って延びるＶ溝１０９が形成されている。そして、
第１可動支持部１０７ａにおいては、受け部材１０８の
背面上の円錐状凹部７３と基台部６８上のＶ溝１０９と
の間にボール７５が介装されている。このＶ溝１０９に
より、第１可動支持部１０７ａがレンズ６２の円周方向
への移動調節が可能となり、このＶ溝１０９は軸受構造
の一部を構成するとともに調節手段を構成している。

【００８３】また、前記両可動支持部１０７ａ，１０７
ｂは、荷重支持機能を有しており、その各支持点ＳＰ
ａ、ＳＰｂは、レンズ６２の荷重に対するそのレンズ６
２の中心ＬＰ方向への反力の作用点をなしている。ここ
で、その各支持点ＳＰにおける支持力、つまり前記レン
ズ６２の中心ＬＰに向かう反力が、レンズ６２を上下に
２分する水平面上では０であり、支持点ＳＰが下方に移
動するに従って徐々に増していき、レンズ６２の最下部
で最大になるように、前記各支持点ＳＰａ、ＳＰｂが配
置されている。すなわち、前記水平面内においてレンズ
６２の光軸ＡＸ２と直交する軸線、つまりＸ軸と、レン
ズ６２の中心ＬＰと各支持点ＳＰａ、ＳＰｂとを結ぶ各
線分とのなす角度をθａ、θｂとしたときに、その各支
持点ＳＰにおける前記反力の比がｓｉｎθａ、ｓｉｎθ
ｂをなすように、各支持点ＳＰａ、ＳＰｂが配置されて
いる。なお、図１１に示すように、各可動支持部１０７
ａ、１０７ｂにおいて、支持点ＳＰａはＺ軸側の支持点
であり、支持点ＳＰｂはＸ軸側の支持点である。

【００８４】次に、各支持点ＳＰａ、ＳＰｂが等角度
（θｓ）間隔でかつこのように配置された場合におい
て、各支持点ＳＰａ、ＳＰｂにおける支持荷重の分布に
ついて説明する。

【００８５】前記θａ及びθｂは、θｓによりそれぞれ
次式のように表される。

【００８６】

【数１】

【００８７】

【数２】 ここで、各支持点ＳＰａ、ＳＰｂにおける各反力Ｆａ、
Ｆｂの比がｓｉｎΘをなすようになっているため、

【００８８】

【数３】 となる。

【００８９】次に、各可動支持部１０７ａ，１０７ｂの
レンズ鏡筒５１に対する基台部６８の接合位置について
考える。ここでは、受け部材１０８における両支持点Ｓ
Ｐａ，ＳＰｂの振り分け比、つまりボール７５の中心Ｂ
Ｐとレンズ６２の中心ＬＰとを結んだ線分と、各支持点
ＳＰａ，ＳＰｂとレンズ６２の中心ＬＰとを結んだ線分
とのなす角度α、βの比について考えればよいことにな
る。各可動支持部１０７ａ，１０７ｂ内における各支持
点ＳＰａ，ＳＰｂにおいても同様の反力Ｆａ、Ｆｂの比
となっているので、前記角度α、βの比は、

【００９０】

【数４】 となる。

【００９１】また、レンズ６２全体の重量Ｍを、それぞ
れ２ヶ所づつの支持点ＳＰａ及び支持点ＳＰｂで支持す
ることから、次式が成り立つ。

【００９２】

【数５】 よって、式（３）及び式（５）から、Ｆａ及びＦｂにつ
いて解くと、

【００９３】

【数６】

【００９４】

【数７】 となる。次に、この第３実施形態の縦置きレンズ支持装
置１０６における最適な各支持点の位置を求めるため
に、平行平板状のレンズを用いてたわみ量の測定を行っ
た結果について説明する。

【００９５】図１３にはレンズの重力方向のたわみ量
（同図において上側の線Ｓｚ１）、図１４にはレンズの
光軸方向のたわみ量（同図において上側の線Ｓｙ１）が
示されている。ここで、レンズの光軸方向へのたわみ量
は、その重力方向へのたわみ量に比べてほぼ１／２０程
度と小さく、ほとんど無視しうるものであった。

【００９６】ここで、中心角θｓが５°に満たない範囲
では、両可動支持部１０７ａ，１０７ｂが非常に近接し
たものとなって、両可動支持部１０７ａ，１０７ｂの支
持に基づくレンズの重力方向に沿うＺ軸回りの回転の規
制効果が低下する。また、この中心角θｓの範囲では、
両可動支持部１０７ａ、１０７ｂが干渉して、所望の中
心角θｓを確保できなくなるおそれもあった。

【００９７】一方、前記中心角θｓが６０°を超える範
囲では、各可動支持部１０７ａ、１０７ｂの２つの支持
点ＳＰａ，ＳＰｂがＸ軸を挟んで存在することになる。
このため、一方の支持点ＳＰｂによるレンズの荷重の支
持効果が期待できなくなる。

【００９８】これに対して、図に示す中心角θｓが５°
〜６０°の範囲では、そのほぼ全域にわたって、レンズ
のたわみ量は十分に満足しうる範囲であった。また、前
記中心角θｓが１５°〜３５°の範囲では、レンズのた
わみ量の変化が非常に小さいものとなった。さらに、中
心角θｓが２０°〜３０°の範囲では、図１３及び図１
４から明らかなように、レンズのたわみ量の変化はほと
んど見られなかった。

【００９９】この結果に基づいて、この縦置きレンズ支
持装置１０６における各支持点ＳＰａ、ＳＰｂの最適配
置の一例を示すとすれば、図１５のように、各支持点Ｓ
Ｐａ、ＳＰｂが中心角θｓ＝２５°程度で等間隔に配置
されたものとなる。この場合、各可動支持部１０７ａ，
１０７ｂにおける前記各支持点ＳＰａ，ＳＰｂの振り分
けは、前記式（１）〜（７）により、ボール７５に対し
てＸ軸側の支持点ＳＰｂが中心角で１３．８°の位置、
Ｚ軸側の支持点ＳＰａが中心角で１１．２°の位置と求
まる。

【０１００】以上のように構成されたこの第３実施形態
によれば、前記第１実施形態の（イ）〜（ヘ）とほぼ同
様の効果に加えて、さらに以下の効果を奏する。 （ル） この縦置きレンズ支持装置１０６では、第１可
動支持部１０７ａがレンズ６２の円周方向に沿って移動
調節可能なものとなっている。このため、加工公差及び
環境温度の変化に基づいて、レンズ６２と両可動支持部
１０７ａ、１０７ｂとの位置ずれが生じても、第１可動
支持部１０７ａが前記円周方向に移動することで容易に
吸収される。また、レンズ６２は、露光光が通過した際
の蓄積熱により熱膨張を生じる場合がある。このとき、
レンズ６２の円周方向の膨張は受け部材１０８の円周方
向の移動で吸収され、レンズ６２の光軸方向の膨張はパ
ッキン８３の変形で吸収される。従って、前記位置ずれ
に基づくたわみの発生が抑制されて、レンズ６２の光学
性能の低下を抑制することができる。

【０１０１】しかも、この第１可動支持部１０７ａのレ
ンズ６２の円周方向への調節手段は、ボール７５とＶ溝
１０９とを含んでいる。このため、レンズ６２にその円
周方向への力が生じたりすると、ボール７５がＶ溝１０
９に沿って転動される。従って、第１可動支持部１０７
ａのレンズ６２の円周方向における移動調節を容易かつ
確実に行うことができる。

【０１０２】（ヲ） この縦置きレンズ支持装置１０６
では、両可動支持部１０７ａ、１０７ｂの各支持点ＳＰ
ａ，ＳＰｂにおけるレンズ６２の荷重に対応する反力Ｆ
ａ，Ｆｂの比がｓｉｎΘとなるように、各支持点ＳＰ
ａ、ＳＰｂが配置されている。このため、各支持点ＳＰ
ａ，ＳＰｂにおける支持荷重の分布をほぼ最適な状態と
することができる。従って、レンズ６２をさらに安定し
た状態で支持することができると共に、レンズ６２のた
わみの発生量において一層の低減を図ることができる。

【０１０３】（第４実施形態）次に、この発明の第４実
施形態について、前記第各実施形態と異なる部分を中心
に図１６〜図１８に基づいて説明する。この第４実施形
態の縦置きレンズ支持装置１１１においては、前記第３
実施形態において、上方支持部として、前記固定支持部
６４に加えて牽引手段が設けられた第３支持部として第
１牽引支持部１１２ａ及び第４支持部としての第２牽引
支持部１１２ｂを設けたものとなっている。

【０１０４】図１６〜図１８に示すように、この第１牽
引支持部１１２ａ及び第２牽引支持部１１２ｂは、レン
ズ６２を重力方向の上下に２分する水平面より上方にお
いて、その最上方に配置された固定支持部６４を挟んで
対をなすように設けられている。つまり、第１牽引支持
部１１２ａ及び第２牽引支持部１１２ｂは、前記Ｚ軸に
対して対称をなすように配置され、それぞれ、第１支持
部及び第２支持部をも構成している。また、第１牽引支
持部１１２ａは第１可動支持部１０７ａと、第２牽引支
持部１１２ｂは第２可動支持部１０７ｂと、それぞれレ
ンズ６２の中心ＬＰに対して対称となるように配置され
ている。

【０１０５】各牽引支持部１１２ａ、１１２ｂは、レン
ズ６２の外周面に接着層１１３を介して接合する接合部
１１４と、レンズ鏡筒５１に形成された取付孔１１５内
に収容された牽引手段としての牽引バネ１１６と、それ
ら接合部１１４と牽引バネ１１６とを連結する連結部材
１１７とより構成されている。

【０１０６】前記接合部１１４は、その長手方向がレン
ズ６２の円周方向に沿って延びており、その長手方向の
レンズ６２側の側面には一対の支持点ＳＰａ、ＳＰｂを
なす接合爪１２０が立設されている。この接合爪１２０
において、接合部１１４とレンズ６２とが接着層１１３
を介して接合固定されている。前記牽引バネ１１６は、
その一端が前記取付孔１１５の底部１１５ａに当接して
いる。

【０１０７】前記連結部材１１７は、断面πの字状の橋
架片１２１とその橋架面１２１ａから垂直に立設された
連結ロッド１２２とからなっている。前記橋架片１２１
は、その脚部１２１ｂが前記接合部１１４の図１６にお
いて上面を跨ぐように配置され、その脚部１２１ｂにお
いてピン１２３により前記接合部１１４に固定されてい
る。前記連結ロッド１２２は、前記牽引バネ１１６の内
部、及び、前記取付孔１１５の底部１１５ａに穿設され
た連通孔１１５ｂに挿通されている。その連結ロッド１
２２の先端にはヘッド部１２２ａが設けられており、こ
のヘッド部１２２ａが所定の付勢力を持つように押し縮
められた前記牽引バネ１１６の他端に係合されている。
この係合により、牽引バネ１１６の付勢力が連結ロッド
１２２、橋架片１２１、ピン１２３、接合部１１４及び
接着層１１３を介してレンズ６２に作用する。そして、
レンズ６２が上方に牽引された状態となって、両牽引支
持部１１２ａ、１１２ｂによりレンズ６２の重量の一部
が分担支持されるようになっている。このように両牽引
支持部１１２ａ、１１２ｂも荷重支持手段を構成してい
る。

【０１０８】次に、この第４実施形態の縦置きレンズ支
持装置１１１において、前記第３実施形態の縦置きレン
ズ支持装置１０６と同様に、平行平板状のレンズを用い
てたわみ量の測定を行った結果について説明する。

【０１０９】図１３にはレンズの重力方向のたわみ量
（同図において下側の線Ｓｚ２）、図１４にはレンズの
光軸方向のたわみ量（同図において下側の線Ｓｙ２）が
示されている。この第４実施形態の縦置きレンズ支持装
置１１１では、前記第３実施形態の同装置１０６と比べ
ると、図１３及び図１４から明らかなように、全体的に
たわみ量が重力方向で１／３程度、光軸方向で１／２程
度の値となった。

【０１１０】ここで、たわみ量の比較的大きな重力方向
のたわみについて注目すると、前記中心角θｓが１０°
〜４０°の範囲でそのたわみ量の変化が小さいものであ
った。さらに、中心角θｓが１５°〜２５°の範囲で
は、そのたわみ量の変化はほとんど見られなかった。

【０１１１】この結果に基づいて、この縦置きレンズ支
持装置１１１における各支持点ＳＰａ，ＳＰｂの最適配
置の一例を示すとすれば、図１６のように、各支持点Ｓ
Ｐａ，ＳＰｂが中心角θｓ＝２５°程度で等間隔に配置
されたものとなる。この場合、各可動支持部１０７ａ，
１０７ｂ及び牽引支持部１１２ａ、１１２ｂにおける前
記各支持点ＳＰａ，ＳＰｂの振り分けは、前記式（１）
〜（７）により、ボール７５の中心ＢＰあるいは連結ロ
ッド１２２に対してＸ軸側の支持点ＳＰａが中心角で１
３．８°の位置、Ｚ軸側の支持点ＳＰｂが中心角で１
１．２°の位置と求まる。

【０１１２】以上のように構成されたこの第４実施形態
によれば、前記各実施形態の（イ）〜（ヘ）、（ル）及
び（ヲ）とほぼ同様の効果に加えて、さらに以下の効果
を奏する。

【０１１３】（ワ） この縦置きレンズ支持装置１１１
においては、両牽引支持部１１２ａ、１１２ｂにレンズ
６２の重量の一部を牽引支持する牽引バネ１１６が設け
られている。このため、レンズ６２の重量が下方の両可
動支持部１０７ａ、１０７ｂで受承されるだけでなく、
上方の両牽引支持部１１２ａ、１１２ｂによっても牽引
支持される。このため、各支持点ＳＰａ、ＳＰｂにおけ
る分担荷重がさらに低減されて、レンズ６２のたわみ量
を一層低減することができる。

【０１１４】（カ） この縦置きレンズ支持装置１１１
においては、レンズ６２の重量の一部を分担支持する各
牽引支持部１１２ａ、１１２ｂが、同じくレンズ６２の
重量の一部を分担支持する各可動支持部１０７ａ、１０
７ｂと、レンズ６２の中心ＬＰに対して対称となるよう
に配置されている。このため、レンズ６２の重量をさら
にバランスよく支持することができる。

【０１１５】なお、本発明に係る前記各実施形態は、以
下のように変更して具体化することもできる。 ・ 前記各実施形態において、可動支持部６３、９２、
１０７を３つ以上設けてもよい。また、前記第４実施形
態において、牽引支持部１１２を３つ以上設けてもよ
い。これらのように構成した場合、レンズ６２の重量が
各支持部６３、９２、１０７、１１２においてさらに分
散されて、各支持部６３、９２、１０７、１１２におけ
る分担荷重がさらに低減される。そして、レンズ６２の
たわみ量がさらに低減される。

【０１１６】・ 前記各実施形態の受け部材６７、１０
８に、３つ以上の円弧状突部７１を設けて、レンズ６２
の外周部を係合させてもよい。また、前記第４実施形態
において、各牽引支持部１１２ａ、１１２ｂの接合部１
１４の接合爪１２０の数を３つ以上としてもよい。これ
らのように構成した場合、レンズ６２の重量が各受け部
材６７、１０８の円弧状突部７１あるいは接合部１１４
の接合爪１２０にさらに分散された状態で作用するた
め、各支持点ＳＰにおける分担荷重がさらに低減され
る。そして、各支持点の近傍におけるレンズ６２のたわ
み量がさらに低減される。

【０１１７】・ 前記第４実施形態において、各牽引支
持部１１２ａ、１１２ｂの接合部１１４の接合爪１２０
の数を１つとしてもよい。このように構成した場合、各
牽引支持部１１２ａ、１１２ｂの構成の簡素化を図るこ
とができる。

【０１１８】・ 前記第１実施形態において、各可動支
持部６３ａ、６３ｂの受け部材６７を、ボール７５を中
心としてレンズ６２の円周方向に沿って両側に延長して
もよい。

【０１１９】・ 前記第１実施形態において、可動支持
部６３をレンズ６２の最下位に対応する部分に１ヶ所の
みに設けると共に、レンズ６２のＸ軸に対応する位置ま
たはそのＸ軸に対して反対側となる位置に複数の固定支
持部６４とほぼ同様の構成の傾動規制手段を設けてもよ
い。

【０１２０】・ 前記第４実施形態において、レンズ６
２の下方に位置する各可動支持部１０７ａ、１０７ｂを
省略して両牽引支持部１１２ａ、１１２ｂのみによりレ
ンズ６２の重量を支持すると共に、例えば固定支持部６
４をレンズ６２の下方に設けてレンズ６２の傾動を規制
し、これら固定支持部６４と両牽引支持部１１２ａ、１
１２ｂとの協働によりレンズ６２のＺ軸回りの回転を規
制するようにしてもよい。

【０１２１】・ 前記各実施形態の固定支持部６４、９
３において、板状弾性体８４、９５を介することなく係
合部８０をレンズ鏡筒５１の支持座８５に直接固定して
もよい。このように構成すれば、傾動規制手段が係合部
８０だけとなるので、固定支持部６４、９３の構成の簡
素化を図ることができる。

【０１２２】・ 前記第４実施形態において、固定支持
部６４を省略し、両可動支持部１０７ａ，１０７ｂ及び
両牽引支持部１１２ａ、１１２ｂを、そのレンズ６２の
中心ＬＰとボール７５の中心ＢＰとを結ぶ線分及び連結
ロッド１２２の軸線（延長線がレンズ６２の中心を通る
ものとする）の全ての隣接する線分及び軸線が、等角度
間隔、つまり９０°間隔をなすように配置してもよい。
このように構成した場合、レンズ６２の重量に基づく荷
重がＸ軸及びＺ軸に対してバランスよく支持されて、レ
ンズ６２のＸ軸とＺ軸とにより区画される各領域におい
て非対称なたわみの発生を抑制することができる。

【０１２３】ところで、この明細書において、光学素子
は、レンズに限定されるものではなく、また図に示すよ
うな凸レンズに限定されるものでもない。すなわち、こ
の光学素子は、凹レンズ、平面レンズ、凸面鏡、凹面
鏡、平面鏡、フィルタ等をも含むものである。また、こ
の光学素子は、その光軸が重力方向と直交する方向のも
のだけではなく、交差する方向のものにも適用できる。

【０１２４】また、この明細書において、露光装置は、
半導体素子製造用の露光装置に限定されるものではな
く、また、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露
光装置あるいは縮小投影型の露光装置に限定されるもの
でもない。すなわち、この露光装置は、ステップ・アン
ド・リピート方式の露光装置、等倍投影型の露光装置、
液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド等の製造用の
露光装置をも含むものである。

【０１２５】さらに、この明細書において、露光光源
は、ＡｒＦエキシマレーザに限定されるものではなく、
例えば電子線源、Ｘ線源、ＫｒＦエキシマレーザ光源、
Ｆ₂エキシマレーザ光源、ＹＡＧレーザ及び金属蒸気レ
ーザ等の高調波、ｉ線等の紫外線ランプ、ｈ線、ｇ線等
の可視光ランプ等をも含むものである。

【０１２６】本実施形態の光学素子支持装置は、前述し
た機能を達成するために、装置を構成する各要素が機械
的に結合されて組み上げられる。同様に、上記光学素子
支持装置を備える露光装置は、前述した機能を達成する
ために、装置を構成する各要素が機械的、電気的、光学
的に結合されて組み上げられる。

【０１２７】また、前記各実施形態からは、以下に記載
の技術的思想をも抽出することができる。 （１） 前記中心角は１５°〜３５°の範囲内である請
求項６に記載の光学素子支持装置。

【０１２８】このように構成すれば、光学素子の重力方
向のたわみ量の変化を同範囲において非常に小さくする
ことができる。 （２） 前記中心角は２０°〜３０°の範囲内である前
記（１）に記載の光学素子支持装置。

【０１２９】このように構成すれば、同範囲における光
学素子の重力方向のたわみ量の変化が、ほとんど存在し
ない状態とすることができる。 （３） 前記軸受構造は、互いに対向するように設けら
れた一対の円錐状凹部と、それらの円錐状凹部の間に介
在された球状の軸受部材とによりなる請求項７、８、前
記（１）及び（２）のいずれかに記載の光学素子支持装
置。

【０１３０】このように構成すれば、光学素子が球状の
軸受部材に沿って揺動可能となり、光学素子自身及び支
持部等の各部材の加工公差を吸収できて、それに基づく
光学素子におけるたわみの発生量を低減できる。

【０１３１】（４） 前記調節手段は、前記軸受構造の
一方の対向面に円錐状凹部を設け、他方の対向面に光学
素子の外周方向に沿って延びるＶ溝を設け、その円錐状
凹部とＶ溝との間に球状の軸受部材を介在させた請求項
８または前記（３）に記載の光学素子支持装置。

【０１３２】このように構成すれば、球状の軸受部材が
Ｖ溝に沿って転動し、前記支持部の光学素子の円周方向
における移動調節を容易かつ確実に行うことができる。 （５） 前記軸受構造は、光学素子の外周部上に形成さ
れた一方の凹部と、前記光学素子を装置本体に対して保
持する基台部上に形成された他方の凹部と、それら両凹
部の間に介在された軸受部材とから構成された請求項７
に記載の光学素子支持装置。

【０１３３】このように構成すれば、部品点数の削減を
図ることができて、荷重支持手段を構成する支持部の簡
素化を図ることができる。

【０１３４】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、光学素子への
加工公差の集中が抑制されるので、光学素子におけるた
わみの発生量を低減でき、光学素子の高い光学性能を容
易に確保できる。

【０１３５】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加えて、光学素子におけるその荷重支持手段を
傾動支点とした傾動を確実に抑制することができる。ま
た、光学素子の荷重支持手段側が主にたわむため、露光
光を主としてたわみの少ない側の透過させることによ
り、光学素子のたわみの影響を小さくすることができ
る。

【０１３６】請求項３の発明によれば、請求項２の発明
の効果に加えて、光学素子が重力方向に沿う軸線に対し
てバランスよく支持されるので、光学素子の前記軸線の
両側における非対称なたわみの発生をより抑制できる。

【０１３７】請求項４の発明によれば、請求項２または
３の発明の効果に加えて、光学素子が一層バランスよく
支持されて、光学素子における非対称なたわみの発生を
一層抑制できる。

【０１３８】請求項５の発明によれば、請求項３または
４の発明の効果に加えて、各支持部における支持荷重の
配置をほぼ最適な状態とすることができ、光学素子のた
わみの発生をさらに抑制することができる。

【０１３９】請求項６の発明によれば、請求項５または
６の発明の効果に加えて、光学素子の回転規制を確保で
きる共に、受け部材の各支持点における荷重の分担効果
が効率よく発揮される。

【０１４０】請求項７の発明によれば、請求項３〜６の
いずれかの発明の効果に加えて、光学素子と各支持部と
の間に相対配置の自由度が生まれ、光学素子自身及び支
持部等の各部材の加工公差を吸収することができる。

【０１４１】請求項８の発明によれば、請求項３〜７の
いずれかの発明の効果に加えて、光学素子の円周方向に
おける光学素子自身及び支持部の各部材の加工公差及び
熱膨張を吸収することができる。

【０１４２】請求項９及び１０の発明によれば、請求項
２〜８のいずれかの発明の効果に加えて、光学素子の傾
動を確実に抑制しつつ、各部材の加工公差及び環境温度
の変化に基づく光学素子と支持装置との寸法ずれを吸収
することができる。

【０１４３】請求項１１の発明によれば、請求項２〜１
０のいずれかの発明の効果に加えて、上方支持部におい
ても、光学素子の重量の一部または全部を支持すること
ができる。特に、下方支持部にも荷重支持手段が設けら
れたような構成では、各支持点における分担荷重がさら
に低減され、光学素子のたわみ量を一層低減することが
できる。

【０１４４】請求項１２の発明によれば、請求項１１の
発明の効果に加えて、光学素子の重量をさらにバランス
よく支持することができる。請求項１３の発明によれ
ば、鏡筒の本体内に光学性能の低下を招くことなく光学
素子を保持することができる。

【０１４５】請求項１４の発明によれば、光学素子の光
学性能の低下が抑制されて、高精度の投影露光を行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 走査型露光装置の概略を示す説明図。

【図２】 図１の投影光学系とその近傍を詳細に示す説
明図。

【図３】 第１実施形態の縦置きレンズ支持装置を示す
正面図。

【図４】 図３の４−４線断面図。

【図５】 （ａ）は図４の固定支持部を示す部分拡大断
面図、（ｂ）は図３の５ｂ−５ｂ線での部分拡大断面
図、（ｃ）は図４の可動支持部を示す部分拡大断面図、
（ｄ）は図３の５ｄ−５ｄ線での部分拡大断面図。

【図６】 図３の可動支持部を示す部分拡大正断面図。

【図７】 第２実施形態の縦置きレンズ支持装置を示す
正面図。

【図８】 図７の８−８線断面図。

【図９】 図８の、（ａ）は固定支持部を、（ｂ）は可
動支持部をそれぞれ示す部分拡大断面図。

【図１０】 図７の可動支持部を示す部分拡大正断面
図。

【図１１】 第３実施形態の縦置きレンズ支持装置を示
す正面図。

【図１２】 図１１の、（ｂ）は第１可動支持部を、
（ａ）は第２可動支持部をそれぞれ示す部分拡大断面
図。

【図１３】 平行平板レンズにおける重力方向のたわみ
量に関するグラフ。

【図１４】 平行平板レンズにおける光軸方向のたわみ
量に関するグラフ。

【図１５】 図１１の縦置きレンズ支持装置の最適状態
の一例を示す正面図。

【図１６】 第４実施形態の縦置きレンズ支持装置を示
す正面図。

【図１７】 図１６の１７−１７線断面図。

【図１８】 図１７の牽引支持部を示す部分拡大断面
図。

【図１９】 従来の縦置きレンズ支持装置を示す正面
図。

【図２０】 図１９の２０−２０線断面図。

【符号の説明】

３１…走査型露光装置、５１…鏡筒としてのレンズ鏡
筒、６１、９１、１０６、１１１…光学素子支持装置と
しての縦置きレンズ支持装置、６２…光学素子としての
レンズ、６２ａ…外周部としてのつば部、６３ａ、９２
ａ、１０７ａ…下方支持部、第１支持部及び荷重支持手
段の一部を構成し、回転規制機能を有する第１可動支持
部、６３ｂ、９２ｂ、１０７ｂ…下方支持部、第２支持
部及び荷重支持手段の一部を構成し、回転規制機能を有
する第２可動支持部、６４、９３…上方支持部及び回転
規制手段の一部を構成する固定支持部、７３、７４…軸
受構造の一部を構成する円錐状凹部、７５…軸受構造の
一部を構成するボール、８０…傾動規制手段の一部を構
成する係合部、８４、９５…傾動規制手段の一部を構成
するとともに弾性部材としての板状弾性体、１０９…軸
受構造の一部及び調節手段を構成するＶ溝、１１２ａ…
上方支持部の一部、第３支持部及び荷重支持手段の一部
を構成し、回転規制機能を有する第１牽引支持部、１１
２ｂ…上方支持部の一部、第４支持部及び荷重支持手段
の一部を構成し、回転規制機能を有する第２牽引支持
部、１１６…牽引手段としての牽引バネ、ＡＸ２…光学
素子の光軸としての第２レンズ群の光軸、Ｆａ、Ｆｂ…
反力、ＬＰ…光学素子の中心、Ｌ１〜Ｌ３…光学素子の
中心と各支持部とを結ぶ線分、ＳＰａ、ＳＰｂ…作用点
を構成する支持点、Ｘ…水平面内において光軸と直交す
る軸線、Ｚ…光軸と直交するとともに重力方向に沿って
延びる軸線、θ、θｓ…中心角。

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光軸が重力方向と交差する方向に延びる
   光学素子を支持する光学素子支持装置において、 少なくとも３ヶ所で前記光学素子の外周部に係合する支
   持機構を有し、前記支持機構は、光学素子の荷重を支持
   する荷重支持機能と、前記光学素子の荷重の支持位置を
   傾動支点とする光学素子の傾動を規制する傾動規制機能
   と、前記光軸と直交する軸線を中心とする光学素子の回
   転を規制する回転規制機能とを有する光学素子支持装
   置。
2. 【請求項２】 前記支持機構は、光学素子の外周部の重
   力方向下方部に係合する下方支持部と、光学素子の外周
   部の重力方向上方部に係合する上方支持部とに分かれ、
   上方支持部と下方支持部との少なくとも一方には前記傾
   動規制機能を有する傾動規制手段を設けると共に、上方
   支持部と下方支持部との少なくとも他方には前記荷重支
   持機能を有する荷重支持手段を設けた請求項１に記載の
   光学素子支持装置。
3. 【請求項３】 前記上方支持部または下方支持部の少な
   くとも一方は、第１支持部と、前記第１支持部に対して
   光学素子の外周方向に所定間隔をおいて配置される第２
   支持部とを有し、前記第１支持部と第２支持部とは重力
   方向に沿って延びる軸線に対して対称になるように配置
   された請求項２に記載の光学素子支持装置。
4. 【請求項４】 前記各支持部は、光学素子の中心と前記
   各支持部とを結ぶ線分を仮想したときに、隣接する２つ
   の線分のなす中心角の角度がほぼ等間隔をなすように配
   置された請求項２または３に記載の光学素子支持装置。
5. 【請求項５】 前記下方支持部に前記荷重支持手段を設
   けた時、前記第１、第２支持部は、前記光学素子を重力
   方向の上下に２分する水平面内において光軸と直交する
   軸線と、光学素子の中心と第１、第２支持部の光学素子
   の荷重に対する光学素子の中心方向への反力の作用点と
   を結ぶ各線分とのなす角度をΘとしたとき、前記各作用
   点における前記反力の比がｓｉｎΘをなすように配置さ
   れた請求項３または４に記載の光学素子支持装置。
6. 【請求項６】 前記中心角は５°〜６０°の範囲内であ
   る請求項５に記載の光学素子支持装置。
7. 【請求項７】 前記第１、第２支持部には、光学素子の
   外周部との間に軸受構造が介在されている請求項３〜６
   のいずれか一項に記載の光学素子支持装置。
8. 【請求項８】 前記第１、第２支持部の内、少なくとも
   １つの支持部には、光学素子の外周方向における移動調
   節可能な調節手段が形成された請求項３〜７のいずれか
   一項に記載の光学素子支持装置。
9. 【請求項９】 前記傾動規制機能は、重力の上下方向に
   自由度を有する弾性部材の弾性力で達成された請求項２
   〜８のいずれか一項に記載の光学素子支持装置。
10. 【請求項１０】 前記傾動規制機能は、光学素子の光軸
    に直交すると共に、重力に直交する方向に自由度を有す
    る弾性部材の弾性力で達成された請求項９に記載の光学
    素子支持装置。
11. 【請求項１１】 前記上方支持部には、光学素子を牽引
    する牽引手段が設けられた請求項２〜１０のいずれか一
    項に記載の光学素子支持装置。
12. 【請求項１２】 前記上方支持部は、前記下方支持部の
    第１支持部及び第２支持部と、光学素子の中心に対して
    ほぼ対称となる位置に配置された第３支持部及び第４支
    持部を有する請求項１１に記載の光学素子支持装置。
13. 【請求項１３】 光軸が重力方向と交差する方向に延び
    る光学素子を、光学素子支持装置を介して内周面に保持
    する鏡筒において、 前記光学素子支持装置は、前記請求項１〜１２のいずれ
    か一項に記載の光学素子支持装置より構成された鏡筒。
14. 【請求項１４】 鏡筒内に光軸が重力方向と交差する方
    向に延びる光学素子を有する露光装置において、 前記光学素子は、前記請求項１〜１２のいずれか一項に
    記載の光学素子支持装置を介して鏡筒内に支持された露
    光装置。