JPH11231166A - 光繊維アレイブロック - Google Patents
光繊維アレイブロックInfo
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- JPH11231166A JPH11231166A JP10310129A JP31012998A JPH11231166A JP H11231166 A JPH11231166 A JP H11231166A JP 10310129 A JP10310129 A JP 10310129A JP 31012998 A JP31012998 A JP 31012998A JP H11231166 A JPH11231166 A JP H11231166A
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- G02B6/24—Coupling light guides
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- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
- G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3648—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
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- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
- G02B6/3834—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule
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- G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 光導波路チップのコンパクト化を図るため
に、光繊維アレイブロックの光繊維間の間隔を光繊維の
クラッド径の寸法の１２５μｍにして、光繊維を間隔な
しに配列した形態で構成する。 【解決手段】 光繊維アレイと、前部１０２、コーティ
ングされた光繊維１３０を載置する一つの溝を具備する
後部１０６、前部１０２の溝の幅から後部１０６の溝の
幅へ次第に変化するようテーパ状に幅が変化する構造を
有して前部１０２と後部１０６とを連結し、かつ当該コ
ーティングの除去された部分の光繊維１００を載置する
連結部１０４からなり、光繊維アレイが実装される基本
ブロックと、光繊維アレイのコーティングの除去された
部分を固定させる光繊維固定用ブロック１１０と、基本
ブロックの連結部１０４に載置されたコーティングの除
去された部分の光繊維アレイを固定させるエポキシとを
備えたことを特徴とする。
に、光繊維アレイブロックの光繊維間の間隔を光繊維の
クラッド径の寸法の１２５μｍにして、光繊維を間隔な
しに配列した形態で構成する。 【解決手段】 光繊維アレイと、前部１０２、コーティ
ングされた光繊維１３０を載置する一つの溝を具備する
後部１０６、前部１０２の溝の幅から後部１０６の溝の
幅へ次第に変化するようテーパ状に幅が変化する構造を
有して前部１０２と後部１０６とを連結し、かつ当該コ
ーティングの除去された部分の光繊維１００を載置する
連結部１０４からなり、光繊維アレイが実装される基本
ブロックと、光繊維アレイのコーティングの除去された
部分を固定させる光繊維固定用ブロック１１０と、基本
ブロックの連結部１０４に載置されたコーティングの除
去された部分の光繊維アレイを固定させるエポキシとを
備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は集積光学素子の入出
力光導波路に光繊維を整列して結合するのに利用される
光繊維アレイブロックに係り、特に、光導波路チップの
コンパクト化のための光繊維アレイブロックに関する。
力光導波路に光繊維を整列して結合するのに利用される
光繊維アレイブロックに係り、特に、光導波路チップの
コンパクト化のための光繊維アレイブロックに関する。
【０００２】
【従来の技術】光導波路素子に光繊維(光ファイバー)を
付着するために製作される光繊維アレイブロックは、一
般にＶ字状の溝を有するブロックを利用して、円形の光
繊維を固定させる方法を使用している。このとき、各々
の光繊維間の間隔は、コーティングされた光繊維の直径
の２５０μｍである。この場合、Ｖ字状の溝に実装され
る光繊維は、コーティングが除去されて、クラッド（cl
ad）まで１２５μｍの直径で実装される。
付着するために製作される光繊維アレイブロックは、一
般にＶ字状の溝を有するブロックを利用して、円形の光
繊維を固定させる方法を使用している。このとき、各々
の光繊維間の間隔は、コーティングされた光繊維の直径
の２５０μｍである。この場合、Ｖ字状の溝に実装され
る光繊維は、コーティングが除去されて、クラッド（cl
ad）まで１２５μｍの直径で実装される。
【０００３】一般に、光繊維アレイブロックは光繊維間
の間隔が２５０μｍであるから、光導波路素子において
も光繊維と結合される入出力部の導波路間隔を２５０μ
ｍにすべきである。前記光導波路素子の構造は、長手方
向の寸法と幅とが略１０００：１程度の細長い形状とな
っている。そして、光導波路での曲げ損失を減らすに
は、導波路の幅方向への遷移を進行方向に比較して小さ
くすべきである。通常、導波路の遷移角度は１゜以下に
製作する。したがって、２５０μｍ間隔の入出力光導波
路を製作するには、導波路素子の主機能部の他に、当該
主機能部の光導波路と入出力導波路とを連結する曲線導
波路の領域が必要となる。かかる曲線導波路の追加によ
る光導波路素子の長さは、入出力の個数が増加するにつ
れ鼠算式に増大するといった問題がある。
の間隔が２５０μｍであるから、光導波路素子において
も光繊維と結合される入出力部の導波路間隔を２５０μ
ｍにすべきである。前記光導波路素子の構造は、長手方
向の寸法と幅とが略１０００：１程度の細長い形状とな
っている。そして、光導波路での曲げ損失を減らすに
は、導波路の幅方向への遷移を進行方向に比較して小さ
くすべきである。通常、導波路の遷移角度は１゜以下に
製作する。したがって、２５０μｍ間隔の入出力光導波
路を製作するには、導波路素子の主機能部の他に、当該
主機能部の光導波路と入出力導波路とを連結する曲線導
波路の領域が必要となる。かかる曲線導波路の追加によ
る光導波路素子の長さは、入出力の個数が増加するにつ
れ鼠算式に増大するといった問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、
光導波路チップのコンパクト化を図るために、光繊維ア
レイブロックの光繊維間の間隔を光繊維のクラッド径の
寸法の１２５μｍにして、光繊維を間隔なしに配列した
形態で構成する光繊維アレイブロックを提供することに
ある。
従来の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、
光導波路チップのコンパクト化を図るために、光繊維ア
レイブロックの光繊維間の間隔を光繊維のクラッド径の
寸法の１２５μｍにして、光繊維を間隔なしに配列した
形態で構成する光繊維アレイブロックを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の第１の発明に係る光導波路チップの
コンパクト化のための光繊維アレイブロックは、光繊維
の各々は所定の長さの部分だけコーティングが除去さ
れ、残りの部分がコーティングされた光繊維アレイと、
前記コーティングの除去された部分の光繊維を載置する
一つの溝を具備して光導波路素子の入出力光導波路と組
合わせられる前部、当該コーティングされた光繊維を載
置する一つの溝を具備する後部、当該前部の溝の幅から
当該後部の溝の幅へ次第に変化するようテーパ状に幅が
変化する構造を有して当該前部と後部とを連結し、かつ
当該コーティングの除去された部分の光繊維を載置する
連結部からなり、前記光繊維アレイが実装される基本ブ
ロックと、前記光繊維アレイのコーティングの除去され
た部分を固定させる光繊維固定用ブロックと、前記基本
ブロックの連結部に載置されたコーティングの除去され
た部分の光繊維アレイを固定させるエポキシとを備えた
ことを要旨とする。従って、光導波路チップのコンパク
ト化を図るために、光繊維アレイブロックの光繊維間の
間隔を光繊維のクラッド径の寸法の１２５μｍにして、
光繊維を間隔なしに配列した形態で構成できる。前記光
繊維固定用ブロックは、前記基本ブロックに実装された
光繊維アレイを圧押固定するのに適するよう当該基本ブ
ロックの逆相状を有することを要旨とする。前記基本ブ
ロック及び光繊維固定用ブロックは、シリコン結晶基板
の湿式食刻と、高精度機械的加工及び金型によるモール
ディングのうち、少なくともいずれかの方法により製作
されることを要旨とする。前記基本ブロック及び光繊維
固定用ブロックの材質は、シリコン、ガラス、金属及び
プラスチックのいずれか一つであることを要旨とする。
前記基本ブロックは、シリコン結晶基板を利用し、Ｓi
Ｏ2もしくはＳi3Ｎ4が薄膜形態に形成されたシリコン基
板上に、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4をストリップパターン
形態で除去し、かつＫＯＨ溶液で湿式蝕刻を行うことに
より製作されることを要旨とする。前記光繊維アレイブ
ロックの組立は、基本ブロック上に光繊維アレイを実装
してエポキシを塗布し、かつ光繊維固定用ブロックを用
いて当該基本ブロックの前部に載置された光繊維を圧押
固定する段階と、光導波路素子チップ上の入出力光導波
路と低損失で結合させるために、光繊維アレイブロック
の前部の断面を研磨する段階とを有することを要旨とす
る。前記エポキシは、前記基本ブロックの連結部に載置
された所定の長さの部分だけコーティングが除去された
光繊維アレイ及び残りの部分がコーティングされた光繊
維アレイを固定させることを要旨とする。
に、請求項１記載の第１の発明に係る光導波路チップの
コンパクト化のための光繊維アレイブロックは、光繊維
の各々は所定の長さの部分だけコーティングが除去さ
れ、残りの部分がコーティングされた光繊維アレイと、
前記コーティングの除去された部分の光繊維を載置する
一つの溝を具備して光導波路素子の入出力光導波路と組
合わせられる前部、当該コーティングされた光繊維を載
置する一つの溝を具備する後部、当該前部の溝の幅から
当該後部の溝の幅へ次第に変化するようテーパ状に幅が
変化する構造を有して当該前部と後部とを連結し、かつ
当該コーティングの除去された部分の光繊維を載置する
連結部からなり、前記光繊維アレイが実装される基本ブ
ロックと、前記光繊維アレイのコーティングの除去され
た部分を固定させる光繊維固定用ブロックと、前記基本
ブロックの連結部に載置されたコーティングの除去され
た部分の光繊維アレイを固定させるエポキシとを備えた
ことを要旨とする。従って、光導波路チップのコンパク
ト化を図るために、光繊維アレイブロックの光繊維間の
間隔を光繊維のクラッド径の寸法の１２５μｍにして、
光繊維を間隔なしに配列した形態で構成できる。前記光
繊維固定用ブロックは、前記基本ブロックに実装された
光繊維アレイを圧押固定するのに適するよう当該基本ブ
ロックの逆相状を有することを要旨とする。前記基本ブ
ロック及び光繊維固定用ブロックは、シリコン結晶基板
の湿式食刻と、高精度機械的加工及び金型によるモール
ディングのうち、少なくともいずれかの方法により製作
されることを要旨とする。前記基本ブロック及び光繊維
固定用ブロックの材質は、シリコン、ガラス、金属及び
プラスチックのいずれか一つであることを要旨とする。
前記基本ブロックは、シリコン結晶基板を利用し、Ｓi
Ｏ2もしくはＳi3Ｎ4が薄膜形態に形成されたシリコン基
板上に、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4をストリップパターン
形態で除去し、かつＫＯＨ溶液で湿式蝕刻を行うことに
より製作されることを要旨とする。前記光繊維アレイブ
ロックの組立は、基本ブロック上に光繊維アレイを実装
してエポキシを塗布し、かつ光繊維固定用ブロックを用
いて当該基本ブロックの前部に載置された光繊維を圧押
固定する段階と、光導波路素子チップ上の入出力光導波
路と低損失で結合させるために、光繊維アレイブロック
の前部の断面を研磨する段階とを有することを要旨とす
る。前記エポキシは、前記基本ブロックの連結部に載置
された所定の長さの部分だけコーティングが除去された
光繊維アレイ及び残りの部分がコーティングされた光繊
維アレイを固定させることを要旨とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面に基づき本発明
の好適な実施の形態について詳細に説明する。
の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【０００７】図１、図２及び図３は、本発明に係る光繊
維アレイブロックの平面図、側面図及び正面図である。
本発明に係る光繊維アレイブロックは、光繊維を実装す
るための光繊維実装用基本ブロック(以下、基本ブロッ
クという。)１２０と、光繊維(光ファイバー)１００、１
３０と、光繊維固定用ブロック１１０と、エポキシ１４
０とからなる。
維アレイブロックの平面図、側面図及び正面図である。
本発明に係る光繊維アレイブロックは、光繊維を実装す
るための光繊維実装用基本ブロック(以下、基本ブロッ
クという。)１２０と、光繊維(光ファイバー)１００、１
３０と、光繊維固定用ブロック１１０と、エポキシ１４
０とからなる。
【０００８】前記基本ブロック１２０は光繊維アレイを
実装するブロックであって、前部１０２、後部１０６及
び連結部１０４からなる。前記前部１０２は、光導波路
素子（図示せず）の入出力光導波路と結合され、一つの
溝を具備し、かつ当該溝にコーティングの除去された部
分の光繊維が載置する。前記溝は、コーティングの除去
された部分の光繊維のクラッド直径の１２５μｍと、実
装する光繊維の個数との積に該当する幅を有するように
製作される。
実装するブロックであって、前部１０２、後部１０６及
び連結部１０４からなる。前記前部１０２は、光導波路
素子（図示せず）の入出力光導波路と結合され、一つの
溝を具備し、かつ当該溝にコーティングの除去された部
分の光繊維が載置する。前記溝は、コーティングの除去
された部分の光繊維のクラッド直径の１２５μｍと、実
装する光繊維の個数との積に該当する幅を有するように
製作される。
【０００９】前記後部１０６は、コーティングされた光
繊維を載置する一つの溝を具備する。前記溝は、コーテ
ィングされた残りの部分の光繊維の直径の２５０μｍ
と、実装される光繊維の個数の積に該当する幅を有する
ように製作される。前記連結部１０４は、前記前部１０
２と後部１０６とを連結して、当該前部１０２の溝の幅
から前記後部１０６の溝の幅へ次第に変化するよう、テ
ーパ状に幅が変化する構造を有し、コーティングの除去
された部分の光繊維を載置する。すなわち、前記光繊維
を基本ブロック１２０に実装する時、前部１０２と後部
１０６との間を、前部１０２の１２５μｍ間隔から後部
１０６の２５０μｍ間隔にわたるゆるやかな曲線形態に
する。前記連結部１０４の長さは、実装される光繊維の
個数に基づき最大の曲率を有する最外郭の光繊維におい
て曲げによる損失が大きくならないよう適宜調節して決
定する。一般に、実装される光繊維の個数が大きくなる
につれてテーパ領域は長くなるものである。
繊維を載置する一つの溝を具備する。前記溝は、コーテ
ィングされた残りの部分の光繊維の直径の２５０μｍ
と、実装される光繊維の個数の積に該当する幅を有する
ように製作される。前記連結部１０４は、前記前部１０
２と後部１０６とを連結して、当該前部１０２の溝の幅
から前記後部１０６の溝の幅へ次第に変化するよう、テ
ーパ状に幅が変化する構造を有し、コーティングの除去
された部分の光繊維を載置する。すなわち、前記光繊維
を基本ブロック１２０に実装する時、前部１０２と後部
１０６との間を、前部１０２の１２５μｍ間隔から後部
１０６の２５０μｍ間隔にわたるゆるやかな曲線形態に
する。前記連結部１０４の長さは、実装される光繊維の
個数に基づき最大の曲率を有する最外郭の光繊維におい
て曲げによる損失が大きくならないよう適宜調節して決
定する。一般に、実装される光繊維の個数が大きくなる
につれてテーパ領域は長くなるものである。
【００１０】前記基本ブロック１２０を製作する一つの
好適な一実施の形態はＳi結晶基板を利用する方法であ
る。これは、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4が薄膜形態に形成
されたＳi基板上において、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4をス
トリップパターン形態で除去し、ＫＯＨ溶液で湿式蝕刻
を行う方法である。この方法により、前部と後部、そし
て前部と後部との間のテーパ領域(連結部）を共に製作
することができる。また、この方法の他にも、機械的加
工、金型モールディングなどの方法により、当該基本ブ
ロックを製作することができる。
好適な一実施の形態はＳi結晶基板を利用する方法であ
る。これは、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4が薄膜形態に形成
されたＳi基板上において、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4をス
トリップパターン形態で除去し、ＫＯＨ溶液で湿式蝕刻
を行う方法である。この方法により、前部と後部、そし
て前部と後部との間のテーパ領域(連結部）を共に製作
することができる。また、この方法の他にも、機械的加
工、金型モールディングなどの方法により、当該基本ブ
ロックを製作することができる。
【００１１】前記光繊維１００、１３０は、基本ブロッ
ク１２０の前部１０２及び連結部１０４では所定の長さ
の部分がコーティングの除去された形態で実装され、後
部１０６では残りの部分がコーティングされた形態とし
て実装される。かかる光繊維は、実装及び使用上の便宜
を図るために、リボン光繊維を使用することが効果的で
ある。
ク１２０の前部１０２及び連結部１０４では所定の長さ
の部分がコーティングの除去された形態で実装され、後
部１０６では残りの部分がコーティングされた形態とし
て実装される。かかる光繊維は、実装及び使用上の便宜
を図るために、リボン光繊維を使用することが効果的で
ある。
【００１２】前記光繊維固定用ブロック１１０は、基本
ブロック１２０の前部１０２に実装された光繊維１００
を十分に圧押して固定しうるよう製作される。そこで、
光繊維固定用ブロック１１０の形態は基本ブロック１２
０の逆相状(図中逆凸状の断面で基本ブロック１２０と
嵌合する形状)であることが望ましい。前記光繊維固定
用ブロック１１０を製作する好適な一実施の形態は、基
本ブロック１２０の製作と同様に、Ｓiの湿式食刻方法
により製作することである。この方法の他に、機械的加
工、金型モールディングなどの方法によりかかる光繊維
固定用ブロック１１０を製作することも可能である。
ブロック１２０の前部１０２に実装された光繊維１００
を十分に圧押して固定しうるよう製作される。そこで、
光繊維固定用ブロック１１０の形態は基本ブロック１２
０の逆相状(図中逆凸状の断面で基本ブロック１２０と
嵌合する形状)であることが望ましい。前記光繊維固定
用ブロック１１０を製作する好適な一実施の形態は、基
本ブロック１２０の製作と同様に、Ｓiの湿式食刻方法
により製作することである。この方法の他に、機械的加
工、金型モールディングなどの方法によりかかる光繊維
固定用ブロック１１０を製作することも可能である。
【００１３】前記エポキシ１４０は、前記基本ブロック
１２０の連結部１０４に載置されたコーティングの除去
された光繊維アレイを固定させ、かつ前記前部１０２か
ら後部１０６に進むほど該厚みが薄くなる。また、前記
エポキシ１４０は、前記基本ブロック１２０の連結部１
０４に載置されたコーティングの除去された光繊維アレ
イのみならず、必要があれば、前記後部１０６に載置さ
れたコーティングされた光繊維アレイの所定の長さに見
合う分だけを固定させることも可能である。
１２０の連結部１０４に載置されたコーティングの除去
された光繊維アレイを固定させ、かつ前記前部１０２か
ら後部１０６に進むほど該厚みが薄くなる。また、前記
エポキシ１４０は、前記基本ブロック１２０の連結部１
０４に載置されたコーティングの除去された光繊維アレ
イのみならず、必要があれば、前記後部１０６に載置さ
れたコーティングされた光繊維アレイの所定の長さに見
合う分だけを固定させることも可能である。
【００１４】一方、光繊維アレイブロックの組立手順
は、基本ブロック１２０上に光繊維１００、１３０を実
装して、エポキシ１４０を塗布し、かつ光繊維固定用ブ
ロック１１０を利用して基本ブロック１２０の前部１０
２に載置された光繊維を圧押固定することによりなされ
る。次に、光繊維アレイブロックの前部１０２の断面を
研磨して、光導波路素子チップ上の入出力光導波路と低
損失で結合させる。
は、基本ブロック１２０上に光繊維１００、１３０を実
装して、エポキシ１４０を塗布し、かつ光繊維固定用ブ
ロック１１０を利用して基本ブロック１２０の前部１０
２に載置された光繊維を圧押固定することによりなされ
る。次に、光繊維アレイブロックの前部１０２の断面を
研磨して、光導波路素子チップ上の入出力光導波路と低
損失で結合させる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、既存の
光繊維アレイブロックの製作に使用する２５０μｍの光
繊維の間隔を１／２の１２５μｍの間隔に半減させるこ
とにより、光導波路素子チップにおける入出力導波路の
間隔を確保するために必要な曲げ光導波路領域を縮め、
これにより、光導波路素子の寸法を大幅に縮めることが
できる。
光繊維アレイブロックの製作に使用する２５０μｍの光
繊維の間隔を１／２の１２５μｍの間隔に半減させるこ
とにより、光導波路素子チップにおける入出力導波路の
間隔を確保するために必要な曲げ光導波路領域を縮め、
これにより、光導波路素子の寸法を大幅に縮めることが
できる。
【図１】本発明に係る光繊維アレイブロックの平面図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係る光繊維アレイブロックの側面図で
ある。
ある。
【図３】本発明に係る光繊維アレイブロックの正面図で
ある。
ある。
１００ コーティングの除去された光繊維 １０２ 基本ブロックの前部 １０４ 基本ブロックの連結部 １０６ 基本ブロックの後部 １１０ 光繊維固定用ブロック １２０ 基本ブロック １３０ コーティングされた光繊維 １４０ エポキシ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 李 勇 雨 大韓民国ソウル市江南区開浦洞12番地大峙 アパート209棟913号
Claims (7)
- 【請求項１】 光繊維の各々は所定の長さの部分だけコ
ーティングが除去され、残りの部分がコーティングされ
た光繊維アレイと、 前記コーティングの除去された部分の光繊維を載置する
一つの溝を具備して光導波路素子の入出力光導波路と組
合わせられる前部、当該コーティングされた光繊維を載
置する一つの溝を具備する後部、当該前部の溝の幅から
当該後部の溝の幅へ次第に変化するようテーパ状に幅が
変化する構造を有して当該前部と後部とを連結し、かつ
当該コーティングの除去された部分の光繊維を載置する
連結部からなり、前記光繊維アレイが実装される基本ブ
ロックと、 前記光繊維アレイのコーティングの除去された部分を固
定させる光繊維固定用ブロックと、 前記基本ブロックの連結部に載置されたコーティングの
除去された部分の光繊維アレイを固定させるエポキシ
と、 を備えたことを特徴とする光繊維アレイブロック。 - 【請求項２】 前記光繊維固定用ブロックは、前記基本
ブロックに実装された光繊維アレイを圧押固定するのに
適するよう当該基本ブロックの逆相状を有することを特
徴とする請求項１に記載の光繊維アレイブロック。 - 【請求項３】 前記基本ブロック及び光繊維固定用ブロ
ックは、シリコン結晶基板の湿式食刻と、高精度機械的
加工及び金型によるモールディングのうち、少なくとも
いずれかの方法により製作されることを特徴とする請求
項１に記載の光繊維アレイブロック。 - 【請求項４】 前記基本ブロック及び光繊維固定用ブロ
ックの材質は、シリコン、ガラス、金属及びプラスチッ
クのいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記
載の光繊維アレイブロック。 - 【請求項５】 前記基本ブロックは、シリコン結晶基板
を利用し、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4が薄膜形態に形成さ
れたシリコン基板上に、ＳiＯ2もしくはＳi3Ｎ4をスト
リップパターン形態で除去し、かつＫＯＨ溶液で湿式蝕
刻を行うことにより製作されることを特徴とする請求項
１に記載の光繊維アレイブロック。 - 【請求項６】 前記光繊維アレイブロックの組立は、 基本ブロック上に光繊維アレイを実装してエポキシを塗
布し、かつ光繊維固定用ブロックを用いて当該基本ブロ
ックの前部に載置された光繊維を圧押固定する段階と、 光導波路素子チップ上の入出力光導波路と低損失で結合
させるために、光繊維アレイブロックの前部の断面を研
磨する段階と、 を有することを特徴とする請求項１に記載の光繊維アレ
イブロック。 - 【請求項７】 前記エポキシは、前記基本ブロックの連
結部に載置された所定の長さの部分だけコーティングが
除去された光繊維アレイ及び残りの部分がコーティング
された光繊維アレイを固定させることを特徴とする請求
項１に記載の光繊維アレイブロック。
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|---|---|---|---|
| KR1019970057263A KR100277354B1 (ko) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | 광섬유어레이블록 |
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|---|---|
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