JPH11185627A

JPH11185627A - レビュー装置

Info

Publication number: JPH11185627A
Application number: JP36434397A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Maeda; 博己前田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1997-12-19
Filing date: 1997-12-19
Publication date: 1999-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を
修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観
察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特
定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供する。【解決手段】大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠
陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所
を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水
平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿う
Ｙ方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察
するための観察装置を備え、且つ、Ｘ方向、Ｙ方向に沿
って、それぞれ、Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列
を設けたものであって、該Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向Ｌ
ＥＤ配列は、それぞれ、基板の所定のＸ方向位置、所定
のＹ方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応する
Ｘ方向ＬＥＤ配列のＬＥＤ、対応するＹ方向ＬＥＤ配列
のＬＥＤのみを点灯するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大型基板の電極配
線の断線、短絡等の欠陥を修正する修正台等、大型基板
の所定座標箇所を観察する作業を行うレビュー装置に関
する。特に、プラズマディスプレイ用基板の背面板、前
面板の電極配線等の欠陥の修正を行うためのレビュー装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、プラズマディスプレイパネル（以
下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が
広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２
枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一
対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体と
するガスを封入した構造となっている。そして、これら
の電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放
電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を
行うようにしている。特に情報表示をするためには、規
則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。

【０００３】ここで、ＰＤＰの構成を、図５に示すＡＣ
型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。図５はＰＤＰ構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス
基板５１０）、背面板（ガラス基板５２０）とを実際よ
り離して示してある。図５に示すように、２枚のガラス
基板５１０、５２０が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板５２０上に互
いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）５３０
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板５１０の背面側には、放電維持電極である透明
電極５４０とバス電極である金属電極５５０とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層５６０が形成されており、更にその上に保護層
（ＭｇＯ層）５７０が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板５２０の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁５３０間に位置してアドレス電極５８０
が互いに平行に形成されており、更に障壁５３０の壁面
とセル底面を覆うように螢光面５９０が設けられてい
る。障壁５３０は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体５９０を発光させ、前面板を透過す
る光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型Ｐ
ＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構
造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同
じである。また、図５に示すものは、ガラス基板５２０
の一面に下地層５６７を設けその上に誘電体層５６５を
設けた構造となっているが、下地層５６７、誘電体層５
６５は必ずしも必要としない。

【０００４】このようなプラズマディスプレイ（ＰＤ
Ｐ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い
為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各
種検査が行われている。中でも背面板、前面板の最終的
な品質を保証するものとして電極配線断線、短絡の検査
は不可欠である。電極配線の断線、短絡の検査は、各配
線について、断線が有るか否か、隣接する配線と短絡が
有るか否かを、それぞれ各配線について調べるもので、
基本的には、所定の２箇所間に電圧をかけて、その間で
の導通の有無を確認する操作を、同一配線内および隣接
する２配線において行うもので、検査対象の全ての配線
についてこの操作を行う。

【０００５】電極配線の断線、短絡の検査の結果、不良
箇所と判断した場合には、修正できるものについては、
不良箇所を修正する修正作業が行われる。修正作業に対
しては、図４に示すような修正台４００（レビュー装置
でもある）が本願発明者により提案されている。図５に
示す修正台４００（レビュー装置）は、大型基板の電極
配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であ
って、基板の修正箇所を観察するレビュー装置でもあ
る。修正台（レビュー装置）４００は、基板４８０の修
正面側でない裏面全体に拡散光からなる観察光を照射
し、且つ、基板４８０の一辺を下側に水平方向に沿わ
せ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板を載せて
置く基板載置台４１０と、基板４８０の修正面側を観察
するために、基板載置台４１０上に保持されて、基板の
基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交し
て基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡４２０と、基
板載置台４１０を保持して且つ基板載置台４１０の角度
および高さを変える載置台制御部４３０とを備えたもの
で、基板載置台４１０は、基板４８０の下側の一辺を水
平方向に沿わせて基板４８０を移動させるコロ（水平移
動部）４１８を設けたもので、基板４８０のＸ方向位
置、Ｙ方向の位置を示すＸ、Ｙカウンター４４０を有し
ている。即ち、修正台（レビュー装置）４００において
は、基板４８０の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板
面を水平面に対し斜めないし垂直に近い状態で基板を載
せて置くことにより、人が修正する際、基板４８０の観
察や修正を無理のない姿勢で行えるものとしており、基
板４８０の大型化にも対応できるものとしている。そし
て、基板載置台４１０を保持し、且つ基板載置台４１０
の角度および高さを変える載置台制御部４３０を備えて
いることにより、また、基板４８０の下側の一辺を水平
方向に沿わせて基板４８０を移動させるコロ（水平移動
部）４１８を備えていることにより、基板４８０の、位
置移動、運搬を容易に行えるものとしている。このよう
に、修正台（レビュー装置）４００は、基板の大型化に
対応でき、且つ、効率的に、人の姿勢に無理が多くかか
らないような、大型基板の観察を可能としている。この
修正台（レビュー装置）４００においては、修正箇所を
特定するのに、Ｘ、Ｙカウンター４４０の値をたよりに
人が顕微鏡４２０をＸ方向、Ｙ方向に動かしてその位置
を決め、その位置において顕微鏡４２０ないしモニター
４５０にて精確に欠陥箇所を観察するもので、修正箇
所、即ち観察箇所の特定にＸ、Ｙのカウンター値を見な
がら顕微鏡を動かすという作業が不可欠である。このた
め、観察箇所の特定に人の負担が多く、観察箇所が多数
ある場合には作業性の低下につながっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、図４に
示す、ＰＤＰ用の基板等、大型の基板の電極配線の断
線、短絡等を修正する修正台（レビュー装置でもある）
は、作業する人の上半身はほぼ立った状態で修正できる
もので人の姿勢に無理が多くかからなく、基板の扱いも
楽で、基板の大型化に対応できるが、検査工程にて得ら
れた欠陥箇所等の、観察箇所を特定する作業が効率的で
なく問題となっていた。本発明は、これに対応するため
のもので、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を
修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観
察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特
定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供しよう
とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のレビュー装置
は、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正す
るための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する
作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であ
るＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿うＹ方向に移
動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための
観察装置を備え、且つ、Ｘ方向、Ｙ方向に沿って、それ
ぞれ、Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列を設けたも
のであって、該Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列
は、それぞれ、基板の所定のＸ方向位置、所定のＹ方向
位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するＸ方向Ｌ
ＥＤ配列のＬＥＤ、対応するＹ方向ＬＥＤ配列のＬＥＤ
のみを点灯すものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、基板の観察面側でない裏面全体
に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を
下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にし
た状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面
側を観察するために、基板載置台上に保持されて、基板
の基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交
して基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、基板載
置台を保持して且つ基板載置台の角度および高さを変え
る載置台制御部とを備えており、且つ、前記基板載置台
は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動
させる水平移動部を設けたものであることを特徴とする
ものである。そして、上記における水平移動部は、基板
の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロ
ないしロール上に載せて移動させるものであることを特
徴とするものである。そしてまた、上記において、基板
載置台は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面
全体に拡散板を介して観察するための観察光を照射する
ものであることを特徴とするものである。また、上記に
おいて、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えてい
ることを特徴とするものである。また、プラズマディス
プレイ用の基板上の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修
正するための修正台に適用された場合には、特に有効で
ある。

【０００８】

【作用】本発明のレビュー装置は、このような構成する
ことにより、これに対応するためのもので、大型基板の
電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正するための修正台
等、大型基板の所定座標箇所を観察する作業を行うレビ
ュー装置で、基板の観察箇所を特定する作業を効率的に
できるレビュー装置の提供を可能としている。具体的に
は、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正す
るための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する
作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であ
るＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿うＹ方向に移
動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための
観察装置を備え、且つ、Ｘ方向、Ｙ方向に沿って、それ
ぞれ、Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列を設けたも
のであって、該Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列
は、それぞれ、基板の所定のＸ方向位置、所定のＹ方向
位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するＸ方向Ｌ
ＥＤ配列のＬＥＤ、対応するＹ方向ＬＥＤ配列のＬＥＤ
のみを点灯するものであることにより、これを達成して
いる。即ち、観察箇所を特定するのに、Ｘ、Ｙカウンタ
ーの値のみをたよりにする必要はなく、ＬＥＤ配列の点
灯する箇所を捜すことで、その位置を決め、その位置に
おいて顕微鏡２０ないしモニターにて精確に欠陥箇所を
特定できるものとしており、図４に示す修正台（レビュ
ー装置）４００に比べ、観察する箇所を特定するのに、
人の負担が少なくてすみ、観察箇所が多数ある場合にも
効率的に作業ができる。

【０００９】更に具体的には、基板の観察面側でない裏
面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の
一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂
直にした状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の
修正面側を観察するために、基板載置台上に保持され
て、基板の基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方
向に直交して基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡
と、基板載置台を保持して且つ基板載置台の角度および
高さを変える載置台制御部とを備えており、且つ、前記
基板載置台は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて
基板を移動させる水平移動部を設けたものであることに
より、ＰＤＰの基板のような大型の基板にも対応できる
ものとしており、観察する際に人の姿勢に無理がかから
ないようにできる。更に、前記水平移動部は、基板の一
辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロない
しロール上に載せて移動させるものであることにより、
また、前記基板載置台は、基板の観察面側でない裏面全
体に接し、裏面全体に拡散板を介して観察するための観
察光を照射するものであることにより、全体の構成を比
較的簡単なものとしている。また、基板の顕微鏡像を観
察するモニターを備えていることにより、顕微鏡倍率を
変えて、欠陥位置を特定し易いものとしている。

【００１０】尚、本発明のレビュー装置は、大型のプラ
ズマディスプレイ用の基板上の電極配線の断線、短絡等
の欠陥を修正するため修正台に用いられる場合には、特
に有効である。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明のレビュー装置の実施の形
態の１例を図に基づいて説明する。図１は実施の形態の
１例の概略平面図で、図２は図１のＡ１−Ａ２からみた
断面図で、図３は図１のＡ３−Ａ４からみたコロ部（水
平移動部）周辺の拡大図である。図１中、１００はレビ
ュー装置、１１０は基板載置台、１１１は基板支持部、
１１２は検査光照射部、１１２Ａは蛍光灯、１１２Ｂは
透明アクリル板、１１２Ｃは透明ガラス板、１１２Ｄは
拡散アクリル板、１１３はＹ方向レール、１１４は配線
収納部、１１５はＸ方向レール、１１６は配線収納部、
１１７はＹ方向移動台、１１８はコロ（水平移動部）、
１２０は顕微鏡、１３０は載置台制御部、１３１は上下
移動部、１３３は角度調整部、１４０はＸＹカウンタ
ー、１５０はモニター、１７０は腕おき台、１８０は基
板、１９０はＬＥＤ、１９１はＸ方向ＬＥＤ配列、１９
３はＹ方向ＬＥＤ配列である。尚、Ｘ方向とは水平方
向、且つ載置台の観察する基板を置く面に沿う方向で、
Ｙ方向とはＸ方向と直交して載置台の観察する基板を置
く面に沿う方向、即ち観察するために載置台置かれた基
板の面に略沿う方向である。ここでは観察する基板面と
載置台の観察する基板を置く面（図３の１１２Ｂ、１１
２Ｃ、１１２Ｄからなる面）とは略平行であるため、Ｘ
方向とは水平方向、且つ基板面に沿う方向、Ｙ方向とは
該Ｘ方向に直交して基板面に沿う方向と定義しても良
い。図１、図２に示すレビュー装置１００は、ＰＤＰ用
の背面基板、前面板等、大型基板の電極配線の断線、短
絡等の欠陥を観察するためのレビュー装置で、基板面に
沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面
に沿うＹ方向に移動可能な、基板面を観察するための顕
微鏡を備え、且つ、Ｘ方向、Ｙ方向に沿って、それぞ
れ、Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列を設けたもの
である。そして、必要に応じ観察しながら欠陥部の修正
等の作業を行うことができる装置である。また、レビュ
ー装置１００は、基板１８０の観察面側でない裏面全体
に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板１８０の
一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂
直にした状態で基板１８０を載せて置く基板載置台１１
０と、基板１８０の観察面側を観察するために、基板載
置台１１０上に保持されて、基板１８０の基板面に沿う
水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿
うＹ方向に移動可能な顕微鏡１２０と、基板面の角度お
よび高さを変えるための、基板載置台１１０を保持し且
つ基板載置台１１０の角度および高さを変える載置台制
御部１３０とを備えたもので、基板載置部１１０は、基
板の下側の一辺をその上に載せ、水平方向に沿わせて基
板を移動させる複数個のコロ（水平移動部）１１８を設
けている。

【００１２】レビュー装置１００においては、顕微鏡１
２０をＸ移動させるためのＸ方向レール１１５、および
顕微鏡１２０と前記Ｘ方向レール１１５とを載せたＹ方
向移動台１１７をＹ移動させるためのＹ方向レール１１
３を基板載置台１１０上に設けている。顕微鏡１２０
は、Ｘ方向レール１１５に沿い移動でき、Ｙ方向移動台
１１７は、Ｘ方向レール１１５、顕微鏡１２０をその上
に載せて一体として、図１の左右に示す２個のＹ方向レ
ール１１３に沿い移動できる。即ち、顕微鏡１２０は、
Ｘ、Ｙの両方向に移動ができる。尚、図１、図２に示す
Ｘ方向移動、Ｙ方向移動は手動により行われるが、勿
論、駆動部を設けてＸ方向移動、Ｙ方向移動を行っても
良い。この場合は、人が、Ｘ、Ｙのボタンを押し、駆動
部を動作させて移動する方式やレバーにより駆動部を動
作させる方式等がある。

【００１３】Ｘ方向ＬＥＤ配列１９１、Ｙ方向ＬＥＤ配
列１９３は、それぞれ、基板１８０の所定のＸ方向位
置、所定のＹ方向位置に、顕微鏡１２０が位置した時の
み、対応するＸ方向位置にあるＸ方向ＬＥＤ配列１９１
のＬＥＤ、対応するＹ方向位置にあるＹ方向ＬＥＤ配列
１９３のＬＥＤのみを点灯する。尚、所定のＬＥＤを点
灯させる機構としては、図示していないが、例えば、Ｌ
ＥＤがｎ個配列してＬＥＤ列を作っている場合、ｎ番目
のＬＥＤ（Ｌｎとする）に対し、ＬＥＤＬｎの一方を顕
微鏡の位置移動により導通（接続）が決定されるスイッ
チＳＷｎ１と、他方を端末からの座標入力等により接続
が決められるスイッチＳＷｎ２と、点灯用の電源部とを
直列に設けた回路とし、両スイッチＳＷｎ１、ＳＷｎ２
がともに接続状態となるときのみにＬＥＤＬｎが点灯す
るようしても良い。

【００１４】観察するための基板１８０のレビュー装置
１１０への搬入は、図２に示す載置台の観察する基板を
置く面と水平面とのなす角θを略９０度に載置台制御部
１３０で調整して行われる。観察の際には、載置台制御
部１３０により角θを調整して観察に適した所定の角度
θ１として観察が行われる。観察後、載置台制御部１３
０により角θを略９０度に戻し、次の工程へと搬出され
る。前述の通り、レビュー装置１００での基板１８０の
移動はコロ（水平移動部）１１８による。観察に適した
角度θ１は、観察する人の体格等により異なるが、通
常、θ１は６０°以上、９０°未満である。載置台制御
部１３０により、角θが少なくとも６０°〜９０°の範
囲で角度調整できることが好ましい。

【００１５】基板１８０は下側の辺をコロ１１８上に載
せ、観察する面でない裏面を基板支持部１１１で支持す
るようにして固定される。基板支持部１１１は薄く、基
板の裏面が直接、レビュー装置１００の図３に示す１１
２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄからなる基板を置く拡散用シ
ートの面（透明アクリル板１１２Ｂ面）に直接、接しな
いようになっている。載置台の観察する基板を置く面
（透明アクリル板１１２Ｂ面）と水平面とのなす角θを
６０°≦θ＜９０°とするため、コロ１１８へ基板１８
０の重さの大部分がかかる。そして、基板載置台１１０
は、基板支持部１１１により基板１８０の裏面と若干の
隙間設け、相対するようにした状態で、裏面全体に拡散
板（図３の１１２Ｃ）を介して観察光を照射する。尚、
図３に示すように、基板載置台１１０の基板１８０の裏
面全体と相対する側は、蛍光灯１１２Ａからなる光源か
らの光を拡散するために、光源側から順に、拡散アクリ
ル板１１２Ｄ、透明ガラス板１１２Ｃ、透明アクリル板
１１２Ｂを設けた構造としても良いが、特にこれに限定
はされない。尚、コロ１１８を用いて基板１８０をその
上に載せ、水平方向に基板１８０を移動できるようにし
た図３に示す構造の水平移動部に、特に限定はされな
い。

【００１６】このように、基板１８０のレビュー装置１
００への搬入、搬出やレビュー装置１００での基板１８
０の移動に際し、人の負担は殆どなく、大型の基板でも
扱いは容易である。また、レビュー装置１００において
は、顕微鏡１２０と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台１
７０を備えていることにより、観察を作業性の良いもの
としており、必要に応じて修正等の作業もできる。

【００１７】また、レビュー装置１００においては、顕
微鏡１２０のＸ、Ｙ位置を数値表示するＸＹカウンター
１４０を備えており、基板の所定座標を観察する際に
は、観察位置を特定し易いものとしている。

【００１８】更に、レビュー装置１００においては、基
板の顕微鏡像を観察するモニターを備えており、検査工
程で特定された欠陥部等を観察する際には、観察位置の
特定を簡単にしている。

【００１９】次いで、図１に示すレビュー装置１００を
用いて、検査工程にて基板の欠陥部が基板の座標位置に
より特定された基板１８０を観察する場合の動作を１例
として挙げ、図１に基づいて簡単に説明しておく。先
ず、レビュー装置１００の角度θをほぼ９０°（９０度
より若干小さい角度）の状態にし、検査工程にて、欠陥
部箇所（Ｘ、Ｙ位置）が特定されている基板１８０をレ
ビュー装置１００のコロ１１８上に載せて、この上を水
平方向に移動させて所定の位置まで基板１８０を移動さ
せて、図１に示す基板の左右２箇所にある基板支持部１
１１に基板１８０の観察面側でない裏面の一部を置き、
レビュー装置１００と基板との間に隙間を作りながら、
基板１８０を、コロ１１８と該２箇所の基板支持部１１
１にて固定する。次いで、載置台制御部１３０の上下移
動部１２１、角度調整部１３３を調整し、基板面を観察
する人に適した高さ、角度とする。次いで、必要に応じ
て、検査工程の結果に基づき、ＸＹカウンター１４０の
Ｘ値、Ｙ値をたよりに、Ｙ方向駆動部１１３、Ｘ方向駆
動部１１５を駆動させ、顕微鏡１２０をＸ、Ｙ移動さ
せ、所定の位置（欠陥の位置）の近傍点まで運ぶ。次い
で、近傍点まで達したら、顕微鏡１２０のＸ移動のみを
行い、Ｘ方向配列１９１のＬＥＤの点灯する位置で止め
る。更に、このＸ方向位置において、顕微鏡１２０のＹ
移動のみを行い、Ｙ方向配列１９３のＬＥＤの点灯する
位置で止める。Ｘ方向配列１９１のＬＥＤの点灯する位
置、Ｙ方向配列１９３のＬＥＤの点灯する位置に対応す
る顕微鏡の位置が、求める観察位置である。尚、上記に
おいて、顕微鏡をＸＹカウンターをたよりに近傍点まで
移動させる動作を行わず、直接各Ｘ方向配列１９１のＬ
ＥＤの点灯する位置、Ｙ方向配列１９３のＬＥＤの点灯
する位置を求めても良い。また、ＬＥＤの点灯する位置
を求めるのに、顕微鏡をはじめにＹ方向にのみ移動し、
次いでＸ方向にのみ移動しても良いし、Ｘ方向、Ｙ方向
交互に移動しても良い。次いで、顕微鏡像のモニター像
をモニター１５０にて観察しながら、欠陥部を特定す
る。尚、モニターを観る時の顕微鏡の倍率は、欠陥部を
捜すのに適当な倍率としておく。欠陥部をモニターで特
定した後、観察し易い倍率に変え、顕微鏡をみながら観
察作業を行う。このようにして、所定の座標位置の観察
は容易にできる。

【００２０】

【発明の効果】本発明は、上記のように、ＰＤＰ用の基
板等、大型の基板の電極配線の断線、短絡等を観察する
レビュー装置で、基板の大型化に対応でき、且つ、効率
的に、人の姿勢に無理が多くかからないような、大型基
板のレビュー装置の提供を可能としている。特に、ます
ますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電極配線の
形状も多種となるＰＤＰ用の電極配線の断線、短絡の観
察において有効で、結果、ＰＤＰ用の基板の量産に対応
できるものとしている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のレビュー装置の実施の形態の１例を示
した概略平面図

【図２】実施の形態の１例の断面図

【図３】コロ部周辺の拡大断面図

【図４】従来の修正台（レビュー装置）を示した図

【図５】ＰＤＰを説明するための斜視図

【符号の説明】

１００レビュー装置１１０基板載置台１１１基板支持部１１２検査光照射部１１２Ａ蛍光灯１１２Ｂ透明アクリル板１１２Ｃ透明ガラス板１１２Ｄ拡散アクリル板１１３Ｙ方向レール１１４配線収納部１１５Ｘ方向レール１１６配線収納部１１７Ｘ方向移動台１１８コロ（水平移動部）１２０顕微鏡１３０載置台制御部１３１上下移動部１３３角度調整部１４０ＸＹカウンター１５０モニター１７０腕おき台１８０基板１９０ＬＥＤ１９１Ｘ方向ＬＥＤ配列１９３Ｙ方向ＬＥＤ配列４００修正台４１０基板載置台４１３Ｙ方向レール４１４配線収納部４１５Ｘ方向レール４１６配線収納部４１７Ｘ方向移動台４１８コロ（水平移動部）４２０顕微鏡４３０載置台制御部４４０ＸＹカウンター４５０モニター４７０腕おき台４８０基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠
陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所
を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水
平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿う
Ｙ方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察
するための観察装置を備え、且つ、Ｘ方向、Ｙ方向に沿
って、それぞれ、Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向ＬＥＤ配列
を設けたものであって、該Ｘ方向ＬＥＤ配列、Ｙ方向Ｌ
ＥＤ配列は、それぞれ、基板の所定のＸ方向位置、所定
のＹ方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応する
Ｘ方向ＬＥＤ配列のＬＥＤ、対応するＹ方向ＬＥＤ配列
のＬＥＤのみを点灯するものであることを特徴とするレ
ビュー装置。
【請求項２】基板の観察面側でない裏面全体に拡散光
からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を下側に水
平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にした状態で
基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面側を観察
するために、基板載置台上に保持されて、基板の基板面
に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板
面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、基板載置台を保
持して且つ基板載置台の角度および高さを変える載置台
制御部とを備えており、且つ、前記基板載置台は、基板
の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動させる水
平移動部を設けたものであることを特徴とする請求項１
記載のレビュー装置。
【請求項３】請求項１ないし２における水平移動部
は、基板の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数
個のコロないしロール上に載せて移動させるものである
ことを特徴とするレビュー装置。
【請求項４】請求項１ないし３において、基板載置台
は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面全体に
拡散板を介して観察するための観察光を照射するもので
あることを特徴とするレビュー装置。
【請求項５】請求項１ないし４において、基板の顕微
鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とする
レビュー装置。
【請求項６】プラズマディスプレイ用の基板上の電極
配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であ
ることを特徴とする請求項１ないし５記載のレビュー装
置。