JPH11185627A - レビュー装置 - Google Patents
レビュー装置Info
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- JPH11185627A JPH11185627A JP36434397A JP36434397A JPH11185627A JP H11185627 A JPH11185627 A JP H11185627A JP 36434397 A JP36434397 A JP 36434397A JP 36434397 A JP36434397 A JP 36434397A JP H11185627 A JPH11185627 A JP H11185627A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting table
- observation
- microscope
- review
- Prior art date
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を
修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観
察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特
定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供する。 【解決手段】 大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠
陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所
を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水
平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿う
Y方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察
するための観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿
って、それぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列
を設けたものであって、該X方向LED配列、Y方向L
ED配列は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定
のY方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応する
X方向LED配列のLED、対応するY方向LED配列
のLEDのみを点灯するものである。
修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観
察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特
定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供する。 【解決手段】 大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠
陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所
を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水
平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿う
Y方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察
するための観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿
って、それぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列
を設けたものであって、該X方向LED配列、Y方向L
ED配列は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定
のY方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応する
X方向LED配列のLED、対応するY方向LED配列
のLEDのみを点灯するものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、大型基板の電極配
線の断線、短絡等の欠陥を修正する修正台等、大型基板
の所定座標箇所を観察する作業を行うレビュー装置に関
する。特に、プラズマディスプレイ用基板の背面板、前
面板の電極配線等の欠陥の修正を行うためのレビュー装
置に関する。
線の断線、短絡等の欠陥を修正する修正台等、大型基板
の所定座標箇所を観察する作業を行うレビュー装置に関
する。特に、プラズマディスプレイ用基板の背面板、前
面板の電極配線等の欠陥の修正を行うためのレビュー装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、プラズマディスプレイパネル(以
下PDPとも記す)は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が
広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル(PDP)は、2
枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一
対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体と
するガスを封入した構造となっている。そして、これら
の電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放
電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を
行うようにしている。特に情報表示をするためには、規
則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
下PDPとも記す)は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が
広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル(PDP)は、2
枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一
対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体と
するガスを封入した構造となっている。そして、これら
の電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放
電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を
行うようにしている。特に情報表示をするためには、規
則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【0003】ここで、PDPの構成を、図5に示すAC
型PDPの1例を挙げて説明しておく。図5はPDP構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板(ガラス
基板510)、背面板(ガラス基板520)とを実際よ
り離して示してある。図5に示すように、2枚のガラス
基板510、520が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板520上に互
いに平行に設けられた障壁(セル障壁とも言う)530
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板510の背面側には、放電維持電極である透明
電極540とバス電極である金属電極550とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層560が形成されており、更にその上に保護層
(MgO層)570が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板520の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁530間に位置してアドレス電極580
が互いに平行に形成されており、更に障壁530の壁面
とセル底面を覆うように螢光面590が設けられてい
る。障壁530は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このAC型PDPは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体590を 発光させ、前面板を透過す
る光を観察者が視認できるものである。なお、DC型P
DPにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構
造を有する点でAC型と相違するが、その放電効果は同
じである。また、図5に示すものは、ガラス基板520
の一面に下地層567を設けその上に誘電体層565を
設けた構造となっているが、下地層567、誘電体層5
65は必ずしも必要としない。
型PDPの1例を挙げて説明しておく。図5はPDP構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板(ガラス
基板510)、背面板(ガラス基板520)とを実際よ
り離して示してある。図5に示すように、2枚のガラス
基板510、520が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板520上に互
いに平行に設けられた障壁(セル障壁とも言う)530
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板510の背面側には、放電維持電極である透明
電極540とバス電極である金属電極550とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層560が形成されており、更にその上に保護層
(MgO層)570が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板520の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁530間に位置してアドレス電極580
が互いに平行に形成されており、更に障壁530の壁面
とセル底面を覆うように螢光面590が設けられてい
る。障壁530は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このAC型PDPは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体590を 発光させ、前面板を透過す
る光を観察者が視認できるものである。なお、DC型P
DPにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構
造を有する点でAC型と相違するが、その放電効果は同
じである。また、図5に示すものは、ガラス基板520
の一面に下地層567を設けその上に誘電体層565を
設けた構造となっているが、下地層567、誘電体層5
65は必ずしも必要としない。
【0004】このようなプラズマディスプレイ(PD
P)用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い
為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各
種検査が行われている。中でも背面板、前面板の最終的
な品質を保証するものとして電極配線断線、短絡の検査
は不可欠である。電極配線の断線、短絡の検査は、各配
線について、断線が有るか否か、隣接する配線と短絡が
有るか否かを、それぞれ各配線について調べるもので、
基本的には、所定の2箇所間に電圧をかけて、その間で
の導通の有無を確認する操作を、同一配線内および隣接
する2配線において行うもので、検査対象の全ての配線
についてこの操作を行う。
P)用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い
為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各
種検査が行われている。中でも背面板、前面板の最終的
な品質を保証するものとして電極配線断線、短絡の検査
は不可欠である。電極配線の断線、短絡の検査は、各配
線について、断線が有るか否か、隣接する配線と短絡が
有るか否かを、それぞれ各配線について調べるもので、
基本的には、所定の2箇所間に電圧をかけて、その間で
の導通の有無を確認する操作を、同一配線内および隣接
する2配線において行うもので、検査対象の全ての配線
についてこの操作を行う。
【0005】電極配線の断線、短絡の検査の結果、不良
箇所と判断した場合には、修正できるものについては、
不良箇所を修正する修正作業が行われる。修正作業に対
しては、図4に示すような修正台400(レビュー装置
でもある)が本願発明者により提案されている。図5に
示す修正台400(レビュー装置)は、大型基板の電極
配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であ
って、基板の修正箇所を観察するレビュー装置でもあ
る。修正台(レビュー装置)400は、基板480の修
正面側でない裏面全体に拡散光からなる観察光を照射
し、且つ、基板480の一辺を下側に水平方向に沿わ
せ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板を載せて
置く基板載置台410と、基板480の修正面側を観察
するために、基板載置台410上に保持されて、基板の
基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交し
て基板面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡420と、基
板載置台410を保持して且つ基板載置台410の角度
および高さを変える載置台制御部430とを備えたもの
で、基板載置台410は、基板480の下側の一辺を水
平方向に沿わせて基板480を移動させるコロ(水平移
動部)418を設けたもので、基板480のX方向位
置、Y方向の位置を示すX、Yカウンター440を有し
ている。即ち、修正台(レビュー装置)400において
は、基板480の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板
面を水平面に対し斜めないし垂直に近い状態で基板を載
せて置くことにより、人が修正する際、基板480の観
察や修正を無理のない姿勢で行えるものとしており、基
板480の大型化にも対応できるものとしている。そし
て、基板載置台410を保持し、且つ基板載置台410
の角度および高さを変える載置台制御部430を備えて
いることにより、また、基板480の下側の一辺を水平
方向に沿わせて基板480を移動させるコロ(水平移動
部)418を備えていることにより、基板480の、位
置移動、運搬を容易に行えるものとしている。このよう
に、修正台(レビュー装置)400は、基板の大型化に
対応でき、且つ、効率的に、人の姿勢に無理が多くかか
らないような、大型基板の観察を可能としている。この
修正台(レビュー装置)400においては、修正箇所を
特定するのに、X、Yカウンター440の値をたよりに
人が顕微鏡420をX方向、Y方向に動かしてその位置
を決め、その位置において顕微鏡420ないしモニター
450にて精確に欠陥箇所を観察するもので、修正箇
所、即ち観察箇所の特定にX、Yのカウンター値を見な
がら顕微鏡を動かすという作業が不可欠である。このた
め、観察箇所の特定に人の負担が多く、観察箇所が多数
ある場合には作業性の低下につながっていた。
箇所と判断した場合には、修正できるものについては、
不良箇所を修正する修正作業が行われる。修正作業に対
しては、図4に示すような修正台400(レビュー装置
でもある)が本願発明者により提案されている。図5に
示す修正台400(レビュー装置)は、大型基板の電極
配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であ
って、基板の修正箇所を観察するレビュー装置でもあ
る。修正台(レビュー装置)400は、基板480の修
正面側でない裏面全体に拡散光からなる観察光を照射
し、且つ、基板480の一辺を下側に水平方向に沿わ
せ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板を載せて
置く基板載置台410と、基板480の修正面側を観察
するために、基板載置台410上に保持されて、基板の
基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交し
て基板面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡420と、基
板載置台410を保持して且つ基板載置台410の角度
および高さを変える載置台制御部430とを備えたもの
で、基板載置台410は、基板480の下側の一辺を水
平方向に沿わせて基板480を移動させるコロ(水平移
動部)418を設けたもので、基板480のX方向位
置、Y方向の位置を示すX、Yカウンター440を有し
ている。即ち、修正台(レビュー装置)400において
は、基板480の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板
面を水平面に対し斜めないし垂直に近い状態で基板を載
せて置くことにより、人が修正する際、基板480の観
察や修正を無理のない姿勢で行えるものとしており、基
板480の大型化にも対応できるものとしている。そし
て、基板載置台410を保持し、且つ基板載置台410
の角度および高さを変える載置台制御部430を備えて
いることにより、また、基板480の下側の一辺を水平
方向に沿わせて基板480を移動させるコロ(水平移動
部)418を備えていることにより、基板480の、位
置移動、運搬を容易に行えるものとしている。このよう
に、修正台(レビュー装置)400は、基板の大型化に
対応でき、且つ、効率的に、人の姿勢に無理が多くかか
らないような、大型基板の観察を可能としている。この
修正台(レビュー装置)400においては、修正箇所を
特定するのに、X、Yカウンター440の値をたよりに
人が顕微鏡420をX方向、Y方向に動かしてその位置
を決め、その位置において顕微鏡420ないしモニター
450にて精確に欠陥箇所を観察するもので、修正箇
所、即ち観察箇所の特定にX、Yのカウンター値を見な
がら顕微鏡を動かすという作業が不可欠である。このた
め、観察箇所の特定に人の負担が多く、観察箇所が多数
ある場合には作業性の低下につながっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、図4に
示す、PDP用の基板等、大型の基板の電極配線の断
線、短絡等を修正する修正台(レビュー装置でもある)
は、作業する人の上半身はほぼ立った状態で修正できる
もので人の姿勢に無理が多くかからなく、基板の扱いも
楽で、基板の大型化に対応できるが、検査工程にて得ら
れた欠陥箇所等の、観察箇所を特定する作業が効率的で
なく問題となっていた。本発明は、これに対応するため
のもので、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を
修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観
察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特
定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供しよう
とするものである。
示す、PDP用の基板等、大型の基板の電極配線の断
線、短絡等を修正する修正台(レビュー装置でもある)
は、作業する人の上半身はほぼ立った状態で修正できる
もので人の姿勢に無理が多くかからなく、基板の扱いも
楽で、基板の大型化に対応できるが、検査工程にて得ら
れた欠陥箇所等の、観察箇所を特定する作業が効率的で
なく問題となっていた。本発明は、これに対応するため
のもので、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を
修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観
察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特
定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供しよう
とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のレビュー装置
は、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正す
るための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する
作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であ
るX方向と、X方向に直交して基板面に沿うY方向に移
動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための
観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それ
ぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたも
のであって、該X方向LED配列、Y方向LED配列
は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定のY方向
位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するX方向L
ED配列のLED、対応するY方向LED配列のLED
のみを点灯すものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、基板の観察面側でない裏面全体
に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を
下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にし
た状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面
側を観察するために、基板載置台上に保持されて、基板
の基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交
して基板面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡と、基板載
置台を保持して且つ基板載置台の角度および高さを変え
る載置台制御部とを備えており、且つ、前記基板載置台
は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動
させる水平移動部を設けたものであることを特徴とする
ものである。そして、上記における水平移動部は、基板
の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロ
ないしロール上に載せて移動させるものであることを特
徴とするものである。そしてまた、上記において、基板
載置台は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面
全体に拡散板を介して観察するための観察光を照射する
ものであることを特徴とするものである。また、上記に
おいて、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えてい
ることを特徴とするものである。また、プラズマディス
プレイ用の基板上の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修
正するための修正台に適用された場合には、特に有効で
ある。
は、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正す
るための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する
作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であ
るX方向と、X方向に直交して基板面に沿うY方向に移
動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための
観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それ
ぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたも
のであって、該X方向LED配列、Y方向LED配列
は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定のY方向
位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するX方向L
ED配列のLED、対応するY方向LED配列のLED
のみを点灯すものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、基板の観察面側でない裏面全体
に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を
下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にし
た状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面
側を観察するために、基板載置台上に保持されて、基板
の基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交
して基板面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡と、基板載
置台を保持して且つ基板載置台の角度および高さを変え
る載置台制御部とを備えており、且つ、前記基板載置台
は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動
させる水平移動部を設けたものであることを特徴とする
ものである。そして、上記における水平移動部は、基板
の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロ
ないしロール上に載せて移動させるものであることを特
徴とするものである。そしてまた、上記において、基板
載置台は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面
全体に拡散板を介して観察するための観察光を照射する
ものであることを特徴とするものである。また、上記に
おいて、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えてい
ることを特徴とするものである。また、プラズマディス
プレイ用の基板上の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修
正するための修正台に適用された場合には、特に有効で
ある。
【0008】
【作用】本発明のレビュー装置は、このような構成する
ことにより、これに対応するためのもので、大型基板の
電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正するための修正台
等、大型基板の所定座標箇所を観察する作業を行うレビ
ュー装置で、基板の観察箇所を特定する作業を効率的に
できるレビュー装置の提供を可能としている。具体的に
は、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正す
るための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する
作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であ
るX方向と、X方向に直交して基板面に沿うY方向に移
動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための
観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それ
ぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたも
のであって、該X方向LED配列、Y方向LED配列
は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定のY方向
位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するX方向L
ED配列のLED、対応するY方向LED配列のLED
のみを点灯するものであることにより、これを達成して
いる。即ち、観察箇所を特定するのに、X、Yカウンタ
ーの値のみをたよりにする必要はなく、LED配列の点
灯する箇所を捜すことで、その位置を決め、その位置に
おいて顕微鏡20ないしモニターにて精確に欠陥箇所を
特定できるものとしており、図4に示す修正台(レビュ
ー装置)400に比べ、観察する箇所を特定するのに、
人の負担が少なくてすみ、観察箇所が多数ある場合にも
効率的に作業ができる。
ことにより、これに対応するためのもので、大型基板の
電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正するための修正台
等、大型基板の所定座標箇所を観察する作業を行うレビ
ュー装置で、基板の観察箇所を特定する作業を効率的に
できるレビュー装置の提供を可能としている。具体的に
は、大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正す
るための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する
作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であ
るX方向と、X方向に直交して基板面に沿うY方向に移
動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための
観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それ
ぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたも
のであって、該X方向LED配列、Y方向LED配列
は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定のY方向
位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するX方向L
ED配列のLED、対応するY方向LED配列のLED
のみを点灯するものであることにより、これを達成して
いる。即ち、観察箇所を特定するのに、X、Yカウンタ
ーの値のみをたよりにする必要はなく、LED配列の点
灯する箇所を捜すことで、その位置を決め、その位置に
おいて顕微鏡20ないしモニターにて精確に欠陥箇所を
特定できるものとしており、図4に示す修正台(レビュ
ー装置)400に比べ、観察する箇所を特定するのに、
人の負担が少なくてすみ、観察箇所が多数ある場合にも
効率的に作業ができる。
【0009】更に具体的には、基板の観察面側でない裏
面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の
一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂
直にした状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の
修正面側を観察するために、基板載置台上に保持され
て、基板の基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方
向に直交して基板面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡
と、基板載置台を保持して且つ基板載置台の角度および
高さを変える載置台制御部とを備えており、且つ、前記
基板載置台は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて
基板を移動させる水平移動部を設けたものであることに
より、PDPの基板のような大型の基板にも対応できる
ものとしており、観察する際に人の姿勢に無理がかから
ないようにできる。更に、前記水平移動部は、基板の一
辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロない
しロール上に載せて移動させるものであることにより、
また、前記基板載置台は、基板の観察面側でない裏面全
体に接し、裏面全体に拡散板を介して観察するための観
察光を照射するものであることにより、全体の構成を比
較的簡単なものとしている。また、基板の顕微鏡像を観
察するモニターを備えていることにより、顕微鏡倍率を
変えて、欠陥位置を特定し易いものとしている。
面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の
一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂
直にした状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の
修正面側を観察するために、基板載置台上に保持され
て、基板の基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方
向に直交して基板面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡
と、基板載置台を保持して且つ基板載置台の角度および
高さを変える載置台制御部とを備えており、且つ、前記
基板載置台は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて
基板を移動させる水平移動部を設けたものであることに
より、PDPの基板のような大型の基板にも対応できる
ものとしており、観察する際に人の姿勢に無理がかから
ないようにできる。更に、前記水平移動部は、基板の一
辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロない
しロール上に載せて移動させるものであることにより、
また、前記基板載置台は、基板の観察面側でない裏面全
体に接し、裏面全体に拡散板を介して観察するための観
察光を照射するものであることにより、全体の構成を比
較的簡単なものとしている。また、基板の顕微鏡像を観
察するモニターを備えていることにより、顕微鏡倍率を
変えて、欠陥位置を特定し易いものとしている。
【0010】尚、本発明のレビュー装置は、大型のプラ
ズマディスプレイ用の基板上の電極配線の断線、短絡等
の欠陥を修正するため修正台に用いられる場合には、特
に有効である。
ズマディスプレイ用の基板上の電極配線の断線、短絡等
の欠陥を修正するため修正台に用いられる場合には、特
に有効である。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明のレビュー装置の実施の形
態の1例を図に基づいて説明する。図1は実施の形態の
1例の概略平面図で、図2は図1のA1−A2からみた
断面図で、図3は図1のA3−A4からみたコロ部(水
平移動部)周辺の拡大図である。図1中、100はレビ
ュー装置、110は基板載置台、111は基板支持部、
112は検査光照射部、112Aは蛍光灯、112Bは
透明アクリル板、112Cは透明ガラス板、112Dは
拡散アクリル板、113はY方向レール、114は配線
収納部、115はX方向レール、116は配線収納部、
117はY方向移動台、118はコロ(水平移動部)、
120は顕微鏡、130は載置台制御部、131は上下
移動部、133は角度調整部、140はXYカウンタ
ー、150はモニター、170は腕おき台、180は基
板、190はLED、191はX方向LED配列、19
3はY方向LED配列である。尚、X方向とは水平方
向、且つ載置台の観察する基板を置く面に沿う方向で、
Y方向とはX方向と直交して載置台の観察する基板を置
く面に沿う方向、即ち観察するために載置台置かれた基
板の面に略沿う方向である。ここでは観察する基板面と
載置台の観察する基板を置く面(図3の112B、11
2C、112Dからなる面)とは略平行であるため、X
方向とは水平方向、且つ基板面に沿う方向、Y方向とは
該X方向に直交して基板面に沿う方向と定義しても良
い。図1、図2に示すレビュー装置100は、PDP用
の背面基板、前面板等、大型基板の電極配線の断線、短
絡等の欠陥を観察するためのレビュー装置で、基板面に
沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面
に沿うY方向に移動可能な、基板面を観察するための顕
微鏡を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それぞ
れ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたもの
である。そして、必要に応じ観察しながら欠陥部の修正
等の作業を行うことができる装置である。また、レビュ
ー装置100は、基板180の観察面側でない裏面全体
に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板180の
一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂
直にした状態で基板180を載せて置く基板載置台11
0と、基板180の観察面側を観察するために、基板載
置台110上に保持されて、基板180の基板面に沿う
水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿
うY方向に移動可能な顕微鏡120と、基板面の角度お
よび高さを変えるための、基板載置台110を保持し且
つ基板載置台110の角度および高さを変える載置台制
御部130とを備えたもので、基板載置部110は、基
板の下側の一辺をその上に載せ、水平方向に沿わせて基
板を移動させる複数個のコロ(水平移動部)118を設
けている。
態の1例を図に基づいて説明する。図1は実施の形態の
1例の概略平面図で、図2は図1のA1−A2からみた
断面図で、図3は図1のA3−A4からみたコロ部(水
平移動部)周辺の拡大図である。図1中、100はレビ
ュー装置、110は基板載置台、111は基板支持部、
112は検査光照射部、112Aは蛍光灯、112Bは
透明アクリル板、112Cは透明ガラス板、112Dは
拡散アクリル板、113はY方向レール、114は配線
収納部、115はX方向レール、116は配線収納部、
117はY方向移動台、118はコロ(水平移動部)、
120は顕微鏡、130は載置台制御部、131は上下
移動部、133は角度調整部、140はXYカウンタ
ー、150はモニター、170は腕おき台、180は基
板、190はLED、191はX方向LED配列、19
3はY方向LED配列である。尚、X方向とは水平方
向、且つ載置台の観察する基板を置く面に沿う方向で、
Y方向とはX方向と直交して載置台の観察する基板を置
く面に沿う方向、即ち観察するために載置台置かれた基
板の面に略沿う方向である。ここでは観察する基板面と
載置台の観察する基板を置く面(図3の112B、11
2C、112Dからなる面)とは略平行であるため、X
方向とは水平方向、且つ基板面に沿う方向、Y方向とは
該X方向に直交して基板面に沿う方向と定義しても良
い。図1、図2に示すレビュー装置100は、PDP用
の背面基板、前面板等、大型基板の電極配線の断線、短
絡等の欠陥を観察するためのレビュー装置で、基板面に
沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面
に沿うY方向に移動可能な、基板面を観察するための顕
微鏡を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それぞ
れ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたもの
である。そして、必要に応じ観察しながら欠陥部の修正
等の作業を行うことができる装置である。また、レビュ
ー装置100は、基板180の観察面側でない裏面全体
に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板180の
一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂
直にした状態で基板180を載せて置く基板載置台11
0と、基板180の観察面側を観察するために、基板載
置台110上に保持されて、基板180の基板面に沿う
水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿
うY方向に移動可能な顕微鏡120と、基板面の角度お
よび高さを変えるための、基板載置台110を保持し且
つ基板載置台110の角度および高さを変える載置台制
御部130とを備えたもので、基板載置部110は、基
板の下側の一辺をその上に載せ、水平方向に沿わせて基
板を移動させる複数個のコロ(水平移動部)118を設
けている。
【0012】レビュー装置100においては、顕微鏡1
20をX移動させるためのX方向レール115、および
顕微鏡120と前記X方向レール115とを載せたY方
向移動台117をY移動させるためのY方向レール11
3を基板載置台110上に設けている。顕微鏡120
は、X方向レール115に沿い移動でき、Y方向移動台
117は、X方向レール115、顕微鏡120をその上
に載せて一体として、図1の左右に示す2個のY方向レ
ール113に沿い移動できる。即ち、顕微鏡120は、
X、Yの両方向に移動ができる。尚、図1、図2に示す
X方向移動、Y方向移動は手動により行われるが、勿
論、駆動部を設けてX方向移動、Y方向移動を行っても
良い。この場合は、人が、X、Yのボタンを押し、駆動
部を動作させて移動する方式やレバーにより駆動部を動
作させる方式等がある。
20をX移動させるためのX方向レール115、および
顕微鏡120と前記X方向レール115とを載せたY方
向移動台117をY移動させるためのY方向レール11
3を基板載置台110上に設けている。顕微鏡120
は、X方向レール115に沿い移動でき、Y方向移動台
117は、X方向レール115、顕微鏡120をその上
に載せて一体として、図1の左右に示す2個のY方向レ
ール113に沿い移動できる。即ち、顕微鏡120は、
X、Yの両方向に移動ができる。尚、図1、図2に示す
X方向移動、Y方向移動は手動により行われるが、勿
論、駆動部を設けてX方向移動、Y方向移動を行っても
良い。この場合は、人が、X、Yのボタンを押し、駆動
部を動作させて移動する方式やレバーにより駆動部を動
作させる方式等がある。
【0013】X方向LED配列191、Y方向LED配
列193は、それぞれ、基板180の所定のX方向位
置、所定のY方向位置に、顕微鏡120が位置した時の
み、対応するX方向位置にあるX方向LED配列191
のLED、対応するY方向位置にあるY方向LED配列
193のLEDのみを点灯する。尚、所定のLEDを点
灯させる機構としては、図示していないが、例えば、L
EDがn個配列してLED列を作っている場合、n番目
のLED(Lnとする)に対し、LEDLnの一方を顕
微鏡の位置移動により導通(接続)が決定されるスイッ
チSWn1と、他方を端末からの座標入力等により接続
が決められるスイッチSWn2と、点灯用の電源部とを
直列に設けた回路とし、両スイッチSWn1、SWn2
がともに接続状態となるときのみにLEDLnが点灯す
るようしても良い。
列193は、それぞれ、基板180の所定のX方向位
置、所定のY方向位置に、顕微鏡120が位置した時の
み、対応するX方向位置にあるX方向LED配列191
のLED、対応するY方向位置にあるY方向LED配列
193のLEDのみを点灯する。尚、所定のLEDを点
灯させる機構としては、図示していないが、例えば、L
EDがn個配列してLED列を作っている場合、n番目
のLED(Lnとする)に対し、LEDLnの一方を顕
微鏡の位置移動により導通(接続)が決定されるスイッ
チSWn1と、他方を端末からの座標入力等により接続
が決められるスイッチSWn2と、点灯用の電源部とを
直列に設けた回路とし、両スイッチSWn1、SWn2
がともに接続状態となるときのみにLEDLnが点灯す
るようしても良い。
【0014】観察するための基板180のレビュー装置
110への搬入は、図2に示す載置台の観察する基板を
置く面と水平面とのなす角θを略90度に載置台制御部
130で調整して行われる。観察の際には、載置台制御
部130により角θを調整して観察に適した所定の角度
θ1として観察が行われる。観察後、載置台制御部13
0により角θを略90度に戻し、次の工程へと搬出され
る。前述の通り、レビュー装置100での基板180の
移動はコロ(水平移動部)118による。観察に適した
角度θ1は、観察する人の体格等により異なるが、通
常、θ1は60°以上、90°未満である。載置台制御
部130により、角θが少なくとも60°〜90°の範
囲で角度調整できることが好ましい。
110への搬入は、図2に示す載置台の観察する基板を
置く面と水平面とのなす角θを略90度に載置台制御部
130で調整して行われる。観察の際には、載置台制御
部130により角θを調整して観察に適した所定の角度
θ1として観察が行われる。観察後、載置台制御部13
0により角θを略90度に戻し、次の工程へと搬出され
る。前述の通り、レビュー装置100での基板180の
移動はコロ(水平移動部)118による。観察に適した
角度θ1は、観察する人の体格等により異なるが、通
常、θ1は60°以上、90°未満である。載置台制御
部130により、角θが少なくとも60°〜90°の範
囲で角度調整できることが好ましい。
【0015】基板180は下側の辺をコロ118上に載
せ、観察する面でない裏面を基板支持部111で支持す
るようにして固定される。基板支持部111は薄く、基
板の裏面が直接、レビュー装置100の図3に示す11
2B、112C、112Dからなる基板を置く拡散用シ
ートの面(透明アクリル板112B面)に直接、接しな
いようになっている。載置台の観察する基板を置く面
(透明アクリル板112B面)と水平面とのなす角θを
60°≦θ<90°とするため、コロ118へ基板18
0の重さの大部分がかかる。そして、基板載置台110
は、基板支持部111により基板180の裏面と若干の
隙間設け、相対するようにした状態で、裏面全体に拡散
板(図3の112C)を介して観察光を照射する。尚、
図3に示すように、基板載置台110の基板180の裏
面全体と相対する側は、蛍光灯112Aからなる光源か
らの光を拡散するために、光源側から順に、拡散アクリ
ル板112D、透明ガラス板112C、透明アクリル板
112Bを設けた構造としても良いが、特にこれに限定
はされない。尚、コロ118を用いて基板180をその
上に載せ、水平方向に基板180を移動できるようにし
た図3に示す構造の水平移動部に、特に限定はされな
い。
せ、観察する面でない裏面を基板支持部111で支持す
るようにして固定される。基板支持部111は薄く、基
板の裏面が直接、レビュー装置100の図3に示す11
2B、112C、112Dからなる基板を置く拡散用シ
ートの面(透明アクリル板112B面)に直接、接しな
いようになっている。載置台の観察する基板を置く面
(透明アクリル板112B面)と水平面とのなす角θを
60°≦θ<90°とするため、コロ118へ基板18
0の重さの大部分がかかる。そして、基板載置台110
は、基板支持部111により基板180の裏面と若干の
隙間設け、相対するようにした状態で、裏面全体に拡散
板(図3の112C)を介して観察光を照射する。尚、
図3に示すように、基板載置台110の基板180の裏
面全体と相対する側は、蛍光灯112Aからなる光源か
らの光を拡散するために、光源側から順に、拡散アクリ
ル板112D、透明ガラス板112C、透明アクリル板
112Bを設けた構造としても良いが、特にこれに限定
はされない。尚、コロ118を用いて基板180をその
上に載せ、水平方向に基板180を移動できるようにし
た図3に示す構造の水平移動部に、特に限定はされな
い。
【0016】このように、基板180のレビュー装置1
00への搬入、搬出やレビュー装置100での基板18
0の移動に際し、人の負担は殆どなく、大型の基板でも
扱いは容易である。また、レビュー装置100において
は、顕微鏡120と一体でX、Y移動する、腕おき台1
70を備えていることにより、観察を作業性の良いもの
としており、必要に応じて修正等の作業もできる。
00への搬入、搬出やレビュー装置100での基板18
0の移動に際し、人の負担は殆どなく、大型の基板でも
扱いは容易である。また、レビュー装置100において
は、顕微鏡120と一体でX、Y移動する、腕おき台1
70を備えていることにより、観察を作業性の良いもの
としており、必要に応じて修正等の作業もできる。
【0017】また、レビュー装置100においては、顕
微鏡120のX、Y位置を数値表示するXYカウンター
140を備えており、基板の所定座標を観察する際に
は、観察位置を特定し易いものとしている。
微鏡120のX、Y位置を数値表示するXYカウンター
140を備えており、基板の所定座標を観察する際に
は、観察位置を特定し易いものとしている。
【0018】更に、レビュー装置100においては、基
板の顕微鏡像を観察するモニターを備えており、検査工
程で特定された欠陥部等を観察する際には、観察位置の
特定を簡単にしている。
板の顕微鏡像を観察するモニターを備えており、検査工
程で特定された欠陥部等を観察する際には、観察位置の
特定を簡単にしている。
【0019】次いで、図1に示すレビュー装置100を
用いて、検査工程にて基板の欠陥部が基板の座標位置に
より特定された基板180を観察する場合の動作を1例
として挙げ、図1に基づいて簡単に説明しておく。先
ず、レビュー装置100の角度θをほぼ90°(90度
より若干小さい角度)の状態にし、検査工程にて、欠陥
部箇所(X、Y位置)が特定されている基板180をレ
ビュー装置100のコロ118上に載せて、この上を水
平方向に移動させて所定の位置まで基板180を移動さ
せて、図1に示す基板の左右2箇所にある基板支持部1
11に基板180の観察面側でない裏面の一部を置き、
レビュー装置100と基板との間に隙間を作りながら、
基板180を、コロ118と該2箇所の基板支持部11
1にて固定する。次いで、載置台制御部130の上下移
動部121、角度調整部133を調整し、基板面を観察
する人に適した高さ、角度とする。次いで、必要に応じ
て、検査工程の結果に基づき、XYカウンター140の
X値、Y値をたよりに、Y方向駆動部113、X方向駆
動部115を駆動させ、顕微鏡120をX、Y移動さ
せ、所定の位置(欠陥の位置)の近傍点まで運ぶ。次い
で、近傍点まで達したら、顕微鏡120のX移動のみを
行い、X方向配列191のLEDの点灯する位置で止め
る。更に、このX方向位置において、顕微鏡120のY
移動のみを行い、Y方向配列193のLEDの点灯する
位置で止める。X方向配列191のLEDの点灯する位
置、Y方向配列193のLEDの点灯する位置に対応す
る顕微鏡の位置が、求める観察位置である。尚、上記に
おいて、顕微鏡をXYカウンターをたよりに近傍点まで
移動させる動作を行わず、直接各X方向配列191のL
EDの点灯する位置、Y方向配列193のLEDの点灯
する位置を求めても良い。また、LEDの点灯する位置
を求めるのに、顕微鏡をはじめにY方向にのみ移動し、
次いでX方向にのみ移動しても良いし、X方向、Y方向
交互に移動しても良い。次いで、顕微鏡像のモニター像
をモニター150にて観察しながら、欠陥部を特定す
る。尚、モニターを観る時の顕微鏡の倍率は、欠陥部を
捜すのに適当な倍率としておく。欠陥部をモニターで特
定した後、観察し易い倍率に変え、顕微鏡をみながら観
察作業を行う。このようにして、所定の座標位置の観察
は容易にできる。
用いて、検査工程にて基板の欠陥部が基板の座標位置に
より特定された基板180を観察する場合の動作を1例
として挙げ、図1に基づいて簡単に説明しておく。先
ず、レビュー装置100の角度θをほぼ90°(90度
より若干小さい角度)の状態にし、検査工程にて、欠陥
部箇所(X、Y位置)が特定されている基板180をレ
ビュー装置100のコロ118上に載せて、この上を水
平方向に移動させて所定の位置まで基板180を移動さ
せて、図1に示す基板の左右2箇所にある基板支持部1
11に基板180の観察面側でない裏面の一部を置き、
レビュー装置100と基板との間に隙間を作りながら、
基板180を、コロ118と該2箇所の基板支持部11
1にて固定する。次いで、載置台制御部130の上下移
動部121、角度調整部133を調整し、基板面を観察
する人に適した高さ、角度とする。次いで、必要に応じ
て、検査工程の結果に基づき、XYカウンター140の
X値、Y値をたよりに、Y方向駆動部113、X方向駆
動部115を駆動させ、顕微鏡120をX、Y移動さ
せ、所定の位置(欠陥の位置)の近傍点まで運ぶ。次い
で、近傍点まで達したら、顕微鏡120のX移動のみを
行い、X方向配列191のLEDの点灯する位置で止め
る。更に、このX方向位置において、顕微鏡120のY
移動のみを行い、Y方向配列193のLEDの点灯する
位置で止める。X方向配列191のLEDの点灯する位
置、Y方向配列193のLEDの点灯する位置に対応す
る顕微鏡の位置が、求める観察位置である。尚、上記に
おいて、顕微鏡をXYカウンターをたよりに近傍点まで
移動させる動作を行わず、直接各X方向配列191のL
EDの点灯する位置、Y方向配列193のLEDの点灯
する位置を求めても良い。また、LEDの点灯する位置
を求めるのに、顕微鏡をはじめにY方向にのみ移動し、
次いでX方向にのみ移動しても良いし、X方向、Y方向
交互に移動しても良い。次いで、顕微鏡像のモニター像
をモニター150にて観察しながら、欠陥部を特定す
る。尚、モニターを観る時の顕微鏡の倍率は、欠陥部を
捜すのに適当な倍率としておく。欠陥部をモニターで特
定した後、観察し易い倍率に変え、顕微鏡をみながら観
察作業を行う。このようにして、所定の座標位置の観察
は容易にできる。
【0020】
【発明の効果】本発明は、上記のように、PDP用の基
板等、大型の基板の電極配線の断線、短絡等を観察する
レビュー装置で、基板の大型化に対応でき、且つ、効率
的に、人の姿勢に無理が多くかからないような、大型基
板のレビュー装置の提供を可能としている。特に、ます
ますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電極配線の
形状も多種となるPDP用の電極配線の断線、短絡の観
察において有効で、結果、PDP用の基板の量産に対応
できるものとしている。
板等、大型の基板の電極配線の断線、短絡等を観察する
レビュー装置で、基板の大型化に対応でき、且つ、効率
的に、人の姿勢に無理が多くかからないような、大型基
板のレビュー装置の提供を可能としている。特に、ます
ますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電極配線の
形状も多種となるPDP用の電極配線の断線、短絡の観
察において有効で、結果、PDP用の基板の量産に対応
できるものとしている。
【図1】本発明のレビュー装置の実施の形態の1例を示
した概略平面図
した概略平面図
【図2】実施の形態の1例の断面図
【図3】コロ部周辺の拡大断面図
【図4】従来の修正台(レビュー装置)を示した図
【図5】PDPを説明するための斜視図
100 レビュー装置 110 基板載置台 111 基板支持部 112 検査光照射部 112A 蛍光灯 112B 透明アクリル板 112C 透明ガラス板 112D 拡散アクリル板 113 Y方向レール 114 配線収納部 115 X方向レール 116 配線収納部 117 X方向移動台 118 コロ(水平移動部) 120 顕微鏡 130 載置台制御部 131 上下移動部 133 角度調整部 140 XYカウンター 150 モニター 170 腕おき台 180 基板 190 LED 191 X方向LED配列 193 Y方向LED配列 400 修正台 410 基板載置台 413 Y方向レール 414 配線収納部 415 X方向レール 416 配線収納部 417 X方向移動台 418 コロ(水平移動部) 420 顕微鏡 430 載置台制御部 440 XYカウンター 450 モニター 470 腕おき台 480 基板
Claims (6)
- 【請求項1】 大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠
陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所
を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水
平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿う
Y方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察
するための観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿
って、それぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列
を設けたものであって、該X方向LED配列、Y方向L
ED配列は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定
のY方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応する
X方向LED配列のLED、対応するY方向LED配列
のLEDのみを点灯するものであることを特徴とするレ
ビュー装置。 - 【請求項2】 基板の観察面側でない裏面全体に拡散光
からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を下側に水
平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にした状態で
基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面側を観察
するために、基板載置台上に保持されて、基板の基板面
に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板
面に沿うY方向に移動可能な顕微鏡と、基板載置台を保
持して且つ基板載置台の角度および高さを変える載置台
制御部とを備えており、且つ、前記基板載置台は、基板
の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動させる水
平移動部を設けたものであることを特徴とする請求項1
記載のレビュー装置。 - 【請求項3】 請求項1ないし2における水平移動部
は、基板の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数
個のコロないしロール上に載せて移動させるものである
ことを特徴とするレビュー装置。 - 【請求項4】 請求項1ないし3において、基板載置台
は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面全体に
拡散板を介して観察するための観察光を照射するもので
あることを特徴とするレビュー装置。 - 【請求項5】 請求項1ないし4において、基板の顕微
鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とする
レビュー装置。 - 【請求項6】 プラズマディスプレイ用の基板上の電極
配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であ
ることを特徴とする請求項1ないし5記載のレビュー装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36434397A JPH11185627A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | レビュー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36434397A JPH11185627A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | レビュー装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11185627A true JPH11185627A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18481588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36434397A Withdrawn JPH11185627A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | レビュー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11185627A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1997
- 1997-12-19 JP JP36434397A patent/JPH11185627A/ja not_active Withdrawn
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