JPH11176557A - イオン発生装置用放電電極 - Google Patents
イオン発生装置用放電電極Info
- Publication number
- JPH11176557A JPH11176557A JP34235097A JP34235097A JPH11176557A JP H11176557 A JPH11176557 A JP H11176557A JP 34235097 A JP34235097 A JP 34235097A JP 34235097 A JP34235097 A JP 34235097A JP H11176557 A JPH11176557 A JP H11176557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge needle
- pipe
- insulator pipe
- blowout hole
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
トが高く、また、イオン搬送効率が悪かったため、除電
効果が低かった。更に、吹出孔の近傍に発生するオゾン
により、絶縁体パイプが劣化するおそれがあった。 【解決手段】 絶縁体パイプ3の内径を、放電針2の先
端方向に向かうに従って狭く形成すると共に、放電針2
の最先端部を、絶縁体パイプ3の先端面と同一平面上又
は当該先端面より被除電物側に突出して配置する。ま
た、絶縁体パイプ3の少なくとも吹出孔の近傍を、シリ
コン等の無機物質により形成する。
Description
使用される放電電極に関する。
の微粒子を静電吸着してしまう。そこで、LSI等の半
導体製造工程では、基板表面に上記微粒子が付着するの
を防止するために、イオン発生装置を用いて基板の静電
気を除去している。
は、例えば特開平8−88074号公報に記載されたも
のがある。上記公報に記載された従来技術(第1の従来
技術)は、放電電極のイオン発生部の先端面に気体の吹
出孔を開口させたことを特徴とする。
7に示されるようなものがある。すなわち、第2の従来
技術は、イオンを発生する放電針101と、放電針10
1を支持する絶縁体102と、放電針101を覆い、圧
縮空気が流入する穴及び圧縮空気を吹き出す吹出孔10
3aを備える金属箱103から構成される。前記放電針
101に高圧電源104により正又は負の高電圧を印加
すると、放電針101の先端部近傍に負又は正のイオン
が発生する。このイオンを、吹出孔103aから吹き出
す空気によって搬送し、図示していない基板等に衝突さ
せる。これによって基板を電気的に中和するようになっ
ている。
オンの搬送効率が良く、吹出孔から低速かつ少量の気体
を吹き出させるだけで済むことを可能にするが、以下の
不都合を有していた。放電電極は多結晶珪素など、又は
ステンレス、タングステン若しくはチタン等の金属の硬
質な丸棒材料を加工して製造されるが、外径が1mm程
度と小さく、その中に内径0.3mmの吹出孔を形成す
るのは困難であり、製造コストが高かった。
金属箱103により覆っているため、放電針101で発
生したイオンの大部分は当該金属箱103に吸収され
る。しかも、図7に図示したように金属箱は接地されて
いるため、前記イオンを吸収し続ける。したがって、イ
オンの搬送効率は低下し、装置の除電効果が低下すると
いう問題点を有していた。
除電効果を高めると共に、製品寿命の延長も可能なイオ
ン発生装置用放電電極を提供しようとするものである。
め、請求項1記載の発明は、イオンを発生する放電針
と、前記放電針を囲繞して突出孔を形成する絶縁体パイ
プと、放電針を支持する支持部とから構成されるイオン
発生装置用放電電極であって、前記絶縁体パイプの内径
を、前記放電針の先端方向に向かうに従って狭く形成
し、前記放電針の最先端部を、前記絶縁体パイプの先端
面と同一平面上又は当該先端面より被除電物側に突出し
て配置すると共に、前記絶縁体パイプの少なくとも前記
吹出孔の近傍を無機物質により形成したことを特徴とす
る。
4に記載するように、石英を主成分とするか、あるいは
シリコンにより形成することが望ましい。更には、無機
物質としてシリコンで被覆した炭化珪素セラミックを用
いてもよい。
態を説明する。図1は、本発明の実施形態の断面図を示
したものである。図1において、放電電極1は、放電針
2、放電針2を囲繞して吹出孔3bを形成する絶縁体パ
イプ3、放電針2を支持する支持部4から構成される。
なお、前記支持部4は、図1(b)のA−A’断面図に
示したように放電針2の最先端部が前記絶縁体パイプ3
の中央に位置するようにし、かつ、放電針の最先端部が
絶縁体パイプ3の先端面と同一平面上又は当該先端面よ
り被除電物側に突出させる役割も果たす。放電電極1
は、絶縁体パイプの内筒に設けられたねじ部3aを介し
て、イオン発生装置本体5の下部に取り付けられる。イ
オン発生装置本体5の下部は、前記放電針2と高圧ケー
ブル6とを接続する放電針ソケット7、乾燥空気等の気
体を前記絶縁体パイプ3の内部に送り込むための配管8
を備える。
電物を除電する場合には、図示していない高圧電源によ
り、高圧ケーブル6、放電針ソケット7を介して放電針
2に高電圧を印加する。更に、図示していない気体ボン
ベは、配管8を介して乾燥空気又はアルゴンガス等の気
体を絶縁体パイプ3の内部に送り、放電針2の先端部分
の近傍に形成された吹出孔3bから吹き出させる。放電
針2の最先端部分は尖っており、高電圧が印加されるこ
とにより、多量のイオンが発生する。このイオンは、前
記吹出孔3bから吹き出された気体によって、搬送さ
れ、図示していない帯電した被除電物に衝突し、被除電
物を電気的に中和する。
る。放電針2で発生したイオンが、絶縁体パイプ3に吸
収されることは著しく減少する。なぜなら、絶縁体パイ
プ3にイオンが付着すると、その部分の電位は高くな
り、今後当該部分はイオンを反発することになるからで
ある。また、仮に、絶縁体パイプ3が接地されていたと
しても、絶縁体パイプ3の絶縁性に起因して、付着した
イオンは移動しない。したがって、イオンが絶縁体パイ
プ3に吸収され続けることはない。
孔3bの近傍は、セラミックや金属等の無機物質によっ
て形成するものとする。すなわち、放電針2からのイオ
ンの発生により、吹出孔3bの近くにはオゾンが発生す
る。仮りに絶縁体パイプ3を合成樹脂等によって形成す
ると、上記オゾンによって絶縁体パイプ3が早期に劣化
してしまい、所望の除電効果が得られなくなる。これを
防止するには、吹出孔3bの近傍の絶縁体パイプ3の一
部を、石英を主成分とする物質により形成したり、シリ
コンにより形成すると良い。或いは、炭化珪素セラミッ
クの表面をシリコンで被覆しても良い。勿論、絶縁体パ
イプ3の全体をこれらの無機物質で形成することも可能
である。特に、無機物質としてシリコンを用いる場合、
仮りにシリコンが劣化して飛散したとしても、シリコン
基板等が多用される半導体製造工程では異物とならない
ため、好都合である。
向に向かうに従って狭くすることの作用は以下の通りで
ある。気体ボンベにより配管8を介して絶縁体パイプ3
の内部に送られた気体は、絶縁体パイプの内部を通っ
て、吹出口3bから吹き出されるが、上記気体のほとん
どが、イオンを多量に発生する放電針2の先端部の近傍
を通過するため、イオンの搬送に寄与することができ、
イオンの搬送効率が向上する。
イプ3の先端面と同一平面上又は上記先端面より被除電
物の側に突出することの作用は以下の通りである。放電
針2の最先端部で発生したイオンは、図2に示すように
放射線状に飛散する。従って、図3に示すように最先端
部を絶縁体パイプ3の先端面と同一平面上又は上記先端
面より被除電物の側に突出させ、絶縁体パイプ3の内部
に気体を流すと、イオンは絶縁体パイプの内壁に衝突す
ることがほとんど無くなり、絶縁体パイプ3に吸収され
ることなく被除電物に向かって搬送される。
認するために行った実験の内容を説明する。この実験に
おいて、放電針2は、外径が1.0mmであり、最先端
部の曲率半径が0.3mmであるものを使用した。絶縁
体パイプ3の先端部に設けられた吹出孔3bの穴径は
1.0mmである。前記放電針2の最先端部が、絶縁体
パイプの吹出孔3bの中央に位置し、かつ、絶縁体パイ
プ3の先端面と同一平面上に載るように配置した。そし
て、放電電極1を被除電物の中央部の上方に距離500
mm離して配置し、前記吹出孔3bから吹き出した気体
を被除電物に対して直角に当たるようにした。被除電物
としては、外径が200mmで厚さが1mmのステンレ
ス板を用いた。吹き付ける気体としては、乾燥空気を用
いた。この実験においては、直流電源によって被除電物
に2000Vの電圧を印加して帯電させた後、放電針2
に10KVの交流電圧を印加し、被除電物の電圧が10
0Vになるまでの時間を計測した。また、吹出孔3bか
ら吹き出させる気体の流量は0〜1.0l/minとし
た。
ように、乾燥空気を被除電物に吹き付けなかった場合に
は、被除電物の電圧が2000Vから100Vまで降下
するのに要する時間が134秒であったのに対し、1.
0l/minの乾燥空気を吹き付けた場合には、当該時
間は30秒となり、除電時間を大幅に短縮することがで
きた。
のである。図1に示した第1の実施形態と相違する点
は、絶縁体パイプ10の外筒部分は加工せず、円柱形状
そのものとしている点である。なお、10aは吹出孔で
ある。
のである。よりコストを低減するために、コップ形状の
絶縁体パイプ11を用い、コップの底の部分すなわち放
電針2の先端部分の近傍のみに、被除電物の方向に従っ
て内径の小さくなる吹出孔11aを開けているのが特徴
である。なお、図5、図6の絶縁体パイプ10,11
は、円柱形状の材料を使うことを前提に説明したが、角
材を用いて角柱形状とすることも可能である。また、こ
れらの実施形態においても、絶縁体パイプ10,11の
少なくとも吹出孔10a,11aの近傍を無機物質によ
り形成することにより、オゾンによる絶縁体パイプの劣
化を防ぐことができる。
トが安く、かつ、除電効果の高い放電電極を提供するこ
とができる。更に、絶縁体パイプの少なくとも吹出孔の
近傍を無機物質にて形成することにより、絶縁体パイプ
の劣化を防いで製品の寿命を延長することが可能であ
る。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 イオンを発生する放電針と、前記放電針
を囲繞して吹出孔を形成する絶縁体パイプと、放電針を
支持する支持部とから構成されるイオン発生装置用放電
電極であって、前記絶縁体パイプの内径を、前記放電針
の先端方向に向かうに従って狭く形成し、前記放電針の
最先端部を、前記絶縁体パイプの先端面と同一平面上又
は当該先端面より被除電物側に突出して配置すると共
に、前記絶縁体パイプの少なくとも前記吹出孔の近傍を
無機物質により形成したことを特徴とするイオン発生装
置用放電電極。 - 【請求項2】 前記無機物質が石英を主成分とする物質
であることを特徴とする請求項1記載のイオン発生装置
用放電電極。 - 【請求項3】 前記無機物質がシリコンであることを特
徴とする請求項1記載のイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項4】 前記無機物質がシリコンで被覆した炭化
珪素セラミックであることを特徴とする請求項1記載の
イオン発生装置用放電電極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34235097A JPH11176557A (ja) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | イオン発生装置用放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34235097A JPH11176557A (ja) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | イオン発生装置用放電電極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11176557A true JPH11176557A (ja) | 1999-07-02 |
Family
ID=18353051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34235097A Withdrawn JPH11176557A (ja) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | イオン発生装置用放電電極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11176557A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002216996A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-02 | Keyence Corp | イオン化装置及びその放電電極バー |
JP2002260821A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Keyence Corp | イオン化装置 |
JP2002305096A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-18 | Kazuo Okano | 吸引型イオナイザ |
JP2005243655A (ja) * | 2005-05-11 | 2005-09-08 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2005268232A (ja) * | 2005-05-11 | 2005-09-29 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2006040860A (ja) * | 2003-12-02 | 2006-02-09 | Keyence Corp | イオン化装置 |
JP2006196378A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Trinc:Kk | 除電器 |
WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
CN1330218C (zh) * | 2003-05-10 | 2007-08-01 | 江苏东强股份有限公司 | 管道型粉体料仓静电消除器 |
JP2009170198A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | バー型イオン発生器及び除電器 |
JP2010257992A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-11-11 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2010272533A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-12-02 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2010272534A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-12-02 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2010272532A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-12-02 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
-
1997
- 1997-12-12 JP JP34235097A patent/JPH11176557A/ja not_active Withdrawn
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002216996A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-02 | Keyence Corp | イオン化装置及びその放電電極バー |
JP4575603B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2010-11-04 | 株式会社キーエンス | イオン化装置及びその放電電極バー |
JP2002260821A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Keyence Corp | イオン化装置 |
JP4636710B2 (ja) * | 2001-03-01 | 2011-02-23 | 株式会社キーエンス | イオン化装置 |
JP2002305096A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-18 | Kazuo Okano | 吸引型イオナイザ |
CN1330218C (zh) * | 2003-05-10 | 2007-08-01 | 江苏东强股份有限公司 | 管道型粉体料仓静电消除器 |
JP4573631B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2010-11-04 | 株式会社キーエンス | イオン化装置 |
JP2006040860A (ja) * | 2003-12-02 | 2006-02-09 | Keyence Corp | イオン化装置 |
JP2006196378A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Trinc:Kk | 除電器 |
WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
JP4536587B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2010-09-01 | 株式会社キーエンス | イオン化装置の放電電極バー |
JP2005268232A (ja) * | 2005-05-11 | 2005-09-29 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2005243655A (ja) * | 2005-05-11 | 2005-09-08 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2009170198A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | バー型イオン発生器及び除電器 |
JP2010257992A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-11-11 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2010272533A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-12-02 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2010272534A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-12-02 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
JP2010272532A (ja) * | 2010-07-30 | 2010-12-02 | Keyence Corp | イオン化装置の放電電極バー |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH11176557A (ja) | イオン発生装置用放電電極 | |
US8328982B1 (en) | Low-temperature, converging, reactive gas source and method of use | |
EP2153704B1 (en) | Enhancing plasma surface modification using high intensity and high power ultrasonic acoustic waves | |
US7397647B2 (en) | Ionized gas current emission type dust-free ionizer | |
US7882799B2 (en) | Method and apparatus for generating charged particles for deposition on a surface | |
JP2005095744A (ja) | 絶縁部材の表面処理方法及び絶縁部材の表面処理装置 | |
KR100700678B1 (ko) | 이온 발생 장치 및 대전 제거 설비 | |
JPH11507990A (ja) | 大気圧でのグロー放電プラズマによる表面洗浄装置および洗浄方法 | |
JPH0917593A (ja) | 空気イオン化装置及び空気イオン化方法 | |
JP2000169977A (ja) | 大気圧高周波プラズマによるエッチング方法 | |
JP2004200345A (ja) | プラズマ処理装置 | |
EP0531949A2 (en) | Fast atom beam source | |
JP4103565B2 (ja) | 表面処理装置及び表面処理方法 | |
JPH06333850A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPH10144450A (ja) | イオン発生装置用放電電極 | |
JP2010165726A (ja) | 真空処理装置、及び、該真空処理装置における静電チャックのクリーニング方法 | |
JPH0888074A (ja) | イオン発生装置用放電電極 | |
JP2838856B2 (ja) | コロナ空気イオン化装置 | |
JPH05315084A (ja) | 空気イオン化装置およびその方法 | |
JP3221008B2 (ja) | 表面処理方法及びその装置 | |
JP4011401B2 (ja) | イオン源 | |
JPH0547488A (ja) | クリーンルーム用除電装置 | |
JP2001284333A5 (ja) | ||
JP4404257B2 (ja) | コロナ放電型イオナイザ | |
JPS6248759B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050120 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20050120 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20050310 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050405 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20050608 |