JPH11168166A - リードフレームの検査装置並びにその装置を備える検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リードフレームの上面と裏面を反転させるこ
と無く幅方向の全面を検査し得るとともに、リードフレ
ームをＣＣＤカメラで読み取る時に精密な送りが行え、
且つ、リードフレームを傷付けたり、斜行や蛇行させる
ことなく搬送し得るリードフレームの検査装置を提供す
る。 【解決手段】 同期して走行する少なくとも２台のベル
トコンベア７, ８を間隔を開けて走行方向に列設すると
ともに、ＣＣＤカメラ９, 10をベルトコンベア７の上方
とベルトコンベア７, ８間の下方とにそれぞれ配設して
なる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＣＤ〔charge c
oupled device 電荷結合素子〕ラインセンサカメラ（以
下ＣＣＤカメラと言う）を用いたリードフレームの検査
装置と、この検査装置を備えるリードフレームの検査シ
ステムに関し、詳細には、半導体チップ用リードフレー
ムの曲がりや付与されているメッキ部分の位置、欠け、
汚れなどの検査を行う装置並びにシステムに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術並びに発明が解決しようとする課題】半導
体チップ用リードフレームは、通常金属板をプレスにて
打ち抜き加工やエッチングにより加工した後、金、銀な
どのメッキが施され、また必要に応じディプレス加工さ
れて製作し、その後ＩＣチップの搭載など実装工程に供
給される。実装工程に供給されるリードフレームは、事
前に曲がりや、付与されているメッキ部分の位置、欠
け、汚れなどの検査が行われている。

【０００３】上記検査は、通常打抜き加工されて積み重
ねられたリードフレームをマニピュレータ式ハンドリン
グ装置により一枚一枚後記するＣＣＤカメラを備える検
査装置に送り込んでなされ、検査後のリードフレームは
マニピュレータ式ハンドリング装置により検査装置から
取出しが行われている。この取出しの際、取出されたリ
ードフレームはその間に層間紙が層間紙供給装置によっ
て給紙され、検査のシステム化が図られている。

【０００４】上記検査装置は、図11乃至図13に示す検査
装置が知られている。図11に示す検査装置は、枠テーブ
ルを用いた検査装置であって、上面検査用枠テーブル51
と、裏面検査用枠テーブル52と、これら上面検査用と裏
面検査用枠テーブル51, 52の間に配設された反転装置53
とを備え、上面検査用枠テーブル51にはリードフレーム
11の上面を検査するための上面検査用ＣＣＤカメラ54
が、裏面検査用枠テーブル52にはリードフレーム11の裏
面を検査するための裏面検査用ＣＣＤカメラ55がそれぞ
れ上方に配設されている。またこれら枠テーブル51, 52
には、中央部に長方形の貫通孔56が開けられるととも
に、その開口下部にはリードフレーム11の周端部を載置
する縁部57が形成されている。また更に枠テーブル51,
52は、２本のガイドロッド58で水平に保持されるととも
に、送りネジ59によってガイドロッド58に沿って往復移
動可能に構成されている。なお、図中、符号60は検査前
のリードフレーム載置台、61は検査後のリードフレーム
受取台、62は送りネジ59の駆動装置をそれぞれ示す。

【０００５】上記枠テーブルを用いた検査装置による検
査は次の如く行われる。すなわち、検査前のリードフレ
ーム載置台60から図示省略するマニピュレータ式ハンド
リング装置によりリードフレーム11を取出し上面検査用
枠テーブル51に移載する。次いで、上面検査用枠テーブ
ル51を送りネジ59を作動して上面検査用ＣＣＤカメラ54
の下方で往復移動させ、リードフレーム11の上面検査を
行う。この後、上面検査後のリードフレーム11を図示省
略するマニピュレータ式ハンドリング装置により反転装
置53に移載し反転させた後、再びマニピュレータ式ハン
ドリング装置を用いて裏面検査用枠テーブル52に移載す
る。次いで、裏面検査用枠テーブル52を送りネジ59を作
動して裏面検査用ＣＣＤカメラ55の下方で往復移動さ
せ、リードフレーム11の裏面検査を行う。これにより枠
テーブル51, 52の縁部57に隠れたリードフレーム11の周
端部を含めた全面の検査を行うことができる。そしてこ
の後、検査後のリードフレーム11を図示省略するマニピ
ュレータ式ハンドリング装置により検査後のリードフレ
ーム受取台61に移載して検査が完了する。この検査要領
で、複数の図示省略するマニピュレータ式ハンドリング
装置を用いて、順次リードフレーム11の検査が行われ
る。

【０００６】上記枠テーブルを用いた検査装置では、枠
テーブル51, 52の縁部57に隠れたリードフレーム11の周
端部は上方からしか検査ができないため、その周端部を
含めた全面を検査する場合には反転装置53が必要とな
り、検査装置が大がかりになると同時に、リードフレー
ム11の検査と移動の制御システムが複雑になる。また、
リードフレーム11の大きさが変わった場合に枠テーブル
51, 52の中央部の貫通孔56による受け部の大きさも変え
る必要があり、リードフレーム11のサイズに合わせて枠
テーブル51, 52を準備するか、あるいは枠テーブル51,
52を伸縮式とする必要がある。また、枠テーブル51, 52
は１回の検査ごとに往復動させる必要があり、アイドル
タイムが長いと言ったような問題がある。

【０００７】図12に示す検査装置は、ローラテーブルを
用いた検査装置であって、複数の駆動ローラ63を備える
ローラテーブル64と、ローラテーブル64の上方に配設さ
れた上面検査用ＣＣＤカメラ54と、下方に配設された裏
面検査用ＣＣＤカメラ55とを備えて構成され、上述した
枠テーブルを用いた検査装置の場合と同様の要領で、検
査前のリードフレーム載置台（図示せず）からマニピュ
レータ式ハンドリング装置（図示せず）によりリードフ
レーム11を取出し、そのリードフレーム11をローラテー
ブル64の駆動ローラ63上に移載し移動させながら上面検
査と裏面検査を行うものである。そしてこの後、検査後
のリードフレーム11をマニピュレータ式ハンドリング装
置（図示せず）により検査後のリードフレーム受取台
（図示せず）に移載して検査が完了する。なお、図中、
符号65は駆動モータ、66は駆動ベルト、67は検査用照明
をそれぞれ示す。

【０００８】上記ローラテーブルを用いた検査装置で
は、上述した枠テーブルを用いた検査装置のような反転
装置53を要することなく、リードフレーム11がローラテ
ーブル64上を移動している間に上面と裏面の検査ができ
る利点を有するものの、ＣＣＤカメラ54, 55で読み取る
時に精密な送りが必要となり、駆動ローラ63の回転の僅
かな差異によってリードフレーム11の送り速度が変化す
る他、リードフレーム11の斜行などが起こりやすい。従
い駆動ローラ63の外径を高い寸法精度で仕上げる必要が
ある他、それぞれの駆動ローラ63に精密な回転を付与し
なければならず、このため自ずと装置が高価になるなど
の問題がある。

【０００９】図13に示す検査装置は、ピンチローラを用
いた検査装置であって、両側に断面円形の丸ベルト68を
有するベルトコンベア69と、このベルトコンベア69の２
台を間隔を開けて走行方向に列設し、その間の両側に設
けられたピンチローラ70と、ベルトコンベア69の上方に
配設された上面検査用ＣＣＤカメラ54と、ベルトコンベ
ア69とピンチローラ70との間の下方に配設された裏面検
査用ＣＣＤカメラ55とを備えるとともに、前記ピンチロ
ーラ70は、ディプレス部（ＩＣチップをマウントする部
分に凹みがある）を有するリードフレーム11にも適用し
うるように、リードフレーム11の周端部を挟むように幅
の狭い上下一対のローラ71, 72からなり、それを両側に
設けて構成されている。なお、図中、符号73はベルトコ
ンベア69のフレーム、74はピンチローラ70のフレームを
それぞれ示す。

【００１０】上記ピンチローラを用いた検査装置では、
上述した枠テーブルを用いた検査装置の場合と同様の要
領で、検査前のリードフレーム載置台（図示せず）から
マニピュレータ式ハンドリング装置（図示せず）により
リードフレーム11を取出し、そのリードフレーム11を前
側のベルトコンベア69の丸ベルト68上に移載するととも
に、ピンチローラ70に送り込み、ピンチローラ70で精密
な送りを行いながら上面検査と裏面検査を行うものであ
る。そしてこの後、検査後のリードフレーム11を後側の
ベルトコンベア69からマニピュレータ式ハンドリング装
置（図示せず）により検査後のリードフレーム受取台
（図示せず）に移載して検査が完了する。

【００１１】上記ピンチローラを用いた検査装置では、
リードフレーム11のサイズが変わる場合、その幅寸法に
合わせてベルトコンベア69とピンチローラ70の幅調整を
成しうる構造にしなければならず、その調整に手間がか
かる。また、ディプレス部がリードフレーム11の周端部
の近傍に形成されている場合、ピンチローラ70と干渉し
リードフレーム11を傷付けることもある他、リードフレ
ーム11の微細な斜行や蛇行を防ぐことが非常に難しいと
言った問題がある。

【００１２】次に、層間紙供給装置について説明する。
この層間紙供給装置は、検査後のリードフレームを検査
装置からマニピュレータ式ハンドリング装置により検査
後のリードフレーム受取台に移載する際に、検査後のリ
ードフレームと交互に層間紙を給紙して検査後のリード
フレーム上に移載する装置である。

【００１３】図14は、代表的な層間紙供給装置を示すも
ので、この図示の層間紙供給装置は、層間紙供給台75
と、この層間紙供給台75から層間紙25を１枚づつ取出す
ための吸引式給紙具76と、この吸引式給紙具76を、層間
紙供給台75と検査後のリードフレーム受取台（図示せ
ず）との間を往復移動させるマニピュレータ（図示せ
ず）とを備えて構成されている。そして前記層間紙供給
台75は、テーブル77と、そのテーブル77に層間紙25の幅
方向及び長手方向に位置調整可能に立設されたガイドポ
スト78と、立設するガイドポスト78の内側に昇降装置79
により昇降する層間紙受台80とを備えて構成されてい
る。また、吸引式給紙具76は、基板81と、この基板81の
長手方向に所定間隔をおいて設けられ、先端（下端）に
真空吸着盤82が取付けられた吸引管83と、吸引管83に接
続された排気ブロア（図示せず）とを備えて構成される
とともに、基板81を昇降装置84を介してマニピュレータ
（図示せず）に取付けている。

【００１４】上記層間紙供給装置による層間紙の給紙は
次の如く行われる。まず、層間紙25の給紙に先立って、
層間紙25のサイズに応じてガイドポスト78の立設位置を
幅方向及び長手方向共に位置調整して固定するととも
に、吸引式給紙具76の真空吸着盤82の位置も層間紙25の
サイズ等に応じて調整しておく。この後、層間紙25の給
紙は、層間紙25上にマニピュレータを操作して吸引式給
紙具76を移動するとともに、昇降装置84を操作して真空
吸着盤82を層間紙25を吸着する位置まで下降する。真空
吸着盤82が層間紙25を吸着したら、昇降装置84を操作し
て真空吸着盤82を上昇させる。次いで、マニピュレータ
によって、検査後のリードフレーム受取台上へ移動さ
せ、真空吸着盤82を下降して、検査後のリードフレーム
11上に層間紙25を給紙する。以下この動作を、検査後の
リードフレーム11がリードフレーム受取台に移載される
都度、繰り返して行う。なお、この給紙において、層間
紙供給台75の層間紙25束の最上部の高さは、確実な真空
吸着動作が行われるように層間紙受台80の昇降装置79に
よってレベル制御される。

【００１５】ところで、層間紙25は上記の要領で１枚ず
つ吸着して検査後のリードフレーム11上に給紙されるこ
とになるが、層間紙25はリードフレーム11のサイズによ
って幅、長さが変わる他、リードフレーム11のディプレ
ス部を避けるように穴が開けられていたり、また層間紙
25の紙質、厚さも各種のものがある。このため、真空吸
着盤82で層間紙25を吸着する場合、紙質によっては１枚
目の微細な孔を通して、あるいは打ち抜きなどによりデ
ィプレス部を避けるようにして開けた孔のバリによる絡
まりなどによって２枚目を吸着することがある。また新
しい束では層間紙25はかなり密着しており２枚目吸着の
現象が起こりやすい。このような現象を防ぐため、紙質
の違いに応じて真空吸着力を調整することも考えられる
が、微妙な真空圧力の調整が必要となり実用的に難しい
と言った問題がある。またこの問題を改善するため、図
15に示すように、幅側のガイドポスト78の最上部に突起
片85を設け、吸引式給紙具76が上昇するときに２枚目を
こすり落とすことも行われているが、真空吸着盤82の位
置は層間紙25の長さ、ディプレス部を避けるようにして
開けた孔の位置に左右される一方、ガイドポスト78の位
置変更は制約があるので、真空吸着盤82の位置と突起片
85の位置は適正でないことが多く紙ずれ、あるいは逃げ
を起こし２枚目を確実にこすり落とすことができないと
言った問題がある。

【００１６】本発明は、上述したようなリードフレーム
の検査装置の問題、及びこの検査装置の下工程設備であ
る層間紙供給装置の問題を改善するためになしたもので
あって、その目的の１つは、リードフレームの上面と裏
面を反転させること無く幅方向の全面を検査し得るとと
もに、リードフレームをＣＣＤカメラで読み取る時に精
密な送りが行え、且つ、リードフレームを傷付けたり、
斜行や蛇行させることなく搬送し得るリードフレームの
検査装置を提供することである。

【００１７】また別の目的は、上記リードフレームの検
査装置の下工程設備として検査後のリードフレームをリ
ードフレーム受取台に移載した後にそのリードフレーム
上に層間紙を１枚ずつ給紙し得る層間紙供給装置を備え
る、検査システムを提供することである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記段落番号〔００１
６〕の目的を達成するため、本発明に係るリードフレー
ムの検査装置は、同期して走行する少なくとも２台のベ
ルトコンベアを間隔を開けて走行方向に列設するととも
に、ＣＣＤカメラをベルトコンベアの上方と前記ベルト
コンベア間の下方とにそれぞれ配設してなるものであ
る。

【００１９】上記構成のリードフレームの検査装置で
は、同期して走行するベルトコンベアを採用しているの
で、ベルトコンベア上に乗せられたリードフレームは、
搬送中及び読み取り時にベルトコンベアの外はどこにも
接触することはないので、斜行や蛇行することなく安定
した状態で送られ、精度の高い検査ができる。また、少
なくともベルトコンベアは間隔を開けて２台列設されて
いるので、その間に下面を読取るＣＣＤカメラを配設す
ることで、リードフレームを反転させることなく上面と
合わせてリードフレームの下面をも幅方向の全面を読み
取り検査できる。このためマルチスポツト型のフレーム
やフレーム材全面の検査にも有効で、上面と裏面を反転
装置を用いること無く同時に検査ができる。また、ベル
トコンベアの幅を、取り扱うリードフレームの最大幅を
考慮したものにしておけば、最大幅以下のリードフレー
ムを幅方向の調整をすることなく検査ができ、構造も簡
単になる。

【００２０】また、上記ＣＣＤカメラに付加して透過光
照明を使用した読み取りが必要な場合には、同期して走
行する３台のベルトコンベアを間隔を開けて走行方向に
列設するとともに、２台目と３台目のベルトコンベア間
に透過光照明を使用したカメラを配設して一連の検査を
行うことができる。

【００２１】また、上記段落番号〔００１７〕の目的を
達成するため、本発明に係るリードフレームの検査シス
テムは、上記本発明のリードフレームの検査装置（請求
項１又は請求項２）を備えるとともに、この検査装置の
下流に、検査後のリードフレームを受けるリードフレー
ム受取台と、受取台上に載置されるリードフレーム間に
供給する層間紙をストックして給紙する層間紙供給台
と、これらリードフレーム受取台と層間紙供給台との間
を往復動する吸引式給紙具とを備えるリードフレームの
検査システムであって、前記層間紙供給台が、テーブル
上に層間紙の幅方向及び長手方向とに位置調整可能に立
設されたガイドポストと、幅側のガイドポストの上部に
取付けられ、且つガイドポストを移動固定し得る長孔を
有する横板と、前記横板の長孔に沿って位置調整可能に
取付けられた層間紙の２枚重ね取出し防止治具とを備え
てなるものである。

【００２２】上記構成のリードフレームの検査システム
では、層間紙の２枚重ね取出し防止治具を、層間紙の幅
方向及び長手方向とに位置調整可能にテーブル上に立設
されたガイドポストの上部に取付けられ且つガイドポス
トを移動固定し得る長孔を有する横板の、その長孔に沿
って位置調整可能に取付け得るように構成したので、リ
ードフレームの幅及び長さに応じて層間紙の幅及び長さ
が変わっても、層間紙の２枚重ね取出し防止治具を吸引
式給紙具の真空吸着位置に対して的確な位置に設置して
層間紙の幅方向端部をしごくことができ、これにより層
間紙が２枚吸着されても確実に１枚をしごき落とし１枚
のみを吸着させることができ、層間紙の検査後のリード
フレーム上への給紙を１枚ずつ確実に行える。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明に係るリードフレー
ムの検査装置を備える検査システムの説明図、図２は、
本発明に係るリードフレームの検査装置の説明図であっ
て、ａは動力伝達機構を模式的に示す全体正面図、ｂは
ａのＡ矢視図、図３は、本発明に係る層間紙供給台の説
明図であって、ａは上面図、ｂは正面図、図４は、図３
ｂの側面図である。図において、１はリードフレームの
検査装置、２は出側搬送テーブル、３は不良品リードフ
レームの受取台、４は良品リードフレームの受取台、５
は層間紙供給台、６は吸引式給紙具を示す。

【００２４】リードフレームの検査装置１は、入側ベル
トコンベア７と出側ベルトコンベア８が間隔を開けて走
行方向に列設されるとともに、上面検査用のＣＣＤカメ
ラ９が入側ベルトコンベア７の上方に、下面検査用のＣ
ＣＤカメラ10が入出側ベルトコンベア７、８間の下方に
それぞれ配設され、更に入側ベルトコンベア７の側方に
検査前の積層されたリードフレーム11を載置する載置台
12が設置されて構成されている。なお、符号9A, 10A は
検査用照明を示す。

【００２５】入側ベルトコンベア７と出側ベルトコンベ
ア８は、同じ形態のベルトコンベアであって、駆動プー
リ13、従動プーリ14、アイドラー15及びテークアッププ
ーリ16にベルト17を巻き回して構成され、本例では入出
側の従動プーリ14、14側を間隔を開け対向させて列設す
るとともに、入出側の駆動プーリ13、13にはタイミング
ギア18及びベルト19を備えるタイミングベルト式の同期
駆動装置20が取付けられている。なお、21はベルトコン
ベアのフレームである。

【００２６】出側搬送テーブル２は、左右のフレーム22
と、それぞれのフレーム22の内側に交互に所定間隔で配
設された検査後のリードフレーム11を受け搬送するため
の水平ガイドローラ23と垂直ガイドポスト24とを備えて
構成され、その一方の側方には隣接して不良品リードフ
レームの受取台３と良品リードフレームの受取台４がそ
れぞれ配設され、他方の側方には層間紙供給台５が設置
されている。また、良品リードフレーム受取台４と層間
紙供給台５の上方には、フレームが架設されるととも
に、そのフレームに沿って良品リードフレーム受取台４
と層間紙供給台５の間を走行する走行台車を備えるマニ
ピュレータ（図示せず）が設けられ、そのマニピュレー
タには、層間紙供給台５から層間紙25を１枚づつ取出す
ための図14に示すものと同構成の吸引式給紙具６が昇降
可能に取付けられている。

【００２７】層間紙供給台５は、図３及び図４に示すよ
うに、テーブル26と、そのテーブル26上に立設した層間
紙25の幅方向を規制する４本のガイドポスト27A 〜27D
及び長手方向を規制する２本のガイドポスト28A, 28B
と、幅方向規制ガイドポスト27A, 27B及び27C, 27Dのそ
れぞれの上部に取付けられた横板29, 30と、横板29, 30
に取付けられた層間紙の２枚重ね取出し防止治具 31A〜
31Dとを備えて構成されている。

【００２８】そして、上記テーブル26の、基準ポストと
なる幅方向規制ガイドポスト27A と長手方向規制ガイド
ポスト28A を立設する場所及び幅方向規制ガイドポスト
27Bを層間紙25の長さに応じて位置変え（ガイドポスト
を実線と二点鎖線で示す）して立設するそれぞれの場所
には図５に示す段32を有する貫通孔33が、また幅方向規
制ガイドポスト27C と27D を層間紙25の幅に応じて位置
変え（ガイドポストを実線と二点鎖線で示す）して立設
するそれぞれの場所及び長手方向規制ガイドポスト28B
を層間紙25の長さに応じて位置変え（ガイドポストを実
線と二点鎖線で示す）して立設するそれぞれの場所には
図６に示す幅方向あるいは長手方向に長孔とした段34を
有する貫通長孔35がそれぞれ開けられ、開けられたそれ
ぞれの孔に各ガイドポストが層間紙25の幅及び長さ位置
に調節されて立設されている。

【００２９】また、上記横板29と30は、図７に示すよう
に、同じ構造の比較的厚さのある条材で構成され、一方
の端部には幅方向規制ガイドポスト27A あるいは27C に
取付けるためのボルト孔36が、また他方の端部側からは
幅方向規制ガイドポスト27Bあるいは27D に取付けるた
めの及び防止治具31B あるいは31D を取付けるための長
孔37が、更にボルト孔36と長孔37の間には防止治具31A
あるいは31C を取付けるための長孔38がそれぞれ開けら
れている。

【００３０】また、防止治具31A 〜31D は、同じ構造の
もので、図８に示すように、辺39,40の中央部にネジ孔4
1, 42が設けられた断面Ｌ字状のブロック片43と、中央
部に長孔44が設けられ層間紙25の幅端部をこするための
突起片45とを備え、突起片45を前記ブロック片43の辺39
上面に、蝶ボルト46を長孔44に通しネジ孔41に締め込む
ことで取付けて構成されている。そして、防止治具31A
〜31D のそれぞれは、上記横板29あるいは30の長孔37あ
るいは38に蝶ボルト47を通しネジ孔42に締め込むことで
横板29あるいは30に取付けられている。

【００３１】上記構成のリードフレームの検査システム
において、検査装置１では、入側ベルトコンベア７と出
側ベルトコンベア８のそれぞれのベルト17がタイミング
ベルト式の同期駆動装置20によって同期して走行する構
成としているので、被検査リードフレーム11は、入出側
ベルトコンベア７, ８を搬送中及び上下面検査用ＣＣＤ
カメラ９, 10での読み取り時に入出側ベルトコンベア
７, ８のベルト17の外はどこにも接触することはないの
で、斜行や蛇行することなく安定した状態で送られ、精
度の高い検査ができる。また、入出側ベルトコンベア
７, ８を間隔を開けて走行方向に列設するとともに、入
側ベルトコンベア７の上方に上面検査用ＣＣＤカメラ９
を、入出側ベルトコンベア７、８間の下方に下面検査用
ＣＣＤカメラ10をそれぞれ配設しているので、被検査リ
ードフレーム11の上面と合わせて被検査リードフレーム
11の下面をも幅方向の全面を読み取り検査できる。従っ
て、入出側ベルトコンベア７、８のベルト17の幅を、被
検査リードフレーム11の最大幅を考慮したものにしてお
けば、最大幅以下の被検査リードフレーム11を従来のよ
うにベルトコンベアの幅方向の調整をすることなく検査
ができる。また被検査リードフレーム11がマルチスポツ
ト型のフレームや、フレーム材であってもその全面を上
面と裏面を反転させること無く同時に検査ができる。

【００３２】なお、上記例では、入出側ベルトコンベア
７, ８のベルト17を幅のある一枚もので構成した例を説
明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、
例えば、図９に示すように被検査リードフレーム11の最
小幅と同幅のベルト48を間隔を開けて複数条（図では４
本）設けた構成としてもよい。また、入出側ベルトコン
ベア７, ８において、入出側ベルトコンベア７, ８の両
方に駆動プーリ13、13を設け、その駆動プーリ13、13間
にタイミングギア18及びベルト19を設けて同期をとるよ
うに構成したが、図10に示すように、いずれか一方の駆
動プーリ13をフリーとし、入出側ベルトコンベア７, ８
の従動プーリ14、14間にタイミングギア18及びベルト19
を設けて同期をとるように構成してもよい。

【００３３】また、上記構成のリードフレームの検査シ
ステムでは、層間紙供給台５において、層間紙の２枚重
ね取出し防止治具31A 〜31D を、層間紙25の幅方向及び
長手方向とに位置調整可能にテーブル26上に立設された
ガイドポスト27A 〜27D の上部に取付けられ且つガイド
ポスト27B, 27Dを移動固定し得る長孔37と防止治具31A,
31Dを取付ける長孔38を有する横板29, 30の、長孔37と
38とに沿って位置調整可能に取付けるとともに、防止治
具31A 〜31D 自体において突起片45を、ブロック片43の
辺39上面に蝶ボルト46によって出入量調整可能に取付け
ているので、被検査リードフレーム11の幅及び長さに応
じて層間紙25の幅及び長さが変わっても、層間紙25の２
枚重ね取出し防止治具31A 〜31D を吸引式給紙具６の真
空吸着位置に対して的確な位置に設置し得るとともに、
突起片45の出入量を調整することで層間紙25の幅方向端
部を確実にしごくことができる。これにより、層間紙25
が２枚吸着されても確実に１枚をしごき落とし１枚のみ
を吸着させることができ、層間紙25の検査後のリードフ
レーム11上への給紙を１枚ずつ確実に行うことができ
る。

【００３４】なお、上記層間紙供給台５において、横板
29, 30にボルト孔36、長孔37及び38の３つの孔を設ける
例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、１つの長孔、又は適宜の数の長孔やボルト孔を設け
てもよい。また、突起片45の先端は、層間紙25をしごく
ことができればどのような形状であってもよく、例えば
櫛状、ブレード状に形成されてあってもよいし、あるい
は前面に多数の細線が突出して設けられてあってもよ
い。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るリー
ドフレームの検査装置によれば、同期して走行するベル
トコンベアを採用しているので、ベルトコンベア上に乗
せられたリードフレームは、搬送中及び読み取り時にベ
ルトコンベアの外はどこにも接触することはないので、
斜行や蛇行することなく安定した状態で送られるととも
に、間隔を開けて列設した少なくとも２台のベルトコン
ベアの間にはリードフレームの下面を読取るＣＣＤカメ
ラを配設しているので、リードフレームを反転させるこ
となく上面と合わせてリードフレームの下面をも幅方向
全面にわたって検査することができ、精度の高いリード
フレームの検査ができる。

【００３６】また、本発明に係るリードフレームの検査
システムによれば、上記の検査効果に加えて、検査後の
良品リードフレームに対して層間紙を１枚ずつ確実に装
入して交互に積層させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るリードフレームの検査装置を備え
る検査システムの説明図である。

【図２】本発明に係るリードフレームの検査装置の説明
図であって、ａは動力伝達機構を模式的に示す全体正面
図、ｂはａのＡ矢視図である。

【図３】本発明に係る層間紙供給台の説明図であって、
ａは上面図、ｂは正面図である。

【図４】図３ｂの側面図である。

【図５】図４のＢ部の拡大断面図である。

【図６】図４のＣ部の拡大断面図である。

【図７】本発明に係る横板の説明図である。

【図８】図３ａのＤ−Ｄ拡大断面図である。

【図９】本発明に係る入出側ベルトコンベアにおける別
の実施態様のベルトの説明図である。

【図10】本発明に係る入出側ベルトコンベアにおける別
の実施態様の駆動機構の説明図である。

【図11】従来の枠テーブルを用いた検査装置の上面から
見た説明図である。

【図12】従来のローラテーブルを用いた検査装置の説明
図であって、ａは動力伝達機構を模式的に示す全体正面
図、ｂはａのＥ−Ｅ断面図である。

【図13】従来のピンチローラを用いた検査装置の説明図
であって、ａは動力伝達機構を省略して示す全体正面
図、ｂはａのＦ−Ｆ断面図、ｃはＧ−Ｇ断面図である。

【図14】従来の代表的な層間紙供給装置を示す説明図で
あって、ａは上面図、ｂは正面図である。

【図15】従来の層間紙供給装置における別の態様のガイ
ドポストの説明図である。

【符号の説明】

１：リードフレーム検査装置 ２：出側搬送テ
ーブル ３：不良品リードフレームの受取台 ４：良品リード
フレームの受取台 ５：層間紙供給台 ６：吸引式給紙
具 ７：入側ベルトコンベア ８：出側ベルト
コンベア ９：上面検査用ＣＣＤカメラ 10：下面検査用
ＣＣＤカメラ 11：リードフレーム 12：リードフレ
ーム載置台 13：駆動プーリ 14：従動プーリ 15：アイドラー 16：テークアッ
ププーリ 17：ベルト 18：タイミング
ギア 19：タイミングベルト 20：タイミング
ベルト式同期駆動装置 21：ベルトコンベアのフレーム 22：出側搬送テ
ーブルのフレーム 23：水平ガイドローラ 24：垂直ガイド
ポスト 25：層間紙 26：テーブル 27A 〜27D ：幅方向規制ガイドポスト 28A, 28B：長手
方向規制ガイドポスト 29, 30：横板 31A 〜31D ：防
止治具 32, 34：段 33：貫通孔 35：貫通長孔 36：ボルト孔 37, 38：長孔 39, 40：辺 41, 42：ネジ孔 43：断面Ｌ字状
のブロック片 44：長孔 45：突起片 46, 47：蝶ボルト 48：ベルト

フロントページの続き (72)発明者 山本 雄治 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 神戸製鋼５号館 ジェネシス・テクノロジ ー株式会社内 (72)発明者 中井 康秀 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 神戸製鋼５号館 ジェネシス・テクノロジ ー株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同期して走行する少なくとも２台のベル
   トコンベアを間隔を開けて走行方向に列設するととも
   に、ＣＣＤラインセンサカメラをベルトコンベアの上方
   と前記ベルトコンベア間の下方とにそれぞれ配設してな
   ることを特徴とするリードフレームの検査装置。
2. 【請求項２】 同期して走行する３台のベルトコンベア
   を間隔を開けて走行方向に列設するとともに、ＣＣＤラ
   インセンサカメラをベルトコンベアの上方と１台目と２
   台目のベルトコンベア間の下方とにそれぞれ配設し、更
   に２台目と３台目のベルトコンベア間に透過光照明を使
   用したカメラを配設してなることを特徴とするリードフ
   レームの検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のリードフレーム
   の検査装置を備えるとともに、この検査装置の下流に、
   検査後のリードフレームを受けるリードフレーム受取台
   と、受取台上に載置されるリードフレーム間に供給する
   層間紙をストックして給紙する層間紙供給台と、これら
   リードフレーム受取台と層間紙供給台との間を往復動す
   る吸引式給紙具とを備えるリードフレームの検査システ
   ムであって、前記層間紙供給台が、テーブル上に層間紙
   の幅方向及び長手方向とに位置調整可能に立設されたガ
   イドポストと、幅側のガイドポストの上部に取付けら
   れ、且つガイドポストを移動固定し得る長孔を有する横
   板と、前記横板の長孔に沿って位置調整可能に取付けら
   れた層間紙の２枚重ね取出し防止治具とを備えてなるこ
   とを特徴とするリードフレームの検査システム。