JPH11160440A - 放射線検出装置及び放射線検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シンチレーターの減衰特性を考慮した読み出
し方法をとることで、雑音が小さく、ばらつきの小さ
い、所望のＳＮの信号を読み出すことができる放射線検
出装置を実現する。 【解決手段】 シンチレーター１４と、複数の画素Ｓを
有する光電変換装置と、転送用ＴＦＴ（Ｔ）と、を有す
る放射線検出装置において、所望の信号対雑音をＳＮと
した時、該ＳＮを得るため、放射線の照射が停止した
後、（ｎ×τ₁ ）［ただし、τ₁ はシンチレーター１４
の蛍光面残光特性の時定数、ｎはｌｎ（ＳＮ）であ
る。］以上遅延させる手段（図中、制御回路、ＣＰＵ、
プログラムメモリ）により遅延した後、最初の上記転送
用ＴＦＴをｏｎさせて前記画素に蓄積した信号を転送す
る手段（図中シフトレジスタ１０２）を有することを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シンチレータとセ
ンサ素子を用いる放射線検出装置及び方法に関し、特
に、画像処理機能を有するリアルタイム放射線診断装置
や、放射線治療装置に利用される放射線検出装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線等による放射線診断装置、Ｘ線撮影
装置では、Ｘ線等の放射線を直接光センサで検出すると
効率が悪く、放射線を可視光に変換するシンチレーター
と光センサを組み合わせて用いることは従来より行われ
ていた。

【０００３】このシンチレーターの特性として、蛍光面
残光特性と呼ばれる特性が有り、図５に示すように、シ
ンチレーターの光の発生、消滅はある関数で発生、減衰
し、遅い成分では数百ミリ秒の長い時定数を有すること
が指摘されている。その対策として、たとえば特開平５
−２３７０９１ではアフターグローの減衰を補正するた
め、多数の信号サンプルを検出し、複雑な計算により補
償値を算出し、信号から減じている。さらにこの計算の
ためには初期の減衰成分が無視出来るまで、遅延させて
いる。

【０００４】一方、薄膜半導体の光センサをシンチレー
ターと組み合わせてＸ線等による放射線診断装置、Ｘ線
撮影装置に用いることがたとえば特表平７−５０２８６
５で提案されている。この従来技術では、薄膜半導体か
らなるセンサとトランジスタによる時定数と装置の読み
取り速度、Ｓ／Ｎの関係をあらわしている。この特表平
７−５０２８６５ではＸ線が連続照射のときの透視モー
ドの読み取り方法と、Ｘ線がある短時間のみ照射し、す
べてのセンサが同時に信号を蓄積する写真モードが紹介
されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の従来技
術では、たとえば、特開平５−２３７０９１のように多
数回信号を取り補償値を計算し補償値を信号から減じる
計算をするためには高価な信号処理回路、演算装置が必
要となる。さらに初期の減衰成分が無視出来るまで、遅
延させているため、検出器からの信号を取り出すまで遅
延時間分待たなければならない。

【０００６】特表平７−５０２８６５ではＸ線が連続照
射のときの透視モードと、Ｘ線がある短時間のみ照射す
る写真モードが紹介されているが、透視モードでＸ線が
照射し続けていると人体のＸ線の被爆量が多くなるとい
う心配がある。一方、写真モードでは、シンチレーター
の光の発生、減衰の時定数が考慮されておらず、Ｘ線が
終了してから瞬時に読み出しを開始すると、シンチレー
ターの光の減衰の時定数のために、読み出しの始めのラ
インでは暗電流が大きい間に読み出し、最後の方の読み
出しラインでは暗電流成分が積分された信号が読み出さ
れる。このため、信号に混在するシンチレーターの遅延
のある減衰特性による暗電流が読み取るラインの順番に
より大きく異なるという問題があった。

【０００７】特表平７−５０２８６５では、ａ−Ｓｉよ
りなるセンサと薄膜トランジスタからなる大画面センサ
パネルを用いた、Ｘ線診断装置、あるいは放射線治療装
置を紹介している。そしてリアルタイムイメージセンサ
として必要な、センサの容量と薄膜トランジスタのｏｎ
抵抗をかけた時定数と、Ｓ／Ｎ、フレーム周波数の関係
を導いている。しかし、Ｘ線が連続で照射されている場
合を想定しており、上述したようなシンチレーターの減
衰特性については言及しておらず、Ｘ線が間欠で照射す
る場合の読み取りの設計については触れられていなかっ
た。

【０００８】また、シンチレーターの減衰特性は、写真
モードのような場合は時間的に余裕があり、それほど問
題になることはないが、循環器系の診断のようにフレー
ム数の多いフル動画の場合、光の残存成分がノイズとし
て影響を及ぼす事が考えられる。

【０００９】しかし、このような場合について、シンチ
レーターの減衰特性と、センサパネルのセンサの容量と
薄膜トランジスタのｏｎ抵抗からなる時定数読み取り特
性と結び付け、設計することは提案されていなかった。

【００１０】［発明の目的］本発明の目的は、Ｘ線等の
放射線の照射を間欠にし、被爆線量を低減した放射線診
断装置等の放射線検出装置において、シンチレーターの
減衰特性を考慮した読み出し方法をとることで、雑音が
小さく、ばらつきの小さい、所望のＳＮの信号を読み出
すことにある。

【００１１】また、連続的に照射される放射線による診
断、治療において、シンチレーターの減衰特性を考慮し
最適な信号対雑音（ＳＮ）を得るための関係を導くこと
にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段および作用】本発明は、上
記課題を解決するための手段として、被写体を照射する
放射線源と、前記放射線を光電変換可能な光に変換する
シンチレーターと、該光を電気に変換するべくマトリク
ス状に配列された複数の画素を有するセンサ素子と、前
記各画素の信号を順次転送すべく各画素に接続された転
送用ＴＦＴと、を有する放射線検出装置において、所望
の信号対雑音（ＳＮ）を得るため、前記放射線の照射が
停止した後、（ｎ×τ₁ ）［ただし、τ₁ は前記シンチ
レーターの蛍光面残光特性の時定数、ｎはｌｎ（ＳＮ）
である。］以上遅延してから、最初の上記転送用ＴＦＴ
をｏｎさせて前記画素に蓄積した信号を転送する手段を
有することを特徴とする放射線検出装置を提供するもの
である。

【００１３】また、本発明の他の手段は、被写体を照射
する放射線源と、前記放射線を光電変換可能な光に変換
するシンチレーターと、該光を電気に変換するべくマト
リクス状に配列された複数の画素を有するセンサ素子
と、前記各画素の信号を順次転送すべく各画素に接続さ
れた転送用ＴＦＴと、を有する放射線検出装置におい
て、装置全体の所望の信号対雑音をＳＮとした場合、該
ＳＮを得るために、以下の関係式を満たすことを特徴と
する放射線検出装置である。

【００１４】（α×τ₁ ＋β×τ₂ ）≦１／ＩＦＰＳ ＳＮ＝ｅｘｐ（α＋β）； ただし、 ＩＦＰＳ：放射線検出装置の読み取りの１秒あたりのフ
レーム数； τ₁ ：シンチレーターの発光の立ち上がり及び減衰の時
定数； τ₂ ：センサ素子容量と転送用ＴＦＴのｏｎ抵抗を掛け
て得られる時定数； α：シンチレーターに要求される信号対雑音をＳＮ₁ と
した場合の、 α＝ｌｎ（ＳＮ₁ ） また、α＝［（センサ素子の光信号の蓄積時間）／τ
₁ ］の倍数でもある； β：転送用ＴＦＴがセンサ素子の容量に蓄積された信号
の転送に要求される信号対雑音をＳＮ₂ とした場合の、 β＝ｌｎ（ＳＮ₂ ） また、β＝転送用ＴＦＴがｏｎする時間の時定数の倍数
でもある；また、放射線を光電変換可能な光に変換する
シンチレーターと、該光を電気信号に変換するべくマト
リクス状に配列された複数の画素を有するセンサ素子
と、前記各画素の信号を順次転送すべく各画素に接続さ
れた転送用ＴＦＴと、を有する放射線検出装置におい
て、所望の信号対雑音をＳＮとした時、該ＳＮを得るた
め、前記放射線の照射が停止した後、（ｎ×τ₁ ）［た
だし、τ₁ は前記シンチレーターの蛍光面残光特性の時
定数、ｎはｌｎ（ＳＮ）である。］以上遅延した後、最
初の上記転送用ＴＦＴをｏｎさせて前記画素に蓄積した
信号を転送することを特徴とする放射線検出方法でもあ
る。

【００１５】［作用］本発明によれば、所定の幅のパル
ス時間の照射で行われる放射線を用いる放射線写真撮影
に用いられる放射線検出装置であって、前記放射線を可
視光領域の波長の輻射線に変換し蛍光面残光特性の時定
数を有するシンチレーターと、各々が所定の容量を有す
る薄膜センサ素子と前記薄膜センサ素子に１対１で対応
する所定のｏｎ抵抗を有する薄膜トランジスタ（転送用
ＴＦＴ）で構成される画素がマトリクス状に配列し、１
以上の所定の列毎に薄膜トランジスタ（転送用ＴＦＴ）
をｏｎさせて駆動する光センサを有する放射線検出装置
において、前記シンチレーターの蛍光面残光特性の時定
数をτ₁ とすると、前記放射線の照射が停止した後、時
間（ｎ×τ₁ ）以上経過した後、薄膜トランジスタをｏ
ｎさせて前記薄膜センサ素子に蓄積した信号を転送する
放射線検出装置であり、 ＳＮ：システムが要求する信号対雑音 ｎ＝ｌｎ（ＳＮ） ｎ×τ₁ ＝ｌｎ（ＳＮ）×τ₁ の関係を満たすようにシステムを設計することで、上記
目的を達成出来る。

【００１６】また、本発明によれば、放射線を用いる放
射線撮影、放射線診断装置もしくは放射線治療装置に用
いられる放射線検出装置であって、前記放射線を可視光
領域の波長の輻射線に変換し、蛍光面残光特性の時定数
を有するシンチレーターと、各々が所定の容量を有する
薄膜センサ素子と前記薄膜センサ素子に１対１で対応す
る所定のｏｎ抵抗を有する薄膜トランジスタで構成され
る画素がマトリクス状に配列し、１以上の所定の列毎に
薄膜トランジスタをｏｎさせて駆動する光センサを有す
る放射線検出装置において、前記シンチレーターの蛍光
残光特性の時定数をτ₁ とし、前記薄膜センサ素子の容
量Ｃと薄膜トランジスタのｏｎ抵抗Ｒを乗じた時定数τ
₂ 、 ＩＦＰＳ：放射線検出装置の読み取りの１秒あたりのフ
レーム数、 α：センサの光信号の蓄積時間の、シンチレーターの発
光の立ち上がり、減衰の時定数の倍数、またはシンチレ
ーターに要求されるＳＮ₁ に対して α＝ｌｎ（ＳＮ₁ ）、 β：転送用ＴＦＴがｏｎする時間の時定数の倍数、また
は薄膜トランジスタが薄膜センサ素子の容量に蓄積され
た信号の転送に要求されるＳＮ₂ に対して α＝ｌｎ（ＳＮ₂ ）、 また、システムとして必要な信号対雑音（ＳＮ）を、 ＳＮ＝ｅｘｐ（α＋β）、１／ＳＮ＝ｅｘｐ（−α−
β）とすると、以下の式、 （α×τ₁ ＋β×τ₂ ）≦１／ＩＦＰＳ で表わされる関係を満たす放射線検出装置とすることに
より、所望の信号対雑音（ＳＮ）を得ることができ、上
記目的を達成できる。

【００１７】すなわち、本発明によれば、放射線、Ｘ線
の照射を間欠にし、被爆線量を低減した放射線診断装置
において、シンチレーターの減衰特性を考慮した読み出
し方法をとることで、雑音が小さく、ばらつきの小さ
い、所望のＳＮの信号を読み出すことができる。

【００１８】また、連続的に照射される放射線による診
断、治療においてシンチレーターの減衰特性を考慮し最
適な信号対雑音（ＳＮ）を得るための関係を導くことに
より、所望のＳＮの放射線検出装置の設計を容易にする
ことができるものである。

【００１９】本発明によれば、例えば、絶縁基板上にａ
−Ｓｉからなる薄膜のセンサと薄膜トランジスタをマト
リクス上に２次元に複数個並べた大画面センサパネルと
大画面センサ表面にシンチレーターを配置した放射線検
出装置において、センサの容量Ｃと薄膜トランジスタの
ｏｎ抵抗Ｒを掛けて得られる時定数τと読み取り速度と
Ｓ／Ｎとシンチレーターの減衰特性とＸ線の照射タイミ
ングを関係付けることにより、所望のＳＮの放射線検出
装置を、容易に設計して得ることができるものである。

【００２０】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の内容を詳細
に説明する。

【００２１】（実施例１）図１は、本発明の実施例を説
明するための、放射線検出装置１００を中心とした回路
図である。

【００２２】図１に示すように、本実施例は、放射線を
光電変換可能な光に変換するシンチレーター１４と、該
光を電気信号に変換するべくマトリクス状に配列された
複数の画素を有するセンサ素子と、前記各画素の信号を
順次転送すべく各画素に接続された転送用ＴＦＴ（Ｔ）
と、を有する放射線検出装置において、所望の信号対雑
音をＳＮとした時、該ＳＮを得るため、放射線の照射が
停止した後、（ｎ×τ₁ ）［ただし、τ₁ は前記シンチ
レーターの蛍光面残光特性の時定数、ｎはｌｎ（ＳＮ）
である。］以上遅延させる手段（図中、制御回路、ＣＰ
Ｕ、プログラムメモリ）により遅延した後、最初の上記
転送用ＴＦＴをｏｎさせて前記画素に蓄積した信号を転
送する手段（図中、シフトレジスタ１０２）を有するこ
とを特徴とする放射線検出装置である。

【００２３】放射線検出装置１００は、放射線１２を可
視光に変換するシンチレーター１４と、可視光を受光し
電気信号に変換するためのａ−Ｓｉからなる薄膜センサ
素子（Ｓ_1-1 〜Ｓ_3-3 ）と、薄膜センサ素子で光電変換
された信号電荷をマトリクス信号配線Ｍ１〜Ｍ３側へ転
送するためのａ−Ｓｉからなる薄膜トランジスタ（転送
用ＴＦＴ）（Ｔ_1-1 〜Ｔ_3-3 ）による画素が２次元のマ
トリクス状に並んだ光電変換回路１０１と、薄膜トラン
ジスタのゲート線（Ｇ１〜Ｇ３）を駆動するシフトレジ
スタからなる。なお、ここでは説明を簡単にするために
画素を３×３の構成にしてある。

【００２４】マトリクス信号配線Ｍ１には、薄膜トラン
ジスタの電極間容量（Ｃｇｓ）の３個分の容量が転送時
において付加されており、図１内では容量素子としての
表記をしていない。他のマトリクス信号配線Ｍ２，Ｍ３
についても同様である。光電変換素子Ｓ_1-1 〜Ｓ_3-3 と
スイッチング素子Ｔ_1-1 〜Ｔ_1-3 とゲート駆動配線Ｇ１
〜Ｇ３とマトリクス信号配線Ｍ１〜Ｍ３が、図中光電変
換回路部１０１内に表示されており、図示されていない
が、それぞれ１つの絶縁基板上に配置されている。１０
２はスイッチ素子Ｔ_1-1 〜Ｔ_3-3 を開閉するためのシフ
トレジスタ（ＳＲ１）で構成される駆動用回路部であ
る。

【００２５】Ｌ１〜Ｌ３は、マトリクス信号配線Ｍ１〜
Ｍ３の信号電荷を増幅し、インピーダンス変換するため
のオペアンプであり、図中においては電圧ホロワ回路を
構成したバッファーアンプとしてのみ記載してある。Ｓ
ｎ１からＳｎ３はオペアンプＬ１〜Ｌ３の出力すなわち
各マトリクス信号配線Ｍ１〜Ｍ３の出力を読み出し、コ
ンデンサＣＬ₁ 〜ＣＬ₃ へ転送する転送スイッチであ
る。読み出しコンデンサＣＬ₁ 〜ＣＬ₃ は、電圧ホロワ
回路を構成したバッファアンプＢ１〜Ｂ３を介して読み
出し用スイッチＳｒ₁ 〜Ｓｒ₃ により読み出される。

【００２６】１０３は読み出し用スイッチＳｒ₁ 〜Ｓｒ
₃ を切り替えるためのシフトレジスタ（ＳＲ２）であ
る。ＣＬ₁ 〜ＣＬ₃ の並列信号は、Ｓｒ₁ 〜Ｓｒ₃ とシ
フトレジスタ（ＳＲ２）１０３により直列変換され、最
終段の電圧ホロワ回路を構成したオペアンプ１０４に入
力され、さらにＡ／Ｄ変換回路部１０５でディジタル化
される。ＲＥＳ１〜ＲＥＳ３はマトリクス信号配線Ｍ１
〜Ｍ３に付加された容量（３個分のＣｇｓ）に蓄えられ
た信号成分をリセットするためのリセット用スイッチで
あり、ＣＲＥＳ端子からのパルスによりあるリセット電
位にリセット（図中ではＧＮＤ電位にリセット）され
る。

【００２７】また、１０６は、光電変換素子Ｓ_1-1 〜Ｓ
_3-3 にバイアスを与えるための電源である。読み出し用
回路部１０７は、バッファアンプＬ１〜Ｌ３、転送スイ
ッチＳｎ１〜Ｓｎ３、読み出しコンデンサＣＬ₁ 〜ＣＬ
₃ 、バッファアンプＢ１〜Ｂ３、読み出し用スイッチＳ
ｒ₁ 〜Ｓｒ₃ 、シフトレジスタＳＲ２、最終段のオペア
ンプ１０４、リセット用スイッチＲＥＳ１〜ＲＥＳ３で
構成されている。

【００２８】図６（ａ）は、光電変換素子及びスイッチ
ング素子をアモルファスシリコン半導体薄膜を用いて構
成した時の光電変換回路部の概略的上面図である、図６
（ｂ）は、図６（ａ）中Ａ−Ｂにおける概略的断面構成
図である。薄膜センサ素子３０１及び薄膜トランジスタ
３０２（アモルファスシリコンＴＦＴ、以下単にＴＦＴ
と記す）は、同一のガラス基板３０３上に形成されてお
り、薄膜センサ素子３０１の下部電極は、ＴＦＴ３０２
の下部電極（ゲート電極）と同一の第１の金属薄膜層３
０４で共有されており、薄膜センサ素子３０１の上部電
極は、ＴＦＴ３０２の上部電極（ソース電極、ドレイン
電極）と同一の第２の金属薄膜層３０５で共有されてい
る。また、第１、第２の金属薄膜層は、光電変換回路部
内の、ゲート駆動用配線３０６、マトリクス信号配線３
０７も共有している。図６（ａ）においては、画素数と
して２×２の計４画素分が記載されている。図６（ａ）
中ハッチング部は、薄膜センサ素子の受光面である。３
０９は薄膜センサ素子にバイアスを与える電源ラインで
ある。また、３１０は薄膜センサ素子３０１とＴＦＴ３
０２を接続するためのコンタクトホールである。

【００２９】また薄膜センサ素子３０１は断面がＴＦＴ
３０２と同じＭＩＳ型の構造をしており、薄膜センサ素
子３０１とＴＦＴ３０２の絶縁膜３１１は、同時に形成
された絶縁膜を用いている。

【００３０】図７は、図６の光電変換回路部の等価回路
である。薄膜センサ素子とＴＦＴからなる画素を便宜上
四角形で表わしている。

【００３１】各薄膜センサ素子に印加するバイアス線は
４系統（Ｖ_s1〜Ｖ_s4）に分けてあり、センサのリセット
を４系統に分けて行うことができる。

【００３２】図７は、画素がｎ×ｍ個のマトリクス状に
並んでいる例を示しているが、センサバイアスを４系統
に分けているので列数ｍは４の倍数となっている。

【００３３】次に、本実施例の動作について説明する。
図２は、図１に示される放射線写真撮影時の放射線検出
装置の動作を示すタイミングチャートである。図を用い
て動作の詳細を説明する。

【００３４】Ｘ線源１１がＴ時間のみ照射し、照射を止
めた後、配線Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３に残留している電荷をＣ
ＲＥＳ電位をｏｎさせトランジスタＲＥＳ１〜ＲＥＳ３
をｏｎすることで除去し、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３を接地電位
とする。

【００３５】Ｘ線源１１から照射され、人体１３を透過
したＸ線１２はシンチレーター１４を照射し、透過した
Ｘ線の量に応じた光をシンチレーター１４に発光させ
る。

【００３６】シンチレーター１４で発生した光は、放射
線検出装置１００内の各光電変換素子Ｓ_1-1 ，Ｓ_1-2 ，
…Ｓ_3-3 を照射し、各光電変換素子に入射した光の量に
応じた信号電荷を発生させる。

【００３７】センサ内で生じた信号電荷は、光電変換素
子内で形成されている容量成分に一定の期間だけ蓄積さ
れる。第１行の光電変換素子Ｓ_1-1 〜Ｓ_3-3 に蓄積され
ていた信号電荷は、シフトレジスタ（ＳＲ１）１０２の
ゲートパルス信号Ｇ１によりスイッチング素子Ｔ_1-1 〜
Ｔ_1-3 がｔ１時間だけ“ＯＮ”し、マトリクス信号配線
Ｍ１〜Ｍ３の各配線に形成される容量成分（スイッチン
グ素子Ｔ_1-1 〜Ｔ_3-3のＣｇｓ３個分の容量）に転送さ
れる。図２中Ｍ１〜Ｍ３はその転送を示しており、各光
電変換素子内に蓄えられた信号量が異なった場合を示し
ている。すなわち、第１行の光電変換素子（Ｓ_1-1 から
Ｓ_1-3 ）においては、その出力レベルがＳ_1-2 ＞Ｓ_1-1
＞Ｓ_1-3 である。マトリクス信号配線Ｍ１〜Ｍ３の信号
出力は、それぞれオペアンプＬ１〜Ｌ３により増幅され
る。

【００３８】その後、読み出し用回路部内のスイッチン
グ素子Ｓｎ１〜ＳＮ３が、図中に示されるＳＭＰＬパル
スによりｔ２時間だけ“ＯＮ”し、読み出しコンデンサ
ＣＬ ₁ 〜ＣＬ₃ にそれぞれ転送される。読み出しコンデ
ンサＣＬ₁ 〜ＣＬ₃ の信号は、それぞれバッファアンプ
Ｂ１〜Ｂ３によりインピーダンス変換される。その後読
み出し用スイッチＳｒ₁ 〜Ｓｒ₃ がシフトレジスタ（Ｓ
Ｒ２）１０３からのシフトパルスＳｐ１〜Ｓｐ３により
順次“ＯＮ”することにより、読み出し用コンデンサＣ
Ｌ₁ 〜ＣＬ₃ に転送されていた並列の信号電荷が、直列
変換され読み出される。Ｓｐ１，Ｓｐ２，Ｓｐ３のシフ
トパルスのパルス幅をＳｐ１＝Ｓｐ２＝Ｓｐ３＝ｔ３と
すると、この直列変換読み出しに必要な時間はｔ３×３
となる。直列変換された信号は最終段のオペアンプ１０
４から出力され、さらにＡ／Ｄ変換回路部１０５により
ディジタル化される。

【００３９】図中に示されたＶｏｕｔは、Ａ／Ｄ変換回
路部に入力される前のアナログ信号を示している。図に
示しているように、第１行のＳ_1-1 〜Ｓ_1-3 の並列信号
すなわちマトリクス信号配線Ｍ１〜Ｍ３の信号電位の並
列信号が、それらの信号の大小に比例してＶｏｕｔ信号
上で、直列変換されている。

【００４０】最後に、マトリクス信号配線Ｍ１〜Ｍ３の
信号電位はＣＲＥＳパルスがｔ４時間だけ“ＯＮ”する
ことによりリセット用スイッチ素子ＲＥＳ１〜ＲＥＳ３
を介して一定のリセット電位（ＧＮＤ電位）にリセット
され、次の光電変換素子Ｓ_{2- 1} 〜Ｓ_2-3 の第２行の信号
電荷の転送に備える。以下同様に第２行、第３行の光電
変換された信号が繰り返し読み出される。

【００４１】この時、センサはＴＦＴのゲート電圧（Ｇ
１〜Ｇ３）がｏｎするまでの時間、信号を蓄積する。従
って、センサ信号を転送するために最初にｏｎするＧ１
のｏｎまでの時間と最後にｏｎするＧ３のｏｎまでの時
間にずれがあり、そのためシンチレーターの発光の減衰
の影響がライン毎に異なる。これについて、図４を用い
て説明する。図４は放射線照射が停止した後センサ出力
がどのように変化するかを示したものである。

【００４２】図４において、縦軸のセンサ出力が減衰す
る部分においては、減衰成分が信号成分として蓄積され
ていると考えられるため、図に示すように、減衰成分を
信号成分Ｓとする。また、例えば、放射線がｏｆｆして
からＴｍ１時点で転送用ＴＦＴをｏｎさせて、蓄積され
た信号電荷を読み出す場合、すでに蓄積されているＳ’
成分は信号として読み出すことが出来るが、Ｔｍ１以降
発生するＮ’成分はまだ蓄積されていないため転送する
ことができない残留成分となる。従って、この残留成分
は、信号成分以外の雑音成分Ｎ’と言うことができる。

【００４３】つまり、放射線ｏｆｆ後、早く、転送用Ｔ
ＦＴのゲートがｏｎしたラインのセンサは放射線が停止
した後短い蓄積時間で転送が始まるために信号対雑音
（Ｓ′／Ｎ′）は小さく、後で（例えば、Ｔｍ２で）ゲ
ートがｏｎしたラインのセンサは信号対雑音（Ｓ／Ｎ）
が大きくなる。このため、ラインによりばらつくことに
なり、システムとしての信号対雑音を低下させることに
なる。

【００４４】しかし、シンチレーターの減衰の時定数τ
₁ に対してシステムとして必要な信号対雑音（ＳＮ）に
対応する時間を、転送用ＴＦＴのゲート電圧をｏｎする
までに設定することにより、システムとして必要なＳＮ
を得ることが出来る。

【００４５】照射が停止する直前のシンチレーターの発
光量を１とすると、シンチレーターの減衰の時定数τ₁
により放射線の照射が停止したｎ×τ₁ 後のシンチレー
ターの発光量は、ｅｘｐ（−ｎ×τ₁ ）になる。従っ
て、この時システムとして必要なＳＮに対して１／ＳＮ
＝ｅｘｐ（−ｎ）、ｌｎ（ＳＮ）＝ｎとおく事が出来
る。

【００４６】従って、照射が停止した後、センサの信号
を取り出すために転送用ＴＦＴが最初にｏｎするまでの
時間を、図４に示すようにＴｍ２＝ｎ×τ₁ 以上に設定
すれば、所望のＳＮが得られることになる。

【００４７】次に、上述したｎ×τ₁ 以上遅延させるた
めの本実施例の手段について、簡単に説明する。

【００４８】転送用ＴＦＴが最初にｏｎするまでの遅延
時間をｎ×τ₁ 以上に制御するための手段としては、例
えば、マイクロコンピュータ（ＣＰＵ）により、制御プ
ログラムを駆動し、図１の回路を例にとれば、放射線源
１１の照射終了時から、カウントを開始し、ｎ×τ₁ 以
上遅延させてから、シフトレジスタＳＲ１のＧ１出力を
駆動すること等により、通常の技術で、容易に実施可能
である。

【００４９】また、シフトレジスタＳＲ１と、放射線源
１１との間に、同期信号線と遅延回路を設けて、放射線
源１１の照射終了信号を遅延回路で遅延した後、シフト
レジスタのスタート信号として入力すること等によって
も、容易に実施することができる。

【００５０】（実施例２）本実施例では、動画像を形成
するために、多数のフレーム画像を連続的に読み出す場
合について、所望のＳＮを得る例について説明する。

【００５１】図１の光電変換回路部では放射線検出装置
の画素は３×３であったが、本実施例では、画素がｍ行
×ｎ列マトリクス状に並んで形成されている場合につい
て述べる。この場合、一般的なのは、１秒間あたり３０
フレームでセンサアレイを読み出す場合である。この
時、１フレームのスキャン時間は１／３０（ｓｅｃ）＝
３３ｍｓｅｃとなる。

【００５２】図３に動画の放射線画像を読み出すタイミ
ングチャートを示す。図３（Ａ）に示すように、放射線
は連続で照射している。

【００５３】図３（Ｂ）は、休みなく読み出し、もしく
は信号の蓄積を行う場合である。

【００５４】図３（Ｃ）は、全部のアレイが読み出した
後、次の読み出しが始まるまで休止する場合（図中、点
線部）である。この休止時間は、１フレーム当たりのス
キャン時間ｔ_f 、各列の読み出し時間ｔ_X 、読み出す列
数ｑ（≦ｎ）により、最大ｔ _f −ｔ_X ・ｑだけ設定する
ことができる。

【００５５】図３（Ｄ）は、各列一定のタイミングで読
み取るが、各列の読み出し時間の間に休止（蓄積はして
いる）の時間が設けてある場合である。

【００５６】図３（Ｅ）は、図３（Ｄ）と同様に各列の
読み出し時間の間に休止が設定されている場合である。
この休止の時間は、各列で蓄積も休みも行わない時間で
ある。例えば、読み出しによってセンサから放電（充
電）された後の、残留成分を除去する（リフレッシュ）
駆動を行うことにより、さらにＳ／Ｎ比を向上させるこ
とができる。

【００５７】放射線検出器を含むシステムで、読み出し
に関係するパラメーターは、 （１）システムが要求するＳＮ （２）画素毎のスイッチとセンサからなるＣＲ時定数τ
₂ （３）装置が必要としているスキャン速度（フレーム
数） （４）シンチレーターの発光のＸ線が当たった時の立ち
上がり、Ｘ線が当たらなくなった時の減衰の時定数τ₁ 以上４つが必要である。以下、上記（１）〜（４）を更
に説明する。

【００５８】（１）センサパネルからの信号のＳＮはス
イッチにより転送された信号量Ｓと転送残り信号量Ｎで
定義する。

【００５９】（２）ＣＲ時定数τ₂ は画素のセンサの蓄
積容量Ｃと画素毎のスイッチ（ＴＦＴ）のｏｎ抵抗Ｒを
掛けたものである。

【００６０】（３）スキャン速度（フレーム数）は１秒
あたりのｎ列（必要に応じてｑ＜ｎ列）のスキャン数
（フレーム数）である。通常のモニターでは３０フレー
ム／秒である。

【００６１】（４）放射線が入射するときのシンチレー
ターの発光、放射線の入射が終了した後のシンチレータ
ーの発光の減衰は、多重指数関数（Σαｔⁿ ）的な変化
を示すが、ここでは時定数τ₁ による指数関数で表わさ
れるものとする。

【００６２】図８は、ＴＦＴの転送時間と転送量及び転
送残りの関係を示す図であり、光電変換素子（図１で言
えば、Ｓ₁₁〜Ｓ₃₃）内の容量に蓄積された信号電荷を１
としたときの転送量を示すグラフである。図８を参照し
ながら、上記パラメータを用いて考察してみる。

【００６３】上記（１）と（２）を組み合わせると、転
送を時定数τ₂ のβ倍行った場合（ただし、β＝ｔ／τ
₂ ）、図８に示すように、信号成分Ｓの転送量のグラフ
は、Ｓ＝１−ｅｘｐ（−β）と表わすことができる。ま
た、転送残り成分Ｎ₂ は、図８に示すように、Ｎ₂ ＝ｅ
ｘｐ（−β）となる。転送した信号成分をＳとすると、
Ｓ＝１−Ｎ₂ ＝１−ｅｘｐ（−β）であるが、ｅｘｐ
（−β）≪１であるため、規格化した場合、Ｓ≒１と近
似することができる。

【００６４】また、ＳＮ₂ ＝Ｓ／Ｎ₂ であるため、ＳＮ
₂ ＝Ｓ／Ｎ₂ ＝１／ｅｘｐ（−β）となり、これより、
逆数をとると、１／ＳＮ₂ ＝ｅｘｐ（−β）＝Ｎ₂ とな
る。つまり、転送残り成分Ｎ₂ は、ＳＮ₂ の逆数とな
る。あるいはβ＝ｌｎＳＮ₂ となる。

【００６５】次に、パラメーター（４）に基づく出力の
ばらつきについて、図４を参照しながら考えてみる。

【００６６】発光の時定数τ₁ を持つシンチレーター
の発光の立ち上がりによる時間ｔ後の出力Ｓは、飽和し
たときのセンサ出力をＳ₀ とすると、ｔ／τ₁ ＝αとお
いた場合、 Ｓ＝Ｓ₀ ・（１−ｅｘｐ（−α）） シンチレーターの発光の減衰の遅延による出力の変化
は、 Ｓ＝Ｓ₀ ・ｅｘｐ（−α） シンチレーターの立ち上がり、減衰の時定数が０すなわ
ち瞬時で変化する場合はノイズがないが、時定数τ₁ を
有するために、ノイズ成分の割合として、ｅｘｐ（−
α）のノイズ成分の割合が発生する。この時、出力の方
は１で近似している。実際の読み取りでは、蓄積時間
は、ほぼフレーム数の逆数で、たとえば３０フレーム／
秒ならば３３ｍｓで、シンチレーターの時定数がｍｓオ
ーダーであれば良い近似となる。

【００６７】つまり、要求されるＳＮ₁ に対して、１／
ＳＮ₁ ＝ｅｘｐ（−α）となる。

【００６８】システムとして外部から必要なＳＮは、Ｔ
ＦＴの時定数から生じるＳＮ₂ ＝ｅｘｐ（β）とシンチ
レーターの時定数から生じるＳＮ₁ ＝ｅｘｐ（α）の合
成ＳＮとなる。

【００６９】この合成ＳＮの逆数を１／ＳＮ＝ｅｘｐ
（−α−β）とおく事が出来る。

【００７０】ＴＦＴのセンサの信号の転送時間はβ×τ
₂ であり、シンチレーターからの光をセンサが受け信号
を蓄積する時間はα×τ₁ であり、α×τ₁ とβ×τ₂
の合計時間は１フレームの時間を超えることは出来な
い。

【００７１】従って、 （α×τ₁ ＋β×τ₂ ）≦１／ＩＦＰＳ となる。ここで ＩＦＰＳ：放射線センサの読み取りの１秒あたりのフレ
ーム数 τ₁ ：シンチレーターに放射線が照射されたとき、放射
線の照射が停止したときの発光の立ち上がり、減衰の時
定数 τ₂ ：センサ容量とＴＦＴのｏｎ抵抗を掛けて得られる
時定数 α：センサの光信号の蓄積時間の、シンチレーターの発
光の立ち上がり、減衰の時定数の倍数 β：転送用ＴＦＴがｏｎする時間の時定数の倍数 従って、例えば、マイクロコンピュータを用いた制御シ
ステムで、センサの１フレームのスキャン時間を（α×
τ₁ ＋β×τ₂ ）以上に設定することにより、所望の信
号対雑音ＳＮ＝ｌｎ（α＋β）を持つ放射線装置を得る
ことが容易にできる。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように、シンチレーターを
有する放射線検出装置を用いた、放射線写真撮影装置、
放射線撮影装置、放射線診断装置、放射線治療装置のシ
ステムも必要なＳＮと読み取り速度の関係を最適に設定
することで、蛍光体の残光特性の時定数、薄膜センサ素
子と薄膜トランジスタから生じる時定数を考慮したＳＮ
の良い各種放射線検出装置を提供することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の放射線検出装置の構成を示す回路図で
ある。

【図２】本発明は放射線写真撮影時の放射線検出装置の
動作を示すタイミングチャートである。

【図３】本発明の放射線動画画像を読む時の放射線検出
装置の動作を示すタイミングチャートである。

【図４】放射線が停止した後の蓄積時間でのＳＮを示す
グラフである。

【図５】シンチレーターの残光特性を表わすグラフであ
る。

【図６】本発明の実施例の光電変換部の上面図（ａ）と
断面図（ｂ）である。

【図７】本発明の実施例の光電変換部の等価回路であ
る。

【図８】ＴＦＴの転送時間と転送量、及び転送残りの関
係を示すグラフである。

【符号の説明】

１１ 放射線源（Ｘ線源） １２ 放射線（Ｘ線） １３ 被写体（人体） １４ シンチレータ １００ 放射線検出器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放射線を光電変換可能な光に変換するシ
   ンチレーターと、 該光を電気信号に変換するべくマトリクス状に配列され
   た複数の画素を有するセンサ素子と、 前記各画素の信号を順次転送すべく各画素に接続された
   転送用ＴＦＴと、を有する放射線検出装置において、 所望の信号対雑音をＳＮとした時、該ＳＮを得るため、
   前記放射線の照射が停止した後、 （ｎ×τ₁ ）［ただし、τ₁ は前記シンチレーターの蛍
   光面残光特性の時定数、ｎはｌｎ（ＳＮ）である。］以
   上遅延した後、最初の上記転送用ＴＦＴをｏｎさせて前
   記画素に蓄積した信号を転送する手段を有することを特
   徴とする放射線検出装置。
2. 【請求項２】 放射線を光電変換可能な光に変換するシ
   ンチレーターと、 該光を電気信号に変換するべくマトリクス状に配列され
   た複数の画素を有するセンサ素子と、 前記各画素の信号を順次転送すべく各画素に接続された
   転送用ＴＦＴと、を有する放射線検出装置において、 装置全体の所望の信号対雑音をＳＮとした場合、該ＳＮ
   を得るために、以下の関係式を満たすことを特徴とする
   放射線検出装置。 （α×τ₁ ＋β×τ₂ ）≦１／ＩＦＰＳ ＳＮ＝ｅｘｐ（α＋β）； ただし、 ＩＦＰＳ：放射線検出装置の読み取りの１秒あたりのフ
   レーム数； τ₁ ：シンチレーターの発光の立ち上がり及び減衰の時
   定数； τ₂ ：センサ素子容量と転送用ＴＦＴのｏｎ抵抗を掛け
   て得られる時定数； α：［（センサ素子の光信号の蓄積時間）／τ₁ ］の倍
   数： また、シンチレーターに要求される信号対雑音をＳＮ₁
   とした場合、 α＝ｌｎ（ＳＮ₁ ）でもある； β：転送用ＴＦＴがｏｎする時間の時定数の倍数： また、転送用ＴＦＴがセンサ素子の容量に蓄積された信
   号の転送に要求される信号対雑音をＳＮ₂ とした場合、 β＝ｌｎ（ＳＮ₂ ）でもある；
3. 【請求項３】 放射線を光電変換可能な光に変換するシ
   ンチレーターと、 該光を電気信号に変換するべくマトリクス状に配列され
   た複数の画素を有するセンサ素子と、 前記各画素の信号を順次転送すべく各画素に接続された
   転送用ＴＦＴと、を有する放射線検出装置において、 所望の信号対雑音をＳＮとした時、該ＳＮを得るため、
   前記放射線の照射が停止した後、 （ｎ×τ₁ ）［ただし、τ₁ は前記シンチレーターの蛍
   光面残光特性の時定数、ｎはｌｎ（ＳＮ）である。］以
   上遅延した後、最初の上記転送用ＴＦＴをｏｎさせて前
   記画素に蓄積した信号を転送することを特徴とする放射
   線検出方法。