JPH11156770A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
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- JPH11156770A JPH11156770A JP32868197A JP32868197A JPH11156770A JP H11156770 A JPH11156770 A JP H11156770A JP 32868197 A JP32868197 A JP 32868197A JP 32868197 A JP32868197 A JP 32868197A JP H11156770 A JPH11156770 A JP H11156770A
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】テンションローラ71,72を連動させる
ための連動機構73には、円板状の回転板75が含まれ
ている。回転板75は、ベース板52に沿う平面内で、
平面視において回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直
線上に設けられたボルト軸76まわりに回転可能となっ
ている。テンションローラ71,72は、回転板75の
上面にボルト軸76に関して対称に配置されており、回
転板75の回転位置にかかわらず、それぞれ従動プーリ
64の両側においてベルト65に接触可能にされてい
る。回転板75を回転させると、2つのテンションロー
ラ71,72がベルト65に交差する方向に同じ移動量
だけ移動し、固定ローラ62と従動ローラ64との間の
ベルト65の経路長が長くされる。 【効果】テンションローラ71,72の位置を個別に調
整する必要がないので、ベルト65の張力調整に要する
手間を軽減することができる。
ための連動機構73には、円板状の回転板75が含まれ
ている。回転板75は、ベース板52に沿う平面内で、
平面視において回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直
線上に設けられたボルト軸76まわりに回転可能となっ
ている。テンションローラ71,72は、回転板75の
上面にボルト軸76に関して対称に配置されており、回
転板75の回転位置にかかわらず、それぞれ従動プーリ
64の両側においてベルト65に接触可能にされてい
る。回転板75を回転させると、2つのテンションロー
ラ71,72がベルト65に交差する方向に同じ移動量
だけ移動し、固定ローラ62と従動ローラ64との間の
ベルト65の経路長が長くされる。 【効果】テンションローラ71,72の位置を個別に調
整する必要がないので、ベルト65の張力調整に要する
手間を軽減することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板、PDP(プラズマディスプレ
イパネル)用ガラス基板などの各種の被処理基板を保持
するための基板保持装置に関する。
晶表示装置用ガラス基板、PDP(プラズマディスプレ
イパネル)用ガラス基板などの各種の被処理基板を保持
するための基板保持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、半導体ウエハや液晶表示装置
用ガラス基板のような基板に種々の処理を施すための装
置においては、基板を保持するための基板保持装置が備
えられている。基板保持装置には、基板を単に保持する
だけでなく、保持した基板を所定方向に向けて搬送する
基板搬送装置や、保持した基板をその場で回転させる基
板回転装置なども含まれる。この種の基板保持装置とし
ては、たとえば、水平面に沿って回動可能な下アーム
と、この下アームの先端において水平面に沿って回動可
能な上アームとを含む屈伸式の搬送ロボットを例示する
ことができる。
用ガラス基板のような基板に種々の処理を施すための装
置においては、基板を保持するための基板保持装置が備
えられている。基板保持装置には、基板を単に保持する
だけでなく、保持した基板を所定方向に向けて搬送する
基板搬送装置や、保持した基板をその場で回転させる基
板回転装置なども含まれる。この種の基板保持装置とし
ては、たとえば、水平面に沿って回動可能な下アーム
と、この下アームの先端において水平面に沿って回動可
能な上アームとを含む屈伸式の搬送ロボットを例示する
ことができる。
【0003】この屈伸式の搬送ロボットは、下アームと
上アームとが上下に重なり合った収縮状態から、下アー
ムが回転され、上アームが下アームの回転方向とは逆方
向に下アームの回転角度の2倍の角度だけ回転されるこ
とにより、下アームおよび上アームが展開した伸長状態
に変位できる。上アームの先端上面には、たとえば、基
板をその裏面の周縁部の複数箇所で保持する保持部が設
けられている。これにより、上アームの保持部に基板を
保持した状態で、上アームおよび下アームを屈伸させる
ことにより、基板を所定の方向に搬送することができ
る。
上アームとが上下に重なり合った収縮状態から、下アー
ムが回転され、上アームが下アームの回転方向とは逆方
向に下アームの回転角度の2倍の角度だけ回転されるこ
とにより、下アームおよび上アームが展開した伸長状態
に変位できる。上アームの先端上面には、たとえば、基
板をその裏面の周縁部の複数箇所で保持する保持部が設
けられている。これにより、上アームの保持部に基板を
保持した状態で、上アームおよび下アームを屈伸させる
ことにより、基板を所定の方向に搬送することができ
る。
【0004】この搬送ロボットにおいて、上アームに駆
動力を伝達するための伝達機構として、プーリおよびベ
ルトを含むベルト機構が用いられることがある。上アー
ムに駆動力を伝達するためのベルト機構の概念的な構成
を図8に示す。このベルト機構には、駆動源からの駆動
力が入力される駆動プーリ1と、上面にアーム2の基端
部が固定された従動プーリ3と、駆動プーリ1および従
動プーリ3に巻き掛けられたベルト4とが備えられてい
る。駆動プーリ1に入力された駆動力は、ベルト4を介
して従動プーリ3に伝達される。これにより、従動プー
リ3が回動して、従動プーリ3に固定されたアーム2が
揺動する。
動力を伝達するための伝達機構として、プーリおよびベ
ルトを含むベルト機構が用いられることがある。上アー
ムに駆動力を伝達するためのベルト機構の概念的な構成
を図8に示す。このベルト機構には、駆動源からの駆動
力が入力される駆動プーリ1と、上面にアーム2の基端
部が固定された従動プーリ3と、駆動プーリ1および従
動プーリ3に巻き掛けられたベルト4とが備えられてい
る。駆動プーリ1に入力された駆動力は、ベルト4を介
して従動プーリ3に伝達される。これにより、従動プー
リ3が回動して、従動プーリ3に固定されたアーム2が
揺動する。
【0005】このようなベルト機構を備えた搬送ロボッ
トにおいては、この搬送ロボットの使用に伴ってベルト
4に伸びが生じると、駆動プーリ1の回転角度に対する
上アーム2の回転角度が変動して、アーム2による基板
の搬送精度にばらつきを生じるおそれがある。そこで、
従来のベルト機構には、テンションローラ5が設けられ
ており、このテンションローラ5の位置を定期的に調整
することで、ベルト4の張力を一定に保つようにしてい
る。
トにおいては、この搬送ロボットの使用に伴ってベルト
4に伸びが生じると、駆動プーリ1の回転角度に対する
上アーム2の回転角度が変動して、アーム2による基板
の搬送精度にばらつきを生じるおそれがある。そこで、
従来のベルト機構には、テンションローラ5が設けられ
ており、このテンションローラ5の位置を定期的に調整
することで、ベルト4の張力を一定に保つようにしてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ベルト
4に一定の張力を与えるために、テンションローラ5を
矢印6方向に移動させると、テンションローラ5によっ
てベルト4が引っ張られるために、駆動プーリ1および
従動プーリ3が回転する。その結果、ベルト4の張力を
調整する前後で、従動プーリ3に固定されたアーム2の
回転位置が変化してしまう。
4に一定の張力を与えるために、テンションローラ5を
矢印6方向に移動させると、テンションローラ5によっ
てベルト4が引っ張られるために、駆動プーリ1および
従動プーリ3が回転する。その結果、ベルト4の張力を
調整する前後で、従動プーリ3に固定されたアーム2の
回転位置が変化してしまう。
【0007】したがって、従来のベルト機構において
は、ベルト4の張力を調整した後、さらに従動プーリ3
に対するアーム2の取付位置を調整する必要があり、ベ
ルト4の張力調整に全体として手間がかかっていた。そ
こで、本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、回
転部材に巻き掛けられた長尺状伝達部材の張力を調整す
る手間が軽減された基板保持装置を提供することであ
る。
は、ベルト4の張力を調整した後、さらに従動プーリ3
に対するアーム2の取付位置を調整する必要があり、ベ
ルト4の張力調整に全体として手間がかかっていた。そ
こで、本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、回
転部材に巻き掛けられた長尺状伝達部材の張力を調整す
る手間が軽減された基板保持装置を提供することであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項1記載の発明は、第1回転
軸を中心に回転可能に設けられた第1回転部材と、この
第1回転部材と所定の間隔をあけて配置され、第2回転
軸を中心に回転可能な第2回転部材と、上記第1回転部
材および上記第2回転部材との間に掛け渡され、これら
の第1回転部材と第2回転部材との間で駆動力を伝達す
るための長尺状伝達部材と、上記第2回転部材に対し
て、この第2回転部材の回転が伝達可能に接続されてお
り、基板を保持するための基板保持手段と、上記第2回
転部材の両側において上記長尺状伝達部材にそれぞれ押
し付けられ、この長尺状伝達部材の走行に伴って回転可
能な第1回転ローラおよび第2回転ローラと、上記第1
回転ローラおよび第2回転ローラを連動させて移動させ
る連動機構とを含むことを特徴とする基板保持装置であ
る。
目的を達成するための請求項1記載の発明は、第1回転
軸を中心に回転可能に設けられた第1回転部材と、この
第1回転部材と所定の間隔をあけて配置され、第2回転
軸を中心に回転可能な第2回転部材と、上記第1回転部
材および上記第2回転部材との間に掛け渡され、これら
の第1回転部材と第2回転部材との間で駆動力を伝達す
るための長尺状伝達部材と、上記第2回転部材に対し
て、この第2回転部材の回転が伝達可能に接続されてお
り、基板を保持するための基板保持手段と、上記第2回
転部材の両側において上記長尺状伝達部材にそれぞれ押
し付けられ、この長尺状伝達部材の走行に伴って回転可
能な第1回転ローラおよび第2回転ローラと、上記第1
回転ローラおよび第2回転ローラを連動させて移動させ
る連動機構とを含むことを特徴とする基板保持装置であ
る。
【0009】この構成によれば、長尺状伝達部材の張力
を調整する際に、連動機構によって第1回転ローラおよ
び第2回転ローラを連動して移動させることができる。
したがって、第1回転ローラおよび第2回転ローラの位
置を個別に調整して、長尺状伝達部材の張力を調整する
構成に比べて、長尺状伝達部材の張力調整に要する手間
を軽減することができる。
を調整する際に、連動機構によって第1回転ローラおよ
び第2回転ローラを連動して移動させることができる。
したがって、第1回転ローラおよび第2回転ローラの位
置を個別に調整して、長尺状伝達部材の張力を調整する
構成に比べて、長尺状伝達部材の張力調整に要する手間
を軽減することができる。
【0010】また、第1回転ローラおよび第2回転ロー
ラを、第2回転部材の両側において長尺状伝達部材にそ
れぞれ押し付けることによって張力を調整する構成であ
るから、長尺状伝達部材に1個の回転ローラを押し付け
て張力を調整する構成とは異なり、長尺状伝達部材の張
力を調整する前後で第2回転部材に固定された基板保持
手段の回転位置が大きく変化するといったことがない。
ゆえに、長尺状伝達部材の張力を調整した後に、第2回
転部材に対する基板保持手段の取付位置を調整する手間
を省くことができる。
ラを、第2回転部材の両側において長尺状伝達部材にそ
れぞれ押し付けることによって張力を調整する構成であ
るから、長尺状伝達部材に1個の回転ローラを押し付け
て張力を調整する構成とは異なり、長尺状伝達部材の張
力を調整する前後で第2回転部材に固定された基板保持
手段の回転位置が大きく変化するといったことがない。
ゆえに、長尺状伝達部材の張力を調整した後に、第2回
転部材に対する基板保持手段の取付位置を調整する手間
を省くことができる。
【0011】また、請求項2に記載されているように、
上記連動機構は、第1回転ローラおよび第2回転ローラ
を同じ移動量だけ連動させて移動させるものであるのが
好ましい。さらには、連動機構が、第2回転部材の一方
側における第1回転部材と第2回転部材との間の長尺状
伝達部材の経路長の変化量と、第2回転部材の他方側に
おける第1回転部材と第2回転部材との間の長尺状伝達
部材の経路長の変化量とが等しくなるように、第1回転
ローラおよび第2回転ローラを同じ移動量だけ連動して
移動させるものであるのが好ましい。
上記連動機構は、第1回転ローラおよび第2回転ローラ
を同じ移動量だけ連動させて移動させるものであるのが
好ましい。さらには、連動機構が、第2回転部材の一方
側における第1回転部材と第2回転部材との間の長尺状
伝達部材の経路長の変化量と、第2回転部材の他方側に
おける第1回転部材と第2回転部材との間の長尺状伝達
部材の経路長の変化量とが等しくなるように、第1回転
ローラおよび第2回転ローラを同じ移動量だけ連動して
移動させるものであるのが好ましい。
【0012】この構成によれば、第1回転ローラおよび
第2回転ローラが同じ移動量だけ連動して移動されるの
で、長尺状伝達部材の張力を調整する前後で、第2回転
部材に固定された基板保持手段の回転位置は全く変化し
ない。したがって、長尺状伝達部材の張力を調整した後
に、第2回転部材に対する基板保持手段の取付位置を調
整する必要をなくすことができる。
第2回転ローラが同じ移動量だけ連動して移動されるの
で、長尺状伝達部材の張力を調整する前後で、第2回転
部材に固定された基板保持手段の回転位置は全く変化し
ない。したがって、長尺状伝達部材の張力を調整した後
に、第2回転部材に対する基板保持手段の取付位置を調
整する必要をなくすことができる。
【0013】連動機構は、第1回転ローラおよび第2回
転ローラを、第2回転部材の両側の長尺状伝達部材の間
に位置する回転軸まわりに回転させることによって連動
させるものであってもよいし、同じ方向に直線的に移動
させるものであってもよい。また、第1回転ローラと第
2回転ローラとを、互いに逆方向に離間または近接させ
るものであってもよい。
転ローラを、第2回転部材の両側の長尺状伝達部材の間
に位置する回転軸まわりに回転させることによって連動
させるものであってもよいし、同じ方向に直線的に移動
させるものであってもよい。また、第1回転ローラと第
2回転ローラとを、互いに逆方向に離間または近接させ
るものであってもよい。
【0014】第1回転ローラおよび第2回転ローラは、
長尺状伝達部材の走行方向に直交する方向に移動される
ように構成されるとよい。また、第1回転ローラの軸と
第2回転ローラの軸とが、互いに平行に設けられていて
もよい。より好ましくは、第1回転ローラと第2回転ロ
ーラとが、第2回転部材の両側において、第2回転部材
からほぼ等しい距離の位置で長尺状伝達部材にそれぞれ
押し付けられるように構成されるとよい。
長尺状伝達部材の走行方向に直交する方向に移動される
ように構成されるとよい。また、第1回転ローラの軸と
第2回転ローラの軸とが、互いに平行に設けられていて
もよい。より好ましくは、第1回転ローラと第2回転ロ
ーラとが、第2回転部材の両側において、第2回転部材
からほぼ等しい距離の位置で長尺状伝達部材にそれぞれ
押し付けられるように構成されるとよい。
【0015】さらに、長尺状伝達部材によって伝達され
る駆動力は、第1回転部材または第2回転部材のどちら
に入力されてもよいし、また、第1回転部材および第2
回転部材以外に長尺状伝達部材が巻き掛けられた第3の
回転部材に入力されてもよい。
る駆動力は、第1回転部材または第2回転部材のどちら
に入力されてもよいし、また、第1回転部材および第2
回転部材以外に長尺状伝達部材が巻き掛けられた第3の
回転部材に入力されてもよい。
【0016】
【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、この
発明の一実施形態に係る基板保持装置が適用された基板
処理装置の一部の構成を概念的に示す平面図である。こ
の基板処理装置は、たとえば、半導体ウエハW(以下、
単に「ウエハW」という。)の表面に付着しているパー
ティクル、研磨剤または余分な薄膜などの不要物を除去
するためのものであり、薬液処理部MTCおよび水洗・
乾燥処理部DTCを備えている。また、薬液処理部MT
Cと水洗・乾燥処理部DTCとの間には、ウエハWを薬
液処理部MTCから水洗・乾燥処理部DTCへ移送する
ための搬送ロボットSTR(基板保持装置)が備えられ
ている。
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、この
発明の一実施形態に係る基板保持装置が適用された基板
処理装置の一部の構成を概念的に示す平面図である。こ
の基板処理装置は、たとえば、半導体ウエハW(以下、
単に「ウエハW」という。)の表面に付着しているパー
ティクル、研磨剤または余分な薄膜などの不要物を除去
するためのものであり、薬液処理部MTCおよび水洗・
乾燥処理部DTCを備えている。また、薬液処理部MT
Cと水洗・乾燥処理部DTCとの間には、ウエハWを薬
液処理部MTCから水洗・乾燥処理部DTCへ移送する
ための搬送ロボットSTR(基板保持装置)が備えられ
ている。
【0017】処理対象であるウエハWは、まず、薬液処
理部MTCに搬入されるようになっている。薬液処理部
MTCには、ウエハWを水平に保持しつつ回転するスピ
ンチャック11と、スピンチャック11に保持されたウ
エハWの表面に、たとえばフッ酸などの薬液を供給する
ための薬液ノズル(図示せず)とが備えられている。薬
液処理部MTCに搬入されたウエハWは、スピンチャッ
ク11によって回転されつつ、その表面に薬液ノズルか
ら薬液が供給されることにより、薬液による洗浄処理が
施される。
理部MTCに搬入されるようになっている。薬液処理部
MTCには、ウエハWを水平に保持しつつ回転するスピ
ンチャック11と、スピンチャック11に保持されたウ
エハWの表面に、たとえばフッ酸などの薬液を供給する
ための薬液ノズル(図示せず)とが備えられている。薬
液処理部MTCに搬入されたウエハWは、スピンチャッ
ク11によって回転されつつ、その表面に薬液ノズルか
ら薬液が供給されることにより、薬液による洗浄処理が
施される。
【0018】薬液処理部MTCでの処理を受けたウエハ
Wは、搬送ロボットSTRによって水洗・乾燥処理部D
TCへと移送される。水洗・乾燥処理部DTCには、ウ
エハWを水平に保持しつつ回転するスピンチャック21
と、スピンチャック21に保持されたウエハWの表面に
純水を供給するための純水ノズル(図示せず)とが備え
られている。水洗・乾燥処理部DTCは、スピンチャッ
ク21に保持されたウエハWの表面に純水ノズルから純
水を供給して、ウエハWの表面に付着している薬液を除
去する。その後、スピンチャック21を高速回転させ
て、ウエハWに付着している水分を遠心力で振り切って
乾燥させる。
Wは、搬送ロボットSTRによって水洗・乾燥処理部D
TCへと移送される。水洗・乾燥処理部DTCには、ウ
エハWを水平に保持しつつ回転するスピンチャック21
と、スピンチャック21に保持されたウエハWの表面に
純水を供給するための純水ノズル(図示せず)とが備え
られている。水洗・乾燥処理部DTCは、スピンチャッ
ク21に保持されたウエハWの表面に純水ノズルから純
水を供給して、ウエハWの表面に付着している薬液を除
去する。その後、スピンチャック21を高速回転させ
て、ウエハWに付着している水分を遠心力で振り切って
乾燥させる。
【0019】図2は、搬送ロボットSTRの構成を示す
断面図である。搬送ロボットSTRは、鉛直方向に沿う
回転軸線C1まわりに回動される下アーム31と、この
下アーム31の先端において鉛直方向に沿う回転軸線C
2まわりに回動自在であるように設けられた上アーム3
2とを備えている。上アーム32には、ウエハWの周縁
に沿う円弧形状のガイド面を有する複数のハンド部材3
3が設けられており、このハンド部材33のガイド面が
ウエハWの端面に当接した状態で、複数のハンド部材3
3によってウエハWを保持できる構造となっている。
断面図である。搬送ロボットSTRは、鉛直方向に沿う
回転軸線C1まわりに回動される下アーム31と、この
下アーム31の先端において鉛直方向に沿う回転軸線C
2まわりに回動自在であるように設けられた上アーム3
2とを備えている。上アーム32には、ウエハWの周縁
に沿う円弧形状のガイド面を有する複数のハンド部材3
3が設けられており、このハンド部材33のガイド面が
ウエハWの端面に当接した状態で、複数のハンド部材3
3によってウエハWを保持できる構造となっている。
【0020】下アーム31は、回転軸線C1に沿って配
置された回転軸34の回動が伝達されることによって回
動する。回転軸34の下端には、モータMからの回転力
がプーリ35,36およびタイミングベルト37によっ
て伝達されるようになっている。モータMの回転状態を
検出するために、このモータMにはエンコーダENが付
属している。
置された回転軸34の回動が伝達されることによって回
動する。回転軸34の下端には、モータMからの回転力
がプーリ35,36およびタイミングベルト37によっ
て伝達されるようになっている。モータMの回転状態を
検出するために、このモータMにはエンコーダENが付
属している。
【0021】モータMが付勢されると、回転軸34が回
動し、それに伴って下アーム31が回転軸線C1まわり
に回動する。このとき、上アーム32は、下アーム31
に内蔵されたベルト機構(後述する)の働きにより、下
アーム31の回動方向とは反対方向に、下アーム31の
回動角度の2倍の角度だけ回動する。したがって、下ア
ーム31を図1において実線で示す待機状態から回転軸
線C1を中心として反時計回りに約90度回転させるこ
とにより、同図において二点鎖線で示すように、上アー
ム32を薬液処理部MTC内に進入させることができ
る。また、下アーム31を図1において実線で示す待機
状態から回転軸線C1を中心として時計回りに約90度
回転させることにより、同図において二点鎖線で示すよ
うに、上アーム32を水洗・乾燥処理部DTC内に進入
させることができる。すなわち、下アーム31と上アー
ム32とは、図1において実線で示す待機状態と、同図
において二点鎖線で示す展開された状態との間で屈伸し
て、ウエハWを薬液処理部MTCから水洗・乾燥処理部
DTCに移送することができる。
動し、それに伴って下アーム31が回転軸線C1まわり
に回動する。このとき、上アーム32は、下アーム31
に内蔵されたベルト機構(後述する)の働きにより、下
アーム31の回動方向とは反対方向に、下アーム31の
回動角度の2倍の角度だけ回動する。したがって、下ア
ーム31を図1において実線で示す待機状態から回転軸
線C1を中心として反時計回りに約90度回転させるこ
とにより、同図において二点鎖線で示すように、上アー
ム32を薬液処理部MTC内に進入させることができ
る。また、下アーム31を図1において実線で示す待機
状態から回転軸線C1を中心として時計回りに約90度
回転させることにより、同図において二点鎖線で示すよ
うに、上アーム32を水洗・乾燥処理部DTC内に進入
させることができる。すなわち、下アーム31と上アー
ム32とは、図1において実線で示す待機状態と、同図
において二点鎖線で示す展開された状態との間で屈伸し
て、ウエハWを薬液処理部MTCから水洗・乾燥処理部
DTCに移送することができる。
【0022】また、搬送ロボットSTRには、上アーム
32と薬液処理部MTCのスピンチャック11および水
洗・乾燥処理部DTCのスピンチャック21との間で、
ウエハWの受け渡しを行うことができるように、下アー
ム31および上アーム32が昇降自在にされている。具
体的には、回転軸34を包囲する保持筒38は、取付部
材41に取り付けられており、この取付部材41には、
鉛直方向に沿って配置されたガイドレール42上を摺動
する一対のガイドブロック43が固定されている。取付
部材41の下端は、エアシリンダ44のロッド44aに
連結されている。したがって、エアシリンダ44のロッ
ド44aを進退させることにより、保持筒38を上下動
させて、下アーム31および上アーム32を昇降させる
ことができる。
32と薬液処理部MTCのスピンチャック11および水
洗・乾燥処理部DTCのスピンチャック21との間で、
ウエハWの受け渡しを行うことができるように、下アー
ム31および上アーム32が昇降自在にされている。具
体的には、回転軸34を包囲する保持筒38は、取付部
材41に取り付けられており、この取付部材41には、
鉛直方向に沿って配置されたガイドレール42上を摺動
する一対のガイドブロック43が固定されている。取付
部材41の下端は、エアシリンダ44のロッド44aに
連結されている。したがって、エアシリンダ44のロッ
ド44aを進退させることにより、保持筒38を上下動
させて、下アーム31および上アーム32を昇降させる
ことができる。
【0023】図3は、下アーム31の内部構成を示す断
面図であり、図4は、下アーム31の内部構成を簡略化
して示す平面図である。下アーム31は、回転軸34を
包囲する保持筒38に対して回動自在に設けられてお
り、ベアリング51を介して保持筒38の上端に取り付
けられたベース板52と、このベース板52の周縁から
立ち上がった周側板53と、周側板53の上端を閉塞す
るように設けられた天板54とを有している。なお、図
4には、天板54を取り除いた状態が示されている。
面図であり、図4は、下アーム31の内部構成を簡略化
して示す平面図である。下アーム31は、回転軸34を
包囲する保持筒38に対して回動自在に設けられてお
り、ベアリング51を介して保持筒38の上端に取り付
けられたベース板52と、このベース板52の周縁から
立ち上がった周側板53と、周側板53の上端を閉塞す
るように設けられた天板54とを有している。なお、図
4には、天板54を取り除いた状態が示されている。
【0024】天板54は、回転軸34と天板54とを連
結するための連結部材55に対してボルト56によって
固定されている。また、連結部材55は、ベース板52
の基端部にボルト57で固定されている。したがって、
回転軸34の回動は、連結部材55を介してベース板5
2および天板54に伝達され、これにより、下アーム3
1が保持筒38(回転軸線C1)まわりに回動する。
結するための連結部材55に対してボルト56によって
固定されている。また、連結部材55は、ベース板52
の基端部にボルト57で固定されている。したがって、
回転軸34の回動は、連結部材55を介してベース板5
2および天板54に伝達され、これにより、下アーム3
1が保持筒38(回転軸線C1)まわりに回動する。
【0025】下アーム31の内部には、下アーム31の
回動に連動して上アーム32を回動させるためのベルト
機構60が備えられている。ベルト機構60は、保持筒
38の上端にボルト61で固定された固定プーリ62
と、ベース板52の先端付近に回転軸線C2に沿って立
設されたプーリ軸63まわりに回動自在な従動プーリ6
4と、固定プーリ62および従動プーリ64に掛け渡さ
れた長尺状伝達部材としてのベルト65とを有してい
る。固定プーリ62および従動プーリ64は、その周面
に多数の歯が形成された歯付プーリで構成され、ベルト
65は、固定プーリ62および従動プーリ64と接触す
る面に多数の歯が形成されたタイミングベルトで構成さ
れている。
回動に連動して上アーム32を回動させるためのベルト
機構60が備えられている。ベルト機構60は、保持筒
38の上端にボルト61で固定された固定プーリ62
と、ベース板52の先端付近に回転軸線C2に沿って立
設されたプーリ軸63まわりに回動自在な従動プーリ6
4と、固定プーリ62および従動プーリ64に掛け渡さ
れた長尺状伝達部材としてのベルト65とを有してい
る。固定プーリ62および従動プーリ64は、その周面
に多数の歯が形成された歯付プーリで構成され、ベルト
65は、固定プーリ62および従動プーリ64と接触す
る面に多数の歯が形成されたタイミングベルトで構成さ
れている。
【0026】従動プーリ64には、上方に突出した円柱
状の取付部66が一体的に形成されている。この取付部
66は、天板54の先端付近に形成された孔58を介し
て、天板54の上方に突出している。取付部66の上面
には、上アーム32の基端部32aがボルト59で固定
されている。これにより、従動プーリ64の回動に伴っ
て、上アーム32を下アーム31の先端において回転軸
線C2まわりに回動させることができる。
状の取付部66が一体的に形成されている。この取付部
66は、天板54の先端付近に形成された孔58を介し
て、天板54の上方に突出している。取付部66の上面
には、上アーム32の基端部32aがボルト59で固定
されている。これにより、従動プーリ64の回動に伴っ
て、上アーム32を下アーム31の先端において回転軸
線C2まわりに回動させることができる。
【0027】上記の構成により、下アーム31が、回転
軸線C1を中心として図4における時計回りに回転する
と、ベース板52に立設された従動プーリ64のプーリ
軸63が、固定プーリ62を中心として同図における時
計回りに公転する。このとき、固定プーリ62は保持筒
38に固定されて回転しないので、固定プーリ62に対
するプーリ軸63の公転により、従動プーリ64は、そ
の周面に形成された歯がベルト65の歯に噛み合いなが
ら、プーリ軸63まわりに図4における反時計回りに自
転する。その結果、従動プーリ64に取り付けられた上
アーム32が、回転軸線C2を中心として図4における
反時計回りに回転する。また逆に、下アーム31が、回
転軸線C1を中心として図4における反時計回りに回転
すると、従動プーリ64が、プーリ軸63まわりに同図
における時計回りに回転し、上アーム32が、回転軸線
C2を中心として同図における時計回りに回転する。
軸線C1を中心として図4における時計回りに回転する
と、ベース板52に立設された従動プーリ64のプーリ
軸63が、固定プーリ62を中心として同図における時
計回りに公転する。このとき、固定プーリ62は保持筒
38に固定されて回転しないので、固定プーリ62に対
するプーリ軸63の公転により、従動プーリ64は、そ
の周面に形成された歯がベルト65の歯に噛み合いなが
ら、プーリ軸63まわりに図4における反時計回りに自
転する。その結果、従動プーリ64に取り付けられた上
アーム32が、回転軸線C2を中心として図4における
反時計回りに回転する。また逆に、下アーム31が、回
転軸線C1を中心として図4における反時計回りに回転
すると、従動プーリ64が、プーリ軸63まわりに同図
における時計回りに回転し、上アーム32が、回転軸線
C2を中心として同図における時計回りに回転する。
【0028】したがって、従動プーリ64の歯数を固定
プーリ62の歯数の1/2としておけば、上アーム32
を、下アーム31の回動方向とは反対方向に下アーム3
1の回動角度の2倍の角度だけ回動させることができ
る。ところが、この搬送ロボットSTRの使用に伴って
ベルト65に伸びが生じると、上アーム32が下アーム
の回転角度の2倍の角度だけ正確に回転されず、上アー
ム32による基板の搬送精度にばらつきを生じるおそれ
がある。
プーリ62の歯数の1/2としておけば、上アーム32
を、下アーム31の回動方向とは反対方向に下アーム3
1の回動角度の2倍の角度だけ回動させることができ
る。ところが、この搬送ロボットSTRの使用に伴って
ベルト65に伸びが生じると、上アーム32が下アーム
の回転角度の2倍の角度だけ正確に回転されず、上アー
ム32による基板の搬送精度にばらつきを生じるおそれ
がある。
【0029】そこで、この実施形態に係るベルト機構6
0には、ベルト65の張力を調整するための張力調整機
構70が設けられている。張力調整機構70は、鉛直方
向に沿う軸71a,72aまわりにそれぞれ回転自在に
設けられたテンションローラ71,72と、このテンシ
ョンローラ71,72を連動して移動させる連動機構7
3とを備えている。
0には、ベルト65の張力を調整するための張力調整機
構70が設けられている。張力調整機構70は、鉛直方
向に沿う軸71a,72aまわりにそれぞれ回転自在に
設けられたテンションローラ71,72と、このテンシ
ョンローラ71,72を連動して移動させる連動機構7
3とを備えている。
【0030】連動機構73は、軸71a,72aが相対
向する周縁位置に立設された回転板75を有し、この回
転板75は、ベース板52の中央付近に形成された円形
凹部74に嵌め込まれている。回転板75は、回転軸3
4(回転軸線C1)とプーリ軸63(回転軸線C2)と
を結ぶ直線上に設けられたボルト軸76によってベース
板52に取り付けられており、ベース板52に沿う平面
内でボルト軸76まわりに回転可能となっている。回転
板75には、ボルト軸76を中心とする円弧状の長穴7
7,78が形成されている。長穴77,78には、それ
ぞれ固定用ボルト79a,79bが挿通されており、こ
の固定用ボルト79a,79bを締結することによって
回転板75のベース板52に対する回転を規制できる。
向する周縁位置に立設された回転板75を有し、この回
転板75は、ベース板52の中央付近に形成された円形
凹部74に嵌め込まれている。回転板75は、回転軸3
4(回転軸線C1)とプーリ軸63(回転軸線C2)と
を結ぶ直線上に設けられたボルト軸76によってベース
板52に取り付けられており、ベース板52に沿う平面
内でボルト軸76まわりに回転可能となっている。回転
板75には、ボルト軸76を中心とする円弧状の長穴7
7,78が形成されている。長穴77,78には、それ
ぞれ固定用ボルト79a,79bが挿通されており、こ
の固定用ボルト79a,79bを締結することによって
回転板75のベース板52に対する回転を規制できる。
【0031】テンションローラ71,72は、回転板7
5の上面にボルト軸76に関して対称に配置されてお
り、回転板75の回転位置にかかわらず、従動プーリ6
4に関して両側に位置するベルト65の外周面にそれぞ
れ接触可能にされている。このベルト機構60を組み立
てた直後の初期状態において、テンションローラ71の
軸71aおよびテンションローラ72の軸72aは、平
面視において回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線
に直交する平面内に含まれている。
5の上面にボルト軸76に関して対称に配置されてお
り、回転板75の回転位置にかかわらず、従動プーリ6
4に関して両側に位置するベルト65の外周面にそれぞ
れ接触可能にされている。このベルト機構60を組み立
てた直後の初期状態において、テンションローラ71の
軸71aおよびテンションローラ72の軸72aは、平
面視において回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線
に直交する平面内に含まれている。
【0032】回転板75を回転させると、2つのテンシ
ョンローラ71,72が同じ回転量だけ連動して回転
し、2つのテンションローラ71,72がベルト65に
交差する方向に移動する。すると、テンションローラ7
1,72によってベルト65が押し狭められ、固定プー
リ62と従動プーリ64との間のベルト65の経路長が
長くなり、ベルト65の張力が増加する。したがって、
ベルト65の張力を調整する際には、固定用ボルト79
a,79bを緩めて回転板75を回転させ、ベルト65
の張力が所定の張力となった状態で固定用ボルト79
a,79bを締めればよく、2つのテンションローラ7
1,72の位置を個別に調整する必要はない。ゆえに、
ベルト65の張力調整に要する手間を軽減することがで
きる。
ョンローラ71,72が同じ回転量だけ連動して回転
し、2つのテンションローラ71,72がベルト65に
交差する方向に移動する。すると、テンションローラ7
1,72によってベルト65が押し狭められ、固定プー
リ62と従動プーリ64との間のベルト65の経路長が
長くなり、ベルト65の張力が増加する。したがって、
ベルト65の張力を調整する際には、固定用ボルト79
a,79bを緩めて回転板75を回転させ、ベルト65
の張力が所定の張力となった状態で固定用ボルト79
a,79bを締めればよく、2つのテンションローラ7
1,72の位置を個別に調整する必要はない。ゆえに、
ベルト65の張力調整に要する手間を軽減することがで
きる。
【0033】また、回転板75の回転によるテンション
ローラ71,72の移動量(回転量)が等しいから、テ
ンションローラ71によるベルト65の引張量とテンシ
ョンローラ72によるベルト65の引張量とはほぼ等し
くなる。つまり、従動プーリ64の一方側におけるベル
ト65の経路長の変化量と、従動プーリ64の他方側に
おけるベルト65の経路長の変化量とがほぼ等しくな
る。したがって、ベルト4に1個のテンションローラ5
を押し付けて張力を調整する従来技術(図8参照)とは
異なり、ベルト65の張力を調整する前後で、従動プー
リ64に固定された上アーム32の位置が大きく変化す
るといったことがない。ゆえに、ベルト65の張力を調
整した後に、従動プーリ64に対する上アーム32の取
付位置を調整する手間を省くことができる。
ローラ71,72の移動量(回転量)が等しいから、テ
ンションローラ71によるベルト65の引張量とテンシ
ョンローラ72によるベルト65の引張量とはほぼ等し
くなる。つまり、従動プーリ64の一方側におけるベル
ト65の経路長の変化量と、従動プーリ64の他方側に
おけるベルト65の経路長の変化量とがほぼ等しくな
る。したがって、ベルト4に1個のテンションローラ5
を押し付けて張力を調整する従来技術(図8参照)とは
異なり、ベルト65の張力を調整する前後で、従動プー
リ64に固定された上アーム32の位置が大きく変化す
るといったことがない。ゆえに、ベルト65の張力を調
整した後に、従動プーリ64に対する上アーム32の取
付位置を調整する手間を省くことができる。
【0034】なお、この実施形態においては、モータM
(図2参照)からの駆動力によって下アーム31が回転
され、固定プーリ62は保持筒38に固定されて回転し
ないが、下アーム31から見ると固定プーリ62は回転
軸34まわりに回転しており、この観点から固定プーリ
62を駆動プーリとみなすことができる。図5は、この
発明の第2実施形態の構成を概念的に示す平面図であ
る。図5において、図4に示す各部に対応する部分には
同一の参照符号を付して示す。この第2実施形態に係る
張力調整機構80は、図3および図4に示す張力調整機
構70に代えて用いられるべきものである。張力調整機
構80は、テンションローラ71,72を連動して移動
させる連動機構81を備えている。
(図2参照)からの駆動力によって下アーム31が回転
され、固定プーリ62は保持筒38に固定されて回転し
ないが、下アーム31から見ると固定プーリ62は回転
軸34まわりに回転しており、この観点から固定プーリ
62を駆動プーリとみなすことができる。図5は、この
発明の第2実施形態の構成を概念的に示す平面図であ
る。図5において、図4に示す各部に対応する部分には
同一の参照符号を付して示す。この第2実施形態に係る
張力調整機構80は、図3および図4に示す張力調整機
構70に代えて用いられるべきものである。張力調整機
構80は、テンションローラ71,72を連動して移動
させる連動機構81を備えている。
【0035】連動機構81は、平面長方形状のスライド
板82を有している。スライド板82は、ベース板52
の上面に沿って、平面視において回転軸線C1と回転軸
線C2とを結ぶ直線に沿ってスライド可能に設けられて
いる。スライド板82には、スライド板82のスライド
方向に長い長穴83,84が形成されている。長穴8
3,84には、それぞれ固定用ボルト85,86が挿通
されており、この固定用ボルト85,86を締結するこ
とによってスライド板82をスライドを規制することが
できる。
板82を有している。スライド板82は、ベース板52
の上面に沿って、平面視において回転軸線C1と回転軸
線C2とを結ぶ直線に沿ってスライド可能に設けられて
いる。スライド板82には、スライド板82のスライド
方向に長い長穴83,84が形成されている。長穴8
3,84には、それぞれ固定用ボルト85,86が挿通
されており、この固定用ボルト85,86を締結するこ
とによってスライド板82をスライドを規制することが
できる。
【0036】テンションローラ71を回転自在に保持し
ている軸71aおよびテンションローラ72を回転自在
に保持している軸72aは、回転軸線C1と回転軸線C
2とを含む平面に関して対称、かつ、平面視において回
転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に直交する平面
内に含まれるように、スライド板82の上面に配置され
ている。
ている軸71aおよびテンションローラ72を回転自在
に保持している軸72aは、回転軸線C1と回転軸線C
2とを含む平面に関して対称、かつ、平面視において回
転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に直交する平面
内に含まれるように、スライド板82の上面に配置され
ている。
【0037】なお、初期状態においては、図5に示すよ
うに、固定用ボルト85,86が長穴83,84の右端
に位置しており、テンションローラ71,72がベルト
65に与える負荷が最も小さくされている。この構成に
より、スライド板82を図5における右方向へ(小径プ
ーリから大径プーリへ)スライドさせると、2つのテン
ションローラ71,72がベルト65と交差する方向に
同じ移動量だけ移動する。すると、テンションローラ7
1,72によって固定プーリ62と従動プーリ64との
間のベルト65が押し狭められて、ベルト65の経路長
が長くなり、ベルト65の張力が増加する。したがっ
て、ベルト65の張力を調整する際には、固定用ボルト
85,86を緩めてスライド板82をスライドさせ、ベ
ルト65の張力が所定の張力となった状態で固定用ボル
ト85,86を締めればよく、2つのテンションローラ
71,72の位置を個別に調整する必要はない。ゆえ
に、上記した第1実施形態と同様、ベルト65の張力調
整に要する手間を軽減することができる。
うに、固定用ボルト85,86が長穴83,84の右端
に位置しており、テンションローラ71,72がベルト
65に与える負荷が最も小さくされている。この構成に
より、スライド板82を図5における右方向へ(小径プ
ーリから大径プーリへ)スライドさせると、2つのテン
ションローラ71,72がベルト65と交差する方向に
同じ移動量だけ移動する。すると、テンションローラ7
1,72によって固定プーリ62と従動プーリ64との
間のベルト65が押し狭められて、ベルト65の経路長
が長くなり、ベルト65の張力が増加する。したがっ
て、ベルト65の張力を調整する際には、固定用ボルト
85,86を緩めてスライド板82をスライドさせ、ベ
ルト65の張力が所定の張力となった状態で固定用ボル
ト85,86を締めればよく、2つのテンションローラ
71,72の位置を個別に調整する必要はない。ゆえ
に、上記した第1実施形態と同様、ベルト65の張力調
整に要する手間を軽減することができる。
【0038】また、スライド板82が、平面視において
回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に沿ってスラ
イドされるので、スライド板82の位置にかかわらず、
テンションローラ71の軸71aとテンションローラ7
2の軸72aとは、回転軸線C1と回転軸線C2とを含
む平面に関して対称、かつ、平面視において回転軸線C
1と回転軸線C2とを結ぶ直線に直交する平面内に含ま
れる。したがって、スライド板82をスライドさせたと
きに、従動プーリ64の一方側におけるベルト65の経
路長の変化量と、従動プーリ64の他方側におけるベル
ト65の経路長の変化量とがほぼ等しくなるので、ベル
ト65の張力を調整する前後で、従動プーリ64に固定
された上アーム32(図3参照)の位置は全く変化しな
い。よって、ベルト65の調整後に上アーム32の取付
位置を再調整する必要をなくすことができる。
回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に沿ってスラ
イドされるので、スライド板82の位置にかかわらず、
テンションローラ71の軸71aとテンションローラ7
2の軸72aとは、回転軸線C1と回転軸線C2とを含
む平面に関して対称、かつ、平面視において回転軸線C
1と回転軸線C2とを結ぶ直線に直交する平面内に含ま
れる。したがって、スライド板82をスライドさせたと
きに、従動プーリ64の一方側におけるベルト65の経
路長の変化量と、従動プーリ64の他方側におけるベル
ト65の経路長の変化量とがほぼ等しくなるので、ベル
ト65の張力を調整する前後で、従動プーリ64に固定
された上アーム32(図3参照)の位置は全く変化しな
い。よって、ベルト65の調整後に上アーム32の取付
位置を再調整する必要をなくすことができる。
【0039】図6は、この発明の第3実施形態の構成を
概念的に示す平面図である。図6において、図4に示す
各部に対応する部分には同一の参照符号を付して示す。
この第2実施形態に係る張力調整機構90は、図3およ
び図4に示す張力調整機構70に代えて用いられるべき
ものであり、テンションローラ71,72を連動して移
動させるための連動機構91を備えている。
概念的に示す平面図である。図6において、図4に示す
各部に対応する部分には同一の参照符号を付して示す。
この第2実施形態に係る張力調整機構90は、図3およ
び図4に示す張力調整機構70に代えて用いられるべき
ものであり、テンションローラ71,72を連動して移
動させるための連動機構91を備えている。
【0040】連動機構91には、回転軸線C1と回転軸
線C2とを結ぶ直線上に設けられたピニオン92と、こ
のピニオン92に噛合した一対のラック93,94とが
含まれている。ラック93,94は、回転軸線C1と回
転軸線C2とを結ぶ直線と直交する方向に長く形成され
ており、ピニオン92を挟んで対向した状態に設けられ
ている。テンションローラ71,72は、それぞれラッ
ク93,94の一方端部に設けられている。テンション
ローラ71の軸71aとテンションローラ72の軸72
aとは、回転軸線C1と回転軸線C2とを含む平面に関
して対称、かつ、平面視において回転軸線C1と回転軸
線C2とを結ぶ直線に直交する平面内に含まれる位置に
設けられている。
線C2とを結ぶ直線上に設けられたピニオン92と、こ
のピニオン92に噛合した一対のラック93,94とが
含まれている。ラック93,94は、回転軸線C1と回
転軸線C2とを結ぶ直線と直交する方向に長く形成され
ており、ピニオン92を挟んで対向した状態に設けられ
ている。テンションローラ71,72は、それぞれラッ
ク93,94の一方端部に設けられている。テンション
ローラ71の軸71aとテンションローラ72の軸72
aとは、回転軸線C1と回転軸線C2とを含む平面に関
して対称、かつ、平面視において回転軸線C1と回転軸
線C2とを結ぶ直線に直交する平面内に含まれる位置に
設けられている。
【0041】また、ラック93,94には、ラック9
3,94の長手方向に沿った長穴96,97が形成され
ている。長穴96,97には、それぞれ固定用ボルト9
8,99が挿通されており、この固定用ボルト98,9
9によってラック93,94をベース板52に固定する
ことができる。この第3実施形態に係る構成では、テン
ションローラ71,72のうち、一方のテンションロー
ラを移動させれば、他方のテンションローラが相互に近
接する方向または離間する方向に同じ量だけ連動して移
動する。また、テンションローラ71の軸71aとテン
ションローラ72の軸72aとは、常に、回転軸線C1
と回転軸線C2とを含む平面に関して対称、かつ、平面
視において回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に
直交する平面内に含まれる。よって、上記した第2実施
形態の構成と同様の効果を奏することができる。
3,94の長手方向に沿った長穴96,97が形成され
ている。長穴96,97には、それぞれ固定用ボルト9
8,99が挿通されており、この固定用ボルト98,9
9によってラック93,94をベース板52に固定する
ことができる。この第3実施形態に係る構成では、テン
ションローラ71,72のうち、一方のテンションロー
ラを移動させれば、他方のテンションローラが相互に近
接する方向または離間する方向に同じ量だけ連動して移
動する。また、テンションローラ71の軸71aとテン
ションローラ72の軸72aとは、常に、回転軸線C1
と回転軸線C2とを含む平面に関して対称、かつ、平面
視において回転軸線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に
直交する平面内に含まれる。よって、上記した第2実施
形態の構成と同様の効果を奏することができる。
【0042】図7は、この発明の第4実施形態の構成を
概念的に示す平面図である。図7において、図4に示す
各部に対応する部分には同一の参照符号を付して示す。
この第2実施形態に係る張力調整機構100は、図3お
よび図4に示す張力調整機構70に代えて用いられるべ
きものであり、テンションローラ71,72を連動して
移動させるための連動機構101を備えている。
概念的に示す平面図である。図7において、図4に示す
各部に対応する部分には同一の参照符号を付して示す。
この第2実施形態に係る張力調整機構100は、図3お
よび図4に示す張力調整機構70に代えて用いられるべ
きものであり、テンションローラ71,72を連動して
移動させるための連動機構101を備えている。
【0043】連動機構101は、周面に右ねじが形成さ
れた第1ねじ軸102と、この第1ねじ軸102に螺合
するナットを有する第1ブロック103と、周面に左ね
じが形成された第2ねじ軸104と、この第2ねじ軸1
04に螺合するナットを有する第2ブロック105とを
有している。第1ねじ軸102と第2ねじ軸104と
は、ダイヤル板106によって連結されて、回転軸線C
1と回転軸線C2とを含む平面と直交する方向に沿って
直線状に延びている。また、第1ねじ軸102および第
2ねじ軸104は、図示しない軸受によって回転自在に
支持されている。テンションローラ71は、第1ブロッ
ク103に設けられており、テンションローラ72は、
第2ブロック105に設けられている。
れた第1ねじ軸102と、この第1ねじ軸102に螺合
するナットを有する第1ブロック103と、周面に左ね
じが形成された第2ねじ軸104と、この第2ねじ軸1
04に螺合するナットを有する第2ブロック105とを
有している。第1ねじ軸102と第2ねじ軸104と
は、ダイヤル板106によって連結されて、回転軸線C
1と回転軸線C2とを含む平面と直交する方向に沿って
直線状に延びている。また、第1ねじ軸102および第
2ねじ軸104は、図示しない軸受によって回転自在に
支持されている。テンションローラ71は、第1ブロッ
ク103に設けられており、テンションローラ72は、
第2ブロック105に設けられている。
【0044】この第4実施形態に係る構成によっても、
ダイヤル板106を回すだけで、テンションローラ7
1,72を、互いに近接する方向または離間する方向に
同じ量だけ連動して移動させることができる。また、テ
ンションローラ71の軸71aとテンションローラ72
の軸72aとは、常に、回転軸線C1と回転軸線C2と
を含む平面に関して対称、かつ、平面視において回転軸
線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に直交する平面内に
含まれる。よって、上記した第2および第3実施形態の
構成と同様の効果を奏することができる。
ダイヤル板106を回すだけで、テンションローラ7
1,72を、互いに近接する方向または離間する方向に
同じ量だけ連動して移動させることができる。また、テ
ンションローラ71の軸71aとテンションローラ72
の軸72aとは、常に、回転軸線C1と回転軸線C2と
を含む平面に関して対称、かつ、平面視において回転軸
線C1と回転軸線C2とを結ぶ直線に直交する平面内に
含まれる。よって、上記した第2および第3実施形態の
構成と同様の効果を奏することができる。
【0045】この発明の4つの実施形態についての説明
は以上の通りであるが、この発明は、上記4つの実施形
態に限定されるものではない。たとえば、上記の各実施
形態においては、2つのテンションローラをベルトの外
側から内側に向けて押し付けて、2つのプーリ間のベル
トの経路長を変化させることにより、ベルトの張力を調
整する構成としている。しかしながら、2つのテンショ
ンローラをベルトの内側から外側に向けて押し付けて、
ベルトを押し広げることにより、ベルトの張力を調整す
る構成であってもよい。
は以上の通りであるが、この発明は、上記4つの実施形
態に限定されるものではない。たとえば、上記の各実施
形態においては、2つのテンションローラをベルトの外
側から内側に向けて押し付けて、2つのプーリ間のベル
トの経路長を変化させることにより、ベルトの張力を調
整する構成としている。しかしながら、2つのテンショ
ンローラをベルトの内側から外側に向けて押し付けて、
ベルトを押し広げることにより、ベルトの張力を調整す
る構成であってもよい。
【0046】また、2つのテンションローラのうちのど
ちらか一方が、ベルトの外側から内側に向けて押し付け
られ、他方が、ベルトの内側から外側に向けて押し付け
られる構成であってもよい。なお、ベルトが上述のタイ
ミングベルトである場合、ベルトの内側から外側に向け
て押し付けられるテンションローラは、その周面に多数
の歯が形成された歯付ローラで構成されるのが好まし
い。
ちらか一方が、ベルトの外側から内側に向けて押し付け
られ、他方が、ベルトの内側から外側に向けて押し付け
られる構成であってもよい。なお、ベルトが上述のタイ
ミングベルトである場合、ベルトの内側から外側に向け
て押し付けられるテンションローラは、その周面に多数
の歯が形成された歯付ローラで構成されるのが好まし
い。
【0047】上記の各実施形態においては、2つのプー
リにベルトが巻き掛けられた構成を例に挙げているが、
3つ以上のプーリにベルトが巻き掛けられた構成であっ
ても構わない。この場合、ベルトの張力を調整する前後
で上アームを変位させないためには、2つのテンション
ローラが、上アームが取り付けられたプーリの両側にお
いてベルトにそれぞれ押し付けられるとよい。
リにベルトが巻き掛けられた構成を例に挙げているが、
3つ以上のプーリにベルトが巻き掛けられた構成であっ
ても構わない。この場合、ベルトの張力を調整する前後
で上アームを変位させないためには、2つのテンション
ローラが、上アームが取り付けられたプーリの両側にお
いてベルトにそれぞれ押し付けられるとよい。
【0048】上記の各実施形態においては、2つのプー
リの周面に歯が形成されて、この2つのプーリにタイミ
ングベルトが巻き掛けられた構成としているが、2つの
プーリの周面に断面V字状の溝が形成されて、この2つ
のプーリにVベルトが巻き掛けられた構成であってもよ
い。さらに、上記の各実施形態では、基板保持装置とし
て搬送ロボットを例にとって説明したが、この発明は、
上述した搬送ロボットのようにウエハを保持して搬送す
る装置に限らず、たとえば、ベルト機構が採用されたス
ピンチャックなど、ベルト機構によって基板保持手段に
駆動力を伝達する基板保持装置に広く適用することがで
きる。また、駆動力を伝達する手段としてはベルト機構
に限定されず、2つのプーリに代えて2つのスプロケッ
トが用いられ、この2つのスプロケットにチェーンが巻
き掛けられたチェーン機構や、2つのプーリに代えて2
つのドラムが用いられ、この2つのドラムにワイヤが掛
け渡されたワイヤ機構であってもよい。
リの周面に歯が形成されて、この2つのプーリにタイミ
ングベルトが巻き掛けられた構成としているが、2つの
プーリの周面に断面V字状の溝が形成されて、この2つ
のプーリにVベルトが巻き掛けられた構成であってもよ
い。さらに、上記の各実施形態では、基板保持装置とし
て搬送ロボットを例にとって説明したが、この発明は、
上述した搬送ロボットのようにウエハを保持して搬送す
る装置に限らず、たとえば、ベルト機構が採用されたス
ピンチャックなど、ベルト機構によって基板保持手段に
駆動力を伝達する基板保持装置に広く適用することがで
きる。また、駆動力を伝達する手段としてはベルト機構
に限定されず、2つのプーリに代えて2つのスプロケッ
トが用いられ、この2つのスプロケットにチェーンが巻
き掛けられたチェーン機構や、2つのプーリに代えて2
つのドラムが用いられ、この2つのドラムにワイヤが掛
け渡されたワイヤ機構であってもよい。
【0049】また、上記の各実施形態においては、ウエ
ハを保持するための基板保持装置を例にとって説明した
が、たとえば、液晶表示装置用ガラス基板やPDP用ガ
ラス基板のような他の種類の基板を保持するための装置
に対しても、この発明を適用することができる。その
他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内で、種々
の設計変更を施すことができる。
ハを保持するための基板保持装置を例にとって説明した
が、たとえば、液晶表示装置用ガラス基板やPDP用ガ
ラス基板のような他の種類の基板を保持するための装置
に対しても、この発明を適用することができる。その
他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内で、種々
の設計変更を施すことができる。
【図1】本発明の一実施形態に係る基板保持装置が適用
された基板処理装置の一部構成を概念的に示す平面図で
ある。
された基板処理装置の一部構成を概念的に示す平面図で
ある。
【図2】搬送ロボットの構成を示す断面図である。
【図3】下アームの内部構成を示す断面図である。
【図4】下アームに内蔵されたベルト機構および張力調
整機構の構成を示す平面図である。
整機構の構成を示す平面図である。
【図5】本発明の第2の実施形態の構成を概念的に示す
平面図である。
平面図である。
【図6】本発明の第3の実施形態の構成を概念的に示す
平面図である。
平面図である。
【図7】本発明の第4の実施形態の構成を概念的に示す
平面図である。
平面図である。
【図8】ベルトを用いた駆動機構の概念的な構成を示す
図である。
図である。
32 上アーム(基板保持手段) 62 固定プーリ(第1回転部材) 64 従動プーリ(第2回転部材) 65 ベルト(長尺状伝達部材) 71,72 テンションローラ(第1回転ローラ,第2
回転ローラ) 73,81,91,101 連動機構 STR 搬送ロボット(基板保持装置)
回転ローラ) 73,81,91,101 連動機構 STR 搬送ロボット(基板保持装置)
Claims (2)
- 【請求項1】第1回転軸を中心に回転可能に設けられた
第1回転部材と、 この第1回転部材と所定の間隔をあけて配置され、第2
回転軸を中心に回転可能な第2回転部材と、 上記第1回転部材および上記第2回転部材との間に掛け
渡され、これらの第1回転部材と第2回転部材との間で
駆動力を伝達するための長尺状伝達部材と、 上記第2回転部材に対して、この第2回転部材の回転が
伝達可能に接続されており、基板を保持するための基板
保持手段と、 上記第2回転部材の両側において上記長尺状伝達部材に
それぞれ押し付けられ、この長尺状伝達部材の走行に伴
って回転可能な第1回転ローラおよび第2回転ローラ
と、 上記第1回転ローラおよび第2回転ローラを連動させて
移動させる連動機構とを含むことを特徴とする基板保持
装置。 - 【請求項2】上記連動機構は、上記第1回転ローラおよ
び第2回転ローラを同じ移動量だけ連動させて移動させ
るものであることを特徴とする請求項1記載の基板保持
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32868197A JPH11156770A (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32868197A JPH11156770A (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 基板保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11156770A true JPH11156770A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=18212987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32868197A Pending JPH11156770A (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11156770A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002266962A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-18 | Yaskawa Electric Corp | ロボットアーム用テンション調整装置 |
KR100997143B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2010-11-30 | 삼성전자주식회사 | 구동장치 및 이를 가지는 로봇 |
KR101032611B1 (ko) | 2010-03-31 | 2011-05-06 | 한국기계연구원 | 관절운동이 가능한 다관절장치의 회전운동 변환 유압장치 |
KR20180021463A (ko) * | 2016-08-22 | 2018-03-05 | (주)한국미래기술 | 무게가 최소화된 고하중 구동모듈 |
WO2022009809A1 (ja) * | 2020-07-10 | 2022-01-13 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
WO2024144373A1 (ko) * | 2022-12-29 | 2024-07-04 | 주식회사 로엔서지컬 | 링크 또는 이중 디스크를 이용한 인공 관절의 안정적인 움직임을 보조하기 위한 와이어 텐션 유지 구조체 |
WO2024144228A1 (ko) * | 2022-12-26 | 2024-07-04 | 주식회사 로엔서지컬 | 링크 또는 이중 디스크를 이용한 인공 관절의 안정적인 움직임을 보조하기 위한 와이어 텐션 유지 구조체 |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP32868197A patent/JPH11156770A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002266962A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-18 | Yaskawa Electric Corp | ロボットアーム用テンション調整装置 |
KR100997143B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2010-11-30 | 삼성전자주식회사 | 구동장치 및 이를 가지는 로봇 |
US8181552B2 (en) | 2008-06-30 | 2012-05-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Driving apparatus and robot having the same |
KR101032611B1 (ko) | 2010-03-31 | 2011-05-06 | 한국기계연구원 | 관절운동이 가능한 다관절장치의 회전운동 변환 유압장치 |
KR20180021463A (ko) * | 2016-08-22 | 2018-03-05 | (주)한국미래기술 | 무게가 최소화된 고하중 구동모듈 |
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WO2024144373A1 (ko) * | 2022-12-29 | 2024-07-04 | 주식회사 로엔서지컬 | 링크 또는 이중 디스크를 이용한 인공 관절의 안정적인 움직임을 보조하기 위한 와이어 텐션 유지 구조체 |
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