JPH11156770A - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】テンションローラ７１，７２を連動させる
ための連動機構７３には、円板状の回転板７５が含まれ
ている。回転板７５は、ベース板５２に沿う平面内で、
平面視において回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直
線上に設けられたボルト軸７６まわりに回転可能となっ
ている。テンションローラ７１，７２は、回転板７５の
上面にボルト軸７６に関して対称に配置されており、回
転板７５の回転位置にかかわらず、それぞれ従動プーリ
６４の両側においてベルト６５に接触可能にされてい
る。回転板７５を回転させると、２つのテンションロー
ラ７１，７２がベルト６５に交差する方向に同じ移動量
だけ移動し、固定ローラ６２と従動ローラ６４との間の
ベルト６５の経路長が長くされる。 【効果】テンションローラ７１，７２の位置を個別に調
整する必要がないので、ベルト６５の張力調整に要する
手間を軽減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレ
イパネル）用ガラス基板などの各種の被処理基板を保持
するための基板保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体ウエハや液晶表示装置
用ガラス基板のような基板に種々の処理を施すための装
置においては、基板を保持するための基板保持装置が備
えられている。基板保持装置には、基板を単に保持する
だけでなく、保持した基板を所定方向に向けて搬送する
基板搬送装置や、保持した基板をその場で回転させる基
板回転装置なども含まれる。この種の基板保持装置とし
ては、たとえば、水平面に沿って回動可能な下アーム
と、この下アームの先端において水平面に沿って回動可
能な上アームとを含む屈伸式の搬送ロボットを例示する
ことができる。

【０００３】この屈伸式の搬送ロボットは、下アームと
上アームとが上下に重なり合った収縮状態から、下アー
ムが回転され、上アームが下アームの回転方向とは逆方
向に下アームの回転角度の２倍の角度だけ回転されるこ
とにより、下アームおよび上アームが展開した伸長状態
に変位できる。上アームの先端上面には、たとえば、基
板をその裏面の周縁部の複数箇所で保持する保持部が設
けられている。これにより、上アームの保持部に基板を
保持した状態で、上アームおよび下アームを屈伸させる
ことにより、基板を所定の方向に搬送することができ
る。

【０００４】この搬送ロボットにおいて、上アームに駆
動力を伝達するための伝達機構として、プーリおよびベ
ルトを含むベルト機構が用いられることがある。上アー
ムに駆動力を伝達するためのベルト機構の概念的な構成
を図８に示す。このベルト機構には、駆動源からの駆動
力が入力される駆動プーリ１と、上面にアーム２の基端
部が固定された従動プーリ３と、駆動プーリ１および従
動プーリ３に巻き掛けられたベルト４とが備えられてい
る。駆動プーリ１に入力された駆動力は、ベルト４を介
して従動プーリ３に伝達される。これにより、従動プー
リ３が回動して、従動プーリ３に固定されたアーム２が
揺動する。

【０００５】このようなベルト機構を備えた搬送ロボッ
トにおいては、この搬送ロボットの使用に伴ってベルト
４に伸びが生じると、駆動プーリ１の回転角度に対する
上アーム２の回転角度が変動して、アーム２による基板
の搬送精度にばらつきを生じるおそれがある。そこで、
従来のベルト機構には、テンションローラ５が設けられ
ており、このテンションローラ５の位置を定期的に調整
することで、ベルト４の張力を一定に保つようにしてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ベルト
４に一定の張力を与えるために、テンションローラ５を
矢印６方向に移動させると、テンションローラ５によっ
てベルト４が引っ張られるために、駆動プーリ１および
従動プーリ３が回転する。その結果、ベルト４の張力を
調整する前後で、従動プーリ３に固定されたアーム２の
回転位置が変化してしまう。

【０００７】したがって、従来のベルト機構において
は、ベルト４の張力を調整した後、さらに従動プーリ３
に対するアーム２の取付位置を調整する必要があり、ベ
ルト４の張力調整に全体として手間がかかっていた。そ
こで、本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、回
転部材に巻き掛けられた長尺状伝達部材の張力を調整す
る手間が軽減された基板保持装置を提供することであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、第１回転
軸を中心に回転可能に設けられた第１回転部材と、この
第１回転部材と所定の間隔をあけて配置され、第２回転
軸を中心に回転可能な第２回転部材と、上記第１回転部
材および上記第２回転部材との間に掛け渡され、これら
の第１回転部材と第２回転部材との間で駆動力を伝達す
るための長尺状伝達部材と、上記第２回転部材に対し
て、この第２回転部材の回転が伝達可能に接続されてお
り、基板を保持するための基板保持手段と、上記第２回
転部材の両側において上記長尺状伝達部材にそれぞれ押
し付けられ、この長尺状伝達部材の走行に伴って回転可
能な第１回転ローラおよび第２回転ローラと、上記第１
回転ローラおよび第２回転ローラを連動させて移動させ
る連動機構とを含むことを特徴とする基板保持装置であ
る。

【０００９】この構成によれば、長尺状伝達部材の張力
を調整する際に、連動機構によって第１回転ローラおよ
び第２回転ローラを連動して移動させることができる。
したがって、第１回転ローラおよび第２回転ローラの位
置を個別に調整して、長尺状伝達部材の張力を調整する
構成に比べて、長尺状伝達部材の張力調整に要する手間
を軽減することができる。

【００１０】また、第１回転ローラおよび第２回転ロー
ラを、第２回転部材の両側において長尺状伝達部材にそ
れぞれ押し付けることによって張力を調整する構成であ
るから、長尺状伝達部材に１個の回転ローラを押し付け
て張力を調整する構成とは異なり、長尺状伝達部材の張
力を調整する前後で第２回転部材に固定された基板保持
手段の回転位置が大きく変化するといったことがない。
ゆえに、長尺状伝達部材の張力を調整した後に、第２回
転部材に対する基板保持手段の取付位置を調整する手間
を省くことができる。

【００１１】また、請求項２に記載されているように、
上記連動機構は、第１回転ローラおよび第２回転ローラ
を同じ移動量だけ連動させて移動させるものであるのが
好ましい。さらには、連動機構が、第２回転部材の一方
側における第１回転部材と第２回転部材との間の長尺状
伝達部材の経路長の変化量と、第２回転部材の他方側に
おける第１回転部材と第２回転部材との間の長尺状伝達
部材の経路長の変化量とが等しくなるように、第１回転
ローラおよび第２回転ローラを同じ移動量だけ連動して
移動させるものであるのが好ましい。

【００１２】この構成によれば、第１回転ローラおよび
第２回転ローラが同じ移動量だけ連動して移動されるの
で、長尺状伝達部材の張力を調整する前後で、第２回転
部材に固定された基板保持手段の回転位置は全く変化し
ない。したがって、長尺状伝達部材の張力を調整した後
に、第２回転部材に対する基板保持手段の取付位置を調
整する必要をなくすことができる。

【００１３】連動機構は、第１回転ローラおよび第２回
転ローラを、第２回転部材の両側の長尺状伝達部材の間
に位置する回転軸まわりに回転させることによって連動
させるものであってもよいし、同じ方向に直線的に移動
させるものであってもよい。また、第１回転ローラと第
２回転ローラとを、互いに逆方向に離間または近接させ
るものであってもよい。

【００１４】第１回転ローラおよび第２回転ローラは、
長尺状伝達部材の走行方向に直交する方向に移動される
ように構成されるとよい。また、第１回転ローラの軸と
第２回転ローラの軸とが、互いに平行に設けられていて
もよい。より好ましくは、第１回転ローラと第２回転ロ
ーラとが、第２回転部材の両側において、第２回転部材
からほぼ等しい距離の位置で長尺状伝達部材にそれぞれ
押し付けられるように構成されるとよい。

【００１５】さらに、長尺状伝達部材によって伝達され
る駆動力は、第１回転部材または第２回転部材のどちら
に入力されてもよいし、また、第１回転部材および第２
回転部材以外に長尺状伝達部材が巻き掛けられた第３の
回転部材に入力されてもよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板保持装置が適用された基板
処理装置の一部の構成を概念的に示す平面図である。こ
の基板処理装置は、たとえば、半導体ウエハＷ（以下、
単に「ウエハＷ」という。）の表面に付着しているパー
ティクル、研磨剤または余分な薄膜などの不要物を除去
するためのものであり、薬液処理部ＭＴＣおよび水洗・
乾燥処理部ＤＴＣを備えている。また、薬液処理部ＭＴ
Ｃと水洗・乾燥処理部ＤＴＣとの間には、ウエハＷを薬
液処理部ＭＴＣから水洗・乾燥処理部ＤＴＣへ移送する
ための搬送ロボットＳＴＲ（基板保持装置）が備えられ
ている。

【００１７】処理対象であるウエハＷは、まず、薬液処
理部ＭＴＣに搬入されるようになっている。薬液処理部
ＭＴＣには、ウエハＷを水平に保持しつつ回転するスピ
ンチャック１１と、スピンチャック１１に保持されたウ
エハＷの表面に、たとえばフッ酸などの薬液を供給する
ための薬液ノズル（図示せず）とが備えられている。薬
液処理部ＭＴＣに搬入されたウエハＷは、スピンチャッ
ク１１によって回転されつつ、その表面に薬液ノズルか
ら薬液が供給されることにより、薬液による洗浄処理が
施される。

【００１８】薬液処理部ＭＴＣでの処理を受けたウエハ
Ｗは、搬送ロボットＳＴＲによって水洗・乾燥処理部Ｄ
ＴＣへと移送される。水洗・乾燥処理部ＤＴＣには、ウ
エハＷを水平に保持しつつ回転するスピンチャック２１
と、スピンチャック２１に保持されたウエハＷの表面に
純水を供給するための純水ノズル（図示せず）とが備え
られている。水洗・乾燥処理部ＤＴＣは、スピンチャッ
ク２１に保持されたウエハＷの表面に純水ノズルから純
水を供給して、ウエハＷの表面に付着している薬液を除
去する。その後、スピンチャック２１を高速回転させ
て、ウエハＷに付着している水分を遠心力で振り切って
乾燥させる。

【００１９】図２は、搬送ロボットＳＴＲの構成を示す
断面図である。搬送ロボットＳＴＲは、鉛直方向に沿う
回転軸線Ｃ１まわりに回動される下アーム３１と、この
下アーム３１の先端において鉛直方向に沿う回転軸線Ｃ
２まわりに回動自在であるように設けられた上アーム３
２とを備えている。上アーム３２には、ウエハＷの周縁
に沿う円弧形状のガイド面を有する複数のハンド部材３
３が設けられており、このハンド部材３３のガイド面が
ウエハＷの端面に当接した状態で、複数のハンド部材３
３によってウエハＷを保持できる構造となっている。

【００２０】下アーム３１は、回転軸線Ｃ１に沿って配
置された回転軸３４の回動が伝達されることによって回
動する。回転軸３４の下端には、モータＭからの回転力
がプーリ３５，３６およびタイミングベルト３７によっ
て伝達されるようになっている。モータＭの回転状態を
検出するために、このモータＭにはエンコーダＥＮが付
属している。

【００２１】モータＭが付勢されると、回転軸３４が回
動し、それに伴って下アーム３１が回転軸線Ｃ１まわり
に回動する。このとき、上アーム３２は、下アーム３１
に内蔵されたベルト機構（後述する）の働きにより、下
アーム３１の回動方向とは反対方向に、下アーム３１の
回動角度の２倍の角度だけ回動する。したがって、下ア
ーム３１を図１において実線で示す待機状態から回転軸
線Ｃ１を中心として反時計回りに約９０度回転させるこ
とにより、同図において二点鎖線で示すように、上アー
ム３２を薬液処理部ＭＴＣ内に進入させることができ
る。また、下アーム３１を図１において実線で示す待機
状態から回転軸線Ｃ１を中心として時計回りに約９０度
回転させることにより、同図において二点鎖線で示すよ
うに、上アーム３２を水洗・乾燥処理部ＤＴＣ内に進入
させることができる。すなわち、下アーム３１と上アー
ム３２とは、図１において実線で示す待機状態と、同図
において二点鎖線で示す展開された状態との間で屈伸し
て、ウエハＷを薬液処理部ＭＴＣから水洗・乾燥処理部
ＤＴＣに移送することができる。

【００２２】また、搬送ロボットＳＴＲには、上アーム
３２と薬液処理部ＭＴＣのスピンチャック１１および水
洗・乾燥処理部ＤＴＣのスピンチャック２１との間で、
ウエハＷの受け渡しを行うことができるように、下アー
ム３１および上アーム３２が昇降自在にされている。具
体的には、回転軸３４を包囲する保持筒３８は、取付部
材４１に取り付けられており、この取付部材４１には、
鉛直方向に沿って配置されたガイドレール４２上を摺動
する一対のガイドブロック４３が固定されている。取付
部材４１の下端は、エアシリンダ４４のロッド４４ａに
連結されている。したがって、エアシリンダ４４のロッ
ド４４ａを進退させることにより、保持筒３８を上下動
させて、下アーム３１および上アーム３２を昇降させる
ことができる。

【００２３】図３は、下アーム３１の内部構成を示す断
面図であり、図４は、下アーム３１の内部構成を簡略化
して示す平面図である。下アーム３１は、回転軸３４を
包囲する保持筒３８に対して回動自在に設けられてお
り、ベアリング５１を介して保持筒３８の上端に取り付
けられたベース板５２と、このベース板５２の周縁から
立ち上がった周側板５３と、周側板５３の上端を閉塞す
るように設けられた天板５４とを有している。なお、図
４には、天板５４を取り除いた状態が示されている。

【００２４】天板５４は、回転軸３４と天板５４とを連
結するための連結部材５５に対してボルト５６によって
固定されている。また、連結部材５５は、ベース板５２
の基端部にボルト５７で固定されている。したがって、
回転軸３４の回動は、連結部材５５を介してベース板５
２および天板５４に伝達され、これにより、下アーム３
１が保持筒３８（回転軸線Ｃ１）まわりに回動する。

【００２５】下アーム３１の内部には、下アーム３１の
回動に連動して上アーム３２を回動させるためのベルト
機構６０が備えられている。ベルト機構６０は、保持筒
３８の上端にボルト６１で固定された固定プーリ６２
と、ベース板５２の先端付近に回転軸線Ｃ２に沿って立
設されたプーリ軸６３まわりに回動自在な従動プーリ６
４と、固定プーリ６２および従動プーリ６４に掛け渡さ
れた長尺状伝達部材としてのベルト６５とを有してい
る。固定プーリ６２および従動プーリ６４は、その周面
に多数の歯が形成された歯付プーリで構成され、ベルト
６５は、固定プーリ６２および従動プーリ６４と接触す
る面に多数の歯が形成されたタイミングベルトで構成さ
れている。

【００２６】従動プーリ６４には、上方に突出した円柱
状の取付部６６が一体的に形成されている。この取付部
６６は、天板５４の先端付近に形成された孔５８を介し
て、天板５４の上方に突出している。取付部６６の上面
には、上アーム３２の基端部３２ａがボルト５９で固定
されている。これにより、従動プーリ６４の回動に伴っ
て、上アーム３２を下アーム３１の先端において回転軸
線Ｃ２まわりに回動させることができる。

【００２７】上記の構成により、下アーム３１が、回転
軸線Ｃ１を中心として図４における時計回りに回転する
と、ベース板５２に立設された従動プーリ６４のプーリ
軸６３が、固定プーリ６２を中心として同図における時
計回りに公転する。このとき、固定プーリ６２は保持筒
３８に固定されて回転しないので、固定プーリ６２に対
するプーリ軸６３の公転により、従動プーリ６４は、そ
の周面に形成された歯がベルト６５の歯に噛み合いなが
ら、プーリ軸６３まわりに図４における反時計回りに自
転する。その結果、従動プーリ６４に取り付けられた上
アーム３２が、回転軸線Ｃ２を中心として図４における
反時計回りに回転する。また逆に、下アーム３１が、回
転軸線Ｃ１を中心として図４における反時計回りに回転
すると、従動プーリ６４が、プーリ軸６３まわりに同図
における時計回りに回転し、上アーム３２が、回転軸線
Ｃ２を中心として同図における時計回りに回転する。

【００２８】したがって、従動プーリ６４の歯数を固定
プーリ６２の歯数の１／２としておけば、上アーム３２
を、下アーム３１の回動方向とは反対方向に下アーム３
１の回動角度の２倍の角度だけ回動させることができ
る。ところが、この搬送ロボットＳＴＲの使用に伴って
ベルト６５に伸びが生じると、上アーム３２が下アーム
の回転角度の２倍の角度だけ正確に回転されず、上アー
ム３２による基板の搬送精度にばらつきを生じるおそれ
がある。

【００２９】そこで、この実施形態に係るベルト機構６
０には、ベルト６５の張力を調整するための張力調整機
構７０が設けられている。張力調整機構７０は、鉛直方
向に沿う軸７１ａ，７２ａまわりにそれぞれ回転自在に
設けられたテンションローラ７１，７２と、このテンシ
ョンローラ７１，７２を連動して移動させる連動機構７
３とを備えている。

【００３０】連動機構７３は、軸７１ａ，７２ａが相対
向する周縁位置に立設された回転板７５を有し、この回
転板７５は、ベース板５２の中央付近に形成された円形
凹部７４に嵌め込まれている。回転板７５は、回転軸３
４（回転軸線Ｃ１）とプーリ軸６３（回転軸線Ｃ２）と
を結ぶ直線上に設けられたボルト軸７６によってベース
板５２に取り付けられており、ベース板５２に沿う平面
内でボルト軸７６まわりに回転可能となっている。回転
板７５には、ボルト軸７６を中心とする円弧状の長穴７
７，７８が形成されている。長穴７７，７８には、それ
ぞれ固定用ボルト７９ａ，７９ｂが挿通されており、こ
の固定用ボルト７９ａ，７９ｂを締結することによって
回転板７５のベース板５２に対する回転を規制できる。

【００３１】テンションローラ７１，７２は、回転板７
５の上面にボルト軸７６に関して対称に配置されてお
り、回転板７５の回転位置にかかわらず、従動プーリ６
４に関して両側に位置するベルト６５の外周面にそれぞ
れ接触可能にされている。このベルト機構６０を組み立
てた直後の初期状態において、テンションローラ７１の
軸７１ａおよびテンションローラ７２の軸７２ａは、平
面視において回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線
に直交する平面内に含まれている。

【００３２】回転板７５を回転させると、２つのテンシ
ョンローラ７１，７２が同じ回転量だけ連動して回転
し、２つのテンションローラ７１，７２がベルト６５に
交差する方向に移動する。すると、テンションローラ７
１，７２によってベルト６５が押し狭められ、固定プー
リ６２と従動プーリ６４との間のベルト６５の経路長が
長くなり、ベルト６５の張力が増加する。したがって、
ベルト６５の張力を調整する際には、固定用ボルト７９
ａ，７９ｂを緩めて回転板７５を回転させ、ベルト６５
の張力が所定の張力となった状態で固定用ボルト７９
ａ，７９ｂを締めればよく、２つのテンションローラ７
１，７２の位置を個別に調整する必要はない。ゆえに、
ベルト６５の張力調整に要する手間を軽減することがで
きる。

【００３３】また、回転板７５の回転によるテンション
ローラ７１，７２の移動量（回転量）が等しいから、テ
ンションローラ７１によるベルト６５の引張量とテンシ
ョンローラ７２によるベルト６５の引張量とはほぼ等し
くなる。つまり、従動プーリ６４の一方側におけるベル
ト６５の経路長の変化量と、従動プーリ６４の他方側に
おけるベルト６５の経路長の変化量とがほぼ等しくな
る。したがって、ベルト４に１個のテンションローラ５
を押し付けて張力を調整する従来技術（図８参照）とは
異なり、ベルト６５の張力を調整する前後で、従動プー
リ６４に固定された上アーム３２の位置が大きく変化す
るといったことがない。ゆえに、ベルト６５の張力を調
整した後に、従動プーリ６４に対する上アーム３２の取
付位置を調整する手間を省くことができる。

【００３４】なお、この実施形態においては、モータＭ
（図２参照）からの駆動力によって下アーム３１が回転
され、固定プーリ６２は保持筒３８に固定されて回転し
ないが、下アーム３１から見ると固定プーリ６２は回転
軸３４まわりに回転しており、この観点から固定プーリ
６２を駆動プーリとみなすことができる。図５は、この
発明の第２実施形態の構成を概念的に示す平面図であ
る。図５において、図４に示す各部に対応する部分には
同一の参照符号を付して示す。この第２実施形態に係る
張力調整機構８０は、図３および図４に示す張力調整機
構７０に代えて用いられるべきものである。張力調整機
構８０は、テンションローラ７１，７２を連動して移動
させる連動機構８１を備えている。

【００３５】連動機構８１は、平面長方形状のスライド
板８２を有している。スライド板８２は、ベース板５２
の上面に沿って、平面視において回転軸線Ｃ１と回転軸
線Ｃ２とを結ぶ直線に沿ってスライド可能に設けられて
いる。スライド板８２には、スライド板８２のスライド
方向に長い長穴８３，８４が形成されている。長穴８
３，８４には、それぞれ固定用ボルト８５，８６が挿通
されており、この固定用ボルト８５，８６を締結するこ
とによってスライド板８２をスライドを規制することが
できる。

【００３６】テンションローラ７１を回転自在に保持し
ている軸７１ａおよびテンションローラ７２を回転自在
に保持している軸７２ａは、回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ
２とを含む平面に関して対称、かつ、平面視において回
転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線に直交する平面
内に含まれるように、スライド板８２の上面に配置され
ている。

【００３７】なお、初期状態においては、図５に示すよ
うに、固定用ボルト８５，８６が長穴８３，８４の右端
に位置しており、テンションローラ７１，７２がベルト
６５に与える負荷が最も小さくされている。この構成に
より、スライド板８２を図５における右方向へ（小径プ
ーリから大径プーリへ）スライドさせると、２つのテン
ションローラ７１，７２がベルト６５と交差する方向に
同じ移動量だけ移動する。すると、テンションローラ７
１，７２によって固定プーリ６２と従動プーリ６４との
間のベルト６５が押し狭められて、ベルト６５の経路長
が長くなり、ベルト６５の張力が増加する。したがっ
て、ベルト６５の張力を調整する際には、固定用ボルト
８５，８６を緩めてスライド板８２をスライドさせ、ベ
ルト６５の張力が所定の張力となった状態で固定用ボル
ト８５，８６を締めればよく、２つのテンションローラ
７１，７２の位置を個別に調整する必要はない。ゆえ
に、上記した第１実施形態と同様、ベルト６５の張力調
整に要する手間を軽減することができる。

【００３８】また、スライド板８２が、平面視において
回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線に沿ってスラ
イドされるので、スライド板８２の位置にかかわらず、
テンションローラ７１の軸７１ａとテンションローラ７
２の軸７２ａとは、回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを含
む平面に関して対称、かつ、平面視において回転軸線Ｃ
１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線に直交する平面内に含ま
れる。したがって、スライド板８２をスライドさせたと
きに、従動プーリ６４の一方側におけるベルト６５の経
路長の変化量と、従動プーリ６４の他方側におけるベル
ト６５の経路長の変化量とがほぼ等しくなるので、ベル
ト６５の張力を調整する前後で、従動プーリ６４に固定
された上アーム３２（図３参照）の位置は全く変化しな
い。よって、ベルト６５の調整後に上アーム３２の取付
位置を再調整する必要をなくすことができる。

【００３９】図６は、この発明の第３実施形態の構成を
概念的に示す平面図である。図６において、図４に示す
各部に対応する部分には同一の参照符号を付して示す。
この第２実施形態に係る張力調整機構９０は、図３およ
び図４に示す張力調整機構７０に代えて用いられるべき
ものであり、テンションローラ７１，７２を連動して移
動させるための連動機構９１を備えている。

【００４０】連動機構９１には、回転軸線Ｃ１と回転軸
線Ｃ２とを結ぶ直線上に設けられたピニオン９２と、こ
のピニオン９２に噛合した一対のラック９３，９４とが
含まれている。ラック９３，９４は、回転軸線Ｃ１と回
転軸線Ｃ２とを結ぶ直線と直交する方向に長く形成され
ており、ピニオン９２を挟んで対向した状態に設けられ
ている。テンションローラ７１，７２は、それぞれラッ
ク９３，９４の一方端部に設けられている。テンション
ローラ７１の軸７１ａとテンションローラ７２の軸７２
ａとは、回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを含む平面に関
して対称、かつ、平面視において回転軸線Ｃ１と回転軸
線Ｃ２とを結ぶ直線に直交する平面内に含まれる位置に
設けられている。

【００４１】また、ラック９３，９４には、ラック９
３，９４の長手方向に沿った長穴９６，９７が形成され
ている。長穴９６，９７には、それぞれ固定用ボルト９
８，９９が挿通されており、この固定用ボルト９８，９
９によってラック９３，９４をベース板５２に固定する
ことができる。この第３実施形態に係る構成では、テン
ションローラ７１，７２のうち、一方のテンションロー
ラを移動させれば、他方のテンションローラが相互に近
接する方向または離間する方向に同じ量だけ連動して移
動する。また、テンションローラ７１の軸７１ａとテン
ションローラ７２の軸７２ａとは、常に、回転軸線Ｃ１
と回転軸線Ｃ２とを含む平面に関して対称、かつ、平面
視において回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線に
直交する平面内に含まれる。よって、上記した第２実施
形態の構成と同様の効果を奏することができる。

【００４２】図７は、この発明の第４実施形態の構成を
概念的に示す平面図である。図７において、図４に示す
各部に対応する部分には同一の参照符号を付して示す。
この第２実施形態に係る張力調整機構１００は、図３お
よび図４に示す張力調整機構７０に代えて用いられるべ
きものであり、テンションローラ７１，７２を連動して
移動させるための連動機構１０１を備えている。

【００４３】連動機構１０１は、周面に右ねじが形成さ
れた第１ねじ軸１０２と、この第１ねじ軸１０２に螺合
するナットを有する第１ブロック１０３と、周面に左ね
じが形成された第２ねじ軸１０４と、この第２ねじ軸１
０４に螺合するナットを有する第２ブロック１０５とを
有している。第１ねじ軸１０２と第２ねじ軸１０４と
は、ダイヤル板１０６によって連結されて、回転軸線Ｃ
１と回転軸線Ｃ２とを含む平面と直交する方向に沿って
直線状に延びている。また、第１ねじ軸１０２および第
２ねじ軸１０４は、図示しない軸受によって回転自在に
支持されている。テンションローラ７１は、第１ブロッ
ク１０３に設けられており、テンションローラ７２は、
第２ブロック１０５に設けられている。

【００４４】この第４実施形態に係る構成によっても、
ダイヤル板１０６を回すだけで、テンションローラ７
１，７２を、互いに近接する方向または離間する方向に
同じ量だけ連動して移動させることができる。また、テ
ンションローラ７１の軸７１ａとテンションローラ７２
の軸７２ａとは、常に、回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２と
を含む平面に関して対称、かつ、平面視において回転軸
線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線に直交する平面内に
含まれる。よって、上記した第２および第３実施形態の
構成と同様の効果を奏することができる。

【００４５】この発明の４つの実施形態についての説明
は以上の通りであるが、この発明は、上記４つの実施形
態に限定されるものではない。たとえば、上記の各実施
形態においては、２つのテンションローラをベルトの外
側から内側に向けて押し付けて、２つのプーリ間のベル
トの経路長を変化させることにより、ベルトの張力を調
整する構成としている。しかしながら、２つのテンショ
ンローラをベルトの内側から外側に向けて押し付けて、
ベルトを押し広げることにより、ベルトの張力を調整す
る構成であってもよい。

【００４６】また、２つのテンションローラのうちのど
ちらか一方が、ベルトの外側から内側に向けて押し付け
られ、他方が、ベルトの内側から外側に向けて押し付け
られる構成であってもよい。なお、ベルトが上述のタイ
ミングベルトである場合、ベルトの内側から外側に向け
て押し付けられるテンションローラは、その周面に多数
の歯が形成された歯付ローラで構成されるのが好まし
い。

【００４７】上記の各実施形態においては、２つのプー
リにベルトが巻き掛けられた構成を例に挙げているが、
３つ以上のプーリにベルトが巻き掛けられた構成であっ
ても構わない。この場合、ベルトの張力を調整する前後
で上アームを変位させないためには、２つのテンション
ローラが、上アームが取り付けられたプーリの両側にお
いてベルトにそれぞれ押し付けられるとよい。

【００４８】上記の各実施形態においては、２つのプー
リの周面に歯が形成されて、この２つのプーリにタイミ
ングベルトが巻き掛けられた構成としているが、２つの
プーリの周面に断面Ｖ字状の溝が形成されて、この２つ
のプーリにＶベルトが巻き掛けられた構成であってもよ
い。さらに、上記の各実施形態では、基板保持装置とし
て搬送ロボットを例にとって説明したが、この発明は、
上述した搬送ロボットのようにウエハを保持して搬送す
る装置に限らず、たとえば、ベルト機構が採用されたス
ピンチャックなど、ベルト機構によって基板保持手段に
駆動力を伝達する基板保持装置に広く適用することがで
きる。また、駆動力を伝達する手段としてはベルト機構
に限定されず、２つのプーリに代えて２つのスプロケッ
トが用いられ、この２つのスプロケットにチェーンが巻
き掛けられたチェーン機構や、２つのプーリに代えて２
つのドラムが用いられ、この２つのドラムにワイヤが掛
け渡されたワイヤ機構であってもよい。

【００４９】また、上記の各実施形態においては、ウエ
ハを保持するための基板保持装置を例にとって説明した
が、たとえば、液晶表示装置用ガラス基板やＰＤＰ用ガ
ラス基板のような他の種類の基板を保持するための装置
に対しても、この発明を適用することができる。その
他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内で、種々
の設計変更を施すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る基板保持装置が適用
された基板処理装置の一部構成を概念的に示す平面図で
ある。

【図２】搬送ロボットの構成を示す断面図である。

【図３】下アームの内部構成を示す断面図である。

【図４】下アームに内蔵されたベルト機構および張力調
整機構の構成を示す平面図である。

【図５】本発明の第２の実施形態の構成を概念的に示す
平面図である。

【図６】本発明の第３の実施形態の構成を概念的に示す
平面図である。

【図７】本発明の第４の実施形態の構成を概念的に示す
平面図である。

【図８】ベルトを用いた駆動機構の概念的な構成を示す
図である。

【符号の説明】

３２ 上アーム（基板保持手段） ６２ 固定プーリ（第１回転部材） ６４ 従動プーリ（第２回転部材） ６５ ベルト（長尺状伝達部材） ７１，７２ テンションローラ（第１回転ローラ，第２
回転ローラ） ７３，８１，９１，１０１ 連動機構 ＳＴＲ 搬送ロボット（基板保持装置）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１回転軸を中心に回転可能に設けられた
   第１回転部材と、 この第１回転部材と所定の間隔をあけて配置され、第２
   回転軸を中心に回転可能な第２回転部材と、 上記第１回転部材および上記第２回転部材との間に掛け
   渡され、これらの第１回転部材と第２回転部材との間で
   駆動力を伝達するための長尺状伝達部材と、 上記第２回転部材に対して、この第２回転部材の回転が
   伝達可能に接続されており、基板を保持するための基板
   保持手段と、 上記第２回転部材の両側において上記長尺状伝達部材に
   それぞれ押し付けられ、この長尺状伝達部材の走行に伴
   って回転可能な第１回転ローラおよび第２回転ローラ
   と、 上記第１回転ローラおよび第２回転ローラを連動させて
   移動させる連動機構とを含むことを特徴とする基板保持
   装置。
2. 【請求項２】上記連動機構は、上記第１回転ローラおよ
   び第２回転ローラを同じ移動量だけ連動させて移動させ
   るものであることを特徴とする請求項１記載の基板保持
   装置。