JPH11153410A - Optical fiber fixing member inspection method, and inspection device therefor - Google Patents
Optical fiber fixing member inspection method, and inspection device thereforInfo
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- JPH11153410A JPH11153410A JP32162197A JP32162197A JPH11153410A JP H11153410 A JPH11153410 A JP H11153410A JP 32162197 A JP32162197 A JP 32162197A JP 32162197 A JP32162197 A JP 32162197A JP H11153410 A JPH11153410 A JP H11153410A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバ固定部材
の検査方法及びその検査装置に係り、光ファイバコネク
等において光ファイバを所定間隔で固定するか、または
光ファイバの端面同志を対向させるためのＶ溝を有する
光ファイバ固定部材のＶ溝間のピッチを測定するための
技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting an optical fiber fixing member, for fixing optical fibers at predetermined intervals in an optical fiber connector or the like, or for opposing end faces of optical fibers. The present invention relates to a technique for measuring a pitch between V grooves of an optical fiber fixing member having V grooves.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ファイバ通信において、光ファイバア
レイを内装する光ファイバコネクタが使用される。この
光ファイバアレイを構成するために、例えば８個分のＶ
溝をセラミック製の板部材上に等間隔に精度良く研削加
工したＶ溝ブロックが使用される。また、セラミック製
の板部材の他には、ジルコニア、アルミナ等のビッカー
ス硬度が１０００から２０００の高硬度の素材が使用さ
れており、Ｖ溝を１本毎に研削加工していることから製
造コストアップを招いていた。2. Description of the Related Art In optical fiber communication, an optical fiber connector housing an optical fiber array is used. To configure this optical fiber array, for example, eight V
A V-groove block in which the grooves are precisely ground at equal intervals on a ceramic plate member is used. In addition to the ceramic plate member, a high-hardness material having a Vickers hardness of 1000 to 2000, such as zirconia or alumina, is used. Since V-grooves are ground one by one, the manufacturing cost is reduced. Had been invited up.
【０００３】そこで、特開平６‐２０１９３６号公報に
開示されているように、上記の高硬度の難加工素材に代
えて加工性に優れるガラス板の表面部位にＶ溝をプレス
加工することで安価に製造できるようにする一方で、ガ
ラスを通過する紫外線により硬化する光硬化性樹脂接着
剤を使用することが提案されている。Therefore, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-201936, a V-groove is formed by pressing a V-groove on a surface portion of a glass plate having excellent workability in place of the above-mentioned hard-hard material which is difficult to process. On the other hand, it has been proposed to use a photo-curable resin adhesive which is cured by ultraviolet light passing through glass.
【０００４】一方、光ファイバを使用した加入者系ネッ
トワークの完備において、光ファイバケーブルの付設工
事や、支障移転工事の際の試験業務の効率化や故障時に
おける復旧時間の短縮などの保守と運用の向上を図るこ
とにより、ユーザの要望に対して的確かつ迅速に対応で
きるようにする必要がある。[0004] On the other hand, in a complete subscriber network using optical fibers, maintenance and operation such as improving the efficiency of test work at the time of installation work of optical fiber cables and trouble transfer work, and shortening the recovery time in case of failure, etc. It is necessary to be able to respond accurately and promptly to the demands of users by improving the quality of the information.
【０００５】そこで、例えば８００本の光ファイバから
なる光ファイバ線路を１本毎に光ファイバ端末部を面一
に揃えた状態にして固定するときに、上記のように研削
加工される８個分のＶ溝を、セラミック製の板部材上に
等間隔に精度良く機械加工したＶ溝ブロックを合計で１
００個分設けた大型の光コネクタが必要となる。Therefore, when fixing an optical fiber line composed of, for example, 800 optical fibers with the end portions of the optical fiber lines aligned one by one, eight pieces to be ground as described above are fixed. V-groove blocks are machined with high precision at equal intervals on a ceramic plate member.
A large optical connector provided for 00 pieces is required.
【０００６】すなわち、図８（ａ）の外観斜視図におい
て、ジルコニア、アルミナ、結晶化ガラス、セラミック
製の板部材１００の表面に、Ｖ溝１００ａを多数研削加
工しておき、このＶ溝１００ａの内部に光ファイバ２
１、２０の光ファイバ端末部２１ａ、２０ａを面一に揃
えた状態にして固定して、例えば８本分のＶ溝を精度良
く機械加工したものを光コネクタに内蔵している。この
ようにして光ファイバ端末部の全てを正確に精度良く位
置決め対向させることで、光の伝達が減衰なく行うよう
にする絶対条件を満足させている。That is, in the external perspective view of FIG. 8A, a large number of V-grooves 100a are ground on the surface of a plate member 100 made of zirconia, alumina, crystallized glass, or ceramic. Optical fiber 2 inside
The optical fiber end portions 21a and 20a of the optical fiber connectors 1 and 20 are fixed in a state where they are flush with each other, and for example, eight V-grooves which are machined with high precision are built in the optical connector. In this way, by positioning all of the optical fiber terminals accurately and accurately, the optical fiber satisfies the absolute condition that light transmission is performed without attenuation.
【０００７】また、光コネクタに複数の光ファイバをセ
ットする治具は、Ｖ溝ブロックのＶ溝間の間隔が等間隔
で設けられていることを前提としているので、Ｖ溝のピ
ッチを所定クリアランス内に規定するための厳密な製造
管理が重要となる。このために、上述のように板部材１
００上に等間隔に精度良く研削加工したＶ溝ブロックの
Ｖ溝１００ａを１本毎に研削加工した後に、Ｖ溝間のピ
ッチ測定を行う検査工程を設けている。The jig for setting a plurality of optical fibers in the optical connector is based on the premise that the intervals between the V-grooves of the V-groove block are provided at equal intervals. Strict production control to define within is important. To this end, as described above, the plate member 1
After the V-grooves 100a of the V-groove block ground at equal intervals with high accuracy are ground one by one, an inspection step for measuring the pitch between the V-grooves is provided.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】この検査工程におい
て、一般的な接触針式の形状測定によれば、ダイアモン
ド乃至サファイア針によりＶ溝上をトレースするのでＶ
溝に傷を付ける問題があるので採用できない。そこで、
非接触式の形状測定器が採用されることになる。In this inspection process, according to a general contact needle type shape measurement, a diamond or a sapphire needle traces on a V-groove.
Cannot be adopted due to the problem of scratching the groove. Therefore,
A non-contact type shape measuring device will be adopted.
【０００９】図８（ｂ）において、非接触式の形状測定
器による測定方法について簡単に述べると、研削加工後
のＶ溝ブロック１００を測定治具上にセットし、移動体
のレーザー発振器１０からレーザー光をＶ溝１００ａに
照射し、移動体の移動量と移動時におけるＶ溝１００ａ
の山部１００ａ−２または谷部１００ａ−１からの反射
光を測定することで、ピッチＰの測定が可能となる。In FIG. 8 (b), a measuring method using a non-contact type shape measuring device will be briefly described. The ground V-groove block 100 is set on a measuring jig, and a laser oscillator 10 of a moving body is used. The V-groove 100a is irradiated with laser light, and the amount of movement of the moving body and the V-groove 100a during movement
By measuring the reflected light from the peak 100a-2 or the valley 100a-1, the pitch P can be measured.
【００１０】しかしながら、一般的にレーザー光の反射
光を測定できる傾斜角度は平面からなす角度が最大で４
０度前後までであることから、平面から４５度となるＶ
溝を測定することはできない。また、山部１００ａ−２
または谷部１００ａ−１はカケ防止および耐久性アップ
のためにＲ形状となっているので、これらの部分にレー
ザー光を照射してもノイズ成分程度にしかならず、レー
ザー反射光からは測定できない。However, in general, the inclination angle at which the reflected light of the laser beam can be measured is a maximum of 4 degrees from the plane.
Since it is around 0 degrees, V becomes 45 degrees from the plane.
Grooves cannot be measured. In addition, mountain part 100a-2
Alternatively, since the valley 100a-1 has an R shape for preventing chipping and increasing durability, even if these portions are irradiated with laser light, the valley 100a-1 is only a noise component and cannot be measured from laser reflected light.
【００１１】一方、光学式実体顕微鏡を使用して、光源
を斜め上から照射して、山部１００ａ−２または谷部１
００ａ−１を観察及び測定する場合には、山部１００ａ
−２または谷部１００ａ−１の稜線が非常に確認しずら
いことから、実施できない問題があった。On the other hand, the light source is irradiated obliquely from above by using an optical stereo microscope, and the peak 100a-2 or the valley 1 is illuminated.
When observing and measuring 00a-1, the peak 100a
-2 or the ridgeline of the valley 100a-1 was very difficult to confirm, and thus there was a problem that it could not be implemented.
【００１２】したがって、本発明は上記の問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、光フ
ァイバ固定部材のＶ溝加工形成後のＶ溝間のピッチ測定
を、非接触式の光学式の画像検出手段を使用して正確に
実施することができる光ファイバ固定部材の検査方法及
びその検査装置の提供にある。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to measure the pitch between V-grooves after V-groove processing of an optical fiber fixing member by a non-contact type. It is an object of the present invention to provide an optical fiber fixing member inspection method and an inspection apparatus which can be accurately performed by using the optical image detecting means.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明の光ファイバ固定部材の検
査方法によれば、複数の光ファイバを個別にＶ溝内に固
定または案内する光ファイバ固定部材を、到達温度が４
００から７００℃の範囲で変形可能な低融点ガラス材の
表面上にＶ溝型でプレス加工するときに、前記Ｖ溝の谷
底部に平坦部を同時プレス加工して得られる光ファイバ
固定部材の検査方法であって、前記Ｖ溝が表れるように
基台上に前記光ファイバ固定部材を不動状態で配置する
第１工程と、前記Ｖ溝の長手方向に略直交するように光
学式の画像検出手段を移動して、前記光ファイバ固定部
材の基準位置から前記Ｖ溝の前記平坦部の左側谷部と右
側谷部までの距離を夫々測定する第２工程と、前記左側
谷部と前記右側谷部までの距離の差から前記Ｖ溝の中心
位置を演算する第３工程と、前記画像検出手段の移動す
る絶対位置を測定する第４工程と、前記第３工程で得ら
れた前記中心位置と、前記第４工程で得られた前記絶対
位置とから前記Ｖ溝間のピッチを演算する第５工程とを
具備することを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, according to the inspection method of an optical fiber fixing member of the present invention, a plurality of optical fibers are individually fixed in a V-groove. When the temperature reached 4
When pressing with a V-groove mold on the surface of a low-melting glass material that can be deformed in the range of 00 to 700 ° C., an optical fiber fixing member obtained by simultaneously pressing a flat portion at the valley bottom of the V-groove is obtained. An inspection method, comprising: a first step of arranging the optical fiber fixing member in a stationary state on a base so that the V-groove appears; and an optical image detection so as to be substantially orthogonal to a longitudinal direction of the V-groove. Moving the means to measure the distance from the reference position of the optical fiber fixing member to the left valley and the right valley of the flat portion of the V-groove, respectively; and the left valley and the right valley. A third step of calculating a center position of the V-groove from a difference in distance to the portion, a fourth step of measuring an absolute position at which the image detecting means moves, and the center position obtained in the third step. From the absolute position obtained in the fourth step, It is characterized by comprising a fifth step of calculating a pitch between.
【００１４】また、本発明の光ファイバ固定部材の検査
装置によれば、複数の光ファイバを個別にＶ溝内に固定
または案内する光ファイバ固定部材を、到達温度が４０
０から７００℃の範囲で変形可能な低融点ガラス材の表
面上にＶ溝型でプレス加工するときに、前記Ｖ溝の谷底
部に平坦部を同時プレス加工して得られた光ファイバ固
定部材の検査装置であって、検査装置の基台上におい
て、前記Ｖ溝が表れるように前記光ファイバ固定部材を
着脱自在かつ不動状態で配置するための配置手段と、前
記Ｖ溝の長手方向に略直交するように光学式の画像検出
手段を移動して、前記光ファイバ固定部材の基準位置か
ら前記Ｖ溝の前記平坦部の左側谷部と右側谷部までの距
離を夫々測定する移動手段と、前記左側谷部と前記右側
谷部までの距離の差から前記Ｖ溝の中心位置を演算する
第１演算手段と、前記画像検出手段の移動する絶対位置
を測定する絶対位置測定手段と、前記演算手段で得られ
た前記中心位置と、前記絶対位置測定手段で得られた前
記絶対位置とから前記Ｖ溝間のピッチを演算する第２演
算手段と、前記画像検出手段と前記移動手段と前記第１
演算手段と前記絶対位置測定手段と前記第２演算手段と
に接続されて所定制御を司る制御手段とを具備すること
を特徴としている。According to the optical fiber fixing member inspection apparatus of the present invention, the optical fiber fixing member for individually fixing or guiding a plurality of optical fibers in the V-groove has an ultimate temperature of 40.
An optical fiber fixing member obtained by pressing a flat portion at the bottom of the V-groove at the time of pressing with a V-groove on the surface of a low-melting glass material deformable in the range of 0 to 700 ° C. In the inspection device, on the base of the inspection device, arranging means for detachably and immovably arrange the optical fiber fixing member so that the V-groove appears, substantially in the longitudinal direction of the V-groove Moving means for moving the optical image detecting means so as to be orthogonal, and measuring the distance from the reference position of the optical fiber fixing member to the left valley and the right valley of the flat portion of the V-groove, respectively. First calculating means for calculating a center position of the V-groove from a difference in distance between the left valley part and the right valley part; an absolute position measuring means for measuring an absolute position at which the image detecting means moves; Said center position obtained by means; Serial absolute from the absolute position obtained by the position measuring means and the second calculating means for calculating a pitch between the V-grooves, said image detecting means and the moving means and the first
It is characterized by comprising control means connected to the calculating means, the absolute position measuring means, and the second calculating means and performing predetermined control.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下に本発明の好適な実施の形態
につき図面を参照して説明する。先ず、図１は光ファイ
バ固定部材であるＶ溝ブロックの製造工程を示した模式
図である。また、図２は製造工程における時間経過と温
度勾配の関係を示した温度勾配図であって、図１におけ
る（ａ）の工程が範囲Ａで示される時間内で行われるこ
とを示しており、以下同様に図１（ｂ）の工程が範囲Ｂ
で、図１（ｃ）の工程が範囲Ｃで示される時間内におい
て行われることを示している。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, FIG. 1 is a schematic view showing a manufacturing process of a V-groove block as an optical fiber fixing member. FIG. 2 is a temperature gradient diagram showing a relationship between a time lapse and a temperature gradient in a manufacturing process, and shows that the step (a) in FIG. 1 is performed within a time indicated by a range A, Hereinafter, similarly, the process of FIG.
1 indicates that the step of FIG. 1C is performed within the time indicated by the range C.
【００１６】両図において、低融点ガラス材は図示のよ
うな板状の部材であって、Ｖ溝ブロック１を構成するた
めに必要な所定外径寸法の矩形形状になるように切断加
工される。このＶ溝ブロック１は少なくともその表面温
度が４００から７００℃になるまで上昇した状態で、外
部から型部位３ａを所定圧力で作用させることで表面が
型部位３ａに倣うように塑性変形させるものである。In both figures, the low-melting glass material is a plate-shaped member as shown, and is cut into a rectangular shape having a predetermined outer diameter required for forming the V-groove block 1. . The V-groove block 1 is to be plastically deformed such that the surface follows the mold portion 3a by applying the mold portion 3a from the outside with a predetermined pressure while the surface temperature is raised at least until the surface temperature becomes 400 to 700 ° C. is there.
【００１７】また、この低融点ガラス材のビッカース硬
度は３００から５００程度であり、アルミナの硬度であ
る２１００に比較してかなり低いものであるが、例えば
光ファイバコネクタを構成するための光ファイバアレイ
を接着固定する場合には、硬度は特に高い必要はなく、
接着後の寸法安定性が良いことのほうがむしろ重要とな
る。低融点ガラスは、このような寸法安定性に優れてい
るので問題なく使用できる。The Vickers hardness of the low-melting glass material is about 300 to 500, which is considerably lower than the alumina hardness of 2100. For example, an optical fiber array for forming an optical fiber connector is used. When adhesively fixing, the hardness does not need to be particularly high,
It is rather important that the dimensional stability after bonding is good. Low melting glass is excellent in such dimensional stability and can be used without any problem.
【００１８】一方、光ファイバコネクタにおいて、図８
の外観斜視図に示したように光ファイバの夫々の光ファ
イバ末端を共通のＶ溝内において対向するようにする場
合には、少なくとも当接面については充分な高硬度にす
ることで変形を防止しなけらばならない。On the other hand, in an optical fiber connector, FIG.
In the case where the ends of the optical fibers face each other in the common V-groove as shown in the external perspective view of FIG. I have to do it.
【００１９】そこで、図１（ａ）に図示のようにＶ溝ブ
ロック１の上下面には、必要に応じて例えば薄膜硬化層
２が予め形成されている。このようにして準備されたＶ
溝ブロック１をプレス金型の下型部４上にセットしてか
ら、図２の温度勾配図に示されるように比較的に短時間
で４００から７００℃にまで温度上昇させる。Therefore, as shown in FIG. 1A, for example, a thin film hardened layer 2 is formed in advance on the upper and lower surfaces of the V-groove block 1 as necessary. V prepared in this way
After setting the groove block 1 on the lower mold portion 4 of the press die, the temperature is raised from 400 to 700 ° C. in a relatively short time as shown in the temperature gradient diagram of FIG.
【００２０】その後、温度上昇状態を維持して、図１
（ｂ）に示したように、Ｖ溝型部３ａの山部において研
磨機で形成された平坦部３ａ−１を有したプレス金型の
上型部３をＶ溝ブロック１の薄膜硬化層２上に所定圧で
プレス加工して、時間経過を待つようにする。この平坦
部３ａ−１は、平面ラップ盤、オスカータイプ研磨装
置、バフ研磨装置を使用して研磨剤（ダイアモンド、ア
ルミナ）により同時研磨することにより、全ての平坦部
３ａ−１を同じ高さに形成することができる。Thereafter, while maintaining the temperature rising state, FIG.
As shown in (b), the upper die portion 3 of the press die having a flat portion 3a-1 formed by a polishing machine at the peak portion of the V-groove mold portion 3a is moved to the thin film hardened layer 2 of the V-groove block 1. The upper part is pressed with a predetermined pressure to wait for the passage of time. The flat portions 3a-1 are simultaneously polished with an abrasive (diamond, alumina) using a flat lapping machine, an Oscar type polishing device, and a buff polishing device, so that all the flat portions 3a-1 are at the same height. Can be formed.
【００２１】この後に、型開きして図１（ｃ）の状態に
してから、図２における範囲Ｃで示されるように温度上
昇のための温度勾配よりも緩い温度勾配で温度降下させ
た後完成品を外部に取り出す。Thereafter, the mold is opened to the state shown in FIG. 1 (c), and as shown by a range C in FIG. 2, the temperature is lowered with a temperature gradient gentler than the temperature gradient for increasing the temperature. Take the product out.
【００２２】次に、図３は、Ｖ溝ブロックの別の製造工
程を示した模式図である。また、この製造工程における
時間経過と温度勾配の関係は図２と略同様である。Next, FIG. 3 is a schematic view showing another manufacturing process of the V-groove block. The relationship between the elapsed time and the temperature gradient in this manufacturing process is substantially the same as in FIG.
【００２３】図３において、既に説明済みの構成には同
一符号を付して説明を割愛すると、上記の図１の（ｂ）
と、（ｃ）で示した工程を経ることで完成される。この
ようにして完成されたＶ溝ブロック１は、透明であるの
で、例えば光硬化性樹脂接着剤をして各Ｖ溝１ａ内に光
ファイバを接着固定することができる。また、Ｖ溝型部
３ａの山部において研磨機で形成された平坦部３ａ−１
を有したプレス金型の上型部３をＶ溝ブロック１の上に
所定圧でプレス加工することで、各Ｖ溝の谷部において
夫々平坦部１ａ−１が形成される。In FIG. 3, the same reference numerals are given to the components already described, and the description thereof will be omitted.
And completed through the process shown in FIG. Since the V-groove block 1 completed in this manner is transparent, an optical fiber can be bonded and fixed in each V-groove 1a using, for example, a photo-curable resin adhesive. Further, a flat portion 3a-1 formed by a polishing machine at the peak of the V-groove type portion 3a.
By pressing the upper mold portion 3 having the above-mentioned shape on the V-groove block 1 with a predetermined pressure, flat portions 1a-1 are formed at the valleys of the respective V-grooves.
【００２４】図４（ａ）、（ｂ）は、図１の製造工程の
一部を拡大して示すとともに、画像検出手段のＣＣＤカ
メラ１０により検出される拡大画像を図４（ｃ）で示し
た図である。図中の各破線の位置関係が対応している。FIGS. 4A and 4B show a part of the manufacturing process of FIG. 1 in an enlarged manner, and FIG. 4C shows an enlarged image detected by the CCD camera 10 of the image detecting means. FIG. The positional relationships of the broken lines in the figure correspond to each other.
【００２５】本図において、上型部３のＶ溝型部３ａの
山部において、研磨前には破線図示の半径Ｒの山部とな
っているが、研磨機による研磨後に高さＧ分が平坦に均
等に研磨され、平坦部３ａ−１が形成されている。In this figure, the peak of the V-groove 3a of the upper die 3 has a radius R as shown by a broken line before polishing, but the height G after polishing by the polishing machine is equal to that before polishing. It is polished evenly and flat to form a flat portion 3a-1.
【００２６】この上型部３をＶ溝ブロック１の薄膜硬化
層２の上に所定圧でプレス加工することで各Ｖ溝の谷部
において夫々平坦部２ａ−１が転写して形成されること
になる。By pressing the upper mold portion 3 on the thin film hardened layer 2 of the V-groove block 1 at a predetermined pressure, the flat portions 2a-1 are transferred and formed at the valleys of each V-groove. become.
【００２７】このようにして形成されたＶ溝ブロック１
の上を横切るようにＣＣＤカメラ１０を走査すること
で、平坦部２ａ−１においてのみ図４（ｃ）に図示のよ
うに平坦部３ａ−１の左側谷部３ａ−１Ｌと右側谷部３
ａ−１Ｒにおいて図示のような検出画像が得られる。こ
れらの左側谷部３ａ−１Ｌと右側谷部３ａ−１Ｒは光フ
ァイバ固定部材１の側面１ｄの基準位置から左側谷部３
ａ−１Ｌまでの距離Ａと側面１ｄの基準位置から右側谷
部３ａ−１Ｒまでの距離Ｂとして夫々測定することがで
きる。この測定のときに、これらの谷部は異物、キズな
どから図示のようにバラツキがあることから、ＣＣＤカ
メラ１０に内蔵のＣＣＤ素子の画素単位Ｇに分解するよ
うにして検出して、距離Ａ、距離Ｂの夫々の最大値と最
少値を除き、残る測定値の平均値から夫々の距離を得る
ようにして、距離Ａ、距離Ｂを正確に測定する。この後
に、式（Ｂ−Ａ）／２＋Ａから側面１ｄからのＶ溝の中
心位置を求める。これ以降、同様に各Ｖ溝の中心位置を
測定する。The V-groove block 1 thus formed
4C, the CCD camera 10 is scanned so that only the flat portion 2a-1 has a left valley portion 3a-1L and a right valley portion 3 of the flat portion 3a-1 as shown in FIG.
At a-1R, a detection image as shown is obtained. The left valley portion 3a-1L and the right valley portion 3a-1R are located from the reference position of the side surface 1d of the optical fiber fixing member 1 to the left valley portion 3a-1L.
It can be measured as a distance A to a-1L and a distance B from the reference position of the side surface 1d to the right valley 3a-1R. At the time of this measurement, since these valleys have variations as shown in the figure due to foreign matter and scratches, the valleys are detected by being decomposed into pixel units G of the CCD element built in the CCD camera 10, and the distance A is detected. The distance A and the distance B are accurately measured by obtaining the respective distances from the average of the remaining measured values except for the maximum value and the minimum value of the distance B. Thereafter, the center position of the V-groove from the side surface 1d is obtained from the equation (BA) / 2 + A. Thereafter, the center position of each V groove is measured similarly.
【００２８】一方、Ｖ溝間のピッチＰを求めるために
は、ＣＣＤカメラ１０の絶対位置を正確に把握する必要
がある。On the other hand, in order to obtain the pitch P between the V grooves, it is necessary to accurately grasp the absolute position of the CCD camera 10.
【００２９】図５は、検査装置４０の正面図であり、本
図において検査装置４０の基台１１には光ファイバ固定
部材であるＶ溝ブロック１を着脱自在かつ不動状態で配
置するために破線図示の吸引部１３を内蔵しているチャ
ック部１２が基台１１上において微調整可能に設けられ
ている。また、このチャック部１２は多数のＶ溝ブロッ
ク１のＶ溝が横に揃うように吸着できるようにして、キ
ャリッジ２２に搭載されたＣＣＤカメラ１０が幅Ｗの範
囲で往復移動できるようにして、１度の測定で多数のＶ
溝ブロック１を短時間で測定できるようにしている。FIG. 5 is a front view of the inspection apparatus 40. In this figure, broken lines are provided on the base 11 of the inspection apparatus 40 in order to dispose the V-groove block 1 as an optical fiber fixing member in a detachable and immovable state. A chuck unit 12 containing a suction unit 13 is provided on the base 11 so as to be finely adjustable. Further, the chuck portion 12 is configured so that the V-grooves of a large number of V-groove blocks 1 can be suctioned so as to be aligned horizontally, so that the CCD camera 10 mounted on the carriage 22 can reciprocate within the range of the width W. Many V in one measurement
The groove block 1 can be measured in a short time.
【００３０】基台１１上には左右の柱部材１３を介して
副基部１４が固定されており、この副基部１４上にはさ
らに左右一対の起立基部１６が設けられている。これら
の起立基部１６の間には制御部５０に接続されたステッ
ピングモータ１９の出力軸に継手１８を介して固定され
たボールネジ軸１７が回動自在に設けられている。A sub-base 14 is fixed on the base 11 via left and right column members 13, and a pair of left and right upright bases 16 are further provided on the sub-base 14. A ball screw shaft 17 fixed via a joint 18 to an output shaft of a stepping motor 19 connected to the control unit 50 is rotatably provided between the upright base portions 16.
【００３１】これらの起立基部１６の間にはさらにＣＣ
Ｄカメラ１０を搭載したキャリッジ２２を案内するため
の一対のガイドレール２５が設けられている。また、キ
ヤリッジ２２の上部にはＣＣＤカメラ１０のケーブルと
照明装置のケーブルにおいて無理な屈曲力が作用しない
ようにして案内するケーブルラック２３が設けられてお
り、各ケーブルを制御部５０に接続するようにしてい
る。また、キャリッジ２２の左右の停止位置を検出する
センサＳ１、Ｓ２が基部に夫々設けられている。次に、
図５のＡ‐Ａ矢視断面図である図６において、既に説明
済みの構成には同一符号を付して説明を割愛して未説明
部分について述べると、キャリッジ２２にはガイドレー
ル２５によりガイドされるガイドブッシュ２６が固定さ
れており、紙面の表裏方向に案内するように構成されて
いる。また、このキャリッジ２２の下方にはブラケット
２２ａを介してピックアップ３１が固定されており、上
述のチャック部１２に固定されたレーザー式のリニアス
ケール３０とともに、キャリッジ２２の絶対位置の検出
ができるように構成されている。また、ＣＣＤカメラ１
０の検出面を照明する照明機２４がブラケットを介して
同様にキャリッジ２２に固定されている。Between these standing bases 16 there is further provided a CC.
A pair of guide rails 25 for guiding the carriage 22 on which the D camera 10 is mounted are provided. In addition, a cable rack 23 is provided above the carriage 22 for guiding the cable of the CCD camera 10 and the cable of the lighting device so as not to apply an excessive bending force. I have to. Sensors S1 and S2 for detecting the left and right stop positions of the carriage 22 are provided on the bases, respectively. next,
In FIG. 6 which is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 5, the components already described are denoted by the same reference numerals, description thereof will be omitted, and unexplained portions will be described. The guide bush 26 is fixed and configured to guide in the front and back directions on the paper surface. A pickup 31 is fixed below the carriage 22 via a bracket 22a so that an absolute position of the carriage 22 can be detected together with the laser-type linear scale 30 fixed to the chuck unit 12 described above. It is configured. In addition, CCD camera 1
An illuminator 24 for illuminating the zero detection surface is similarly fixed to the carriage 22 via a bracket.
【００３２】以上説明の検査装置４０の動作例について
図７のフローチャートと図５の正面図とで説明する。先
ず、Ｖ溝ブロック１がチャック部１２で吸着されて配置
されて準備が整うと、ステップＳ１でステッピングモー
タ１９が起動されてキャリッジ２２が矢印Ｄ１方向に駆
動されてセンサＳ２でキャリッジ２２のアクチエータ２
２Ｋが検知されて初期位置で停止される。次にステップ
Ｓ２で、ステッピングモータ１９が逆駆動されてキャリ
ッジ２２が矢印Ｄ２方向に駆動されて、Ｖ溝ブロック１
の側面である原点位置が測定される。また、これに前後
して、リニアスケール３０、３１によるキャリッジ２２
の絶対位置の測定が行われる。An operation example of the inspection apparatus 40 described above will be described with reference to the flowchart of FIG. 7 and the front view of FIG. First, when the V-groove block 1 is sucked and arranged by the chuck portion 12 and ready, the stepping motor 19 is started in step S1, the carriage 22 is driven in the direction of arrow D1, and the actuator 2 of the carriage 22 is
2K is detected and stopped at the initial position. Next, in step S2, the stepping motor 19 is driven in the reverse direction, and the carriage 22 is driven in the direction of arrow D2.
The origin position, which is the side surface of, is measured. Before and after this, the carriage 22 by the linear scales 30 and 31 is moved.
Is measured.
【００３３】次に、ステップＳ５では、側面１ｄの基準
位置から左側谷部３ａ−１Ｌまでの距離Ａの測定が行わ
れ、この結果が制御部５０に送られる。また、次のステ
ップＳ６では側面１ｄの基準位置から右側谷部３ａ−１
Ｒまでの距離Ｂの測定が順次行われて制御部５０に送ら
れる。Next, in step S5, the distance A from the reference position of the side surface 1d to the left valley 3a-1L is measured, and the result is sent to the control unit 50. In the next step S6, the right valley 3a-1 is shifted from the reference position of the side surface 1d.
The distance B to R is measured sequentially and sent to the control unit 50.
【００３４】次に、ステップＳ７において、制御部５０
で式（Ｂ−Ａ）／２＋Ａから側面１ｄからのＶ溝の中心
位置を求める。これ以降、ステップＳ８においてステッ
プＳ５からＳ７と同様に測定を行いＶ溝の中心位置を測
定する。Next, in step S7, the control unit 50
From the equation (BA) / 2 + A, the center position of the V groove from the side surface 1d is obtained. Thereafter, in step S8, the same measurement as in steps S5 to S7 is performed to measure the center position of the V groove.
【００３５】これに続く、ステップＳ９ではリニアスケ
ールにより得られたキャリッジ２２の移動後の絶対値か
ら、ステップＳ７とステップＳ８で得られたＶ溝の中心
位置を判断するようにして、機構系のガタの影響をなく
すようにする。また、ステップＳ１０では適宜プリンタ
装置、画像出力装置５１に測定結果を出力する。Subsequently, in step S9, the center position of the V groove obtained in steps S7 and S8 is determined from the absolute value of the carriage 22 after the movement obtained by the linear scale. Eliminate the effects of backlash. In step S10, the measurement result is output to the printer device and the image output device 51 as appropriate.
【００３６】以上のようにＣＣＤカメラ１０の移動量と
ともに検出することで、平坦部の間のピッチＰの測定が
可能となる。As described above, the pitch P between the flat portions can be measured by detecting the pitch P together with the movement amount of the CCD camera 10.
【００３７】一方、Ｖ溝ブロック１のＶ溝の山部を高さ
Ｇ分研磨加工することで、平坦部を山部に形成し、これ
を測定するようにしても良く、また、平坦部２ａ−１は
山部、谷部、斜面部のごく一部に形成されていれば検出
に充分である。また、平坦部はＶ溝ブロック全体から
は、図示のようにＶ溝の長手方向の全部に形成しても良
く、半分または端部にライン状に設けても良い。On the other hand, the flat portion may be formed by measuring the height of the V-groove of the V-groove block 1 by polishing the height of the V-groove, thereby measuring the flat portion. -1 is sufficient for detection if it is formed at only a small part of a peak, a valley, or a slope. Further, the flat portion may be formed from the entire V-groove block in the entire length of the V-groove as shown in the figure, or may be provided in a line at half or end.
【００３８】尚、Ｖ溝ブロック１のＶ溝のピッチＰの精
度は、上型３の精度に依存して決定されるが、到達温度
が４００から７００℃の範囲で変形可能な低融点ガラス
材によれば、特に常温にまで冷却するときの温度条件如
何では、部分的な熱収縮が発生する場合がある。このよ
うな事情から、上記のような非接触式の測定が必要とな
るものである。又、従来の切削によるＶ溝ブロックにお
いてもＶ溝のピッチＰの精度測定結果を製品に添付する
ことが慣例となっているので、これらのＶ溝ブロックに
も上記の測定が適用可能となる。The precision of the pitch P of the V-grooves of the V-groove block 1 is determined depending on the precision of the upper die 3. The low-melting-point glass material whose ultimate temperature can be deformed in the range of 400 to 700 ° C. According to the above, there is a case where partial heat shrinkage occurs particularly under the temperature condition when cooling to room temperature. Under such circumstances, the non-contact type measurement as described above is required. In addition, since it is customary to attach the accuracy measurement result of the pitch P of the V-groove to a product even in a V-groove block formed by conventional cutting, the above measurement can be applied to these V-groove blocks.
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば光
ファイバ固定部材のＶ溝加工形成後のＶ溝間のピッチ測
定を、非接触式の光学式の画像検出手段を使用して正確
に実施することができる光ファイバ固定部材の検査方法
及びその検査装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, the pitch measurement between the V-grooves after the V-groove processing of the optical fiber fixing member is accurately performed by using the non-contact type optical image detecting means. An inspection method and an inspection apparatus for an optical fiber fixing member that can be implemented in the present invention can be provided.
【００３９】[0039]
【図１】光ファイバ固定部材であるＶ溝ブロックの製造
工程を示した模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a manufacturing process of a V-groove block as an optical fiber fixing member.
【図２】製造工程における時間経過と温度勾配の関係を
示した温度勾配図である。FIG. 2 is a temperature gradient diagram showing a relationship between a time lapse and a temperature gradient in a manufacturing process.
【図３】光ファイバ固定部材であるＶ溝ブロックの製造
工程を示した模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing a manufacturing process of a V-groove block as an optical fiber fixing member.
【図４】Ｖ溝ブロックと上型部３と画像検出との関係を
示した相関図である。FIG. 4 is a correlation diagram showing a relationship between a V-groove block, an upper mold part 3, and image detection.
【図５】検査装置４０の正面図である。FIG. 5 is a front view of the inspection device 40.
【図６】図５の検査装置４０のＡ‐Ａ矢視断面図であ
る。6 is a cross-sectional view of the inspection device 40 in FIG.
【図７】検査装置４０の動作説明のフローチャートであ
る。7 is a flowchart illustrating an operation of the inspection device 40. FIG.
【図８】従来のＶ溝ブロックの外観斜視図（ａ）、同測
定の様子を示した正面図（ｂ）である。8A is a perspective view showing the appearance of a conventional V-groove block, and FIG. 8B is a front view showing the same measurement.
１ Ｖ溝ブロック（光ファイバ固定部材） １ａ Ｖ溝部 １ａ−１ 平坦部 ２ 薄膜硬化層 ２ａ−１ 平坦部 １０ ＣＣＤカメラ（画像検出手段） １２ チャック部（配置手段） ２２ キャリッジ（移動手段） ３０ リニアスケール（絶対位置検出手段） ４０ 検査装置 ５０ 制御部（制御手段） Reference Signs List 1 V-groove block (optical fiber fixing member) 1a V-groove portion 1a-1 Flat portion 2 Thin film hardened layer 2a-1 Flat portion 10 CCD camera (image detecting means) 12 Chuck section (arranging means) 22 Carriage (moving means) 30 Linear Scale (absolute position detection means) 40 Inspection device 50 Control unit (control means)
Claims (4)
または案内する光ファイバ固定部材を、到達温度が４０
０から７００℃の範囲で変形可能な低融点ガラス材の表
面上にＶ溝型でプレス加工するときに、前記Ｖ溝の谷底
部に平坦部を同時プレス加工して得られる光ファイバ固
定部材の検査方法であって、 前記Ｖ溝が表れるように基台上に前記光ファイバ固定部
材を不動状態で配置する第１工程と、 前記Ｖ溝の長手方向に略直交するように光学式の画像検
出手段を移動して、前記光ファイバ固定部材の基準位置
から前記Ｖ溝の前記平坦部の左側谷部と右側谷部までの
距離を夫々測定する第２工程と、 前記左側谷部と前記右側谷部までの距離の差から前記Ｖ
溝の中心位置を演算する第３工程と、 前記画像検出手段の移動する絶対位置を測定する第４工
程と、 前記第３工程で得られた前記中心位置と、前記第４工程
で得られた前記絶対位置とから前記Ｖ溝間のピッチを演
算する第５工程とを具備することを特徴とする光ファイ
バ固定部材の検査方法。An optical fiber fixing member for individually fixing or guiding a plurality of optical fibers in a V-groove is provided at an ultimate temperature of 40.
When pressing with a V-groove mold on the surface of a low-melting glass material that can be deformed in the range of 0 to 700 ° C., an optical fiber fixing member obtained by simultaneously pressing a flat portion at the bottom of the V-groove is used. An inspection method, comprising: a first step of immovably disposing the optical fiber fixing member on a base so that the V-groove appears; and an optical image detection so as to be substantially orthogonal to a longitudinal direction of the V-groove. A second step of moving a unit to measure a distance from a reference position of the optical fiber fixing member to a left valley and a right valley of the flat portion of the V-groove, respectively; and the left valley and the right valley. From the difference in the distance to the
A third step of calculating a center position of the groove; a fourth step of measuring an absolute position at which the image detection means moves; a center position obtained in the third step; and a fourth step of obtaining the center position obtained in the fourth step. A fifth step of calculating a pitch between the V-grooves from the absolute position.
に分解して検出するとともに第２工程において、前記基
準位置から前記左側谷部または前記右側谷部までの最大
値と最少値を除く平均値から前記距離を測定することを
特徴とする請求項１に記載の光ファイバ固定部材の検査
方法。2. The image detecting means according to claim 1, wherein said image detecting means decomposes the image into a predetermined number of pixels and detects the image, and in a second step, excludes a maximum value and a minimum value from said reference position to said left valley or said right valley. The method according to claim 1, wherein the distance is measured from an average value.
または案内する光ファイバ固定部材を、到達温度が４０
０から７００℃の範囲で変形可能な低融点ガラス材の表
面上にＶ溝型でプレス加工するときに、前記Ｖ溝の谷底
部に平坦部を同時プレス加工して得られた光ファイバ固
定部材の検査装置であって、 検査装置の基台上において、前記Ｖ溝が表れるように前
記光ファイバ固定部材を着脱自在かつ不動状態で配置す
るための配置手段と、 前記Ｖ溝の長手方向に略直交するように光学式の画像検
出手段を移動して、前記光ファイバ固定部材の基準位置
から前記Ｖ溝の前記平坦部の左側谷部と右側谷部までの
距離を夫々測定する移動手段と、 前記左側谷部と前記右側谷部までの距離の差から前記Ｖ
溝の中心位置を演算する第１演算手段と、 前記画像検出手段の移動する絶対位置を測定する絶対位
置測定手段と、 前記演算手段で得られた前記中心位置と、前記絶対位置
測定手段で得られた前記絶対位置とから前記Ｖ溝間のピ
ッチを演算する第２演算手段と、 前記画像検出手段と前記移動手段と前記第１演算手段と
前記絶対位置測定手段と前記第２演算手段とに接続され
て所定制御を司る制御手段とを具備することを特徴とす
る光ファイバ固定部材の検査装置。3. An optical fiber fixing member for individually fixing or guiding a plurality of optical fibers in a V-groove, the temperature of which reaches 40 ° C.
An optical fiber fixing member obtained by pressing a flat portion at the bottom of the V-groove at the time of pressing with a V-groove on the surface of a low-melting glass material deformable in the range of 0 to 700 ° C. An inspecting apparatus, comprising: an arrangement unit for detachably and immovably arranging the optical fiber fixing member on the base of the inspecting apparatus so that the V-groove appears, and substantially in a longitudinal direction of the V-groove. Moving means for moving the optical image detecting means so as to be orthogonal, and measuring the distance from the reference position of the optical fiber fixing member to the left valley and the right valley of the flat portion of the V-groove, respectively. From the difference in the distance between the left valley and the right valley, the V
First calculating means for calculating the center position of the groove; absolute position measuring means for measuring an absolute position at which the image detecting means moves; center position obtained by the calculating means; and absolute position measuring means obtained by the absolute position measuring means. A second calculating means for calculating a pitch between the V-grooves based on the obtained absolute position, the image detecting means, the moving means, the first calculating means, the absolute position measuring means, and the second calculating means. An inspection apparatus for an optical fiber fixing member, comprising: a control unit connected to perform predetermined control.
に分解して検出するとともに、前記基準位置から前記左
側谷部または前記右側谷部までの最大値と最少値を除く
平均値から前記距離を測定することを特徴とする請求項
３に記載の光ファイバ固定部材の検査装置。4. The image detecting means decomposes an image into a predetermined number of pixels and detects the image, and calculates an image from an average value excluding a maximum value and a minimum value from the reference position to the left valley or the right valley. The inspection apparatus for an optical fiber fixing member according to claim 3, wherein the distance is measured.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32162197A JPH11153410A (en) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | Optical fiber fixing member inspection method, and inspection device therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32162197A JPH11153410A (en) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | Optical fiber fixing member inspection method, and inspection device therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11153410A true JPH11153410A (en) | 1999-06-08 |
Family
ID=18134567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32162197A Withdrawn JPH11153410A (en) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | Optical fiber fixing member inspection method, and inspection device therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11153410A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005227574A (en) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Fujikura Ltd | V-grooved substrate, manufacturing method therefor, and optical fiber array |
-
1997
- 1997-11-21 JP JP32162197A patent/JPH11153410A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005227574A (en) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Fujikura Ltd | V-grooved substrate, manufacturing method therefor, and optical fiber array |
| JP4570885B2 (en) * | 2004-02-13 | 2010-10-27 | 株式会社フジクラ | Manufacturing method of V-groove substrate |
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