JPH11142198A - フローセンサを利用した流量計 - Google Patents
フローセンサを利用した流量計Info
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- JPH11142198A JPH11142198A JP30233897A JP30233897A JPH11142198A JP H11142198 A JPH11142198 A JP H11142198A JP 30233897 A JP30233897 A JP 30233897A JP 30233897 A JP30233897 A JP 30233897A JP H11142198 A JPH11142198 A JP H11142198A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フローセンサ利用の流量計において、１ケの
フローセンサを用いて大流量から小流量までを計測し、
構成の簡素化、高精度、耐久性の向上、コストの低減を
図る。 【解決手段】 被計測流体が流れる大口径管１に切替バ
ルブ２を組み込み、この切替バルブ２をバイパスして小
口径管３を設けると共に、この小口径管３内にフローセ
ンサ４を組み込む。そして、前記大口径管１内を流れる
流体の流量が一定値以下となった場合に、前記切替バル
ブ２を閉じて小口径管３側に流体を流して前記フローセ
ンサ４により流量を直接検出し、このフローセンサ４で
検出される流量が一定値以上となった場合に、前記切替
バルブ２を開いて大口径管１側に流体を流し、前記小口
径管３をピトー管として用いて前記フローセンサ４によ
り流量を検出する。
フローセンサを用いて大流量から小流量までを計測し、
構成の簡素化、高精度、耐久性の向上、コストの低減を
図る。 【解決手段】 被計測流体が流れる大口径管１に切替バ
ルブ２を組み込み、この切替バルブ２をバイパスして小
口径管３を設けると共に、この小口径管３内にフローセ
ンサ４を組み込む。そして、前記大口径管１内を流れる
流体の流量が一定値以下となった場合に、前記切替バル
ブ２を閉じて小口径管３側に流体を流して前記フローセ
ンサ４により流量を直接検出し、このフローセンサ４で
検出される流量が一定値以上となった場合に、前記切替
バルブ２を開いて大口径管１側に流体を流し、前記小口
径管３をピトー管として用いて前記フローセンサ４によ
り流量を検出する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体の流量を計測
する場合、１つのフローセンサを用いて、大流量はピト
ー管方式で間接的に検出（計測）し、小流量は当該フロ
ーセンサを用いて直接検出（計測）する流量計に関する
ものである。
する場合、１つのフローセンサを用いて、大流量はピト
ー管方式で間接的に検出（計測）し、小流量は当該フロ
ーセンサを用いて直接検出（計測）する流量計に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】気体の流量をフローセンサを用いて検出
する流量計の場合、小流量計測用の小口径管と大流量計
測用の大口径管を別々に設け、この中に夫々フローセン
サを組み込み、小流量の場合は小口径管内に流体を流
し、大流量の場合は大口径管内に流体を流して夫々別々
に検出する方式が一般的である。
する流量計の場合、小流量計測用の小口径管と大流量計
測用の大口径管を別々に設け、この中に夫々フローセン
サを組み込み、小流量の場合は小口径管内に流体を流
し、大流量の場合は大口径管内に流体を流して夫々別々
に検出する方式が一般的である。
【０００３】これは、フローセンサで流量を検出する場
合、特に小流量時は、管径を小さくしてフローセンサ周
りの流速を上げて流速をフローセンサの検知感度以上に
する必要があり、一方、大流量時は、管径が小さいと圧
力損失が大きくなり、計測流体の通過を妨げる結果とな
るため、管径を大きくする必要があるためである。
合、特に小流量時は、管径を小さくしてフローセンサ周
りの流速を上げて流速をフローセンサの検知感度以上に
する必要があり、一方、大流量時は、管径が小さいと圧
力損失が大きくなり、計測流体の通過を妨げる結果とな
るため、管径を大きくする必要があるためである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そのため、大・小双方
の管内にフローセンサを用意し、そのためのアンプ回路
等もすべて２系統必要となってしまい、装置全体として
複雑・高価にならざるをえないという問題がある。ま
た、大流量時には計測流体中に配管系に残留しているダ
スト等の不純物が混入し易く、これがセンサ本体に付着
し、計測精度を悪化させるという問題もある。
の管内にフローセンサを用意し、そのためのアンプ回路
等もすべて２系統必要となってしまい、装置全体として
複雑・高価にならざるをえないという問題がある。ま
た、大流量時には計測流体中に配管系に残留しているダ
スト等の不純物が混入し易く、これがセンサ本体に付着
し、計測精度を悪化させるという問題もある。
【０００５】本発明は、斯る点に鑑みて提案するもので
あって、小流量はフローセンサで直接検出し、大流量は
ピトー管の原理を用いて同じフローセンサで検出するこ
とにより、フローセンサを１個だけ使用し、またダスト
等によってフローセンサの検出精度が悪化したりしない
流量計を提供することを目的とする。
あって、小流量はフローセンサで直接検出し、大流量は
ピトー管の原理を用いて同じフローセンサで検出するこ
とにより、フローセンサを１個だけ使用し、またダスト
等によってフローセンサの検出精度が悪化したりしない
流量計を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明において、上記目
的を達成するために提供するフローセンサを利用した流
量計の構成は次のとおりである。 １．被計測流体が流れる大口径管に切替バルブを組み込
み、この切替バルブをバイパスする小口径管を設けると
共に、この小口径管内にフローセンサを組み込み、前記
大口径管内を流れる流体の流量が一定値以下となった場
合に、前記切替バルブを閉じて小口径管側に流体を流し
て前記フローセンサにより流量を直接検出し、このフロ
ーセンサで検出される流量が一定値以上となった場合
に、前記切替バルブを開いて大口径管側に流体を流し、
前記小口径管をピトー管として用いて前記フローセンサ
により流量を検出するように制御し、且つ前記フローセ
ンサからの出力に基づいて流量を演算するマイコン部を
設けて成るフローセンサを利用した流量計。
的を達成するために提供するフローセンサを利用した流
量計の構成は次のとおりである。 １．被計測流体が流れる大口径管に切替バルブを組み込
み、この切替バルブをバイパスする小口径管を設けると
共に、この小口径管内にフローセンサを組み込み、前記
大口径管内を流れる流体の流量が一定値以下となった場
合に、前記切替バルブを閉じて小口径管側に流体を流し
て前記フローセンサにより流量を直接検出し、このフロ
ーセンサで検出される流量が一定値以上となった場合
に、前記切替バルブを開いて大口径管側に流体を流し、
前記小口径管をピトー管として用いて前記フローセンサ
により流量を検出するように制御し、且つ前記フローセ
ンサからの出力に基づいて流量を演算するマイコン部を
設けて成るフローセンサを利用した流量計。
【０００７】２．小口径管の上流側の開口部を、大口径
管内において上流側に向けることによって、この開口部
に動圧が作用するように構成して成る前記１記載のフロ
ーセンサを利用した流量計。 ３．上流側の開口部が大口径管の軸方向に対して平行と
なるように、小口径管を大口径管内において、直角又は
円曲して折り曲げてこの開口部に動圧が作用するように
構成して成る前記２記載のフローセンサを利用した流量
計。
管内において上流側に向けることによって、この開口部
に動圧が作用するように構成して成る前記１記載のフロ
ーセンサを利用した流量計。 ３．上流側の開口部が大口径管の軸方向に対して平行と
なるように、小口径管を大口径管内において、直角又は
円曲して折り曲げてこの開口部に動圧が作用するように
構成して成る前記２記載のフローセンサを利用した流量
計。
【０００８】４．大口径管内に突き出た小口径管の開口
部を斜めにカットして動圧が作用するように構成して成
る前記２記載のフローセンサを利用した流量計。 ５．大口径管内に突き出た小口径管において、上流側に
向けて流体流入口を形成し、この流体流入口に動圧が作
用するように構成して成る前記２記載のフローセンサを
利用した流量計。
部を斜めにカットして動圧が作用するように構成して成
る前記２記載のフローセンサを利用した流量計。 ５．大口径管内に突き出た小口径管において、上流側に
向けて流体流入口を形成し、この流体流入口に動圧が作
用するように構成して成る前記２記載のフローセンサを
利用した流量計。
【０００９】６．切替バルブの開又は閉状態を記憶する
ための回路をマイコン部に設けて切替バルブが閉のとき
はフローセンサが直接流体の流量を検出していること、
切替バルブが開のときはフローセンサが小口径管内に動
圧と静圧により発生した流速を検出し、大口径管内を流
れている流量を検出しているものと判断し、その時の流
量を演算するように構成して成る前記１又は２又は３又
は４又は５記載のフローセンサを利用した流量計。
ための回路をマイコン部に設けて切替バルブが閉のとき
はフローセンサが直接流体の流量を検出していること、
切替バルブが開のときはフローセンサが小口径管内に動
圧と静圧により発生した流速を検出し、大口径管内を流
れている流量を検出しているものと判断し、その時の流
量を演算するように構成して成る前記１又は２又は３又
は４又は５記載のフローセンサを利用した流量計。
【００１０】７．切替バルブの開又は閉状態を確認する
ための回路をマイコン部に設けて切替バルブが閉のとき
はフローセンサが直接流体の流量を検出していること、
切替バルブが開のときはフローセンサが小口径管内に動
圧と静圧により発生した流速を検出し、大口径管内を流
れている流量を検出しているものと判断し、その時の流
量を演算するように構成して成る前記１又は２又は３又
は４又は５記載のフローセンサを利用した流量計。
ための回路をマイコン部に設けて切替バルブが閉のとき
はフローセンサが直接流体の流量を検出していること、
切替バルブが開のときはフローセンサが小口径管内に動
圧と静圧により発生した流速を検出し、大口径管内を流
れている流量を検出しているものと判断し、その時の流
量を演算するように構成して成る前記１又は２又は３又
は４又は５記載のフローセンサを利用した流量計。
【００１１】８．小口径管の下流の先端を大口径管内に
突出させると共に、この小口径管の開口部が上流側を向
くように設定して成る前記１又は６又は７記載のフロー
センサを利用した流量計。
突出させると共に、この小口径管の開口部が上流側を向
くように設定して成る前記１又は６又は７記載のフロー
センサを利用した流量計。
【００１２】
【作用】大口径管内の切替バルブは、マイコン部により
開閉される。マイコン部は、小口径管をピトー管として
用いる方式で検出される大口径管内を流れる流量値が基
準値以下になると、切替バルブを閉じて小口径管側に流
体を流し、フローセンサで直接流量を検出する。また、
フローセンサで直接検出される流量が基準値を越える
と、マイコン部は切替バルブを開き、大口径側に流れを
切り替える。
開閉される。マイコン部は、小口径管をピトー管として
用いる方式で検出される大口径管内を流れる流量値が基
準値以下になると、切替バルブを閉じて小口径管側に流
体を流し、フローセンサで直接流量を検出する。また、
フローセンサで直接検出される流量が基準値を越える
と、マイコン部は切替バルブを開き、大口径側に流れを
切り替える。
【００１３】
【実施例１】本実施例は、図１に示すように、大口径管
１内に切替バルブ２を取り付けると共に、この切替バル
ブ２をバイパスするように小口径管３を設け、この小口
径管３内にフローセンサ４を組み込んだ構成である。な
お、小口径管３の上流側の開口部３ａは、図２（イ）に
示すように、大口径管１の上流側を向くように直角に折
り曲げるか、（ロ）のように円曲させるか、（ハ）に示
すように斜めにカットするか、（ニ）に示すように上流
側に向けて流入口３ｃを設けることにより、動圧が作用
するように構成してある。一方、下流側の開口部３ｂは
静圧が作用するようになっている。
１内に切替バルブ２を取り付けると共に、この切替バル
ブ２をバイパスするように小口径管３を設け、この小口
径管３内にフローセンサ４を組み込んだ構成である。な
お、小口径管３の上流側の開口部３ａは、図２（イ）に
示すように、大口径管１の上流側を向くように直角に折
り曲げるか、（ロ）のように円曲させるか、（ハ）に示
すように斜めにカットするか、（ニ）に示すように上流
側に向けて流入口３ｃを設けることにより、動圧が作用
するように構成してある。一方、下流側の開口部３ｂは
静圧が作用するようになっている。
【００１４】図中２ａは切替バルブ２を操作するアクチ
ュエータ、５はマイコン部であって、このマイコン部５
は、大口径管１内の流量と小口径管３内の流量に応じて
切替バルブ２の切り替えを行い、併せてフローセンサ４
からの出力に基づく流量計算を行い、表示器６に出力す
る。
ュエータ、５はマイコン部であって、このマイコン部５
は、大口径管１内の流量と小口径管３内の流量に応じて
切替バルブ２の切り替えを行い、併せてフローセンサ４
からの出力に基づく流量計算を行い、表示器６に出力す
る。
【００１５】図３及び図４に基づいて本実施例の作用と
計測例を説明する。図３は、小流量測定時を示すもの
で、切替バルブ２は閉じていて、流体のすべては開口部
３ａから小口径管３内に流入し、開口部３ｂから大口径
管１内に戻る。フローセンサ４は小口径管３内において
流量を直接検出し、この値をマイコン部５側に出力す
る。マイコン部５は、この出力に基づいて流量の演算を
行う。
計測例を説明する。図３は、小流量測定時を示すもの
で、切替バルブ２は閉じていて、流体のすべては開口部
３ａから小口径管３内に流入し、開口部３ｂから大口径
管１内に戻る。フローセンサ４は小口径管３内において
流量を直接検出し、この値をマイコン部５側に出力す
る。マイコン部５は、この出力に基づいて流量の演算を
行う。
【００１６】そして、あらかじめ決められた規定流量に
なると、マイコン部５の指令により切替バルブ２が開
く。図４において、小口径管３の開口部３ａが流れの軸
線を向いており、一方下流側の開口部３ｂが軸線に対し
て直角に開口していることから、ピトー管の原理に従
い、流れによる動圧によって小口径管３内に流れが生
じ、これをフローセンサ４が検出し、これをマイコン部
５に出力する。マイコン部５は、この出力に基づいて流
量の演算を行う。
なると、マイコン部５の指令により切替バルブ２が開
く。図４において、小口径管３の開口部３ａが流れの軸
線を向いており、一方下流側の開口部３ｂが軸線に対し
て直角に開口していることから、ピトー管の原理に従
い、流れによる動圧によって小口径管３内に流れが生
じ、これをフローセンサ４が検出し、これをマイコン部
５に出力する。マイコン部５は、この出力に基づいて流
量の演算を行う。
【００１７】切替バルブ２の開閉状態の各々においてフ
ローセンサ４が流量を検出すると、本流量計全体を通過
する流量は一定関係で一意に対応しているため、あらか
じめこの関係を実験等により求めてマイコン部５に記憶
させておくことにより流量計とすることができる。
ローセンサ４が流量を検出すると、本流量計全体を通過
する流量は一定関係で一意に対応しているため、あらか
じめこの関係を実験等により求めてマイコン部５に記憶
させておくことにより流量計とすることができる。
【００１８】更に具体的に本実施例の場合の計測例を図
３〜図５に基づいて詳述する。・小流量時は図３のよう
に小口径管３の流れを直接検出しているが、ある一定流
量Ｑ１になると図４のように切替バルブ２を開き、小口
径管３の開口部３ａと開口部３ｂの差圧によって生じる
流れを検出する。このとき図４において、 Ｐｕ：小口径管３上流圧 動圧（流れＱＬによって生じ
る）＋静圧 Ｐｄ：小口径管３下流圧 静圧 Ｒ ：小口径管３の流れの抵抗 （Ｐｕ−Ｐｄ）／Ｒ：動圧によって生じる小口径管内の
流れ
３〜図５に基づいて詳述する。・小流量時は図３のよう
に小口径管３の流れを直接検出しているが、ある一定流
量Ｑ１になると図４のように切替バルブ２を開き、小口
径管３の開口部３ａと開口部３ｂの差圧によって生じる
流れを検出する。このとき図４において、 Ｐｕ：小口径管３上流圧 動圧（流れＱＬによって生じ
る）＋静圧 Ｐｄ：小口径管３下流圧 静圧 Ｒ ：小口径管３の流れの抵抗 （Ｐｕ−Ｐｄ）／Ｒ：動圧によって生じる小口径管内の
流れ
【００１９】・図５はこのフローセンサ６の出力を示し
たものである。実線は流量増加時、破線は流量降下時の
もので、切替バルブ２の作動流量が上昇時Ｑ１＞下降時
Ｑ２としヒステリシス特性をもたせることにより、切替
流量付近で開閉を頻繁に繰り返すハンチング現象等を防
ぐようになっている。センサ出力値と実流量との関係を
あらかじめ実験により求め、この関数をマイコン部５に
記憶させ、実際の計量ではセンサ出力をこの関数を用い
て演算し表示することにより、流量計となる。
たものである。実線は流量増加時、破線は流量降下時の
もので、切替バルブ２の作動流量が上昇時Ｑ１＞下降時
Ｑ２としヒステリシス特性をもたせることにより、切替
流量付近で開閉を頻繁に繰り返すハンチング現象等を防
ぐようになっている。センサ出力値と実流量との関係を
あらかじめ実験により求め、この関数をマイコン部５に
記憶させ、実際の計量ではセンサ出力をこの関数を用い
て演算し表示することにより、流量計となる。
【００２０】・切替流量Ｑ１、Ｑ２はマイコン部５によ
る制御のため任意に設定可能であり、切替バルブ２等の
耐久性のため切替頻度をできるだけ少なくすることが望
ましいため、一般にＱ１、Ｑ２はできるだけ大きく設定
するのがよい。しかし一方、圧力損失曲線は、図５に示
すフローセンサ４の出力と概ね同様の曲線となるため、
許容される最大圧損により切替流量の上限が決定されて
しまう。概ね、最大流量時の圧損は大口径管１の断面積
によって、切替流量時の圧損は小口径管３の断面積によ
って決まるため、必要とされる仕様にあわせてこれら定
数を決定する必要がある。
る制御のため任意に設定可能であり、切替バルブ２等の
耐久性のため切替頻度をできるだけ少なくすることが望
ましいため、一般にＱ１、Ｑ２はできるだけ大きく設定
するのがよい。しかし一方、圧力損失曲線は、図５に示
すフローセンサ４の出力と概ね同様の曲線となるため、
許容される最大圧損により切替流量の上限が決定されて
しまう。概ね、最大流量時の圧損は大口径管１の断面積
によって、切替流量時の圧損は小口径管３の断面積によ
って決まるため、必要とされる仕様にあわせてこれら定
数を決定する必要がある。
【００２１】
【実施例２】本実施例を図６に示す。本実施例は、小口
径管３の下流側の開口部３ｂを、図２で示した方法と同
じ方法により、上流側に向けて開口し、上流側の開口部
３ａを軸方向に向けて開口した場合、切替バルブ２を開
いた大流量計測時のフローセンサ４付近の流れは逆方向
になるため、フローセンサ４が逆方向の流速も検出可能
なものであれば図７のような出力曲線となる。
径管３の下流側の開口部３ｂを、図２で示した方法と同
じ方法により、上流側に向けて開口し、上流側の開口部
３ａを軸方向に向けて開口した場合、切替バルブ２を開
いた大流量計測時のフローセンサ４付近の流れは逆方向
になるため、フローセンサ４が逆方向の流速も検出可能
なものであれば図７のような出力曲線となる。
【００２２】この場合、出力電位が逆方向であれば、切
替バルブ２が開の大流量計測であることがわかるため、
切替バルブ２の開閉状態をマイコン部５がいちいち認識
しておく必要がなく簡便である。さらに、本実施例によ
ると、小流量時と大流量時の各々の計測に最適な感度を
有する設計とするように、フローセンサ４の正方向と逆
方向の感度を異なるような合理的な設計とすることも可
能である。
替バルブ２が開の大流量計測であることがわかるため、
切替バルブ２の開閉状態をマイコン部５がいちいち認識
しておく必要がなく簡便である。さらに、本実施例によ
ると、小流量時と大流量時の各々の計測に最適な感度を
有する設計とするように、フローセンサ４の正方向と逆
方向の感度を異なるような合理的な設計とすることも可
能である。
【００２３】
【発明の効果】本発明は以上の如き構成と作用によりフ
ローセンサで流量を計測する流量計としたことにより、
次の効果を奏する。 １．大流量計測時は、小口径管をピトー管として機能さ
せることにより、小流量と大流量の検出をすべて小口径
管に取り付けたフローセンサ１個で行うことができる。
この結果、計測系統を従来のように２系統とする必要が
ない。
ローセンサで流量を計測する流量計としたことにより、
次の効果を奏する。 １．大流量計測時は、小口径管をピトー管として機能さ
せることにより、小流量と大流量の検出をすべて小口径
管に取り付けたフローセンサ１個で行うことができる。
この結果、計測系統を従来のように２系統とする必要が
ない。
【００２４】２．フローセンサは小口径管内に組み込ん
であるため、大流量時に計測流体にダスト等が混入して
いても、フローセンサには動圧による微小な流れが作用
するだけであるため、大口径管側からダスト等が入り込
むことはなく、高い精度・耐久性・信頼性を確保でき
る。
であるため、大流量時に計測流体にダスト等が混入して
いても、フローセンサには動圧による微小な流れが作用
するだけであるため、大口径管側からダスト等が入り込
むことはなく、高い精度・耐久性・信頼性を確保でき
る。
【図１】実施例１に係る流量計の説明図。
【図２】開口部の実施例の説明図。
【図３】小流量を直接フローセンサで検出している状態
の説明図。
の説明図。
【図４】切替バルブを開いて大流量をピトー管方式でフ
ローセンサが検出している状態の説明図。
ローセンサが検出している状態の説明図。
【図５】フローセンサ出力と切替バルブの開閉タイミン
グの説明図。
グの説明図。
【図６】実施例２に係る流量計の説明図。
【図７】実施例２のフローセンサ出力の説明図。
１ 大口径管 ２ 切替バルブ ２ａ アクチュエータ ３ 小口径管 ３ａ 開口部 ３ｂ 開口部 ３ｃ 流入口 ４ フローセンサ ５ マイコン部 ６ 表示部
Claims (8)
- 【請求項１】 被計測流体が流れる大口径管に切替バル
ブを組み込み、この切替バルブをバイパスする小口径管
を設けると共に、この小口径管内にフローセンサを組み
込み、前記大口径管内を流れる流体の流量が一定値以下
となった場合に、前記切替バルブを閉じて小口径管側に
流体を流して前記フローセンサにより流量を直接検出
し、このフローセンサで検出される流量が一定値以上と
なった場合に、前記切替バルブを開いて大口径管側に流
体を流し、前記小口径管をピトー管として用いて前記フ
ローセンサにより流量を検出するように制御し、且つ前
記フローセンサからの出力に基づいて流量を演算するマ
イコン部を設けて成るフローセンサを利用した流量計。 - 【請求項２】 小口径管の上流側の開口部を、大口径管
内において上流側に向けることによって、この開口部に
動圧が作用するように構成して成る請求項１記載のフロ
ーセンサを利用した流量計。 - 【請求項３】 上流側の開口部が大口径管の軸方向に対
して平行となるように、小口径管を大口径管内におい
て、直角又は円曲して折り曲げてこの開口部に動圧が作
用するように構成して成る請求項２記載のフローセンサ
を利用した流量計。 - 【請求項４】 大口径管内に突き出た小口径管の開口部
を斜めにカットして動圧が作用するように構成して成る
請求項２記載のフローセンサを利用した流量計。 - 【請求項５】 大口径管内に突き出た小口径管におい
て、上流側に向けて流体流入口を形成し、この流体流入
口に動圧が作用するように構成して成る請求項２記載の
フローセンサを利用した流量計。 - 【請求項６】 切替バルブの開又は閉状態を記憶するた
めの回路をマイコン部に設けて切替バルブが閉のときは
フローセンサが直接流体の流量を検出していること、切
替バルブが開のときはフローセンサが小口径管内に動圧
と静圧により発生した流速を検出し、大口径管内を流れ
ている流量を検出しているものと判断し、その時の流量
を演算するように構成して成る請求項１又は２又は３又
は４又は５記載のフローセンサを利用した流量計。 - 【請求項７】 切替バルブの開又は閉状態を確認するた
めの回路をマイコン部に設けて切替バルブが閉のときは
フローセンサが直接流体の流量を検出していること、切
替バルブが開のときはフローセンサが小口径管内に動圧
と静圧により発生した流速を検出し、大口径管内を流れ
ている流量を検出しているものと判断し、その時の流量
を演算するように構成して成る請求項１又は２又は３又
は４又は５記載のフローセンサを利用した流量計。 - 【請求項８】 小口径管の下流の先端を大口径管内に突
出させると共に、この小口径管の開口部が上流側を向く
ように設定して成る請求項１又は６又は７記載のフロー
センサを利用した流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30233897A JPH11142198A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | フローセンサを利用した流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30233897A JPH11142198A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | フローセンサを利用した流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142198A true JPH11142198A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17907738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30233897A Pending JPH11142198A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | フローセンサを利用した流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11142198A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105699688A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-22 | 唐明良 | 一种流体流速和流量的测量装置及方法 |
-
1997
- 1997-11-05 JP JP30233897A patent/JPH11142198A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105699688A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-22 | 唐明良 | 一种流体流速和流量的测量装置及方法 |
| CN105699688B (zh) * | 2016-01-22 | 2019-01-22 | 唐明良 | 一种流体流速和流量的测量装置及方法 |
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