JPH11134643A - Metallic thin film type magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the blocking of a magnetic record medium and the contamination of the medium and a magnetic head by forming a carbonaceous protective film having no sub-peak in a specified wave number band and two broad peaks near specified wave numbers in Raman spectroscopy. SOLUTION: The magnetic record medium has a ferromagnetic metallic thin film 3, a carbonaceous protective film 2 and a lubricant film 1 on the nonmagnetic substrate 4. The protective film 2 has no sub-peak in the band of 400-750 cm<-1> and broad peaks near, 1,350 cm<-1> an near, 1,550 cm<-1> in its Raman spectroscopic chart. The lubricant layer 1 is based on a fluorine-contg. carboxylic acid and has 30-50 Å thickness. The Vickers hardness of the protective film 2 is as high as 1,000-5,000 and the film 2, together with the lubricant layer 1, prevents the damage of the magnetic record medium. A thin film of Co-Ni-O, Co-O or Co-Cr may be used as the ferromagnetic metallic thin film 3. A film of polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyamide or polyimide may be used as the nonmagnetic substrate 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関し、特にデジタルビデ
オテープレコーダや高精細度ビデオテープレコーダに最
適な磁気記録媒体に関する。The present invention relates to a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film as a magnetic recording layer, and more particularly to a magnetic recording medium most suitable for a digital video tape recorder and a high definition video tape recorder.

【０００２】[0002]

【従来の技術】強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気
記録媒体においては、様々な方法により耐食性、スチル
耐久性、走行耐久性を向上する試みが続けられてきた。
たとえば、強磁性金属薄膜上にカルボン酸系やリン酸系
の潤滑剤を設ける方法、さらに強磁性金属薄膜上に非磁
性金属の保護膜を設ける方法、またはシリカのような酸
化物の保護膜を設ける方法がためされてきたが十分な効
果が得られなかった。2. Description of the Related Art In a magnetic recording medium using a ferromagnetic metal thin film as a magnetic recording layer, attempts have been made to improve corrosion resistance, still durability and running durability by various methods.
For example, a method of providing a carboxylic acid-based or phosphoric acid-based lubricant on a ferromagnetic metal thin film, a method of providing a non-magnetic metal protective film on a ferromagnetic metal thin film, or an oxide protective film such as silica. Although the method of providing has been tried, a sufficient effect was not obtained.

【０００３】さらに最近では、特開昭６１−１４２５２
５号公報、特開昭６１−２０８６２２号公報のようにカ
ーボン系の保護膜を設けたり、特開昭６２−２１９３１
４号公報、特開昭６１−２１０５１８号公報のようにダ
イヤモンド状炭素膜を保護膜として用いている。強磁性
金属薄膜の保護膜としてダイヤモンド状炭素膜と潤滑剤
を用いると、スチル耐久性、走行耐久性、が著しく向上
した。このダイヤモンド状炭素膜の製造方法については
特開平３−２２４１３２号公報がある。しかし、最近の
研究により炭素系保護膜の構造と磁気記録媒体の瞬間目
詰まり、磁気記録媒体や磁気ヘッドの汚れとの関係が明
らかになってきた。[0003] More recently, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-14252 has been disclosed.
No. 5, JP-A-61-208622, a carbon-based protective film is provided.
No. 4, JP-A-61-210518, a diamond-like carbon film is used as a protective film. When a diamond-like carbon film and a lubricant were used as a protective film for the ferromagnetic metal thin film, still durability and running durability were significantly improved. Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-224132 discloses a method for producing the diamond-like carbon film. However, recent studies have revealed the relationship between the structure of the carbon-based protective film, instantaneous clogging of the magnetic recording medium, and contamination of the magnetic recording medium and the magnetic head.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ダイヤモンド状炭素膜
と潤滑剤を保護膜とする金属薄膜型磁気記録媒体はスチ
ルライフや走行耐久性、保存後の信頼性を著しく向上す
る効果はある。しかし、炭素系保護膜の構造によって
は、瞬間目詰まりが増加したり、磁気記録媒体の汚れが
増加したり、磁気ヘッドの汚れが増加することがあらた
に判明した。本発明は炭素系保護膜の構造を特定するこ
とで金属薄膜型磁気記録媒体の瞬間目詰まりや磁気記録
媒体及び磁気ヘッドの汚れをなくすことを目的とする。A metal thin film type magnetic recording medium having a diamond-like carbon film and a lubricant as a protective film has the effect of significantly improving the still life, running durability and reliability after storage. However, it has been found that, depending on the structure of the carbon-based protective film, instantaneous clogging, contamination of a magnetic recording medium, and contamination of a magnetic head increase. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to eliminate instantaneous clogging of a metal thin film type magnetic recording medium and contamination of a magnetic recording medium and a magnetic head by specifying the structure of a carbon-based protective film.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、炭素系保護膜の構造と磁気記録媒体の瞬間目詰まり
や汚れの関係を詳しく調査した。その結果、炭素系保護
膜のラマン分光分析において、４００cm^-1から７５０cm
^-1にサブピークがなく、１３５０cm^-1付近と１５５０cm
^-1付近にブロードなピークがある炭素系保護膜なら媒体
やヘッドの汚れもなく、媒体の瞬間目詰まりもないこと
が判明した。In order to achieve this object, the relationship between the structure of the carbon-based protective film and the instantaneous clogging and contamination of the magnetic recording medium was investigated in detail. As a result, in the Raman spectroscopic analysis of the carbon-based protective film, 400 cm ^-1 to 750 cm
^-1 has no sub-peak, around 1350cm ^-1 and 1550cm
It was found that a carbon-based protective film having a broad peak near ^-1 did not stain the medium or the head and did not cause instantaneous clogging of the medium.

【０００６】このような炭素系保護膜を得るためには、
プラズマＣＶＤ法において電極に印加する電圧をできる
限り高くし、かつアルゴンガスの比率を可能な限り高く
し、分解しやすい炭素系のガスを使用する方が有利であ
った。To obtain such a carbon-based protective film,
In the plasma CVD method, it was more advantageous to increase the voltage applied to the electrode as much as possible and to increase the ratio of the argon gas as much as possible, and to use a carbon-based gas which is easily decomposed.

【０００７】[0007]

【発明の実施の形態】本発明の金属薄膜型磁気記録媒体
を用いることにより、高記録密度の条件でも媒体の瞬間
目詰まりがいかなる環境においても発生せず、媒体や磁
気ヘッドの汚れがなく、長時間安定に記録再生が可能と
なり、デジタル記録の民生用だけでなくデーター用にも
十分使用可能となる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS By using the metal thin film type magnetic recording medium of the present invention, instantaneous clogging of the medium does not occur in any environment even under high recording density conditions, and the medium and the magnetic head are free from contamination. Recording and reproduction can be performed stably for a long time, and it can be used not only for consumer digital recording but also for data.

【０００８】さらに、本発明によると、金属薄膜型磁気
記録媒体の炭素系保護膜を品質を維持して生産性を向上
して製造可能となる。Further, according to the present invention, it is possible to manufacture a carbon-based protective film of a metal thin-film type magnetic recording medium while maintaining quality and improving productivity.

【０００９】[0009]

【実施例】以下本発明の実施例について図面を参照して
説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１０】（実施例１）図１は金属薄膜型磁気記録媒
体の断面略図であり、この構成について説明する。(Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic sectional view of a metal thin-film type magnetic recording medium.

【００１１】１は含フッソカルボン酸を主とする潤滑剤
層であり、厚みは３０Åから５０Åである。含フッソカ
ルボン酸だけ、あるいは含フッソカルボン酸エステルと
の混合でもよい。例としては、Ｃ₅Ｆ₁₁（ＣＨ₂）₁₀ＣＯ
ＯＨやＣ₅Ｆ₁₁（ＣＨ₂）₁₀ＣＯＯＣ₈Ｈ₁₇があげられ
る。Reference numeral 1 denotes a lubricant layer mainly containing fluorinated carboxylic acid, and has a thickness of 30 to 50 °. It may be a mixture of only a fluorinated carboxylic acid or a fluorinated carboxylic acid ester. As an example, C ₅ F ₁₁ (CH ₂ ) ₁₀ CO
OH and _{C 5 F 11 (CH 2)} 10 COOC 8 H 17 and the like.

【００１２】２は炭素系保護膜で、膜のビッカース硬度
が１０００から５０００と高く、磁気記録媒体のダメー
ジを潤滑剤層１と共に防いでいる。厚みは８０Åから２
００Åが信頼性と出力とのバランス上最適である。本発
明はこの炭素系保護膜２の構造を限定したものである。Reference numeral 2 denotes a carbon-based protective film having a high Vickers hardness of 1,000 to 5,000, which prevents damage to the magnetic recording medium together with the lubricant layer 1. Thickness from 80Å to 2
00 ° is optimal for the balance between reliability and output. In the present invention, the structure of the carbon-based protective film 2 is limited.

【００１３】３は強磁性金属薄膜であり、材料的にはＣ
ｏ−Ｎｉ−Ｏ，Ｃｏ−Ｏ，Ｃｏ−Ｃｒ等が使用可能であ
る。その厚みは１５００Åから３０００Åが一般的であ
る。Reference numeral 3 denotes a ferromagnetic metal thin film, which is made of C
o-Ni-O, Co-O, Co-Cr and the like can be used. Its thickness is generally 1500 to 3000 mm.

【００１４】４は非磁性基板であり、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、
ポリイミド等のフィルムが可能である。コスト的な観点
から、ポリエチレンテレフタレートが有利である。基板
の磁性面側表面は１００Åから３００Åの突起形成処理
が施されているものが信頼性と出力を両立するうえで最
適である。Reference numeral 4 denotes a non-magnetic substrate, which comprises polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyamide,
Films such as polyimide are possible. From the viewpoint of cost, polyethylene terephthalate is advantageous. The surface on the magnetic surface side of the substrate that has been subjected to a projection forming process of 100 ° to 300 ° is optimal in terms of achieving both reliability and output.

【００１５】５はバックコート層で、材料的にはポリウ
レタン、ニトロセルロース、ポリエステルとカーボン、
炭酸カルシュウム等を含んでいる。厚みは５０００Åで
ある。Reference numeral 5 denotes a back coat layer which is made of polyurethane, nitrocellulose, polyester and carbon.
Contains calcium carbonate and the like. The thickness is 5000 °.

【００１６】図２は本発明の磁気記録媒体の炭素系保護
膜２の製造装置の一例である。６は真空槽であり１０^-4
Torrから１０^-3Torrに管理されている。これは７の排気
口からホンプで排気して管理する。FIG. 2 shows an example of an apparatus for manufacturing the carbon-based protective film 2 of the magnetic recording medium according to the present invention. 6 is a vacuum chamber and 10 ^-4
It is managed from Torr to 10 ^-3 Torr. This is managed by evacuating with a pump from the exhaust port 7.

【００１７】８は炭素系保護膜を製造するための放電管
であり、交流と直流が電極に印加される。ガスは各種炭
化水素ガスとアルゴンを使用する。キャン９との隙間は
０．５mmから０．３mmに管理され、これによって放電管
内と真空槽との差圧を確保する。材質はガラスまたはエ
ンプラが実用的である。Reference numeral 8 denotes a discharge tube for producing a carbon-based protective film. AC and DC are applied to the electrodes. As the gas, various hydrocarbon gases and argon are used. The gap with the can 9 is controlled from 0.5 mm to 0.3 mm to thereby secure a differential pressure between the inside of the discharge tube and the vacuum chamber. The material is practically glass or engineering plastic.

【００１８】１０は電流を流すための通電用ローラであ
り、表面抵抗値で１０³Ω／cm²から１０⁵Ω／cm²に管理
するとポリエチレンテレフタレートを基板に用いても電
流の集中による基板の熱負けによるピンホールは発生し
ない。Reference numeral 10 denotes an energizing roller for passing an electric current. When the surface resistance is controlled to 10 ³ Ω / cm ² to 10 ⁵ Ω / cm ² , even if polyethylene terephthalate is used as the substrate, the current is concentrated on the substrate. No pinholes occur due to heat loss.

【００１９】以下製造条件も含めて図面を参考にしなが
ら詳しく説明する。５００mm幅のポリエチレンテレフタ
レート表面に、ＳＴＭ分析で高さが３００Å、直径が２
０００Åの突起が１mm²あたり１０⁵個から１０⁹個形成
された非磁性基板４上へ、斜方真空蒸着法により酸素を
導入しながら、Ｃｏ−Ｏからなる強磁性金属薄膜３を１
８００Åの厚みで形成する。The details including the manufacturing conditions will be described below with reference to the drawings. A 500 mm wide polyethylene terephthalate surface with a height of 300 mm and a diameter of 2
A ferromagnetic metal thin film 3 made of Co—O is deposited on a nonmagnetic substrate 4 having 10 ⁵ to 10 ⁹ protrusions per 1 mm ² by oblique vacuum evaporation.
It is formed with a thickness of 800 mm.

【００２０】その後、リバースロールコータによりポリ
ウレタン、ニトロセルロース、カーボンブラックより構
成された固形分３０％のメチルエチルケトン／トルエン
／アノン溶液を乾燥後のバックコート５の厚みが５００
０Åになるように塗布した。Thereafter, a 30% solids methyl ethyl ketone / toluene / anone solution composed of polyurethane, nitrocellulose and carbon black is dried by a reverse roll coater to a thickness of 500 after drying.
It was applied so as to be 0 °.

【００２１】図２に示した炭素系保護膜形成装置によっ
て炭素系保護膜２を１２０Åの厚みで形成した。その条
件は、放電管８内の電極に直流と２０KHzの交流を重畳
印加した。直流はプラス８００Ｖから１２００Ｖに管理
し、交流は実効値で８００Ｖから１２００Ｖに管理し
た。放電管８内の内圧はアルゴンが０．０５Torrから
０．１０Torrに管理した。炭化水素ガスは分子量の異な
る各種ガスを使用し、内圧は０．２０Torrから０．４０
Torrに管理した。これらの条件で炭素系保護膜２を形成
した。The carbon-based protective film 2 was formed with a thickness of 120 ° using the carbon-based protective film forming apparatus shown in FIG. The conditions were as follows: DC and AC of 20 KHz were superimposed and applied to the electrodes in the discharge tube 8. DC was controlled from 800 V to 1200 V, and AC was controlled from 800 V to 1200 V as an effective value. The internal pressure of the discharge tube 8 was controlled at 0.05 Torr to 0.10 Torr of argon. As the hydrocarbon gas, various gases having different molecular weights are used, and the internal pressure is from 0.20 Torr to 0.40 Torr.
Managed to Torr. Under these conditions, the carbon-based protective film 2 was formed.

【００２２】次に、これらサンプル上へ含フッソ潤滑
剤、Ｃ₅Ｆ₁₁（ＣＨ₂）₁₀ＣＯＯＨを塗布、乾燥後の厚み
が３０Åになるようにコーターで塗布し、潤滑剤層１を
形成した。その後、１／４インチ幅にスリットして測定
用テープとした。Next, a fluorine-containing lubricant, C ₅ F ₁₁ (CH ₂ ) ₁₀ COOH, was applied on these samples, and was applied by a coater so that the thickness after drying was 30 °, thereby forming a lubricant layer 1. . Thereafter, the tape was slit into a 1/4 inch width to obtain a measuring tape.

【００２３】これら測定用サンプルをＤＶＣデッキで評
価し瞬間目詰まりを測定した。この瞬間目詰まりの判定
は、平均して２時間に１回未満を○とし、２時間に１回
から３回を△、２時間に３回を超えるものを×とした。These measurement samples were evaluated on a DVC deck, and instantaneous clogging was measured. In this determination of instantaneous clogging, on average, less than once every 2 hours was evaluated as ○, once to 3 times every 2 hours, Δ, and more than 3 times every 2 hours.

【００２４】さらに、１００パス走行後のテープ表面の
汚れとＤＶＣデッキの走行系および磁気ヘッドのテープ
との接触部近傍の汚れを測定した。この汚れの判定は、
磁気テープの始端と終端を目視で観察し汚れが確認でき
れば×、汚れが目視で確認できなくとも、テープ走行系
が目視で判定できるほど汚れていれば×とした。テープ
もテープ走行系も汚れが目視で観察されず、磁気ヘッド
も顕著な汚れが顕微鏡で観察できないときを○とした。
磁気ヘッドだけ汚れが顕微鏡で観察できた場合は△とし
た。Further, dirt on the tape surface after running 100 passes and dirt near the contact portion between the running system of the DVC deck and the tape of the magnetic head were measured. The determination of this stain is
If the start and end of the magnetic tape were visually observed and dirt could be confirmed, × was given if the tape running system was dirty enough to visually determine the dirt even if dirt could not be visually confirmed. When no stain was visually observed on both the tape and the tape running system and no marked stain was observed on the magnetic head with a microscope, it was evaluated as ○.
When dirt could be observed with a microscope only for the magnetic head, it was marked as Δ.

【００２５】さらに、これら各種サンプルテープの炭素
系保護膜のラマン分光分析をおこない、４００cm^-1から
７５０cm^-1のサブピークの有無も確認した。ピークがあ
る場合を図３に、ピークのない場合を図４に示した。Furthermore, subjected to Raman spectrometry of the carbon-based protective film of these various sample tapes was also confirmed the presence of sub-peak of 750 cm ^-1 from 400 cm ^-1. FIG. 3 shows the case where there is a peak, and FIG. 4 shows the case where there is no peak.

【００２６】これらの結果を（表１）にまとめた。The results are summarized in (Table 1).

【００２７】[0027]

【表１】 [Table 1]

【００２８】この結果をまとめると、サンプル３、４、
５のように、炭化水素ガスの分子量が大きくなり、かつ
二重結合があると、炭素系保護膜の構造が変化し、ラマ
ン分光分析で４００cm^-1から７５０cm^-1の領域にサブピ
ークが発生する（図３参照）。このサンプル３、４、５
の媒体の目詰まりと１００パス後の媒体表面の汚れと磁
気ヘッドの汚れは多かった。To summarize the results, samples 3, 4,
As in 5, the molecular weight of the hydrocarbon gas is increased, and when there is a double bond, and changes the structure of the carbon-based protective layer, sub-peak is generated in the region of 750 cm ^-1 from 400 cm ^-1 by Raman spectroscopic analysis (See FIG. 3). This sample 3, 4, 5
The medium was clogged, the surface of the medium after 100 passes, and the magnetic head were dirty.

【００２９】しかし、電極に印加する電圧を高くする
と、サンプル６、７、８のように炭化水素ガスの分子量
が大きくても炭素系保護膜のラマンチャートの４００cm
^-1から７５０cm^-1のサブピークがなくなり（図４参
照）、金属薄膜型磁気記録媒体の目詰まりも磁気ヘッド
のテープとの接触部近傍の汚れもなくなり、テープの始
端と終端の汚れもなくなった。However, when the voltage applied to the electrode is increased, even if the molecular weight of the hydrocarbon gas is large as in Samples 6, 7, and 8, the Raman chart of the carbon-based protective film is 400 cm.
The sub-peak from ^-1 to 750 cm ^-1 disappeared (see FIG. 4), no clogging of the metal thin film type magnetic recording medium, no contamination near the contact portion of the magnetic head with the tape, and no contamination at the beginning and end of the tape. .

【００３０】さらに、サンプル９、１０のようにプラズ
マ放電中での炭化水素ガスの比率を低下させ、アルゴン
を相対的に増やすと、炭化水素ガスの分子量が大きく電
圧が低い条件で炭素保護膜を製造したことになる（図４
参照）。この場合も金属薄膜型磁気記録媒体に目詰まり
も発生せず、汚れもなかった。しかし、このサンプル
９、１０の炭素保護膜の堆積速度はサンプル６、７、８
よりも低下した。この炭素保護膜の堆積速度低下の傾向
はサンプル１１、１２でも確認されたが、目詰まりや磁
気ヘッドの汚れに関しては結果は良好であった。Further, as shown in Samples 9 and 10, when the ratio of the hydrocarbon gas in the plasma discharge is reduced and the argon is relatively increased, the carbon protective film is formed under the condition that the molecular weight of the hydrocarbon gas is large and the voltage is low. It means that it was manufactured (Fig. 4
reference). Also in this case, no clogging occurred in the metal thin film type magnetic recording medium, and there was no contamination. However, the deposition rates of the carbon protective films of Samples 9 and 10 were lower than those of Samples 6, 7, and 8
Than dropped. Although the tendency of the deposition rate of the carbon protective film to decrease was confirmed in Samples 11 and 12, the results were favorable with respect to clogging and contamination of the magnetic head.

【００３１】以上の実施例は、Ｃｏ−Ｏからなる強磁性
金属薄膜を例にあげて説明したが、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｏでも
Ｃｏ−Ｃｒでも結果は同じであった。また、非磁性基板
をポリエチレンテレフタレートとしたが、ポリエチレン
ナフタレートでもアラミドでも同じであった。さらに、
潤滑剤の構造にも関係なく再現された。In the above embodiment, the ferromagnetic metal thin film made of Co-O has been described as an example. However, the same result was obtained for Co-Ni-O and Co-Cr. The non-magnetic substrate was polyethylene terephthalate, but the same was true for polyethylene naphthalate and aramid. further,
It was reproduced regardless of the structure of the lubricant.

【００３２】なお、本実施例の磁気記録媒体は、非磁性
基板４、強磁性金属薄膜３、バックコート５、炭素系保
護膜２、潤滑剤層１の順で製造したが、この順に限られ
るものではなく、非磁性基板４、強磁性金属薄膜３、炭
素系保護膜２、バックコート５、潤滑剤層１の順で製造
しても、また、非磁性基板４、バックコート５、強磁性
金属薄膜３、炭素系保護膜２、潤滑剤層１の順で製造し
ても、同じ結果が得られた。The magnetic recording medium of this embodiment is manufactured in the order of the non-magnetic substrate 4, the ferromagnetic metal thin film 3, the back coat 5, the carbon-based protective film 2, and the lubricant layer 1, but is limited to this order. Instead, the non-magnetic substrate 4, the ferromagnetic metal thin film 3, the carbon-based protective film 2, the back coat 5, and the lubricant layer 1 may be manufactured in this order. The same result was obtained when the metal thin film 3, the carbon-based protective film 2, and the lubricant layer 1 were manufactured in this order.

【００３３】[0033]

【発明の効果】以上のように本発明は、金属薄膜型磁気
記録媒体の炭素系保護膜のラマン分光分析でのチャート
上での構造を限定することで、媒体の瞬間目詰まりをな
くし、さらに走行耐久後の媒体とデッキの走行系および
磁気ヘッドの汚れをなくすことが可能となる。本発明
は、サンプル６、７、８のように、炭素系保護膜の生産
性向上が品質を維持して達成可能となり工業的意味は大
きい。As described above, the present invention eliminates the instantaneous clogging of the medium by limiting the structure of the carbon-based protective film of the metal thin film type magnetic recording medium on the chart in Raman spectroscopy. It becomes possible to eliminate contamination of the running system of the medium and deck after running durability and the magnetic head. In the present invention, as in the case of samples 6, 7, and 8, the productivity of the carbon-based protective film can be improved while maintaining the quality, and the industrial significance is great.

【００３４】また、この炭素系保護膜を設けた金属薄膜
型磁気記録媒体は、データー用途への展開が可能とな
る。The metal thin film type magnetic recording medium provided with the carbon-based protective film can be developed for data use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施例である金属薄膜型磁気記録媒体
の断面略図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a metal thin-film magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施例である炭素系保護膜の形成装置
の略図FIG. 2 is a schematic view of an apparatus for forming a carbon-based protective film according to an embodiment of the present invention.

【図３】炭素系保護膜のラマン分光チャート（４００cm
^-1から７５０cm^-1にサブピークあり）を示す図FIG. 3 is a Raman spectroscopic chart of a carbon-based protective film (400 cm).
^-1 to 750 cm ^-1 with sub-peak)

【図４】炭素系保護膜のラマン分光チャート（４００cm
^-1から７５０cm^-1にサブピークなし）を示す図FIG. 4 is a Raman spectroscopic chart (400 cm) of a carbon-based protective film.
^-1 to 750 cm ^-1 with no sub-peak)

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 潤滑剤層 ２ 炭素系保護膜 ３ 強磁性金属薄膜 ４ 非磁性基板 ５ バックコート ６ 真空槽 ７ 排気口 ８ 炭素系保護膜製造用放電管 ９ キャン １０ 通電用ローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lubricant layer 2 Carbon-based protective film 3 Ferromagnetic metal thin film 4 Non-magnetic substrate 5 Back coat 6 Vacuum tank 7 Exhaust port 8 Discharge tube for producing carbon-based protective film 9 Can 10 Energizing roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安宅 和秀 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kazuhide Ataka 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】非磁性基板の一方の面に強磁性金属薄膜を
設け、この強磁性金属薄膜上に炭素系保護膜を設け、こ
の炭素系保護膜上に潤滑剤層を設け、非磁性基板のもう
一方の面にバックコート層を設けた金属薄膜型磁気記録
媒体において、炭素系保護膜のラマン分光分析チャート
の４００cm^-1から７５０cm^-1にサブピークがなく、１３
５０cm^-1付近と１５５０cm^-1付近にブロードなピークが
あることを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体。A ferromagnetic metal thin film provided on one surface of a nonmagnetic substrate, a carbon-based protective film provided on the ferromagnetic metal thin film, a lubricant layer provided on the carbon-based protective film, of the metal thin film type magnetic recording medium having a back coat layer on the other surface, no sub-peak in the 750 cm ^-1 from 400 cm ^-1 in Raman spectroscopic analysis chart of a carbon-based protective film, 13
Metal thin film type magnetic recording medium characterized in that there is a broad peak at around 50 cm ^-1 and near 1550 cm ^-1.