JPH11132965A - 表面検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 対象物に対して最も焦点が合った連続した画
像を得ることができて、焦点深度の影響を受けることな
くμｍオーダの高分解能画像を取得することができる表
面検査方法及びその装置の提供。 【解決手段】 光源からの投光を透過及び回帰反射並び
に正反射させて得られる指向性光源１からの光束を板状
の検査対象物６に照射し、その反射光の光軸に対してカ
メラビューイング方向が若干ずれて配置され、反射光画
像焦点が最も合致する位置からの光強度を読み取り可能
な方向にライン状に配置された光電素子群から成るライ
ン状光電素子８により検査対象物６からの反射光を受光
する一方、指向性光源１及びライン状光電素子８の発・
受光系と検査対象物６とのいずれかに対して検査対象物
６が包含される一平面内又はこれに平行な一平面内でラ
イン状光電素子８のライン方向に直角の方向に相対的移
動を行なわせることにより、この移動に同期して取り出
されるライン状光電素子８の受光電気信号から変換され
たライン画像が連続した面画像を、検査対象物６の表面
画像として得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象物におけ
る凹凸が強調された高い分解能を持った表面画像を光学
的に得ることが可能な表面検査方法及びその装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】反射光、光回帰反射スクリーンを利用し
た表面検査方法及び表面検査装置に関する典型的な先行
技術が特願平 5−305467号に挙げられるが、その構成の
要旨は次の通りである。すなわち図４に示されるよう
に、指向性を個々に持つスポット光が集束されて回帰性
反射パターンを持つ光束に形成される指向性光源１から
成る検査用光源を用いて、この指向性光源１からの光束
を板状の検査対象物６に照射するとともに、その反射光
を該反射光軸に対しカメラビューイング方向が若干ずれ
て配置されたカメラ５によって捕えることにより、前記
検査対象物６の表面における欠陥部分の凹凸変化を、明
暗変化が強調された画像として取得できるようにしたも
のである。

【０００３】この場合の検出原理を図８、図９に基づい
て説明する。図４に示される指向性光源１及びカメラ５
を配置することにより、図８のように表面欠陥のない平
面では、光源パターンの主光の方向からの角度αの強さ
の光を見ていることになり、カメラ５は濃淡変化のない
中間的な明るさを一様に有する面として捕らえる。一
方、図９のように表面欠陥のある平面の場合、欠陥がな
いＡ点では前記と同様に光源パターンの主光の方向から
の角度αの強さの光を捕らえるが、Ｂ点（カメラ５側か
ら見て下り坂）では、光源パターンの主光の方向からの
角度γの強さの光を捕らえ、また、Ｃ点（カメラ５側か
ら見て上り坂）では、光源パターンの主光の方向からの
角度βの強さの光を捕らえることになる。

【０００４】従って、Ｂ点の下り坂では明るく、Ｃ点の
上り坂では暗く見えることになる。この場合、個々につ
いて述べられている光源パターンの指向性の幅は一般に
約±１度と尖鋭であるため、欠陥の微妙な傾きでも明暗
の変化量が激しくて、欠陥の凹凸が強調されて観測され
ることになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述する従来の検査方
法によって得られる画像は、検査対象物６からカメラ５
までの距離Ｌによって焦点深度（焦点面の前後で鮮鋭な
像の得られる像面の光軸方向の範囲）が変化し、Ｌが長
くなると焦点深度が大きくなるため、μｍオーダの高分
解能で画像を得ようとすると、焦点深度が浅くなってし
まい、その結果、検査対象物６をカメラによって高分解
能で広範囲に検査する場合、凹凸を十分に観測できなく
なるという問題点があった。

【０００６】本発明は、このような問題点の解消を図る
ために成されたものであり、本発明の目的は、検査対象
物に対して最も焦点が合った連続した画像を得ることが
できて、焦点深度の影響を受けることなくμｍオーダの
高分解能画像を取得することを可能とする表面検査方法
及びその装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため以下に述べる構成としたものである。即
ち、本発明における請求項１の発明は、光源からの投光
を透過及び回帰反射並びに正反射させて得られる指向性
光源からの光束を板状の検査対象物に照射し、その反射
光の光軸に対してカメラビューイング方向が若干ずれて
配置され、かつ、反射光画像焦点が最も合致する位置か
らの光強度を読み取り可能な方向にライン状に配置され
た光電素子群から成るライン状光電素子により前記検査
対象物からの反射光を受光する一方、指向性光源及びラ
イン状光電素子の発・受光系と検査対象物とのいずれか
に対して該検査対象物が包含される一平面内又はこれに
平行な一平面内でライン状光電素子のライン方向に直角
の方向に相対的な移動を行なわせることにより、この移
動に同期して取り出されるライン状光電素子の受光電気
信号から変換されてなる画像すなわち反射光画像焦点が
最も合致するライン画像の連続した画像を、前記検査対
象物の表面画像として得ることを特徴とする表面検査方
法である。

【０００８】また、本発明における請求項２の発明は、
光源からの投光を透過及び回帰反射並びに正反射させて
構成される指向性光源からの光束を、板状体を丸めて円
筒体に形成し該筒軸を前記指向性光源の長手方向に平行
に保って配置した検査対象物に照射し、その反射光の光
軸に対してカメラビューイング方向が若干ずれて配置さ
れ、かつ、反射光画像焦点が最も合致する位置からの光
強度を読み取り可能な方向に前記検査対象物の筒軸と平
行なライン状に配置された光電素子群から成るライン状
光電素子により前記検査対象物からの反射光を受光する
一方、前記検査対象物を前記筒軸の回りに回転させるこ
とにより、この回転に同期して取り出されるライン状光
電素子の受光電気信号から変換されてなる画像すなわち
反射光画像焦点が最も合致するライン画像の連続した画
像を、前記検査対象物の表面画像として得ることを特徴
とする表面検査方法である。

【０００９】また、本発明における請求項３の発明は、
光源、該光源に対向して設けられる回帰反射スクリー
ン、前記光源からの光を透過し前記回帰反射スクリーン
からの反射光を正反射するように光源と回帰反射スクリ
ーンの間に介設されるハーフミラーを備え、指向性を個
々に持つスポット光が集束されてなる光束をハーフミラ
ーからの正反射により板状の検査対象物の表面に照射可
能に設けられる指向性光源と、この指向性光源から前記
検査対象物の表面に照射した光束の反射光の光軸に対し
カメラビューイング方向を若干ずらして配置し、かつ、
反射光画像焦点が最も合致する位置からの光強度を読み
取り可能な方向にライン状に配置された光電素子群から
成るライン状光電素子と、指向性光源及びライン状光電
素子の発・受光系と検査対象物とのいずれかに対して該
検査対象物が包含される一平面内又はこれに平行な一平
面内でライン状光電素子のライン方向に直角の方向に相
対的な移動を行なわせる搬送手段と、この搬送手段の動
きに同期して取り出されるライン状光電素子の受光電気
信号から変換されてなる画像すなわち反射光画像焦点が
最も合致するライン画像の連続した画像を、前記検査対
象物の表面画像として生成する画像ボードとを含むこと
を特徴とする表面検査装置である。

【００１０】また、本発明における請求項４の発明は、
上記請求項３の発明に関して、指向性光源が前記光束を
ライン状光電素子の幅と同等若しくはそれより長いライ
ン光束で照射し得るライン状に形成されてなることを特
徴とする。

【００１１】また、本発明における請求項５の発明は、
上記請求項３の発明に関して、前記検査対象物からライ
ン状光電素子に至る反射光を集束または拡散してライン
状光電素子に受光させるレンズがライン状光電素子と検
査対象物との間に配設されてなることを特徴とする。

【００１２】また、本発明における請求項６の発明は、
上記請求項３、４又は５の発明に関して、搬送手段が前
記検査対象物を搭載して往復移動可能に設けられてなる
搬送用コンベアであることを特徴とする。

【００１３】また、本発明における請求項７の発明は、
上記請求項３、４又は５の発明に関して、搬送手段が指
向性光源及びライン状光電素子を一体的に支持して往復
移動可能に設けられてなるキャリッジであることを特徴
とする。

【００１４】このような本発明に従えば、検査対象物上
での反射が１回でこの正反射光をライン状光電素子を介
して受像する検査方式であるため、従来の再反射光を捕
らえる方式と比べて検査不能領域が全く生じない。ま
た、検査対象物に対する指向性光源及びライン状光電素
子の距離を適切な任意の距離に選ぶことができる。

【００１５】さらに本発明によれば、板状の検査対象物
における面上のどの位置に対しても、指向性光源及びラ
イン状光電素子の相対的な位置・方向関係は同じ条件で
あることから、検査対象物が面状に広いものであっても
μｍオーダの高分解能な焦点の合った凹凸濃淡画像をコ
ンパクトな構造の装置を用いて広範囲に得ることが可能
である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態の例について添付図面を参照しながら説明する。図１
乃至図３には本発明の検査方法に使用する第１実施形態
乃至第３実施形態に係る各検査装置の概要構成が示され
る。

【００１７】図１において、第１実施形態に係る検査装
置は、指向性光源１と、ライン状光電素子８と、画像ボ
ード１１と、コントローラ１２と、板状の検査対象物６
が搭載される搬送用コンベアで実現される搬送手段９A
とを含んで構成される。指向性光源１とライン状光電素
子８とは、搬送用コンベア９A 上にほぼ水平状態に搭載
される検査対象物６に対して、指向性光源１から検査対
象物６表面に照射した光束の反射光をライン状光電素子
８が受光可能なように光学的にほぼ対称となる関係で搬
送用コンベア９A の上方部に設けられる。

【００１８】指向性光源１は、図４図示のものと同様な
構成であり、光源２、該光源２に対向して設けられる回
帰反射スクリーン３、前記光源２からの光を透過し前記
回帰反射スクリーン３からの反射光を反射するように光
源２と回帰反射スクリーン３の間に介設されるハーフミ
ラー（反透鏡）４を備えて、投光窓１０が開けられてい
る筐体７内に収納される。

【００１９】図５には、検査用光源１の原理図が示さ
れ、図６（イ），（ロ）及び図７には、図５における各
部の光の分布状態がそれぞれ示される。図５の指向性光
源１において、光源２から出た光（Ａの部分の光）は、
図６（イ）に示されるように指向性が弱いガウス分布の
光であって、ハーフミラー４を透過して（この場合にハ
ーフミラー４で反射した範囲Ｐの方向の光は不利用）、
図６（イ）と同様の図６（ロ）に示されるＢの部分の光
となって回帰反射スクリーン３に入射する。この回帰反
射スクリーン３は、回帰性反射パターンを有するもので
あって、図示しないが例えば硝子のビーズ球（直径数十
μｍ程度）が密に反射面に敷き詰められてなる構造であ
るとすると、図７に示す回帰反射スクリーン３の反射光
源パターンのように、図５のＢ部分においては各ビーズ
球単位に強い指向性を持つ光の束となって反射し、指向
性の幅は、±１度（半値幅≦±２°）となる。この指向
性を持つ反射光がハーフミラー４で正反射し（この場合
にハーフミラー４を透過した範囲Ｓの方向の光は不利
用）、範囲Ｒの方向に図７のＢに示す分布を有する光が
照射する。このように範囲Ｒの方向に照射される光は、
個々に指向性を持った光の束からなる面光源を形成し得
るものである。

【００２０】上述する構成になる指向性光源１から出る
光を、図１に示すように検査対象物６の表面に照射して
正反射させ、この反射光をライン状光電素子８によって
受光する。ただし、ライン状光電素子８のカメラビュー
イング方向は、僅かにずらすようにライン状光電素子８
を配置するものとする。即ち、ハーフミラー４から検査
対象物６に向かう光の光源パターンの最も強い方向の光
である主光の方向からα度ずれた光を見るようにライン
状光電素子８を配置するものである。なお、ハーフミラ
ー４における光の透過量と正反射量との割合は、５０：
５０が普通であるが、その他の割合であってもよい。

【００２１】前記ライン状光電素子８は、電荷結合素子
のような多数個の微小光電素子を密接させて横一列のラ
イン状に並設した構造であって、検査対象物６の表面が
凹凸のない平滑面であることを前提条件とした場合に、
前述するように検査対象物６で反射された光の光軸（光
強度が最も強い方向）から若干ずれた光を見るように配
置し、かつ、最も焦点が合う反射光を受光する方向に配
置するものであり、このライン状光電素子８のライン方
向は、前記指向性光源１の長手方向（図１の前後方向）
に対して平行を保つ方向になることは言うまでもない。

【００２２】一方、画像ボード１１は、導入された映像
信号を画像として表示する液晶表示装置（ＬＣＤ）、ブ
ラウン管（ＣＲＴ）等の画像表示装置が用いられ、コン
トローラ１２からの作動指令が入力されると応動して、
ライン状光電素子８から導入された光強度に応じた電気
信号をライン画像が連続した画面像に変換して表示し得
るようになっている。コントローラ１２は、図示検査装
置の運転を掌る制御器であって、画像ボード１１の表示
作動のコントロールの他に、指向性光源１の発光作動及
び搬送用コンベア９A の搬送作動をも一括してコントロ
ールするように機能する。

【００２３】搬送用コンベア９A は、該コンベア上に水
平に載置した可動台上に搭載されている検査対象物６
を、例えば図１上で右側から左側に所定速度で移動させ
るように設けられていて、長手方向を互いに平行に保た
せて対設した指向性光源１及びライン状光電素子８の発
・受光系と検査対象物６との間に相対的な移動を行なわ
せるようになっている。この場合、ライン状光電素子８
を基準として、検査対象物６を該対象物６が包含される
一水平面内においてライン状光電素子８のライン方向に
直角の方向に移動させるようにすることが必要である。

【００２４】このような構造の検査装置は、指向性光源
１から照射された光束が検査対象物６の表面で反射さ
れ、ライン状光電素子８で受光される。このライン状光
電素子８では、前述するように受光強度に応じた電気信
号（線状画像に対応する信号）が搬送用コンベア９A の
動きに同期して取り出されるので、画像ボード１１でラ
イン画像を生成した後、この生成ライン画像をコントロ
ーラ１２によって連続した画面像、すなわち検査対象物
６の表面像に構成することができる。その結果、最も焦
点が合ったライン画像の連続した面画像を得ることがで
き、従って、検査対象物６の表面の凹凸画像がμｍオー
ダの高分解能で、広範囲に取得できる。

【００２５】なお、この第１実施形態に係る検査装置に
おいて、指向性光源１を光束がライン状光電素子８の幅
（ライン幅）と同等若しくはそれよりも長いライン光束
で照射し得るようなライン状に形成することは好ましい
手段であり、このように形成することによって、ライン
状光電素子８から得られる画像の濃度特性が一定となる
効果が奏される。

【００２６】次に図２に示される第２実施形態の検査装
置に関して、この検査装置は前記第１実施形態に構成が
類似し、対応する各部材には第１実施形態と同一の参照
符号を付して構造の詳細な説明はここでは省略する。こ
の第２実施形態の検査装置において注目される点は、搬
送手段が、指向性光源１とライン状光電素子８の発・受
光系に関連して設けられていることである。すなわち、
指向性光源１とライン状光電素子８とが、長手方向を互
いに平行に保持して対設した配置形態をとって、キャリ
ッジ９B で実現される搬送手段に取り付けられた構造と
なっているのである。

【００２７】キャリッジ９B は、例えば水平かつ前後に
平行に設けられた一対のフレーム１４，１４と、それら
をタイトに連結する一対の連結ロッド１５，１５とから
なる簡単な枠組構造の架台に形成されて、図示しないレ
ールに沿って図２上で左右の水平方向に移動可能に設け
られている。この場合、キャリッジ９B に取り付けられ
ている指向性光源１及びライン状光電素子８は、キャリ
ッジ９B の移動に伴って両者１，８を包含する水平面内
において、各々の長手方向に対し直角の方向に移動する
ようになるものであり、このように構成することによっ
て、搬送手段の取り付け対象が発・受光系か検査対象物
かの違いだけで相対的な移動態様については第１実施形
態の装置と同じになっていることは容易に理解されると
ころである。

【００２８】このような構成の第２実施形態の検査装置
は、指向性光源１から照射された光束が検査対象物６の
表面で反射され、ライン状光電素子８で受光される。こ
のライン状光電素子８では、前述するように受光強度に
応じた電気信号（線状画像に対応する信号）がキャリッ
ジ９B の動きに同期して取り出されるので、画像ボード
１１でライン画像を生成した後、この生成されたライン
画像をコントローラ１２によって連続した画面像、すな
わち検査対象物６の表面像に構成することができる。そ
の結果、最も焦点が合ったライン画像の連続した面画像
を得ることができ、従って、検査対象物６の表面の凹凸
画像がμｍオーダの高分解能で、広範囲に取得可能であ
る。

【００２９】一方、図３に示される第３実施形態の検査
装置に関して、この検査装置は前記第１実施形態に構成
が類似し、対応する各部材には第１実施形態と同一の参
照符号を付して構造の詳細な説明を省略する。この第３
実施形態の検査装置において注目される点は、ライン状
光電素子８に対してレンズ系が付設された構造としてい
ることである。すなわち、ライン状光電素子８と検査対
象物６の間の反射光経路中に、反射光を集束又は拡散し
てライン状光電素子８に受光させるレンズ１３を配設し
ている。なお、図３にはレンズ１３を凸レンズで簡略示
しているが、拡大・縮小が可能な所謂ズームレンズを用
いることが焦点合わせの面で有利であり好ましい手段で
ある。

【００３０】このように構成される第３実施形態の検査
装置は、前記両実施形態と同様に最も焦点が合ったライ
ン画像の連続した面画像を得ることができ、さらに、レ
ンズ１３によって取得画像の分解能縮小または拡大を容
易に行なった対象物の凹凸画像がμｍオーダの高分解能
で、広範囲に取得できる。

【００３１】

【実施例】以下に本発明の実施例について説明する。
〔発明の実施の形態〕の項において述べた実施の形態に
係る各検査装置は、検査対象物６が板状体のものに対応
する装置であり、これとは別に筒状の検査対象物に対し
ても本発明は適用することが可能である。すなわち、検
査対象物６が湾曲することが可能な板状体である場合に
は、この検査対象物６を丸めて直円筒体に形成して、こ
れをその筒軸が指向性光源１及びライン状光電素子８の
長手方向に平行になるように配設するものである。そし
て、実施の形態に係る前記各検査装置と同じ要領で指向
性光源１から検査対象物６に向けて光束を照射するとと
もに、その反射光をライン状光電素子８によって受光さ
せる。その際、検査対象物６を自身の筒軸の回りに所定
速度で回転させながら、ライン状光電素子８により該回
転に同期させて連続的に反射光を受光させる。このよう
にすることにより、前記各検査装置と同じように、最も
焦点が合ったライン画像の連続した面画像を得ることが
できるのである。

【００３２】本発明に係る検査方法及び検査装置に用い
られる指向性光源１としては、図４図示の構成に限るも
のではなく、光源２、回帰反射スクリーン３及びハーフ
ミラー４の各構成要素に加えて、光源２からの光束のう
ちのハーフミラー４で正反射される一部光をハーフミラ
ー４に向けて回帰反射する回帰反射スクリーンがさらに
付設されて、この回帰反射スクリーンで回帰反射後、ハ
ーフミラー４を透過する光が合わされることによって、
増光された投光が成されるような構造の指向性光源であ
っても良い。

【００３３】また、光源が、ハーフミラー４とは反対側
の後方部に光反射体を備えて、ハーフミラー４を透過又
は／及び正反射する光束を前記光反射体により該ハーフ
ミラー４に向け反射することによって、さらに増光され
た投光が成される構造の指向性光源、投光窓１０と光源
２の直前方部との少なくとも投光窓１０にレンズが設け
られてなる構造のレンズ付指向性光源のいずれも、本発
明に適用し得ることは言うまでもない。

【００３４】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。

【００３５】本発明のうちの請求項１乃至３の発明によ
れば、検査対象物が面状に広いものであっても、μｍオ
ーダの高分解能なしかも焦点が合った凹凸濃淡画像を広
範囲に得ることが可能である。また、画像取得用の指向
性光源を、一般的な構造による光源とハーフミラーと回
帰反射スクリーンとの要素部材により簡単な構造の光源
装置に構成することができて、レーザ光、光ファイバ及
びレンズにより構成される従来の指向性光源に比して簡
易化され、かつ低コスト化された検査装置を提供するこ
とが可能である。

【００３６】また、本発明のうちの請求項４の発明によ
れば、光源をライン状に形成することによって、ライン
状光電素子から得られる表面画像の濃度特性が一定とな
り鮮明な画像を取得できる。さらに、本発明のうちの請
求項５の発明によれば、対象物画像の画像分解能を拡
大、又は縮小することが容易に行なえる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明検査方法に使用する第１実施形態に係る
検査装置の概要構成図である。

【図２】同じく第２実施形態に係る検査装置の概要構成
図である。

【図３】同じく第３実施形態に係る検査装置の概要構成
図である。

【図４】先行技術の検査装置の概要構成図である。

【図５】指向性光源１の構造原理図である。

【図６】図５図示の指向性光源１におけるＡ，Ｂ各部の
光分布状態図である。

【図７】図５図示の指向性光源１におけるＢ部の光分布
状態図である。

【図８】検査対象物６が表面欠陥の無い場合の図４に対
応する光路の説明図である。

【図９】検査対象物６が表面欠陥を持つ場合の図４に対
応する光路の説明図である。

【符号の説明】

１…指向性光源、 ２…光源、３…回
帰反射スクリーン、 ４…ハーフミラー、５…
カメラ、 ６…検査対象物、７…
筐体、 ８…ライン状光電素
子、９A …搬送用コンベア、 ９B …キャリ
ッジ、１０…投光窓、 １１…画像
ボード、１２…コントローラ、 １３…レ
ンズ、１４…フレーム、 １５…連結
ロッド、

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源からの投光を透過及び回帰反射並び
   に正反射させて得られる指向性光源からの光束を板状の
   検査対象物に照射し、その反射光の光軸に対してカメラ
   ビューイング方向が若干ずれて配置され、かつ、反射光
   画像焦点が最も合致する位置からの光強度を読み取り可
   能な方向にライン状に配置された光電素子群から成るラ
   イン状光電素子により前記検査対象物からの反射光を受
   光する一方、指向性光源及びライン状光電素子の発・受
   光系と検査対象物とのいずれかに対して該検査対象物が
   包含される一平面内又はこれに平行な一平面内でライン
   状光電素子のライン方向に直角の方向に相対的な移動を
   行なわせることにより、この移動に同期して取り出され
   るライン状光電素子の受光電気信号から変換されてなる
   画像すなわち反射光画像焦点が最も合致するライン画像
   の連続した画像を、前記検査対象物の表面画像として得
   ることを特徴とする表面検査方法。
2. 【請求項２】 光源からの投光を透過及び回帰反射並び
   に正反射させて得られる指向性光源からの光束を、板状
   体を丸めて円筒体に形成し該筒軸を前記指向性光源の長
   手方向に平行に保って配置した検査対象物に照射し、そ
   の反射光の光軸に対してカメラビューイング方向が若干
   ずれて配置され、かつ、反射光画像焦点が最も合致する
   位置からの光強度を読み取り可能な方向に前記検査対象
   物の筒軸と平行なライン状に配置された光電素子群から
   成るライン状光電素子により前記検査対象物からの反射
   光を受光する一方、前記検査対象物を前記筒軸の回りに
   回転させることにより、この回転に同期して取り出され
   るライン状光電素子の受光電気信号から変換されてなる
   画像すなわち反射光画像焦点が最も合致するライン画像
   の連続した画像を、前記検査対象物の表面画像として得
   ることを特徴とする表面検査方法。
3. 【請求項３】 光源、該光源に対向して設けられる回帰
   反射スクリーン、前記光源からの光を透過し前記回帰反
   射スクリーンからの反射光を正反射するように光源と回
   帰反射スクリーンの間に介設されるハーフミラーを備
   え、指向性を個々に持つスポット光が集束されてなる光
   束をハーフミラーからの正反射により板状の検査対象物
   の表面に照射可能に設けられる指向性光源と、この指向
   性光源から前記検査対象物の表面に照射した光束の反射
   光の光軸に対しカメラビューイング方向を若干ずらして
   配置し、かつ、反射光画像焦点が最も合致する位置から
   の光強度を読み取り可能な方向にライン状に配置された
   光電素子群から成るライン状光電素子と、指向性光源及
   びライン状光電素子の発・受光系と検査対象物とのいず
   れかに対して該検査対象物が包含される一平面内又はこ
   れに平行な一平面内でライン状光電素子のライン方向に
   直角の方向に相対的な移動を行なわせる搬送手段と、こ
   の搬送手段の動きに同期して取り出されるライン状光電
   素子の受光電気信号から変換されてなる画像すなわち反
   射光画像焦点が最も合致するライン画像の連続した画像
   を、前記検査対象物の表面画像として生成する画像ボー
   ドとを含むことを特徴とする表面検査装置。
4. 【請求項４】 指向性光源が、前記光束をライン状光電
   素子の幅と同等若しくはそれより長いライン光束で照射
   し得るライン状に形成されてなる請求項３記載の表面検
   査装置。
5. 【請求項５】 前記検査対象物からライン状光電素子に
   至る反射光を集束または拡散してライン状光電素子に受
   光させるレンズがライン状光電素子と検査対象物との間
   に配設されてなる請求項３記載の表面検査装置。
6. 【請求項６】 搬送手段が、前記検査対象物を搭載して
   往復移動可能に設けられてなる搬送用コンベアである請
   求項３、４又は５に記載の表面検査装置。
7. 【請求項７】 搬送手段が、指向性光源及びライン状光
   電素子を一体的に支持して往復移動可能に設けられてな
   るキャリッジである請求項３、４又は５に記載の表面検
   査装置。