JPH11123578A - レーザ加工ヘッド - Google Patents
レーザ加工ヘッドInfo
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- JPH11123578A JPH11123578A JP9289957A JP28995797A JPH11123578A JP H11123578 A JPH11123578 A JP H11123578A JP 9289957 A JP9289957 A JP 9289957A JP 28995797 A JP28995797 A JP 28995797A JP H11123578 A JPH11123578 A JP H11123578A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle body
- laser processing
- assist gas
- gas
- outlet
- Prior art date
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- Pending
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- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ヘッド先端部を小さく形成しつつ、ヘッド内
部へのスパッタの飛散を防止する。 【解決手段】 二重管状に配設された内外のノズル体
５，６を備え、内側のノズル体５からはレーザビームＬ
とアシストガスＧとを発射、噴出させ、外側のノズル体
６からはアシストガスＧを噴出させるレーザ加工ヘッド
１において、外側のノズル体６の出口１７ａを、内側の
ノズル体５の出口１９と交差する方向に指向させた。
部へのスパッタの飛散を防止する。 【解決手段】 二重管状に配設された内外のノズル体
５，６を備え、内側のノズル体５からはレーザビームＬ
とアシストガスＧとを発射、噴出させ、外側のノズル体
６からはアシストガスＧを噴出させるレーザ加工ヘッド
１において、外側のノズル体６の出口１７ａを、内側の
ノズル体５の出口１９と交差する方向に指向させた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、溶接加工等のレー
ザ加工を行うレーザ加工装置の先端部分に形成されるレ
ーザ加工ヘッドに関するものである。
ザ加工を行うレーザ加工装置の先端部分に形成されるレ
ーザ加工ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザ加工は徐々に汎用的な技術
となって、溶接や切断の分野において従来の工法に取っ
て替わりつつある。
となって、溶接や切断の分野において従来の工法に取っ
て替わりつつある。
【０００３】しかしながら、このレーザ加工には実用
上、解決すべき課題が残されている。
上、解決すべき課題が残されている。
【０００４】第一の課題は、レーザ加工特有の課題であ
って、レーザ加工時にビーム照射面上にプラズマプルー
ムが発生するが、このプラズマプルームによって後続の
レーザビームが阻害されてエネルギーロスが生じてしま
うという問題である。特に、ＣＯ2 レーザの場合には、
プラズマプルームによってレーザビームが屈折され加工
点で所定のエネルギー密度が得られず安定した加工がで
きない。
って、レーザ加工時にビーム照射面上にプラズマプルー
ムが発生するが、このプラズマプルームによって後続の
レーザビームが阻害されてエネルギーロスが生じてしま
うという問題である。特に、ＣＯ2 レーザの場合には、
プラズマプルームによってレーザビームが屈折され加工
点で所定のエネルギー密度が得られず安定した加工がで
きない。
【０００５】第二の課題は、従来工法での溶接切断加工
時においても見られるスパッタ飛散によるレンズ汚染の
問題である。レーザ加工の場合、集光レンズが高価なた
め、アシストガスを供給してスパッタの付着を防ぐよう
にしているが、現状では十分でなく保護ガラスを併用し
ている。しかし、この保護ガラスの交換頻度が多く、連
続加工の弊害となり、ランニングコストが上昇してしま
う。
時においても見られるスパッタ飛散によるレンズ汚染の
問題である。レーザ加工の場合、集光レンズが高価なた
め、アシストガスを供給してスパッタの付着を防ぐよう
にしているが、現状では十分でなく保護ガラスを併用し
ている。しかし、この保護ガラスの交換頻度が多く、連
続加工の弊害となり、ランニングコストが上昇してしま
う。
【０００６】これらの課題に対処するため、以下に示す
ようなレーザ加工装置が提案されている。
ようなレーザ加工装置が提案されている。
【０００７】例えば、図４に示すようなレーザ加工ヘッ
ド５１がある。このレーザ加工ヘッド５１は、二重管状
に配設された内外のノズル体５２，５３を備えており、
内側のノズル体５２からはレーザビームＬとアシストガ
スＧ１とを発射、噴出させ、外側のノズル体５３からは
アシストガスＧ２を噴出させるようになっている。な
お、図中、６１は集光レンズ、６２は保護ガラスを示
す。
ド５１がある。このレーザ加工ヘッド５１は、二重管状
に配設された内外のノズル体５２，５３を備えており、
内側のノズル体５２からはレーザビームＬとアシストガ
スＧ１とを発射、噴出させ、外側のノズル体５３からは
アシストガスＧ２を噴出させるようになっている。な
お、図中、６１は集光レンズ、６２は保護ガラスを示
す。
【０００８】内側のノズル体５２から発射されたレーザ
ビームＬはワーク５４に照射され、このときプラズマプ
ルームが発生するが、内外のノズル体５３，５４から噴
出されたアシストガスＧ１，Ｇ２によってプラズマプル
ームが除去されるようになっている。
ビームＬはワーク５４に照射され、このときプラズマプ
ルームが発生するが、内外のノズル体５３，５４から噴
出されたアシストガスＧ１，Ｇ２によってプラズマプル
ームが除去されるようになっている。
【０００９】また、図５に示すようなレーザ加工ヘッド
５５もある。このレーザ加工ヘッド５５は、その先端部
にスパッタを遮蔽する遮蔽板５６が設けられると共に、
ワーク５４の照射面上にその側方からアシストガスＧを
噴出させるガス噴出口５７及び空気Ａを側方から噴出さ
せる空気噴出口５８が複数設けられている。なお、図
中、５９は集光レンズを示す。
５５もある。このレーザ加工ヘッド５５は、その先端部
にスパッタを遮蔽する遮蔽板５６が設けられると共に、
ワーク５４の照射面上にその側方からアシストガスＧを
噴出させるガス噴出口５７及び空気Ａを側方から噴出さ
せる空気噴出口５８が複数設けられている。なお、図
中、５９は集光レンズを示す。
【００１０】レーザビームＬの照射により発生するスパ
ッタは、遮蔽板５６によって遮蔽されると共にアシスト
ガスＧによってその大部分が吹き飛ばされ、さらに遮蔽
板５６を通過してその上部に飛散したスパッタは側方か
ら噴出する空気Ａによって吹き飛ばされるようになって
いる。
ッタは、遮蔽板５６によって遮蔽されると共にアシスト
ガスＧによってその大部分が吹き飛ばされ、さらに遮蔽
板５６を通過してその上部に飛散したスパッタは側方か
ら噴出する空気Ａによって吹き飛ばされるようになって
いる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図４に示すレーザ加工ヘッド５１にあっては、内側のノ
ズル体５２から噴出するアシストガスＧ１と、外側のノ
ズル体５３から噴出するアシストガスＧ２とは共にノズ
ル体５２，５３の形状に沿って平行に、かつ下方に流さ
れるだけであったので、プラズマプルームの除去に対し
ては効果的であったが、スパッタの保護ガラスへの付着
防止に対してはあまり効果的ではなかった。すなわち、
プルームと比較してスパッタは質量ないし運動量が大き
いため、上記アシストガスＧ１，Ｇ２によっては、スパ
ッタが内側のノズル体５２の内部に飛散するのを防止す
ることができなかった。
図４に示すレーザ加工ヘッド５１にあっては、内側のノ
ズル体５２から噴出するアシストガスＧ１と、外側のノ
ズル体５３から噴出するアシストガスＧ２とは共にノズ
ル体５２，５３の形状に沿って平行に、かつ下方に流さ
れるだけであったので、プラズマプルームの除去に対し
ては効果的であったが、スパッタの保護ガラスへの付着
防止に対してはあまり効果的ではなかった。すなわち、
プルームと比較してスパッタは質量ないし運動量が大き
いため、上記アシストガスＧ１，Ｇ２によっては、スパ
ッタが内側のノズル体５２の内部に飛散するのを防止す
ることができなかった。
【００１２】また、図５に示すレーザ加工ヘッド５５に
あっては、スパッタを遮蔽板５６で遮蔽すると共に、ア
シストガスＧ及び空気Ａで吹き飛ばし、また、レンズが
遠方に位置しているため、スパッタのレンズへの付着防
止に対しては効果的であるが、レーザ加工ヘッド５５の
先端部に、遮蔽板５６，ガス噴出口５７及び空気噴出口
５８等の種々の部品が設けられているため、ヘッド先端
部が大きくなってしまい、自動車の組立て等の複雑形状
の三次元溶接等においては、使用することが不可能であ
った。
あっては、スパッタを遮蔽板５６で遮蔽すると共に、ア
シストガスＧ及び空気Ａで吹き飛ばし、また、レンズが
遠方に位置しているため、スパッタのレンズへの付着防
止に対しては効果的であるが、レーザ加工ヘッド５５の
先端部に、遮蔽板５６，ガス噴出口５７及び空気噴出口
５８等の種々の部品が設けられているため、ヘッド先端
部が大きくなってしまい、自動車の組立て等の複雑形状
の三次元溶接等においては、使用することが不可能であ
った。
【００１３】そこで、本発明は、上記問題を解決すべく
案出されたものであり、その目的は、ヘッド先端部を小
さく形成しつつ、ヘッド内部へのスパッタの飛散を防止
できるレーザ加工ヘッドを提供することにある。
案出されたものであり、その目的は、ヘッド先端部を小
さく形成しつつ、ヘッド内部へのスパッタの飛散を防止
できるレーザ加工ヘッドを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決すべく、
本発明は、二重管状に配設された内外のノズル体を備
え、内側のノズル体からはレーザビームとアシストガス
とを発射、噴出させ、外側のノズル体からはアシストガ
スを噴出させるレーザ加工ヘッドにおいて、外側のノズ
ル体の出口を、内側のノズル体の出口と交差する方向に
指向させたものである。
本発明は、二重管状に配設された内外のノズル体を備
え、内側のノズル体からはレーザビームとアシストガス
とを発射、噴出させ、外側のノズル体からはアシストガ
スを噴出させるレーザ加工ヘッドにおいて、外側のノズ
ル体の出口を、内側のノズル体の出口と交差する方向に
指向させたものである。
【００１５】上記構成によれば、図４の従来例の如く、
内外のノズル体によってヘッド先端部を小さく形成でき
る点は同じである。特に、上記構成では、外側のノズル
体から噴出するアシストガスが内側のノズル体から噴出
するアシストガスと交差する方向に吐出して、スパッタ
に対する遮蔽カーテンを形成する。これによって、スパ
ッタがヘッド内部に浸入、飛散するのを防止できる。
内外のノズル体によってヘッド先端部を小さく形成でき
る点は同じである。特に、上記構成では、外側のノズル
体から噴出するアシストガスが内側のノズル体から噴出
するアシストガスと交差する方向に吐出して、スパッタ
に対する遮蔽カーテンを形成する。これによって、スパ
ッタがヘッド内部に浸入、飛散するのを防止できる。
【００１６】なお、外側のノズル体が、その出口部を径
方向内側に折曲して形成されているのが好ましい。
方向内側に折曲して形成されているのが好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に従って説明する。
図面に従って説明する。
【００１８】図１は本発明にかかるレーザ加工ヘッドの
実施の形態を示した断面図である。
実施の形態を示した断面図である。
【００１９】図示する上記レーザ加工ヘッド１は、レー
ザビームＬを発生させるレーザ発生源（図示せず）を備
えたレーザ加工装置の先端部に形成されるものである。
ザビームＬを発生させるレーザ発生源（図示せず）を備
えたレーザ加工装置の先端部に形成されるものである。
【００２０】レーザ加工ヘッド１は、その胴部をなすノ
ズルホルダ４が形成されており、そのノズルホルダ４の
内側にはレーザビームＬの流れの上流側で、レーザビー
ムＬを屈折させワーク２に照射させる集光レンズ３がリ
ング状のレンズ固定部材７を介して取り付けられてい
る。さらに、この集光レンズ３の下流側には、集光レン
ズ３をスパッタ等から保護するための保護ガラス８がリ
ング状のガラス固定部材９を介して取り付けられてい
る。
ズルホルダ４が形成されており、そのノズルホルダ４の
内側にはレーザビームＬの流れの上流側で、レーザビー
ムＬを屈折させワーク２に照射させる集光レンズ３がリ
ング状のレンズ固定部材７を介して取り付けられてい
る。さらに、この集光レンズ３の下流側には、集光レン
ズ３をスパッタ等から保護するための保護ガラス８がリ
ング状のガラス固定部材９を介して取り付けられてい
る。
【００２１】ノズルホルダ４の先端部に、同心で二重管
状に配設された内外のノズル体５，６が嵌合され、その
内外を閉塞して設けられている。これらノズル体５，６
は先端が先細りに形成されている。
状に配設された内外のノズル体５，６が嵌合され、その
内外を閉塞して設けられている。これらノズル体５，６
は先端が先細りに形成されている。
【００２２】ノズルホルダ４の、内側ノズル体５の上流
側に位置する部分には、アルゴンやヘリウム等の不活性
ガスからなるアシストガスＧ１を内側ノズル体５の内部
に供給するための第一ガス供給口１１が形成されてい
る。内側ノズル体５の上流端には鍔部１２が形成され、
その上流側には、所定の間隔を隔ててリング部材１３が
設けられ、その隙間が、第一ガス供給口１１から供給さ
れたアシストガスＧ１を内側ノズル体５の内側まで送る
ガス流通路２０となっている。内側ノズル体５内部の空
間が、アシストガスＧ１を先端の出口１９に流すための
第一ガス供給路１４となっている。内側ノズル体５の出
口１９は、その軸方向に指向しており、アシストガスＧ
１は軸方向に沿って噴出されることとなる。
側に位置する部分には、アルゴンやヘリウム等の不活性
ガスからなるアシストガスＧ１を内側ノズル体５の内部
に供給するための第一ガス供給口１１が形成されてい
る。内側ノズル体５の上流端には鍔部１２が形成され、
その上流側には、所定の間隔を隔ててリング部材１３が
設けられ、その隙間が、第一ガス供給口１１から供給さ
れたアシストガスＧ１を内側ノズル体５の内側まで送る
ガス流通路２０となっている。内側ノズル体５内部の空
間が、アシストガスＧ１を先端の出口１９に流すための
第一ガス供給路１４となっている。内側ノズル体５の出
口１９は、その軸方向に指向しており、アシストガスＧ
１は軸方向に沿って噴出されることとなる。
【００２３】内側ノズル体５と外側ノズル体６とは所定
の間隔を隔てて固定されており、その隙間が、外側ノズ
ル体６の先端部に、アシストガスＧ１と同じくアルゴン
やヘリウム等の不活性ガスからなるアシストガスＧ２を
供給するための第二ガス供給路１５となっている。ノズ
ルホルダ４の、第二ガス供給路１５が位置する部分に
は、この第二ガス供給路１５にアシストガスＧ２を供給
するための第二ガス供給口１６が形成されている。内側
ノズル体５の先端と外側ノズル体６の先端に挟まれた部
分には、第二ガス供給路１５の出口１７ａが形成されて
おり、これは内側ノズル体５先端部の周方向全域に亘っ
て形成されている。
の間隔を隔てて固定されており、その隙間が、外側ノズ
ル体６の先端部に、アシストガスＧ１と同じくアルゴン
やヘリウム等の不活性ガスからなるアシストガスＧ２を
供給するための第二ガス供給路１５となっている。ノズ
ルホルダ４の、第二ガス供給路１５が位置する部分に
は、この第二ガス供給路１５にアシストガスＧ２を供給
するための第二ガス供給口１６が形成されている。内側
ノズル体５の先端と外側ノズル体６の先端に挟まれた部
分には、第二ガス供給路１５の出口１７ａが形成されて
おり、これは内側ノズル体５先端部の周方向全域に亘っ
て形成されている。
【００２４】外側ノズル体６は、その先端のアシストガ
スＧ２の出口１７ａを形成する出口部１７ｂが、折曲部
１８として内側ノズル体５の先端面を覆うように、かつ
径方向内側に折曲して形成されている。折曲部１８の先
端面１８ｂは、内側ノズル体５の内面の延長面上に一致
するように形成されており、アシストガスＧ１の流れを
阻害しないようになっている。また、折曲部１８の基端
内周面は、断面円弧状に形成され、アシストガスＧ２の
流れをスムーズにするようになっている。
スＧ２の出口１７ａを形成する出口部１７ｂが、折曲部
１８として内側ノズル体５の先端面を覆うように、かつ
径方向内側に折曲して形成されている。折曲部１８の先
端面１８ｂは、内側ノズル体５の内面の延長面上に一致
するように形成されており、アシストガスＧ１の流れを
阻害しないようになっている。また、折曲部１８の基端
内周面は、断面円弧状に形成され、アシストガスＧ２の
流れをスムーズにするようになっている。
【００２５】このように、折曲部１８を形成したことに
よって、出口１７ａの向きが、径方向内側に指向し、内
側ノズル体５の出口１９の向きに対して直角に交差す
る。これによって、内側ノズル体５の内側の第一ガス供
給路１４から噴出されるアシストガスＧ１と、外側ノズ
ル体６の内側の第二ガス供給路１５から噴出されるアシ
ストガスＧ２とが、出口１７ａに囲まれた部分である出
口下流部２４において直角に交差ないし衝突することと
なる。
よって、出口１７ａの向きが、径方向内側に指向し、内
側ノズル体５の出口１９の向きに対して直角に交差す
る。これによって、内側ノズル体５の内側の第一ガス供
給路１４から噴出されるアシストガスＧ１と、外側ノズ
ル体６の内側の第二ガス供給路１５から噴出されるアシ
ストガスＧ２とが、出口１７ａに囲まれた部分である出
口下流部２４において直角に交差ないし衝突することと
なる。
【００２６】次に、上記構成によるレーザ加工ヘッド１
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００２７】溶接等のレーザ加工を行うには、レーザ発
生源でレーザビームＬを発生させ、その発生したレーザ
ビームＬを集光レンズ３によってワーク２に照射させる
と共に、アシストガスＧ１，Ｇ２を第一ガス供給口１１
及び第二ガス供給口１６からそれぞれ供給する。
生源でレーザビームＬを発生させ、その発生したレーザ
ビームＬを集光レンズ３によってワーク２に照射させる
と共に、アシストガスＧ１，Ｇ２を第一ガス供給口１１
及び第二ガス供給口１６からそれぞれ供給する。
【００２８】第一ガス供給口１１から供給されたアシス
トガスＧ１は、ガス流通路２０，第一ガス供給路１４を
通過して、その後、先端の出口１９からワーク２に向か
って噴出する。主に、この内側ノズル体５からのアシス
トガスＧ１の噴出によって、レーザビームＬの照射によ
って発生するプラズマプルームを吹き飛ばし除去するこ
とができる。これによって、レーザビームＬのエネルギ
ーロスを防止できる。
トガスＧ１は、ガス流通路２０，第一ガス供給路１４を
通過して、その後、先端の出口１９からワーク２に向か
って噴出する。主に、この内側ノズル体５からのアシス
トガスＧ１の噴出によって、レーザビームＬの照射によ
って発生するプラズマプルームを吹き飛ばし除去するこ
とができる。これによって、レーザビームＬのエネルギ
ーロスを防止できる。
【００２９】他方、第二ガス供給口１６から供給された
アシストガスＧ２は、第二ガス供給路１５を通過して、
先端の出口１７ａから径方向内側に向かって噴出する。
主に、この第二ガス供給路１５から噴出するアシストガ
スＧ２によって、出口下流部２４でガスによる遮蔽カー
テンが形成される。この遮蔽カーテンによって、レーザ
ビームＬの照射によって発生したスパッタのうち、内側
ノズル体５内部に向かって飛散するスパッタを遮蔽する
ことができ、スパッタの飛散による保護ガラス８の汚染
を防止することができる。これによって、保護ガラス８
の交換頻度を少なくでき、連続加工が可能となり、ラン
ニングコストの低減を達成できる。なお、前記、遮蔽カ
ーテンは、アシストガスＧ１の流れによって、多少下流
側に膨出した形状で形成されることになる。
アシストガスＧ２は、第二ガス供給路１５を通過して、
先端の出口１７ａから径方向内側に向かって噴出する。
主に、この第二ガス供給路１５から噴出するアシストガ
スＧ２によって、出口下流部２４でガスによる遮蔽カー
テンが形成される。この遮蔽カーテンによって、レーザ
ビームＬの照射によって発生したスパッタのうち、内側
ノズル体５内部に向かって飛散するスパッタを遮蔽する
ことができ、スパッタの飛散による保護ガラス８の汚染
を防止することができる。これによって、保護ガラス８
の交換頻度を少なくでき、連続加工が可能となり、ラン
ニングコストの低減を達成できる。なお、前記、遮蔽カ
ーテンは、アシストガスＧ１の流れによって、多少下流
側に膨出した形状で形成されることになる。
【００３０】図３は本発明にかかるレーザ加工ヘッドを
適用したレーザ加工の一例を示した概略図であり、例え
ば車のストラクチャ（ピラー）の代表的な断面を示した
ものである。
適用したレーザ加工の一例を示した概略図であり、例え
ば車のストラクチャ（ピラー）の代表的な断面を示した
ものである。
【００３１】図示するように、上記レーザ加工ヘッド１
は先端が、先細りのノズル状に形成されているので、イ
ンナーパネル２１とアウターパネル２２とを溶接接合す
る場合のような複雑な三次元形状で、かつ狭隘な部位で
あっても、レーザ加工を行うことができる。
は先端が、先細りのノズル状に形成されているので、イ
ンナーパネル２１とアウターパネル２２とを溶接接合す
る場合のような複雑な三次元形状で、かつ狭隘な部位で
あっても、レーザ加工を行うことができる。
【００３２】図２は本発明にかかるレーザ加工ヘッドの
他の実施の形態を示した要部拡大断面図である。
他の実施の形態を示した要部拡大断面図である。
【００３３】図１のレーザ加工ヘッド１においては、第
二ガス供給路１５から噴出するアシストガスＧ２の方向
を、内外のノズル体５，６の軸方向に対して直角方向に
なるようにしたが、図２の他の実施の形態のレーザ加工
ヘッド２３は、外側ノズル体６の折曲部１８の折曲げ角
度を緩くすると共に、その厚さを、端部に向かうにつれ
て徐々に薄くし、第二ガス供給路１５の出口１７ａの向
きを、内外のノズル体５，６の軸方向に対して直角とせ
ず、若干斜めに指向させ、アシストガスＧ２の噴出方向
を若干下流側（ワーク２側）に指向させたことに特徴を
有する。
二ガス供給路１５から噴出するアシストガスＧ２の方向
を、内外のノズル体５，６の軸方向に対して直角方向に
なるようにしたが、図２の他の実施の形態のレーザ加工
ヘッド２３は、外側ノズル体６の折曲部１８の折曲げ角
度を緩くすると共に、その厚さを、端部に向かうにつれ
て徐々に薄くし、第二ガス供給路１５の出口１７ａの向
きを、内外のノズル体５，６の軸方向に対して直角とせ
ず、若干斜めに指向させ、アシストガスＧ２の噴出方向
を若干下流側（ワーク２側）に指向させたことに特徴を
有する。
【００３４】アシストガスＧ２の噴出方向を若干下流側
に指向させても、その径方向内側に向かう成分が強いた
め、出口下流部２４でガスによる遮蔽カーテンを上記レ
ーザ加工ヘッド１と同様に形成でき、内側ノズル体５内
部に向かって飛散するスパッタを遮蔽できる。その上、
上記構成によれば、第二ガス供給路１５から噴出するア
シストガスＧ２の流れがさらにスムーズになる。
に指向させても、その径方向内側に向かう成分が強いた
め、出口下流部２４でガスによる遮蔽カーテンを上記レ
ーザ加工ヘッド１と同様に形成でき、内側ノズル体５内
部に向かって飛散するスパッタを遮蔽できる。その上、
上記構成によれば、第二ガス供給路１５から噴出するア
シストガスＧ２の流れがさらにスムーズになる。
【００３５】なお、上記実施の形態のレーザ加工ヘッド
１，２３においては、第二ガス供給路１５のアシストガ
スＧ２の出口１７ａを、周方向全域に形成したが、出口
を閉塞して、そこに、複数のガス噴出穴を形成するよう
にしてもよい。
１，２３においては、第二ガス供給路１５のアシストガ
スＧ２の出口１７ａを、周方向全域に形成したが、出口
を閉塞して、そこに、複数のガス噴出穴を形成するよう
にしてもよい。
【００３６】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、ヘッド先
端部を小さく形成しつつ、ヘッド内部へのスパッタの飛
散を防止することができるという優れた効果を発揮す
る。
端部を小さく形成しつつ、ヘッド内部へのスパッタの飛
散を防止することができるという優れた効果を発揮す
る。
【図１】本発明にかかるレーザ加工ヘッドの実施の形態
を示した断面図である。
を示した断面図である。
【図２】本発明にかかるレーザ加工ヘッドの他の実施の
形態を示した要部拡大断面図である。
形態を示した要部拡大断面図である。
【図３】本発明にかかるレーザ加工ヘッドを適用したレ
ーザ加工の一例を示した概略図である。
ーザ加工の一例を示した概略図である。
【図４】従来のレーザ加工ヘッドを示した断面図であ
る。
る。
【図５】従来の他のレーザ加工ヘッドを示した断面図で
ある。
ある。
１ レーザ加工ヘッド ５ 内側ノズル体 ６ 外側ノズル体 １７ａ 出口 １７ｂ 出口部 １８ 折曲部 １９ 出口 Ｇ１，Ｇ２ アシストガス Ｌ レーザビーム
Claims (2)
- 【請求項１】 二重管状に配設された内外のノズル体を
備え、内側のノズル体からはレーザビームとアシストガ
スとを発射、噴出させ、外側のノズル体からはアシスト
ガスを噴出させるレーザ加工ヘッドにおいて、外側のノ
ズル体の出口を、内側のノズル体の出口と交差する方向
に指向させたことを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 【請求項２】 上記外側のノズル体が、その出口部を径
方向内側に折曲してなる請求項１記載のレーザ加工ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9289957A JPH11123578A (ja) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | レーザ加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9289957A JPH11123578A (ja) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | レーザ加工ヘッド |
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|---|---|
| JPH11123578A true JPH11123578A (ja) | 1999-05-11 |
Family
ID=17749933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9289957A Pending JPH11123578A (ja) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | レーザ加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH11123578A (ja) |
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1997
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