JPH11119137A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH11119137A JPH11119137A JP28191997A JP28191997A JPH11119137A JP H11119137 A JPH11119137 A JP H11119137A JP 28191997 A JP28191997 A JP 28191997A JP 28191997 A JP28191997 A JP 28191997A JP H11119137 A JPH11119137 A JP H11119137A
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- elastic deformation
- electromechanical transducer
- elastically deforming
- displacement
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、電気機械変換素子の微小な変位を
大きく拡大振動し、ミラーによる光路長の変化がなく、
ノイズがなく必要な振動のみを発生し、駆動周波数が一
つつまり環境変化によって共振状態から少しずれても安
定した振動状態を得ることができる光走査装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 光走査装置において、光ビームの方向を
反射により変える反射ミラー1と、前記反射ミラーを支
持しねじり振動することにより前記反射ミラーを回転振
動させる弾性変形部材3と、前記弾性変形部材をねじり
振動させる駆動源となる変位を前記弾性変形部材に与え
る電気機械変換素子10とを備えた構成とする。
大きく拡大振動し、ミラーによる光路長の変化がなく、
ノイズがなく必要な振動のみを発生し、駆動周波数が一
つつまり環境変化によって共振状態から少しずれても安
定した振動状態を得ることができる光走査装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 光走査装置において、光ビームの方向を
反射により変える反射ミラー1と、前記反射ミラーを支
持しねじり振動することにより前記反射ミラーを回転振
動させる弾性変形部材3と、前記弾性変形部材をねじり
振動させる駆動源となる変位を前記弾性変形部材に与え
る電気機械変換素子10とを備えた構成とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源からの
光ビームを走査することにより映像を提示する映像提示
装置等の装置において光ビームを走査(偏向)するため
に用いられる光走査装置に関するものである。
光ビームを走査することにより映像を提示する映像提示
装置等の装置において光ビームを走査(偏向)するため
に用いられる光走査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光走査装置は、電子写真複写機、レーザ
ビームプリンタなどの光走査記録装置や映像提示装置な
どさまざまな装置において光を走査するための装置とし
て用いられている。この光走査装置として、高速走査が
可能で、小型に構成できるという点から従来より電気機
械変換素子を用いた装置が注目されている。
ビームプリンタなどの光走査記録装置や映像提示装置な
どさまざまな装置において光を走査するための装置とし
て用いられている。この光走査装置として、高速走査が
可能で、小型に構成できるという点から従来より電気機
械変換素子を用いた装置が注目されている。
【0003】電気機械変換素子を用いた光走査装置とし
て、例えば特開平8−152575号公報に開示されて
いるもの(従来例1)がある。この装置は、電気機械変
換素子の変位をてこの原理を利用して拡大し、これを接
線方向の移動量として直接的に反射鏡を回転振動するも
のである。
て、例えば特開平8−152575号公報に開示されて
いるもの(従来例1)がある。この装置は、電気機械変
換素子の変位をてこの原理を利用して拡大し、これを接
線方向の移動量として直接的に反射鏡を回転振動するも
のである。
【0004】電気機械変換素子を用いた光走査装置の他
の例として、特開平5−100175号公報に開示され
ているもの(従来例2)がある。この装置においては、
弾性変形部材の一端に反射ミラーを設け他端の振動入力
部に電気機械変換素子の振動を入力する。振動入力部に
弾性変形部材のいずれかの弾性変形モード(曲げ振動す
るモード、ねじり振動するモード)の共振周波数の振動
を入力すると弾性変形部材は当該弾性変形モードで弾性
振動をする。この振動により、反射ミラーは回動する。
の例として、特開平5−100175号公報に開示され
ているもの(従来例2)がある。この装置においては、
弾性変形部材の一端に反射ミラーを設け他端の振動入力
部に電気機械変換素子の振動を入力する。振動入力部に
弾性変形部材のいずれかの弾性変形モード(曲げ振動す
るモード、ねじり振動するモード)の共振周波数の振動
を入力すると弾性変形部材は当該弾性変形モードで弾性
振動をする。この振動により、反射ミラーは回動する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例1においては、てこの原理を利用しているのみなの
で装置の大きさと機械的な精度上の制約から拡大率とし
ては数倍程度にとどまり、電気機械変換素子の微小な変
位ではあまり大きな偏向角度を得られないという問題が
あった。更に、拡大率を大きくするためには装置の大型
化、あるいは電気機械変換素子のパワー不足が生じると
いう問題があった。
来例1においては、てこの原理を利用しているのみなの
で装置の大きさと機械的な精度上の制約から拡大率とし
ては数倍程度にとどまり、電気機械変換素子の微小な変
位ではあまり大きな偏向角度を得られないという問題が
あった。更に、拡大率を大きくするためには装置の大型
化、あるいは電気機械変換素子のパワー不足が生じると
いう問題があった。
【0006】また、上記従来例2においては、曲げ振動
の中心がミラー上にないので反射面が移動して光路長が
変化してしまうという問題点があった。更に、ねじり振
動の中心軸は電気機械変換素子の振動とは無関係に弾性
変形部材の共振状態のみに頼っているため、電気機械変
換素子の駆動を効率よく伝えられないばかりか、必要な
共振状態を得るために電気機械変換素子の駆動周波数を
厳密に調節する必要があった。
の中心がミラー上にないので反射面が移動して光路長が
変化してしまうという問題点があった。更に、ねじり振
動の中心軸は電気機械変換素子の振動とは無関係に弾性
変形部材の共振状態のみに頼っているため、電気機械変
換素子の駆動を効率よく伝えられないばかりか、必要な
共振状態を得るために電気機械変換素子の駆動周波数を
厳密に調節する必要があった。
【0007】しかし、共振周波数は環境変化、特に温度
変化によって変化するため調整が困難であるとともに、
正確な調整を行える構成とするためにはコストが高くな
ってしまうという問題があった。特に、映像を走査光と
する場合は、温度変化による共振周波数の変化が映像の
画質に大きく影響してしまうので正確な調整が必要であ
った。
変化によって変化するため調整が困難であるとともに、
正確な調整を行える構成とするためにはコストが高くな
ってしまうという問題があった。特に、映像を走査光と
する場合は、温度変化による共振周波数の変化が映像の
画質に大きく影響してしまうので正確な調整が必要であ
った。
【0008】本発明は、上記問題点を鑑み、電気機械変
換素子の微小な変位を大きく拡大振動し、ミラーによる
光路長の変化がなく、ノイズがなく必要な振動のみを発
生し、駆動周波数が一つつまり環境変化によって共振状
態から少しずれても安定した振動状態を得ることができ
る光走査装置を提供することを目的とする。
換素子の微小な変位を大きく拡大振動し、ミラーによる
光路長の変化がなく、ノイズがなく必要な振動のみを発
生し、駆動周波数が一つつまり環境変化によって共振状
態から少しずれても安定した振動状態を得ることができ
る光走査装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の光走査装置においては、光ビーム
の方向を反射により変える反射ミラーと、前記反射ミラ
ーを支持しねじり振動することにより前記反射ミラーを
回転振動させる弾性変形部材と、前記弾性変形部材をね
じり振動させる駆動源となる力を前記弾性変形部材に与
える電気機械変換素子とを備えた構成とする。
に、請求項1に記載の光走査装置においては、光ビーム
の方向を反射により変える反射ミラーと、前記反射ミラ
ーを支持しねじり振動することにより前記反射ミラーを
回転振動させる弾性変形部材と、前記弾性変形部材をね
じり振動させる駆動源となる力を前記弾性変形部材に与
える電気機械変換素子とを備えた構成とする。
【0010】上記構成においては、電気機械変換素子が
変位を与えることにより弾性変形部材をねじり振動させ
ると、これに支持されている反射ミラーが回転振動す
る。このため、反射ミラーにより反射された光ビームが
反射ミラーの回転振動により走査される。また、弾性変
形部材は与えられた変位を拡大するので、反射ミラーを
大きな振幅で回転振動させることが可能となる。
変位を与えることにより弾性変形部材をねじり振動させ
ると、これに支持されている反射ミラーが回転振動す
る。このため、反射ミラーにより反射された光ビームが
反射ミラーの回転振動により走査される。また、弾性変
形部材は与えられた変位を拡大するので、反射ミラーを
大きな振幅で回転振動させることが可能となる。
【0011】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の光走査装置において、前記電気機械変換素子は前記弾
性変形部材のねじり中心軸に略対称に設けた少なくとも
一対の直線的に伸縮する素子である構成とする。
の光走査装置において、前記電気機械変換素子は前記弾
性変形部材のねじり中心軸に略対称に設けた少なくとも
一対の直線的に伸縮する素子である構成とする。
【0012】上記構成においては、電気機械変換素子が
変位を与えることにより弾性変形部材をねじり振動させ
る具体的な方法として、弾性変形部材のねじり中心軸の
略対称位置に力を与えることにより回転変位を与え弾性
変形部材をねじり振動させる。このねじり振動により反
射ミラーが回転振動する。
変位を与えることにより弾性変形部材をねじり振動させ
る具体的な方法として、弾性変形部材のねじり中心軸の
略対称位置に力を与えることにより回転変位を与え弾性
変形部材をねじり振動させる。このねじり振動により反
射ミラーが回転振動する。
【0013】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の光走査装置において、前記電気機械変換素子は前記弾
性変形部材のねじり中心軸をその回転中心軸に略一致す
るように配され回転方向に振動する素子である構成とす
る。
の光走査装置において、前記電気機械変換素子は前記弾
性変形部材のねじり中心軸をその回転中心軸に略一致す
るように配され回転方向に振動する素子である構成とす
る。
【0014】上記構成においては、電気機械変換素子が
変位を与えることにより弾性変形部材をねじり振動させ
る請求項2に記載の方法とは異なる方法として、電気機
械変換素子は弾性変形部材のねじり中心軸を回転軸とし
て回転振動する。よって、弾性変形部材は回転変位を与
えられる。弾性変形部材全体としては、この回転振動に
共振してねじり振動をする。このねじり振動により反射
ミラーが回転振動する。
変位を与えることにより弾性変形部材をねじり振動させ
る請求項2に記載の方法とは異なる方法として、電気機
械変換素子は弾性変形部材のねじり中心軸を回転軸とし
て回転振動する。よって、弾性変形部材は回転変位を与
えられる。弾性変形部材全体としては、この回転振動に
共振してねじり振動をする。このねじり振動により反射
ミラーが回転振動する。
【0015】請求項4に記載の光走査装置としては、光
ビームの方向を反射により変える反射ミラーと、前記反
射ミラーを支持しねじり振動することにより前記反射ミ
ラーを回転振動させる弾性変形部材と、前記弾性変形部
材をねじり振動させる駆動源となる変位を発生する長手
方向に伸縮自在の電気機械変換素子とを備え、前記弾性
変形部材は前記電気機械変換素子の長手方向の変位を回
転方向の変位に変換することによりねじり振動する構成
とする。
ビームの方向を反射により変える反射ミラーと、前記反
射ミラーを支持しねじり振動することにより前記反射ミ
ラーを回転振動させる弾性変形部材と、前記弾性変形部
材をねじり振動させる駆動源となる変位を発生する長手
方向に伸縮自在の電気機械変換素子とを備え、前記弾性
変形部材は前記電気機械変換素子の長手方向の変位を回
転方向の変位に変換することによりねじり振動する構成
とする。
【0016】上記構成においては、電気機械変換素子が
長手方向に変位することにより、弾性変形部材はこの変
位を回転方向の変位に変換しねじり振動する。このねじ
り振動により、反射ミラーは回転振動する。反射ミラー
により反射された光ビームは、反射ミラーの回転運動に
より走査されることになる。
長手方向に変位することにより、弾性変形部材はこの変
位を回転方向の変位に変換しねじり振動する。このねじ
り振動により、反射ミラーは回転振動する。反射ミラー
により反射された光ビームは、反射ミラーの回転運動に
より走査されることになる。
【0017】請求項5に記載の発明は、請求項6に記載
の光走査装置において、更に前記電気機械変換素子の変
位を拡大して前記弾性変形部材に伝える変位拡大手段を
有する構成とする。このような構成においては、少ない
エネルギーでより大きな振幅を有する反射ミラーの回転
振動が得られることになる。
の光走査装置において、更に前記電気機械変換素子の変
位を拡大して前記弾性変形部材に伝える変位拡大手段を
有する構成とする。このような構成においては、少ない
エネルギーでより大きな振幅を有する反射ミラーの回転
振動が得られることになる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示
し、本発明をより具体的に説明する。尚、以下の実施形
態の光走査装置は、電気機械変換素子として電気機械変
換素子の一つである圧電素子を用いたものである。
し、本発明をより具体的に説明する。尚、以下の実施形
態の光走査装置は、電気機械変換素子として電気機械変
換素子の一つである圧電素子を用いたものである。
【0019】〈第1の実施形態〉図1に、第1の実施形
態の光走査装置の概略構成図を示す。1は光ビームの方
向を反射により変える反射ミラー、2は弾性変形部材の
ねじりの固有振動数付近で回転振動するように電荷が印
加される回転型電気機械変換素子、3はねじりばねであ
る弾性変形部材、4は基台である。反射ミラー1の一端
は弾性変形部材3の一端に固着され(一体的に形成され
ていてもよい)、弾性変形部材3は回転型電気機械変換
素子2に固着されている。回転型電気機械変換素子2の
他端は基台4に固着されている。
態の光走査装置の概略構成図を示す。1は光ビームの方
向を反射により変える反射ミラー、2は弾性変形部材の
ねじりの固有振動数付近で回転振動するように電荷が印
加される回転型電気機械変換素子、3はねじりばねであ
る弾性変形部材、4は基台である。反射ミラー1の一端
は弾性変形部材3の一端に固着され(一体的に形成され
ていてもよい)、弾性変形部材3は回転型電気機械変換
素子2に固着されている。回転型電気機械変換素子2の
他端は基台4に固着されている。
【0020】回転型電気機械変換素子2は弾性変形部材
3のねじりの固有振動数付近で回転振動し、弾性変形部
材3がねじり共振することによって反射ミラー1は回転
振動する。このとき、弾性変形部材3は回転型電気機械
変換素子2によって回転方向のみに励起されるので、弾
性変形部材3の曲げ方向には変形しにくく共振しない。
3のねじりの固有振動数付近で回転振動し、弾性変形部
材3がねじり共振することによって反射ミラー1は回転
振動する。このとき、弾性変形部材3は回転型電気機械
変換素子2によって回転方向のみに励起されるので、弾
性変形部材3の曲げ方向には変形しにくく共振しない。
【0021】本実施形態においては、反射ミラー1の一
端のみが固着されている装置について示したが、左右対
称に両端が固着されている構成においてももちろん本発
明を達成できる。
端のみが固着されている装置について示したが、左右対
称に両端が固着されている構成においてももちろん本発
明を達成できる。
【0022】〈第2の実施形態〉図2に、第2の実施形
態の光走査装置の概略構成図を示す。図1の光走査装置
と同一の構成要素には同一の符号を付す。3a、3bは
第1の弾性変形部材、5a、5bは第1の弾性変形部材
3a、3bより柔らかい(ばね定数が小さい)第2の弾
性変形部材、2a、2a’と2b、2b’はそれぞれ一
対の積層型電気機械変換素子である。
態の光走査装置の概略構成図を示す。図1の光走査装置
と同一の構成要素には同一の符号を付す。3a、3bは
第1の弾性変形部材、5a、5bは第1の弾性変形部材
3a、3bより柔らかい(ばね定数が小さい)第2の弾
性変形部材、2a、2a’と2b、2b’はそれぞれ一
対の積層型電気機械変換素子である。
【0023】反射ミラー1は両端を弾性変形部材5a、
5bに固着されている(一体的に形成されていてもよ
い)。一対の積層型電気機械変換素子2a、2a’と2
b、2b’はそれぞれ第1の弾性変形部材3a、3bの
ねじり中心軸に対し略対称に配置され、一端を第1の弾
性変形部材3a、3b、他端を基台4に固着されてい
る。尚、第1の弾性変形部材3a、3bのねじり中心軸
は反射ミラー1のねじり中心軸に一致する。
5bに固着されている(一体的に形成されていてもよ
い)。一対の積層型電気機械変換素子2a、2a’と2
b、2b’はそれぞれ第1の弾性変形部材3a、3bの
ねじり中心軸に対し略対称に配置され、一端を第1の弾
性変形部材3a、3b、他端を基台4に固着されてい
る。尚、第1の弾性変形部材3a、3bのねじり中心軸
は反射ミラー1のねじり中心軸に一致する。
【0024】それぞれの積層型電気機械変換素子2a、
2a’と2b、2b’の組は第2の弾性変形部材3a、
3bのねじりの固有振動数付近で直線的に伸縮する。弾
性変形部材3a、3bが前記伸縮にねじり共振すること
により反射ミラー1は回転振動する。このとき、第1の
弾性変形部材3a、3bは、積層型電気機械変換素子2
a、2a’と2b、2b’により回転方向のみに励起さ
れるので、曲げ方向には変形しにくく共振しない。
2a’と2b、2b’の組は第2の弾性変形部材3a、
3bのねじりの固有振動数付近で直線的に伸縮する。弾
性変形部材3a、3bが前記伸縮にねじり共振すること
により反射ミラー1は回転振動する。このとき、第1の
弾性変形部材3a、3bは、積層型電気機械変換素子2
a、2a’と2b、2b’により回転方向のみに励起さ
れるので、曲げ方向には変形しにくく共振しない。
【0025】また、第2の弾性変形部材5a、5bは、
第1の弾性変形部材3a、3bより柔らかい部材である
ために、ねじり固有振動数も第1の弾性変形部材3a、
3bより小さい。このため、第2の弾性変形部材5a、
5bが第1の変形部材3a、3bのねじり共振に有害な
振動を与えることはない。
第1の弾性変形部材3a、3bより柔らかい部材である
ために、ねじり固有振動数も第1の弾性変形部材3a、
3bより小さい。このため、第2の弾性変形部材5a、
5bが第1の変形部材3a、3bのねじり共振に有害な
振動を与えることはない。
【0026】本実施形態では、反射ミラー1の両端が固
着されている構成について示したが、一端のみが固着さ
れている構成であっても勿論かまわない。
着されている構成について示したが、一端のみが固着さ
れている構成であっても勿論かまわない。
【0027】〈第3の実施形態〉図3に、第3の実施形
態の光走査装置の概略構成図を示す。図1の光走査装置
と同一の構成要素には同一の符号を付す。3cは弾性変
形部材3の軸部、2、2’は一対の積層型電気機械変換
素子である。6は、基台4に勘合した軸受けである。
態の光走査装置の概略構成図を示す。図1の光走査装置
と同一の構成要素には同一の符号を付す。3cは弾性変
形部材3の軸部、2、2’は一対の積層型電気機械変換
素子である。6は、基台4に勘合した軸受けである。
【0028】反射ミラー1の一端は、弾性変形部材3の
一端に固着されている(一体的に形成されていてもよ
い)。弾性変形部材3の軸部3aは基台4の軸受け6に
回転可能に支持されている。積層型電気機械変換素子
2、2’は弾性変形部材3の軸部3aの中心軸(弾性変
形部材3のねじり中心軸と同一である)に対して略対称
に配置され、一端を弾性変形部材3に他端を基台4に固
着されている。
一端に固着されている(一体的に形成されていてもよ
い)。弾性変形部材3の軸部3aは基台4の軸受け6に
回転可能に支持されている。積層型電気機械変換素子
2、2’は弾性変形部材3の軸部3aの中心軸(弾性変
形部材3のねじり中心軸と同一である)に対して略対称
に配置され、一端を弾性変形部材3に他端を基台4に固
着されている。
【0029】積層型電気機械変換素子2、2’は弾性変
形部材3のねじりの固有振動数付近で直線的に振動し、
弾性変形部材3がねじり共振することによって、反射ミ
ラー1は回転振動する。弾性変形部材3は1対の積層型
電気機械変換素子2、2’によって回転方向にのみ励起
されるので、弾性変形部材3の曲げ方向には変形しにく
く共振しない。
形部材3のねじりの固有振動数付近で直線的に振動し、
弾性変形部材3がねじり共振することによって、反射ミ
ラー1は回転振動する。弾性変形部材3は1対の積層型
電気機械変換素子2、2’によって回転方向にのみ励起
されるので、弾性変形部材3の曲げ方向には変形しにく
く共振しない。
【0030】本実施形態では、反射ミラー1の一端のみ
が固着されている構成について示したが、左右対称に両
端が固着されている構成であっても勿論かまわない。
が固着されている構成について示したが、左右対称に両
端が固着されている構成であっても勿論かまわない。
【0031】〈第4の実施形態〉図4に、本装置の光走
査装置の概略構成図を示す。9はコの字型の基台、9
a、9a’は基台9の切り欠き部である。8はネジ、
7、7’はそれぞれ一つのねじり部を有する一対の弾性
変形部材である。反射ミラー1は、両端を弾性変形部材
7、7’に固着され(あるいは一体的に形成されいても
よい)、弾性変形部材7、7’の他端は基台9に固着さ
れている。
査装置の概略構成図を示す。9はコの字型の基台、9
a、9a’は基台9の切り欠き部である。8はネジ、
7、7’はそれぞれ一つのねじり部を有する一対の弾性
変形部材である。反射ミラー1は、両端を弾性変形部材
7、7’に固着され(あるいは一体的に形成されいても
よい)、弾性変形部材7、7’の他端は基台9に固着さ
れている。
【0032】積層型電気機械変換素子2は、一端を基台
9に固着され他端を基台9に系止されたネジ8に挟持さ
れている。基台9は切り欠き部9a、9a’がヒンジと
なり、積層型電気機械変換素子2の伸びると弾性変形部
材7、7’の間隔が長くなる。
9に固着され他端を基台9に系止されたネジ8に挟持さ
れている。基台9は切り欠き部9a、9a’がヒンジと
なり、積層型電気機械変換素子2の伸びると弾性変形部
材7、7’の間隔が長くなる。
【0033】切り各部9aから積層型電気機械変換素子
2が固着されている位置までの距離をA、切り欠き部9
aから弾性変形部材7’が固着されている位置までの距
離をB、弾性変形部材7と7’の基台9上の固定部の間
隔をC、積層型電気機械変換素子2の長さをDとする。
電気機械変換素子2が伸びることにより長さDが△D増
加した場合、間隔Cは△C(△C=B/A×△D)増加
することになる。つまり、△Cは変位拡大手段である基
台9により△Dより大きな値となる。
2が固着されている位置までの距離をA、切り欠き部9
aから弾性変形部材7’が固着されている位置までの距
離をB、弾性変形部材7と7’の基台9上の固定部の間
隔をC、積層型電気機械変換素子2の長さをDとする。
電気機械変換素子2が伸びることにより長さDが△D増
加した場合、間隔Cは△C(△C=B/A×△D)増加
することになる。つまり、△Cは変位拡大手段である基
台9により△Dより大きな値となる。
【0034】間隔Cが長くなると、ねじり弾性変形部材
7、7’のねじり部が伸びてミラー支持部が回転力を得
てミラーがある方向に回転する。積層型電気機械変換素
子2の長さを元に戻すと弾性変形部材7、7’の弾性力
によりミラー1は逆の回転力を得て回転し、更に慣性力
によりもとあった位置よりも回転する。つまり、積層型
電気機械変換素子2を弾性変形部材7、7’の固有振動
数付近で伸縮すると弾性変形部材7、7’がねじり共振
することにより反射ミラー1は回転振動する。
7、7’のねじり部が伸びてミラー支持部が回転力を得
てミラーがある方向に回転する。積層型電気機械変換素
子2の長さを元に戻すと弾性変形部材7、7’の弾性力
によりミラー1は逆の回転力を得て回転し、更に慣性力
によりもとあった位置よりも回転する。つまり、積層型
電気機械変換素子2を弾性変形部材7、7’の固有振動
数付近で伸縮すると弾性変形部材7、7’がねじり共振
することにより反射ミラー1は回転振動する。
【0035】
【発明の効果】弾性変形部材の固有振動数あるいは固有
振動数から少しずれた一定周波数での光の偏向装置の提
供を可能にする。従って、一定周波数の信号に対応した
表示などに用いることが可能となり、安価で汎用性の高
い装置を提供することができる。また、電気機械変換素
子と弾性変形部材によってミラーの大きな振幅を得るの
で簡単な構成かつ小型の装置を提供することが可能とな
る。
振動数から少しずれた一定周波数での光の偏向装置の提
供を可能にする。従って、一定周波数の信号に対応した
表示などに用いることが可能となり、安価で汎用性の高
い装置を提供することができる。また、電気機械変換素
子と弾性変形部材によってミラーの大きな振幅を得るの
で簡単な構成かつ小型の装置を提供することが可能とな
る。
【図1】 第1の実施形態の光走査装置の概略構成図。
【図2】 第2の実施形態の光走査装置の概略構成図。
【図3】 第3の実施形態の光走査装置の概略構成図。
【図4】 第4の実施形態の光走査装置の概略構成図。
1 反射ミラー 2、2’ 積層型電気機械変換素子 2a、2a’ 積層型電気機械変換素子 2b、2b’ 積層型電気機械変換素子 3 弾性変形部材 3a、3a’ 第1の弾性変形部材 4、9 基台 5a、5a’ 第2の弾性変形部材 7、7’ 弾性変形部材 8 ネジ 9a、9a’ 切り欠き部 10 回転型電気機械変換素子
Claims (5)
- 【請求項1】 光ビームの方向を反射により変える反射
ミラーと、 前記反射ミラーを支持しねじり振動することにより前記
反射ミラーを回転振動させる弾性変形部材と、 前記弾性変形部材をねじり振動させる駆動源となる変位
を前記弾性変形部材に与える電気機械変換素子とを備え
たことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項2】 前記電気機械変換素子は前記弾性変形部
材のねじり中心軸に略対称に設けた少なくとも一対の直
線的に伸縮する素子であることを特徴とする請求項1に
記載の光走査装置。 - 【請求項3】 前記電気機械変換素子は前記弾性変形部
材のねじり中心軸をその回転中心軸に略一致するように
配され回転方向に振動する素子であることを特徴とする
請求項1に記載の光走査装置。 - 【請求項4】 光ビームの方向を反射により変える反射
ミラーと、 前記反射ミラーを支持しねじり振動することにより前記
反射ミラーを回転振動させる弾性変形部材と、 前記弾性変形部材をねじり振動させる駆動源となる変位
を発生する長手方向に伸縮自在の電気機械変換素子とを
備え、 前記弾性変形部材は前記電気機械変換素子の長手方向の
変位を回転方向の変位に変換することによりねじり振動
することを特徴とする光走査装置。 - 【請求項5】 更に前記電気機械変換素子の変位を拡大
して前記弾性変形部材に伝える変位拡大手段を有するこ
とを特徴とする請求項4に記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28191997A JPH11119137A (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28191997A JPH11119137A (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | 光走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11119137A true JPH11119137A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17645790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28191997A Pending JPH11119137A (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | 光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11119137A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004102249A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-04-02 | Canon Inc | マイクロ可動体 |
WO2011061832A1 (ja) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
-
1997
- 1997-10-15 JP JP28191997A patent/JPH11119137A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004102249A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-04-02 | Canon Inc | マイクロ可動体 |
WO2011061832A1 (ja) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP4849497B2 (ja) * | 2009-11-19 | 2012-01-11 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
US20120228996A1 (en) * | 2009-11-19 | 2012-09-13 | Pioneer Corporation | Driving apparatus |
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