JPH11118473A - 表面粗さ形状測定機のデータ処理装置 - Google Patents
表面粗さ形状測定機のデータ処理装置Info
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- JPH11118473A JPH11118473A JP28543997A JP28543997A JPH11118473A JP H11118473 A JPH11118473 A JP H11118473A JP 28543997 A JP28543997 A JP 28543997A JP 28543997 A JP28543997 A JP 28543997A JP H11118473 A JPH11118473 A JP H11118473A
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- Japan
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- surface roughness
- displacement
- data
- data processing
- shaft
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピックアップを移動させる駆動系の誤差を適
切に除去し、高精度の表面粗さ形状測定を可能にする表
面粗さ形状測定機のデータ処理装置を提供する。 【解決手段】ピックアップ10が固定され、該ピックア
ップ10を測定方向に移動させる駆動部12のシャフト
18の真直度精度は、表面粗さ形状測定の測定データに
誤差成分として影響する。そこで出荷時にオプティカル
フラットを測定することによってこのシャフト18の真
直度精度を予め補正データとしてSRAMに記録してお
き、実測の際に測定データからSRAMに記録した補正
データを減算することにより測定データからシャフト1
8の真直度精度による誤差成分を適切に除去することが
できる。
切に除去し、高精度の表面粗さ形状測定を可能にする表
面粗さ形状測定機のデータ処理装置を提供する。 【解決手段】ピックアップ10が固定され、該ピックア
ップ10を測定方向に移動させる駆動部12のシャフト
18の真直度精度は、表面粗さ形状測定の測定データに
誤差成分として影響する。そこで出荷時にオプティカル
フラットを測定することによってこのシャフト18の真
直度精度を予め補正データとしてSRAMに記録してお
き、実測の際に測定データからSRAMに記録した補正
データを減算することにより測定データからシャフト1
8の真直度精度による誤差成分を適切に除去することが
できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は表面粗さ形状測定機
のデータ処理装置に係り、特に表面粗さ形状測定によっ
て測定した測定データを各種データ処理する表面粗さ形
状測定機のデータ処理装置に関する。
のデータ処理装置に係り、特に表面粗さ形状測定によっ
て測定した測定データを各種データ処理する表面粗さ形
状測定機のデータ処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】表面粗さ形状測定機は、触針を被測定物
の表面上で移動させ、そのときの触針の変位により表面
粗さ形状を測定するというものである。触針を揺動自在
に支持してその変位を検出するピックアップは、例えば
駆動モータによって軸方向に進退移動するシャフトに固
定され、このシャフトによって高さが一定に保持(ピッ
クアップ横向き使用時)された状態で測定方向に直線的
に移動する。従って、触針は被測定物の表面上で水平に
移動するとともに、被測定面の面形状の凹凸に従って変
位し、その触針の変位によって表面粗さ形状が測定され
る。
の表面上で移動させ、そのときの触針の変位により表面
粗さ形状を測定するというものである。触針を揺動自在
に支持してその変位を検出するピックアップは、例えば
駆動モータによって軸方向に進退移動するシャフトに固
定され、このシャフトによって高さが一定に保持(ピッ
クアップ横向き使用時)された状態で測定方向に直線的
に移動する。従って、触針は被測定物の表面上で水平に
移動するとともに、被測定面の面形状の凹凸に従って変
位し、その触針の変位によって表面粗さ形状が測定され
る。
【0003】ピックアップによって検出された触針の変
位データはデータ処理装置に入力され、このデータ処理
装置によって被測定物の断面曲線や粗さ曲線等が求めら
れるとともに、各種表面粗さパラメータ(測定面の中心
線平均粗さ、最大高さ、10点平均粗さ等)の演算等が
行われる。
位データはデータ処理装置に入力され、このデータ処理
装置によって被測定物の断面曲線や粗さ曲線等が求めら
れるとともに、各種表面粗さパラメータ(測定面の中心
線平均粗さ、最大高さ、10点平均粗さ等)の演算等が
行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ピ
ックアップを固定するシャフトの加工精度(真直度精
度)には限界があり、シャフトの真直度精度が測定デー
タに影響を与えるという問題がある。即ち、シャフトが
進退移動すると、シャフトの真直度精度によってピック
アップの高さが微量に変化するため、ピックアップによ
って検出される触針の変位量にこの真直度精度に起因す
る誤差成分が含まれる。例えば、仮に理想的な平面を測
定した場合にでも、得られた測定データは理想的な平面
(直線)を示さず、測定データにはシャフトの真直度精
度に起因するうねり等が現れる。
ックアップを固定するシャフトの加工精度(真直度精
度)には限界があり、シャフトの真直度精度が測定デー
タに影響を与えるという問題がある。即ち、シャフトが
進退移動すると、シャフトの真直度精度によってピック
アップの高さが微量に変化するため、ピックアップによ
って検出される触針の変位量にこの真直度精度に起因す
る誤差成分が含まれる。例えば、仮に理想的な平面を測
定した場合にでも、得られた測定データは理想的な平面
(直線)を示さず、測定データにはシャフトの真直度精
度に起因するうねり等が現れる。
【0005】このため、従来の表面粗さ形状測定におい
ては、上記シャフト等のピックアップの駆動系の精度に
よって、測定精度に限界が生じるという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ピッ
クアップを移動させる駆動系による誤差を適切に除去
し、高精度の表面粗さ形状測定を可能にする表面粗さ形
状測定機のデータ処理装置を提供することを目的とす
る。
ては、上記シャフト等のピックアップの駆動系の精度に
よって、測定精度に限界が生じるという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ピッ
クアップを移動させる駆動系による誤差を適切に除去
し、高精度の表面粗さ形状測定を可能にする表面粗さ形
状測定機のデータ処理装置を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、被測定面の表面粗さ形状を測定する表面粗
さ形状測定機のデータ処理装置において、前記表面粗さ
形状測定機の検出部の駆動部材の各移動位置において駆
動機構固有に発生する前記検出部の変位成分を記録した
記録手段と、被測定面の表面粗さ形状測定時に前記駆動
部材の各移動位置において検出される前記検出部の変位
量を入力する入力手段と、前記記録手段に記録された前
記検出部の変位成分に基づいて前記入力手段によって入
力した前記駆動部材の各移動位置における前記検出部の
変位量から前記駆動機構固有に発生する変位成分を除去
する補正手段と、を備えたことを特徴としている。
するために、被測定面の表面粗さ形状を測定する表面粗
さ形状測定機のデータ処理装置において、前記表面粗さ
形状測定機の検出部の駆動部材の各移動位置において駆
動機構固有に発生する前記検出部の変位成分を記録した
記録手段と、被測定面の表面粗さ形状測定時に前記駆動
部材の各移動位置において検出される前記検出部の変位
量を入力する入力手段と、前記記録手段に記録された前
記検出部の変位成分に基づいて前記入力手段によって入
力した前記駆動部材の各移動位置における前記検出部の
変位量から前記駆動機構固有に発生する変位成分を除去
する補正手段と、を備えたことを特徴としている。
【0007】本発明によれば、表面粗さ形状測定機の検
出部を移動させる駆動部材の加工精度等によって駆動機
構固有に生じる検出部の変位成分、即ち誤差成分を予め
記録手段に記録しておき、この記録手段に記録した誤差
成分に基づいて、被測定物の表面粗さ形状測定時に入力
手段によって入力した検出部の変位量から前記駆動機構
固有に生じる誤差成分を補正手段によって除去する。こ
れにより、駆動部材の加工精度等の駆動機構の駆動精度
に制限されることなく、高精度の表面粗さ形状測定を行
うことができる。
出部を移動させる駆動部材の加工精度等によって駆動機
構固有に生じる検出部の変位成分、即ち誤差成分を予め
記録手段に記録しておき、この記録手段に記録した誤差
成分に基づいて、被測定物の表面粗さ形状測定時に入力
手段によって入力した検出部の変位量から前記駆動機構
固有に生じる誤差成分を補正手段によって除去する。こ
れにより、駆動部材の加工精度等の駆動機構の駆動精度
に制限されることなく、高精度の表面粗さ形状測定を行
うことができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る表面粗さ形状測定機のデータ処理装置の好ましい実施
の形態について詳説する。図1は本発明に係るデータ処
理装置が適用される表面粗さ形状測定機の一実施の形態
を示す全体構成図である。同図に示すように、表面粗さ
形状測定機は、ピックアップ10、駆動部12、データ
処理装置14とから構成される。
る表面粗さ形状測定機のデータ処理装置の好ましい実施
の形態について詳説する。図1は本発明に係るデータ処
理装置が適用される表面粗さ形状測定機の一実施の形態
を示す全体構成図である。同図に示すように、表面粗さ
形状測定機は、ピックアップ10、駆動部12、データ
処理装置14とから構成される。
【0009】ピックアップ10は上下方向に揺動する触
針16を有し、触針16の変位を内部の差動トランスに
より電気信号に変換し、その触針16の変位量を示す信
号(変位信号)をデータ処理装置14に出力する。ま
た、ピックアップ10は、同図に示すように駆動部12
のシャフト18に連結具20、22、24によって所望
の高さ、姿勢で固定されるようになっている。
針16を有し、触針16の変位を内部の差動トランスに
より電気信号に変換し、その触針16の変位量を示す信
号(変位信号)をデータ処理装置14に出力する。ま
た、ピックアップ10は、同図に示すように駆動部12
のシャフト18に連結具20、22、24によって所望
の高さ、姿勢で固定されるようになっている。
【0010】駆動部12は、上記データ処理装置14か
ら入力される駆動信号に基づいて、上記シャフト18を
内部モータによって同図矢印A方向(シャフト18の軸
方向)に進退移動させる。これにより、上記ピックアッ
プ10がシャフト軸の方向に移動し、ピックアップ10
の触針16が被測定物26の表面上を直線的に移動す
る。図2は、駆動部12の内部構成図であり、図3は図
2におけるA−A矢視図である。図2に示すようにケー
シング60の前面に設けられた孔60Aを挿通するよう
にシャフト18がガイド部材62、62、64、64に
よってスライド自在に支持される。図3に示すようにシ
ャフト18の下面側と右側面側にはそれぞれガイド部材
62、64が設けられるとともに、シャフト18の傾斜
面18Aにはバネにより付勢された押圧部材66が押し
当てられる。これにより、シャフト18は軸方向以外の
移動が規制される。
ら入力される駆動信号に基づいて、上記シャフト18を
内部モータによって同図矢印A方向(シャフト18の軸
方向)に進退移動させる。これにより、上記ピックアッ
プ10がシャフト軸の方向に移動し、ピックアップ10
の触針16が被測定物26の表面上を直線的に移動す
る。図2は、駆動部12の内部構成図であり、図3は図
2におけるA−A矢視図である。図2に示すようにケー
シング60の前面に設けられた孔60Aを挿通するよう
にシャフト18がガイド部材62、62、64、64に
よってスライド自在に支持される。図3に示すようにシ
ャフト18の下面側と右側面側にはそれぞれガイド部材
62、64が設けられるとともに、シャフト18の傾斜
面18Aにはバネにより付勢された押圧部材66が押し
当てられる。これにより、シャフト18は軸方向以外の
移動が規制される。
【0011】また、図2に示すようにシャフト18の軸
と平行に送りネジ70が軸受け72、72によって回動
自在に支持され、この送りネジ70に螺合された送りナ
ット74が連結部材76を介してシャフト18に固定さ
れる。送りネジ70の一端にはギア78が設けられ、こ
のギア78はモータ80によって回動するギア82に噛
合される。したがって、モータ80が回動すると、送り
ネジ70が回動し、これと連動して送りナット74が前
後に移動することによりシャフト18が前後に移動す
る。
と平行に送りネジ70が軸受け72、72によって回動
自在に支持され、この送りネジ70に螺合された送りナ
ット74が連結部材76を介してシャフト18に固定さ
れる。送りネジ70の一端にはギア78が設けられ、こ
のギア78はモータ80によって回動するギア82に噛
合される。したがって、モータ80が回動すると、送り
ネジ70が回動し、これと連動して送りナット74が前
後に移動することによりシャフト18が前後に移動す
る。
【0012】図1に示すように駆動部12は、ケーブル
を介してデータ処理装置14に接続され、駆動部12の
上記モータ80はデータ処理装置14によって駆動制御
されるようになっている。上記データ処理装置14は、
測定時に上述のように上記駆動部12に駆動信号を出力
し、モータ80を回転させてシャフト18を移動させ
る。その際、シャフト18のホームポジション(電源投
入時におけるシャフト18の初期位置であり、シャフト
18が駆動部12外部に最も前進した位置)からの移動
量(以下、この移動量をホームポジションを原点とする
サンプリング座標又は単に座標という。)を検出すると
ともに、上記ピックアップ10から触針16の変位量を
示す測定データ(変位データ)を入力する。そして入力
した測定データから断面曲線、粗さ曲線、表面粗さパラ
メータ等の各種演算を行う。
を介してデータ処理装置14に接続され、駆動部12の
上記モータ80はデータ処理装置14によって駆動制御
されるようになっている。上記データ処理装置14は、
測定時に上述のように上記駆動部12に駆動信号を出力
し、モータ80を回転させてシャフト18を移動させ
る。その際、シャフト18のホームポジション(電源投
入時におけるシャフト18の初期位置であり、シャフト
18が駆動部12外部に最も前進した位置)からの移動
量(以下、この移動量をホームポジションを原点とする
サンプリング座標又は単に座標という。)を検出すると
ともに、上記ピックアップ10から触針16の変位量を
示す測定データ(変位データ)を入力する。そして入力
した測定データから断面曲線、粗さ曲線、表面粗さパラ
メータ等の各種演算を行う。
【0013】図4は、上記データ処理装置14の内部構
成を示したブロック図である。同図に示すように、デー
タ処理装置14は、CPU40を搭載し、上記ピックア
ップ10から出力された変位信号はA/D変換器42を
介してCPU40に入力される。また、CPU40から
駆動回路44に駆動信号が出力され、この駆動信号に基
づいて駆動回路44が駆動部12の内部モータを駆動さ
せ、上記シャフト18を移動させる。同時に、シャフト
18のホームポジションからの移動量、即ちサンプリン
グ座標が駆動回路44からCPU40に入力されるよう
になっている。
成を示したブロック図である。同図に示すように、デー
タ処理装置14は、CPU40を搭載し、上記ピックア
ップ10から出力された変位信号はA/D変換器42を
介してCPU40に入力される。また、CPU40から
駆動回路44に駆動信号が出力され、この駆動信号に基
づいて駆動回路44が駆動部12の内部モータを駆動さ
せ、上記シャフト18を移動させる。同時に、シャフト
18のホームポジションからの移動量、即ちサンプリン
グ座標が駆動回路44からCPU40に入力されるよう
になっている。
【0014】同図に示すフラッシュROM46には制御
プログラムが記録されており、この制御プログラムはデ
ータ処理装置14の起動時にDRAM48に読みだされ
て、CPU40によってその制御プログラムが実行され
るようになっている。また、DRAM48には、上述の
ようにピックアップ10や駆動部12からCPU40に
入力された測定データ(サンプリング座標や変位デー
タ)や、CPU40によって行われる各種演算の結果デ
ータ等が一時的に記録される。
プログラムが記録されており、この制御プログラムはデ
ータ処理装置14の起動時にDRAM48に読みだされ
て、CPU40によってその制御プログラムが実行され
るようになっている。また、DRAM48には、上述の
ようにピックアップ10や駆動部12からCPU40に
入力された測定データ(サンプリング座標や変位デー
タ)や、CPU40によって行われる各種演算の結果デ
ータ等が一時的に記録される。
【0015】また、データ処理装置14は入力パネル等
の入力装置50やLCD等の表示装置52、プリンタ5
4を備えており、入力装置50によって測定内容の設定
等の各種操作が行われるとともに、表示装置52やプリ
ンタ54によって測定結果や演算結果等が表示又はプリ
ント出力される。更に、データ処理装置14にはSRA
M56が搭載される。このSRAM56には駆動部12
のシャフト18の真直度精度による測定データの誤差を
補正する補正データが出荷時において記録される。CP
U40はピックアップ10から測定データ(変位デー
タ)を入力すると、SRAM56から補正データを読み
出し、補正データによって変位データに含まれる誤差成
分を除去する(真直度補正)。
の入力装置50やLCD等の表示装置52、プリンタ5
4を備えており、入力装置50によって測定内容の設定
等の各種操作が行われるとともに、表示装置52やプリ
ンタ54によって測定結果や演算結果等が表示又はプリ
ント出力される。更に、データ処理装置14にはSRA
M56が搭載される。このSRAM56には駆動部12
のシャフト18の真直度精度による測定データの誤差を
補正する補正データが出荷時において記録される。CP
U40はピックアップ10から測定データ(変位デー
タ)を入力すると、SRAM56から補正データを読み
出し、補正データによって変位データに含まれる誤差成
分を除去する(真直度補正)。
【0016】次に上記真直度補正の詳細について説明す
る。上述したようにピックアップ10は駆動部12のシ
ャフト18に固定され、シャフト18の移動によってピ
ックアップ10の触針16が測定面上を移動する。その
際、ピックアップ10から入力される触針16の変位デ
ータには、シャフト18の真直度精度によって生じる誤
差成分が含まれる。例えば、理想的な平面を測定した場
合に得られる変位データは本来直線を示さなくてはなら
ないが、シャフト18の真直度の影響によって直線を示
さない変位データが得られる。
る。上述したようにピックアップ10は駆動部12のシ
ャフト18に固定され、シャフト18の移動によってピ
ックアップ10の触針16が測定面上を移動する。その
際、ピックアップ10から入力される触針16の変位デ
ータには、シャフト18の真直度精度によって生じる誤
差成分が含まれる。例えば、理想的な平面を測定した場
合に得られる変位データは本来直線を示さなくてはなら
ないが、シャフト18の真直度の影響によって直線を示
さない変位データが得られる。
【0017】そこで、上記データ処理装置14は出荷時
において例えば、光波干渉による平面度測定に用いられ
るガラス板(オプティカルフラット)の表面を測定し、
これによって得られた変位データを補正データとして上
記SRAM56に記録している。この補正データは、図
5(A)に示すように電源投入時のシャフト18の位置
をホームポジションとし、そのホームポジションを原点
とするサンプリング座標(シャフト18の移動量)の各
座標点で検出された触針16の変位量であり、シャフト
18の真直度を示している。尚、各座標点における変位
量は各座標点で得られた変位量の最小二乗平均値を基準
値0として与えられている。
において例えば、光波干渉による平面度測定に用いられ
るガラス板(オプティカルフラット)の表面を測定し、
これによって得られた変位データを補正データとして上
記SRAM56に記録している。この補正データは、図
5(A)に示すように電源投入時のシャフト18の位置
をホームポジションとし、そのホームポジションを原点
とするサンプリング座標(シャフト18の移動量)の各
座標点で検出された触針16の変位量であり、シャフト
18の真直度を示している。尚、各座標点における変位
量は各座標点で得られた変位量の最小二乗平均値を基準
値0として与えられている。
【0018】これに対して、実際の被測定物を実測した
際に、図5(B)に示すような測定データ(変位デー
タ)が得られたとすると各座標点で検出された変位量に
は上記シャフト18の真直度精度による誤差が含まれ
る。即ち、各座標点に対して図5(A)に示した変位量
の誤差成分が含まれている。そこで、この被測定物の測
定によって得られた測定データの各座標点における変位
量から補正データの同点における変位量を減算すること
により、測定データから上記誤差成分を除去することが
できる。補正後の測定データを図5(C)に示す。
際に、図5(B)に示すような測定データ(変位デー
タ)が得られたとすると各座標点で検出された変位量に
は上記シャフト18の真直度精度による誤差が含まれ
る。即ち、各座標点に対して図5(A)に示した変位量
の誤差成分が含まれている。そこで、この被測定物の測
定によって得られた測定データの各座標点における変位
量から補正データの同点における変位量を減算すること
により、測定データから上記誤差成分を除去することが
できる。補正後の測定データを図5(C)に示す。
【0019】尚、図6に示すように、測定データ(補正
前)pが、補正データm、nが記録されている座標点の
間で得られた場合には、隣接する補正データm、nを直
線lで補間し、その補間によって得られる測定データ
(補正前)pの座標点の値dを測定データpから減算す
る。これにより補正後の測定データp′が得られる。図
7は、上記真直度補正の手順を示したフローチャートで
ある。まず、出荷時にオプティカルフラットを測定し、
上述のように駆動部12固有の上乗せされる形状をサン
プリングし、SRAM56に記録する(ステップS1
0)。
前)pが、補正データm、nが記録されている座標点の
間で得られた場合には、隣接する補正データm、nを直
線lで補間し、その補間によって得られる測定データ
(補正前)pの座標点の値dを測定データpから減算す
る。これにより補正後の測定データp′が得られる。図
7は、上記真直度補正の手順を示したフローチャートで
ある。まず、出荷時にオプティカルフラットを測定し、
上述のように駆動部12固有の上乗せされる形状をサン
プリングし、SRAM56に記録する(ステップS1
0)。
【0020】次に、実際に測定を行う際に電源がオンさ
れるとシャフト18をホームポジションに移動させ、サ
ンプリング座標のリセットを行う。これにより、実測時
におけるサンプリングとSRAM56に保存されている
補正データの座標をあわせる(ステップS12)。尚、
シャフト18の任意の位置を測定開始位置とする場合に
は、補正データの読み出し開始座標を測定開始位置に応
じて適宜変更すればよい。
れるとシャフト18をホームポジションに移動させ、サ
ンプリング座標のリセットを行う。これにより、実測時
におけるサンプリングとSRAM56に保存されている
補正データの座標をあわせる(ステップS12)。尚、
シャフト18の任意の位置を測定開始位置とする場合に
は、補正データの読み出し開始座標を測定開始位置に応
じて適宜変更すればよい。
【0021】次いで被測定物の測定(サンプリング)時
に各座標点において測定データが得られる毎に上記補正
データを減算し、真直度補正を実行する(ステップS1
4)。そして、真直度補正を行った測定データを真の測
定データとしてDRAM48に格納し(ステップS1
6)、この測定データを用いて断面曲線、粗さ曲線、そ
の他表面粗さパラメータ等の演算を実行する。
に各座標点において測定データが得られる毎に上記補正
データを減算し、真直度補正を実行する(ステップS1
4)。そして、真直度補正を行った測定データを真の測
定データとしてDRAM48に格納し(ステップS1
6)、この測定データを用いて断面曲線、粗さ曲線、そ
の他表面粗さパラメータ等の演算を実行する。
【0022】以上、上記実施の形態では、ピックアップ
10を進退移動させるシャフト18によって移動させる
場合にシャフト18の加工精度の誤差を除去する場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限らず、ピックアッ
プ10を他の駆動機構によって移動させる場合に、その
駆動機構が測定データ上に固有の形状(誤差成分)を上
乗せするようなときには、上記実施の形態と同様に予め
オプティカルフラットを測定することによりその誤差成
分を検出しておき、実際に被測定物を測定した際に測定
データからその誤差成分を減算するようにしてもよい。
また、上記実施の形態のようにピックアップ10を駆動
部12により移動させて触針16を被測定面上で移動さ
せる構成ではなく、触針を他の機構によって移動させる
ものや、触針を使用せずに光学的に表面粗さ形状を測定
するものに対しても、被測定面上の測定位置を移動する
ための駆動機構が固有の形状(誤差成分)を示す場合に
は、上述と同様にしてその誤差成分を除去することがで
きる。
10を進退移動させるシャフト18によって移動させる
場合にシャフト18の加工精度の誤差を除去する場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限らず、ピックアッ
プ10を他の駆動機構によって移動させる場合に、その
駆動機構が測定データ上に固有の形状(誤差成分)を上
乗せするようなときには、上記実施の形態と同様に予め
オプティカルフラットを測定することによりその誤差成
分を検出しておき、実際に被測定物を測定した際に測定
データからその誤差成分を減算するようにしてもよい。
また、上記実施の形態のようにピックアップ10を駆動
部12により移動させて触針16を被測定面上で移動さ
せる構成ではなく、触針を他の機構によって移動させる
ものや、触針を使用せずに光学的に表面粗さ形状を測定
するものに対しても、被測定面上の測定位置を移動する
ための駆動機構が固有の形状(誤差成分)を示す場合に
は、上述と同様にしてその誤差成分を除去することがで
きる。
【0023】また、上記実施の形態では、補正データを
出荷時にSRAM56に記録するようにしたが、これに
限らず、ユーザが適宜オプティカルフラットを測定して
その測定データを補正データとしてSRAM56に記録
できるようにしてもよい。また、上記実施の形態では、
補正データを測定する際のピックアップ10と実測時の
ピックアップ10の検出感度が同一であるものとして説
明したが、補正データの測定時と実測時のピックアップ
10の検出感度が異なることもあるため、補正データ測
定時のピックアップ10の検出感度を基準として実測時
のピックアップ10の検出感度に応じて補正データを変
倍処理するようにしてもよい。
出荷時にSRAM56に記録するようにしたが、これに
限らず、ユーザが適宜オプティカルフラットを測定して
その測定データを補正データとしてSRAM56に記録
できるようにしてもよい。また、上記実施の形態では、
補正データを測定する際のピックアップ10と実測時の
ピックアップ10の検出感度が同一であるものとして説
明したが、補正データの測定時と実測時のピックアップ
10の検出感度が異なることもあるため、補正データ測
定時のピックアップ10の検出感度を基準として実測時
のピックアップ10の検出感度に応じて補正データを変
倍処理するようにしてもよい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る表面粗
さ形状測定機のデータ処理装置によれば、表面粗さ形状
測定機の検出部を移動させる駆動部材の加工精度等によ
って駆動機構固有に生じる検出部の変位成分、即ち誤差
成分を予め記録手段に記録しておき、この記録手段に記
録した誤差成分に基づいて、被測定物の表面粗さ形状測
定時に入力手段によって入力した検出部の変位量から前
記駆動機構固有に生じる誤差成分を補正手段によって除
去するようにしたため、駆動部材の加工精度等に起因す
る駆動機構の駆動精度に制限されることなく、高精度の
表面粗さ形状測定を行うことができる。
さ形状測定機のデータ処理装置によれば、表面粗さ形状
測定機の検出部を移動させる駆動部材の加工精度等によ
って駆動機構固有に生じる検出部の変位成分、即ち誤差
成分を予め記録手段に記録しておき、この記録手段に記
録した誤差成分に基づいて、被測定物の表面粗さ形状測
定時に入力手段によって入力した検出部の変位量から前
記駆動機構固有に生じる誤差成分を補正手段によって除
去するようにしたため、駆動部材の加工精度等に起因す
る駆動機構の駆動精度に制限されることなく、高精度の
表面粗さ形状測定を行うことができる。
【0025】また、検出部の検出感度に応じて適宜記録
手段に記録された誤差成分の値を一定倍率により増加・
減少させることにより、ピックアップの検出感度に適切
に対応させて測定データを補正することができ、さらに
測定と同時に、得られた測定データから順に補正するこ
とにより、補正のための時間を削減することもできる。
手段に記録された誤差成分の値を一定倍率により増加・
減少させることにより、ピックアップの検出感度に適切
に対応させて測定データを補正することができ、さらに
測定と同時に、得られた測定データから順に補正するこ
とにより、補正のための時間を削減することもできる。
【図1】図1は、本発明に係るデータ処理装置が適用さ
れる表面粗さ形状測定機の全体構成図である。
れる表面粗さ形状測定機の全体構成図である。
【図2】図2は、駆動部の内部を示した構成図である。
【図3】図3は、図2におけるA−A矢視図である。
【図4】図4は、データ処理装置の内部構成を示した構
成図である。
成図である。
【図5】図5(A)は、補正データの一例を示した図で
あり、図5(B)は、補正前の測定データの一例を示し
た図であり、図5(C)は、補正後の測定データを示し
た図である。
あり、図5(B)は、補正前の測定データの一例を示し
た図であり、図5(C)は、補正後の測定データを示し
た図である。
【図6】図6は、測定データを補正データの補間により
補正する場合を示した説明図である。
補正する場合を示した説明図である。
【図7】図7は、真直度補正の手順を示したフローチャ
ートである。
ートである。
10…ピックアップ 12…駆動部 14…データ処理装置 16…触針 18…シャフト 40…CPU(中央演算処理装置) 48…DRAM 56…SRAM
Claims (3)
- 【請求項1】 被測定面の表面粗さ形状を測定する表面
粗さ形状測定機のデータ処理装置において、 前記表面粗さ形状測定機の検出部の駆動部材の各移動位
置において駆動機構固有に発生する前記検出部の変位成
分を記録した記録手段と、 被測定面の表面粗さ形状測定時に前記駆動部材の各移動
位置において検出される前記検出部の変位量を入力する
入力手段と、 前記記録手段に記録された前記検出部の変位成分に基づ
いて前記入力手段によって入力した前記駆動部材の各移
動位置における前記検出部の変位量から前記駆動機構固
有に発生する変位成分を除去する補正手段と、 を備えたことを特徴とする表面粗さ形状測定機のデータ
処理装置。 - 【請求項2】 前記記録手段は、理想的な平面を表面粗
さ形状測定し、該測定時に前記駆動部材の各移動位置に
おいて検出される前記検出部の変位量を記録したことを
特徴とする請求項1の表面粗さ形状測定機のデータ処理
装置。 - 【請求項3】 前記補正手段は、前記記録手段に記録さ
れた前記駆動機構固有に発生する前記検出部の変位成分
を、表面粗さ形状測定時に使用する検出部の検出感度に
応じた倍率で変換し、該変換した変位成分を前記入力手
段によって入力した前記検出部の変位量から減算するこ
とを特徴とする請求項1の表面粗さ形状測定機のデータ
処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28543997A JPH11118473A (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 表面粗さ形状測定機のデータ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28543997A JPH11118473A (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 表面粗さ形状測定機のデータ処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11118473A true JPH11118473A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17691544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28543997A Pending JPH11118473A (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 表面粗さ形状測定機のデータ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11118473A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1696202A1 (en) | 2005-02-28 | 2006-08-30 | Mitutoyo Corporation | Straightness correcting method for surface texture measuring instrument |
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JP2009186207A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Mitsutoyo Corp | プローブの真直度測定方法 |
CN101982725A (zh) * | 2010-09-17 | 2011-03-02 | 中天仕名(徐州)重型机械有限公司 | 一种电感式双测杆对接平整度检测仪 |
WO2012066756A1 (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 触針式測定装置 |
JP2013019871A (ja) * | 2011-07-14 | 2013-01-31 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面粗さ測定装置 |
DE10102171B4 (de) * | 2000-01-18 | 2019-11-07 | Mitutoyo Corp. | Verfahren zur Längsrichtungslinearitätskompensierung und Verfahren zur Rotationsgenauigkeitskompensierung eines Messgeräts |
-
1997
- 1997-10-17 JP JP28543997A patent/JPH11118473A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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