JPH11108637A - 品質検査装置 - Google Patents

品質検査装置

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JPH11108637A
JPH11108637A JP9286240A JP28624097A JPH11108637A JP H11108637 A JPH11108637 A JP H11108637A JP 9286240 A JP9286240 A JP 9286240A JP 28624097 A JP28624097 A JP 28624097A JP H11108637 A JPH11108637 A JP H11108637A
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illumination light
field illumination
dark
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bright
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JP9286240A
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English (en)
Inventor
Isao Kido
勲 木戸
Masato Matsui
真人 松井
Ginkai Ri
銀会 李
Hiromi Okamoto
宏己 岡本
Takayuki Shibahara
隆行 柴原
Yoshitaka Hikami
好孝 氷上
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DAKKU ENGINEERING KK
Original Assignee
DAKKU ENGINEERING KK
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8822Dark field detection
    • G01N2021/8825Separate detection of dark field and bright field

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査対象を拡げて汎用性を得ることができ、
検査精度を向上させて検査の信頼性を向上させることが
できる品質検査装置を提供する。 【解決手段】 被検査物1の被検査面を撮像する撮像カ
メラ2と、被検査面を照明するための明視野用照明光5
を出射する明視野用照明光源4と、被検査面を照明する
ための暗視野用照明光7を出射する暗視野用照明光源6
と、撮像カメラ2からの出力をもとに被検査面の欠陥の
有無を判定する判定手段8とを備える。明視野用照明光
源4および暗視野用照明光源6を検査対象に対応して選
択的に単独で、若しくは併用して使用する。鏡面等の反
射成分を確実に得ることができる明視野用照明光5と、
色、乱反射等の成分を確実に得ることができる暗視野用
照明光7とを選択的に単独で、若しくは併用して使用す
ることにより、各種の検査対象に適用して検出精度を向
上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、長尺物、枚葉印刷
物等、各種の被検査物における鏡面、若しくは金、銀の
梨地面、若しくは凹凸面、若しくはインクによる印刷
面、若しくはインクによる印刷面およびこの印刷面上の
コート層、若しくはアルミ地等、各種の被検査面の傷、
印刷ミス、汚れ等、各種の欠陥を検出するために用いる
品質検査装置、特に、その照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の品質検査装置の一例とし
て、走行する被検査物の被検査面を光源により照明して
撮像カメラにより撮像し、撮像によって得られた画像信
号を微分して被検査面の濃度変化を検出し、この微分波
形を二値化処理して得られる信号パターンをあらかじめ
作成しておいたマスターパターンと比較対照することに
より、被検査面の欠陥の有無を検出するようにした構成
が知られている。
【0003】従来の他の例として、走行する被検査物の
被検査面を光源により照明して撮像カメラにより撮像
し、撮像によって得られた画像信号から多階調画像デー
タを得、この多階調画像データの各部の濃度レベルをマ
スタ画像の各部の濃度レベルと比較対照することによ
り、被検査面の欠陥の有無を検出するようにした構成が
知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、例えば、被
検査面がカラーインクによる印刷面である場合には、照
明光として直接光を用いると、被検査面で反射して撮像
カメラに入射する際、照度が高過ぎて色成分を識別し難
く、印刷ミス等を正確に検出することができず、また、
被検査面が金・銀の梨地である場合にも直接光を用いる
と乱反射成分を得難く、明暗が生じるため、傷等の欠陥
と明確に識別し難く、高精度に検出することができな
い。また、被検査面に凸部を有する場合には、直接光で
は高さの異なる凸部による影の大きさに差が生じ難く、
高さを検出することができない。これに対し、照明光と
して暗視野用照明光を用いることにより、カラーインク
等の色成分を識別しやすく、また、金、銀の梨地である
場合に乱反射成分を得やすいので、傷等の欠陥と識別し
やすく、また、凸部の高さを検出することができる。
【0005】そこで、上記従来例のいずれの構成におい
ても、光源は被検査面を照明し、撮像カメラにおいて暗
視野となるように設定している。しかしながら、暗視野
となる照明光では、例えば、被検査面が鏡面である場合
には、この鏡面からの反射光が撮像カメラに入射しない
ため、撮像カメラにより鏡面を撮像してその欠陥の有無
を検出することができない。また、被検査面がカラーイ
ンク層上に透明な合成樹脂製のコート層を有する場合、
コート層の傷等の欠陥についても同様に確実に検出する
ことができない。このように、従来のように暗視野用照
明光源のみを用いた構成では、検査対象に制約を受け、
検査対象の拡がりに対応することができないばかりでな
く、検出精度にも劣るなどの問題があった。
【0006】本発明は、上記のような従来の問題を解決
するものであり、検査対象を拡げることができて汎用性
を得ることができ、また、検出精度を向上させて検査の
信頼性を向上させることができるようにした品質検査装
置を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の品質検査装置は、被検査物の被検査面を撮
像する撮像手段と、上記被検査面を照明し、上記撮像手
段において明視野となる明視野用照明光を出射する明視
野用照明光源と、上記被検査面を照明し、上記撮像手段
において暗視野となる暗視野用照明光を出射する暗視野
用照明光源と、上記撮像手段からの出力をもとに上記被
検査面の欠陥の有無を判定する判定手段とを備え、上記
明視野用照明光源および暗視野用照明光源が検査対象に
対応して選択的に単独で、若しくは併用されて使用され
るように構成されたものである。
【0008】上記課題を解決するために、本発明の他の
品質検査装置は、上記構成において、明視野用照明光源
から出射される明視野用照明光を検査対象に対応して全
体が入射し、若しくは一定の入射角のみとなるように制
御することができ、暗視野用照明光源から出射される暗
視野用照明光を被検査面に対して乱反射させ、被検査面
から撮像手段に対して明視野用照明光として入射させる
ことができる乱反射面を有する制御板を備えたものであ
る。
【0009】そして、上記明視野用照明光源と暗視野用
照明光源のいずれか、若しくは両方から被検査面に出射
される照明光量を検査対象に対応して調整するように構
成することができる。
【0010】また、上記制御板が、検査対象に対応して
乱反射面における乱反射の光量を変更し得るように構成
することができ、その一例として乱反射光量の異なる乱
反射面を有する複数枚の制御板を選択的に交換使用する
ことができる。
【0011】また、上記撮像手段を、被検査面から入射
する光軸が被検査面に対して傾斜するように配置するの
が好ましく、また、上記判定手段を、撮像手段の出力か
ら得られる多階調画像データの濃度レベルを基準濃度レ
ベルと比較して欠陥の有無を判定するように構成するの
が好ましい。
【0012】上記のように構成された本発明によれば、
撮像手段に対して直接光となり、鏡面等の反射成分を確
実に得ることができる明視野用の照明光と、色、乱反射
等の成分を確実に得ることができる暗視野用の照明光と
を選択的に単独で、若しくは併用して使用することによ
り、各種の検査対象に適用して検出精度を向上させるこ
とができる。
【0013】また、明視野用照明光源から出射される照
明光の入射角を制御することができ、暗視野用照明光源
から出射される照明光を乱反射させる制御板を用いるこ
とにより、浅い凹部の非検出、深い凹部の検出等、検査
の必要基準に適用させることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第1の実
施形態について説明する。図1は本発明の第1の実施形
態による品質検査装置を示す概略構成図、図2は同品質
検査装置により検査する被検査物の一例を示す説明用平
面図、図3(a)は同品質検査装置による図2のCL−
CL線における検査原理説明図、図3(b)は比較例の
検査原理説明図である。
【0015】図1において、1は被検査物であり、ベル
ト等の走行手段(図示省略)により矢印方向に走行す
る。2は走行する被検査物1の被検査面3をその全幅に
亘って撮像する手段であるCCDライセンサ等のカメラ
であり、被検査面3から入射する光軸を被検査面3に対
して傾斜させるように配置されている。4は被検査面3
を照明し、撮像カメラ2において明視野となる明視野用
照明光5を出射する明視野用照明光源であり、1箇所、
若しくは複数箇所(図示例では1箇所)に配置されてい
る。6は被検査面3を照明し、撮像カメラ2において暗
視野となる暗視野用照明光7を出射する暗視野用照明光
源であり、1箇所、若しくは複数箇所(図示例では2箇
所)に配置されている。明視野用照明光源4および暗視
野用照明光源6は、複数個のランプが列設され、若しく
は直管状のランプが用いられ、被検査面3をその全幅に
亘ってほぼ均一な照度で照明することができるように設
定されている。8は撮像カメラ2の出力から得られる多
階調画像データの濃度レベルを基準濃度レベルと比較し
て被検査面3の欠陥の有無について判定する判定手段で
ある。
【0016】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。本実施形態における被検査物1はその被
検査面3が鏡面であり、図2に示すように、鏡面3の一
部に傷11を有しているとする。この被検査物1を走行
させ、この走行の途中で明視野用照明光源4から出射す
る明視野用照明光5のみにより被検査面3を照明し、被
検査面3をその幅方向の全長にわたって撮像カメラ2に
より順次撮像する。判定手段8においては、撮像カメラ
2から順次出力される256段階の多階調ライン画像の
データから多階調エリア画像を作成し、この多階調エリ
ア画像の各部の濃度レベルを基準画像の256段階の多
階調エリア画像の対応する各部の濃度レベルと比較し、
両画像の対応する部分の濃度レベル差の許容値をもとに
欠陥の有無を判定する。
【0017】明視野用照明光5により被検査面3である
鏡面を照明すると、鏡面は撮像カメラ2に対する反射率
が高く、濃度レベルが高くなるので、図3(a)に示す
ように、例えば、被検査面3である鏡面の基準濃度レベ
ルを200レベルに設定し、「明」側と「暗」側の許容
値をそれぞれ10レベルに設定し、被検査面3を明視野
用照明光源4から出射する明視野用照明光5のみにより
照明したとする。そして、図2に示すように、被検査面
3である鏡面に欠陥(傷)11が存在しているとする。
上記のように被検査面3である鏡面の基準濃度レベルが
高いのに対し、欠陥11の部分は乱反射により濃度レベ
ルが低くなるので、被検査面3である鏡面の基準濃度レ
ベルが欠陥11の位置で「暗」側にパルス形状の変化と
して現われ、この変化部分が例えば、50レベルである
とすると、上記許容値を超えているので、この場合には
欠陥と判定する。
【0018】一方、比較例として、暗視野用照明光7の
みを用いて被検査面3を照明した場合には、被検査面3
である鏡面の撮像カメラ2に対する反射率が低く、濃度
レベルが低くなるので、図3(b)に示すように、例え
ば、被検査面3である鏡面の基準濃度レベルを10レベ
ルに設定し、「明」側と「暗」側の許容値をそれぞれ1
0レベルに設定しているとする。そして、この場合に
は、欠陥11からの反射率が乱反射により鏡面の反射率
に比べて増加し、被検査面である鏡面の基準濃度レベル
が欠陥11の位置で「明」側にパルス形状の変化として
現われる。しかしながら、欠陥11の両側のエッジ部の
みからの反射率が高くなるので、欠陥11の実際の大き
さが反映されず、パルス形状は幅が狭く、しかも、反射
率も低下するので、基準濃度レベルに対して現われるパ
ルス形状が許容値(例えば、10レベル)を超えない場
合が生じ、欠陥ではないと誤認識するおそれがある。
【0019】したがって、被検査面3が鏡面の場合に
は、その検出に乱反射成分を必要としないので、暗視野
用照明光源6は不要となり、明視野用照明光源4のみで
欠陥を検出することができることになる。
【0020】次に、本発明の第2の実施形態について説
明する。図4は本発明の第2の実施形態による品質検査
装置を示す概略構成図、図5は同品質検査装置により検
査する被検査物の一例を示す説明用平面図、図6(a)
は同品質検査装置による図5のCL−CL線における検
査原理説明図、図6(b)は比較例の検査原理説明図で
ある。
【0021】図4において、1は被検査物である。2は
CCDライセンサ等のカメラ、4は明視野用照明光源、
6は暗視野用照明光源、8は判定手段であり、これらの
構成は上記第1の実施形態と同様である。
【0022】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。本実施形態における被検査物1はその被
検査面3が金、若しくは銀の梨地面であり、図5に示す
ように、一部に明欠陥12と暗欠陥13を有していると
する。この被検査物1を走行させ、この走行の途中で暗
視野用照明光源6から出射する暗視野用照明光7のみに
より被検査面3を照明し、被検査面3をその幅方向の全
長にわたって撮像カメラ2により順次撮像する。判定手
段8においては、撮像カメラ2から順次出力される25
6段階の多階調ライン画像のデータから上記第1の実施
形態と同様にして欠陥の有無を判定する。
【0023】図6(a)に示すように、例えば、基準濃
度レベルを120レベルに設定し、「明」側と「暗」側
の許容値をそれぞれ10レベルに設定し、被検査面3を
暗視野用照明光源6から出射する暗視野用照明光7のみ
により照明したとする。そして、図5に示すように、被
検査面3である金・銀の梨地面に明欠陥12と暗欠陥1
3が存在しているとすると、基準濃度レベルに対し、被
検査面である金、若しくは銀の梨地面の濃度レベルが明
欠陥12と暗欠陥13の位置で「明」側と「暗」側にパ
ルス形状の変化として現われ、この変化部分が例えば、
それぞれ230レベルと30レベルであるとすると、上
記許容値を超えているので、この場合にはそれぞれ欠陥
と判定する。
【0024】一方、比較例のように明視野用照明光源4
からの明視野用照明光5のみを用いて被検査面3を照明
した場合、図6(b)に示すように、梨地面の基準濃度
レベルが例えば、230レベルと高くなり、「暗」側の
欠陥13については例えば、100レベルとなり、許容
値を超えるので、欠陥と判定するが、「明」側の欠陥1
2については例えば、235レベルとなり、パルス形状
の変化が小さく、許容値を超えない場合が生じ、判定が
困難となる。
【0025】これからも、被検査面3が金、若しくは銀
の梨地面の場合にはその検出に乱反射成分を必要とする
ので、照度の高い直接光である明視野用照明光5を出射
する明視野用照明光源6は不要となり、乱反射成分を得
ることができる暗視野用照明光7を出射する暗視野用照
明光源6のみで欠陥を検出することができることは明ら
かである。
【0026】次に、本発明の第3の実施形態について説
明する。図7は本発明の第3の実施形態による品質検査
装置を示す概略構成図、図8は同品質検査装置により検
査する被検査物の一例を示す説明用平面図、図9(a)
は同品質検査装置による図8のCL−CL線における検
査原理説明図、図9(b)は比較例の検査原理説明図で
ある。
【0027】図7において、1は被検査物である。2は
CCDライセンサ等のカメラ、4は明視野用照明光源、
6は暗視野用照明光源、8は判定手段であり、これらの
構成は上記第1の実施形態と同様である。
【0028】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。本実施形態における被検査物1はその被
検査面3が凹凸面であり、図8に示すように、一部に明
欠陥14と暗欠陥15を有しているとする。この被検査
物1を走行させ、この走行の途中で明視野用照明光源4
から出射する明視野用照明光5のみにより被検査面3を
照明し、被検査面3をその幅方向の全長にわたって撮像
カメラ2により順次撮像する。判定手段8においては、
撮像カメラ2から順次出力される256段階の多階調ラ
イン画像のデータから上記第1の実施形態と同様にして
欠陥の有無を判定する。
【0029】図9(a)に示すように、例えば、基準濃
度レベルを120レベルに設定し、「明」側と、「暗」
側の許容値をそれぞれ10レベルに設定し、被検査面3
を明視野用照明光源4から出射する明視野用照明光5の
みにより照明したとする。そして、図8に示すように、
被検査面3に明欠陥14と暗欠陥15が存在していると
すると、基準濃度レベルに対し、被検査面である凹凸面
の濃度レベルが明欠陥14と暗欠陥15の位置で「明」
側と「暗」側にパルス形状の変化として現われ、この変
化部分が例えば、230レベルと30レベルであるとす
ると、上記許容値を超えているので、この場合には欠陥
と判定する。被検査面3が凹凸面の場合には明視野用照
明光5を用いることにより、凸部30の後方での影の影
響を極力少なくし、すなわち、「暗」側に現われるパル
ス形状を許容値内に納まるように小さくして欠陥として
検出しないようにし、「暗」側の欠陥15との誤認識を
防止することができる。
【0030】一方、比較例として、暗視野用照明光7の
みを用いた場合には、図9(b)に示すように、明欠陥
14と暗欠陥15については欠陥と判定することができ
るが、凸部30の後方での影、すなわち、「暗」側に現
われるパルス形状が許容値を超えるように大きくなっ
て、「暗」側の欠陥15のパルス形状と誤認識するおそ
れがある。
【0031】したがって、本実施形態のように検査面3
が凹凸を有する場合においては、暗視野用照明光源6は
不要となり、明視野用照明光源4のみで欠陥を検出する
ことができることになる。
【0032】次に、本発明の第4の実施形態について説
明する。図10は本発明の第4の実施形態による品質検
査装置を示す概略構成図、図11は同品質検査装置によ
り検査する被検査物の一例を示す説明用平面図、図12
(a)は同品質検査装置による図11のCL−CL線に
おける検査原理説明図、図12(b)は比較例の検査原
理説明図である。
【0033】図10において、1は被検査物である。2
はCCDライセンサ等のカメラ、4は明視野用照明光
源、6は暗視野用照明光源、8は判定手段であり、これ
らの構成は上記第1の実施形態と同様である。
【0034】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。本実施形態における被検査物1はその被
検査面3が紙16上のカラーインク17による印刷面で
あり、図11に示すように、一部に明欠陥18と暗欠陥
19を有しているとする。この被検査物1を走行させ、
この走行の途中で暗視野用照明光源6から出射する暗視
野用照明光7のみにより被検査面3を照明し、被検査面
3をその幅方向の全長にわたって撮像カメラ2により順
次撮像する。判定手段8においては、撮像カメラ2から
順次出力される256段階の多階調ライン画像のデータ
から上記第1の実施形態と同様にして欠陥の有無を判定
する。
【0035】図12(a)に示すように、例えば、紙1
6の基準濃度レベルを180レベルに設定するととも
に、カラーインク17の基準濃度レベルを各カラーに対
応する所望のレベルに設定し、「明」側と「暗」側の許
容値をそれぞれ10レベルに設定し、被検査面3を暗視
野用照明光源6から出射する暗視野用照明光7のみによ
り照明したとする。そして、図11に示すように、被検
査面3に明欠陥18と暗欠陥19が存在しているとする
と、基準濃度レベルに対し、被検査面のうち、紙16面
の濃度レベルが明欠陥18と暗欠陥19の位置で「明」
側と「暗」側にパルス形状の変化として現われ、この変
化部分が許容値を超えているので、この場合には欠陥と
判定する。被検査面3が印刷面の場合には暗視野用照明
光7を用いることにより、印刷されたカラーインク17
で散乱させ、インクの色の検出に必要な光のみを撮像カ
メラ2に導き、色の異なるインク17の文字AとBとの
間でパルス形状の大きさの差を大きくしてインクの相違
による印刷ミス等の欠陥の誤認識を防止することができ
る。
【0036】一方、比較例のように明視野用照明光5の
みを用いた場合には、被検査面3での反射光の照度が高
過ぎ、図12(b)に示すように、基準濃度レベルが例
えば、230レベルと高くなり、「暗」側の欠陥19に
ついては許容値を超えるので、欠陥と判定するが、
「明」側の欠陥18についてはパルス形状の変化が小さ
く、許容値を超えない場合が生じ、誤認識するおそれが
ある。
【0037】したがって、本実施形態のように被検査面
がカラーインク17による印刷面である場合において
は、明視野用照明光源4は不要となり、暗視野用照明光
源6のみで欠陥を精度良く検出することができることに
なる。
【0038】次に、本発明の第5の実施形態について説
明する。図13は本発明の第5の実施形態による品質検
査装置を示す概略構成図、図14は同品質検査装置によ
り検査する被検査物の一例を示す説明用平面図、図15
(a)は同品質検査装置による図14のCL−CL線に
おける検査原理説明図、図15(b)、(c)はそれぞ
れ比較例の検査原理説明図である。
【0039】図13において、1は被検査物である。2
はCCDライセンサ等のカメラ、4は明視野用照明光
源、6は暗視野用照明光源、8は判定手段あり、これら
の構成は上記第1の実施形態と同様である。
【0040】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。本実施形態における被検査物1はその被
検査面3が紙16上のカラーインク17による印刷面お
よびこの印刷面上に設けられたコート層20であり図1
4に示すように、コート層20の一部に欠陥(傷)21
を有し、紙16上の一部に暗欠陥19を有しているとす
る。この被検査物1を走行させ、この走行の途中で明視
野用照明光源4から出射する明視野用照明光5および暗
視野用照明光源6から出射する暗視野用照明光7により
被検査面3を照明し、被検査面3をその幅方向の全長に
わたって撮像カメラ2により順次撮像する。判定手段8
においては、撮像カメラ2から順次出力される256段
階の多階調ライン画像のデータから上記第1の実施形態
と同様にして欠陥の有無を判定する。
【0041】図15(a)に示すように、例えば、カラ
ーインク17以外の部分の基準濃度レベルを180レベ
ルに設定するとともに、カラーインク17の基準濃度レ
ベルを各カラーに対応する所望のレベルに設定し、
「明」側と「暗」側の許容値をそれぞれ10レベルに設
定し、被検査面3を明視野用照明光源4から出射する明
視野用照明光5と暗視野用照明光源6から出射する暗視
野用照明光7との両方で照明したとする。そして、図1
4に示すように、被検査面3のコート層20と紙16面
上に欠陥(傷)21と暗欠陥19が存在しているとする
と、基準濃度レベルに対し、欠陥21の部分は乱反射に
より濃度レベルが低くなるので、被検査面のうち、コー
ト層20の欠陥21の位置で「暗」側にパルス形状の変
化として現われ、紙16面上の暗欠陥19の位置で
「暗」側にパルス形状の変化として現われ、これらの変
化部分が許容値を超えているので、この場合には欠陥と
判定する。被検査面3が印刷面およびその上のコート層
20の場合には明視野用照明光5を用いることにより、
上記第1の実施形態と同様に、コート層20で反射さ
せ、上記第1の実施形態の鏡面の場合と同様に、欠陥2
1を精度良く検出することができ、また、暗視野用照明
光7を用いることにより、上記第4の実施形態と同様
に、印刷されたカラーインク17で散乱させ、インクの
色の検出に必要な光のみを撮像カメラ2に導き、色の異
なるインク17の文字AとBとの間で、パルス形状の大
きさの差を大きくしてインクの相違による印刷ミス等の
欠陥の誤認識を防止することができる。
【0042】一方、比較例として、明視野用照明光5の
みを用いた場合には、コート層20からの反射率が高く
なるので、図15(b)に示すように、例えば、基準濃
度レベルを230レベルに設定し、「明」側と「暗」側
の許容値をそれぞれ10レベルに設定しているとする。
そして、この場合には、欠陥21の部分は乱反射により
濃度レベルが低くなるので、被検査面3のうち、基準濃
度レベルがコート層20上の欠陥21の位置で「暗」側
にパルス形状の変化として現われ、この部分が例えば、
150レベルであるとすると、上記許容値を超えている
ので、欠陥と判定するが、紙面16の欠陥19について
は反射光の照度が高過ぎ、許容値を超えない場合が生
じ、欠陥ではないと誤認識するおそれがある。
【0043】一方、他の比較例として、暗視野用照明光
7のみを用いた場合には、コート層20からの反射率が
低くなるので、図15(c)に示すように、例えば、基
準濃度レベルを150レベルに設定し、「明」側と
「暗」側の許容値をそれぞれ10レベルに設定している
とする。そして、この場合には暗欠陥19については基
準濃度レベルに対して「暗」側にパルス形状の変化とし
て現われ、この変化部分が許容値を超えているので、欠
陥と判定する。一方、欠陥21からの反射率が乱反射に
よりコート層20の反射率に比べて増加し、基準濃度レ
ベルが欠陥21の位置で「明」側にパルス形状の変化と
して現われる。しかしながら、反射率が低下するので、
基準濃度レベルに対して現われるパルス形状が許容値を
超えない場合が生じ、欠陥ではないと誤認識するおそれ
がある。
【0044】したがって、本実施形態のように被検査面
3が印刷面とコート層20である場合においては、明視
野用照明光源4および暗視野用照明光源6を併用するこ
とにより欠陥を精度良く検出することができることにな
る。
【0045】本実施の形態においては、コート層20の
みの検出、印刷面のみの検出、若しくは黒地に金箔で印
刷し、更にその上にコート層20を設けた被検査物にお
けるコート層20と印刷面の検出など、検査対象、すな
わち、検査条件の変更に対応して明視野用照明光源4と
暗視野用照明光源6の点灯および調光値の設定の組み合
わせにより最適条件を確定することができる。その一例
として、明視野用照明光源4と暗視野用照明光源6のい
ずれか一方を点灯して他方を消灯し、若しくは両者を共
に点灯することができ、点灯に際しては調光値をそれぞ
れ40〜120%の範囲で選択することができる。
【0046】次に、本発明の第6の実施形態について説
明する。図16は本発明の第6の実施形態による品質検
査装置を示す概略構成図、図17(a)、(b)は同品
質検査装置により検査する被検査物の説明用平面図、説
明用断面図、図18(a)、(b)、(c)はそれぞれ
同品質検査装置の使用例の説明図、図19(a)、
(b)は同品質検査装置による図17(a)のCL−C
L線における検査原理説明図、図19(c)は比較例に
よる検査原理説明図である。
【0047】図16において、1は被検査物であり、検
査ロール26上を矢印方向に走行する。2はCCDライ
センサ等のカメラ、4は明視野用照明光源、6は暗視野
用照明光源、8は判定手段であり、これらの構成につい
ては上記第1の実施形態と同様である。本実施形態にお
いては、更に、明視野用照明光源4から出射される明視
野用照明光5を検査対象に対応して被検査面3に対して
全体が入射し、若しくは一定の入射角のみとなるように
制御することができ、暗視野用照明光源6から出射され
る暗視野用照明光7を被検査面に対して乱反射させ、被
検査面3から撮像カメラ2に対して明視野用照明光とし
て入射させることができる乱反射面27aを有する制御
板27が備えられている。この制御板27は、例えば、
撮像カメラ2側の乱反射面27aが白色等の梨地面で高
反射率となるように設定されたものと、乱反射面27a
が黒色等の梨地面で低反射率となるように設定されたも
のとが交換使用されるようになっている。そして、制御
板27は微調整機構(図示省略)により上下方向に微調
整されて明視野用照明光5の被検査面3に対する入射角
が調整されるようになっている。
【0048】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。本実施形態における被検査物1はその被
検査面3が図17(a)、(b)に示すように、アルミ
箔28の表面およびその表面にカラーインク17により
印刷された印刷面であり、アルミ箔28の一部に浅い凹
部29を有し、アルミ箔28の一部に深い凹部30を有
しているとする。このようなアルミ箔28上に印刷面上
から透明な合成樹脂製のコート層を押出成形により積層
する場合、アルミ箔28に形成されている浅い凹部29
については積層時に与えられる熱により平面状に修復さ
れるため、コート層を積層する前に検査する場合には、
浅い凹部29については欠陥であると検出せず、深い凹
部30についてのみ欠陥として検出する必要がある。
【0049】そして、上記被検査物1を走行させ、この
走行の途中で暗視野用照明光源6から出射された暗視野
用照明光7と、暗視野照明光7の乱反射面27aによる
反射光と、明視野用照明光源4から出射され、必要に応
じて制御板27により一定の入射角に制限された明視野
用照明光5との組み合わせにより被検査面3を照明し、
被検査面3をその幅方向の全長にわたって撮像カメラ2
により順次撮像する。判定手段8においては、撮像カメ
ラ2から順次出力される256段階の多階調ライン画像
のデータから上記第1の実施形態と同様にして欠陥の有
無を判定する。このとき、予め、被検査物1の一部を検
査した結果、この被検査物1に凹部が存在しなかった場
合には、明視野用照明光源4から出射される明視野用照
明光5は被検査面3で撮像カメラ2に入射しないので、
図18(a)に示すように、制御板27を上昇させて明
視野用照明光5はほとんど制限しないようにし(明視野
用照明光5を制御板27の下降により一部制御して遮断
してもよい。)、暗視野用照明光源6から出射される暗
視野用照明光7を制御板27の乱反射面27aにより乱
反射させ、明視野用照明光として被検査面3で反射させ
て撮像カメラ2に入射させるように設定する。被検査物
1に浅い凹部29が存在する場合には、図18(b)に
示すように、制御板27を少し下降させ、暗視野用照明
光7の乱反射面27aにより反射した光が浅い凹部29
を照明し、この反射光が明視野用照明光として撮像カメ
ラ2に入射させるように設定する。被検査物1に深い凹
部30が存在する場合には、図18(c)に示すよう
に、制御板27を少し下降させ、明視野用照明光源4の
下側から出射する一部の明視野用照明光5により深い凹
部30を照明し、この反射光が撮像カメラ2に入射する
ように設定する。
【0050】また、アルミ箔28上の暗欠陥である異物
等の欠陥を検出する必要がある場合には、乱反射面27
aを白色としてアルミ箔28の表面を明るく照射させ、
欠陥を検出する必要がない場合には、乱反射面27aを
黒色としてアルミ箔28の表面を上記の場合よりも低い
照度で照射させる。そして、アルミ箔28の表面を明る
く照射させることにより、欠陥の部分で基準濃度レベル
からパルス形状を許容値よりも高く変化させて欠陥とし
て検出することができ、また、アルミ箔28の表面を低
い照度で照射させることにより、欠陥の部分で基準濃度
レベルからパルス形状を許容値内で低く変化させて欠陥
ではないと検出することができる。
【0051】乱反射面27aが白色の制御板27を用い
た場合には、図19(a)に示すように、例えば、基準
濃度レベルを200レベルに設定し、「明」側と「暗」
側の許容値をそれぞれ10レベルに設定し、乱反射面2
7aが黒色の制御板27を用いた場合には、図19
(b)に示すように、例えば、基準濃度レベルを40レ
ベルに設定するとともに、カラーインク17の基準濃度
レベルを各カラーに対応して所望のレベルに設定し、
「明」側と「暗」側の許容値をそれぞれ10レベルに設
定したとする。そして、例えば、図17(a)、(b)
に示すように、被検査面3に浅い凹部29が存在してい
るとすると、上記のように図18(b)の状態に設定す
ることにより、制御板27の乱反射面27aで乱反射
し、更に被検査面3で反射して撮像カメラ2に入射する
が、凹部29により乱反射して撮像カメラ2に入射する
光がその他のアルミ箔28の表面で反射して撮像カメラ
2に入射する光よりも少し明るくなる程度となる。した
がって、図19(a)、(b)に示すように、基準濃度
レベルに対し、被検査面であるアルミ箔28の面の濃度
レベルが浅い凹部29の位置で「明」側に僅なパルス形
状の変化として現われ、この変化部分が上記許容値を超
えないので、欠陥でないと判定する。また、深い凹部3
0については上記のように図18(c)の状態に設定す
ることにより、明視野用照明光5の照明により高い照度
で撮像カメラ2に入射することになるので、図19
(a)、(b)に示すように、変化部分が高濃度レベル
となって許容値を超えることにより欠陥と判定すること
になる。
【0052】一方、制御板27を用いない場合には、図
19(c)に示すように、例えば、基準濃度レベルを8
0レベルに設定し、「明」側と「暗」側の許容値をそれ
ぞれ10レベルに設定したとすると、明視野用照明光5
と暗視野用照明光7により浅い凹部29も深い凹部30
と同様に照明されて撮像カメラ2に入射することにな
り、深い凹部30は勿論のこと、浅い凹部29をも基準
濃度レベルから許容値を超えたパルス形状の変化として
現われるので、欠陥と判定することになる。
【0053】したがって、本発明の実施形態のように制
御板27を用いことにより、コート層の積層時に修復さ
れるアルミ箔28の浅い凹部29を欠陥でないと判定
し、誤検出を防止することができる。
【0054】なお、本実施形態において被検査面3の傷
については凹部のない場合には図18(a)の状態、浅
い凹部29を有する場合には図18(b)の状態、深い
凹部30を有する場合には図18(c)の状態に設定
し、制御板27の乱反射面27aにより乱反射した光を
利用することにより、上記第1の実施形態で説明した検
査原理により検出することができる。
【0055】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、撮
像手段に対して直接光となり、鏡面等の反射成分を確実
に得ることができる明視野用との照明光と、色、乱反射
等の成分を確実に得ることができる暗視野用の照明光と
を選択的に単独で、若しくは併用して使用することによ
り、各種の検査対象に適用して検出精度を向上させるこ
とができる。したがって、汎用性を得ることができ、し
かも、検査の信頼性を向上させることができる。
【0056】また、明視野用照明光源から出射される照
明光の入射角を制御することができ、暗視野用照明光源
から出射される照明光を乱反射させる制御板を用いるこ
とにより、浅い凹部の非検出、深い凹部の検出等、検査
の必要基準に適用させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態による品質検査装置を
示す概略構成図である。
【図2】同品質検査装置により検査する被検査物の一例
を示す説明用平面図である。
【図3】(a)は同品質検査装置による図2のCL−C
L線における検査原理説明図、(b)は比較例の検査原
理説明図である。
【図4】本発明の第2の実施形態による品質検査装置を
示す概略構成図である。
【図5】同品質検査装置により検査する被検査物の一例
を示す説明用平面図である。
【図6】(a)は同品質検査装置による図5のCL−C
L線における検査原理説明図、(b)は比較例の検査原
理説明図である。
【図7】本発明の第3の実施形態による品質検査装置を
示す概略構成図である。
【図8】同品質検査装置により検査する被検査物の一例
を示す説明用平面図である。
【図9】(a)は同品質検査装置による図8のCL−C
L線における検査原理説明図、(b)は比較例の検査原
理説明図である。
【図10】本発明の第4の実施形態による品質検査装置
を示す概略構成図である。
【図11】同品質検査装置により検査する被検査物の一
例を示す説明用平面図である。
【図12】(a)は同品質検査装置による図11のCL
−CL線における検査原理説明図、(b)は比較例の検
査原理説明図である。
【図13】本発明の第5の実施形態による品質検査装置
を示す概略構成図である。
【図14】同品質検査装置により検査する被検査物の一
例を示す説明用平面図である。
【図15】(a)は同品質検査装置による図14のCL
−CL線における検査原理説明図、(b)、(c)はそ
れぞれ比較例の検査原理説明図である。
【図16】本発明の第6の実施形態による品質検査装置
を示す概略構成図である。
【図17】(a)、(b)は同品質検査装置により検査
する被検査物の一例を示す説明用平面図、説明用断面図
である。
【図18】(a)、(b)、(c)はそれぞれ同品質検
査装置の使用例を示す説明図である。
【図19】(a)、(b)は同品質検査装置による図1
7(a)のCL−CL線における検査原理説明図、
(c)は比較例の検査原理説明図である。
【符号の説明】
1 被検査物 2 撮像カメラ 3 被検査面 4 明視野用照明光源 5 明視野用照明光 6 暗視野用照明光源 7 暗視野用照明光 8 判定手段 22 カバー 27 制御板 27a 乱反射面
フロントページの続き (72)発明者 岡本 宏己 京都市南区上鳥羽大柳町1番5 ダックエ ンジニアリング株式会社内 (72)発明者 柴原 隆行 京都市南区上鳥羽大柳町1番5 ダックエ ンジニアリング株式会社内 (72)発明者 氷上 好孝 京都市南区上鳥羽大柳町1番5 ダックエ ンジニアリング株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査物の被検査面を撮像する撮像手段
    と、上記被検査面を照明し、上記撮像手段において明視
    野となる明視野用照明光を出射する明視野用照明光源
    と、上記被検査面を照明し、上記撮像手段において暗視
    野となる暗視野用照明光を出射する暗視野用照明光源
    と、上記撮像手段からの出力をもとに上記被検査面の欠
    陥の有無を判定する判定手段とを備え、上記明視野用照
    明光源および暗視野用照明光源が検査対象に対応して選
    択的に単独で、若しくは併用されて使用されるように構
    成された品質検査装置。
  2. 【請求項2】 明視野用照明光源から出射される明視野
    用照明光を検査対象に対応して全体が入射し、若しくは
    一定の入射角のみとなるように制御することができ、暗
    視野用照明光源から出射される暗視野用照明光を被検査
    面に対して乱反射させ、被検査面から撮像手段に対して
    明視野用照明光として入射させることができる乱反射面
    を有する制御板を備えた請求項1記載の品質検査装置。
  3. 【請求項3】 明視野用照明光源と暗視野用照明光源の
    いずれか、若しくは両方から被検査面に出射される照明
    光量が検査対象に対応して調整されるように構成された
    請求項1記載の品質検査装置。
  4. 【請求項4】 制御板が、検査対象に対応して乱反射面
    における乱反射の光量を変更し得るように構成された請
    求項2記載の品質検査装置。
  5. 【請求項5】 撮像手段が、被検査面から入射する光軸
    を被検査面に対して傾斜させるように配置された請求項
    1ないし4のいずれかに記載の品質検査装置。
  6. 【請求項6】 判定手段が、撮像手段の出力から得られ
    る多階調画像データの濃度レベルを基準濃度レベルと比
    較して欠陥の有無を判定する請求項1ないし5のいずれ
    かに記載の品質検査装置。
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