JPH109831A - 磁気記録装置の浮上量測定装置 - Google Patents
磁気記録装置の浮上量測定装置Info
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- JPH109831A JPH109831A JP16269696A JP16269696A JPH109831A JP H109831 A JPH109831 A JP H109831A JP 16269696 A JP16269696 A JP 16269696A JP 16269696 A JP16269696 A JP 16269696A JP H109831 A JPH109831 A JP H109831A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】磁気記録装置における磁気ヘッド・スライダの
浮上量計測に、ＦＴＲを利用した場合にスライダをはじ
めとする磁気ヘッド支持系に特別な加工を施す必要がな
い浮上量測定装置を提供する。 【解決手段】磁気ヘッド２とスライダ１をシールドして
いる絶縁膜３を浮上量センサの光路として利用する。
浮上量計測に、ＦＴＲを利用した場合にスライダをはじ
めとする磁気ヘッド支持系に特別な加工を施す必要がな
い浮上量測定装置を提供する。 【解決手段】磁気ヘッド２とスライダ１をシールドして
いる絶縁膜３を浮上量センサの光路として利用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録装置の浮上
量測定装置に関する。
量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術は特開平3−212868 号公報の
ように発光部，光路，受光部の全てを光集積化したセン
サを磁気ヘッド・スライダに搭載している装置が紹介さ
れている。また、別の方法として特開平3−054405 号公
報に記載のように、磁気ヘッド・スライダには光路のみ
を搭載して発光部および受光部を装置外部に設置して、
光路と発光部及び受光部を光ファイバで接続する装置が
紹介されている。
ように発光部，光路，受光部の全てを光集積化したセン
サを磁気ヘッド・スライダに搭載している装置が紹介さ
れている。また、別の方法として特開平3−054405 号公
報に記載のように、磁気ヘッド・スライダには光路のみ
を搭載して発光部および受光部を装置外部に設置して、
光路と発光部及び受光部を光ファイバで接続する装置が
紹介されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＦＴＲを利用した浮上
量測定装置はスライダにセンサを構成することが可能で
あることから、浮上量の絶対値測定ができる点や磁気ヘ
ッドの位置決め動作時（シーク動作時）の挙動計測が可
能であり、しかも実ディスクと実スライダの組合せで測
定ができる点で従来から使用されている光干渉式の浮上
テスタに比べて有利である。しかし、逆にスライダにセ
ンサを搭載する必要があるため、スライダに特別の加工
を施す必要がある。
量測定装置はスライダにセンサを構成することが可能で
あることから、浮上量の絶対値測定ができる点や磁気ヘ
ッドの位置決め動作時（シーク動作時）の挙動計測が可
能であり、しかも実ディスクと実スライダの組合せで測
定ができる点で従来から使用されている光干渉式の浮上
テスタに比べて有利である。しかし、逆にスライダにセ
ンサを搭載する必要があるため、スライダに特別の加工
を施す必要がある。
【０００４】本発明の目的は、ＦＴＲを利用したセンサ
をスライダに特別の加工することなく実スライダに構成
することができる浮上量測定装置を提供することにあ
る。
をスライダに特別の加工することなく実スライダに構成
することができる浮上量測定装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は浮上量センサを新たに構成するのではなく、図
５に示すようにスライダ１と磁気ヘッド２の間をシール
ドする絶縁膜３を浮上量センサの光路として利用する。
本発明は浮上量センサを新たに構成するのではなく、図
５に示すようにスライダ１と磁気ヘッド２の間をシール
ドする絶縁膜３を浮上量センサの光路として利用する。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施例を図１から
図３を用いて説明する。図１は全体構成を示した側面図
であり、図２は図１における測定主要部を示した図であ
る。図３は図１の正面図である。次の、図１から図３の
構成要素を述べる。１は磁気ヘッド２を搭載したスライ
ダ、５は磁気ディスク４を固定し回転させるスピンドル
モータ、７および８は光束６のビーム径を磁気ディスク
４の半径の値にコリメートするコリメータレンズ、９は
光束６の一部を入射光１１として絶縁膜３に入射させる
プリズムカプラ、１０は入射光１１を絶縁膜３から測定
光１３として出射させるプリズムカプラ、１２はプリズ
ムカプラ９とスライダの境界で反射する参照光、１４は
偏光子、１５および１６は光検出器、１７は光検出器１
５，１６から浮上量を求める回路、１８はスライダ１を
支持するロードアームである。
図３を用いて説明する。図１は全体構成を示した側面図
であり、図２は図１における測定主要部を示した図であ
る。図３は図１の正面図である。次の、図１から図３の
構成要素を述べる。１は磁気ヘッド２を搭載したスライ
ダ、５は磁気ディスク４を固定し回転させるスピンドル
モータ、７および８は光束６のビーム径を磁気ディスク
４の半径の値にコリメートするコリメータレンズ、９は
光束６の一部を入射光１１として絶縁膜３に入射させる
プリズムカプラ、１０は入射光１１を絶縁膜３から測定
光１３として出射させるプリズムカプラ、１２はプリズ
ムカプラ９とスライダの境界で反射する参照光、１４は
偏光子、１５および１６は光検出器、１７は光検出器１
５，１６から浮上量を求める回路、１８はスライダ１を
支持するロードアームである。
【０００７】このように構成された本発明の第１の実施
例について、その動作を説明する。図１で、スライダ１
はスピンドルモータ５に取り付けられて回転している磁
気ディスク４の上を浮上している。スライダ１にはプリ
ズムカプラ９および１０が搭載されている。光束６はコ
リメータレンズ７および８によって磁気ディスク４の半
径の範囲に平行光になるようにコリメートされている。
光束６のうちプリズムカプラ９の反射面９ａに入射した
光は、図２に示すように磁気ヘッド２とスライダ１をシ
ールドしている絶縁膜３に入射する光とプリズムカプラ
９とスライダ１の境界で反射する光に分かれる。このう
ち、プリズムカプラ９とスライダ１の境界で反射した光
は参照光１２としてある偏光面のみ偏光子１４で選択さ
れて光検出器１５に導かれ電気信号Ｅ1 に変換される。
また、絶縁膜３に入射した光は測定部３ａで全反射する
ような入射角θで入射される。測定部３ａで反射した光
はプリズムカプラ１０により出射され、測定光１３とし
て偏光子１４で参照光１２と同じ偏光面のみ選択して光
検出器１６に入射して電気信号Ｅ2 に変換される。この
とき、測定部３ａと空気の境界にはエバネッセント波が
光の波長程度の領域まで空気側にしみ出している。測定
部３ａと磁気ディスク４の浮上量が十分大きな場合には
光は全反射するが、浮上量が光の波長程度以下となりエ
バネッセント波がしみ出た領域に達すると光が磁気ディ
スク４に吸収されて光量が図４のように浮上量に対して
変化する。この光学現象をＦＴＲという。逆に反射光量
を測定することで浮上量を測定することができる。しか
し、測定光１３の光量変化を測定しただけでは、光束６
の光量そのものが変化した場合はそれがそのまま測定誤
差となる。また、スライダがシーク動作するときの挙動
を測定するために、光束６のビーム径を磁気ディスク１
の半径にコリメートしているが、光は通常面内でガウス
分布しているのでシーク動作するとプリズムカプラ９に
入射する光量が変化するため、これも測定誤差となる。
そこで、上述したようにプリズムカプラ９の形状をひし
型にしてスライダ１との境界で反射した光を参照光１２
として利用して測定光１３と比Ｅ2／Ｅ1を浮上量演算回
路１７で求めることで測定誤差を除去できる。
例について、その動作を説明する。図１で、スライダ１
はスピンドルモータ５に取り付けられて回転している磁
気ディスク４の上を浮上している。スライダ１にはプリ
ズムカプラ９および１０が搭載されている。光束６はコ
リメータレンズ７および８によって磁気ディスク４の半
径の範囲に平行光になるようにコリメートされている。
光束６のうちプリズムカプラ９の反射面９ａに入射した
光は、図２に示すように磁気ヘッド２とスライダ１をシ
ールドしている絶縁膜３に入射する光とプリズムカプラ
９とスライダ１の境界で反射する光に分かれる。このう
ち、プリズムカプラ９とスライダ１の境界で反射した光
は参照光１２としてある偏光面のみ偏光子１４で選択さ
れて光検出器１５に導かれ電気信号Ｅ1 に変換される。
また、絶縁膜３に入射した光は測定部３ａで全反射する
ような入射角θで入射される。測定部３ａで反射した光
はプリズムカプラ１０により出射され、測定光１３とし
て偏光子１４で参照光１２と同じ偏光面のみ選択して光
検出器１６に入射して電気信号Ｅ2 に変換される。この
とき、測定部３ａと空気の境界にはエバネッセント波が
光の波長程度の領域まで空気側にしみ出している。測定
部３ａと磁気ディスク４の浮上量が十分大きな場合には
光は全反射するが、浮上量が光の波長程度以下となりエ
バネッセント波がしみ出た領域に達すると光が磁気ディ
スク４に吸収されて光量が図４のように浮上量に対して
変化する。この光学現象をＦＴＲという。逆に反射光量
を測定することで浮上量を測定することができる。しか
し、測定光１３の光量変化を測定しただけでは、光束６
の光量そのものが変化した場合はそれがそのまま測定誤
差となる。また、スライダがシーク動作するときの挙動
を測定するために、光束６のビーム径を磁気ディスク１
の半径にコリメートしているが、光は通常面内でガウス
分布しているのでシーク動作するとプリズムカプラ９に
入射する光量が変化するため、これも測定誤差となる。
そこで、上述したようにプリズムカプラ９の形状をひし
型にしてスライダ１との境界で反射した光を参照光１２
として利用して測定光１３と比Ｅ2／Ｅ1を浮上量演算回
路１７で求めることで測定誤差を除去できる。
【０００８】次に図６を用いて第２の実施例を説明す
る。図６は第２の実施例を説明する浮上量測定装置の側
面図である。１９は偏光ビームスプリッタ、２０から２
３は光検出器、２４，２５は浮上量演算回路、２６は判
断部である。なお、偏光ビームスプリッタ以前の構成要
素は前述した第１の実施例と同様でありここでは省略す
る。
る。図６は第２の実施例を説明する浮上量測定装置の側
面図である。１９は偏光ビームスプリッタ、２０から２
３は光検出器、２４，２５は浮上量演算回路、２６は判
断部である。なお、偏光ビームスプリッタ以前の構成要
素は前述した第１の実施例と同様でありここでは省略す
る。
【０００９】以上のように構成された本発明の第２の実
施例についてその動作を説明する。本実施例における参
照光１２と測定光１３を取り出すまでは、第１の実施例
と同様なのでその説明は省略する。参照光１２は偏光ビ
ームスプリッタ１９でＳ偏光とＰ偏光に分離されて、そ
れぞれ光検出器２０と２２に導かれ電気信号ＥP1とＥS1
に変換される。測定光１３も参照光１３と同様に偏光ビ
ームスプリッタ１９でＳ偏光とＰ偏光に分離されて、そ
れぞれ光検出器２１と２３に導かれ電気信号ＥP2とＥS2
に変換される。浮上量演算回路２４ではＰ偏光に対する
反射率ＥP2／ＥP1を求め、浮上量演算回路２５ではＳ偏
光に対する反射率ＥS2／ＥS1を求める。このようにＰ偏
光とＳ偏光の両方を利用すると、図４に示すように浮上
量に対して測定感度が高いＰ偏光が浮上量がゼロになる
前に最小浮上となり、一つの反射率で二つの浮上量が存
在する領域を判断部２６でＳ偏光を利用して判断するこ
とが可能となる。
施例についてその動作を説明する。本実施例における参
照光１２と測定光１３を取り出すまでは、第１の実施例
と同様なのでその説明は省略する。参照光１２は偏光ビ
ームスプリッタ１９でＳ偏光とＰ偏光に分離されて、そ
れぞれ光検出器２０と２２に導かれ電気信号ＥP1とＥS1
に変換される。測定光１３も参照光１３と同様に偏光ビ
ームスプリッタ１９でＳ偏光とＰ偏光に分離されて、そ
れぞれ光検出器２１と２３に導かれ電気信号ＥP2とＥS2
に変換される。浮上量演算回路２４ではＰ偏光に対する
反射率ＥP2／ＥP1を求め、浮上量演算回路２５ではＳ偏
光に対する反射率ＥS2／ＥS1を求める。このようにＰ偏
光とＳ偏光の両方を利用すると、図４に示すように浮上
量に対して測定感度が高いＰ偏光が浮上量がゼロになる
前に最小浮上となり、一つの反射率で二つの浮上量が存
在する領域を判断部２６でＳ偏光を利用して判断するこ
とが可能となる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、センサ測定部の光路と
してスライダと磁気ヘッドをシールドする絶縁膜を利用
しているため、スライダにプリズムカプラを搭載する以
外はスライダをはじめとする磁気ヘッド支持系にまった
く加工を施す必要がなく高精度な浮上量測定が可能とな
る。また、磁気ヘッドと浮上量センサが一体となってい
るため、Ｒ／Ｗ信号と浮上量の関係が一度に測定でき
る。
してスライダと磁気ヘッドをシールドする絶縁膜を利用
しているため、スライダにプリズムカプラを搭載する以
外はスライダをはじめとする磁気ヘッド支持系にまった
く加工を施す必要がなく高精度な浮上量測定が可能とな
る。また、磁気ヘッドと浮上量センサが一体となってい
るため、Ｒ／Ｗ信号と浮上量の関係が一度に測定でき
る。
【図１】本発明の第１の実施例を説明する側面図。
【図２】図１における測定主要部を示した側面図。
【図３】図１の正面図本発明の斜視図。
【図４】浮上量と反射率の関係を示した図。
【図５】課題を解決するための手段を示した側面図。
【図６】本発明の第１の実施例を説明する側面図。
１…スライダ、４…磁気ディスク、５…スピンドルモー
タ、６…光束、７，８…コリメータレンズ、１１…入射
光、１２…参照光、１３…測定光、１４…偏光子、１
５，１６…光検出器、１７…浮上量演算回路。
タ、６…光束、７，８…コリメータレンズ、１１…入射
光、１２…参照光、１３…測定光、１４…偏光子、１
５，１６…光検出器、１７…浮上量演算回路。
Claims (2)
- 【請求項１】磁気記録装置の磁気ヘッド・スライダの浮
上特性を計測する手段として、光が全反射する際に生じ
るエバネッセント波を利用した測定装置において、薄膜
磁気ヘッドを構成するスライダと素子を絶縁する絶縁膜
を光路として利用して浮上量センサとすることを特徴と
する磁気記録装置の浮上量測定装置。 - 【請求項２】プリズムカプラに入射した光を参照光と測
定光に分離することで、光量変動および光量分布による
測定誤差を除去する手段を備えた請求項１に記載の磁気
記録装置の浮上量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16269696A JPH109831A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 磁気記録装置の浮上量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16269696A JPH109831A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 磁気記録装置の浮上量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH109831A true JPH109831A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15759568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16269696A Pending JPH109831A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 磁気記録装置の浮上量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH109831A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337373A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Asml Netherlands Bv | レベル・センサの光経路中の外乱を補正する方法 |
| JP4800486B2 (ja) * | 1999-04-07 | 2011-10-26 | アルファ ラヴァル コーポレイト アクチボラゲット | 分離装置 |
-
1996
- 1996-06-24 JP JP16269696A patent/JPH109831A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4800486B2 (ja) * | 1999-04-07 | 2011-10-26 | アルファ ラヴァル コーポレイト アクチボラゲット | 分離装置 |
| JP2006337373A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Asml Netherlands Bv | レベル・センサの光経路中の外乱を補正する方法 |
| US7751059B2 (en) | 2005-06-03 | 2010-07-06 | Asml Netherlands B.V. | Method for correcting disturbances in a level sensor light path |
| JP4523570B2 (ja) * | 2005-06-03 | 2010-08-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | レベル・センサの光経路中の外乱を補正する方法 |
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