JPH109433A - Air pilot type solenoid valve - Google Patents
Air pilot type solenoid valveInfo
- Publication number
- JPH109433A JPH109433A JP16129496A JP16129496A JPH109433A JP H109433 A JPH109433 A JP H109433A JP 16129496 A JP16129496 A JP 16129496A JP 16129496 A JP16129496 A JP 16129496A JP H109433 A JPH109433 A JP H109433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pilot
- air
- operator
- pilot air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、パイロットエアに
より主弁を駆動するエアーパイロット形電磁弁に関する
ものであり、さらに詳細には、パイロットエア制御弁を
片側に寄せた片側ソレノイドタイプのエアーパイロット
形電磁弁に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air pilot type solenoid valve for driving a main valve by pilot air, and more particularly, to a one-side solenoid type air pilot type in which a pilot air control valve is moved to one side. It relates to a solenoid valve.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、空気圧機器はローコストで、
省力化、自動化が可能となるために、多方面の産業にお
いて使用されている。また、空気圧は環境に対して清潔
に保てるために、最近半導体の製造ラインにおいても使
用されている。特に自動制御用の空気圧機器において
は、エアーパイロット形電磁弁が使用されており、プラ
グイン省配線集中化を容易にするために、主弁部に対し
パイロットエア制御弁を片側に寄せて配置した、片側ソ
レノイドタイプのエアーパイロット形電磁弁がある。2. Description of the Related Art Conventionally, pneumatic equipment has been inexpensive,
It is used in various industries because it enables labor saving and automation. In addition, air pressure has recently been used in semiconductor production lines to keep the environment clean. Especially in pneumatic equipment for automatic control, an air pilot type solenoid valve is used, and in order to facilitate plug-in wiring saving and centralization, the pilot air control valve is arranged on one side with respect to the main valve part. There is an air pilot type solenoid valve of one side solenoid type.
【０００３】パイロットエアを制御するためのパイロッ
トエア制御弁と、パイロットエアにより駆動される主弁
との組合せで構成され、オペレータ弁を主弁の摺動方向
に対して、直交する方向に摺動するように配置された片
側ダブルソレノイドタイプのエアーパイロット形電磁弁
が公知である（実公平７−２６８０９号公報参照）。A pilot air control valve for controlling pilot air and a main valve driven by pilot air are combined, and an operator valve slides in a direction orthogonal to the sliding direction of the main valve. There is known a one-sided double solenoid type air pilot type solenoid valve arranged so as to operate (see Japanese Utility Model Publication No. Hei 7-26809).
【０００４】実公平７−２６８０９号公報に開示されて
いる片側ダブルソレノイドタイプのエアーパイロット形
電磁弁１１１は、図８に示すように、２つのオペレータ
弁１１４ａ、１１４ｂを主弁１１２の摺動方向に対し
て、直交する方向に同軸上に配置し、オペレータ弁１１
４ａとオペレータ弁１１４ｂの摺動方向が逆になってい
る。そして、主弁１１２とオペレータ弁１１４ａ，１１
４ｂはアダプタプレート１１３を介して接続され、この
アダプタプレート１１３内にパイロットエアの流路が形
成されている。この流路によりオペレータ弁１１４ａと
パイロット室１２２ａが、オペレータ弁１１４ｂとパイ
ロット室１２２ｂが連通している。As shown in FIG. 8, a one-sided double solenoid type air pilot type solenoid valve 111 disclosed in Japanese Utility Model Publication No. Hei 7-26809 uses two operator valves 114a and 114b to slide the main valve 112 in the sliding direction. Are arranged coaxially in a direction orthogonal to
4a and the operator valve 114b have opposite sliding directions. The main valve 112 and the operator valves 114a, 114
4b is connected via an adapter plate 113, in which a flow path for pilot air is formed. This flow path allows the operator valve 114a and the pilot chamber 122a to communicate with each other, and the operator valve 114b and the pilot chamber 122b to communicate with each other.
【０００５】ソレノイド１２５ａを励磁すると、オペレ
ータ弁１１４ａから出力されたパイロットエアがパイロ
ット室１２２ａに供給される。また、ソレノイド１２５
ｂを励磁すると、オペレータ弁１１４ｂから出力された
パイロットエアがパイロット室１２２ｂに供給される。
よって、ソレノイド１２５ａあるいは１２５ｂのどちら
かを励磁することによりスプール１２１の位置を切り換
え、主弁の流路切換えを行なっている。When the solenoid 125a is excited, the pilot air output from the operator valve 114a is supplied to the pilot chamber 122a. Also, the solenoid 125
When b is excited, the pilot air output from the operator valve 114b is supplied to the pilot chamber 122b.
Therefore, the position of the spool 121 is switched by exciting either the solenoid 125a or 125b, and the flow path of the main valve is switched.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】半導体の製造ライン等
において使用されるエアーパイロット形電磁弁は流路切
換えの応答速度の高速化（２０ｍｓｅｃ以下での応答）
が要求されている。そして、オペレータ弁は既に５ｍｓ
ｅｃ以下で応答することができる。よって、オペレータ
弁がおよそ５ｍｓｅｃ以下で高速応答するのに追従し
て、パイロットエアを主弁のピストン室へより高速に供
給する必要がある。従って、パイロットエアの流れの損
失を少なくする必要がある。そこで、パイロットエア流
路の形状や長さが重要になる。流れの損失は流体の流速
と、流路の断面積、流路の表面粗さ、及び流路の形状等
により決まる。エアーパイロット形電磁弁において、パ
イロットエアの流速は圧力により変わるが、一般的には
５ｋｇｆ／ｃｍ2 前後であり大きな違いはない。また、
流路断面積はオペレータ弁の弁座内に形成された、パイ
ロットエア用ポートのオリフィス断面積の３倍から５倍
以上の断面積を確保する必要があるが、小型化の要求が
あり、現状より流路断面積を大きくすることは困難であ
る。また、パイロットエアの流れに損失を与えないよう
に流路の表面粗さをこれ以上良くすることは、コストア
ップにつながるために限界がある。よって、流れの損失
を少なくする、すなわち、主弁の切換え応答性を良くす
るためには、パイロットエア流路の形状を良くすること
である。すなわち、パイロットエア流路の曲がりを少な
くして、流路長さを短くすることである。An air pilot type solenoid valve used in a semiconductor manufacturing line or the like has a high response speed for switching a flow path (response in 20 msec or less).
Is required. And the operator valve is already 5ms
ec or less. Therefore, it is necessary to supply the pilot air to the piston chamber of the main valve at a higher speed following the high-speed response of the operator valve in about 5 msec or less. Therefore, it is necessary to reduce the loss of the flow of the pilot air. Therefore, the shape and length of the pilot air flow path are important. The flow loss is determined by the flow velocity of the fluid, the cross-sectional area of the flow path, the surface roughness of the flow path, the shape of the flow path, and the like. In the air pilot type solenoid valve, the flow rate of the pilot air varies depending on the pressure, but is generally about 5 kgf / cm 2 , and there is no significant difference. Also,
The cross-sectional area of the flow passage must be at least three to five times the cross-sectional area of the orifice of the pilot air port formed in the valve seat of the operator valve. It is difficult to increase the cross-sectional area of the flow path. Further, improving the surface roughness of the flow path so as not to cause a loss to the flow of the pilot air has a limit because it leads to an increase in cost. Therefore, in order to reduce the flow loss, that is, to improve the switching response of the main valve, it is necessary to improve the shape of the pilot air flow path. That is, the bending of the pilot air flow path is reduced to shorten the flow path length.
【０００７】しかしながら、実公平７−２６８０９号公
報記載のエアーパイロット形電磁弁では、図８に示すよ
うに、アダプタプレート１１３内でパイロットエア流路
が２カ所で直角に曲げられている。よって、この曲がり
自体により生じる圧損と、曲がりにより流路長さが長く
なったことにより生じる圧損によって、パイロットエア
の流れの損失が大きくなっている。従って、パイロット
エアの流れが悪くなり、パイロットエアにより駆動され
る主弁の切換えの応答速度が遅くなるという問題があ
る。さらに、コイルが上下に配置されているため、プラ
グイン配線を行なうためには、電気配線が長く複雑にな
るという問題もある。However, in the air pilot type solenoid valve described in Japanese Utility Model Publication No. Hei 7-26809, as shown in FIG. 8, the pilot air flow path is bent at two places in the adapter plate 113 at right angles. Therefore, the loss of the pilot air flow is increased due to the pressure loss caused by the bending itself and the pressure loss caused by increasing the flow path length due to the bending. Therefore, there is a problem that the flow of the pilot air is deteriorated and the response speed of switching the main valve driven by the pilot air is reduced. Furthermore, since the coils are arranged one above the other, there is a problem that the electrical wiring becomes long and complicated in order to perform plug-in wiring.
【０００８】これらの問題を解決するために、パイロッ
トエア流路を直線的に形成できるようにオペレータ弁を
並列で配置した、エアーパイロット形電磁弁があるが、
２つのオペレータ弁の構成が異なるため、それぞれのオ
ペレータ弁が別部品となりコストアップを招くという問
題がある。In order to solve these problems, there is an air pilot type solenoid valve in which operator valves are arranged in parallel so that a pilot air flow path can be formed linearly.
Since the configurations of the two operator valves are different, there is a problem that each operator valve becomes a separate part and causes an increase in cost.
【０００９】そこで本発明は、上記問題点を解決するた
めになされたものであり、共通構造のオペレータ弁を使
用して、主弁の切換え応答性を向上させ、しかもコスト
ダウンを図ることができる、片側ソレノイドタイプのエ
アーパイロット形電磁弁を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the switching response of the main valve can be improved by using an operator valve having a common structure, and the cost can be reduced. It is another object of the present invention to provide a one-side solenoid type air pilot type solenoid valve.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに第１の発明によれば、パイロットエアを制御するた
めのオペレータ弁とその制御信号を出す電装部とを有す
るパイロットエア制御弁と、前記パイロットエアにより
駆動されるポペット弁またはスプール弁との組合せで構
成されており、前記パイロットエア制御弁が、前記ポペ
ット弁またはスプール弁の摺動方向に対して、直交する
方向に摺動するよう共通構造のオペレータ弁が２つ配置
されるダブルソレノイドタイプの電磁弁において、前記
オペレータ弁が段違いにずれて配置されている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a pilot air control valve having an operator valve for controlling pilot air and an electric unit for outputting the control signal. , A poppet valve or a spool valve driven by the pilot air, wherein the pilot air control valve slides in a direction orthogonal to the sliding direction of the poppet valve or the spool valve. As described above, in a solenoid valve of a double solenoid type in which two operator valves having a common structure are arranged, the operator valves are arranged at different levels.
【００１１】また、第２の発明では上記問題点を解決す
るために第１の発明において、前記２つのオペレータ弁
が同一の駆動方向に配置されている。According to a second aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, in the first aspect, the two operator valves are arranged in the same driving direction.
【００１２】上記構成を有するエアーパイロット形電磁
弁は次のように作用する。すなわち、共通構造のオペレ
ータ弁を段違いにずらすことで、主弁のピストン室と同
じ高さに１つのオペレータ弁を、主弁のパイロットエア
流路と同じ高さにもう１つのオペレータ弁を配置するこ
とができ、パイロットエア流路に曲がりを設けることな
く、最短距離で主弁のピストン室とオペレータ弁を連通
させることができる。従って、パイロットエア流路の曲
がりにより生じる圧損が減少し、流路の長さも短いの
で、パイロットエアの流れの損失が少なくなり、主弁の
切換え応答性が向上する。The air pilot type solenoid valve having the above configuration operates as follows. That is, the operator valve having the common structure is displaced stepwise, so that one operator valve is arranged at the same height as the piston chamber of the main valve and another operator valve is arranged at the same height as the pilot air flow path of the main valve. Therefore, the piston chamber of the main valve and the operator valve can be communicated with each other at the shortest distance without providing a bend in the pilot air flow path. Therefore, the pressure loss caused by the bending of the pilot air flow path is reduced and the length of the flow path is short, so that the loss of the flow of the pilot air is reduced and the switching response of the main valve is improved.
【００１３】また、２つのオペレータ弁を同一の駆動方
向に配置することで、電装部において省スペースの中で
電気配線の処理ができる。従って、電気配線の処理が容
易になり、製造コストを低減させることが可能となる。
さらには、電気配線が短いので信頼性も向上する。Further, by arranging the two operator valves in the same driving direction, it is possible to process the electric wiring in the electric equipment in a space-saving manner. Therefore, the processing of the electric wiring is facilitated, and the manufacturing cost can be reduced.
Further, the reliability is improved because the electric wiring is short.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るエアーパイロ
ット形電磁弁について、具体化した実施の形態を挙げ、
図面に基づいて詳細に説明する。図１、図２に本発明の
１実施の形態であるエアーパイロット形電磁弁を示す。
図１はエアーパイロット形電磁弁の断面図、図２は同斜
視図である。エアーパイロット形電磁弁１は、図１に示
すように、スプール１０を内蔵した主弁２とエア通路ブ
ロック５、２つのオペレータ弁３ａ、３ｂ及び電装部４
から構成されている。主弁２は給気ポートＰ、２つの排
気ポートＲＡ、ＲＢ及び２つの出力ポートＡ、Ｂを備え
た５ポート弁であり、両端にピストン室６ａと６ｂを備
えている。このピストン室６ａまたは６ｂにパイロット
エアを供給して、エア圧によりスプール１０を動かし
て、主弁における流路の切換えを行なっている。よっ
て、主弁の切換え応答性は、パイロットエアの供給速度
に大きく影響される。従って、本発明に係る片側ソレノ
イドタイプのエアーパイロット形電磁弁では、パイロッ
トエアの流れに大きく損失を与える、オペレータ弁と主
弁との間に設けられたパイロットエア流路の形状や長さ
が重要になる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, concrete embodiments of an air pilot type solenoid valve according to the present invention will be described.
This will be described in detail with reference to the drawings. 1 and 2 show an air pilot type solenoid valve according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a sectional view of an air pilot type solenoid valve, and FIG. 2 is a perspective view of the same. As shown in FIG. 1, the air pilot type solenoid valve 1 includes a main valve 2 having a built-in spool 10, an air passage block 5, two operator valves 3 a and 3 b, and an electrical component 4.
It is composed of The main valve 2 is a five-port valve having an air supply port P, two exhaust ports RA and RB, and two output ports A and B, and has piston chambers 6a and 6b at both ends. The pilot air is supplied to the piston chamber 6a or 6b, and the spool 10 is moved by the air pressure to switch the flow path in the main valve. Therefore, the switching response of the main valve is greatly affected by the supply speed of the pilot air. Therefore, in the one-sided solenoid type air pilot type solenoid valve according to the present invention, the shape and length of the pilot air flow path provided between the operator valve and the main valve, which cause a large loss in the flow of pilot air, are important. become.
【００１５】エア通路ブロック５には貫通した３本のパ
イロットエア流路、すなわち給気流路７、排気流路８及
び出力流路９が直線的に形成されている。そして、ピス
トン室６ａは直接オペレータ弁３ａに、ピストン室６ｂ
はエア通路ブロック５を介してオペレータ弁３ｂに、そ
れぞれパイロットエア流路にて連通している。エア通路
ブロック５は樹脂成形品であり、パイロットエアの流路
は成形金型の両方に設けられたピンによって成形されて
いる。本実施の形態ではパイロットエアの流路に僅かな
ズレがあるが、ズレをなくして直線的に構成することは
もちろん可能である。また、エア通路ブロック５に形成
されているパイロットエアの流路の断面は、角形状であ
り、１ｍｍ2 以上の面積を有するように作られている。In the air passage block 5, three pilot air passages penetrating, namely, an air supply passage 7, an exhaust passage 8 and an output passage 9 are formed linearly. The piston chamber 6a is directly connected to the operator valve 3a and the piston chamber 6b
Are respectively connected to the operator valve 3b via the air passage block 5 in a pilot air flow path. The air passage block 5 is a resin molded product, and the flow path of the pilot air is molded by pins provided on both molding dies. In the present embodiment, there is a slight deviation in the flow path of the pilot air, but it is of course possible to eliminate the deviation and form a straight line. The cross section of the pilot air flow passage formed in the air passage block 5 has a square shape and is made to have an area of 1 mm 2 or more.
【００１６】また、オペレータ弁３ａは直接主弁２に、
オペレータ弁３ｂはエア通路ブロック５を介して主弁２
に、それぞれ固定ネジにより取り付けられている。オペ
レータ弁３ａと３ｂは同一部品であり、オペレータ弁３
ｂは主弁２のパイロットエア流路１１及び１２と同じ高
さに、オペレータ弁３ａは主弁２のピストン室６ａと同
じ高さになるように、オペレータ弁３ａと３ｂは段違い
に配置されている。従って、主弁とオペレータ弁との間
のパイロットエア流路に曲がりを設けることなく、主弁
のピストン室とオペレータ弁を連通させることができ
る。そして、段違いにずらした部分にエア通路ブロック
５を取り付け、オペレータ弁３ｂとピストン室６ｂとを
連通させている。よって、主弁２とオペレータ弁３ｂと
の間に形成されたパイロットエア流路が直線的に形成さ
れているので、長さも最短になり、かつ曲がりにより生
じる圧損も減少しているので、主弁２からオペレータ弁
３ｂへ供給するパイロットエアの流れの損失を最小に抑
えることができる。また、オペレータ弁３ａと主弁２と
は直接取り付けられているので、オペレータ弁３ａとピ
ストン室６ａとは最短距離で連通しているため、パイロ
ットエアの流れの損失は非常に少ない。The operator valve 3a is directly connected to the main valve 2,
The operator valve 3b is connected to the main valve 2 via the air passage block 5.
Are attached by fixing screws. The operator valves 3a and 3b are the same parts, and the operator valve 3
The operator valves 3a and 3b are arranged stepwise so that b is the same height as the pilot air flow paths 11 and 12 of the main valve 2 and the operator valve 3a is the same height as the piston chamber 6a of the main valve 2. I have. Therefore, the piston chamber of the main valve and the operator valve can be communicated without providing a bend in the pilot air flow path between the main valve and the operator valve. Then, the air passage block 5 is attached to a portion shifted in a stepwise manner so that the operator valve 3b and the piston chamber 6b communicate with each other. Therefore, since the pilot air flow path formed between the main valve 2 and the operator valve 3b is formed linearly, the length becomes the shortest, and the pressure loss caused by bending is reduced. The loss of the flow of the pilot air supplied from 2 to the operator valve 3b can be minimized. Further, since the operator valve 3a and the main valve 2 are directly attached, the operator valve 3a and the piston chamber 6a communicate with each other at the shortest distance, so that the loss of the flow of the pilot air is very small.
【００１７】ここで、オペレータ弁３ａ（または３ｂ）
の構造を図３、図４及び図５に基づいて説明する。図
３、図４はオペレータ弁３ａの断面図であり、図３は通
電していない状態を、図４は通電している状態を示して
いる。また、図５はオペレータ弁３ａの分解斜視図であ
る。Here, the operator valve 3a (or 3b)
Will be described with reference to FIGS. 3, 4, and 5. FIG. 3 and 4 are cross-sectional views of the operator valve 3a. FIG. 3 shows a state where power is not supplied, and FIG. 4 shows a state where power is supplied. FIG. 5 is an exploded perspective view of the operator valve 3a.
【００１８】オペレータ弁３ａ（または３ｂ）には、図
３に示すように、弁体部８０とコイル部８１から構成さ
れている。その構成を図５を用いて説明する。オペレー
タ弁３ａは、バネ８８を介し、弁シート５３、弁ガイド
９０及び弁座８９を一体にして、下方から弁体ブロック
８３に加工された穴に挿入して構成された弁体部８０
と、電磁石９１にばね５７を介してプランジャ５４を挿
入して構成されたコイル部８１とが接続され構成されて
いる。As shown in FIG. 3, the operator valve 3a (or 3b) comprises a valve body 80 and a coil 81. The configuration will be described with reference to FIG. The operator valve 3a is formed by integrating a valve seat 53, a valve guide 90, and a valve seat 89 via a spring 88, and inserting the valve seat 53 into a hole formed in the valve block 83 from below.
And a coil portion 81 formed by inserting the plunger 54 into the electromagnet 91 via the spring 57.
【００１９】さらに、各々の構成部品について説明す
る。弁体ブロック８３には、図３に示すように、パイロ
ットエアの流路すなわちパイロット給気ポート５０、パ
イロット排気ポート５１及びパイロット出力ポート５２
が形成され、また、バネ８８、弁シート５３、弁ガイド
９０及び弁座８９を嵌入するために中央付近まで穴加工
されている。さらに、中央部の両端に主弁２との取付け
に使用するネジ用の貫通穴６０が形成されている。Further, each component will be described. As shown in FIG. 3, the valve block 83 includes a pilot air flow path, that is, a pilot air supply port 50, a pilot exhaust port 51, and a pilot output port 52.
And a hole is formed near the center to fit the spring 88, the valve seat 53, the valve guide 90, and the valve seat 89. Further, through holes 60 for screws used for mounting to the main valve 2 are formed at both ends of the central portion.
【００２０】バネ８８は圧縮状態で弁体ブロック８３内
に固定されているので、弁５３を下方へ押し付けてい
る。弁シート５３は３段構成の円盤形状のもので、中段
部が一番大きく、下段部、上段部は中段部より小さくな
っている。さらに、弁シート５３は上段部の上面でパイ
ロット給気ポート５０を、下段部の下面でパイロット排
気ポート５１を閉鎖する。そして、中段部の下面を弁ガ
イド９０に支持されている。すなわち、弁５３の下段部
は弁ガイド９０の中に入った状態になっている。弁ガイ
ド９０は円形の蓋状のもので、下部に２本の脚を持って
いる。蓋状部分で弁シート５３を支持し、脚部でプラン
ジャ５４の上面と接している。Since the spring 88 is fixed in the valve block 83 in a compressed state, the spring 88 presses the valve 53 downward. The valve seat 53 is of a three-stage disk shape, with the middle section being the largest, and the lower and upper sections being smaller than the middle section. Further, the valve seat 53 closes the pilot air supply port 50 on the upper surface of the upper stage and the pilot exhaust port 51 on the lower surface of the lower stage. The lower surface of the middle portion is supported by the valve guide 90. That is, the lower portion of the valve 53 is in the valve guide 90. The valve guide 90 has a circular lid shape and has two legs at the bottom. The valve seat 53 is supported by the lid portion, and is in contact with the upper surface of the plunger 54 at the leg.
【００２１】弁座８９は円柱形状のもので、外側に３段
の溝があり１段目と３段目の溝にはＯリングを備えてい
る。また、内側には弁ガイド９０及びプランジャ５４を
嵌入かつ摺動できるように上下から穴加工がなされて、
その断面は、図３に示すように、Ｈ型の形状になってい
る。そして、穴加工されていない部分にパイロットエア
流路が形成され、この流路は２段目の溝を介して、弁体
ブロック８３のパイロット排気ポート５１に連通する。
さらに、この部分に弁ガイド９０の脚が摺動できるよう
な貫通穴が形成されていて、弁ガイド９０の脚部とプラ
ンジャ５４の上面が接して、バネ５７とバネ８８の力に
より、これらが一体的に摺動することが可能となってい
る。弁座８９は弁体ブロック８３と電磁石９１の接続に
より固定され、１段目と３段目に備わるＯリングによっ
てパイロットエアの洩れを防いでいる。The valve seat 89 has a cylindrical shape and has three steps of grooves on the outside, and the first and third steps have O-rings. Also, holes are formed from above and below so that the valve guide 90 and the plunger 54 can be fitted and slid on the inside.
The cross section has an H shape as shown in FIG. Then, a pilot air flow path is formed in a portion where no hole is formed, and this flow path communicates with the pilot exhaust port 51 of the valve block 83 through a second-stage groove.
Further, a through hole is formed in this portion so that the leg of the valve guide 90 can slide, and the leg of the valve guide 90 and the upper surface of the plunger 54 are in contact with each other. It is possible to slide integrally. The valve seat 89 is fixed by the connection between the valve block 83 and the electromagnet 91, and leakage of pilot air is prevented by O-rings provided at the first and third stages.
【００２２】プランジャ５４は円柱形状の鉄心であり、
バネ５７により上方へ押し付けられていて、コイル５５
に通電することで発生する吸引力で下方へ動く。バネ５
７の力はバネ８８の力より強いので、プランジャ５４が
上方に押し付けられるとともに、弁ガイド９０及び弁シ
ート５３も上方へ押し付けられている。The plunger 54 is a cylindrical iron core.
Pressed upward by a spring 57, the coil 55
It moves downward by the suction force generated by energizing. Spring 5
7 is stronger than the force of the spring 88, the plunger 54 is pressed upward, and the valve guide 90 and the valve seat 53 are also pressed upward.
【００２３】上記のように構成されたオペレータ弁３ａ
（または３ｂ）は次のように作用する。まず、コイル５
５に通電していない状態では、図３に示すように、プラ
ンジャ５４がバネ５７により上方へ押し付けられてい
る。このとき、バネ８８の力よりもばね５７の力が強い
ために、プランジャ５４により弁ガイド９０及び弁５３
が上方へ押し付けられている。よって、弁シート５３に
よりパイロット給気ポート５０が閉鎖され、パイロット
エアの流路として、パイロット出力ポート５２とパイロ
ット排気ポート５１が連通することになる。The operator valve 3a configured as described above
(Or 3b) acts as follows. First, coil 5
When power is not supplied to 5, the plunger 54 is pressed upward by the spring 57, as shown in FIG. At this time, since the force of the spring 57 is stronger than the force of the spring 88, the valve guide 90 and the valve 53
Is pressed upward. Therefore, the pilot air supply port 50 is closed by the valve seat 53, and the pilot output port 52 and the pilot exhaust port 51 communicate as a flow path of the pilot air.
【００２４】そして、コイル５５に通電すると、図４に
示すように、コイル５５の吸引力がばね５７の力より強
いので、プランジャ５４が下方へ動く。すると、バネ８
８の力により弁シート５３及び弁ガイド９０が下方へ動
く。よって、パイロット給気ポートが開放され、パイロ
ット排気ポート５１が閉鎖される。従って、パイロット
エアの流路が切り替わり、パイロット給気ポート５０と
パイロット出力ポート５２が連通することになる。そし
て、パイロットエアがオペレータ弁３ａ（または３ｂ）
より出力され、主弁２のピストン室６ａ（または６ｂ）
に供給される。When the coil 55 is energized, the plunger 54 moves downward because the attraction of the coil 55 is stronger than the force of the spring 57, as shown in FIG. Then, the spring 8
The force of 8 moves the valve seat 53 and the valve guide 90 downward. Therefore, the pilot air supply port is opened and the pilot exhaust port 51 is closed. Therefore, the flow path of the pilot air is switched, and the pilot air supply port 50 and the pilot output port 52 communicate with each other. Then, the pilot air is supplied to the operator valve 3a (or 3b).
Output from the piston chamber 6a (or 6b) of the main valve 2.
Supplied to
【００２５】以上説明した部品により構成されたエアー
パイロット形電磁弁１における作動エアの流れについて
説明する。オペレータ弁３ａと３ｂに通電していないと
きについて説明する。メインの流路については、図１に
示すように、主弁２の給気ポートＰと出力ポートＡが、
出力ポートＢと排気ポートＲＢが連通している。また、
給気ポートＰより供給されたパイロットエアは、図１中
の斜線で示すように、主弁２のパイロット給気流路１１
から、それぞれのオペレータ弁３ａ及び３ｂのパイロッ
ト給気ポート５０に流れる。このとき、図３に示すよう
に、弁シート５３によりパイロット給気ポート５０が閉
鎖されているので、パイロットエアはここで留まる。The flow of the operating air in the air pilot type solenoid valve 1 constituted by the components described above will be described. A case where the operator valves 3a and 3b are not energized will be described. As for the main flow path, as shown in FIG. 1, the supply port P and the output port A of the main valve 2
The output port B and the exhaust port RB communicate with each other. Also,
The pilot air supplied from the air supply port P, as shown by hatching in FIG.
From the pilot air supply port 50 of each of the operator valves 3a and 3b. At this time, as shown in FIG. 3, since the pilot air supply port 50 is closed by the valve seat 53, the pilot air remains here.
【００２６】まず、オペレータ弁３ａに通電したときに
ついて説明する。コイル５５に通電すると前述した通
り、図４に示すように、コイル５５の吸引力によりプラ
ンジャ５４が下方へ動き、バネ８８の力で弁シート５３
が下方へ動く。弁シート５３が下方へ動くことにより、
パイロット給気ポート５０が開放され、パイロット排気
ポート５１が閉鎖される。従ってパイロット給気ポート
５０とパイロット出力ポート５２が連通することにな
る。すると、パイロットエアはパイロット出力ポート５
２から主弁２のピストン室６ａに供給される（図６中の
斜線部参照）。その結果、エア圧によりスプール１０が
動き、図６に示すように、給気ポートＰと出力ポートＡ
とが、出力ポートＢと排気ポートＲＢとがそれぞれ連通
して流路が切り替わる。First, the case where the operator valve 3a is energized will be described. When the coil 55 is energized, as described above, the plunger 54 moves downward due to the attraction force of the coil 55 as shown in FIG.
Moves down. As the valve seat 53 moves downward,
The pilot air supply port 50 is opened, and the pilot exhaust port 51 is closed. Therefore, the pilot air supply port 50 and the pilot output port 52 communicate with each other. Then, the pilot air goes to the pilot output port 5
2 to the piston chamber 6a of the main valve 2 (see the hatched portion in FIG. 6). As a result, the spool 10 moves by the air pressure, and as shown in FIG.
Then, the output port B and the exhaust port RB communicate with each other to switch the flow path.
【００２７】このとき、オペレータ弁３ａからピストン
室６ａへのパイロットエアの供給時間は、実公平７−２
６８０９号の考案と比較して短くなる。なぜならば、本
実施の形態では、実公平７−２６８０９号の考案のよう
にプレートを介さずに、オペレータ弁３ａは主弁２に直
接取り付けられているために、パイロットエアの流路が
短くなり、かつ曲がりにより生じる圧損も減少している
ので、パイロットエアの流れの損失が少ないからであ
る。At this time, the supply time of the pilot air from the operator valve 3a to the piston chamber 6a depends on the actual time 7-2.
6809 is shorter than invented. This is because, in the present embodiment, since the operator valve 3a is directly attached to the main valve 2 without using a plate as in the invention of Japanese Utility Model Publication No. Hei 7-26809, the flow path of the pilot air is shortened. In addition, since the pressure loss caused by the bending is also reduced, the loss of the flow of the pilot air is small.
【００２８】次に、オペレータ弁３ｂに通電したときに
ついて説明する。上記したと同様に、オペレータ弁３ｂ
が作動して、パイロットエアはエア通路ブロック５の出
力流路９と主弁２の出力流路１２を通り、ピストン室６
ｂに供給される（図７中の斜線部参照）。その結果、ス
プール１０が動き、図７に示すように、給気ポートＰと
出力ポートＢとが、出力ポートＡと排気ポートＲＡとが
それぞれ連通して流路が切り替わる。Next, a case where the operator valve 3b is energized will be described. As described above, the operator valve 3b
Is operated, the pilot air passes through the output passage 9 of the air passage block 5 and the output passage 12 of the main valve 2 and passes through the piston chamber 6.
b (see the hatched portion in FIG. 7). As a result, the spool 10 moves, and as shown in FIG. 7, the air supply port P and the output port B communicate with the output port A and the exhaust port RA, and the flow path is switched.
【００２９】このとき、オペレータ弁３ｂからピストン
室６ｂへのパイロットエアの供給時間も、実公平７−２
６８０９号の考案と比較して短くなる。なぜならば、本
実施の形態では、実公平７−２６８０９号の考案のよう
にプレートを介しているが、このプレート内に設けられ
たパイロットエアの流路が直線的に形成されているの
で、流路の長さが最短になり、かつ曲がりにより生じる
圧損も減少しているので、パイロットエアの流れの損失
が少なくなるからである。At this time, the supply time of the pilot air from the operator valve 3b to the piston chamber 6b also depends on the actual time 7-2.
6809 is shorter than invented. This is because, in the present embodiment, the plate is interposed as in the invention of Japanese Utility Model Publication No. Hei 7-26809, but since the flow path of the pilot air provided in this plate is formed linearly, This is because the path length is minimized and the pressure loss caused by the bending is also reduced, so that the loss of the flow of the pilot air is reduced.
【００３０】オペレータ弁３ａと３ｂとを同時に通電さ
せることも可能ではあるが、実際の使用においては、
（１）オペレータ弁３ａ、３ｂともに非通電、（２）オ
ペレータ弁３ａに通電、オペレータ弁３ｂは非通電、
（３）オペレータ弁３ｂに通電、オペレータ弁３ａは非
通電の３パターンによりエアーパイロット形電磁弁を作
動させている。Although it is possible to energize the operator valves 3a and 3b at the same time, in actual use,
(1) The operator valves 3a and 3b are not energized, (2) the operator valve 3a is energized, the operator valve 3b is not energized,
(3) The air pilot type solenoid valve is operated by three patterns of energization of the operator valve 3b and non-energization of the operator valve 3a.
【００３１】近年、弁の切換え応答性の向上が要求され
ているが、この３パターンのパイロットエア切換え時
間、すなわち、オペレータ電磁弁の応答時間はおよそ５
ｍｓｅｃ以下で高速応答することができる。そのため、
エアーパイロット形電磁弁が２０ｍｓｅｃ以下の応答に
追従できるように、このオペレータ弁の応答により切り
換えられるパイロットエアを、オペレータ弁から主弁の
ピストン室へより高速に供給することが要求されてい
る。片側ソレノイドタイプのエアーパイロット形電磁弁
は、電気配線の集中化に有利であるが、オペレータ弁を
配置しない側のピストン室（本実施の形態ではピストン
室６ｂ）へパイロットエアを供給するには不利である。
従って、パイロットエアをオペレータ弁から主弁のピス
トン室へ供給する際に、極力流れの損失を小さくするこ
とが非常に重要になっている。In recent years, it has been required to improve the switching response of the valve. However, the pilot air switching time of these three patterns, that is, the response time of the operator solenoid valve is about 5 times.
High-speed response can be achieved in less than msec. for that reason,
It is required that the pilot air switched by the response of the operator valve be supplied from the operator valve to the piston chamber of the main valve at a higher speed so that the air pilot type solenoid valve can follow the response of 20 msec or less. The one-side solenoid type air pilot type solenoid valve is advantageous for centralizing electric wiring, but is disadvantageous for supplying pilot air to the piston chamber (the piston chamber 6b in the present embodiment) on which the operator valve is not disposed. It is.
Therefore, it is very important to minimize the flow loss when supplying pilot air from the operator valve to the piston chamber of the main valve.
【００３２】以上説明した通り本実施の形態のエアーパ
イロット形電磁弁によれば、オペレータ弁６ａと６ｂを
段違いにずらして配置することで、共通構造のオペレー
タ弁を使用して、主弁２のピストン室６ａと同じ高さに
１つのオペレータ弁６ａを、主弁２のパイロットエア流
路１１、１２と同じ高さにもう１つのオペレータ弁６ｂ
を配置することでき、パイロットエア流路に曲がりを設
けることなく、最短距離で主弁２のピストン室６ａ及び
６ｂと、オペレータ弁３ａ及び３ｂを連通させることが
できる。よって、パイロットエア流路の曲がりにより生
じる圧損を減少させ、かつ流路の長さを短くしたので、
パイロットエアの流れの損失を小さくできる。従って、
電磁弁の高速応答に追従して、パイロットエアをピスト
ン室へ供給でき、主弁の切換え応答性を向上させること
ができる。また、２つのオペレータ弁６ａ、６ｂを同一
の駆動方向に配置することで、電装部４において省スペ
ースの中で、電気配線の処理ができる。従って、電気配
線が短くなり配線処理が容易になるため、製造コストを
低減させることが可能となる。さらには、電気配線が短
いので信頼性面で有利になる。As described above, according to the air pilot type solenoid valve of the present embodiment, the operator valves 6a and 6b are arranged at different levels so that the operator valve having a common structure can be used and the main valve 2 can be used. One operator valve 6a is set at the same height as the piston chamber 6a, and another operator valve 6b is set at the same height as the pilot air passages 11 and 12 of the main valve 2.
The piston chambers 6a and 6b of the main valve 2 can be communicated with the operator valves 3a and 3b at the shortest distance without providing a bend in the pilot air flow path. Therefore, since the pressure loss caused by the bending of the pilot air flow path has been reduced and the length of the flow path has been shortened,
Pilot air flow loss can be reduced. Therefore,
The pilot air can be supplied to the piston chamber following the high-speed response of the solenoid valve, and the switching response of the main valve can be improved. Further, by arranging the two operator valves 6a and 6b in the same driving direction, it is possible to process electric wiring in the electrical component unit 4 in a small space. Therefore, the electrical wiring is shortened and the wiring processing is facilitated, so that the manufacturing cost can be reduced. Further, since the electric wiring is short, it is advantageous in reliability.
【００３３】以上本発明の実施の形態について説明した
が、本発明は、上記実施の形態に限ることなく、色々な
応用が可能である。すなわち、例えば本実施の形態では
ダブルソレノイドタイプのエアーパイロット形電磁弁で
あるが、エア通路ブロックの代わりにエア遮へいブロッ
クを取り付ければ、シングルソレノイドタイプとして使
用することも可能である。Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various applications are possible. That is, for example, in this embodiment, a double solenoid type air pilot type solenoid valve is used, but if an air shielding block is attached instead of the air passage block, it can be used as a single solenoid type.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明のエアーパイロット形電磁弁によ
れば、パイロットエアを制御するためのオペレータ弁と
その制御信号を出す電装部とを有するパイロットエア制
御弁と、パイロットエアにより駆動されるポペット弁ま
たはスプール弁との組合せで構成されており、パイロッ
トエア制御弁が、前記ポペット弁またはスプール弁の摺
動方向に対して、直交する方向に摺動するように共通構
造のオペレータ弁が２つ配置されるダブルソレノイドタ
イプの電磁弁において、前記オペレータ弁が段違いにず
れて配置されているので、オペレータ弁と主弁のピスト
ン室とのパイロットエア流路を直線的に最短距離で設け
ることができる。従って、パイロットエア流路の曲がり
により生じる圧損を減少させ、かつ流路の長さを短くし
たので、パイロットエアの流れの損失が小さくなり、主
弁の切換え応答性が向上する。また、オペレータ弁を同
一駆動方向に配置することで電装部の配線処理が容易に
なること、及びエアーパイロット形電磁弁で最も精度の
要求されるオペレータ弁を共通化することにより製造コ
ストの低減を可能にする。According to the air pilot type solenoid valve of the present invention, a pilot air control valve having an operator valve for controlling pilot air and an electric component for outputting the control signal, and a poppet driven by the pilot air And two pilot valves having a common structure such that the pilot air control valve slides in a direction orthogonal to the sliding direction of the poppet valve or the spool valve. In the solenoid valve of the double solenoid type to be arranged, since the operator valve is arranged so as to be displaced stepwise, the pilot air flow path between the operator valve and the piston chamber of the main valve can be linearly provided at the shortest distance. . Accordingly, since the pressure loss caused by the bending of the pilot air flow path is reduced and the length of the flow path is shortened, the loss of the flow of the pilot air is reduced, and the switching response of the main valve is improved. In addition, by arranging the operator valves in the same driving direction, wiring processing of the electrical unit becomes easy, and manufacturing cost is reduced by using the same operator valve that requires the highest accuracy in the air pilot type solenoid valve. to enable.
【図１】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の断面
図である。FIG. 1 is a sectional view of an air pilot type solenoid valve according to the present invention.
【図２】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の斜視
図である。FIG. 2 is a perspective view of an air pilot type solenoid valve according to the present invention.
【図３】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の構成
部品であるオペレータ弁の断面図であり、電磁コイルに
通電していない状態を示している。FIG. 3 is a cross-sectional view of an operator valve which is a component of the air pilot type solenoid valve according to the present invention, and shows a state where power is not supplied to an electromagnetic coil.
【図４】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の構成
部品であるオペレータ弁の断面図であり、電磁コイルに
通電している状態を示している。FIG. 4 is a cross-sectional view of an operator valve which is a component of the air pilot type solenoid valve according to the present invention, and shows a state in which an electromagnetic coil is energized.
【図５】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の構成
部品であるオペレータ弁の分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of an operator valve which is a component of the air pilot type solenoid valve according to the present invention.
【図６】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の断面
図で、オペレータ弁３ａに通電した状態を示す。FIG. 6 is a cross-sectional view of the air pilot type solenoid valve according to the present invention, showing a state in which the operator valve 3a is energized.
【図７】本発明に係るエアーパイロット形電磁弁の断面
図で、オペレータ弁３ｂに通電した状態を示す。FIG. 7 is a cross-sectional view of an air pilot type solenoid valve according to the present invention, showing a state where power is supplied to an operator valve 3b.
【図８】従来のエアーパイロット形電磁弁の断面図であ
る。FIG. 8 is a sectional view of a conventional air pilot type solenoid valve.
１ エアーパイロット形電磁弁 ２ 主弁 ３ａ、３ｂ オペレータ弁 ４ 電装部 ５ エア通路ブロック ６ａ、６ｂ ピストン室 １０ スプール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Air pilot type solenoid valve 2 Main valve 3a, 3b Operator valve 4 Electrical equipment 5 Air passage block 6a, 6b Piston chamber 10 Spool
Claims (2)
ータ弁とその制御信号を出す電装部とを有するパイロッ
トエア制御弁と、前記パイロットエアにより駆動される
ポペット弁またはスプール弁との組合せで構成されてお
り、 前記パイロットエア制御弁が、前記ポペット弁またはス
プール弁の摺動方向に対して、直交する方向に摺動する
よう共通構造のオペレータ弁が２つ配置されるダブルソ
レノイドタイプの電磁弁において、 前記オペレータ弁が段違いにずれて配置されていること
を特徴とするエアーパイロット形電磁弁。1. A pilot air control valve having an operator valve for controlling pilot air and an electrical unit for outputting a control signal therefor, and a combination of a poppet valve or a spool valve driven by the pilot air. A double solenoid type solenoid valve in which two pilot valves having a common structure are arranged so that the pilot air control valve slides in a direction orthogonal to a sliding direction of the poppet valve or the spool valve; An air-pilot type solenoid valve, wherein the operator valve is arranged so as to be staggered.
電磁弁において、 前記２つのオペレータ弁が同一の駆動方向に配置されて
いることを特徴とするエアーパイロット形電磁弁。2. The air pilot type solenoid valve according to claim 1, wherein said two operator valves are arranged in the same driving direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16129496A JPH109433A (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Air pilot type solenoid valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16129496A JPH109433A (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Air pilot type solenoid valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH109433A true JPH109433A (en) | 1998-01-13 |
Family
ID=15732381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16129496A Pending JPH109433A (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Air pilot type solenoid valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH109433A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097743A (en) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Nabco Ltd | Multiple directional control valve of construction machine |
| JP2004360796A (en) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Ckd Corp | Solenoid for solenoid valve, and solenoid valve |
| JP2008267412A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Ckd Corp | Solenoid valve |
| JP2018076941A (en) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | アズビルＴａｃｏ株式会社 | solenoid valve |
-
1996
- 1996-06-21 JP JP16129496A patent/JPH109433A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003097743A (en) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Nabco Ltd | Multiple directional control valve of construction machine |
| JP2004360796A (en) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Ckd Corp | Solenoid for solenoid valve, and solenoid valve |
| JP2008267412A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Ckd Corp | Solenoid valve |
| JP4620703B2 (en) * | 2007-04-16 | 2011-01-26 | シーケーディ株式会社 | solenoid valve |
| JP2018076941A (en) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | アズビルＴａｃｏ株式会社 | solenoid valve |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3842860A (en) | Three-way valve for fluids | |
| US5437306A (en) | Double-solenoid type electromagnetic valve | |
| US5915409A (en) | Manifold | |
| US6158713A (en) | Electromagnetic valve | |
| EP0687843A1 (en) | Balanced type direct-acting electromagnetic valve | |
| IT9067954A1 (en) | HIGH SPEED THREE-WAY SOLENOID VALVE FOR A PRESSURIZED FLUID, FOR EXAMPLE FOR COMPRESSED AIR CIRCUITS | |
| US20030102453A1 (en) | Solenoid-operated valve | |
| US11549608B2 (en) | Pilot-type electromagnetic valve | |
| JPH109433A (en) | Air pilot type solenoid valve | |
| CN108700206B (en) | Electromagnetic valve device and use thereof | |
| US4566490A (en) | Direct solenoid operated valve with minimal tolerance accumulation | |
| JPS63130977A (en) | Solenoid valve | |
| US11193600B2 (en) | Ultra-low carryover solenoid valve | |
| JPH03103685A (en) | 4-way 4-position electromagnetic pilot switching valve | |
| JP2703189B2 (en) | Three-way solenoid valve | |
| KR100715783B1 (en) | Poppet type micro valve with high speed characteristic | |
| JPH0735173Y2 (en) | Double solenoid type indirectly operated solenoid valve | |
| JPH05231558A (en) | Valve unit | |
| JPH07198054A (en) | Solenoid valve | |
| JP2667780B2 (en) | Pilot operated solenoid valve | |
| KR200407542Y1 (en) | Directional valve for refrigerant | |
| JPH0477840B2 (en) | ||
| JPH0641034Y2 (en) | Self-holding solenoid switching valve | |
| CN210318649U (en) | Gas path switching valve | |
| JPH102433A (en) | Manifold |