JPH1090114A - レンズ評価装置 - Google Patents
レンズ評価装置Info
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- JPH1090114A JPH1090114A JP9199654A JP19965497A JPH1090114A JP H1090114 A JPH1090114 A JP H1090114A JP 9199654 A JP9199654 A JP 9199654A JP 19965497 A JP19965497 A JP 19965497A JP H1090114 A JPH1090114 A JP H1090114A
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 干渉縞上にノイズが生じても、そのノイズの
影響を容易に取り除くことにより、被検レンズの形状検
査やレンズ内部の均質性検査等の評価を正確に行うこと
ができるレンズ評価装置を提供する。 【解決手段】 参照面部材６を介して被検レンズ７にレ
ーザ光を照射して、被検レンズ７からの被検光と参照面
部材６からの参照光とにより生じる干渉縞を、受光光路
ｂに設けられたテレビカメラ１０で読み取り、その読み
取った干渉縞を画像処理装置１１で画像処理し、その処
理結果から被検レンズ７の評価を行うレンズ評価装置に
おいて、受光光路ｂの途中に光量減衰用光学部材として
例えばＮＤフィルタ１３を設ける。または、画像処理装
置１１で画像処理する際に、干渉縞のノイズとなる部分
をマスクし、そのマスクした以外の部分で評価を行うよ
う構成することもできる。
影響を容易に取り除くことにより、被検レンズの形状検
査やレンズ内部の均質性検査等の評価を正確に行うこと
ができるレンズ評価装置を提供する。 【解決手段】 参照面部材６を介して被検レンズ７にレ
ーザ光を照射して、被検レンズ７からの被検光と参照面
部材６からの参照光とにより生じる干渉縞を、受光光路
ｂに設けられたテレビカメラ１０で読み取り、その読み
取った干渉縞を画像処理装置１１で画像処理し、その処
理結果から被検レンズ７の評価を行うレンズ評価装置に
おいて、受光光路ｂの途中に光量減衰用光学部材として
例えばＮＤフィルタ１３を設ける。または、画像処理装
置１１で画像処理する際に、干渉縞のノイズとなる部分
をマスクし、そのマスクした以外の部分で評価を行うよ
う構成することもできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレンズ評価装置に係
り、特に複数の焦点を持つレンズの透過波面の評価に好
適なレンズ評価装置に関する。
り、特に複数の焦点を持つレンズの透過波面の評価に好
適なレンズ評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レンズの透過波面の評価を行うレンズ評
価装置としては、光の干渉を利用したものが一般的に知
られている。このようなレンズ評価装置においては、例
えばフィゾー干渉計では参照面が配置された被検光路に
被検レンズをセットし、参照面と被検レンズにレーザー
光を照射して、被検レンズからの被検光と参照面からの
参照光を受光するとともに、受光した被検光と参照光と
により生じる干渉縞を撮像手段によって読み取るよう構
成されている。読み取った干渉縞は画像処理された後
に、例えばテレビモニタに表示される。そして、テレビ
モニタに表示された干渉縞に基づいて、被検レンズの形
状検査やレンズ内部の均質性検査等の評価を行うことが
できる。
価装置としては、光の干渉を利用したものが一般的に知
られている。このようなレンズ評価装置においては、例
えばフィゾー干渉計では参照面が配置された被検光路に
被検レンズをセットし、参照面と被検レンズにレーザー
光を照射して、被検レンズからの被検光と参照面からの
参照光を受光するとともに、受光した被検光と参照光と
により生じる干渉縞を撮像手段によって読み取るよう構
成されている。読み取った干渉縞は画像処理された後
に、例えばテレビモニタに表示される。そして、テレビ
モニタに表示された干渉縞に基づいて、被検レンズの形
状検査やレンズ内部の均質性検査等の評価を行うことが
できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術では、複数の焦点を持つ被検レンズを評価する
際に、テレビモニタに表示された干渉縞上にノイズとし
ての干渉縞が重なってしまい、評価が不可能となる。例
えば、レンズ表面にホログラムが形成され２箇所に焦点
を結ぶことのできる２焦点レンズに、レーザ光を照射し
て干渉縞を生じさせると、テレビモニタには、図９のよ
うに測定対象の焦点による干渉縞の上に、他の焦点によ
る干渉縞が重なって表示される。このように２種類の干
渉縞が表示されていると、双方の干渉縞間の光強度差が
小さくなってしまい、測定対象の焦点による干渉縞の見
分けがつかなくなる。その結果、被検レンズの形状検査
やレンズ内部の均質性検査等の評価を正確に行うことが
できなくなるという問題点がある。
来の技術では、複数の焦点を持つ被検レンズを評価する
際に、テレビモニタに表示された干渉縞上にノイズとし
ての干渉縞が重なってしまい、評価が不可能となる。例
えば、レンズ表面にホログラムが形成され２箇所に焦点
を結ぶことのできる２焦点レンズに、レーザ光を照射し
て干渉縞を生じさせると、テレビモニタには、図９のよ
うに測定対象の焦点による干渉縞の上に、他の焦点によ
る干渉縞が重なって表示される。このように２種類の干
渉縞が表示されていると、双方の干渉縞間の光強度差が
小さくなってしまい、測定対象の焦点による干渉縞の見
分けがつかなくなる。その結果、被検レンズの形状検査
やレンズ内部の均質性検査等の評価を正確に行うことが
できなくなるという問題点がある。
【０００４】また、上記レンズ評価装置は、光学式情報
記録再生装置に搭載された対物レンズの傾き等を評価す
る際にも使用されているが、この場合、上述したような
問題点があると、対物レンズを高精度に調整するのが困
難であるとともに、その調整作業にも時間が掛かるとい
う問題点もある。
記録再生装置に搭載された対物レンズの傾き等を評価す
る際にも使用されているが、この場合、上述したような
問題点があると、対物レンズを高精度に調整するのが困
難であるとともに、その調整作業にも時間が掛かるとい
う問題点もある。
【０００５】本発明の目的は、干渉縞上にノイズが生じ
ても、そのノイズの影響を容易に取り除くことにより、
被検レンズの形状検査やレンズ内部の均質性検査等の評
価を正確に行うことができるレンズ評価装置を提供する
ことである。また、本発明の他の目的は、光学式情報記
録再生装置の対物レンズ等の調整を高精度に行うことが
できるレンズ評価装置を提供することである。
ても、そのノイズの影響を容易に取り除くことにより、
被検レンズの形状検査やレンズ内部の均質性検査等の評
価を正確に行うことができるレンズ評価装置を提供する
ことである。また、本発明の他の目的は、光学式情報記
録再生装置の対物レンズ等の調整を高精度に行うことが
できるレンズ評価装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、被検光路にセットされた
被検レンズからの被検光と参照光路からの参照光とによ
り生じる干渉縞を、受光光路に設けられた撮像手段によ
り読み取り、前記干渉縞を画像処理し、その処理結果か
らレンズの評価を行うレンズ評価装置において、前記受
光光路の途中に光量減衰用光学部材を設けたことを特徴
としている。
に、請求項１に記載の発明は、被検光路にセットされた
被検レンズからの被検光と参照光路からの参照光とによ
り生じる干渉縞を、受光光路に設けられた撮像手段によ
り読み取り、前記干渉縞を画像処理し、その処理結果か
らレンズの評価を行うレンズ評価装置において、前記受
光光路の途中に光量減衰用光学部材を設けたことを特徴
としている。
【０００７】上記構成によれば、光量減衰用光学部材に
よって、ノイズの部分の光量と測定対象の干渉縞の光量
との間に比較的大きな光強度差を生じさせることができ
るため、干渉縞とノイズとの見分けがつき易くなり、干
渉縞からノイズを容易に除去することができる。その結
果、被検レンズの形状検査やレンズ内部の均質性検査等
の評価を正確に行うことができる。
よって、ノイズの部分の光量と測定対象の干渉縞の光量
との間に比較的大きな光強度差を生じさせることができ
るため、干渉縞とノイズとの見分けがつき易くなり、干
渉縞からノイズを容易に除去することができる。その結
果、被検レンズの形状検査やレンズ内部の均質性検査等
の評価を正確に行うことができる。
【０００８】請求項２に記載の発明では、前記被検レン
ズは複数の焦点を持つレンズであることを特徴としてい
る。複数の焦点を持つ被検レンズを被検光路にセットし
た場合、測定対象の焦点による干渉縞と他の焦点による
干渉縞とが同時に生じ、他の焦点による干渉縞がノイズ
となるのであるが、このようなノイズは上記光量減衰用
光学部材によって容易に除去することができる。
ズは複数の焦点を持つレンズであることを特徴としてい
る。複数の焦点を持つ被検レンズを被検光路にセットし
た場合、測定対象の焦点による干渉縞と他の焦点による
干渉縞とが同時に生じ、他の焦点による干渉縞がノイズ
となるのであるが、このようなノイズは上記光量減衰用
光学部材によって容易に除去することができる。
【０００９】請求項３に記載の発明では、前記光量減衰
用光学部材はＮＤフィルタであることを特徴としてい
る。
用光学部材はＮＤフィルタであることを特徴としてい
る。
【００１０】また、請求項４に記載の発明は、被検光路
にセットされた被検レンズからの被検光と参照光路から
の参照光とにより生じる干渉縞を、受光光路に設けられ
た撮像手段により読み取り、前記干渉縞を画像処理し、
その処理結果からレンズの評価を行うレンズ評価装置に
おいて、前記干渉縞を画像処理する際に、干渉縞のノイ
ズとなる部分をマスクし、そのマスクした以外の部分で
評価を行う評価手段を設けたことを特徴としている。
にセットされた被検レンズからの被検光と参照光路から
の参照光とにより生じる干渉縞を、受光光路に設けられ
た撮像手段により読み取り、前記干渉縞を画像処理し、
その処理結果からレンズの評価を行うレンズ評価装置に
おいて、前記干渉縞を画像処理する際に、干渉縞のノイ
ズとなる部分をマスクし、そのマスクした以外の部分で
評価を行う評価手段を設けたことを特徴としている。
【００１１】上記構成によれば、読み取った干渉縞を画
像処理する際には、ノイズの部分が画像処理の対象から
取り除かれているので、ノイズの影響を受けずにレンズ
の評価を行うことができる。
像処理する際には、ノイズの部分が画像処理の対象から
取り除かれているので、ノイズの影響を受けずにレンズ
の評価を行うことができる。
【００１２】請求項５に記載の発明では、前記被検レン
ズは複数の焦点を持つレンズであることを特徴としてい
る。前述したように、複数の焦点を持つ被検レンズを被
検光路にセットした場合、他の焦点による干渉縞がノイ
ズとなるのであるが、このようなノイズは上記評価手段
によって容易に除去することができる。
ズは複数の焦点を持つレンズであることを特徴としてい
る。前述したように、複数の焦点を持つ被検レンズを被
検光路にセットした場合、他の焦点による干渉縞がノイ
ズとなるのであるが、このようなノイズは上記評価手段
によって容易に除去することができる。
【００１３】なお、評価手段によって評価を行う際に、
マスクした部分を除去してしまうと、干渉縞のデータ量
が少なくなってしまう恐れがある。そこで、請求項６に
記載の発明では、前記評価手段は、マスクした以外の部
分の干渉縞に基づいて、マスクをした部分の干渉縞を疑
似的に作成し、その作成結果を加味して前記被検レンズ
の評価を行うことを特徴としている。このように構成す
れば、マスクされた部分を、例えば直線近似や折れ線近
似の干渉縞で疑似的に補うことができ、レンズ評価の精
度を向上させることができる。
マスクした部分を除去してしまうと、干渉縞のデータ量
が少なくなってしまう恐れがある。そこで、請求項６に
記載の発明では、前記評価手段は、マスクした以外の部
分の干渉縞に基づいて、マスクをした部分の干渉縞を疑
似的に作成し、その作成結果を加味して前記被検レンズ
の評価を行うことを特徴としている。このように構成す
れば、マスクされた部分を、例えば直線近似や折れ線近
似の干渉縞で疑似的に補うことができ、レンズ評価の精
度を向上させることができる。
【００１４】請求項７に記載に発明では、前記被検レン
ズは、光学式情報記録再生装置に搭載される対物レンズ
であることを特徴としている。光学式情報記録再生装置
に対物レンズを搭載したとき、その対物レンズの傾きを
適正な状態に調整するのは煩わしいことであるが、本発
明のレンズ評価装置によれば、ノイズの影響が取り除か
れ、干渉縞がテレビモニタ等に明確に表示されるため、
対物レンズの傾き調整が容易となる。
ズは、光学式情報記録再生装置に搭載される対物レンズ
であることを特徴としている。光学式情報記録再生装置
に対物レンズを搭載したとき、その対物レンズの傾きを
適正な状態に調整するのは煩わしいことであるが、本発
明のレンズ評価装置によれば、ノイズの影響が取り除か
れ、干渉縞がテレビモニタ等に明確に表示されるため、
対物レンズの傾き調整が容易となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従って詳細に説明する。 （実施の形態１）図１は本発明に係るレンズ評価装置の
概略構成を示している。図１に示すように、レーザー光
源１からのレーザー光は、ビームエキスパンダー２で光
束幅を拡大され、さらに偏光ビームスプリッタ３の偏光
膜３ａを透過後に、１／４波長板４により直線偏光から
円偏光となってコリメーターレンズ５に導かる。そし
て、円偏光のレーザー光はコリメーターレンズ５によっ
て平行光束とされ、被検光路ａに沿って進む。
に従って詳細に説明する。 （実施の形態１）図１は本発明に係るレンズ評価装置の
概略構成を示している。図１に示すように、レーザー光
源１からのレーザー光は、ビームエキスパンダー２で光
束幅を拡大され、さらに偏光ビームスプリッタ３の偏光
膜３ａを透過後に、１／４波長板４により直線偏光から
円偏光となってコリメーターレンズ５に導かる。そし
て、円偏光のレーザー光はコリメーターレンズ５によっ
て平行光束とされ、被検光路ａに沿って進む。
【００１６】被検光路ａには、光が透過可能な参照面部
材６、被検レンズ７、および凹面鏡８が配置されてい
る。被検光路ａに沿って進んできた円偏光のレーザ光
は、その一部が参照面部材６によって反射される。参照
面部材６は入射面６ａおよび出射面６ｂを有し、光軸に
対して入射面６ａは垂直に、出射面６ｂは傾斜してそれ
ぞれ設けられている。このために、被検光路ａに沿って
進んできた円偏光のレーザ光のうち、入射面６ａで反射
したレーザ光は反射光となって被検光路ａを逆行する
が、出射面６ｂで反射したレーザ光は被検光路ａから外
れた方向（図１では下方斜め方向）へ放射される。ま
た、参照面部材６の入射面６ａおよび出射面６ｂで反射
しなかったレーザ光は、被検レンズ７に向かう。
材６、被検レンズ７、および凹面鏡８が配置されてい
る。被検光路ａに沿って進んできた円偏光のレーザ光
は、その一部が参照面部材６によって反射される。参照
面部材６は入射面６ａおよび出射面６ｂを有し、光軸に
対して入射面６ａは垂直に、出射面６ｂは傾斜してそれ
ぞれ設けられている。このために、被検光路ａに沿って
進んできた円偏光のレーザ光のうち、入射面６ａで反射
したレーザ光は反射光となって被検光路ａを逆行する
が、出射面６ｂで反射したレーザ光は被検光路ａから外
れた方向（図１では下方斜め方向）へ放射される。ま
た、参照面部材６の入射面６ａおよび出射面６ｂで反射
しなかったレーザ光は、被検レンズ７に向かう。
【００１７】被検レンズ７には、その入射光側の面にホ
ログラム７ａが形成されている。参照面部材６側から被
検レンズ７を見て、ホログラム７ａは同心円形をなして
おり、被検レンズ７の中央部に形成され、被検レンズ７
の周縁部７ｂには形成されていない。これによって、被
検レンズ７は、ＦＡ，ＦＢの２箇所に焦点を結ぶことが
できる。焦点ＦＡにはホログラム７ａを透過した光束が
収束し、その焦点距離はｆ１である。また、焦点ＦＢに
は周縁部７ｂを透過した光束が収束し、その焦点距離は
ｆ２である。なお、ｆ１＞ｆ２である。
ログラム７ａが形成されている。参照面部材６側から被
検レンズ７を見て、ホログラム７ａは同心円形をなして
おり、被検レンズ７の中央部に形成され、被検レンズ７
の周縁部７ｂには形成されていない。これによって、被
検レンズ７は、ＦＡ，ＦＢの２箇所に焦点を結ぶことが
できる。焦点ＦＡにはホログラム７ａを透過した光束が
収束し、その焦点距離はｆ１である。また、焦点ＦＢに
は周縁部７ｂを透過した光束が収束し、その焦点距離は
ｆ２である。なお、ｆ１＞ｆ２である。
【００１８】被検レンズ７の表面は平面状ではないの
で、被検レンズ７の表面７ａ，７ｂで反射した反射光の
反射方向は一つの方向とはならず、被検光路ａを逆行す
る反射光の光量はかなり低下している。そこで本実施の
形態では、被検レンズ７表面で反射せずに被検レンズ７
を透過したレーザ光を凹面鏡８で反射させ、そのレーザ
光を被検レンズ７表面で反射した反射光に加えるように
して、被検光路ａを逆行する反射光の光量低下を防いで
いる。また、凹面鏡８は、被検レンズ７の焦点ＦＡ又は
ＦＢに凹面鏡８の焦点が一致するように配置されるよう
図１の矢印Ａ方向に移動自在である。
で、被検レンズ７の表面７ａ，７ｂで反射した反射光の
反射方向は一つの方向とはならず、被検光路ａを逆行す
る反射光の光量はかなり低下している。そこで本実施の
形態では、被検レンズ７表面で反射せずに被検レンズ７
を透過したレーザ光を凹面鏡８で反射させ、そのレーザ
光を被検レンズ７表面で反射した反射光に加えるように
して、被検光路ａを逆行する反射光の光量低下を防いで
いる。また、凹面鏡８は、被検レンズ７の焦点ＦＡ又は
ＦＢに凹面鏡８の焦点が一致するように配置されるよう
図１の矢印Ａ方向に移動自在である。
【００１９】参照面部材６の入射面６ａで反射した反射
光と被検レンズ７の表面で反射した反射光（凹面鏡８で
反射した反射光も含む）は、被検光路ａを逆行してコリ
メーターレンズ５を透過した後、１／４波長板４により
円偏光から直線偏光となって偏光ビームスプリッタ３に
導かれる。このとき、偏光ビームスプリッタ３に導かれ
る反射光は、１／４波長板４により、レーザー光源１か
ら発せられたときに比べて偏光方向が９０度変更され
る。
光と被検レンズ７の表面で反射した反射光（凹面鏡８で
反射した反射光も含む）は、被検光路ａを逆行してコリ
メーターレンズ５を透過した後、１／４波長板４により
円偏光から直線偏光となって偏光ビームスプリッタ３に
導かれる。このとき、偏光ビームスプリッタ３に導かれ
る反射光は、１／４波長板４により、レーザー光源１か
ら発せられたときに比べて偏光方向が９０度変更され
る。
【００２０】偏光ビームスプリッタ３に導かれた反射光
は、偏光膜３ａによて進路が９０度折り曲げられて受光
光路ｂに沿って進み、受光光路ｂに配置されたレンズ９
により所定の倍率とされる。このとき、前記２つの反射
光は干渉縞を生じ、その干渉縞は撮像手段としてのテレ
ビカメラ（またはＣＣＤ）１０により撮像される。そし
て、テレビカメラ１０で撮像された干渉縞のデータは画
像処理装置１１に取り込まれ、画像処理された後に、テ
レビモニタ１２上に表示される。
は、偏光膜３ａによて進路が９０度折り曲げられて受光
光路ｂに沿って進み、受光光路ｂに配置されたレンズ９
により所定の倍率とされる。このとき、前記２つの反射
光は干渉縞を生じ、その干渉縞は撮像手段としてのテレ
ビカメラ（またはＣＣＤ）１０により撮像される。そし
て、テレビカメラ１０で撮像された干渉縞のデータは画
像処理装置１１に取り込まれ、画像処理された後に、テ
レビモニタ１２上に表示される。
【００２１】画像処理装置１１の内部構成を図２に示
す。図２において、画像処理装置１１にはコントローラ
１１ａが設けられ、このコントローラ１１ａは画像処理
装置１１全体の動作を制御している。コントローラ１１
ａにはキーボード１１ｂとマウス１１ｃが接続され、こ
れらキーボード１１ｂおよびマウス１１ｃからデータや
コマンドを入力することができる。さらに、コントロー
ラ１１ａには、テレビカメラ１０で撮像された干渉縞の
データ等を記憶するためのＲＡＭ１１ｄと、コントロー
ラ１１ａの基本動作制御プログラムを記憶したＲＯＭ１
１ｅとが接続されている。また、テレビカメラ１０とテ
レビモニタ１２はコントローラ１１ａに接続されてい
る。
す。図２において、画像処理装置１１にはコントローラ
１１ａが設けられ、このコントローラ１１ａは画像処理
装置１１全体の動作を制御している。コントローラ１１
ａにはキーボード１１ｂとマウス１１ｃが接続され、こ
れらキーボード１１ｂおよびマウス１１ｃからデータや
コマンドを入力することができる。さらに、コントロー
ラ１１ａには、テレビカメラ１０で撮像された干渉縞の
データ等を記憶するためのＲＡＭ１１ｄと、コントロー
ラ１１ａの基本動作制御プログラムを記憶したＲＯＭ１
１ｅとが接続されている。また、テレビカメラ１０とテ
レビモニタ１２はコントローラ１１ａに接続されてい
る。
【００２２】ところで、本実施の形態では、受光光路ｂ
の途中に光量減衰用光学部材としてＮＤフィルタ１３が
設けられているところに特徴がある。図３はＮＤフィル
タ１３の平面図である。図３に示すように、ＮＤフィル
タ１３は、透明な板状部材（例えばガラス）１３ａの略
中央部にフィルタパターン１３ｂが形成されている。フ
ィルタパターン１３ｂは蒸着または接着により形成する
ことができる。
の途中に光量減衰用光学部材としてＮＤフィルタ１３が
設けられているところに特徴がある。図３はＮＤフィル
タ１３の平面図である。図３に示すように、ＮＤフィル
タ１３は、透明な板状部材（例えばガラス）１３ａの略
中央部にフィルタパターン１３ｂが形成されている。フ
ィルタパターン１３ｂは蒸着または接着により形成する
ことができる。
【００２３】このようなＮＤフィルタ１３を受光光路ｂ
の途中に設ければ、測定対象である被検レンズ７の一方
の焦点による干渉縞上に、被検レンズ７の他方の焦点に
よる干渉縞がノイズとして重なっても、そのノイズによ
る影響を容易に取り除くことができる。
の途中に設ければ、測定対象である被検レンズ７の一方
の焦点による干渉縞上に、被検レンズ７の他方の焦点に
よる干渉縞がノイズとして重なっても、そのノイズによ
る影響を容易に取り除くことができる。
【００２４】ＮＤフィルタ１３を受光光路ｂの途中に設
ければ、例えば図４に示すように、他の焦点による干渉
縞の部分がＮｄフィルタ１３で覆われて、この干渉縞の
部分の光量が減衰される。このために、テレビカメラ１
０で読み取った干渉縞のデータを画像処理装置１１で画
像処理する際に、干渉縞とノイズとの見分けがつき易く
なり、ノイズの影響を取り除くことができる。
ければ、例えば図４に示すように、他の焦点による干渉
縞の部分がＮｄフィルタ１３で覆われて、この干渉縞の
部分の光量が減衰される。このために、テレビカメラ１
０で読み取った干渉縞のデータを画像処理装置１１で画
像処理する際に、干渉縞とノイズとの見分けがつき易く
なり、ノイズの影響を取り除くことができる。
【００２５】図４では、フィルタパターン１３ｂは他方
の焦点による干渉縞だけを覆うサイズの小さいものであ
ったが、図５のように受光光路ｂの光束全体を覆うサイ
ズの大きいフィルタパターン１３ｂ’としても良い。こ
の場合は、図６に示すように、測定対象の焦点による干
渉縞の表示領域全体がフィルタパターン１３ｂ’で覆わ
れることになる。反射光がＮＤフィルタ１３を透過する
際、干渉縞の光量全体が減衰されるが、他の焦点による
干渉縞のコントラストが測定対象の焦点による本来の干
渉縞に比べて大きく低下する。このために、ノイズの部
分と本来の干渉縞との間に光強度差が生じ、干渉縞とノ
イズとの見分けがつき易くなり、ノイズによる影響を容
易に取り除くことができる。
の焦点による干渉縞だけを覆うサイズの小さいものであ
ったが、図５のように受光光路ｂの光束全体を覆うサイ
ズの大きいフィルタパターン１３ｂ’としても良い。こ
の場合は、図６に示すように、測定対象の焦点による干
渉縞の表示領域全体がフィルタパターン１３ｂ’で覆わ
れることになる。反射光がＮＤフィルタ１３を透過する
際、干渉縞の光量全体が減衰されるが、他の焦点による
干渉縞のコントラストが測定対象の焦点による本来の干
渉縞に比べて大きく低下する。このために、ノイズの部
分と本来の干渉縞との間に光強度差が生じ、干渉縞とノ
イズとの見分けがつき易くなり、ノイズによる影響を容
易に取り除くことができる。
【００２６】（実施の形態２）次に、本発明の実施の形
態２について説明する。本実施の形態では、受光光路ｂ
の途中に光量減衰用光学部材を設ける代わりに、ソフト
ウエアを用いてノイズの影響を取り除くところに特徴が
ある。すなわち、本実施の形態のレンズ評価装置は、図
１において、ＮＤフィルタ１３は設けられておらず、処
理装置１１内のコントローラ１１ａでソフトウエアによ
ってノイズを取り除くように構成されている。
態２について説明する。本実施の形態では、受光光路ｂ
の途中に光量減衰用光学部材を設ける代わりに、ソフト
ウエアを用いてノイズの影響を取り除くところに特徴が
ある。すなわち、本実施の形態のレンズ評価装置は、図
１において、ＮＤフィルタ１３は設けられておらず、処
理装置１１内のコントローラ１１ａでソフトウエアによ
ってノイズを取り除くように構成されている。
【００２７】ソフトウエアによってノイズを取り除くに
は、例えば図７に示すように、他の焦点による干渉縞が
生じていた部分にソフトウエア上でマスクをし、そのマ
スクした以外の部分だけを例えばテレビモニタ１２に表
示するようにする。このようにすれば、ノイズの部分が
完全に除外されるため、ノイズの影響をほとんど受けず
にレンズの評価を行うことが可能となる。
は、例えば図７に示すように、他の焦点による干渉縞が
生じていた部分にソフトウエア上でマスクをし、そのマ
スクした以外の部分だけを例えばテレビモニタ１２に表
示するようにする。このようにすれば、ノイズの部分が
完全に除外されるため、ノイズの影響をほとんど受けず
にレンズの評価を行うことが可能となる。
【００２８】（実施の形態３）次に、本発明の実施の形
態３について説明する。本実施の形態も、実施の形態２
と同様にソフトウエアを用いてノイズの影響を取り除い
ているが、その取り除いた部分に疑似的な干渉縞を補っ
ているところに特徴がある。
態３について説明する。本実施の形態も、実施の形態２
と同様にソフトウエアを用いてノイズの影響を取り除い
ているが、その取り除いた部分に疑似的な干渉縞を補っ
ているところに特徴がある。
【００２９】マスクした部分を処理対象から除外してし
まうと、その部分での干渉縞としてのデータ量が少なく
なってしまうので、レンズを高精度に評価する上では問
題が生じる恐れある。そこで、本実施の形態のレンズ評
価装置は、図８に示すようにマスクした以外の部分の干
渉縞に基づいて、マスクをした部分（疑似信号領域）に
干渉縞を疑似的に作成し、その作成結果を加味して被検
レンズの評価を行うように構成されている。
まうと、その部分での干渉縞としてのデータ量が少なく
なってしまうので、レンズを高精度に評価する上では問
題が生じる恐れある。そこで、本実施の形態のレンズ評
価装置は、図８に示すようにマスクした以外の部分の干
渉縞に基づいて、マスクをした部分（疑似信号領域）に
干渉縞を疑似的に作成し、その作成結果を加味して被検
レンズの評価を行うように構成されている。
【００３０】擬似信号領域に干渉縞を疑似的に作成する
方法としては、直線近似や折れ線近似等がある。直線近
似の方法は一番簡単な方法で、マスクをしたことによっ
て分離された本来の干渉縞を、疑似信号領域において直
線で結ぶだけで良い。折れ線近似の方法は直線近似より
は複雑であり、マスクされていない部分の干渉縞のデー
タから最小自乗法によって、疑似信号領域における干渉
縞を関数として求め、その結果を図８のように折れ線で
疑似信号領域に表示するようにする。なお、擬似信号領
域に干渉縞を疑似的に作成する処理は、処理装置１１内
のコントローラ１１ａで行われる。
方法としては、直線近似や折れ線近似等がある。直線近
似の方法は一番簡単な方法で、マスクをしたことによっ
て分離された本来の干渉縞を、疑似信号領域において直
線で結ぶだけで良い。折れ線近似の方法は直線近似より
は複雑であり、マスクされていない部分の干渉縞のデー
タから最小自乗法によって、疑似信号領域における干渉
縞を関数として求め、その結果を図８のように折れ線で
疑似信号領域に表示するようにする。なお、擬似信号領
域に干渉縞を疑似的に作成する処理は、処理装置１１内
のコントローラ１１ａで行われる。
【００３１】本実施の形態によれば、マスクして除外さ
れた部分を、直線近似や折れ線近似の干渉縞で疑似的に
補うことができるので、レンズ評価の精度を向上させる
ことが可能となる。
れた部分を、直線近似や折れ線近似の干渉縞で疑似的に
補うことができるので、レンズ評価の精度を向上させる
ことが可能となる。
【００３２】上記実施の形態１〜３では、本発明のレン
ズ評価装置をフィゾー干渉計に適用した場合を例にして
説明してきたが、本発明のレンズ評価装置は例えばシェ
アリング干渉計などにも勿論適用できる。
ズ評価装置をフィゾー干渉計に適用した場合を例にして
説明してきたが、本発明のレンズ評価装置は例えばシェ
アリング干渉計などにも勿論適用できる。
【００３３】また、上記実施の形態１〜３ではレンズの
評価を行う場合についてのみ説明してきたが、本発明の
レンズ評価装置は、光学式情報記録再生装置に搭載され
た複数の焦点を有する対物レンズの傾きを調整するよう
な場合にも適用できる。例えば、図１において、参照面
部材６として光透過可能なディスクを、被検レンズ７と
して対物レンズをそれぞれ設置し、当該ディスクと対物
レンズにレーザー光を照射して、そのときの反射光に生
じる干渉縞を読み取って画像処理するとともに、画像処
理結果の干渉縞をテレビモニタ上に表示する。そして、
作業者はテレビモニタ上に表示される干渉縞が正常な状
態、すなわち干渉縞がほぼ直線状になるように、対物レ
ンズの傾きを調整する。
評価を行う場合についてのみ説明してきたが、本発明の
レンズ評価装置は、光学式情報記録再生装置に搭載され
た複数の焦点を有する対物レンズの傾きを調整するよう
な場合にも適用できる。例えば、図１において、参照面
部材６として光透過可能なディスクを、被検レンズ７と
して対物レンズをそれぞれ設置し、当該ディスクと対物
レンズにレーザー光を照射して、そのときの反射光に生
じる干渉縞を読み取って画像処理するとともに、画像処
理結果の干渉縞をテレビモニタ上に表示する。そして、
作業者はテレビモニタ上に表示される干渉縞が正常な状
態、すなわち干渉縞がほぼ直線状になるように、対物レ
ンズの傾きを調整する。
【００３４】さらに、実施の形態１において、テレビカ
メラ１０で撮像した画像を、測定対象の干渉縞と他の焦
点による干渉縞との光量の違いに基づいて設定された閾
値で、２値化してＲＡＭ１１ｄ（図２参照）に記憶し、
その記憶内容から本来の干渉縞を得るようにすることも
できる。画像を２値化してＲＡＭ１１ｄに記憶しておけ
ば、ＲＡＭ１１ｄから所望とする本来の干渉縞だけを取
り出すことは容易なことである。そして、取り出された
本来の干渉縞のみがテレビモニタ１２に表示される。
メラ１０で撮像した画像を、測定対象の干渉縞と他の焦
点による干渉縞との光量の違いに基づいて設定された閾
値で、２値化してＲＡＭ１１ｄ（図２参照）に記憶し、
その記憶内容から本来の干渉縞を得るようにすることも
できる。画像を２値化してＲＡＭ１１ｄに記憶しておけ
ば、ＲＡＭ１１ｄから所望とする本来の干渉縞だけを取
り出すことは容易なことである。そして、取り出された
本来の干渉縞のみがテレビモニタ１２に表示される。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
干渉縞上にノイズが生じても、干渉縞とノイズとの見分
けがつき易くなり、干渉縞からノイズを容易に除去する
ことができる。その結果、被検レンズの形状検査やレン
ズ内部の均質性検査等の評価を正確に行うことができ
る。
干渉縞上にノイズが生じても、干渉縞とノイズとの見分
けがつき易くなり、干渉縞からノイズを容易に除去する
ことができる。その結果、被検レンズの形状検査やレン
ズ内部の均質性検査等の評価を正確に行うことができ
る。
【００３６】また、本発明のレンズ評価装置を用いれ
ば、光学式情報記録再生装置に搭載された対物レンズ等
の調整を高精度に行うことができる。
ば、光学式情報記録再生装置に搭載された対物レンズ等
の調整を高精度に行うことができる。
【図１】本発明に係るレンズ評価装置の全体構成図であ
る。
る。
【図２】図１のレンズ評価装置に搭載された画像処理装
置の内部構成図である。
置の内部構成図である。
【図３】干渉縞のノイズ部分のみを減光するためのＮＤ
フィルタの平面図である。
フィルタの平面図である。
【図４】図３のＮＤフィルタで干渉縞を覆ったときの様
子を示した図である。
子を示した図である。
【図５】受光光路の光束全体を減光するためのＮＤフィ
ルタの平面図である。
ルタの平面図である。
【図６】図５のＮＤフィルタで干渉縞を覆ったときの様
子を示した図である。
子を示した図である。
【図７】干渉縞のノイズ部分のみをマスクしたときの様
子を示した図である。
子を示した図である。
【図８】マスクした部分を疑似的な干渉縞で補正した様
子を示した図である。
子を示した図である。
【図９】測定対象の干渉縞にノイズとしての干渉縞が重
なった様子を示した図である。
なった様子を示した図である。
１ レーザ光源 ２ ビームエキスパンダー ３ 偏光ビームスプリッタ ４ １／４波長板 ５ コリメーターレンズ ６ 参照面部材 ７ 被検レンズ ８ 凹面鏡 ９ レンズ １０ テレビカメラ（またはＣＣＤ） １１ 画像処理装置 １２ テレビモニタ １３ ＮＤフィルタ ａ 被検光路 ｂ 受光光路
Claims (7)
- 【請求項１】 被検光路にセットされた被検レンズから
の被検光と参照光路からの参照光とにより生じる干渉縞
を、受光光路に設けられた撮像手段により読み取り、前
記干渉縞を画像処理し、その処理結果からレンズの評価
を行うレンズ評価装置において、 前記受光光路の途中に光量減衰用光学部材を設けたこと
を特徴とするレンズ評価装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のレンズ評価装置におい
て、 前記被検レンズは、複数の焦点を持つレンズであること
を特徴とするレンズ評価装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載のレンズ評価装置
において、 前記光量減衰用光学部材はＮＤフィルタであることを特
徴とするレンズ評価装置。 - 【請求項４】 被検光路にセットされた被検レンズから
の被検光と参照光路からの参照光とにより生じる干渉縞
を、受光光路に設けられた撮像手段により読み取り、前
記干渉縞を画像処理し、その処理結果からレンズの評価
を行うレンズ評価装置において、 前記干渉縞を画像処理する際に、干渉縞のノイズとなる
部分をマスクし、そのマスクした以外の部分で評価を行
う評価手段を設けたことを特徴とするレンズ評価装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載のレンズ評価装置におい
て、 前記被検レンズは、複数の焦点を持つレンズであること
を特徴とするレンズ評価装置。 - 【請求項６】 請求項４又は５に記載のレンズ評価装置
において、 前記評価手段は、マスクした以外の部分の干渉縞に基づ
いて、マスクをした部分の干渉縞を疑似的に作成し、そ
の作成結果を加味して前記被検レンズの評価を行うこと
を特徴とするレンズ評価装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかに記載のレンズ
評価装置において、 前記被検レンズは、光学式情報記録再生装置に搭載され
る対物レンズであることを特徴とするレンズ評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19965497A JP3255589B2 (ja) | 1996-07-26 | 1997-07-25 | レンズ評価装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19800096 | 1996-07-26 | ||
| JP8-198000 | 1996-07-26 | ||
| JP19965497A JP3255589B2 (ja) | 1996-07-26 | 1997-07-25 | レンズ評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090114A true JPH1090114A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3255589B2 JP3255589B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=26510709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19965497A Expired - Fee Related JP3255589B2 (ja) | 1996-07-26 | 1997-07-25 | レンズ評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3255589B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064966A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-03-15 | Pentax Corp | 光学素子の光学的調整方法 |
| WO2012005217A1 (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-12 | 住友電気工業株式会社 | 基板、基板の製造方法、ｎｄフィルタおよび光特性測定装置 |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP19965497A patent/JP3255589B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064966A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-03-15 | Pentax Corp | 光学素子の光学的調整方法 |
| WO2012005217A1 (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-12 | 住友電気工業株式会社 | 基板、基板の製造方法、ｎｄフィルタおよび光特性測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3255589B2 (ja) | 2002-02-12 |
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