JPH1090104A - ヘリウムリークディテクター - Google Patents
ヘリウムリークディテクターInfo
- Publication number
- JPH1090104A JPH1090104A JP24171796A JP24171796A JPH1090104A JP H1090104 A JPH1090104 A JP H1090104A JP 24171796 A JP24171796 A JP 24171796A JP 24171796 A JP24171796 A JP 24171796A JP H1090104 A JPH1090104 A JP H1090104A
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- Japan
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- pipe
- pump
- turbo
- molecular pump
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Abstract
(57)【要約】
【課題】分析感度が良くプローブの吸引力が大きいスニ
ッファー法による漏洩探知に適したヘリウムリークディ
テクターを提供する。 【解決手段】分析管１内を排気するターボ分子ポンプ２
の排気口に接続管３を介して補助排気ポンプ４を接続
し、プローブ６に接続した排気管７を流量調整バルブ８
を介して該接続管へ接続したヘリウムリークディテクタ
ーに於いて、該接続管に該ターボ分子ポンプと直列に接
続した第２ターボ分子ポンプ５を介在させ、該第２ター
ボ分子ポンプの前方の第１の接続管３ａに流量調整バル
ブを介して該排気管を接続すると共に該第２ターボ分子
ポンプの後方の第２の接続管３ｂに該流量調整バルブの
前方の第１の排気管を接続した。補助排気ポンプにはド
ライポンプを使用する。
ッファー法による漏洩探知に適したヘリウムリークディ
テクターを提供する。 【解決手段】分析管１内を排気するターボ分子ポンプ２
の排気口に接続管３を介して補助排気ポンプ４を接続
し、プローブ６に接続した排気管７を流量調整バルブ８
を介して該接続管へ接続したヘリウムリークディテクタ
ーに於いて、該接続管に該ターボ分子ポンプと直列に接
続した第２ターボ分子ポンプ５を介在させ、該第２ター
ボ分子ポンプの前方の第１の接続管３ａに流量調整バル
ブを介して該排気管を接続すると共に該第２ターボ分子
ポンプの後方の第２の接続管３ｂに該流量調整バルブの
前方の第１の排気管を接続した。補助排気ポンプにはド
ライポンプを使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、冷凍機のコンプレ
ッサーや自動車のラジェーター等の気密を要する機器の
内部にヘリウムガスを封入加圧し、その漏れの有無をプ
ローブを使用して試験するヘリウムリークディテクター
に関する。
ッサーや自動車のラジェーター等の気密を要する機器の
内部にヘリウムガスを封入加圧し、その漏れの有無をプ
ローブを使用して試験するヘリウムリークディテクター
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ヘリウムリークディテクターに於
いてヘリウムガスを測定する分析管は、その内部を質量
分析の原理に基づき１０-3Ｐa程度の圧力に排気しなけ
ればならない。スニッファー法、すなわちヘリウムリー
クディテクターから延びるプローブで試験体の表面を走
査し、コンプレッサー等の試験体から大気中に漏れてく
るヘリウムガスを吸引する方法により該試験体の漏洩箇
所を探知するには、ヘリウムリークディテクターに必ず
大気と真空との差圧をつくる箇所が必要で、これがない
と分析管の内部が１０-3Ｐa程度の圧力にならず漏洩探
知ができない。近時はターボ分子ポンプの排気口から分
析管内へヘリウムガスを逆拡散させて漏洩を探知するカ
ウンターフローという探知手法が開発され、試験体の圧
力が１００Ｐa程度であっても探知ができるヘリウムリ
ークディテクターが出現しているが、この種のリークデ
ィテクターは分岐点が多く、そのためにヘリウムガス濃
度が減少して分析管の感度が鈍りプローブによる漏洩探
知には適さない不都合がある。
いてヘリウムガスを測定する分析管は、その内部を質量
分析の原理に基づき１０-3Ｐa程度の圧力に排気しなけ
ればならない。スニッファー法、すなわちヘリウムリー
クディテクターから延びるプローブで試験体の表面を走
査し、コンプレッサー等の試験体から大気中に漏れてく
るヘリウムガスを吸引する方法により該試験体の漏洩箇
所を探知するには、ヘリウムリークディテクターに必ず
大気と真空との差圧をつくる箇所が必要で、これがない
と分析管の内部が１０-3Ｐa程度の圧力にならず漏洩探
知ができない。近時はターボ分子ポンプの排気口から分
析管内へヘリウムガスを逆拡散させて漏洩を探知するカ
ウンターフローという探知手法が開発され、試験体の圧
力が１００Ｐa程度であっても探知ができるヘリウムリ
ークディテクターが出現しているが、この種のリークデ
ィテクターは分岐点が多く、そのためにヘリウムガス濃
度が減少して分析管の感度が鈍りプローブによる漏洩探
知には適さない不都合がある。
【０００３】従来のカウンターフロー（逆拡散）式の代
表的な例は図１に示す如くであり、これのプローブａは
排気管ｂを介して掃引ポンプｃに常時吸引されるように
接続され、該プローブａを試験体の周囲に接近させ、該
試験体から漏れるヘリウムガスを大気と共に該排気管ｂ
内へ吸入する。該排気管ｂの途中の分岐点Ａからは流量
調整バルブｄを設けた分岐管ｉが分岐され、該分岐管ｉ
の端部はターボ分子ポンプｆの排気口と補助排気ポンプ
ｇを結ぶ接続管ｈの途中に接続される。該流量調整バル
ブｄの役割は、該ターボ分子ポンプｆが分析管ｅの内部
を１０-3Ｐa程度の圧力に排気するための背圧大気圧と
の差圧を与えることである。
表的な例は図１に示す如くであり、これのプローブａは
排気管ｂを介して掃引ポンプｃに常時吸引されるように
接続され、該プローブａを試験体の周囲に接近させ、該
試験体から漏れるヘリウムガスを大気と共に該排気管ｂ
内へ吸入する。該排気管ｂの途中の分岐点Ａからは流量
調整バルブｄを設けた分岐管ｉが分岐され、該分岐管ｉ
の端部はターボ分子ポンプｆの排気口と補助排気ポンプ
ｇを結ぶ接続管ｈの途中に接続される。該流量調整バル
ブｄの役割は、該ターボ分子ポンプｆが分析管ｅの内部
を１０-3Ｐa程度の圧力に排気するための背圧大気圧と
の差圧を与えることである。
【０００４】該排気管ｂ内へ吸入されたヘリウムガスと
大気の一部は、分岐点Ａから流量調整バルブｄを介して
分岐点Ｂから接続管ｈへ流入し、補助排気ポンプｇへ導
かれるが、ヘリウムガスの一部のみが該分岐点Ｂからタ
ーボ分子ポンプｆ内を逆拡散して分析管ｅへ到達し、そ
こで質量分析されて検出器によりその漏れ量が検出され
る。
大気の一部は、分岐点Ａから流量調整バルブｄを介して
分岐点Ｂから接続管ｈへ流入し、補助排気ポンプｇへ導
かれるが、ヘリウムガスの一部のみが該分岐点Ｂからタ
ーボ分子ポンプｆ内を逆拡散して分析管ｅへ到達し、そ
こで質量分析されて検出器によりその漏れ量が検出され
る。
【０００５】また、図２に示したものは、ダイレクトフ
ローとも称されるもので、通常、プローブａ自体が大気
圧との間に１０-3Ｐa程度の差圧を生じさせる流量調整
機能を有する構成になっており、排気管ｂを直接に分析
管ｅに接続してヘリウムガスと大気を導入する形式のも
のである。この場合、該排気管ｂを点線で示すように接
続管ｈに接続してカウンターフローとすることも行われ
ている。
ローとも称されるもので、通常、プローブａ自体が大気
圧との間に１０-3Ｐa程度の差圧を生じさせる流量調整
機能を有する構成になっており、排気管ｂを直接に分析
管ｅに接続してヘリウムガスと大気を導入する形式のも
のである。この場合、該排気管ｂを点線で示すように接
続管ｈに接続してカウンターフローとすることも行われ
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１のカウンターフロ
ー式の場合、掃引ポンプｃによってプローブａの吸引力
を上げられるため、漏洩探知の際に見落としが少ないと
いう利点があるが、排気管ｂに吸入されたヘリウムガス
は、２箇所の分岐点を通過するたびに大幅に減少し、分
析管ｅに到達する量はわずかになり、図２のものと比較
すると分析管ｅに於ける検出感度は２桁ほど低下する欠
点がある。
ー式の場合、掃引ポンプｃによってプローブａの吸引力
を上げられるため、漏洩探知の際に見落としが少ないと
いう利点があるが、排気管ｂに吸入されたヘリウムガス
は、２箇所の分岐点を通過するたびに大幅に減少し、分
析管ｅに到達する量はわずかになり、図２のものと比較
すると分析管ｅに於ける検出感度は２桁ほど低下する欠
点がある。
【０００７】一方、図２の場合は、プローブａの吸引力
が極めて小さいため、高濃度のヘリウムガスを分析管ｅ
へ導入できるが、プローブａを動かす速さや試験体から
の距離に気を付けないと吸引力が弱いので漏洩箇所を見
落としてしまう欠点がある。これらの欠点は、相反する
もので、従来のヘリウムリークディテクターでは解決さ
れていない問題点である。
が極めて小さいため、高濃度のヘリウムガスを分析管ｅ
へ導入できるが、プローブａを動かす速さや試験体から
の距離に気を付けないと吸引力が弱いので漏洩箇所を見
落としてしまう欠点がある。これらの欠点は、相反する
もので、従来のヘリウムリークディテクターでは解決さ
れていない問題点である。
【０００８】本発明は、分析感度が良くプローブの吸引
力が大きいスニッファー法による漏洩探知に適したヘリ
ウムリークディテクターを提供することを目的とするも
のである。
力が大きいスニッファー法による漏洩探知に適したヘリ
ウムリークディテクターを提供することを目的とするも
のである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、分析管内を
排気するターボ分子ポンプの排気口に接続管を介して補
助排気ポンプを接続し、プローブに接続した排気管を流
量調整バルブを介して該接続管へ接続したヘリウムリー
クディテクターに於いて、該接続管に該ターボ分子ポン
プと直列に接続した第２ターボ分子ポンプを介在させ、
該第２ターボ分子ポンプの前方の第１の接続管に流量調
整バルブを介して該排気管を接続すると共に該第２ター
ボ分子ポンプの後方の第２の接続管に該流量調整バルブ
の前方の第１の排気管を接続することにより、上記の目
的を達成するようにした。該補助排気ポンプにはターボ
分子ポンプの起動を妨げる不純物の発生の少ないドライ
ポンプを使用することが好ましい。
排気するターボ分子ポンプの排気口に接続管を介して補
助排気ポンプを接続し、プローブに接続した排気管を流
量調整バルブを介して該接続管へ接続したヘリウムリー
クディテクターに於いて、該接続管に該ターボ分子ポン
プと直列に接続した第２ターボ分子ポンプを介在させ、
該第２ターボ分子ポンプの前方の第１の接続管に流量調
整バルブを介して該排気管を接続すると共に該第２ター
ボ分子ポンプの後方の第２の接続管に該流量調整バルブ
の前方の第１の排気管を接続することにより、上記の目
的を達成するようにした。該補助排気ポンプにはターボ
分子ポンプの起動を妨げる不純物の発生の少ないドライ
ポンプを使用することが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図３に基づ
き説明すると、同図において符号１はガスを質量分析す
る分析管、２は該分析管１内を排気するターボ分子ポン
プ、３は該ターボ分子ポンプ２の排気口に接続した接続
管、４は該接続管３の後端に接続した補助排気ポンプを
示す。こうした分析管１の補助排気系の配列は従来のも
のと同様であるが、本発明のものでは、該接続管３にも
う１つの第２ターボ分子ポンプ５を介在させ、該第２タ
ーボ分子ポンプ５の前方の第１の接続管３ａにプローブ
６から延びる流量調整バルブ８を備えた排気管７を接続
すると共に該第２ターボ分子ポンプ５の後方の第２の接
続管３ｂに流量調整バルブ８の前方の第１の排気管７を
分岐管９を介して接続するものとし、分析管１の分析感
度の向上とプローブ６の吸引力の増大が得られるように
した。
き説明すると、同図において符号１はガスを質量分析す
る分析管、２は該分析管１内を排気するターボ分子ポン
プ、３は該ターボ分子ポンプ２の排気口に接続した接続
管、４は該接続管３の後端に接続した補助排気ポンプを
示す。こうした分析管１の補助排気系の配列は従来のも
のと同様であるが、本発明のものでは、該接続管３にも
う１つの第２ターボ分子ポンプ５を介在させ、該第２タ
ーボ分子ポンプ５の前方の第１の接続管３ａにプローブ
６から延びる流量調整バルブ８を備えた排気管７を接続
すると共に該第２ターボ分子ポンプ５の後方の第２の接
続管３ｂに流量調整バルブ８の前方の第１の排気管７を
分岐管９を介して接続するものとし、分析管１の分析感
度の向上とプローブ６の吸引力の増大が得られるように
した。
【００１１】これを更に説明すると、ターボ分子ポンプ
２及び第２ターボ分子ポンプ５として、例えば両ポンプ
２、５の掛け合わせた圧縮比が空気に対して１０6とな
るものを使用し、分岐部Ｘの圧力が１０００Ｐa程度で
あっても分析管１内の圧力として１０-3Ｐa付近を得る
ことができるようにした。一般に管路を流れる流量Ｑは
排気速度（Ｓ）×圧力（Ｐ）で表されるから、補助排気
ポンプ４の排気速度を８×１０-5ｍ3／ｓとすると、プ
ローブ６の流量はおよそ８×１０-2Ｐa・ｍ3／ｓとな
る。この流量は、図２の場合の補助排気ポンプｇがこの
排気速度である場合の１００倍以上の流量になり、プロ
ーブ６の吸引力が高まるから前記した漏洩箇所の見落と
し等を防ぐことができる。また、図１の分岐点Ａ、Ｂの
ようなヘリウムガスを外部へ排除することになる分岐点
は、本発明のものではＹ点のみであるから、排気管７内
へ吸引されたヘリウムガスを高濃度の状態に維持でき
る。従って、本発明のものでは、プローブ６の排気速度
が速く、しかも高濃度のヘリウムガスが接続管３に供給
されるから分析管１へ逆拡散するヘリウムガスの量も多
くなり、分析管１の感度が大きくなる。
２及び第２ターボ分子ポンプ５として、例えば両ポンプ
２、５の掛け合わせた圧縮比が空気に対して１０6とな
るものを使用し、分岐部Ｘの圧力が１０００Ｐa程度で
あっても分析管１内の圧力として１０-3Ｐa付近を得る
ことができるようにした。一般に管路を流れる流量Ｑは
排気速度（Ｓ）×圧力（Ｐ）で表されるから、補助排気
ポンプ４の排気速度を８×１０-5ｍ3／ｓとすると、プ
ローブ６の流量はおよそ８×１０-2Ｐa・ｍ3／ｓとな
る。この流量は、図２の場合の補助排気ポンプｇがこの
排気速度である場合の１００倍以上の流量になり、プロ
ーブ６の吸引力が高まるから前記した漏洩箇所の見落と
し等を防ぐことができる。また、図１の分岐点Ａ、Ｂの
ようなヘリウムガスを外部へ排除することになる分岐点
は、本発明のものではＹ点のみであるから、排気管７内
へ吸引されたヘリウムガスを高濃度の状態に維持でき
る。従って、本発明のものでは、プローブ６の排気速度
が速く、しかも高濃度のヘリウムガスが接続管３に供給
されるから分析管１へ逆拡散するヘリウムガスの量も多
くなり、分析管１の感度が大きくなる。
【００１２】ターボ分子ポンプ２の大気に対する圧縮比
を例えば１００００程度に設定すれば、分岐点Ｙの圧力
を１０Ｐａ程度にできる。排気管７に介在させた流量調
整バルブ８は接続管３への導入圧力を調整するもので、
第２ターボ分子ポンプ５の排気速度が例えば２×１０-3
ｍ3／ｓであれば、該流量調整バルブ８の流量はおよそ
２×１０-2Ｐa・ｍ3／ｓとなり、分岐点Ｙへ分岐管９か
ら流入する流量とほぼ同じになる。排気管７内と分岐管
９内のヘリウムガスの分圧は同じであるから、圧縮比の
低い分岐点Ｘの方が感度が高いということになる。ま
た、分岐点Ｙから第２ターボ分子ポンプ５を介して分岐
点Ｘへとヘリウムガスが逆拡散するから、従来の接続管
に於ける分岐点が１箇所しかなかったものに比べ、分岐
点Ｘにおけるヘリウムガス量が多く、分析管１における
ヘリウムガスの検出量が大きくなって実質的な感度が向
上する。
を例えば１００００程度に設定すれば、分岐点Ｙの圧力
を１０Ｐａ程度にできる。排気管７に介在させた流量調
整バルブ８は接続管３への導入圧力を調整するもので、
第２ターボ分子ポンプ５の排気速度が例えば２×１０-3
ｍ3／ｓであれば、該流量調整バルブ８の流量はおよそ
２×１０-2Ｐa・ｍ3／ｓとなり、分岐点Ｙへ分岐管９か
ら流入する流量とほぼ同じになる。排気管７内と分岐管
９内のヘリウムガスの分圧は同じであるから、圧縮比の
低い分岐点Ｘの方が感度が高いということになる。ま
た、分岐点Ｙから第２ターボ分子ポンプ５を介して分岐
点Ｘへとヘリウムガスが逆拡散するから、従来の接続管
に於ける分岐点が１箇所しかなかったものに比べ、分岐
点Ｘにおけるヘリウムガス量が多く、分析管１における
ヘリウムガスの検出量が大きくなって実質的な感度が向
上する。
【００１３】分岐管９及び排気管７の圧力は接続管３ａ
に比べて圧力が高く、補助排気ポンプ４から分岐管９、
流量調整バルブ８を介して接続管３ａへのガス循環をも
生じるが、補助排気ポンプ４がオイルミスト等の汚染物
質を生じるものであると、ターボ分子ポンプ２、５に汚
染物質が吸入されてその起動を損なうので、該補助排気
ポンプ４にはロータリポンプ等のドライポンプを使用す
るものとした。
に比べて圧力が高く、補助排気ポンプ４から分岐管９、
流量調整バルブ８を介して接続管３ａへのガス循環をも
生じるが、補助排気ポンプ４がオイルミスト等の汚染物
質を生じるものであると、ターボ分子ポンプ２、５に汚
染物質が吸入されてその起動を損なうので、該補助排気
ポンプ４にはロータリポンプ等のドライポンプを使用す
るものとした。
【００１４】その作動を説明すると、ます補助排気ポン
プ４を起動すると共に排気管７内が所定の圧力になった
らターボ分子ポンプ２、５を起動し、ヘリウムガスを注
入した試験体の周面をプローブ６で走査してスニッファ
ー法で漏洩探査する。試験体から漏れたヘリウムガスは
付近の空気と共に混合ガスとなってプローブ６から排気
管７内へ導入され、一部は流量調整バルブ８を介して接
続管３ａに流入し、残りは分岐管９を介して補助排気ポ
ンプ８から外部へ排出される。該プローブ６は補助排気
ポンプ４に直結されているから排気速度が速く、試験体
周面の広範囲の漏洩探査を行える。また、該混合ガス
は、接続管３へ流入するまでの間に外部へ排除されるこ
とがないから、ヘリウムガスの濃度が高く、とりわけ分
岐点Ｘでは分岐点Ｙから第２ターボ分子ポンプ５を逆拡
散してヘリウムガスが流入するのみならず分岐点Ｙから
分岐管９及び流量調整バルブ８を介してもヘリウムガス
が循環流入するので、ヘリウム濃度が高まり、その結
果、分析管１へ拡散するヘリウムガス量が多くなって分
析管１の検出感度が高まる。排気速度が大きいため分岐
点Ｘのヘリウムガス濃度の上昇も速く、そのため分析管
１に於けるレスポンスも良好になる。更に、該流量調整
バルブ８を閉じれば、ターボ分子ポンプ２、５により分
析管１の圧力が短時間に低下し、クリーンアップも短時
間に行える。
プ４を起動すると共に排気管７内が所定の圧力になった
らターボ分子ポンプ２、５を起動し、ヘリウムガスを注
入した試験体の周面をプローブ６で走査してスニッファ
ー法で漏洩探査する。試験体から漏れたヘリウムガスは
付近の空気と共に混合ガスとなってプローブ６から排気
管７内へ導入され、一部は流量調整バルブ８を介して接
続管３ａに流入し、残りは分岐管９を介して補助排気ポ
ンプ８から外部へ排出される。該プローブ６は補助排気
ポンプ４に直結されているから排気速度が速く、試験体
周面の広範囲の漏洩探査を行える。また、該混合ガス
は、接続管３へ流入するまでの間に外部へ排除されるこ
とがないから、ヘリウムガスの濃度が高く、とりわけ分
岐点Ｘでは分岐点Ｙから第２ターボ分子ポンプ５を逆拡
散してヘリウムガスが流入するのみならず分岐点Ｙから
分岐管９及び流量調整バルブ８を介してもヘリウムガス
が循環流入するので、ヘリウム濃度が高まり、その結
果、分析管１へ拡散するヘリウムガス量が多くなって分
析管１の検出感度が高まる。排気速度が大きいため分岐
点Ｘのヘリウムガス濃度の上昇も速く、そのため分析管
１に於けるレスポンスも良好になる。更に、該流量調整
バルブ８を閉じれば、ターボ分子ポンプ２、５により分
析管１の圧力が短時間に低下し、クリーンアップも短時
間に行える。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、逆拡
散式のヘリウムリークディテクターのターボ分子ポンプ
の排気口と補助排気ポンプを結ぶ接続管に第２ターボ分
子ポンプを介在させ、該第２ターボ分子ポンプの前方の
接続管に流量調整バルブを介して該排気管を接続すると
共にその後方の接続管に該流量調整バルブの前方の排気
管を接続したので、分析感度が良くプローブの吸引力が
大きくスニッファー法による漏洩探査に適したヘリウム
リークディテクターが得られ、その構成も簡単で製作が
容易になる等の効果がある。
散式のヘリウムリークディテクターのターボ分子ポンプ
の排気口と補助排気ポンプを結ぶ接続管に第２ターボ分
子ポンプを介在させ、該第２ターボ分子ポンプの前方の
接続管に流量調整バルブを介して該排気管を接続すると
共にその後方の接続管に該流量調整バルブの前方の排気
管を接続したので、分析感度が良くプローブの吸引力が
大きくスニッファー法による漏洩探査に適したヘリウム
リークディテクターが得られ、その構成も簡単で製作が
容易になる等の効果がある。
【図１】従来例の説明図
【図２】他の従来例の説明図
【図３】本発明の実施例の説明図
１ 分析管、２ ターボ分子ポンプ、３、３ａ、３ｂ
接続管、４ 補助排気ポンプ、５ 第２ターボ分子ポン
プ、６ プローブ、７ 排気管、８ 流量調整バルブ、
９ 分岐管、
接続管、４ 補助排気ポンプ、５ 第２ターボ分子ポン
プ、６ プローブ、７ 排気管、８ 流量調整バルブ、
９ 分岐管、
Claims (2)
- 【請求項１】分析管内を排気するターボ分子ポンプの排
気口に接続管を介して補助排気ポンプを接続し、プロー
ブに接続した排気管を流量調整バルブを介して該接続管
へ接続したヘリウムリークディテクターに於いて、該接
続管に該ターボ分子ポンプと直列に接続した第２ターボ
分子ポンプを介在させ、該第２ターボ分子ポンプの前方
の第１の接続管に流量調整バルブを介して該排気管を接
続すると共に該第２ターボ分子ポンプの後方の第２の接
続管に該流量調整バルブの前方の第１の排気管を接続し
たことを特徴とするヘリウムリークディテクター。 - 【請求項２】上記補助排気ポンプはドライポンプである
ことを特徴とする請求項１に記載のヘリウムリークディ
テクター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24171796A JP3675983B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ヘリウムリークディテクター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24171796A JP3675983B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ヘリウムリークディテクター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090104A true JPH1090104A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3675983B2 JP3675983B2 (ja) | 2005-07-27 |
Family
ID=17078493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24171796A Expired - Fee Related JP3675983B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ヘリウムリークディテクター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3675983B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016520196A (ja) * | 2013-05-22 | 2016-07-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | ナノ多孔質膜を有する嗅気型漏洩検出器 |
| JP2016532122A (ja) * | 2013-09-16 | 2016-10-13 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 多段膜式ポンプを備えた嗅気型漏洩検出器 |
| CN107167286A (zh) * | 2017-06-19 | 2017-09-15 | 合肥太通制冷科技有限公司 | 一种冰箱换热器氦检工艺 |
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1996
- 1996-09-12 JP JP24171796A patent/JP3675983B2/ja not_active Expired - Fee Related
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