JPH1081534A - コアバーナ及びコア母材製造方法 - Google Patents

コアバーナ及びコア母材製造方法

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JPH1081534A
JPH1081534A JP23373796A JP23373796A JPH1081534A JP H1081534 A JPH1081534 A JP H1081534A JP 23373796 A JP23373796 A JP 23373796A JP 23373796 A JP23373796 A JP 23373796A JP H1081534 A JPH1081534 A JP H1081534A
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core
gas
burner
gas outlets
refractive index
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Application number
JP23373796A
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Inventor
Junichi Takeda
純一 武田
Yasuhiro Naka
恭宏 仲
Yukio Komura
幸夫 香村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
    • C03B2207/06Concentric circular ports
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/04Multi-nested ports
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 屈折率分布の調整を容易に行えるコアバーナ
を得る。 【解決手段】 同心状に複数のガス流出口6a,6b,
6cを開口させる。同心状の各ガス流出口6a〜6cの
うち中心に存在するガス流出口6a内に、2個のコア形
成原料ガス流出口7a,7bを、ガス流出口6aの中心
を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
心となるコア母材を形成するためのコアバーナ及びコア
母材製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図15は、光ファイバ母材製造装置の概
略構成を示したものである。この装置は、容器1を備
え、該容器1内にはその上部の開口部1aからターゲッ
ト2が垂下されている。このターゲット2の下部に先端
を斜め上向きに対向させてコアバーナ3とクラッドバー
ナ4とが該容器1を貫通して上下に配置されている。こ
れらバーナ3,4に対してターゲット2を挟んで反対側
の容器1の部分には、排気口5が設けられている。この
場合、バーナ3,4としては同心状に複数のガス流出口
が開口されているバーナが用いられている。
【0003】図16は、従来のコアバーナ3の構造を示
したものである。このコアバーナ3においては、同心状
に4つのガス流出口6a,6b,6c,6dが先端に開
口された構造になっている。ガス流出口6aからは四塩
化珪素等のガラス原料を含むコア形成ガスが、ガス流出
口6bからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマ
ニウム等の屈折率調整剤と水素ガスからなる可燃ガスと
を含むコア形成ガスが、ガス流出口6cからはアルゴン
ガスからなるシールガスが、ガス流出口6dからは酸素
ガスからなる支燃ガスが噴出されるようになっている。
【0004】図15及び図16に示す光ファイバ母材製
造装置においては、コアバーナ3の火炎中で反応したガ
ラス原料及び屈折率調整剤がガラス微粒子となり、回転
しながら引き上げられるターゲット2の下部中央にこの
ガラス微粒子が堆積される。また、クラッドバーナ4の
火炎中で反応したガラス原料がガラス微粒子となり、回
転しながら引き上げられるターゲット2の下部外周にこ
のガラス微粒子が堆積される。
【0005】これによりターゲット2の下端に、コアと
クラッドとからなる多孔質の光ファイバ母材が形成さ
れ、これが下向きに成長する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来、上記のようにし
て製造される光ファイバ母材の屈折率分布の調整は、コ
アバーナ3の火炎中全体に広がっている屈折率調整剤と
ガラス原料との反応量を、母材表面温度により変化させ
て行うことが一般的であった。そのため、コア中で図1
8のように屈折率分布を径方向に急峻に変化さる等、思
い通りの屈折率分布を持ったコア母材を製造しようとし
たとき、屈折率の大きさを自由に変化させることは難し
い問題点があった。
【0007】このため、屈折率分布の調整を行っても図
17に示すように屈折率はなだらかに変化し、図18の
ような屈折率分布を持ったコア母材を製造することはで
きなかった。また、図19のように、コア中央部よりも
コア周辺部の屈折率が高いコア母材を製造しようとする
とき、その屈折率差を設計通りにすることは困難であっ
た。
【0008】本発明の目的は、屈折率分布の調整を容易
に行えるコアバーナを提供することにある。
【0009】本発明の他の目的は、屈折率分布の調整を
容易に行えるコア母材製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、同心状に複数
のガス流出口が開口されているコアバーナを改良するも
のである。
【0011】本発明に係るコアバーナにおいては、同心
状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口内
に、コア形成原料ガス流出口が少なくとも2個、該中心
に存在するガス流出口の中心を通る線上に一列に並べた
状態で開口させて設けられていることを特徴とする。
【0012】このようなコアバーナでは、同心状の各ガ
ス流出口のうち中心のガス流出口内に存在する少なくと
も2個のコア形成原料ガス流出口から、屈折率調整剤濃
度を調節したコア形成原料ガスを噴出させつつターゲッ
トの先端に多孔質のコア母材の形成を行うと、コア母材
の屈折率分布をこれらコア形成原料ガス流出口からそれ
ぞれ供給される屈折率調整剤濃度を調節したコア形成原
料ガスにより該コア母材の径方向に調整することがで
き、コア母材の屈折率分布の調整を容易に行うことがで
きる。
【0013】また、本発明は、同心状に複数のガス流出
口が開口されているコアバーナの先端をターゲットの下
部に斜め上向きに対向させ、コアバーナの先端の火炎中
にガラス原料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガスを
投入し反応させることでコア形成用ガラス微粒子を得、
このコア形成用ガラス微粒子をターゲットの下部中央に
付着させることで多孔質のコア母材を製造するコア母材
製造方法を改良するものである。
【0014】本発明に係るコア母材製造方法において
は、コアバーナとして同心状の各ガス流出口のうち中心
に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガス流出口が
少なくとも2個、該中心に存在するガス流出口の中心を
通る線上に一列に並べた状態で開口させて設けられてい
る構造のものを用い、コアバーナは一列に並んだ各コア
形成原料ガス流出口の先端の整列方向が斜め上向きにな
るように配置し、各コア形成原料ガス流出口から屈折率
調整剤濃度を独立して調節したコア形成原料ガスを噴出
させつつコア母材の形成を行うことを特徴とする。
【0015】このように一列に並んだ各コア形成原料ガ
ス流出口の先端を斜め上向きにして配置し、これらコア
形成原料ガス流出口から屈折率調整剤濃度を独立して調
節したコア形成原料ガスを噴出させつつコア母材の形成
を行うと、コア母材の屈折率分布をこれらコア形成原料
ガス流出口からそれぞれ供給される屈折率調整剤濃度を
独立して調節したコア形成原料ガスによりコアの径方向
に個々に調整することができ、所要の屈折率分布をもつ
コア母材の製造を容易に行うことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】図1及び図2は、本発明に係るコ
アバーナ3とこのコアバーナ3を用いたコア母材製造方
法を実施する装置の構成の第1例を示したものである。
【0017】本例のコアバーナ3においては、同心状に
3つのガス流出口6a,6b,6cが円形に開口され、
同心状のこれらガス流出口6a〜6cのうち中心に存在
するガス流出口6a内に、2個のコア形成原料ガス流出
口7a,7bが、該中心に存在するガス流出口6aの中
心を通る線上に一列に並べた状態で相互間に間隔をあけ
ずに円形に開口させて設けられた構造になっている。
【0018】このようなコアバーナ3は、コア形成原料
ガス流出口7a,7bの先端の整列方向が図1に示すタ
ーゲット2の下端の傾斜面がなす線ab方向に対して図
3(A)に示すように同じ方向となるように、換言すれ
ばコア形成原料ガス流出口7a,7bの先端の整列方向
がターゲット2の回転方向に対して直交する方向となる
ようにして斜め上向きにターゲット2の下部に対向させ
る。
【0019】特に、本例では、このコアバーナ3は、図
1に示すように一列に並んだ各コア形成原料ガス流出口
7a,7bの先端の整列方向が斜め上向きになり且つタ
ーゲット2の軸心2aに平行する向きで該軸心2aを通
る仮想平面上に各コア形成原料ガス流出口7a,7bの
先端の整列方向の線が乗る向きで配置してターゲット2
の下部に対向させる。
【0020】この場合、コア形成原料ガス流出口7a,
7bからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマニ
ウム等の屈折率調整剤を含むコア形成ガスが、ガス流出
口6aからは水素ガスからなる可燃ガスが、ガス流出口
6bからは不活性ガスの一種であるアルゴンガスからな
るシールガスが、ガス流出口6cからは酸素ガスからな
る支燃ガスが噴出されるようになっている。
【0021】このようなガスをコアバーナ3の先端から
噴出させて、該コアバーナ3の先端の火炎中に投入し反
応させることで純石英ガラスとは異なった屈折率を持っ
たコア形成用ガラス微粒子を得、このコア形成用ガラス
微粒子をターゲット2の下部中央に付着させることで多
孔質のコア母材を製造する。
【0022】このとき、コアバーナ3のコア形成原料ガ
ス流出口7a,7bに供給する屈折率調整剤の量を個々
に調整して異なったものにすると、コアバーナ3の火炎
中の屈折率調整剤の分布は、コア形成原料ガス流出口7
a,7bの並ぶ方向に異なったものとなる。このため相
互のコア形成原料ガス流出口7a,7bの屈折率調整剤
の濃度の違いをターゲット2の径方向に反映させること
ができ、コア母材の屈折率分布を径方向に急峻に変化さ
せることができる。
【0023】それ故、従来の母材表面の温度だけによる
屈折率の調整に比べて、より屈折率の調整がし易くな
り、コアバーナ3の火炎中、またターゲット2に堆積す
る屈折率調整剤の濃度を大きく変化させることができ、
コアバーナ3の火炎中に投入する屈折率調整剤に応じた
屈折率分布を多孔質のコア母材に得ることができる。
【0024】この際に、コアバーナ3は、コア形成原料
ガス流出口7a,7bに供給する屈折率調整剤の量を個
々に調整することで、図18のような急峻な屈折率分布
を持ったコア母材を製造することができる。また、コア
形成原料ガス流出口7bに供給する屈折率調整剤の量に
比べてコア形成原料ガス流出口7aに供給する屈折率調
整剤の量を少なくすると、図19に示すようにコア中央
部よりもコア周辺部の屈折率が高いコア母材を製造する
ことができる。
【0025】この場合、コアバーナ3で生成したガラス
微粒子等は、回転しているターゲット2に堆積するた
め、コア形成原料ガス流出口7a,7bの先端の整列方
向が図1に示すターゲット2の傾斜下面がなす線ab方
向に対して図3(B)に示すように交差する方向となる
ように、換言すればコア形成原料ガス流出口7a,7b
の先端の整列方向がターゲット2の回転方向となるよう
にして斜め上向きにコアバーナ3を配置し、各コア形成
原料ガス流出口7a,7bから流出させる屈折率調整剤
の量を違えると、ターゲット2の回転方向に沿って屈折
率調整剤の分布の違いが一瞬の間生じるが、ターゲット
2の回転によりその回転方向に屈折率調整剤の濃度の違
うものが重なって堆積され、コア母材の径方向の屈折率
分布の変化とはならない。
【0026】図4は、本発明に係るコアバーナ3の構成
の第2例を示したものである。
【0027】本例のコアバーナ3においては、同心状に
3つのガス流出口6a,6b,6c,6dが円形に開口
され、同心状のこれらガス流出口6a〜6dのうち中心
に存在するガス流出口6a内に、2個のコア形成原料ガ
ス流出口7a,7bが、該中心に存在するガス流出口6
aの中心を通る線上に一列に並べた状態で相互間に間隔
をあけて円形に開口させて設けられた構造になってい
る。
【0028】この場合、コア形成原料ガス流出口7a,
7bからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマニ
ウム等の屈折率調整剤とアルゴンガスからなるキャリア
ガスとを含むコア形成ガスが、ガス流出口6aからはア
ルゴンガスからなるシールガスが、ガス流出口6bから
は水素ガスからなる可燃ガスが、ガス流出口6cからは
アルゴンガスからなるシールガスが、ガス流出口6dか
らは酸素ガスからなる支燃ガスが噴出されるようになっ
ている。
【0029】このようなコアバーナ3も、コア形成原料
ガス流出口7a,7bの先端の整列方向が斜め上向きに
なるように配置してターゲット2の下部に対向させる。
【0030】本例で用いるコアバーナ3は、コア形成原
料ガス流出口7a,7bを囲むアルゴンガスからなるシ
ールガスの厚さが均等になるように、図5に示すように
ガス流出口6a内の両側にコア形成原料ガス流出口7
a,7bの列に沿って蓋8a,8bをすることが好まし
い。
【0031】このように蓋8a,8bをつけると、第1
層のガス流出口6aから出るシールガスの厚みが均一と
なり、コアバーナ3の延命化及び屈折率分布制御の向上
を図ることができる。本例では、コア形成原料ガス流出
口7a,7bが相互間に間隔をあけて配置されているの
で、これらガス流出口7a,7bから出たガラス原料及
び屈折率調整剤により形成された両ガラス微粒子は、ガ
ス流出口6aから出たアルゴンガスにより分離されるた
めほとんど混合することがなく、このため得られるコア
母材の径方向の屈折率分布の界面は急峻となる。
【0032】このとき、コア形成原料ガス流出口7aと
7bのガラス原料を異なった量入れ、また、屈折率調整
剤の割合も変えることで、図6に記載されている屈折率
分布を持ったコア母材を製造することができる。このと
き、図5中のAとBの径、及び屈折率の大きさCとDは
自由に形成できる。
【0033】また、このとき、コアバーナ3は1本に限
らず、同様な構造のものを複数本、そのコア形成原料ガ
ス流出口7a,7bの先端の整列方向が斜め上向きにな
るように配置してターゲット2の下部に対向させことに
より、コア母材の製造を行うことができる。
【0034】図7は、本発明に係るコアバーナ3の構成
の第3例を示したものである。
【0035】本例のコアバーナ3においては、同心状の
円形のガス流出口6a〜6dのうち中心に存在するガス
流出口6a内に、図4に示すコアバーナ3と違って3個
のコア形成原料ガス流出口7a,7b,7cが、該中心
に存在するガス流出口6aの中心を通る線上に一列に並
べた状態で相互間に間隔をあけて円形に開口させて設け
られた構造になっている点で第2例のコアバーナ3と相
違している。
【0036】このようなコアバーナ3も、コア形成原料
ガス流出口7a〜7cの先端の整列方向が斜め上向きに
なるように配置してターゲット2の下部に対向させる。
【0037】また、この場合も、第2例と同様に、コア
形成原料ガス流出口7a,7b,7cからは四塩化珪素
等のガラス原料と四塩化ゲルマニウム等の屈折率調整剤
とアルゴンガスからなるキャリアガスとを含むコア形成
ガスが、ガス流出口6aからはアルゴンガスからなるシ
ールガスが、ガス流出口6bからは水素ガスからなる可
燃ガスが、ガス流出口6cからはアルゴンガスからなる
シールガスが、ガス流出口6dからは酸素ガスからなる
支燃ガスが噴出されるようになっている。
【0038】このような構造のコアバーナ3でも、第2
例のコアバーナ3と同様な効果を得ることができる。特
に、本例のようにコア形成原料ガス流出口の数を増やす
と、コアの屈折率分布が複雑になっても、径方向の屈折
率分布の調整を容易に行うことができる。
【0039】図8は、本発明に係るコアバーナ3を用い
るコア母材製造装置の構成の第2例を示したものであ
る。
【0040】本例のコア母材製造装置では、図1に示す
装置のコアバーナ3がその軸心の回りに若干回転されて
配置された構造になっている。換言すれば、本例のコア
バーナ3は、一列に並んだ各コア形成原料ガス流出口7
a,7bの先端の整列方向が斜め上向きになり且つター
ゲット2の軸心2aを通る仮想平面上にコア形成原料ガ
ス流出口7a,7bのうちの1つの中心が乗り、この仮
想平面に対して各コア形成原料ガス流出口7a,7bの
先端の整列方向の線が交差する向きで配置されてターゲ
ット2の下部に対向されている。
【0041】このようにコアバーナ3を設置すると、コ
ア母材の径方向の屈折率分布の変化を図9に示すように
なだらかにすることができる。
【0042】図10は、本発明に係るコアバーナ3の構
成の第4例を示したものである。
【0043】本例のコアバーナ3においては、同心状の
円形のガス流出口6a〜6dのうち中心に存在するガス
流出口6a内に、3個の円形のコア形成原料ガス流出口
7a,7b,7cが設けられた構造になっている点は図
7に示す第3例のコアバーナ3と同様である。特に、本
例のコアバーナ3においては、3個のコア形成原料ガス
流出口7a,7b,7cのうちの隣り合う2個のコア形
成原料ガス流出口7a,7bが、同心状のガス流出口6
a〜6dのうち中心に存在するガス流出口6aの中心を
通る線P上に一列に並べられている。また、隣り合う2
個のコア形成原料ガス流出口7b,7cが、コア形成原
料ガス流出口7a,7bが並ぶ線Pに対して角度θをな
して該中心に存在するガス流出口6aの中心を通る線Q
上に一列に並べて配置されている。即ち、ガス流出口内
で並んでいるコア形成原料ガス流出口7a,7b,7c
は並んだ順序で2つの群である7a,7bの群と7b,
7cの群とに分けられ、1つの群のコア形成原料ガス流
出口7a,7bは同心状の各ガス流出口6a〜6dのう
ち中心に存在するガス流出口6aの中心を通る線P上に
並べて配置され、他の1つの群のコア形成原料ガス流出
口7b,7cは線Pに対して角度θをなして該中心に存
在するガス流出口6aの中心を通る他の線Q上に一列に
並べて配置されている。ここで、コア形成原料ガス流出
口の群の分け方は、中間の1つが重複する場合と、重複
しない場合とがある。
【0044】この場合も、コア形成原料ガス流出口7
a,7b,7cからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩
化ゲルマニウム等の屈折率調整剤とを含むコア形成ガス
が、ガス流出口6aからはアルゴンガスからなるシール
ガスが、ガス流出口6bからは水素ガスからなる可燃ガ
スが、ガス流出口6cからはアルゴンガスからなるシー
ルガスが、ガス流出口6dからは酸素ガスからなる支燃
ガスが噴出されるようになっている。
【0045】このようなコアバーナ3は、コア形成原料
ガス流出口7b,7cの先端の整列方向が斜め上向きに
なるように配置してターゲット2の下部に対向させる。
【0046】このような構造で、コア形成原料ガス流出
口7a,7b,7cから噴出させる屈折率調整剤の濃度
a,b,cをa<b<cとすると、得られるコア母材の
径方向の屈折率分布は図11に示すようになる。また、
コア形成原料ガス流出口7a,7b,7cから噴出させ
る屈折率調整剤の濃度a,b,cをc<b<aとする
と、得られるコア母材の径方向の屈折率分布は図12に
示すようになる。
【0047】図13は、本発明に係るコアバーナ3の構
成の第5例を示したものである。
【0048】本例のコアバーナ3においては、同心状の
四角形のガス流出口6a〜6dのうち中心に存在するガ
ス流出口6a内に、5個のガス流出口9a,9b,9
c,9dが、該中心に存在するガス流出口6aの中心を
通る線上に一列に並べた状態で四角形に開口させて設け
られた構造になっている。
【0049】このようなコアバーナ3も、ガス流出口9
a〜9dの先端の整列方向が斜め上向きになるように配
置してターゲット2の下部に対向させる。
【0050】また、この場合は、ガス流出口9a,9
c,9eがコア形成原料ガス流出口として作用してこれ
らガス流出口9a,9c,9eからは四塩化珪素等のガ
ラス原料と四塩化ゲルマニウム等の屈折率調整剤とアル
ゴンガスからなるキャリアガスとを含むコア形成ガス
が、ガス流出口9b,9dからはアルゴンガスからなる
シールガスが、ガス流出口6aからはアルゴンガスから
なるシールガスが、ガス流出口6bからは水素ガスから
なる可燃ガスが、ガス流出口6cからはアルゴンガスか
らなるシールガスが、ガス流出口6dからは酸素ガスか
らなる支燃ガスが噴出されるようになっている。
【0051】このようなコアバーナ3においては、ガス
流出口9b,9dからアルゴンガスからなるキャリアガ
スを噴出させると、ガス流出口9a,9c,9eから噴
出させる屈折率調整剤の拡散混合が抑えられ、得られる
コア母材の径方向の屈折率分布の界面は急峻となる。逆
に、ガス流出口9b,9dからガスを噴出させないと、
得られるコア母材の径方向の屈折率分布の界面はなだら
かとなる。
【0052】図14は、本発明に係るコアバーナ3の構
成の第6例を示したものである。
【0053】本例のコアバーナ3においては、同心状に
3つのガス流出口6a,6b,6c,6d,6eが円形
に開口され、同心状のこれらガス流出口6a〜6eのう
ち中心に存在するガス流出口6a内に、2個のコア形成
原料ガス流出口7a,7bが、該中心に存在するガス流
出口6aの中心を通る線上に一列に並べた状態で相互間
に間隔をあけて円形に開口させて設けられた構造になっ
ている。
【0054】この場合、コア形成原料ガス流出口7a,
7bからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマニ
ウム等の屈折率調整剤と酸素ガスからなる支燃ガスとを
含むコア形成ガスが、ガス流出口6aからはガス流出口
7a,7bから噴出させる酸素ガスからなる支燃ガスと
酸素ガスからなる支燃ガスを混入したアルゴンガスから
なるキャリアガスが、ガス流出口6bからはアルゴンガ
スからなるシールガスが、ガス流出口6cからは水素ガ
スからなる可燃ガスが、ガス流出口6dからはアルゴン
ガスからなるシールガスが、ガス流出口6eからは酸素
ガスからなる支燃ガスが噴出されるようになっている。
【0055】このようなコアバーナ3は、コア形成原料
ガス流出口7a,7bとガス流出口7aから噴出ガスに
酸素ガスからなる支燃ガスを混入しているので、このコ
アバーナ3の先端の火炎の中心部での反応速度が向上
し、ガラス微粒子の粒子化が促進されることにより屈折
率調整剤などの拡散を抑えることができるため、得られ
るコア母材の径方向の屈折率分布の制御がより行い易く
なる。
【0056】これは、前述した第1例から第5例のコア
バーナ3においても、同様に酸素ガスからなる支燃ガス
を混入すると、同様の効果を得ることができる。
【0057】この第6例のコアバーナ3においても、コ
ア形成原料ガス流出口7a,7bの間に間隔を開けてい
るので、図4に示すコアバーナ3の場合と同様に、これ
らガス流出口7a,7bから出たガラス原料及び屈折率
調整剤により形成された両ガラス微粒子は、ガス流出口
6aから出たアルゴンガスにより分離されるためほとん
ど混合するこがなく、このため得られるコア母材の径方
向の屈折率分布の界面は急峻となる。
【0058】上記例では、コアバーナ3を用いて多孔質
のコア母材を製造する場合について説明したが、図15
に示すようにコアバーナ3とクラッドバーナ4とを用い
ると、光ファイバ母材の製造を行うことができる。
【0059】また、各例では、キャリアガスやシールガ
スとしてアルゴンガスを用いたが、これらガスとしては
ヘリウムガス等のその他の不活性ガスや窒素ガス等を用
いることもできる。
【0060】本明細書で説明した複数の発明のうち、い
くつかの発明についてその必須要件を記載すると、下記
の通りである。
【0061】(1) 同心状に複数のガス流出口が開口
されているコアバーナにおいて、同心状の各ガス流出口
のうち中心に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガ
ス流出口が少なくとも2個、該中心に存在するガス流出
口の中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設
けられていることを特徴とするコアバーナ。
【0062】(2) 同心状に複数のガス流出口が開口
されているコアバーナにおいて、同心状の各ガス流出口
のうち中心に存在するガス流出口内に3個以上のコア形
成原料ガス流出口が所定の順序で並べて配置され、これ
ら3個以上のコア形成原料ガス流出口は並んだ順序で2
つの群に分けられ、1つの群のコア形成原料ガス流出口
は前記同心状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス
流出口の中心を通る線P上に並べて配置され、他の1つ
の群のコア形成原料ガス流出口は前記線Pに対して角度
θをなして該中心に存在するガス流出口の中心を通る他
の線Q上に一列に並べて配置されているていることを特
徴とするコアバーナ。
【0063】(3) 前記中心に存在するガス流出口の
中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設けら
れている複数のコア形成原料ガス流出口は隣接相互間に
間隔があけられていることを特徴とする前記(1)また
は(2)に記載のコアバーナ。 (4) 同心状に複数の四角形のガス流出口が開口され
ているコアバーナにおいて、同心状の各ガス流出口のう
ち中心に存在するガス流出口内に3個以上の四角形のコ
ア形成原料ガス流出口が、該中心に存在するガス流出口
の中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設け
られていることを特徴とするコアバーナ。
【0064】(5) 同心状に複数のガス流出口が開口
されているコアバーナの先端をターゲットの下部に斜め
上向きに対向させ、前記コアバーナの先端の火炎中にガ
ラス原料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガスを投入
し反応させることでコア形成用ガラス微粉末を得、この
コア形成用ガラス微粉末をターゲットの下部に付着させ
ることで多孔質のコア母材を製造するコア母材製造方法
において、前記コアバーナとして同心状の各ガス流出口
のうち中心に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガ
ス流出口が少なくとも2個、該中心に存在するガス流出
口の中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設
けられている構造のものを用い、前記コアバーナは一列
に並んだ前記各コア形成原料ガス流出口の先端の整列方
向が斜め上向きになるように配置し、前記各コア形成原
料ガス流出口から屈折率調整剤濃度を独立して調節した
コア形成原料ガスを噴出させつつ多孔質のコア母材の製
造を行うことを特徴とするコア母材製造方法。
【0065】(6) 同心状に複数の四角形のガス流出
口が開口されているコアバーナの先端をターゲットの下
部に斜め上向きに対向させ、前記コアバーナの先端の火
炎中にガラス原料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガ
スを投入し反応させることでコア形成用ガラス微粉末を
得、このコア形成用ガラス微粉末をターゲットの下部に
付着させることで多孔質のコア母材を製造するコア母材
製造方法において、前記コアバーナとして前記同心状の
四角形の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口
内に3個以上の四角形のガス流出口が、該中心に存在す
るガス流出口の中心を通る線上に一列に並べた状態で開
口させて設けられている構造のものを用い、前記コアバ
ーナは一列に並んだ前記ガス流出口の先端の整列方向が
斜め上向きになるように配置し、前記一列に並んだガス
流出口のうちの1つおきのガス流出口から屈折率調整剤
濃度を独立して調節したコア形成原料ガスを噴出させ、
前記一列に並んだガス流出口のうち残りのガス流出口か
らはシールガスを噴出させつつ多孔質のコア母材の製造
を行うことを特徴とするコア母材製造方法。
【0066】
【発明の効果】本発明に係るコアバーナにおいては、同
心状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口内
に、コア形成原料ガス流出口を少なくとも2個、該中心
に存在するガス流出口の中心を通る線上に一列に並べた
状態で開口させて設けているので、これらコア形成原料
ガス流出口から、屈折率調整剤濃度を調節したコア形成
原料ガスを噴出させつつターゲットの先端に多孔質のコ
ア母材の形成を行うと、該コア母材の径方向の屈折率分
布を調整することができて、コア母材の径方向の屈折率
分布の調整を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るコアバーナを用いたコア母材製造
装置の構成の第1例を示した要部斜視図である。
【図2】本発明に係るコアバーナの第1例を示した正面
図である。
【図3】(A)(B)は図2に示すコアバーナの配置状
態の2つの例を示す正面図である。
【図4】本発明に係るコアバーナの第2例を示した正面
図である。
【図5】図4に示すコアバーナの変形例を示した正面図
である。
【図6】図4に示すコアバーナで製造されるコア母材の
径方向の屈折率分布の一例を示す線図である。
【図7】本発明に係るコアバーナの第3例を示した正面
図である。
【図8】本発明に係るコアバーナを用いたコア母材製造
装置の構成の第2例を示した要部斜視図である。
【図9】図8に示すコア母材製造装置で製造されるコア
母材の径方向の屈折率分布の一例を示す線図である。
【図10】本発明に係るコアバーナの第4例を示した正
面図である。
【図11】図10に示すコアバーナで製造されるコア母
材の径方向の屈折率分布の一例を示す線図である。
【図12】図10に示すコアバーナで製造されるコア母
材の径方向の屈折率分布の他の例を示す線図である。
【図13】本発明に係るコアバーナの第5例を示した正
面図である。
【図14】本発明に係るコアバーナの第6例を示した正
面図である。
【図15】従来の光ファイバ母材製造装置の構成を示し
た縦断面図である。
【図16】従来のコアバーナの正面図である。
【図17】従来のコアバーナで製造されるコア母材の径
方向の屈折率分布の一例を示す線図である。
【図18】従来のコアバーナで製造されるコア母材の径
方向の屈折率分布の他の例を示す線図である。
【図19】従来のコアバーナで製造されるコア母材の径
方向の屈折率分布の更に他の例を示す線図である。
【符号の説明】
1 容器 1a 開口部 2 ターゲット 3 コアバーナ 4 クラッドバーナ 5 排気口 6a〜6e ガス流出口 7a,7b,7c コア形成原料ガス流出口 8a,8b 蓋 9a〜9e ガス流出口

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同心状に複数のガス流出口が開口されて
    いるコアバーナにおいて、 同心状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口
    内に、コア形成原料ガス流出口が少なくとも2個、該中
    心に存在するガス流出口の中心を通る線上に一列に並べ
    た状態で開口させて設けられていることを特徴とするコ
    アバーナ。
  2. 【請求項2】 同心状に複数のガス流出口が開口されて
    いるコアバーナの先端をターゲットの下部に斜め上向き
    に対向させ、前記コアバーナの先端の火炎中にガラス原
    料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガスを投入し反応
    させることでコア形成用ガラス微粉末を得、このコア形
    成用ガラス微粉末をターゲットの下部に付着させること
    で多孔質のコア母材を製造するコア母材製造方法におい
    て、 前記コアバーナとして同心状の各ガス流出口のうち中心
    に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガス流出口が
    少なくとも2個、該中心に存在するガス流出口の中心を
    通る線上に一列に並べた状態で開口させて設けられてい
    る構造のものを用い、 前記コアバーナは一列に並んだ前記各コア形成原料ガス
    流出口の先端の整列方向が斜め上向きになるように配置
    し、 前記各コア形成原料ガス流出口から屈折率調整剤濃度を
    独立して調節したコア形成原料ガスを噴出させつつ多孔
    質のコア母材の製造を行うことを特徴とするコア母材製
    造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004056714A1 (en) * 2002-12-20 2004-07-08 Pirelli & C. S.P.A. Burner for chemical vapour deposition of glass
JP2020015658A (ja) * 2018-07-27 2020-01-30 日本山村硝子株式会社 結晶性ガラス封止材及びその製造方法

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