JPH1081534A - Core burner and production of core preform - Google Patents

Core burner and production of core preform

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JPH1081534A
JPH1081534A JP23373796A JP23373796A JPH1081534A JP H1081534 A JPH1081534 A JP H1081534A JP 23373796 A JP23373796 A JP 23373796A JP 23373796 A JP23373796 A JP 23373796A JP H1081534 A JPH1081534 A JP H1081534A
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JP
Japan
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core
gas
burner
gas outlets
refractive index
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Application number
JP23373796A
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Japanese (ja)
Inventor
Junichi Takeda
純一 武田
Yasuhiro Naka
恭宏 仲
Yukio Komura
幸夫 香村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
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    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
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    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/06—Concentric circular ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/18—Eccentric ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a core burner capable of readily adjusting a refractive index distribution, useful for producing an optical fiber preform, by installing the outlet of a core forming raw material gas at a specific position in the core burner having concentric gas outlets. SOLUTION: This core burner 3 concentrically opens plural gas outlets 6a, 6b and 6c. In the gas outlet 6a existing at the center of the concentric gas outlets 6a to 6c, two outlets 7a and 7b of core forming raw material gas are opened in a state arranged in a line on the central line of the gas outlet 6a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
心となるコア母材を形成するためのコアバーナ及びコア
母材製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a core burner for forming a core preform serving as a core of an optical fiber preform and a method for manufacturing a core preform.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図１５は、光ファイバ母材製造装置の概
略構成を示したものである。この装置は、容器１を備
え、該容器１内にはその上部の開口部１ａからターゲッ
ト２が垂下されている。このターゲット２の下部に先端
を斜め上向きに対向させてコアバーナ３とクラッドバー
ナ４とが該容器１を貫通して上下に配置されている。こ
れらバーナ３，４に対してターゲット２を挟んで反対側
の容器１の部分には、排気口５が設けられている。この
場合、バーナ３，４としては同心状に複数のガス流出口
が開口されているバーナが用いられている。2. Description of the Related Art FIG. 15 shows a schematic configuration of an optical fiber preform manufacturing apparatus. The apparatus includes a container 1 in which a target 2 is suspended from an opening 1a at the top. A core burner 3 and a clad burner 4 penetrate the container 1 and are disposed vertically below the lower end of the target 2 with the tip facing diagonally upward. An exhaust port 5 is provided in a portion of the container 1 opposite to the burners 3 and 4 across the target 2. In this case, burners in which a plurality of gas outlets are opened concentrically are used as the burners 3 and 4.

【０００３】図１６は、従来のコアバーナ３の構造を示
したものである。このコアバーナ３においては、同心状
に４つのガス流出口６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが先端に開
口された構造になっている。ガス流出口６ａからは四塩
化珪素等のガラス原料を含むコア形成ガスが、ガス流出
口６ｂからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマ
ニウム等の屈折率調整剤と水素ガスからなる可燃ガスと
を含むコア形成ガスが、ガス流出口６ｃからはアルゴン
ガスからなるシールガスが、ガス流出口６ｄからは酸素
ガスからなる支燃ガスが噴出されるようになっている。FIG. 16 shows the structure of a conventional core burner 3. The core burner 3 has a structure in which four gas outlets 6a, 6b, 6c and 6d are concentrically opened at the tip. A core forming gas containing a glass material such as silicon tetrachloride is emitted from the gas outlet 6a, and a combustible gas comprising a glass material such as silicon tetrachloride, a refractive index adjuster such as germanium tetrachloride, and hydrogen gas is emitted from the gas outlet 6b. The seal gas made of argon gas is ejected from the gas outlet 6c, and the supporting gas made of oxygen gas is ejected from the gas outlet 6d.

【０００４】図１５及び図１６に示す光ファイバ母材製
造装置においては、コアバーナ３の火炎中で反応したガ
ラス原料及び屈折率調整剤がガラス微粒子となり、回転
しながら引き上げられるターゲット２の下部中央にこの
ガラス微粒子が堆積される。また、クラッドバーナ４の
火炎中で反応したガラス原料がガラス微粒子となり、回
転しながら引き上げられるターゲット２の下部外周にこ
のガラス微粒子が堆積される。In the optical fiber preform manufacturing apparatus shown in FIGS. 15 and 16, the glass raw material and the refractive index adjuster reacted in the flame of the core burner 3 become glass fine particles, and are located at the lower center of the target 2 which is pulled up while rotating. The glass particles are deposited. Further, the glass raw material reacted in the flame of the clad burner 4 becomes glass fine particles, and the glass fine particles are deposited on the lower periphery of the target 2 which is pulled up while rotating.

【０００５】これによりターゲット２の下端に、コアと
クラッドとからなる多孔質の光ファイバ母材が形成さ
れ、これが下向きに成長する。As a result, a porous optical fiber preform composed of a core and a clad is formed at the lower end of the target 2 and grows downward.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来、上記のようにし
て製造される光ファイバ母材の屈折率分布の調整は、コ
アバーナ３の火炎中全体に広がっている屈折率調整剤と
ガラス原料との反応量を、母材表面温度により変化させ
て行うことが一般的であった。そのため、コア中で図１
８のように屈折率分布を径方向に急峻に変化さる等、思
い通りの屈折率分布を持ったコア母材を製造しようとし
たとき、屈折率の大きさを自由に変化させることは難し
い問題点があった。Conventionally, the refractive index distribution of the optical fiber preform manufactured as described above is adjusted by adjusting the refractive index adjusting agent and the glass material which are spread throughout the flame of the core burner 3. In general, the reaction amount was changed according to the base material surface temperature. Therefore, in the core
It is difficult to freely change the size of the refractive index when manufacturing a core base material having the desired refractive index distribution, such as abruptly changing the refractive index distribution in the radial direction as shown in FIG. was there.

【０００７】このため、屈折率分布の調整を行っても図
１７に示すように屈折率はなだらかに変化し、図１８の
ような屈折率分布を持ったコア母材を製造することはで
きなかった。また、図１９のように、コア中央部よりも
コア周辺部の屈折率が高いコア母材を製造しようとする
とき、その屈折率差を設計通りにすることは困難であっ
た。For this reason, even if the refractive index distribution is adjusted, the refractive index gradually changes as shown in FIG. 17, and it is not possible to manufacture a core base material having a refractive index distribution as shown in FIG. Was. Further, as shown in FIG. 19, when manufacturing a core base material having a higher refractive index at the core peripheral portion than at the core central portion, it was difficult to make the refractive index difference as designed.

【０００８】本発明の目的は、屈折率分布の調整を容易
に行えるコアバーナを提供することにある。An object of the present invention is to provide a core burner that can easily adjust the refractive index distribution.

【０００９】本発明の他の目的は、屈折率分布の調整を
容易に行えるコア母材製造方法を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a core base material that can easily adjust the refractive index distribution.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、同心状に複数
のガス流出口が開口されているコアバーナを改良するも
のである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention improves a core burner in which a plurality of gas outlets are opened concentrically.

【００１１】本発明に係るコアバーナにおいては、同心
状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口内
に、コア形成原料ガス流出口が少なくとも２個、該中心
に存在するガス流出口の中心を通る線上に一列に並べた
状態で開口させて設けられていることを特徴とする。In the core burner according to the present invention, at least two core forming raw material gas outlets are provided at the center of each of the concentric gas outlets, and the center of the gas outlet at the center is provided. Are provided so as to be opened in a state of being arranged in a line on a line passing through.

【００１２】このようなコアバーナでは、同心状の各ガ
ス流出口のうち中心のガス流出口内に存在する少なくと
も２個のコア形成原料ガス流出口から、屈折率調整剤濃
度を調節したコア形成原料ガスを噴出させつつターゲッ
トの先端に多孔質のコア母材の形成を行うと、コア母材
の屈折率分布をこれらコア形成原料ガス流出口からそれ
ぞれ供給される屈折率調整剤濃度を調節したコア形成原
料ガスにより該コア母材の径方向に調整することがで
き、コア母材の屈折率分布の調整を容易に行うことがで
きる。In such a core burner, at least two core forming material gas outlets existing in the central gas outlet among the concentric gas outlets are used to adjust the concentration of the refractive index adjusting agent. When a porous core preform is formed at the tip of the target while jetting the core, the refractive index distribution of the core preform is adjusted by adjusting the concentration of the refractive index adjusting agent supplied from each of the core forming material gas outlets. The material gas can be adjusted in the radial direction of the core base material, and the refractive index distribution of the core base material can be easily adjusted.

【００１３】また、本発明は、同心状に複数のガス流出
口が開口されているコアバーナの先端をターゲットの下
部に斜め上向きに対向させ、コアバーナの先端の火炎中
にガラス原料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガスを
投入し反応させることでコア形成用ガラス微粒子を得、
このコア形成用ガラス微粒子をターゲットの下部中央に
付着させることで多孔質のコア母材を製造するコア母材
製造方法を改良するものである。[0013] The present invention also relates to a core burner having a plurality of gas outlets concentrically opened so that a tip of the core burner is obliquely upwardly opposed to a lower portion of a target. A glass fine particle for core formation is obtained by introducing and reacting a core forming raw material gas containing
The method of manufacturing a core base material for manufacturing a porous core base material by attaching the glass fine particles for forming a core to the lower center of the target is improved.

【００１４】本発明に係るコア母材製造方法において
は、コアバーナとして同心状の各ガス流出口のうち中心
に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガス流出口が
少なくとも２個、該中心に存在するガス流出口の中心を
通る線上に一列に並べた状態で開口させて設けられてい
る構造のものを用い、コアバーナは一列に並んだ各コア
形成原料ガス流出口の先端の整列方向が斜め上向きにな
るように配置し、各コア形成原料ガス流出口から屈折率
調整剤濃度を独立して調節したコア形成原料ガスを噴出
させつつコア母材の形成を行うことを特徴とする。In the method of manufacturing a core base material according to the present invention, at least two core forming material gas outlets are provided at the center of the concentric gas outlets as core burners. The core burner has a structure that is provided in a state of being opened in a line on the line passing through the center of the gas outlet, and the core burner is arranged such that the tip of each core forming raw material gas outlet is lined up obliquely. The core base material is formed while ejecting a core forming material gas whose refractive index adjusting agent concentration is independently adjusted from each core forming material gas outlet.

【００１５】このように一列に並んだ各コア形成原料ガ
ス流出口の先端を斜め上向きにして配置し、これらコア
形成原料ガス流出口から屈折率調整剤濃度を独立して調
節したコア形成原料ガスを噴出させつつコア母材の形成
を行うと、コア母材の屈折率分布をこれらコア形成原料
ガス流出口からそれぞれ供給される屈折率調整剤濃度を
独立して調節したコア形成原料ガスによりコアの径方向
に個々に調整することができ、所要の屈折率分布をもつ
コア母材の製造を容易に行うことができる。The core forming source gas outlets arranged in a line as described above are arranged so that the tips of the core forming source gas outlets are obliquely upward, and the refractive index adjusting agent concentration is independently adjusted from these core forming source gas outlets. When the core base material is formed while the core base material is formed, the refractive index distribution of the core base material is adjusted by the core forming source gas in which the refractive index adjusting agent concentrations supplied from the respective core forming source gas outlets are independently adjusted. Can be adjusted individually in the radial direction, and a core base material having a required refractive index distribution can be easily manufactured.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】図１及び図２は、本発明に係るコ
アバーナ３とこのコアバーナ３を用いたコア母材製造方
法を実施する装置の構成の第１例を示したものである。1 and 2 show a first example of the structure of an apparatus for implementing a core burner 3 and a method of manufacturing a core base material using the core burner 3 according to the present invention.

【００１７】本例のコアバーナ３においては、同心状に
３つのガス流出口６ａ，６ｂ，６ｃが円形に開口され、
同心状のこれらガス流出口６ａ〜６ｃのうち中心に存在
するガス流出口６ａ内に、２個のコア形成原料ガス流出
口７ａ，７ｂが、該中心に存在するガス流出口６ａの中
心を通る線上に一列に並べた状態で相互間に間隔をあけ
ずに円形に開口させて設けられた構造になっている。In the core burner 3 of the present embodiment, three gas outlets 6a, 6b, 6c are opened concentrically in a circular shape.
Among the concentric gas outlets 6a to 6c, two core forming raw material gas outlets 7a and 7b pass through the center of the gas outlet 6a existing at the center in the gas outlet 6a existing at the center. It has a structure in which it is arranged in a line on a line and opened in a circular shape without any interval between them.

【００１８】このようなコアバーナ３は、コア形成原料
ガス流出口７ａ，７ｂの先端の整列方向が図１に示すタ
ーゲット２の下端の傾斜面がなす線ａｂ方向に対して図
３（Ａ）に示すように同じ方向となるように、換言すれ
ばコア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂの先端の整列方向
がターゲット２の回転方向に対して直交する方向となる
ようにして斜め上向きにターゲット２の下部に対向させ
る。In FIG. 3A, the core burner 3 is arranged such that the alignment direction of the tips of the core forming raw material gas outlets 7a and 7b is in the direction of the line ab formed by the inclined surface of the lower end of the target 2 shown in FIG. As shown in the figure, the alignment direction of the tips of the core-forming source gas outlets 7a and 7b is set to be in the same direction as that shown in FIG. Face the lower part.

【００１９】特に、本例では、このコアバーナ３は、図
１に示すように一列に並んだ各コア形成原料ガス流出口
７ａ，７ｂの先端の整列方向が斜め上向きになり且つタ
ーゲット２の軸心２ａに平行する向きで該軸心２ａを通
る仮想平面上に各コア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂの
先端の整列方向の線が乗る向きで配置してターゲット２
の下部に対向させる。In particular, in the present embodiment, the core burner 3 is arranged such that the leading ends of the core forming raw material gas outlets 7a and 7b arranged in a line as shown in FIG. The target 2 is arranged in such a manner that the lines in the alignment direction of the tips of the core forming raw material gas outlets 7a and 7b ride on a virtual plane passing through the axis 2a in a direction parallel to the axis 2a.
To the lower part of

【００２０】この場合、コア形成原料ガス流出口７ａ，
７ｂからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマニ
ウム等の屈折率調整剤を含むコア形成ガスが、ガス流出
口６ａからは水素ガスからなる可燃ガスが、ガス流出口
６ｂからは不活性ガスの一種であるアルゴンガスからな
るシールガスが、ガス流出口６ｃからは酸素ガスからな
る支燃ガスが噴出されるようになっている。In this case, the core forming material gas outlets 7a,
7b, a core forming gas containing a glass material such as silicon tetrachloride and a refractive index adjusting agent such as germanium tetrachloride; a combustible gas comprising hydrogen gas from a gas outlet 6a; and an inert gas from a gas outlet 6b. A seal gas made of argon gas, which is a kind of the above, is spouted from a gas outlet 6c, and a supporting gas made of oxygen gas.

【００２１】このようなガスをコアバーナ３の先端から
噴出させて、該コアバーナ３の先端の火炎中に投入し反
応させることで純石英ガラスとは異なった屈折率を持っ
たコア形成用ガラス微粒子を得、このコア形成用ガラス
微粒子をターゲット２の下部中央に付着させることで多
孔質のコア母材を製造する。Such a gas is ejected from the tip of the core burner 3 and is injected into the flame at the tip of the core burner 3 to react therewith, whereby glass fine particles for core formation having a refractive index different from that of pure silica glass are obtained. Then, the core fine glass particles are attached to the center of the lower portion of the target 2 to produce a porous core base material.

【００２２】このとき、コアバーナ３のコア形成原料ガ
ス流出口７ａ，７ｂに供給する屈折率調整剤の量を個々
に調整して異なったものにすると、コアバーナ３の火炎
中の屈折率調整剤の分布は、コア形成原料ガス流出口７
ａ，７ｂの並ぶ方向に異なったものとなる。このため相
互のコア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂの屈折率調整剤
の濃度の違いをターゲット２の径方向に反映させること
ができ、コア母材の屈折率分布を径方向に急峻に変化さ
せることができる。At this time, if the amounts of the refractive index adjusting agents supplied to the core forming material gas outlets 7a and 7b of the core burner 3 are individually adjusted to be different from each other, the refractive index adjusting agent in the flame of the core burner 3 may be changed. The distribution is the core forming material gas outlet 7
a and 7b are different in the direction in which they are arranged. For this reason, the difference in the concentration of the refractive index adjusting agent between the core-forming raw material gas outlets 7a and 7b can be reflected in the radial direction of the target 2, and the refractive index distribution of the core base material is sharply changed in the radial direction. be able to.

【００２３】それ故、従来の母材表面の温度だけによる
屈折率の調整に比べて、より屈折率の調整がし易くな
り、コアバーナ３の火炎中、またターゲット２に堆積す
る屈折率調整剤の濃度を大きく変化させることができ、
コアバーナ３の火炎中に投入する屈折率調整剤に応じた
屈折率分布を多孔質のコア母材に得ることができる。Therefore, it is easier to adjust the refractive index than the conventional adjustment of the refractive index based only on the temperature of the base material surface, and the refractive index adjusting agent deposited on the target 2 during the flame of the core burner 3 and on the target 2. The concentration can be changed greatly,
The refractive index distribution according to the refractive index adjusting agent to be injected into the flame of the core burner 3 can be obtained in the porous core base material.

【００２４】この際に、コアバーナ３は、コア形成原料
ガス流出口７ａ，７ｂに供給する屈折率調整剤の量を個
々に調整することで、図１８のような急峻な屈折率分布
を持ったコア母材を製造することができる。また、コア
形成原料ガス流出口７ｂに供給する屈折率調整剤の量に
比べてコア形成原料ガス流出口７ａに供給する屈折率調
整剤の量を少なくすると、図１９に示すようにコア中央
部よりもコア周辺部の屈折率が高いコア母材を製造する
ことができる。At this time, the core burner 3 has a sharp refractive index distribution as shown in FIG. 18 by individually adjusting the amount of the refractive index adjusting agent supplied to the core forming raw material gas outlets 7a and 7b. A core preform can be manufactured. When the amount of the refractive index adjuster supplied to the core forming material gas outlet 7a is smaller than the amount of the refractive index adjuster supplied to the core forming material gas outlet 7b, as shown in FIG. A core base material having a higher refractive index around the core can be manufactured.

【００２５】この場合、コアバーナ３で生成したガラス
微粒子等は、回転しているターゲット２に堆積するた
め、コア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂの先端の整列方
向が図１に示すターゲット２の傾斜下面がなす線ａｂ方
向に対して図３（Ｂ）に示すように交差する方向となる
ように、換言すればコア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂ
の先端の整列方向がターゲット２の回転方向となるよう
にして斜め上向きにコアバーナ３を配置し、各コア形成
原料ガス流出口７ａ，７ｂから流出させる屈折率調整剤
の量を違えると、ターゲット２の回転方向に沿って屈折
率調整剤の分布の違いが一瞬の間生じるが、ターゲット
２の回転によりその回転方向に屈折率調整剤の濃度の違
うものが重なって堆積され、コア母材の径方向の屈折率
分布の変化とはならない。In this case, since the glass fine particles and the like generated by the core burner 3 are deposited on the rotating target 2, the alignment direction of the tips of the core forming material gas outlets 7 a and 7 b is such that the inclination direction of the target 2 shown in FIG. 3 (B), in other words, the core forming material gas outlets 7a, 7b.
The core burner 3 is disposed obliquely upward so that the direction of alignment of the tip of the target 2 becomes the direction of rotation of the target 2, and if the amount of the refractive index adjuster flowing out from each of the core forming material gas outlets 7 a and 7 b is changed, A difference in the distribution of the refractive index adjusting agent occurs along the rotation direction of the target for a moment, but due to the rotation of the target 2, the one having a different concentration of the refractive index adjusting agent overlaps and deposits in the rotation direction, and the diameter of the core base material It does not change the refractive index distribution in the direction.

【００２６】図４は、本発明に係るコアバーナ３の構成
の第２例を示したものである。FIG. 4 shows a second example of the configuration of the core burner 3 according to the present invention.

【００２７】本例のコアバーナ３においては、同心状に
３つのガス流出口６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが円形に開口
され、同心状のこれらガス流出口６ａ〜６ｄのうち中心
に存在するガス流出口６ａ内に、２個のコア形成原料ガ
ス流出口７ａ，７ｂが、該中心に存在するガス流出口６
ａの中心を通る線上に一列に並べた状態で相互間に間隔
をあけて円形に開口させて設けられた構造になってい
る。In the core burner 3 of this embodiment, three gas outlets 6a, 6b, 6c and 6d are opened concentrically in a circular shape, and the gas flow existing at the center among the concentric gas outlets 6a to 6d. In the outlet 6a, two core forming material gas outlets 7a and 7b are provided at the center of the gas outlet 6a.
The structure is such that they are arranged in a line on a line passing through the center of a and are opened in a circular shape with an interval therebetween.

【００２８】この場合、コア形成原料ガス流出口７ａ，
７ｂからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマニ
ウム等の屈折率調整剤とアルゴンガスからなるキャリア
ガスとを含むコア形成ガスが、ガス流出口６ａからはア
ルゴンガスからなるシールガスが、ガス流出口６ｂから
は水素ガスからなる可燃ガスが、ガス流出口６ｃからは
アルゴンガスからなるシールガスが、ガス流出口６ｄか
らは酸素ガスからなる支燃ガスが噴出されるようになっ
ている。In this case, the core forming raw material gas outlets 7a,
7b, a core forming gas containing a glass material such as silicon tetrachloride, a refractive index adjusting agent such as germanium tetrachloride, and a carrier gas composed of argon gas, and a sealing gas composed of argon gas from a gas outlet 6a. A combustible gas made of hydrogen gas is ejected from the outlet 6b, a seal gas made of argon gas is ejected from the gas outlet 6c, and a support gas made of oxygen gas is ejected from the gas outlet 6d.

【００２９】このようなコアバーナ３も、コア形成原料
ガス流出口７ａ，７ｂの先端の整列方向が斜め上向きに
なるように配置してターゲット２の下部に対向させる。Such a core burner 3 is also arranged so that the alignment direction of the tips of the core forming raw material gas outlets 7a and 7b is obliquely upward, and is opposed to the lower portion of the target 2.

【００３０】本例で用いるコアバーナ３は、コア形成原
料ガス流出口７ａ，７ｂを囲むアルゴンガスからなるシ
ールガスの厚さが均等になるように、図５に示すように
ガス流出口６ａ内の両側にコア形成原料ガス流出口７
ａ，７ｂの列に沿って蓋８ａ，８ｂをすることが好まし
い。As shown in FIG. 5, the core burner 3 used in the present embodiment has a structure in which the sealing gas composed of argon gas surrounding the core forming material gas outlets 7a and 7b has a uniform thickness. Core forming material gas outlets 7 on both sides
It is preferable to cover the lids 8a and 8b along the rows of a and 7b.

【００３１】このように蓋８ａ，８ｂをつけると、第１
層のガス流出口６ａから出るシールガスの厚みが均一と
なり、コアバーナ３の延命化及び屈折率分布制御の向上
を図ることができる。本例では、コア形成原料ガス流出
口７ａ，７ｂが相互間に間隔をあけて配置されているの
で、これらガス流出口７ａ，７ｂから出たガラス原料及
び屈折率調整剤により形成された両ガラス微粒子は、ガ
ス流出口６ａから出たアルゴンガスにより分離されるた
めほとんど混合することがなく、このため得られるコア
母材の径方向の屈折率分布の界面は急峻となる。When the lids 8a and 8b are attached in this manner, the first
The thickness of the sealing gas flowing out from the gas outlet 6a of the layer becomes uniform, so that the life of the core burner 3 can be extended and the refractive index distribution control can be improved. In this example, since the core forming raw material gas outlets 7a and 7b are arranged with an interval therebetween, both glass formed by the glass raw material and the refractive index adjuster coming out of these gas outlets 7a and 7b. Since the fine particles are separated by the argon gas discharged from the gas outlet 6a, they are hardly mixed, so that the interface of the refractive index distribution in the radial direction of the obtained core base material becomes sharp.

【００３２】このとき、コア形成原料ガス流出口７ａと
７ｂのガラス原料を異なった量入れ、また、屈折率調整
剤の割合も変えることで、図６に記載されている屈折率
分布を持ったコア母材を製造することができる。このと
き、図５中のＡとＢの径、及び屈折率の大きさＣとＤは
自由に形成できる。At this time, different amounts of the glass raw materials of the core forming raw material gas outlets 7a and 7b were added, and the ratio of the refractive index adjusting agent was also changed to obtain the refractive index distribution shown in FIG. A core preform can be manufactured. At this time, the diameters of A and B in FIG. 5 and the magnitudes C and D of the refractive index can be freely formed.

【００３３】また、このとき、コアバーナ３は１本に限
らず、同様な構造のものを複数本、そのコア形成原料ガ
ス流出口７ａ，７ｂの先端の整列方向が斜め上向きにな
るように配置してターゲット２の下部に対向させことに
より、コア母材の製造を行うことができる。At this time, the number of the core burners 3 is not limited to one, and a plurality of core burners having the same structure are arranged so that the alignment direction of the tips of the core forming raw material gas outlets 7a and 7b is obliquely upward. Thus, the core base material can be manufactured by facing the lower part of the target 2.

【００３４】図７は、本発明に係るコアバーナ３の構成
の第３例を示したものである。FIG. 7 shows a third example of the configuration of the core burner 3 according to the present invention.

【００３５】本例のコアバーナ３においては、同心状の
円形のガス流出口６ａ〜６ｄのうち中心に存在するガス
流出口６ａ内に、図４に示すコアバーナ３と違って３個
のコア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂ，７ｃが、該中心
に存在するガス流出口６ａの中心を通る線上に一列に並
べた状態で相互間に間隔をあけて円形に開口させて設け
られた構造になっている点で第２例のコアバーナ３と相
違している。In the core burner 3 of the present embodiment, unlike the core burner 3 shown in FIG. 4, three core forming materials are provided in the gas outlet 6a located at the center among the concentric circular gas outlets 6a to 6d. The gas outlets 7a, 7b, 7c are arranged in a line on a line passing through the center of the gas outlet 6a located at the center, and are provided with a circular opening at intervals therebetween. This is different from the core burner 3 of the second example in that

【００３６】このようなコアバーナ３も、コア形成原料
ガス流出口７ａ〜７ｃの先端の整列方向が斜め上向きに
なるように配置してターゲット２の下部に対向させる。Such a core burner 3 is also arranged so that the alignment direction of the tips of the core forming material gas outlets 7a to 7c is obliquely upward, and is opposed to the lower portion of the target 2.

【００３７】また、この場合も、第２例と同様に、コア
形成原料ガス流出口７ａ，７ｂ，７ｃからは四塩化珪素
等のガラス原料と四塩化ゲルマニウム等の屈折率調整剤
とアルゴンガスからなるキャリアガスとを含むコア形成
ガスが、ガス流出口６ａからはアルゴンガスからなるシ
ールガスが、ガス流出口６ｂからは水素ガスからなる可
燃ガスが、ガス流出口６ｃからはアルゴンガスからなる
シールガスが、ガス流出口６ｄからは酸素ガスからなる
支燃ガスが噴出されるようになっている。Also, in this case, similarly to the second example, the core forming raw material gas outlets 7a, 7b and 7c are used to supply a glass raw material such as silicon tetrachloride, a refractive index adjusting agent such as germanium tetrachloride, and an argon gas. And a seal gas made of argon gas from the gas outlet 6a, a flammable gas made of hydrogen gas from the gas outlet 6b, and a seal gas made of argon gas from the gas outlet 6c. The gas is such that a supporting gas composed of oxygen gas is ejected from the gas outlet 6d.

【００３８】このような構造のコアバーナ３でも、第２
例のコアバーナ３と同様な効果を得ることができる。特
に、本例のようにコア形成原料ガス流出口の数を増やす
と、コアの屈折率分布が複雑になっても、径方向の屈折
率分布の調整を容易に行うことができる。In the core burner 3 having such a structure, the second
The same effect as the core burner 3 of the example can be obtained. In particular, when the number of the core forming material gas outlets is increased as in this example, even if the refractive index distribution of the core becomes complicated, the refractive index distribution in the radial direction can be easily adjusted.

【００３９】図８は、本発明に係るコアバーナ３を用い
るコア母材製造装置の構成の第２例を示したものであ
る。FIG. 8 shows a second example of the configuration of a core base material manufacturing apparatus using the core burner 3 according to the present invention.

【００４０】本例のコア母材製造装置では、図１に示す
装置のコアバーナ３がその軸心の回りに若干回転されて
配置された構造になっている。換言すれば、本例のコア
バーナ３は、一列に並んだ各コア形成原料ガス流出口７
ａ，７ｂの先端の整列方向が斜め上向きになり且つター
ゲット２の軸心２ａを通る仮想平面上にコア形成原料ガ
ス流出口７ａ，７ｂのうちの１つの中心が乗り、この仮
想平面に対して各コア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂの
先端の整列方向の線が交差する向きで配置されてターゲ
ット２の下部に対向されている。The core preform manufacturing apparatus of the present embodiment has a structure in which the core burner 3 of the apparatus shown in FIG. 1 is slightly rotated around its axis. In other words, the core burner 3 of the present embodiment includes the core forming raw material gas outlets 7 arranged in a line.
The center of one of the core-forming source gas outlets 7a, 7b rides on a virtual plane in which the alignment direction of the tips of the a, 7b is obliquely upward and passes through the axis 2a of the target 2, and The core forming source gas outlets 7a and 7b are arranged in a direction in which lines in the alignment direction at the ends thereof cross each other and face the lower part of the target 2.

【００４１】このようにコアバーナ３を設置すると、コ
ア母材の径方向の屈折率分布の変化を図９に示すように
なだらかにすることができる。When the core burner 3 is installed in this manner, the change in the refractive index distribution in the radial direction of the core base material can be made smooth as shown in FIG.

【００４２】図１０は、本発明に係るコアバーナ３の構
成の第４例を示したものである。FIG. 10 shows a fourth example of the configuration of the core burner 3 according to the present invention.

【００４３】本例のコアバーナ３においては、同心状の
円形のガス流出口６ａ〜６ｄのうち中心に存在するガス
流出口６ａ内に、３個の円形のコア形成原料ガス流出口
７ａ，７ｂ，７ｃが設けられた構造になっている点は図
７に示す第３例のコアバーナ３と同様である。特に、本
例のコアバーナ３においては、３個のコア形成原料ガス
流出口７ａ，７ｂ，７ｃのうちの隣り合う２個のコア形
成原料ガス流出口７ａ，７ｂが、同心状のガス流出口６
ａ〜６ｄのうち中心に存在するガス流出口６ａの中心を
通る線Ｐ上に一列に並べられている。また、隣り合う２
個のコア形成原料ガス流出口７ｂ，７ｃが、コア形成原
料ガス流出口７ａ，７ｂが並ぶ線Ｐに対して角度θをな
して該中心に存在するガス流出口６ａの中心を通る線Ｑ
上に一列に並べて配置されている。即ち、ガス流出口内
で並んでいるコア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂ，７ｃ
は並んだ順序で２つの群である７ａ，７ｂの群と７ｂ，
７ｃの群とに分けられ、１つの群のコア形成原料ガス流
出口７ａ，７ｂは同心状の各ガス流出口６ａ〜６ｄのう
ち中心に存在するガス流出口６ａの中心を通る線Ｐ上に
並べて配置され、他の１つの群のコア形成原料ガス流出
口７ｂ，７ｃは線Ｐに対して角度θをなして該中心に存
在するガス流出口６ａの中心を通る他の線Ｑ上に一列に
並べて配置されている。ここで、コア形成原料ガス流出
口の群の分け方は、中間の１つが重複する場合と、重複
しない場合とがある。In the core burner 3 of the present embodiment, three circular core forming raw material gas outlets 7a, 7b, 7b are provided in the centrally located gas outlet 6a among the concentric circular gas outlets 6a to 6d. 7C is the same as the core burner 3 of the third example shown in FIG. In particular, in the core burner 3 of the present embodiment, two adjacent core forming material gas outlets 7a, 7b among the three core forming material gas outlets 7a, 7b, 7c are concentric gas outlets 6.
a to 6d are arranged in a line on a line P passing through the center of the gas outlet 6a existing at the center. Also, two adjacent
A line Q passing through the center of the gas outlet 6a existing at the center of the core forming material gas outlets 7b, 7c at an angle θ with respect to the line P on which the core forming material gas outlets 7a, 7b are arranged.
It is arranged in a line above. That is, the core forming raw material gas outlets 7a, 7b, 7c arranged in the gas outlet.
Are two groups, 7a and 7b, and 7b,
7c, and one group of core forming raw material gas outlets 7a and 7b are located on a line P passing through the center of the gas outlet 6a located at the center among the concentric gas outlets 6a to 6d. The other group of core forming raw material gas outlets 7b, 7c are arranged side by side at an angle θ with respect to the line P on another line Q passing through the center of the gas outlet 6a located at the center. Are arranged side by side. Here, the method of dividing the core forming source gas outlets may be such that the intermediate one overlaps or does not overlap.

【００４４】この場合も、コア形成原料ガス流出口７
ａ，７ｂ，７ｃからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩
化ゲルマニウム等の屈折率調整剤とを含むコア形成ガス
が、ガス流出口６ａからはアルゴンガスからなるシール
ガスが、ガス流出口６ｂからは水素ガスからなる可燃ガ
スが、ガス流出口６ｃからはアルゴンガスからなるシー
ルガスが、ガス流出口６ｄからは酸素ガスからなる支燃
ガスが噴出されるようになっている。Also in this case, the core forming raw material gas outlet 7
a, 7b, and 7c, a core forming gas containing a glass material such as silicon tetrachloride and a refractive index adjusting agent such as germanium tetrachloride; a gas outlet 6a; a sealing gas made of argon gas; A combustible gas composed of hydrogen gas is blown out from the gas outlet, a seal gas composed of argon gas is ejected from the gas outlet 6c, and a support gas composed of oxygen gas is ejected from the gas outlet 6d.

【００４５】このようなコアバーナ３は、コア形成原料
ガス流出口７ｂ，７ｃの先端の整列方向が斜め上向きに
なるように配置してターゲット２の下部に対向させる。The core burner 3 is arranged so that the leading ends of the core forming raw material gas outlets 7b and 7c are arranged obliquely upward and opposed to the lower part of the target 2.

【００４６】このような構造で、コア形成原料ガス流出
口７ａ，７ｂ，７ｃから噴出させる屈折率調整剤の濃度
ａ，ｂ，ｃをａ＜ｂ＜ｃとすると、得られるコア母材の
径方向の屈折率分布は図１１に示すようになる。また、
コア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂ，７ｃから噴出させ
る屈折率調整剤の濃度ａ，ｂ，ｃをｃ＜ｂ＜ａとする
と、得られるコア母材の径方向の屈折率分布は図１２に
示すようになる。With such a structure, if the concentrations a, b, and c of the refractive index adjusters ejected from the core forming raw material gas outlets 7a, 7b, 7c satisfy a <b <c, the diameter of the core base material obtained is The refractive index distribution in the direction is as shown in FIG. Also,
If the concentrations a, b, and c of the refractive index adjusting agents ejected from the core forming material gas outlets 7a, 7b, and 7c are c <b <a, the radial refractive index distribution of the obtained core base material is shown in FIG. As shown.

【００４７】図１３は、本発明に係るコアバーナ３の構
成の第５例を示したものである。FIG. 13 shows a fifth example of the configuration of the core burner 3 according to the present invention.

【００４８】本例のコアバーナ３においては、同心状の
四角形のガス流出口６ａ〜６ｄのうち中心に存在するガ
ス流出口６ａ内に、５個のガス流出口９ａ，９ｂ，９
ｃ，９ｄが、該中心に存在するガス流出口６ａの中心を
通る線上に一列に並べた状態で四角形に開口させて設け
られた構造になっている。In the core burner 3 of the present embodiment, five gas outlets 9a, 9b, 9 are provided in the centrally located gas outlet 6a among the concentric square gas outlets 6a to 6d.
c, 9d are arranged in a line in a line on a line passing through the center of the gas outlet 6a located at the center and opened in a rectangular shape.

【００４９】このようなコアバーナ３も、ガス流出口９
ａ〜９ｄの先端の整列方向が斜め上向きになるように配
置してターゲット２の下部に対向させる。Such a core burner 3 also has a gas outlet 9
The tips of a to 9d are arranged so that their alignment directions are obliquely upward and face the lower part of the target 2.

【００５０】また、この場合は、ガス流出口９ａ，９
ｃ，９ｅがコア形成原料ガス流出口として作用してこれ
らガス流出口９ａ，９ｃ，９ｅからは四塩化珪素等のガ
ラス原料と四塩化ゲルマニウム等の屈折率調整剤とアル
ゴンガスからなるキャリアガスとを含むコア形成ガス
が、ガス流出口９ｂ，９ｄからはアルゴンガスからなる
シールガスが、ガス流出口６ａからはアルゴンガスから
なるシールガスが、ガス流出口６ｂからは水素ガスから
なる可燃ガスが、ガス流出口６ｃからはアルゴンガスか
らなるシールガスが、ガス流出口６ｄからは酸素ガスか
らなる支燃ガスが噴出されるようになっている。In this case, the gas outlets 9a, 9
c, 9e function as a core forming material gas outlet, and from these gas outlets 9a, 9c, 9e, a glass material such as silicon tetrachloride, a refractive index adjuster such as germanium tetrachloride, and a carrier gas comprising argon gas. Is formed from the gas outlets 9b and 9d, a seal gas formed of argon gas is formed from the gas outlet 6a, a seal gas formed of argon gas is formed from the gas outlet 6a, and a combustible gas formed of hydrogen gas is formed from the gas outlet 6b. A sealing gas made of argon gas is ejected from the gas outlet 6c, and a supporting gas made of oxygen gas is ejected from the gas outlet 6d.

【００５１】このようなコアバーナ３においては、ガス
流出口９ｂ，９ｄからアルゴンガスからなるキャリアガ
スを噴出させると、ガス流出口９ａ，９ｃ，９ｅから噴
出させる屈折率調整剤の拡散混合が抑えられ、得られる
コア母材の径方向の屈折率分布の界面は急峻となる。逆
に、ガス流出口９ｂ，９ｄからガスを噴出させないと、
得られるコア母材の径方向の屈折率分布の界面はなだら
かとなる。In such a core burner 3, when a carrier gas composed of argon gas is ejected from the gas outlets 9b and 9d, diffusion and mixing of the refractive index adjusting agent ejected from the gas outlets 9a, 9c and 9e are suppressed. The interface of the refractive index distribution in the radial direction of the obtained core base material becomes steep. Conversely, if the gas is not ejected from the gas outlets 9b and 9d,
The interface of the refractive index distribution in the radial direction of the obtained core base material becomes gentle.

【００５２】図１４は、本発明に係るコアバーナ３の構
成の第６例を示したものである。FIG. 14 shows a sixth example of the configuration of the core burner 3 according to the present invention.

【００５３】本例のコアバーナ３においては、同心状に
３つのガス流出口６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅが円形
に開口され、同心状のこれらガス流出口６ａ〜６ｅのう
ち中心に存在するガス流出口６ａ内に、２個のコア形成
原料ガス流出口７ａ，７ｂが、該中心に存在するガス流
出口６ａの中心を通る線上に一列に並べた状態で相互間
に間隔をあけて円形に開口させて設けられた構造になっ
ている。In the core burner 3 of this embodiment, three gas outlets 6a, 6b, 6c, 6d and 6e are concentrically opened, and are present at the center of the concentric gas outlets 6a to 6e. In the gas outlet 6a, two core forming material gas outlets 7a and 7b are arranged in a line on a line passing through the center of the gas outlet 6a located at the center, and are circularly spaced from each other. The structure is such that it is provided with an opening.

【００５４】この場合、コア形成原料ガス流出口７ａ，
７ｂからは四塩化珪素等のガラス原料と四塩化ゲルマニ
ウム等の屈折率調整剤と酸素ガスからなる支燃ガスとを
含むコア形成ガスが、ガス流出口６ａからはガス流出口
７ａ，７ｂから噴出させる酸素ガスからなる支燃ガスと
酸素ガスからなる支燃ガスを混入したアルゴンガスから
なるキャリアガスが、ガス流出口６ｂからはアルゴンガ
スからなるシールガスが、ガス流出口６ｃからは水素ガ
スからなる可燃ガスが、ガス流出口６ｄからはアルゴン
ガスからなるシールガスが、ガス流出口６ｅからは酸素
ガスからなる支燃ガスが噴出されるようになっている。In this case, the core forming raw material gas outlets 7a,
7b, a core forming gas containing a glass material such as silicon tetrachloride, a refractive index adjusting agent such as germanium tetrachloride, and a supporting gas composed of oxygen gas is ejected from gas outlets 6a and 7b from gas outlet 6a. A carrier gas composed of an argon gas mixed with a supporting gas composed of an oxygen gas and a supporting gas composed of an oxygen gas, a sealing gas composed of an argon gas from a gas outlet 6b, and a hydrogen gas supplied from a gas outlet 6c. A flammable gas is discharged from the gas outlet 6d, and a seal gas formed of argon gas is discharged from the gas outlet 6e, and a support gas formed of oxygen gas is discharged from the gas outlet 6e.

【００５５】このようなコアバーナ３は、コア形成原料
ガス流出口７ａ，７ｂとガス流出口７ａから噴出ガスに
酸素ガスからなる支燃ガスを混入しているので、このコ
アバーナ３の先端の火炎の中心部での反応速度が向上
し、ガラス微粒子の粒子化が促進されることにより屈折
率調整剤などの拡散を抑えることができるため、得られ
るコア母材の径方向の屈折率分布の制御がより行い易く
なる。In such a core burner 3, since a supporting gas composed of oxygen gas is mixed into the gas ejected from the core forming raw material gas outlets 7a and 7b and the gas outlet 7a, the flame at the tip of the core burner 3 is formed. Since the reaction rate at the center is improved and the particleization of the glass particles is promoted, the diffusion of the refractive index adjusting agent and the like can be suppressed, so that the control of the radial refractive index distribution of the obtained core base material can be performed. Easier to do.

【００５６】これは、前述した第１例から第５例のコア
バーナ３においても、同様に酸素ガスからなる支燃ガス
を混入すると、同様の効果を得ることができる。In the core burners 3 of the first to fifth examples described above, the same effect can be obtained by mixing a supporting gas composed of oxygen gas.

【００５７】この第６例のコアバーナ３においても、コ
ア形成原料ガス流出口７ａ，７ｂの間に間隔を開けてい
るので、図４に示すコアバーナ３の場合と同様に、これ
らガス流出口７ａ，７ｂから出たガラス原料及び屈折率
調整剤により形成された両ガラス微粒子は、ガス流出口
６ａから出たアルゴンガスにより分離されるためほとん
ど混合するこがなく、このため得られるコア母材の径方
向の屈折率分布の界面は急峻となる。Also in the core burner 3 of the sixth example, since a space is provided between the core forming raw material gas outlets 7a and 7b, these gas outlets 7a and 7b are provided similarly to the case of the core burner 3 shown in FIG. The glass raw material coming out of the glass material 7b and the glass fine particles formed by the refractive index adjusting agent are hardly mixed because they are separated by the argon gas coming out of the gas outlet 6a. The interface of the refractive index distribution in the direction becomes steep.

【００５８】上記例では、コアバーナ３を用いて多孔質
のコア母材を製造する場合について説明したが、図１５
に示すようにコアバーナ３とクラッドバーナ４とを用い
ると、光ファイバ母材の製造を行うことができる。In the above example, the case where the porous core preform is manufactured using the core burner 3 has been described.
When the core burner 3 and the clad burner 4 are used as shown in (1), an optical fiber preform can be manufactured.

【００５９】また、各例では、キャリアガスやシールガ
スとしてアルゴンガスを用いたが、これらガスとしては
ヘリウムガス等のその他の不活性ガスや窒素ガス等を用
いることもできる。In each of the examples, argon gas is used as a carrier gas or a seal gas. However, other inert gas such as helium gas, nitrogen gas or the like may be used as these gases.

【００６０】本明細書で説明した複数の発明のうち、い
くつかの発明についてその必須要件を記載すると、下記
の通りである。The essential requirements of some inventions among the plurality of inventions described in this specification are as follows.

【００６１】（１） 同心状に複数のガス流出口が開口
されているコアバーナにおいて、同心状の各ガス流出口
のうち中心に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガ
ス流出口が少なくとも２個、該中心に存在するガス流出
口の中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設
けられていることを特徴とするコアバーナ。(1) In a core burner in which a plurality of gas outlets are opened concentrically, at least two core forming raw material gas outlets are provided in a gas outlet present at the center among the concentric gas outlets. A core burner which is provided so as to be opened in a line on a line passing through the center of a gas outlet present at the center.

【００６２】（２） 同心状に複数のガス流出口が開口
されているコアバーナにおいて、同心状の各ガス流出口
のうち中心に存在するガス流出口内に３個以上のコア形
成原料ガス流出口が所定の順序で並べて配置され、これ
ら３個以上のコア形成原料ガス流出口は並んだ順序で２
つの群に分けられ、１つの群のコア形成原料ガス流出口
は前記同心状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス
流出口の中心を通る線Ｐ上に並べて配置され、他の１つ
の群のコア形成原料ガス流出口は前記線Ｐに対して角度
θをなして該中心に存在するガス流出口の中心を通る他
の線Ｑ上に一列に並べて配置されているていることを特
徴とするコアバーナ。(2) In a core burner in which a plurality of gas outlets are concentrically opened, three or more core forming material gas outlets are provided in the gas outlet located at the center among the concentric gas outlets. The three or more core forming material gas outlets are arranged in a predetermined order.
The core-forming raw material gas outlets of one group are arranged side by side on a line P passing through the center of the gas outlet present at the center among the concentric gas outlets, and the other one is formed. The core-forming raw material gas outlets of the group are arranged in a line on another line Q passing through the center of the gas outlet existing at the center at an angle θ with respect to the line P. And core burner.

【００６３】（３） 前記中心に存在するガス流出口の
中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設けら
れている複数のコア形成原料ガス流出口は隣接相互間に
間隔があけられていることを特徴とする前記（１）また
は（２）に記載のコアバーナ。 （４） 同心状に複数の四角形のガス流出口が開口され
ているコアバーナにおいて、同心状の各ガス流出口のう
ち中心に存在するガス流出口内に３個以上の四角形のコ
ア形成原料ガス流出口が、該中心に存在するガス流出口
の中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設け
られていることを特徴とするコアバーナ。(3) A plurality of core forming raw material gas outlets which are provided in a line in a line on the line passing through the center of the gas outlet present at the center are spaced apart from each other. The core burner according to the above (1) or (2), wherein (4) In a core burner in which a plurality of square gas outlets are concentrically opened, three or more square core-forming raw material gas outlets are provided in a gas outlet existing at the center among the concentric gas outlets. The core burner is provided so as to be opened in a line on a line passing through the center of the gas outlet present at the center.

【００６４】（５） 同心状に複数のガス流出口が開口
されているコアバーナの先端をターゲットの下部に斜め
上向きに対向させ、前記コアバーナの先端の火炎中にガ
ラス原料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガスを投入
し反応させることでコア形成用ガラス微粉末を得、この
コア形成用ガラス微粉末をターゲットの下部に付着させ
ることで多孔質のコア母材を製造するコア母材製造方法
において、前記コアバーナとして同心状の各ガス流出口
のうち中心に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガ
ス流出口が少なくとも２個、該中心に存在するガス流出
口の中心を通る線上に一列に並べた状態で開口させて設
けられている構造のものを用い、前記コアバーナは一列
に並んだ前記各コア形成原料ガス流出口の先端の整列方
向が斜め上向きになるように配置し、前記各コア形成原
料ガス流出口から屈折率調整剤濃度を独立して調節した
コア形成原料ガスを噴出させつつ多孔質のコア母材の製
造を行うことを特徴とするコア母材製造方法。(5) The tip of a core burner having a plurality of concentrically opened gas outlets is obliquely upwardly opposed to the lower part of the target, and the flame at the tip of the core burner contains a glass material and a refractive index adjusting agent. A core base material manufacturing method for manufacturing a porous core base material by supplying a core forming raw material gas and reacting to obtain a core forming glass fine powder, and attaching the core forming glass fine powder to a lower portion of a target. In the core outlet, at least two core-forming raw material gas outlets are arranged in a line on the line passing through the center of the gas outlet existing at the center, in the gas outlet existing at the center among the concentric gas outlets as the core burner. The core burner has a structure provided with openings in a state where the core forming source gas outlets arranged in a line are arranged obliquely upward. The core is characterized in that a porous core base material is manufactured while ejecting a core forming raw material gas whose refractive index adjusting agent concentration is independently adjusted from each of the core forming raw material gas outlets. Base material manufacturing method.

【００６５】（６） 同心状に複数の四角形のガス流出
口が開口されているコアバーナの先端をターゲットの下
部に斜め上向きに対向させ、前記コアバーナの先端の火
炎中にガラス原料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガ
スを投入し反応させることでコア形成用ガラス微粉末を
得、このコア形成用ガラス微粉末をターゲットの下部に
付着させることで多孔質のコア母材を製造するコア母材
製造方法において、前記コアバーナとして前記同心状の
四角形の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口
内に３個以上の四角形のガス流出口が、該中心に存在す
るガス流出口の中心を通る線上に一列に並べた状態で開
口させて設けられている構造のものを用い、前記コアバ
ーナは一列に並んだ前記ガス流出口の先端の整列方向が
斜め上向きになるように配置し、前記一列に並んだガス
流出口のうちの１つおきのガス流出口から屈折率調整剤
濃度を独立して調節したコア形成原料ガスを噴出させ、
前記一列に並んだガス流出口のうち残りのガス流出口か
らはシールガスを噴出させつつ多孔質のコア母材の製造
を行うことを特徴とするコア母材製造方法。(6) The tip of the core burner, which has a plurality of concentric rectangular gas outlets, is obliquely upwardly opposed to the lower part of the target, and the glass material and the refractive index adjusting agent are added to the flame at the tip of the core burner. A core base material for producing a porous core base material by supplying a core forming raw material gas containing and reacting to obtain a core forming glass fine powder, and attaching the core forming glass fine powder to a lower portion of a target. In the manufacturing method, three or more rectangular gas outlets pass through the center of the gas outlets existing in the center among the concentric square gas outlets as the core burner. The core burner has a structure in which the openings are provided in a state of being arranged in a line on a line, and the core burners are arranged such that the alignment direction of the tips of the gas outlets arranged in a line is obliquely upward. The core forming raw material gas whose refractive index adjusting agent concentration is independently adjusted is ejected from every other gas outlet among the gas outlets arranged in a line,
A method of manufacturing a core base material, comprising manufacturing a porous core base material while ejecting a sealing gas from the remaining gas outlets among the gas outlets arranged in a line.

【００６６】[0066]

【発明の効果】本発明に係るコアバーナにおいては、同
心状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口内
に、コア形成原料ガス流出口を少なくとも２個、該中心
に存在するガス流出口の中心を通る線上に一列に並べた
状態で開口させて設けているので、これらコア形成原料
ガス流出口から、屈折率調整剤濃度を調節したコア形成
原料ガスを噴出させつつターゲットの先端に多孔質のコ
ア母材の形成を行うと、該コア母材の径方向の屈折率分
布を調整することができて、コア母材の径方向の屈折率
分布の調整を容易に行うことができる。In the core burner according to the present invention, at least two core forming raw material gas outlets and a gas outlet present at the center are provided in the central gas outlet among the concentric gas outlets. Are provided in a line in a line on the line passing through the center of the target. When a high quality core preform is formed, the refractive index distribution in the radial direction of the core preform can be adjusted, and the radial index distribution of the core preform can be easily adjusted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係るコアバーナを用いたコア母材製造
装置の構成の第１例を示した要部斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a main part showing a first example of a configuration of a core base material manufacturing apparatus using a core burner according to the present invention.

【図２】本発明に係るコアバーナの第１例を示した正面
図である。FIG. 2 is a front view showing a first example of a core burner according to the present invention.

【図３】（Ａ）（Ｂ）は図２に示すコアバーナの配置状
態の２つの例を示す正面図である。FIGS. 3A and 3B are front views showing two examples of an arrangement state of a core burner shown in FIG. 2;

【図４】本発明に係るコアバーナの第２例を示した正面
図である。FIG. 4 is a front view showing a second example of the core burner according to the present invention.

【図５】図４に示すコアバーナの変形例を示した正面図
である。FIG. 5 is a front view showing a modification of the core burner shown in FIG.

【図６】図４に示すコアバーナで製造されるコア母材の
径方向の屈折率分布の一例を示す線図である。6 is a diagram showing an example of a radial refractive index distribution of a core base material manufactured by the core burner shown in FIG. 4;

【図７】本発明に係るコアバーナの第３例を示した正面
図である。FIG. 7 is a front view showing a third example of the core burner according to the present invention.

【図８】本発明に係るコアバーナを用いたコア母材製造
装置の構成の第２例を示した要部斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of a main part showing a second example of the configuration of the core preform manufacturing apparatus using the core burner according to the present invention.

【図９】図８に示すコア母材製造装置で製造されるコア
母材の径方向の屈折率分布の一例を示す線図である。9 is a diagram illustrating an example of a radial refractive index distribution of a core preform manufactured by the core preform manufacturing apparatus illustrated in FIG. 8;

【図１０】本発明に係るコアバーナの第４例を示した正
面図である。FIG. 10 is a front view showing a fourth example of the core burner according to the present invention.

【図１１】図１０に示すコアバーナで製造されるコア母
材の径方向の屈折率分布の一例を示す線図である。11 is a diagram showing an example of a radial refractive index distribution of a core preform manufactured by the core burner shown in FIG. 10;

【図１２】図１０に示すコアバーナで製造されるコア母
材の径方向の屈折率分布の他の例を示す線図である。12 is a diagram illustrating another example of a radial refractive index distribution of a core base material manufactured by the core burner illustrated in FIG. 10;

【図１３】本発明に係るコアバーナの第５例を示した正
面図である。FIG. 13 is a front view showing a fifth example of the core burner according to the present invention.

【図１４】本発明に係るコアバーナの第６例を示した正
面図である。FIG. 14 is a front view showing a sixth example of the core burner according to the present invention.

【図１５】従来の光ファイバ母材製造装置の構成を示し
た縦断面図である。FIG. 15 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus.

【図１６】従来のコアバーナの正面図である。FIG. 16 is a front view of a conventional core burner.

【図１７】従来のコアバーナで製造されるコア母材の径
方向の屈折率分布の一例を示す線図である。FIG. 17 is a diagram showing an example of a radial refractive index distribution of a core base material manufactured by a conventional core burner.

【図１８】従来のコアバーナで製造されるコア母材の径
方向の屈折率分布の他の例を示す線図である。FIG. 18 is a diagram showing another example of a radial refractive index distribution of a core base material manufactured by a conventional core burner.

【図１９】従来のコアバーナで製造されるコア母材の径
方向の屈折率分布の更に他の例を示す線図である。FIG. 19 is a diagram showing still another example of a radial refractive index distribution of a core base material manufactured by a conventional core burner.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 容器 １ａ 開口部 ２ ターゲット ３ コアバーナ ４ クラッドバーナ ５ 排気口 ６ａ〜６ｅ ガス流出口 ７ａ，７ｂ，７ｃ コア形成原料ガス流出口 ８ａ，８ｂ 蓋 ９ａ〜９ｅ ガス流出口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Container 1a Opening part 2 Target 3 Core burner 4 Clad burner 5 Exhaust port 6a-6e Gas outlet 7a, 7b, 7c Core forming raw material gas outlet 8a, 8b Lid 9a-9e Gas outlet

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 同心状に複数のガス流出口が開口されて
いるコアバーナにおいて、 同心状の各ガス流出口のうち中心に存在するガス流出口
内に、コア形成原料ガス流出口が少なくとも２個、該中
心に存在するガス流出口の中心を通る線上に一列に並べ
た状態で開口させて設けられていることを特徴とするコ
アバーナ。1. A core burner in which a plurality of gas outlets are concentrically opened, wherein at least two core forming raw material gas outlets are provided in a central gas outlet among the concentric gas outlets. A core burner, wherein the core burner is provided so as to be opened in a line on a line passing through the center of a gas outlet present at the center. 【請求項２】 同心状に複数のガス流出口が開口されて
いるコアバーナの先端をターゲットの下部に斜め上向き
に対向させ、前記コアバーナの先端の火炎中にガラス原
料と屈折率調整剤を含むコア形成原料ガスを投入し反応
させることでコア形成用ガラス微粉末を得、このコア形
成用ガラス微粉末をターゲットの下部に付着させること
で多孔質のコア母材を製造するコア母材製造方法におい
て、 前記コアバーナとして同心状の各ガス流出口のうち中心
に存在するガス流出口内に、コア形成原料ガス流出口が
少なくとも２個、該中心に存在するガス流出口の中心を
通る線上に一列に並べた状態で開口させて設けられてい
る構造のものを用い、 前記コアバーナは一列に並んだ前記各コア形成原料ガス
流出口の先端の整列方向が斜め上向きになるように配置
し、 前記各コア形成原料ガス流出口から屈折率調整剤濃度を
独立して調節したコア形成原料ガスを噴出させつつ多孔
質のコア母材の製造を行うことを特徴とするコア母材製
造方法。2. A core containing a glass material and a refractive index adjuster in a flame at the tip of the core burner, wherein the tip of the core burner having a plurality of gas outlets opened concentrically faces the lower part of the target obliquely upward. A core base material manufacturing method for manufacturing a porous core base material by obtaining a core forming glass fine powder by charging and reacting a forming raw material gas, and attaching the core forming glass fine powder to a lower portion of a target. Among the concentric gas outlets as the core burner, at least two core forming raw material gas outlets are arranged in a line on a line passing through the center of the gas outlet present at the center. In the core burner, the tip of each of the core forming source gas outlets arranged in a line is obliquely upward. A core base material characterized in that the core base material is manufactured while ejecting a core forming material gas whose refractive index adjusting agent concentration is independently adjusted from each core forming material gas outlet. Production method.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004056714A1 (en) * 2002-12-20 2004-07-08 Pirelli & C. S.P.A. Burner for chemical vapour deposition of glass
JP2020015658A (en) * 2018-07-27 2020-01-30 日本山村硝子株式会社 Crystalline glass sealing material and method for producing the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004056714A1 (en) * 2002-12-20 2004-07-08 Pirelli & C. S.P.A. Burner for chemical vapour deposition of glass
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