JPH1078145A - ゲートバルブ機構 - Google Patents
ゲートバルブ機構Info
- Publication number
- JPH1078145A JPH1078145A JP23425796A JP23425796A JPH1078145A JP H1078145 A JPH1078145 A JP H1078145A JP 23425796 A JP23425796 A JP 23425796A JP 23425796 A JP23425796 A JP 23425796A JP H1078145 A JPH1078145 A JP H1078145A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- flanges
- gate
- valve
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の問題点を解決し、小型で且つ均一な封
止圧力で完全封止ができ、またごみの発生を防止できる
ゲートバルブの提供にある。 【解決手段】 バルブハウジング6内に2枚のゲートフ
ランジ1,2を組み入れ、このフランジ間に間隔を拡
張、収縮させるアクチュータの役目をするベローズ3を
設ける。ベローズ3の両面は2枚のフランジ1,2と固
着して設けられ、ベローズ3内に挿入されたアーム5に
よってフランジ1,2をバルブハウジング6内の開口位
置から封止位置に移動させる。操作アーム5内にはベロ
ーズ3内に開口して圧搾空気などの流体圧を給排するパ
イプ4が設けてあり、圧力流体の給排によってベローズ
が膨張、収縮する。ベローズ3の膨張によってフランジ
1,2間隔が拡張してバルブ封止状態にし、ベローズ3
の収縮によってフランジ1,2間を縮小して開口状態に
制御する。
止圧力で完全封止ができ、またごみの発生を防止できる
ゲートバルブの提供にある。 【解決手段】 バルブハウジング6内に2枚のゲートフ
ランジ1,2を組み入れ、このフランジ間に間隔を拡
張、収縮させるアクチュータの役目をするベローズ3を
設ける。ベローズ3の両面は2枚のフランジ1,2と固
着して設けられ、ベローズ3内に挿入されたアーム5に
よってフランジ1,2をバルブハウジング6内の開口位
置から封止位置に移動させる。操作アーム5内にはベロ
ーズ3内に開口して圧搾空気などの流体圧を給排するパ
イプ4が設けてあり、圧力流体の給排によってベローズ
が膨張、収縮する。ベローズ3の膨張によってフランジ
1,2間隔が拡張してバルブ封止状態にし、ベローズ3
の収縮によってフランジ1,2間を縮小して開口状態に
制御する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体処理装置にお
ける真空容器(処理室)の封止を目的とするゲートバル
ブ機構に関するものである。
ける真空容器(処理室)の封止を目的とするゲートバル
ブ機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来方式のゲートバルブを図6に示す。
図の(a)はバルブ開口状態図、(b)はその上面図、
(c)はバルブ封止状態図で、図示するように、ゲート
フランジ11がアーム12によってバルブハウジング1
3の中を移動し、アーム12を駆動するシリンダ15後
端に設けられたリンク機構14により封止動作を行う。
この方式は小型のゲートバルブでは利用できても、大型
(大口径)のゲートバルブにおいては、圧力に抗する大
型のシリンダ15及びアーム12が必要なため、装置が
大きくなり、また、リンク機構14では封止のための均
一な圧力が得られないなどの問題がある。
図の(a)はバルブ開口状態図、(b)はその上面図、
(c)はバルブ封止状態図で、図示するように、ゲート
フランジ11がアーム12によってバルブハウジング1
3の中を移動し、アーム12を駆動するシリンダ15後
端に設けられたリンク機構14により封止動作を行う。
この方式は小型のゲートバルブでは利用できても、大型
(大口径)のゲートバルブにおいては、圧力に抗する大
型のシリンダ15及びアーム12が必要なため、装置が
大きくなり、また、リンク機構14では封止のための均
一な圧力が得られないなどの問題がある。
【0003】また大型のゲートバルブにおいては、図7
のように、ゲートフランジ21を操作するアーム22の
駆動シリンダ25の他に、複数のシリンダ26を用い、
アーム27によってゲートフランジ21の周囲を押さ
え、均一な封止圧力を得る構造のゲートバルブが使用さ
れるが、この方式では装置自体が大きく、シリンダ26
部からのごみが出やすい問題点がある。
のように、ゲートフランジ21を操作するアーム22の
駆動シリンダ25の他に、複数のシリンダ26を用い、
アーム27によってゲートフランジ21の周囲を押さ
え、均一な封止圧力を得る構造のゲートバルブが使用さ
れるが、この方式では装置自体が大きく、シリンダ26
部からのごみが出やすい問題点がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このように従来方式で
は、ゲートフランジを圧力に抗して押さえる大型のシリ
ンダが必要なため、装置が大きくなる欠点があり、また
均一な圧力で押圧するのに複数のシリンダ及びアームが
必要で装置は大型且つ複雑になる。またシリンダ部から
のごみの発生が真空系に問題がある。
は、ゲートフランジを圧力に抗して押さえる大型のシリ
ンダが必要なため、装置が大きくなる欠点があり、また
均一な圧力で押圧するのに複数のシリンダ及びアームが
必要で装置は大型且つ複雑になる。またシリンダ部から
のごみの発生が真空系に問題がある。
【0005】本発明の目的は、このような問題点を解決
し、小型で且つ均一な封止圧力で完全封止ができ、また
ごみの発生を防止できるゲートバルブの提供にある。
し、小型で且つ均一な封止圧力で完全封止ができ、また
ごみの発生を防止できるゲートバルブの提供にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記の目的は、バルブハ
ウジング内に組み入れた2枚の相対するゲートフランジ
と、該ゲートフランジ間に介在して間隔を拡張、縮小変
化させるベローズと、該ベローズ内においてベローズを
膨張、収縮作動させる手段と、前記ゲートフランジをバ
ルブハウジング内の封止位置と開口位置とに移動操作さ
せるアームとを備えたことによって達成される。
ウジング内に組み入れた2枚の相対するゲートフランジ
と、該ゲートフランジ間に介在して間隔を拡張、縮小変
化させるベローズと、該ベローズ内においてベローズを
膨張、収縮作動させる手段と、前記ゲートフランジをバ
ルブハウジング内の封止位置と開口位置とに移動操作さ
せるアームとを備えたことによって達成される。
【0007】前記ベローズの膨張、収縮作動は、前記ア
ームを経てベローズ内に開口するパイプにより圧力流体
を流入、流出させることにより、膨張させて2枚のゲー
トフランジ間隔を拡張させハウジング開口部に圧接させ
ることにより封止状態とし、ベローズを収縮させて2枚
のゲートフランジ間隔を縮小させ封止状態を解放する。
この解放したゲートフランジをアームによって封止位置
から後退させてバルブ開口とさせる。
ームを経てベローズ内に開口するパイプにより圧力流体
を流入、流出させることにより、膨張させて2枚のゲー
トフランジ間隔を拡張させハウジング開口部に圧接させ
ることにより封止状態とし、ベローズを収縮させて2枚
のゲートフランジ間隔を縮小させ封止状態を解放する。
この解放したゲートフランジをアームによって封止位置
から後退させてバルブ開口とさせる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
により説明する。
により説明する。
【0009】図1は、本発明の一実施形態の構成図で、
(a)が側断面図、(b)が上断面図を示し、バルブハ
ウジング6内に2枚のゲートフランジ1,2を組み入
れ、このフランジ間に間隔を拡張、縮小変化させるアク
チェータの役目をするベローズ3を設ける。ベローズ3
の両面は2枚のフランジ1,2と固着して設けられ、ベ
ローズ3内に挿入されたアーム5によってフランジ1,
2がバルブハウジング6内を開口位置から封止位置に移
動される。操作アーム5内にはベローズ3内に開口して
圧搾空気などの流体圧を給排するパルプ4が設けてあ
り、圧力流体の給排によりベローズ3が膨張、収縮す
る。
(a)が側断面図、(b)が上断面図を示し、バルブハ
ウジング6内に2枚のゲートフランジ1,2を組み入
れ、このフランジ間に間隔を拡張、縮小変化させるアク
チェータの役目をするベローズ3を設ける。ベローズ3
の両面は2枚のフランジ1,2と固着して設けられ、ベ
ローズ3内に挿入されたアーム5によってフランジ1,
2がバルブハウジング6内を開口位置から封止位置に移
動される。操作アーム5内にはベローズ3内に開口して
圧搾空気などの流体圧を給排するパルプ4が設けてあ
り、圧力流体の給排によりベローズ3が膨張、収縮す
る。
【0010】なおバルブハウジング6の開口6aは、図
(b)に示すように四角形をし、フランジ1,2は、こ
の開口6aに充分閉塞できる大きさとし、フランジ1,
2間に介在するベローズ3は円形をしている。
(b)に示すように四角形をし、フランジ1,2は、こ
の開口6aに充分閉塞できる大きさとし、フランジ1,
2間に介在するベローズ3は円形をしている。
【0011】図2はバルブ封止時を示す。フランジ1及
び2はアーム5の操作によりバルブハウジング6内の開
口部6aに移動され、その位置でパイプ4から圧搾空気
が送り込まれることによりベローズ3が膨張してフラン
ジ1,2をハウジング6の開口6aを中心とした封止面
に押し付けバルブ封止状態とする。この2枚のフランジ
1,2による封止によりバルブハウジング6に連結する
図示しない真空容器(処理室)は完全に閉塞される。
び2はアーム5の操作によりバルブハウジング6内の開
口部6aに移動され、その位置でパイプ4から圧搾空気
が送り込まれることによりベローズ3が膨張してフラン
ジ1,2をハウジング6の開口6aを中心とした封止面
に押し付けバルブ封止状態とする。この2枚のフランジ
1,2による封止によりバルブハウジング6に連結する
図示しない真空容器(処理室)は完全に閉塞される。
【0012】次に図3はバルブ開口時を示し、先づ、フ
ランジ1,2の封止位置において、パイプ4から圧搾空
気を排気する。これによりベローズ3が収縮し、フラン
ジ1,2もバルブハウジング6から離れ、封止が解除さ
れる。このフランジ間隔が縮小した状態においてアーム
5によりフランジ1,2をバルブハウジングの開口部6
aから後退させ封止状態から開口状態(図1の位置)へ
切り替える。この開口状態においてはバルブハウジング
6に連結する真空容器は、例えば他方に連結する真空ポ
ンプにより真空排気処理、あるいは拡散ガスの供給等が
行なわれる。
ランジ1,2の封止位置において、パイプ4から圧搾空
気を排気する。これによりベローズ3が収縮し、フラン
ジ1,2もバルブハウジング6から離れ、封止が解除さ
れる。このフランジ間隔が縮小した状態においてアーム
5によりフランジ1,2をバルブハウジングの開口部6
aから後退させ封止状態から開口状態(図1の位置)へ
切り替える。この開口状態においてはバルブハウジング
6に連結する真空容器は、例えば他方に連結する真空ポ
ンプにより真空排気処理、あるいは拡散ガスの供給等が
行なわれる。
【0013】このバルブ制御によれば、大型(大口径)
のゲートバルブにおいてもベローズ3の収縮膨張により
2枚のフランジ1,2には均一な圧力を作用でき、均一
な封止圧力により安定した封止状態、開口状態のバルブ
切替ができ、また2枚フランジ1,2を用いたことによ
り封止力も充分であり、ベローズ3による閉回路制御に
より真空容器へのごみの発生及び侵入を防止できる。
のゲートバルブにおいてもベローズ3の収縮膨張により
2枚のフランジ1,2には均一な圧力を作用でき、均一
な封止圧力により安定した封止状態、開口状態のバルブ
切替ができ、また2枚フランジ1,2を用いたことによ
り封止力も充分であり、ベローズ3による閉回路制御に
より真空容器へのごみの発生及び侵入を防止できる。
【0014】なお、ベローズ3の収縮、膨張制御に作動
流体としては、空気以外のガス、液体等も利用できる。
また流体の出し入れによるベローズ3の一連の膨張、収
縮動作の一方をスプリングによって置き換えた構造も可
能である。またバルブ開口部6a,フランジ1,2の形
状は図示の四角形に限定されず、ベローズ3の形状、ベ
ローズ3の設置個数等も任意に設計変更できる。
流体としては、空気以外のガス、液体等も利用できる。
また流体の出し入れによるベローズ3の一連の膨張、収
縮動作の一方をスプリングによって置き換えた構造も可
能である。またバルブ開口部6a,フランジ1,2の形
状は図示の四角形に限定されず、ベローズ3の形状、ベ
ローズ3の設置個数等も任意に設計変更できる。
【0015】図4及び図5は、本発明の他の実施形態を
示す動作説明図である。この実施形態ではベローズ3の
膨張、収縮の作動を電磁石を利用するようにしたもので
ある。即ち、ベローズ3内に電磁石7と永久磁石8を、
各々ベローズ3を介して2枚のフランジ1,2に固定
し、各々を相対向して設ける。電磁石7はアーム5内を
通る励磁用リード線から電流供給される。図4はバルブ
開口部6aの封止位置にフランジ1,2を移動させた状
態で電磁石7を励磁し、永久磁石8との反撥によりベロ
ーズ3を膨張して封止状態としたものである。また図5
は電磁石7の励磁を逆励磁に切り替えるか、励磁を切っ
て永久磁石8に吸着してベローズ3を収縮させフランジ
1,2を狭ばめて封止状態を解放した場合を示す。
示す動作説明図である。この実施形態ではベローズ3の
膨張、収縮の作動を電磁石を利用するようにしたもので
ある。即ち、ベローズ3内に電磁石7と永久磁石8を、
各々ベローズ3を介して2枚のフランジ1,2に固定
し、各々を相対向して設ける。電磁石7はアーム5内を
通る励磁用リード線から電流供給される。図4はバルブ
開口部6aの封止位置にフランジ1,2を移動させた状
態で電磁石7を励磁し、永久磁石8との反撥によりベロ
ーズ3を膨張して封止状態としたものである。また図5
は電磁石7の励磁を逆励磁に切り替えるか、励磁を切っ
て永久磁石8に吸着してベローズ3を収縮させフランジ
1,2を狭ばめて封止状態を解放した場合を示す。
【0016】なお、この場合も2枚のフランジ1,2の
作動を行なう、電磁石7及び永久磁石8はベローズ3内
に収納して設けられているので、作動運動に伴なうごみ
の発生、侵入を防止できる。
作動を行なう、電磁石7及び永久磁石8はベローズ3内
に収納して設けられているので、作動運動に伴なうごみ
の発生、侵入を防止できる。
【0017】また、図示しないが、ベローズ3の膨張、
収縮の作動は、他の機構を利用でき、例えばリンクを用
いたパンタグラフの機構等を用いることも可能である。
収縮の作動は、他の機構を利用でき、例えばリンクを用
いたパンタグラフの機構等を用いることも可能である。
【0018】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、2枚の相
対するゲートフランジの封止動作を相互間に介在させた
ベローズの膨張、収縮によって行なうようにしたので、
真空系への潤滑油や摩耗によるごみの発生、侵入を完全
に防止できる。また、ベローズの膨張、収縮によって2
枚のゲートフランジの拡張、縮小を行なうので均一な封
止圧力を作用させることができる構造であり、装置の構
造を小さく構成でき、かつ大型(大口径)のゲートバル
ブが安定して容易に構成できる。
対するゲートフランジの封止動作を相互間に介在させた
ベローズの膨張、収縮によって行なうようにしたので、
真空系への潤滑油や摩耗によるごみの発生、侵入を完全
に防止できる。また、ベローズの膨張、収縮によって2
枚のゲートフランジの拡張、縮小を行なうので均一な封
止圧力を作用させることができる構造であり、装置の構
造を小さく構成でき、かつ大型(大口径)のゲートバル
ブが安定して容易に構成できる。
【図1】本発明の一実施形態の構造図。
【図2】図1の封止状態動作説明図。
【図3】図1の封止状態解放動作説明図。
【図4】本発明の他の実施形態の封止状態動作説明図。
【図5】図4の封止状態解放動作説明図。
【図6】従来の小型ゲートバルブ構造図。
【図7】従来の大型ゲートバルブ構造図。
1,2…ゲートフランジ、3…ベローズ、4…パイプ、
5…アーム、6…バルブハウジング、7…電磁石、8…
永久磁石。
5…アーム、6…バルブハウジング、7…電磁石、8…
永久磁石。
Claims (2)
- 【請求項1】 真空容器の開口部を封止するゲートバル
ブ機構において、バルブハウジング内に組み入れた2枚
の相対するゲートフランジと、該ゲートフランジ間に介
在して間隔を拡張、縮小変化させるベローズと、該ベロ
ーズ内においてベローズを膨張、収縮作動させる手段
と、前記ゲートフランジをバルブハウジング内の封止位
置と開口位置とに移動操作させるアームとを備えてなる
ゲートバルブ機構。 - 【請求項2】 前記ベローズを膨張、収縮作動させる手
段は、前記アームを経てベローズ内に開口するパイプに
より圧力流体を流入、流出させる装置であることを特徴
とする請求項1記載のゲートバルブ機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23425796A JPH1078145A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ゲートバルブ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23425796A JPH1078145A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ゲートバルブ機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1078145A true JPH1078145A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16968145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23425796A Pending JPH1078145A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ゲートバルブ機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1078145A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100489553B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-05-23 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
JP2007170666A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 振り子とスライドゲート真空バルブ |
JP2007292273A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 真空ゲートバルブ |
KR101099571B1 (ko) | 2010-01-18 | 2011-12-28 | 프리시스 주식회사 | 진공 게이트밸브 |
CN107164850A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-09-15 | 宁夏如意科技时尚产业有限公司 | 一种梳棉机负压主管道风量调节装置 |
KR20200021195A (ko) * | 2018-08-20 | 2020-02-28 | 주식회사 에스티테크놀로지 | 팽창식 진공 게이트 밸브 |
JP2022510636A (ja) * | 2018-11-27 | 2022-01-27 | バット ホールディング アーゲー | ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 |
CN114321416A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种具有高密封性的双层挡门板 |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP23425796A patent/JPH1078145A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100489553B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-05-23 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
JP2007170666A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 振り子とスライドゲート真空バルブ |
JP2007292273A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 真空ゲートバルブ |
KR101099571B1 (ko) | 2010-01-18 | 2011-12-28 | 프리시스 주식회사 | 진공 게이트밸브 |
CN107164850A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-09-15 | 宁夏如意科技时尚产业有限公司 | 一种梳棉机负压主管道风量调节装置 |
KR20200021195A (ko) * | 2018-08-20 | 2020-02-28 | 주식회사 에스티테크놀로지 | 팽창식 진공 게이트 밸브 |
JP2022510636A (ja) * | 2018-11-27 | 2022-01-27 | バット ホールディング アーゲー | ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 |
CN114321416A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种具有高密封性的双层挡门板 |
CN114321416B (zh) * | 2021-12-30 | 2023-09-01 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种具有高密封性的双层挡门板 |
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