JPH1074725A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JPH1074725A JPH1074725A JP8231900A JP23190096A JPH1074725A JP H1074725 A JPH1074725 A JP H1074725A JP 8231900 A JP8231900 A JP 8231900A JP 23190096 A JP23190096 A JP 23190096A JP H1074725 A JPH1074725 A JP H1074725A
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Abstract
ンニングコスト及びスペースコストを低減することがで
きる処理装置の提供。 【解決手段】 噴出ノズル33、34からウエハWに噴
出された洗浄液及び噴出ノズル33からダミーディスペ
ンサ37に噴出された洗浄液を回収して循環し再利用す
るように構成している。
Description
ハを洗浄するウエハ洗浄装置等の洗浄装置に関する。
ウエハ(以下、単にウエハと呼ぶ。)の洗浄、例えば微
粒子除去や金属汚染除去、酸化膜除去等を行うことが要
求される。微粒子除去の洗浄プロセスにおいては、NH
4 /H2 O2 /H2 O混合液(以下、APMと称す
る。)を使用した液相洗浄が一般的であり、金属汚染除
去の洗浄プロセスにおいては、HCl/H2 O2 /H2
O混合液(以下、HPMと称する。)を使用した液相洗
浄が一般的であり、また酸化膜除去の洗浄プロセスにお
いては、HF/H2 O混合液(以下、DHMと称す
る。)を使用した液相洗浄が一般的である。
ロセスの枚葉処理化が進む中で、このような洗浄プロセ
スにおいても枚葉処理化が進められている。枚葉処理化
したウエハ洗浄装置として、例えばAPM洗浄を行うA
PMユニットとHPM洗浄を行うHPMユニットとDH
M洗浄を行うDHMユニットとをウエハを搬送するウエ
ハ搬送路に沿って配置し、これらユニット間でウエハの
受け渡しを行うウエハ搬送体を上記のウエハ搬送路上を
移動可能に配置して構成した装置がある。
内に1枚のウエハを搬入し、APM、HPM、DHM等
の洗浄液を使ってウエハを洗浄した後に濯ぎ液、例えば
純水(DIW:deionized water )を使って洗浄するこ
とが行われる。かかる使用後の洗浄液や濯ぎ液等につい
ては、廃棄するのが一般的である。
うな洗浄液及び濯ぎ液のうち、特に洗浄液は非常に高価
であり、しかも上記の如く枚葉処理化した場合にはこう
した洗浄液を大量に消費することとなるため、ランニン
グコストが非常に高価になるという問題がある。また、
このような枚葉式の洗浄装置では、上記洗浄液を貯蔵す
るための洗浄液槽が大型化し、スペースコストが増大す
るという問題もある。
洗浄に使用する洗浄液の消費量を減らし、ランニングコ
スト及びスペースコストを低減することができる洗浄装
置を提供することを目的としている。
を簡単な構成で行うことができる洗浄装置を提供するこ
とを目的としている。
してスループットを向上することができる洗浄装置を提
供することにある。
して洗浄液による悪影響を与えることのない洗浄装置を
提供することにある。
び再利用をより効率よく行うことができる洗浄装置を提
供することにある。
り良好に行うことができる洗浄装置を提供することにあ
る。具体的には、例えば被処理基板に対して洗浄液によ
る悪影響を与えたり、ウォーターマーク等が付着するこ
とがない洗浄装置を提供することにある。
洗浄液の消費量をさらに減らすことができる洗浄装置を
提供することにあり、さらにかかる洗浄液消費量の減少
をより簡単な構造でさらには装置の大型化を招来させる
ことなく実現できる洗浄装置を提供することにある。
め、請求項1記載の本発明に係る洗浄装置は、被処理基
板を洗浄液及び濯ぎ液を使って洗浄する洗浄手段と、前
記洗浄手段で使った洗浄液を循環させて当該洗浄手段で
再使用させる循環系と、前記洗浄手段で使った濯ぎ液を
排出する排出系とを具備する。
環させて再使用するように構成しているので、洗浄に使
用する洗浄液の消費量を減らし、ランニングコスト及び
スペースコストを低減することができる。
被処理基板の出し入れが可能な開口部を有し、内カップ
の開口部の高さが外カップの開口部の高さよりも低い内
外2重のカップ構造の収容部と、前記収容部内で被処理
基板を保持して回転し、かつ前記内外カップ間を移送す
る回転移送部と、前記内外カップ内でそれぞれ前記回転
移送部により回転される被処理基板に対し、それぞれ洗
浄液及び濯ぎ液のうち一方を噴出する噴出部と、前記内
外カップのうち一方で回収された洗浄液を循環させて前
記噴出部で再使用させる循環系と、前記内外カップのう
ち他方で回収された濯ぎ液を排出する排出系とを具備す
る。
基板に対して噴出された液は内カップで回収され、外カ
ップすなわち外カップと内カップの開口部間に移送され
た被処理基板に対して噴出された液は遠心力により開口
部間に飛翔して外カップで回収され、内外カップのうち
一方で回収された洗浄液を循環させて再使用するように
構成しているので、洗浄液の回収及び再利用を簡単な構
成で行うことができる。 請求項3記載の本発明に係る
洗浄装置は、被処理基板の出し入れが可能な開口部を有
し、内カップの開口部の高さが外カップの開口部の高さ
よりも低い内外2重のカップ構造の収容部と、前記収容
部内で被処理基板を保持して回転し、かつ前記内外カッ
プ間を移送する回転移送部と、前記内外カップ内でそれ
ぞれ前記回転移送部により回転される被処理基板の表裏
両面に対し、それぞれ洗浄液及び濯ぎ液のうち一方を噴
出する噴出部と、前記内外カップのうち一方で回収され
た洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用させる循環系
と、前記内外カップのうち他方で回収された濯ぎ液を排
出する排出系とを具備する。
対して洗浄液及び濯ぎ液を噴出させて洗浄を行うように
構成しているので、洗浄時間を短縮してスループットを
向上することができる。
被処理基板の出し入れが可能な開口部を有し、内カップ
の開口部の高さが外カップの開口部の高さよりも低い内
外2重のカップ構造の収容部と、前記収容部内で被処理
基板を保持して回転し、かつ前記内外カップ間を移送す
る回転移送部と、前記内カップ内で前記回転移送部によ
り回転される被処理基板の表裏両面に対して洗浄液を噴
出し、前記外カップ内で前記回転移送部により回転され
る被処理基板の表裏両面に対して濯ぎ液を噴出する噴出
部と、前記内カップで回収された洗浄液を循環させて前
記噴出部で再使用させる循環系と、前記外カップで回収
された濯ぎ液を排出する排出系とを具備する。
出し、外カップ内で濯ぎ液を噴出するように構成したの
で、洗浄液に伴う雰囲気が濯ぎ液によって洗浄された被
処理基板に及ぶようなことはなくなり、被処理基板に対
して洗浄液による悪影響を与えることがなくなる。
被処理基板の出し入れが可能な開口部を有し、内カップ
の開口部の高さが外カップの開口部の高さよりも低い内
外2重のカップ構造の収容部と、前記収容部内で被処理
基板を保持して回転し、かつ前記内外カップ間を移送す
る回転移送部と、前記外カップ内で前記回転移送部によ
り回転される被処理基板の表裏両面に対して洗浄液を噴
出し、前記内カップ内で前記回転移送部により回転され
る被処理基板の表裏両面に対して濯ぎ液を噴出する噴出
部と、前記外カップで回収された洗浄液を循環させて前
記噴出部で再使用させる循環系と、前記内カップで回収
された濯ぎ液を排出する排出系とを具備する。
出し、外カップ内で洗浄液を噴出するように構成したの
で、洗浄液をより効率よく回収することができる。
被処理基板に対して同一の噴出ノズルを使って洗浄液及
び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、前記噴出部が被処
理基板に対して洗浄液及び濯ぎ液を噴出する前に予め所
定期間前記噴出ノズルより洗浄液及び濯ぎ液を排出させ
る手段とを具備する。
洗浄液及び濯ぎ液を噴出する前に予め所定期間噴出ノズ
ルより洗浄液及び濯ぎ液を排出させるように構成してい
るので、被処理基板に対して洗浄液を噴出しようとする
場合に噴出ノズルに残っていた濯ぎ液が被処理基板に対
して噴出されることがなくなり、また被処理基板に対し
て濯ぎ液を噴出しようとする場合に噴出ノズルに残って
いた洗浄液が被処理基板に対して噴出されることがなく
なる。従って、被処理基板に対して洗浄液による悪影響
を与えたり、ウォーターマーク等が付着することがなく
なり、洗浄処理をより良好に行うことができるようにな
る。
被処理基板に対して同一の噴出ノズルを使って洗浄液及
び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、前記噴出部が被処
理基板に対して洗浄液及び濯ぎ液を噴出する前に予め所
定期間前記噴出ノズルより洗浄液及び濯ぎ液を排出させ
る手段と、前記噴出ノズルより排出された洗浄液及び濯
ぎ液のうち洗浄液については回収して循環させて前記噴
出部で再使用させる循環系とを具備する。
た洗浄液及び濯ぎ液のうち洗浄液については回収して循
環させるように構成したので、洗浄液の消費量をさらに
減らすことができる。
被処理基板に対して同一の噴出ノズルを使って洗浄液及
び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、前記噴出ノズルよ
り噴出された洗浄液を回収する洗浄液回収部と、前記噴
出ノズルより噴出された濯ぎ液を回収する濯ぎ液回収部
と、前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液を噴出する
前に予め所定期間前記噴出ノズルより前記洗浄液回収部
に洗浄液を排出させ、前記噴出部が被処理基板に対して
濯ぎ液を噴出する前に予め所定期間前記噴出ノズルより
前記洗浄液回収部に洗浄液を排出させる手段と、前記洗
浄液回収部により回収された洗浄液を循環させて前記噴
出部で再使用させる循環系とを具備する。 本発明で
は、特に噴出ノズルより噴出された洗浄液を回収する洗
浄液回収部と噴出ノズルより噴出された濯ぎ液を回収す
る濯ぎ液回収部とを区別して構成したので、洗浄液の回
収を容易に行うことができる。
被処理基板に対して同一の噴出ノズルを使って洗浄液及
び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、前記噴出部に隣接
して設けられ、前記噴出ノズルより噴出された洗浄液を
回収する洗浄液回収部と、前記噴出部に隣接して設けら
れ、前記噴出ノズルより噴出された濯ぎ液を回収する濯
ぎ液回収部と、前記噴出ノズルを前記噴出部と前記洗浄
液回収部と前記濯ぎ液回収部との間を移動させるノズル
移動手段と、前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液を
噴出する前に前記ノズル移動手段により前記噴出ノズル
を前記洗浄液回収部へ移動させて予め所定期間噴出ノズ
ルより洗浄液回収部に洗浄液を排出させ、前記噴出部が
被処理基板に対して濯ぎ液を噴出する前に前記ノズル移
動手段により前記噴出ノズルを前記濯ぎ液回収部へ移動
させて予め所定期間噴出ノズルより洗浄液回収部に洗浄
液を排出させる手段と、前記洗浄液回収部により回収さ
れた洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用させる循環
系とを具備する。
回収部を噴出部に隣接して設け、洗浄液の排出が必要な
場合には噴出ノズルを洗浄液回収部及び濯ぎ液回収部に
移送するように構成したので、洗浄液消費量の減少をよ
り簡単な構造でさらには装置の大型化を招来させること
なく実現できる。
は、被処理基板に対して同一の噴出ノズルを使って洗浄
液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、前記噴出部に
隣接して設けられ、前記噴出ノズルより噴出された洗浄
液及び濯ぎ液のうち一方を回収する内カップと他方を回
収する外カップとを有する内外2重のカップ構造の回収
部と、前記噴出ノズルを前記噴出部と前記回収部との間
を移動させるノズル移動手段と、前記噴出部が被処理基
板に対して洗浄液を噴出する前に前記ノズル移動手段に
より前記噴出ノズルを前記一方のカップへ移動させて予
め所定期間噴出ノズルより洗浄液を排出させ、前記噴出
部が被処理基板に対して濯ぎ液を噴出する前に前記ノズ
ル移動手段により前記噴出ノズルを前記他方のカップへ
移動させて予め所定期間噴出ノズルより洗浄液を排出さ
せる手段と、前記回収部により回収された洗浄液のうち
洗浄液については循環させて前記噴出部で再使用させる
循環系とを具備する。
噴出された洗浄液及び濯ぎ液のうち一方を回収する内カ
ップと他方を回収する外カップとを有する内外2重のカ
ップ構造としたので、装置のさらなる小型化を図ること
ができる。
づいて説明すれば、図1〜図3は、各々本発明の実施形
態が採用された半導体ウエハ(以下、「ウエハ」とい
う)のウエハ洗浄装置1の全体構成の図であって、図1
は平面、図2は正面、図3は背面を夫々示している。
てウエハWをウエハカセットCRで複数枚、例えば25
枚単位で外部からシステムに搬入したり、あるいはシス
テムから搬出したり、ウエハカセットCRに対してウエ
ハWを搬入・搬出したりするためのカセットステーショ
ン10と、1枚ずつウエハWに所定の洗浄処理を施す枚
葉式の各種洗浄処理ユニットを所定位置に配置してなる
洗浄処理ステーション11とを一体に接続した構成を有
している。
すように、カセット載置台20上の位置決め突起20a
の位置に、複数個例えば4個までのウエハカセットCR
が、夫々のウエハ出入口を処理ステーション11側に向
けてX方向(図1中の上下方向)一列に載置され、この
カセット配列方向(X方向)およびウエハカセッ卜CR
内に収納されたウエハのウエハ配列方向(Z方向;垂直
方向)に移動可能なウエハ搬送体21が各ウエハカセッ
トCRに選択的にアクセスするようになっている。さら
にこのウエハ搬送体21は、θ方向に回転自在に構成さ
れており、後述するように洗浄処理ステーション11側
のウエハ搬送体22にも相互にアクセスできるようにな
っている。
すように、ウエハ搬送体22が設けられている。ウエハ
搬送体22は、ウエハ搬送路(Y方向)に沿って移動可
能とされている。ウエハ搬送体22の搬送路の両側に
は、洗浄処理ユニットが配置されている。処理ステーシ
ョン11のウエハ搬送体22は、θ方向にも回転自在に
構成されており、上述したカセットステーション10側
のウエハ搬送体21の他に、各洗浄処理ユニットにもア
クセスできるようになっている。
1に示したように例えば4つの洗浄処理ユニットが配置
されている。装置の前面側には、単に濯ぎ液、例えば純
水(DIW:deionized water )により洗浄を行うDI
W洗浄ユニット及び洗浄液、例えばAPMを使用した洗
浄を行うAPM洗浄ユニットが配置され、装置の背面側
には、DHMを使用したDHM洗浄ユニット及びHPM
を使用した洗浄を行うHPM洗浄ユニットが配置されて
いる。なお、残りの位置には、これらのユニットあるい
は他のユニットを配置することが可能である。
す。なお、APM洗浄ユニット、DHM洗浄ユニット及
びHPM洗浄ユニットは基本的には同図に示すように同
一構成である。
のほぼ中央の下方には、ウエハWの周縁部を支持して回
転させるチャック機構31が設けられている。このチャ
ック機構31は後述する第1のカップ38と共に駆動シ
リンダ32により所定の範囲で上昇・下降が行われるよ
うになっている。また、このチャック機構31により支
持されたウエハWの下方及び上方には、ウエハWに対し
て洗浄液やDIWを噴出する噴出ノズル33、34が配
置されている。噴出ノズル33、34には、後述するよ
うに洗浄液やDIWが供給されるようになっている。
ル33は、駆動シリンダ35により所定の範囲内で上昇
・下降が行われるようになっている。また、上記ウエハ
Wの上方に設けられた噴出ノズル34は、図5に示すよ
うに、駆動シリンダ36により所定の範囲内で上昇・下
降が行われるようになっており、さらに水平方向(θ′
方向)に回転可能にされており、これにより噴出ノズル
34は、ウエハWの外周より外れた位置まで回動される
ようになっている。ウエハWの外周より外れた所定の位
置、すなわち後述する第1及び第2のカップ38、41
に隣接する位置には、噴出ノズル34から噴出した溶液
を回収するための回収部としてのダミーディスペンサ3
7が設けられている。
うに、噴出ノズル34より噴出された洗浄液を回収する
内カップ37aと噴出ノズル34より噴出されたDIW
を回収する外カップ37bとを有する内外2重のカップ
構造とされている。
ンサ37及び駆動シリンダ36の配置側とは反対側に
は、N2 パージやIPA等を噴出する噴出ノズル51と
この噴出ノズル51を水平方向(θ″方向)に回転及び
所定の範囲内で上昇・下降させる駆動シリンダ52が配
置されている。この噴出ノズル51から噴出される気体
によってウエハW上の洗浄液やDIWが振り切り乾燥さ
れるようになっている。上記チャック機構31や噴出ノ
ズル33等は、小径の第1のカップ38内に収納されて
いる。第1のカップ38は、上方に向けてウエハWの直
径よりやや大きめの直径の開口部を有し、この開口部を
介して上方よりウエハWがカップ内に収容されるように
なっている。また、この第1のカップ38の下面には、
このカップで回収された液をカップ外に排出するための
第1の排出口39が設けられている。さらに、第1のカ
ップ38の下面には、処理室30内であって特に第1の
カップ38内の排気を行うための排気口40が設けられ
ている。排気口40は、例えば図示を省略した排気ポン
プに接続されている。
8より大径の第2のカップ41内に収容されている。第
2のカップ41は、上方に向けて第1のカップ38より
大きな径の開口部を有しており、この開口部を介して第
2のカップ内さらには第1のカップ内にウエハWを収容
する。また、第2のカップ41の開口部の高さは、第1
のカップ38の高さより高い位置にあり、この高低差を
利用した間隙を介してウエハWより飛散された液を第2
のカップ41内に回収するようになっている。また、こ
の第2のカップ41の下面には、このカップで回収され
た液をカップ外に排出するための第2の排出口42が設
けられている。さらに、第2のカップ41の下面には、
処理室30内であって特に第2のカップ41内の排気を
行うための排気口44が設けられている。排気口44
は、例えば図示を省略した排気ポンプに接続されてい
る。このように各カップ38、41ごとに排出口及び排
気口を設けることで、洗浄液とDIWの2液分離及び2
気体分離が実現される。
ウエハWの受け渡しを行うための窓部43が設けられて
いる。窓部43は、図示省略した駆動シリンダによって
例えば上下に開閉可能とされている。そして、ウエハ搬
送路上に移動可能に配置されたウエハ搬送体22が上記
窓部43を介して処理室30との間で洗浄を行うウエハ
Wの受け渡しを行っている。
プ41の開口部より上の第1の位置において窓部43
を介してウエハ搬送体22からウエハWを受け取り、受
け取ったウエハWを第1のカップ38の開口部下の位置
に移送して例えば洗浄液による洗浄が行われ、次いで
第1のカップの38と第2のカップ41の開口部間の間
隙位置に移送して例えばDIWによる洗浄が行われ
る。従って、第1のカップ38では洗浄液の回収が行わ
れ、第2のカップ41ではDIWの回収が行われること
になる。
びにダミーディスペンサ37で回収された洗浄液及びD
IWの循環系及び排出系の構成を示す。
収された洗浄液及びダミーディスペンサ37の内カップ
37aで回収された洗浄液は、洗浄液槽61へ回収され
るようになっている。この洗浄液槽61は、例えば30
l程度の洗浄液を貯蔵することが可能である。
を加熱するヒータ62が配置されている。ヒータ62
は、例えば洗浄液がAPMの場合には洗浄液を例えば4
0℃程度に、例えば洗浄液がHPMの場合には洗浄液を
例えば80℃程度に加熱する。洗浄液がDHFの場合に
は通常洗浄液の加熱は行わない。従って、このような場
合には、ヒータ62を配置しないように構成してもよ
い。なお、洗浄液槽61における洗浄液の導入口はヒー
ター62よりも下部に、洗浄液の取り出し口はヒーター
62よりも上部に設けた方がより好ましい。これによ
り、洗浄液槽61内の洗浄液の温度の均一化を図ること
ができる。洗浄液槽61の側部には、貯蔵する洗浄液の
水面を検出して洗浄液量を検出するリミットセンサ群6
3が配置されている。このリミットセンサ群63は、例
えば最低レベルの水面の高さと最高レベルの水面の高さ
を検出するように構成し、洗浄液の補充制御に使われ
る。センサの数を増やしてより細かな検出を行うように
しても勿論よい。
対して洗浄液、例えばAPMであればNH4 及びH2 O
2 を補充するためのタンク64、65が接続され、さら
にDIW供給口66が接続されている。このような補充
を洗浄液槽61の上部から行うようにすることで、洗浄
液の撹拌を効果的に行うことができる。洗浄液の補充
は、例えば所定時間毎に行うようにしてもよく、また洗
浄したウエハWの枚数が所定枚数になる毎に行うように
してもよく、さらにこれらの組み合わせによって行うよ
うにしてもよい。
液循環用のポンプ67及び洗浄液ろ過用のフィルタ68
を介して噴出ノズル33、34に供給されるようになっ
ている。これにより、噴出ノズル33、34で使った洗
浄液を循環させて当該噴出ノズル33、34で再使用さ
せる循環系が構成されている。また、洗浄液槽61に貯
蔵された洗浄液は、洗浄液循環用のポンプ67及び洗浄
液ろ過用のフィルタ68を介して再び洗浄液槽61に循
環するようになっている。これにより、洗浄液槽61内
の洗浄液の混合と温調が行われるようになっている。
ノズル34及びフィルタ68と噴出ノズル33との間に
は、それぞれ切換部69、70が介挿されている。切換
部69は、洗浄液槽61からの洗浄液、DIW供給口7
1からのDIWのうちいずれか一方を噴出ノズル34に
供給する。切換部70は、洗浄液槽61からの洗浄液、
DIW供給口72からのDIWのうちいずれか一方を噴
出ノズル33に供給する。切換部69、70の切換制御
は、例えば図示を省略した制御部によって後述するタイ
ミングで行われる。
て噴出されたDIWは、第2のカップ41により回収さ
れて、排出口42から排出される。また。噴出ノズル3
4からダミーディスペンサ37に対して噴出されたDI
Wは、外カップ37bにより回収されて排出される。
ら洗浄液とDIWの2種類の液体をと交互に噴出するよ
うに構成すると、例えば噴出ノズルからウエハWに対し
て洗浄液を噴出しようとする場合に、図8に示すように
噴出ノズル34と切換部69との間73に残っていた濯
ぎ液が最初にウエハWに対して噴出され、また噴出ノズ
ルからウエハWに対して濯ぎ液を噴出しようとする場合
に、噴出ノズル34と切換部69との間73に残ってい
た洗浄液が最初にウエハWに対して噴出される。このた
め、ウエハWに対して洗浄液による悪影響を与えたり、
ウォーターマーク等が付着したりする、といった不具合
が発生する。
は、噴出部ノズル34がウエハWに対して洗浄液を噴出
する前に予め噴出ノズル34をダミーディスペンサ37
の内カップ37a上(図6の位置)に移動させて所定
期間噴出ノズル34より噴出ノズル34と切換部69と
の間73に残っていたDIWを排出させ、噴出部ノズル
34がウエハWに対してDIWを噴出する前に予め噴出
ノズル34をダミーディスペンサ37の外カップ37b
上(図6の位置)に移動させて所定期間噴出ノズル3
4より噴出ノズル34と切換部69との間73に残って
いた洗浄液を排出させている。
出しようとする場合に噴出ノズル34に残っていたDI
WがウエハWに対して噴出されることがなくなり、また
ウエハWに対してDIWを噴出しようとする場合に噴出
ノズル34に残っていた洗浄液がウエハWに対して噴出
されることがなくなり、洗浄処理をより良好に行うこと
ができるようになる。
1では、噴出ノズル33、34からウエハWに噴出され
た洗浄液、さらには噴出ノズル33からダミーディスペ
ンサ37に噴出された洗浄液を回収して循環し再利用す
るように構成しているので、洗浄に使用する洗浄液の消
費量を減らことができる。この結果、ランニングコスト
の低減を図ることができる。また、洗浄液槽61の小型
化が可能となり、スペースコストを低減を図ることがで
きるようになる。
を第1及び第2のカップ38、41からなる内外2重の
カップ構造とし、さらにダミーディスペンサ37につい
ても、内外2重のカップ37a、37bの構造としたの
で、洗浄液のみの回収及び再利用を簡単な構成で行うこ
とができる。 さらに、このウエハ洗浄装置1では、2
つの噴出ノズル33、34を使いウエハWの表裏両面よ
り洗浄を行うように構成したので、洗浄処理のスループ
ットを向上させることができる。また、噴出ノズル3
3、34は、1つの噴出ノズルで2種類の液、つまり洗
浄液とDIWを噴出するように構成したので、装置を小
型化を図ることができる。
液による洗浄を行い、第2のカップ41でDIWによる
洗浄を行うように、つまり下部で洗浄液による洗浄を行
い、上部でDIWによる洗浄を行うように構成している
ので、洗浄液に伴う雰囲気がDIWによって洗浄された
ウエハWに及ぶようなことはなくなり、ウエハWに対し
て洗浄液による悪影響を与えることがなくなる。なお、
逆の構成、すなわちウエハWを第1のカップ38でDI
Wによる洗浄を行い、第2のカップ41で洗浄液による
洗浄を行うように、つまり下部でDIWによる洗浄を行
い、上部で洗浄液による洗浄を行うように構成すること
も可能であり、これにより洗浄液をより効率よく回収す
ることができるようになる。
されることはなく、その技術思想の範囲内で種々の変形
が可能である。
APM洗浄ユニットやDHM洗浄ユニット、HPM洗浄
ユニットに適用した例を説明したが、他の洗浄ユニット
についても本発明を適用できる。
向)に多段となるように構成してもよい。
ものでなく、LCD基板、ガラス基板、CD基板、フォ
トマスク、プリント基板、セラミック基板等でも可能で
ある。
被処理基板を洗浄液及び濯ぎ液を使って洗浄する洗浄手
段と、前記洗浄手段で使った洗浄液を循環させて当該洗
浄手段で再使用させる循環系と、前記洗浄手段で使った
濯ぎ液を排出する排出系とを具備したので、洗浄に使用
する洗浄液の消費量を減らし、ランニングコスト及びス
ペースコストを低減することができる。
可能な開口部を有し、内カップの開口部の高さが外カッ
プの開口部の高さよりも低い内外2重のカップ構造の収
容部と、前記収容部内で被処理基板を保持して回転し、
かつ前記内外カップ間を移送する回転移送部と、前記内
外カップ内でそれぞれ前記回転移送部により回転される
被処理基板に対し、それぞれ洗浄液及び濯ぎ液のうち一
方を噴出する噴出部と、前記内外カップのうち一方で回
収された洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用させる
循環系と、前記内外カップのうち他方で回収された濯ぎ
液を排出する排出系とを具備したので、特に洗浄液の回
収及び再利用を簡単な構成で行うことができる。
な開口部を有し、内カップの開口部の高さが外カップの
開口部の高さよりも低い内外2重のカップ構造の収容部
と、前記収容部内で被処理基板を保持して回転し、かつ
前記内外カップ間を移送する回転移送部と、前記内外カ
ップ内でそれぞれ前記回転移送部により回転される被処
理基板の表裏両面に対し、それぞれ洗浄液及び濯ぎ液の
うち一方を噴出する噴出部と、前記内外カップのうち一
方で回収された洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用
させる循環系と、前記内外カップのうち他方で回収され
た濯ぎ液を排出する排出系とを具備したので、特に洗浄
時間を短縮してスループットを向上することができる。
な開口部を有し、内カップの開口部の高さが外カップの
開口部の高さよりも低い内外2重のカップ構造の収容部
と、前記収容部内で被処理基板を保持して回転し、かつ
前記内外カップ間を移送する回転移送部と、前記内カッ
プ内で前記回転移送部により回転される被処理基板の表
裏両面に対して洗浄液を噴出し、前記外カップ内で前記
回転移送部により回転される被処理基板の表裏両面に対
して濯ぎ液を噴出する噴出部と、前記内カップで回収さ
れた洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用させる循環
系と、前記外カップで回収された濯ぎ液を排出する排出
系とを具備したので、洗浄液に伴う雰囲気が濯ぎ液によ
って洗浄された被処理基板に及ぶようなことはなくな
り、被処理基板に対して洗浄液による悪影響を与えるこ
とがなくなる。
可能な開口部を有し、内カップの開口部の高さが外カッ
プの開口部の高さよりも低い内外2重のカップ構造の収
容部と、前記収容部内で被処理基板を保持して回転し、
かつ前記内外カップ間を移送する回転移送部と、前記外
カップ内で前記回転移送部により回転される被処理基板
の表裏両面に対して洗浄液を噴出し、前記内カップ内で
前記回転移送部により回転される被処理基板の表裏両面
に対して濯ぎ液を噴出する噴出部と、前記外カップで回
収された洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用させる
循環系と、前記内カップで回収された濯ぎ液を排出する
排出系とを具備したので、特に洗浄液をより効率よく回
収することができる。
て同一の噴出ノズルを使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に
噴出する噴出部と、前記噴出部が被処理基板に対して洗
浄液及び濯ぎ液を噴出する前に予め所定期間前記噴出ノ
ズルより洗浄液及び濯ぎ液を排出させる手段とを具備し
たので、被処理基板に対して洗浄液による悪影響を与え
たり、ウォーターマーク等が付着することがなくなり、
洗浄処理をより良好に行うことができるようになる。
出ノズルを使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴
出部と、前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液及び濯
ぎ液を噴出する前に予め所定期間前記噴出ノズルより洗
浄液及び濯ぎ液を排出させる手段と、前記噴出ノズルよ
り排出された洗浄液及び濯ぎ液のうち洗浄液については
回収して循環させて前記噴出部で再使用させる循環系と
を具備したので、特に洗浄液の消費量をさらに減らすこ
とができる。
出ノズルを使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴
出部と、前記噴出ノズルより噴出された洗浄液を回収す
る洗浄液回収部と、前記噴出ノズルより噴出された濯ぎ
液を回収する濯ぎ液回収部と、前記噴出部が被処理基板
に対して洗浄液を噴出する前に予め所定期間前記噴出ノ
ズルより前記洗浄液回収部に洗浄液を排出させ、前記噴
出部が被処理基板に対して濯ぎ液を噴出する前に予め所
定期間前記噴出ノズルより前記洗浄液回収部に洗浄液を
排出させる手段と、前記洗浄液回収部により回収された
洗浄液を循環させて前記噴出部で再使用させる循環系と
を具備したので、特に洗浄液の回収を容易に行うことが
できる。
出ノズルを使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴
出部と、前記噴出部に隣接して設けられ、前記噴出ノズ
ルより噴出された洗浄液を回収する洗浄液回収部と、前
記噴出部に隣接して設けられ、前記噴出ノズルより噴出
された濯ぎ液を回収する濯ぎ液回収部と、前記噴出ノズ
ルを前記噴出部と前記洗浄液回収部と前記濯ぎ液回収部
との間を移動させるノズル移動手段と、前記噴出部が被
処理基板に対して洗浄液を噴出する前に前記ノズル移動
手段により前記噴出ノズルを前記洗浄液回収部へ移動さ
せて予め所定期間噴出ノズルより洗浄液回収部に洗浄液
を排出させ、前記噴出部が被処理基板に対して濯ぎ液を
噴出する前に前記ノズル移動手段により前記噴出ノズル
を前記濯ぎ液回収部へ移動させて予め所定期間噴出ノズ
ルより洗浄液回収部に洗浄液を排出させる手段と、前記
洗浄液回収部により回収された洗浄液を循環させて前記
噴出部で再使用させる循環系とを具備したので、特に洗
浄液消費量の減少をより簡単な構造でさらには装置の大
型化を招来させることなく実現できる。
出ノズルを使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴
出部と、前記噴出部に隣接して設けられ、前記噴出ノズ
ルより噴出された洗浄液及び濯ぎ液のうち一方を回収す
る内カップと他方を回収する外カップとを有する内外2
重のカップ構造の回収部と、前記噴出ノズルを前記噴出
部と前記回収部との間を移動させるノズル移動手段と、
前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液を噴出する前に
前記ノズル移動手段により前記噴出ノズルを前記一方の
カップへ移動させて予め所定期間噴出ノズルより洗浄液
を排出させ、前記噴出部が被処理基板に対して濯ぎ液を
噴出する前に前記ノズル移動手段により前記噴出ノズル
を前記他方のカップへ移動させて予め所定期間噴出ノズ
ルより洗浄液を排出させる手段と、前記回収部により回
収された洗浄液のうち洗浄液については循環させて前記
噴出部で再使用させる循環系とを具備したので、特に装
置のさらなる小型化を図ることができる。
洗浄装置の全体構成の平面図である。
る。
る。
ペンサの断面図である。
環系及び排出系の構成を示す図である。
図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 被処理基板を洗浄液及び濯ぎ液を使って
洗浄する洗浄手段と、 前記洗浄手段で使った洗浄液を循環させて当該洗浄手段
で再使用させる循環系と、 前記洗浄手段で使った濯ぎ液を排出する排出系とを具備
することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項2】 被処理基板の出し入れが可能な開口部を
有し、内カップの開口部の高さが外カップの開口部の高
さよりも低い内外2重のカップ構造の収容部と、 前記
収容部内で被処理基板を保持して回転し、かつ前記内外
カップ間を移送する回転移送部と、 前記内外カップ内でそれぞれ前記回転移送部により回転
される被処理基板に対し、それぞれ洗浄液及び濯ぎ液の
うち一方を噴出する噴出部と、 前記内外カップのうち一方で回収された洗浄液を循環さ
せて前記噴出部で再使用させる循環系と、 前記内外カップのうち他方で回収された濯ぎ液を排出す
る排出系とを具備することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項3】 被処理基板の出し入れが可能な開口部を
有し、内カップの開口部の高さが外カップの開口部の高
さよりも低い内外2重のカップ構造の収容部と、 前記
収容部内で被処理基板を保持して回転し、かつ前記内外
カップ間を移送する回転移送部と、 前記内外カップ内でそれぞれ前記回転移送部により回転
される被処理基板の表裏両面に対し、それぞれ洗浄液及
び濯ぎ液のうち一方を噴出する噴出部と、 前記内外カップのうち一方で回収された洗浄液を循環さ
せて前記噴出部で再使用させる循環系と、 前記内外カップのうち他方で回収された濯ぎ液を排出す
る排出系とを具備することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項4】 被処理基板の出し入れが可能な開口部を
有し、内カップの開口部の高さが外カップの開口部の高
さよりも低い内外2重のカップ構造の収容部と、 前記
収容部内で被処理基板を保持して回転し、かつ前記内外
カップ間を移送する回転移送部と、 前記内カップ内で前記回転移送部により回転される被処
理基板の表裏両面に対して洗浄液を噴出し、前記外カッ
プ内で前記回転移送部により回転される被処理基板の表
裏両面に対して濯ぎ液を噴出する噴出部と、 前記内カップで回収された洗浄液を循環させて前記噴出
部で再使用させる循環系と、 前記外カップで回収された濯ぎ液を排出する排出系とを
具備することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項5】 被処理基板の出し入れが可能な開口部を
有し、内カップの開口部の高さが外カップの開口部の高
さよりも低い内外2重のカップ構造の収容部と、 前記
収容部内で被処理基板を保持して回転し、かつ前記内外
カップ間を移送する回転移送部と、 前記外カップ内で前記回転移送部により回転される被処
理基板の表裏両面に対して洗浄液を噴出し、前記内カッ
プ内で前記回転移送部により回転される被処理基板の表
裏両面に対して濯ぎ液を噴出する噴出部と、 前記外カップで回収された洗浄液を循環させて前記噴出
部で再使用させる循環系と、 前記内カップで回収された濯ぎ液を排出する排出系とを
具備することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項6】 被処理基板に対して同一の噴出ノズルを
使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、 前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液及び濯ぎ液を噴
出する前に予め所定期間前記噴出ノズルより洗浄液及び
濯ぎ液を排出させる手段とを具備することを特徴とする
洗浄装置。 - 【請求項7】 被処理基板に対して同一の噴出ノズルを
使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、 前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液及び濯ぎ液を噴
出する前に予め所定期間前記噴出ノズルより洗浄液及び
濯ぎ液を排出させる手段と、 前記噴出ノズルより排出された洗浄液及び濯ぎ液のうち
洗浄液については回収して循環させて前記噴出部で再使
用させる循環系とを具備することを特徴とする洗浄装
置。 - 【請求項8】 被処理基板に対して同一の噴出ノズルを
使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、 前記噴出ノズルより噴出された洗浄液を回収する洗浄液
回収部と、 前記噴出ノズルより噴出された濯ぎ液を回収する濯ぎ液
回収部と、 前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液を噴出する前に
予め所定期間前記噴出ノズルより前記洗浄液回収部に洗
浄液を排出させ、前記噴出部が被処理基板に対して濯ぎ
液を噴出する前に予め所定期間前記噴出ノズルより前記
濯ぎ液回収部に濯ぎ液を排出させる手段と、 前記洗浄液回収部により回収された洗浄液を循環させて
前記噴出部で再使用させる循環系とを具備することを特
徴とする洗浄装置。 - 【請求項9】 被処理基板に対して同一の噴出ノズルを
使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、 前記噴出部に隣接して設けられ、前記噴出ノズルより噴
出された洗浄液を回収する洗浄液回収部と、 前記噴出部に隣接して設けられ、前記噴出ノズルより噴
出された濯ぎ液を回収する濯ぎ液回収部と、 前記噴出ノズルを前記噴出部と前記洗浄液回収部と前記
濯ぎ液回収部との間を移動させるノズル移動手段と、 前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液を噴出する前に
前記ノズル移動手段により前記噴出ノズルを前記洗浄液
回収部へ移動させて予め所定期間噴出ノズルより洗浄液
回収部に洗浄液を排出させ、前記噴出部が被処理基板に
対して濯ぎ液を噴出する前に前記ノズル移動手段により
前記噴出ノズルを前記濯ぎ液回収部へ移動させて予め所
定期間噴出ノズルより濯ぎ液回収部に濯ぎ液を排出させ
る手段と、 前記洗浄液回収部により回収された洗浄液
を循環させて前記噴出部で再使用させる循環系とを具備
することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項10】 被処理基板に対して同一の噴出ノズル
を使って洗浄液及び濯ぎ液を交互に噴出する噴出部と、 前記噴出部に隣接して設けられ、前記噴出ノズルより噴
出された洗浄液及び濯ぎ液のうち一方を回収する内カッ
プと他方を回収する外カップとを有する内外2重のカッ
プ構造の回収部と、 前記噴出ノズルを前記噴出部と前記回収部との間を移動
させるノズル移動手段と、 前記噴出部が被処理基板に対して洗浄液を噴出する前に
前記ノズル移動手段により前記噴出ノズルを前記一方の
カップへ移動させて予め所定期間噴出ノズルより洗浄液
を排出させ、前記噴出部が被処理基板に対して濯ぎ液を
噴出する前に前記ノズル移動手段により前記噴出ノズル
を前記他方のカップへ移動させて予め所定期間噴出ノズ
ルより濯ぎ液を排出させる手段と、 前記洗浄液回収部により回収された洗浄液及び濯ぎ液の
うち洗浄液については循環させて前記噴出部で再使用さ
せる循環系とを具備することを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23190096A JP3317855B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 洗浄装置 |
US08/917,619 US5975097A (en) | 1996-09-02 | 1997-08-26 | Processing apparatus for target processing substrate |
TW086112311A TW358982B (en) | 1996-09-02 | 1997-08-27 | Processing apparatus for target process in substrate |
KR1019970045377A KR100414775B1 (ko) | 1996-09-02 | 1997-09-01 | 피처리기판용처리장치및세정장치 |
KR1020020050830A KR100421349B1 (ko) | 1996-09-02 | 2002-08-27 | 피처리 기판용 처리 장치 |
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---|---|---|---|
JP23190096A JP3317855B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1074725A true JPH1074725A (ja) | 1998-03-17 |
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ID=16930811
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP23190096A Expired - Fee Related JP3317855B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 洗浄装置 |
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- 1996-09-02 JP JP23190096A patent/JP3317855B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR20220107234A (ko) | 2019-12-06 | 2022-08-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 액 처리 장치 |
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