JPH1074261A - パターン欠陥検出装置 - Google Patents
パターン欠陥検出装置Info
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- JPH1074261A JPH1074261A JP23107696A JP23107696A JPH1074261A JP H1074261 A JPH1074261 A JP H1074261A JP 23107696 A JP23107696 A JP 23107696A JP 23107696 A JP23107696 A JP 23107696A JP H1074261 A JPH1074261 A JP H1074261A
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
る。 【解決手段】 カメラに対しマスターパターンを位置設
定するマスターパターン設置処理を実行し(100)、
マスターパターンに関する縦横ランレングスコードによ
るマスターデータを作製する(102)。次に、比較対
象である作製パターンをカメラに対し位置設定する作製
パターン設置処理が実行され(104)、1画素毎に作
製パターンに関する縦横ランレングスコードを生成する
と共に、生成されたデータとマスターデータとを比較す
ることによって作製パターンの欠陥を検出する(10
6)。上記処理を、全ての作製パターンについて欠陥検
出が終了するまで実行する(108)。
Description
装置にかかり、特に、画像処理を用いて基板等のパター
ンの欠陥を検出するパターン欠陥検出装置に関する。
等には各電気素子の端子間や他の機器とを電気的に接続
するためにパターンが形成されている。このようなパタ
ーンを有する基板等は同一のものを多数作製するが、製
造条件や環境条件によって同一のものが作製されないこ
とがある。例えば、所定幅でかつ所定長さのパターンを
作製した場合に、パターンの一部が欠けたりパターンの
一部が膨らんだりした欠陥を有するパターンが作製され
ることがある。
ーンを予め用意してそのマスターパターンと作製した作
製パターンとを比較することによって、一致しているか
否かを判定していた。この比較は、画像処理を用いて、
マスターパターンを撮像した画像データと作製パターン
を撮像した画像データとを比較するマッチング法が知ら
れている。このマッチング法は、マスターパターンを撮
像したときの各画素と作製パターンを撮像したときの各
画素とを画素毎に2値化した画像データを比較してパタ
ーン同士が一致しているか否かを判定する。また、マス
ターパターンをテンプレートとして一つの作製パターン
の中の複数のパターンを比較することもできる。このよ
うに比較することによって、作製パターンの欠陥を検出
することができる。
ように画素毎に画像データを比較することによって作製
パターンの欠陥を検出するパターン欠陥検出装置では、
画素毎に逐次画像データを比較しなければならないた
め、画素の総数に応じて比較時間が増大する。また、マ
スターパターンの画像データは全ての画素について予め
記憶しなければならないため、画像データを記憶する容
量としては大容量を必要とする。
小容量でパターンの欠陥を検出することができるパター
ン欠陥検出装置を得ることが目的である。
に請求項1に記載の発明のパターン欠陥検出装置は、縦
横複数の画素に分割して物体を撮像する撮像手段と、撮
像画像を画素毎に、該画素の濃度に基づいて予め定めた
数値を該画素の画素値として設定する画素値設定手段
と、各画素の画素値が設定された前記撮像画像を順次1
画素の画素値を読み取って所定方向に同一の画素値が連
続する長さを、該同一の画素値が連続する画素数で表し
たランレングスコードを生成する生成手段と、前記物体
の基準とすべき物体を含む基準画像について、所定方向
に同一の画素値が連続する長さを、該同一の画素値が連
続する画素数で表したランレングスコードをマスターデ
ータとして記憶する記憶手段と、生成されたランレング
スコードと記憶されたマスターデータとを比較する比較
手段と、比較手段の比較結果に基づいて不良判定する判
定手段と、を備えている。
のパターン欠陥検出装置において、前記画素値設定手段
は、画素の濃度を白または黒の何れかに分類する2値化
によって画素毎に白データを表す画素値または黒データ
を表す画素値を設定することを特徴とする。
体が縦横複数の画素に分割されて撮像される。この撮像
画像は画素値設定手段によって画素毎に画素値が設定さ
れる。撮像画像を画素の濃度は、白色等の最低濃度から
黒色等の最高濃度までの連続的な濃度範囲内に存在す
る。そこで、最低濃度から黒色等の最高濃度までの連続
的な濃度範囲を複数に分類して分類された濃度範囲の各
々に予め定めた数値を対応させる。従って、各画素は、
画素の濃度に基づいて予め定めた数値が該画素の画素値
として設定される。これによって、撮像画像は画素毎に
画素値による多値化されたデータで表される。この画素
値設定手段は、請求項2に記載したように、画素の濃度
を白または黒の何れかに分類する2値化によって画素毎
に白データを表す画素値または黒データを表す画素値を
設定する2値化手段で構成することができる。この2値
化手段によって、画素のデータは白データまたは黒デー
タに2値化できる。撮像手段によって撮像される物体の
基準とすべき物体を含む基準画像は、所定方向に同一の
画素値が連続する長さを、該同一の画素値が連続する画
素数で表したランレングスコードをマスターデータとし
て記憶される。例えば、2値化された基準画像は所定方
向に白データまたは黒データが連続する画素数で表した
ランレングスコードをマスターデータとして予め記憶手
段に記憶される。従って、撮像手段によって撮像される
物体の基準となる基準画像の所定方向の長さは、所定方
向に同一の画素値が連続する画素数で表される。撮像手
段によって撮像された物体は多値化され、生成手段によ
って、順次1画素づつデータが読み取られ、所定方向に
同一の画素値が連続する長さを、該同一の画素値が連続
する画素数で表したランレングスコードが生成される。
従って、基準となるマスターデータと撮像された物体の
画像とはランレングスコードで比較することができる。
これによって、生成されたランレングスコードと記憶さ
れたマスターデータとが比較手段によって比較され、そ
の比較結果に基づいて判定手段は不良判定する。すなわ
ち、比較したランレングスコードが異なる場合には、同
一の画素値連続する画素の数、すなわち長さが異なるこ
とになり、長さが短いまたは長い物体を撮像したことに
相当し、不良であると判定できる。
装置は、縦横複数の画素に分割して物体を撮像する撮像
手段と、撮像画像を画素毎に、該画素の濃度に基づいて
予め定めた数値を該画素の画素値として設定する画素値
設定手段と、各画素の画素値が設定された前記撮像画像
を順次1画素の画素値を読み取って所定方向に同一の画
素値が連続する長さを、該同一の画素値が連続する画素
数で表した第1ランレングスコードを生成すると共に、
所定方向と交差する方向に同一の画素値が連続する長さ
を、該同一の画素値が連続する画素数で表した第2ラン
レングスコードを生成する生成手段と、前記物体の基準
とすべき物体を含む基準画像について、所定方向に同一
の画素値が連続する長さを、該同一の画素値が連続する
画素数で表した第1ランレングスコード及び所定方向と
交差する方向に同一の画素値が連続する長さを、該同一
の画素値が連続する画素数で表した第2ランレングスコ
ードをマスターデータとして記憶する記憶手段と、生成
された第1ランレングスコード及び第2ランレングスコ
ードと、記憶されたマスターデータとを比較する比較手
段と、比較手段の比較結果に基づいて不良判定する判定
手段と、を備えている。
のパターン欠陥検出装置において、前記画素値設定手段
は、画素の濃度を白または黒の何れかに分類する2値化
によって画素毎に白データを表す画素値または黒データ
を表す画素値を設定することを特徴とする。
基準とすべき物体を含む基準画像について、所定方向に
同一の画素値が連続する長さを、該同一の画素値が連続
する画素数で表した第1ランレングスコード及び所定方
向と交差する方向に同一の画素値が連続する長さを、該
同一の画素値が連続する画素数で表した第2ランレング
スコードをマスターデータとして記憶される。従って、
撮像手段によって撮像される物体の基準となる基準画像
の長さは、第1ランレングスコードとして所定方向に同
一の画素値の画素が連続する画素数で表され、第2ラン
レングスコードとして所定方向と交差する方向に同一の
画素値の画素が連続する画素数で表される。撮像手段に
よって撮像された物体は請求項1に記載したように多値
化され、生成手段によって、所定方向に同一の画素値が
連続する長さを、該同一の画素値が連続する画素数で表
した第1ランレングスコードを生成すると共に、所定方
向と交差する方向に同一の画素値が連続する長さを、該
同一の画素値が連続する画素数で表した第2ランレング
スコードを生成される。従って、基準となるマスターデ
ータによる長さと撮像された物体の画像の長さとは所定
方向及び所定方向と交差する方向の各々の方向について
ランレングスコードで比較することができる。これによ
って、生成された第1ランレングスコード及び第2ラン
レングスコードと記憶されたマスターデータとが比較手
段によって比較され、その比較結果に基づいて判定手段
は不良判定する。すなわち、比較した所定方向及び所定
方向と交差する方向の少なくとも一方の方向のランレン
グスコードが異なる場合には、同一の画素値の画素が連
続する画素の数、すなわち長さが異なることになり、縦
または横の長さが短いまたは長い物体を撮像したことに
相当し、不良であると判定できる。
施の形態の一例を詳細に説明する。本実施の形態はIC
基板上に作製されたパターンの欠陥を検出する欠陥検出
装置に本発明を適用したものである。
出装置10は、IC基板を撮像するためのカメラ12、
カメラ12からの出力信号であるアナログ信号をデジタ
ル信号に変換するA/D変換装置14、IC基板をカメ
ラ12対してIC基板の面に沿う方向に移動させるため
のモータ16、ドライバ18、少なくとも画像を表示す
ることが可能なモニタ20、及び演算装置22から構成
されている。演算装置20は、CPU24,RAM2
6,ROM28及び入出力ポート(I/O)30からな
るマイクロコンピュータで構成され、各々はコマンドや
データの授受が可能なようにバス32によって接続され
ている。なお、ROM28には、後述する処理ルーチン
が記憶されている。入出力ポート30には、A/D変換
装置14を介してカメラ12が接続されると共に、ドラ
イバ18を介してモータ16が接続されている。また、
入出力ポート30にはモニタ20が接続されると共に、
データやコマンド等を入力するためのキーボード34が
接続されている。
から出力されたアナログ信号を2値のデジタル信号に変
換するためのものであるが、カメラ12から出力された
アナログ信号を2値化したデジタル信号(2値化デー
タ)を出力するようにしてもよい。すなわち、カメラ1
2からの出力信号であるアナログ信号を2値のデジタル
信号に変換するための2値化装置として構成してもよ
い。
算装置22では電源が投入されると図2の処理ルーチン
が実行され、ステップ100へ進む。
ーン設置処理が実行される。このマスターパターン設置
処理は、カメラ12に対してマスターパターンを撮像す
る位置を定めるための処理である。すなわち、マスター
パターンは、後述する作製パターンに対して基準となる
比較対象である。このため、マスターパターンが有する
形状(長さのデータ)を得るための基準位置を定めなけ
ればならない。すなわち、少なくともマスターパターン
の全てをカメラ12で撮像しなければならない。このと
きに、そのマスターパターンの全てを撮像できる位置
(カメラ12の倍率も含む)を記憶しておけば、作製パ
ターンが形成されたIC基板の位置をマスターパターン
について記憶した位置と同一の位置となるように設置す
れば、マスターパターンと作製パターンとの比較が容易
となる。
ーパターン40を撮像した基準画像50を得る位置を記
憶する。この位置はモータ16にエンコーダを取り付け
て、エンコーダによって表されたデータを位置データと
して記憶すればよい。
定めない場合であっても、マスターパターンの各長さを
特定するデータのみを定めることによって欠陥検出は可
能である。
ンに関する縦横についてのランレングスコードによるマ
スターデータを作製する(詳細は後述、図3参照)。
置処理が実行される。この作製パターン設置処理は、カ
メラ12に対して作製パターンを撮像する位置をマスタ
ーパターンに対応する位置に定めるための処理である。
すなわち、マスターパターンを作製したに相当する位置
に、作製パターンが位置するように位置を定めるもので
ある。例えば、マスターパターン40を撮像した基準画
像50を得る位置となるように、図6(2)に示すよう
に、作製パターン42を撮像した作製画像52を得る位
置へIC基板を設置する。
関する縦横についてのランレングスコードを生成すると
共に、生成されたデータとマスターデータとを比較する
ことによって作製パターンの欠陥を検出する(詳細は後
述、図5参照)。
作製パターンが残存するか否かを判定し、残存するとき
はステップ108で肯定判定されステップ104へ戻っ
て再度上記処理を繰り返し、欠陥を検出する。一方、全
ての作製パターンについて欠陥検出が終了したときはス
テップ108で否定判定され、本ルーチンを終了する。
このステップ108の判定は予め作製パターンの個数に
よって定められてもよく、キーボード34で入力するよ
うにしてもよい。
する。図2のステップ102において、マスターデータ
作製処理が実行されると、図3のデータ作製ルーチンが
実行され、ステップ110へ進む。
ら出力された信号をA/D変換装置14が変換したデジ
タル信号を読み取ることによってマスターパターン40
を撮像して基準画像50を得る(図6(1)参照)。次
のステップ112では基準画像50を2値化する。次の
ステップ114では、1画素毎に2値化データを読み取
ってランレングスコードを作製するランレングス処理を
行う(詳細は後述、図4参照)。次のステップ116で
は基準画像50の全画素についてランレングス処理が終
了したか否かを判断し、基準画像50の全画素について
ランレングス処理が終了したときにランレングス処理で
得られたランレングスコードをマスターデータとして次
のステップ118において記憶して本ルーチンを終了す
る。
てモニタ20に表示してもよく、2値化画像として表示
するようにしてもよい。
する。図3のステップ114において、ランレングス処
理が実行されると、図4のランレングス処理ルーチンが
実行される。
実施の形態におけるランレングスコードの定義について
説明する。
近(図6(1)の左上隅付近)には、黒データから構成
されるマスターパターン40を構成する部分パターン6
0の先端部分が位置している。この基準画像50は一方
向(水平方向、図7では横方向)に画素数H0 、一方向
と交差する方向(垂直方向、図7では縦方向)に画素数
V0 からなる画像で構成される。なお、以下の説明で
は、水平方向の位置を画素の位置i(1≦i≦H0 )で
表し、垂直方向の位置を画素の位置j(1≦j≦V0 )
で表すと共に、画像上の画素の位置を(i,j)で表
す。
ため、各画素データは白データまたは黒データである。
本実施の形態では、各画素データである白データまたは
黒データが連続する画素数をランレングスコードとす
る。例えば、図7の例で垂直方向に8番目の画素(j=
8)を水平方向に連続した領域62のデータは、水平方
向に8番目の画素(i=8)まで白データが連続し、9
番目の画素から12番目の画素まで黒データが連続し、
13番目以降は白データとなる。従って、この領域62
のデータは、白データまたは黒データの連続する画素の
個数で、「8,5,・・・」と表すことができる。これ
によって、白データを「0」黒データを「1」として、
領域62のデータは、「0:8,1:5,0:n・・
・」と表すことができ、白データまたは黒データの連続
する1群の画素について「k:n」(kは0または1、
nは個数)で圧縮表現できる。この水平方向に関する画
素データの連続は、水平方向(図7の矢印S方向)に順
次読みだした後に垂直方向に順次(所謂、走査線毎に)
読みだすようにすれば、(1,1)の位置の画素から
(H0 ,V0 )の位置までの画素により、1群の画素に
ついての「k:n」で表したランレングスコードで水平
方向に関して1画像を表すことができる。このデータを
水平ランレングスコードDH とする。
9番目の画素(i=9)を垂直方向に連続した領域64
のデータは、垂直方向に6番目の画素(i=6)まで白
データが連続し、7番目の画素以降は黒データとなる。
従って、この領域64のデータは、白データまたは黒デ
ータの連続する画素の個数で、「6,・・・」と表すこ
とができる。これによって、領域64のデータは、
「0:6,1:m,・・・」と表すことができ、白デー
タまたは黒データの連続する1群の画素について「g:
m」(gは0または1、mは個数)で圧縮表現できる。
なお、垂直方向には、読みだす画素の位置を特定しなけ
ればならないため、水平方向の画素の位置iを付加する
必要がある。このため、本実施の形態では、領域64の
データは、最初に水平方向の画素の位置iを付加し、
「9,0:6,1:m,・・・」と表す。すなわち、縦
方向に1画素づつ切り出した領域毎にランレングスコー
ドを生成し、水平方向の画素の位置iを付加したデータ
を垂直ランレングスコードDV とする。
または黒データが連続する画素数をデータとする水平ラ
ンレングスコード及び垂直ランレングスコードによりラ
ンレングスコードを構成する。
(1,1)の位置の画素から水平方向(図7の矢印S方
向)に順次読みだした後に垂直方向(図7の矢印t方
向)に順次(所謂、走査線毎に)、(H0 ,V0 )の位
置の画素までの画素データを順次読みだすものとする。
チンが最初に実行された場合か否かを判断し、最初に実
行された場合は次のステップ122で初期化処理を行
う。すなわち、水平方向の画素の位置i、及び垂直方向
の位置を画素の位置jを「1」に設定し、白データまた
は黒データが水平方向に連続する画素群の個数n、及び
垂直方向に連続する画素群の個数mを「1」に設定す
る。
読み取り、この読み取った画素データが水平方向につい
て前回の画素データ(白データまたは黒データ)と一致
するか否かを次のステップ126で判断し、一致の場合
は肯定判断されステップ132へ進む。不一致の場合は
ステップ126で否定判断され、ステップ128におい
て前回までの水平ランレングスコードDH (n)を記憶
したのち、ステップ130において水平方向に連続する
画素群の個数nをインクリメントすると共に水平ランレ
ングスコードDH (n)をリセットする。
で読み取った画素データが垂直方向について前回の画素
データ(白データまたは黒データ)と一致するか否かを
判断し、一致の場合は肯定判断されステップ132へ進
む。不一致の場合はステップ132で否定判断され、ス
テップ134において前回までの垂直ランレングスコー
ドDV (i,m)を記憶したのち、ステップ136にお
いて垂直方向に連続する画素群の個数mをインクリメン
トすると共に垂直ランレングスコードDV (i,m)を
リセットする。
スコードDH (n)、及び垂直ランレングスコードDV
(i,m)をインクリメントする。これによって、水平
ランレングスコードDH (n)、及び垂直ランレングス
コードDV (i,m)の各々は白データまたは黒データ
が連続する個数を表すデータとなる。
を判断することによって読みだした画素数が水平画素数
に到達したか否かを判断し、肯定判断の場合には、次の
ステップ144において水平方向の画素の位置iをリセ
ット(i=1)すると共に垂直方向の位置を画素の位置
jをインクリメントする。一方、ステップ140で否定
判断の場合には、まだ水平方向に画素が残存するため、
水平方向の画素の位置iをインクリメントする。
を判断することによって読みだした画素数が垂直画素数
未満か否かを判断し、肯定判断の場合には、次回の処理
のため、次のステップ148において現在のデータを記
憶し本ルーチンを終了する。一方、ステップ146で否
定判断の場合には、垂直方向について全画素の処理が終
了したため、全画素について処理が終了したことを表す
終了フラグをセットして本ルーチンを終了する。
水平ランレングスコード及び垂直ランレングスコードを
生成する。
する。図2のステップ106において、比較処理が実行
されると、図5の比較処理ルーチンが実行される。
たマスターデータを読み取る(図3参照)。次のステッ
プ152では、設置された作製パターン52(図6
(2)参照)を撮像した画像データを読み取り、次のス
テップ154で2値化する。
撮像した画像52の1画素について上記説明したランレ
ングス処理を行い(図4参照)、作製パターンを撮像し
た画像52についてのランレングスコードとマスターデ
ータのランレングスコードとを次のステップ158で比
較する。
ーデータ40として記憶された画像では垂直方向の画素
の位置V1 について、水平ランレングスコードD
H (n)で表される長さは、最初の白データの連続する
群をuとすると、DH (u)=A1,DH (u+1)=
A2 ,DH (u+2)=A3 ,DH (u+3)=A4 ,
DH(u+4)=A5 になる。作製パターン42につい
て同様に垂直方向の画素の位置V1 について、水平ラン
レングスコードDH (n)で表される長さは、D
H (u)=a1 ,DH (u+1)=a2 ,DH (u+
2)=a3 ,DH (u+3)=a4 ,DH (u+4)=
a5 になる。これにより、長さの対応関係は、A1 ≒a
1 ,A2 ≒a2 ,A3 >a3 ,A4 <a4 ,A5 ≒a5
になる。従って、上記ステップ158では、これらの長
さを比較する。例えば、マスターデータから作製パター
ンの長さを減算する。この減算値を比較結果とする。図
6から理解されるように、長さの対応関係で、A3 >a
3 ,A4 <a4 の部分に欠陥が検出できる。この部分は
減算値に所定値以上の値が求まり、予め許容範囲を定
め、これを越えた値を欠陥とすれば、欠陥を検出でき
る。
た画像では水平方向の画素の位置H 1 について、垂直ラ
ンレングスコードDV (H1 ,m)で表される長さは、
DV(H1 ,1)=B1 ,DV (H1 ,2)=B2 ,D
V (H1 ,3)=B3 になる。作製パターン42につい
て同様に水平方向の画素の位置H1 について、垂直ラン
レングスコードDV (H1 ,m)で表される長さは、D
V (H1 ,1)=b1のみになる。これにより、長さの
対応関係は、B1 <b1 のみが対応しB2 ,B 3 に対応
するデータが未検出になる。従って、マスターデータか
ら作製パターンの長さを減算した減算値を比較結果とす
ればB1 ,B2 ,B3 の各部分に欠陥が検出できる。な
お、この場合、対象となるデータが無いときはパターン
の欠落を推定することもできる。
値の絶対値が所定値(許容範囲)を越えたか否かによっ
て欠陥があるか否かを判断し、肯定判断の場合にはモニ
ター20に「欠陥あり」と表示し、ステップ156へ戻
る。一方、否定判断の場合には欠陥は検出されていない
ので、全画素についてランレングス処理が終了するまで
(ステップ164で肯定判断されるまで)、上記処理を
繰り返し実行する。
ついてランレングス処理が終了すると、次のステップ1
66で欠陥が存在した否かを判断し、1つ以上の欠陥が
存在したときはステップ170で全ての欠陥を表示して
本ルーチンを終了する。一方、欠陥が検出されないとき
は作製パターンがマスターデータに相当するものが作製
されたことを表す欠陥無の表示をステップ168で行い
本ルーチンを終了する。
タパターンについてランレングスコード(マスターデー
タ)を作製し、欠陥検出の対象となる作製パターンにつ
いて1画素毎にランレングスコードを作製しながらマス
ターパターンのランレングスコードと比較することによ
って欠陥検出を行っている。従って、マスターデータは
ランレングスコードとして記憶することによって圧縮さ
れるので、1画素毎に画素データを比較して欠陥検出す
る方法に比べて、少ない容量で記憶することができ、R
OMやRAM等の記憶装置の容量を小さくすることがで
きる。
ランレングスコードを作製または更新している。このた
め、欠陥検出するときには、ランレングスコード同士で
比較すればよく、高速な判定が可能となる。
垂直方向の両方のランレングスコードが1画素毎に作製
または更新される。従って、1画素の画素データを読み
取る毎に水平方向と垂直方向との両方の欠陥を同時に検
出することができる。
と水平方向(横方向)の直角2方向のランレングスコー
ドを生成し使用した場合を説明した。パターンの欠陥検
出は、上記のように、水平方向と垂直方向の両方のラン
レングスコードのみによって、どのような形状のパター
ンであっても検出が可能である。例えば、図6(1)に
示したマスターパターン40において、一定幅の部分パ
ターン60は中腹部分で45度方向に折れ曲がってい
る。このため、従来、パターン幅を検出する場合には幅
計測の軸をパターンの形状に合わせて傾斜させなければ
ならなかった。本実施の形態では、水平ランレングスコ
ード及び垂直ランレングスコードによって全ての方向の
成分を含んでいることになり、パターンの幅を検出する
ことができる。
ーデータ40として記憶された画像では垂直方向の画素
の位置V2 については、45度方向に折れ曲がった部分
パターンを含んでいる。本実施の形態では、上記で説明
した垂直方向の画素の位置V 1 の場合と同様に比較する
ことができる。すなわち、水平の長さは、マスターパタ
ーンについてはE1 ,E2 ,E3 ,E4 ,E5 ,E6 ,
・・・になり、作製パターン42についてはe1 ,
e2 ,e3 ,e4 ,e5 ,e6 ,・・・になる。これに
より、長さの対応関係は、E1 ≒e1 ,E2 ≒e2 ,E
3 ≒e3 ,E4 ≒e 4 ,E5 >e5 ,E6 <e6 にな
る。従って、これらの長さを、マスターデータから作製
パターンの長さを減算した減算値から欠陥が検出でき
る。
ーンを含んだ基板と作製パターンを含んだ基板の位置を
最初に位置合わせした場合を説明したが、上記のように
縦横のランレングスコードで長さを比較するときには、
画像の横ずれや伸縮に対して効果的な検出方法となる。
すなわち、1画素毎に画素データを比較する場合にはマ
スターパターンと作製パターンとの位置合わせが必須と
なる。1画素でも画像がずれた場合や画像が伸縮して大
きさが変化した場合には同一のパターンであっても欠陥
として検出されてしまう。本実施の形態では、水平方向
と垂直方向との直角2方向のランレングスコードを生成
しこれらのランレングスコードを比較している。このた
め、各ランレングスコードの許容範囲を有するようにす
れば、画像取り込み時の横ずれ、画像の伸縮が生じた場
合に、精度よく欠陥を検出できる。また、パターンのみ
を比較するように、すなわち、例えば黒データのみによ
るランレングスコードを比較するようにすれば、白デー
タ中のパターンを相対的な位置として扱うことができ、
画像取り込み時の横ずれを考慮しなくてもよいことにな
る。
値化した2値化画像を用いてランレングスコードを生成
する場合を説明したが、本発明は2値化に限定されるも
のではなく、3値またはそれ以上の値による多値画像に
変換するようにしてもよい。例えば、白データ及び黒デ
ータの2値のデータに対して、それらの中間データとし
て灰色データを加えた3値化することができる。この3
値は白データ、灰色データ及び黒データの各々につい
て、そもそもの画像データ(アナログデータでもよくデ
ジタルデータでもよい)を最低濃度から最高濃度までを
3つに分類し、分類濃度範囲の各々に画素値を定め、画
素の濃度が含まれる分類濃度範囲の画素値を、その画素
の画素値と設定すればよい。一般化すれば、画像データ
(アナログデータでもよくデジタルデータでもよい)を
最低濃度から最高濃度までをn個に分類し、分類濃度範
囲の各々に画素値mを定め、画素の濃度が含まれる分類
濃度範囲の画素値を、その画素の画素値と設定すればよ
い。
れば、生成手段により順次1画素づつデータが読み取ら
れ、所定方向に連続する同一画素値の画素数で表したラ
ンレングスコードが生成されるので、基準となる物体の
画像と撮像された物体の画像とを長さを対象とするラン
レングスコードで比較することができ、比較したランレ
ングスコードが異なる場合に、長さが短いまたは長い物
体を撮像した不良であると容易に判定できる、という効
果がある。
により順次1画素づつデータが読み取られ、所定方向に
同一画素値が連続する画素数で表した第1ランレングス
コード及び所定方向と交差する方向に同一画素値が連続
する画素数で表した第2ランレングスコードが生成され
るので、基準となる物体の画像と撮像された物体の画像
とを、長さを対象とする縦または横のランレングスコー
ドで比較することができ、比較したランレングスコード
が異なる場合に、縦または横の長さが短いまたは長い物
体を撮像した不良であると容易に判定できる、という効
果がある。
概略構成を示すブロック図である。
トである。
ャートである。
である。
マスターパターン含んだ基準画像を示し、(2)は作製
パターンを含んだ作製画像を示している。
ある。
Claims (4)
- 【請求項1】 縦横複数の画素に分割して物体を撮像す
る撮像手段と、 撮像画像を画素毎に、該画素の濃度に基づいて予め定め
た数値を該画素の画素値として設定する画素値設定手段
と、 各画素の画素値が設定された前記撮像画像を順次1画素
の画素値を読み取って所定方向に同一の画素値が連続す
る長さを、該同一の画素値が連続する画素数で表したラ
ンレングスコードを生成する生成手段と、 前記物体の基準とすべき物体を含む基準画像について、
所定方向に同一の画素値が連続する長さを、該同一の画
素値が連続する画素数で表したランレングスコードをマ
スターデータとして記憶する記憶手段と、 生成されたランレングスコードと記憶されたマスターデ
ータとを比較する比較手段と、 比較手段の比較結果に基づいて不良判定する判定手段
と、 を備えたパターン欠陥検出装置。 - 【請求項2】 前記画素値設定手段は、画素の濃度を白
または黒の何れかに分類する2値化によって画素毎に白
データを表す画素値または黒データを表す画素値を設定
することを特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥検
出装置。 - 【請求項3】 縦横複数の画素に分割して物体を撮像す
る撮像手段と、 撮像画像を画素毎に、該画素の濃度に基づいて予め定め
た数値を該画素の画素値として設定する画素値設定手段
と、 各画素の画素値が設定された前記撮像画像を順次1画素
の画素値を読み取って所定方向に同一の画素値が連続す
る長さを、該同一の画素値が連続する画素数で表した第
1ランレングスコードを生成すると共に、所定方向と交
差する方向に同一の画素値が連続する長さを、該同一の
画素値が連続する画素数で表した第2ランレングスコー
ドを生成する生成手段と、 前記物体の基準とすべき物体を含む基準画像について、
所定方向に同一の画素値が連続する長さを、該同一の画
素値が連続する画素数で表した第1ランレングスコード
及び所定方向と交差する方向に同一の画素値が連続する
長さを、該同一の画素値が連続する画素数で表した第2
ランレングスコードをマスターデータとして記憶する記
憶手段と、 生成された第1ランレングスコード及び第2ランレング
スコードと、記憶されたマスターデータとを比較する比
較手段と、 比較手段の比較結果に基づいて不良判定する判定手段
と、 を備えたパターン欠陥検出装置。 - 【請求項4】 前記画素値設定手段は、画素の濃度を白
または黒の何れかに分類する2値化によって画素毎に白
データを表す画素値または黒データを表す画素値を設定
することを特徴とする請求項3に記載のパターン欠陥検
出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23107696A JPH1074261A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | パターン欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23107696A JPH1074261A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | パターン欠陥検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1074261A true JPH1074261A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16917918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23107696A Pending JPH1074261A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | パターン欠陥検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1074261A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006126946A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd | マスターパターン作成装置 |
WO2018173371A1 (ja) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 株式会社Screenホールディングス | 描画装置および描画方法 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP23107696A patent/JPH1074261A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006126946A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd | マスターパターン作成装置 |
WO2018173371A1 (ja) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 株式会社Screenホールディングス | 描画装置および描画方法 |
TWI648603B (zh) * | 2017-03-24 | 2019-01-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 描繪裝置及描繪方法 |
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A521 | Written amendment |
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