JPH1047944A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 広い測定範囲を有する位置検出装置を提供す
る。 【解決手段】 長尺状の本体４、及び本体４の長手方向
に沿って摺動可能な摺動子６を備え、所定の基準位置Ｆ
から摺動子６の位置Ｐまでの長さＫを検出する長さ計８
と、長さ計８の側壁に取り付けられ、長さ計８の鉛直方
向に対する傾斜角度を検出する傾斜計１０と、被測定物
の測定すべき２地点に夫々固定される第１及び第２の固
定台１２，１４とを備える。摺動子６と第１の固定台１
２とは、第１の支持軸１６及び固定軸１８を介して連結
され、本体４と第２の固定台１４とは、第２の支持軸２
０及び固定軸２２を介して連結されており、第１及び第
２の固定台１２，１４が取り付けられる２地点間の相対
的な位置変化に応じて、長さ計８及び傾斜計１０の出力
が変化するようにされているので、この出力に基づいて
２地点間の相対位置の変化を３次元的に検出することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、２地点間の３次元
的な変位を検出するため、該２地点間の相対位置を検出
する位置検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の２地点間の変位を測
定する装置として、例えば、物質の寸法変化（歪）を測
定するひずみ計が知られている。即ち、歪を測定する物
質の表面に、細い又は薄い金属や半導体からなる抵抗体
を張り付けて、抵抗体が伸長されると、その抵抗値が変
化することに基づいて、抵抗体が張り付けられた物質の
歪を検出するものである。

【０００３】そして、３次元的に、歪を検出する場合に
は、３方向に抵抗体を取り付ける等して測定していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、金属や半導体
からなる抵抗体は、大きく伸長することができないた
め、このような抵抗体を用いたひずみ計では、せいぜい
数ｍｍ程度の歪を検出することが限度であり、例えば、
橋梁のたるみ等、大きな建造物に生じる数十ｍｍ〜数百
ｍｍオーダーの比較的大きな変位を検出することができ
ないという問題があった。

【０００５】本発明は、上記問題点を解決するために、
広い測定範囲を有する位置検出装置を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記目的
を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、２
地点間の３次元的な変位を検出するため、該２地点間の
相対位置を検出する位置検出装置であって、長尺状の本
体、及び該本体の長手方向に沿って摺動可能な摺動子を
有し、上記本体上の所定の基準位置から上記摺動子の位
置までの長さを検出する長さ検出手段と、上記本体に取
り付けられ、上記本体の傾斜角度を互いに直交する２軸
方向に分解して検出する傾斜角度検出手段と、上記２地
点の一方と上記長さ検出手段の本体とが連動するよう
に、該本体を支持する第１の支持部材と、上記２地点の
他方と上記長さ検出手段の摺動子とが連動するように、
該摺動子を支持する第２の支持部材と、を備えたことを
特徴とする。

【０００７】このように構成された本発明の位置検出装
置によれば、第１及び第２の支持部材を介して当該位置
検出装置により接続された２地点間の相対位置が変化す
ると、その変化に応じて、長さ検出手段の傾斜角度や、
本体と摺動子との相対位置が変化し、傾斜角度検出手段
がその傾斜角度を互いに直交する２軸方向に分解して検
出すると共に、長さ検出手段が、所定の基準位置から摺
動子の位置までの長さを検出する。

【０００８】このように、長さ検出手段が検出する長さ
と、傾斜角度検出手段が検出する傾斜角度とは、２地点
間の相対位置に対応しているため、これら長さと傾斜角
度とに基づいて、２地点間の相対位置を特定することが
でき、また、繰り返して測定を行って、その測定値の差
を求めれば、２地点間の３次元的な変位を求めることが
できる。

【０００９】ここで、摺動子の位置と本体の基準位置と
が、そのまま２地点に対応していれば、長さ検出手段が
検出する長さをＫ、傾斜角度検出手段が検出する傾斜角
度をθ_x，θ_yとすると、図７から明かなように、（１）
〜（３）式に示すように、一方の地点を原点とした他方
の地点の相対位置を３次元座標として求めることができ
る。

【００１０】 ｘ＝Ｋ・cosθy ・sinθx （１） ｙ＝Ｋ・cosθx ・sinθy （２） ｚ＝Ｋ・cosθx ・cosθy （３） なお、原理的には、上記（１）〜（３）式にて、２地点
間の相対位置が求められるが、摺動子の位置及び本体の
基準位置と、２地点とが夫々一致していない場合には、
そのずれ分を適宜補正する必要がある。

【００１１】このように、本発明の位置検出装置におい
ては、２地点間の相対位置に対応して、長さ検出手段に
て検出される長さ、及び長さ検出手段の傾斜角度が変化
するようにされているので、２地点間の相対位置の変化
を３次元的に測定することができる。

【００１２】また、長さの検出手段として、長尺状の本
体に沿って摺動する摺動子の位置を検出する構成のもの
を用いているので、長さ方向の測定範囲が大きく、従っ
て、２地点間の相対位置が大きく変化したとしても、そ
の変位量を確実に測定することができる。

【００１３】次に、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の位置検出装置において、上記長さ検出手段は、
上記摺動子が、磁束を発する発磁体からなり、上記本体
が、上記摺動子の摺動方向に沿って長尺状に形成された
磁歪線を備え、該磁歪線に磁界を印加することにより生
じる磁歪現象に基づいて、磁界の印加位置から上記摺動
子までの位置を電磁気的に検出することを特徴とする。

【００１４】このように本発明の位置検出装置では、長
さを電磁気的に検出しているので、耐環境性に優れてお
り、長期に渡って安定した測定を行うことができる。即
ち、例えば、反射鏡等を用いて光学的に検出を行う装置
では、ほこり等により反射鏡が汚れてしまったり、外部
からの衝撃等により光学系の位置ずれが生じると、検出
性能が劣化してしまうが、本発明では、電磁気的に検出
しているので、そのような劣化が生じることがなく、ま
た、検出性能を維持するために要する保守の手間も軽減
できるのである。

【００１５】次に、請求項３に記載の発明は、請求項１
または請求項２に記載の位置検出装置において、上記傾
斜角度検出手段は、上記長さ検出手段の本体と一体に動
作するように固定される固定部材と、該固定部材から釣
支され、下端部に磁石が配置された振子と、を備え、上
記磁石の位置を電磁気的に検出することにより、上記固
定部材に対する上記振子の傾斜角度を求めることを特徴
とする。

【００１６】このように、本発明の位置検出装置では、
傾斜角度の検出を電磁気的に行っているので、請求項２
に記載の発明と同様に、耐環境性に優れており、長期に
渡って安定した測定を行うことができる。また、本発明
によれば、傾斜した振子の位置を電磁気的に検出すると
いう簡単な構成により傾斜角度を求めているため、例え
ば、ジャイロ等を用いて傾斜角度を検出したり、振子の
傾きをサーボ制御してその制御量を検出出力とするよう
な装置に比べて、構造が簡単で安価に構成できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面と共
に説明する。図１は、第１実施例の位置検出装置の概略
構成を表す説明図である図１に示すように、本実施例の
位置検出装置２は、長尺状の本体４、及び本体４の長手
方向に沿って摺動可能な摺動子６を備え、所定の基準位
置Ｆから摺動子６の位置Ｐまでの長さＫを検出する長さ
計８と、長さ計８の側壁に取り付けられ、長さ計８の鉛
直方向に対する傾斜角度を検出する傾斜計１０と、被測
定物の測定すべき２地点に夫々固定される第１及び第２
の固定台１２，１４とを備えている。

【００１８】また、摺動子６には、その摺動方向に対し
て垂直に、第１の支持軸１６が突設されている。そし
て、第１の固定台１２の上面に垂設された第１の固定軸
１８が、その先端部に形成されたボールジョイントの軸
受１８ａにより、第１の支持軸１６を回転可能かつ揺動
可能に支持している。

【００１９】一方、本体４には、第１の支持軸１６と平
行かつ反対方向に向けて第２の支持軸２０が突設されて
おり、その先端部に形成されたボールジョイントの軸受
２０ａにより、第２の固定台１４から突設された第２の
固定軸２２を回転可能かつ揺動可能に支持している。

【００２０】なお、長さ計８及び傾斜計１０には、制御
信号や測定結果等の入出力を行うための図示しない信号
線が接続されている。また、第２の支持軸２０は、その
延長線上に、摺動子６の位置Ｐまでの距離を測定するた
めの基準位置Ｐが存在するように取り付けられている。

【００２１】以下、説明の便宜を図るため、鉛直方向
（図中上下方向）をＺ軸方向、摺動子６の摺動方向とＺ
軸とを一致させた時における第１及び第２の支持軸１
６，２０の軸方向をＹ軸方向、Ｚ軸及びＹ軸のいずれも
に直交する方向をＸ軸方向とする。

【００２２】次に、図２は、長さ計８の構成及び動作を
表す説明図である。先に述べたように、長さ計８は、本
体４と摺動子６とからなり、このうち本体４は、図２
（ａ）に示すように、長尺状のセンサロッド２４を備
え、リング状の磁石からなる摺動子６を挿通し、該摺動
子６をセンサロッド２４の長手方向に沿って摺動可能に
保持している。

【００２３】また、図２（ｂ）は、センサロッド２４の
一端に取り付けられたケース２６の内部構成を表す説明
図である。図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、センサ
ロッド２４は、円筒形をした長尺状の磁歪線２８（図２
（ａ）では点線にて略して示す）と、ケース２６内に位
置する磁歪線２８の端部に巻回されたドライブコイル３
０と、ドライブコイル３０の巻回位置以外のほぼ全長に
渡って磁歪線２８に巻回されたレシーブコイル３２とに
より構成されている。そして、ケース２６の内部には、
更に、ドライブコイル３０にドライブ信号ＳＡを印加す
ると共に、レシーブコイル３２からレシーブ信号ＳＢを
入力し、これらドライブ信号ＳＡ及びレシーブ信号ＳＢ
に基づいて測定信号Ｄｏを出力する測定制御部３４が収
納されている。

【００２４】なお、摺動子６には、先に説明したよう
に、第１の支持軸１６が突設されているが、図面を見や
すくするために、ここでは省略している。また、図１に
図示した長さ計８は、機能的な概略構成を示したもので
あり、実際には、例えば図２（ａ）に図示したような形
状をしている。

【００２５】このように構成された長さ計８では、図３
（ｃ）の動作タイミング図に示すように、測定制御部３
４がドライブコイル３０にドライブ信号ＳＡとしてパル
ス電圧を印加すると、磁歪線２８は、ドライブコイル３
０により磁界が印加された部分が磁歪現象によって一瞬
伸長し、この瞬間的な伸長が縦モードの超音波振動とな
って磁歪線２８中を伝搬する。そして、この超音波振動
が磁石からなる摺動子６の位置に到達すると、レシーブ
コイル３２にパルス電圧が誘起され、このパルス電圧が
レシーブ信号ＳＢとして測定制御部３４に入力される。
これに基づいて、測定制御部３４では、ドライブ信号Ｓ
Ａの立ち上がりから、レシーブ信号ＳＢの立ち上がりま
での期間ＴだけHighレベルとなる測定信号Ｄｏを出力す
る。

【００２６】つまり、この測定信号ＤｏのHighレベル期
間Ｔは、ドライブコイル３０の巻回位置を基準位置Ｆと
して摺動子６の位置Ｐまでの長さＫに対応したものとな
る。なお、このような長さ計８は、周知のものであり、
例えば、ＭＳ−６００−Ｌ１５００（(株)マコメ研究所
製）を用いれば、２００ｍｍ〜１５００ｍｍの範囲で長
さＫの測定を行うことができる。

【００２７】次に、図３は、傾斜計１０の概略構成及び
動作を表す説明図である。図３に示すように、傾斜計１
０は、傾斜角度を測定すべき被測定物（ここでは長さ計
８）に固定される固定部材３６と、固定部材３６から釣
支された円柱状バネ４０ａ及び錘４０ｂからなる振子４
０と、錘４０ｂの下面に取り付けられた磁石４２と、固
定部材３６の直下に配置され、ブリッジ接続された４個
のセンサコイル３８ａ〜３８ｄからなる磁気センサ３８
と、磁気センサ３８からの出力を処理する図示しない信
号処理部とを備えており、これらは図示しないケースに
収納されている。

【００２８】なお、傾斜計１０は、固定部材３６及び磁
気センサ３８の中心を貫通する中心軸ＰＬが、長さ計８
の摺動子６の摺動方向と平行になるように、長さ計８に
取り付けられる。つまり、長さ計８の傾斜に従って、中
心軸ＰＬが傾斜するようにされている。また、傾斜計１
０は、センサコイル３８ａ，３８ｂがＸ軸方向に並び、
センサコイル３８ｃ，３８ｄがＹ軸方向に並ぶように、
長さ計８に取り付けられる。

【００２９】そして、中心軸ＰＬ（即ち長さ計８）がＺ
軸に対して傾斜すると、鉛直（Ｚ軸）方向にぶら下がっ
ている振子４０が、中心軸ＰＬに対して相対的に傾斜す
ることになり、磁石４２と磁気センサ３８との位置関係
が変化して、磁気センサ３８を鎖交する磁束の分布が変
化し、その結果、傾斜角度に応じて各センサコイル３８
ａ〜３８ｄの出力が変化する。

【００３０】そして、信号処理部では、センサコイル３
８ａ，３８ｂの出力からＸ軸方向の傾斜角度θx を求
め、またセンサコイル３８ｃ，３８ｄの出力からＹ軸方
向の傾斜角度θy を求め、その結果を外部に出力する。
なお、このような傾斜計１０は、周知のものであり、例
えば、ＣＡ−９４０（(株)マコメ研究所製）を用いれ
ば、最大±３０゜の角度範囲で検出を行うことができ
る。

【００３１】以上のように構成された位置検出装置２
は、相対位置を測定すべき２地点に、第１及び第２の固
定台１２，１４を夫々固定して使用され、第１及び第２
の固定台１２，１４間に相対的な変位が生じると、その
変位に応じて、長さ計８が検出する長さＫ、及び傾斜計
１０が検出する傾斜角度θx ，θy が夫々変化する。

【００３２】ここで、図４，図５は、位置検出装置２を
簡略化して表したものであり、図４はＹ軸方向から、図
５はＸ軸方向から見た図である。図４に示すように、本
実施例の位置検出装置２では、第１及び第２の固定台１
２，１４がどのように変位しても、第１の固定台１２と
摺動子６の位置Ｐ、及び第２の固定台１４と基準位置Ｆ
の相対位置が、Ｘ軸方向に変位することがない。このた
め、第１の固定台１２に対する第２の固定台１４のＸ軸
方向の位置は、摺動子６の位置Ｐに対する基準位置Ｆの
Ｘ軸方向の位置から、長さＫ及び傾斜角度θx ，θy を
用いて、（４）式にて求めることができる。但し、Ｋｘ
は、長さＫをＸＺ平面に投影した時の長さ（図７参照）
である。

【００３３】 ｘ＝Ｋｘ・sinθx ＝Ｋ・cosθy・sinθx （４） 一方、図５に示すように、第１及び第２の固定台１２，
１４の相対位置がＹ軸方向に変位した場合、第１の固定
台１２と摺動子６の位置Ｐ、及び第２の固定第１４と基
準位置Ｆの相対位置は、いずれもＹ軸及びＺ軸方向に変
化するが、図５に基づいて、（５）（６）式を導くこと
ができる。但し、Ｋｙは、長さＫをＹＺ平面に投影した
時の長さ（図７参照）である。

【００３４】 ｙ＝Ｋｙ・sinθy＋(Ｙ１＋Ｙ２)・cosθy−(Ｙ１＋Ｙ２) ＝Ｋ・cosθx・sinθy＋(Ｙ１＋Ｙ２)・(cosθy−１) （５） ｚ＝Ｋｙ・cosθy−(Ｙ１＋Ｙ２)・sinθy ＝Ｋ・cosθx・cosθy−(Ｙ１＋Ｙ２)・sinθy （６） なお、（４）〜（６）式は、長さ計８を、摺動方向とＺ
軸とが平行となり、しかも、基準位置Ｆと摺動子６の位
置Ｐとが一致するように配置した時の位置を基準とし、
その位置からの３軸方向への相対的な変位量を夫々求め
るものである。

【００３５】ここで、（１）〜（３）式と（４）〜
（６）式とを比較してみると、（４）〜（６）式の右辺
第１項は（１）〜（３）式の右辺と夫々全く同じであ
る。つまり、（５）（６）式の第２項は、摺動子６及び
本体４が第１及び第２の支持軸１６，２０を介して接続
されていることにより生じる誤差を補正する補正項とみ
ることができる。

【００３６】なお、（４）式の右辺に、第２の固定軸２
２の長さを加え、（５）式の右辺に、第１及び第２の支
持軸１６，２０の長さ（Ｙ１＋Ｙ２）を加え、（６）式
の右辺に、第１の固定軸１８の長さを加えることによ
り、第１及び第２の固定台１２，１４間のＸＹＺ各軸方
向への実際の距離を、簡単に求めることができる。

【００３７】また、当該位置測定装置２を最初に設置し
た時に、上記（４）〜（６）式にて得られる値をＸ０，
Ｙ０，Ｚ０とすると、その初期位置からの変位量△ｘ，
△ｙ，△ｚは、次の（７）〜（９）式により求めること
ができる。 △ｘ＝Ｋ・cosθy・sinθx−Ｘ０ （７） △ｙ＝Ｋ・cosθx・sinθy＋(Ｙ１＋Ｙ２)・(cosθy−１)−Ｙ０ （８） △ｚ＝Ｋ・cosθx・cosθy−(Ｙ１＋Ｙ２)・sinθy−Ｚ０ （９） つまり、長さ計８や傾斜計１０の測定範囲であれば、長
さ計８をどのように傾斜させた状態で設置しても、２地
点間の相対位置の測定を行うことが可能である。

【００３８】以上、説明したように、本実施例の位置検
出装置２によれば、第１及び第２の固定台１２，１４が
取り付けられる２地点間の相対的な変位に応じて、長さ
計８及び傾斜計１０の出力が変化するようにされている
ので、２地点間の相対位置の変化を３次元的に検出する
ことができる。

【００３９】また、本実施例の位置検出装置２は、長さ
の測定範囲の大きい長さ計８と、傾斜角度の測定範囲の
大きい傾斜計１０とを組み合わせることにより構成され
ているため、広い測定範囲を有しており、大きな変位を
測定することができる。更に、本実施例の位置検出装置
２では、長さ計８及び傾斜計１０として、いずれも電磁
気的に検出を行うものを用いているので耐環境性に優れ
ており、長期に渡って安定した測定を行うことができ
る。

【００４０】このように、本実施例の位置検出装置２
は、測定範囲が大きく耐環境性に優れるため、測定すべ
き変位が大きかったり、当該位置検出装置２を戸外に設
置しなければならない、大型建造物等での測定に好適に
用いることができ、例えば橋梁と橋脚との間に取り付け
て、橋梁のたわみやクラックの発生等を原因とする相対
位置の変化を検出するために用いることができる。

【００４１】また、本実施例の位置検出装置２によれ
ば、最初に設置した状態での測定値を基準値として以後
の測定を行うことができるため、設置時に精密な軸合わ
せを行う必要がなく、設置の手間を軽減することができ
る。次に、第２実施例について、図６を参照して説明す
る。

【００４２】本実施例の位置検出装置２ａは、第１実施
例の位置検出装置２において、第２の固定台１４と長さ
計８との連結部分の構成を一部変更したものである。な
お、第１実施例の位置検出装置２と同等の構成部材につ
いて、図中で同じ番号を付しており、ここでは、その詳
細な説明については省略する。

【００４３】図６において、（ａ）は位置検出装置２ａ
の正面図、（ｂ）はその側面図であり、いずれも簡略化
した図を示している。図６に示すように、本実施例の位
置検出装置２ａでは、第２の支持軸２０が長さ計８の上
部から、第１の支持軸１６とは直交する方向に向けて突
設されている。そして、第２の固定軸２２は、第２の固
定台１４の下部からＺ軸方向に突設され、第２の支持軸
２０の先端に形成されたボールジョイントの軸受２０ａ
により支持されている。また、傾斜計１０は、第２の支
持軸２０の途中に固定されている。

【００４４】このように構成された本実施例の位置検出
装置２ａでも、第１実施例の位置検出装置２と同様に、
長さ計８の検出する長さＫ、及び傾斜計１０の検出する
傾斜角度θx ，θy が、第１及び第２の固定台１２，１
４間の相対位置の変位に応じて変化するため、第１実施
例の位置検出装置２と全く同様の効果を得ることができ
る。なお、変位量の算出は、上述の（１）〜（３）式
に、第１及び第２の支持軸１６，２０や第１及び第２の
固定軸１８，２２の配置方向やその長さに応じて決まる
補正項を加えた式を用いる必要がある。

【００４５】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、様
々な態様にて実施することが可能である。例えば、上記
実施例では、長さ計８として磁歪現象を利用したものを
用いているが、接触式、非接触式の各種ポテンショメー
タや、単位変位毎に電気信号を取出し、これを積算する
ことで変位の絶対値をディジタル的に検出する各種スケ
ール等を用いてもよい。

【００４６】また、上記実施例では、傾斜計１０とし
て、振子４０の位置を電磁気的に検出するものを用いて
いるが、振子の位置をサーボ制御してその制御量から傾
斜角度を検出するものや、ジャイロを利用するもの等を
用いてもよい。更に、環境の安定した屋内等で使用する
場合には、長さ計８や傾斜計１０として、光学的に検出
を行うものを用いてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施例の位置検出装置の概略構成を表す
斜視図である。

【図２】 長さ計の構成及び動作を表す説明図である。

【図３】 傾斜計の構成及び動作を表す説明図である。

【図４】 Ｘ軸方向への変位量の算出方法を表す説明図
である。

【図５】 Ｙ軸及びＺ軸方向への変位量の算出方法を表
す説明図である。

【図６】 第２実施例の位置検出装置の構成を表す正面
図及び側面図である。

【図７】 本発明における変位検出の原理を表す説明図
である。

【符号の説明】

２，２ａ…位置検出装置 ４…本体 ６
…摺動子 ８…長さ計 １０…傾斜計 １２
…第１の固定台 １４…第２の固定台 １６…第１の支持軸 １
８…第１の固定軸 １８ａ，２０ａ…軸受 ２０…第２の支持軸 ２
２…第２の固定軸 ２４…センサロッド ２６…ケース ２
８…磁歪線 ３０…ドライブコイル ３２…レシーブコイル ３
４…測定制御部 ３６…固定部材 ３８…磁気センサ ３８ａ〜３８
ｄ…センサコイル ４０…振子 ４０ａ…円柱状バネ ４０ｂ…錘
４２…磁石

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２地点間の３次元的な変位を検出するた
   め、該２地点間の相対位置を検出する位置検出装置であ
   って、 長尺状の本体、及び該本体の長手方向に沿って摺動可能
   な摺動子を有し、上記本体上の所定の基準位置から上記
   摺動子の位置までの長さを検出する長さ検出手段と、 上記本体に取り付けられ、上記本体の傾斜角度を互いに
   直交する２軸方向に分解して検出する傾斜角度検出手段
   と、 上記２地点の一方と上記長さ検出手段の本体とが連動す
   るように、該本体を支持する第１の支持部材と、 上記２地点の他方と上記長さ検出手段の摺動子とが連動
   するように、該摺動子を支持する第２の支持部材と、 を備えたことを特徴とする位置検出装置。
2. 【請求項２】 上記長さ検出手段は、 上記摺動子が、磁束を発する発磁体からなり、 上記本体が、上記摺動子の摺動方向に沿って長尺状に形
   成された磁歪線を備え、 該磁歪線に磁界を印加することにより生じる磁歪現象に
   基づいて、磁界の印加位置から上記摺動子までの位置を
   電磁気的に検出することを特徴とする請求項１に記載の
   位置検出装置。
3. 【請求項３】 上記傾斜角度検出手段は、 上記長さ検出手段の本体と一体に動作するように固定さ
   れる固定部材と、 該固定部材から釣支され、下端部に磁石が配置された振
   子と、 を備え、上記磁石の位置を電磁気的に検出することによ
   り、上記固定部材に対する上記振子の傾斜角度を求める
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の位置
   検出装置。