JPH1047928A - Optical profile-measuring device - Google Patents
Optical profile-measuring deviceInfo
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- JPH1047928A JPH1047928A JP20669496A JP20669496A JPH1047928A JP H1047928 A JPH1047928 A JP H1047928A JP 20669496 A JP20669496 A JP 20669496A JP 20669496 A JP20669496 A JP 20669496A JP H1047928 A JPH1047928 A JP H1047928A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、投光部より参照
光を測定対象物に照射し、その透過光あるいは反射光を
受光することにより、測定対象物の外形を計測する光学
式外形計測装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical outer shape measuring device for measuring the outer shape of a measuring object by irradiating a measuring object with reference light from a light projecting unit and receiving transmitted light or reflected light. About.
【０００２】[0002]
【従来の技術】参照光を測定対象物に照射し、その透過
光、あるいは反射光を受光することにより、測定対象物
の外形を計測する装置として図１、図２に示すものがあ
る。図１は、投光部１から測定対象物３に参照光４を照
射し、測定対象物３を挟んで投光部１と対向した受光部
２で透過光を受光して測定対象物３の外形を計測する透
過型の光学式外形計測装置の構成を示している。図２
は、測定対象物３に対して参照光４を照射して、その反
射光を受光部４で受光し、その反射光より測定対象物３
の外形を計測する反射型の光学式外形測定装置の構成を
示している。2. Description of the Related Art FIGS. 1 and 2 show an apparatus for measuring the outer shape of a measuring object by irradiating a measuring object with reference light and receiving transmitted light or reflected light. FIG. 1 shows a case where reference light 4 is emitted from a light projecting unit 1 to a measuring object 3, and transmitted light is received by a light receiving unit 2 facing the light projecting unit 1 with the measuring object 3 interposed therebetween. 1 shows a configuration of a transmission type optical outer shape measuring device for measuring an outer shape. FIG.
Irradiates the measuring object 3 with the reference light 4, receives the reflected light thereof by the light receiving section 4, and calculates the measuring object 3 from the reflected light.
1 shows a configuration of a reflection type optical outer shape measuring device for measuring an outer shape of the light source.
【０００３】従来の参照光の透過光／反射光で計測を行
うこの種の装置の光学系の構成として、主として図３に
挙げる３通りの構成の装置がある。それぞれの詳細を説
明する。図３の（ａ）の光学式計測装置は、発光素子１
ａからの光をレンズ１ｂで平行光とし、平行光４を測定
対象物３に照射して、その測定対象物による反射光ある
いは透過光をレンズ２ａ等で集光してＰＤ（フォトダイ
オード）等の受光素子２ｂで受光し、その光強度より測
定対象物の測定対象物の外形を計測する。As a configuration of an optical system of this type of a conventional device for performing measurement using transmitted / reflected reference light, there are mainly three types of devices shown in FIG. Each will be described in detail. The optical measuring device shown in FIG.
The light from a is converted into parallel light by the lens 1b, the parallel light 4 is irradiated on the measurement target 3, and light reflected or transmitted by the measurement target is condensed by the lens 2a or the like, and PD (photodiode) or the like is collected. The light receiving element 2b receives the light and measures the outer shape of the measurement object from the light intensity.
【０００４】図３の（ｂ）の光学式計測装置は、平行光
４を測定対象物３に照射して、その測定対象物３による
反射光あるいは透過光をＣＣＤイメージセンサ等、受光
素子が一列に配置されたラインセンサ２ｃで受光し、受
光信号を予め設定したしきい値を用いて２値化し、２値
化後の信号を元に測定対象物の外形を計測する。図４に
ラインセンサを用いた代表的な装置の構成と各部の波形
を示す。１は光源１ａを含む投光部であり、光源１ａか
ら出射された光はレンズ１ｂを通過する事により平行光
４となり、測定対象物３を介してラインセンサ２ｃを含
む受光器２に向かって照射される。ラインセンサ２ｃは
受光した光の受光強度信号を時系列信号に変換して出力
する。受光強度信号はプリアンプ５やＬＰＦ６で前処理
を行った後〔図５の（ａ）〕、Ａ／Ｄコンバータ７で離
散化される〔図５の（ｂ）〕。その後、この離散化信号
をしきい値で２値化して、そのエッジ位置から測定対象
物の外形を測定する〔図５の（ｃ）〕。これらの処理
は、ＣＰＵ９、メモリ１０を使用して処理され、計測結
果はＩ／Ｏ装置８を用いて装置外に送られる。The optical measuring device shown in FIG. 3 (b) irradiates a parallel light 4 onto a measuring object 3 and reflects light or transmitted light from the measuring object 3 in a line of light receiving elements such as a CCD image sensor. The light receiving signal is received by the line sensor 2c disposed therein, the light receiving signal is binarized using a preset threshold value, and the outer shape of the measuring object is measured based on the binarized signal. FIG. 4 shows the configuration of a typical apparatus using a line sensor and the waveforms of each unit. Reference numeral 1 denotes a light projecting unit including a light source 1a. Light emitted from the light source 1a becomes parallel light 4 when passing through a lens 1b, and travels through a measurement target 3 toward a light receiver 2 including a line sensor 2c. Irradiated. The line sensor 2c converts the received light intensity signal of the received light into a time-series signal and outputs it. The received light intensity signal is pre-processed by the preamplifier 5 and the LPF 6 (FIG. 5A), and is then discretized by the A / D converter 7 (FIG. 5B). Thereafter, the discretized signal is binarized by a threshold value, and the outer shape of the object to be measured is measured from the edge position [(c) of FIG. 5]. These processes are performed using the CPU 9 and the memory 10, and the measurement results are sent out of the device using the I / O device 8.
【０００５】なお、ラインセンサ２ｃの出力を離散化せ
ずに、図６に示すようにコンパレータ１５で２値化し
て、２値化後のパルス幅をカウンタ１６でクロックパル
スを計数することにより計数し（図７の波形参照）、測
定対象物の外形を計測する装置もある。図３の（ｃ）の
光学式外形計測装置は、細い光線をポリゴンミラー１ｃ
等で一次元方向にスキャンさせて、測定対象物３に照射
して、その測定対象物３による反射光あるいは透過光を
レンズ２ａ等で集光し、ＰＤ（フォトダイオード）等の
受光素子２ｂで受光して、受光信号を予め設定したしき
い値を用いて２値化し、２値化後の信号を元に測定対象
物の測定対象物の外形を計測する。The output of the line sensor 2c is not discretized, but is binarized by a comparator 15 as shown in FIG. 6 and the pulse width after binarization is counted by counting clock pulses by a counter 16 to count. However, there is also an apparatus for measuring the outer shape of the object to be measured (see the waveform in FIG. 7). The optical type external measuring device shown in FIG.
And the like, and scans in a one-dimensional direction, irradiates the object 3 to be measured, condenses reflected light or transmitted light from the object 3 to be measured by a lens 2a or the like, and a light receiving element 2b such as a PD (photodiode). After receiving the light, the light receiving signal is binarized using a preset threshold value, and the outer shape of the measuring object is measured based on the binarized signal.
【０００６】なお、図３の（ａ）（ｂ）（ｃ）は、いず
れも透過型の計測装置の構成を示しているが、反射型で
も同様の光学系の構成が用いられる。FIGS. 3 (a), 3 (b) and 3 (c) show the configuration of a transmission type measuring apparatus, but the same type of optical system is used for a reflection type.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の光学系
を持つ光学式外形計測装置では、用いられる受光素子や
ラインセンサは計測に用いる参照光以外の光（以下、外
乱光）に対しても感度を持っているため、図８に示す外
乱光１７の強い環境下では外乱光１７によって受光信号
が、図９に示すように〔図９の（ａ）は外乱光が混入し
ない場合、図９の（ｂ）が外乱光が混入した場合〕、変
化して正常な計測ができなくなる。または、外乱光によ
り、受光信号が飽和してしまい、全く計測が不可能にな
ることがある。その対策として、ラインセンサ２ｃに外
乱が到達しないようにするため、図１０に示すように、
ラインセンサ２ｃの前方にスリット１８ａを有するスリ
ット板１８を設けることがある。その際、外乱光１７が
入りにくくするためにスリット１８のスリット１８ａの
幅ｄを狭くしたり、スリット板１８とラインセンサ２ｃ
の受光素子２ｃ1 との間の間隔を広げるという手法がと
られる。この時、スリット１８ａの幅は出来るだけ狭
く、スリット１８ａ〜受光素子２ｃ1 間は出来るだけ離
れている方がよいのであるが、スリット１８ａの幅ｄを
狭くすると、回折により参照光が乱れるという問題（図
１１）があり、またスリット１８ａ〜受光素子２ｃ1 間
を離すと計測器の外形が大きくなるという問題がある。
スリット１８ａ〜受光素子２ｃ1 間を離す手段として、
図１２に示すように、スリット透過後の光をミラー２ａ
で反射させて計測装置の奥行きを短くする方法がとられ
ることがあるが、計測装置自体の外形が拡大することに
変わりはない。In the optical outline measuring apparatus having the above-mentioned conventional optical system, the light receiving element and the line sensor used are also capable of detecting light other than reference light used for measurement (hereinafter referred to as disturbance light). Due to the sensitivity, the received light signal is generated by the disturbance light 17 in an environment where the disturbance light 17 shown in FIG. 8 is strong as shown in FIG. 9 [FIG. (B) when disturbance light is mixed in), and normal measurement cannot be performed. Alternatively, the received light signal may be saturated by disturbance light, making measurement impossible at all. As a countermeasure, in order to prevent disturbance from reaching the line sensor 2c, as shown in FIG.
A slit plate 18 having a slit 18a may be provided in front of the line sensor 2c. At this time, the width d of the slit 18a of the slit 18 is reduced to make it difficult for the disturbance light 17 to enter, or the slit plate 18 and the line sensor 2c
Approach is taken of widening the distance between the light receiving element 2c 1 of. At this time, as narrow as the width of the slit 18a can be, but is the better you are away as possible between slits 18a~ receiving element 2c 1, a problem that when narrowing the width d of the slit 18a, the reference light is disturbed by the diffraction (11) There is also a problem that the outer shape of the instrument apart between slits 18a~ receiving element 2c 1 increases.
As a means of releasing between slits 18a~ receiving element 2c 1,
As shown in FIG. 12, the light transmitted through the slit is reflected by a mirror 2a.
In some cases, the depth of the measuring device may be shortened by reflecting the light, but the outer shape of the measuring device itself is still enlarged.
【０００８】この発明は上記問題点に着目してなされた
ものであって、小形で、しかも外乱光が受光素子、ライ
ンセンサなどの受光手段まで到達していない光学式外形
計測装置を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above problems, and provides an optical outer shape measuring device which is small in size and in which disturbance light does not reach light receiving means such as a light receiving element or a line sensor. It is an object.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この出願の特許請求の範
囲の請求項１に係る光学式外形計測装置は、参照光を測
定対象物に照射する投光部と、測定対象物からの透過光
あるいは反射光をスリット板を介して受光する受光手段
を含む受光部と、受光手段の出力を処理して測定対象物
の外形計測を行う処理部とを備えたものにおいて、前記
スリットと前記受光手段の間に凹レンズを設け、前記受
光手段は前記透過光あるいは反射光をスリット、凹レン
ズを介して受光するようにしている。この光学式計測装
置では、参照光はスリットを通り、凹レンズの中心を通
過して、受光手段に入る。しかし、外乱光は参考光に対
し角度をもって、スリット、凹レンズに入光するので、
凹レンズで屈折を受け、受光手段に入光しない。According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical contour measuring apparatus, comprising: a light projecting unit for irradiating a reference light to a measuring object; and a transmitting light from the measuring object. Alternatively, a light receiving unit including a light receiving unit that receives the reflected light through a slit plate, and a processing unit that processes the output of the light receiving unit to measure the outer shape of the object to be measured, wherein the slit and the light receiving unit A concave lens is provided therebetween, and the light receiving means receives the transmitted light or the reflected light via a slit and a concave lens. In this optical measuring device, the reference light passes through the slit, passes through the center of the concave lens, and enters the light receiving means. However, since the disturbance light enters the slit and the concave lens at an angle to the reference light,
It is refracted by the concave lens and does not enter the light receiving means.
【００１０】また、請求項２に係る光学式外形計測装置
は、参照光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象
物からの透過光あるいは反射光をスリット板を介して受
光する受光手段を含む受光部と、受光手段の出力を処理
して測定対象物の外形計測を行う処理部とを備えたもの
において、前記スリットと前記受光手段の間に凸面鏡を
設け、前記受光手段は前記透過光あるいは反射光をスリ
ット、凸面鏡を介して受光するようにしている。この光
学式計測装置では、参照光はスリットを通り、凸面鏡の
中心で反射して受光手段に入る。しかし、外乱光は参照
光に対し角度をもってスリットに入り、かつ凸面鏡の中
心をずれて反射するので、受光手段には入光しない。According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical outer shape measuring device for projecting a reference light onto a measuring object, and receiving light transmitted or reflected from the measuring object through a slit plate. A light receiving unit including means, and a processing unit for processing the output of the light receiving means to measure the outer shape of the object to be measured, wherein a convex mirror is provided between the slit and the light receiving means, and the light receiving means is Transmitted light or reflected light is received through a slit or a convex mirror. In this optical measuring device, the reference light passes through the slit, is reflected at the center of the convex mirror, and enters the light receiving means. However, since the disturbance light enters the slit at an angle to the reference light and reflects off the center of the convex mirror, it does not enter the light receiving means.
【００１１】また、請求項３に係る光学式外形計測装置
は、参照光を測定対象物に照射する投光部と、測定対象
物からの透過光あるいは反射光をスリット板を介して受
光する受光手段を含む受光部と、受光手段の出力を処理
して測定対象物の外形計測を行う処理部とを備えたもの
において、前記スリットと前記受光手段の間に細幅縦長
の鏡を設け、前記受光手段は前記透過光あるいは反射光
をスリット、細幅、縦長の鏡を介して受光するようにし
ている。この光学式計測装置では、参照光はスリットを
通り、細幅、縦長の鏡の中心で反射して受光手段に入
る。しかし、外乱光は参照光に対し角度をもってスリッ
トに入り、かつ細幅、縦長の鏡を外れて入光するので、
受光手段に入光しない。According to a third aspect of the present invention, there is provided an optical outer shape measuring device for projecting a reference light to a measuring object, and receiving light transmitted or reflected from the measuring object through a slit plate. A light receiving unit including the means, and a processing unit for processing the output of the light receiving means to measure the outer shape of the object to be measured, in which a narrow vertically long mirror is provided between the slit and the light receiving means, The light receiving means receives the transmitted light or the reflected light via a slit, a narrow width and a vertically long mirror. In this optical measuring device, the reference light passes through the slit, is reflected at the center of a narrow, vertically long mirror, and enters the light receiving means. However, since the disturbance light enters the slit at an angle with respect to the reference light, and enters through the narrow, vertically long mirror,
No light enters the light receiving means.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、実施の形態により、この発
明をさらに詳細に説明する。この発明の第１の実施形態
光学式外形計測装置は、図１３に示す棒状の凹レンズ２
１を用いることが特徴である。この実施形態装置では、
図１４に示すように、上記凹レンズ２１をスリット板１
８とラインセンサ２ｃの間に配置する。この実施形態装
置において、スリット板１８のスリット１８ａを透過し
た光のうち、ラインセンサ２ｃの受光素子列２ｃ1 に向
かって直進する参照光４のみが受光素子列２ｃ1 に入射
し、それ以外の方向から受光素子列２ｃ1 に向かって入
射する光（外乱光１７）は、凹レンズ２１で屈折して受
光素子列２ｃ1 に入射しなくなる。したがって、外乱光
の影響を避けることができる。なお、この実施形態光学
式計測装置の回路部は、図４に示すものと同様であるの
で、説明は省略する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments. The first embodiment of the present invention relates to a rod-shaped concave lens 2 shown in FIG.
It is characteristic that 1 is used. In this embodiment device,
As shown in FIG. 14, the concave lens 21 is
8 and the line sensor 2c. In this embodiment apparatus, in the light that passes through the slit 18a of the slit plate 18, only the reference beam 4 traveling straight toward the light receiving element array 2c 1 of the line sensor 2c is incident on the light receiving element array 2c 1, otherwise light incident towards the light receiving element array 2c 1 from the direction (disturbance light 17) is not incident on the light receiving element array 2c 1 is refracted by the concave lens 21. Therefore, the influence of disturbance light can be avoided. The circuit section of the optical measuring apparatus according to this embodiment is the same as that shown in FIG.
【００１３】この発明の第２の実施形態光学式外形計測
装置は、図１６に示す凸面鏡２２を用いることが特徴で
ある。この実施形態装置の凸面鏡２２は、図１７に示す
ように、スリット板１８のスリット１８ａとラインセン
サ２ｃの間に、それぞれに対し４５°の角度をもって傾
けて、配置される。図１５の（ａ）は図１２の系を上方
から見たときの光束の方向を示したものである。ミラー
１９の鏡面の形状が平面である時〔図１５の（ａ）〕、
受光素子列２ｃ1 には参照光４以外にも反射により入射
する外乱光１７が存在する。ところが、ミラー形状が凸
面である場合〔図１５の（ｂ）〕は、参照光４と外乱光
１７が角度をもって、凸面鏡２２に入光するので、反射
により受光素子列２ｃ1 に入射する外乱光１７は無くな
る。よって、図１６に示すような形状の凸面鏡２２を使
用して、図１７に示すような構成をとることにより外乱
光１７がラインセンサ２ｃの受光素子列２ｃ1 に入光す
るのを防ぐことができる。この実施形態装置の回路部
も、図４に示すものと同様のものである。A second embodiment of the present invention is characterized in that a convex mirror 22 shown in FIG. 16 is used. As shown in FIG. 17, the convex mirror 22 of this embodiment device is disposed between the slit 18a of the slit plate 18 and the line sensor 2c at an angle of 45 ° with respect to each other. FIG. 15A shows the direction of a light beam when the system of FIG. 12 is viewed from above. When the shape of the mirror surface of the mirror 19 is a flat surface (FIG. 15A),
The light receiving element array 2c 1 there is disturbance light 17 incident through reflecting besides the reference beam 4. However, if the mirror shape is a convex [FIG 15 (b)] is the reference beam 4 and the ambient light 17 at an angle, so that light entering the convex mirror 22, ambient light incident on the light-receiving element array 2c 1 by reflection 17 disappears. Thus, by using the convex mirror 22 of the shape shown in FIG. 16, it is possible to prevent the disturbance light 17 is incident to the light receiving element array 2c 1 of the line sensor 2c by a configuration as shown in FIG. 17 it can. The circuit section of the device of this embodiment is the same as that shown in FIG.
【００１４】なお、ここでは、図３の（ｂ）の構成を前
提にして説明を行ったが、図３の（ａ）あるいは図３の
（ｃ）の構成にも、本方式は適用可能である。また、反
射式の構成にも適用可能である。図１８は、この発明の
さらに他の実施形態光学式外形計測装置の光学系を示す
図である。この実施形態装置は、第２の実施形態装置と
同様に、ミラーをスリット１８ａとラインセンサ２ｃと
の間に設ける点で同じであるが、図１７の場合、凸面鏡
２２であるに対し、ここでは幅の細い縦長の鏡２３を使
用している。この実施形態装置では、スリット１８ａを
通過した参照光４は、鏡２３の中心で反射されてライン
センサ２ｃに入光する。しかし、参照光４に対し、角度
を有する外乱光１７はスリット１８ａを通過して鏡２３
に達すると、鏡２３は細いので、外乱光１７は鏡２３に
当たらず、したがって反射もされず、ラインセンサ２ｃ
にも入光することもない。したがって外乱光の影響を避
けることができる。この実施形態装置の回路部も、図４
に示すものと同様のものを採用している。Although the description has been made on the premise of the configuration of FIG. 3B, the present method is also applicable to the configuration of FIG. 3A or FIG. 3C. is there. Further, the present invention can be applied to a reflection type configuration. FIG. 18 is a diagram showing an optical system of an optical outline measuring apparatus according to still another embodiment of the present invention. This embodiment apparatus is the same as the second embodiment apparatus in that a mirror is provided between the slit 18a and the line sensor 2c, but in the case of FIG. 17, the mirror is a convex mirror 22. A vertically long mirror 23 having a small width is used. In this embodiment, the reference light 4 that has passed through the slit 18a is reflected at the center of the mirror 23 and enters the line sensor 2c. However, the disturbance light 17 having an angle with respect to the reference light 4 passes through the slit 18a and passes through the mirror 23.
Is reached, the mirror 23 is thin, so that the disturbance light 17 does not impinge on the mirror 23 and is therefore not reflected.
There is no light. Therefore, the influence of disturbance light can be avoided. The circuit section of the device of this embodiment is also shown in FIG.
The same one as shown in FIG.
【００１５】なお、この実施形態装置では、鏡の幅を細
くすることによって、鏡で反射する外乱光を減少させて
いるが、鏡上にマスクを施してもよい。また、この実施
形態は図３の（ｂ）の構成で説明したが、図３の（ａ）
あるいは図３の（ｃ）の構成にも適用可能である。ま
た、反射式の構成にも適用可能である。In this embodiment, disturbance light reflected by the mirror is reduced by reducing the width of the mirror, but a mask may be provided on the mirror. Although this embodiment has been described with reference to the configuration of FIG. 3B, the configuration of FIG.
Alternatively, the present invention can be applied to the configuration shown in FIG. Further, the present invention can be applied to a reflection type configuration.
【００１６】[0016]
【発明の効果】この出願の特許請求の範囲の請求項１に
係る発明は、スリットと受光手段（ラインセンサ）間に
凹レンズを設けるものであるから、受光手段に外乱光が
到達しないようにするために受光手段をスリットから離
すことが不要となり、受光部の奥行きを短縮できる。According to the first aspect of the present invention, since a concave lens is provided between the slit and the light receiving means (line sensor), disturbance light is prevented from reaching the light receiving means. Therefore, it is not necessary to separate the light receiving unit from the slit, and the depth of the light receiving unit can be reduced.
【００１７】また、請求項２に係る発明によれば、スリ
ットと受光手段間に凸面鏡を設け、請求項３に係る発明
によれば、スリットと受光手段間に縦長の細い鏡を設け
ているので、受光手段に外乱光が到達しないようにする
ために、スリットと鏡間、鏡と受光手段間の距離を長く
することが不要になり、受光部の外形を小形化できる。According to the second aspect of the present invention, a convex mirror is provided between the slit and the light receiving means, and according to the third aspect of the present invention, a vertically long narrow mirror is provided between the slit and the light receiving means. In order to prevent disturbance light from reaching the light receiving means, it is not necessary to increase the distance between the slit and the mirror and between the mirror and the light receiving means, so that the outer shape of the light receiving section can be reduced in size.
【図１】光学式外形計測装置の透過形の光学系の基本構
成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a transmission type optical system of an optical outline measuring device.
【図２】光学式外形計測装置の反射形の光学系の基本構
成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a basic configuration of a reflection type optical system of the optical type external measuring device.
【図３】光学式外形計測装置に使用される光学系を示す
図である。FIG. 3 is a diagram showing an optical system used in the optical outer shape measuring device.
【図４】光学式外形計測装置の全体構成を示すブロック
図である。FIG. 4 is a block diagram showing an overall configuration of the optical outer shape measuring device.
【図５】同光学式外形計測装置における２値化処理を説
明する波形図である。FIG. 5 is a waveform chart for explaining a binarization process in the optical outer shape measuring device.
【図６】光学式外形計測装置における他の２値化処理方
法を説明するための回路ブロック図である。FIG. 6 is a circuit block diagram for explaining another binarization processing method in the optical outer shape measuring device.
【図７】図６の回路における２値化処理を説明するため
の波形図である。FIG. 7 is a waveform chart for explaining a binarization process in the circuit of FIG. 6;
【図８】光学式外形計測装置における外乱光の入光を説
明する図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the input of disturbance light in the optical outer shape measuring device.
【図９】外乱光による２値化処理への影響を説明する波
形図である。FIG. 9 is a waveform chart for explaining the influence of the disturbance light on the binarization processing.
【図１０】外乱光とスリットとの関係を説明するための
概略図である。FIG. 10 is a schematic diagram for explaining a relationship between disturbance light and a slit.
【図１１】外乱光とスリットとの関係が受光手段への入
光波形に与える影響を説明する波形図である。FIG. 11 is a waveform chart for explaining an influence of a relationship between disturbance light and a slit on a light incident waveform to a light receiving unit.
【図１２】光学式外形計測装置の受光部の他の例を示す
図である。FIG. 12 is a diagram illustrating another example of the light receiving unit of the optical outer shape measuring device.
【図１３】この発明の一実施形態光学式外形計測装置に
使用される凹レンズを示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a concave lens used in the optical outer shape measuring device according to one embodiment of the present invention.
【図１４】同実施形態光学式外形計測装置の受光部の構
成を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a configuration of a light receiving section of the optical outer shape measuring device of the embodiment.
【図１５】この発明の他の実施形態光学式外形計測装置
の受光部の採用原理を説明する図である。FIG. 15 is a diagram illustrating a principle of adopting a light receiving section of an optical outer shape measuring device according to another embodiment of the present invention.
【図１６】同実施形態光学式外形計測装置に使用される
凸面鏡を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a convex mirror used in the optical outer shape measuring device of the embodiment.
【図１７】同実施形態光学式外形計測装置の受光部の構
成を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a configuration of a light receiving unit of the optical outer shape measuring device of the embodiment.
【図１８】この発明の他の実施形態光学式外形計測装置
の受光部の構成を示す図である。FIG. 18 is a view showing a configuration of a light receiving section of an optical outer shape measuring device according to another embodiment of the present invention.
２ｃ ラインセンサ ２ｃ1 受光素子列 ４ 参考光 １７ 外乱光 １８ スリット板 １８ａ スリット ２１ 凹レンズ2c line sensor 2c 1 light receiving element row 4 reference light 17 disturbance light 18 slit plate 18a slit 21 concave lens
Claims (3)
測定対象物からの透過光あるいは反射光をスリット板を
介して受光する受光手段を含む受光部と、受光手段の出
力を処理して測定対象物の外形計測を行う処理部とを備
えた光学式外形計測装置において、 前記スリットと前記受光手段の間に凹レンズを設け、前
記受光手段は前記透過光あるいは反射光をスリット、凹
レンズを介して受光するようにしたことを特徴とする光
学式外形計測装置。A light projecting unit for irradiating a reference object with a reference light;
An optical type including a light receiving unit including a light receiving unit that receives transmitted light or reflected light from a measurement target through a slit plate, and a processing unit that processes an output of the light receiving unit and measures an outer shape of the measurement target. An outer shape measuring device, wherein a concave lens is provided between the slit and the light receiving means, and the light receiving means receives the transmitted light or the reflected light through the slit and the concave lens. .
測定対象物からの透過光あるいは反射光をスリット板を
介して受光する受光手段を含む受光部と、受光手段の出
力を処理して測定対象物の外形計測を行う処理部とを備
えた光学式外形計測装置において、 前記スリットと前記受光手段の間に凸面鏡を設け、前記
受光手段は前記透過光あるいは反射光をスリット、凸面
鏡を介して受光するようにしたことを特徴とする光学式
外形計測装置。2. A light projecting unit for irradiating a measurement object with reference light,
An optical type including a light receiving unit including a light receiving unit that receives transmitted light or reflected light from a measurement target through a slit plate, and a processing unit that processes an output of the light receiving unit and measures an outer shape of the measurement target. An outer shape measuring device, wherein a convex mirror is provided between the slit and the light receiving means, and the light receiving means receives the transmitted light or the reflected light via the slit and the convex mirror. .
測定対象物からの透過光あるいは反射光をスリット板を
介して受光する受光手段を含む受光部と、受光手段の出
力を処理して測定対象物の外形計測を行う処理部とを備
えた光学式外形計測装置において、 前記スリットと前記受光手段の間に細幅縦長の鏡を設
け、前記受光手段は前記透過光あるいは反射光をスリッ
ト、細幅縦長の鏡を介して受光するようにしたことを特
徴とする光学式外形計測装置。3. A light projecting section for irradiating a measurement object with reference light,
An optical type including a light receiving unit including a light receiving unit that receives transmitted light or reflected light from a measurement target through a slit plate, and a processing unit that processes an output of the light receiving unit and measures an outer shape of the measurement target. In the outer shape measuring device, a narrow vertically long mirror is provided between the slit and the light receiving unit, and the light receiving unit receives the transmitted light or the reflected light through the slit and the narrow vertically long mirror. Characteristic optical outer shape measuring device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20669496A JPH1047928A (en) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | Optical profile-measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20669496A JPH1047928A (en) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | Optical profile-measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1047928A true JPH1047928A (en) | 1998-02-20 |
Family
ID=16527574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20669496A Pending JPH1047928A (en) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | Optical profile-measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1047928A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216197A (en) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Yamatake Corp | Edge detector and method of controlling luminous flux |
| CN114739314A (en) * | 2022-03-01 | 2022-07-12 | 上海交通大学 | Method and device for precisely measuring profile of square hole of valve sleeve shell of electro-hydraulic servo valve |
-
1996
- 1996-08-06 JP JP20669496A patent/JPH1047928A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216197A (en) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Yamatake Corp | Edge detector and method of controlling luminous flux |
| CN114739314A (en) * | 2022-03-01 | 2022-07-12 | 上海交通大学 | Method and device for precisely measuring profile of square hole of valve sleeve shell of electro-hydraulic servo valve |
| CN114739314B (en) * | 2022-03-01 | 2023-01-17 | 上海交通大学 | Method and device for precisely measuring profile of square hole of valve sleeve shell of electro-hydraulic servo valve |
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