JPH10328988A - Wafer machining method, surface grinder and workpiece supporting member - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To rotate a workpiece positively at the time of grinding both faces of a wafer at the same time. SOLUTION: A workpiece setting hole 60a is provided to fit a workpiece (wafer) 17 into the center of a rotary plate 60 thinner than the workpiece 17, and a workpiece driving part 60b engaged with an omitted part showing the crystal orientation of the workpiece 17 is provided at the edge of the hole 60a. A gear 59 is rotated by a gear of a motor to rotate the rotary plate 60, and rotational feed is imparted to the workpiece 17 to grind both faces by a duplex surface grinder.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウエハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する加工方法及びその加工方法に用いられる平
面研削盤及びワーク支持部材に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a processing method for ultra-precise and parallel fine grinding of both surfaces of a hard thin wafer used for a semiconductor, a surface grinding machine and a work supporting member used in the processing method. It is about.

【０００２】[0002]

【発明が解決しようとする課題】インゴットから切断し
たウエハは面粗度、形状精度共に粗である。そこでイン
ゴットから切断後のウエハをラップ仕上を行うと非常に
時間がかかり加工能率がよくない。またウエハの片面研
削においては、真空チャックでワークの片面を吸着する
ためインゴットから片面研削後のウエハの形状は吸着中
は平面であるが、真空チャックからワークを外すと形状
は元に戻り反る傾向にある。A wafer cut from an ingot is rough in both surface roughness and shape accuracy. Therefore, when lapping is performed on a wafer that has been cut from an ingot, it takes a very long time and processing efficiency is not good. Also, in single-side grinding of a wafer, the shape of the wafer after one-side grinding from the ingot is flat during suction because the vacuum chuck chucks one side of the work, but the shape returns to its original shape when the work is removed from the vacuum chuck. There is a tendency.

【０００３】上述のラップ加工による加工能率及び加工
精度の向上を計るために試みられる研削によるウエハの
加工によれば、短かい加工時間で所要の面精度が得られ
る。しかし乍らウエハのチャッキングを真空チャックに
よる限り、形状精度は得られない。According to the processing of a wafer by grinding which is attempted to improve the processing efficiency and the processing accuracy by the above-described lapping, a required surface accuracy can be obtained in a short processing time. However, as long as the chucking of the wafer is performed by a vacuum chuck, the shape accuracy cannot be obtained.

【０００４】本発明は上述従来の技術を更に発展させた
ものであり、短時間で面精度と形状精度が得られるウエ
ハの加工方法及びその加工方法に用いられる平面研削盤
及びワーク支持部材を提供することを目的とする。The present invention is a further development of the above-mentioned prior art, and provides a wafer processing method capable of obtaining surface accuracy and shape accuracy in a short time, a surface grinder and a work supporting member used in the processing method. The purpose is to do.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】本出願に係る第１の発明
はインゴットから切断後のウエハの加工方法において、
ウエハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハ
の切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有
し、ウエハより薄い薄片の回転板と、砥石端面を対向さ
せて砥石端面で研削を行う両頭平面研削盤とを準備し
て、回転板のワーク駆動部にウエハの切欠部を係合させ
て前記回転板の穴にウエハを遊嵌した状態で、前記回転
板を駆動することによりウエハを回転させると共に前記
砥石を回転しウエハの両面に作用させて研削を行うこと
を特徴とするウエハの加工方法である。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of processing a wafer after cutting from an ingot.
A wafer is loosely fitted, has a through-hole having a work drive portion projecting from the inner periphery to the inside and engaging with a notch of the wafer, and a rotating plate of a thinner piece than the wafer and a grinding wheel end face are opposed to each other. Prepare a double-sided surface grinding machine that performs grinding on the whetstone end surface, and in a state where the notch portion of the wafer is engaged with the work drive unit of the rotating plate and the wafer is loosely fitted into the hole of the rotating plate, the rotating plate is A method of processing a wafer, characterized in that the wafer is rotated by driving, and at the same time, the grindstone is rotated to act on both surfaces of the wafer to perform grinding.

【０００６】本出願に係る第２の発明は前記砥石は共に
研削作用のある砥石を用いて両面を同時に研削すること
を特徴とする第１の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。A second invention according to the present application is the method for processing a wafer according to the first invention, wherein both surfaces of the grinding wheels are simultaneously ground using a grinding wheel having a grinding action.

【０００７】本出願に係る第３の発明は前記砥石の内一
方は研削作用のある砥石を用いると共に他方の砥石は研
削作用が前記研削作用のある砥石に比較して研削作用の
小さい砥石を用いることを特徴とする第１の発明に記載
のウエハの加工方法である。In a third aspect of the present invention, one of the whetstones uses a grindstone having a grinding action, and the other whetstone uses a whetstone having a smaller grinding action than the grinding stone having a grinding action. A method for processing a wafer according to the first invention, characterized in that:

【０００８】本出願に係る第４の発明は前記砥石はカッ
プ砥石であって、前記ウエハの中心にカップ砥石の研削
作用面が重なるように加工することを特徴とする第１か
ら第３の発明の何れか１つに記載のウエハの加工方法で
ある。A fourth invention according to the present application is the first to third inventions, wherein the grinding wheel is a cup grinding wheel, and the grinding is performed so that the grinding action surface of the cup grinding stone overlaps the center of the wafer. The method for processing a wafer according to any one of the above.

【０００９】本出願に係る第５の発明は砥石端面を対向
して配設され、砥石端面で外周に切欠部を有する円板形
ワークの板面を加工する両頭平面研削盤において、内周
にワークの切欠部に係合するワーク駆動部を有しワーク
が嵌め込まれる貫通穴を備えワークよりも薄く砥石端面
が近接可能な大きさを有する回転板と、前記回転板を回
転自在に支持する支持部材と、前記回転板の回転駆動手
段と、を有することを特徴とする両頭平面研削盤であ
る。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a double-sided surface grinding machine for machining a plate surface of a disk-shaped work having a grinding wheel end face opposed to each other and having a notch on the outer circumference at the grinding wheel end face. A rotating plate having a work drive unit to be engaged with the notch of the work, having a through hole into which the work is fitted, and having a size thinner than the work so that the whetstone end surface can approach, and a support for rotatably supporting the rotating plate A double-sided surface grinding machine comprising: a member; and a rotation driving unit for rotating the rotating plate.

【００１０】本出願に係る第６の発明は前記回転駆動手
段は、前記支持部材に固定されたモータと、このモータ
と回転板間に設けられた回転伝達手段とでなることを特
徴とする第５の発明に記載の両頭平面研削盤である。A sixth invention according to the present application is characterized in that the rotation driving means comprises a motor fixed to the support member and rotation transmission means provided between the motor and the rotating plate. A double-sided surface grinder according to a fifth aspect of the present invention.

【００１１】本出願に係る第７の発明は前記回転板の支
持部材は砥石軸に直角方向に設けられた案内部材に移動
自在に係合するスライドテーブルであることを特徴とす
る第６の発明に記載の両頭平面研削盤である。A seventh invention according to the present application is characterized in that the support member of the rotary plate is a slide table movably engaged with a guide member provided in a direction perpendicular to a grinding wheel shaft. 2. A double-sided surface grinder described in 1. above.

【００１２】本出願に係る第８の発明は前記案内部材は
砥石外周側に砥石を間にして二条配設されていることを
特徴とする第７の発明に記載の両頭平面研削盤である。An eighth invention according to the present application is the double-sided surface grinder according to the seventh invention, wherein the guide member is provided in two rows on the outer periphery of the grindstone with a grindstone interposed therebetween.

【００１３】本出願に係る第９の発明は砥石端面で外周
に切欠部を有する円板形のワークの平面を加工する研削
盤に用いられるワーク支持部材において、ワークを遊嵌
し、内周から内部へ向って突設されワークの切欠部に係
合するワーク駆動部を有する貫通穴を有し、ワークより
薄い薄片の回転板と、前記回転板を回転自在に支持する
支持手段と、前記支持手段に設けられ回転板を駆動する
駆動手段と、を有することを特徴とするワーク支持部材
である。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a work supporting member used for a grinding machine for processing a flat surface of a disk-shaped work having a notch on an outer periphery at an end face of a grindstone. A rotating plate having a through-hole having a work driving portion protruding inward and having a work driving portion engaged with a notch of the work, and a thin plate thinner than the work; supporting means for rotatably supporting the rotating plate; And a driving means provided on the means for driving the rotating plate.

【００１４】本出願に係る第１０の発明は前記支持手段
は回転板の板面に平行な案内手段に移動自在に嵌合して
いることを特徴とする第９の発明に記載のワーク支持部
材である。A tenth invention according to the present application is the work supporting member according to the ninth invention, wherein the support means is movably fitted to guide means parallel to the plate surface of the rotary plate. It is.

【００１５】本出願に係る第１１の発明は前記回転板は
中心部のワークよりも薄い部分の外周側が前記ワークよ
りも薄い部分よりも厚肉で円環状であることを特徴とす
る第９又は第１０の発明に記載のワーク支持部材であ
る。An eleventh invention according to the present application is the ninth or ninth aspect of the present invention, wherein the rotary plate has an annular shape in which the outer peripheral side of a portion thinner than the work in the center is thicker and thicker than the portion thinner than the work. A work support member according to a tenth aspect.

【００１６】本出願に係る第１２の発明はワーク駆動部
はワークよりも軟質の材料としたことを特徴とする第９
から第１１の発明の何れか１つに記載のワーク支持部材
である。A twelfth invention according to the present application is characterized in that the work drive section is made of a material softer than the work.
The work supporting member according to any one of the first to eleventh aspects.

【００１７】本出願に係る第１３の発明は前記回転板の
ワークに接する側をワークよりも軟質の材料としたこと
を特徴とする第９から第１１の発明の何れか１つに記載
のワーク支持部材である。A thirteenth invention according to the present application is the work according to any one of the ninth to eleventh inventions, wherein a side of the rotating plate that contacts the work is made of a material softer than the work. It is a support member.

【００１８】本出願に係る第１４の発明は前記回転板
は、円環状の金属板と、この金属板の内周側に一体的に
設けられワークが嵌合するワーク保持部材とを有し、前
記ワーク保持部材はワークよりも軟質の材料でできてい
ることを特徴とする第１３の発明に記載のワーク支持部
材である。According to a fourteenth aspect of the present invention, the rotary plate includes an annular metal plate and a work holding member integrally provided on an inner peripheral side of the metal plate and to which a work is fitted. The work support member according to a thirteenth invention, wherein the work holding member is made of a material softer than the work.

【００１９】本出願に係る第１５の発明はワーク駆動部
は金属板に形成されていることを特徴とする第１４の発
明に記載のワーク支持部材である。A fifteenth invention according to the present application is the work supporting member according to the fourteenth invention, wherein the work drive section is formed on a metal plate.

【００２０】本出願に係る第１６の発明はワーク駆動部
はワーク保持部材に形成されていることを特徴とする第
１４の発明に記載のワーク支持部材である。A sixteenth invention according to the present application is the work supporting member according to the fourteenth invention, wherein the work driving section is formed on a work holding member.

【００２１】本出願に係る第１７の発明は前記回転板は
中抜き環状の回転板本体の内周より別部材としてワーク
駆動部を設けたものであり、ワーク駆動部はワークより
も軟質の材料でできていることを特徴とする第９から第
１１の発明の何れか１つに記載のワーク支持部材であ
る。According to a seventeenth aspect of the present invention, the rotary plate is provided with a work drive as a separate member from the inner periphery of the hollow annular rotary plate body, and the work drive is made of a material softer than the work. The work supporting member according to any one of the ninth to eleventh aspects, wherein the workpiece supporting member is made of:

【００２２】本出願に係る第１８の発明はワーク保持部
材は合成樹脂またはゴム製でなることを特徴とする第１
４から第１７の発明の何れか１つに記載のワークの支持
部材である。According to an eighteenth aspect of the present invention, the work holding member is made of synthetic resin or rubber.
A work supporting member according to any one of the fourth to seventeenth aspects.

【００２３】本出願に係る第１９の発明はワーク駆動部
のワークに接する面を曲面にしたことを特徴とする第１
から第１８の発明の何れか１つに記載のワーク支持部材
である。A nineteenth invention according to the present application is characterized in that the surface of the work drive unit that contacts the work is a curved surface.
To the work supporting member according to any one of the eighteenth to eighteenth aspects.

【００２４】本出願に係る第２０の発明は前記ワーク駆
動部は回転板に対して遊動支持されると共に緩衝材を介
して回転板に取り付けられていることを特徴とする第９
から第１１の発明の何れか１つに記載のワーク支持部材
である。A twentieth invention according to the present application is characterized in that the work drive section is loosely supported by the rotating plate and is attached to the rotating plate via a cushioning material.
The work supporting member according to any one of the first to eleventh aspects.

【００２５】本出願に係る第２１の発明は前記ワーク駆
動部は回転板に対して半径方向に移動自在に取り付けら
れると共に回転板の中心に向ってばね部材で付勢されて
いることを特徴とする第９から第１１の発明の何れか１
つに記載のワーク支持部材である。A twenty-first invention according to the present application is characterized in that the work drive unit is mounted movably in the radial direction with respect to the rotary plate and is urged by a spring member toward the center of the rotary plate. Any one of the ninth to eleventh inventions
A work supporting member according to any one of the first to third aspects.

【００２６】本出願に係る第２２の発明は前記ワーク駆
動部材を回転板の中心に向ってばね部材で付勢すると共
に圧力流体の圧力により前記ばね部材のばね力に抗して
後退させるアクチュエータと、前記回転板を定位置に停
止させる定位置停止装置と、定位置に停止したアクチュ
エータに向って進退し、前記アクチュエータに圧力流体
を供給する前進位置と、前記アクチュエータの圧力流体
を逃がすための後退位置と、をとるように回転板外に固
設した流体圧シリンダと、を有するワーク駆動部を備え
たことを特徴とする第９から第１１の発明の何れか１つ
に記載のワーク支持部材である。According to a twenty-second aspect of the present invention, there is provided an actuator for urging the work drive member toward the center of a rotary plate with a spring member and for retracting the work drive member against the spring force of the spring member by the pressure of a pressure fluid. A fixed position stopping device for stopping the rotating plate at a fixed position, an advanced position for moving back and forth toward the actuator stopped at the fixed position and supplying a pressure fluid to the actuator, and a retreat for releasing the pressure fluid of the actuator The work support member according to any one of the ninth to eleventh aspects, further comprising a work drive unit having a position and a fluid pressure cylinder fixed outside the rotary plate so as to take a position. It is.

【００２７】本出願に係る第２３の発明は前記アクチュ
エータはスプリングオフセット形の流体圧シリンダであ
って、前記回転板外に固設した流体圧シリンダのプラン
ジャ中の通路を通じて圧力流体が前記アクチュエータに
供給されることを特徴とする第２２の発明に記載のワー
ク支持部材である。According to a twenty-third aspect of the present invention, the actuator is a spring offset type hydraulic cylinder, and pressurized fluid is supplied to the actuator through a passage in a plunger of the hydraulic cylinder fixed outside the rotary plate. A work supporting member according to a twenty-second aspect, characterized in that:

【００２８】本出願に係る第２４の発明は前記ワーク駆
動部に加わる圧力又は変位等の負荷検出手段と、前記検
出された負荷の大きさ方向を演算すると共に研削盤の砥
石回転速度、ワーク回転速度又は切り込みを制御するこ
とを特徴とする第９から第１１の発明の何れか１つに記
載のワーク支持部材である。According to a twenty-fourth aspect of the present invention, there is provided a load detecting means for detecting a pressure or a displacement applied to the work driving unit, calculating a magnitude direction of the detected load, and a grinding wheel rotation speed of a grinding machine, a work rotation. The work supporting member according to any one of the ninth to eleventh aspects, wherein a speed or a cut is controlled.

【００２９】本出願に係る第２５の発明はインゴットか
ら切断後のウエハの加工方法において、ウエハを遊嵌
し、内周から内部へ向って突設されウエハの切欠部に係
合するワーク駆動部を有する穴を有する回転板と、砥石
端面で研削を行う単頭平面研削盤とを準備して、回転板
のワーク駆動部にウエハの切欠部を係合させて前記回転
板の穴にウエハを遊嵌した状態で、前記回転板を駆動す
ることによりウエハを回転させると共に前記砥石を回転
しウエハの片面に作用させて研削を行うことを特徴とす
るウエハの加工方法である。According to a twenty-fifth aspect of the present invention, in a method for processing a wafer after being cut from an ingot, a work drive unit for loosely fitting a wafer, projecting from the inner periphery to the inside, and engaging with a notch of the wafer. Prepare a rotary plate having a hole having a, and a single-head surface grinder for grinding on the end face of the grindstone, engage the notch of the wafer with a work drive unit of the rotary plate, and put the wafer in the hole of the rotary plate. A method of processing a wafer, wherein the wafer is rotated by driving the rotary plate in a loosely fitted state, and the grinding wheel is rotated to act on one surface of the wafer to perform grinding.

【００３０】本出願に係る第２６の発明は前記砥石はカ
ップ砥石であって、前記ウエハの中心にカップ砥石の研
削作用面が重なるように加工することを特徴とする第２
５の発明に記載のウエハの加工方法である。A twenty-sixth invention according to the present application is characterized in that the grindstone is a cup grindstone, and the grinding is performed so that the grinding action surface of the cup grindstone overlaps the center of the wafer.
A wafer processing method according to a fifth aspect of the present invention.

【００３１】本出願に係る第２７の発明は前記回転板の
穴を有底としてウエハを支持することを特徴とする第２
５又は第２６の発明に記載のウエハの加工方法である。A twenty-seventh invention according to the present application is characterized in that a wafer is supported with a hole in the rotary plate having a bottom.
A method of processing a wafer according to a fifth or twenty-sixth aspect.

【００３２】本出願に係る第２８の発明は砥石端面で外
周に切欠部を有する円板形ワークの板面を加工する単頭
平面研削盤において、内周にワークの切欠部に係合する
ワーク駆動部を有しワークが嵌め込まれるワークよりも
浅い穴を備えた回転板と、前記回転板を回転自在に支持
する支持部材と、前記回転板の回転駆動手段と、を有す
ることを特徴とする単頭平面研削盤である。According to a twenty-eighth aspect of the present invention, there is provided a single-head surface grinding machine for processing a plate surface of a disk-shaped work having a notch on an outer periphery at an end face of a grindstone. A rotating plate having a drive unit and having a shallower hole than the work into which the work is fitted, a support member rotatably supporting the rotating plate, and a rotation driving unit for the rotating plate. It is a single-head surface grinder.

【００３３】本出願に係る第２９の発明は前記回転板の
穴はほぼ全面に底を有することを特徴とする第２８の発
明に記載の単頭平面研削盤である。A twenty-ninth invention according to the present application is the single-head surface grinding machine according to the twenty-eighth invention, wherein the hole of the rotary plate has a bottom over substantially the entire surface.

【００３４】本出願に係る第３０の発明は前記回転駆動
手段は、前記支持部材に固定されたモータと、このモー
タと回転板間に設けられた回転伝達手段とでなることを
特徴とする第２８又は第２９の発明に記載の単頭平面研
削盤である。A thirtieth invention according to the present application is characterized in that the rotation driving means comprises a motor fixed to the support member, and rotation transmission means provided between the motor and the rotating plate. A single-head surface grinder according to a twenty-eighth or twenty-ninth aspect.

【００３５】本出願に係る第３１の発明は前記回転板の
支持部材は砥石軸に直角方向に設けられた案内部材に移
動自在に係合するスライドテーブルであることを特徴と
する第３０の発明に記載の単頭平面研削盤である。A thirty-first invention according to the thirty-first invention is characterized in that the support member for the rotary plate is a slide table movably engaged with a guide member provided in a direction perpendicular to a grinding wheel shaft. 2 is a single-head surface grinding machine.

【００３６】本出願に係る第３２の発明は砥石端面で外
周に切欠部を有する円板形のワークの平面を加工する研
削盤に用いられるワーク支持部材において、ワークを遊
嵌し、内周から内部へ向って突設されワークの切欠部に
係合するワーク駆動部を有する穴を有する回転板と、前
記回転板を回転自在に支持する支持手段と、前記支持手
段に設けられ回転板を駆動する駆動手段と、を有するワ
ーク支持部材である。A thirty-second invention according to the present application is directed to a work supporting member used for a grinding machine for processing a flat surface of a disk-shaped work having a notch on the outer periphery at the end face of the grindstone. A rotating plate having a hole having a work driving portion projecting inward and engaging with a notch of the work, supporting means for rotatably supporting the rotating plate, and driving the rotating plate provided on the supporting means A work supporting member having a driving means.

【００３７】本出願に係る第３３の発明は前記支持手段
は回転板の板面に平行な案内手段に移動自在に嵌合して
いることを特徴とする第３２の発明に記載のワーク支持
部材である。According to a thirty-third aspect of the present invention, in the thirty-second aspect, the support means is movably fitted to guide means parallel to the plate surface of the rotary plate. It is.

【００３８】[0038]

【従来の技術】シリコンウエハなどのウエハはインゴッ
トをインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研
磨仕上を行っている。2. Description of the Related Art Wafers such as silicon wafers are obtained by cutting an ingot with an inner saw or a wire saw and then finishing the polishing with a lapping machine.

【００３９】一方ウエハを研削により仕上げることが例
えば実登３０２８７３４号公報、機械と工具、１９９５
年７月号第６０頁から第６４頁、砥粒加工学会誌Ｖｏ
ｌ．３９Ｎｏ．４ １９９５．ＪＵＬ．第２０頁から第
２３頁等に開示されている。On the other hand, finishing a wafer by grinding is disclosed, for example, in Japanese Utility Model Publication No. 3028734, Machine and Tool, 1995.
July to July, pages 60 to 64, Journal of the Japan Society of Abrasive Technology Vo
l. 39 No. 4 1995. JUL. It is disclosed on pages 20 to 23 and the like.

【００４０】[0040]

【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態
を、図１〜図１１に基づいて詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.

【００４１】（実施の形態１）図１〜図４に示すよう
に、この実施の形態の両頭平面研削盤は下部フレーム１
１を備え、その下部フレーム１１上には上部フレーム１
１１が固定されている。下部フレーム１１には下部砥石
回転昇降機構１２及びワーク支持部材１４が装設され、
上部フレーム１１１には上部砥石回転昇降機構１３が装
設されている。両砥石回転昇降機構１２，１３には夫々
上下部回転砥石１５，１６が配設され、それらの回転砥
石１５，１６の上部または下部端面の研削作用面１５
ａ，１６ａが互いに平行となるように対向配置されてい
る。そして、薄板状のワーク１７がワーク支持部材１４
に支持された状態で、両砥石回転昇降機構１２，１３の
回転砥石１５，１６間に挿入配置され、それらの回転砥
石１５，１６の研削作用面１５ａ，１６ａにより、ワー
ク１７の両面が同時に研削されるようになっている。(Embodiment 1) As shown in FIGS. 1 to 4, the double-sided surface grinder of this embodiment is
1 on the lower frame 11 of the upper frame 1
11 is fixed. The lower frame 11 is provided with a lower grindstone rotating / elevating mechanism 12 and a work supporting member 14,
The upper frame 111 is provided with an upper whetstone rotating / elevating mechanism 13. Upper and lower rotating grindstones 15 and 16 are disposed on the two grindstone rotating / lifting mechanisms 12 and 13, respectively, and a grinding action surface 15 on the upper or lower end surface of the rotating grindstones 15 and 16 is provided.
a and 16a are arranged to face each other so as to be parallel to each other. Then, the thin plate-shaped work 17 is moved to the work support member 14.
In a state supported by the rotary grindstones 12 and 13, both surfaces of the work 17 are simultaneously ground by the grinding surfaces 15 a and 16 a of the rotary grindstones 15 and 16. It is supposed to be.

【００４２】図２及び図３に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構１２の砥石台２０は下部フレーム１１上に
いわゆるＶ平のガイド２１を介して、下部回転砥石１５
の回転軸線と直交する方向へ移動可能に支持されてい
る。下部砥石台移動用モータ２２は下部フレーム１１の
側部に配設され、このモータ２２の回転により、砥石台
２０に固定したボールナット２３ａにねじ込まれたボー
ルねじ２３を介して砥石台２０が水平横方向に移動す
る。下部軸支筒２４は砥石台２０と一体に設けられた上
下方向のガイド２４ａを介して下部回転砥石１５の回転
軸線方向へ昇降可能に支持されている。下部砥石台昇降
用モータ２５は砥石台２０の下部においてガイド部２４
ａの側部に配設され、このモータ２５の回転により、ウ
ォームとウォームホイールで構成される回転伝達機構２
６及び下部軸支筒２４に固定されたブラケット２４ｂに
固定された図示されないボールナットにねじ込まれたボ
ールねじ２７を介してガイド部２４ａに案内されて下部
軸支筒２４が昇降される。なお、この昇降ストロークは
わずかである。As shown in FIGS. 2 and 3, the grinding wheel base 20 of the lower grinding wheel rotating / elevating mechanism 12 is mounted on the lower frame 11 via a so-called V flat guide 21 through the lower rotating grinding wheel 15.
Are supported so as to be movable in a direction perpendicular to the rotation axis of the rotator. The lower wheel head moving motor 22 is disposed on the side of the lower frame 11, and the rotation of the motor 22 causes the wheel head 20 to move horizontally through a ball screw 23 screwed into a ball nut 23 a fixed to the wheel head 20. Move laterally. The lower shaft support 24 is supported so as to be able to move up and down in the rotation axis direction of the lower rotary grindstone 15 via a vertical guide 24 a provided integrally with the grindstone table 20. The lower grindstone head elevating motor 25 is provided with a guide portion 24 at a lower portion of the grindstone head 20.
a rotation transmitting mechanism 2, which is provided on the side of
The lower shaft support 24 is moved up and down by being guided by the guide portion 24a via a ball screw 27 screwed into a ball nut (not shown) fixed to the bracket 6 and the bracket 24b fixed to the lower shaft support 24. This elevating stroke is slight.

【００４３】下部砥石軸２８は下部軸支筒２４内に回転
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ２９を介して下部回転砥石１５が装着されている。The lower grindstone shaft 28 is rotatably supported in the lower shaft support 24, and the lower rotating grindstone 15 is mounted via a grindstone holder 29 integrally formed on the upper end thereof.

【００４４】砥石駆動モータ３４は下部軸支筒２４の内
部に配設され、そのステータは下部軸支筒２４に嵌入固
定され、そのロータは下部砥石軸２８に嵌入固定され研
削加工に際しては、このモータ３４の回転により下部砥
石軸２８を介して下部回転砥石１５が高速回転する。The grindstone drive motor 34 is disposed inside the lower shaft support 24, and its stator is fitted and fixed in the lower shaft support 24, and its rotor is fitted and fixed in the lower grindstone shaft 28. The rotation of the motor 34 causes the lower rotating grindstone 15 to rotate at a high speed via the lower grinding wheel shaft 28.

【００４５】図３に示すように、前記上部砥石回転昇降
機構１３の上部軸支筒３８は上部フレーム１１１と一体
のガイド３９を介して、下部回転砥石１６の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ４０は上
部フレーム１１１の側部に配設され、このモータ４０の
回転により、上部軸支筒３８に固定されたブラケット３
８ａに嵌入固定されたボールナット４１ａにねじ込まれ
たボールねじ４１を介して上部軸支筒３８が昇降され
る。As shown in FIG. 3, the upper shaft support cylinder 38 of the upper grindstone rotating / elevating mechanism 13 is supported via a guide 39 integrated with the upper frame 111 so as to be able to move up and down in the direction of the rotational axis of the lower grindstone 16. ing. The elevating motor 40 is disposed on the side of the upper frame 111, and the rotation of the motor 40 causes the bracket 3 fixed to the upper shaft support 38.
The upper shaft support cylinder 38 is moved up and down via a ball screw 41 screwed into a ball nut 41a fitted and fixed to 8a.

【００４６】上部砥石軸４２は前記上部軸支筒３８内に
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ４３を介して上部回転砥石１６が装着されて
いる。砥石駆動モータ４８は上部軸支筒３８の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒３８に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸４２に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ４８の回転により、上部砥石軸
４２を介して上部回転砥石１６が高速回転する。The upper grinding wheel shaft 42 is rotatably supported in the upper shaft support cylinder 38, and the upper rotating wheel 16 is mounted on the lower end thereof via a grinding wheel holder 43 formed integrally. A grindstone drive motor 48 is disposed inside the upper shaft support 38, and its stator is fitted and fixed to the upper shaft support 38, and its rotor is fitted and fixed to the upper grindstone shaft 42 and rotates the motor 48 during grinding. Thereby, the upper rotating grindstone 16 rotates at a high speed via the upper grindstone shaft 42.

【００４７】図２、図４に示すように、前記ワーク支持
部材１４の支持台５２は上下部の両砥石回転昇降機構１
２，１３間において、下部フレーム１１上に配設されて
いる。スライドテーブル５３は支持台５２上の下部回転
砥石１５の両側に配設された一対のガイドレール５４を
介して、下部砥石回転昇降機構１２の砥石台２０の移動
方向と同方向へ移動可能に支持されている。図４に示す
ようにスライドテーブル移動用モータ５５は支持台５２
上に配設され、このモータ５５の回転により、このモー
タ５５のモータ軸に連結されたボールねじ５６がスライ
ドテーブル５３に固定されたボールナット５６ａにねじ
込まれていてスライドテーブル５３が移動可能となって
いる。As shown in FIGS. 2 and 4, the support table 52 of the work supporting member 14 has upper and lower grinding wheels
It is disposed on the lower frame 11 between 2 and 13. The slide table 53 is supported by a pair of guide rails 54 disposed on both sides of the lower rotary grindstone 15 on the support table 52 so as to be movable in the same direction as the moving direction of the grindstone table 20 of the lower grindstone rotary elevating mechanism 12. Have been. As shown in FIG. 4, the slide table moving motor 55 is
The ball screw 56 connected to the motor shaft of the motor 55 is screwed into a ball nut 56a fixed to the slide table 53 by the rotation of the motor 55, so that the slide table 53 can be moved. ing.

【００４８】円環状の回転板５７は前記スライドテーブ
ル５３内に配され、スライドテーブル５３に回転自在に
支持される３個のガイドローラ５８を介して回転可能に
支持されている（図５参照）。回転板５７は円環状の肉
厚の外周枠５７ａにワーク支持板６０を装着してある。
外周枠５７ａの下部外周にはギヤ５９が形成されてい
る。ワーク支持板６０はワーク１７より薄く形成され、
外周枠５７ａの下面にその重力で撓んで変形しないよう
に図示しないテンション機構を介して、水平に張設さ
れ、その中心にはワーク１７を着脱可能にセットするた
めのセット穴６０ａが形成されている。このセット穴６
０ａはワーク１７が遊嵌する直径を有する。回転板回転
用モータ６１はスライドテーブル５３上に配設され、こ
のモータ６１のモータ軸には回転板５７のギヤ５９に噛
合するギヤ６２が固定されている。そして、このモータ
６１の回転により、ギヤ６２，５９を介して回転板５７
が回転する。上記外周枠５７ａの内径は回転板５７に対
してオフセットして降下してくる上部回転砥石１６がワ
ーク支持板６０へ接近し得る直径を有する。An annular rotating plate 57 is disposed in the slide table 53, and is rotatably supported via three guide rollers 58 rotatably supported by the slide table 53 (see FIG. 5). . The rotating plate 57 has a work supporting plate 60 mounted on an annular thick outer peripheral frame 57a.
A gear 59 is formed on a lower outer periphery of the outer peripheral frame 57a. The work support plate 60 is formed thinner than the work 17,
The lower surface of the outer peripheral frame 57a is horizontally stretched via a tension mechanism (not shown) so as not to be bent and deformed by the gravity, and a set hole 60a for setting the work 17 in a detachable manner is formed at the center thereof. I have. This set hole 6
0a has a diameter at which the work 17 is loosely fitted. A rotating plate rotating motor 61 is provided on a slide table 53, and a gear 62 that meshes with a gear 59 of a rotating plate 57 is fixed to a motor shaft of the motor 61. Then, by the rotation of the motor 61, the rotating plate 57 is
Rotates. The inner diameter of the outer peripheral frame 57 a has a diameter such that the upper rotary grindstone 16 descending offset with respect to the rotary plate 57 can approach the work supporting plate 60.

【００４９】図４に示すように上記ワーク支持板６０の
セット穴６０ａにはインゴットから切断された未研削の
ウエハであるワーク１７の結晶方位の基準となるノッチ
やオリフラ（オリエンテーションフラット）等の切欠部
１７ａに係合するように内周側へ向って突出するワーク
駆動部６０ｂが設けてある。このワーク１７の切欠部１
７ａの形状は本実施の形態のようなＶ溝状のノッチ又は
ワーク外周の円弧を切るオリフラを縁とした形状であ
り、前記駆動部６０ｂはワークの切欠部１７ａをほぼ補
完する形状としてある。ただし、ワーク１７の切欠部１
７ａは結晶方位を知るための位置以外にワーク１７を駆
動するためにワーク１７に別に設けてもよい。As shown in FIG. 4, a notch or orientation flat (orientation flat) or the like serving as a reference for the crystal orientation of the work 17 which is an unground wafer cut from the ingot is formed in the set hole 60a of the work support plate 60. A work drive unit 60b protruding toward the inner peripheral side so as to engage with the portion 17a is provided. Notch 1 of this work 17
The shape of 7a is a shape having a V-groove-shaped notch as in the present embodiment or an orientation flat that cuts a circular arc on the outer periphery of the work as an edge, and the driving portion 60b is a shape that substantially complements the cutout portion 17a of the work. However, the notch 1 of the work 17
7a may be separately provided on the work 17 in order to drive the work 17 at a position other than the position for knowing the crystal orientation.

【００５０】上述のワークセット穴６０ａは本例では円
であるが、円に限らずワーク１７の位置が定まる形状で
あればよいので例えば、ワーク１７の外周を等配した少
なくとも３個所において、ワーク１７の外周に接するよ
うにしてもよい。The above-mentioned work set hole 60a is a circle in this example, but is not limited to a circle, and any shape may be used as long as the position of the work 17 is determined. 17 may be in contact with the outer periphery.

【００５１】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。Next, the operation of the double-sided surface grinder configured as described above will be described.

【００５２】さて、この両頭平面研削盤において、研削
加工を行う場合には、ワーク１７がワーク支持部材１４
のワーク支持板６０に遊嵌された状態で、上下両砥石回
転昇降機構１２，１３の上下部回転砥石１５，１６間に
挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降機構
１２，１３の上下部回転砥石１５，１６が高速回転され
るとともに、回転板回転用モータ６１が低速で回転駆動
され、ワーク支持板６０は回転駆動手段としてのギヤ６
２，５９を介して回転され、セット穴６０ａに保持され
たワーク１７が回転する。そして、上部砥石回転昇降機
構１３の上部回転砥石１６がワーク１７に向って下降接
近されて、両回転砥石１５，１６の研削作用面１５ａ，
１６ａによりワーク１７の両面が同時に研削される。Now, in this double-sided surface grinder, when grinding is performed, the work 17 is
The upper and lower rotary grindstones 15 and 16 are inserted and disposed between the upper and lower rotary grindstones 15 and 16 while the upper and lower grindstone rotary elevating mechanisms 12 and 13 are loosely fitted to the work support plate 60. In this state, the upper and lower rotary grindstones 15, 16 are rotated at a high speed while the upper and lower grindstone rotary elevating mechanisms 12, 13 are rotated at a high speed, the rotary plate rotating motor 61 is driven to rotate at a low speed, and the work supporting plate 60 serves as a rotary drive means. Gear 6
The work 17 held by the set holes 60a is rotated through the rotation of the workpieces 2 and 59. Then, the upper rotary grindstone 16 of the upper grindstone rotary elevating mechanism 13 descends and approaches the work 17, and the grinding action surfaces 15 a,
Both surfaces of the work 17 are simultaneously ground by 16a.

【００５３】図７は研削工具の研削作用面を見る正面
図、図８は図７の中心を含む縦断面図である。前述した
回転砥石（研削工具）１５，１６は本実施の形態では同
一部材が用いられる。ここではこの研削工具の全体を符
号１で表わす。FIG. 7 is a front view showing a grinding operation surface of the grinding tool, and FIG. 8 is a longitudinal sectional view including the center of FIG. In the present embodiment, the same members are used for the rotating grindstones (grinding tools) 15 and 16 described above. Here, the whole of the grinding tool is represented by reference numeral 1.

【００５４】この研削工具１は鉄製円板の台板２の端面
に同心円状に回転砥石としてのダイヤモンド砥石３、ワ
ークサポートとしてのワーク接触部材４，５を備えてい
る。これは何れも幅をもって円環状に配せられている。
即ち、ダイヤモンド砥石３の直径よりも大きい直径のワ
ーク接触部材４を台板２の外周近くに設けると共にダイ
ヤモンド砥石３の直径よりも小さいワーク接触部材５を
台板２の中心近くに設けてある。尚、ワーク接触部材
４，５の何れか一方のみを設けてもよい。The grinding tool 1 is provided with a diamond grindstone 3 as a rotating grindstone and work contact members 4 and 5 as work supports on the end surface of a base plate 2 made of an iron disc. These are all arranged in an annular shape with a width.
That is, a work contact member 4 having a diameter larger than the diameter of the diamond grindstone 3 is provided near the outer periphery of the base plate 2 and a work contact member 5 smaller than the diameter of the diamond grindstone 3 is provided near the center of the base plate 2. Note that only one of the work contact members 4 and 5 may be provided.

【００５５】このダイヤモンド砥石３はダイヤモンド砥
粒を結合剤で固めると共に台板２に固着したものであ
る。またワーク接触部材４，５は夫々ワーク１７によっ
て摩耗させられる物質で潤滑性のあるもの例えば含油セ
ラミックなどが適当である。The diamond grindstone 3 is obtained by hardening diamond abrasive grains with a binder and fixing it to the base plate 2. The work contact members 4 and 5 are suitably made of a material which is worn by the work 17 and has lubricity, for example, an oil-impregnated ceramic.

【００５６】ダイヤモンド砥石３の研削作用面３ａとワ
ーク接触部材４，５のワークとの接触面４ａ，５ａは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板２の背面に
は円筒形の凹形嵌合部２ａでもって砥石ホルダ６（前述
の符号２９，４３に代えて用いる）の凸形嵌合部６ａに
嵌合し、台板２の背面と砥石ホルダ６の前面を密着させ
台板２のボルト穴を挿通するボルト７を砥石ホルダ６に
ねじ込み固定されている。The grinding surface 3a of the diamond grindstone 3 and the contact surfaces 4a and 5a of the workpiece contact members 4 and 5 with the workpiece are on the same plane perpendicular to the grinding wheel axis. The rear surface of the base plate 2 is fitted to the convex fitting portion 6a of the grindstone holder 6 (used in place of the reference numerals 29 and 43) with a cylindrical concave fitting portion 2a on the back surface of the base plate 2. The bolt 7 is inserted into the bolt hole of the base plate 2 with the front surface of the grinding wheel holder 6 and the front surface of the grinding wheel holder 6 in close contact with each other.

【００５７】上記構成における作用について述べる。上
部回転砥石１６を上昇させた状態でスライドテーブル５
３を移動してワークセット穴６０ａの中心ＯＷを研削工
具１の中心ＯＧとオフセットｅして位置させる。このオ
フセットｅはダイヤモンド砥石３の平均半径である。ワ
ーク中心ＯＷは必ずダイヤモンド砥石３に重なる必要が
ある。ここで下部回転砥石１５を上昇してワーク支持板
６０下面に近接させ、ワーク１７をワーク１７の切欠部
１７ａをワークセット穴６０ａ内へ突出しているワーク
駆動部６０ｂに係合させてワーク１７をワークセット穴
６０ａ内へ嵌め込み、下部回転砥石１５上に載置する。
これによってワーク１７の上下面はワーク支持板６０上
下面よりも夫々上下へ出ている。ここで上部回転砥石１
６を下降してワーク１７に接近する。The operation of the above configuration will be described. Slide table 5 with upper rotating wheel 16 raised
3, the center OW of the work set hole 60a is offset from the center OG of the grinding tool 1 by e. This offset e is the average radius of the diamond grindstone 3. The work center OW must always overlap the diamond grindstone 3. Here, the lower rotating grindstone 15 is raised to approach the lower surface of the work support plate 60, and the work 17 is engaged with the work drive unit 60b projecting the cutout portion 17a of the work 17 into the work setting hole 60a. It fits into the work set hole 60a and is placed on the lower rotating grindstone 15.
As a result, the upper and lower surfaces of the work 17 project upward and downward, respectively, from the upper and lower surfaces of the work support plate 60. Here the upper rotating whetstone 1
6 descends and approaches the work 17.

【００５８】ここで砥石駆動モータ３４，４８、ワーク
駆動用の回転板回転用モータ６１を付勢すると夫々上下
部回転砥石１５，１６、ワーク１７は回転する。ここで
上部回転砥石１６を下降してワーク１７に切り込むと、
ダイヤモンド砥石３はワーク１７の両面を夫々研削す
る。この研削の際にワーク１７はダイヤモンド砥石３の
研削作用面３ａが作用している処（ワーク１７の中心を
とおる円弧帯）以外は、ワーク接触部材４，５でワーク
１７の外周近くを両面側より支持する。このワーク接触
部材４，５はワーク１７を摩耗させることはないがワー
ク１７により摩耗させられる材質、又はワーク１７を摩
耗させるがダイヤモンド砥石３よりもより早く摩耗する
材質が選ばれている。ワーク接触部材４，５は例えばア
ルミナ質砥粒又は炭化けい素質砥粒を軟らかい結合剤で
結合されている。Here, when the grindstone driving motors 34 and 48 and the rotating disk rotating motor 61 for driving the work are energized, the upper and lower rotating grindstones 15 and 16 and the work 17 respectively rotate. Here, when the upper rotating grindstone 16 is lowered and cut into the work 17,
The diamond grindstone 3 grinds both surfaces of the work 17 respectively. Except where the grinding surface 3a of the diamond grindstone 3 is acting (the arc band passing through the center of the work 17), the work 17 is near the outer periphery of the work 17 by the work contact members 4 and 5 on both sides. More support. The work contact members 4 and 5 are made of a material that does not wear the work 17 but is worn by the work 17 or a material that wears the work 17 but wears faster than the diamond grindstone 3. The workpiece contact members 4 and 5 are made of, for example, alumina abrasive grains or silicon carbide abrasive grains bonded with a soft binder.

【００５９】ワーク１７の加工が終わると上部回転砥石
１６を上昇し、下部回転砥石１５から外周側にはみ出し
ているワーク１７の部分１７ｂ（図７参照）を持ち上げ
てワーク１７をセット穴６０ａから抜いてワーク１７を
取り出す。When the processing of the work 17 is completed, the upper rotary grindstone 16 is lifted, and the portion 17b (see FIG. 7) of the work 17 protruding from the lower rotary grindstone 15 to the outer peripheral side is lifted, and the work 17 is removed from the set hole 60a. The work 17 is taken out.

【００６０】上述においてワーク１７としてウエハの直
径２００ｍｍ、ワーク回転速度１０ｒ．ｐ．ｍ、ダイヤ
モンド砥石３の外径１６０ｍ、内径１３０ｍｍ、上下の
回転砥石１５，１６を同速度で同方向に回転し、これら
の回転速度２０００〜３０００ｒ．ｐ．ｍで研削した
処、ＴＴＶ ０．３μｍ、研削時間は２分であった。In the above description, the work 17 has a wafer diameter of 200 mm and a work rotation speed of 10 r. p. m, the outer diameter of the diamond grindstone 3 is 160 m, the inner diameter is 130 mm, and the upper and lower rotating grindstones 15 and 16 are rotated in the same direction at the same speed. p. m, the TTV was 0.3 μm, and the grinding time was 2 minutes.

【００６１】（実施の形態２）図９、図１０はダイヤモ
ンドインプリ砥石を用いた研削工具１の例である。台板
２の表面には多数の同心円で同方向を半径方向の円につ
いて交互に分割位置を設けてダイヤモンドインプリ砥石
８を設けたものであり、ワーク１７に対してはワーク１
７の中心を研削工具１の外周がとおる位置から研削工具
１でワーク１７を全部覆ってしまう範囲で研削を行う。(Embodiment 2) FIGS. 9 and 10 show an example of a grinding tool 1 using a diamond impregnated grindstone. The surface of the base plate 2 is provided with a diamond impregnated grindstone 8 with a large number of concentric circles alternately provided in the same direction in radial circles.
Grinding is performed in a range in which the workpiece 17 is entirely covered by the grinding tool 1 from a position where the outer periphery of the grinding tool 1 passes through the center of 7.

【００６２】（実施の形態３）ワーク１７の片面の研削
仕上を主眼とすると、上述の両頭研削盤を用いて、下部
回転砥石１５を回転しないか、ゆるく回転して加工する
か、下部回転砥石１５をワーク１７に対して研削作用の
ゆるい、又は研削作用のない部材に変えてもよい。(Embodiment 3) When the main purpose is to grind one side of the work 17, the above-mentioned double-headed grinding machine is used to rotate the lower rotating grindstone 15, rotate it slowly, or work with the lower rotating grindstone. 15 may be changed to a member having a small or no grinding effect on the workpiece 17.

【００６３】（実施の形態４）ワーク１７の片面の研削
仕上を行う場合は端面を研削作用面とする砥石を有する
単頭平面研削盤によることもできる。図１１はかかる単
頭研削盤であって下部フレーム１１には下部砥石台関係
部材はなく、下部フレーム１１上にはガイドレール５２
とワーク支持部材１４のみが設けられる。なおこの場
合、下部フレーム１１上に平面の上面を設けて前述のワ
ーク支持板６０をこの上面に接触又は接近するように設
けてもよく、ワークセット穴６０ａに底を設けてもよ
い。この場合、ワークセット穴６０ａの深さは当然ワー
ク１７の厚さよりも小さい。(Embodiment 4) In the case where one side of the work 17 is to be ground, a single-head plane grinder having a grindstone having an end surface as a grinding surface may be used. FIG. 11 shows such a single-headed grinding machine, in which the lower frame 11 has no lower wheel head-related members.
And only the work supporting member 14 are provided. In this case, a flat upper surface may be provided on the lower frame 11, and the above-described work support plate 60 may be provided so as to contact or approach the upper surface, or a bottom may be provided in the work set hole 60a. In this case, the depth of the work set hole 60 a is naturally smaller than the thickness of the work 17.

【００６４】本発明の実施の形態は上述のようにウエハ
の結晶方位を示すために設ける切欠部へ駆動部を突出さ
せたワークセット穴を有するウエハよりも薄いワーク支
持板を回転駆動した状態でウエハの上下面に砥石を同時
に作用させて研削するようにしたので、ウエハが確実に
回転送りを与えられ研削作用がウエハの全面に平均して
作用し両面同時に研削されるという効果がある。そして
研削であるため短時間で良好な表面粗度を確保できると
共に真空チャックによりウエハを吸着する場合、真空チ
ャックの吸着面に引き込まれることにより、平とされた
状態で、形状精度の良好でないウエハを加工して真空チ
ャックより取り外した場合に弾力により形状が復元して
形状精度が悪化するが、この実施の形態によればワーク
支持のためにワークを平にしないので形状精度が良好で
ある。In the embodiment of the present invention, as described above, a work supporting plate thinner than a wafer having a work set hole with a driving portion protruding into a notch provided to indicate the crystal orientation of the wafer is driven to rotate. Since the grindstones are simultaneously applied to the upper and lower surfaces of the wafer for grinding, there is an effect that the wafer is reliably fed in rotation, the grinding action acts on the entire surface of the wafer and both surfaces are simultaneously ground. And because of the grinding, good surface roughness can be secured in a short time, and when the wafer is sucked by the vacuum chuck, the wafer is pulled into the suction surface of the vacuum chuck, and is flattened. When processing is removed from the vacuum chuck, the shape is restored by the elasticity and the shape accuracy is deteriorated. However, according to this embodiment, since the work is not flattened to support the work, the shape accuracy is good.

【００６５】また片面研削の場合も上述のようにウエハ
はワーク支持板のセット穴に嵌合して駆動部をウエハ結
晶の方位を見るための切欠部に嵌合して強制的にウエハ
に回転送りを与えるものであるため、良好な表面粗度と
併せて形状精度が良好となる。Also, in the case of single-side grinding, as described above, the wafer is fitted into the set hole of the work support plate, and the driving section is fitted into the notch for observing the orientation of the wafer crystal, and is forcedly rotated on the wafer. Since it gives the feed, the shape accuracy becomes good in addition to the good surface roughness.

【００６６】また本発明の実施の形態に用いる研削工具
は台板端面に円環状にダイヤモンド砥石を配しその内外
周に夫々円環状にワーク接触部を設けてあるので、ダイ
ヤモンド砥石がカップ砥石形態でウエハの一部しか砥石
の研削作用面で押えられないので、ウエハを如何にして
支持すべきであるるかという課題が装置本体にワーク支
持手段を付設することなく解決される。In the grinding tool used in the embodiment of the present invention, a diamond grindstone is arranged in an annular shape on the end face of the base plate, and a workpiece contact portion is provided in an annular shape on the inner and outer circumferences. Since only a part of the wafer is held down by the grinding action surface of the grindstone, the problem of how to support the wafer can be solved without providing a work supporting means to the apparatus main body.

【００６７】また、この研削工具によれば薄板の形状が
円形でなく、砥石の研削作用面が接する部分以外が支持
されない形状例えば四角板、多角形、不定形状の薄板の
加工においても効果がある。Further, this grinding tool is effective also in the processing of a thin plate having a non-circular shape, in which a portion other than the portion where the grinding action surface of the grindstone is in contact is not supported, for example, a square plate, a polygon, or an irregular shape. .

【００６８】実施の形態の研削盤は竪形両頭平面研削
盤、竪形単頭平面研削盤について述べたが横型両頭平面
研削盤、横型単頭平面研削盤を用いてもよい。Although the vertical double-sided surface grinding machine and the vertical single-sided surface grinding machine have been described as the grinding machines in the embodiment, a horizontal double-sided surface grinding machine or a horizontal single-sided surface grinding machine may be used.

【００６９】（実施の形態５）図１２はワーク支持部材
の他の実施の形態５を示す平面図、図１３は図１２の縦
断面図である。(Embodiment 5) FIG. 12 is a plan view showing another embodiment 5 of a work supporting member, and FIG. 13 is a longitudinal sectional view of FIG.

【００７０】この実施の形態５は前各実施の形態と同様
に回転板５７に取り付けるワーク支持板６０の構成が異
なるがその他は同一である。The fifth embodiment differs from the previous embodiments in the structure of the work support plate 60 attached to the rotary plate 57, but is otherwise the same.

【００７１】全体を符号５７で示す回転板の外周枠５７
ａにはワーク支持板６０が固定されている。ワーク支持
板６０は中抜き円板状の金属板６０ｃの内周に中抜きワ
ーク保持板６０ｄ（ワーク保持部材）を一体的に設けた
ものである。The outer peripheral frame 57 of the rotating plate indicated by the reference numeral 57
A work support plate 60 is fixed to a. The work support plate 60 is formed by integrally forming a hollow work holding plate 60d (work holding member) on the inner periphery of a hollow disk-shaped metal plate 60c.

【００７２】ワーク保持板６０ｄと金属板６０ｃを合せ
ると、前述の実施の形態のワーク支持板６０と同一であ
る。ワーク保持板６０ｄは金属板６０ｃと一体成形また
は溶着または接着してある。金属板６０ｃ、ワーク保持
板６０ｄの厚さは常にワーク１７であるウエハの厚さよ
り薄い。金属板６０ｃとワーク保持板６０ｄとは同厚も
しくは、厚さを異にする。ワーク保持板６０ｄは合成樹
脂または硬質ゴム銅合金、アルミニウム合金等のワーク
１７よりも軟質の材料で作られるものである。When the work holding plate 60d and the metal plate 60c are combined, they are the same as the work support plate 60 of the above-described embodiment. The work holding plate 60d is integrally molded, welded or bonded to the metal plate 60c. The thickness of the metal plate 60c and the work holding plate 60d is always smaller than the thickness of the work 17 or the wafer. The metal plate 60c and the work holding plate 60d have the same thickness or different thicknesses. The work holding plate 60d is made of a material softer than the work 17 such as a synthetic resin or a hard rubber copper alloy or an aluminum alloy.

【００７３】この実施の形態５においては、ワーク駆動
部６０ｂはワーク保持板６０ｄの内周となるセット穴６
０ａよりもワーク保持板６０ｄの内側へ突出している。
即ち、ワーク駆動部６０ｂは金属板６０ｃからワーク保
持板６０ｄを半径方向に横切るように突出形成されてい
る。In the fifth embodiment, the work driving portion 60b is provided with a set hole 6 which is an inner periphery of the work holding plate 60d.
0a protrudes inside the work holding plate 60d.
That is, the work drive unit 60b is formed so as to protrude from the metal plate 60c so as to cross the work holding plate 60d in the radial direction.

【００７４】この実施の形態５によれば、ワーク１７が
ワーク１７よりも軟かい材料のワーク保持板６０ｄで保
持されて回転されるので、ワーク１７の外周部が研削抵
抗の変動でワーク保持板６０ｄの内周との間でチャタリ
ングが生じてその結果ワーク１７外周にチッピング等の
損傷が生ずるのを防止する効果がある。According to the fifth embodiment, since the work 17 is held and rotated by the work holding plate 60d made of a material softer than the work 17, the outer peripheral portion of the work 17 is affected by the fluctuation of the grinding resistance. This has the effect of preventing chattering from occurring with the inner periphery of 60d and, as a result, damage such as chipping to the outer periphery of the work 17 from occurring.

【００７５】なお、上述でワーク保持板において半径方
向の幅を小さくして行くと、金属板６０ｃの内周に金属
を渡金したと同様になる。また、金属板の内周に合成樹
脂材を溶着してもよい。即ち、金属板６０ｃの内周にコ
ーティングしたものもこの実施の形態に含まれる。When the width in the radial direction of the work holding plate is reduced as described above, it is the same as when the metal is transferred to the inner periphery of the metal plate 60c. Further, a synthetic resin material may be welded to the inner periphery of the metal plate. That is, the inner periphery of the metal plate 60c is also included in this embodiment.

【００７６】（実施の形態６）この実施の形態６はウエ
ハ等の切欠部１７ａにワーク駆動部６０ｂを嵌合した状
態で回転板５７が回転した際にワーク１７の切欠部１７
ａが欠けたりするおそれを防止するためのものである。(Embodiment 6) In this embodiment 6, when the rotary plate 57 is rotated with the work driving unit 60b fitted in the notch 17a of a wafer or the like, the notch 17
This is to prevent the possibility that "a" is chipped.

【００７７】図１４、図１５に示すようにワーク駆動部
６０ｂは金属で製作されたワーク支持板６０の本体６０
ｅの内周から半径方向に角形に切り込んだ切り込み部６
０ｆに入り込む形でワーク駆動部６０ｂの根本部６０ｂ
１が前記本体６０ｅと固着するように一体成形または接
着されている。もしくは本体６０ｅとワーク駆動部６０
ｂは溶着されている。ワーク駆動部６０ｂは合成樹脂、
アルミニウム合金、銅合金等のワーク１７例えばウエハ
よりも軟らかい材料が選択される。As shown in FIGS. 14 and 15, the work drive unit 60b is a main body 60 of a work support plate 60 made of metal.
a notch 6 cut into a square in the radial direction from the inner circumference of e
0f, the root portion 60b of the work drive portion 60b
1 is integrally formed or bonded so as to be fixed to the main body 60e. Alternatively, the main body 60e and the work driving unit 60
b is welded. The work drive unit 60b is made of synthetic resin,
A material softer than the work 17 such as an aluminum alloy or a copper alloy, for example, a wafer, is selected.

【００７８】上述においてワーク駆動部６０ｂ、金属板
であるワーク支持板本体６０ｅの厚さはワーク１７の厚
さよりも薄い。In the above description, the thickness of the work drive section 60 b and the work support plate main body 60 e, which is a metal plate, is smaller than the thickness of the work 17.

【００７９】この実施の形態６によれば、研削抵抗の変
動等によりウエハノッチ部にチッピング等の損傷が入る
のを防ぐことができる。According to the sixth embodiment, it is possible to prevent the wafer notch from being damaged by chipping or the like due to a change in grinding resistance or the like.

【００８０】（実施の形態７）図１６、図１７は実施の
形態７を示す。この実施の形態７ではワーク支持板６０
は金属板の外周側円板６０ｇと内周側の合成樹脂のワー
ク支持板６０ｈとを一体的に有し、外周側円板６０ｇと
内周側のワーク支持板６０ｈは一体成形または溶着また
は接着している。この実施の形態７ではワーク支持板６
０ｈの内周には一体にワーク駆動部６０ｂを備えてい
る。(Seventh Embodiment) FIGS. 16 and 17 show a seventh embodiment. In the seventh embodiment, the work support plate 60
Has an outer peripheral disk 60g of a metal plate and an inner peripheral synthetic resin work support plate 60h integrally, and the outer peripheral disk 60g and the inner peripheral work support plate 60h are integrally formed or welded or bonded. doing. In the seventh embodiment, the work support plate 6
A work drive unit 60b is integrally provided on the inner periphery of 0h.

【００８１】なお外周側円板６０ｇを例えば鉄材で製作
し、ワーク支持板６０ｈを非鉄金属、例えば、銅合金、
アルミニウム合金または合成樹脂等のワーク１７例えば
ウエハよりも軟質の材料で製作している。The outer peripheral disk 60g is made of, for example, an iron material, and the work supporting plate 60h is made of a non-ferrous metal, for example, a copper alloy.
The work 17 such as an aluminum alloy or a synthetic resin is made of a material softer than a wafer, for example.

【００８２】この実施の形態７によれば外周側円板６０
ｇが外周枠５７ａに固定されているので剛性が保たれる
と共にワーク支持板６０ｈおよびここに形成されたワー
ク駆動部６０ｂがワーク１７よりも軟質のため、研削抵
抗の変動等によりワーク１７にチッピングが生ずるのを
防止できる。According to the seventh embodiment, the outer peripheral disk 60
Since g is fixed to the outer peripheral frame 57a, the rigidity is maintained, and the work support plate 60h and the work drive unit 60b formed here are softer than the work 17, so that the work 17 is chipped due to a change in grinding resistance or the like. Can be prevented from occurring.

【００８３】なお実施の形態７において、前述した処で
は外周側円板６０ｇの板面の縁の両側にわたるようにワ
ーク支持板６０ｈを設けてあり、ワーク支持板６０ｈの
厚さは外周側円板６０ｇよりも厚さは厚い。そこで接
着、熱溶着等でワーク支持板６０ｈを外周側円板６０ｇ
に固着する際はワーク支持板６０ｈの外周に周方向の溝
を設け、この溝を外周側円板６０ｇの内周に嵌め込むよ
うにするようにしている。In the seventh embodiment, the work supporting plate 60h is provided so as to extend to both sides of the edge of the plate surface of the outer peripheral disk 60g in the above-described manner. It is thicker than 60 g. Therefore, the work supporting plate 60h is bonded to the outer peripheral side disk 60g by bonding, heat welding, or the like.
When fixing to the work support plate 60h, a circumferential groove is provided on the outer periphery of the work support plate 60h, and the groove is fitted into the inner periphery of the outer peripheral disk 60g.

【００８４】しかし、ワーク支持板６０ｈの厚みが薄
く、外周側円板６０ｇとの嵌め込み用の溝を形成するこ
とが困難であり、又、厚み面同志で接着または溶着する
ことが困難な場合、図１８、図１９のように、外周側円
板６０ｇ上にワーク支持板６０ｈの片面縁部を重ね合わ
せ、この接した面を接着または溶着することにより一体
化することもできる。However, when the thickness of the work supporting plate 60h is small, it is difficult to form a groove for fitting with the outer peripheral side disk 60g, and when it is difficult to adhere or weld with the same thickness, As shown in FIGS. 18 and 19, the edge of one side of the work support plate 60h may be superimposed on the outer peripheral disk 60g, and the contacted surfaces may be bonded or welded to be integrated.

【００８５】（実施の形態８）前述した各実施の形態で
はワーク駆動部はワーク支持板と一体またはワーク支持
板に固定されて不動である。(Embodiment 8) In each of the above-described embodiments, the work drive unit is integral with or fixed to the work support plate and is immobile.

【００８６】この実施の形態８はワーク駆動部をワーク
支持板に対して弾性保持したものである。図２０〜図２
３はこの実施の形態８を示す。In the eighth embodiment, the work drive unit is elastically held on the work support plate. 20 to 2
3 shows the eighth embodiment.

【００８７】図２０はワーク支持部材を上から見る平面
図である。回転板５７のワーク支持板６０の上面には回
転板５７の中心へ向って半径方向にワーク駆動部６０ｂ
が設けられている。FIG. 20 is a plan view of the work supporting member as viewed from above. On the upper surface of the work supporting plate 60 of the rotating plate 57, a work driving unit 60b is provided in a radial direction toward the center of the rotating plate 57.
Is provided.

【００８８】ワーク駆動部６０ｂはワーク１７の切欠部
１７ａに嵌合する突端６０ｂ２を有し、この突端６０ｂ
２から退いた位置から後部へのびる胴部６０ｂ３の中間
がブラケット６６の下面に設けた円筒形のスタッド６３
に遊嵌して外周枠５７ａに取り付けられている。このス
タッド６３はブラケット６６の高さよりもδ／２だけ高
い位置に首下がある。このスタッド６３にはナット６４
がねじ込まれている。従ってワーク駆動部６０ｂはわず
かに動き得る。また胴部６０ｂ３上面とブラケット６６
間にもδ／２の隙間がある。The work drive section 60b has a protruding end 60b2 that fits into the notch 17a of the work 17, and this protruding end 60b
A cylindrical stud 63 provided on the lower surface of the bracket 66 at the middle of the body 60b3 extending rearward from the position retracted from
And is attached to the outer peripheral frame 57a. The stud 63 has a neck lower than the height of the bracket 66 by δ / 2. The stud 63 has a nut 64
Is screwed. Therefore, the work drive unit 60b can move slightly. Also, the upper surface of the torso 60b3 and the bracket 66
There is a gap of δ / 2 between them.

【００８９】即ち、上記δは０．１ｍｍ以下である。即
ち、突端６０ｂ２、胴部６０ｂ３を有するワーク駆動部
材６０ｂ４は上下には殆んど移動しないようにしてあ
る。この胴部６０ｂ３は角形であり、この両側を挟持し
て緩衝材６５が配設されている。この緩衝材６５を接
着、溶着した取付ブラケット６６は図示されないボルト
でワーク支持板６０の上面に固定されている。従って前
記ワーク駆動部６０ｂを構成するワーク駆動部材６０ｂ
４は緩衝材６５でもって制動されてわずかに水平面内で
可動であって、突端６０ｂ２に加わる衝撃を小さくする
ようにしてある。そして突端６０ｂ２側のワーク駆動部
材６０ｂ４の厚さはワーク１７の厚さよりも小さく、そ
の幅はワーク支持板６０に設けた半径方向にのスリット
６０ｉに遊嵌している。That is, the above δ is 0.1 mm or less. That is, the work driving member 60b4 having the protruding end 60b2 and the trunk portion 60b3 hardly moves up and down. The body 60b3 is rectangular, and the cushioning material 65 is provided so as to sandwich both sides thereof. The mounting bracket 66 to which the cushioning material 65 is adhered and welded is fixed to the upper surface of the work support plate 60 with a bolt (not shown). Therefore, the work drive member 60b constituting the work drive unit 60b
Numeral 4 is braked by the cushioning material 65 and is slightly movable in a horizontal plane so as to reduce the impact applied to the tip 60b2. The thickness of the work driving member 60b4 on the side of the protruding end 60b2 is smaller than the thickness of the work 17, and its width is loosely fitted to a radial slit 60i provided on the work support plate 60.

【００９０】回転板５７が回転すると、ワーク駆動部６
０ｂの突端６０ｂ２はワーク１７の切欠部１７ａと係合
してワーク１７を回転させる。研削負荷の変動がある
と、ワーク１７を駆動する回転力は変動してワーク駆動
部６０ｂの突端６０ｂ２に加わるが、胴部６０ｂ３の両
側の緩衝材６５でもってワーク１７の切欠部１７ａとワ
ーク駆動部６０ｂの突端６０ｂ２間に生ずる衝撃は緩和
される。これによって、ワーク１７が例えばウエハのよ
うな場合であってもワーク１７の切欠部１７ａの損傷、
ワーク１７の外周のチッピングが生じない。When the rotating plate 57 rotates, the work driving unit 6
The protrusion 60b2 of 0b engages with the notch 17a of the work 17 to rotate the work 17. When the grinding load fluctuates, the rotational force for driving the work 17 fluctuates and is applied to the protruding end 60b2 of the work drive unit 60b, but the notch portion 17a of the work 17 and the work drive are supported by the cushioning material 65 on both sides of the body 60b3. The impact generated between the protruding ends 60b2 of the portion 60b is reduced. Thereby, even if the work 17 is, for example, a wafer, the notch 17a of the work 17 may be damaged,
No chipping occurs on the outer periphery of the work 17.

【００９１】（実施の形態９）図２４〜図２８にこの実
施の形態９を示す。Ninth Embodiment FIGS. 24 to 28 show a ninth embodiment.

【００９２】図２４、図２５に示すように回転板５７の
外周枠５７ａのすぐ内側にワーク駆動部６０ｂが配設さ
れている。回転板５７とワーク駆動部材６０ｂ４は同一
面にあり、ワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２がワ
ーク１７の切欠部１７ａに係合可能となっている。ワー
ク駆動部６０ｂはワーク駆動部材６０ｂ４をワーク１７
の半径方向へ突出移動して切欠部１７ａに係合した位置
（図２６（ｂ）参照）と、切欠部１７ａから後退した位
置（図２６（ａ）参照）を取るようにアクチュエータ６
７に取り付けられている。アクチュエータ６７は外周枠
５７ａの下面に固定されたマニフォルド６８に固定され
ている。回転板回転用モータ６１はサーボモータであっ
て図示されない制御装置により、付勢されて回転板５７
を回転すると共に回転板５７を一定位置に停止させる。As shown in FIGS. 24 and 25, a work drive unit 60b is provided immediately inside the outer peripheral frame 57a of the rotary plate 57. The rotating plate 57 and the work drive member 60b4 are on the same plane, and the protruding end 60b2 of the work drive member 60b4 can be engaged with the notch 17a of the work 17. The work drive unit 60b connects the work drive member 60b4 to the work 17
The actuator 6 moves so as to take a position (see FIG. 26 (b)) protruding in the radial direction and engaging with the notch 17a (see FIG. 26 (b)) and a position (see FIG. 26 (a)) retracted from the notch 17a.
7 is attached. The actuator 67 is fixed to a manifold 68 fixed to the lower surface of the outer peripheral frame 57a. The rotating plate rotating motor 61 is a servomotor, and is energized by a control device (not shown) to rotate the rotating plate 57.
Is rotated, and the rotating plate 57 is stopped at a fixed position.

【００９３】この回転板５７の定位置停止位置におい
て、マニフォルド６８の入口６８ａに向って進退し、こ
の入口６８ａに先端部６９ａが嵌合する位置と、この入
口６８ａから先端部６９ａが後退した位置をとるプラン
ジャ６９を備えた流体圧シリンダ７１がスライドテーブ
ル５３に固定されている。この流体圧シリンダ７１に対
しては圧力流体源、例えば、空気圧縮装置７２から切換
弁７３を介して圧縮空気が給排されるようになってい
る。At the fixed position stop position of the rotary plate 57, the rotary plate 57 advances and retreats toward the entrance 68a of the manifold 68, and a position where the tip 69a fits into the entrance 68a and a position where the tip 69a retreats from the entrance 68a. A fluid pressure cylinder 71 having a plunger 69 is fixed to the slide table 53. Compressed air is supplied to and discharged from the fluid pressure cylinder 71 from a pressure fluid source, for example, an air compressor 72 via a switching valve 73.

【００９４】図２７はアクチュエータ６７を示す。アク
チュエータ６７は円筒形のシリンダ室を有するシリンダ
本体６７ａとシリンダ本体６７ａに密に嵌合して進退可
能なプランジャ６７ｂとシリンダ本体６７ａの後部シリ
ンダ室６７ｒに縮設された圧縮コイルばね７４と、プラ
ンジャ６７ｂの周囲に設けたプランジャ６７ｂの軸方向
の溝６７ｂ１に先端が嵌合し、シリンダ本体６７ａにね
じ込まれた小ねじ７５とを有してプランジャ６７ｂはシ
リンダ本体６７ａに対して回転しないようになってい
る。プランジャ６７ｂの先端の水平方向に設けたすり割
溝６７ｂ２にワーク駆動部材６０ｂ４を嵌入し、プラン
ジャ６７ｂにねじ込んだ小ねじ７６でもってワーク駆動
部材６０ｂ４を押圧してある。アクチュエータ６７の前
部シリンダ室６７ｆに通ずるポート６７ｃはマニフォル
ド６８の圧縮空気通路６８ｂに連通している。FIG. 27 shows the actuator 67. The actuator 67 includes a cylinder body 67a having a cylindrical cylinder chamber, a plunger 67b which can be fitted and retracted in the cylinder body 67a, a compression coil spring 74 contracted in a rear cylinder chamber 67r of the cylinder body 67a, and a plunger. The tip is fitted into an axial groove 67b1 of the plunger 67b provided around the periphery of the cylinder 67b, and has a small screw 75 screwed into the cylinder body 67a, so that the plunger 67b does not rotate with respect to the cylinder body 67a. ing. The work drive member 60b4 is fitted in a slot 67b2 provided in the horizontal direction at the tip of the plunger 67b, and the work drive member 60b4 is pressed by a small screw 76 screwed into the plunger 67b. A port 67c communicating with the front cylinder chamber 67f of the actuator 67 communicates with a compressed air passage 68b of the manifold 68.

【００９５】図２８に示すようにマニフォルド６８の圧
縮空気通路６８ｂの入口６８ａは円錐形をしている。流
体圧シリンダ７１のシリンダ本体７１ａに密に嵌合する
プランジャ６９の先端部６９ａは上記マニフォルド６８
の入口６８ａに一致する円錐形をしている。プランジャ
６９の中心にはプランジャ６９の進退方向に貫通する圧
縮空気の通路６９ｃが設けられている。この通路６９ｃ
は細穴またはオリフィル（不図示）を有し、プランジャ
６９ｂの前進を確保する。これによって流体圧シリンダ
７１のシリンダ本体７１ａの後部シリンダ室７１ｒとプ
ランジャ先端部６９ａとは連通している。シリンダ本体
７１ａの前部シリンダ室７１ｆ、後部シリンダ室７１ｒ
は夫々ポート７１ｂ，７１ｃで切換弁７３に通じてい
る。なお、切換弁７３は圧縮空気を圧力源とする場合は
三方切換弁である。As shown in FIG. 28, the inlet 68a of the compressed air passage 68b of the manifold 68 has a conical shape. The distal end portion 69a of the plunger 69 that closely fits into the cylinder body 71a of the fluid pressure cylinder 71 is connected to the manifold 68 described above.
Has a conical shape corresponding to the entrance 68a. At the center of the plunger 69, a passage 69c for compressed air is provided which penetrates in the reciprocating direction of the plunger 69. This passage 69c
Have a small hole or orifice (not shown) to ensure the advance of the plunger 69b. Thus, the rear cylinder chamber 71r of the cylinder main body 71a of the fluid pressure cylinder 71 communicates with the plunger tip 69a. Front cylinder chamber 71f, rear cylinder chamber 71r of cylinder body 71a
Are connected to the switching valve 73 at ports 71b and 71c, respectively. The switching valve 73 is a three-way switching valve when using compressed air as a pressure source.

【００９６】上記構成の実施の形態９の作用を説明す
る。The operation of the ninth embodiment having the above structure will be described.

【００９７】前回の加工が終了し、両頭平面研削盤が運
転を停止している状態では、流体圧シリンダ７１のプラ
ンジャ６９は後退位置に有り、プランジャ６９の先端部
６９ａはマニフォルド６８の入口６８ａから後退してお
り、ワーク駆動部材６０ｂ４を取り付けたプランジャ６
７ｂは圧縮コイルばね７４のばね力でで前進した前進端
に有る。このプランジャ６７ｂの前進端位置においては
ワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２はワーク１７の
切欠部１７ａの位置よりも回転板５７の中心側に有る。When the previous machining has been completed and the double-sided surface grinding machine has stopped operating, the plunger 69 of the fluid pressure cylinder 71 is at the retracted position, and the tip 69 a of the plunger 69 is connected to the inlet 68 a of the manifold 68. The plunger 6 which is retracted and has the work driving member 60b4 attached thereto.
Reference numeral 7b is at the forward end which has been advanced by the spring force of the compression coil spring 74. At the forward end position of the plunger 67b, the projecting end 60b2 of the work drive member 60b4 is located closer to the center of the rotary plate 57 than the position of the notch 17a of the work 17.

【００９８】ワーク１７を取り付けるには切換弁７３を
切り換えて流体シリンダ７１の後部シリンダ室７１ｒに
圧縮空気を送り込む。この圧縮空気は後部シリンダ室７
１ｒから通路６９ｃを通じて外部へ逃げるが、通路６９
ｃの絞り抵抗のため、プランジャ６９ｂには前進方向の
推力が生じて前進し、プランジャ先端部６９ａは一定位
置に停止している回転板５７に備えるマニフォルド６８
の入口６８ａに嵌め合され、圧縮空気はプランジャ６９
の通路６９ｃ、マニフォルド６８の通路６８ｂ、ポート
６７ｃをとおり、アクチュエータ６７の前部シリンダ室
６７ｆに進入し、圧縮コイルばね７４のばね力に抗して
プランジャ６７ｂを後退させる。これによってワーク駆
動部材６０ｂ４は後退する。この状態でワーク１７の欠
切部１７ａをワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２に
一致させてセット穴６０ａに嵌め込む。なお、この際の
ワーク１７を保持する仕方は両頭平面研削盤にワーク１
７をセットする際の前述の実施の形態と同様である。To mount the work 17, the switching valve 73 is switched to send compressed air to the rear cylinder chamber 71 r of the fluid cylinder 71. This compressed air is supplied to the rear cylinder chamber 7.
1r escapes to the outside through the passage 69c.
Due to the throttle resistance of c, the plunger 69b moves forward due to the generation of a thrust in the forward direction, and the plunger tip 69a is provided with the manifold 68 provided on the rotating plate 57 stopped at a fixed position.
And the compressed air is fitted into the plunger 69.
Through the passage 69c, the passage 68b of the manifold 68, and the port 67c, and enters the front cylinder chamber 67f of the actuator 67, and retreats the plunger 67b against the spring force of the compression coil spring 74. As a result, the work driving member 60b4 moves backward. In this state, the notch 17a of the work 17 is fitted into the set hole 60a so as to coincide with the protruding end 60b2 of the work drive member 60b4. The way of holding the work 17 at this time is as follows.
7 is the same as in the previous embodiment when setting 7.

【００９９】次に空気圧縮装置７２からの圧縮空気を切
換弁７３で切り換えると、圧縮空気は流体圧シリンダ７
１の前部シリンダ室７１ｆに送入されると共に後部シリ
ンダ室７１ｒの圧縮空気は大気中へ解放され、プランジ
ャ６９は後退し、プランジャ先端６９ａはマニフォルド
６８の入口６８ａから離れる。これと同時にアクチュエ
ータ６７の前部シリンダ室６７ｆの圧縮空気はポート６
７ｃ、通路６８ｂをとおり入口６８ａから大気中へ放出
される。従って今まで前部シリンダ室６７ｆ中の圧縮空
気圧力で左行して縮められていた圧縮コイルばね７４の
ばね力でプランジャ６７ｂは前進し、ワーク駆動部材６
０ｂ４はワーク１７の欠切部１７ａに向って進む。この
際にワーク駆動部材６０ｂ４の三角形の突端６０ｂ２と
ワーク１７のＶ形の欠切部１７ａとの間に図２４（ａ）
に示すようにずれαがあったとしても、ワーク駆動部材
６０ｂ４は圧縮コイルばね７４のばね力でもってその突
端６０ｂ２が欠切部１７ａに進入する力でワーク１７は
セット穴６０ａ中で回転して図２６の（ａ）から（ｂ）
のようにワーク駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２と欠切
部１７ａは一致する。このようにワーク１７をワーク支
持部材１４にセットする際、ワーク１７の欠切部がラフ
にセットされても、正しい位置にセットされる。Next, when the compressed air from the air compressor 72 is switched by the switching valve 73, the compressed air is
The compressed air in the rear cylinder chamber 71r is released into the atmosphere while being sent to the front cylinder chamber 71f, and the plunger 69 retreats, and the plunger tip 69a leaves the inlet 68a of the manifold 68. At the same time, the compressed air in the front cylinder chamber 67f of the actuator 67 is supplied to the port 6
7c, the air is discharged from the inlet 68a into the atmosphere through the passage 68b. Therefore, the plunger 67b moves forward by the spring force of the compression coil spring 74, which has been contracted leftward by the compressed air pressure in the front cylinder chamber 67f, and the work drive member 6
Ob4 advances toward the notch 17a of the work 17. At this time, between the triangular protrusion 60b2 of the work driving member 60b4 and the V-shaped cutout 17a of the work 17, FIG.
Even if there is a shift α as shown in FIG. 5, the work driving member 60b4 is rotated by the force of the compression coil spring 74 so that the protruding end 60b2 enters the notch 17a, and the work 17 rotates in the set hole 60a. From (a) to (b) in FIG.
As described above, the protruding end 60b2 of the work driving member 60b4 and the notched portion 17a coincide. When the work 17 is set on the work support member 14 as described above, the work 17 is set at a correct position even if the notched portion of the work 17 is roughly set.

【０１００】上述のようにしてあるため、マニフォルド
６８、アクチュエータ６７、ワーク駆動部材６０ｂ４は
回転板５７と一体的になって回転する。そこで、研削抵
抗に変動があることにより、ワーク駆動部材６０ｂ４の
突端６０ｂ２とワーク１７の切欠部１７ａ間に圧縮コイ
ルばね７４のばね力が作用した状態でガタがないのでこ
の突端６０ｂ２と切欠部１７ａがぶつかりワーク１７に
チッピング等の損傷が生ずるのを防止できる。また、ワ
ーク１７を回転板５７に対して着脱する際も、ワーク欠
切部１７ａとワーク駆動部６０ｂ間は離れているのでワ
ーク１７はセット穴６０ａにラフにセットできる。As described above, the manifold 68, the actuator 67, and the work driving member 60b4 rotate integrally with the rotating plate 57. Therefore, since there is no backlash in the state where the spring force of the compression coil spring 74 acts between the protruding end 60b2 of the work driving member 60b4 and the notch 17a of the work 17 due to the fluctuation of the grinding resistance, the protruding end 60b2 and the notch 17a The work 17 can be prevented from being damaged, such as chipping. Also, when the work 17 is attached to and detached from the rotary plate 57, the work 17 can be roughly set in the set hole 60a because the work cutout 17a and the work drive unit 60b are separated.

【０１０１】ワーク１７の研削が終ると回転板５７は定
位置で停止する。切換弁７３を切り換えるとプランジャ
６９は前進してその先端部６９ａはマニフォルド６８の
入口６８ａに嵌合すると共にマニフォルド６８の通路６
９ｂ、アクチュエータ６７のポート６７ｃを通じてアク
チュエータ６７の前部シリンダ室６７ｆに圧縮空気を送
入し、プランジャ６７ｂを圧縮コイルばね７４のばね力
に抗して後退させ、ワーク１７の切欠部１７ａとワーク
駆動部材６０ｂ４の突端６０ｂ２との間に隙間を生じさ
せる。ここで加工済ワーク１７を取り外し、未加工ワー
ク１７をセット穴６０ａに嵌め合せる。When the grinding of the work 17 is completed, the rotary plate 57 stops at a fixed position. When the switching valve 73 is switched, the plunger 69 moves forward, and its tip portion 69a fits into the inlet 68a of the manifold 68 and the passage 6 of the manifold 68.
9b, compressed air is fed into the front cylinder chamber 67f of the actuator 67 through the port 67c of the actuator 67, and the plunger 67b is retracted against the spring force of the compression coil spring 74 to drive the notch 17a of the work 17 and the work drive. A gap is created between the member 60b4 and the protruding end 60b2. Here, the processed work 17 is removed, and the unprocessed work 17 is fitted into the set hole 60a.

【０１０２】（実施の形態１０）この実施の形態１０は
実施の形態８において、研削抵抗の変動を検出するよう
にしたものである。図２９〜図３１にこの実施の形態１
０を示す。ワーク支持部材としては図２１、図２２に示
した実施の形態８と全体構成が同一である。(Embodiment 10) Embodiment 10 differs from Embodiment 8 in that fluctuations in grinding resistance are detected. FIGS. 29 to 31 show the first embodiment.
Indicates 0. The work supporting member has the same overall configuration as the eighth embodiment shown in FIGS. 21 and 22.

【０１０３】図３１に示すようにワーク駆動部材６０ｂ
４の胴部６０ｂ３は緩衝材６５で挟持されている。この
緩衝材６５に穴を設けてワーク駆動部材６０ｂ４の胴部
６０ｂ３の両側の夫々と取付ブラケット６６の内壁間に
圧力検出器７７（７７ａ，７７ｂ）を設けてある。この
圧力検出器７７は圧電素子であるが変位計等であっても
よい。圧力検出器７７で検出された圧力は圧電変換さ
れ、オペアンプ７８ａ，７８ｂで夫々増幅して比較器を
含む制御装置７９で圧力検出器７７ａ，７７ｂが検出し
た圧力の差を算出し、数値制御装置８１を介して、ワー
ク回転速度、砥石回転速度、砥石切り込みを制御する。As shown in FIG. 31, the work drive member 60b
4 is sandwiched by the cushioning material 65. A hole is provided in the buffer material 65, and a pressure detector 77 (77a, 77b) is provided between each of the two sides of the body 60b3 of the work drive member 60b4 and the inner wall of the mounting bracket 66. The pressure detector 77 is a piezoelectric element, but may be a displacement meter or the like. The pressure detected by the pressure detector 77 is piezoelectrically converted, amplified by operational amplifiers 78a and 78b, respectively, and the control device 79 including a comparator calculates the difference between the pressures detected by the pressure detectors 77a and 77b. Via 81, the work rotation speed, the grinding wheel rotation speed and the grinding wheel cutting are controlled.

【０１０４】図２９、図３０に示すように上記圧力検出
器７７ａ，７７ｂ間はワーク支持板６０の下面に設けた
回転板５７と同心の二条のスリップリング８２とスリッ
プリング８２に夫々摺動する２本のブラッシ８３により
オペアンプ１８ａ，１８ｂに取り出す。または、図示さ
れないが、圧力検出器７７ａ，７７ｂに電波発信器（不
図示）を備え、無線受信器を介して前記圧力検出器７７
ａ，７７ｂの信号をオペアンプ７８ａ，７８ｂに入力す
るようにしてもよい。As shown in FIGS. 29 and 30, between the pressure detectors 77a and 77b, two slip rings 82 concentric with the rotary plate 57 provided on the lower surface of the work supporting plate 60 slide on the slip ring 82, respectively. The two brushes 83 take out the operational amplifiers 18a and 18b. Alternatively, although not shown, a radio wave transmitter (not shown) is provided in each of the pressure detectors 77a and 77b, and the pressure detector 77 is provided via a wireless receiver.
The signals a and 77b may be input to the operational amplifiers 78a and 78b.

【０１０５】この実施の形態１０によれば砥石摩耗によ
り研削抵抗が異常に大きくなり、ワーク１７の切欠部に
クラックや割れを生じるおそれがあるときは、砥石、ワ
ークの減速、切込みを少なくする等により、対処でき
る。According to the tenth embodiment, when the grinding resistance becomes abnormally large due to the wear of the grindstone and there is a possibility that a crack or a crack may occur in the notch of the work 17, the speed of the grindstone or the work is reduced and the cut depth is reduced. Can be dealt with.

【０１０６】（実施の形態１１）図３２、図３３はワー
ク駆動部の好適な実施の形態を示す。(Embodiment 11) FIGS. 32 and 33 show a preferred embodiment of a work drive unit.

【０１０７】図３２はワーク１７のＶ字形の切欠部１７
ａに対してＶ字の腹部にワーク駆動部６０ｂが接触する
ように、ワーク駆動部６０ｂの腹部を突形の曲面６０ｂ
５としたものである。この曲面は円又は二次曲線もしく
はインボリュート等である。この形状を採用することに
より、切欠部１７ａとワーク１７の外周との角１７ｃに
ワーク駆動部６０ｂが当たることがないので、特にチッ
ピングを生じ易いワーク１７の角１７ｃのチッピングを
防止できる。FIG. 32 shows a V-shaped notch 17 of the work 17.
The abdomen of the work drive unit 60b is formed into a protruding curved surface 60b so that the work drive unit 60b contacts the V-shaped abdomen with respect to a.
5 is assumed. This curved surface is a circle, a quadratic curve, an involute, or the like. By adopting this shape, the corner 17c between the notch 17a and the outer periphery of the work 17 does not hit the corner 17c of the work 17, so that chipping of the corner 17c of the work 17, which is particularly likely to cause chipping, can be prevented.

【０１０８】図３３はワーク１７は円に対して弦部分を
境に切り欠いた切欠部１７ａ（いわゆるオリフラとい
う）を有する。ワーク駆動部６０ｂは長さＬの間は切欠
部１７ａに接するが、この両側に滑らかに突形の曲面６
０ｂ６が連続している。又は、ワーク１７の切欠部１７
ａの縁に接する曲面としてもよい。このため、ワーク１
７は駆動力を受けても、ワーク１７の切欠部１７ａとの
角１７ｄに駆動部６０ｂが当たらないのでワーク１７は
角１７ｄにチッピングが生ずることがない。FIG. 33 shows that the work 17 has a notch 17a (so-called orientation flat) which is cut off at the chord portion with respect to the circle. The work drive part 60b contacts the notch part 17a during the length L, and the projecting curved surface 6
0b6 is continuous. Alternatively, the notch 17 of the work 17
The curved surface may be in contact with the edge of “a”. Therefore, work 1
7 does not hit the corner 17d of the work 17 because the drive unit 60b does not hit the corner 17d of the work 17 with the notch 17a.

【０１０９】[0109]

【発明の効果】本発明のウエハの加工方法によればウエ
ハを強制して自転可能で且つ、ウエハの両面を同時に研
削できるため、加工時間が短かく且つ面粗度、形状精度
が良好である。According to the wafer processing method of the present invention, the wafer can be forcibly rotated on its own axis and both sides of the wafer can be simultaneously ground, so that the processing time is short, and the surface roughness and the shape accuracy are good. .

【０１１０】また上記においてウエハの両面を異なる研
削作用を呈する砥石を用いて加工することにより、片面
のみを所要の仕上を行うと共に他の回路を付さない面に
は必要な限りの仕上を行うことができる。Further, in the above, both surfaces of the wafer are machined by using a grindstone exhibiting a different grinding action, so that only one surface is subjected to a required finish, and the other surface to which no circuit is provided is subjected to a necessary finish. be able to.

【０１１１】また上記においてカップ砥石の研削作用面
がウエハの中心をとおるようにすることによりウエハの
全面を研削できる。In the above, the entire surface of the wafer can be ground by setting the grinding action surface of the cup grindstone to the center of the wafer.

【０１１２】内周にワークの切欠部に係合するワーク駆
動部を有しワークが嵌め込まれる貫通穴を備えワークよ
りも薄く砥石端面が近接可能な回転板と、この回転板を
回転自在に支持する支持部材と、回転板の回転駆動手段
を備えた両頭平面研削盤によれば薄いワークを効率よく
加工でき、形状精度（ワープ）のすぐれた製品が得られ
る。A rotating plate which has a work driving portion which engages with the notch of the work on the inner periphery thereof, has a through hole into which the work is fitted, and which is thinner than the work and allows the end face of the grindstone to approach, is rotatably supported. According to the double-sided surface grinder provided with the supporting member to be rotated and the rotation driving means of the rotary plate, a thin work can be efficiently processed, and a product having excellent shape accuracy (warp) can be obtained.

【０１１３】本発明のワーク支持部材は容易に両頭又は
単頭の研削盤に取り付け可能で研削盤の装置本体は殆ん
どそのまま用いることができる。The work supporting member of the present invention can be easily attached to a double-headed or single-headed grinding machine, and the apparatus body of the grinding machine can be used almost as it is.

【０１１４】本発明のワークが嵌合する部分を合成樹脂
またはゴム製としたワーク支持部材によればワークのチ
ッピングを防止する効果がある。According to the work supporting member of the present invention in which the portion where the work fits is made of synthetic resin or rubber, there is an effect of preventing the chipping of the work.

【０１１５】本発明のワーク駆動部をワークよりも軟質
の材料としたワーク支持部材によれば、ワークの切欠部
に割れ等の損傷を生ずるおそれがなくなる。According to the work supporting member of the present invention in which the work driving section is made of a softer material than the work, there is no possibility that the cutout of the work is damaged or damaged.

【０１１６】本発明の回転板のワークに接する側をワー
クよりも軟質の材料としたワーク支持部材によれば、ワ
ークのチッピング、ワークの切欠部の割れ等の損傷を防
止する効果がある。According to the work supporting member of the present invention in which the side of the rotating plate that contacts the work is made of a material softer than the work, there is an effect of preventing damage such as chipping of the work and cracking of the notch of the work.

【０１１７】本発明の回転板を円環状の金属板と、この
金属板よりも軟質でこの金属板の内周側に嵌合するワー
ク保持部材とを有するものとした場合において、金属板
にワーク駆動部を設けると、ワーク駆動部が強固で耐久
力があり、ワーク保持部材にワーク駆動部を設けると、
ワークの切欠部を損傷するおそれが少ない。In the case where the rotating plate of the present invention has an annular metal plate and a work holding member which is softer than the metal plate and is fitted on the inner peripheral side of the metal plate, the metal plate When the drive unit is provided, the work drive unit is strong and durable, and when the work holding unit is provided with the work drive unit,
There is little risk of damaging the notch of the work.

【０１１８】本発明において回転板のワーク駆動部のワ
ークに接する面を曲面にすると、ワーク駆動部がワーク
の角部に力を加えてワークにチッピングを生ずることを
防止できる。In the present invention, by making the surface of the rotary plate that is in contact with the work of the work drive unit a curved surface, it is possible to prevent the work drive unit from applying force to the corners of the work and causing chipping of the work.

【０１１９】本発明のワーク駆動部をを回転板に対して
遊動支持すると共に緩衝材を介して回転板に取り付けた
ワーク支持部材によれば、ワークの切欠部の割れ等の損
傷を生ずるおそれがなくなる。According to the work supporting member of the present invention, in which the work drive unit is freely supported on the rotating plate and attached to the rotating plate via the cushioning material, there is a possibility that damage such as a crack in the notch of the work may occur. Disappears.

【０１２０】本発明のワーク駆動部材を回転板の中心に
向ってばね部材で付勢して可動に設けたワーク支持部材
によれば、ワーク駆動部材とワークの切欠部は常に密接
しているのでワークに対する研削抵抗が変化しても、ワ
ーク駆動部材がワークに衝撃を与えることを緩和し、ワ
ークの欠切部が損傷することを防止できる。According to the work supporting member of the present invention, which is movably provided by urging the work driving member toward the center of the rotary plate with a spring member, the work driving member and the notch of the work are always in close contact. Even if the grinding resistance on the work changes, it is possible to reduce the impact of the work drive member on the work and prevent the notched portion of the work from being damaged.

【０１２１】本発明のワーク駆動部材を回転板の中心に
向ってばね部材で付勢するアクチュエータを備えると共
に定位置停止装置で回転板を一定位置に停止して、アク
チュエータに対して圧力流体を供給してワーク駆動部材
を後退するようにした流体圧シリンダを有するワーク支
持部材によれば、ワークの欠切部の損傷を防止できると
共にワークの着脱が容易となる。An actuator for biasing the work drive member of the present invention toward the center of the rotary plate with a spring member is provided, and the rotary plate is stopped at a fixed position by a fixed position stopping device to supply a pressure fluid to the actuator. According to the work supporting member having the fluid pressure cylinder in which the work driving member is retracted, the notch of the work can be prevented from being damaged, and the work can be easily attached and detached.

【０１２２】本発明のワーク駆動部材をアクチュエータ
とばね部材で進退するようにし、アクチュエータへの圧
力流体の供給をプランジャ中の通路を通じて行うように
した流体圧シリンダを用いると簡単な構成でワークの切
欠部の損傷が生ぜず、また、ワークの着脱が容易なワー
ク支持部材を提供できる。When the work driving member of the present invention is advanced and retracted by the actuator and the spring member, and the supply of the pressurized fluid to the actuator is performed through a passage in the plunger, the cut-out of the work can be performed with a simple structure. It is possible to provide a work supporting member that does not cause any damage to the portion and that can easily attach and detach the work.

【０１２３】本発明のワーク駆動部に加えられる圧力ま
たは変位等の負荷検出手段を備えてワーク駆動部に加わ
る荷重を介して研削抵抗を検出して過負荷に対して対処
可能なワーク支持部材によれば、砥石の異常摩耗等を検
出できワーク及び研削盤の損傷を予防できる。The work supporting member according to the present invention is provided with a load detecting means such as a pressure or a displacement applied to the work driving section to detect a grinding resistance through a load applied to the work driving section and to cope with overload. According to this, abnormal wear and the like of the grindstone can be detected, and damage to the work and the grinding machine can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】この発明の両頭平面研削盤の実施の形態を示す
正面図である。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a double-ended surface grinder according to the present invention.

【図２】下部フレーム部分の要部縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a main part of a lower frame portion.

【図３】上部フレーム部分の要部縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a main part of an upper frame portion.

【図４】ワーク支持部材の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a work supporting member.

【図５】スライドテーブル部を示す縦断面図である。FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a slide table unit.

【図６】同じく斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the same.

【図７】研削工具の正面図である。FIG. 7 is a front view of the grinding tool.

【図８】図７の縦断面図である。8 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図９】研削工具の他の例を示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing another example of the grinding tool.

【図１０】図９の縦断面図である。FIG. 10 is a longitudinal sectional view of FIG. 9;

【図１１】この発明の単頭研削盤の実施の形態を示す正
面図である。FIG. 11 is a front view showing an embodiment of the single-head grinding machine of the present invention.

【図１２】実施の形態５のワーク支持部材の要部の平面
図である。FIG. 12 is a plan view of a main part of a work supporting member according to a fifth embodiment.

【図１３】図１２の縦断面図である。FIG. 13 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図１４】実施の形態６のワーク支持部材の要部の平面
図である。FIG. 14 is a plan view of a main part of a work supporting member according to a sixth embodiment.

【図１５】図１４の縦断面図である。FIG. 15 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図１６】実施の形態７のワーク支持部材の要部の平面
図である。FIG. 16 is a plan view of a main part of a work supporting member according to a seventh embodiment.

【図１７】図１６の縦断面図である。17 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図１８】実施の形態７の変形例の平面図である。FIG. 18 is a plan view of a modification of the seventh embodiment.

【図１９】図１８の縦断面図である。19 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図２０】実施の形態８のワーク支持部材の要部の平面
図である。FIG. 20 is a plan view of a main part of a work supporting member according to the eighth embodiment.

【図２１】図１８の縦断面図である。FIG. 21 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図２２】実施の形態８におけるワーク駆動部の斜視図
である。FIG. 22 is a perspective view of a work drive unit according to the eighth embodiment.

【図２３】図２０の縦断面図である。FIG. 23 is a longitudinal sectional view of FIG.

【図２４】実施の形態９のワーク支持部材の平面図であ
る。FIG. 24 is a plan view of a work supporting member according to the ninth embodiment.

【図２５】図２２の縦断面図である。FIG. 25 is a longitudinal sectional view of FIG. 22.

【図２６】（ａ），（ｂ）は夫々ワーク駆動部材の動作
を示す平面図である。FIGS. 26A and 26B are plan views showing the operation of the work drive member, respectively.

【図２７】ワーク駆動部材を取り付けたアクチュエータ
の縦断面図である。FIG. 27 is a longitudinal sectional view of an actuator to which a work driving member is attached.

【図２８】図２５の一部を一部断面で示す拡大側面図で
ある。FIG. 28 is an enlarged side view showing a part of FIG. 25 in a partial cross section.

【図２９】実施の形態１０のワーク支持部材の平面図で
ある。FIG. 29 is a plan view of a work supporting member according to the tenth embodiment.

【図３０】図２７の縦断面図である。FIG. 30 is a longitudinal sectional view of FIG. 27.

【図３１】実施の形態１０の負荷検出手段の一部を透視
してみる斜視図である。FIG. 31 is a perspective view of a part of a load detection unit according to the tenth embodiment as seen through;

【図３２】実施の形態１１の平面図である。FIG. 32 is a plan view of the eleventh embodiment.

【図３３】実施の形態１１の平面図である。FIG. 33 is a plan view of the eleventh embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…研削工具 ２…台板 ２ａ…凹形嵌合部 ３…ダイヤモンド砥石 ３ａ…研削作用面 ４，５…ワーク接触部材 ４ａ，５ａ…ワーク接触面 ６…砥石ホルダ ６ａ…凸形嵌合部 ７…ボルト ８…ダイヤモンドインプリ砥石 １１…下部フレーム １２…下部砥石回転昇降機構 １３…上部砥石回転昇降機構 １４…ワーク支持部材 １５…下部回転砥石 １５ａ…研削作用面 １６…上部回転砥石 １６ａ…研削作用面 １７…ワーク（ウエハ） １７ａ…切欠部 １７ｂ…部
分 １７ｃ，１７ｄ…角 ２０…砥石台 ２１…ガイド ２２…下部砥石台移動用モータ ２３…ボールネジ ２３ａ…ボールナット ２４…下部軸支筒 ２４ａ…ガイド部 ２４ｂ…ブラケ
ット ２５…下部砥石台昇降用モータ ２６…回転伝達機構 ２７…ボールねじ ２８…下部砥石軸 ２９…砥石ホルダ ３４…砥石駆動モータ ３８…上部軸支筒 ３８ａ…ブラケット ３９…ガイド ４０…昇降用モータ ４１…ボールねじ ４１ａ…ボールナット ４２…上部砥石軸 ４３…砥石ホルダ ４８…砥石駆動モータ ５２…支持台 ５３…スライドテーブル ５４…ガイドレール ５５…スライドテーブル移動用モータ ５６…ボールねじ ５６ａ…ボールナット ５７…回転板 ５７ａ…外周枠 ５８…ガイドローラ ５９…ギヤ ６０…ワーク支持板 ６０ａ…セット穴 ６０ｂ…ワー
ク駆動部 ６０ｂ１…根本部 ６０ｂ２…突端 ６０ｂ
３…胴部 ６０ｂ４…ワーク駆動部材 ６０ｂ５，６０
ｂ６…曲面 ６０ｃ…金属板 ６０ｄ…ワーク支持板
６０ｅ…本体 ６０ｆ…切り込み部 ６０ｇ…外周側円板 ６０ｈ…ワ
ーク支持板 ６０ｉ…スリット ６１…回転板回転用モータ ６２…ギア ６３…スタッド ６３ｂ３…胴部 ６４…ボルト ６５…緩衝材 ６６…ブラケット ６７…アクチュエータ ６７ａ…シリンダ本体 ６７ｂ
…プランジャ ６７ｂ１…溝 ６７ｂ２…すり割り溝
６７ｃ…ポート ６７ｆ…前部シリンダ室 ６７ｒ…シ
リンダ室 ６８…マニフォルド ６８ａ…入口 ６８ｂ…圧縮空気
通路 ６９…プランジャ ６９ａ…先端部 ６９ｂ…プランジ
ャ ６９ｃ…通路 ７１…流体圧シリンダ ７１ａ…シリンダ本体 ７１
ｂ，７１ｃ…ポート ７１ｆ…前部シリンダ室 ７１ｒ
…後部シリンダ室 ７２…空気圧縮装置 ７３…切換弁 ７４…圧縮コイルばね ７５…小ねじ ７６…小ねじ ７７，７７ａ，７７ｂ…圧力検出器 ７８ａ，７８ｂ…オペアンプ ７９…制御装置 ８１…数値制御装置 ８２…スリップリング ８３…ブラッシ １１１…上部フレームDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Grinding tool 2 ... Base plate 2a ... Concave fitting part 3 ... Diamond grindstone 3a ... Grinding working surface 4, 5 ... Work contact member 4a, 5a ... Work contact surface 6 ... Grindstone holder 6a ... Convex fitting part 7 ... Bolts 8 ... Diamond Imp Grinding Wheel 11 ... Lower Frame 12 ... Lower Wheel Rotary Elevating Mechanism 13 ... Upper Wheel Rotating Elevating Mechanism 14 ... Work Supporting Member 15 ... Lower Rotating Wheel 15a ... Grinding Surface 16 ... Upper Rotating Wheel 16a ... Grinding Surface 17 Workpiece (Wafer) 17a Notch 17b Part 17c, 17d Square 20 Grinding Wheel 21 Guide 22 Lower Motor Wheel Moving Motor 23 Ball Screw 23a Ball Nut 24 Lower Shaft Support 24a Guide 24b ... Bracket 25 ... Motor for lowering and lowering the grinding wheel base 26 ... Rotation transmission mechanism 27 ... Ball screw 28 ... Lower grinding wheel shaft 29 ... Wheel grinding wheel Da 34: Grinding wheel drive motor 38: Upper shaft support 38a: Bracket 39: Guide 40: Lifting motor 41: Ball screw 41a: Ball nut 42: Upper grindstone shaft 43: Grinding wheel holder 48: Grinding wheel drive motor 52: Support table 53 ... Slide table 54 ... Guide rail 55 ... Slide table moving motor 56 ... Ball screw 56a ... Ball nut 57 ... Rotating plate 57a ... Outer peripheral frame 58 ... Guide roller 59 ... Gear 60 ... Work support plate 60a ... Set hole 60b ... Work drive Part 60b1 Root part 60b2 Tip 60b
3 ... Body 60b4 ... Work drive member 60b5,60
b6: Curved surface 60c: Metal plate 60d: Work support plate
Reference numeral 60e: Main body 60f: Cut portion 60g: Outer peripheral disk 60h: Work support plate 60i: Slit 61: Rotating plate rotation motor 62: Gear 63: Stud 63b3: Body 64: Bolt 65: Buffer material 66: Bracket 67: Actuator 67a: cylinder body 67b
… Plunger 67b1… groove 67b2… slit groove
67c ... port 67f ... front cylinder chamber 67r ... cylinder chamber 68 ... manifold 68a ... inlet 68b ... compressed air passage 69 ... plunger 69a ... tip 69b ... plunger 69c ... passage 71 ... fluid pressure cylinder 71a ... cylinder body 71
b, 71c: port 71f: front cylinder chamber 71r
... Rear cylinder chamber 72 ... Air compression device 73 ... Switching valve 74 ... Compression coil spring 75 ... Machine screw 76 ... Machine screw 77,77a, 77b ... Pressure detector 78a, 78b ... Op amp 79 ... Control device 81 ... Numerical control device 82 ... Slip ring 83 ... Brushi 111 ... Upper frame

フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 (72)発明者 温井 満 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内Continued on the front page (72) Inventor Toyosho Wada 100 Fukuno-cho, Higashi-Tonami-gun, Toyama Prefecture Inside the Tohei Toyama Plant, Niigata Co., Ltd.

Claims (33)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 インゴットから切断後のウエハの加工方
法において、 ウエハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハ
の切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有
し、ウエハより薄い薄片の回転板と、砥石端面を対向さ
せて砥石端面で研削を行う両頭平面研削盤とを準備し
て、 回転板のワーク駆動部にウエハの切欠部を係合させて前
記回転板の穴にウエハを遊嵌した状態で、前記回転板を
駆動することによりウエハを回転させると共に前記砥石
を回転しウエハの両面に作用させて研削を行うことを特
徴とするウエハの加工方法。1. A method for processing a wafer after being cut from an ingot, comprising a through hole having a work drive portion, which is loosely fitted to the wafer, protrudes from the inner periphery toward the inside, and engages with a notch of the wafer. A rotating plate of a thin piece thinner than the wafer, and a double-sided surface grinding machine for grinding the grinding wheel end face with the grinding wheel end face opposed to each other, and engaging the notch portion of the wafer with a work drive unit of the rotating plate to rotate the wafer. A method for processing a wafer, wherein the wafer is rotated by driving the rotary plate while the wafer is loosely fitted in the hole of the plate, and the grinding wheel is rotated to act on both surfaces of the wafer to perform grinding. 【請求項２】 前記砥石は共に研削作用のある砥石を用
いて両面を同時に研削することを特徴とする請求項１に
記載のウエハの加工方法。2. The wafer processing method according to claim 1, wherein both sides of said whetstone are simultaneously ground using a whetstone having a grinding action. 【請求項３】 前記砥石の内一方は研削作用のある砥石
を用いると共に他方の砥石は研削作用が前記研削作用の
ある砥石に比較して研削作用の小さい砥石を用いること
を特徴とする請求項１に記載のウエハの加工方法。3. The grinding wheel according to claim 1, wherein one of the whetstones uses a grindstone having a grinding action, and the other whetstone uses a whetstone having a grinding action smaller than that of the grinding stone having the grinding action. 2. The method for processing a wafer according to 1. 【請求項４】 前記砥石はカップ砥石であって、前記ウ
エハの中心にカップ砥石の研削作用面が重なるように加
工することを特徴とする請求項１から３の何れか１つに
記載のウエハの加工方法。4. The wafer according to claim 1, wherein the grindstone is a cup grindstone, and the grindstone is processed so that a grinding action surface of the cup grindstone overlaps with a center of the wafer. Processing method. 【請求項５】 砥石端面を対向して配設され、砥石端面
で外周に切欠部を有する円板形ワークの板面を加工する
両頭平面研削盤において、 内周にワークの切欠部に係合するワーク駆動部を有しワ
ークが嵌め込まれる貫通穴を備えワークよりも薄く砥石
端面が近接可能な大きさを有する回転板と、 前記回転板を回転自在に支持する支持部材と、 前記回転板の回転駆動手段と、を有することを特徴とす
る両頭平面研削盤。5. A double-headed surface grinding machine for machining a plate surface of a disk-shaped work having a grinding wheel end face opposed to and having a notch on the outer circumference at the grinding wheel end face, wherein the inner circumference is engaged with the work notch. A rotating plate having a through hole into which the workpiece is fitted and having a through hole into which the workpiece is fitted, and having a size thinner than the workpiece and capable of approaching the grinding wheel end surface; a support member rotatably supporting the rotating plate; And a rotary drive means. 【請求項６】 前記回転駆動手段は、前記支持部材に固
定されたモータと、このモータと回転板間に設けられた
回転伝達手段とでなることを特徴とする請求項５に記載
の両頭平面研削盤。6. The double-sided flat surface according to claim 5, wherein said rotation driving means comprises a motor fixed to said support member and rotation transmission means provided between said motor and a rotating plate. Grinder. 【請求項７】 前記回転板の支持部材は砥石軸に直角方
向に設けられた案内部材に移動自在に係合するスライド
テーブルであることを特徴とする請求項６に記載の両頭
平面研削盤。7. The double-sided surface grinding machine according to claim 6, wherein the support member of the rotary plate is a slide table movably engaged with a guide member provided in a direction perpendicular to a grindstone shaft. 【請求項８】 前記案内部材は砥石外周側に砥石を間に
して二条配設されていることを特徴とする請求項７に記
載の両頭平面研削盤。8. The double-sided surface grinding machine according to claim 7, wherein the guide member is provided in two rows on the outer peripheral side of the grindstone with a grindstone therebetween. 【請求項９】 砥石端面で外周に切欠部を有する円板形
のワークの平面を加工する研削盤に用いられるワーク支
持部材において、 ワークを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されワーク
の切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有
し、ワークより薄い薄片の回転板と、前記回転板を回転
自在に支持する支持手段と、前記支持手段に設けられ回
転板を駆動する駆動手段と、を有することを特徴とする
ワーク支持部材。9. A work supporting member for use in a grinding machine for processing a flat surface of a disk-shaped work having a notch on an outer periphery at an end face of a grindstone, wherein the work is loosely fitted and is provided so as to protrude from the inner periphery to the inside. A rotary plate having a through-hole having a work drive unit engaged with the notch of the work, a thin plate thinner than the work, supporting means for rotatably supporting the rotary plate, and a rotary plate provided on the support means; And a driving means for driving. 【請求項１０】 前記支持手段は回転板の板面に平行な
案内手段に移動自在に嵌合していることを特徴とする請
求項９に記載のワーク支持部材。10. The work supporting member according to claim 9, wherein said support means is movably fitted to guide means parallel to a plate surface of a rotary plate. 【請求項１１】 前記回転板は中心部のワークよりも薄
い部分の外周側が前記ワークよりも薄い部分よりも厚肉
で円環状であることを特徴とする請求項９又は１０に記
載のワーク支持部材。11. The work support according to claim 9, wherein the rotary plate has an annular shape in which the outer peripheral side of the portion thinner than the work at the center is thicker and annular than the portion thinner than the work. Element. 【請求項１２】ワーク駆動部はワークよりも軟質の材料
としたことを特徴とする請求項９から１１の何れか１つ
に記載のワーク支持部材。12. The work support member according to claim 9, wherein the work drive section is made of a material softer than the work. 【請求項１３】 前記回転板のワークに接する側をワー
クよりも軟質の材料としたことを特徴とする請求項９か
ら１１の何れか１つに記載のワーク支持部材。13. The work supporting member according to claim 9, wherein a material of the rotating plate in contact with the work is softer than the work. 【請求項１４】 前記回転板は、円環状の金属板と、こ
の金属板の内周側に一体的に設けられワークが嵌合する
ワーク保持部材とを有し、前記ワーク保持部材はワーク
よりも軟質の材料でできていることを特徴とする請求項
１３に記載のワーク支持部材。14. The rotating plate includes an annular metal plate and a work holding member integrally provided on an inner peripheral side of the metal plate and fitted with a work. 14. The work supporting member according to claim 13, wherein the member is also made of a soft material. 【請求項１５】ワーク駆動部は金属板に形成されている
ことを特徴とする請求項１４に記載のワーク支持部材。15. The work support member according to claim 14, wherein the work drive section is formed on a metal plate. 【請求項１６】ワーク駆動部はワーク保持部材に形成さ
れていることを特徴とする請求項１４に記載のワーク支
持部材。16. The work support member according to claim 14, wherein the work drive section is formed on a work holding member. 【請求項１７】 前記回転板は中抜き環状の回転板本体
の内周より別部材としてワーク駆動部を設けたものであ
り、ワーク駆動部はワークよりも軟質の材料でできてい
ることを特徴とする請求項９から１１の何れか１つに記
載のワーク支持部材。17. The rotary plate is provided with a work drive unit as a separate member from the inner periphery of the hollow rotary plate body, and the work drive unit is made of a material softer than the work. The workpiece support member according to any one of claims 9 to 11, wherein 【請求項１８】ワーク保持部材は合成樹脂またはゴム製
でなることを特徴とする請求項１４から１７の何れか１
つに記載のワークの支持部材。18. A method according to claim 14, wherein the work holding member is made of synthetic resin or rubber.
5. A support member for a work according to any one of the above. 【請求項１９】ワーク駆動部のワークに接する面を曲面
にしたことを特徴とする請求項１から１８の何れか１つ
に記載のワーク支持部材。19. The work support member according to claim 1, wherein a surface of the work drive unit that contacts the work is a curved surface. 【請求項２０】 前記ワーク駆動部は回転板に対して遊
動支持されると共に緩衝材を介して回転板に取り付けら
れていることを特徴とする請求項９から１１の何れか１
つに記載のワーク支持部材。20. The apparatus according to claim 9, wherein the work drive unit is loosely supported by the rotating plate and is attached to the rotating plate via a cushioning material.
The work supporting member according to any one of the above. 【請求項２１】 前記ワーク駆動部は回転板に対して半
径方向に移動自在に取り付けられると共に回転板の中心
に向ってばね部材で付勢されていることを特徴とする請
求項９から１１の何れか１つに記載のワーク支持部材。21. The method according to claim 9, wherein the work drive unit is mounted movably in a radial direction with respect to the rotary plate, and is urged by a spring member toward the center of the rotary plate. The work support member according to any one of the above. 【請求項２２】 前記ワーク駆動部材を回転板の中心に
向ってばね部材で付勢すると共に圧力流体の圧力により
前記ばね部材のばね力に抗して後退させるアクチュエー
タと、前記回転板を定位置に停止させる定位置停止装置
と、定位置に停止したアクチュエータに向って進退し、
前記アクチュエータに圧力流体を供給する前進位置と、
前記アクチュエータの圧力流体を逃がすための後退位置
と、をとるように回転板外に固設した流体圧シリンダ
と、を有するワーク駆動部を備えたことを特徴とする請
求項９から１１の何れか１つに記載のワーク支持部材。22. An actuator for urging the work drive member toward the center of the rotary plate with a spring member and for retracting the work drive member against the spring force of the spring member by the pressure of a pressure fluid, and positioning the rotary plate in a fixed position. A fixed position stop device that stops at a fixed position and an actuator that stops at a fixed position.
An advanced position for supplying pressure fluid to the actuator,
12. A work drive unit comprising: a retracted position for allowing the pressurized fluid of the actuator to escape; and a fluid pressure cylinder fixed to the outside of the rotary plate so as to take a position. The work support member according to one of the above. 【請求項２３】 前記アクチュエータはスプリングオフ
セット形の流体圧シリンダであって、前記回転板外に固
設した流体圧シリンダのプランジャ中の通路を通じて圧
力流体が前記アクチュエータに供給されることを特徴と
する請求項２２に記載のワーク支持部材。23. The actuator, wherein the actuator is a hydraulic cylinder of a spring offset type, and pressure fluid is supplied to the actuator through a passage in a plunger of the hydraulic cylinder fixed outside the rotary plate. A work supporting member according to claim 22. 【請求項２４】 前記ワーク駆動部に加わる圧力又は変
位等の負荷検出手段と、前記検出された負荷の大きさ方
向を演算すると共に研削盤の砥石回転速度、ワーク回転
速度又は切り込みを制御することを特徴とする請求項９
から１１の何れか１つに記載のワーク支持部材。24. A load detecting means for detecting a pressure or a displacement applied to the work drive unit, calculating a magnitude direction of the detected load, and controlling a grindstone rotation speed, a work rotation speed, or a cut of a grinding machine. 10. The method according to claim 9, wherein
12. The work supporting member according to any one of items 1 to 11. 【請求項２５】 インゴットから切断後のウエハの加工
方法において、 ウエハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハ
の切欠部に係合するワーク駆動部を有する穴を有する回
転板と、砥石端面で研削を行う単頭平面研削盤とを準備
して、 回転板のワーク駆動部にウエハの切欠部を係合させて前
記回転板の穴にウエハを遊嵌した状態で、前記回転板を
駆動することによりウエハを回転させると共に前記砥石
を回転しウエハの片面に作用させて研削を行うことを特
徴とするウエハの加工方法。25. A method of processing a wafer after being cut from an ingot, comprising: a rotary plate having a work drive portion which is loosely fitted to a wafer, protrudes from the inner periphery toward the inside, and has a work driving portion engaged with a notch of the wafer; And a single-headed surface grinder for grinding on the end face of the grindstone is prepared, and in a state where the notch of the wafer is engaged with the work drive unit of the rotating plate and the wafer is loosely fitted into the hole of the rotating plate, A method for processing a wafer, comprising: rotating a wafer by driving a rotating plate; and rotating the grindstone to act on one surface of the wafer to perform grinding. 【請求項２６】 前記砥石はカップ砥石であって、前記
ウエハの中心にカップ砥石の研削作用面が重なるように
加工することを特徴とする請求項２５に記載のウエハの
加工方法。26. The wafer processing method according to claim 25, wherein the grindstone is a cup grindstone, and the grinding is performed such that a grinding action surface of the cup grindstone overlaps the center of the wafer. 【請求項２７】 前記回転板の穴を有底としてウエハを
支持することを特徴とする請求項２５又は２６に記載の
ウエハの加工方法。27. The method of processing a wafer according to claim 25, wherein the wafer is supported with a hole in the rotating plate having a bottom. 【請求項２８】 砥石端面で外周に切欠部を有する円板
形ワークの板面を加工する単頭平面研削盤において、 内周にワークの切欠部に係合するワーク駆動部を有しワ
ークが嵌め込まれるワークよりも浅い穴を備えた回転板
と、 前記回転板を回転自在に支持する支持部材と、 前記回転板の回転駆動手段と、を有することを特徴とす
る単頭平面研削盤。28. A single-head plane grinding machine for processing a plate surface of a disk-shaped work having a notch on the outer periphery at an end face of a grindstone, wherein a work drive unit engaging with the notch of the work is provided on an inner periphery and the work is provided. A single-head surface grinding machine comprising: a rotary plate having a shallower hole than a work to be fitted; a support member rotatably supporting the rotary plate; and a rotation driving unit for the rotary plate. 【請求項２９】 前記回転板の穴はほぼ全面に底を有す
ることを特徴とする請求項２８に記載の単頭平面研削
盤。29. The single-head surface grinding machine according to claim 28, wherein the hole of the rotating plate has a bottom on almost the entire surface. 【請求項３０】 前記回転駆動手段は、前記支持部材に
固定されたモータと、このモータと回転板間に設けられ
た回転伝達手段とでなることを特徴とする請求項２８又
は２９に記載の単頭平面研削盤。30. The apparatus according to claim 28, wherein the rotation driving means includes a motor fixed to the support member, and rotation transmission means provided between the motor and a rotating plate. Single head surface grinder. 【請求項３１】 前記回転板の支持部材は砥石軸に直角
方向に設けられた案内部材に移動自在に係合するスライ
ドテーブルであることを特徴とする請求項３０に記載の
単頭平面研削盤。31. The single-head surface grinding machine according to claim 30, wherein the support member of the rotary plate is a slide table movably engaged with a guide member provided in a direction perpendicular to a grinding wheel shaft. . 【請求項３２】 砥石端面で外周に切欠部を有する円板
形のワークの平面を加工する研削盤に用いられるワーク
支持部材において、 ワークを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されワーク
の切欠部に係合するワーク駆動部を有する穴を有する回
転板と、前記回転板を回転自在に支持する支持手段と、
前記支持手段に設けられ回転板を駆動する駆動手段と、
を有するワーク支持部材。32. A work supporting member for use in a grinding machine for processing a flat surface of a disk-shaped work having a notch on an outer periphery at an end face of a grindstone, wherein the work is loosely fitted and is provided so as to protrude from the inner periphery to the inside. A rotating plate having a hole having a work driving unit that engages with a notch of the work, a supporting unit that rotatably supports the rotating plate,
Driving means provided on the support means for driving a rotating plate,
A work supporting member having: 【請求項３３】 前記支持手段は回転板の板面に平行な
案内手段に移動自在に嵌合していることを特徴とする請
求項３２に記載のワーク支持部材。33. The work support member according to claim 32, wherein said support means is movably fitted to guide means parallel to the plate surface of the rotary plate.