JPH10321883A - 太陽電池およびその作製方法 - Google Patents

太陽電池およびその作製方法

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JPH10321883A
JPH10321883A JP9143078A JP14307897A JPH10321883A JP H10321883 A JPH10321883 A JP H10321883A JP 9143078 A JP9143078 A JP 9143078A JP 14307897 A JP14307897 A JP 14307897A JP H10321883 A JPH10321883 A JP H10321883A
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solar cell
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alloy
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Hisao Morooka
久雄 師岡
Takamitsu Miura
貴光 三浦
Hiroshi Yamada
寛 山田
Katsuki Kurihara
克樹 栗原
Mitsutaka Matsuse
充貴 松瀬
Yasuyuki Arai
康行 荒井
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TDK Corp
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
TDK Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 可撓性基板上に非単結晶珪素膜を設けて構成
された太陽電池において、太陽電池作製工程中、工程後
の、太陽電池の反り、変形を低減して太陽電池の平坦性
を向上させる。 【解決手段】 可撓性基板１１上に設けられ、非単結晶
珪素薄膜を積層して構成された光電変換層１４を有する
太陽電池において、可撓性基板１１の線熱膨張係数は
２．０ｐｐｍ〜１０．０ｐｐｍとする。これにより、可
撓性基板１１と光電変換層１４との線熱膨張係数が近く
なり、作製工程中、工程後の太陽電池の反り、変形が低
減される。さらに、光電変換層に１４に加わる応力も小
さくなるため、光電変換効率を向上させることがてき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本明細書で開示する発明は、
可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄膜を積層して
構成された光電変換層を有する可撓性太陽電池に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】太陽電池は省エネルギー化を促進する電
力資源として盛んに開発されている。太陽電池のうち、
主として非晶質、微結晶、多結晶等の非単結晶珪素薄膜
を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池は、
低コストで作製できることに特徴がある。
【０００３】さらに、光電変換層として非晶質珪素薄膜
を主として用い、可撓性を有する基板を用いて形成され
た可撓性太陽電池がある。
【０００４】可撓性太陽電池は、軽量で自由に折り曲げ
ることができるため、衣服やテント等に張り付けて使用
するといった応用が可能である。
【０００５】可撓性太陽電池に用いられる可撓性を有す
る基板としては、ＰＥＴ（ポリ・エチレン・テレフタレ
ート）、ＰＥＮ（ポリ・エチレン・ナフタレート）、ポ
リイミド、ＰＥＳ（ポリ・エーテル・サルファイド）等
の樹脂基板の他、金属基板としてステンレスが使用され
る。
【０００６】ステンレス基板は、樹脂基板に比較して耐
引っ張り性等の強度がより強いものを、安価に得られる
というメリットがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ステン
レス基板を用いると、作製工程中に変形が生じたり、作
製後の可撓性太陽電池が基板側に反ってしまい、平坦な
領域への張り付けが困難になったり、商品として見栄え
が悪くなったりするなどの問題が生じることがあった。
【０００８】本明細書で開示する発明は、基板上に非単
結晶珪素膜を設けて構成された太陽電池において、太陽
電池作製工程中、工程後の変形や反りを低減して太陽電
池の平坦性を向上させることを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本明細書で開示する構成の１つは、可撓性基板上に
設けられ、非単結晶珪素薄膜を積層して構成された光電
変換層を有する太陽電池であって、前記可撓性基板の線
熱膨張係数は２．０ｐｐｍ／℃〜１０．０ｐｐｍ／℃で
あることを特徴とする太陽電池である。
【００１０】本明細書で開示する他の構成は、可撓性基
板上に設けられ、非単結晶珪素薄膜を積層して構成され
た光電変換層を有する太陽電池であって、前記可撓性基
板は、鉄とニッケルの合金でなり、前記合金中のニッケ
ル成分は３０重量％〜５１重量％であることを特徴とす
る太陽電池である。
【００１１】本明細書で開示する他の構成は、可撓性基
板上に設けられ、非単結晶珪素薄膜を積層して構成され
た光電変換層を有する太陽電池であって、前記可撓性基
板は、鉄とニッケルの合金でなり、前記可撓性基板の線
熱膨張係数は２．０ｐｐｍ／℃〜１０．０ｐｐｍ／℃で
あり、前記合金中のニッケル成分は３０重量％〜５１重
量％であることを特徴とする太陽電池である。
【００１２】前記合金中のニッケル成分は、さらに好ま
しくは３１重量％〜４１重量％とする。
【００１３】本明細書で開示する他の構成は、可撓性基
板上に設けられ、非単結晶珪素薄膜を積層して構成され
た光電変換層を有する太陽電池であって、前記可撓性基
板は、鉄とニッケルの合金でなり、前記合金中のニッケ
ル成分が前記光電変換層に加わる応力が少なくなるよう
に制御されたものを用いることを特徴とする太陽電池で
ある。
【００１４】本出願人は、光電変換層が非単結晶珪素薄
膜で構成された可撓性太陽電池において、基板として当
該基板が有する線熱膨張係数が、２．０ｐｐｍ／℃〜１
０ｐｐｍ／℃（２０℃）、より好ましくは、２．０〜
５．０ｐｐｍ／℃（２０℃）のものを用いることで、作
製後の反りや変形を極めて少なくすることができること
を見いだした。
【００１５】さらに、このような基板を用いることで、
作製された可撓性太陽電池の光電変換効率が数％程度、
従来の樹脂基板やステンレス基板を用いた可撓性太陽電
池より向上することを発見した。
【００１６】これらについて考察する。まず太陽電池の
光電変換層を構成する、非単結晶珪素薄膜において、当
該膜中の結晶成分の存在する割合が高いほど、また、当
該膜中の水素含有率が少ないほど、当該膜の線熱膨張係
数は、単結晶珪素（バルク）の線熱膨張係数（２．３ｐ
ｐｍ／℃〜２．６ｐｐｍ／℃程度（２０℃））に近くな
る。
【００１７】太陽電池の光電変換層を構成する、非単結
晶珪素薄膜の実際の線熱膨張係数は、およそ２．５〜５
ｐｐｍ／℃（２０℃）程度と推定される。
【００１８】したがって、例えば樹脂基板やステンレス
基板の線熱膨張係数より小さい、２．０ｐｐｍ／℃〜１
０．０ｐｐｍ／℃（２０℃）、特に、２．０〜５．０ｐ
ｐｍ／℃（２０℃）の基板を用いることで、非単結晶珪
素薄膜と基板との線熱膨張係数が近くなる。
【００１９】その結果、非単結晶珪素薄膜の形成工程に
おける２０℃〜５００℃程度の加熱を経て、工程中の温
度変化や、その後、常温に冷却された際の変形、反りが
低減される。また、非単結晶珪素膜に応力が加わりにく
くなるため、本来の光電変換効率が得られるものと推定
される。
【００２０】言い換えると、従来の樹脂やステンレス等
の基板では、基板と非単結晶珪素薄膜とにおいて、線熱
膨張係数の差異が大きいために、非単結晶珪素薄膜に応
力が加わり、格子欠陥、クラック等が生じ、光電変換効
率が低下しているものと推定される。
【００２１】本願発明により、非単結晶珪素薄膜で構成
された光電変換層を有する太陽電池において、製造後の
変形、反りが低減・改善された、光電変換効率の高いも
のを得ることができる。
【００２２】本願発明に適用できる基板の材質として
は、線熱膨張係数が２．０ｐｐｍ／℃〜１０．０ｐｐｍ
／℃（２０℃）、特に、２．０〜５．０ｐｐｍ／℃（２
０℃）であり、太陽電池の作製に適した特性を有するも
のであればよい。
【００２３】特に、鉄とニッケルの合金、鉄とニッケル
とコバルトの合金、ニッケルを主成分とする合金、アラ
ミド樹脂を主成分とするもの等が好ましい。
【００２４】さらに、可撓性太陽電池の基板として、鉄
とニッケルの合金であって、当該合金中のニッケル成分
は３０重量％〜５１重量％、より好ましくは３１重量％
〜４１重量％のものを用いることで、可撓性太陽電池の
作製工程中や工程後の変形や反りが極めて少なく、かつ
光電変換効率を最も効果的に高めることができることを
見いだした。
【００２５】加えて、この鉄とニッケルの合金でなる基
板は、比較的安価に入手できるため、変形や反りが少な
く、光電変換効率の高い太陽電池を、安価に提供でき
る。
【００２６】また、基板の性質によって、可撓性太陽電
池の光電変換層が受ける応力は変化し、一様ではない。
そこで、鉄・ニッケル合金を用い、応力が最も少なくな
るように、あるいは最適な応力となるように、鉄とニッ
ケル合金中のニッケル成分の量を制御することで、より
効果的に太陽電池の変形や反りの改善や、光電変換効率
の向上を図ることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】図１に本明細書で開示する構成を
用いた太陽電池の構成の例を示す。
【００２８】図１において、可撓性基板１１の上には、
樹脂等で構成される絶縁膜１２が設けられる。その上
に、下部電極１３、光電変換層１４、透光性電極１５、
保護膜１６が積層されている。
【００２９】光電変換層１４は、少なくとも１つのＮＩ
Ｐ接合を有するように非単結晶珪素膜が積層されてい
る。例えば、Ｎ層、Ｉ層、Ｐ層の順に積層されている。
【００３０】図１において、下部電極１３、光電変換層
１４、透光性電極１５を構成要素とする光電変換素子の
下部電極１３と、隣接する光電変換素子の透光性電極１
５とを電気的に接続させることで直列接続を形成し、出
力電圧を高める構成としてもよい。
【００３１】可撓性基板１１は、例えば、鉄・ニッケル
合金を用いる。この基板の線熱膨張係数は、４．０〜
４．７ｐｐｍ／℃（３０℃〜３００℃）である。可撓性
基板１１の厚さは、５０〜３００μｍ、例えば１００μ
ｍである。
【００３２】このような基板を用いることで、太陽電池
の製造工程中、工程後の変形や反りが低減・改善され、
また高い光電変換効率が得られる。
【００３３】
【実施例】
【００３４】〔実施例１〕本実施例では、可撓性基板と
して、鉄・ニッケルを主成分とする合金でなる基板を用
いた例を示す。
【００３５】まず、可撓性太陽電池の作製工程を示す。
鉄・ニッケル合金（うちニッケル成分４０％）でなる、
厚さ１００μｍの可撓性基板１１上に、ポリイミド樹脂
を塗布し、２００ｎｍ程度の膜厚の絶縁膜１２を形成す
る。
【００３６】この基板の線熱膨張係数は、約４．０ｐｐ
ｍ／℃（３０℃〜３００℃）である。
【００３７】絶縁層１２上に、スパッタ法を用いて下部
電極を構成するアルミニウム薄膜を形成する。その後、
必要に応じてアルミニウム薄膜をパターニングし、下部
電極１３を形成を形成する。
【００３８】次に、光電変換層を形成する。ここではプ
ラズマＣＶＤ法を用いて非晶質珪素薄膜でなるＮ層、Ｉ
層、Ｐ層の順に積層して形成する。
【００３９】まず、Ｎ層を形成する。成膜用ガスの流量
は、ＳｉＨ4 が１〜１００ｓｃｃｍ、ここでは５０ｓｃ
ｃｍ、Ｈ2 が１００〜１０００ｓｃｃｍ、ここでは５０
０ｓｃｃｍ、ＰＨ3 が１〜５０ｓｃｃｍ、ここでは３０
ｓｃｃｍとする。
【００４０】次に、Ｉ層を形成する。成膜用ガスの流量
は、ＳｉＨ4 が１〜１００ｓｃｃｍ、ここでは５０ｓｃ
ｃｍ、Ｈ2 が１００〜１０００ｓｃｃｍ、ここでは５０
０ｓｃｃｍ、ＰＨ3 が１〜５０ｓｃｃｍ、ここでは３０
ｓｃｃｍとする。
【００４１】次に、Ｐ層を形成する。成膜用ガスの流量
は、ＳｉＨ4 が１〜１００ｓｃｃｍ、ここでは５０ｓｃ
ｃｍ、Ｈ2 が１００〜１０００ｓｃｃｍ、ここでは５０
０ｓｃｃｍ、Ｂ2 Ｈ6 が１〜５０ｓｃｃｍ、ここでは３
０ｓｃｃｍとする。
【００４２】Ｐ層を微結晶珪素薄膜としてエネルギーバ
ンドギャップを大きくし、より効果的に光電変換を行う
ために、ＳｉＨ4 に代えてＳｉ2 Ｈ6 を用いてもよい。
【００４３】成膜時の圧力、温度、投入電力は、本実施
例においては各層同じとしている。成膜時の圧力はここ
では０．０１〜２Ｔｏｒｒ、ここでは１Ｔｏｒｒ、成膜
温度２０℃〜４５０℃、ここでは３００℃、投入電力は
１〜２０００Ｗ、ここでは１０００Ｗとする。
【００４４】各膜の膜厚は、本実施例においては、Ｎ層
が５０ｎｍ、Ｉ層が１０００ｎｍ、Ｐ層が５０ｎｍであ
る。
【００４５】各膜の成膜温度を３００℃と比較的高温と
することで、膜中の水素の離脱が促進される。
【００４６】その後、下部電極１３と光電変換層１４に
レーザースクライブ等で接続のための開溝又は開孔を設
け、スパッタ法によりＩＴＯ（酸化インジューム・ス
ズ）膜を１００ｎｍ成膜し、パターニングして透光性電
極１５が形成され、直列接続構成を得る。
【００４７】さらに補助電極を、透光性電極１５上にア
ルミニウムの導電性金属で形成して、導電率を高めても
よい。
【００４８】なお、直列接続構成を設けない場合、絶縁
膜１２は無くてもよい。また、この場合、下部電極１３
をも設けずに、可撓性基板１１を下部電極として用いる
こともできる。
【００４９】その後、ウレタン系の樹脂により透光性の
保護膜１６を形成し、可撓性太陽電池が形成される。
【００５０】このようにして作製された可撓性太陽電池
は、同じ厚さのステンレス基板を用いたものに比較し
て、製造後の変形や反りが大幅に低減し、ほぼ平坦な状
態が得られる。
【００５１】さらに、光電変換効率（Ｅff）が、ステン
レス基板を用いたものに比較して約５％程度向上する。
【００５２】〔実施例２〕本実施例では、実施例１の可
撓性太陽電池の作製工程において、光電変換層の成膜温
度に変化がある例を示す。
【００５３】本実施例では、光電変換層の作製工程にお
いて、各層の成膜温度として、Ｎ層は２０℃、Ｉ層を１
５０℃、Ｐ層を３００℃とする。他の条件は実施例１と
同じである。
【００５４】このような、成膜温度に変化がある場合で
も、成膜工程中における基板の変形や反りはほとんど見
られない。最終的に作製された太陽電池においても同様
である。
【００５５】他方、基板としてステンレスを用いた場
合、光電変換層と基板との線熱膨張係数の差が大きいた
め、例えばＰ層を成膜する３００℃に加熱された状態で
は、光電変換層側に反りが生じてしまう。
【００５６】〔実施例３〕本実施例では、実施例１の可
撓性太陽電池において、可撓性基板を構成する鉄とニッ
ケルの合金のニッケル成分を変化させた例を示す。
【００５７】可撓性太陽電池の基板として用いられる鉄
とニッケルの合金中の、ニッケル成分を変化させた。
【００５８】すると、ニッケル成分が３０重量％〜５１
重量％の範囲の基板を用いた太陽電池において、ステン
レス基板を用いたものに比較して、反りの低減や光電変
換効率の向上が見られた。光電変換効率は３％以上向上
する。
【００５９】特に、合金中のニッケル成分が３１重量％
〜４１重量％のものは、光電変換効率が５％程度向上し
た。
【００６０】〔実施例４〕本実施例では、鉄とニッケル
の合金でなる基板中のニッケル成分を制御して、異なる
光電変換層において、それぞれに適した線熱膨張係数を
有する基板を得る例を示す。
【００６１】光電変換層の構成は、製品に要求される特
性に応じて異なるものとなる。そして、太陽電池の反り
を効果的に低減したり、光電変換効率を十分に得るため
には、光電変換層の構成の違いに合わせて、基板の線熱
膨張係数を変える必要が生じる。
【００６２】他方、太陽電池を構成する光電変換層の線
熱膨張係数や、基板上の光電変換層に加わる応力は、測
定が非常に困難である。
【００６３】そこで、鉄とニッケルの合金でなる基板を
用いる太陽電池において、当該合金中のニッケル成分の
量を変化させることで、前記のような測定をせずに基板
の最適な線熱膨張係数を得ることができる。
【００６４】図２に、鉄とニッケルの合金中のニッケル
成分と線熱膨張係数の変化を表したグラフを示す。
【００６５】また、図３に、鉄とニッケルの合金中のニ
ッケル成分を変化させたときの、太陽電池の光電変換効
率の変化の割合のモデル図を示す。
【００６６】図３から明らかなように、基板を構成する
鉄とニッケルの合金中のニッケル成分を変化させていく
ことで、光電変換層に加わる応力が変化するため、太陽
電池の光電変換効率が変化する。
【００６７】そして、最も光電変換効率が高くなるポイ
ント、例えばＡ、Ａ’が存在する。
【００６８】このポイントが、基板と光電変換層とで、
線熱膨張係数が最も近くなる領域と推定される。この測
定は光電変換効率以外に反りの程度を指標としてもよい
し、その両方を利用してもよい。
【００６９】ポイントＡ、Ａ’における鉄とニッケルの
合金中のニッケル成分の量を、図２に示すグラフを参照
して、光電変換層の線熱膨張係数を推定することも可能
である。
【００７０】ニッケル成分をこのポイントに示す割合に
することで、鉄とニッケル合金でなる基板の線熱膨張係
数を、光電変換層に加わる応力が最も少なくなるよう
に、あるいは太陽電池の十分な性能・特性を得るために
最適な値にすることができる。その結果光電変換効率を
向上させ、変形や反りも低減できる。
【００７１】このようにして、鉄とニッケルの合金中の
ニッケル成分を制御することで、光電変換効率や変形・
反りをより効果的に改善することができる。
【００７２】すなわち、合金中のニッケル成分を、光電
変換層に加わる応力の状態に合わせて制御することで、
優れた性能の太陽電池を容易に作製できる。
【００７３】同様なことは、可撓性基板として他の合金
を用いた場合においても言える。すなわち、合金を構成
する成分のうち、線熱膨張係数の値の決定に支配的な役
割を有する成分の割合を変化させて、最適な線熱膨張係
数を有する基板を得ることができる。
【００７４】なお、鉄・ニッケル合金は、ニッケル成分
の量を制御することで好ましい応力特性が得られ、十分
な可撓性を有し、また強度も強い。加えて安価である。
そのため、優れた可撓性太陽電池を得るための可撓性基
板の材料として、鉄・ニッケル合金は最も好ましい材料
の一つであると言える。
【００７５】〔実施例５〕本実施例では、基板として鉄
・ニッケル・コバルトを主成分とする合金でなる可撓性
基板を用いる。その他の構成は、実施例１と同様であ
る。
【００７６】鉄・ニッケル・コバルトを主成分とする合
金として、ここではコバール（ＫＯＶＡＲ）（アメリカ
合衆国 ウエスチングハウス社製）を用いる。コバール
は、鉄を主成分とし、ニッケル２９重量％、コバルト１
７重量％、他にマンガン、コバルト、珪素、炭素、アル
ミニウム、マグネシウム、亜鉛、チタンが総量０．２重
量％以下で構成されるものである。
【００７７】コバールは、４．５〜５．１ｐｐｍ／℃
（３０℃〜４００℃）、５．１〜５．４（３０℃〜４５
０℃）程度の線熱膨張係数を有する。
【００７８】コバールを基板として用いて作製された可
撓性太陽電池は、同じ厚さのステンレス基板を用いたも
のに比較して、製造後の反りが大幅に低減し、ほぼ平坦
な状態が得られる。
【００７９】さらに、光電変換効率（Ｅff）が、ステン
レス基板を用いたものに比較して約３％程度向上する。
【００８０】〔実施例６〕本実施例では、基板としてア
ラミド樹脂を主成分とする可撓性基板を用いる。その他
の構成は、実施例１と同様である。
【００８１】アラミド樹脂を主成分とする可撓性基板と
して、ここではアラミカ（旭化成工業株式会社製 同社
登録商標）を用いる。
【００８２】アラミド樹脂は強さと低い線熱膨張率を合
わせ持つ優れた材料である。例えばアラミカは、引張弾
性率が１１００（ｋｇ／ｍｍ2 ）以上、線熱膨張率が約
７ｐｐｍ／℃（２０℃）である。
【００８３】アラミカを基板として作製された可撓性太
陽電池は、製造中の変形、製造後の反りが殆ど見られ
ず、ほぼ平坦な状態が得られる。
【００８４】さらに、光電変換効率（Ｅff）が、ステン
レス基板を用いたものに比較して約２％程度向上する。
【００８５】
【発明の効果】以上のように、本明細書で開示する発明
により、可撓性基板を用いた可撓性太陽電池において、
反りを低減し、光電変換効率の向上させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 可撓性太陽電池の構成の例を示す図。
【図２】 鉄とニッケルの合金中のニッケル成分と線熱
膨張係数の変化を表したグラフを示す図。
【図３】 鉄とニッケルの合金中のニッケル成分を変化
させたときの、太陽電池の光電変換効率の変化の割合の
モデル図。
【符号の説明】
１１ 基板 １２ 絶縁膜 １３ 下部電極 １４ 光電変換層 １５ 透光性電極 １６ 保護膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 寛 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 栗原 克樹 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 松瀬 充貴 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 荒井 康行 神奈川県厚木市長谷398番地 株式会社半 導体エネルギー研究所内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池で
    あって、 前記可撓性基板の線熱膨張係数は２．０ｐｐｍ／℃〜１
    ０．０ｐｐｍ／℃であることを特徴とする太陽電池。
  2. 【請求項２】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池で
    あって、 前記可撓性基板は、鉄とニッケルの合金でなり、 前記合金中のニッケル成分は３０重量％〜５１重量％で
    あることを特徴とする太陽電池。
  3. 【請求項３】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池で
    あって、 前記可撓性基板は、鉄とニッケルの合金でなり、 前記可撓性基板の線熱膨張係数は２．０ｐｐｍ／℃〜１
    ０．０ｐｐｍ／℃であり、 前記合金中のニッケル成分は３０重量％〜５１重量％で
    あることを特徴とする太陽電池。
  4. 【請求項４】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池で
    あって、 前記可撓性基板は、鉄とニッケルの合金でなり、前記合
    金中のニッケル成分が前記光電変換層に加わる応力の状
    態に合わせて制御されたものを用いることを特徴とする
    太陽電池。
  5. 【請求項５】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池を
    作製するに際し、 前記可撓性基板として、鉄とニッケルの合金を用い、 前記合金中のニッケル成分を、前記光電変換層に加わる
    応力の状態に合わせて制御することを特徴とする太陽電
    池の作製方法。
  6. 【請求項６】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池で
    あって、 前記可撓性基板は、鉄とニッケルとコバルトの合金であ
    ることを特徴とする太陽電池。
  7. 【請求項７】可撓性基板上に設けられ、非単結晶珪素薄
    膜を積層して構成された光電変換層を有する太陽電池で
    あって、 前記可撓性基板は、アラミド樹脂を主成分とするもので
    あることを特徴とする太陽電池。
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