JPH10293904A - Magnetic head and magnetic recording and reproducing device - Google Patents
Magnetic head and magnetic recording and reproducing deviceInfo
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- JPH10293904A JPH10293904A JP9359398A JP9359398A JPH10293904A JP H10293904 A JPH10293904 A JP H10293904A JP 9359398 A JP9359398 A JP 9359398A JP 9359398 A JP9359398 A JP 9359398A JP H10293904 A JPH10293904 A JP H10293904A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体に対し
て記録や再生を行う磁気ヘッドに関するものであり、特
にディジタルＶＴＲ等に用いられる高密度記録のための
狭トラック、狭ギャップに適した磁気ヘッドならびに磁
気記録再生装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for recording and reproducing data on and from a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic head suitable for a narrow track and a narrow gap for high-density recording used in a digital VTR or the like. The present invention relates to a head and a magnetic recording / reproducing device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ディジタルＶＴＲのように大容量の信号
を記録再生するには、狭トラック化や短波長化という高
密度磁気記録再生技術が必要となる。2. Description of the Related Art In order to record and reproduce a large-capacity signal like a digital VTR, a high-density magnetic recording / reproducing technique such as a narrow track and a short wavelength is required.
【０００３】高密度磁気記録再生のために、記録媒体は
その保磁力を大きくすれば、また磁気ヘッドの方はその
飽和磁束密度（以下、Ｂｓ）を大きくすれば良いことが
一般に知られている。従来、磁気ヘッド材料として主流
になっていたフェライト材料はＢｓが０．５Ｔ程度であ
り、８０ｋＡ／ｍ以上の高保磁力を示すメタルテ−プに
使用すると磁気飽和が起こり、記録が十分に行われな
い。そこで現在ではフェライト材料よりもＢｓの大きい
材料、センダスト合金膜（Ｂｓ：約１．０Ｔ）やＣｏ系
アモルファス膜（Ｂｓ：約０．８〜１．１Ｔ）、さらに
はＢｓが１．３Ｔ以上のＣｏ系超構造窒化合金膜、Ｆｅ
系超構造窒化膜、Ｆｅ系窒化膜等の新材料を用いた磁気
ヘッド、その中でも特に主コアがフェライトからなり、
少なくとも前部ギャップ近傍に磁性薄膜を配置した複合
型磁気ヘッド、いわゆるＭＩＧヘッドの研究が盛んに行
われている。It is generally known that, for high-density magnetic recording / reproducing, the recording medium should have a large coercive force, and the magnetic head should have a large saturation magnetic flux density (hereinafter, Bs). . Conventionally, ferrite materials which have been mainly used as a magnetic head material have a Bs of about 0.5T, and when used for a metal tape exhibiting a high coercive force of 80 kA / m or more, magnetic saturation occurs and sufficient recording is not performed. . Therefore, at present, a material having a larger Bs than a ferrite material, a sendust alloy film (Bs: about 1.0 T), a Co-based amorphous film (Bs: about 0.8 to 1.1 T), and a Bs having a Bs of 1.3 T or more. Co-based superstructure nitrided alloy film, Fe
Magnetic heads using new materials such as a super-structured nitride film and an Fe-based nitride film, among which the main core is made of ferrite,
Research on a composite magnetic head in which a magnetic thin film is arranged at least in the vicinity of a front gap, that is, a so-called MIG head, has been actively conducted.
【０００４】図１０にこのＭＩＧヘッドの構造を示す。
磁気ギャップ１を介して対向配置された一対の凸状磁性
体コア２、３はそれぞれ、フェライトからなる凸状のコ
ア本体４、５と、その突出端面およびこれに続く両サイ
ド面を覆う高飽和密度磁性体膜６、７とからなり、両磁
性体コア２、３はその両サイドに設けられた一対のガラ
ス質ブロック８、９によって相互に結合されている。１
０はコイル挿通用の巻線穴を示す。FIG. 10 shows the structure of this MIG head.
A pair of convex magnetic cores 2 and 3 opposed to each other with the magnetic gap 1 interposed between them are convex core bodies 4 and 5 made of ferrite, and a high saturation covering the protruding end surfaces and both side surfaces following the protruding end surfaces. The magnetic cores 2 and 3 are connected to each other by a pair of vitreous blocks 8 and 9 provided on both sides thereof. 1
0 indicates a winding hole for coil insertion.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の磁
気ヘッドは図１１に詳細に示すように、一対のコア本体
４、５のトラック溝４ａ、５ａの加工精度や、コア本体
４、５の突き合わせ精度等の製造上の誤差により、トラ
ックズレｄ1、ｄ2を生じ易い。その上、磁性体膜６、７
のエッジ部の丸み２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂにより、さら
に、トラック幅精度が悪くなっていた。By the way, as shown in detail in FIG. 11, this type of magnetic head has the processing accuracy of the track grooves 4a, 5a of the pair of core bodies 4, 5 and the processing accuracy of the core bodies 4, 5. Due to manufacturing errors such as butting accuracy, track deviations d 1 and d 2 are likely to occur. In addition, the magnetic films 6, 7
Due to the roundness 2a, 2b, 3a, 3b of the edge portion, the track width accuracy was further deteriorated.
【０００６】近年、必要とされるトラック幅、およびそ
の精度は、トラック幅１０μｍ以下、精度±０．５μｍ
の領域にまで至っているが、上述したように、従来技術
では、ほとんど不可能であった。In recent years, the required track width and its accuracy are as follows: track width 10 μm or less, accuracy ± 0.5 μm
However, as described above, it was almost impossible with the prior art.
【０００７】また、一部に、トラックを突き合わせた状
態でトラック幅規制溝を加工する方法が特公平６−５５
６７に開示されている。[0007] In addition, a method of processing a track width regulating groove in a state where the tracks are butted against each other is disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-55.
67.
【０００８】しかしながらこの方法では、突き合わせた
状態で第１の溝を形成するため、最終的に狭トラック幅
を得ようとすると、第１の溝幅もかなり狭くしなければ
ならない。そうすると、磁気媒体と対向する部分の、磁
気コアの面積が小さくなり、磁気特性が劣化することに
なる。また、チップ強度も低下する。However, in this method, since the first grooves are formed in abutted state, in order to finally obtain a narrow track width, the width of the first grooves must be considerably reduced. Then, the area of the magnetic core in a portion facing the magnetic medium is reduced, and the magnetic characteristics are degraded. Also, the chip strength is reduced.
【０００９】これを防止するために、第１の溝幅を大き
くすると、第２の溝加工領域が大きくなり、加工精度劣
化、加工時間の増加を招き、いずれにせよ実用上、問題
であった。If the width of the first groove is increased in order to prevent this, the area of the second groove to be processed becomes large, resulting in deterioration of processing accuracy and increase in processing time. In any case, this is a problem in practical use. .
【００１０】そこで本発明は、このような従来の磁気ヘ
ッドの課題に鑑み、高密度記録のための狭トラック、狭
ギャップに適した磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置を
提供することを目的とする。In view of the above problems of the conventional magnetic head, an object of the present invention is to provide a magnetic head and a magnetic recording / reproducing apparatus suitable for a narrow track and a narrow gap for high-density recording.
【００１１】[0011]
【００１２】第１の本発明（請求項１に対応）は、突出
端面同士がギャップ材を介して向き合うように対向配置
された予め凸状に加工された一対の磁性体コアと、両磁
性体コアを相互に結合するために両磁性体コアの両サイ
ドに設けられた一対のガラス質ブロックとを備え、前記
一対の両磁性体コアは、突き合わせずれを有して構成さ
れており、前記両磁性体コアの磁気テープスライド面の
側面側において、トラック幅を規制するための切欠部が
形成され、この切欠部は、磁気テープスライド面側から
みた磁気ギャップ長手方向両端部に位置し、かつ前記切
欠部の深さは、前記一対の両磁性体コアの前記突き合わ
せずれのおおきさよりおおきいことを特徴とする磁気ヘ
ッドである。A first aspect of the present invention (corresponding to claim 1) includes a pair of magnetic material cores which have been formed in a convex shape and which are disposed so as to face each other so that protruding end faces face each other with a gap material interposed therebetween. A pair of vitreous blocks provided on both sides of the two magnetic cores for coupling the cores to each other, wherein the pair of the two magnetic cores are configured with a misalignment; On the side surface of the magnetic tape slide surface of the magnetic core, a notch portion for regulating a track width is formed, and this notch portion is located at both ends in the magnetic gap longitudinal direction viewed from the magnetic tape slide surface side, and The magnetic head is characterized in that the depth of the notch is larger than the size of the misalignment of the pair of magnetic cores.
【００１３】第２の本発明（請求項２に対応）は、切欠
部が、さらに磁気テープスライド面でのトラック幅を維
持したまま巻線溝までいたっていることを特徴とする第
１の本発明の磁気ヘッドである。According to a second aspect of the present invention (corresponding to claim 2), the notch portion extends to the winding groove while maintaining the track width on the magnetic tape slide surface. 3 is a magnetic head of the invention.
【００１４】第３の本発明（請求項３に対応）は、トラ
ック長手方向の前記切欠部の幅が３０μm以下であるこ
とを 特徴とする第１又は第２の本発明の磁気ヘッドで
ある。A third aspect of the present invention (corresponding to claim 3) is the magnetic head according to the first or second aspect of the present invention, wherein the width of the notch in the longitudinal direction of the track is 30 μm or less.
【００１５】第４の本発明（請求項４に対応）は、凸状
磁性体コアが、フェライトと金属磁性膜との複合体から
なり、前記切欠部が前記金属磁性膜のみに形成されてい
ることを特徴とする第１、２、又は３の本発明の磁気ヘ
ッドである。According to a fourth aspect of the present invention (corresponding to claim 4), the convex magnetic core is made of a composite of ferrite and a metal magnetic film, and the cutout is formed only in the metal magnetic film. A first, second, or third magnetic head according to the present invention, characterized in that:
【００１６】第５の本発明（請求項５に対応）磁気ギャ
ップ材の少なくとも一部が結晶化ガラスで形成されてい
ることを特徴とする第１から第４のいずれかの本発明の
磁気ヘッドである。Fifth invention (corresponding to claim 5) A magnetic head according to any one of the first to fourth inventions, wherein at least a part of the magnetic gap material is formed of crystallized glass. It is.
【００１７】第６の本発明（請求項６に対応）は第１か
ら第５のいずれかの本発明の磁気ヘッドを用いることを
特徴とする磁気記録再生装置である。A sixth aspect of the present invention (corresponding to claim 6) is a magnetic recording / reproducing apparatus characterized by using any one of the first to fifth aspects of the present invention.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１９】本実施の形態の、図１および図２に示す磁
気ヘッドが、図１０および図１１に示した従来の磁気ヘ
ッドと基本的に異なるところは、一対の凸状磁性体コア
１１、１２上の両磁性体コアの磁性体膜１９、２０の側
面が、その磁気テープスライド面から巻線窓２１に至る
までくい込んで、トラック幅方向に直交した方向に切り
そろえる切欠部１３ａ、１４ａが設けられている点と、
該切欠部１３ａ、１４ａによってトラック幅ＴＷが規制
されている点である。勿論従来の図１１に示す場合と同
様に、トラックズレｄ1、ｄ2を生じている。そしてさら
に、その切り欠き部１３ａ、１４ａの深さ（磁気ギャッ
プ１の方向）は、その両磁性体コア１１、１２（詳しく
は後述する）の突き合わせずれの大きさより大きくなっ
ている。The magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 of this embodiment is basically different from the conventional magnetic head shown in FIGS. 10 and 11 in that a pair of convex magnetic cores 11 and 12 are provided. Notches 13a and 14a are provided in which the side surfaces of the magnetic films 19 and 20 of the upper magnetic cores are cut from the sliding surface of the magnetic tape to the winding window 21 and cut in a direction orthogonal to the track width direction. Point that
The point is that the track width TW is regulated by the notches 13a and 14a. Of course, as in the conventional case shown in FIG. 11, track shifts d 1 and d 2 occur. Further, the depths (in the direction of the magnetic gap 1) of the cutouts 13a and 14a are larger than the size of the abutting displacement between the two magnetic cores 11 and 12 (described in detail later).
【００２０】この磁気ヘッドは、磁気ギャップ１を介し
て対向配置された一対の凸状磁性体コア１１、１２をガ
ラス質ブロック１５、１６により接合してなるものであ
る。The magnetic head is formed by joining a pair of convex magnetic cores 11 and 12 which are disposed to face each other via a magnetic gap 1 by vitreous blocks 15 and 16.
【００２１】各凸状磁性体コア１１、１２はその大部分
がフェライトからなっていて、これら凸状コア本体１
７、１８の突出端面およびこれに続く両サイド面には高
飽和磁束密度の磁性体膜１９、２０が覆い形成されてい
る。両磁性体コア１１、１２に形成された磁性体膜１
９、２０には、側面からくい込んで該磁性体膜のみをト
ラック幅方向に直交した方向に切りそろえる切欠部１３
ａ、１４ａが設けられ、該切欠部は磁気テープスライド
面でのトラック幅ＴＷを維持したまま前記巻線溝２１ま
でいたっている。１７ａ、１８ａはトラック溝を示す。Most of the convex magnetic cores 11 and 12 are made of ferrite.
The magnetic films 19 and 20 having a high saturation magnetic flux density are formed on the protruding end surfaces 7 and 18 and on both side surfaces following the protruding end surfaces. Magnetic film 1 formed on both magnetic cores 11 and 12
Cutouts 9 and 20 are cut-out portions 13 for cutting only the magnetic film in the direction perpendicular to the track width direction.
a, 14a are provided, and the notch reaches the winding groove 21 while maintaining the track width TW on the magnetic tape slide surface. Reference numerals 17a and 18a denote track grooves.
【００２２】切欠部１３ａ、１４ａがあることにより、
凸状コア本体１７、１８の突き合わせずれや、磁性体膜
１９、２０のエッジの丸みの影響がなくなる。The presence of the notches 13a, 14a
The influence of the misalignment of the convex core bodies 17 and 18 and the roundness of the edges of the magnetic films 19 and 20 are eliminated.
【００２３】そして、切欠部１３ａ、１４ａの相互間距
離でトラック幅ＴＷが決まる為、高い精度でトラック幅
ＴＷを規制することが可能になる。Since the track width TW is determined by the distance between the notches 13a and 14a, the track width TW can be regulated with high accuracy.
【００２４】また、巻線溝２１に至るまでトラック幅Ｔ
Ｗが一定のため、摩耗してもトラック幅ＴＷが変動する
ことがなく、高信頼性のヘッドを供給できる。The track width T up to the winding groove 21 is
Since W is constant, even when worn, the track width TW does not change, and a highly reliable head can be supplied.
【００２５】磁性体膜１９、２０の材質としては、セン
ダスト合金膜やＣｏ系アモルファス膜、Ｃｏ系超構造窒
化膜、Ｆｅ系超構造窒化膜、Ｆｅ系窒化膜等が使用可能
である。これらは、蒸着、イオンプレーティング、スパ
ッタリング等の方法によって、凸状コア本体１７、１８
に付設される。As the material of the magnetic films 19 and 20, a sendust alloy film, a Co-based amorphous film, a Co-based superstructure nitride film, an Fe-based superstructure nitride film, an Fe-based nitride film, or the like can be used. These are formed by methods such as vapor deposition, ion plating, and sputtering.
It is attached to.
【００２６】両磁性体コア１１、１２は、少なくとも一
方の突出端面に膜付けされるギャップ材を介して突き合
わされる。なお、上記ギャップ材（図では省略）として
はＳｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2０5、ガラス、Ｃｒ、あるい
はこれらの複合体等を用いることができる。The two magnetic cores 11 and 12 abut each other via a gap material formed on at least one protruding end face. Incidentally, as the gap material (not shown in the drawing) can be used SiO 2, ZrO 2, Ta 2 0 5, glass, Cr, or a composite thereof or the like.
【００２７】この時、前記ギャップ材の少なくとも一部
を結晶化ガラスで形成すれば、さらに良好なギャップを
形成できる。At this time, if at least a part of the gap material is formed of crystallized glass, a better gap can be formed.
【００２８】尚、ギャップスペーサー全てを結晶化ガラ
スで形成することも可能である。Incidentally, it is also possible to form all of the gap spacers with crystallized glass.
【００２９】また、結晶化ガラスとは、溶融、成形した
後、特殊な条件下で再加熱すると、元の形を変えること
無く、アモルファス状になり結晶化し、元のガラスより
機械的、熱的に向上した性質を持つようになるガラスで
ある。[0029] Crystallized glass is a material that is melted, molded, and then reheated under special conditions to become amorphous and crystallize without changing its original shape, and to be more mechanically and thermally than the original glass. It is a glass that has improved properties.
【００３０】切欠部１３ａ、１４ａ作製時には、この結
晶化ガラスで両磁性体コア１１、１２が強固に溶着され
ているため、加工時のトラック幅エッジの欠け等も防止
できる。これにより、安定したトラック幅、ギャップ長
が形成できる。At the time of forming the notches 13a and 14a, the magnetic cores 11 and 12 are firmly welded with the crystallized glass, so that the track width edges can be prevented from being chipped during processing. Thereby, a stable track width and gap length can be formed.
【００３１】望ましくは、結晶化後の前記結晶化ガラス
の屈伏点温度がガラス質ブロック１５、１６の屈伏点温
度より高い方が良い。そうすれば、ガラス質ブロック１
５、１６形成の際、ギャップ部が緩むこともなく、更に
良好なギャップが形成できる。Desirably, the yield point temperature of the crystallized glass after crystallization is higher than the yield point temperature of the vitreous blocks 15 and 16. Then, the vitreous block 1
In forming the layers 5 and 16, a more favorable gap can be formed without loosening the gap.
【００３２】次にこの磁気ヘッドの製造方法について図
３−図８を用い説明する。Next, a method of manufacturing the magnetic head will be described with reference to FIGS.
【００３３】まず、表面をラップ処理等により平行度良
くかつ平滑度良く加工された例えばＭｎ−Ｚｎフェライ
トよりなる一対の基板を用意する。それぞれには図３に
示すように、互いに並行なトラック規制用のトラック溝
１７ａ、１８ａが、回転砥石等により形成され、これに
よって、一対の凸状コア本体１７、１８ができあがる。
尚、前記凸状コア本体１７、１８の少なくとも一方には
コイル挿通用の巻線溝２１が設けられる。First, a pair of substrates made of, for example, Mn-Zn ferrite, whose surfaces are processed with good parallelism and good smoothness by lapping or the like, are prepared. As shown in FIG. 3, track grooves 17 a and 18 a for track regulation are formed by a grindstone or the like in parallel with each other, whereby a pair of convex core bodies 17 and 18 are completed.
Note that at least one of the convex core bodies 17 and 18 is provided with a winding groove 21 for inserting a coil.
【００３４】次に、図４に示すように、両コア本体１
７、１８の一側面に高飽和磁束密度の磁性体膜１９、２
０が、真空薄膜形成技術によってそれぞれに被着形成さ
れ、これによって一対の磁性体コア１１、１２が完成す
る。Next, as shown in FIG.
Magnetic films 19, 2 having a high saturation magnetic flux density
0 is formed on each of the magnetic cores 11 and 12 by a vacuum thin film forming technique, thereby completing a pair of magnetic cores 11 and 12.
【００３５】次に、一対の磁性体コア１１、１２のいず
れか一方に、磁気ギャップを形成するための膜状のギャ
ップ材が付設される。そして、このギャップ材を介して
両磁性体コア１１、１２が図５に示すように対向配置さ
れる。ギャップ材（図では省略）の素材としてはＳｉＯ
2、ＺｒＯ2、Ｔａ2０5、ガラス、Ｃｒ、あるいはこれら
の複合体等を用いることができる。Next, one of the pair of magnetic cores 11 and 12 is provided with a film-like gap material for forming a magnetic gap. Then, the two magnetic cores 11 and 12 are opposed to each other via the gap material as shown in FIG. The material of the gap material (omitted in the figure) is SiO
2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , glass, Cr, or a composite thereof can be used.
【００３６】次に、突き合わされた状態にある一対の磁
性体コア１１、１２に対し、図６のように放電電極２５
をサイドから近接して放電を発生させ、切欠部２２を形
成する。このようにすると、切欠部２２は上面でのトラ
ック幅ＴＷを維持したまま巻線溝２１までいたることに
なる。尚、この突き合わされた状態は、治具でサポート
するような構成でも良いし、接着剤で仮止めしてもかま
わない。Next, as shown in FIG. 6, a discharge electrode 25 is applied to the pair of magnetic cores 11 and 12 in the butted state.
And a discharge is generated adjacent to the side to form the notch 22. In this way, the notch 22 reaches the winding groove 21 while maintaining the track width TW on the upper surface. The abutted state may be configured to be supported by a jig, or may be temporarily fixed by an adhesive.
【００３７】尚、さらにギャップ精度を上げるために以
下のようにすることもできる。It is to be noted that, in order to further increase the gap accuracy, the following method can be adopted.
【００３８】前記ギャップ材の少なくとも一部分、両磁
性体コア１１、１２の最表面側を結晶化ガラスで形成す
る。At least a part of the gap material and the outermost surfaces of both magnetic cores 11 and 12 are formed of crystallized glass.
【００３９】そして、この突き合わされた状態のまま、
電気炉等で加熱溶着される。And, in this butted state,
Heat welding is performed in an electric furnace or the like.
【００４０】そうすると、前記結晶化ガラスはアモルフ
ァス状になり結晶化し、元のガラスより機械的、熱的に
向上した性質を持つようになり、強固にギャップ部で接
着することができる。Then, the crystallized glass becomes amorphous and crystallizes, has properties improved mechanically and thermally compared to the original glass, and can be firmly bonded at the gap.
【００４１】このとき、結晶化ガラスの代わりに、Ａ
ｔ、Ａｇ等の金属を使用し、加熱、加圧により、拡散接
合することも可能である。また、一般の低融点ガラスで
加熱接着することも可能である。At this time, instead of the crystallized glass, A
Using metals such as t and Ag, diffusion bonding can be performed by heating and pressing. Further, it is also possible to heat and bond with a general low melting point glass.
【００４２】要するに、ギャップ面で接触接着する手段
であればいかなる方法でもかまわない。In short, any method may be used as long as it is a means for contact bonding at the gap surface.
【００４３】次に、ギャップ部で溶着状態にある一対の
磁性体コア１１、１２に対し、図６のように放電電極２
５をサイドから近接して放電を発生させ、切欠部２２を
形成する。Next, as shown in FIG. 6, the discharge electrode 2
Discharge is generated by approaching 5 from the side to form a notch 22.
【００４４】切欠部２２作製時には、前記結晶化ガラス
で両磁性体コア１１、１２が溶着されているため、加工
負荷によるギャップ開き、ギャップ隙間への加工くずの
混入、ギャップエッジの欠け等が防止でき、ギャップ長
精度、トラック幅精度が飛躍的に向上する。At the time of forming the notch 22, since the magnetic cores 11 and 12 are welded with the crystallized glass, the gap is prevented from being opened due to a processing load, processing chips are mixed into the gap, and the gap edge is prevented from being chipped. As a result, gap length accuracy and track width accuracy are dramatically improved.
【００４５】トラック幅を規制する切欠部の表面粗さは
そのままトラック幅精度を左右する。従って、±０．５
μｍの精度を達成するためには、少なくとも０．５μｍ
以下の表面粗さが必要で、更に好ましくは０．２μｍ以
下の表面粗さが望ましい。The surface roughness of the notch that regulates the track width directly affects the track width accuracy. Therefore, ± 0.5
To achieve an accuracy of μm, at least 0.5 μm
The following surface roughness is required, and more preferably 0.2 μm or less.
【００４６】放電加工によると、その単発放電エネルギ
ーを１０ー7Ｊまで微細化することでＦｅ−Ｔａ−Ｎ膜を
加工した時で０．１〜０．２μｍの表面粗さが得られ
た。[0046] According to the electric discharge machining, the surface roughness of the 0.1~0.2μm is obtained when processing the Fe-Ta-N film by miniaturizing the single discharge energy up to 10 over 7 J.
【００４７】尚、放電加工の際、一般には絶縁油の中で
加工するが、電気抵抗率が１ＭΩ・ｃｍ以上の純水を使
用することができ、その場合後工程で洗浄の工程を削減
することができる。The electric discharge machining is generally carried out in an insulating oil, but pure water having an electric resistivity of 1 MΩ · cm or more can be used. be able to.
【００４８】そして、図７に示すように、一対の磁性体
コア１１、１２がガラス質ブロック１５、１６によって
相互に結合される。このガラス質ブロック１５、１６は
熱処理により充填される。Then, as shown in FIG. 7, the pair of magnetic cores 11 and 12 are mutually connected by vitreous blocks 15 and 16. The vitreous blocks 15, 16 are filled by heat treatment.
【００４９】そして、チップごとにスライス（一点鎖
線）され、巻線を施される。Then, each chip is sliced (dashed line) and wound.
【００５０】本実施の形態では磁気ギャップ１に向かう
コア本体１７、１８のギャップ近傍側面にも磁性体膜１
９、２０があることにより、記録時のギャップ面での飽
和の発生を抑制し、記録能力に優れるというＭＩＧヘッ
ドの特長を十分に発揮する構造になっている。In the present embodiment, the magnetic film 1 is also provided on the side surfaces near the gaps of the core bodies 17 and 18 toward the magnetic gap 1.
Due to the presence of 9 and 20, the structure of the MIG head that suppresses the occurrence of saturation on the gap surface at the time of recording and has the excellent recording capability is sufficiently exhibited.
【００５１】尚、放電加工を行う際に、事前の凸状コア
の突き合わせ精度をある程度上げておけば、磁性膜部分
のわずかな部分を加工することによって、初期の目標を
達成することができる。この場合は、更に加工精度、速
度が向上する。If the accuracy of the butting of the convex cores is increased to some extent before performing the electric discharge machining, the initial target can be achieved by machining a small portion of the magnetic film portion. In this case, processing accuracy and speed are further improved.
【００５２】上記実施の形態は、切欠部２２を放電加工
により形成したものであるが、この加工をレーザー誘起
エッチング加工によって加工することも可能である。こ
の場合、突き合わされた状態にある一対の磁性体コア１
１、１２に対し、図８のように上部からアルゴンレーザ
ー３０を照射する（スポット径２μｍ）、この時、一対
の磁性体コア１１、１２はアルカリ金属水酸化物（例え
ばＫＯＨ）に浸漬してあるため、レーザーが照射された
部分のみ熱化学反応により加工される。In the above embodiment, the notch 22 is formed by electric discharge machining. However, it is also possible to perform this machining by laser induced etching. In this case, the pair of magnetic cores 1
As shown in FIG. 8, an argon laser 30 is irradiated to the first and the second from the upper side (spot diameter: 2 μm). At this time, the pair of magnetic cores 11 and 12 are immersed in an alkali metal hydroxide (for example, KOH). Therefore, only the portion irradiated with the laser is processed by the thermochemical reaction.
【００５３】尚、この切欠部２２のトラック長手方向の
幅Ｃｗは３０μｍ以下であることが望ましい。詳細は図
２に示す（切欠部は１３ａ、１４ａ）。こうすることに
より加工エリアが少しで済み、加工速度が向上する。本
発明の場合、１０μm幅加工するのに１０秒かかった。
この場合、トラック長手方向の幅Ｃｗを３０μmとする
と切欠部１３ａ、１４ａ両側で計６０秒かかる。これは
ほぼトラック溝加工１７ａ、１８ａと同じスピードであ
り、量産する上での上限値と考える。 また、切欠部２
２を形成する部分の磁性体膜１９、２０の膜厚を３μｍ
以上にすることにより、加工精度が向上する。（レーザ
ーのスポット以下の膜厚だと照射領域が膜より大きくな
りエネルギー分布が不均一になり加工精度が低下する） このレーザー誘起エッチングに関しては、特開平２−２
７６００９に開示されているが、この特許は、ガラスモ
ールドされたコアブロックを加工するもので、本発明の
ようにガラスモールド前の仮止めコアを加工するもので
はない。また、本発明では、レーザー誘起エッチングを
する前に、砥石加工で略トラック制限加工を行ってい
る。The width Cw of the notch 22 in the track longitudinal direction is desirably 30 μm or less. Details are shown in FIG. 2 (notches 13a and 14a). By doing so, the processing area is small, and the processing speed is improved. In the case of the present invention, it took 10 seconds to process a 10 μm width.
In this case, assuming that the width Cw in the track longitudinal direction is 30 μm, it takes 60 seconds in total on both sides of the notches 13a and 14a. This is almost the same speed as the track groove processing 17a, 18a, and is considered to be the upper limit in mass production. Notch 2
The thickness of the magnetic films 19 and 20 in the portion where
By doing so, the processing accuracy is improved. (If the film thickness is less than the laser spot, the irradiation area becomes larger than the film, the energy distribution becomes non-uniform, and the processing accuracy is reduced.)
Although this patent is disclosed in JP 760909, this patent is for processing a glass-molded core block, and is not for processing a temporary fixing core before glass molding as in the present invention. Further, in the present invention, before performing the laser-induced etching, substantially track limiting processing is performed by grinding.
【００５４】そして、図７に示すように、一対の磁性体
コア１１、１２がガラス質ブロック１５、１６によって
相互に結合される。このガラス質ブロック１５、１６は
熱処理により充填される。Then, as shown in FIG. 7, a pair of magnetic cores 11 and 12 are mutually connected by vitreous blocks 15 and 16. The vitreous blocks 15, 16 are filled by heat treatment.
【００５５】そして、チップごとにスライス（一点鎖
線）され、巻線を施される。Then, each chip is sliced (dashed line) and wound.
【００５６】上述したように、本発明は特に狭ギャッ
プ、狭トラックＭＩＧヘッドに有効であるが、従来のフ
ェライトヘッドや比較的トラック幅の広いヘッドでも適
用できるものであり、精度改善による歩留まり向上を実
現するものである。As described above, the present invention is particularly effective for narrow gap and narrow track MIG heads, but can also be applied to conventional ferrite heads and heads having a relatively wide track width. It will be realized.
【００５７】かつ、図２に示すように、予め各磁性体コ
ア１１、１２にトラック溝１７ａ、１８ａがあることに
より、切欠溝１３ａ、１４ａの加工量を少なくすること
が出来、量産化に適している。As shown in FIG. 2, since the magnetic cores 11 and 12 have the track grooves 17a and 18a in advance, the processing amount of the notch grooves 13a and 14a can be reduced, which is suitable for mass production. ing.
【００５８】また、このトラック溝１７ａ、１８ａを各
々加工することにより、トラック幅Ｔｗが狭くても、コ
ア幅Ｋｗを広くとることが出来、チップ強度の点、ま
た、インターフェースの点でも良好なヘッドを提供でき
る。By processing the track grooves 17a and 18a, the core width Kw can be widened even if the track width Tw is narrow, and a head having good chip strength and good interface can be obtained. Can be provided.
【００５９】図９は本発明にかかる磁気記録再生装置の
一実施の形態を示す。ヘリカル走査する回転シリンダ３
３に取り付けられた上記本発明の磁気ヘッド３２が、走
行しつつある磁気テープ３４と接触し、磁気テープ３４
上に信号が記録再生される。本発明では狭トラックで突
き合わせズレのないヘッドを用いてるため、サイドのフ
リンジ等のトラックエッジでの磁束のにじみも発生せず
非常に多量の情報を記録再生することができる。FIG. 9 shows an embodiment of the magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention. Rotary cylinder 3 for helical scanning
3, the magnetic head 32 of the present invention comes into contact with the running magnetic tape 34, and the magnetic tape 34
The signal is recorded / reproduced above. In the present invention, since a head having a narrow track and no misalignment is used, a very large amount of information can be recorded / reproduced without causing a magnetic flux bleeding at a track edge such as a side fringe.
【００６０】[0060]
【発明の効果】以上述べたところから明らかなように、
本発明は、高密度化における狭トラック化に適したトラ
ックズレのない磁気ヘッドを実現できる。As is apparent from the above description,
According to the present invention, it is possible to realize a magnetic head free of track deviation suitable for narrowing tracks in high density.
【００６１】また、巻線溝に至るまでトラック幅が一定
のため、摩耗してもトラック幅が変動することがなく、
高信頼性のヘッドである。Since the track width is constant up to the winding groove, the track width does not fluctuate even when worn,
Highly reliable head.
【００６２】また、そのヘッドを用いることにより、デ
ジタルＶＴＲに適した高密度記録再生装置を提供でき
る。Further, by using the head, a high-density recording / reproducing apparatus suitable for a digital VTR can be provided.
【図１】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドチッ
プの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head chip according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドチッ
プの一部分の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a part of a magnetic head chip according to one embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドの製
造方法を説明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドの製
造方法を説明するための斜視図である。FIG. 4 is a perspective view illustrating a method for manufacturing a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図５】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドの製
造方法を説明するための斜視図である。FIG. 5 is a perspective view illustrating a method of manufacturing a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図６】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドの製
造方法を説明するための斜視図である。FIG. 6 is a perspective view illustrating a method for manufacturing a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図７】本発明の一実施の形態における磁気ヘッドの製
造方法を説明するための斜視図である。FIG. 7 is a perspective view for explaining the method for manufacturing the magnetic head in one embodiment of the present invention.
【図８】本発明の別の実施の形態における磁気ヘッドの
製造方法を説明するための斜視図である。FIG. 8 is a perspective view for explaining a method of manufacturing a magnetic head according to another embodiment of the present invention.
【図９】本発明の一実施の形態の磁気記録装置の磁気ヘ
ッド回りを説明するための斜視図である。FIG. 9 is a perspective view for explaining around a magnetic head of the magnetic recording apparatus according to the embodiment of the present invention;
【図１０】従来の磁気ヘッドチップの斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of a conventional magnetic head chip.
【図１１】従来の磁気ヘッドチップの一部分の平面図で
ある。FIG. 11 is a plan view of a part of a conventional magnetic head chip.
１ 磁気ギャップ １１、１２ 磁性体コア １３ａ、１４ａ 切欠部 １５、１６ ガラス質ブロック １７、１８ コア本体 １９、２０ 磁性体膜 ２２ 切欠部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic gap 11, 12 Magnetic core 13a, 14a Notch 15, 16 Vitreous block 17, 18, Core main body 19, 20 Magnetic film 22 Notch
Claims (6)
うように対向配置された予め凸状に加工された一対の磁
性体コアと、 両磁性体コアを相互に結合するために両磁性体コアの両
サイドに設けられた一対のガラス質ブロックとを備え、 前記一対の両磁性体コアは、突き合わせずれを有して構
成されており、 前記両磁性体コアの磁気テープスライド面の側面側にお
いて、トラック幅を規制するための切欠部が形成され、 この切欠部は、磁気テープスライド面側からみた磁気ギ
ャップ長手方向両端部に位置し、かつ前記切欠部の深さ
は、前記一対の両磁性体コアの前記突き合わせずれのお
おきさよりおおきいことを特徴とする磁気ヘッド。1. A pair of magnetic cores which have been formed in a convex shape and which are opposed to each other so that protruding end surfaces thereof face each other with a gap material interposed therebetween, and both magnetic cores for connecting the magnetic cores to each other. A pair of vitreous blocks provided on both sides of the two magnetic cores, the pair of magnetic cores are configured to have a misalignment, and a side surface of the magnetic tape slide surface of the magnetic cores A notch for regulating the track width is formed. The notch is located at both ends in the longitudinal direction of the magnetic gap as viewed from the side of the magnetic tape slide surface, and the depth of the notch is equal to the pair of magnetic poles. A magnetic head characterized by being larger than the size of the displacement of the body core.
のトラック幅を維持したまま巻線溝までいたっているこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the notch extends to the winding groove while maintaining the track width on the magnetic tape slide surface.
μm以下であることを特徴とする請求項第１、又は２項
記載の磁気ヘッド。3. The width of the notch in the longitudinal direction of the track is 30.
3. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is not more than μm.
膜との複合体からなり、前記切欠部が前記金属磁性膜の
みに形成されていることを特徴とする請求項１、２、ま
たは３記載の磁気ヘッド。4. The method according to claim 1, wherein the convex magnetic core is formed of a composite of ferrite and a metal magnetic film, and the cutout portion is formed only in the metal magnetic film. 3. The magnetic head according to item 3.
ガラスで形成されていることを特徴とする請求項１から
４のいずれか一項に記載の磁気ヘッド。5. The magnetic head according to claim 1, wherein at least a part of the magnetic gap material is formed of crystallized glass.
磁気ヘッドを用いることを特徴とする磁気記録再生装
置。6. A magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic head according to any one of claims 1 to 5.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9359398A JPH10293904A (en) | 1993-10-04 | 1998-04-06 | Magnetic head and magnetic recording and reproducing device |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24790193 | 1993-10-04 | ||
| JP5-307845 | 1993-12-08 | ||
| JP5-247901 | 1993-12-08 | ||
| JP30784593 | 1993-12-08 | ||
| JP9359398A JPH10293904A (en) | 1993-10-04 | 1998-04-06 | Magnetic head and magnetic recording and reproducing device |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6235705A Division JP2933491B2 (en) | 1993-10-04 | 1994-09-29 | Manufacturing method of magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10293904A true JPH10293904A (en) | 1998-11-04 |
Family
ID=27307328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9359398A Pending JPH10293904A (en) | 1993-10-04 | 1998-04-06 | Magnetic head and magnetic recording and reproducing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10293904A (en) |
-
1998
- 1998-04-06 JP JP9359398A patent/JPH10293904A/en active Pending
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