JPH0935209A - Magnetic head and its manufacture and magnetic recording and reproducing device using the them - Google Patents
Magnetic head and its manufacture and magnetic recording and reproducing device using the themInfo
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- JPH0935209A JPH0935209A JP11670896A JP11670896A JPH0935209A JP H0935209 A JPH0935209 A JP H0935209A JP 11670896 A JP11670896 A JP 11670896A JP 11670896 A JP11670896 A JP 11670896A JP H0935209 A JPH0935209 A JP H0935209A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に対
して情報信号の記録や再生を行う磁気へッド及びその製
造方法とそれらを用いた磁気記録再生装置とに関するも
のであり、特に、ディジタルＶＴＲ等に用いられる高密
度磁気記録用の狭トラック磁気へッド及びその製造方法
とそれらを用いた磁気記録再生装置とに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for recording and reproducing information signals on a magnetic recording medium, a method for manufacturing the same, and a magnetic recording / reproducing apparatus using the same. The present invention relates to a narrow track magnetic head for high density magnetic recording used in a digital VTR or the like, a method for manufacturing the same, and a magnetic recording / reproducing apparatus using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ディジタルＶＴＲのように大容量の情報
信号を記録再生するには、狭トラック化や短波長化など
の高密度磁気記録再生技術が必要となる。高密度磁気記
録再生の実現のためには、記録媒体の保磁力を大きくす
る、或いは磁気へッドの飽和磁束密度（以下、Ｂｓと略
称する）を大きくすると良いことが、一般に知られてい
る。2. Description of the Related Art In order to record / reproduce a large-capacity information signal like a digital VTR, a high-density magnetic recording / reproducing technique such as a narrow track or a short wavelength is required. It is generally known that it is preferable to increase the coercive force of the recording medium or increase the saturation magnetic flux density (hereinafter abbreviated as Bs) of the magnetic head in order to realize high-density magnetic recording and reproduction. .
【０００３】しかし、従来の磁気へッドの構成材料とし
て主流になっているフェライト材料は、Ｂｓが０．５Ｔ
程度であって十分に大きくない。そのため、フェライト
材料から構成された従来の磁気ヘッドを８０ｋＡ／ｍ以
上の高保磁力を示すメタルテープに対して使用すると、
磁気飽和が起こって情報の記録及び再生が確実に行われ
ないことがある。However, Bs is 0.5T in the ferrite material which is the mainstream as a constituent material of the conventional magnetic head.
It's about the size, but not big enough. Therefore, when a conventional magnetic head made of a ferrite material is used for a metal tape having a high coercive force of 80 kA / m or more,
In some cases, magnetic saturation may occur and information may not be recorded or reproduced reliably.
【０００４】そこで現在では、フェライト材料よりもＢ
ｓの大きい材料であるセンダスト合金膜（Ｂｓ＝約１．
０Ｔ）やＣｏ系アモルファス膜（Ｂｓ＝約０．８Ｔ〜約
１．１Ｔ）、さらにはＢｓが約１．３Ｔ以上であるＣｏ
系超構造窒化合金膜、Ｆｅ系超構造窒化膜、或いはＦｅ
系窒化膜など、新材料を用いた磁気へッドが提案されて
いる。それらの中でも、特に、主コアがフェライトから
なり、主コアの表面のうちで少なくとも前部ギャップ近
傍に磁性体の薄膜が形成されている複合型磁気へッド、
いわゆるＭＩＧへッドの研究が盛んに行われている。Therefore, at present, B is more important than ferrite materials.
Sendust alloy film (Bs = about 1.
0T), a Co-based amorphous film (Bs = about 0.8T to about 1.1T), and further Co with Bs of about 1.3T or more.
Type superstructure nitride alloy film, Fe type superstructure nitride film, or Fe
A magnetic head using a new material such as a system nitride film has been proposed. Among them, particularly, a composite magnetic head in which the main core is made of ferrite and a thin film of a magnetic material is formed at least near the front gap on the surface of the main core,
The so-called MIG head has been actively researched.
【０００５】図１３は、従来のＭＩＧへッドの構造の一
例を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing an example of the structure of a conventional MIG head.
【０００６】図１３の従来のＭＩＧヘッド５００では、
一対の凸状磁性体コア５０２及び５０３が、磁気ギャッ
プ５０１を介して対向配置されている。磁性体コア５０
２及び５０３のそれぞれは、フェライトからなる凸状の
コア本体５０４または５０５と、コア本体５０４または
５０５の表面に形成された高飽和磁束密度を有する磁性
体膜５０６または５０７と、を含んでいる。磁性体膜５
０６及び５０７は、コア本体５０４及び５０５におい
て、磁気ギャップ５０１に面した突出端面とこれに続く
両サイド面とを覆うように形成されている。磁気ギャッ
プ５０１には非磁性体膜（以下、「ギャップ材」と称す
る。但し、図１３には不図示）が設けられており、磁性
体コア５０２及び５０３は、ギャップ材を含む磁気ギャ
ップ５０１を介してお互いに突き合わされている。さら
に、このように突き合わされて配置された磁性体コア５
０２及び５０３は、その両サイドに設けられた一対のガ
ラスブロック５０８及び５０９によって、相互に結合さ
れている。また、ＭＩＧヘッド５００の中央付近には、
コイル挿通用の巻線窓５１０が設けられている。In the conventional MIG head 500 shown in FIG. 13,
A pair of convex magnetic cores 502 and 503 are arranged to face each other with a magnetic gap 501 interposed therebetween. Magnetic core 50
Each of 2 and 503 includes a convex core body 504 or 505 made of ferrite and a magnetic film 506 or 507 having a high saturation magnetic flux density formed on the surface of the core body 504 or 505. Magnetic film 5
06 and 507 are formed so as to cover the projecting end surface facing the magnetic gap 501 and both side surfaces subsequent thereto in the core bodies 504 and 505. The magnetic gap 501 is provided with a non-magnetic material film (hereinafter referred to as “gap material”, but not shown in FIG. 13), and the magnetic cores 502 and 503 include the magnetic gap 501 including the gap material. Are butted against each other. Further, the magnetic cores 5 arranged in such a butted relationship
02 and 503 are connected to each other by a pair of glass blocks 508 and 509 provided on both sides thereof. In addition, near the center of the MIG head 500,
A winding window 510 for inserting the coil is provided.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述したＭＩＧへッド
５００は、狭トラック化の観点から考えると、両磁性体
コア５０２及び５０３の突き合わせ精度など製造上の誤
差や磁性体膜５０６及び５０７のトラックエッジ部での
丸みなどの影響で、卜ラック幅の形成精度が十分ではな
いことがある。また、トラック端を一義的に決定するこ
とができないために、組立時のトラック高さの調整工程
においても十分な精度が得られないことがある。これら
の原因によって、ＭＩＧヘッド５００の製造にあたって
は、歩留まりの低下が生じることがある。From the viewpoint of narrowing the track, the above-mentioned MIG head 500 has a manufacturing error such as the abutting accuracy of the magnetic cores 502 and 503 and the magnetic films 506 and 507. The accuracy of forming the rack width may not be sufficient due to the roundness at the track edge. In addition, since the track end cannot be uniquely determined, sufficient accuracy may not be obtained even in the track height adjusting step during assembly. Due to these causes, the yield may decrease in manufacturing the MIG head 500.
【０００８】このような問題点を解決するために、本願
の出願人は、特開平７−２２０２１８号公報に開示され
ているＭＩＧヘッドを提案している。図１４には、その
ＭＩＧヘッド６００の上面、すなわち磁気テープのスラ
イド面の構成を模式的に示している。In order to solve such a problem, the applicant of the present application has proposed the MIG head disclosed in JP-A-7-220218. FIG. 14 schematically shows the configuration of the upper surface of the MIG head 600, that is, the sliding surface of the magnetic tape.
【０００９】ＭＩＧヘッド６００の基本的な構成は、先
に説明したＭＩＧヘッド５００の構成と同様であり、一
対の凸状磁性体コア６０２及び６０３が、磁気ギャップ
６０１を介して対向配置されている。磁性体コア６０２
及び６０３のそれぞれは、フェライトからなる凸状のコ
ア本体６０４または６０５と、コア本体６０４または６
０５の表面に形成された高飽和磁束密度を有する磁性体
膜６０６または６０７と、を含んでいる。磁性体膜６０
６及び６０７は、コア本体６０４及び６０５において、
磁気ギャップ６０１に面した突出端面とこれに続く両サ
イド面とを覆うように形成されている。磁気ギャップ６
０１にはギャップ材としての非磁性体膜が設けられてお
り、磁性体コア６０２及び６０３は、ギャップ材を含む
磁気ギャップ６０１を介してお互いに突き合わされてい
る。さらに、このように突き合わされて配置された磁性
体コア６０２及び６０３は、その両サイドに設けられた
一対のガラスブロック６０８及び６０９によって、相互
に結合されている。The basic configuration of the MIG head 600 is similar to that of the MIG head 500 described above, and a pair of convex magnetic cores 602 and 603 are arranged to face each other with a magnetic gap 601 interposed therebetween. . Magnetic core 602
And 603 respectively include a convex core body 604 or 605 made of ferrite and a core body 604 or 6
The magnetic substance film 606 or 607 having a high saturation magnetic flux density formed on the surface of No. 05. Magnetic film 60
6 and 607 are core bodies 604 and 605,
It is formed so as to cover the projecting end surface facing the magnetic gap 601 and both side surfaces following it. Magnetic gap 6
01 is provided with a non-magnetic film as a gap material, and the magnetic cores 602 and 603 are butted against each other via a magnetic gap 601 containing the gap material. Further, the magnetic cores 602 and 603 arranged so as to face each other are coupled to each other by a pair of glass blocks 608 and 609 provided on both sides thereof.
【００１０】ＭＩＧヘッド６００の磁気テープスライド
面には、トラック幅を規制する凸状加工部６３９とは別
に、両磁性体コア６０２及び６０３にわたって切欠部６
１３ａ及び６１４ａが設けられている。このような切欠
部６１３ａ及び６１４ａを設けることによって、磁気ヘ
ッド６００では、両磁性体コア６０２及び６０３の突き
合わせ精度に関連するトラックずれがなくなるととも
に、トラックエッジの丸みによる精度の悪化、いわゆる
フリンジも大幅に低減される。On the magnetic tape slide surface of the MIG head 600, in addition to the convex processing portion 639 that regulates the track width, the cutout portion 6 extends over both magnetic cores 602 and 603.
13a and 614a are provided. By providing such cutouts 613a and 614a, in the magnetic head 600, the track deviation related to the abutting accuracy of the magnetic cores 602 and 603 is eliminated, and the accuracy is deteriorated due to the roundness of the track edge, so-called fringe is also greatly. Is reduced to.
【００１１】しかし、このＭＩＧへッド６００の製造工
程においても、切欠部６１３ａ及び６１４ａの加工工程
以後に数々のプロセスが実施されるので、ミクロオーダ
でみれば磁性体コア６０２及び６０３の間にトラックず
れが生じることがあり、十分な精度で所期のトラック幅
を確保することができないことがある。However, even in the manufacturing process of the MIG head 600, various processes are carried out after the processing of the notches 613a and 614a, so that when viewed from the micro order, it is between the magnetic cores 602 and 603. Track deviation may occur, and the desired track width may not be secured with sufficient accuracy.
【００１２】さらに、磁性体コア６０２及び６０３の凸
状加工部６３９のサイド面では、ガラスブロック６０８
及び６０９と磁性体膜６０６及び６０７との間の界面
に、例えばＳｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ガラス、或い
はＣｒなどの材料、さらにはこれらの材料の複合体から
なる反応防止膜６４０が設けられていて、磁性体コア６
０２及び６０３（より具体的には磁性体膜６０６及び６
０７）とガラスブロック６０８及び６０９との間の化学
反応の発生を抑制している。しかし、切欠部６１３ａ及
び６１４ａにおける磁性体膜６０６及び６０７とガラス
ブロック６０８及び６０９との界面には、そのような反
応防止膜６４０が設けられていない。そのため、両者の
間に化学反応が発生して、その結果としてトラックエッ
ジのぼけ等の問題が発生することがある。Further, on the side surface of the convex processed portion 639 of the magnetic cores 602 and 603, the glass block 608 is formed.
And 609 and the magnetic films 606 and 607 at the interface, for example, a reaction preventive film 640 made of a material such as SiO 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , glass, or Cr, or a composite of these materials. Is provided, and the magnetic core 6 is provided.
02 and 603 (more specifically, magnetic films 606 and 6)
07) and the glass blocks 608 and 609 are suppressed from occurring. However, such a reaction preventive film 640 is not provided on the interfaces between the magnetic films 606 and 607 and the glass blocks 608 and 609 in the cutouts 613a and 614a. Therefore, a chemical reaction may occur between them, resulting in a problem such as blurring of the track edge.
【００１３】以上のような問題によって、図１４に示す
ＭＩＧヘッド６００においても、トラック幅の精度に関
する解決すべき課題が依然として残されている。Due to the above problems, the MIG head 600 shown in FIG. 14 still has a problem to be solved regarding the track width accuracy.
【００１４】一方、トラック幅の精度の改善は、これま
でにいくつかの先行技術で試みられている。On the other hand, improvement of the track width accuracy has been attempted in some prior arts.
【００１５】例えば、米国特許第４，１１０，９０２号
には、摺動面の上面からワイヤによってトラック幅を規
制する方法が開示されている。これは、摺動面の全体に
わたり一定のトラック幅に加工するものであるが、磁気
媒体の走行による耐摩耗性の問題が発生して、著しく磁
気特性が劣化する可能性がある。また、米国特許第３，
６６８，７７５号には、コア全体の寸法がトラック幅に
一致するように構成されている磁気ヘッドが開示されて
いる。しかし、この構成においても、磁気特性が著しく
劣化する可能性がある。さらに、磁気ヘッドチップの強
度が劣化することがある。For example, US Pat. No. 4,110,902 discloses a method of restricting the track width with a wire from the upper surface of a sliding surface. In this method, the entire sliding surface is processed to have a constant track width, but there is a possibility that the magnetic characteristics may be remarkably deteriorated due to the problem of abrasion resistance due to running of the magnetic medium. Also, U.S. Pat.
No. 668,775 discloses a magnetic head constructed so that the size of the entire core matches the track width. However, even in this configuration, the magnetic characteristics may be significantly deteriorated. Furthermore, the strength of the magnetic head chip may deteriorate.
【００１６】さらに、米国特許第５，２９８，１１３号
では、トラック近傍をバイトで加工する磁気ヘッドの製
造方法が開示されている。しかし、この方法では、磁気
へッドのうちで磁気記録再生を行うための要部である磁
気ギャップ部のエッジが損傷する可能性がある。そのよ
うな損傷の発生は磁気特性の劣化につながるものであ
り、磁気ヘッドの動作特性の観点から好ましくない。ま
た、加工精度の観点からも、約１μｍ以下の精度での加
工は困難であり、特に磁気ギャップの深さ方向に安定し
た加工精度を確保することに問題がある。Further, US Pat. No. 5,298,113 discloses a method of manufacturing a magnetic head in which the vicinity of a track is processed with a cutting tool. However, with this method, there is a possibility that the edge of the magnetic gap portion, which is a main portion for performing magnetic recording / reproduction, in the magnetic head may be damaged. The occurrence of such damage leads to deterioration of magnetic characteristics and is not preferable from the viewpoint of operating characteristics of the magnetic head. Further, from the viewpoint of processing accuracy, it is difficult to perform processing with an accuracy of about 1 μm or less, and there is a problem in securing stable processing accuracy particularly in the depth direction of the magnetic gap.
【００１７】さらに、開示されているようなバイトを用
いた加工方法では、実際の加工に際しては、磁性体コア
にバイトを押し当てて所定の形状に加工しなければなら
ない。そのため、バー状態にある材料を加工することが
できずに量産化の達成に課題があることに加えて、加工
表面に加工変質層が生じることによって磁気特性の劣化
が生じ、所定の実効トラック幅を精度よく確保できない
という問題も生じる。Further, in the processing method using the cutting tool as disclosed, in actual processing, the cutting tool has to be pressed into the magnetic core to be processed into a predetermined shape. Therefore, the material in the bar state cannot be processed, and there is a problem in achieving mass production. In addition, the deterioration of the magnetic characteristics occurs due to the occurrence of a work-affected layer on the processed surface, and There is also a problem that it is not possible to accurately secure
【００１８】近年の磁気記録における記録密度の向上の
結果として、磁気ヘッドに対しては、約１０μｍ以下の
トラック幅を±約０．５μｍ以下の精度で得ることが要
求されるようになっている。しかし、上述してきたよう
に、従来技術では、磁気特性を劣化させずに上記のよう
な要求を実現することはほとんど不可能である。As a result of the recent improvement in recording density in magnetic recording, it is required for a magnetic head to obtain a track width of about 10 μm or less with an accuracy of ± 0.5 μm or less. . However, as described above, it is almost impossible for the conventional technology to realize the above requirements without deteriorating the magnetic characteristics.
【００１９】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、（１）磁気記録の高密度
化に対応できる狭トラックで高性能な磁気へッドを提供
すること、（２）上記のような狭トラックの磁気へッド
を歩留まり良く且つ低コストで製造する方法を提供する
こと、ならびに、（３）上記のような磁気ヘッド及びそ
の製造方法を利用することにより、狭トラックピッチに
適した磁気記録再生装置を提供すること、である。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to (1) provide a narrow track high-performance magnetic head capable of coping with high density magnetic recording. And (2) to provide a method for manufacturing a magnetic head having a narrow track as described above with a good yield and at low cost, and (3) by using the magnetic head and the manufacturing method thereof as described above. To provide a magnetic recording / reproducing apparatus suitable for a narrow track pitch.
【００２０】[0020]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
凸状に加工された部分を有し、該凸状加工部が磁気ギャ
ップ材を介して向き合うように対向配置された一対の磁
性体コアと、該一対の磁性体コアの両サイドにそれぞれ
配置されて該一対の磁性体コアを結合している一対のガ
ラスブロックと、を備えていて、該一対の磁性体コアの
それぞれにおいて、少なくとも該凸状加工部の突出端面
に磁性体膜が形成され、該一対の磁性体コアの磁気テー
プスライド面において、トラック幅を規定する一対の切
欠部が該一対の磁性体コアの該凸状加工部の突き合わせ
部を両側から挟み込むように放電加工によって設けられ
ていて、該一対の切欠部は、その界面が磁気テープ走行
時に該磁気テープ上の記録パターンの端部より外側に位
置しないような形状を有しており、そのことによって上
記目的が達成される。According to the present invention, there is provided a magnetic head comprising:
A pair of magnetic material cores having a convexly processed portion and the convexly processed portions facing each other so as to face each other via a magnetic gap material, and arranged on both sides of the pair of magnetic material cores, respectively. And a pair of glass blocks connecting the pair of magnetic material cores, and in each of the pair of magnetic material cores, a magnetic material film is formed on at least the protruding end surface of the convex processed portion, On the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores, a pair of notches that define the track width are provided by electric discharge machining so as to sandwich the abutting portions of the convex-shaped processed portions of the pair of magnetic cores from both sides. The pair of notches have a shape such that the interface between them does not lie outside the end of the recording pattern on the magnetic tape when the magnetic tape is running. .
【００２１】好ましくは、前記一対の切欠部が円弧状で
ある。さらに好ましくは、前記切欠部の円弧と磁気ギャ
ップとの交点における該円弧の接線が前記磁気テープの
走行方向と略平行になる。また、好ましくは、前記切欠
部の円弧の半径が、前記突出端面に設けられた前記磁性
体膜の最小厚さよりも小さい。[0021] Preferably, the pair of notches have an arc shape. More preferably, the tangent line of the arc at the intersection of the arc of the notch and the magnetic gap is substantially parallel to the running direction of the magnetic tape. Further, preferably, the radius of the arc of the cutout portion is smaller than the minimum thickness of the magnetic film provided on the protruding end surface.
【００２２】ある実施形態では、前記突出端面におい
て、前記磁性体膜と前記磁性体コアとの界面が前記磁気
ギャップの面に略平行である。In one embodiment, the interface between the magnetic film and the magnetic core on the protruding end surface is substantially parallel to the surface of the magnetic gap.
【００２３】好ましくは、少なくとも前記一対の切欠部
と前記一対のガラスブロックとの界面に反応防止膜が設
けられている。Preferably, a reaction preventive film is provided at least at the interface between the pair of cutouts and the pair of glass blocks.
【００２４】また、好ましくは、前記一対のガラスブロ
ックのそれぞれが、さらに磁気ヘッドの前記磁気テープ
スライド面に近く位置するフロントガラスブロック部と
該磁気ヘッドスライド面から遠く位置するバックガラス
ブロック部とを含み、該フロントガラスブロック部の軟
化点が該バックガラスブロック部の軟化点よりも低くな
るように設定されている。Further, preferably, each of the pair of glass blocks further comprises a windshield block portion positioned closer to the magnetic tape slide surface of the magnetic head and a back glass block portion positioned farther from the magnetic head slide surface. The softening point of the windshield block portion is set to be lower than the softening point of the back glass block portion.
【００２５】本発明の他の局面によれば、磁気ヘッド
が、凸状に加工された部分を有し、該凸状加工部が磁気
ギャップ材を介して向き合うように対向配置された一対
の磁性体コアと、該一対の磁性体コアの両サイドにそれ
ぞれ配置されて該一対の磁性体コアを結合している一対
のガラスブロックと、を備えていて、該一対の磁性体コ
アの少なくとも一方において、少なくとも該凸状加工部
の突出端面に磁性体膜が形成され、該一対の磁性体コア
の磁気テープスライド面において、トラック幅を規定す
る一対の切欠部が該一対の磁性体コアの該凸状加工部の
突き合わせ部を両側から挟み込むように設けられてい
て、少なくとも該一対の切欠部と該一対のガラスブロッ
クとの界面に反応防止膜が設けられており、そのことに
よって上記目的が達成される。According to another aspect of the present invention, the magnetic head has a portion processed into a convex shape, and the convex processed portions are arranged in a pair so as to face each other via the magnetic gap material. A body core and a pair of glass blocks that are arranged on both sides of the pair of magnetic material cores and couple the pair of magnetic material cores, respectively, and at least one of the pair of magnetic material cores is provided. , A magnetic film is formed on at least the projecting end surface of the convex processed portion, and a pair of notches that define a track width are provided on the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores. It is provided so as to sandwich the abutting portion of the shaped portion from both sides, and a reaction preventive film is provided at least at the interface between the pair of cutout portions and the pair of glass blocks, thereby achieving the above object. It is.
【００２６】本発明のさらに他の局面によれば、磁気ヘ
ッドが、凸状に加工された部分を有し、該凸状加工部が
磁気ギャップ材を介して向き合うように対向配置された
一対の磁性体コアと、該一対の磁性体コアの両サイドに
それぞれ配置されて該一対の磁性体コアを結合している
一対のガラスブロックと、を備えていて、該一対の磁性
体コアの少なくとも一方において、少なくとも該凸状加
工部の突出端面に磁性体膜が形成され、該一対の磁性体
コアの磁気テープスライド面において、トラック幅を規
定する一対の切欠部が該一対の磁性体コアの該凸状加工
部の突き合わせ部を両側から挟み込むように設けられて
いて、該一対のガラスブロックのそれぞれが、さらに磁
気ヘッドの該磁気テープスライド面に近く位置するフロ
ントガラスブロック部と該磁気ヘッドスライド面から遠
く位置するバックガラスブロック部とを含み、該フロン
トガラスブロック部の軟化点が該バックガラスブロック
部の軟化点よりも低くなるように設定されており、その
ことによって上記目的が達成される。According to still another aspect of the present invention, the magnetic head has a portion processed into a convex shape, and the convex processed portions are arranged so as to face each other with the magnetic gap material interposed therebetween. At least one of the pair of magnetic material cores, and a pair of glass blocks respectively arranged on both sides of the pair of magnetic material cores and connecting the pair of magnetic material cores. A magnetic film is formed on at least the projecting end surface of the convex processed portion, and a pair of notches that define a track width is formed on the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores. The pair of glass blocks are provided so as to sandwich the abutting portion of the convex-shaped processed portion from both sides, and each of the pair of glass blocks is located closer to the magnetic tape slide surface of the magnetic head. Part and a back glass block part located far from the magnetic head slide surface, and the softening point of the windshield block part is set to be lower than the softening point of the back glass block part. The above object is achieved.
【００２７】上記構成を有する磁気ヘッドにおいて、好
ましくは、前記切欠部が放電加工により形成されてい
る。In the magnetic head having the above structure, the cutout portion is preferably formed by electric discharge machining.
【００２８】また、好ましくは、前記一対の磁性体コア
のそれぞれがフェライトコアを含み、前記磁性体膜はそ
れぞれの該フェライトコアの表面に設けられていて、前
記一対の切欠部は該磁性体膜のみに形成されている。Preferably, each of the pair of magnetic material cores includes a ferrite core, the magnetic material film is provided on a surface of each of the ferrite cores, and the pair of notches are provided in the magnetic material film. Formed only in.
【００２９】ある実施形態では、巻線を施すための巻線
窓をさらに備え、前記一対の切欠部が該巻線窓に達して
いる。In one embodiment, a winding window for winding is further provided, and the pair of cutouts reach the winding window.
【００３０】さらに、本発明によれば、上述のような構
成上の特徴を有する磁気ヘッドを備える磁気記録再生装
置が提供される。Further, according to the present invention, there is provided a magnetic recording / reproducing apparatus having a magnetic head having the above-mentioned structural features.
【００３１】本発明のさらに他の局面によれば、凸状に
加工された部分と少なくとも該凸状加工部の突出端面に
設けられた磁性体膜とを含む一対の磁性体コアと、該磁
性体コアの前面に近く位置するフロントガラスブロック
部及び該磁性体コアの該前面から遠く位置するバックガ
ラスブロック部を含み一対の磁性体コアを結合するガラ
スブロックと、を備える磁気ヘッドの製造方法が、該突
出端面を磁気ギャップ材を介して突き合わせて対向配置
する第１の工程と、該一対の磁性体コアの磁気テープス
ライド面において、トラック幅を規定する一対の切欠部
を、該一対の磁性体コアの該凸状加工部の突き合わせ部
を両側から挟み込むように放電加工により設ける第２の
工程と、少なくとも該一対の切欠部の表面に、該磁性体
膜と該ガラスブロックとの間の化学反応を防止する反応
防止膜を形成する第３の工程と、該一対の磁性体コアの
所定の位置にあらかじめ設けられている溝にガラス材料
を熱処理により充填して該フロントガラスブロックを形
成する第４の工程と、を包含しており、そのことによっ
て上記の目的が達成される。According to still another aspect of the present invention, a pair of magnetic cores including a convex-processed portion and at least a magnetic film provided on a protruding end surface of the convex-processed portion, and the magnetic core. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: a glass block including a windshield block portion located near a front surface of a body core and a back glass block portion located far from the front surface of the magnetic core, and a glass block coupling a pair of magnetic cores. A first step of arranging the projecting end faces to face each other with a magnetic gap material between them, and a pair of notches that define a track width on the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores. A second step in which the abutting portions of the convex-shaped processed portions of the body core are provided by electrical discharge machining so as to sandwich them from both sides, and the magnetic film and the glass block are formed on at least the surfaces of the pair of cutouts. A third step of forming a reaction preventive film for preventing a chemical reaction between the glass core and a groove formed in a predetermined position of the pair of magnetic material cores by heat treatment with a glass material, And a fourth step of forming a glass block, whereby the above object is achieved.
【００３２】好ましくは、上記の磁気ヘッドの製造方法
は、前記切欠部の形成に先立って、前記一対の磁性体コ
アを前記バックガラスブロックでお互いに溶着する工程
をさらに包含する。Preferably, the method of manufacturing a magnetic head further includes a step of welding the pair of magnetic cores to each other on the back glass block prior to forming the cutout portion.
【００３３】本発明のさらに他の局面によれば、凸状に
加工された部分と少なくとも該凸状加工部の突出端面に
設けられた磁性体膜とを含む一対の磁性体コアと、該磁
性体コアの前面に近く位置するフロントガラスブロック
部及び該磁性体コアの該前面から遠く位置するバックガ
ラスブロック部を含み一対の磁性体コアを結合するガラ
スブロックと、を備える磁気ヘッドの製造方法が、該突
出端面を磁気ギャップ材を介して突き合わせて対向配置
する第１の工程と、該一対の磁性体コアを前記バックガ
ラスブロックでお互いに溶着する第２の工程と、該一対
の磁性体コアの磁気テープスライド面において、トラッ
ク幅を規定する一対の切欠部を、該一対の磁性体コアの
該凸状加工部の突き合わせ部を両側から挟み込むように
放電加工により設ける第３の工程と、該一対の磁性体コ
アの所定の位置にあらかじめ設けられている溝にガラス
材料を熱処理により充填して該フロントガラスブロック
を形成する第４の工程と、を包含しており、そのことに
よって上記目的が達成される。According to still another aspect of the present invention, a pair of magnetic cores including a convex-processed portion and at least a magnetic film provided on a protruding end surface of the convex-processed portion, and the magnetic core. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: a glass block including a windshield block portion located near a front surface of a body core and a back glass block portion located far from the front surface of the magnetic core, and a glass block coupling a pair of magnetic cores. A first step of arranging the protruding end faces to face each other with a magnetic gap material between them, a second step of welding the pair of magnetic cores to each other in the back glass block, and the pair of magnetic cores On the magnetic tape slide surface, a pair of notches that define the track width are provided by electrical discharge machining so as to sandwich the abutting portions of the projecting portions of the pair of magnetic cores from both sides. And a fourth step of forming a windshield block by heat-treating a groove provided in a predetermined position of the pair of magnetic cores with a glass material. Therefore, the above object is achieved.
【００３４】好ましくは、前記フロントガラスブロック
の軟化点が前記バックガラスブロックの軟化点よりも低
く設定されていて、該フロントガラスブロックを熱充填
によって形成する工程の熱処理温度が該バックガラスブ
ロックの軟化点よりも低く設定されている。Preferably, the softening point of the windshield block is set lower than the softening point of the back glass block, and the heat treatment temperature in the step of forming the windshield block by heat filling is the softening point of the back glass block. It is set lower than the point.
【００３５】また、好ましくは、前記切欠部を放電加工
で形成する工程において、円筒形状の放電加工電極を回
転させながら前記磁性体コアの端部を加工する。Further, preferably, in the step of forming the cutout portion by electric discharge machining, the end portion of the magnetic core is processed while rotating the cylindrical electric discharge machining electrode.
【００３６】ある実施形態では、前記切欠部を放電加工
で形成する工程において、放電加工電極の先端を少なく
とも巻線窓にまで到達させて前記磁性体コアの端部を加
工する。In one embodiment, in the step of forming the notch by electric discharge machining, the end of the magnetic core is processed by making the tip of the electric discharge electrode reach at least the winding window.
【００３７】さらに、本発明によれば、上述のような特
徴を有する製造方法によって形成された磁気ヘッドを備
える磁気記録再生装置が提供される。Further, according to the present invention, there is provided a magnetic recording / reproducing apparatus having a magnetic head formed by the manufacturing method having the above-mentioned characteristics.
【００３８】[0038]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００３９】図１は、本発明のある実施形態における磁
気ヘッド１００の構成を模式的に示す斜視図であり、図
２は、磁気ヘッド１００の上面、すなわち磁気テープの
スライド面の構成を模式的に示す図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing the structure of a magnetic head 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic view of the structure of the upper surface of the magnetic head 100, that is, the sliding surface of a magnetic tape. FIG.
【００４０】磁気へッド１００では、磁気ギャップ１を
介して対向配置されている一対の凸状磁性体コア１１及
び１２が、一対のガラスブロックによってお互いに溶着
されて接合されている。磁気ギャップ１には、ギャップ
材４０（図１には不図示、図２参照）が配されている。
一対のガラスブロックのそれぞれは、磁性体コア１１及
び１２の磁気テープスライド面に近く位置するフロント
ガラスブロック１５ａ及び１６ａと、磁気テープスライ
ド面から離れて位置するバックガラスブロック１５ｂ及
び１６ｂと、を含んでいる。In the magnetic head 100, a pair of convex magnetic material cores 11 and 12 arranged to face each other with a magnetic gap 1 in between are welded and bonded to each other by a pair of glass blocks. A gap member 40 (not shown in FIG. 1, see FIG. 2) is arranged in the magnetic gap 1.
Each of the pair of glass blocks includes windshield blocks 15a and 16a located near the magnetic tape slide surfaces of the magnetic cores 11 and 12, and back glass blocks 15b and 16b located away from the magnetic tape slide surfaces. I'm out.
【００４１】凸状磁性体コア１１及び１２のそれぞれ
は、その大部分を占めるフェライトコア１７及び１８
と、フェライトコア１７及び１８の凸状加工部３９の突
出端面及びこれに続く両サイド面を覆うように形成され
ている高飽和磁束密度を有する磁性体膜１９及び２０
と、を含んでいる。両磁性体コア１１及び１２はさら
に、磁気ギャップ１を両側から挟み込むように設けられ
て、磁性体膜１９及び２０のみをトラックエッジ近傍に
おいて円弧上に切りそろえる切欠部１３ａ及び１４ａを
含んでいる。切欠部１３ａ及び１４ａは、凸状加工部３
９の突き合わせ部を両側から挟み込むように両磁性体コ
ア１１及び１２に渡って設けられている。これらの切欠
部１３ａ及び１４ａは、磁気ヘッド１００の上面、すな
わち磁気テープスライド面でのトラック幅Ｔｗを維持し
たままで、磁気ヘッド１００の中央に設けられた巻線窓
２１まで達している。なお、切欠部１３ａ及び１４ａ
は、フェライトコア１７及び１８にまで達するように設
けられてもよい。Each of the convex magnetic cores 11 and 12 occupies most of the ferrite cores 17 and 18, respectively.
And the magnetic films 19 and 20 having a high saturation magnetic flux density formed so as to cover the projecting end surface of the convex processed portion 39 of the ferrite cores 17 and 18 and both side surfaces subsequent thereto.
And Both the magnetic cores 11 and 12 are further provided so as to sandwich the magnetic gap 1 from both sides, and include notches 13a and 14a for cutting only the magnetic films 19 and 20 on an arc near the track edge. The cutouts 13a and 14a are formed by the convex processed portion 3
The magnetic cores 11 and 12 are provided so as to sandwich the abutting portion 9 from both sides. These notches 13a and 14a reach the winding window 21 provided at the center of the magnetic head 100 while maintaining the track width Tw on the upper surface of the magnetic head 100, that is, the magnetic tape sliding surface. Notches 13a and 14a
May be provided to reach the ferrite cores 17 and 18.
【００４２】磁気ヘッド１００では、後にその製造工程
に関連してさらに詳しく説明するように、この切欠部１
３ａ及び１４ａが設けられていること、及びこれらの切
欠部１３ａ及び１４ａの形成時に凸状磁性体コア１１及
び１２をガラスバックブロック１５ｂ及び１６ｂで固定
することにより、トラックエッジにおける突き合わせず
れはミクロオーダでも生じない。In the magnetic head 100, as will be described later in more detail in connection with the manufacturing process, the cutout 1 is formed.
3a and 14a are provided, and the convex magnetic cores 11 and 12 are fixed by the glass back blocks 15b and 16b when the cutouts 13a and 14a are formed, so that the butt displacement at the track edge is in the micro order. But it does not happen.
【００４３】さらに、フロントガラスブロック１５ａ及
び１６ａの軟化点がバックガラスブロック１５ｂ及び１
６ｂの軟化点よりも低くなるように両者の構成材料を選
択することによって、磁性体コア１１及び１２の突き合
わせずれをさらに一層低減することができる。これは、
このような材料選択によって、フロントガラスブロック
１５ａ及び１６ａのモールド処理時の熱処理温度をバッ
クガラスブロック１５ｂ及び１６ｂの軟化点よりも低く
設定することが可能になり、フロントガラスブロック１
５ａ及び１６ａのモールド処理時にバックガラスブロッ
ク１５ｂ及び１６ｂが軟化しないからである。Further, the softening points of the windshield blocks 15a and 16a are different from those of the backglass blocks 15b and 1b.
By selecting the constituent materials of both so as to be lower than the softening point of 6b, it is possible to further reduce the misalignment between the magnetic cores 11 and 12. this is,
By such material selection, it becomes possible to set the heat treatment temperature at the time of molding processing of the windshield blocks 15a and 16a lower than the softening point of the backglass blocks 15b and 16b.
This is because the back glass blocks 15b and 16b are not softened during the molding process of 5a and 16a.
【００４４】さらに、磁気ヘッド１００では、切欠部１
３ａ及び１４ａにおける磁性体膜１９及び２０とガラス
ブロックとの界面に、反応防止膜５０（図１には不図
示、図２参照）が設けられている。これによって、切欠
部１３ａ及び１４ａにおいて、磁性体膜１９及び２０と
ガラスブロックとが直接的に接することがなくなるの
で、両者の間の化学反応が生じない。このため、トラッ
クエッジの広がりが発生せず、トラックエッジが磁気的
にもシャープなものになる。Further, in the magnetic head 100, the notch 1
A reaction preventing film 50 (not shown in FIG. 1, see FIG. 2) is provided at the interface between the magnetic films 19 and 20 and the glass block in 3a and 14a. This prevents the magnetic films 19 and 20 and the glass block from directly contacting each other in the cutouts 13a and 14a, so that a chemical reaction between them does not occur. Therefore, the track edge does not spread and the track edge becomes magnetically sharp.
【００４５】以上の結果、本発明による磁気ヘッド１０
０では、トラック幅Ｔｗを高い精度で所期の値に規制す
ることが可能になる。As a result of the above, the magnetic head 10 according to the present invention.
At 0, the track width Tw can be regulated to a desired value with high accuracy.
【００４６】図３は、磁気ヘッド１００の上面、即ち磁
気テープスライド面における磁気ギャップ１の近傍を模
式的に拡大して示す図であって、磁気テープ３４の走行
方向を矢印によって示している。図示されているよう
に、一般にはアジマス記録を行うために、磁気テープ３
４は磁気へッド１００の磁気ギャップ１に対して法線方
向に走行するのではなく、ある角度だけ傾いて走行す
る。なお、簡略化のために、図３には磁性体膜、反応防
止膜及びギャップ材は図示していない。FIG. 3 is a diagram schematically showing the vicinity of the magnetic gap 1 on the upper surface of the magnetic head 100, that is, the magnetic tape slide surface, in which the running direction of the magnetic tape 34 is indicated by an arrow. As shown, magnetic tape 3 is commonly used for azimuth recording.
4 does not travel in the direction of the normal to the magnetic gap 1 of the magnetic head 100, but travels at an angle. Note that the magnetic film, the reaction preventing film, and the gap material are not shown in FIG. 3 for simplification.
【００４７】磁気ヘッド１００では、切欠部１３ａ及び
１４ａの円弧形状を、磁気ギャップ１と切欠部１３ａ及
び１４ａとの交点Ｐにおける円弧の接線が、磁気テープ
３４の走行方向と略平行になるように形成している。こ
れにより、磁気テープ３４の上に形成される記録パター
ンの外側に切欠部１３ａ及び１４ａとフロントガラスブ
ロック１５ａ及び１６ａとの界面が接触走行することが
ない。この結果、この界面でのフリンジが発生せず、磁
気ヘッド１００は狭トラックピッチでの磁気記録に適し
たものとなる。なお、本発明による磁気ヘッド１００
は、アジマスの角度が何度である場合に対しても適用は
可能である。さらには、アジマス無しの磁気ヘッドに対
しても、本発明を適用することが可能である。In the magnetic head 100, the arcuate shapes of the cutouts 13a and 14a are set so that the tangent of the arc at the intersection P between the magnetic gap 1 and the cutouts 13a and 14a is substantially parallel to the running direction of the magnetic tape 34. Is forming. As a result, the interfaces between the cutouts 13a and 14a and the windshield blocks 15a and 16a do not come into contact with the outside of the recording pattern formed on the magnetic tape 34. As a result, fringes do not occur at this interface, and the magnetic head 100 is suitable for magnetic recording with a narrow track pitch. The magnetic head 100 according to the present invention
Is applicable even when the azimuth angle is any number. Furthermore, the present invention can be applied to a magnetic head without azimuth.
【００４８】本発明の磁気ヘッド１００の製造にあたっ
て、切欠部１３ａ及び１４ａを放電加工で形成すること
により、加工表面における加工変質層の発生を低減する
とともに、加工表面の表面粗さを低減することができ
る。それにより、磁気ギャップ部のエッジの損傷、磁気
的特性の劣化、実効トラック幅精度の悪化などの問題が
発生せずに、高密度磁気記録に適した狭トラック磁気ヘ
ッドが供給される。また、上記のような放電加工によれ
ば、加工時に、磁性体コア１１及び１２など磁気ヘッド
１００の構成材料に物理的な負荷が与えられない。その
ため、クラック等の発生が抑えられる。これに対して、
従来技術において行われているバイ卜等を用いた切削加
工では、磁性体コアなどの加工対象物に与える物理的負
荷が非常に高く、このような微細加工には向いていな
い。In the manufacture of the magnetic head 100 of the present invention, by forming the notches 13a and 14a by electric discharge machining, it is possible to reduce the occurrence of a work-affected layer on the machined surface and to reduce the surface roughness of the machined surface. You can As a result, a narrow track magnetic head suitable for high-density magnetic recording can be supplied without causing problems such as damage to the edge of the magnetic gap portion, deterioration of magnetic characteristics, and deterioration of effective track width accuracy. Further, according to the electric discharge machining as described above, a physical load is not applied to the constituent materials of the magnetic head 100 such as the magnetic cores 11 and 12 during the machining. Therefore, the occurrence of cracks and the like can be suppressed. On the contrary,
In the cutting process using a bilayer or the like, which is performed in the prior art, the physical load applied to the object to be processed such as the magnetic core is very high, and it is not suitable for such fine processing.
【００４９】さらに、放電加工時には、放電電極を回転
させながら、トラックエッジの側面から加工対象物に放
電電極を押し当てて加工することが好ましい。このよう
にすることにより、磁気ギャップ１の深さ方向でのトラ
ック幅の加工精度が安定する。さらに、放電電極として
直径の極めて小さい非常に細長い形状の電極を使用すれ
ば、加工対象物がバー状態であっても加工が可能になる
ので、磁気ヘッド１００の量産化が実現できる。Further, during the electric discharge machining, it is preferable that the electric discharge electrode is pressed against the object to be processed from the side surface of the track edge while the electric discharge electrode is rotated. By doing so, the processing accuracy of the track width in the depth direction of the magnetic gap 1 is stabilized. Furthermore, by using a very elongated electrode having an extremely small diameter as the discharge electrode, it is possible to perform processing even if the object to be processed is in a bar state, so that the magnetic head 100 can be mass-produced.
【００５０】上記のように、本発明によれば、高密度磁
気記録の実現のための狭トラック化に適したトラックず
れのない磁気へッド１００が、歩留まり良く且つ低コス
トで提供される。また、磁気ヘッド１００では、記録再
生フリンジも低減される。さらに、このような磁気ヘッ
ド１００を用いることにより、デジタルＶＴＲに適した
高密度記録再生装置が提供される。As described above, according to the present invention, the magnetic head 100, which is suitable for narrowing tracks for realizing high-density magnetic recording and has no track deviation, is provided at a high yield and at low cost. Further, in the magnetic head 100, the recording / reproducing fringe is also reduced. Furthermore, by using such a magnetic head 100, a high density recording / reproducing apparatus suitable for a digital VTR is provided.
【００５１】磁気ヘッド１００における磁性体膜１９及
び２０の材質としては、センダスト合金膜、Ｃｏ系アモ
ルファス膜、Ｃｏ系超構造窒化膜、Ｆｅ系超構造窒化
膜、或いはＦｅ系窒化膜等が使用可能である。これらの
材料からなる膜を、蒸着、イオンプレーティング、或い
はスパッタリング等の真空薄膜形成技術によってフェラ
イトコア１７及び１８の表面に形成することによって、
磁性体膜１９及び２０が設けられる。As the material of the magnetic films 19 and 20 in the magnetic head 100, a sendust alloy film, a Co-based amorphous film, a Co-based superstructure nitride film, an Fe-based superstructure nitride film, an Fe-based nitride film, or the like can be used. Is. By forming a film made of these materials on the surface of the ferrite cores 17 and 18 by a vacuum thin film forming technique such as vapor deposition, ion plating, or sputtering,
Magnetic films 19 and 20 are provided.
【００５２】従来技術による磁気ヘッドの構成において
も、磁性体コアとフロントガラスブロックとの間の反応
防止効果を得るために、磁気ギャップの長さの半分ずつ
に相当する厚さを有する反応防止膜を、切欠部以外の部
分における磁性体コアのそれぞれの表面に設けることが
ある。しかし、このような従来技術の反応防止膜は、ギ
ャップ材としての機能を兼ね備えたものであり、切欠部
の形成に先立って、磁気ギャップの形成時に設けられる
ものである。磁気ギャップ長が狭くなっている最近の狭
ギャップ磁気ヘッドにおいては、上記のような反応防止
膜の厚さを磁気ギャップ長の半分よりも厚くすることが
困難であるために、反応防止効果が不十分である。これ
は、トラックエッジの広がりの問題には直接にはつなが
らないが、その一方で、フロントガラスブロックと磁性
体膜との間の相互拡散反応によるガラス強度の低下につ
ながり、磁気ヘッドの歩留まりの低下を引き起こす可能
性がある。Also in the structure of the magnetic head according to the prior art, in order to obtain the reaction prevention effect between the magnetic core and the windshield block, the reaction prevention film having a thickness corresponding to each half of the length of the magnetic gap. May be provided on each surface of the magnetic core in a portion other than the cutout portion. However, such a conventional reaction preventive film also has a function as a gap material, and is provided at the time of forming the magnetic gap before forming the notch. In recent narrow gap magnetic heads with a narrow magnetic gap length, it is difficult to make the thickness of the reaction prevention film larger than half the magnetic gap length as described above, so that the reaction prevention effect is not sufficient. It is enough. This does not directly lead to the problem of the spread of the track edge, but on the other hand, it leads to a decrease in the glass strength due to the mutual diffusion reaction between the windshield block and the magnetic film, which causes a decrease in the yield of the magnetic head. Can cause.
【００５３】これに対して本発明によれば、反応防止膜
５０を磁気ギャップ１の形成後に、ギャップ材４０とは
別の構成要素として形成する。そのため、材質や膜厚と
もに任意に設定できて、形成上の自由度が高い。例え
ば、従来技術では、反応防止膜はギャップ材としての機
能もあわせ持たなければならないために、磁性体コアと
反応防止膜との間の熱膨張係数の差に起因する応力ひず
みによってクラックが発生することがある。本発明によ
れば、反応防止膜５０の材質や膜厚を適切に選択するこ
とによってそのような問題の発生を抑制することができ
る。On the other hand, according to the present invention, the reaction preventing film 50 is formed as a component different from the gap material 40 after the magnetic gap 1 is formed. Therefore, the material and the film thickness can be arbitrarily set, and the degree of freedom in forming is high. For example, in the prior art, since the reaction preventive film must also have a function as a gap material, cracks occur due to stress strain resulting from the difference in thermal expansion coefficient between the magnetic core and the reaction preventive film. Sometimes. According to the present invention, such a problem can be suppressed by appropriately selecting the material and film thickness of the reaction preventing film 50.
【００５４】ギャップ材４０の構成材料としては、Ｓｉ
Ｏ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ガラス、Ｃｒ、或いはＣｒ酸
化物、さらにはこれらの複合体などを用いることができ
る。The constituent material of the gap member 40 is Si.
O 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , glass, Cr, or a Cr oxide, or a composite of these can be used.
【００５５】反応防止膜５０は、切欠部１３ａ及び１４
ａにおける磁性体膜１９及び２０の表面のみに設けても
よい。しかし、図２を参照して説明したように、切欠部
１３ａ及び１４ａ以外の部分４０における磁性体膜１９
及び２０の表面にも反応防止膜５０を設けることによっ
て、上述したような原因によるガラス強度の低下を同時
に抑制できる。反応防止膜５０の構成材料としては、ギ
ャップ材４０と同様に、ＳｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2Ｏ5、
ガラス、Ｃｒ、或いはＣｒ酸化物、さらにはこれらの複
合体などを用いることができる。The reaction-preventing film 50 has notches 13a and 14
It may be provided only on the surfaces of the magnetic films 19 and 20 in a. However, as described with reference to FIG. 2, the magnetic film 19 in the portion 40 other than the cutouts 13a and 14a.
By providing the reaction-preventing film 50 on the surfaces of 20 and 20, it is possible to simultaneously suppress the decrease in glass strength due to the above-mentioned causes. As the constituent material of the reaction preventing film 50, similar to the gap material 40, SiO 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 ,
It is possible to use glass, Cr, or a Cr oxide, or a composite of these.
【００５６】次に、磁気へッド１００の製造方法を、図
４〜図１０を参照して説明する。Next, a method of manufacturing the magnetic head 100 will be described with reference to FIGS.
【００５７】まず、その表面をラップ処理等により平行
度良く且つ平滑度良く加工した、例えばＭｎ−Ｚｎフェ
ライトからなる一対の基板１７及び１８を用意する。基
板１７及び１８のそれぞれには、図４に示すように、複
数のトラック溝１７ａ及び１８ａを回転砥石などにより
お互いに並行に形成する。これによって、完成状態の磁
気ヘッド１００では一対のフェライトコア１７及び１８
を構成することになる構成要素が複数個含まれた形状
が、一対の基板１７及び１８に形成される。以下では、
このようなフェライトコア１７及び１８に相当する形状
が設けられた基板を「フェライトコア本体」と称し、説
明の明瞭化のために、フェライトコアと同じ参照番号１
７及び１８を付する。First, a pair of substrates 17 and 18 whose surfaces are processed by lapping or the like with good parallelism and smoothness and which are made of, for example, Mn-Zn ferrite are prepared. On each of the substrates 17 and 18, as shown in FIG. 4, a plurality of track grooves 17a and 18a are formed in parallel with each other by a rotary grindstone or the like. As a result, in the completed magnetic head 100, the pair of ferrite cores 17 and 18
The pair of substrates 17 and 18 is formed with a shape including a plurality of constituent elements constituting the above. Below,
A substrate provided with such a shape corresponding to the ferrite cores 17 and 18 is referred to as a “ferrite core body”, and for the sake of clarity of explanation, the same reference numeral 1 as the ferrite core is used.
Labels 7 and 18.
【００５８】フェライトコア本体１７及び１８の少なく
とも一方には、コイル挿通用の巻線溝２２を設ける。な
お、トラック溝１７ａ及び１８ａは、完成状態の磁気へ
ッド１００における凸状加工部３９の形状を規定するも
のであり、巻線溝２２は、完成状態の磁気へッド１００
における巻線窓２１に対応する。A winding groove 22 for inserting a coil is provided in at least one of the ferrite core bodies 17 and 18. The track grooves 17a and 18a define the shape of the convex-shaped processed portion 39 in the completed magnetic head 100, and the winding groove 22 defines the completed magnetic head 100.
Corresponding to the winding window 21 in.
【００５９】次に、図５に示すように、フェライトコア
本体１７及び１８の一側面に、高飽和磁束密度の磁性体
膜１９及び２０を真空薄膜形成技術によって被着して形
成する。これによって、一対の磁性体コア本体１１及び
１２が完成する。ここで、「磁性体コア本体」とは、完
成状態の磁気ヘッド１００で磁性体コア１１及び１２に
相当する構成要素が複数形成されている形状を示すもの
であり、説明の明瞭化のために、磁性体コアと同じ参照
番号１１及び１２を付する。Next, as shown in FIG. 5, magnetic films 19 and 20 having a high saturation magnetic flux density are formed on one side surface of the ferrite core bodies 17 and 18 by a vacuum thin film forming technique. As a result, the pair of magnetic core bodies 11 and 12 are completed. Here, the "magnetic body core body" refers to a shape in which a plurality of constituent elements corresponding to the magnetic body cores 11 and 12 are formed in the completed magnetic head 100, and for the sake of clarity of explanation. , And the same reference numerals 11 and 12 as the magnetic core.
【００６０】磁性体膜１９及び２０の構成材料として
は、センダスト合金膜、Ｃｏ系アモルファス膜、Ｃｏ系
超構造窒化膜、Ｆｅ系超構造窒化膜、或いはＦｅ系窒化
膜などが使用できる。これらは、蒸着、イオンプレーテ
ィング、或いはスパッタリング等の真空薄膜形成技術に
よって形成される。As a constituent material of the magnetic films 19 and 20, a sendust alloy film, a Co type amorphous film, a Co type superstructure nitride film, an Fe type superstructure nitride film, an Fe type nitride film, or the like can be used. These are formed by a vacuum thin film forming technique such as vapor deposition, ion plating, or sputtering.
【００６１】次に、一対の磁性体コア本体１１及び１２
のいずれか一方或いは双方に、磁気ギャップを形成する
ための膜状のギャップ材（不図示）を付設する。そし
て、このギャップ材を介して、両磁性体コア本体１１及
び１２を図６に示すように対向配置する。ギャップ材の
構成材料としては、ＳｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ガラ
ス、Ｃｒ、或いはＣｒ酸化物、さらにはこれらの複合体
などを用いることができる。Next, a pair of magnetic core bodies 11 and 12
A film-shaped gap material (not shown) for forming a magnetic gap is attached to either one or both of them. Then, the two magnetic body core bodies 11 and 12 are arranged so as to face each other with the gap material interposed therebetween, as shown in FIG. The constituent material of the gap member, SiO 2, ZrO 2, Ta 2 O 5, glass, Cr, or Cr oxide, and even more may be used as these complexes.
【００６２】本発明によれば、磁気ギャップ部１の形成
後に反応防止膜５０を付設するので、ギャップ材の構成
材料に、磁性体膜１９及び２０とフロントガラスブロッ
ク１５ａ及び１６ａとの間の拡散反応の抑制機能を持た
せる必要がない。そのため、ギャップ材として最適な構
成材料の膜、例えばＳｉＯ2単体からなる膜やＡｕなど
の金属膜を用いることができる。これによって、磁気ギ
ャップ部の形成工程の数が減り、製造コストも削減でき
る。また、磁気ギャップを良好な状態で形成できて、そ
の結果として安定した電磁変換特性を得ることができ
る。According to the present invention, since the reaction preventing film 50 is provided after the magnetic gap portion 1 is formed, the diffusion material between the magnetic films 19 and 20 and the windshield blocks 15a and 16a is used as the constituent material of the gap material. It is not necessary to have a reaction suppression function. Therefore, it is possible to use a film of an optimal constituent material as the gap material, for example, a film made of a simple substance of SiO 2 or a metal film such as Au. As a result, the number of steps for forming the magnetic gap portion can be reduced, and the manufacturing cost can be reduced. Further, the magnetic gap can be formed in a good state, and as a result, stable electromagnetic conversion characteristics can be obtained.
【００６３】次に、図７のように、バックガラス棒２３
を巻線溝２２に挿入配置して、熱処理によって両磁性体
コア本体１１及び１２を溶着する。この熱処理によって
溶融したバックガラス棒２３は、完成状態の磁気ヘッド
１００におけるバックガラスブロック１５ｂ及び１６ｂ
を構成することになる。Next, as shown in FIG. 7, the back glass rod 23
Is inserted and arranged in the winding groove 22, and both magnetic core bodies 11 and 12 are welded by heat treatment. The back glass rod 23 melted by this heat treatment is applied to the back glass blocks 15b and 16b in the completed magnetic head 100.
Will be constituted.
【００６４】次に、上述のバックガラス棒２３を用いた
熱処理工程によってバック突き合わせ部がバックガラス
ブロック１５ｂ及び１６ｂで溶着された状態にある一対
の磁性体コア本体１１及び１２に対して、図８のよう
に、放電電極２５を各々のトラックサイドから近接させ
て放電を発生させる。この放電によって、切欠部１３ａ
及び１４ａを形成する。このようにすると、上面でのト
ラック幅Ｔｗを維持したままで巻線溝２２まで達する切
欠部１３ａ及び１４ａが形成される。なお、切欠部１３
ａ及び１４ａは、凸状加工部３９の突き合わせ部を両側
から挟み込むように両磁性体コア本体１１及び１２に渡
って設けられる。Next, with respect to the pair of magnetic core main bodies 11 and 12 in which the back butted portions are welded to the back glass blocks 15b and 16b by the heat treatment process using the above-mentioned back glass rod 23, as shown in FIG. As described above, the discharge electrodes 25 are brought close to each track side to generate a discharge. Due to this discharge, the notch 13a
And 14a are formed. In this way, notches 13a and 14a are formed which reach the winding groove 22 while maintaining the track width Tw on the upper surface. The cutout 13
The a and 14a are provided across both the magnetic core bodies 11 and 12 so as to sandwich the abutting portion of the convex-shaped processed portion 39 from both sides.
【００６５】この際に、図８に示すように、放電電極２
５を円筒形状にして、さらに回転させながら放電加工す
ることにより、加工にともなう放電電極２５の摩耗が均
一化される。また、加工時に放電電極２５がたわまな
い。その結果、形成される切欠部１３ａ及び１４ａの形
状が安定する。さらに、放電電極２５の回転によって、
形成される切欠部１３ａ及び１４ａの表面粗さをＲMAX
で約０．１μｍ〜約０．２μｍ程度に低減することがで
きる。それに加えて、切欠部１３ａ及び１４ａをほぼ完
全な円弧形状にすることができる。At this time, as shown in FIG.
By making 5 a cylindrical shape and performing electric discharge machining while further rotating, wear of the electric discharge electrode 25 due to machining is made uniform. Further, the discharge electrode 25 does not bend during processing. As a result, the shapes of the notches 13a and 14a formed are stable. Furthermore, by the rotation of the discharge electrode 25,
The surface roughness of the formed notches 13a and 14a is R MAX.
Can be reduced to about 0.1 μm to about 0.2 μm. In addition, the notches 13a and 14a can be formed into a substantially perfect arc shape.
【００６６】さらに、切欠部１３ａ及び１４ａの円弧形
状の半径Ｒは、磁性体膜１９及び２０のギャップ部１で
の厚さｔ（図２参照）よりも小さくすることが好まし
い。これにより、切欠部１３ａ及び１４ａが、フェライ
トコア１７及び１８に達しなくなる。切欠部１３ａ及び
１４ａがフェライトコア１７及び１８に達すると、狭ト
ラック化がさらに進んでフェライトコア１７及び１８の
凸状加工部３９の先端の幅をさらに狭くする必要が生じ
た場合に、磁気特性の劣化が生じる可能性がある。これ
に対して、上記のように磁性体膜１９及び２０のみを加
工して切欠部１３ａ及び１４ａを形成し、切欠部１３ａ
及び１４ａがフェライトコア１７及び１８に達しないよ
うにすれば、上記のような問題点を回避することが可能
になる。Further, the radius R of the arcuate shape of the cutouts 13a and 14a is preferably smaller than the thickness t (see FIG. 2) of the gaps 1 of the magnetic films 19 and 20. As a result, the notches 13a and 14a do not reach the ferrite cores 17 and 18. When the cutouts 13a and 14a reach the ferrite cores 17 and 18, the narrowing of the track further progresses, and it becomes necessary to further narrow the width of the tip end of the convex processed portion 39 of the ferrite cores 17 and 18, and the magnetic characteristics May be deteriorated. On the other hand, as described above, only the magnetic films 19 and 20 are processed to form the cutouts 13a and 14a.
It is possible to avoid the above problems by preventing the cores 14 and 14a from reaching the ferrite cores 17 and 18.
【００６７】放電電極２５は、直径が約１０μｍ〜約３
０μｍであるものを使用することが好ましい。直径が約
１０μｍ未満になると放電電極２５として十分な強度が
確保できず、加工中に折損を生じやすい。一方、直径が
約３０μｍを越える放電電極２５を用いるためには、加
工対象である磁性体膜１９及び２０の厚さがかなり厚く
なければならない。しかし、そのように厚い磁性体膜１
９及び２０では、磁性体膜１９及び２０の内部での渦電
流損失の発生や形状による絞り込み効果の低減により、
電磁変換特性が劣化する。従って、放電電極２５の直径
は、上記範囲内であることが望ましい。The discharge electrode 25 has a diameter of about 10 μm to about 3 μm.
It is preferable to use one having a thickness of 0 μm. If the diameter is less than about 10 μm, sufficient strength cannot be secured as the discharge electrode 25, and breakage easily occurs during processing. On the other hand, in order to use the discharge electrode 25 having a diameter of more than about 30 μm, the magnetic films 19 and 20 to be processed must be considerably thick. However, such a thick magnetic film 1
In Nos. 9 and 20, occurrence of eddy current loss inside the magnetic films 19 and 20 and reduction of the narrowing effect due to the shape,
The electromagnetic conversion characteristics deteriorate. Therefore, the diameter of the discharge electrode 25 is preferably within the above range.
【００６８】さらに望ましくは、放電電極２５の直径は
約１６μｍ〜約１８μｍであることが適当である。これ
により、磁気ギャップ部１での磁性体膜１９及び２０の
厚さも決定される。好ましい磁性体膜１９及び２０の厚
さは、約８μｍ〜約１０μｍである。More preferably, the diameter of the discharge electrode 25 is about 16 μm to about 18 μm. As a result, the thicknesses of the magnetic films 19 and 20 in the magnetic gap portion 1 are also determined. The preferable thickness of the magnetic films 19 and 20 is about 8 μm to about 10 μm.
【００６９】磁気ヘッド１００の量産化のためには、通
常は図８に示すようにバー状態の材料を加工して、切欠
部１３ａ及び１４ａの形成を行う。具体的には、１つの
バーに数１０個のトラックがある。このような場合、各
々のトラックエッジに切欠部１３ａ及び１４ａを形成す
るためには、図８に示すそれぞれの細穴２６に放電電極
２５を挿入して、その内周面を加工しなければならな
い。この細穴２６は、通常は直径が約１００μｍであ
り、その加工を切削工具で行うことは実際には不可能で
ある。しかし、上記範囲の直径を有する放電電極２５で
あれば、そのような細穴２６の内周面の加工は十分に可
能であり、磁気ヘッド１００の量産に適している。For mass production of the magnetic head 100, a bar-shaped material is usually processed as shown in FIG. 8 to form the cutouts 13a and 14a. Specifically, there are several tens of tracks on one bar. In such a case, in order to form the cutouts 13a and 14a at each track edge, the discharge electrode 25 must be inserted into each of the small holes 26 shown in FIG. 8 and the inner peripheral surface thereof must be processed. . The fine holes 26 usually have a diameter of about 100 μm, and it is practically impossible to perform the machining with a cutting tool. However, if the discharge electrode 25 has a diameter in the above range, it is possible to sufficiently process the inner peripheral surface of such a small hole 26, and it is suitable for mass production of the magnetic head 100.
【００７０】また、放電電極２５による加工では、加工
位置をサブミクロンレベルで制御することができる。す
なわち、放電加工では、放電電極２５を加工対象物に近
づけた際に、放電電極２５それ自身をセンサのように使
用して放電開始位置を認識することが可能である。これ
によって、顕微鏡などによる位置合わせを行うことなく
放電電極２５の現在位置を絶えず把握できるので、放電
加工は量産工程に適している。また、放電加工によれ
ば、加工位置をサブミクロンレベルで認識することがで
きるので、切欠部１３ａ及び１４ａの円弧形状を、図３
を参照して詳細に示したように磁気ギャップ１との交点
Ｐでの円弧形状の接線が磁気テープの走行方向と略平行
になるように加工することも、十分可能である。さら
に、所定の値のトラック幅を、高い精度で形成できる。Further, in the processing using the discharge electrode 25, the processing position can be controlled at the submicron level. That is, in electric discharge machining, when the electric discharge electrode 25 is brought close to the object to be processed, the electric discharge electrode 25 itself can be used like a sensor to recognize the electric discharge start position. As a result, the current position of the discharge electrode 25 can be continuously grasped without performing alignment with a microscope or the like, and thus the electric discharge machining is suitable for a mass production process. In addition, since the machining position can be recognized at the submicron level by the electric discharge machining, the arc shape of the cutouts 13a and 14a can be changed as shown in FIG.
As described in detail with reference to, it is sufficiently possible to perform processing so that the arc-shaped tangent line at the intersection P with the magnetic gap 1 is substantially parallel to the running direction of the magnetic tape. Further, the track width having a predetermined value can be formed with high accuracy.
【００７１】放電加工は、一般には加工対象物を絶縁オ
イルの中に浸して加工する。或いは、純水の中で加工を
行うこともできる。純水中の加工では、後工程で絶縁オ
イルの洗浄を行う必要がなく、工程を簡略化できる。The electric discharge machining is generally carried out by immersing the object to be machined in insulating oil. Alternatively, the processing can be performed in pure water. In processing in pure water, it is not necessary to wash the insulating oil in a subsequent process, and the process can be simplified.
【００７２】本発明によれば、切欠部１３ａ及び１４ａ
の形成時に、磁性体コア本体１１及び１２をバックガラ
スブロック１５ｂ及び１６ｂで固定している。これによ
って、ミクロオーダでみても、トラックエッジにずれが
生じない。According to the invention, the notches 13a and 14a
The magnetic core bodies 11 and 12 are fixed by the back glass blocks 15b and 16b at the time of forming. As a result, the track edge does not shift even when viewed on the micro order.
【００７３】次に、このようにして形成された図９に示
すような切欠部１３ａ及び１４ａの表面に、反応防止膜
（図９には不図示）を形成する。反応防止膜の形成材料
としては、ＳｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ガラス、Ｃ
ｒ、或いはＣｒ酸化物、さらにはこれらの複合体などを
用いることができる。また、成膜方法としては、一般に
スパッタリングが用いられる。この場合に、スパッタリ
ングは、図９に「Ａ方向」として示すフロント部の上面
方向からのみしか実施できないが、溶着された一対の磁
性体コア本体１１及び１２をスパッタリングターゲット
に対して適切な角度で傾けることにより、切欠部１３ａ
及び１４ａの表面に適正な膜質及び膜厚で成膜すること
ができる。或いは、スパッタリングに代えて、乾式の製
造方法としては例えばプラズマＣＶＤ、湿式の製造方法
としては例えばディッピングやめっきなどの製造方法を
用いることにより、良好な状態で成膜できる。Next, a reaction preventive film (not shown in FIG. 9) is formed on the surfaces of the notches 13a and 14a thus formed as shown in FIG. Materials for forming the reaction preventive film include SiO 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , glass, and C.
It is possible to use r or Cr oxide, or a complex of these. Further, as a film forming method, sputtering is generally used. In this case, the sputtering can be performed only from the upper surface direction of the front portion shown as “A direction” in FIG. 9, but the pair of magnetic body core bodies 11 and 12 welded to each other is formed at an appropriate angle with respect to the sputtering target. By tilting, notch 13a
It is possible to form a film having an appropriate film quality and film thickness on the surfaces of and 14a. Alternatively, instead of sputtering, a dry manufacturing method such as plasma CVD and a wet manufacturing method such as dipping or plating can be used to form a film in a good state.
【００７４】図９の状態において、磁性体コア本体１１
及び１２の間に形成されている細穴２６の下方には、バ
ックガラスブロック１５ｂ及び１６ｂが形成されてい
る。次に、このバックガラスブロック１５ｂ及び１６ｂ
の上方に残存する空間の少なくとも一部に、フロントガ
ラスブロック１５ａ及び１６ａを熱処理により充填す
る。このとき、切欠部１３ａ及び１４ａと充填されたフ
ロントガラスブロック１５ａ及び１６ａとの界面には、
図２を参照して詳細に説明したように反応防止膜５０が
ある。従って、磁性体膜１９及び２０とフロントガラス
ブロック１５ａ及び１６ａとが反応することがなく、ト
ラックエッジの広がりも発生しない。この結果、磁気的
にもシャープなトラックエッジを有する磁気へッドを提
供することができる。In the state of FIG. 9, the magnetic core body 11
The back glass blocks 15b and 16b are formed below the narrow hole 26 formed between and. Next, the back glass blocks 15b and 16b
At least a part of the space remaining above is filled with the windshield blocks 15a and 16a by heat treatment. At this time, at the interfaces between the cutouts 13a and 14a and the filled windshield blocks 15a and 16a,
As described in detail with reference to FIG. 2, there is the reaction preventing film 50. Therefore, the magnetic films 19 and 20 do not react with the windshield blocks 15a and 16a, and the track edge does not spread. As a result, a magnetic head having a magnetically sharp track edge can be provided.
【００７５】さらに、望ましくは、フロントガラスブロ
ック１５ａ及び１６ａの軟化点を、バックガラスブロッ
ク１５ｂ及び１６ｂの軟化点よりも低く設定する。この
場合には、フロントガラスブロック１５ａ及び１６ａを
充填して溶融固着させる熱処理工程の加工温度を、フロ
ントガラスブロック１５ａ及び１６ａの軟化点とバック
ガラスブロック１５ｂ及び１６ｂの軟化点との中間の温
度に設定することにより、バックガラスブロック１５ｂ
及び１６ｂを軟化させることなくフロントガラスブロッ
ク１５ａ及び１６ａを溶融固着させることができる。こ
れにより、放電加工の終了後にミクロオーダのトラック
ずれを生じさせることもなく、さらに良好な加工精度で
磁気ヘッド１００を形成することができる。Further, desirably, the softening points of the windshield blocks 15a and 16a are set lower than the softening points of the back glass blocks 15b and 16b. In this case, the processing temperature of the heat treatment step of filling and melting and fixing the windshield blocks 15a and 16a is set to an intermediate temperature between the softening point of the windshield blocks 15a and 16a and the softening point of the back glass blocks 15b and 16b. Back glass block 15b by setting
It is possible to melt and fix the windshield blocks 15a and 16a without softening the windshield blocks 16 and 16b. As a result, the magnetic head 100 can be formed with better machining accuracy without causing a micro-order track deviation after the end of the electric discharge machining.
【００７６】さらに、図６の工程で、適切な溶着材、例
えば低融点ガラスや結晶化ガラスなどを用いて、一対の
磁性体コア本体１１及び１２を磁気ギャップ部１でお互
いに溶着しておけば、さらに安定したトラック幅を実現
できる。また、この場合にはギャップ部１の損傷も防止
できて、電磁変換特性も安定する。Further, in the process of FIG. 6, a pair of magnetic core bodies 11 and 12 should be welded to each other in the magnetic gap portion 1 by using an appropriate welding material such as low melting point glass or crystallized glass. If so, a more stable track width can be realized. Further, in this case, the gap portion 1 can be prevented from being damaged and the electromagnetic conversion characteristics can be stabilized.
【００７７】さらに、切欠部１３ａ及び１４ａを放電加
工により形成することにより、その加工表面の表面粗さ
が低減される。これにより、フロントガラスブロック１
５ａ及び１６ａを熱処理により充填する際の流れ性が良
くなり、フロントガラスブロック１５ａ及び１６ａの中
に発生して欠陥の原因となる気泡の量が低減される。Furthermore, by forming the notches 13a and 14a by electric discharge machining, the surface roughness of the machined surface is reduced. As a result, the windshield block 1
The flowability at the time of filling 5a and 16a by heat treatment is improved, and the amount of bubbles that are generated in the windshield blocks 15a and 16a and cause defects is reduced.
【００７８】その後に、図１０のように、磁性体コア本
体１１及び１２を図中の一点鎖線に沿ってスライスし
て、個々のチップに分離する。さらに、分離された個々
のチップに巻線を施ことによって、本発明の磁気ヘッド
１００が完成する。After that, as shown in FIG. 10, the magnetic core bodies 11 and 12 are sliced along the dashed line in the figure to separate them into individual chips. Further, by winding the separated individual chips, the magnetic head 100 of the present invention is completed.
【００７９】上述したように、本発明は、特に狭ギャッ
プ且つ狭トラックのＭＩＧへッドへの適用が有効である
が、それ以外にも、片側のコアのみに磁性体膜の付いた
ＭＩＧへッドや、比較的広いトラック幅を有する磁気へ
ッドに対しても適用できる。いずれの場合にも、トラッ
ク幅の精度の改善による歩留まり向上を実現する。As described above, the present invention is particularly effective when applied to an MIG head having a narrow gap and a narrow track, but in addition to that, the present invention can be applied to an MIG head having a magnetic film only on one side of the core. It can also be applied to a head or a magnetic head having a relatively wide track width. In either case, the yield is improved by improving the track width accuracy.
【００８０】図１１は、本発明による磁気記録再生装置
のある実施形態における、磁気ヘッド近傍の構成を模式
的に示す図である。FIG. 11 is a diagram schematically showing the configuration in the vicinity of the magnetic head in an embodiment of the magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention.
【００８１】磁気ヘッド３２は、固定シリンダ３６に装
着されてヘリカル走査する回転シリンダ３３に取り付け
られている。傾斜ポスト３５及び３７によって導かれて
いる磁気テープ３４が磁気へッド３２と接触しながら走
行し、その際に、磁気テープ３４の上に信号が記録さ
れ、或いは磁気テープ３４に記録されている信号が再生
される。再生された信号は、信号処理回路３８により信
号処理されて、ステレオ音声信号及びビデオ映像信号と
なる。The magnetic head 32 is mounted on a fixed cylinder 36 and is mounted on a rotary cylinder 33 which performs helical scanning. The magnetic tape 34 guided by the inclined posts 35 and 37 runs while contacting the magnetic head 32, and at that time, a signal is recorded on the magnetic tape 34 or recorded on the magnetic tape 34. The signal is regenerated. The reproduced signal is subjected to signal processing by the signal processing circuit 38 to become a stereo audio signal and a video image signal.
【００８２】図１２は、磁気テープ３４の上での信号の
記録パターン６０を模式的に示す図である。信号は、磁
気テープ３４の長手方向に対してある角度をなす記録パ
ターン６０にしたがって、磁気テープ３４の上に斜めに
記録される。図１２に「ＴＰ」として示しているのは、
磁気テープ３４の上のトラック幅に相当する。FIG. 12 is a diagram schematically showing a signal recording pattern 60 on the magnetic tape 34. The signal is obliquely recorded on the magnetic tape 34 according to the recording pattern 60 that makes an angle with the longitudinal direction of the magnetic tape 34. In FIG. 12, what is shown as “TP” is
It corresponds to the track width on the magnetic tape 34.
【００８３】本発明に従って提供される狭トラックで突
き合わせずれのない磁気へッドを用いれば、記録サイド
のフリンジ等の原因に起因するトラックエッジでの磁束
のにじみが発生しない。そのため、トラック間でのデー
タ抜け部分（信号が記録されていない部分であって、図
１２には「ｄ」として示している）が、ほとんど発生し
ない。その結果、トラック幅ＴＰが細くなることがな
く、非常に多量の情報が磁気テープ３４の上に記録され
る。また、回転シリンダ３３に磁気へッド３２を取り付
ける際に、磁気へッド３２のトラック端を一義的に決定
することができるので、トラック高さの調整を精度良く
行うことができる。When the magnetic head provided according to the present invention with a narrow track and no butt displacement is used, magnetic flux bleeding at the track edge due to causes such as fringes on the recording side does not occur. Therefore, a data missing portion (a portion where no signal is recorded, which is shown as "d" in FIG. 12) between tracks hardly occurs. As a result, the track width TP does not become thin, and a very large amount of information is recorded on the magnetic tape 34. Further, when the magnetic head 32 is attached to the rotary cylinder 33, the track end of the magnetic head 32 can be uniquely determined, so that the track height can be accurately adjusted.
【００８４】[0084]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明における
磁気ヘッドの製造方法によれば、あらかじめ凸状に加工
された一対の磁性体コアを突き合わせ、且つそのバック
部をバックガラスブロックによって溶着する。その状態
で、磁気ギャップ近傍部に位置する磁性体膜部分を同時
に一度に加工して、トラック幅を規定する一対の切欠部
を形成する。これにより、ミクロオーダのトラックずれ
も存在しない磁気へッドが供給される。As described above, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a pair of magnetic cores that have been previously processed into a convex shape are abutted against each other, and their back portions are welded by a back glass block. . In that state, the magnetic film portions located in the vicinity of the magnetic gap are simultaneously processed at one time to form a pair of notches that define the track width. As a result, a magnetic head having no micro-order track deviation is supplied.
【００８５】さらに、加工に際して切欠部を放電加工に
より形成することにより、加工表面で加工変質層の発生
を低減するとともに表面粗さを低減することができる。
それにより、磁気ギャップ部のエッジの損傷、磁気的特
性の劣化、実効トラック幅の精度の劣化などの問題が発
生せず、良好な動作特性を有する狭トラック磁気ヘッド
を供給することができる。また、放電加工では、加工時
に加工対象物に大きな物理的負荷が加えられないので、
クラック等の発生が抑えられる。さらに、放電電極を回
転させながらトラックエッジの側面から加工対象物に押
し当てて加工することにより、磁気ギャップの深さ方向
でのトラック幅の加工精度が安定する。また、非常に細
い放電電極を使用すればバー状態の対象物を加工するこ
とができて、量産化が容易である。Furthermore, by forming the notch by electric discharge machining during machining, it is possible to reduce the occurrence of a work-affected layer on the machined surface and reduce the surface roughness.
As a result, it is possible to supply a narrow track magnetic head having good operating characteristics without causing problems such as damage to the edges of the magnetic gap portion, deterioration of magnetic characteristics, and deterioration of accuracy of effective track width. Also, in electrical discharge machining, a large physical load is not applied to the workpiece during machining,
Generation of cracks and the like can be suppressed. Further, by pressing the workpiece from the side surface of the track edge while rotating the discharge electrode for processing, the processing accuracy of the track width in the depth direction of the magnetic gap is stabilized. Further, if a very thin discharge electrode is used, a bar-shaped object can be processed, and mass production is easy.
【００８６】上記のように、本発明によれば、高密度磁
気記録の実現のための狭トラック化に適したトラックず
れのない磁気へッドが、歩留まり良く且つ低コストで提
供される。提供される磁気ヘッドでは、記録再生フリン
ジも低減される。さらに、このような磁気ヘッドを用い
ることにより、デジタルＶＴＲに適した高密度記録再生
装置が提供される。As described above, according to the present invention, a magnetic head suitable for narrowing tracks for realizing high-density magnetic recording and having no track deviation can be provided with good yield and at low cost. The magnetic head provided also has reduced read / write fringes. Further, by using such a magnetic head, a high density recording / reproducing apparatus suitable for a digital VTR is provided.
【図１】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの構成
を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの磁気
テープスライド面の構成を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the magnetic tape slide surface of the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施形態における磁気ヘッドのギャ
ップ部分の構成を模式的に示す拡大図であって、磁気テ
ープの走行方向をあわせて示している。FIG. 3 is an enlarged view schematically showing the configuration of the gap portion of the magnetic head according to the embodiment of the present invention, and also shows the running direction of the magnetic tape.
【図４】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製造
方法の一工程を説明するための斜視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図５】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製造
方法の一工程を説明するための他の斜視図である。FIG. 5 is another perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製造
方法の一工程を説明するためのさらに他の斜視図であ
る。FIG. 6 is yet another perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図７】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製造
方法の一工程を説明するためのさらに他の斜視図であ
る。FIG. 7 is still another perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製造
方法の一工程を説明するためのさらに他の斜視図であ
る。FIG. 8 is yet another perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図９】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製造
方法の一工程を説明するためのさらに他の斜視図であ
る。FIG. 9 is yet another perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の一実施形態における磁気ヘッドの製
造方法の一工程を説明するためのさらに他の斜視図であ
る。FIG. 10 is still another perspective view for explaining one step of the method of manufacturing the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の一実施形態における磁気記録再生装
置の磁気へッドの周辺部の構成を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a configuration of a peripheral portion of the magnetic head of the magnetic recording / reproducing apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図１２】図１１に示す本発明の磁気記録再生装置を用
いて記録した記録媒体の記録パターンを模式的に示す図
である。12 is a diagram schematically showing a recording pattern of a recording medium recorded using the magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention shown in FIG.
【図１３】従来技術における磁気ヘッドの構成を模式的
に示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view schematically showing a configuration of a magnetic head according to a conventional technique.
【図１４】従来技術による他の磁気ヘッドの磁気テープ
スライド面の構成を模式的に示す上面図である。FIG. 14 is a top view schematically showing a configuration of a magnetic tape slide surface of another magnetic head according to the conventional technique.
１ 磁気ギャップ １１、１２ 磁性体コア １３ａ、１４ａ 切欠部 １５ａ、１６ａ フロントガラスブロック １５ｂ、１６ｂ バックガラスブロック １７、１８ フェライトコア １９、２０ 磁性体膜 ２１ 巻線窓 ２５ 放電電極 ３２ 磁気ヘッド ３４ 磁気テープ ３５、３７ 傾斜ポスト ３６ 固定シリンダ ３８ 信号処理回路 ３９ 凸状加工部 ５０ 反応防止膜 ６０ 記録パターン 1 Magnetic Gap 11 and 12 Magnetic Core 13a and 14a Notch 15a and 16a Front Glass Block 15b and 16b Back Glass Block 17 and 18 Ferrite Core 19 and 20 Magnetic Film 21 Winding Window 25 Discharge Electrode 32 Magnetic Head 34 Magnetic Tape 35, 37 Inclined Post 36 Fixed Cylinder 38 Signal Processing Circuit 39 Convex Processed Part 50 Reaction Prevention Film 60 Recording Pattern
Claims (20)
工部が磁気ギャップ材を介して向き合うように対向配置
された一対の磁性体コアと、 該一対の磁性体コアの両サイドにそれぞれ配置されて該
一対の磁性体コアを結合している一対のガラスブロック
と、を備える磁気ヘッドであって、 該一対の磁性体コアのそれぞれにおいて、少なくとも該
凸状加工部の突出端面に磁性体膜が形成され、 該一対の磁性体コアの磁気テープスライド面において、
トラック幅を規定する一対の切欠部が該一対の磁性体コ
アの該凸状加工部の突き合わせ部を両側から挟み込むよ
うに放電加工によって設けられていて、該一対の切欠部
は、その界面が磁気テープ走行時に該磁気テープ上の記
録パターンの端部より外側に位置しないような形状を有
している、磁気ヘッド。1. A pair of magnetic material cores, each of which has a portion processed into a convex shape, and the convex processed portions are opposed to each other so as to face each other through a magnetic gap material, and both of the pair of magnetic material cores. A magnetic head comprising: a pair of glass blocks, each of which is arranged on a side and which couples the pair of magnetic material cores, wherein at least a protruding end surface of the convex processed portion is provided in each of the pair of magnetic material cores. A magnetic film is formed on the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores,
A pair of notches that define the track width are provided by electric discharge machining so as to sandwich the abutting portions of the projecting portions of the pair of magnetic cores from both sides, and the interface of the pair of notches is magnetic. A magnetic head having a shape so as not to be located outside the end of the recording pattern on the magnetic tape when the tape is running.
項１に記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the pair of notches have an arc shape.
点における該円弧の接線が前記磁気テープの走行方向と
略平行になる、請求項２に記載の磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 2, wherein the tangent line of the arc at the intersection of the arc of the notch and the magnetic gap is substantially parallel to the running direction of the magnetic tape.
面に設けられた前記磁性体膜の最小厚さよりも小さい、
請求項２または３に記載の磁気ヘッド。4. The radius of the arc of the cutout portion is smaller than the minimum thickness of the magnetic film provided on the protruding end surface.
The magnetic head according to claim 2 or 3.
前記磁性体コアとの界面が前記磁気ギャップの面に略平
行である、請求項１〜４のいずれかに記載の磁気ヘッ
ド。5. The magnetic head according to claim 1, wherein an interface between the magnetic film and the magnetic core is substantially parallel to a surface of the magnetic gap on the protruding end surface.
のガラスブロックとの界面に反応防止膜が設けられてい
る、請求項１〜５のいずれかに記載の磁気ヘッド。6. The magnetic head according to claim 1, wherein a reaction preventing film is provided at least at an interface between the pair of cutouts and the pair of glass blocks.
が、さらに磁気ヘッドの前記磁気テープスライド面に近
く位置するフロントガラスブロック部と該磁気ヘッドス
ライド面から遠く位置するバックガラスブロック部とを
含み、該フロントガラスブロック部の軟化点が該バック
ガラスブロック部の軟化点よりも低くなるように設定さ
れている、請求項１〜６のいずれかに記載の磁気ヘッ
ド。7. Each of the pair of glass blocks further includes a windshield block portion located near the magnetic tape slide surface of the magnetic head and a back glass block portion located far from the magnetic head slide surface, 7. The magnetic head according to claim 1, wherein the softening point of the windshield block portion is set to be lower than the softening point of the back glass block portion.
工部が磁気ギャップ材を介して向き合うように対向配置
された一対の磁性体コアと、 該一対の磁性体コアの両サイドにそれぞれ配置されて該
一対の磁性体コアを結合している一対のガラスブロック
と、を備える磁気ヘッドであって、 該一対の磁性体コアの少なくとも一方において、少なく
とも該凸状加工部の突出端面に磁性体膜が形成され、 該一対の磁性体コアの磁気テープスライド面において、
トラック幅を規定する一対の切欠部が該一対の磁性体コ
アの該凸状加工部の突き合わせ部を両側から挟み込むよ
うに設けられていて、 少なくとも該一対の切欠部と該一対のガラスブロックと
の界面に反応防止膜が設けられている、磁気ヘッド。8. A pair of magnetic material cores, each of which has a portion processed into a convex shape, and the convex processed portions are arranged to face each other with a magnetic gap material therebetween, and both of the pair of magnetic material cores. A magnetic head comprising: a pair of glass blocks, which are respectively arranged on the sides and which couple the pair of magnetic material cores, wherein at least one of the pair of magnetic material cores has at least a protrusion of the convex processed portion. A magnetic film is formed on the end faces, and on the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores,
A pair of notches that define the track width are provided so as to sandwich the abutting portions of the convex-shaped processed portions of the pair of magnetic cores from both sides, and at least the pair of notches and the pair of glass blocks are provided. A magnetic head having a reaction preventive film on the interface.
工部が磁気ギャップ材を介して向き合うように対向配置
された一対の磁性体コアと、 該一対の磁性体コアの両サイドにそれぞれ配置されて該
一対の磁性体コアを結合している一対のガラスブロック
と、を備える磁気ヘッドであって、 該一対の磁性体コアの少なくとも一方において、少なく
とも該凸状加工部の突出端面に磁性体膜が形成され、 該一対の磁性体コアの磁気テープスライド面において、
トラック幅を規定する一対の切欠部が該一対の磁性体コ
アの該凸状加工部の突き合わせ部を両側から挟み込むよ
うに設けられていて、 該一対のガラスブロックのそれぞれが、さらに磁気ヘッ
ドの該磁気テープスライド面に近く位置するフロントガ
ラスブロック部と該磁気ヘッドスライド面から遠く位置
するバックガラスブロック部とを含み、該フロントガラ
スブロック部の軟化点が該バックガラスブロック部の軟
化点よりも低くなるように設定されている、磁気ヘッ
ド。9. A pair of magnetic material cores, each of which has a portion processed into a convex shape, and the convex processed portions are opposed to each other so as to face each other via a magnetic gap material, and both of the pair of magnetic material cores. A magnetic head comprising: a pair of glass blocks, which are respectively arranged on the sides and which couple the pair of magnetic material cores, wherein at least one of the pair of magnetic material cores has at least a protrusion of the convex processed portion. A magnetic film is formed on the end faces, and on the magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores,
A pair of notches that define the track width are provided so as to sandwich the abutting portions of the convex processed portions of the pair of magnetic cores from both sides, and each of the pair of glass blocks further includes the magnetic head. A windshield block portion located near the magnetic tape slide surface and a back glass block portion located far from the magnetic head slide surface, and the softening point of the windshield block portion is lower than the softening point of the back glass block portion. A magnetic head that is set to be.
ている。請求項８または９に記載の磁気ヘッド。10. The notch is formed by electrical discharge machining. The magnetic head according to claim 8.
ェライトコアを含み、前記磁性体膜はそれぞれの該フェ
ライトコアの表面に設けられていて、前記一対の切欠部
は該磁性体膜のみに形成されている、請求項８〜１０の
いずれかに記載の磁気へッド。11. The pair of magnetic cores each include a ferrite core, the magnetic film is provided on the surface of each ferrite core, and the pair of cutouts is formed only in the magnetic film. The magnetic head according to any one of claims 8 to 10, which is provided.
え、前記一対の切欠部が該巻線窓に達している、請求項
１〜１１のいずれかに記載の磁気ヘッド。12. The magnetic head according to claim 1, further comprising a winding window for winding, and the pair of cutouts reach the winding window.
気ヘッドを備えている、磁気記録再生装置。13. A magnetic recording / reproducing apparatus comprising the magnetic head according to claim 1.
凸状加工部の突出端面に設けられた磁性体膜とを含む一
対の磁性体コアと、該磁性体コアの前面に近く位置する
フロントガラスブロック部及び該磁性体コアの該前面か
ら遠く位置するバックガラスブロック部を含み一対の磁
性体コアを結合するガラスブロックと、を備える磁気ヘ
ッドの製造方法であって、該方法は、 該突出端面を磁気ギャップ材を介して突き合わせて対向
配置する第１の工程と、 該一対の磁性体コアの磁気テープスライド面において、
トラック幅を規定する一対の切欠部を、該一対の磁性体
コアの該凸状加工部の突き合わせ部を両側から挟み込む
ように放電加工により設ける第２の工程と、 少なくとも該一対の切欠部の表面に、該磁性体膜と該ガ
ラスブロックとの間の化学反応を防止する反応防止膜を
形成する第３の工程と、 該一対の磁性体コアの所定の位置にあらかじめ設けられ
ている溝にガラス材料を熱処理により充填して該フロン
トガラスブロックを形成する第４の工程と、を包含する
製造方法。14. A pair of magnetic cores including a convex-processed portion and at least a magnetic film provided on a protruding end surface of the convex-processed portion, and a front located near the front surface of the magnetic core. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: a glass block part; and a glass block including a back glass block part located far from the front surface of the magnetic core and connecting a pair of magnetic cores, the method comprising: A first step of arranging the end faces to face each other with a magnetic gap material between them, and a magnetic tape slide surface of the pair of magnetic cores,
A second step of providing a pair of notches defining the track width by electric discharge machining so as to sandwich the abutting portions of the convexly machined portions of the pair of magnetic cores from both sides, and at least the surface of the pair of notches A third step of forming a reaction preventive film for preventing a chemical reaction between the magnetic substance film and the glass block, and a glass in a groove previously provided at a predetermined position of the pair of magnetic substance cores. A fourth step of filling the material by heat treatment to form the windshield block.
対の磁性体コアを前記バックガラスブロックでお互いに
溶着する工程をさらに包含する、請求項１４に記載の製
造方法。15. The manufacturing method according to claim 14, further comprising a step of welding the pair of magnetic cores to each other on the back glass block prior to forming the cutout portion.
凸状加工部の突出端面に設けられた磁性体膜とを含む一
対の磁性体コアと、該磁性体コアの前面に近く位置する
フロントガラスブロック部及び該磁性体コアの該前面か
ら遠く位置するバックガラスブロック部を含み一対の磁
性体コアを結合するガラスブロックと、を備える磁気ヘ
ッドの製造方法であって、該方法は、 該突出端面を磁気ギャップ材を介して突き合わせて対向
配置する第１の工程と、 該一対の磁性体コアを前記バックガラスブロックでお互
いに溶着する第２の工程と、 該一対の磁性体コアの磁気テープスライド面において、
トラック幅を規定する一対の切欠部を、該一対の磁性体
コアの該凸状加工部の突き合わせ部を両側から挟み込む
ように放電加工により設ける第３の工程と、 該一対の磁性体コアの所定の位置にあらかじめ設けられ
ている溝にガラス材料を熱処理により充填して該フロン
トガラスブロックを形成する第４の工程と、を包含する
製造方法。16. A pair of magnetic cores including a convex-processed portion and a magnetic film provided on at least a protruding end surface of the convex-processed portion, and a front located near the front surface of the magnetic core. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: a glass block part; and a glass block including a back glass block part located far from the front surface of the magnetic core and connecting a pair of magnetic cores, the method comprising: A first step of arranging the end faces to face each other with a magnetic gap material between them, a second step of welding the pair of magnetic cores to each other in the back glass block, and a magnetic tape of the pair of magnetic cores On the sliding surface,
A third step of providing a pair of notches defining the track width by electrical discharge machining so as to sandwich the abutting portions of the convex-shaped processed portions of the pair of magnetic material cores from both sides, and a predetermined step of the pair of magnetic material cores. And a fourth step of forming a windshield block by filling a glass material by heat treatment into a groove provided in advance at the position.
が前記バックガラスブロックの軟化点よりも低く設定さ
れていて、該フロントガラスブロックを熱充填によって
形成する工程の熱処理温度が該バックガラスブロックの
軟化点よりも低く設定されている、請求項１４〜１６の
いずれかに記載の製造方法。17. The softening point of the windshield block is set lower than the softening point of the back glass block, and the heat treatment temperature in the step of forming the windshield block by heat filling is the softening point of the back glass block. The manufacturing method according to any one of claims 14 to 16, which is set lower than the above.
において、円筒形状の放電加工電極を回転させながら前
記磁性体コアの端部を加工する、請求項１４〜１７のい
ずれかに記載の製造方法。18. The manufacturing according to claim 14, wherein in the step of forming the cutout portion by electric discharge machining, the end portion of the magnetic core is processed while rotating a cylindrical electric discharge machining electrode. Method.
において、放電加工電極の先端を少なくとも巻線窓にま
で到達させて前記磁性体コアの端部を加工する、請求項
１４〜１７のいずれかに記載の製造方法。19. The method according to claim 14, wherein in the step of forming the cutout portion by electric discharge machining, the tip of the electric discharge machining electrode reaches at least the winding window to machine the end portion of the magnetic core. The production method described in Crab.
製造方法によって形成された磁気ヘッドを備えている、
磁気記録再生装置。20. A magnetic head formed by the manufacturing method according to claim 14.
Magnetic recording / reproducing device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11670896A JPH0935209A (en) | 1995-05-18 | 1996-05-10 | Magnetic head and its manufacture and magnetic recording and reproducing device using the them |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-119690 | 1995-05-18 | ||
| JP11969095 | 1995-05-18 | ||
| JP11670896A JPH0935209A (en) | 1995-05-18 | 1996-05-10 | Magnetic head and its manufacture and magnetic recording and reproducing device using the them |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935209A true JPH0935209A (en) | 1997-02-07 |
Family
ID=26454983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11670896A Pending JPH0935209A (en) | 1995-05-18 | 1996-05-10 | Magnetic head and its manufacture and magnetic recording and reproducing device using the them |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0935209A (en) |
-
1996
- 1996-05-10 JP JP11670896A patent/JPH0935209A/en active Pending
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
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