JPH10284891A

JPH10284891A - 部品実装方法及びその装置

Info

Publication number: JPH10284891A
Application number: JP9083724A
Authority: JP
Inventors: Osamu Nakao; 修中尾; Masanori Yasutake; 正憲安武
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1997-04-02
Filing date: 1997-04-02
Publication date: 1998-10-23

Abstract

(57)【要約】【課題】部品を実装所定位置に装着する際に精度良く
位置補正を行い、高精度実装を実現できる部品実装方法
及び装置を提供する。【解決手段】部品実装ヘッド部１に、端部にノズル２
を設けた部品吸着部９を支持する回転軸１１と、回転軸
１１を支持する磁気軸受１２と、回転軸１１の径方向の
位置を検出する位置検出手段１３と、回転軸１１を回転
制御するサーボモータ１４と、部品吸着部９に吸着され
た部品３とこの部品３を所定の位置に実装する基板上の
実装所定位置を同時に撮像する認識カメラ１６ａ、１６
ｂを備え、部品実装ヘッド部１を粗位置決めした後、部
品３と実装所定位置とのずれ量を計測、算出して磁気軸
受１２にて部品吸着部９のみを水平方向に位置補正し、
サーボモータ１４にて回転位置補正を行って高精度に実
装するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、部品を吸着して基
板に実装する場合等に利用される部品実装方法及びその
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、回路基板は高密度化が進み、集積
回路などの電子部品は出力ピン数の増加と出力ピンの狭
ピッチ化が進んでいる。このため、部品装着時の高精度
化が要求されている。

【０００３】従来の部品実装装置としては、例えば特開
平４−２９１７９５号公報に開示されたもの等が知られ
ている。以下、その部品実装装置を図１６、図１７を参
照して説明する。

【０００４】図１６において、部品実装装置は、部品３
を供給する部品供給部６と、基板４を搬入・搬出しかつ
所定位置に保持するテーブル部５と、部品３を吸着する
部品吸着ヘッド部２９と、吸着された部品３をカメラで
撮像する撮像部２８と、部品吸着ヘッド部２９及び撮像
部２８を任意の位置に位置決めできるＸＹロボット部７
と、装置全体の制御を行う制御部８で構成されている。

【０００５】部品吸着ヘッド部２９と撮像部２８の詳細
を図１７に示す。部品吸着ヘッド部２９においては、部
品３を吸着するノズル２は回転角を位置決めするモータ
３０に固定されており、モータ３０はレール３１上を摺
動するムーバー３２に固定されている。ムーバー３２は
モータ３３によりボールねじ３４を回転させることによ
り上下昇降するナット３５に固定されている。従ってノ
ズル２は部品吸着ヘッド部２９で自由に上下昇降し、か
つ回転方向に位置決めできる。

【０００６】一方、撮像部２８においては、認識カメラ
３６が光学系３７のレンズ及びプリズムを介して部品３
の画像を入力する。この光学系３７はレール３８を摺動
するムーバー３９に固定され、ムーバー３９はモータ４
０より回転するボールねじ４１とナット（図示せず）に
より左右にスライドする。従って、光学系３７は認識画
像を取り込む時にはノズル２の下面に移動し、部品３を
吸着及び実装する時にはノズル２の下面より退避する。

【０００７】以上の構成の部品実装装置の動作を説明す
る。基板４はテーブル部５により搬入され、部品実装装
置の中央部に保持される。ＸＹロボット部７は部品吸着
ヘッド部２９を部品供給部６上に移動させ、真空吸着装
置（図示せず）にて部品３を吸着する。ＸＹロボット部
７が基板４の上に部品吸着ヘッド部２９を移動する間
に、モータ４０の回転により光学系３７はノズル２の下
に移動し、部品３の画像を認識カメラ３６で認識する。
この認識画像をもとに制御部８により実装の回転方向の
位置補正をモータ３３によって行う。位置補正完了後再
び認識カメラ３６にて部品３の画像を再認識し、回転方
向の位置補正が正確になされているか否かを確認する。

【０００８】回転方向の位置補正後はモータ４０の回転
により、光学系３７はノズル２の下から退避する。ＸＹ
ロボット部７が部品吸着ヘッド部２９を基板４の上に移
動させる間に、最後に画像入力した情報により部品３の
ＸＹ方向の誤差を計算し、ＸＹロボット部７はＸＹ方向
の位置を補正し、部品３を基板４に実装する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の部品実装装置では、部品吸着ヘッド部２９
及び撮像部２８を備えたＸＹロボット部７の質量が大き
く、またこれらを駆動するモータ３３、４０の位置決め
誤差及びボールねじ機構等の機械的誤差を不可避的に有
しているため、部品３の実装精度が十分達成することが
できないという問題があった。

【００１０】また、部品吸着についても同様で、ＸＹロ
ボット部７が予め設定された場所に位置決めを行い、部
品３を吸着するため、必ずしも部品３の中心点を吸着で
きなかった。このため、部品３を正確に吸着できなかっ
たり、部品供給部６から実装位置まで移動する間に部品
３が落下するという問題があった。

【００１１】さらに、基板４のそりなどに伴って傾いた
場所への実装に対して部品３を水平のまま実装していた
ため、実装精度が向上しないという問題点があった。

【００１２】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、部品
を実装所定位置に装着する際に精度良く位置補正を行
い、部品を基板に高精度に実装できる部品実装方法及び
装置を提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の部品実装方法
は、部品吸着部を有する部品装着ヘッド部を粗位置決め
する第１工程と、部品と実装所定位置とのずれ量を計
測、算出する第２工程と、ずれ量に基づき停止した部品
装着ヘッド部から独立して部品吸着部のみ補正移動する
第３工程と、実装所定位置に正しく補正移動した部品を
実装する第４工程から成るものであり、部品と実装所定
位置とのずれ量を求めて部品吸着部のみ補正移動するた
め、補正移動時の可動部の質量及び移動量が小さいため
に正確に位置決めでき、部品を高精度に実装することが
できる。

【００１４】また、本発明の部品実装装置は、端部にノ
ズルを設けた部品吸着部と、部品吸着部を支持する回転
軸と、回転軸を磁気力により浮上して軸支持する磁気軸
受と、回転軸の径方向の位置を検出する位置検出手段
と、回転軸を回転制御するサーボモータと、回転軸の回
転位置を検出する回転位置検出手段と、部品吸着部を上
下に駆動するリニアモータと、部品吸着部に吸着された
部品とこの部品を所定の位置に実装する基板上の実装所
定位置を同時に撮像する認識カメラと、撮像した画像か
ら部品と実装所定位置とのずれ量を算出する位置ずれ演
算部と、算出したずれ量と検出位置の信号に基づいて磁
気軸受の磁気力を制御する磁気軸受駆動部とを備えたも
のであり、磁気軸受によって浮上支持された回転軸にて
部品吸着部を支持しているので、磁気軸受にて部品吸着
部の位置補正を行うことができるとともに、サーボモー
タにて回転方向の位置補正ができ、かつリニアモータに
て部品を実装でき、簡単でコンパクト・軽量な構成にて
部品を高精度に実装することができる。

【００１５】また、部品装着ヘッド部に、部品吸着部、
磁気軸受、サーボモータ、リニアモータ及び認識カメラ
を装着し、この部品装着ヘッド部を基板上の所定位置に
粗位置決めするＸＹロボット部を設けることにより、Ｘ
Ｙロボット部にて部品装着ヘッド部を粗位置決めし、部
品装着ヘッド部にて高精度に実装することができ、上記
実装方法を実現できる。

【００１６】また、部品と実装所定位置の少なくとも一
部を同時に撮像する認識カメラを部品吸着部の先端のノ
ズルに対して点対称な位置に２ヶ所に配置することによ
り、部品と実装所定位置の全体を撮像することなく、視
野の狭い高精度の認識カメラの画像から部品と実装所定
位置のずれ量を高精度に検出することができる。

【００１７】また、認識カメラを傾けて取付け、斜めか
ら撮像するようにすることにより、部品吸着部の上下寸
法を大きくしなくても部品吸着部の作動部と認識カメラ
の配置が干渉し合うことがなく、コンパクトに構成でき
る。

【００１８】また、部品吸着部を実装所定位置の最下点
まで下降させた後、認識カメラで部品と実装所定位置を
同時に撮像し、部品実装位置の補正を行うようにするこ
とにより、より高い精度でずれ量を検出できる。

【００１９】また、部品供給部において認識カメラによ
って部品を撮像してその中心位置を計測し、磁気軸受に
よって部品吸着部を位置調整して部品の中心位置を吸着
するようにすることにより、部品を正確に吸着でき、部
品供給部から実装位置まで移動する間に部品が落下する
ような恐れを完全に無くすことができる。

【００２０】また、部品を実装する基板の傾きを検出す
る傾き検出手段と、傾き検出手段からの信号を入力して
基板面と部品面を平行にして実装するように磁気軸受の
傾きを制御する磁気軸受駆動部を備えると、基板のそり
などに伴って実装所定位置が傾いている場合でも、部品
と基板を平行にできて高い精度で実装することができ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の部品実装装置の第
１の実施形態について、図１〜図９を参照して説明す
る。なお、従来例と同一の構成要素については同一番号
を付して説明を省略する。

【００２２】図１、図２において、１はＸＹロボット部
７に搭載された部品装着ヘッド部である。部品吸着用の
ノズル２を端部に有する部品吸着部９は、部品装着ヘッ
ド部１の本体に配置されたリニアモータ１０によって上
下に位置決め可能である。また、部品吸着部９は回転軸
１１によって径方向に支持されるとともに、回転方向に
も位置決めされる。すなわち、部品吸着部９は回転軸１
１にて径方向に支持されるとともに回転軸１１に対して
上下に自由に位置決め可能であり、かつ回転方向に対し
ては回転軸１１と同期回転する。回転軸１１は、部品装
着ヘッド部１の本体内の上下２箇所に配置された磁気軸
受１２（１２ａ、１２ｂ）によって保持され、径方向
（ＸＹ方向）に対して位置決め可能に構成されている。
また、磁気軸受１２、１２間にサーボモータ１４が配置
され、回転方向に対して位置決め可能に構成されてい
る。部品装着ヘッド部１の本体内の上部と下部に配置さ
れた位置検出手段１３（１３ａ、１３ｂ）は、回転軸１
１の上部と下部の径方向（ＸＹ方向）の位置を検出し、
本体上端に配置された回転位置検出手段１５は回転軸１
１の回転方向の位置を検出する。１６（１６ａ、１６
ｂ）は認識カメラで、部品吸着部９に対して点対称な位
置に複数配置され、それぞれ部品３の少なくとも一部を
撮像する。

【００２３】部品吸着部９の磁気軸受１２は、図３に示
すように、回転軸１１を径方向（ＸＹ方向）に任意に位
置決め可能に磁気保持するように構成されている。

【００２４】図４に認識カメラ１６による撮像の様子を
示す。図４（ａ）に示すように、複数の認識カメラ１６
ａ、１６ｂは点対称な位置関係を保持したまま移動可能
であり、ノズル２に吸着された部品３の少なくとも一部
と、基板４上の実装所定位置１７とを同時に撮像可能な
位置に移動する。これにより、図４（ｂ）に示すよう
に、部品３の任意の位置を真上から撮像する。

【００２５】図５に制御部のブロック構成を示す。１８
は、ＲＧＢのカラー映像信号を明度、色相、彩度に変換
する色変換部１９と、予め設定された色に対して２値化
あるいは濃淡データに変換する色抽出テーブル２０とを
備え、認識カメラ１６ａ、１６ｂで撮像されたＲＧＢの
カラー映像信号を受信して、予め設定された部品３の一
部と、実装所定位置１７の各色分布内の色を呈する部分
を抽出して２値化あるいは濃淡データを得る色抽出部で
ある。２１は、色抽出部１８からそれぞれ抽出された部
品３の一部（部品色抽出）と、実装所定位置１７（実装
所定位置色抽出）の２値化あるいは濃淡データを用い、
ノイズ成分を平滑化し、部品３の一部と実装所定位置１
７のそれぞれの輪郭を追跡する境界検出部である。２２
は、境界検出部２１で検出された部品３の一部と実装所
定位置１７の各輪郭からそれぞれの位置を求め、位置ず
れ量を算出する位置ずれ演算部である。２３は位置ずれ
量に基づき部品３と実装所定位置１７の位置補正を行う
ＮＣコントローラ、２４は磁気軸受１２を制御する磁気
軸受駆動部、２５はサーボモータ１４を制御するサーボ
モータ駆動部である。

【００２６】図６は、認識カメラ１６ａ、１６ｂを部品
３の真上に配置して撮像した画像イメージを示し、部品
３の一部と実装所定位置１７を同一画像内に撮像してい
る。

【００２７】また、図７は認識カメラ１６ａ、１６ｂで
それぞれ撮像した画像から、部品３の一部（３ａ、３
ｂ）及び実装所定位置１７（１７ａ、１７ｂ）を色抽出
し、境界検出したあとの２値化データを示している。

【００２８】次に、以上の構成の動作を図８を参照して
説明する。部品装着ヘッド部１を備えたＸＹロボット部
７が部品供給部６へ移動し（ステップ＃１）、部品吸着
部９がリニアモータ１０によって下降して（ステップ＃
２）、部品３を吸着する（ステップ＃３）。部品吸着部
９が上昇した後（ステップ＃４）、ＸＹロボット部７に
て部品吸着部９を予め設定された基板４上の実装所定位
置に位置決めする。次に、認識カメラ１６ａ、１６ｂを
ノズル２に吸着された部品３の少なくとも一部と実装所
定位置１７が同時に撮像可能な位置に移動させ（ステッ
プ＃６）、図６に示すような画像を撮像する（ステップ
＃７）。次に、撮像した画像より部品３の一部と実装所
定位置１７を色抽出部１８により抽出し（ステップ＃
８）、境界検出部２１でノイズ成分を平滑化して部品３
の一部と実装所定位置１７の輪郭を検出する（ステップ
＃９）。次に、図７に示すように、境界検出部２１によ
り検出された部品３の一部（３ａ、３ｂ）と実装所定位
置１７（１７ａ、１７ｂ）の２値化あるいは濃淡データ
の画像に基づいて、位置ずれ演算部２２で部品３と実装
所定位置１７の各寸法（ｅ₁〜ｅ_p、ｆ₁〜ｆ_o、ｇ₁
〜ｇ_q、ｈ₁〜ｈ_r）を複数点で計測し、これらのデー
タから部品３と実装所定位置１７の位置ずれ量を次式に
よって算出する（ステップ＃１０）。

【００２９】

【数１】

【００３０】位置ずれ量Δｘ、Δｙは、図３に示すよう
に磁気軸受１２によって回転軸１１を移動させることに
よって位置補正する（ステップ＃１１）。また、Δθ
は、サーボモータ１４によって位置補正する（ステップ
＃１２）。次に、部品吸着部９がリニアモータ１０によ
って下降して（ステップ＃１３）、部品３を基板４の実
装所定位置１７に実装する（ステップ＃１４）。

【００３１】次に、本発明の第２の実施形態について、
図９、図１０を参照して説明する。

【００３２】図９において、上記第１の実施形態と同じ
動作ステップについては同一符号を付して説明を省略す
る。ＸＹロボット部７が予め設定された基板４上の実装
所定位置１７に移動した後（ステップ＃５）、図１０に
示すように、部品吸着部９が実装所定位置１７の近くま
で下降する（ステップ＃１５）。そして、認識カメラ１
６ａ、１６ｂをノズル２に吸着された部品３の少なくと
も一部と実装所定位置１７を同時に撮像可能な位置に移
動し（ステップ＃６）、以後第１の実施形態と同様に部
品３を実装する。

【００３３】次に、本発明の第３の実施形態について、
図１１を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同
じ構成要素は同一の参照符号を付して説明を省略する。
本実施形態においては、図１１に示すように、複数台の
認識カメラ１６を斜め上方に配置し、部品３の一部と実
装所定位置を斜めから撮像するようにしている。

【００３４】次に、本発明の第４の実施形態について、
図１及び図１２、図１３を参照して説明する。なお、第
１の実施形態と同じ構成要素は同一の参照符号を付して
説明を省略する。本実施形態は部品３の吸着動作に関す
るものであり、図１２に部品吸着時に認識カメラが部品
を撮像する様子を示し、図１３に部品吸着時の動作フロ
ーを示す。部品装着ヘッド部１を備えたＸＹロボット部
７が部品供給部６へ移動すると（ステップ１）、図１２
（ａ）に示すように認識カメラ１６ａ、１６ｂを吸着す
る部品３の一部を撮像可能な位置に移動させ（ステップ
＃１６）、図１２（ｂ）に示すような画像を撮像する
（ステップ＃１７）。撮像した画像により部品３の位置
を色抽出部１８により抽出し（ステップ＃１８）、境界
検出部２１でノイズ成分を平準化して部品３の位置を検
出する（ステップ＃１９）。次に、ノズル２が部品３の
中心を吸着するように部品３の位置データより位置ずれ
演算部２２で部品３の中心位置とノズル２のずれ量を演
算し（ステップ＃２０）、ＸＹロボット７若しくは磁気
軸受１２によって位置補正する（ステップ＃２１）。

【００３５】以後、第１の実施形態と同様に部品吸着部
が下降し（ステップ＃２）、部品３を吸着する（ステッ
プ＃３）。

【００３６】次に、本発明の第５の実施形態について、
図１４、図１５を参照して説明する。なお、第１の実施
形態と同じ構成要素は同一の参照符号を付して説明を省
略する。本実施形態では基板４にそりがあって実装所定
位置１７が傾斜している場合の実装に関するものであ
る。図１４に示すように、部品装着時に高さ検出部２６
ａ、２６ｂで基板４の高さ（ｍ₁、ｍ₂）を検出する。
２つの高さ検出部２６ａ、２６ｂの間隔をｍとすると、
基板４の傾きθは、次式によって算出できる。

【００３７】

【数２】

【００３８】図１５において、高さ検出部２６ａ、２６
ｂからの検出値により基板傾き演算部２７で上記演算に
より行い、ＮＣコントローラ２３にて磁気軸受駆動部２
４を制御して回転軸１１の傾きを基板４の傾きθと同様
に傾ける。回転軸１１は上下の磁気軸受１２ａ、１２ｂ
をそれぞれ独立に位置決めすることで任意の角度に保持
することができる。この状態で部品３と基板４は平行に
なり、部品吸着部９を下降させて部品３を装着する。

【００３９】

【発明の効果】本発明の部品実装方法によれば、以上の
説明から明らかなように、ノズルを有する部品装着ヘッ
ド部を粗位置決めして部品と実装所定位置とのずれ量を
計測、算出し、そのずれ量に基づいてノズルのみ補正移
動して実装所定位置に正しく補正移動した部品を実装す
るので、補正移動時の可動部の質量及び移動量が小さい
ために正確に位置決めでき、部品を高精度に実装するこ
とができる。

【００４０】また、本発明の部品実装装置によれば、部
品吸着部を支持する回転軸と、回転軸を浮上支持する磁
気軸受と、回転軸の位置検出手段と、回転軸を回転制御
するサーボモータと、回転位置検出手段と、部品吸着部
を上下に駆動するリニアモータと、部品と実装所定位置
を同時に撮像する認識カメラと、撮像した画像から部品
と実装所定位置とのずれ量を算出する位置ずれ演算部
と、算出したずれ量と検出位置の信号に基づいて磁気軸
受の磁気力を制御する磁気軸受駆動部とを備えているの
で、浮上支持された部品吸着部の位置補正を磁気軸受に
て行うことができるとともに、サーボモータにて回転方
向の位置補正ができ、かつリニアモータにて部品を実装
でき、したがって簡単でコンパクト・軽量な構成にて部
品を高精度に実装することができる。

【００４１】また、部品吸着部、磁気軸受、サーボモー
タ、リニアモータ及び認識カメラを装着した部品装着ヘ
ッド部を基板上の所定位置に粗位置決めするＸＹロボッ
ト部を設けると、ＸＹロボット部にて部品装着ヘッド部
を粗位置決めして部品装着ヘッド部にて高精度の実装が
でき、上記実装方法を実現できるとともに、その効果を
一層発揮することができる。

【００４２】また、部品と実装所定位置の少なくとも一
部を同時に撮像する認識カメラを部品吸着部の先端のノ
ズルに対して点対称な位置に２ヶ所に配置すると、視野
の狭い高精度の認識カメラの画像から部品と実装所定位
置のずれ量を高精度に検出することができ、その結果部
品を高精度に実装することができる。

【００４３】また、認識カメラを傾けて取付け、斜めか
ら撮像するようにすると、部品吸着部の上下寸法を大き
くしなくても部品吸着部の作動部と認識カメラの配置が
干渉し合わないため、コンパクトに構成できる。

【００４４】また、部品吸着部を実装所定位置の最下点
まで下降させた後、認識カメラで部品と実装所定位置を
同時に撮像し、部品実装位置の補正を行うようにする
と、より高い精度でずれ量を検出でき、部品を高精度に
実装することができる。

【００４５】また、部品供給部において認識カメラによ
って部品を撮像してその中心位置を計測し、磁気軸受に
よって部品吸着部を位置調整して部品の中心位置を吸着
するようにすると、部品を正確に吸着でき、部品供給部
から実装位置まで移動する間に部品が落下するような恐
れを完全に無くすことができる。

【００４６】また、部品を実装する基板の傾きを検出す
る傾き検出手段からの信号を磁気軸受駆動部に入力して
基板面と部品面を平行にして実装するようにすると、基
板のそりなどに伴って実装所定位置が傾いている場合で
も、部品と基板を平行にできて高い精度で実装すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の部品実装装置の第１の実施形態の全体
構成を示す斜視図である。

【図２】同実施形態の部品装着ヘッド部の部分断面詳細
斜視図である。

【図３】同実施形態の磁気軸受の平面図である。

【図４】同実施形態における認識カメラによる撮像の様
子を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。

【図５】同実施形態における位置補正を行う構成のブロ
ック図である。

【図６】同実施形態における撮像した画像の説明図であ
る。

【図７】同実施形態における２値化データによる部品位
置検出の説明図である。

【図８】同実施形態の動作フローチャートである。

【図９】本発明の部品実装装置の第２の実施形態の動作
フローチャートである。

【図１０】同実施形態の要部の詳細図である。

【図１１】本発明の部品実装装置の第３の実施形態の要
部の詳細図である。

【図１２】本発明の部品実装装置の第４の実施形態を示
し、（ａ）は動作説明図、（ｂ）は撮像した画像の説明
図である。

【図１３】同実施形態の動作フローチャートである。

【図１４】本発明の部品実装装置の第５の実施形態の要
部の構成図である。

【図１５】同実施形態の傾き補正を行う構成のブロック
図である。

【図１６】従来例の部品実施装置の全体構成を示す斜視
図である。

【図１７】同従来例の部品吸着部及び撮像部の詳細構成
を示す正面図である。

【符号の説明】

１部品装着ヘッド部２ノズル３部品４基板６部品供給部７ＸＹロボット部９部品吸着部１０リニアモータ１１回転軸１２磁気軸受１３位置検出手段１４サーボモータ１５回転位置検出手段１６認識カメラ１７実装所定位置２２位置ずれ演算部２４磁気軸受駆動部２６ａ、２６ｂ高さ検出部２７基板傾き演算部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】部品吸着部を有する部品装着ヘッド部を
粗位置決めする第１工程と、部品と実装所定位置とのず
れ量を計測、算出する第２工程と、ずれ量に基づき停止
した部品装着ヘッド部から独立して部品吸着部のみ補正
移動する第３工程と、実装所定位置に正しく補正移動し
た部品を実装する第４工程から成ることを特徴とする部
品実装方法。
【請求項２】端部にノズルを設けた部品吸着部と、部
品吸着部を支持する回転軸と、回転軸を磁気力により浮
上して軸支持する磁気軸受と、回転軸の径方向の位置を
検出する位置検出手段と、回転軸を回転制御するサーボ
モータと、回転軸の回転位置を検出する回転位置検出手
段と、部品吸着部を上下に駆動するリニアモータと、部
品吸着部に吸着された部品とこの部品を所定の位置に実
装する基板上の実装所定位置を同時に撮像する認識カメ
ラと、撮像した画像から部品と実装所定位置とのずれ量
を算出する位置ずれ演算部と、算出したずれ量と検出位
置の信号に基づいて磁気軸受の磁気力を制御する磁気軸
受駆動部とを備えたことを特徴とする部品実装装置。
【請求項３】部品装着ヘッド部に、部品吸着部、磁気
軸受、サーボモータ、リニアモータ及び認識カメラを装
着し、この部品装着ヘッド部を基板上の所定位置に粗位
置決めするＸＹロボット部を設けたことを特徴とする請
求項２記載の部品実装装置。
【請求項４】部品と実装所定位置の少なくとも一部を
同時に撮像する認識カメラを部品吸着部の先端のノズル
に対して点対称な位置に２ヶ所に配置したことを特徴と
する請求項２又は３記載の部品実装装置。
【請求項５】認識カメラを傾けて取付け、斜めから撮
像するようにしたことを特徴とする請求項４記載の部品
実装装置。
【請求項６】部品吸着部を実装所定位置の最下点まで
下降させた後、認識カメラで部品と実装所定位置を同時
に撮像し、部品実装位置の補正を行うようにしたことを
特徴とする請求項２又は３記載の部品実装装置。
【請求項７】部品供給部において認識カメラによって
部品を撮像してその中心位置を計測し、磁気軸受によっ
て部品吸着部を位置調整して部品の中心位置を吸着する
ようにしたことを特徴とする請求項３記載の部品実装装
置。
【請求項８】部品を実装する基板の傾きを検出する傾
き検出手段と、傾き検出手段からの信号を入力して基板
面と部品面を平行にして実装するように磁気軸受の傾き
を制御する磁気軸受駆動部を備えたことを特徴とする請
求項２又は３記載の部品実装装置。