JPH1027025A - 真空圧力調整装置 - Google Patents
真空圧力調整装置Info
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- JPH1027025A JPH1027025A JP18306896A JP18306896A JPH1027025A JP H1027025 A JPH1027025 A JP H1027025A JP 18306896 A JP18306896 A JP 18306896A JP 18306896 A JP18306896 A JP 18306896A JP H1027025 A JPH1027025 A JP H1027025A
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- Japan
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- vacuum
- diaphragm
- vacuum pressure
- valve
- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空圧力調整装置を小型化し得るようにす
る。 【解決手段】 真空圧力調整装置のハウジング13は基
部11とボンネット部12とにより形成されており、基
部11は真空圧源16に連通される真空ポート14と、
バキュームカップ17に接続される調圧ポート15と、
これらのポートを連通する弁孔21内に設けられる弁軸
22に取り付けられ弁孔21を開閉する弁体24とを有
している。また、基部11に取り付けられるボンネット
部12は、基部11にこれとの間にダイヤフラム31を
挟み込んだ状態で締結されてダイヤフラム31とにより
真空圧室を形成する。ダイヤフラム31の外周部には調
圧ポートと真空圧室とを連通する真空バイパス孔35を
シールする環状のシール部51が一体に形成されてい
る。
る。 【解決手段】 真空圧力調整装置のハウジング13は基
部11とボンネット部12とにより形成されており、基
部11は真空圧源16に連通される真空ポート14と、
バキュームカップ17に接続される調圧ポート15と、
これらのポートを連通する弁孔21内に設けられる弁軸
22に取り付けられ弁孔21を開閉する弁体24とを有
している。また、基部11に取り付けられるボンネット
部12は、基部11にこれとの間にダイヤフラム31を
挟み込んだ状態で締結されてダイヤフラム31とにより
真空圧室を形成する。ダイヤフラム31の外周部には調
圧ポートと真空圧室とを連通する真空バイパス孔35を
シールする環状のシール部51が一体に形成されてい
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は真空圧作動機器に対
して所定の真空圧力を供給する真空圧力調整装置に関す
る。
して所定の真空圧力を供給する真空圧力調整装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】例えば、ワークを真空吸着するためのバ
キュームカップ等の真空圧作動機器に対して真空ポンプ
から負圧空気つまり真空を供給する場合には、真空ポン
プと真空圧作動機器との間に真空ポンプからの真空圧を
所定の値に設定して真空圧作動機器に供給するために真
空圧力調整装置つまり真空レギュレータが用いられてい
る。
キュームカップ等の真空圧作動機器に対して真空ポンプ
から負圧空気つまり真空を供給する場合には、真空ポン
プと真空圧作動機器との間に真空ポンプからの真空圧を
所定の値に設定して真空圧作動機器に供給するために真
空圧力調整装置つまり真空レギュレータが用いられてい
る。
【0003】従来の真空レギュレータとしては、特開平
7−295655号公報に示されるものがあり、真空ポ
ンプに接続される真空ポートと真空圧作動機器に接続さ
れる調圧ポートとを連通させる弁孔に軸方向に摺動自在
に設けられた弁軸と、この弁軸の一端部に設けられて弁
孔の真空ポート側に形成された弁座を開閉する弁体とを
有し、弁体には弁座を閉じる方向のばね力が付勢されて
いる。
7−295655号公報に示されるものがあり、真空ポ
ンプに接続される真空ポートと真空圧作動機器に接続さ
れる調圧ポートとを連通させる弁孔に軸方向に摺動自在
に設けられた弁軸と、この弁軸の一端部に設けられて弁
孔の真空ポート側に形成された弁座を開閉する弁体とを
有し、弁体には弁座を閉じる方向のばね力が付勢されて
いる。
【0004】さらに真空レギュレータは、大気圧に連通
された大気圧室と、調圧ポートに連通される真空圧室と
を区画するダイヤフラムを有し、このダイヤフラムは弁
軸を作動するようになっており、真空圧室と調圧ポート
とを連通するために、真空バイパス孔を有している。
された大気圧室と、調圧ポートに連通される真空圧室と
を区画するダイヤフラムを有し、このダイヤフラムは弁
軸を作動するようになっており、真空圧室と調圧ポート
とを連通するために、真空バイパス孔を有している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このようなタイプの真
空レギュレータにあっては、ハウジング内に大気圧室と
真空圧室とを区画するためのダイヤフラムを設けるとと
もに、ハウジングにダイヤフラムを避けるようにして真
空バイパス孔を形成する必要があり、そのバイパス孔は
ダイヤフラムの外側に位置させる必要があることから、
ハウジングをどうしても大型化せざるを得ず、真空レギ
ュレータを小型化させることが困難であった。
空レギュレータにあっては、ハウジング内に大気圧室と
真空圧室とを区画するためのダイヤフラムを設けるとと
もに、ハウジングにダイヤフラムを避けるようにして真
空バイパス孔を形成する必要があり、そのバイパス孔は
ダイヤフラムの外側に位置させる必要があることから、
ハウジングをどうしても大型化せざるを得ず、真空レギ
ュレータを小型化させることが困難であった。
【0006】しかも、ダイヤフラムをハウジングに設け
るためには、ハウジングを分割型として、それぞれの分
割面の間にダイヤフラムを挟み込むようにしていること
から、真空バイパス孔は分割面の部分を横断することに
なり、その部分のシールのためにOリングなどのシール
材を設けて、真空バイパス孔の部分の空気洩れを防止す
ることが必要となっている。したがって、真空レギュレ
ータを組み立てるために、分割されたハウジングを合わ
せる際には、これらの間にダイヤフラムを挟み込む作業
とシール材を挟み込む作業とが必要となり、その組み立
て作業に時間がかかり組み立て作業性が良好でないとい
う問題点があった。
るためには、ハウジングを分割型として、それぞれの分
割面の間にダイヤフラムを挟み込むようにしていること
から、真空バイパス孔は分割面の部分を横断することに
なり、その部分のシールのためにOリングなどのシール
材を設けて、真空バイパス孔の部分の空気洩れを防止す
ることが必要となっている。したがって、真空レギュレ
ータを組み立てるために、分割されたハウジングを合わ
せる際には、これらの間にダイヤフラムを挟み込む作業
とシール材を挟み込む作業とが必要となり、その組み立
て作業に時間がかかり組み立て作業性が良好でないとい
う問題点があった。
【0007】本発明の目的は真空圧力調整装置を小型化
し得るようにすることにある。
し得るようにすることにある。
【0008】本発明の他の目的は、真空圧力調整装置の
部品点数を低減して、その組み立て作業性を向上するこ
とにある。
部品点数を低減して、その組み立て作業性を向上するこ
とにある。
【0009】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0011】すなわち、本発明の真空圧力調整装置は、
真空圧源に連通される真空ポート、真空圧作動機器に接
続される調圧ポート、これらのポートを連通する弁孔内
に設けられる弁軸に取り付けられ前記弁孔を開閉する弁
体を有する基部と、基部にこれとの間にダイヤフラムを
挟み込んだ状態で締結され、ダイヤフラムとにより真空
圧室を形成するボンネット部とを有し、ダイヤフラムの
うち基部とボンネット部とにより挟み付けられる外周部
に、調圧ポートと真空圧室とを連通する真空バイパス孔
をシールする環状のシール部をダイヤフラムと一体に形
成したことを特徴とする。
真空圧源に連通される真空ポート、真空圧作動機器に接
続される調圧ポート、これらのポートを連通する弁孔内
に設けられる弁軸に取り付けられ前記弁孔を開閉する弁
体を有する基部と、基部にこれとの間にダイヤフラムを
挟み込んだ状態で締結され、ダイヤフラムとにより真空
圧室を形成するボンネット部とを有し、ダイヤフラムの
うち基部とボンネット部とにより挟み付けられる外周部
に、調圧ポートと真空圧室とを連通する真空バイパス孔
をシールする環状のシール部をダイヤフラムと一体に形
成したことを特徴とする。
【0012】また、本発明の真空圧力調整装置は、基部
のうちボンネット部が締結される面は四辺形であり、真
空バイパス孔は四辺形の面のうち四隅のいずれかの隅に
隣接して形成されている。
のうちボンネット部が締結される面は四辺形であり、真
空バイパス孔は四辺形の面のうち四隅のいずれかの隅に
隣接して形成されている。
【0013】前記構成の真空圧力調整装置にあっては、
真空バイパス孔をシールするシール部がダイヤフラムに
一体に形成されているので、部品点数を低減することが
できるとともに、ダイヤフラムを基部とボンネット部と
の間に配置することによってシール部も同時に配置する
ことができ、装置の組み立て作業を容易に行うことがで
きる。また、ダイヤフラムの外周部にシール部が設けら
れていることから、基部とボンネット部とにより形成さ
れる装置のハウジングのサイズを小型化することがで
き、装置の小型化が達成される。
真空バイパス孔をシールするシール部がダイヤフラムに
一体に形成されているので、部品点数を低減することが
できるとともに、ダイヤフラムを基部とボンネット部と
の間に配置することによってシール部も同時に配置する
ことができ、装置の組み立て作業を容易に行うことがで
きる。また、ダイヤフラムの外周部にシール部が設けら
れていることから、基部とボンネット部とにより形成さ
れる装置のハウジングのサイズを小型化することがで
き、装置の小型化が達成される。
【0014】さらに、基部の締結面を四辺形とし、これ
の四隅のいずれかに隣接させて真空バイパス孔を形成す
ることによって、ダイヤフラムの外径を大きくすること
なくシール部をダイヤフラムに一体に形成することがで
き、締結面の寸法の小型化を達成することができる。
の四隅のいずれかに隣接させて真空バイパス孔を形成す
ることによって、ダイヤフラムの外径を大きくすること
なくシール部をダイヤフラムに一体に形成することがで
き、締結面の寸法の小型化を達成することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【0016】図1は本発明の一実施例の真空圧力調整装
置つまり真空レギュレータを示す断面図であり、図2は
図1の側面図である。この真空圧力調整装置10は基部
11とこれに固定されるボンネット部12とにより構成
される二分割型のハウジング13を有している。基部1
1には同一中心軸上に真空ポート14と調圧ポート15
とが形成され、真空ポート14には真空ポンプ等の真空
圧源16が接続されるようになっている。調圧ポート1
5には、図6に示すように、真空タンクTを介して複数
のバキュームカップ17が真空圧作動機器として接続さ
れるようになっており、真空タンクTとバキュームカッ
プ17とを結ぶ流路には開閉バルブVが設けられてい
る。
置つまり真空レギュレータを示す断面図であり、図2は
図1の側面図である。この真空圧力調整装置10は基部
11とこれに固定されるボンネット部12とにより構成
される二分割型のハウジング13を有している。基部1
1には同一中心軸上に真空ポート14と調圧ポート15
とが形成され、真空ポート14には真空ポンプ等の真空
圧源16が接続されるようになっている。調圧ポート1
5には、図6に示すように、真空タンクTを介して複数
のバキュームカップ17が真空圧作動機器として接続さ
れるようになっており、真空タンクTとバキュームカッ
プ17とを結ぶ流路には開閉バルブVが設けられてい
る。
【0017】基部11の中央にはそれぞれのポート1
4,15の中心軸に対して直角の方向となって弁孔21
が形成されており、この弁孔21の一端部に真空ポート
14が連通され、弁孔21の側壁に調圧ポート15が連
通され、弁孔21内には弁軸22が軸方向に摺動自在に
装着されている。この弁軸22の一端には弁孔21の真
空ポート側の開口部に形成された弁座23を開閉する弁
体24が設けられ、この弁体24の先端面には弁座23
に当接するゴム製のシール材24aが設けられている。
弁体24に対して弁座23を閉じる方向のばね力を付勢
するために、止めリング25により基部11に固定され
る密封蓋26と、弁体24との間には圧縮コイルばね2
7が装着されている。
4,15の中心軸に対して直角の方向となって弁孔21
が形成されており、この弁孔21の一端部に真空ポート
14が連通され、弁孔21の側壁に調圧ポート15が連
通され、弁孔21内には弁軸22が軸方向に摺動自在に
装着されている。この弁軸22の一端には弁孔21の真
空ポート側の開口部に形成された弁座23を開閉する弁
体24が設けられ、この弁体24の先端面には弁座23
に当接するゴム製のシール材24aが設けられている。
弁体24に対して弁座23を閉じる方向のばね力を付勢
するために、止めリング25により基部11に固定され
る密封蓋26と、弁体24との間には圧縮コイルばね2
7が装着されている。
【0018】弁孔21内に突出して形成された突起部2
8に当接して弁体24から離れる方向の移動が規制され
ているバルブピン29には、弁軸22の他端に形成され
た小径部が嵌合しており、弁軸22はバルブピン29に
案内されて軸方向に摺動するようになっている。一方、
バルブピン29が弁体24に向けて移動すると、バルブ
ピン29は弁軸22の大径部に当接して弁軸22は弁体
24を弁座23から離す方向に移動される。
8に当接して弁体24から離れる方向の移動が規制され
ているバルブピン29には、弁軸22の他端に形成され
た小径部が嵌合しており、弁軸22はバルブピン29に
案内されて軸方向に摺動するようになっている。一方、
バルブピン29が弁体24に向けて移動すると、バルブ
ピン29は弁軸22の大径部に当接して弁軸22は弁体
24を弁座23から離す方向に移動される。
【0019】それぞれハウジング13を構成するボンネ
ット部12と基部11は、図2に示すように、ねじ部材
30により締結されるようになっており、これらの基部
11とボンネット部12との間には、ダイヤフラム31
がその外周部で挟み付けられるようになっている。この
ダイヤフラム31によってハウジング13内には、大気
圧室32と真空圧室33とに区画されている。大気圧室
32は基部11に形成された連通孔34により外部に連
通されて大気が入り込むようになっており、真空圧室3
3はハウジング13に形成された真空バイパス孔35に
より調圧ポート15に連通されている。
ット部12と基部11は、図2に示すように、ねじ部材
30により締結されるようになっており、これらの基部
11とボンネット部12との間には、ダイヤフラム31
がその外周部で挟み付けられるようになっている。この
ダイヤフラム31によってハウジング13内には、大気
圧室32と真空圧室33とに区画されている。大気圧室
32は基部11に形成された連通孔34により外部に連
通されて大気が入り込むようになっており、真空圧室3
3はハウジング13に形成された真空バイパス孔35に
より調圧ポート15に連通されている。
【0020】ダイヤフラム31には金属製の連動ディス
ク36が設けられ、この連動ディスク36は軸部37を
有しており、この軸部37はバルブピン29の円錐形の
端面に接触するようになっている。
ク36が設けられ、この連動ディスク36は軸部37を
有しており、この軸部37はバルブピン29の円錐形の
端面に接触するようになっている。
【0021】真空圧室33内にはダイヤフラム31に対
向してばね受け部材41が設けられており、このばね受
け部材41は外周面が例えば多角形となり、ボンネット
部12の内面に係合して回転が規制されている。ダイヤ
フラム31とばね受け部材41との間には、弁体24を
弁座23から開放する方向にばね力を付勢するための圧
縮コイルばね42が装着されている。ハウジング13に
は、ばね受け部材41にねじ結合される調整ねじ43が
回転自在に取り付けられており、この調整ねじ43はハ
ンドルガイド44を介してハンドル45に固定されてい
る。したがって、ハンドル45を回転することにより調
整ねじ43を介してばね受け部材41をダイヤフラム3
1に対して接近離反移動させると、圧縮コイルばね42
の圧縮力が調整されることになる。
向してばね受け部材41が設けられており、このばね受
け部材41は外周面が例えば多角形となり、ボンネット
部12の内面に係合して回転が規制されている。ダイヤ
フラム31とばね受け部材41との間には、弁体24を
弁座23から開放する方向にばね力を付勢するための圧
縮コイルばね42が装着されている。ハウジング13に
は、ばね受け部材41にねじ結合される調整ねじ43が
回転自在に取り付けられており、この調整ねじ43はハ
ンドルガイド44を介してハンドル45に固定されてい
る。したがって、ハンドル45を回転することにより調
整ねじ43を介してばね受け部材41をダイヤフラム3
1に対して接近離反移動させると、圧縮コイルばね42
の圧縮力が調整されることになる。
【0022】このようにして圧縮コイルばね42の圧縮
力が所定値に調整された状態で、真空圧源16を作動さ
せてバキュームカップ17に負圧を供給する際に、調圧
ポート15の真空度が設定値よりも高くなると、つまり
真空圧が大気圧から離れるように設定値よりも低くなる
と、真空バイパス孔35を介して調圧ポート15の圧力
が真空圧室33に作用するので、ダイヤフラム31には
圧縮コイルばね42のばね力に抗して弁体24を閉じる
方向の圧力が作用し、圧縮コイルばね27のばね力によ
り弁体24が閉じられる。これにより、調圧ポート15
の圧力は設定された圧力に維持される。
力が所定値に調整された状態で、真空圧源16を作動さ
せてバキュームカップ17に負圧を供給する際に、調圧
ポート15の真空度が設定値よりも高くなると、つまり
真空圧が大気圧から離れるように設定値よりも低くなる
と、真空バイパス孔35を介して調圧ポート15の圧力
が真空圧室33に作用するので、ダイヤフラム31には
圧縮コイルばね42のばね力に抗して弁体24を閉じる
方向の圧力が作用し、圧縮コイルばね27のばね力によ
り弁体24が閉じられる。これにより、調圧ポート15
の圧力は設定された圧力に維持される。
【0023】一方、調圧ポート15の真空度が設定値よ
りも低くなり、設定値よりも大気圧に近づくと、調圧ポ
ート15に真空バイパス孔35を介して連通する真空圧
室33の真空度が低くなり、弁軸22に対して連動ディ
スク36とバルブピン29を介して作用する圧縮コイル
ばね42のばね力により弁体24は弁座23から離れ
る。これにより、弁体24が開かれて真空圧源16の真
空が調圧ポート15に案内され、調圧ポート15の圧力
は設定値となる。
りも低くなり、設定値よりも大気圧に近づくと、調圧ポ
ート15に真空バイパス孔35を介して連通する真空圧
室33の真空度が低くなり、弁軸22に対して連動ディ
スク36とバルブピン29を介して作用する圧縮コイル
ばね42のばね力により弁体24は弁座23から離れ
る。これにより、弁体24が開かれて真空圧源16の真
空が調圧ポート15に案内され、調圧ポート15の圧力
は設定値となる。
【0024】軸部37にはこの先端面と大気圧室32と
を結ぶリーク孔47が形成されており、このリーク孔4
7は基部11に形成された導通孔48と真空バイパス孔
35を介して調圧ポート15に連通するようになってい
る。したがって、調圧ポート15の真空度が所定値より
も高くなり過ぎた場合には、ダイヤフラム31が弁軸2
2から離れる方向に変位し、連動ディスク36の軸部3
7がバルブピン29から離れることになり、大気圧室3
2を介して調圧ポート15には大気が供給されてこのポ
ート15の真空度が低くなるように制御される。このよ
うに、リーク孔47は真空バイパス孔35を介して調圧
ポート15に連通するようになっているので、迅速に設
定圧に調圧ポート15の圧力は復帰することになる。な
お、符号49は導通孔48と真空バイパス孔35の接続
部分が大気に露出されるのを防止するための密封蓋であ
り、符号50は真空レギュレータを図示しない支持部材
に取り付ける際に用いられるナットである。
を結ぶリーク孔47が形成されており、このリーク孔4
7は基部11に形成された導通孔48と真空バイパス孔
35を介して調圧ポート15に連通するようになってい
る。したがって、調圧ポート15の真空度が所定値より
も高くなり過ぎた場合には、ダイヤフラム31が弁軸2
2から離れる方向に変位し、連動ディスク36の軸部3
7がバルブピン29から離れることになり、大気圧室3
2を介して調圧ポート15には大気が供給されてこのポ
ート15の真空度が低くなるように制御される。このよ
うに、リーク孔47は真空バイパス孔35を介して調圧
ポート15に連通するようになっているので、迅速に設
定圧に調圧ポート15の圧力は復帰することになる。な
お、符号49は導通孔48と真空バイパス孔35の接続
部分が大気に露出されるのを防止するための密封蓋であ
り、符号50は真空レギュレータを図示しない支持部材
に取り付ける際に用いられるナットである。
【0025】図3は図1に示された基部11のうちボン
ネット部12が締結される分割面の形状を示す図であ
り、四辺形の基部11の表面の四隅にはねじ部材30が
ねじ結合される4つのねじ孔30aが形成されており、
これらのねじ孔30aのうちの1つに隣接させて真空バ
イパス孔35が形成されている。また、図3に示すよう
に、分割面には環状のシール部51が入り込む環状の凹
部51aが形成されている。
ネット部12が締結される分割面の形状を示す図であ
り、四辺形の基部11の表面の四隅にはねじ部材30が
ねじ結合される4つのねじ孔30aが形成されており、
これらのねじ孔30aのうちの1つに隣接させて真空バ
イパス孔35が形成されている。また、図3に示すよう
に、分割面には環状のシール部51が入り込む環状の凹
部51aが形成されている。
【0026】図4は図1に示されたダイヤフラム31と
連動ディスク36を示す拡大断面図であり、図5は図4
の底面図である。これらの図に示すように、真空バイパ
ス孔35をシールするためのシール部51がダイヤフラ
ム31と一体に形成されており、これらはゴムや樹脂な
どのように弾性変形する材料により一体成形されてい
る。したがって、真空バイパス孔35をシールするため
のOリングなどのシール部材をダイヤフラム31と別に
設けて、これを基部11とボンネット部12との間に挟
み付けるようにすると、これらにより形成されるハウジ
ング13の幅ないし奥行きの寸法を大きくしなければな
らず、ハウジング13の大型化が避けられないが、図示
するように、真空バイパス孔35をシールするためのシ
ール部51をダイヤフラム31と一体に成形すると、ハ
ウジング13の寸法を小型化することができ、真空レギ
ュレータの小型化が達成される。
連動ディスク36を示す拡大断面図であり、図5は図4
の底面図である。これらの図に示すように、真空バイパ
ス孔35をシールするためのシール部51がダイヤフラ
ム31と一体に形成されており、これらはゴムや樹脂な
どのように弾性変形する材料により一体成形されてい
る。したがって、真空バイパス孔35をシールするため
のOリングなどのシール部材をダイヤフラム31と別に
設けて、これを基部11とボンネット部12との間に挟
み付けるようにすると、これらにより形成されるハウジ
ング13の幅ないし奥行きの寸法を大きくしなければな
らず、ハウジング13の大型化が避けられないが、図示
するように、真空バイパス孔35をシールするためのシ
ール部51をダイヤフラム31と一体に成形すると、ハ
ウジング13の寸法を小型化することができ、真空レギ
ュレータの小型化が達成される。
【0027】しかも、ダイヤフラム31にはシール部5
1が一体となっているので、真空レギュレータを組み立
てる際には、ダイヤフラム31を基部11とボンネット
部12との間に配置して挟み付けることによってシール
部51も挟み付けられることになり、部品点数が低減さ
れるのみならず、ダイヤフラム31の取り付け作業によ
ってシール部51の取り付けも完了する。
1が一体となっているので、真空レギュレータを組み立
てる際には、ダイヤフラム31を基部11とボンネット
部12との間に配置して挟み付けることによってシール
部51も挟み付けられることになり、部品点数が低減さ
れるのみならず、ダイヤフラム31の取り付け作業によ
ってシール部51の取り付けも完了する。
【0028】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記発
明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。たとえば、図4に示すように、シール部51の中
に、中空パイプ52を取り付けるようにし、シール部5
1が潰されてこの中心部に形成される真空バイパス孔3
5が閉塞されないようにしても良い。この中空パイプ5
2は基部11に形成された真空バイパス孔35内に予め
取り付けるようにし、ダイヤフラム31を挟み付ける際
に、この中空パイプ52にシール部51を嵌め込むこと
により、ダイヤフラム31の基部11に対する位置決め
を行うことができる。
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記発
明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。たとえば、図4に示すように、シール部51の中
に、中空パイプ52を取り付けるようにし、シール部5
1が潰されてこの中心部に形成される真空バイパス孔3
5が閉塞されないようにしても良い。この中空パイプ5
2は基部11に形成された真空バイパス孔35内に予め
取り付けるようにし、ダイヤフラム31を挟み付ける際
に、この中空パイプ52にシール部51を嵌め込むこと
により、ダイヤフラム31の基部11に対する位置決め
を行うことができる。
【0029】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0030】(1).真空バイパス孔をシールするシール部
がダイヤフラムに一体に形成されているので、部品点数
を低減することができるとともに、装置の組み立て作業
を容易に行うことができる。
がダイヤフラムに一体に形成されているので、部品点数
を低減することができるとともに、装置の組み立て作業
を容易に行うことができる。
【0031】(2).ダイヤフラムの外周部にシール部が設
けられていることから、基部とボンネット部とにより形
成される装置のハウジングのサイズの小型化が可能とな
り、装置の小型化が達成される。
けられていることから、基部とボンネット部とにより形
成される装置のハウジングのサイズの小型化が可能とな
り、装置の小型化が達成される。
【0032】(3).四辺形となった基部の締結面の四隅の
いずれかに隣接させて真空バイパス孔が形成されている
ので、ダイヤフラムの外径を大きくすることなくシール
部をダイヤフラムに一体に形成することができ、装置の
小型化を達成することが可能となる。
いずれかに隣接させて真空バイパス孔が形成されている
ので、ダイヤフラムの外径を大きくすることなくシール
部をダイヤフラムに一体に形成することができ、装置の
小型化を達成することが可能となる。
【図1】本発明の一実施の形態である真空圧力調整装置
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図2】図1の側面図である。
【図3】図1に示された基部の締結面の形状を示す平面
図である。
図である。
【図4】図1に示されたダイヤフラムと連動ディスクを
示す拡大断面図である。
示す拡大断面図である。
【図5】図4の底面図である。
【図6】図1に示す真空圧力調整装置を用いた真空圧力
回路の一例を示す空気圧回路図である。
回路の一例を示す空気圧回路図である。
10 真空圧力調整装置 11 基部 12 ボンネット部 13 ハウジング 14 真空ポート 15 調圧ポート 16 真空圧源 17 バキュームカップ 21 弁孔 22 弁軸 23 弁座 24 弁体 25 止めリング 26 密封蓋 27 圧縮コイルばね 28 突起 29 バルブピン 30 ねじ部材 31 ダイヤフラム 32 大気圧室 33 真空圧室 34 連通孔 35 真空バイパス孔 36 連動ディスク 37 軸部 41 ばね受け部材 42 圧縮コイルばね 43 調整ねじ 44 ハンドルガイド 45 ハンドル 47 リーク孔 48 導通孔 49 密封蓋 51 シール部
Claims (2)
- 【請求項1】 真空圧源に連通される真空ポート、真空
圧作動機器に接続される調圧ポート、これらのポートを
連通する弁孔内に設けられる弁軸に取り付けられ前記弁
孔を開閉する弁体を有する基部と、 前記基部にこれとの間にダイヤフラムを挟み込んだ状態
で締結され、前記ダイヤフラムとにより真空圧室を形成
するボンネット部とを有し、 前記ダイヤフラムのうち前記基部と前記ボンネット部と
により挟み付けられる外周部に、前記調圧ポートと前記
真空圧室とを連通する真空バイパス孔をシールする環状
のシール部を前記ダイヤフラムと一体に形成したことを
特徴とする真空圧力調整装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の真空圧力調整装置であっ
て、前記基部のうち前記ボンネット部が締結される面は
四辺形であり、前記真空バイパス孔を前記四辺形の面の
うち四隅のいずれかの隅に隣接して形成したことを特徴
とする真空圧力調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18306896A JPH1027025A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | 真空圧力調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18306896A JPH1027025A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | 真空圧力調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1027025A true JPH1027025A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16129192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18306896A Pending JPH1027025A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | 真空圧力調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1027025A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013176437A1 (ko) * | 2012-05-19 | 2013-11-28 | Min Byung Don | 진공압조절밸브 |
-
1996
- 1996-07-12 JP JP18306896A patent/JPH1027025A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013176437A1 (ko) * | 2012-05-19 | 2013-11-28 | Min Byung Don | 진공압조절밸브 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040330 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040824 |