JPH10268199A

JPH10268199A - 点光源光学系及びこれを用いた共焦点光学装置とホログラム露光装置及び露光方法

Info

Publication number: JPH10268199A
Application number: JP7167497A
Authority: JP
Inventors: Kiyoo Matsuno; 清伯松野; Manabu Ando; 学安藤; Eri Suda; 江利須田
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1997-03-25
Filing date: 1997-03-25
Publication date: 1998-10-09

Abstract

(57)【要約】【課題】薄膜とガラス板からなる点光源発生装置のピ
ンホールから出射された点光源がレンズ群を介して同一
位置に焦点を結ぶようにする。【解決手段】ピンホール１４ａを有する薄膜１４をガ
ラス板１３に固定してなる点光源発生装置に平行光を照
射し、上記ピンホール１４ａから発散する光をレンズ系
にて集光するようにした点光源光学系において、上記点
光源発生装置を、これのピンホール１４ａを有する薄膜
１４を上記光の経路の下流側に位置させて配置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学的に物体表面
の凹凸形状を測定する共焦点光学装置の光路内に用いる
ピンホールからなる点光源発生装置及びこれを用いた共
焦点光学装置とホログラム露光装置及び露光方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】上記ピンホールからなる点光源発生装置
を用いた従来の共焦点光学装置は図１に示すようになっ
ていて、光源１から発する光２は拡大レンズ装置（コン
デンサレンズ）３によって拡大平行光となり、投光側の
点光源発生装置４に入射される。投光側の点光源発生装
置４を通過した光は点光源５として出射し、ビームスプ
リッタ６を通過して、テレセントリック系を形成する第
１レンズ群７、及び第２レンズ群８によって集光され、
被計測物体９に照射される。１０はこのときの集光点で
ある。

【０００３】被計測物体９の表面で反射した光は、入射
時と同じ経路を逆にたどって第２レンズ群８、第１レン
ズ群７を通過して集光され、その一部がビームスプリッ
タ６によって反射され、これが上記投光側の点光源発生
装置４と共役な位置に結像される。この結像位置に受光
側の点光源発生装置１１を配設し、この点光源発生装置
１１を通過する光の光量を光検出器１２で検出する。

【０００４】かかる従来の構成の共焦点光学装置では、
第２レンズ群８、または被計測物体９を光軸方向（Ｚ方
向）に移動させると、投光側の点光源発生装置４から出
射された点光源５が被計測物体９の表面で合焦した場合
に光検出器１２の検出信号が極大値を示す。従って、こ
のとき被計測物体９を光軸に垂直なＸＹ方向に走査すれ
ば、被計測物体９の表面形状を精密に測定することがで
きる。このとき、被計測物体９をＸＹ方向に走査する代
わりに、両点光源発生装置４，１１及び光検出器１２を
２次元に配置したアレイとすることにより、同時に多点
での計測を行うことができる。

【０００５】ところで、かかる共焦点光学装置を利用し
た３次元計測装置においては、計測精度を向上させるた
めに、光源１に近い投光側の点光源発生装置４から投光
された点状の光はなるべく小さな焦点に集光させなけれ
ばならない。

【０００６】図２はレンズ（第２レンズ群）８にて集光
された光の焦点近傍の拡大図である。この図において、
集光された光の径Ｒが大きい程共焦点効果が薄れ、装置
の精度が低下する。またこの図に示すように、焦点は光
の回折、レンズの収差などの影響により、光軸（Ｚ）方
向にある程度伸びを持つが、この伸び長さｄが大きい
程、やはり装置の精度が低下してしまう。

【０００７】ところで、図１における点光源発生装置４
は、簡単のためにピンホールを有する線でしか図示され
ていないが、実際には図３に示すように、平行に研磨さ
れた光学ガラスからなるガラス板１３の表面に、ピンホ
ール１４ａを有するクロムや酸化クロム等の薄膜１４を
蒸着等の手段にてコーティングした構成となっている。
これは、良質の点光源を作り出すためには、点光源発生
装置４の厚さをなるべく薄くし、ピンホール１４ａの形
状を正確に形成しなければならず、その結果、薄膜１４
が単独では装置の中にこれを固定し得ないため、どうし
てもガラス板１３を必要としている。

【０００８】従来の共焦点光学装置においての点光源発
生装置４では、このガラス板１３による影響を考慮して
おらず、図４に示すように、上記したガラス板１３とピ
ンホール１４ａを有する薄膜１４とからなる投光側の点
光源発生装置４が、光源１からの光２の投光方向に対し
てガラス板１３が下流側に位置するように配置され、ピ
ンホール１４ａからの出射光がガラス板１３の内部を通
るようにしている。

【０００９】また、上記点光源発生装置４は図３に示す
ようにガラス板１３の一側面にピンホール１４ａを有す
る薄膜１４をコーティングした構成を示したが、このよ
うな構成のものでは、薄膜１４のピンホール１４ａに塵
や埃が付着したり、薄膜１４が衝撃によって傷付いたり
する危険があるため、図５に示すように、薄膜１４の表
面をカバーガラス１５でカバーした点光源発生装置４′
もある。このとき、ガラス板１３とカバーガラス１５の
間にシリコンオイル等の屈折液を封入することもある。

【００１０】またこの点光源発生装置４′の変形例とし
ては、図６に示すように、一方のガラスであるガラス板
１３のかわりに減光フィルタ１６を積層した構成の点光
源発生装置４″もある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】さて、上記した各従来
の技術には次のような問題がある。今、点光源発生装置
において、例えば単に薄膜１４だけで構成された場合
と、図３に示すように薄膜１４とガラス板１３とから構
成されたものでの通過光路を図７、図８で比較してみ
る。図７は薄膜１４だけの場合、図８は薄膜１４とガラ
ス板１３とからなる場合のそれぞれのピンホール１４ａ
を出射した光路を示す。なお図８ではわかりやすいよう
に薄膜１４とガラス板１３とを離間して示している。

【００１２】図７からわかるように、薄膜１４だけの場
合には、ピンホール１４ａを出射した点光源５はその発
散角に関わらず、発散角が大きい光５ａも、小さい光５
ｂも、第１、第２のレンズ群７，８を経て同一の場所に
集光される。これに対して、ガラス板１３を挿入した場
合には、図８に示すように、発散角の大きい光５ａと小
さい光５ｂはガラス板１３によってそれぞれ異なる影響
を受ける。その結果として、第１、第２のレンズ群７，
８で集光された場合に焦点ずれ現象が発生して焦点位置
が異なることになる。

【００１３】焦点光における光は、さまざまな発散角の
総和であり、そのためピンホール１４ａより光路の下流
側にガラス板１３が存在していることにより、集光性が
悪くなってしまう。図９はガラス板１３がピンホール１
４ａの光路の下流側に挿入された場合であり、ガラス板
１３がピンホール１４ａの光路の下流側に挿入されてい
ることにより、図２に示したガラスを挿入しない場合に
比べて、集光部の光の径Ｒが大きくなると共に、光軸方
向への伸びｄも大きくなり、光学装置の計測精度が低下
してしまうという問題があった。

【００１４】一方図５、図６に示したように、薄膜１４
の両側にガラス板を有する点光源発生装置４′，４″に
あっても、ピンホール１４ａの光路の下流側に挿入され
ていることにより、上記した場合と同様の問題がある。

【００１５】この問題を解決するために、レンズをあら
かじめピンホール１４ａの射出光の下流側にガラス板１
３が入ることを考慮して設計するという手段が考えられ
るが、従来のレンズが投光ピンホールから射出された光
を単純に等倍または変倍して投光するだけでよかったの
に対し、ガラスの影響を考慮するとなると設計・製作と
もに複雑となる。また、ガラス板１３の厚みや屈折率を
変更した場合の対応が困難である。

【００１６】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、ピンホールから出射される点光源がレンズ群を介
して同一位置に焦点を結ぶことができるようにした点光
源発生装置及びこれを用いた共焦点光学装置とホログラ
ム露光装置及び露光方法を提供することを目的とするも
のである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る点光源光学系はピンホールを有する薄
膜をガラス板に固定してなる点光源発生装置に平行光を
照射し、上記ピンホールから発散する光をレンズ系にて
集光するようにした点光源光学系において、上記点光源
発生装置を、これのピンホールを有する薄膜を上記光の
経路の下流側に位置させて配置した構成となっている。

【００１８】この構成によれば、点光源発生装置のピン
ホールから出射された光はガラス板を通過しないで直接
出射される。従って、点光源発生装置のピンホールから
出射される光は、その発散角に関わらず、レンズ系を経
て同一の場所に集光することができ、点光源発生装置を
用いる光学系の性能を向上することができる。

【００１９】また、本発明に関わる点光源光学系は、ピ
ンホールを有する薄膜の少なくとも一側をガラス板に固
定してなる点光源発生装置に平行光を照射し、これの上
記ピンホールから発散する光をレンズ系にて集光するよ
うにした点光源光学系において、上記点光源発生装置
を、ガラス板を上記光の経路の下流側に位置させて配置
すると共に、レンズ系の下流側に他のガラス板を配置し
た構成になっている。

【００２０】この構成によれば、点光源発生装置のピン
ホールから出射された光がガラス板を通過して出射する
際に、このガラス板によって焦点ずれが生じるが、この
焦点ずれは他のガラス板によってキャンセルされる。従
って、この構成によれば、点光源発生装置のピンホール
を構成する薄膜の両側をガラス板にて保護することがで
き、光学系の精度を下げずに脆弱な薄膜を、埃や塵の付
着や損傷から保護することができる。

【００２１】また、上記点光源装置を用いた共焦点光学
装置は、光源からの光を点光源発生装置を介してレンズ
系を経て集光して被計測物体に照射し、その反射光を上
記レンズ系を経て光検出器アレイに入射するようにした
共焦点光学装置の、上記点光源発生装置を、ピンホール
を有する薄膜をガラス板に固定した構成にし、この点光
源発生装置を、これの薄膜を上記光の経路の下流側に位
置させて配置した構成となっている。

【００２２】また、光源からの光を点光源発生装置を介
してレンズ系を経て集光して被計測物体に照射し、その
反射光を上記レンズ系を経て光検出器アレイに入射する
ようにした共焦点光学装置の上記点光源発生装置を、ピ
ンホールを有する薄膜の少なくとも一側をガラス板に固
定した構成にし、この点光源発生装置を、これのガラス
板を光の経路の下流側に位置させて配置すると共に、レ
ンズ系と被計測物体との間に、上記点光源発生装置のガ
ラス板にて生じる焦点ずれをキャンセルするための他の
ガラス板を介装した構成となっている。

【００２３】さらに、参照光を入射すると共に、点光源
発生装置を介して物体光を入射して露光されたホログラ
ムに、参照光を入射させ、この参照光にて再生した物体
光を被計測物体に集光して入射し、その反射光をホログ
ラムを通過して点光源発生装置を介して光検出器アレイ
に入射するようにした共焦点光学装置の、上記光検出器
アレイの光の経路の上流側に位置する点光源発生装置
を、ピンホールを有する薄膜の少なくとも一側をガラス
板に固定した構成にし、この点光源発生装置を、これの
ガラス板を上記光の経路の下流側に位置させて配置する
と共に、レンズ系の下流側に他のガラス板を配置した構
成となっている。

【００２４】これらの共焦点光学装置では、点光源発生
装置を構成するガラス板による影響をなくすことがで
き、計測精度を向上することができる。

【００２５】また、上記点光源発生装置を用いたホログ
ラム露光装置は、ホログラムに参照光と共に、点光源発
生装置を介して物体光を入射することによりホログラム
を露光するホログラム露光装置の、上記点光源発生装置
を、ピンホールを有する薄膜をガラス板に固定した構成
にし、この点光源発生装置を、これの薄膜を上記光の経
路の下流側に位置させて配置した構成となっており、ま
たこの点光源発生装置を用いたホログラム露光方法は、
ホログラムに参照光を入射すると共に、ピンホールを有
する薄膜をガラス板に固定してなる点光源発生装置を介
して入射することによりホログラムを露光する際に、点
光源発生装置を、これの薄膜を上記光の経路の下流側に
位置させて配置してピンホールから光が直接出射するよ
うにしたから、点光源発生装置を構成するガラス板の影
響を受けることなくホログラムを露光することができ
る。

【００２６】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
０から図１２に基づいて説明する。図１０は上記図１で
示したビームスプリッタ６を用いた共焦点光学装置に適
用した例を示すもので、図１で示したものと同一構成部
材は同一の符号を付して説明を省略する。

【００２７】この実施の形態では、図３で示した構成
の、ガラス板１３にピンホール１４ａを有する薄膜１４
とからなる点光源発生装置４を、これのガラス板１３が
ピンホール１４ａを通る光の経路の上流側に位置する姿
勢で装置内に配置した。

【００２８】この構成によれば、ピンホール１４ａから
出射された点光源５は、点光源発生装置４内において、
ガラス板１３を通過しないから、この点光源５は図７に
示す場合と同様になって、第１、第２のレンズ群７，８
による光の焦点は１箇所に集中し、装置の性能が向上さ
れる。

【００２９】図１１、図１２はピンホール１４ａを構成
する薄膜１４とガラス板１３とからなる点光源発生装置
４を、ホログラムを用いた共焦点光学装置に用いた場合
を示す。このホログラムを用いた共焦点光学装置は特開
平８−１５２３０８号公報にて開示されたもので、図１
１はホログラム２１を露光するホログラム露光装置を、
また図１２は、この露光されたホログラム２１を用いた
共焦点光学装置を示す。

【００３０】図１１に示した上記ホログラム露光装置で
は、光源２２から出射された光はビームスプリッタ２３
で分岐され、その一方の光は第１の拡大レンズ装置２４
にて拡大平行光となって参照光２５としてホログラム２
１に斜め下方から入射される。他方の光は、第２の拡大
レンズ装置２６にて拡大平行光となってピンホール１４
ａを２次元にアレイ状に設けた点光源発生装置４に物体
光として投光させ、アレイ状の各ピンホール１４ａから
の点光源がレンズ群２７に投射され、これが物体光とし
てホログラム２１が露光されて記録される。

【００３１】図１２に示す共焦点光学装置は上記露光記
録されたホログラム２１を用いるもので、光源２２′か
らの光を拡大レンズ装置２４′を介して参照光２５′を
ホログラム２１に照射すると、このホログラム２１に上
記物体光が再生され、この再生物体光２８は、あたかも
上方に図１１に示される点光源発生装置４のピンホール
アレイが存在するかのように、それと同等の光が、ホロ
グラム２１から出射される。これが第２レンズ群２９に
よって集光され、点光源として被計測物体３０に照射さ
れる。そしてこの再生物体光２８は被計測物体３０に反
射し、その反射光２８′は、第２レンズ群２９、ホログ
ラム２１、レンズ群２７を通過し、点光源発生装置４に
投射され、これを通過する成分が光検出器アレイ３１に
て受光される。このとき、上記再生物体光２８が被計測
物体３０の表面上で合焦している場合にのみ、共焦点光
学系の原理から光検出器アレイ３１の出力が最大とな
る。このことから、このときに被計測物体３０あるい
は、第２レンズ群２９を、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸に沿って移動す
ることにより、被計測物体３０の表面形状が測定され
る。

【００３２】このようなホログラム露光装置及び共焦点
光学装置において、図３にて示したピンホール１４ａを
有する薄膜１４とガラス板１３とからなる点光源発生装
置４を、これのガラス板１３がピンホール１４ａを通る
光の経路の上流側に位置する姿勢で装置内に配置する。
すなわち、ホログラム露光装置では図１１に示すよう
に、ガラス板１３が物体光の上流側となる拡大レンズ装
置２６側に向けて配置する。

【００３３】このように構成したことにより、ホログラ
ム露光装置では、点光源発生装置４より出射された物体
光はガラス板１４の影響を受けることなく、ホログラム
２１に入射され、ホログラムの性能を良くすることがで
き、これを用いた共焦点光学装置の測定精度をよくする
ことができる。

【００３４】次に本発明の第２の実施の形態を図１３か
ら図１７に基づいて説明する。図１３はこの実施の形態
の原理を模式的に示すもので、ピンホール１４ａを有す
る薄膜１４の光路の下流側にガラス板１３を位置させて
点光源発生装置４を配置した状態において、上記ピンホ
ール１４ａを出射した点光源５を結像するための第１、
第２のレンズ群７，８の光路方向の最下流側の第２のレ
ンズ群８の光路の下流側に第２のガラス板３２を配置す
る。

【００３５】この構成によれば、点光源発生装置４のピ
ンホール１４ａを出射した光５で、発散角が大きい光５
ａと小さい光５ｂはガラス板１３を透過して第１、第２
のレンズ群７，８を通る間に図８で説明したような焦点
ずれ現象が生じるが、この点光源発生装置４側のガラス
板１３による焦点ずれ現象は第２のガラス板３２を通る
間に補正され、上記ピンホール１４ａからの光５ａ，５
ｂは同一位置で焦点を結ぶ。従ってこの位置に被計測物
体９を位置して計測したときに、正確に計測される。

【００３６】このとき、特別の例としてレンズ群７，８
が像を等倍に映すような構成になっていれば、上記第２
のガラス板３２をガラス板１３と同一の厚み、屈折率と
することが可能である。

【００３７】この図１３に示した説明では、薄膜１４の
一側にガラス板１３を配置した点光源発生装置４につい
て説明したが、図５に示したように、薄膜１４の両側に
ガラス板１３、カバーガラス１５を配置した点光源発生
装置４′及びガラス板１３を減光フィルタ１６に置き換
えてなる点光源発生装置４″の場合も、ピンホール１４
ａの下流側にガラス板１３あるいは減光フィルタ１６が
有するものは図１３において同等の作用を行う。

【００３８】図１４は図１で示したものと同じビームス
プリッタ６を用いた共焦点光学装置に図５にて示したカ
バーガラス１５を有する点光源発生装置４′を適用した
例を示すもので、この共焦点光学装置では、第２のレン
ズ群８と被計測物体９との間に第２のガラス板３２を配
置した。

【００３９】この共焦点光学装置では、点光源発生装置
４′にて発生した焦点ずれは第２のガラス板３２にてキ
ャンセルされて、上記点光源発生装置４′のピンホール
１４ａは１つの焦点に集光される。この反射光は、第２
のガラス板３２を上向きに通過した時点でまた焦点ずれ
の影響を受けるため、受光側の点光源発生装置１１の入
射側（上流側）に受光側の点光源発生装置１１の薄膜１
４を支持するガラス板１００を設置するようにしてもよ
い。

【００４０】図１５、図１６は図１１、図１２で示した
ものと同じホログラム２１を用いた共焦点光学装置及び
ホログラム露光装置を示す。図１５で示すホログラム露
光装置では、点光学発生装置４からの出射光をホログラ
ム２１に記録し、これを図１６で示す共焦点光学装置に
て再生して上記点光学発生装置４からの点光源と同等の
光を得るようにしたもので上記点光学発生装置のピンホ
ールは２次元のアレイ状になっている。

【００４１】上記ホログラム露光装置では、ピンホール
１４ａの光路の下流側にガラス板１３が配置して点光源
発生装置４を用いた場合、この点光源発生装置４のガラ
ス板１３による焦点ずれが生じた状態でホログラム２１
に物体光が記録されてしまう。このため、このホログラ
ム２１を用いて共焦点光学装置にて再生すると、被計測
物体９に照射される光は図８に示すように焦点ずれが生
じてぼやけてしまう。

【００４２】この不具合を解消するために、図１６で示
した共焦点光学装置では、第２のレンズ群８の光路下流
側に第２のガラス板３２を配置し、これによって、ホロ
グラム２１を露光する際に用いた点光学発生装置４のガ
ラス板１３による影響がキャンセルされる。

【００４３】図１７は図１６に示した共焦点光学装置の
他例を示すもので、薄膜１４の両側にガラス板１３、カ
バーガラス１５を有する図５で示した点光源発生装置
４′を用い、この点光源発生装置４′と光検出器アレイ
３１との間を離間し、これの間にリレーレンズ３３を配
置した構成となっていて、点光源装置ピンホール１４ａ
を透過した光は、リレーレンズ３３を介して光検出器ア
レイ３１に投影している。この装置に用いるホログラム
２１の露光は図１５で示したものと同じ装置にて行われ
る。

【００４４】この装置の場合、点光源発生装置４′を透
過した光を検出器アレイ３１で測定するので、光が正確
に光検出器アレイ３１に焦点を結ぶことが好ましい。も
しも光の焦点がぼけると、光が他の光検出器に入った
り、検出器からはみ出したりするとするという問題が起
き、測定がうまくいかない恐れがある。

【００４５】しかしながらホログラム２１は図１５に示
すホログラム露光装置にて露光されているので、このホ
ログラム２１はガラス板１３による焦点ずれが生じた状
態で物体光が記録されている。従って、これをキャンセ
ルするために、第２のレンズ群８の光路の下流側に第２
のガラス板３２を設ける。このほかに、カバーガラス１
５による焦点ずれの影響をキャンセルするために、リレ
ーレンズ３３と光検出器アレイ３１との間にも第２のガ
ラス板３２を配置する。これによって光検出器アレイ３
１に入射される光の焦点ずれがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】点光源発生装置を用いた共焦点光学装置を示す
説明図である。

【図２】レンズにて集光された光の焦点近傍の拡大図で
ある。

【図３】点光源発生装置の一例を示す断面図である。

【図４】従来の点光源発生装置を用いた共焦点光学装置
を示す説明図である。

【図５】点光源発生装置の他例を示す断面図である。

【図６】点光源発生装置の他例を示す断面図である。

【図７】点光源発生装置が薄膜だけの場合の光路図であ
る。

【図８】薄膜より光路の下流側にガラス板が挿入された
場合の光路図である。

【図９】薄膜より光路の下流側にガラス板が挿入された
場合の集光部近傍を示す拡大図である。

【図１０】本発明に係る共焦点光学装置を示す説明図で
ある。

【図１１】本発明に係るホログラム露光装置を示す説明
図である。

【図１２】本発明に係るホログラムを用いる共焦点光学
装置を示す説明図である。

【図１３】本発明の他の実施の形態を示す原理図であ
る。

【図１４】本発明の他の実施の形態における共焦点光学
装置を示す説明図である。

【図１５】点光源発生装置のガラス板を光路の下流側に
してホログラムを露光する状態を示す説明図である。

【図１６】図１５で示す方法で露光したホログラムを用
いた共焦点光学装置の説明図である。

【図１７】本発明の他の実施の形態における共焦点光学
装置を示す説明図である。

【符号の説明】

１，２２，２２′…光源３…拡大レンズ装置４，４′，４″，１１…点光源発生装置５…点光源６…ビームスプリッタ７，８…レンズ群９，３０…被計測物体１２…光検出器１３，３２…ガラス板１４…薄膜１４ａ…ピンホール１５…カバーガラス１６…減光フィルタ２１…ホログラム２５，２５′…参照光２８…再生物体光３１…光検出器アレイ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ピンホールを有する薄膜をガラス板に固
定してなる点光源発生装置に平行光を照射し、上記ピン
ホールから発散する光をレンズ系にて集光するようにし
た点光源光学系において、上記点光源発生装置を、これ
のピンホールを有する薄膜を上記光の経路の下流側に位
置させて配置したことを特徴とする点光源光学系。
【請求項２】ピンホールを有する薄膜の少なくとも一
側をガラス板に固定してなる点光源発生装置に平行光を
照射し、上記ピンホールから発散する光をレンズ系にて
集光するようにした点光源光学系において、上記点光源
発生装置を、これのガラス板を上記光の経路の下流側に
位置させて配置すると共に、レンズ系の下流側に他のガ
ラス板を配置したことを特徴とする点光源光学系。
【請求項３】光源からの光を点光源発生装置を介して
レンズ系を経て集光して被計測物体に照射し、その反射
光を上記レンズ系を経て光検出器アレイに入射するよう
にした共焦点光学装置の、上記点光源発生装置を、ピン
ホールを有する薄膜をガラス板に固定した構成にし、こ
の点光源発生装置を、これの薄膜を上記光の経路の下流
側に位置させて配置したことを特徴とする共焦点光学装
置。
【請求項４】光源からの光を点光源発生装置を介して
レンズ系を経て集光して被計測物体に照射し、その反射
光を上記レンズ系を経て光検出器アレイに入射するよう
にした共焦点光学装置の、上記点光源発生装置を、ピン
ホールを有する薄膜の少なくとも一側をガラス板に固定
した構成にし、この点光源発生装置を、これのガラス板
を上記光の経路の下流側に位置させて配置すると共に、
レンズ系と被計測物体との間に、上記点光源発生装置の
ガラス板にて生じる焦点ずれをキャンセルするための他
のガラス板を介装したことを特徴とする共焦点光学装
置。
【請求項５】参照光を入射すると共に、点光源発生装
置を介して物体光を入射して露光されたホログラムに、
参照光を入射させ、この参照光にて再生した物体光を被
計測物体に集光して入射し、その反射光をホログラムを
通過して点光源発生装置を介して光検出器アレイに入射
するようにした共焦点光学装置の、上記光検出器アレイ
の光の経路の上流側に位置する点光源発生装置を、ピン
ホールを有する薄膜の少なくとも一側をガラス板に固定
した構成にし、この点光源発生装置を、これのガラス板
を上記光の経路の下流側に位置させて配置すると共に、
レンズ系の下流側に他のガラス板を配置したことを特徴
とする共焦点光学装置。
【請求項６】ホログラムに参照光と共に、点光源発生
装置を介して物体光を入射することによりホログラムを
露光するホログラム露光装置の、上記点光源発生装置
を、ピンホールを有する薄膜をガラス板に固定した構成
にし、この点光源発生装置を、これの薄膜側を上記光の
経路の下流側に位置させて配置したことを特徴とするホ
ログラム露光装置。
【請求項７】ホログラムに参照光を入射すると共に、
ピンホールを有する薄膜をガラス板に固定してなる点光
源発生装置を介して入射することによりホログラムを露
光する際に、点光源発生装置を、この薄膜を上記光の経
路の下流側に位置させて配置してピンホールから光が直
接出射するようにしたことを特徴とするホログラム露光
方法。