JPH10267856A - Optical member inspecting device - Google Patents

Optical member inspecting device

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JPH10267856A
JPH10267856A JP7228897A JP7228897A JPH10267856A JP H10267856 A JPH10267856 A JP H10267856A JP 7228897 A JP7228897 A JP 7228897A JP 7228897 A JP7228897 A JP 7228897A JP H10267856 A JPH10267856 A JP H10267856A
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optical member
image
rectangular coordinate
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太一 中西
Masayuki Sugiura
正之 杉浦
Kiyoshi Yamamoto
山本　　清
Shinichi Suzuki
信一 鈴木
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical member inspecting device wherein coordinate transformation is performed with less processing steps and processing time. SOLUTION: An imaging element 5 is a line sensor. An imaging lens 4 is a positive lens system comprising an optical axis passing through the center of pixel train of the imaging element 5. At a position which is conjugate with the imaging element 5 about the imaging lens 4, an inspection object optical member 14 is so allocated as allowed free rotation around an optical axis 1 of the imaging lens 4. The imaging element 5 images each time the inspection object optical member 14 is rotated by specified angle. The image data obtained by each imaging with the imaging element 5 is accumulated as polar coordinate data in a control device 6. The control device 6 writes the brightness value of each pixel of the polar coordinate data into such pixel of rectangular coordinate data as corresponding to the address which is read out of a transformation tabled.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、レンズ等の光学部
材の形状異常等の光学的欠陥を検出するための光学部材
検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical member inspection apparatus for detecting an optical defect such as an abnormal shape of an optical member such as a lens.

【０００２】[0002]

【従来の技術】レンズ，プリズム等の光学部材は、入射
した光束が規則正しく屈折したり、平行に進行したり、
一点又は線状に収束したり発散するように設計されてい
る。しかしながら、光学部材の形成時において糸くず等
が光学部材内に混入してしまっていたり（いわゆる「ケ
バ」）、成形後の人的取り扱いによって光学部材の表面
上にキズ等が生じていたりゴミが付着していると、入射
した光束が乱れてしまうので、所望の性能を得ることが
できなくなる。2. Description of the Related Art An optical member such as a lens or a prism is used to refract an incident light beam regularly or to travel in parallel.
It is designed to converge or diverge at one point or linearly. However, when forming the optical member, lint or the like is mixed into the optical member (so-called “burr”), scratches or the like are generated on the surface of the optical member due to human handling after molding, and dust is generated. If it is attached, the incident light beam will be disturbed, so that desired performance cannot be obtained.

【０００３】そのため、本出願人は、先に特願平９−５
０７６０号において、検査対象光学部材をその光軸を中
心に回転させる回転機構及びラインセンサを用いて検査
対象光学部材全体を撮像する光学部材検査装置を、提案
した。図３１は、この光学部材検査装置の主要部を示す
概略図である。図３１（ａ）に示す光学部材検査装置の
ラインセンサ１００は、検査対象光学部材１０２が所定
角度回転する毎に、撮像レンズ１０１によって形成され
た検査対象光学部材１０２の像を、その直径方向に沿っ
てライン状に撮像する。このようにラインセンサ１００
を採用したのは、検査対象光学部材１０２を照明する照
明光がラインセンサ１００に直接入射しないようにする
ためである。For this reason, the present applicant has previously filed Japanese Patent Application No.
No. 0760 proposes an optical member inspection apparatus that images the entire inspection target optical member using a rotation mechanism and a line sensor that rotates the inspection target optical member around its optical axis. FIG. 31 is a schematic view showing a main part of the optical member inspection apparatus. The line sensor 100 of the optical member inspection apparatus shown in FIG. 31A changes the image of the inspection target optical member 102 formed by the imaging lens 101 in the diameter direction each time the inspection target optical member 102 rotates by a predetermined angle. The image is taken along a line along. Thus, the line sensor 100
The reason why is adopted is to prevent the illumination light for illuminating the inspection target optical member 102 from directly entering the line sensor 100.

【０００４】そして、撮像の都度ラインセンサ１００か
ら出力される画像データは、画像メモリ１０３の先頭行
から順に、行単位に書き込まれる。従って、この画像メ
モリ１０３内における画像データの座標系は、横軸
（行）を直径方向とし且つ縦軸を初期位置からの回転角
度とした極座標系となる。そのため、図３１（ｂ）に示
すように、画像メモリ１０３内の画像データ上において
は、検査対象光学部材１０２の回転中心近傍に形成され
た光学的欠陥は見かけ上面積が大きく写り込み、回転中
心から離れる程面積が小さく写り込む。[0006] Image data output from the line sensor 100 each time an image is captured is written in a row unit from the top row of the image memory 103 in order. Therefore, the coordinate system of the image data in the image memory 103 is a polar coordinate system in which the horizontal axis (row) is the diameter direction and the vertical axis is the rotation angle from the initial position. Therefore, as shown in FIG. 31B, on the image data in the image memory 103, the optical defect formed near the rotation center of the inspection target optical member 102 has a large apparent area and the rotation center is The further away from the camera, the smaller the area.

【０００５】このように、画像メモリ１０３内の画像デ
ータ上の光学的欠陥を示す領域の面積は、光学的欠陥の
実際の面積とは正比例関係にないので、画像データ上の
光学的欠陥を示す領域の面積が一定の閾値を超えたか否
かに基づいては、この検査対象光学部材１０２が不良品
であるか良品であるかの判定はできない。[0005] As described above, the area of the region indicating the optical defect on the image data in the image memory 103 is not directly proportional to the actual area of the optical defect. Whether the inspection target optical member 102 is defective or non-defective cannot be determined based on whether the area of the region exceeds a certain threshold.

【０００６】そのため、特願平９−５０７６０号におい
ては、直交座標系による画像データを格納するための第
２の画像メモリを用意するとともに、極座標系による画
像データを構成する全ての輝度値について、順番に所定
の座標変換演算を実行し、第２の画像メモリにおける算
出された直交座標値に最も近い位置にあるピクセルに、
その輝度値を書き込むようにしていた。そして、全ての
輝度値についてこのような座標変換処理を実行した後に
おいて、第２の画像メモリ中の画像データに含まれる光
学的欠陥を示す領域の面積が一定の閾値を超えたか否か
に基づいて、この検査対象光学部材１０２が不良品であ
るか良品であるかを判定していた。[0006] Therefore, in Japanese Patent Application No. 9-50760, a second image memory for storing image data in a rectangular coordinate system is prepared, and all luminance values constituting the image data in a polar coordinate system are provided. A predetermined coordinate conversion operation is executed in order, and a pixel at a position closest to the calculated orthogonal coordinate value in the second image memory is
The luminance value was written. Then, after performing such a coordinate conversion process for all the luminance values, it is determined whether or not the area of the region indicating the optical defect included in the image data in the second image memory has exceeded a certain threshold value. Thus, whether the inspection target optical member 102 is defective or non-defective is determined.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな座標変換法によると、以下の問題があった。即ち、
図３２に示すように、検査対象光学部材１０２の中心近
傍においては、極座標系による画像データにおける複数
個の輝度値が直交座標系による画像データにおける同一
の輝度値（画像メモリにおける同一のピクセル）に対応
するケースが、頻繁に生じる。このようなケースにおい
ても、上述した座標変換法によると、極座標系による画
像データにおける各輝度値毎に逐一座標変換演算が実行
され、第２の画像メモリ中の同一ピクセルに各輝度値が
次々と上書きされることとなる。However, such a coordinate conversion method has the following problems. That is,
As shown in FIG. 32, in the vicinity of the center of the inspection target optical member 102, a plurality of luminance values in the image data in the polar coordinate system are changed to the same luminance value (the same pixel in the image memory) in the image data in the rectangular coordinate system. Corresponding cases occur frequently. Even in such a case, according to the coordinate conversion method described above, a coordinate conversion operation is performed for each luminance value in the image data in the polar coordinate system, and each luminance value is successively assigned to the same pixel in the second image memory. It will be overwritten.

【０００８】このように、上述の座標変換法によると、
直交座標系による画像データにおける各ピクセルに対応
する輝度値を得るために、複数回の演算実行及び書き込
みが必要になっていた。これが、従来における第１の問
題点である。Thus, according to the coordinate transformation method described above,
In order to obtain a luminance value corresponding to each pixel in the image data in the rectangular coordinate system, it has been necessary to execute and execute a plurality of calculations and writes. This is the first problem in the related art.

【０００９】また、ラインセンサ１００と検査対象光学
部材１０２との相対回転速度に比較してラインセンサ１
００の撮像周期が長すぎると、図３３に示すように、ラ
インセンサ１００による個々の撮像毎に撮像される検査
対象光学部材１０２の面積が広くなって、極座標系によ
る画像データの行数が少なくなってしまう。その結果、
図３４に示すように、座標変換後における直交座標系に
よる画像データ中に輝度値の欠落が生じ得る。このよう
な輝度値の欠落が生じると、その後の良否判定が不正確
になってしまう。これが従来における第２の問題点であ
る。In addition, the line sensor 1 is compared with the relative rotational speed of the line sensor 100 and the optical member 102 to be inspected.
If the imaging cycle of 00 is too long, as shown in FIG. 33, the area of the inspection target optical member 102 imaged for each individual imaging by the line sensor 100 becomes large, and the number of lines of image data in the polar coordinate system becomes small. turn into. as a result,
As shown in FIG. 34, a missing luminance value may occur in the image data of the orthogonal coordinate system after the coordinate conversion. If such a loss of the luminance value occurs, the subsequent pass / fail determination will be inaccurate. This is the second problem in the related art.

【００１０】さらに、上述の座標変換法によると、画像
メモリ中の同一のピクセルに複数個の輝度値が上書きさ
れる場合、最後に上書きされた輝度値がそのピクセルの
輝度値として確定してしまう。その結果、それ以前に書
き込まれた輝度値に関して算出された直交座標値の方が
最後に書き込まれた輝度値に関して算出された直交座標
値よりも当該ピクセルの中心に近い場合であっても、た
またま処理順が先であったという理由のみに依りその輝
度値が消去されてしまうという不合理が生じていた。こ
のようにして当該ピクセルの周辺に対応する輝度値が当
該ピクセルに書き込まれてしまうと、その後の良否判定
が不正確になってしまう。これが従来における第３の問
題点である。Further, according to the above coordinate transformation method, when a plurality of luminance values are overwritten on the same pixel in the image memory, the last overwritten luminance value is determined as the luminance value of the pixel. . As a result, even if the orthogonal coordinate value calculated for the previously written luminance value is closer to the center of the pixel than the rectangular coordinate value calculated for the last written luminance value, There has been an irrationality that the luminance value is erased only because the processing order is earlier. If the luminance value corresponding to the periphery of the pixel is written to the pixel in this way, the subsequent pass / fail determination will be inaccurate. This is the third problem in the related art.

【００１１】本発明の第１の課題は、上記第１の問題点
に鑑み、少ない処理ステップ数と処理時間で座標変換を
行うことができるできる光学部材検査装置を、提供する
ことである。A first object of the present invention is to provide an optical member inspection apparatus capable of performing coordinate conversion with a small number of processing steps and processing time in view of the first problem.

【００１２】本発明の第２の課題は、上記第２の問題点
に鑑み、座標変換後の画像データに輝度値の欠落を生じ
ることなく座標変換を行うことができる光学部材検査装
置を、提供することである。A second object of the present invention is to provide an optical member inspection apparatus capable of performing coordinate conversion without causing a loss of luminance value in image data after coordinate conversion in view of the second problem. It is to be.

【００１３】本発明の第３の課題は、上記第３の問題点
に鑑み、座標変換演算によって算出される直交座標値が
画像メモリ中のピクセルの中心に最も近くなる輝度値を
当該ピクセルに書き込むことができる光学部材検査装置
を、提供することである。A third object of the present invention is to take into account the above-mentioned third problem and write a luminance value in which the orthogonal coordinate value calculated by the coordinate conversion operation is closest to the center of the pixel in the image memory to the pixel. It is an object of the present invention to provide an optical member inspection apparatus capable of performing the above-mentioned operations.

【００１４】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
上記第１の課題を解決するためになされたものであり、
検査対象光学部材の光学的欠陥を検出する光学部材検査
装置であって、撮像レンズと、この撮像レンズによって
形成された検査対象光学部材の像を繰り返し撮像するた
めに複数の画素を一方向に並べてなるラインセンサと、
前記検査対象光学部材の像と前記ラインセンサとを相対
回転させる回転手段と、前記ラインセンサから出力され
た前記各画素に対応する輝度値からなる画像データを入
力する入力手段と、直交座標によってその位置が特定さ
れる複数のピクセルをマトリックス状に並べてなる画像
メモリと、この画像メモリの各ピクセルを特定する個々
の直交座標値に対して、前記検査対象光学部材の像及び
前記ラインセンサの相対角度と前記画素の位置との組み
合わせを一つのみ対応させた変換テーブルと、前記入力
手段によって入力された各輝度値を出力した時における
前記検査対象光学部材の像及び前記ラインセンサの相対
角度を特定する角度特定手段と、前記入力手段によって
入力された各輝度値に対応する画素の位置を特定する画
素位置特定手段と、前記角度特定手段によって特定され
た相対角度及び前記画素位置特定手段によって特定され
た画素の位置に基づいて前記変換テーブルを検索して対
応する直交座標値を読み出す検索手段と、前記入力手段
によって入力された各輝度値を前記検索手段によって読
み出された直交座標値に対応する前記画像メモリ中のピ
クセルへ書き込む書込手段とを備えたことを特徴とす
る。According to the first aspect of the present invention,
It has been made to solve the first problem,
An optical member inspection apparatus for detecting an optical defect of an inspection target optical member, comprising: an imaging lens; and a plurality of pixels arranged in one direction for repeatedly capturing an image of the inspection target optical member formed by the imaging lens. Line sensor,
Rotating means for relatively rotating the image of the inspection target optical member and the line sensor, input means for inputting image data consisting of a luminance value corresponding to each pixel output from the line sensor, An image memory in which a plurality of pixels whose positions are specified are arranged in a matrix, and relative angles of the image of the inspection target optical member and the line sensor with respect to individual rectangular coordinate values specifying each pixel of the image memory. And a conversion table in which only one combination of the pixel position and the position of the pixel is associated, and the relative angle of the image of the optical member to be inspected and the line sensor when each luminance value input by the input means is output. Angle specifying means, and a pixel position specifying means for specifying a position of a pixel corresponding to each luminance value input by the input means. Search means for searching the conversion table based on the relative angle specified by the angle specifying means and the position of the pixel specified by the pixel position specifying means and reading out the corresponding orthogonal coordinate value, and input by the input means Writing means for writing the respective brightness values to the pixels in the image memory corresponding to the rectangular coordinate values read by the search means.

【００１５】このように構成されると、回転手段によっ
て検査対象光学部材の像とラインセンサとが相対回転し
ている間に、ラインセンサは、繰り返しこの検査対象光
学部材の像を撮像する。入力手段は、ラインセンサが検
査対象光学部材を撮像することによってこのラインセン
サから出力された画像データ（ラインセンサの各画素に
対応する輝度値からなる画像データ）を入力する。この
入力手段が画像データを構成する各輝度値を入力する
と、角度特定手段は、その輝度値がラインセンサから出
力された際における検査対象光学部材の像及びラインセ
ンサの相対角度を特定し、画素位置特定手段は、その輝
度値に対応する画素のラインセンサ内における位置を特
定する。このようにして相対角度及び画素位置の特定が
なされると、検索手段は、これら相対角度及び画素位置
に基づいて変換テーブルを検索して、対応する直交座標
値を読み出す。書込手段は、直交座標値が読み出される
と、入力手段によって入力された各輝度値を、読み出さ
れた直交座標値に対応する画像メモリ中のピクセルへ書
き込む。ここで、変換テーブルは、画像メモリの各ピク
セルを特定する個々の直交座標値に対して、前記検査対
象光学部材の像及び前記ラインセンサの相対角度と画素
の位置との組み合わせを一つのみ対応させている。従っ
て、相対角度と画素の位置との複数個の組み合わせに基
づいて、同一の直交座標値が読み出されることはない。
その結果、画像メモリ中の同一のピクセルに対して複数
個の輝度値が上書きされる事が防止されるので、処理ス
テップ数及び処理時間の短縮が図られる。With this configuration, while the image of the optical member to be inspected and the line sensor are relatively rotated by the rotating means, the line sensor repeatedly captures the image of the optical member to be inspected. The input means inputs image data (image data including luminance values corresponding to respective pixels of the line sensor) output from the line sensor when the line sensor images the optical member to be inspected. When the input means inputs each luminance value constituting the image data, the angle specifying means specifies the image of the optical member to be inspected and the relative angle of the line sensor when the luminance value is output from the line sensor, and The position specifying unit specifies the position of the pixel corresponding to the luminance value in the line sensor. When the relative angle and the pixel position are specified in this way, the search means searches the conversion table based on the relative angle and the pixel position, and reads out the corresponding orthogonal coordinate values. When the rectangular coordinate values are read, the writing means writes each luminance value input by the input means to a pixel in the image memory corresponding to the read rectangular coordinate values. Here, the conversion table corresponds to only one combination of the image of the optical member to be inspected and the relative angle of the line sensor and the position of the pixel with respect to each rectangular coordinate value specifying each pixel of the image memory. Let me. Therefore, the same rectangular coordinate value is not read based on a plurality of combinations of the relative angle and the pixel position.
As a result, a plurality of brightness values are prevented from being overwritten on the same pixel in the image memory, so that the number of processing steps and the processing time can be reduced.

【００１６】請求項２記載の発明は、上記第１の課題を
解決するためになされたものであり、検査対象光学部材
の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であって、撮
像レンズと、この撮像レンズによって形成された検査対
象光学部材の像を繰り返し撮像するために複数の画素を
一方向に並べてなるラインセンサと、前記検査対象光学
部材の像と前記ラインセンサとを相対回転させる回転手
段と、前記ラインセンサから出力された前記各画素に対
応する輝度値からなる画像データを入力する入力手段
と、直交座標によってその位置が特定される複数のピク
セルをマトリックス状に並べてなる画像メモリと、この
画像メモリの各ピクセルを特定する個々の直交座標値に
対して、前記検査対象光学部材の像及び前記ラインセン
サの相対角度と前記画素の位置との組み合わせを一つの
み対応させた変換テーブルと、この変換テーブルから相
対角度と前記画素の位置との組み合せ，及びこの組み合
わせに対応する前記直交座標値を夫々一つ取り出す取出
手段と、前記入力手段から入力された画像データから前
記取出手段によって取り出された相対角度と前記画素の
位置との組み合せに対応する輝度値を読み出す読出手段
と、この読出手段によって読み出された輝度値を前記取
出手段によって取り出された前記直交座標値に対応する
前記画像メモリ中のピクセルへ書き込む書込手段とを備
えたことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical member inspection apparatus for detecting an optical defect of an optical member to be inspected, comprising: an imaging lens; A line sensor formed by arranging a plurality of pixels in one direction in order to repeatedly capture an image of the inspection target optical member formed by the imaging lens; and a rotation unit for relatively rotating the image of the inspection target optical member and the line sensor. And input means for inputting image data consisting of a luminance value corresponding to each pixel output from the line sensor, and an image memory in which a plurality of pixels whose positions are specified by rectangular coordinates are arranged in a matrix, For each rectangular coordinate value specifying each pixel of the image memory, the relative angle of the image of the optical member to be inspected and the line sensor, and A conversion table in which only one combination with the elementary position is associated; a combination of a relative angle and the position of the pixel from the conversion table; and an extraction unit that extracts one of the orthogonal coordinate values corresponding to the combination. Reading means for reading a luminance value corresponding to a combination of the relative angle extracted by the extraction means from the image data input from the input means and the position of the pixel; and reading the luminance value read by the reading means. Writing means for writing to a pixel in the image memory corresponding to the rectangular coordinate value extracted by the extraction means.

【００１７】このように構成されると、回転手段によっ
て検査対象光学部材の像とラインセンサとが相対回転し
ている間に、ラインセンサは、繰り返しこの検査対象光
学部材の像を撮像する。入力手段は、ラインセンサが検
査対象光学部材を撮像することによってこのラインセン
サから出力された画像データ（ラインセンサの各画素に
対応する輝度値からなる画像データ）を入力する。一
方、取出手段は、変換テーブルから相対角度と前記画素
の位置との組み合せ，及びこの組み合わせに対応する直
交座標値を夫々一つ取り出す。そして、読出手段は、入
力手段から入力された画像データから取出手段によって
取り出された相対角度と画素の位置との組み合せに対応
する輝度値を読み出し、書込手段は、この読出手段によ
って読み出された輝度値を、取出手段によって取り出さ
れた直交座標値に対応する画像メモリ中のピクセルへ書
き込む。ここで、変換テーブルは、画像メモリの各ピク
セルを特定する個々の直交座標値に対して、前記検査対
象光学部材の像及び前記ラインセンサの相対角度と画素
の位置との組み合わせを一つのみ対応させている。従っ
て、相対角度と画像の位置との複数個の組み合わせに基
づいて、同一の直交座標値が読み出されることはない。
その結果、画像メモリ中の同一のピクセルに対して複数
個の輝度値が上書きされる事が防止されるので、処理ス
テップ数及び処理時間の短縮が図られる。With this configuration, the line sensor repeatedly captures the image of the inspection target optical member while the image of the inspection target optical member and the line sensor are relatively rotated by the rotating unit. The input means inputs image data (image data including luminance values corresponding to respective pixels of the line sensor) output from the line sensor when the line sensor images the optical member to be inspected. On the other hand, the extracting means extracts a combination of the relative angle and the position of the pixel from the conversion table, and one orthogonal coordinate value corresponding to the combination. The reading means reads a luminance value corresponding to the combination of the relative angle extracted by the extracting means and the position of the pixel from the image data input from the input means, and the writing means reads the luminance value read by the reading means. The obtained luminance value is written to a pixel in the image memory corresponding to the rectangular coordinate value extracted by the extracting unit. Here, the conversion table corresponds to only one combination of the image of the optical member to be inspected and the relative angle of the line sensor and the position of the pixel with respect to each rectangular coordinate value specifying each pixel of the image memory. Let me. Therefore, the same rectangular coordinate value is not read based on a plurality of combinations of the relative angle and the position of the image.
As a result, a plurality of brightness values are prevented from being overwritten on the same pixel in the image memory, so that the number of processing steps and the processing time can be reduced.

【００１８】請求項３記載の発明は、請求項１又は２に
おいて、画像メモリに書き込まれた前記検査対象光学部
材全体に対応する画像データの図形的特徴量を測定する
図形的特徴量測定手段と、この図形的特徴量が所定の判
定基準値を超えたか否かを判定する判定手段とを更に備
えたことで、特定したものである。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, there is provided a graphic feature amount measuring means for measuring a graphic feature amount of image data corresponding to the whole optical member to be inspected written in the image memory. Determining means for determining whether or not the graphical feature amount exceeds a predetermined determination reference value.

【００１９】請求項４記載の発明は、請求項２の入力手
段が、前記ラインセンサが前記検査対象光学部材の像を
繰り返し撮像することによってこのラインセンサから出
力された画像データを各撮像毎に行単位で順番に格納す
る一時格納メモリを有するとともに、前記読出手段が、
前記取出手段によって取り出された相対角度に対応する
行，及び前記取出手段によって取り出された前記画素の
位置に対応する列によって特定されるピクセルから前記
輝度値を読み出すことで、特定したものである。According to a fourth aspect of the present invention, the input means of the second aspect is configured such that the line sensor repeatedly captures an image of the optical member to be inspected, and the image data output from the line sensor is output for each image capture. A temporary storage memory for sequentially storing the data in units of rows, and
The luminance value is specified by reading the luminance value from a pixel specified by a row corresponding to the relative angle extracted by the extracting unit and a column corresponding to the position of the pixel extracted by the extracting unit.

【００２０】請求項５記載の発明は、請求項４の書込手
段が、前記検査対象光学部材全体に対応する画像データ
の前記一時格納メモリへの格納が完了した後に、この一
時格納メモリに格納された画像データを構成する各輝度
値を、前記画像メモリに書き込むことで、特定したもの
である。According to a fifth aspect of the present invention, the writing means of the fourth aspect stores the image data corresponding to the entire optical member to be inspected in the temporary storage memory after the storage in the temporary storage memory is completed. Each of the luminance values constituting the image data thus specified is specified by writing to the image memory.

【００２１】請求項６記載の発明は、請求項１のライン
センサが、その画素の列を前記撮像レンズの光軸と直交
させた状態で固定されており、前記回転手段が、前記検
査対象光学部材を前記撮像レンズの光軸を中心に回転さ
せ、前記角度特定手段が、前記回転手段によって回転さ
れた検査対象光学部材の回転角を検知するエンコーダを
有することで、特定したものである。According to a sixth aspect of the present invention, the line sensor of the first aspect is fixed in a state where a row of pixels thereof is orthogonal to an optical axis of the imaging lens, and the rotating means is provided with the optical system to be inspected. The member is rotated around the optical axis of the imaging lens, and the angle specifying means includes an encoder for detecting a rotation angle of the inspection target optical member rotated by the rotating means, thereby specifying the angle.

【００２２】請求項７記載の発明は、請求項１の画素位
置特定手段が、前記ラインセンサから順番に出力される
各輝度値をカウントするカウンタを有することで、特定
したものである。According to a seventh aspect of the present invention, the pixel position specifying means of the first aspect has a counter for counting each luminance value sequentially output from the line sensor.

【００２３】請求項８記載の発明は、請求項１又は２の
変換テーブルが、前記検査対象光学部材の像に相似した
画像データが前記画像メモリ内に書き込まれるように、
各直交座標値に対して前記相対角度と前記画素の位置と
の組み合わせを対応させたことで、特定したものであ
る。According to an eighth aspect of the present invention, the conversion table of the first or second aspect is configured such that image data similar to an image of the optical member to be inspected is written in the image memory.
This is specified by associating the combination of the relative angle and the position of the pixel with each orthogonal coordinate value.

【００２４】請求項９記載の発明は、請求項８の変換テ
ーブルが、前記相対角度と前記画素の位置との組み合わ
せに対して所定の極座標−直交座標変換演算を施して算
出された値に最も近い直交座標値を、当該組み合わせに
対応させていることで、特定したものである。According to a ninth aspect of the present invention, in the conversion table of the eighth aspect, a value calculated by performing a predetermined polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation on a combination of the relative angle and the position of the pixel is most useful. This is specified by associating near orthogonal coordinate values with the combination.

【００２５】請求項１０記載の発明は、上記第１の課題
に加えて上記第３の課題を解決するためになされたもの
であり、請求項９の変換テーブルが、前記極座標−直交
座標変換演算の結果が前記直交座標値に最も近くなる前
記相対角度と前記画素の位置との組み合わせのみに対し
て、前記直交座標値を対応させていることで、特定した
ものである。According to a tenth aspect of the present invention, in order to solve the third problem in addition to the first problem, the conversion table according to the ninth aspect is characterized in that the conversion table of the polar coordinate to the orthogonal coordinate is calculated. Are determined by associating the rectangular coordinate values only with the combination of the relative angle and the pixel position at which the result of (3) is closest to the rectangular coordinate values.

【００２６】請求項１１記載の発明は、請求項８乃至１
０の何れかにおける変換テーブルが、前記相対角度と前
記画素の位置との組み合わせのうち、前記画像メモリの
各ピクセルを特定する個々の直交座標値に対応しないも
のについては、スタック値を対応させていることで、特
定したものである。The invention according to claim 11 is the invention according to claims 8 to 1
0, the conversion table in any one of the combinations of the relative angle and the position of the pixel, which does not correspond to the individual rectangular coordinate values specifying each pixel of the image memory, is associated with the stack value. That is what was identified.

【００２７】請求項１２記載の発明は、請求項８又は１
１の変換テーブルが、前記相対角度と前記画素の位置と
の全ての組み合わせを何れかの前記直交座標値に対応さ
せるとともに、各直交座標値に対応する前記相対角度と
前記画素の位置との組み合わせが複数ある場合には、一
つの有効な組み合わせ以外の全ての組み合わせに対して
無効を示すフラグを付しており、前記書込手段が、前記
角度特定手段によって特定された相対角度及び前記画素
位置特定手段によって特定された画素の位置の組み合わ
せについて、前記変換テーブル内において無効を示すフ
ラグが付されていない場合に限り、前記検索手段によっ
て読み出された直交座標値に対応する前記画像メモリ中
のピクセルへ、前記入力手段によって入力された輝度値
を書き込むことで、特定したものである。The twelfth aspect of the present invention is the eighth aspect of the present invention.
1, the conversion table associates all combinations of the relative angle and the position of the pixel with any one of the rectangular coordinate values, and a combination of the relative angle and the position of the pixel corresponding to each rectangular coordinate value. In the case where there are a plurality of combinations, a flag indicating invalidity is attached to all combinations other than one valid combination, and the writing unit sets the relative angle and the pixel position specified by the angle specifying unit. As for the combination of the positions of the pixels specified by the specifying means, only when the flag indicating invalid in the conversion table is not attached, the image memory corresponding to the rectangular coordinate values read by the search means is stored in the image memory. The pixel is specified by writing the luminance value input by the input unit into the pixel.

【００２８】請求項１３記載の発明は、上記第１の課題
に加えて上記第２の課題を解決するためになされたもの
であり、請求項９の変換テーブルが、前記相対角度と前
記画素の位置との何れの組み合わせにも対応していない
直交座標値については、前記極座標−直交座標変換演算
の結果が当該直交座標値に最も近くなる前記相対角度と
前記画素の位置との組み合わせを対応させたことで、特
定したものである。According to a thirteenth aspect of the present invention, in order to solve the second problem in addition to the first problem, a conversion table according to the ninth aspect is provided, wherein the conversion table is configured to store the relative angle and the pixel position. For a rectangular coordinate value that does not correspond to any combination with the position, the combination of the relative angle and the position of the pixel at which the result of the polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation is closest to the rectangular coordinate value is made to correspond. That is what was specified.

【００２９】請求項１４記載の発明は、上記第１の課題
に加えて上記第２の課題を解決するためになされたもの
であり、請求項９の変換テーブルが、前記相対角度と前
記画素の位置との何れの組み合わせにも対応していない
直交座標値については、何れの直交座標値にも対応して
いない前記相対角度と前記画素の位置との組み合わせの
うち、前記極座標−直交座標変換演算の結果が当該直交
座標値に最も近くなる組み合わせを対応させたことで、
特定したものである。According to a fourteenth aspect of the present invention, in order to solve the second problem in addition to the first problem, the conversion table according to the ninth aspect is characterized in that the conversion table has a relationship between the relative angle and the pixel. For the rectangular coordinate values that do not correspond to any combination with the position, the polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation is performed among the combinations of the relative angle and the pixel position that do not correspond to any rectangular coordinate value. By associating the combination in which the result of is closest to the rectangular coordinate value,
It is specified.

【００３０】請求項１５記載の発明は、請求項２のライ
ンセンサが、その画素の列を前記撮像レンズの光軸と直
交させた状態で固定されており、前記回転手段が、前記
検査対象光学部材を前記撮像レンズの光軸を中心に回転
させることで、特定したものである。According to a fifteenth aspect of the present invention, in the line sensor according to the second aspect, the row of pixels is fixed in a state where the row of pixels is orthogonal to the optical axis of the imaging lens, and the rotating means is configured to be a part of the inspection target optical system. The member is specified by rotating the member about the optical axis of the imaging lens.

【００３１】請求項１６記載の発明は、請求項９の変換
テーブルが、前記入力手段によって入力された各輝度値
を出力した時における前記検査対象光学部材の像及び前
記ラインセンサの相対角度以外の角度については、当該
角度と前記画素の位置との組み合わせに対して前記所定
の極座標−直交座標変換演算を施し、その演算の結果得
られた値に最も近い直交座標値を、当該角度よりも大き
く且つ最も近い前記相対角度に対応させたことで、特定
したものである。According to a sixteenth aspect of the present invention, in the conversion table of the ninth aspect, the conversion table other than the image of the optical member to be inspected and the relative angle of the line sensor when each luminance value input by the input means is output. For the angle, the predetermined polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation is performed on the combination of the angle and the position of the pixel, and the rectangular coordinate value closest to the value obtained as a result of the operation is set to be larger than the angle. And it is specified by making it correspond to the closest relative angle.

【００３２】[0032]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００３３】[0033]

【実施形態１】 ＜光学部材検査装置の構成＞本第１実施形態による光学
部材検査装置の概略構成を、図１の側面断面図に示す。
この図１に示すように、光学部材検査装置を構成する照
明ランプ１，拡散板２，及び撮像装置３は、同一の光軸
ｌ上に配置されている。First Embodiment <Configuration of Optical Member Inspection Apparatus> The schematic configuration of an optical member inspection apparatus according to the first embodiment is shown in a side sectional view of FIG.
As shown in FIG. 1, the illumination lamp 1, the diffusion plate 2, and the imaging device 3 that constitute the optical member inspection device are arranged on the same optical axis l.

【００３４】この撮像装置３は、正レンズ系である撮像
レンズ４と、この撮像レンズ４によって収束された光に
よる像を撮像する撮像素子（複数の画素を一方向に並べ
てなるＣＣＤラインセンサ）５とから、構成されてい
る。図１において、撮像素子５は、左右にその画素列を
向かせるように設置されている。また、撮像素子５の画
素列は、その中央において、撮像レンズ４の光軸ｌと垂
直に交わっている。なお、撮像レンズ４は、撮像装置３
内において撮像素子５に対して進退自在（ピント調節可
能）であり、撮像装置３自体も、光軸ｌ方向に進退調整
し得る様に光学部材検査装置の図示せぬフレームに取り
付けられている。The image pickup device 3 includes an image pickup lens 4 as a positive lens system, and an image pickup device (CCD line sensor in which a plurality of pixels are arranged in one direction) 5 for picking up an image by light converged by the image pickup lens 4. And from. In FIG. 1, the image sensor 5 is installed so that its pixel row is directed to the left and right. The pixel array of the image sensor 5 intersects with the optical axis 1 of the image pickup lens 4 perpendicularly at the center. Note that the imaging lens 4 is
The image pickup device 3 is attached to a frame (not shown) of the optical member inspection device so that the image pickup device 3 itself can move forward and backward in the direction of the optical axis l.

【００３５】撮像素子５は、所定時間（各画素に電荷が
適度に蓄積する程度の時間）毎にライン状に画像を繰り
返し撮像し、画素の並び順に各画素を自己走査して、各
画素に蓄積した電荷を出力する。このようにして撮像素
子５から出力された一連の電荷は、所定の増幅処理やＡ
／Ｄ変換処理によって輝度値情報に変換される。そし
て、１ライン分の画素に対する輝度値情報からなる画像
データとして、制御装置６に入力される。The image sensor 5 repeatedly captures an image in a line at predetermined time intervals (a time period in which electric charges are appropriately accumulated in each pixel), and scans each pixel in the order in which the pixels are arranged. Output the accumulated charge. A series of electric charges output from the image sensor 5 in this manner is subjected to a predetermined amplification process or A
It is converted into luminance value information by a / D conversion process. Then, the image data is input to the control device 6 as image data including luminance value information for pixels of one line.

【００３６】検査対象光学部材１４は、撮像装置３側か
ら見た平面図である図２に示す様に円形のレンズ（負レ
ンズ）であり、光学部材検査装置の図示せぬフレームに
取り付けられたホルダ１５によって、撮像レンズ４に関
してその表面（撮像レンズ４に対向する面）が撮像素子
５の撮像面と共役となるように、保持されている。この
ホルダ１５は、撮像レンズ４の光軸ｌを中心とした環状
の形状を有しており、検査対象光学部材１４の周縁をそ
の全周に亘って保持する。従って、検査対象光学部材１
４の周縁の中心と光軸とが一致している限り、検査対象
光学部材１４の光軸は、撮像レンズ４の光軸ｌに対して
同軸となる。The inspection target optical member 14 is a circular lens (negative lens) as shown in FIG. 2 which is a plan view seen from the imaging device 3 side, and is attached to a frame (not shown) of the optical member inspection device. The imaging lens 4 is held by the holder 15 so that the surface thereof (the surface facing the imaging lens 4) is conjugate with the imaging surface of the imaging device 5. The holder 15 has an annular shape centered on the optical axis 1 of the imaging lens 4, and holds the periphery of the inspection target optical member 14 over the entire circumference. Therefore, the inspection target optical member 1
As long as the center of the peripheral edge of 4 and the optical axis coincide, the optical axis of the inspection target optical member 14 is coaxial with the optical axis 1 of the imaging lens 4.

【００３７】また、ホルダ１５は、撮像レンズ４の光軸
ｌを中心として、光軸ｌに直交する面内で回転可能とな
っている。そして、このホルダ１５の周縁には、環状ギ
ア１６が形成されている。この環状ギア１６は、駆動モ
ータ８の駆動軸に取り付けられたピニオンギア７に噛合
している。従って、駆動モータ８がその駆動軸を回転さ
せると、両ギア７，１６を介してホルダ１５が回転駆動
を受け、ホルダ１５に保持されている検査対象光学部材
１４が、光軸ｌに直交する面内において撮像装置３側か
ら見て反時計方向へ回転駆動される。従って、これらホ
ルダ１５，両ギア１６，７，及び駆動モータ８は、検査
対象光学部材１４の像と撮像素子５とを相対回転させる
回転手段を構成する。The holder 15 is rotatable about the optical axis l of the imaging lens 4 in a plane orthogonal to the optical axis l. An annular gear 16 is formed on the periphery of the holder 15. This annular gear 16 meshes with the pinion gear 7 attached to the drive shaft of the drive motor 8. Accordingly, when the drive motor 8 rotates its drive shaft, the holder 15 is rotationally driven via the two gears 7 and 16, and the inspection target optical member 14 held by the holder 15 is orthogonal to the optical axis l. It is driven to rotate counterclockwise in the plane as viewed from the imaging device 3 side. Therefore, the holder 15, the two gears 16, 7 and the drive motor 8 constitute a rotating unit for relatively rotating the image of the inspection target optical member 14 and the image pickup device 5.

【００３８】このホルダ１５の下面（拡散板２側の面）
には、光軸ｌを中心とした放射状の白黒縞からなるコー
ドパターンが印刷されており、光学部材検査装置の図示
せぬフレームには、このコードパターンを読むための反
射型光センサを有する読取装置１０が固定されている。
これらコードパターン及び読取装置１０は、インクリメ
ンタル方式のエンコーダを構成し、制御装置６に対し
て、検査対象光学部材１４の回転量に対応した数のパル
スを入力する。Lower surface of the holder 15 (surface on the side of the diffusion plate 2)
Is printed with a code pattern consisting of radial black and white stripes centered on the optical axis l, and a frame (not shown) of the optical member inspection apparatus has a reading type having a reflection type optical sensor for reading this code pattern. The device 10 is fixed.
The code pattern and reading device 10 constitutes an incremental encoder, and inputs a number of pulses corresponding to the rotation amount of the inspection target optical member 14 to the control device 6.

【００３９】なお、撮像レンズ４の倍率（即ち、撮像装
置３自体の位置，及び撮像レンズ４の撮像素子５に対す
る位置）は、検査対象光学部材１４の直径方向における
全幅を撮像素子５の撮像面に結像し得るように、調整さ
れている。従って、撮像素子５は、検査対象光学部材１
４の表面の画像（直径方向の全域にわたる１ライン分の
画像）を撮像することができるのである。図２において
は、撮像素子５によって撮像され得る一ライン分の撮像
対象領域が、二点鎖線によって示されている。The magnification of the image pickup lens 4 (ie, the position of the image pickup device 3 itself and the position of the image pickup lens 4 with respect to the image pickup device 5) is determined by the total width in the diameter direction of the optical member 14 to be inspected. Is adjusted so that an image can be formed. Therefore, the image pickup device 5 includes the inspection target optical member 1.
An image of the surface of No. 4 (an image of one line over the entire area in the diameter direction) can be taken. In FIG. 2, an imaging target area for one line that can be imaged by the imaging element 5 is indicated by a two-dot chain line.

【００４０】照明ランプ１は、照明光（白色光）を発光
する白熱ランプであり、光学部材検査装置の図示せぬフ
レームに固定されている。この照明ランプ１と検査対象
光学部材１４との間に配置されている拡散板２は、図２
に示すように、検査対象光学部材１４よりも大径な円盤
形状を有しており、その表面は粗面として加工されてい
る。従って、この拡散板２は、照明ランプ１から出射さ
れた照明光をその裏面全面で受けて、検査対象光学部材
１４に向けて拡散することができる。なお、この拡散板
２は、その中心において撮像レンズ４の光軸ｌと直交す
る様に、光学部材検査装置の図示せぬフレームに固定さ
れている。The illumination lamp 1 is an incandescent lamp that emits illumination light (white light), and is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device. The diffusing plate 2 disposed between the illumination lamp 1 and the optical member 14 to be inspected has a structure shown in FIG.
As shown in (1), it has a disk shape larger in diameter than the optical member 14 to be inspected, and its surface is processed as a rough surface. Accordingly, the diffusion plate 2 can receive the illumination light emitted from the illumination lamp 1 on the entire back surface and diffuse the illumination light toward the optical member 14 to be inspected. The diffusion plate 2 is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device so that the center of the diffusion plate 2 is orthogonal to the optical axis 1 of the imaging lens 4.

【００４１】この拡散板２の表面上（検査対象光学部材
１４側）には、帯状の形状を有する遮光板９が、その長
手方向を撮像素子５の画素列の方向と平行な方向に向け
て、貼り付けられている。この遮光板９の中心は撮像レ
ンズ４の光軸ｌと一致している。また、遮光板９の長手
方向における全長は検査対象光学部材１４の直径よりも
長い。そして、図２に示すように、撮像装置３の位置か
ら見ると、遮光板９の両端は、検査対象光学部材１４の
外縁よりも外側にはみ出している。また、遮光板９の幅
は、撮像素子５の画素列の方向に直交する方向における
光学部材検査装置の断面図である図４に示すように、撮
像素子５の各画素に入射する光の周縁光線ｍ，ｍの間隔
よりも広い。On the surface of the diffusion plate 2 (on the side of the optical member 14 to be inspected), a light-shielding plate 9 having a band shape is oriented with its longitudinal direction parallel to the direction of the pixel rows of the image sensor 5. , Has been pasted. The center of the light shielding plate 9 coincides with the optical axis l of the imaging lens 4. The total length of the light shielding plate 9 in the longitudinal direction is longer than the diameter of the optical member 14 to be inspected. Then, as shown in FIG. 2, when viewed from the position of the imaging device 3, both ends of the light shielding plate 9 protrude outside the outer edge of the inspection target optical member 14. Further, as shown in FIG. 4 which is a cross-sectional view of the optical member inspection apparatus in a direction orthogonal to the direction of the pixel rows of the image sensor 5, the width of the light shielding plate 9 is the margin of light incident on each pixel of the image sensor 5. It is wider than the interval between the light beams m and m.

【００４２】制御装置６は、撮像装置３から入力された
画像データに基づいて検査対象光学部材１４が良品であ
るか不良品であるかの判定を行う装置である。図３は、
この制御装置６の内部回路構成を示すブロック図であ
る。図３に示す様に、制御装置６は、バスＢを介して相
互に接続されたＣＰＵ６０，フレームメモリ６１，ホス
トメモリ６２，及び回転角検出回路６３から、構成され
ている。The control device 6 is a device that determines whether the optical member 14 to be inspected is a non-defective product or a defective product based on image data input from the imaging device 3. FIG.
FIG. 2 is a block diagram showing an internal circuit configuration of the control device 6. As shown in FIG. 3, the control device 6 is composed of a CPU 60, a frame memory 61, a host memory 62, and a rotation angle detection circuit 63, which are interconnected via a bus B.

【００４３】入力手段の一部をなすフレームメモリ６１
は、撮像装置３から入力された一ライン分の画像データ
が書き込まれるバッファである。ホストメモリ６２は、
全極座標データ格納領域６２ａ，直交座標データ格納領
域６２ｂ及び変換テーブル格納領域６２ｃを含んでい
る。この全極座標データ格納領域６２ａは、入力手段の
一部として、フレームメモリ６１に書き込まれた各一ラ
イン分の画像データが先頭行から行単位で書き込まれる
一時格納メモリ（撮像素子５から出力された画像データ
を各撮像毎に行単位で順番に格納する一時格納メモリ）
としての領域である。この全極座標データ格納領域６２
ａに書き込まれた画像データを、以下、「極座標デー
タ」という。直交座標データ格納領域６２ｂは、極座標
データを座標変換（極座標−直交座標変換）して得られ
た直交座標系による画像データ（以下、「直交座標デー
タ」という）が書き込まれる画像メモリ（直交座標によ
ってその位置が特定される複数のピクセルをマトリック
ス状に並べてなる画像メモリ）としての領域である。変
換テーブル格納領域６２ｃは、全極座標データ格納領域
６２ａ内の各画素の座標位置（ｍ，ｋ）を直交座標デー
タ格納領域６２ｂ内の画素の座標位置（ｘ，ｙ）に対応
付けた変換テーブル（直交座標値に対して検査対象光学
部材１４の像及び撮像素子５との相対角度と画素の位置
との組み合わせを一つのみ対応させた変換テーブル）を
格納する領域であり、上述の座標変換の際にＣＰＵ６０
によって参照される。これら極座標データ，直交座標デ
ータ，及び変換テーブルについては、後で詳しく説明す
る。Frame memory 61 forming part of input means
Is a buffer in which one line of image data input from the imaging device 3 is written. The host memory 62
It includes an all-polar coordinate data storage area 62a, an orthogonal coordinate data storage area 62b, and a conversion table storage area 62c. The all-polar coordinate data storage area 62a is provided as a part of the input means, and is used as a temporary storage memory (output from the image sensor 5) in which image data for one line written in the frame memory 61 is written in units of rows from the first row. Temporary storage memory that stores image data sequentially for each image in row units)
Area. This all-polar coordinate data storage area 62
The image data written in a is hereinafter referred to as “polar coordinate data”. The rectangular coordinate data storage area 62b stores image data (hereinafter referred to as “rectangular coordinate data”) based on a rectangular coordinate system obtained by performing coordinate conversion (polar coordinate-rectangular coordinate conversion) on the polar coordinate data. This is an area as an image memory in which a plurality of pixels whose positions are specified are arranged in a matrix. The conversion table storage area 62c is a conversion table (corresponding to the coordinate position (m, k) of each pixel in the all-polar coordinate data storage area 62a with the coordinate position (x, y) of the pixel in the orthogonal coordinate data storage area 62b. A conversion table in which only one combination of the image of the optical member 14 to be inspected, the relative angle with the image sensor 5 and the position of the pixel is associated with the orthogonal coordinate values, and the coordinate conversion is performed. When the CPU 60
Referenced by The polar coordinate data, the orthogonal coordinate data, and the conversion table will be described later in detail.

【００４４】回転角検出回路６３は、読取装置１０から
入力されてくるパルスに基づいて検査対象光学部材１４
の回転量（初期状態からの回転量）及び角度位置を検出
してＣＰＵ６０に通知する回路である。The rotation angle detection circuit 63 detects the optical member 14 to be inspected based on the pulse input from the reading device 10.
This is a circuit for detecting the rotation amount (the rotation amount from the initial state) and the angular position and notifying the CPU 60 of the rotation amount.

【００４５】ＣＰＵ６０は、制御装置６全体の制御を行
うプロセッサであり、入力手段の一部，取出手段，読出
手段，書込手段，図形的特徴量測定手段，及び判定手段
に、相当する。即ち、ＣＰＵ６０は、回転角検出回路６
３からの通知によって検査対象光学部材１４の位置を常
時認識しつつ、フレームメモリ６１に書き込まれた画像
データを定期的にホストメモリ６２の全極座標データ格
納領域６２ａに書き写すとともに、変換テーブル格納領
域６２ｃ内の変換テーブルを参照して、全極座標データ
格納領域６２ａに格納された極座標データの各ピクセル
の輝度値情報を直交座標データ格納領域６２ｂ内の対応
するピクセルに書き込む。そして、この書き込み完了後
において直交座標データ格納領域６２ｂに格納されてい
る直交座標データ中の光学的欠陥に相当する領域の図形
的特徴量を測定するとともに、この図形的特徴量を一定
の判定基準値（許容値）と比較し、この数値が判定基準
値内に収まっているか超えているかの判定を行う。 ＜光学的欠陥検出の原理＞以上のように構成される光学
部材検査装置において、図４の面内では、撮像レンズ４
に入射して撮像素子５の各画素に入射し得る光は、撮像
レンズ４の光軸ｌに沿った光線を主光線とする光束であ
り且つ図４に示される周縁光線ｍ，ｍ間を通る光のみで
ある。この周縁光線ｍ，ｍを逆方向に辿ると、検査対象
光学部材１４の表面において交差した後に、拡散板２に
向かって拡がっている。そして、拡散板２上において、
この周縁光線ｍ，ｍの間が遮光板９によって遮られてい
る。従って、図４に示すように、検査対象光学部材１４
における撮像素子５による撮像対象領域（撮像レンズ４
に関して撮像素子５の画素列の受光面と共役な部位及び
光軸方向におけるその近傍）に光学的欠陥がないとする
と、撮像素子５の各画素に入射する光はない。即ち、拡
散板２の表面における遮光板９の側方箇所から拡散した
光ｎは、検査対象光学部材１４における撮像対象領域を
透過するが、周縁光線ｍ，ｍの外側を通るので、撮像レ
ンズ４には入射しない。また、拡散板２の表面における
遮光板９の側方箇所から拡散して検査対象光学部材１４
における撮像対象領域以外の箇所を透過した光は、撮像
レンズ４に入射し得るが、撮像素子５の各画素上には収
束されない。そのため、撮像装置３から出力される画像
データは、検査対象光学部材１４の外縁に対応する明部
（側面での拡散光に因る）を除き、全域において暗くな
っている。The CPU 60 is a processor for controlling the entire control device 6, and corresponds to a part of the input means, the extracting means, the reading means, the writing means, the graphic feature quantity measuring means, and the judging means. That is, the CPU 60 controls the rotation angle detection circuit 6
3, while constantly recognizing the position of the optical member 14 to be inspected, the image data written in the frame memory 61 is periodically copied to the all-polar coordinate data storage area 62a of the host memory 62, and the conversion table storage area 62c The luminance value information of each pixel of the polar coordinate data stored in the all-polar coordinate data storage area 62a is written to the corresponding pixel in the orthogonal coordinate data storage area 62b with reference to the conversion table in. After completion of the writing, the graphic feature amount of the area corresponding to the optical defect in the rectangular coordinate data stored in the rectangular coordinate data storage area 62b is measured, and the graphic feature amount is determined by a predetermined criterion. The value is compared with a value (allowable value), and it is determined whether the numerical value falls within or exceeds the determination reference value. <Principle of Optical Defect Detection> In the optical member inspection apparatus configured as described above, in the plane of FIG.
Is incident on each pixel of the imaging element 5 and is a light beam having a light ray along the optical axis l of the imaging lens 4 as a principal ray, and passes between the marginal rays m, m shown in FIG. Only light. When the marginal rays m, m are traced in the opposite direction, they intersect at the surface of the inspection target optical member 14 and then spread toward the diffusion plate 2. Then, on the diffusion plate 2,
The space between the marginal rays m, m is blocked by the light shielding plate 9. Therefore, as shown in FIG.
Area (image pickup lens 4)
Assuming that there is no optical defect at (a part conjugate to the light receiving surface of the pixel array of the image sensor 5 and its vicinity in the optical axis direction), no light is incident on each pixel of the image sensor 5. That is, the light n diffused from the side of the light-shielding plate 9 on the surface of the diffusion plate 2 is transmitted through the imaging target region in the inspection target optical member 14, but passes outside the marginal rays m, m. Does not enter. Also, the optical member 14 to be inspected diffuses from the side of the light shielding plate 9 on the surface of the diffusion plate 2.
Although the light transmitted through a portion other than the imaging target area in can be incident on the imaging lens 4, it is not converged on each pixel of the imaging element 5. Therefore, the image data output from the imaging device 3 is dark over the entire area except for a bright portion (due to diffused light on the side surface) corresponding to the outer edge of the inspection target optical member 14.

【００４６】これに対して、図２に示すように、検査対
象光学部材１４表面における撮像対象領域内にキズＣ及
びゴミＤがある場合、図５に示すように、拡散板２の表
面における遮光板９の側方箇所から拡散した光ｎがこれ
らキズＣ及びゴミＤに当たると、この光がこれらキズＣ
及びゴミＤによって拡散される。この拡散光ｎ’は、周
縁光線ｍ，ｍの交点を中心として発散するので、その一
部は、撮像レンズ４を介して撮像素子５の画素上に入射
する。従って、キズＣ及びゴミＤの像（周囲よりも明る
い像）が撮像素子５の撮像面に形成される。なお、検査
対象光学部材１４の外周Ａ，Ｂにおいても、同様な拡散
が生じるので、これら外周Ａ，Ｂの像が（周囲よりも明
るい像）が撮像素子５の撮像面に形成される。図６は、
図２に示す位置にて撮像が行われた時に撮像装置３から
出力される画像データを構成する各輝度値の分布を示す
グラフである。なお、図６においては、一回の撮像によ
って各画素に蓄積された電荷を、一走査分の周期内で順
次自己走査によって読み出している様子が示されてい
る。 ＜光学的欠陥判定の方式＞撮像素子５による撮像（電荷
蓄積及び走査）は、駆動モータ８による検査対象光学部
材１４の回転と同期して、この検査対象光学部材１４が
所定角度だけ回転する毎に行われる。そして、撮像素子
５による撮像（電荷蓄積及び走査）がなされる毎に、図
６に示すような画像データが、制御装置６のフレームメ
モリ６１に書き込まれて、ホストメモリ６２の全極座標
データ格納領域６２ａに取り込まれる。図７乃至図１１
は、遮光板９，撮像素子５による撮像対象領域（二点鎖
線にて表示），及び検査対象光学部材１４の相対位置と
全極座標データ格納領域６２ａに取り込まれた画像デー
タとの関係を示す。具体的には、図７は、初期状態を示
し（この時点で撮像される検査対象光学部材１４の外縁
上の点を、夫々“Ａ”，“Ｂ”とする）、図８は、初期
状態から検査対象光学部材１４が反時計方向に４５度回
転した状態を示し、図９は、検査対象光学部材１４が初
期状態から反時計方向に９０度回転した状態を示し、図
１０は、検査対象光学部材１４が初期状態から反時計方
向に１３５度回転した状態を示し、図１１は、検査対象
光学部材１４が初期状態から反時計方向に１８０度回転
した終了状態を示す。これら各図に示すように、検査対
象光学部材１４が回転するにつれて、全極座標データ格
納領域６２ａの各行には、撮像装置３によって撮像され
た各一ライン分の画像データが、先頭行から順に書き込
まれる。On the other hand, as shown in FIG. 2, when there is a flaw C and a dust D in the imaging area on the surface of the optical member 14 to be inspected, as shown in FIG. When the light n diffused from the side portion of the plate 9 hits these flaws C and dust D, this light
And dust D. The diffused light n ′ diverges around the intersection of the marginal rays m, m, and a part of the light is incident on the pixels of the image sensor 5 via the image pickup lens 4. Therefore, images of the flaw C and the dust D (images brighter than the surroundings) are formed on the imaging surface of the imaging element 5. Since the same diffusion occurs in the outer circumferences A and B of the inspection target optical member 14, images of the outer circumferences A and B (images brighter than the surroundings) are formed on the imaging surface of the imaging element 5. FIG.
3 is a graph showing a distribution of each luminance value constituting image data output from the imaging device 3 when an image is taken at the position shown in FIG. 2. FIG. 6 shows a state in which the electric charges accumulated in each pixel by one imaging are sequentially read out by self-scanning within a cycle of one scanning. <Method of Determining Optical Defect> The image pickup (charge accumulation and scanning) by the image pickup device 5 is synchronized with the rotation of the inspection target optical member 14 by the drive motor 8 every time the inspection target optical member 14 rotates by a predetermined angle. Done in Every time the image pickup device 5 performs image pickup (charge accumulation and scanning), image data as shown in FIG. 6 is written to the frame memory 61 of the control device 6 and the all-polar coordinate data storage area of the host memory 62 is stored. 62a. 7 to 11
Indicates the relationship between the light shielding plate 9, the area to be imaged by the imaging element 5 (indicated by a two-dot chain line), and the relative position of the inspection target optical member 14 and the image data taken into the all-polar coordinate data storage area 62a. Specifically, FIG. 7 shows an initial state (points on the outer edge of the inspection target optical member 14 imaged at this time are “A” and “B”, respectively), and FIG. 8 shows an initial state. 9 shows a state in which the optical member 14 to be inspected is rotated 45 degrees counterclockwise, FIG. 9 shows a state in which the optical member 14 to be inspected is rotated 90 degrees counterclockwise from the initial state, and FIG. FIG. 11 shows a state in which the optical member 14 has rotated 135 degrees counterclockwise from the initial state, and FIG. 11 shows an end state in which the inspection target optical member 14 has rotated 180 degrees counterclockwise from the initial state. As shown in these drawings, as the inspection target optical member 14 rotates, image data of one line captured by the imaging device 3 is sequentially written in each row of the all-polar coordinate data storage area 62a from the top row. It is.

【００４７】図１１に示す時点でホストメモリ６２の全
極座標データ格納領域６２ａに格納されている画像デー
タ（極座標データ）の横軸は、検査対象光学部材１４の
中心（光軸）Ｏから直径方向への距離を示し、縦軸は、
点Ａ，Ｂ間を結ぶ直径を基準とした検査対象光学部材１
４の回転角を示す。制御装置６のＣＰＵ６０は、上述し
たように、この極座標データを、直交座標系による画像
データ（直交座標データ）へ変換する。図１２は、この
ような極座標データから直交座標データへの座標変換方
法を示す図であり、検査対象光学部材１４の表面上に定
義されたローカル座標系と撮像素子５の画素列の方向を
基準（縦軸）とした絶対座標系との関係を示すものであ
る。図１２において、検査対象光学部材１４の表面上に
定義されたローカル座標系は、検査対象光学部材１４の
光軸Ｏを原点０とし、検査対象光学部材１４外縁上にお
ける点Ａと点Ｂとを結ぶ線をＹ軸とする。また、原点０
を通ってＹ軸と直交する線をＸ軸とする。また、絶対座
標系の縦軸上の各点の値は、撮像素子５の各画素の走査
の順番に対応するので、撮像素子５の解像度（座標数）
をｎとすると０〜ｎ−１の値をとる。そして、ｎ／２の
点において、絶対座標系の縦軸はローカル座標の原点０
と交差することとなる。The horizontal axis of the image data (polar coordinate data) stored in the all polar coordinate data storage area 62a of the host memory 62 at the time shown in FIG. 11 is from the center (optical axis) O of the optical member 14 to be inspected in the diameter direction. The vertical axis shows the distance to
Inspection optical member 1 based on the diameter connecting points A and B
4 shows the rotation angle. As described above, the CPU 60 of the control device 6 converts the polar coordinate data into image data (orthogonal coordinate data) in a rectangular coordinate system. FIG. 12 is a diagram showing a method of converting coordinates from such polar coordinate data to rectangular coordinate data, with reference to the local coordinate system defined on the surface of the inspection target optical member 14 and the direction of the pixel row of the image sensor 5. (Vertical axis) shows the relationship with the absolute coordinate system. In FIG. 12, the local coordinate system defined on the surface of the inspection target optical member 14 has an optical axis O of the inspection target optical member 14 as the origin 0, and points A and B on the outer edge of the inspection target optical member 14. Let the connecting line be the Y axis. Also, origin 0
The line that passes through and is orthogonal to the Y axis is the X axis. Further, since the value of each point on the vertical axis of the absolute coordinate system corresponds to the order of scanning of each pixel of the image sensor 5, the resolution (the number of coordinates) of the image sensor 5
Is a value from 0 to n−1, where n is n. At the point of n / 2, the vertical axis of the absolute coordinate system is the origin 0 of the local coordinate.
And will intersect.

【００４８】検査対象光学部材１４が回転すると、ロー
カル座標系は、原点０を中心として絶対座標系の縦軸に
対して反時計方向に回転する。このとき、撮像開始時か
らの撮像の回数（走査回数）をｋとし、撮像の一周期
（一走査）の間に検査対象光学部材１４が回転する角度
をθとすると、撮像素子５中ｍ（但し、０≦ｍ≦n/2）
番目の座標Ｐのローカル座標系における極座標はＰ（n/
2−ｍ，ｋθ）となり、ｍ’（但し、n/2＜ｍ’≦ｎ−
１）番目の座標Ｐ’のローカル座標系における極座標は
Ｐ’（ｍ’−n/2，180＋ｋθ）となる。これら極座標
Ｐ，Ｐ’を直交座標によって表すと、Ｐ（Ｘｐ，Ｙ
ｐ），Ｐ’（Ｘｐ’，Ｙｐ’）となる。ここで、 Ｘｐ＝（n/2−ｍ）sin kθ …（１） Ｙｐ＝（n/2−ｍ）cos kθ …（２） Ｘｐ'＝（ｍ'−n/2）sin（180＋ｋθ） …（３） Ｙｐ'＝（ｍ'−n/2）cos（180＋ｋθ） …（４） と表される。従って、これら式（１）〜（４）を用いる
ことにより、極座標系を直交座標系に変換することがで
きるのである。When the optical member 14 to be inspected rotates, the local coordinate system rotates counterclockwise around the origin 0 with respect to the vertical axis of the absolute coordinate system. At this time, assuming that the number of times of imaging (the number of scans) from the start of imaging is k, and the angle at which the inspection target optical member 14 rotates during one period of imaging (one scan) is θ, m (m However, 0 ≦ m ≦ n / 2)
The polar coordinate of the Pth coordinate P in the local coordinate system is P (n /
2−m, kθ), and m ′ (where n / 2 <m ′ ≦ n−
1) The polar coordinate of the coordinate P ′ in the local coordinate system is P ′ (m′−n / 2, 180 + kθ). When these polar coordinates P and P ′ are represented by rectangular coordinates, P (Xp, Y
p), P '(Xp', Yp '). Here, Xp = (n / 2−m) sin kθ (1) Yp = (n / 2−m) cos kθ (2) Xp ′ = (m′−n / 2) sin (180 + kθ) ( 3) Yp ′ = (m′−n / 2) cos (180 + kθ) (4) Therefore, by using these equations (1) to (4), the polar coordinate system can be converted to the rectangular coordinate system.

【００４９】いま、図１３（ａ）に示すように、撮像素
子５の画素数（解像度）ｎが２０４８個であり、検査対
象光学部材１４が半回転（１８０度）する間に３６００
回の撮像がなされるとする（即ち、θ＝１８０／３６０
０＝０．０５）。この場合、極座標データ中の０〜１０
２４列目の座標に対しては上記式（１），（２）が適用
され、１０２５〜２０４７列目の座標に対しては上記式
（３），（４）が適用される。但し、図１３（ｂ）に示
すように、直交座標データの原点（０，０）は、中心で
はなくて左下に位置するので、原点位置をずらすための
補正がなされねばならない。具体的には、この直交座標
データの座標数が２０４８×２０４８個であることか
ら、上記各式（１）〜（４）によって求められた値に、
一律に１０２４が加算されなければならない。即ち、極
座標データ中のｍ＝０〜１０２４列目の座標に対しては
下記記式（１'），（２'）が適用され、ｍ’＝１０２５
〜２０４７列目の座標に対しては下記記式（３'），
（４'）が適用される。 Ｘｐ＝（1024−ｍ）sin kθ＋1024 …（１'） Ｙｐ＝（1024−ｍ）cos kθ＋1024 …（２'） Ｘｐ'＝（ｍ'−1024）sin （180＋ｋθ）＋1024 …（３'） Ｙｐ'＝（ｍ'−1024）cos （180＋ｋθ）＋1024 …（４'） しかしながら、これら各式（１'）〜（４'）を極座標デ
ータ中の全ての点に対して実行したとしても、極座標デ
ータ中の何れの座標にも対応しない座標が直交座標デー
タ中に生じる可能性がある。そのために、本実施形態に
おいては、図１４（ａ）及び（ｂ）に示すように、極座
標データを構成する各一ライン分の画像データ（輝度値
情報列）を擬似的にｐ倍して、極座標データ中の一ライ
ン分の画像データの総数を（180／θ）×ｐ本とする。
そして、本来のθの値をｐ分割した値θ’（＝θ／
ｐ），及び、増加された極座標データの各行（一ライン
分の画像データ）の行番号を示すｋ'を用いて、上述の
式（１'）〜（４'）（即ち、所定の極座標−直交座標変
換演算）を実行する。即ち、下記式（１"）〜（４"）を
用いることにより、極座標系を直交座標系に変換するの
である。 Ｘｐ＝（n/2−ｍ）sin k'θ'＋ｎ／２ ＝（1024−ｍ）sin k'θ'＋1024 …（１"） Ｙｐ＝（n/2−ｍ）cos k'θ'＋ｎ／２ ＝（1024−ｍ）cos k'θ'＋1024 …（２"） Ｘｐ'＝（ｍ'−n/2）sin（180＋ k'θ'）＋ｎ／２ ＝（ｍ'−1024）sin（180＋ k'θ'）＋1024 …（３"） Ｙｐ'＝（ｍ'−n/2）cos（180＋ｋ'θ'）＋ｎ／２ ＝（ｍ'−1024）cos（180＋ｋ'θ'）＋1024 …（４"） 但し、これら各式（１"）〜（４"）によって規定される
極座標データ中の全画素の座標に対する直交座標系にお
ける座標の関係は、予め計算され、変換テーブルとして
まとめられる。図１５は、このようにしてまとめられた
変換テーブルの構造を部分的に示した表である。図１５
に示すように、この変換テーブルは、上記式（１"）〜
（４"）によって規定された関係にある極座標値（ｍ，
ｋ'）及び直交座標値（Ｘm，Ｙk'）の組み合わせを極座
標データ中における並び順通りに列挙した形式を、有し
ている。但し、ここに書き込まれる直交座標値（Ｘm，
Ｙk '）の値は、小数点以下を四捨五入した値となってい
る。この四捨五入により、ｍ及びｋの組み合わせに対し
て極座標−直交座標変換演算を施して算出された値に最
も近い直交座標値（Ｘ，Ｙ）が、当該ｍ及びｋの組み合
わせに対応される。Now, as shown in FIG. 13A, the number of pixels (resolution) n of the image sensor 5 is 2048, and 3600 while the optical member 14 to be inspected makes a half rotation (180 degrees).
(Ie, θ = 180/360)
0 = 0.05). In this case, 0-10 in the polar coordinate data
The above equations (1) and (2) are applied to the coordinates in the 24th column, and the above equations (3) and (4) are applied to the coordinates in the 1024th to 2047th columns. However, as shown in FIG. 13B, since the origin (0, 0) of the orthogonal coordinate data is located not at the center but at the lower left, correction must be made to shift the origin position. Specifically, since the number of coordinates of the orthogonal coordinate data is 2048 × 2048, the values obtained by the above equations (1) to (4) are:
1024 must be added uniformly. That is, the following formulas (1 ′) and (2 ′) are applied to the coordinates of the m = 0th to 1024th columns in the polar coordinate data, and m ′ = 1025
The following expressions (3 ′),
(4 ') applies. Xp = (1024−m) sin kθ + 1024 (1 ′) Yp = (1024−m) cos kθ + 1024 (2 ′) Xp ′ = (m′−1024) sin (180 + kθ) +1024 (3 ′) Yp ′ = (M′−1024) cos (180 + kθ) +1024 (4 ′) However, even if these equations (1 ′) to (4 ′) are executed for all points in the polar coordinate data, Coordinates that do not correspond to any coordinates may occur in the rectangular coordinate data. For this purpose, in the present embodiment, as shown in FIGS. 14A and 14B, each line of image data (luminance value information sequence) constituting the polar coordinate data is pseudo-multiplied by p, The total number of image data for one line in the polar coordinate data is (180 / θ) × p.
Then, a value θ ′ (= θ /
p) and k ′ indicating the row number of each row (the image data for one line) of the increased polar coordinate data, the above equations (1 ′) to (4 ′) (that is, the predetermined polar coordinate − (Orthogonal coordinate transformation operation). That is, by using the following equations (1 ") to (4"), the polar coordinate system is converted into the rectangular coordinate system. Xp = (n / 2−m) sin k′θ ′ + n / 2 = (1024−m) sin k′θ ′ + 1024 (1 ″) Yp = (n / 2−m) cos k′θ ′ + n / 2 = (1024−m) cos k′θ ′ + 1024 (2 ″) Xp ′ = (m′−n / 2) sin (180 + k′θ ′) + n / 2 = (m′−1024) sin (180+ k′θ ′) + 1024 (3 ″) Yp ′ = (m′−n / 2) cos (180 + k′θ ′) + n / 2 = (m′−1024) cos (180 + k′θ ′) + 1024 ... (4 ") However, the relationship between the coordinates of all the pixels in the polar coordinate data defined by the equations (1") to (4 ") and the coordinates in the orthogonal coordinate system is calculated in advance and compiled as a conversion table. FIG. 15 is a table partially showing the structure of the conversion table compiled as described above. FIG.
As shown in the above, this conversion table is obtained by using the above equations (1 ") to
Polar coordinate values (m,
k ′) and rectangular coordinate values (X m , Y k ′ ) are listed in the order of arrangement in the polar coordinate data. However, the rectangular coordinate values (X m ,
Y k ′ ) is a value obtained by rounding off the decimal part. By this rounding, a rectangular coordinate value (X, Y) closest to a value calculated by performing a polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation on the combination of m and k corresponds to the combination of m and k.

【００５０】この変換テーブルは、全ての項目（極座標
値，直交座標値）が書き込まれた後で、先頭行から順
に、各行毎に図１５の左から右へスキャンされる。そし
て、同じ直交座標が重複して表れた場合には、最初に表
れたもの以外には、スタック値が上書きされる。このス
タック値とは、図１３（ｂ）に示す直交座標データの原
点（０，０）を示す直交座標値である。After all the items (polar coordinate values, orthogonal coordinate values) have been written into this conversion table, the table is scanned from left to right in FIG. When the same rectangular coordinates appear repeatedly, the stack value is overwritten, except for the first one. The stack value is a rectangular coordinate value indicating the origin (0, 0) of the rectangular coordinate data shown in FIG.

【００５１】そして、各極座標値（ｍ，ｋ'）のｋ'座標
の値が、ｐによって除算され、その商（小数点以下切り
捨て）が、本来のｋ座標の値として、元のｋ'座標の値
に上書きされる。その結果、図１６に示すように、変換
テーブル中に、同じ極座標値（ｍ，ｋ）が重複して存在
し得ることとなる。このように同一の極座標値（ｍ，
ｋ）に複数の直交座標値（Ｘm，Ｙk'）を対応付けられ
るのは、図３３に示すように、βの時点でラインセンサ
から出力される画像データは、θの角度範囲内の全域に
おける輝度情報を反映しているからである。Then, the value of the k ′ coordinate of each polar coordinate value (m, k ′) is divided by p, and the quotient (rounded down after the decimal point) is taken as the original k coordinate value. Overwritten by the value. As a result, as shown in FIG. 16, the same polar coordinate value (m, k) may be present in the conversion table in an overlapping manner. Thus, the same polar coordinate values (m,
A plurality of orthogonal coordinate values (X m , Y k ′ ) can be associated with k ), as shown in FIG. 33, the image data output from the line sensor at the time of β is within the angle range of θ. This is because the luminance information in the whole area is reflected.

【００５２】即ち、変換テーブルは、入力手段によって
入力された各輝度値を出力した時における検査対象光学
部材の像及びラインセンサの相対角度以外の角度につい
ては、当該角度と画素の位置との組み合わせに対して所
定の極座標−直交座標変換演算を施し、その演算の結果
得られた値に最も近い直交座標値を、当該角度よりも大
きく且つ最も近い相対角度に対応させている。That is, the conversion table indicates that, for each angle other than the relative angle between the image of the optical member to be inspected and the line sensor when each luminance value input by the input means is output, the combination of the angle and the position of the pixel is used. Are subjected to a predetermined polar coordinate-to-orthogonal coordinate conversion operation, and the orthogonal coordinate value closest to the value obtained as a result of the operation is made to correspond to a relative angle that is greater than and closest to the angle.

【００５３】以上のようにして作成された変換テーブル
が、ホストメモリ６２の変換テーブル格納領域６２ｃに
格納されるのである。 ＜制御処理＞次に、上述した光学的欠陥判定方式に従っ
た良否判定を行うために制御装置６（ＣＰＵ６０）が実
行する制御処理の内容を、図１７及び図１８のフローチ
ャートを用いて説明する。The conversion table created as described above is stored in the conversion table storage area 62c of the host memory 62. <Control Processing> Next, the contents of the control processing executed by the control device 6 (CPU 60) to make a pass / fail judgment in accordance with the above-described optical defect judgment method will be described with reference to the flowcharts of FIGS. .

【００５４】図１７の制御処理は、制御装置６に接続さ
れた図示せぬ検査開始ボタンが押下されることによりス
タートする。スタート後最初のＳ０１では、ＣＰＵ６０
は、撮像工程を実行する。この撮像工程では、ＣＰＵ６
０は、回転角検出回路６３からの通知に基づいて検査対
象光学部材１４の回転量を検知し、この検査対象光学部
材１４が半回転する間に撮像装置３からフレームメモリ
６１に書き込まれた全ての画像データを、順次、ホスト
メモリ６２の全極座標データ格納領域６２ａへ格納する
（撮像素子５から出力された各画素に対応する輝度値か
らなる画像データを入力する入力手段に相当）。The control process shown in FIG. 17 starts when an unillustrated inspection start button connected to the control device 6 is pressed. In the first S01 after the start, the CPU 60
Performs an imaging step. In this imaging step, the CPU 6
0 indicates the amount of rotation of the inspection target optical member 14 based on the notification from the rotation angle detection circuit 63, and all the values written to the frame memory 61 from the imaging device 3 during the half rotation of the inspection target optical member 14. Are sequentially stored in the all-coordinate data storage area 62a of the host memory 62 (corresponding to input means for inputting image data consisting of luminance values corresponding to each pixel output from the image sensor 5).

【００５５】次のＳ０２では、ＣＰＵ６０は、座標変換
工程を実行する。図１８は、Ｓ０２にて実行される座標
変換工程サブルーチンを示すフローチャートである。こ
のサブルーチンに入って最初のＳ１１では、ＣＰＵ６０
は、変換テーブル格納領域６２ｃに格納されている変換
テーブルから、極座標値（ｍ，ｋ）及び直交座標値（Ｘ
m，Ｙk'）の組み合わせを一組取り出す（変換テーブル
から相対角度と画素の位置との組み合わせ，及びこの組
み合わせに対応する直交座標値を、夫々一つ取り出す取
出手段に相当）。In the next S02, the CPU 60 executes a coordinate conversion step. FIG. 18 is a flowchart showing a coordinate transformation step subroutine executed in S02. In the first step S11 after entering this subroutine, the CPU 60
Are polar coordinate values (m, k) and rectangular coordinate values (X) from the conversion table stored in the conversion table storage area 62c.
m , Y k ′ ) is extracted (corresponding to an extracting means for extracting a combination of a relative angle and a pixel position from a conversion table and an orthogonal coordinate value corresponding to this combination, respectively).

【００５６】次のＳ１２では、ＣＰＵ６０は、全極座標
データ格納領域６２ａ中のＳ１１にて読み出した極座標
（ｍ，ｋ）によって示される位置から、輝度値情報を読
み出す（画像データから、取出手段によって取り出され
た相対角度と画素の位置との組み合わせに対応する輝度
値を読み出す読出手段に相当）。In the next S12, the CPU 60 reads the luminance value information from the position indicated by the polar coordinates (m, k) read in S11 in the all-polar coordinate data storage area 62a (taken out of the image data by the extracting means). (Corresponding to reading means for reading out a luminance value corresponding to the combination of the obtained relative angle and the position of the pixel).

【００５７】次のＳ１３では、ＣＰＵ６０は、Ｓ１２に
て読み出した輝度値情報を、直交座標データ格納領域６
２ｂ中のＳ１１にて読み出した直交座標値（Ｘm，
Ｙk'）によって示される位置に、書き込む（入力手段に
よって入力された各輝度値を、検索手段によって読み出
された直交座標値に対応する画像メモリ中のピクセルへ
書き込む書込手段に相当）。In the next S13, the CPU 60 stores the luminance value information read in S12 in the rectangular coordinate data storage area 6.
2b, the rectangular coordinate values (X m ,
Y k ′ ) is written (corresponding to writing means for writing each luminance value input by the input means to a pixel in the image memory corresponding to the rectangular coordinate value read by the search means).

【００５８】次のＳ１４では、ＣＰＵ６０は、変換テー
ブルから極座標値（ｍ，ｋ）及び直交座標値（Ｘm，Ｙ
k'）の全ての組み合わせを参照したかどうかをチェック
する。そして、未だ全ての組み合わせを参照していなけ
れば、処理をＳ１１に戻して、次の組み合わせを読み出
す。In the next step S14, the CPU 60 reads the polar coordinate values (m, k) and the rectangular coordinate values (X m , Y) from the conversion table.
Check whether all combinations of k ' ) have been referenced. If all combinations have not been referred to, the process returns to S11 to read the next combination.

【００５９】これに対して、全ての組み合わせを参照し
終えている場合には、このサブルーチンを終了して、処
理を図１７のメインルーチンに戻す。処理が戻された図
１７のメインルーチンでは、ＣＰＵ６０は、Ｓ０２の後
に実行されるＳ０３において、ラベリング工程を実行す
る。即ち、ＣＰＵ６０は、直交座標データ格納領域６２
ｂ内に格納されている直交座標データから所定閾値以上
の輝度値を有する画素の集合からなる領域を抽出し、抽
出した各領域に対して夫々一意の番号（ラベル）ｉ（ｉ
＝１，２，３，……）を付与する。On the other hand, if all combinations have been referred to, this subroutine is terminated and the process returns to the main routine of FIG. In the main routine of FIG. 17 to which the processing has been returned, the CPU 60 executes a labeling step in S03 executed after S02. That is, the CPU 60 sets the rectangular coordinate data storage area 62
b, an area consisting of a set of pixels having a luminance value equal to or greater than a predetermined threshold is extracted from the rectangular coordinate data, and a unique number (label) i (i) is assigned to each of the extracted areas.
= 1, 2, 3, ...).

【００６０】次のＳ０４では、ＣＰＵ６０は、Ｓ０３に
てラベルｎを付与した各領域に対して、ラベルｎの順番
に、特徴量抽出処理を実行する。具体的には、各領域毎
に、その領域の面積，フィレ径，最大輝度又は平均輝度
等を算出する（図形的特徴量測定手段に相当）。In the next step S04, the CPU 60 executes a feature amount extraction process for each area to which the label n has been added in S03 in the order of the label n. Specifically, for each region, the area, fillet diameter, maximum luminance, average luminance, and the like of the region are calculated (corresponding to a graphic feature amount measuring unit).

【００６１】次のＳ０５では、ＣＰＵ６０は、Ｓ０４に
て測定した図形的特徴量に基づいた良否判定工程を実行
する。具体的には、判断基準値を超える面積又はフィレ
径を有する領域が一つでも有るか否か，最大輝度が判断
基準値を超えるか否か，等に基づいて、検査対象光学部
材１４が良品であるか不良品であるかの判定を実行する
（判定手段に相当）。以上の後に、ＣＰＵ６０は、この
制御処理を終了する。 ＜実施形態の作用＞以上のように構成された本実施形態
によると、検査対象光学部材１４を透過して撮像レンズ
４に入射するとともに撮像素子５の各画素に入射し得る
様な光は、遮光板９によって、予め拡散板２上にて遮ら
れている。従って、撮像素子５による撮像対象領域内に
おいて検査対象光学部材１４に光学欠陥が生じていなけ
れば、撮像素子５によって撮像される画像データ中の各
画素の輝度値は、全て黒の値（８ビットグレースケール
における“０”）となっている。In the next step S05, the CPU 60 executes a pass / fail judgment step based on the graphic feature quantity measured in step S04. Specifically, based on whether or not there is at least one area having an area or a fillet diameter exceeding the criterion value, whether the maximum luminance exceeds the criterion value, etc. Or a defective product (corresponding to a determination unit). After the above, the CPU 60 ends the control processing. <Operation of Embodiment> According to the present embodiment configured as described above, light that can be transmitted through the inspection target optical member 14 and incident on the imaging lens 4 and incident on each pixel of the imaging element 5 is: The light shielding plate 9 blocks the light on the diffusion plate 2 in advance. Therefore, if no optical defect occurs in the inspection target optical member 14 in the imaging target region of the imaging element 5, the luminance value of each pixel in the image data imaged by the imaging element 5 is a black value (8 bits). "0" in the gray scale).

【００６２】これに対して、撮像素子５によって撮像さ
れ得る範囲において検査対象光学部材１４に光学欠陥が
生じている場合には、遮光板９の側方からこの領域内に
入射した光が光学的欠陥によって拡散され、その拡散光
の一部が撮像レンズ４に入射する。この結果、遮光板９
の暗い陰を背景とした光学的欠陥の明るい像が、撮像素
子５の撮像面に形成される。このとき、画像データ中の
光学的欠陥の明るい像を撮像して得られた画素の輝度値
は、その像の明るさ（及び、像と撮像素子５の画素との
重なり具合）に応じた値（８ビットグレースケールにお
ける“１〜２５５”）となっている。On the other hand, when an optical defect occurs in the optical member 14 to be inspected in a range where the image can be picked up by the image pickup element 5, light incident on this area from the side of the light shielding plate 9 is optically affected. The light is diffused by the defect, and a part of the diffused light enters the imaging lens 4. As a result, the light shielding plate 9
A bright image of an optical defect is formed on the imaging surface of the imaging device 5 against the background of dark shadows. At this time, the luminance value of a pixel obtained by imaging a bright image of an optical defect in the image data is a value corresponding to the brightness of the image (and the degree of overlap between the image and the pixel of the image sensor 5). (“1 to 255” in 8-bit gray scale).

【００６３】そして、検査対象光学部材１４が半回転す
る間に、撮像素子５による撮像が一定周期（検査対象光
学部材１４が０．０５°回転する毎）でなされ、各撮像
によって得られたライン状の画像データが全極座標デー
タ格納領域６２ａに蓄積される（Ｓ０１）。Then, while the inspection target optical member 14 makes a half rotation, the image pickup by the image pickup device 5 is performed at a constant period (every time the inspection target optical member 14 rotates by 0.05 °), and the line obtained by each imaging is obtained. Is stored in the all-coordinate data storage area 62a (S01).

【００６４】制御装置６のＣＰＵ６０は、図１９に示す
ように、変換テーブルから一つづつ極座標値（ｍ，ｋ）
及び直交座標値（Ｘm，Ｙk'）の組み合わせ読み出し
（Ｓ１１）、全極座標データ格納領域６２ａ内における
当該極座標値（ｍ，ｋ）によって示されるピクセルに書
き込まれている輝度値情報を、直交座標データ格納領域
６２ｂ内における当該直交座標値（Ｘm，Ｙk'）によっ
て示されるピクセルに書き込む（Ｓ１２，Ｓ１３）。こ
のような書き込みを、変換テーブル中の極座標値（ｍ，
ｋ）及び直交座標値（Ｘm，Ｙk'）の全組み合わせに関
して実行すると、直交座標データ格納領域６２ｂ内に、
直交座標系による画像データ（直交座標データ）が再現
される。このとき、変換テーブル内には、同一の直交座
標値（Ｘm，Ｙk'）は、重複して記載されていないの
で、直交座標データ格納領域６２ｂ内の同一ピクセルに
輝度値情報が複数回に亘って上書きされることはない。
また、直交座標データ格納領域６２ｂ（における検査対
象光学部材１４の周縁）内に対応する全ての直交座標値
（Ｘm，Ｙk'）が、予め、何れかの極座標値（ｍ，ｋ）
に対応付けられているので、直交座標データにおける輝
度値抜けは、生じない。As shown in FIG. 19, the CPU 60 of the control device 6 reads the polar coordinate values (m, k) one by one from the conversion table.
And reading of the combination of the orthogonal coordinate values (X m , Y k ′ ) (S11), and the luminance value information written to the pixel indicated by the polar coordinate value (m, k) in the all-polar coordinate data storage area 62a is orthogonally read. The data is written to the pixel indicated by the orthogonal coordinate value ( Xm , Yk ' ) in the coordinate data storage area 62b (S12, S13). Such writing is performed by converting the polar coordinate values (m,
k) and all the combinations of the rectangular coordinate values (X m , Y k ′ ), when the rectangular coordinate data storage area 62b
Image data (orthogonal coordinate data) in the orthogonal coordinate system is reproduced. At this time, since the same rectangular coordinate values (X m , Y k ′ ) are not redundantly described in the conversion table, the luminance value information is stored a plurality of times in the same pixel in the rectangular coordinate data storage area 62b. Will not be overwritten.
In addition, all the rectangular coordinate values (X m , Y k ′ ) corresponding to (the peripheral edge of the inspection target optical member 14 in) the rectangular coordinate data storage area 62b are previously stored in any of the polar coordinate values (m, k).
, No luminance value dropout occurs in the rectangular coordinate data.

【００６５】ＣＰＵ６０は、このようにして得られた直
交座標系による画像データ（直交座標データ）に基づい
て図形的特徴量を算出し（Ｓ０４）、算出した図形的特
徴量を一定の判断基準値と比較することによって、検査
対象光学部材１４の良否判定を行う（Ｓ０５）。The CPU 60 calculates a graphic feature amount based on the image data (orthogonal coordinate data) in the orthogonal coordinate system obtained in this way (S04), and calculates the calculated graphic feature amount as a predetermined judgment reference value. Then, the quality of the inspection target optical member 14 is determined (S05).

【００６６】このように、本実施形態においては、極座
標データ中の全輝度値情報に対して座標変換処理を行う
場合に比して、処理ステップ数及び処理時間を大幅に減
少させることができるとともに、直交座標データ中の輝
度値抜けを防止できる。As described above, in this embodiment, the number of processing steps and the processing time can be greatly reduced as compared with the case where coordinate conversion processing is performed on all luminance value information in polar coordinate data. In addition, it is possible to prevent luminance value omission in the orthogonal coordinate data.

【００６７】[0067]

【実施形態２】本発明の第２の実施形態は、上記第１実
施形態に比して、フレームメモリ６１から１ライン分の
画像データをホストメモリ６２に書き写す毎に座標変換
処理を実行する事を、特徴とする。[Embodiment 2] The second embodiment of the present invention is different from the first embodiment in that a coordinate conversion process is executed each time one line of image data from the frame memory 61 is copied to the host memory 62. Is the feature.

【００６８】図２０は、本第２実施形態による光学部材
検査装置に用いられる制御装置６の構成を示すブロック
図である。この図２０に示すように、制御装置６のホス
トメモリ６２には、第１実施形態における全極座標デー
タ格納領域６２ａの代わりに、１ライン分の極座標格納
領域６２ｄが設けられている。本第２実施形態による光
学部材検査装置におけるその他の構成は、第１実施形態
のものと同じなので、その説明を省略する。 ＜制御処理＞次に、上述した光学的欠陥判定方式に従っ
た良否判定を行うために制御装置６（ＣＰＵ６０）が実
行する制御処理の内容を、図２１及び図２２のフローチ
ャートを用いて説明する。FIG. 20 is a block diagram showing the configuration of the control device 6 used in the optical member inspection device according to the second embodiment. As shown in FIG. 20, the host memory 62 of the control device 6 is provided with a polar coordinate storage area 62d for one line instead of the all polar coordinate data storage area 62a in the first embodiment. The other configuration of the optical member inspection apparatus according to the second embodiment is the same as that of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted. <Control Processing> Next, the contents of the control processing executed by the control device 6 (CPU 60) for performing the pass / fail judgment according to the above-described optical defect judgment method will be described with reference to the flowcharts of FIGS. .

【００６９】図２１の制御処理は、制御装置６に接続さ
れた図示せぬ検査開始ボタンが押下されることによりス
タートする。スタート後最初のＳ２１では、ＣＰＵ６０
は、座標変換工程を実行する。図２２は、Ｓ２１にて実
行される座標変換工程サブルーチンを示すフローチャー
トである。The control process shown in FIG. 21 is started when an unillustrated inspection start button connected to the control device 6 is pressed. In the first S21 after the start, the CPU 60
Performs a coordinate transformation step. FIG. 22 is a flowchart showing a coordinate conversion step subroutine executed in S21.

【００７０】このサブルーチンに入って最初のＳ３１で
は、ＣＰＵ６０は、処理対象の画像データを特定するた
めの変数ｙを初期化（ｙ＝０）する。次のＳ３２では、
ＣＰＵ６０は、変換テーブル格納領域６２ｃに格納され
ている変換テーブルの先頭位置（図１６における左上）
から、極座標値（ｍ，ｋ）及び直交座標値（Ｘm，
Ｙk'）の組み合わせを、一組取り出す（変換テーブルか
ら相対角度と画素の位置との組み合わせ，及びこの組み
合わせに対応する直交座標値を、夫々一つ取り出す取出
手段に相当）。In the first step S31 after entering this subroutine, the CPU 60 initializes a variable y for specifying image data to be processed (y = 0). In the next S32,
The CPU 60 determines the start position of the conversion table stored in the conversion table storage area 62c (upper left in FIG. 16).
From the polar coordinate values (m, k) and the rectangular coordinate values (X m ,
Y k ′ ) is taken out as a set (corresponding to a take-out means for taking out one combination of a relative angle and a pixel position from a conversion table and one orthogonal coordinate value corresponding to this combination).

【００７１】次のＳ３３では、ＣＰＵ６０は、撮像工程
を実行する。この撮像工程では、ＣＰＵ６０は、回転角
検出回路６３からの通知された検査対象光学部材１４の
回転角に基づき、（前回の撮像からの）回転角が単位角
（θ＝０．０５）に達するのを待って、撮像装置５に対
して撮像指示を通知する。そして、撮像によって撮像装
置５から出力された１ライン分の画像データを、フレー
ムメモリ６１に書き込ませる。In the next step S33, the CPU 60 executes an imaging step. In this imaging process, the CPU 60 reaches the unit angle (θ = 0.05) (from the previous imaging) based on the rotation angle of the inspection target optical member 14 notified from the rotation angle detection circuit 63. Then, the imaging device 5 is notified of the imaging instruction. Then, one line of image data output from the imaging device 5 by the imaging is written into the frame memory 61.

【００７２】次のＳ３４では、ＣＰＵ６０は、Ｓ３３の
結果フレームメモリ６１に書き込まれた１ライン分の画
像データを、ホストメモリ６２の極座標データ格納領域
６２ｄへ書き写す（撮像素子５から出力された各画素に
対応する輝度値からなる画像データを入力する入力手段
に相当）。In the next step S34, the CPU 60 writes the one line of image data written in the frame memory 61 as a result of step S33 into the polar coordinate data storage area 62d of the host memory 62 (each pixel output from the image sensor 5). (Corresponds to input means for inputting image data consisting of a luminance value corresponding to.).

【００７３】次のＳ３５では、ＣＰＵ６０は、極座標デ
ータ格納領域６２ｄ中のＳ３２又はＳ３８にて読み出し
た極座標（ｍ）によって示されるピクセルから、輝度値
情報を読み出す（画像データから、取出手段によって取
り出された相対角度と画素の位置との組み合わせに対応
する輝度値を読み出す読出手段に相当）。In the next step S35, the CPU 60 reads out the luminance value information from the pixel indicated by the polar coordinate (m) read out in S32 or S38 in the polar coordinate data storage area 62d (taken out from the image data by the taking out means). (Corresponding to reading means for reading a luminance value corresponding to a combination of the relative angle and the position of the pixel).

【００７４】次のＳ３６では、ＣＰＵ６０は、Ｓ３５に
て読み出した輝度値情報を、直交座標データ格納領域６
２ｂ中のＳ３２又はＳ３８にて読み出した直交座標値
（Ｘm，Ｙk'）によって示されるピクセルに、書き込む
（入力手段によって入力された各輝度値を、検索手段に
よって読み出された直交座標値に対応する画像メモリ中
のピクセルへ書き込む書込手段に相当）。In the next S36, the CPU 60 stores the luminance value information read in S35 in the rectangular coordinate data storage area 6.
Write (each luminance value input by the input means) the rectangular coordinate value read by the search means to the pixel indicated by the orthogonal coordinate values (X m , Y k ′ ) read in S32 or S38 in FIG. (Corresponding to writing means for writing to the pixels in the image memory corresponding to (1)).

【００７５】次のＳ３７では、ＣＰＵ６０は、変換テー
ブルから極座標値（ｍ，ｋ）及び直交座標値（Ｘm，Ｙ
k'）の全ての組み合わせを参照したかどうかをチェック
する。そして、未だ全ての組み合わせを参照していなけ
れば、処理をＳ３８へ進める。In the next step S37, the CPU 60 obtains the polar coordinate value (m, k) and the rectangular coordinate value (X m , Y) from the conversion table.
Check whether all combinations of k ' ) have been referenced. Then, if all combinations have not been referred to yet, the process proceeds to S38.

【００７６】Ｓ３８では、ＣＰＵ６０は、変換テーブル
格納領域６２ｃに格納されている変換テーブルにおける
次の位置から、極座標値（ｍ，ｋ）及び直交座標値（Ｘ
m，Ｙk'）の組み合わせを、一組取り出す（変換テーブ
ルから相対角度と画素の位置との組み合わせ，及びこの
組み合わせに対応する直交座標値を、夫々一つ取り出す
取出手段に相当）。In S38, the CPU 60 determines from the next position in the conversion table stored in the conversion table storage area 62c, the polar coordinate value (m, k) and the rectangular coordinate value (X
m , Y k ′ ) is taken out as a set (corresponding to a take-out means for taking out a combination of a relative angle and a pixel position from a conversion table and an orthogonal coordinate value corresponding to this combination, respectively).

【００７７】ここに、「変換テーブルにおける次の位
置」とは、前回読み出した極座標値（ｍ，ｋ）よりも極
座標値のｍの値が一つだけ大きい位置（図１６における
右隣の位置），若しくは、前回読み出した極座標値
（ｍ，ｋ）のｍの値が最大値ｎ（＝２０４７）である場
合には、極座標値のｍの値が０である次の未読み出しの
位置（図１６における次の行の最左側の位置）である。Here, the "next position in the conversion table" means a position where the value of the polar coordinate value m is one larger than the previously read polar coordinate value (m, k) (the position on the right in FIG. 16). Alternatively, if the value of m of the previously read polar coordinate value (m, k) is the maximum value n (= 2047), the next unread position where the value of the polar coordinate value m is 0 (FIG. 16) At the leftmost position of the next line).

【００７８】次のＳ３９では、ＣＰＵ６０は、Ｓ３８に
て読み出した極座標値（ｍ，ｋ）のｋの値を前回読み出
したｋの値と比較し、ｋの値が変化したか否かをチェッ
クする。そして、ｋの値が変化していない場合には、処
理をＳ３５に戻す。In the next step S39, the CPU 60 compares the k value of the polar coordinate value (m, k) read in S38 with the previously read k value and checks whether or not the k value has changed. . If the value of k has not changed, the process returns to S35.

【００７９】これに対して、ｋの値が変化している場合
には、Ｓ４０にて処理対象の画像データを特定するため
の変数ｙをインクリメントした後に、処理をＳ３３に戻
す。以上説明したＳ３３乃至Ｓ４０のループ処理を繰り
返した結果、変換テーブルにおける極座標値（ｍ，ｋ）
及び直交座標値（Ｘm，Ｙk'）の全ての組み合わせを参
照し終えたとＳ３７にて判定した場合には、ＣＰＵ６０
は、このサブルーチンを終了して、処理を図２１のメイ
ンルーチンに戻す。On the other hand, if the value of k has changed, the process returns to S33 after incrementing the variable y for specifying the image data to be processed in S40. As a result of repeating the loop processing of S33 to S40 described above, the polar coordinate values (m, k) in the conversion table are obtained.
If it is determined in S37 that all combinations of the coordinate values and the orthogonal coordinate values ( Xm , Yk ' ) have been referred to, the CPU 60
Ends this subroutine and returns the processing to the main routine of FIG.

【００８０】処理が戻された図２１のメインルーチンで
は、ＣＰＵ６０は、Ｓ２１の後に実行されるＳ２２にお
いて、ラベリング工程を実行する。即ち、ＣＰＵ６０
は、直交座標データ格納領域６２ｂ内に格納されている
直交座標データから所定閾値以上の輝度値を有する画素
の集合からなる領域を抽出し、抽出した各領域に対して
夫々一意の番号（ラベル）ｉ（ｉ＝１，２，３，……）
を付与する。In the main routine of FIG. 21 to which the processing has been returned, the CPU 60 executes a labeling step in S22 executed after S21. That is, the CPU 60
Extracts a region consisting of a set of pixels having a luminance value equal to or greater than a predetermined threshold from the rectangular coordinate data stored in the rectangular coordinate data storage region 62b, and assigns a unique number (label) to each extracted region. i (i = 1, 2, 3, ...)
Is given.

【００８１】次のＳ２３では、ＣＰＵ６０は、Ｓ２２に
てラベルｎを付与した各領域に対して、ラベルｎの順番
に、特徴量抽出処理を実行する。具体的には、各領域毎
に、その領域の面積，フィレ径，最大輝度又は平均輝度
等を算出する（図形的特徴量測定手段に相当）。In the next step S23, the CPU 60 executes a feature amount extracting process for each area to which the label n has been added in S22 in the order of the label n. Specifically, for each region, the area, fillet diameter, maximum luminance, average luminance, and the like of the region are calculated (corresponding to a graphic feature amount measuring unit).

【００８２】次のＳ２４では、ＣＰＵ６０は、Ｓ２３に
て測定した図形的特徴量に基づいた良否判定工程を実行
する。具体的には、判断基準値を超える面積又はフィレ
径を有する領域が一つでも有るか否か，最大輝度が判断
基準値を超えるか否か，等に基づいて、検査対象光学部
材１４が良品であるか不良品であるかの判定を実行する
（判定手段に相当）。以上の後に、ＣＰＵ６０は、この
制御処理を終了する。 ＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第２実施
形態によると、検査対象光学部材１４が半回転する間
に、撮像素子５による撮像が一定周期（検査対象光学部
材１４が０．０５°回転する毎）でなされ、各撮像によ
って得られた一ライン分の画像データが極座標データ格
納領域６２ｄに格納される（Ｓ３４）。In the next step S24, the CPU 60 executes a pass / fail judgment step based on the graphic feature quantity measured in step S23. Specifically, based on whether or not there is at least one area having an area or a fillet diameter exceeding the criterion value, whether the maximum luminance exceeds the criterion value, etc. Or a defective product (corresponding to a determination unit). After the above, the CPU 60 ends the control processing. <Operation of Embodiment> According to the second embodiment configured as described above, while the inspection target optical member 14 makes a half turn, the image pickup by the image pickup device 5 is performed at a constant period (when the inspection target optical member 14 is set to 0. 1). The image data for one line obtained by each imaging is stored in the polar coordinate data storage area 62d (S34).

【００８３】制御装置６のＣＰＵ６０は、極座標データ
格納領域６２ｄに一ライン分の画像データが格納される
と、変換テーブルから順番に一つづつ極座標値（ｍ，
ｋ）及び直交座標値（Ｘm，Ｙk'）の組み合わせ読み出
し（Ｓ３２，Ｓ３８）、極座標データ格納領域６２ｄ内
における当該極座標値（ｍ）によって示されるピクセル
に書き込まれている輝度値情報を、直交座標データ格納
領域６２ｂ内における当該直交座標値（Ｘm，Ｙk'）に
よって示されるピクセルに書き込む（Ｓ３５，Ｓ３
６）。このような書き込みを繰り返した結果、変換テー
ブルから読み出した極座標値（ｍ，ｋ）のｋ座標の値が
大きくなると、ＣＰＵ６０は、次の一ライン分の画像デ
ータをフレームメモリ６１から極座標データ格納領域６
２ｄに書き写す（Ｓ４０，Ｓ３３，Ｓ３４）。When the image data for one line is stored in the polar coordinate data storage area 62d, the CPU 60 of the control device 6 sequentially sets the polar coordinate values (m, m,
k) and the orthogonal coordinate values (X m , Y k ′ ) are read out in combination (S32, S38), and the luminance value information written to the pixel indicated by the polar coordinate value (m) in the polar coordinate data storage area 62d is calculated as Write to the pixel indicated by the rectangular coordinate value ( Xm , Yk ' ) in the rectangular coordinate data storage area 62b (S35, S3).
6). As a result of repeating such writing, when the value of the k coordinate of the polar coordinate value (m, k) read from the conversion table increases, the CPU 60 stores the next one line of image data from the frame memory 61 into the polar coordinate data storage area. 6
Copy to 2d (S40, S33, S34).

【００８４】そして、変換テーブルから極座標値（ｍ，
ｋ）及び直交座標値（Ｘm，Ｙk'）の全ての組み合せを
読み出され、これらに従った書き込みがなされると、直
交座標データ格納領域６２ｂ内に、直交座標系による画
像データ（直交座標データ）が再現される。Then, the polar coordinate values (m,
k) and all the combinations of the rectangular coordinate values (X m , Y k ′ ) are read out and written in accordance with them, and the image data (orthogonal coordinate system) of the rectangular coordinate system is stored in the rectangular coordinate data storage area 62b. Coordinate data) is reproduced.

【００８５】本第２実施形態におけるその他の作用は、
第１実施形態とものと同じであるので、その説明を省略
する。The other operation of the second embodiment is as follows.
Since it is the same as that of the first embodiment, the description is omitted.

【００８６】[0086]

【実施形態３】本発明の第３の実施形態は、上述の第１
実施形態と比較して、制御装置６内において、プログラ
ム処理によって座標変換を行うのではなく、ハードウェ
アによって座標変換を行うことを特徴としている。 ＜光学部材検査装置の構成＞図２３は、本第３実施形態
による制御装置６の構成を示すブロック図である。Embodiment 3 The third embodiment of the present invention is the same as the first embodiment.
Compared to the embodiment, the control device 6 is characterized in that the coordinate conversion is performed not by the program processing but by hardware. <Structure of Optical Member Inspection Apparatus> FIG. 23 is a block diagram showing the structure of the control device 6 according to the third embodiment.

【００８７】図２３における極座標データメモリ６５
は、検査対象光学部材１４が半回転する間に撮像装置３
から出力された全ての一ライン分の画像データが先頭行
から行単位に書き込まれて検査対象光学部材１４全体に
相当する極座標データが合成されるメモリであり、第１
実施形態におけるホストメモリ６２の全極座標データ格
納領域６２ａに相当する。なお、本第３実施形態におい
ては、撮像装置３による撮像は、検査対象光学部材が
０．０５度回転する毎に行われるので、極座標データの
行数は３６００行となっている。The polar coordinate data memory 65 in FIG.
Is the image pickup device 3 while the inspection target optical member 14 makes a half rotation.
Is a memory in which the image data for all one line output from is written in line units from the first line and polar coordinate data corresponding to the entire inspection target optical member 14 is synthesized.
This corresponds to the all-polar coordinate data storage area 62a of the host memory 62 in the embodiment. In the third embodiment, the imaging by the imaging device 3 is performed every time the optical member to be inspected is rotated by 0.05 degrees, so that the number of lines of the polar coordinate data is 3,600.

【００８８】この極座標データメモリ６５は、検査対象
光学全部材１４の全体に対応する極座標データが合成さ
れた後においては、読み出しパルスが入力される毎に、
その時点で入力されているアドレス（極座標データのｋ
座標を指定するための０〜３５９９［実際には２進数］
の値をとる上位アドレス，及び、極座標データのｍ座標
を指定するための０〜２０４７［実際には２進数］の値
をとる下位アドレス）によって指定されたピクセルに記
載されている輝度値情報を、出力する。After the polar coordinate data corresponding to the entirety of the optical member 14 to be inspected is synthesized, the polar coordinate data memory 65 stores every time a read pulse is input.
Address input at that time (k of polar coordinate data
0 to 3599 for specifying coordinates [actually a binary number]
And luminance value information described in a pixel specified by a lower address having a value of 0 to 2047 [actually a binary number] for designating the m coordinate of the polar coordinate data. ,Output.

【００８９】直交座標データメモリ６６は、座標変換の
結果としての直交座標データが合成される画像メモリ
（直交座標によってその位置が特定される複数のピクセ
ルをマトリックス状に並べてなる画像メモリ）であり、
第１実施形態における直交座標データ格納領域６２ｂに
相当する。The orthogonal coordinate data memory 66 is an image memory (an image memory in which a plurality of pixels whose positions are specified by the orthogonal coordinates are arranged in a matrix) in which the orthogonal coordinate data as a result of the coordinate conversion is synthesized.
This corresponds to the rectangular coordinate data storage area 62b in the first embodiment.

【００９０】この直交座標データメモリ６６は、書き込
みパルスが入力される毎に、その時点で入力されている
アドレス（直交座標データのＸ座標を指定するための０
〜２０４７［実際には２進数］の値をとる上位アドレ
ス，及び直交座標データのＹ座標を指定するための０〜
２０４７［実際には２進数］の値をとる下位アドレス）
によって指定された位置（ピクセル）に、極座標データ
メモリ６５から出力された輝度値情報を、格納する。Each time a write pulse is input, the orthogonal coordinate data memory 66 stores the address (0 for specifying the X coordinate of the orthogonal coordinate data) at that time.
To 2047 [actually a binary number] and 0 to specify the Y coordinate of the rectangular coordinate data.
2047 [actual binary address] lower address)
The luminance value information output from the polar coordinate data memory 65 is stored at the position (pixel) designated by the.

【００９１】制御回路６４は、制御装置６全体の制御を
司る回路であり、所定周期のクロックパルスを生成す
る。そして、このクロックパルスのタイミングに同期し
て、極座標データメモリ６５に読み出しパルス，直交座
標データメモリ６６に書き込みパルスを各々入力すると
ともに、画素カウンタ６８にインクリメントパルスを入
力する。なお、制御回路６４は、これら読み出しパル
ス，書き込みパルス，及びインクリメントパルスを各々
２０４８×３６００個出力した時点で、画像処理部７０
に対して画像変換完了通知を行う。The control circuit 64 is a circuit for controlling the entire control device 6, and generates a clock pulse of a predetermined cycle. Then, in synchronization with the timing of the clock pulse, a read pulse is input to the polar coordinate data memory 65, a write pulse is input to the orthogonal coordinate data memory 66, and an increment pulse is input to the pixel counter 68. Note that the control circuit 64 outputs the image processing unit 70 at the time when each of the read pulse, the write pulse, and the increment pulse is output as 2048 × 3600.
For the image conversion completion.

【００９２】画素カウンタ６８は、入力されたインクリ
メントパルスの数を０〜２０４７のサイクルで計数する
カウンタ（撮像素子から順番に出力される各輝度値をカ
ウントするカウンタ）であり、計数結果としての画素ア
ドレス（極座標データメモリの下位アドレスｍ）を出力
するとともに、２０４８個のインクリメントパルスを計
数する毎に、計数結果をリセットして０とするととも
に、回転角カウンタ６７に対してカウントパルスを入力
する。即ち、この画素カウンタ６８が、入力手段によっ
て入力された各輝度値に対応する画素の位置を特定する
画素位置特定手段に、相当する。The pixel counter 68 is a counter that counts the number of input increment pulses in a cycle of 0 to 2047 (a counter that counts each luminance value sequentially output from the image pickup device). An address (lower address m of the polar coordinate data memory) is output, and every time the 2048 increment pulses are counted, the count result is reset to 0 and a count pulse is input to the rotation angle counter 67. That is, the pixel counter 68 corresponds to a pixel position specifying unit that specifies the position of a pixel corresponding to each luminance value input by the input unit.

【００９３】回転角カウンタ６７は、入力されたカウン
トパルスの数を０〜３５９９のサイクルで計数するカウ
ンタであり、計数結果としての回転角アドレス（極座標
データメモリの上位アドレスｋ）を出力する。即ち、回
転角カウンタ６７は、入力手段によって入力された各輝
度値を出力した時における検査対象光学部材の像及びラ
インセンサの相対角度を特定する角度特定手段に、相当
する。The rotation angle counter 67 is a counter that counts the number of input count pulses in a cycle of 0 to 3599, and outputs a rotation angle address (upper address k of the polar coordinate data memory) as a counting result. That is, the rotation angle counter 67 corresponds to an angle specifying unit that specifies the relative angle between the image of the inspection target optical member and the line sensor when each luminance value input by the input unit is output.

【００９４】画素カウンタ６８から出力された画素アド
レス及び回転角カウンタ６７から出力された回転角アド
レスは、夫々下位アドレスｍ及び上位アドレスｋとし
て、変換テーブル６９にも入力される。即ち、これら画
素カウンタ６８及び回転角カウンタ６７が、角度特定手
段によって特定された相対角度及び画素位置特定手段に
よって特定された画素の位置に基づいて変換テーブルを
検索して対応する直交座標値を読み出す検索手段に、相
当する。The pixel address output from the pixel counter 68 and the rotation angle address output from the rotation angle counter 67 are also input to the conversion table 69 as a lower address m and an upper address k, respectively. That is, the pixel counter 68 and the rotation angle counter 67 search the conversion table based on the relative angle specified by the angle specifying unit and the position of the pixel specified by the pixel position specifying unit, and read out the corresponding orthogonal coordinate values. It corresponds to a search means.

【００９５】変換テーブル６９は、ＲＯＭ上に構築され
たテーブル（画像メモリの各ピクセルを特定する個々の
直交座標値に対して、検査対象光学部材の像及びライン
センサの相対角度と前記画素の位置との組み合わせを一
つのみ対応させた変換テーブル）であり、入力されたア
ドレスによって指定されるエントリに、当該入力アドレ
ス（回転角アドレス及び画素アドレス）に対応するデー
タ（直交座標データメモリ６６に対する上位アドレスで
あるＸ座標アドレス，及び、下位アドレスであるＹ座標
アドレス）が書き込まれている形式を有する。以下、こ
の変換テーブルの作成手順を説明する。The conversion table 69 is a table constructed on the ROM (for each rectangular coordinate value specifying each pixel of the image memory, the relative angle of the image of the optical member to be inspected, the line sensor, and the position of the pixel) Is a conversion table in which only one combination is associated with an entry specified by an input address, and data corresponding to the input address (rotation angle address and pixel address) (higher-order data in the orthogonal coordinate data memory 66). (X coordinate address as an address, and Y coordinate address as a lower address). Hereinafter, a procedure for creating the conversion table will be described.

【００９６】いま、上記式（１'）〜（４'）においてθ
＝０．０５を代入して、ｍ（０〜１０２４）及びｋ（０
〜３５９９）の全ての組合せについて上記式（１'），
（２'）（即ち、所定の極座標−直交座標変換演算）を
実行するとともに、ｍ'（１０２５〜２０４７）及びｋ
（０〜３５９９）の全ての組合せについて上記式
（３'），（４'）（即ち、所定の極座標−直交座標変換
演算）を実行する。すると、計算結果は、図２４の表に
その一部を示す通りになる。Now, in the above equations (1 ′) to (4 ′), θ
= 0.05, m (0-1024) and k (0
To 3599), the above formula (1 ′),
(2 ′) (that is, a predetermined polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation) is executed, and m ′ (1024 to 2047) and k
The above equations (3 ′) and (4 ′) (that is, a predetermined polar coordinate to orthogonal coordinate conversion operation) are executed for all combinations of (0 to 3599). Then, the calculation result is as shown in the table of FIG.

【００９７】この図２４に示したように、上記各式
（１'）〜（４'）に夫々任意のｍ，ｋ（整数）を代入し
た計算結果は、必ずしも整数とはならない。即ち、直交
座標データの各ピクセルの中心点とは一致しない。従っ
て、Ｘ，Ｙの計算結果の小数点以下第１位を四捨五入し
て、実際の計算結果に最も近い直交座標（Ｘ，Ｙ）を、
極座標データ中の極座標（ｍ，ｋ）に対応する座標とし
て特定する。この四捨五入により、ｍ及びｋの組み合わ
せに対して極座標−直交座標変換演算を施して算出され
た値に最も近い直交座標値（Ｘ，Ｙ）が、当該ｍ及びｋ
の組み合わせに対応される。図２５は、このようにして
得られた極座標値（ｍ，ｋ）及び直交座標値（Ｘ，Ｙ）
の関係をまとめたテーブルである。As shown in FIG. 24, the calculation results obtained by substituting arbitrary m and k (integers) into the above equations (1 ') to (4') are not necessarily integers. That is, it does not coincide with the center point of each pixel of the rectangular coordinate data. Therefore, the rectangular coordinates (X, Y) closest to the actual calculation result are obtained by rounding off the first decimal place of the calculation result of X and Y,
It is specified as coordinates corresponding to the polar coordinates (m, k) in the polar coordinate data. By this rounding, the rectangular coordinate value (X, Y) closest to the value calculated by performing the polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation on the combination of m and k is set to m and k.
Are supported. FIG. 25 shows the polar coordinate values (m, k) and rectangular coordinate values (X, Y) thus obtained.
Is a table summarizing the relations.

【００９８】但し、この図２５に示すＸ及びＹの各組合
せは、必ずしもユニークではなく、同一のＸ及びＹの組
合せがｍ及びｋの複数の組合せに対応している場合があ
る。そのため、同一のＸ及びＹの組合せが複数位置にあ
った場合には、それらＸ及びＹの組合せに対応する四捨
五入前の数値（図２４）を調べる。そして、四捨五入前
の数値との差（Ｘについての差及びＹについての差の合
計）が最も小さくなる位置にあるものを、有効なものと
特定し、それ以外の位置にあるものについてはスタック
値（Ｘ＝０，Ｙ＝０）に書き換える。このスタック値へ
の書換により、極座標−直交座標変換演算の結果が直交
座標値（Ｘ，Ｙ）に最も近くなるｍ及びｋの組み合わせ
のみに対して、当該直交座標（Ｘ，Ｙ）が対応するよう
になる。図２６は、このスタック値への書換がなされた
テーブルを示す（但し、スタック値は横線によって示さ
れている）。However, each combination of X and Y shown in FIG. 25 is not necessarily unique, and the same combination of X and Y may correspond to a plurality of combinations of m and k. Therefore, when the same combination of X and Y is present at a plurality of positions, the value before rounding (FIG. 24) corresponding to the combination of X and Y is checked. Then, the one at the position where the difference from the numerical value before rounding (the sum of the difference about X and the difference about Y) is the smallest is specified as a valid one, and the stack value at the other positions is specified. (X = 0, Y = 0). By rewriting to the stack value, the rectangular coordinates (X, Y) correspond to only the combination of m and k for which the result of the polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation is closest to the rectangular coordinate value (X, Y). Become like FIG. 26 shows a table in which the stack value has been rewritten (the stack value is indicated by a horizontal line).

【００９９】この図２６によると、直交座標値（Ｘ＝１
５３６，Ｙ＝１９０８），（Ｘ＝１５３８，Ｙ＝１９０
８），（Ｘ＝１５３２，Ｙ＝１９０１），（Ｘ＝１５３
４，Ｙ＝１９０１）が、欠落している。即ち、これら直
交座標値（Ｘ，Ｙ）は、ｍ及びｋの何れの組み合わせに
も対応していない。この場合には、スタック値への書換
がなされた各直交座標値（Ｘ，Ｙ）の四捨五入前の数値
（図２４）が調べられる。そして、それらのうち、欠落
している各直交座標値（Ｘ，Ｙ）との差（Ｘについての
差及びＹについての差の合計）が最も小さくなるものが
特定され、その位置にその欠落している直交座標値
（Ｘ，Ｙ）が書き込まれる。この書き込みにより、ｍ及
びｋの何れの組み合わせにも対応していない直交座標値
（Ｘ，Ｙ）が、何れの直交座標値にも対応していないｍ
及びｋの組み合わせのうち、極座標−直交座標変換演算
の結果が当該直交座標値（Ｘ，Ｙ）に最も近くなる組み
合わせに、対応することになる。図２７は、この書き込
みがなされたテーブルを示す。この図２７に示す状態に
まで加工されたテーブルが、変換テーブル６９としてＲ
ＯＭに書き込まれるのである。According to FIG. 26, rectangular coordinate values (X = 1
536, Y = 1908), (X = 1538, Y = 190
8), (X = 1532, Y = 1901), (X = 153
4, Y = 1901) is missing. That is, these orthogonal coordinate values (X, Y) do not correspond to any combination of m and k. In this case, the numerical values (FIG. 24) before the rounding of each rectangular coordinate value (X, Y) rewritten to the stack value are checked. Then, of those, the one with the smallest difference (total of the difference about X and the difference about Y) from each of the missing rectangular coordinate values (X, Y) is identified, and the missing part is located at that position. (X, Y) are written. By this writing, the rectangular coordinate values (X, Y) that do not correspond to any combination of m and k become m
And k, the result of the polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation corresponds to the combination that is closest to the rectangular coordinate value (X, Y). FIG. 27 shows a table in which this writing has been performed. The table processed to the state shown in FIG.
It is written to the OM.

【０１００】以上の構成を有する変換テーブル６９は、
入力されたアドレスに対応するＹ座標アドレス，及び、
Ｘ座標アドレスを出力して、直交座標データメモリ６６
に入力する。従って、上位アドレス（回転角アドレス）
ｋ＝０，下位アドレス（画素アドレス）ｍ＝０から順番
に、上位アドレス（回転角アドレス）ｋ＝３５９９，下
位アドレス（画素アドレス）ｍ＝２０４７までの全ての
アドレスの組合せがこの変換テーブル６９に入力され、
夫々に対応するデータ（Ｙ座標アドレス，Ｘ座標アドレ
ス）がこの変換テーブル６９から出力されると、直交座
標データメモリ６６内において検査対象光学部材１４全
体に相似した画像データ（直交座標データ）が合成され
ることになる。The conversion table 69 having the above configuration is
A Y coordinate address corresponding to the input address, and
The X-coordinate address is output to the orthogonal coordinate data memory 66.
To enter. Therefore, the upper address (rotation angle address)
In this conversion table 69, all address combinations from the upper address (rotation angle address) k = 3599 and the lower address (pixel address) m = 2047 in order from k = 0, lower address (pixel address) m = 0. Entered,
When the corresponding data (Y coordinate address, X coordinate address) is output from the conversion table 69, image data (orthogonal coordinate data) similar to the entire inspection target optical member 14 is synthesized in the orthogonal coordinate data memory 66. Will be done.

【０１０１】このように直交座標データが直交座標デー
タメモリ６６内に合成されると、画像処理部７０には、
制御回路６４から画像変換完了通知が入力される。この
画像変換完了通知を受けた画像処理部７０は、直交座標
データメモリ６６から直交座標データ全体を読み出し、
直交座標データ中の各ピクセルの輝度値を所定の閾値と
比較し、所定の閾値よりも明るいピクセルの値を“１”
とするとともにそれ以外のピクセルの値を“０”とする
二値化処理を行う。そして、二値化処理後において
“１”の値を有する領域のピクセルの総数（面積）が所
定の判定基準値を超えている場合や“１”の値を有する
ピクセルの集合からなる領域のフィレ径が所定の判定基
準値を超えている場合等に、検査対象光学部材１４が不
良品であると判断するのである。即ち、この画像処理部
７０は、画像メモリに書き込まれた検査対象光学部材全
体に対応する画像データの図形的特徴量を測定する図形
的特徴量測定手段，及び、図形的特徴量が所定の判定基
準値を超えたか否かを判定する判定手段に、相当する。When the rectangular coordinate data is synthesized in the rectangular coordinate data memory 66 in this manner, the image processing unit 70
An image conversion completion notification is input from the control circuit 64. Upon receiving the image conversion completion notification, the image processing unit 70 reads the entire rectangular coordinate data from the rectangular coordinate data memory 66,
The luminance value of each pixel in the rectangular coordinate data is compared with a predetermined threshold, and the value of a pixel brighter than the predetermined threshold is set to “1”.
And a binarization process for setting the values of the other pixels to “0”. Then, after the binarization processing, when the total number (area) of the pixels of the region having the value of “1” exceeds a predetermined determination reference value, or when the file of the region including the set of pixels having the value of “1” is selected. For example, when the diameter exceeds a predetermined determination reference value, the inspection target optical member 14 is determined to be defective. That is, the image processing unit 70 includes a graphic feature amount measuring unit that measures the graphic feature amount of the image data corresponding to the entire inspection target optical member written in the image memory, and determines that the graphic feature amount is a predetermined value. This corresponds to a determination unit that determines whether or not a reference value has been exceeded.

【０１０２】本第３実施形態におけるその他の構成は、
第１実施形態のものと全く同じであるので、その説明を
省略する。 ＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第３実施
形態によると、検査対象光学部材１４が半回転する間
に、検査対象光学部材１４が０．０５°回転する毎に撮
像装置３による撮像がなされ、各撮像によって得られた
ライン状の画像データが制御装置６の極座標データメモ
リ６５に蓄積される。The other configuration of the third embodiment is as follows.
Since it is completely the same as that of the first embodiment, the description is omitted. <Operation of Embodiment> According to the third embodiment configured as described above, while the inspection target optical member 14 makes a half rotation, the imaging device 3 is rotated every 0.05 °. Are performed, and the linear image data obtained by each imaging is stored in the polar coordinate data memory 65 of the control device 6.

【０１０３】そして、この極座標データメモリ６５中に
おいて極座標データが合成されると、制御回路６４は、
所定の周期でインクリメントパルス，読み出しパルス，
及び書き込みパルスを出力する。When the polar coordinate data is synthesized in the polar coordinate data memory 65, the control circuit 64
Increment pulse, read pulse,
And a write pulse.

【０１０４】このインクリメントパルスを受信した画素
カウンタ６８は、このインクリメントパルスの数を計数
し、計数結果を画素アドレスｍとして、極座標データメ
モリ６５及び変換テーブル６９に入力する。この時、画
素カウンタ６８の計数結果が２０４７以下である場合に
は、回転角カウンタ６７は、初期値０を回転角アドレス
ｋとして、極座標データメモリ６５及び変換テーブル６
９に入力する。そして、画素カウンタ６８は、２０４８
個のインクリメントパルスが入力される毎に計数結果を
リセットするとともに、カウントパルスを回転角カウン
タ６７に入力する。回転角カウンタ６７は、このカウン
トパルスの数を計数し、計数結果を回転角アドレスｋと
して、極座標データメモリ６５及び変換テーブル６９に
入力する。The pixel counter 68 which has received the increment pulse counts the number of the increment pulse, and inputs the result of counting as the pixel address m to the polar coordinate data memory 65 and the conversion table 69. At this time, if the count result of the pixel counter 68 is 2047 or less, the rotation angle counter 67 sets the initial value 0 as the rotation angle address k and the polar coordinate data memory 65 and the conversion table 6.
Enter 9 Then, the pixel counter 68 calculates 2048
Each time the increment pulse is input, the count result is reset, and the count pulse is input to the rotation angle counter 67. The rotation angle counter 67 counts the number of the count pulses, and inputs the count result to the polar coordinate data memory 65 and the conversion table 69 as a rotation angle address k.

【０１０５】極座標データメモリ６５は、読み出しパル
スが入力されると、その時点で入力されているアドレス
（上位アドレスとしての回転角アドレスｋ，下位アドレ
スとしての画素アドレスｍ）によって指定されるピクセ
ルに書き込まれている輝度値を、直交座標データメモリ
６６に対して出力する。When the read pulse is input, the polar coordinate data memory 65 writes the read pulse into the pixel specified by the address (rotation angle address k as the upper address, pixel address m as the lower address) input at that time. The output luminance value is output to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１０６】一方、変換テーブル６９は、入力されたア
ドレス（上位アドレスとしての回転角アドレスｋ，下位
アドレスとしての画素アドレスｍ）に対応するデータ
（Ｘ座標アドレス，Ｙ座標アドレス）を出力して、直交
座標データメモリ６６に入力する。On the other hand, the conversion table 69 outputs data (X coordinate address, Y coordinate address) corresponding to the input address (rotational angle address k as the upper address and pixel address m as the lower address). The data is input to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１０７】直交座標データメモリ６６は、書き込みパ
ルスが入力されると、その時点で入力されているアドレ
ス（上位アドレスとしてのＸ座標アドレス，下位アドレ
スとしてのＹ座標アドレス）によって指定されるピクセ
ルに、極座標データメモリ６５から入力された輝度値情
報を書き込む。When a write pulse is input, the orthogonal coordinate data memory 66 stores a pixel specified by an address (X coordinate address as an upper address, Y coordinate address as a lower address) input at that time. The luminance value information input from the polar coordinate data memory 65 is written.

【０１０８】このとき、変換テーブル６９内には、同一
の直交座標値（Ｘ，Ｙ）は、重複して記載されていない
ので、直交座標データメモリ６６内の同一ピクセルに輝
度値情報が複数回に亘って上書きされることはない。し
かも、直交座標データメモリ６６の各ピクセルに書き込
まれる輝度値情報は、極座標データにおける座標値
（ｍ，ｋ）に対する極座標−直交座標変換演算結果が最
も当該ピクセルの中心に近くなるものの輝度値である。
従って、実際の検査対象光学部材１４の像に近似した直
交座標データを得ることができる。また、直交座標デー
タメモリ６６（における検査対象光学部材１４の周縁）
内に対応する全ての直交座標値（Ｘ，Ｙ）が、予め、何
れかの極座標（ｍ，ｋ）に対応付けられているので、直
交座標データにおける輝度値抜けは、生じない。At this time, since the same rectangular coordinate value (X, Y) is not redundantly described in the conversion table 69, the luminance value information is stored in the same pixel in the rectangular coordinate data memory 66 a plurality of times. Will not be overwritten. Moreover, the luminance value information written to each pixel of the rectangular coordinate data memory 66 is the luminance value of the polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation result for the coordinate value (m, k) in the polar coordinate data which is closest to the center of the pixel. .
Therefore, it is possible to obtain orthogonal coordinate data that approximates the actual image of the optical member 14 to be inspected. The rectangular coordinate data memory 66 (the periphery of the optical member 14 to be inspected).
Since all of the rectangular coordinate values (X, Y) corresponding to within are previously associated with any of the polar coordinates (m, k), no luminance value dropout occurs in the rectangular coordinate data.

【０１０９】極座標データメモリ６５から出力された全
ての輝度値情報が直交座標データメモリ６６に書き込ま
れると、画像処理部７０は、このようにして得られた直
交座標系による画像データ（直交座標データ）に基づい
て図形的特徴量を算出し、算出した図形的特徴量を一定
の判断基準値と比較することによって、検査対象光学部
材１４の良否判定を行う。When all the luminance value information output from the polar coordinate data memory 65 is written in the rectangular coordinate data memory 66, the image processing unit 70 obtains the image data (rectangular coordinate data ) Is calculated, and the quality of the inspection target optical member 14 is determined by comparing the calculated graphic feature with a predetermined determination reference value.

【０１１０】本第３実施形態におけるその他の作用は、
第１実施形態のものと同じなので、その説明を省略す
る。[0110] Other functions of the third embodiment are as follows.
The description is omitted because it is the same as that of the first embodiment.

【０１１１】[0111]

【実施形態４】本発明の第４の実施形態は、上記第３実
施形態に比して、制御装置６内に極座標データメモリ６
５を有さず、撮像装置３によって１ラインの撮像がなさ
れる毎に順次一画素づつ座標変換を行い、その画素を直
交座標データメモリ６６に書き写すことを、特徴とす
る。 ＜光学部材検査装置の構成＞図２８は、本第４実施形態
による制御装置６及び撮像装置３の回路構成を示すブロ
ック図である。Fourth Embodiment A fourth embodiment of the present invention differs from the third embodiment in that a polar coordinate data memory 6
5, each time one image is picked up by the image pickup device 3, coordinate conversion is performed one pixel at a time, and the pixels are written to the orthogonal coordinate data memory 66. <Configuration of Optical Member Inspection Apparatus> FIG. 28 is a block diagram showing a circuit configuration of the control device 6 and the imaging device 3 according to the fourth embodiment.

【０１１２】図２８における直交座標データメモリ６
６，変換テーブル６９，及び画像処理部７０は、上述の
第３実施形態のものと全く同じなので、その説明を省略
する。制御装置６の回転角検出器７１は、読取装置１０
から入力されたパルスを計数し、入力されたパルスの数
が検査対象光学部材１４の回転角０．０５°に対応した
数に達する毎に、その旨を示す角度検出信号を画像入力
制御部７２に通知するとともに、リセット信号を出力画
素カウンタ７３に入力する。また、回転角検出器７１
は、角度検出信号を出力した回数を０〜３５９９のサイ
クルで計数し、計数結果としての回転角アドレスを上位
アドレスｋとして変換テーブル６９に入力する。即ち、
この回転角検出器７１が、入力手段によって入力された
各輝度値を出力した時における検査対象光学部材の像及
びラインセンサの相対角度を特定する角度特定手段に相
当する。The orthogonal coordinate data memory 6 in FIG.
6, the conversion table 69, and the image processing unit 70 are completely the same as those in the above-described third embodiment, and thus description thereof is omitted. The rotation angle detector 71 of the control device 6
Is counted, and every time the number of input pulses reaches a number corresponding to the rotation angle of the optical member 14 to be inspected of 0.05 °, an angle detection signal indicating that is input to the image input control unit 72. And a reset signal is input to the output pixel counter 73. Further, the rotation angle detector 71
Counts the number of times the angle detection signal is output in a cycle of 0 to 3599, and inputs the rotation angle address as the counting result to the conversion table 69 as the upper address k. That is,
The rotation angle detector 71 corresponds to an angle specifying unit that specifies a relative angle between the image of the inspection target optical member and the line sensor when each luminance value input by the input unit is output.

【０１１３】制御装置６の画像入力制御部７２は、入力
手段として、制御装置６全体にわたる画像データの流れ
を司る回路であり、所定周期のクロックパルスを生成す
る。そして、このクロックパルスを所定の周期で分周す
ることにより、バッファメモリ３２に対する駆動パルス
及びＡ／Ｄ変換器３１に対する変換パルスを生成する。
また、画像入力制御部７２は、回転角検出器７１から角
度検出信号が入力される毎に、撮像装置３の撮像素子５
に対して撮像開始信号を入力するとともに、所定時間後
に読み出し開始信号を入力する。また、画像入力制御部
７２は、読み出し開始信号を出力すると、駆動パルス及
び変換パルスと同じタイミングで、書き込みパルスを直
交座標データメモリ６６に入力する。そして、書き込み
パルスを計２０４８×３６００個出力した時点で、画像
処理部７０に対して画像変換完了通知を行う。The image input control section 72 of the control device 6 is a circuit for controlling the flow of image data throughout the control device 6 as input means, and generates a clock pulse of a predetermined cycle. Then, by dividing the frequency of the clock pulse by a predetermined period, a drive pulse for the buffer memory 32 and a conversion pulse for the A / D converter 31 are generated.
Further, each time the angle detection signal is input from the rotation angle detector 71, the image input control unit 72
, A readout start signal is input after a predetermined time. When the image input control unit 72 outputs the read start signal, it inputs the write pulse to the orthogonal coordinate data memory 66 at the same timing as the drive pulse and the conversion pulse. Then, when a total of 2048 × 3600 write pulses have been output, the image processing unit 70 is notified of the completion of image conversion.

【０１１４】撮像装置３の撮像素子５は、画像入力制御
部７２から撮像開始信号が入力されると、撮像（電荷の
蓄積）を開始する。そして、読み出し信号が入力される
と、各画素に蓄積された電荷を、パラレルにバッファメ
モリ３２に転送する。バッファメモリ３２は、一ライン
分（２０４８個）の電荷を保持するメモリであり、撮像
素子５によって転送された電荷を、駆動パルスのタイミ
ングに従って一つづつＡ／Ｄ変換器３１に入力する。ま
た、バッファメモリ３２は、Ａ／Ｄ変換器３１に一つの
画素の電荷を入力する毎に、制御装置６の出力画素カウ
ンタ７３にカウントパルスを入力する。When the imaging start signal is input from the image input control section 72, the imaging element 5 of the imaging device 3 starts imaging (accumulation of electric charge). When the read signal is input, the charges accumulated in each pixel are transferred to the buffer memory 32 in parallel. The buffer memory 32 is a memory that holds charges for one line (2048), and inputs the charges transferred by the image sensor 5 to the A / D converter 31 one by one according to the timing of a drive pulse. In addition, the buffer memory 32 inputs a count pulse to the output pixel counter 73 of the control device 6 each time the charge of one pixel is input to the A / D converter 31.

【０１１５】撮像装置３のＡ／Ｄ変換器３１は、画像入
力制御部７２から入力される変換パルスに従って、撮像
素子５から出力される電荷（アナログ信号）をデジタル
信号である輝度値情報に変換し、直交座標データメモリ
６６に入力する。The A / D converter 31 of the imaging device 3 converts the electric charge (analog signal) output from the imaging device 5 into luminance value information as a digital signal in accordance with the conversion pulse input from the image input control section 72. Then, the data is input to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１１６】制御装置６の出力画素カウンタ７３は、回
転角検出器７１からリセット信号が入力される毎にリセ
ットされるとともに、バッファメモリ３２から入力され
たカウントパルスを計数し、計数結果としての画素アド
レスを下位アドレスｍとして変換テーブル６９に入力す
る。即ち、出力画素カウンタ７３が、入力手段によって
入力された各輝度値に対応する画素の位置を特定する画
素位置特定手段に相当する。The output pixel counter 73 of the control device 6 is reset each time a reset signal is input from the rotation angle detector 71, counts a count pulse input from the buffer memory 32, and outputs a pixel as a count result. The address is input to the conversion table 69 as the lower address m. That is, the output pixel counter 73 corresponds to a pixel position specifying unit that specifies the position of a pixel corresponding to each luminance value input by the input unit.

【０１１７】本第４実施形態におけるその他の構成は、
第１実施形態のものと全く同じであるので、その説明を
省略する。 ＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第４実施
形態によると、検査対象光学部材１４が０．０５°回転
する毎に、回転角検出器７１は、回転角アドレス（変換
テーブル６９の上位アドレス）ｋをインクリメントする
とともに、出力画素カウンタ７３をリセットし、画像入
力制御部７２に角度検出信号を入力する。角度検出信号
を受信した画像入力制御部７２は、撮像装置３の撮像素
子５に対して撮像を行わせる。[0117] Other configurations in the fourth embodiment are as follows.
Since it is completely the same as that of the first embodiment, the description is omitted. <Operation of Embodiment> According to the fourth embodiment configured as described above, every time the optical member 14 to be inspected rotates by 0.05 °, the rotation angle detector 71 sets the rotation angle address (conversion table 69). Is incremented, the output pixel counter 73 is reset, and an angle detection signal is input to the image input control unit 72. The image input control unit 72 that has received the angle detection signal causes the image sensor 5 of the image pickup device 3 to perform image pickup.

【０１１８】撮像素子５は、画像入力制御部７２から読
出開始信号を受信すると、各画素に蓄積されていた電荷
をバッファメモリ３２へパラレルに出力する。バッファ
メモリ３２は、このように転送された各画素の電荷を順
番に出力する。Ａ／Ｄ変換器３１は、このようにしてバ
ッファメモリ３２から画素毎に出力された電荷を、デジ
タル信号である輝度値情報に変換し、直交座標データメ
モリ６６に入力する。When receiving the readout start signal from the image input control section 72, the image pickup device 5 outputs the charges accumulated in each pixel to the buffer memory 32 in parallel. The buffer memory 32 sequentially outputs the charges of each pixel transferred in this manner. The A / D converter 31 converts the electric charge output from the buffer memory 32 for each pixel into luminance value information as a digital signal, and inputs the luminance value information to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１１９】このとき同時に、出力画素カウンタ７３
は、バッファメモリ３２から電荷が出力された回数を計
数し、計数結果（即ち、直交座標データメモリ６６に入
力されている輝度値情報に対応する画素の番号）を、画
素アドレス（下位アドレス）ｍとして変換テーブル６９
に入力する。すると、変換テーブル６９は、その時点で
入力されているアドレス（上位アドレスとしての回転角
アドレスｋ，下位アドレスとしての画素アドレスｍ）に
対応するデータ（Ｘ座標アドレス，Ｙ座標アドレス）を
出力して、直交座標データメモリ６６に入力する。At this time, simultaneously, the output pixel counter 73
Counts the number of times charges are output from the buffer memory 32, and stores the count result (that is, the number of the pixel corresponding to the luminance value information input to the orthogonal coordinate data memory 66) in the pixel address (lower address) m Conversion table 69
To enter. Then, the conversion table 69 outputs data (X coordinate address, Y coordinate address) corresponding to the address (rotation angle address k as the upper address and pixel address m as the lower address) input at that time. , Are input to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１２０】直交座標データメモリ６６は、書き込みパ
ルスが入力された時に入力されているアドレス（上位ア
ドレスとしてのＸ座標アドレス，下位アドレスとしての
Ｙ座標アドレス）によって指定されるピクセルに、撮像
装置３から入力された輝度値情報を書き込む。The orthogonal coordinate data memory 66 stores the pixel specified by the address (X coordinate address as the upper address and Y coordinate address as the lower address) input when the write pulse is input from the image pickup device 3. Write the input luminance value information.

【０１２１】このとき、変換テーブル６９内には、同一
の直交座標値（Ｘ，Ｙ）は、重複して記載されていない
ので、直交座標データメモリ６６内の同一ピクセルに輝
度値情報が複数回に亘って上書きされることはない。し
かも、直交座標データメモリ６６の各ピクセルに書き込
まれる輝度値情報は、極座標データにおける極座標値
（ｍ，ｋ）に対する極座標−直交座標変換演算結果が最
も当該ピクセルの中心に近くなるものの輝度値である。
従って、実際の検査対象光学部材１４の像に近似した直
交座標データを得ることができる。また、直交座標デー
タメモリ６６（における検査対象光学部材１４の周縁）
内に対応する全ての直交座標値（Ｘ，Ｙ）が、予め、何
れかの極座標値（ｍ，ｋ）に対応付けられているので、
直交座標データにおける輝度値抜けは、生じない。At this time, since the same rectangular coordinate value (X, Y) is not redundantly described in the conversion table 69, the luminance value information is stored in the same pixel in the rectangular coordinate data memory 66 a plurality of times. Will not be overwritten. Moreover, the luminance value information written to each pixel of the rectangular coordinate data memory 66 is a luminance value of a polar coordinate-rectangular coordinate conversion result for the polar coordinate value (m, k) in the polar coordinate data which is closest to the center of the pixel. .
Therefore, it is possible to obtain orthogonal coordinate data that approximates the actual image of the optical member 14 to be inspected. The rectangular coordinate data memory 66 (the periphery of the optical member 14 to be inspected).
Since all the orthogonal coordinate values (X, Y) corresponding to within are previously associated with any of the polar coordinate values (m, k),
No luminance value dropout occurs in the rectangular coordinate data.

【０１２２】回転角検出器７１から出力される回転角ア
ドレスが最大値ｋ＝３５９９となり、且つ、出力画素カ
ウンタ７３から出力される画素アドレスが最大値ｍ＝２
０４７となった時点で画像変換完了通知が画像入力制御
部７２から出力されると、画像処理部７０は、直交座標
データメモリ６６内にて合成された直交座標データに基
づいて図形的特徴量を算出し、算出した図形的特徴量を
一定の判断基準値と比較することによって、検査対象光
学部材１４の良否判定を行う。The rotation angle address output from the rotation angle detector 71 has the maximum value k = 3599, and the pixel address output from the output pixel counter 73 has the maximum value m = 2.
When the image conversion completion notification is output from the image input control unit 72 at the point of time when it becomes 047, the image processing unit 70 converts the graphic feature amount based on the rectangular coordinate data synthesized in the rectangular coordinate data memory 66. The quality of the inspection target optical member 14 is determined by calculating and comparing the calculated graphical feature quantity with a predetermined determination reference value.

【０１２３】本第４実施形態におけるその他の作用は、
第１実施形態のものと同じなので、その説明を省略す
る。Other functions of the fourth embodiment are as follows.
The description is omitted because it is the same as that of the first embodiment.

【０１２４】[0124]

【実施形態５】本発明の第５の実施形態は、上述の第４
実施形態と比較して、変換テーブル中の各直交座標値に
ついて、それが有効であるか無効であるかのフラグを設
定し、有効である事を示すフラグが設定されている直交
座標値に関してのみ座標変換を行うことを、特徴として
いる。 ＜光学部材検査装置の構成＞図２９は、本第５実施形態
による制御装置６の構成を示すブロック図である。Embodiment 5 The fifth embodiment of the present invention is the same as the fourth embodiment.
Compared with the embodiment, for each Cartesian coordinate value in the conversion table, set a flag of whether it is valid or invalid, and only for the Cartesian coordinate value for which the flag indicating that it is valid is set It is characterized by performing coordinate transformation. <Structure of Optical Member Inspection Apparatus> FIG. 29 is a block diagram showing the structure of the control apparatus 6 according to the fifth embodiment.

【０１２５】図２９に示すように、本第５実施形態によ
る制御装置６は、変換テーブル７４の構成及び機能，並
びに、画像入力制御部７２から直交座標データメモリ６
６に入力される書き込みパルスの信号路にゲート回路７
５が設けられている点のみ、図２８に示す第４実施形態
の制御装置６と異なる。As shown in FIG. 29, the control device 6 according to the fifth embodiment includes a configuration and a function of a conversion table 74 and an image input control unit 72 which outputs data from a rectangular coordinate data memory 6.
A gate circuit 7 on the signal path of the write pulse
The difference from the control device 6 of the fourth embodiment shown in FIG.

【０１２６】変換テーブル７４は、ＲＯＭ上に構築され
ており、入力されたアドレス（上位アドレスとしての回
転角アドレスｋ，及び、下位アドレスとしての画素アド
レスｍ）によって指定されるエントリに、当該入力アド
レスに対応するデータ（直交座標データメモリ６６に対
する上位アドレスであるＸ座標アドレス，下位アドレス
であるＹ座標アドレス，及び、これら両アドレスが有効
であるか（＝１）無効であるか（＝０）を示すデータ有
効フラグビットＦ）が書き込まれている形式を有する。
以下、この変換テーブルの作成手順を説明する。The conversion table 74 is constructed on a ROM, and stores an input address (a rotation angle address k as an upper address and a pixel address m as a lower address) in the entry designated by the input address. (The X coordinate address as the upper address to the orthogonal coordinate data memory 66, the Y coordinate address as the lower address, and whether these addresses are valid (= 1) or invalid (= 0) The data valid flag bit F) is written.
Hereinafter, a procedure for creating the conversion table will be described.

【０１２７】いま、上述の第３実施形態において説明し
た手順により図２５と同じ表を生成し、生成した表中に
書き込まれているＸ及びＹの組合せをチェックする。そ
して、表中に一箇所のみ記載されているＸ及びＹの組合
せについては、全て有効であると判定し、同じ欄内にデ
ータ有効フラグビットＦ＝１をセットする。また、同一
のＸ及びＹの組合せが複数箇所に記載されている場合に
は、それらＸ及びＹの組合せに対応する四捨五入前の数
値（図２４）を調べる。そして、四捨五入前の数値との
差（Ｘについての差及びＹについての差の合計）が最も
小さくなる位置に記載されているものを、有効な組合せ
と特定し、それが記載されている欄内にデータ有効フラ
グビットＦ＝１を設定する。一方、それ以外の欄には、
データ有効フラグビットＦ＝０（即ち、無効を示すフラ
グ）を設定する。図３０は、このようなデータ有効フラ
グビットＦの設定がなされたテーブルを示す。この図３
０に示す状態にまで加工されたテーブルが、変換テーブ
ル７４としてＲＯＭに書き込まれるのである。Now, the same table as in FIG. 25 is generated by the procedure described in the third embodiment, and the combination of X and Y written in the generated table is checked. Then, it is determined that all combinations of X and Y described in only one place in the table are valid, and the data valid flag bit F = 1 is set in the same column. When the same combination of X and Y is described in a plurality of places, the value before rounding (FIG. 24) corresponding to the combination of X and Y is checked. Then, the one described in the position where the difference from the numerical value before rounding (the sum of the difference for X and the difference for Y) is the smallest is specified as a valid combination, and the combination is specified in the column where the combination is described. Is set to the data valid flag bit F = 1. On the other hand, in the other columns,
The data valid flag bit F = 0 (that is, a flag indicating invalidity) is set. FIG. 30 shows a table in which such data valid flag bit F is set. This figure 3
The table processed to the state shown in FIG. 0 is written in the ROM as the conversion table 74.

【０１２８】以上の構成を有する変換テーブル７４は、
入力されたアドレスに対応するＹ座標アドレス，及び、
Ｘ座標アドレスを直交座標データメモリ６６に入力する
とともに、入力されたアドレスに対応するデータ有効フ
ラグビットＦをゲート回路７５の制御端子に入力する。The conversion table 74 having the above configuration is
A Y coordinate address corresponding to the input address, and
The X coordinate address is input to the orthogonal coordinate data memory 66, and the data valid flag bit F corresponding to the input address is input to the control terminal of the gate circuit 75.

【０１２９】ゲート回路７５は、変換テーブル７４から
データ有効フラグビットＦ＝１が出力されている時，即
ち、有効なＸ座標アドレス及びＹ座標アドレスがこの変
換テーブル７４から出力されている時にのみ、画像入力
制御部７２から出力された書き込みパルスを通過させ
る。一方、ゲート回路７５は、変換テーブル７４からデ
ータ有効フラグビットＦ＝０が出力されている時，即
ち、無効なＸ座標アドレス及びＹ座標アドレスがこの変
換テーブル７４から出力されている時には、画像入力制
御部７２から出力された書き込みパルスを阻止する。The gate circuit 75 operates only when the data valid flag bit F = 1 is output from the conversion table 74, that is, when the valid X coordinate address and Y coordinate address are output from the conversion table 74. The write pulse output from the image input control unit 72 is passed. On the other hand, when the data valid flag bit F = 0 is output from the conversion table 74, that is, when the invalid X coordinate address and Y coordinate address are output from the conversion table 74, the gate circuit 75 outputs the image input signal. The write pulse output from the control unit 72 is blocked.

【０１３０】本第５実施形態のその他の構成は、第４実
施形態のものと同じなので、その説明を省略する。 ＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第５実施
形態によると、検査対象光学部材１４が０．０５°回転
する毎に、回転角検出器７１は、回転角アドレス（変換
テーブル６９の上位アドレス）ｋをインクリメントする
とともに、出力画素カウンタ７３をリセットし、画像入
力制御部７２に角度検出信号を入力する。角度検出信号
を受信した画像入力制御部７２は、撮像装置３の撮像素
子５に対して撮像を行わせる。The other structure of the fifth embodiment is the same as that of the fourth embodiment, and the description is omitted. <Operation of Embodiment> According to the fifth embodiment configured as described above, every time the inspection target optical member 14 rotates 0.05 °, the rotation angle detector 71 sets the rotation angle address (conversion table 69). Is incremented, the output pixel counter 73 is reset, and an angle detection signal is input to the image input control unit 72. The image input control unit 72 that has received the angle detection signal causes the image sensor 5 of the image pickup device 3 to perform image pickup.

【０１３１】撮像素子５は、画像入力制御部７２から読
出開始信号を受信すると、各画素に蓄積されていた電荷
をバッファメモリ３２へパラレルに出力する。バッファ
メモリ３２は、このように転送された各画素の電荷を順
番に出力する。Ａ／Ｄ変換器３１は、このようにしてバ
ッファメモリ３２から各画素毎に出力された電荷を、デ
ジタル信号である輝度値情報に変換し、直交座標データ
メモリ６６に入力する。When receiving the readout start signal from the image input control section 72, the image pickup device 5 outputs the charges accumulated in each pixel to the buffer memory 32 in parallel. The buffer memory 32 sequentially outputs the charges of each pixel transferred in this manner. The A / D converter 31 converts the electric charge output from the buffer memory 32 for each pixel in this manner into luminance value information, which is a digital signal, and inputs the digital signal to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１３２】このとき同時に、出力画素カウンタ７３
は、バッファメモリ３２から電荷が出力された回数を計
数し、計数結果（即ち、直交座標データメモリ６６に入
力されている輝度値情報に対応する画素の番号）を、画
素アドレス（下位アドレス）ｍとして変換テーブル６９
に入力する。すると、変換テーブル７４は、その時点で
入力されているアドレス（上位アドレスとしての回転角
アドレスｋ，下位アドレスとしての画素アドレスｍ）に
対応するＸ座標アドレス及びＹ座標アドレスを直交座標
データメモリ６６に入力するとともに、対応するデータ
有効フラグビットＦをゲート回路７５に入力する。At this time, simultaneously, the output pixel counter 73
Counts the number of times charges are output from the buffer memory 32, and stores the count result (that is, the number of the pixel corresponding to the luminance value information input to the orthogonal coordinate data memory 66) in the pixel address (lower address) m Conversion table 69
To enter. Then, the conversion table 74 stores the X coordinate address and the Y coordinate address corresponding to the address (rotation angle address k as the upper address and pixel address m as the lower address) input at that time in the orthogonal coordinate data memory 66. At the same time, the corresponding data valid flag bit F is input to the gate circuit 75.

【０１３３】ゲート回路７５は、入力されたデータ有効
フラグビットＦが“０”であれば画像入力制御部７２か
らの書き込みパルスを阻止し、入力されたデータ有効フ
ラグビットＦが“１”であれば書き込みパルスを通過さ
せる。If the input data valid flag bit F is "0", the gate circuit 75 blocks the write pulse from the image input control unit 72, and if the input data valid flag bit F is "1". In this case, a write pulse is passed.

【０１３４】その結果、直交座標データメモリ６６は、
書き込みパルスがゲート回路７５を介して入力された時
にのみ、入力されているアドレス（上位アドレスとして
のＸ座標アドレス，下位アドレスとしてのＹ座標アドレ
ス）によって指定されるピクセルに、撮像装置３から入
力された輝度値情報を書き込む。一方、書き込みパルス
がゲート回路７５によって阻止されている時には、撮像
装置３のＡ／Ｄ変換器３１から入力された輝度値情報
は、直交座標データメモリ６６には書き込まれずに破棄
される。As a result, the rectangular coordinate data memory 66 stores
Only when a write pulse is input via the gate circuit 75, the pixel specified by the input address (X coordinate address as the upper address, Y coordinate address as the lower address) is input from the imaging device 3. Write the brightness information. On the other hand, when the write pulse is blocked by the gate circuit 75, the luminance value information input from the A / D converter 31 of the imaging device 3 is discarded without being written to the orthogonal coordinate data memory 66.

【０１３５】ところで、変換テーブル７４内において
は、同一のＸ座標アドレス及びＹ座標アドレスの組合せ
に関して、それが有効であることを示すデータ有効フラ
グビットＦ＝１は、一箇所にしか設定されていない。従
って、直交座標データメモリ６６内の同一ピクセルに輝
度値情報が複数回に亘って上書きされることはない。し
かも、データ有効フラグビットＦ＝１が設定された直交
座標値（Ｘ，Ｙ）に対応する極座標値（ｍ，ｋ）は、そ
れに基づく極座標−直交座標変換演算結果が、最も当該
直交座標値（Ｘ，Ｙ）に近くなるものである。従って、
実際の検査対象光学部材１４の像に近似した直交座標デ
ータを得ることができる。In the conversion table 74, the data valid flag bit F = 1 indicating that the combination of the same X-coordinate address and Y-coordinate address is valid is set in only one place. . Therefore, the same pixel in the orthogonal coordinate data memory 66 is not overwritten with the luminance value information a plurality of times. In addition, the polar coordinate value (m, k) corresponding to the rectangular coordinate value (X, Y) in which the data valid flag bit F = 1 is set is the polar coordinate-to-rectangular coordinate conversion operation based on the polar coordinate value (m, k). X, Y). Therefore,
It is possible to obtain orthogonal coordinate data approximate to the actual image of the optical member 14 to be inspected.

【０１３６】回転角検出器７１から出力される回転角ア
ドレスが最大値ｋ＝３５９９となり、且つ、出力画素カ
ウンタ７３から出力される画素アドレスが最大値ｍ＝２
０４７となった時点で画像変換完了通知が画像入力制御
部７２から出力されると、画像処理部７０は、直交座標
データメモリ６６内にて合成された直交座標データに基
づいて図形的特徴量を算出し、算出した図形的特徴量を
一定の判断基準値と比較することによって、検査対象光
学部材１４の良否判定を行う。The rotation angle address output from the rotation angle detector 71 has the maximum value k = 3599, and the pixel address output from the output pixel counter 73 has the maximum value m = 2.
When the image conversion completion notification is output from the image input control unit 72 at the point of time when it becomes 047, the image processing unit 70 converts the graphic feature amount based on the rectangular coordinate data synthesized in the rectangular coordinate data memory 66. The quality of the inspection target optical member 14 is determined by calculating and comparing the calculated graphical feature quantity with a predetermined determination reference value.

【０１３７】本第５実施形態におけるその他の作用は、
第１実施形態のものと同じなので、その説明を省略す
る。The other operation of the fifth embodiment is as follows.
The description is omitted because it is the same as that of the first embodiment.

【０１３８】[0138]

【発明の効果】以上のように構成された本発明の光学部
材検査装置によれば、少ない処理ステップ数と処理時間
で座標変換を行うことができる。According to the optical member inspection apparatus of the present invention configured as described above, coordinate conversion can be performed with a small number of processing steps and processing time.

【０１３９】また、請求項１３，１４，又は１６の光学
部材検査装置によれば、座標変換後の画像データに輝度
値の欠落を生じることなく座標変換を行うことができ
る。また、請求項１０，１３，又は１４の光学部材検査
装置によれば、座標変換演算によって算出される直交座
標値が画像メモリ中のピクセルの中心に最も近くなる輝
度値を当該ピクセルに書き込むことができる。Further, according to the optical member inspection apparatus of the present invention, it is possible to perform the coordinate conversion without causing a luminance value loss in the image data after the coordinate conversion. According to the optical member inspection apparatus of the present invention, it is possible to write into the pixel the luminance value at which the orthogonal coordinate value calculated by the coordinate conversion operation is closest to the center of the pixel in the image memory. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明の第１の実施の形態による光学部材検
査装置の概略構成を示す側面断面図FIG. 1 is a side sectional view showing a schematic configuration of an optical member inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図２】 図１の検査対象光学部材等を撮像装置の位置
から見た平面図FIG. 2 is a plan view of the inspection target optical member and the like in FIG. 1 viewed from a position of an imaging device.

【図３】 図１の制御装置の内部回路構成を示すブロッ
ク図FIG. 3 is a block diagram showing an internal circuit configuration of the control device of FIG. 1;

【図４】 検査対象光学部材に光学的欠陥がない場合に
おける光の進行状態を示す図FIG. 4 is a diagram showing a light traveling state when an optical member to be inspected has no optical defect;

【図５】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合に
おける光の進行状態を示す図FIG. 5 is a diagram showing a traveling state of light when the inspection target optical member has an optical defect.

【図６】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合に
撮像装置から出力される画像データの輝度分布を示すグ
ラフFIG. 6 is a graph showing a luminance distribution of image data output from an imaging device when an optical member to be inspected has an optical defect;

【図７】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部材
の相対位置と極座標データ格納領域に格納された極座標
データとの関係を示す図FIG. 7 is a diagram showing a relationship between relative positions of a light shielding plate, an imaging target area, and an inspection target optical member and polar coordinate data stored in a polar coordinate data storage area;

【図８】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部材
の相対位置と極座標データ格納領域に格納された極座標
データとの関係を示す図FIG. 8 is a diagram showing a relationship between relative positions of a light shielding plate, an imaging target area, and an inspection target optical member and polar coordinate data stored in a polar coordinate data storage area.

【図９】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部材
の相対位置と極座標データ格納領域に格納された極座標
データとの関係を示す図FIG. 9 is a diagram showing a relationship between relative positions of a light-shielding plate, an imaging target area, and an inspection target optical member and polar coordinate data stored in a polar coordinate data storage area.

【図１０】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と極座標データ格納領域に格納された極座
標データとの関係を示す図FIG. 10 is a diagram showing a relationship between relative positions of a light-shielding plate, an imaging target area, and an inspection target optical member, and polar coordinate data stored in a polar coordinate data storage area.

【図１１】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と極座標データ格納領域に格納された極座
標データとの関係を示す図FIG. 11 is a diagram showing a relationship between relative positions of a light shielding plate, an imaging target area, and an inspection target optical member, and polar coordinate data stored in a polar coordinate data storage area.

【図１２】 極座標系から直交座標系への座標変換方法
を示す図FIG. 12 is a diagram showing a coordinate conversion method from a polar coordinate system to a rectangular coordinate system;

【図１３】 図３の極座標データ格納領域及び直交座標
データ格納領域に格納されている画像データを示すメモ
リマップFIG. 13 is a memory map showing image data stored in the polar coordinate data storage area and the rectangular coordinate data storage area in FIG. 3;

【図１４】 擬似的な画像データの増加による輝度値情
報の穴埋めを示す説明図FIG. 14 is an explanatory diagram illustrating filling of luminance value information due to an increase in pseudo image data.

【図１５】 変換テーブルの作成手順を示す図FIG. 15 is a diagram showing a procedure for creating a conversion table.

【図１６】 図３の変換テーブルの構造を示す図FIG. 16 is a diagram showing a structure of a conversion table in FIG. 3;

【図１７】 図３のＣＰＵにて実行される制御処理を示
すフローチャートFIG. 17 is a flowchart showing control processing executed by the CPU of FIG. 3;

【図１８】 図１７のＳ０２にて実行される座標変換行
程処理サブルーチンを示すフローチャートFIG. 18 is a flowchart showing a coordinate conversion process subroutine executed in S02 of FIG. 17;

【図１９】 本発明の第１実施形態による作用の説明図FIG. 19 is an explanatory diagram of an operation according to the first embodiment of the present invention.

【図２０】 本発明の第２の実施の形態における制御装
置の内部回路構成を示すブロック図FIG. 20 is a block diagram showing an internal circuit configuration of a control device according to the second embodiment of the present invention.

【図２１】 図２０のＣＰＵにて実行される制御処理を
示すフローチャートFIG. 21 is a flowchart showing control processing executed by the CPU of FIG. 20;

【図２２】 図２１のＳ２１にて実行される座標変換行
程処理サブルーチンを示すフローチャートFIG. 22 is a flowchart showing a coordinate transformation process subroutine executed in S21 of FIG. 21;

【図２３】 本発明の第３の実施の形態における制御装
置の内部回路構成を示すブロック図FIG. 23 is a block diagram showing an internal circuit configuration of a control device according to a third embodiment of the present invention.

【図２４】 変換テーブルの作成手順を示す図FIG. 24 is a diagram showing a procedure for creating a conversion table.

【図２５】 変換テーブルの作成手順を示す図FIG. 25 is a diagram showing a procedure for creating a conversion table.

【図２６】 変換テーブルの作成手順を示す図FIG. 26 is a diagram showing a procedure for creating a conversion table.

【図２７】 図２３の変換テーブルの構造を示す図FIG. 27 is a diagram showing the structure of the conversion table in FIG. 23;

【図２８】 本発明の第４の実施の形態における制御装
置の内部回路構成を示すブロック図FIG. 28 is a block diagram showing an internal circuit configuration of a control device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図２９】 本発明の第５の実施の形態における制御装
置の内部回路構成を示すブロック図FIG. 29 is a block diagram showing an internal circuit configuration of a control device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図３０】 図２９の変換テーブルの構造を示す図FIG. 30 is a diagram showing the structure of the conversion table of FIG. 29;

【図３１】 先願の光学部材検査装置の概略図FIG. 31 is a schematic view of an optical member inspection apparatus of the prior application.

【図３２】 先願における座標変換の説明図FIG. 32 is an explanatory diagram of coordinate conversion in the prior application.

【図３３】 ラインセンサの撮像周期の説明図FIG. 33 is an explanatory diagram of an imaging cycle of a line sensor.

【図３４】 直交座標データにおける輝度値抜け状態を
示す図FIG. 34 is a diagram showing a luminance value missing state in rectangular coordinate data.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

３ 撮像装置 ４ 撮像レンズ ５ 撮像素子 ６ 制御装置 ８ 駆動モータ １０ 読取装置 １４ 検査対象光学部材 １５ ホルダ ６０ ＣＰＵ ６２ ホストメモリ ６２ａ 全極座標データ格納領域 ６２ｂ 直交座標データ格納領域 ６２ｃ 変換テーブル格納領域 ６２ｄ 極座標データ格納領域 ６３ 回転角検出回路 ６５ 極座標データメモリ ６６ 直交座標データメモリ ６７ 回転角カウンタ ６８ 画素カウンタ ６９ 変換テーブル ７１ 回転角検出器 ７３ 出力画素カウンタ ７４ 変換テーブル REFERENCE SIGNS LIST 3 imaging device 4 imaging lens 5 imaging element 6 control device 8 drive motor 10 reading device 14 inspection target optical member 15 holder 60 CPU 62 host memory 62a all polar coordinate data storage region 62b orthogonal coordinate data storage region 62c conversion table storage region 62d polar coordinate data Storage area 63 Rotation angle detection circuit 65 Polar coordinate data memory 66 Cartesian coordinate data memory 67 Rotation angle counter 68 Pixel counter 69 Conversion table 71 Rotation angle detector 73 Output pixel counter 74 Conversion table

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 信一 東京都板橋区前野町２丁目36番９号旭光学 工業株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Shinichi Suzuki Asahi Kogaku Kogyo Co., Ltd. 2-36-9 Maenocho, Itabashi-ku, Tokyo

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】検査対象光学部材の光学的欠陥を検出する
光学部材検査装置であって、 撮像レンズと、 この撮像レンズによって形成された検査対象光学部材の
像を繰り返し撮像するために複数の画素を一方向に並べ
てなるラインセンサと、 前記検査対象光学部材の像と前記ラインセンサとを相対
回転させる回転手段と、 前記ラインセンサから出力された前記各画素に対応する
輝度値からなる画像データを入力する入力手段と、 直交座標によってその位置が特定される複数のピクセル
をマトリックス状に並べてなる画像メモリと、 この画像メモリの各ピクセルを特定する個々の直交座標
値に対して、前記検査対象光学部材の像及び前記ライン
センサの相対角度と前記画素の位置との組み合わせを一
つのみ対応させた変換テーブルと、 前記入力手段によって入力された各輝度値を出力した時
における前記検査対象光学部材の像及び前記ラインセン
サの相対角度を特定する角度特定手段と、 前記入力手段によって入力された各輝度値に対応する画
素の位置を特定する画素位置特定手段と、 前記角度特定手段によって特定された相対角度及び前記
画素位置特定手段によって特定された画素の位置に基づ
いて前記変換テーブルを検索して、対応する直交座標値
を読み出す検索手段と、 前記入力手段によって入力された各輝度値を、前記検索
手段によって読み出された直交座標値に対応する前記画
像メモリ中のピクセルへ書き込む書込手段とを備えたこ
とを特徴とする光学部材検査装置。An optical member inspection apparatus for detecting an optical defect of an inspection target optical member, comprising: an imaging lens; and a plurality of pixels for repeatedly imaging an image of the inspection target optical member formed by the imaging lens. A line sensor that is arranged in one direction, a rotation unit that relatively rotates the image of the optical member to be inspected and the line sensor, and image data that is output from the line sensor and that includes a luminance value corresponding to each pixel. Input means for inputting, an image memory in which a plurality of pixels whose positions are specified by rectangular coordinates are arranged in a matrix, and the inspection target optics for each rectangular coordinate value specifying each pixel of the image memory. A conversion table in which only one combination of the image of the member, the relative angle of the line sensor, and the position of the pixel is associated, and Angle specifying means for specifying the relative angle between the image of the optical member to be inspected and the line sensor when each of the luminance values input by the means is output; and a pixel corresponding to each of the luminance values input by the input means. A pixel position specifying means for specifying a position, and searching the conversion table based on the relative angle specified by the angle specifying means and the position of the pixel specified by the pixel position specifying means, to obtain a corresponding orthogonal coordinate value. Search means for reading, and writing means for writing each luminance value input by the input means to a pixel in the image memory corresponding to the rectangular coordinate value read by the search means. Optical member inspection device. 【請求項２】検査対象光学部材の光学的欠陥を検出する
光学部材検査装置であって、 撮像レンズと、 この撮像レンズによって形成された検査対象光学部材の
像を繰り返し撮像するために複数の画素を一方向に並べ
てなるラインセンサと、 前記検査対象光学部材の像と前記ラインセンサとを相対
回転させる回転手段と、 前記ラインセンサから出力された前記各画素に対応する
輝度値からなる画像データを入力する入力手段と、 直交座標によってその位置が特定される複数のピクセル
をマトリックス状に並べてなる画像メモリと、 この画像メモリの各ピクセルを特定する個々の直交座標
値に対して、前記検査対象光学部材の像及び前記ライン
センサの相対角度と前記画素の位置との組み合わせを一
つのみ対応させた変換テーブルと、 この変換テーブルから、相対角度と前記画素の位置との
組み合せ，及びこの組み合わせに対応する前記直交座標
値を、夫々一つ取り出す取出手段と、 前記入力手段から入力された画像データから、前記取出
手段によって取り出された相対角度と前記画素の位置と
の組み合せに対応する輝度値を読み出す読出手段と、 この読出手段によって読み出された輝度値を前記取出手
段によって取り出された前記直交座標値に対応する前記
画像メモリ中のピクセルへ書き込む書込手段とを備えた
ことを特徴とする光学部材検査装置。2. An optical member inspection apparatus for detecting an optical defect of an inspection target optical member, comprising: an imaging lens; and a plurality of pixels for repeatedly imaging an image of the inspection target optical member formed by the imaging lens. A line sensor that is arranged in one direction, a rotation unit that relatively rotates the image of the optical member to be inspected and the line sensor, and image data that is output from the line sensor and that includes a luminance value corresponding to each pixel. Input means for inputting, an image memory in which a plurality of pixels whose positions are specified by rectangular coordinates are arranged in a matrix, and the inspection target optics for each rectangular coordinate value specifying each pixel of the image memory. A conversion table in which only one combination of the image of the member, the relative angle of the line sensor, and the position of the pixel is associated, and Extracting means for extracting a combination of the relative angle and the position of the pixel from the table, and the rectangular coordinate value corresponding to the combination, respectively; and extracting means for extracting the image data inputted from the input means. Reading means for reading a luminance value corresponding to a combination of the obtained relative angle and the position of the pixel; and the image corresponding to the rectangular coordinate values extracted by the extracting means. An optical member inspection device, comprising: a writing unit that writes data to a pixel in a memory. 【請求項３】前記画像メモリに書き込まれた前記検査対
象光学部材全体に対応する画像データの図形的特徴量を
測定する図形的特徴量測定手段と、 前記図形的特徴量が所定の判定基準値を超えたか否かを
判定する判定手段とを更に備えたことを特徴とする請求
項１又は２記載の光学部材検査装置。3. A graphic feature quantity measuring means for measuring a graphic feature quantity of image data corresponding to the whole optical member to be inspected written in the image memory, wherein the graphic feature quantity is a predetermined judgment reference value. The optical member inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a determination unit configured to determine whether or not the number has exceeded the limit. 【請求項４】前記入力手段は、前記ラインセンサが前記
検査対象光学部材の像を繰り返し撮像することによって
このラインセンサから出力された画像データを各撮像毎
に行単位で順番に格納する一時格納メモリを有するとと
もに、 前記読出手段は、前記取出手段によって取り出された相
対角度に対応する行，及び前記取出手段によって取り出
された前記画素の位置に対応する列によって特定される
ピクセルから前記輝度値を読み出すことを特徴とする請
求項２記載の光学部材検査装置。4. The temporary storage for storing image data output from the line sensor in order for each image pickup in a row unit by repeatedly picking up an image of the optical member to be inspected by the line sensor. A readout unit configured to read the luminance value from a pixel specified by a row corresponding to the relative angle extracted by the extraction unit and a column corresponding to the position of the pixel extracted by the extraction unit; 3. The optical member inspection device according to claim 2, wherein the optical member is read. 【請求項５】前記書込手段は、前記検査対象光学部材全
体に対応する画像データの前記一時格納メモリへの格納
が完了した後に、この一時格納メモリに格納された画像
データを構成する各輝度値を、前記画像メモリに書き込
むことを特徴とする請求項４記載の光学部材検査装置。5. The image processing apparatus according to claim 1, wherein after the image data corresponding to the entire optical member to be inspected has been stored in the temporary storage memory, each of the brightnesses constituting the image data stored in the temporary storage memory is provided. The optical member inspection apparatus according to claim 4, wherein a value is written to the image memory. 【請求項６】前記ラインセンサは、その画素の列を前記
撮像レンズの光軸と直交させた状態で固定されており、 前記回転手段は、前記検査対象光学部材を前記撮像レン
ズの光軸を中心に回転させ、 前記角度特定手段は、前記回転手段によって回転された
検査対象光学部材の回転角を検知するエンコーダを有す
ることを特徴とする請求項１記載の光学部材検査装置。6. The line sensor is fixed in a state where a row of pixels thereof is orthogonal to an optical axis of the imaging lens, and the rotating means moves the optical member to be inspected to an optical axis of the imaging lens. The optical member inspection apparatus according to claim 1, wherein the rotation is performed about a center, and the angle identification unit includes an encoder that detects a rotation angle of the inspection target optical member rotated by the rotation unit. 【請求項７】前記画素位置特定手段は、前記ラインセン
サから順番に出力される各輝度値をカウントするカウン
タを有することを特徴とする請求項１記載の光学部材検
査装置。7. The optical member inspection apparatus according to claim 1, wherein said pixel position specifying means has a counter for counting each luminance value sequentially output from said line sensor. 【請求項８】前記変換テーブルは、前記検査対象光学部
材の像に相似した画像データが前記画像メモリ内に書き
込まれるように、各直交座標値に対して前記相対角度と
前記画素の位置との組み合わせを対応させたことを特徴
とする請求項１又は２記載の光学部材検査装置。8. The conversion table according to claim 1, wherein the relative angle and the position of the pixel with respect to each rectangular coordinate value are written so that image data similar to the image of the inspection target optical member is written in the image memory. The optical member inspection device according to claim 1, wherein the combinations correspond to each other. 【請求項９】前記変換テーブルは、前記相対角度と前記
画素の位置との組み合わせに対して所定の極座標−直交
座標変換演算を施して算出された値に最も近い直交座標
値を、当該組み合わせに対応させていることを特徴とす
る請求項８記載の光学部材検査装置。9. A conversion table according to claim 1, wherein said conversion unit calculates a rectangular coordinate value closest to a value calculated by performing a predetermined polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation on a combination of said relative angle and said pixel position. 9. The optical member inspection device according to claim 8, wherein the inspection is performed. 【請求項１０】前記変換テーブルは、前記極座標−直交
座標変換演算の結果が前記直交座標値に最も近くなる前
記相対角度と前記画素の位置との組み合わせのみに対し
て、前記直交座標値を対応させていることを特徴とする
請求項９記載の光学部材検査装置。10. The conversion table according to claim 1, wherein the rectangular coordinate value corresponds to only the combination of the relative angle and the position of the pixel at which the result of the polar coordinate to rectangular coordinate conversion operation is closest to the rectangular coordinate value. The optical member inspection apparatus according to claim 9, wherein the inspection is performed. 【請求項１１】前記変換テーブルは、前記相対角度と前
記画素の位置との組み合わせのうち、前記画像メモリの
各ピクセルを特定する個々の直交座標値に対応しないも
のについては、スタック値を対応させていることを特徴
とする請求項８乃至１０の何れかに記載の光学部材検査
装置。11. The conversion table according to claim 1, wherein, among combinations of the relative angle and the position of the pixel, those that do not correspond to individual rectangular coordinate values for specifying each pixel of the image memory correspond to stack values. The optical member inspection device according to any one of claims 8 to 10, wherein: 【請求項１２】前記変換テーブルは、前記相対角度と前
記画素の位置との全ての組み合わせを何れかの前記直交
座標値に対応させるとともに、各直交座標値に対応する
前記相対角度と前記画素の位置との組み合わせが複数あ
る場合には、一つの有効な組み合わせ以外の全ての組み
合わせに対して無効を示すフラグを付しており、 前記書込手段は、前記角度特定手段によって特定された
相対角度及び前記画素位置特定手段によって特定された
画素の位置の組み合わせについて、前記変換テーブル内
において無効を示すフラグが付されていない場合に限
り、前記検索手段によって読み出された直交座標値に対
応する前記画像メモリ中のピクセルへ、前記入力手段に
よって入力された輝度値を書き込むことを特徴とする請
求項８又は１１記載の光学部材検査装置。12. The conversion table according to claim 1, wherein all combinations of the relative angle and the position of the pixel correspond to any one of the rectangular coordinate values, and the relative angle corresponding to each rectangular coordinate value and a value of the pixel. When there are a plurality of combinations with the position, a flag indicating invalidity is added to all combinations other than one valid combination, and the writing unit sets the relative angle specified by the angle specifying unit. And the combination of the pixel positions specified by the pixel position specifying means, as long as the flag indicating invalid in the conversion table is not attached, corresponding to the rectangular coordinate values read by the search means. 12. The optical device according to claim 8, wherein a luminance value input by the input unit is written to a pixel in an image memory. Member inspection device. 【請求項１３】前記変換テーブルは、前記相対角度と前
記画素の位置との何れの組み合わせにも対応していない
直交座標値については、前記極座標−直交座標変換演算
の結果が当該直交座標値に最も近くなる前記相対角度と
前記画素の位置との組み合わせを対応させたことを特徴
とする請求項９記載の光学部材検査装置。13. The conversion table according to claim 1, wherein for a rectangular coordinate value that does not correspond to any combination of the relative angle and the position of the pixel, the result of the polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation is converted to the rectangular coordinate value. 10. The optical member inspection apparatus according to claim 9, wherein a combination of the closest relative angle and the position of the pixel is associated with each other. 【請求項１４】前記変換テーブルは、前記相対角度と前
記画素の位置との何れの組み合わせにも対応していない
直交座標値については、何れの直交座標値にも対応して
いない前記相対角度と前記画素の位置との組み合わせの
うち、前記極座標−直交座標変換演算の結果が当該直交
座標値に最も近くなる組み合わせを対応させたことを特
徴とする請求項９記載の光学部材検査装置。14. The conversion table according to claim 1, wherein, for a rectangular coordinate value not corresponding to any combination of the relative angle and the position of the pixel, the relative angle not corresponding to any rectangular coordinate value. 10. The optical member inspection apparatus according to claim 9, wherein, among the combinations with the positions of the pixels, a combination in which the result of the polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation is closest to the rectangular coordinate value is associated. 【請求項１５】前記ラインセンサは、その画素の列を前
記撮像レンズの光軸と直交させた状態で固定されてお
り、 前記回転手段は、前記検査対象光学部材を前記撮像レン
ズの光軸を中心に回転させることを特徴とする請求項２
記載の光学部材検査装置。15. The line sensor is fixed in a state where a row of pixels thereof is orthogonal to an optical axis of the imaging lens, and the rotating means moves the optical member to be inspected to an optical axis of the imaging lens. 3. The apparatus according to claim 2, wherein the rotation is performed about a center.
An optical member inspection device according to claim 1. 【請求項１６】前記変換テーブルは、前記入力手段によ
って入力された各輝度値を出力した時における前記検査
対象光学部材の像及び前記ラインセンサの相対角度以外
の角度については、当該角度と前記画素の位置との組み
合わせに対して前記所定の極座標−直交座標変換演算を
施し、その演算の結果得られた値に最も近い直交座標値
を、当該角度よりも大きく且つ最も近い前記相対角度に
対応させたことを特徴とする請求項９記載の光学部材検
査装置。16. An angle other than a relative angle between the image of the optical member to be inspected and the line sensor when each luminance value input by the input means is output, and the conversion table includes the angle and the pixel value. The predetermined polar coordinate-rectangular coordinate conversion operation is performed on the combination with the position, and the rectangular coordinate value closest to the value obtained as a result of the operation is made to correspond to the relative angle larger than and closest to the angle. The optical member inspection device according to claim 9, wherein:
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6434274B1 (en) * 1997-10-28 2002-08-13 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Image capturing device provided with focusing system
JP2017003412A (en) * 2015-06-10 2017-01-05 富士通株式会社 Lens inspection apparatus and lens inspection method

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