JP3406795B2 - Optical member inspection device - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、レンズ等の光学部
材の形状異常等の光学的欠陥を検出するための光学部材
検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical member inspection device for detecting an optical defect such as an abnormal shape of an optical member such as a lens.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レンズ，プリズム等の光学部材は、入射
した光束が規則正しく屈折したり、平行に進行したり、
一点又は線状に収束したり発散するように設計されてい
る。しかしながら、光学部材の形成時において糸くず等
が光学部材内に混入してしまっていたり（いわゆる「ケ
バ」）、成形後の人的取り扱いによって光学部材の表面
上にキズ等が生じていたりゴミが付着していると、入射
した光束が乱れてしまうので、所望の性能を得ることが
できなくなる。2. Description of the Related Art In optical members such as lenses and prisms, an incident light beam is regularly refracted or travels in parallel,
It is designed to converge or diverge in a single point or line. However, when the optical member is formed, lint or the like is mixed in the optical member (so-called “fluff”), and scratches or dust are generated on the surface of the optical member due to human handling after molding. If adhered, the incident light flux will be disturbed, and it will not be possible to obtain the desired performance.
【０００３】そのため、従来より、これら光学的な欠陥
を検出するために、蛍光灯やスライドプロジェクタ用光
源等を用いた人間の目による官能検査が行われていた。
蛍光灯やスライドプロジェクタ用光源を用いた官能検査
とは、蛍光灯やスライドプロジェクタ用光源から発せら
れた光を光学部材に当てるとともに光路外から光学部材
の表面を観察し、光の反射，透過，屈折等を考慮しつ
つ、欠陥部分の輝度を背景の明るさと比較して認識する
というものである。Therefore, conventionally, in order to detect these optical defects, a sensory test with human eyes using a fluorescent lamp, a light source for a slide projector or the like has been performed.
A sensory test using a fluorescent lamp or a light source for a slide projector means that the light emitted from the light source for a fluorescent lamp or a slide projector is applied to an optical member and the surface of the optical member is observed from outside the optical path to reflect, transmit, The brightness of the defective portion is compared with the brightness of the background to be recognized while taking into consideration refraction and the like.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
人間の目による官能検査では、良品と不良品との客観的
な判定基準がない。従って、複数の人間によって検査を
行う場合、検査する人毎に良否の判定基準がばらついて
しまうので、検査する人によっては、良品の中に不良品
を含めてしまって製品全体の品質を落としてしまった
り、良品を不良品として破棄して無駄を生じさせてしま
っていた。また、同一人が検査する場合であっても、慣
れが生じるにつれて判定基準が厳しくなる傾向があり、
良品を不良品と判定してしまうことが多々あった。However, in these sensory tests by the human eyes, there is no objective criterion for judging good products and defective products. Therefore, when inspecting by multiple people, the quality judgment criteria will vary from person to person. It was lost, and good products were discarded as defective products, resulting in waste. In addition, even when the same person is inspecting, the judgment criteria tend to become stricter as the habit gets used,
In many cases, good products were judged to be defective.
【０００５】そこで、本発明は、以上の問題に鑑み、客
観的基準に従って良品と不良品との合否判定を行うこと
ができる光学部材検査装置を提供することを課題とす
る。Therefore, in view of the above problems, it is an object of the present invention to provide an optical member inspection apparatus capable of determining whether a good product is a good product or a defective product according to an objective standard.
【０００６】各請求項記載の発明は、上記課題を解決す
るためになされたものである。請求項１記載の発明は、
検査対象光学部材の光学的欠陥を検出する光学部材検査
装置であって、撮像レンズと、この撮像レンズに関して
前記検査対象光学部材と略共役な位置において、この撮
影レンズの光軸に直交する一定方向にその走査方向が延
びるように配置されたラインセンサと、前記検査対象光
学部材を挟んで前記撮像レンズとは反対側の位置に配置
されてこの検査対象光学部材に向けて照明光を拡散する
拡散板と、前記一定方向にその長手方向を向けて配置さ
れた帯状の形状を有し、前記検査対象部材に光学的欠陥
がないとしたならば前記拡散板から発して前記検査対象
光学部材を透過して前記撮像レンズに入射した後に前記
撮像素子に入射することになる光を、前記検査光学部材
と前記拡散板との間で遮る遮光手段と、前記ラインセン
サによって撮像された画像中の前記光学部材の光学的欠
陥を示す部位を数値化する数値化手段と、この数値化手
段によって数値化された数値が所定の判定基準値を超え
たか否かを判定する判定手段とを、備えたことを特徴と
する。The invention described in each claim is made to solve the above problems. The invention according to claim 1 is
An optical member inspection device for detecting an optical defect of an optical member to be inspected, comprising: an imaging lens, and a fixed direction orthogonal to an optical axis of the taking lens at a position substantially conjugate with the optical member to be inspected with respect to the imaging lens. A line sensor disposed so that its scanning direction extends, and a diffusion that is disposed at a position opposite to the image pickup lens with the inspection target optical member interposed therebetween and diffuses illumination light toward the inspection target optical member. The plate and the longitudinal direction of the plate
Has a strip-shaped shape and has optical defects on the inspection target member.
The light made incident on the imaging device after entering the imaging lens passes through the inspection target optical member originating from the diffusion plate if it was not, and the inspection optical member and the diffuser plate a shading means that shielding between the Rainsen
Numeralizing means for quantifying a portion showing an optical defect of the optical member in the image captured by the image sensor, and determining whether or not the numerical value quantified by the quantifying means exceeds a predetermined determination reference value. And a determination means for performing the determination.
【０００７】このように構成された光学部材検査装置に
よると、拡散板によって拡散された照明光は、検査対象
光学部材を透過して撮像レンズに入射した後にラインセ
ンサに入射する光の光路上において遮光手段によって遮
光されるので、前記光路の外側からのみ、前記検査対象
光学部材における前記光が透過する箇所，即ち、ライン
センサによって撮影される撮影対象領域を、照射する。
従って、この拡散板から検査対象光学部材の撮影対象領
域へ入射した照明光は、この検査対象光学部材の撮影対
象領域に光学的欠陥が無い限り、撮像レンズに入射した
後に撮像素子に入射することはない。そのため、撮像素
子によって撮像される画像は、全体的に暗い。これに対
して、検査対象光学部材における撮像対象領域に光学的
欠陥がある場合には、拡散板からこの撮像対象領域に入
射した照明光が、この光学的欠陥によって拡散する。そ
して、拡散光の一部が撮像レンズに入射すると、この拡
散光が撮像素子上に収束するので、光学的欠陥の明るい
像が撮像素子によって撮像される。従って、撮像素子に
よって撮像される画像中に光学的欠陥に対応した明部が
表れるのである。According to the optical member inspection apparatus having the above-mentioned structure, the illumination light diffused by the diffusion plate is to be inspected.
After passing through the optical member and entering the imaging lens, the line
The light is blocked by the light blocking means on the optical path of the light entering the sensor.
Since it is illuminated, the inspection target is only from the outside of the optical path.
A portion of the optical member through which the light is transmitted, that is, a line
The area to be imaged by the sensor is illuminated.
Thus, the imaging target territory of the inspection target optical member from the diffusion plate
The illumination light that has entered the region is the image pickup pair of the optical member to be inspected .
As long as there is no optical defect in the image area , it does not enter the image pickup element after entering the image pickup lens. Therefore, the image captured by the image sensor is dark as a whole. On the other hand, when there is an optical defect in the imaging target area of the inspection target optical member, the illumination light that has entered the imaging target area from the diffusion plate diffuses due to the optical defect. Then, when a part of the diffused light enters the image pickup lens, the diffused light converges on the image pickup element, so that a bright image of an optical defect is picked up by the image pickup element. Therefore, a bright portion corresponding to the optical defect appears in the image captured by the image sensor.
【０００８】本発明における検査対象光学部材は、レン
ズ，プリズム，平行平面板等の透明な光学部材を含む。
従って、検査対象光学部材は、ガラスからなるものも樹
脂成形によるものも含む。光学部材の光学的欠陥とは、
光学部材の表面の欠陥や光学部材内部の欠陥を言う。光
学部材の表面の欠陥としては、表面のキズや汚れやゴ
ミ，等が列挙される。また、光学部材の内部の欠陥とし
ては、光学部材内部のケバやクラック等が列挙される。The optical members to be inspected in the present invention include transparent optical members such as lenses, prisms and plane parallel plates.
Therefore, the optical members to be inspected include those made of glass and those made of resin. What is an optical defect of an optical member?
Defects on the surface of an optical member or internal defects of an optical member. As the surface defects of the optical member, scratches, dirt, dust, etc. on the surface are listed. Further, as defects inside the optical member, fluff, cracks and the like inside the optical member are listed.
【０００９】数値化手段は、画像中における光学部材の
光学的欠陥を示す明所の面積を算出しても良いし、幅を
算出しても良いし、輝度を算出しても良いし、これらを
掛け合わせた値を算出しても良い。[0009] The number digitizing means may calculate the area of the photopic showing the optical defects of the optical member in an image may be calculated width may be calculated luminance, You may calculate the value which multiplied these.
【００１０】判定手段は、数値化手段によって数値化さ
れる数値が複数種類ある場合には、その全てを判定基準
値と比較しても良いし光学部材の種類に応じて定まる一
部の種類の数値のみを比較しても良い。When there are plural kinds of numerical values numerically converted by the numerical converting means, the judging means may compare all the numerical values with the judgment reference value, or a part of the kinds determined depending on the kind of the optical member. You may compare only the numerical value.
【００１１】[0011]
【００１２】拡散板は、背後から照明される透光部材で
あっても良いし、表面側から照明される反射部材であっ
ても良い。遮光手段は、検査対象光学部材を透過した光
が直接撮像素子に入射するのを防止するためのものであ
るので、撮像素子に入射する光束の周縁光線によって囲
まれる範囲を遮光しさえすれば、拡散板と検査対象光学
部材との間のどこに配置されても良い。また、その平面
形状は、少なくとも上述の周縁光束によって囲まれる範
囲を遮光し得る形状であれば良い。従って、遮光手段の
平面形状は、撮像素子がラインセンサであるので幅狭な
帯状の形状であるが、かりに、撮像素子がエリアセンサ
である場合にはエリアセンサと略同型の矩形形状とな
る。従って、エリアセンサの場合には、エリアセンサの
面積を大きくして解像度を高くすればするほど遮光手段
の幅が広くなるのに対し、ラインセンサの場合には、ラ
インセンサの長さを長くして解像度を高くしても遮光手
段の幅には変わりがない。遮光手段の幅が狭いと云う事
は、検査対象光学部材の欠陥個所に当たる照明光の入射
角が小さくなると云う事なので、欠陥個所にて拡散した
照明光が撮像レンズに入射する可能性が高くなるのであ
る。The diffusion plate may be a translucent member that is illuminated from behind or a reflecting member that is illuminated from the front side. Since the light shielding means is for preventing the light transmitted through the optical member to be inspected from directly entering the image pickup device, as long as it shields the range surrounded by the marginal rays of the light flux entering the image pickup device, It may be arranged anywhere between the diffusion plate and the optical member to be inspected. Further, the planar shape may be any shape that can shield at least the range surrounded by the above-mentioned marginal light flux. Therefore, the planar shape of the light-shielding means is a narrow band shape because the image sensor is a line sensor, but when the image sensor is an area sensor, it has a rectangular shape that is substantially the same as the area sensor. Therefore, in the case of an area sensor, the larger the area of the area sensor and the higher the resolution, the wider the width of the light shielding means, whereas in the case of the line sensor, the length of the line sensor is increased. Even if the resolution is increased by this, the width of the light shielding means remains unchanged. The fact that the width of the light shielding means is narrow means that the incident angle of the illumination light that hits the defective portion of the inspection target optical member becomes small, so that the possibility that the illumination light diffused at the defective portion enters the imaging lens increases. Of.
【００１３】この遮光手段は、拡散板の表面に直接印刷
された遮光パターンであっても良いし、板状の不透明部
材を適宜切り出して拡散板に貼り付けたものであっても
良いし、拡散板とは別個の透明部材表面上に遮光パター
ンを印刷したものであっても良い。The light-shielding means may be a light-shielding pattern directly printed on the surface of the diffusion plate, or may be a plate-shaped opaque member cut out as appropriate and attached to the diffusion plate. A light-shielding pattern may be printed on the surface of a transparent member that is separate from the plate.
【００１４】[0014]
【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１の撮影レ
ンズの倍率は前記検査対象光学部材の全幅が前記ライン
センサによって撮像される様に調整されていることで、
特定したものである。According to a second aspect of the present invention, the magnification of the taking lens of the first aspect is adjusted so that the full width of the inspection target optical member is imaged by the line sensor.
It has been specified.
【００１６】[0016]
【００１７】請求項３記載の発明は、請求項２におい
て、検査対象光学部材を前記ラインセンサの走査方向と
直交する方向へ移動させる移動手段を更に備えるととも
に、ラインセンサが前記検査対象光学部材をその各位置
で撮像して１ラインづつの画像データを出力すること
で、特定したものである。このように構成されれば、上
述した理由によってラインセンサが撮像素子として採用
された場合であっても、検査対象光学部材の全域にわた
って検査を行うことが可能になる。According to a third aspect of the present invention, in addition to the second aspect , there is further provided a moving means for moving the inspection target optical member in a direction orthogonal to the scanning direction of the line sensor, and the line sensor moves the inspection target optical member. It is specified by capturing an image at each position and outputting image data for each line. With this configuration, even when the line sensor is used as the image sensor for the above-mentioned reason, it is possible to perform the inspection over the entire area of the inspection target optical member.
【００１８】請求項４記載の発明は、請求項１におい
て、検査対象光学部材における前記撮像手段によって撮
像される部位を前記一定方向における前記遮光手段の側
方から照明する補助照明装置を更に備えることで、特定
したものである。このように構成されれば、遮光手段の
長手方向の長さが検査対象光学部材の幅よりも長い場合
でも、検査対象光学部材の撮影対象領域を遮光手段の長
手方向から照明することができるので、欠陥に方向性が
ある場合でも、欠陥個所にて照明光を拡散させて撮像レ
ンズに入射させることができる。According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect , there is further provided an auxiliary illuminating device that illuminates a portion of the optical member to be inspected, which is imaged by the image pickup means, from a side of the light shielding means in the predetermined direction. Then, it was specified. According to this structure, even when the length of the light shielding unit in the longitudinal direction is longer than the width of the inspection target optical member, the imaging target region of the inspection target optical member can be illuminated from the longitudinal direction of the light shielding unit . Even if the defect has directionality, the illumination light can be diffused at the defect location and incident on the imaging lens.
【００１９】請求項５記載の発明は、請求項３の数値化
手段が、前記ラインセンサから出力された１ラインづつ
の画像データに基づいて検査対象光学部材全体に対応す
る画像データを再構成するとともに、この画像データ中
においてその輝度が所定の閾値を上回っている画素の数
を測定することで、特定したものである。According to a fifth aspect of the invention, the digitizing means of the third aspect reconstructs image data corresponding to the entire optical member to be inspected based on the image data for each line output from the line sensor. At the same time, it is specified by measuring the number of pixels in the image data whose luminance exceeds a predetermined threshold value.
【００２０】請求項６記載の発明は、請求項１の検査対
象光学部材を前記撮像レンズの光軸を中心に回転させる
回転手段を更に備えるとともに、撮影レンズの倍率が前
記検査対象光学部材の直径方向における全域が前記ライ
ンセンサによって撮像される様に調整されており、前記
ラインセンサが前記検査対象光学部材をその各位置で撮
像して１ラインづつの画像信号を出力することで、特定
したものである。[0020] According to a sixth aspect of the invention, together with further rotation means comprises rotating the inspection target optical member of claim 1 around the optical axis of the imaging lens, the diameter of the magnification of the photographing lens is the inspection target optical member The whole area in the direction is adjusted so as to be imaged by the line sensor, and the line sensor is specified by imaging the optical member to be inspected at each position and outputting an image signal for each line. Is.
【００２１】請求項７記載の発明は、請求項１の検査対
象光学部材を前記撮像レンズの光軸からオフセットした
回転軸を中心に回転させる回転手段を更に備えるととも
に、撮影レンズの倍率が前記検査対象光学部材の前記回
転軸から外縁までの領域が前記ラインセンサによって撮
像される様に調整されており、前記ラインセンサが前記
検査対象光学部材をその各位置で撮像して１ラインづつ
の画像データを出力することで、特定したものである。[0021] The invention of claim 7, wherein, together with the inspection target optical member of claim 1 further comprising a rotation means for rotating about an axis of rotation offset from the optical axis of the imaging lens, the magnification of the photographing lens is the test The area from the rotation axis to the outer edge of the target optical member is adjusted so as to be imaged by the line sensor, and the line sensor images the inspection target optical member at each position and image data for each line. Is output by outputting.
【００２２】請求項８記載の発明は、請求項３又は７の
数値化手段が、前記ラインセンサから出力された１ライ
ンづつの画像データのうちその輝度が所定の閾値を上回
っている箇所の長さを測定することで、特定したもので
ある。According to an eighth aspect of the invention, in the digitizing means of the third or seventh aspect , the length of a portion of the image data for each line output from the line sensor, the luminance of which is higher than a predetermined threshold value. It is specified by measuring the height.
【００２３】請求項９記載の発明は、請求項６又は７の
数値化手段が、前記ラインセンサから出力された１ライ
ンづつの画像データに基づいて検査対象光学部材全体に
対応する極座標系の画像データを再構成し、この極座標
系の画像データを直交座標系の画像に変換し、この直交
座標系の画像データ中においてその輝度が所定の閾値を
上回っている画素の数を測定することで、特定したもの
である。According to a ninth aspect of the present invention, the digitizing means according to the sixth or seventh aspect of the present invention uses a polar coordinate system image corresponding to the entire optical member to be inspected, based on the image data for each line output from the line sensor. By reconstructing the data, converting the image data of this polar coordinate system into an image of a Cartesian coordinate system, by measuring the number of pixels whose brightness is above a predetermined threshold in the image data of this Cartesian coordinate system, It has been specified.
【００２４】請求項１０記載の発明は、請求項６又は７
の回転手段が検査対象光学部材の光軸を中心にこの検査
対象光学部材を回転させることで、特定したものであ
る。このように構成されれば、例えばレンズのように光
軸を中心として径方向に屈折力を有する光学部材を検査
する場合でも、遮光手段による陰が撮像素子の撮像面上
で移動しないので、撮像素子を固定したまま撮像を行う
ことができる。The invention according to claim 10 is the invention according to claim 6 or 7.
The rotation means rotates the inspection target optical member about the optical axis of the inspection target optical member, and the rotation target is specified. According to this structure, even when inspecting an optical member having a refractive power in the radial direction around the optical axis, such as a lens, the shadow due to the light shielding means does not move on the image pickup surface of the image pickup device, and thus the image pickup is performed. Imaging can be performed with the element fixed.
【００２５】請求項１１記載の発明は、請求項１０の遮
光手段が前記検査対象光学部材の光軸と交わる部位から
端部に向かうにつれて拡がる帯状の形状を有しているこ
とで特定したものである。このようにすれば、光学部材
の光軸近傍の位置においては、検査対象光学部材の欠陥
個所に当たる照明光の入射角が小さくなる故に欠陥個所
にて拡散した照明光が撮像レンズに入射する可能性が高
くなり、光学部材の周縁近傍の位置においては、検査対
象光学部材の欠陥個所に当たる照明光の入射角が大きく
なる故に欠陥個所にて拡散した照明光が撮像レンズに入
射する可能性が低くなる。即ち、欠陥検出感度を光軸近
傍にて高くし且つ周縁近傍にて低くすることができるの
である。The eleventh aspect of the invention is specified by the light-shielding means of the tenth aspect having a band-like shape that widens from the portion intersecting the optical axis of the optical member to be inspected toward the end. is there. With this configuration, at a position near the optical axis of the optical member, the incident angle of the illumination light that hits the defective portion of the inspection target optical member becomes small, so that the illumination light diffused at the defective portion may enter the imaging lens. In the vicinity of the peripheral edge of the optical member, the incidence angle of the illumination light that hits the defective portion of the optical member to be inspected becomes large, so the possibility that the illumination light diffused at the defective portion will enter the imaging lens is reduced. . That is, the defect detection sensitivity can be increased near the optical axis and decreased near the peripheral edge.
【００２６】[0026]
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２７】[0027]
【実施形態１】本発明の第１の実施形態は、平行平面板
のように光軸を有さない光学部材の検査に適した光学部
材検査装置の構成例を示すものである。
＜光学部材検査装置の構成＞本第１実施形態の概略構成
を、正面図である図１，及び、部分側面図である図２に
示す。この図１に示すように、光学部材検査装置を構成
する照明ランプ１，拡散板２，及び撮像装置３は、同一
の光軸ｌ上に配置されている。First Embodiment A first embodiment of the present invention shows a structural example of an optical member inspection apparatus suitable for inspecting an optical member having no optical axis such as a plane parallel plate. <Structure of Optical Member Inspection Apparatus> The schematic structure of the first embodiment is shown in FIG. 1 which is a front view and FIG. 2 which is a partial side view. As shown in FIG. 1, the illumination lamp 1, the diffusing plate 2, and the image pickup device 3 forming the optical member inspection device are arranged on the same optical axis l.
【００２８】この撮像装置３は、正レンズ系である撮像
レンズ４と、この撮像レンズ４によって収束された光に
よる像を撮像するＣＣＤラインセンサからなる撮像素子
５とから、構成されている。図１において、撮像素子５
は、紙面に直交する方向にそのピクセル列を向かせるよ
うに設置されている。また、撮像素子５のピクセル列
は、その真中において、撮像レンズ４の光軸ｌと垂直に
交わっている。なお、撮像レンズ４は、撮像装置３内に
おいて撮像素子５に対して進退自在（ピント調節可能）
であり、撮像装置３自体も、光軸ｌ方向に進退調整し得
る様に光学部材検査装置の図示せぬフレームに取り付け
られている。The image pickup device 3 is composed of an image pickup lens 4 which is a positive lens system, and an image pickup element 5 which is a CCD line sensor for picking up an image formed by the light converged by the image pickup lens 4. In FIG. 1, the image sensor 5
Are installed so that their pixel rows are oriented in a direction orthogonal to the paper surface. Further, the pixel row of the image pickup element 5 intersects the optical axis 1 of the image pickup lens 4 perpendicularly in the middle thereof. The image pickup lens 4 is movable back and forth with respect to the image pickup device 5 in the image pickup apparatus 3 (focus adjustment is possible).
The image pickup device 3 itself is also attached to a frame (not shown) of the optical member inspection device so that the image pickup device 3 can be moved back and forth in the optical axis 1 direction.
【００２９】この撮像素子５は、所定時間（各ピクセル
に電荷が適度に蓄積する程度の時間）毎にライン状に画
像を撮像し、ピクセルの並び順に各ピクセルを自己走査
して各ピクセルに蓄積した電荷を出力する。このように
して撮像素子５から出力された電荷は、所定の増幅処理
やＡ／Ｄ変換処理を受けた後に、１ライン分の輝度信号
からなる画像データとして、画像処理装置６に入力され
る。The image pickup device 5 picks up an image in a line shape at predetermined time intervals (a time period in which electric charge is appropriately accumulated in each pixel), and self-scans each pixel in the order in which the pixels are arranged to accumulate in each pixel. Output the charge. The charges output from the image sensor 5 in this manner are input to the image processing device 6 as image data including a luminance signal for one line after undergoing predetermined amplification processing and A / D conversion processing.
【００３０】画像処理装置６は、検査対象光学部材９が
良品であるか不良品であるかの判定を行うプロセッサで
あり、撮像素子５から入力された画像データに対して所
定の画像処理を行い、検査対象光学部材９の光学的欠陥
の程度を数値化するとともに、この数値を一定の判定基
準値（許容値）と比較し、この数値が判定基準値内に収
まっているか超えているかの判定を行う。即ち、この画
像処理装置６は、数値化手段，及び判定手段に相当す
る。この画像処理装置６は、また、上述した判定処理を
行うのに伴い、撮像素子５からの画像データが入力され
るのと同期して、検査対象光学部材９を移動させる制御
信号をスライドテーブル７に対して出力する。この画像
処理装置６内には、上述の画像処理を行うに際して画像
データを蓄積するための画像メモリ６ａが、内蔵されて
いる。The image processing device 6 is a processor that determines whether the optical member 9 to be inspected is a good product or a defective product, and performs predetermined image processing on the image data input from the image pickup device 5. , Quantify the degree of optical defects of the optical member 9 to be inspected, and compare this numerical value with a fixed judgment reference value (allowable value) to judge whether this numerical value is within or exceeds the judgment reference value. I do. That is, the image processing device 6 corresponds to a digitizing unit and a determining unit. The image processing apparatus 6 also sends a control signal for moving the inspection target optical member 9 in synchronization with the input of image data from the image pickup device 5 in accordance with the above-described determination process. Output to. An image memory 6a for accumulating image data when performing the above-mentioned image processing is built in the image processing device 6.
【００３１】スライドテーブル７は、スライドレール７
ａ，スライダ７ｂ，駆動モータ７ｅ，ブーム７ｃ，及
び、ホルダ７ｄから構成されている。このスライドレー
ル７ａは、撮像素子５のピクセル列の方向及び撮像レン
ズ４の光軸ｌの方向に対して夫々直交する方向を向く様
に、光学部材検査装置の図示せぬフレームに固定されて
いる。また、スライダ７ｂは、このスライドレール７ａ
上をスライドする。駆動モータ７ｅは、スライダ７ｂを
スライドレール７ａに対して一定速度でスライド移動さ
せる。また、ブーム７ｃは、スライダ７ｂ上にその基端
が固定されているとともに、その先端にホルダ７ｄが固
着されている。ホルダ７ｄは、検査対象光学部材９を着
脱自在に保持する。そして、画像処理装置６から上述の
制御信号が出力されると、駆動モータ７ｅがこの制御信
号に従って回転し、スライダ７ｂをスライドレール７ａ
に沿ってスライド駆動する。その結果、検査対象光学部
材９が、撮像素子５のピクセル列の方向と撮像レンズ４
の光軸ｌの方向とに夫々直交する方向へ、等速移動され
る。即ち、このスライドテーブル７が、検査対象光学部
材９を撮像素子５の走査方向と直交する方向へ移動させ
る移動手段を構成しているのである。The slide table 7 is a slide rail 7
a, a slider 7b, a drive motor 7e, a boom 7c, and a holder 7d. The slide rail 7a is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device so that the slide rail 7a faces the directions of the pixel array of the image pickup element 5 and the optical axis 1 of the image pickup lens 4, respectively. . Further, the slider 7b is the slide rail 7a.
Slide up. The drive motor 7e slides the slider 7b with respect to the slide rail 7a at a constant speed. Further, the boom 7c has a base end fixed to a slider 7b, and a holder 7d fixedly attached to a front end thereof. The holder 7d detachably holds the optical member 9 to be inspected. Then, when the above-mentioned control signal is output from the image processing device 6, the drive motor 7e rotates in accordance with this control signal to move the slider 7b to the slide rail 7a.
Drive along the slide. As a result, the optical member 9 to be inspected has the direction of the pixel array of the image pickup device 5 and the image pickup lens 4
Are moved at a constant speed in the directions orthogonal to the direction of the optical axis 1 of. That is, the slide table 7 constitutes a moving means for moving the optical member 9 to be inspected in the direction orthogonal to the scanning direction of the image sensor 5.
【００３２】この検査対象光学部材９は、図３に示すよ
うな平面矩形の平行平面透明板である。この検査対象光
学部材９は、その短辺が撮像素子９のピクセル列と平行
となり且つ幅方向（撮像素子９のピクセル列と平行な方
向）の中点において撮像レンズ４の光軸ｌと直交するよ
うに、スライダ７によって保持・移動される。なお、図
３は、撮像レンズ４の位置から見た検査対象光学部材９
等の位置関係を示す平面図である。この図３において
は、検査対象光学部材９のスライドテーブル７による移
動方向は、左右方向となる。The optical member 9 to be inspected is a plane parallel rectangular transparent plate as shown in FIG. The optical member 9 to be inspected has its short side parallel to the pixel row of the image pickup element 9 and orthogonal to the optical axis 1 of the image pickup lens 4 at the midpoint in the width direction (direction parallel to the pixel row of the image pickup element 9). Thus, the slider 7 holds and moves it. Note that FIG. 3 shows the inspection target optical member 9 viewed from the position of the imaging lens 4.
It is a top view showing a positional relationship such as. In FIG. 3, the moving direction of the optical member 9 to be inspected by the slide table 7 is the left-right direction.
【００３３】この検査対象光学部材９は、撮像レンズ４
に関してその表面（撮像レンズ４に対向する面）が撮像
素子５の撮像面と共役となるように配置されている。従
って、撮像素子５は、検査対象光学部材９の表面の画像
（１ライン分）を撮像することができるのである。図３
においては、撮像素子５によって撮像され得る一ライン
分の撮像対象領域が、二点鎖線によって示されている。
なお、撮像レンズ４の倍率（即ち、撮像装置３自体の位
置，及び撮像レンズ４の撮像素子５に対する位置）は、
検査対象光学部材９の表面を全幅（撮像素子９のピクセ
ル列の方向における幅）にわたって撮像素子５の撮像面
に結像し得るように、調整されている。The optical member 9 to be inspected is the imaging lens 4
With respect to, the surface (the surface facing the imaging lens 4) is arranged so as to be conjugate with the imaging surface of the imaging element 5. Therefore, the image sensor 5 can capture an image (for one line) of the surface of the inspection target optical member 9. Figure 3
In FIG. 1, the imaging target area for one line that can be imaged by the imaging element 5 is indicated by a chain double-dashed line.
The magnification of the imaging lens 4 (that is, the position of the imaging device 3 itself and the position of the imaging lens 4 with respect to the imaging element 5) is
It is adjusted so that the surface of the inspection target optical member 9 can be imaged on the imaging surface of the imaging device 5 over the entire width (width in the direction of the pixel column of the imaging device 9).
【００３４】一方、照明ランプ１は、照明光（白色光）
を発光する白熱ランプであり、光学部材検査装置の図示
せぬフレームに固定されている。この照明ランプ１と検
査対象光学部材９との間に配置されている拡散板２は、
図３に示すように、検査対象光学部材９よりも幅広な矩
形形状を有しており、その表面は粗面として加工されて
いる。従って、この拡散板２は、照明ランプ１から出射
された照明光をその裏面全面で受けて、拡散しつつ透過
させることができる。なお、この拡散板２は、その中心
において撮像レンズ４の光軸ｌと直交するとともに、そ
の外縁が撮像素子９のピクセル列と平行になる様に、光
学部材検査装置の図示せぬフレームに固定されている。On the other hand, the illumination lamp 1 has illumination light (white light).
It is an incandescent lamp that emits light and is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device. The diffusion plate 2 arranged between the illumination lamp 1 and the inspection target optical member 9 is
As shown in FIG. 3, it has a rectangular shape wider than the inspection target optical member 9, and its surface is processed as a rough surface. Therefore, the diffuser plate 2 can receive the illumination light emitted from the illumination lamp 1 on the entire back surface thereof and diffuse and transmit the illumination light. The diffuser plate 2 is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device so that the center of the diffuser plate 2 is orthogonal to the optical axis 1 of the image pickup lens 4 and its outer edge is parallel to the pixel row of the image pickup device 9. Has been done.
【００３５】この拡散板２の表面上には、帯状の形状を
有する遮光手段としての遮光板８が、その長手方向を撮
像素子５のピクセル列の方向（撮像レンズ４の光軸に直
交する一定方向）と平行な方向に向けて、貼り付けられ
ている。この遮光板８の中心は撮像レンズ４の光軸ｌと
一致している。また、遮光板８の長手方向における全長
は検査対象光学部材９の幅（撮像素子５のピクセル列の
方向における幅）よりも長い。そして、図３に示すよう
に、撮像装置３の位置から見ると、遮光板８の両端は、
検査対象光学部材９の外縁よりも外側にはみ出してい
る。また、遮光板８の幅は、図１に示すように、撮像素
子５の各ピクセルに入射する光の周縁光線ｍ，ｍの間隔
よりも広い。従って、撮像素子５の各ピクセルに入射し
得る方向からの全ての光がこの遮光板８によって遮られ
るので、撮像素子５によって撮像される検査対象光学部
材９の背景は、常に暗くなっている。即ち、これら照明
ランプ１，拡散板２，及び遮光板８が、検査対象光学部
材９を透過して撮像レンズ４に入射した後に撮像素子５
に入射する光の光路の外側から、検査対象光学部材９に
おける前記光が透過する箇所を照明する照明手段に、該
当する。On the surface of the diffusing plate 2, a light-shielding plate 8 as a light-shielding means having a strip shape is provided, and its longitudinal direction is fixed in the direction of the pixel row of the image pickup device 5 (perpendicular to the optical axis of the image pickup lens 4). Direction) is attached in the direction parallel to the direction. The center of the light shielding plate 8 coincides with the optical axis 1 of the imaging lens 4. Further, the entire length of the light shielding plate 8 in the longitudinal direction is longer than the width of the inspection target optical member 9 (width in the pixel column direction of the image sensor 5). Then, as shown in FIG. 3, when viewed from the position of the image pickup device 3, both ends of the light shielding plate 8 are
It projects outside the outer edge of the optical member 9 to be inspected. Further, the width of the light shielding plate 8 is wider than the interval between the marginal rays m, m of the light incident on each pixel of the image sensor 5, as shown in FIG. Therefore, since all the light from the direction that can enter each pixel of the image sensor 5 is blocked by the light shielding plate 8, the background of the inspection target optical member 9 imaged by the image sensor 5 is always dark. That is, the illumination lamp 1, the diffusion plate 2, and the light shielding plate 8 are transmitted through the inspection target optical member 9 and are incident on the imaging lens 4, and then the imaging device 5
It corresponds to an illuminating means for illuminating a portion of the inspection target optical member 9 where the light is transmitted from the outside of the optical path of the light incident on the.
【００３６】この遮光板８の長手方向における両端の側
方には、夫々、図２及び図３に示すように、補助照明装
置１０，１０が取り付けられている。この補助照明装置
１０は、光ファイバー束１１と、この光ファイバー束１
１の出射端に取り付けられた発散規制枠１２と、この発
散規制枠１２の出射端に取り付けられたコリメータレン
ズ１３とから、構成されている。この発散規制枠１２
は、光ファイバー束１１の出射端から所定の開口数に依
って発散する光の広がりを、遮光板８の長手方向と平行
な方向のみに制限する部材である。また、コリメータレ
ンズ１３は、発散規制枠１２内において所定幅（検査対
象光学部材９の幅×２-1/2）まで拡がった光を平行光に
するレンズである。このコリメータレンズ１３の光軸
は、撮像レンズ４の光軸ｌと検査対象光学部材９との交
点において、撮像レンズ４の光軸ｌに対して４５度で交
わっている。従って、各補助照明装置１０から出射され
た光（補助照明光）は、検査対象光学部材９の表面にお
ける撮像素子５によって撮像され得る部位を、全域に亘
って均等な照度及び角度で照明することができる。
＜光学的欠陥検出の原理＞次に、以上のように構成され
る光学部材検査装置において、検査対象光学部材９の光
学的な欠陥が撮像素子５によって撮像される原理を、以
下に説明する。As shown in FIGS. 2 and 3, auxiliary lighting devices 10 and 10 are attached to the sides of both ends of the light shielding plate 8 in the longitudinal direction, respectively. This auxiliary lighting device 10 includes an optical fiber bundle 11 and the optical fiber bundle 1
It is composed of a divergence regulation frame 12 attached to the emission end of No. 1 and a collimator lens 13 attached to the emission end of this divergence regulation frame 12. This divergence regulation frame 12
Is a member for limiting the spread of light diverging from the emission end of the optical fiber bundle 11 depending on a predetermined numerical aperture only in the direction parallel to the longitudinal direction of the light shielding plate 8. Further, the collimator lens 13 is a lens that collimates light that has spread to a predetermined width (width of the inspection target optical member 9 × 2 −1/2 ) in the divergence regulation frame 12. The optical axis of the collimator lens 13 intersects the optical axis 1 of the imaging lens 4 at 45 degrees at the intersection of the optical axis 1 of the imaging lens 4 and the inspection target optical member 9. Therefore, the light (auxiliary illumination light) emitted from each auxiliary illumination device 10 illuminates a portion of the surface of the inspection target optical member 9 that can be imaged by the imaging device 5 with uniform illuminance and angle over the entire area. You can <Principle of Optical Defect Detection> Next, in the optical member inspection apparatus configured as described above, the principle that the optical defect of the inspection target optical member 9 is imaged by the image sensor 5 will be described below.
【００３７】撮像素子５のピクセル列の受光面は殆ど幅
の無い線であるとみなせるので、図１の面内において
は、撮像レンズ４に入射して撮像素子５の各ピクセルに
入射し得る光は、撮像レンズ４の光軸ｌに沿った光線を
主光線とする光束であり且つ図１に示される周縁光線
ｍ，ｍ間を通る光のみである。この周縁光線ｍ，ｍを逆
方向に辿ると、検査対象光学部材９の表面において交差
した後に、拡散板２に向かって拡がっている。そして、
拡散板２上において、この周縁光線ｍ，ｍの間が遮光板
８によって遮られている。従って、図４に示すように、
検査対象光学部材９における撮像素子５による撮像対象
領域（撮像レンズ４に関して撮像素子５のピクセル列の
受光面と共役な部位及び光軸方向におけるその近傍）に
光学的欠陥がないとすると、撮像素子５の各ピクセルに
入射する光はない。即ち、拡散板２の表面における遮光
板８の側方箇所から拡散した光ｎは、検査対象光学部材
９における撮像対象領域を透過するが、周縁光線ｍ，ｍ
の外側を通るので、撮像レンズ４には入射しない。ま
た、拡散板２の表面における遮光板８の側方箇所から拡
散して検査対象光学部材９における撮像対象領域以外の
箇所を透過した光は、撮像レンズ４に入射し得るが、撮
像素子５の各ピクセル上には収束されない。そのため、
撮像素子５から出力される画像データは、検査対象光学
部材９の外縁に対応する明部（側面での拡散光に因る）
を除き、全域において暗くなっている。Since the light receiving surface of the pixel array of the image sensor 5 can be regarded as a line having almost no width, the light which can enter the image pickup lens 4 and enter each pixel of the image sensor 5 in the plane of FIG. Is a light flux whose principal ray is a ray along the optical axis 1 of the image pickup lens 4 and is only light passing between the marginal rays m and m shown in FIG. When these marginal rays m, m are traced in the opposite direction, they intersect at the surface of the inspection target optical member 9 and then spread toward the diffusion plate 2. And
On the diffuser plate 2, a space between the marginal rays m is blocked by a light shield plate 8. Therefore, as shown in FIG.
If there is no optical defect in the imaging target region of the inspection target optical member 9 by the imaging device 5 (the part of the imaging lens 4 that is conjugate with the light receiving surface of the pixel row of the imaging device 5 and its vicinity in the optical axis direction). No light is incident on each of the 5 pixels. That is, the light n diffused from the side portion of the light shielding plate 8 on the surface of the diffusion plate 2 is transmitted through the imaging target region of the inspection target optical member 9, but the marginal rays m, m.
Does not enter the imaging lens 4. Further, the light diffused from the side surface of the light shield plate 8 on the surface of the diffusion plate 2 and transmitted through the portion other than the image pickup target area of the inspection target optical member 9 may enter the image pickup lens 4, but the light of the image pickup element 5 may be changed. It does not converge on each pixel. for that reason,
The image data output from the image sensor 5 is a bright portion corresponding to the outer edge of the inspection target optical member 9 (due to diffused light on the side surface).
All areas are dark except for.
【００３８】これに対して、図３に示すように、検査対
象光学部材９表面における撮像対象領域内にキズＣ及び
ゴミＤがある場合、図５に示すように、拡散板２の表面
における遮光板８の側方箇所から拡散した光ｎがこれら
キズＣ及びゴミＤに当たると、この光ｎがこれらキズＣ
及びゴミＤによって拡散される。この拡散光ｎ’は、周
縁光線ｍ，ｍの交点を中心として発散するので、その一
部は、撮像レンズ４を介して撮像素子５の各ピクセルに
入射する。従って、キズＣ及びゴミＤの像（周囲よりも
明るい像）が撮像素子５の撮像面に形成される。なお、
検査対象光学部材９の外縁Ａ，Ｂにおいても、同様な拡
散が生じるので、これら外縁Ａ，Ｂの像が（周囲よりも
明るい像）が撮像素子５の撮像面に形成される。図６
は、図３に示す位置にて撮像が行われた時に撮像素子５
から出力される画像データの輝度分布を示すグラフであ
る。なお、図６においては、一回の撮像によって各ピク
セルに蓄積された電荷を、一走査分の周期内で順次自己
走査によって読み出している様子が示されている。On the other hand, as shown in FIG. 3, when there are scratches C and dust D in the imaging target area on the surface of the optical member 9 to be inspected, as shown in FIG. When the light n diffused from the side portion of the plate 8 hits the scratch C and the dust D, the light n is changed to the scratch C.
And dust D. This diffused light n ′ diverges around the intersection of the marginal rays m, m, so that part of it enters the pixels of the image sensor 5 via the imaging lens 4. Therefore, an image of the scratch C and the dust D (an image brighter than the surroundings) is formed on the image pickup surface of the image pickup element 5. In addition,
Similar diffusion occurs at the outer edges A and B of the inspection target optical member 9, so that images of these outer edges A and B (images brighter than the surroundings) are formed on the imaging surface of the image sensor 5. Figure 6
Is the image sensor 5 when the image is captured at the position shown in FIG.
7 is a graph showing a luminance distribution of image data output from the. Note that FIG. 6 illustrates a state in which the charge accumulated in each pixel by one imaging is sequentially read out by self-scanning within a period of one scanning.
【００３９】なお、キズやクラックは、光を拡散させる
方向に指向性を有している。即ち、キズやクラックの方
向に対して平行な方向から入射した光については拡散す
ることなくそのまま透過し、これと直交する方向から入
射した光については拡散する。従って、図７に示す様
に、遮光板８の長手方向と平行にキズ又はクラックＫが
形成されている場合には、拡散板２の表面における遮光
板８の側方箇所から拡散した光ｎがキズ又はクラックＫ
に対して直交する様に入射するので、上述したようにし
て拡散が生じ、この拡散の一部が撮像レンズ４に入射
し、このキズ又はクラックＫの像が撮像素子５によって
撮像される。これに対して、図８に示す様に、遮光板８
の長手方向と直交する方向に沿ってキズ又はクラックＫ
が形成されている場合には、遮光板８の長手方向と直交
する方向の縦断面である図９に示すように、拡散板２の
表面における遮光板８の側方箇所から拡散した光ｎがキ
ズ又はクラックＫに対して平行に入射するので、入射し
た光ｎは拡散されることなくそのまま透過する。そし
て、この光ｎは周縁光線ｍ，ｍの外側を進むので、撮像
レンズ４には入射しない。そのため、キズ又はクラック
Ｋの像は撮像素子５によって撮像されない。The scratches and cracks have directivity in the direction of diffusing light. That is, light incident from a direction parallel to the direction of scratches and cracks is transmitted without being diffused, and light incident from a direction orthogonal to this is diffused. Therefore, as shown in FIG. 7, when the scratches or cracks K are formed in parallel with the longitudinal direction of the light shielding plate 8, the light n diffused from the side portion of the light shielding plate 8 on the surface of the diffusion plate 2 is generated. Scratch or crack K
Since the light is incident so as to be orthogonal to, the diffusion occurs as described above, a part of this diffusion is incident on the imaging lens 4, and the image of this flaw or crack K is captured by the imaging element 5. On the other hand, as shown in FIG.
Scratches or cracks K along the direction orthogonal to the longitudinal direction of
9 is formed, the light n diffused from the side portion of the light shielding plate 8 on the surface of the diffusion plate 2 is formed as shown in FIG. 9 which is a vertical cross section in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the light shielding plate 8. Since the light is incident parallel to the scratches or cracks K, the incident light n is directly transmitted without being diffused. Since this light n travels outside the marginal rays m, m, it does not enter the imaging lens 4. Therefore, the image of the scratch or the crack K is not captured by the image sensor 5.
【００４０】このような問題を解消するために、本実施
形態においては、補助照明装置１０，１０が取り付けら
れているのである。この補助照明装置１０は、遮光板８
の長手方向における側方から、検査対象光学部材９の表
面における撮像素子５によって撮像され得る部位を照明
する。従って、図１０のように、キズ又はクラックＫが
遮光板８の長手方向に対して直交する方向に沿って形成
されている場合でも、補助照明装置１０は、このキズ又
はクラックＫに対して直交方向から照明光を照射するこ
とができる。その結果、図１０に示すように、このキズ
又はクラックＫにて拡散が生じ、拡散光の一部が撮影レ
ンズ４に入射し、このキズ又はクラックＫの像が撮像素
子５によって撮像される。
＜光学的欠陥判定の方式＞上述したように、撮像素子５
による撮像（電荷蓄積及び走査）は、スライドテーブル
７による検査対象光学部材９の移動と同期して、この検
査対象光学部材９が単位距離だけ移動する毎に行われ
る。そして、撮像素子５による撮像（電荷蓄積及び走
査）がなされる毎に、図６に示すような画像データが、
画像処理装置６に入力されて画像メモリ６ａに書き込ま
れる。図１１は、遮光板８，撮像素子５による撮像対象
領域（二点鎖線にて表示），及び検査対象光学部材９の
相対位置と画像メモリ６ａに書き込まれた画像データと
の関係を示す。この図１１に示すように、（ａ）の状態
から（ｄ）の状態へ向けて検査対象光学部材９が撮像素
子５による撮像対象領域（二点鎖線にて表示）を通り抜
けるにつれて、画像メモリ６ａの各行には、撮像素子５
によって撮像された各走査毎の画像データが、先頭行か
ら順に書き込まれる。In order to solve such a problem, in the present embodiment, the auxiliary lighting devices 10, 10 are attached. The auxiliary lighting device 10 includes a light shielding plate 8
From the side in the longitudinal direction, the part of the surface of the inspection target optical member 9 that can be imaged by the imaging element 5 is illuminated. Therefore, even if the flaw or crack K is formed along the direction orthogonal to the longitudinal direction of the light shielding plate 8 as shown in FIG. 10, the auxiliary lighting device 10 is orthogonal to the flaw or crack K. Illumination light can be emitted from any direction. As a result, as shown in FIG. 10, diffusion occurs in the scratches or cracks K, part of the diffused light enters the photographing lens 4, and an image of the scratches or cracks K is captured by the image sensor 5. <Optical Defect Judgment Method> As described above, the image sensor 5
The imaging (charge accumulation and scanning) is performed every time the inspection target optical member 9 moves by a unit distance in synchronization with the movement of the inspection target optical member 9 by the slide table 7. Then, every time image pickup (charge accumulation and scanning) is performed by the image pickup device 5, image data as shown in FIG.
It is input to the image processing device 6 and written in the image memory 6a. FIG. 11 shows the relationship between the light-shielding plate 8, the imaging target area (displayed by a chain double-dashed line) by the image sensor 5, the relative position of the inspection target optical member 9, and the image data written in the image memory 6a. As shown in FIG. 11, as the inspection target optical member 9 passes through the imaging target region (indicated by a chain double-dashed line) of the image sensor 5 from the state (a) to the state (d), the image memory 6a In each row of
Image data for each scan captured by is written in order from the first row.
【００４１】本実施形態においては、画像処理装置６
は、撮像素子５による撮像が全て完了した後において、
画像メモリ６ａに格納されている検査対象光学部材９の
全面に対応する画像データ（図１１（ｄ））に基づい
て、良否判定を行う。具体的には、画像処理装置６は、
画像メモリ６ａに格納されている画像データの各ピクセ
ルの輝度を所定の閾値と比較し、所定の閾値よりも明る
いピクセルの値を“１”とするとともにそれ以外のピク
セルの値を“０”とする二値化処理を行う。そして、二
値化処理後において“１”の値を有するピクセルの総数
が所定の判定基準値を超えている場合に、検査対象光学
部材９が不良品であると判断するのである。
＜制御処理＞次に、検査対象光学部材９が良品であるか
不良品であるかの判定を行うために画像処理装置６が実
行する制御処理の内容を、図１２のフローチャートを用
いて説明する。この制御処理開始の前提として、スライ
ドテーブル７のスライダ７ｂは、図１示すスライドレー
ル７ａの最右側端に位置しており、検査対象対象光学部
材９は、図１１（ａ）に示す様に撮像レンズ４の光軸ｌ
から外れた位置に在るものとする。In the present embodiment, the image processing device 6
Is after all imaging by the image sensor 5 is completed,
The quality determination is performed based on the image data (FIG. 11D) corresponding to the entire surface of the inspection target optical member 9 stored in the image memory 6a. Specifically, the image processing device 6 is
The brightness of each pixel of the image data stored in the image memory 6a is compared with a predetermined threshold value, the value of a pixel brighter than the predetermined threshold value is set to "1", and the values of the other pixels are set to "0". Binarization processing is performed. Then, when the total number of pixels having the value of “1” after the binarization processing exceeds a predetermined determination reference value, it is determined that the inspection target optical member 9 is a defective product. <Control Process> Next, the content of the control process executed by the image processing device 6 to determine whether the optical member 9 to be inspected is a good product or a defective product will be described with reference to the flowchart of FIG. . As a premise for starting this control processing, the slider 7b of the slide table 7 is located at the rightmost end of the slide rail 7a shown in FIG. 1, and the inspection target optical member 9 is imaged as shown in FIG. 11 (a). Optical axis l of lens 4
It is assumed to be in a position outside
【００４２】図１２の制御処理は、画像処理装置６に接
続された図示せぬ検査開始ボタンが押下されることによ
りスタートする。スタート後最初のＳ０１では、画像処
理装置６は、スライドテーブル７の駆動モータ７ｅに対
する駆動信号の出力を開始し、検査対象光学部材９の等
速移動を開始させる。The control process of FIG. 12 is started by pressing an inspection start button (not shown) connected to the image processing apparatus 6. In the first S01 after the start, the image processing device 6 starts the output of the drive signal to the drive motor 7e of the slide table 7 and starts the uniform movement of the optical member 9 to be inspected.
【００４３】次のＳ０２では、画像処理装置６は、撮像
素子５から出力された一走査分の画像データを入力し、
画像メモリ６ａに書き込む。次のＳ０３では、画像処理
装置６は、Ｓ０２での画像データの書き込みによって画
像メモリ６ａ内で検査対象光学部材９全体に対応する画
像データが合成されたかどうかをチェックする。そし
て、未だ検査対象光学部材９全体に対応する画像データ
が合成されていない場合には、処理をＳ０２に戻し、新
たな撮像によって撮像素子５から出力された画像データ
を入力する。In the next step S02, the image processing apparatus 6 inputs the image data for one scan output from the image sensor 5,
Write to the image memory 6a. In the next S03, the image processing device 6 checks whether or not the image data corresponding to the entire inspection target optical member 9 has been combined in the image memory 6a by the writing of the image data in S02. Then, when the image data corresponding to the entire inspection target optical member 9 has not been combined yet, the process is returned to S02, and the image data output from the image sensor 5 by new imaging is input.
【００４４】これに対して、検査対象光学部材９全体に
対応する画像データが合成された場合には、Ｓ０４にお
いて、画像処理装置６は、画像メモリ６ａ内に書き込ま
れている検査対象光学部材９全体に対応する画像データ
に対して、二値化処理を行う。即ち、画像メモリ６ａに
格納されている画像データの全ピクセルの輝度を、所定
の閾値と比較する。そして、当該所定の閾値よりも輝度
が高いピクセルの値を“１”に置き換えるとともに、当
該所定の閾値よりも輝度が低いピクセルの値を“０”に
置き換える。On the other hand, when the image data corresponding to the entire inspection target optical member 9 is combined, the image processing device 6 causes the inspection target optical member 9 written in the image memory 6a in S04. Binarization processing is performed on the image data corresponding to the entire image. That is, the brightness of all pixels of the image data stored in the image memory 6a is compared with a predetermined threshold value. Then, the value of the pixel whose brightness is higher than the predetermined threshold value is replaced with "1", and the value of the pixel whose brightness is lower than the predetermined threshold value is replaced with "0".
【００４５】次のＳ０５では、画像処理装置６は、画像
メモリ６ａ内における“１”の値を有するピクセル（ド
ット）の総数を計測し、“１”の値を有するピクセル
（ドット）の数が所定の判定基準値よりも多いかどうか
をチェックする。そして、“１”の値を有するピクセル
（ドット）の数が所定の判定基準値よりも多い場合に
は、Ｓ０６において、当該検査対象光学部材９が不良品
であると判定して、その旨を外部出力（画像表示，音声
出力）する。これに対して、“１”の値を有するピクセ
ル（ドット）の数が所定の判定基準値以下である場合に
は、Ｓ０７において、当該検査対象光学部材９が良品で
あると判定して、その旨を外部出力（画像表示，音声出
力）する。以上の後に、画像処理装置６は、この制御処
理を終了する。In the next step S05, the image processing apparatus 6 measures the total number of pixels (dots) having a value of "1" in the image memory 6a, and the number of pixels (dots) having a value of "1" is determined. It is checked whether the value is larger than a predetermined judgment reference value. If the number of pixels (dots) having the value of "1" is larger than the predetermined determination reference value, it is determined in S06 that the optical member 9 to be inspected is a defective product, and that fact is notified. External output (image display, audio output). On the other hand, when the number of pixels (dots) having a value of “1” is less than or equal to the predetermined determination reference value, it is determined in S07 that the inspection target optical member 9 is a non-defective product, and The effect is externally output (image display, audio output). After the above, the image processing device 6 ends this control process.
【００４６】なお、Ｓ０５での判定の代わりに、“１”
の値を有するピクセルの集合からなる領域の直径が所定
値以上あるかどうかによって判定を行っても良いし、
“１”の値を有するピクセルの集合からなる領域に該当
する二値化前画像における輝度値の総和が所定値以上あ
るかどうかによって判定を行っても良い。
＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第１実施
形態によると、検査対象光学部材９を透過して撮像レン
ズ４に入射するとともに撮像素子５の各ピクセルに入射
し得る様な光は、遮光板８によって、予め拡散板２上に
て遮られている。従って、撮像素子５による撮像対象領
域内において検査対象光学部材９に光学欠陥が生じてい
なければ、撮像素子５によって撮像される画像データ
は、全体的に暗い。これに対して、撮像素子５による撮
像対象領域内において検査対象光学部材９に光学欠陥が
生じている場合には、遮光板８の側方からこの領域内に
入射した光が光学的欠陥によって拡散され、その拡散光
の一部が撮像レンズ４に入射する。この結果、撮像素子
５によって撮像される画像データは、光学欠陥の明るい
像が暗黒の背景上に強調されたものとなる。Instead of the determination in S05, "1"
The determination may be made based on whether or not the diameter of the region formed by the set of pixels having the value of
The determination may be made based on whether or not the total sum of the luminance values in the pre-binarization image corresponding to the area formed of the set of pixels having the value of “1” is equal to or more than a predetermined value. <Operation of Embodiment> According to the first embodiment configured as described above, light that can be transmitted through the optical member 9 to be inspected and incident on the imaging lens 4 and incident on each pixel of the imaging element 5. Are shielded in advance on the diffusion plate 2 by the light shielding plate 8. Therefore, unless the inspection target optical member 9 has an optical defect in the imaging target area of the imaging device 5, the image data captured by the imaging device 5 is dark as a whole. On the other hand, when an optical defect is generated in the inspection target optical member 9 in the region to be imaged by the image sensor 5, the light incident on this region from the side of the light shielding plate 8 is diffused by the optical defect. Then, a part of the diffused light enters the imaging lens 4. As a result, the image data picked up by the image pickup device 5 has a bright image of an optical defect emphasized on a dark background.
【００４７】なお、本実施形態においては、撮像素子５
をラインセンサにしている。そのため、撮像素子５全体
をあまり大きくすることなく、解像度（ピクセル列方向
に並んだピクセルの総数）を高くすることができる。し
かも、エリアセンサの場合と異なり、ピクセル数を増や
して解像度を高くしても、ラインセンサの幅（ピクセル
列に直交する方向における幅）は変わらない。従って、
遮光板８の側方を通って検査対象光学部材９における撮
像対象領域内に入射する光の入射角を、小さくすること
ができる。その結果、拡散の程度が僅かであっても、拡
散光が撮像レンズ４に入射する。つまり、光学的欠陥の
検出感度をエリアセンサの場合よりも高くすることがで
きる。In the present embodiment, the image pickup device 5
Is used as a line sensor. Therefore, the resolution (the total number of pixels arranged in the pixel column direction) can be increased without increasing the size of the entire image sensor 5. Moreover, unlike the case of the area sensor, the width of the line sensor (width in the direction orthogonal to the pixel row) does not change even if the number of pixels is increased to increase the resolution. Therefore,
It is possible to reduce the incident angle of light that enters the imaging target region of the inspection target optical member 9 through the side of the light shield plate 8. As a result, diffused light enters the imaging lens 4 even if the degree of diffusion is slight. That is, the detection sensitivity of the optical defect can be made higher than that of the area sensor.
【００４８】そして、撮像素子５によって撮像された画
像データにおける所定の判定基準値よりも輝度が高いピ
クセル（ドット）の数が測定され、測定されたピクセル
（ドット）数が一定の判断基準値と比較され、この比較
結果に応じて良品であるか不良品であるかの判定が客観
的になされるのである。Then, the number of pixels (dots) whose brightness is higher than a predetermined judgment reference value in the image data picked up by the image pickup device 5 is measured, and the measured number of pixels (dots) is a constant judgment reference value. It is compared, and whether the product is a good product or a defective product is objectively determined according to the comparison result.
【００４９】[0049]
【実施形態２】本発明の第２の実施形態は、第１実施形
態に比して、画像処理装置６内に画像メモリ６ａがない
とともに、この画像処理装置６による制御処理が図１３
に示すフローチャートに従ってなされることを特徴とす
る。この図１３のフローチャートに従った制御処理は、
撮像素子５から入力される一ラインづつの画像データに
対して、直接二値化処理及び判定処理を実行するもので
ある。Second Embodiment The second embodiment of the present invention is different from the first embodiment in that the image processing apparatus 6 does not have the image memory 6a and the control processing by the image processing apparatus 6 is as shown in FIG.
It is characterized in that it is performed according to the flowchart shown in FIG. The control process according to the flowchart of FIG.
The binarization process and the determination process are directly executed on the image data of each line input from the image sensor 5.
【００５０】この図１３のフローチャートに従った制御
処理は、画像処理装置６に接続された図示せぬ検査開始
ボタンが押下されることによりスタートする。スタート
後最初のＳ１１では、画像処理装置６は、スライドテー
ブル７の駆動モータ７ｅに対する駆動信号の出力を開始
し、検査対象光学部材９の等速移動を開始させる。The control processing according to the flowchart of FIG. 13 is started by pressing an inspection start button (not shown) connected to the image processing apparatus 6. In the first step S11 after the start, the image processing device 6 starts the output of the drive signal to the drive motor 7e of the slide table 7 and starts the uniform movement of the inspection target optical member 9.
【００５１】画像処理装置６は、次に、Ｓ１２乃至Ｓ１
６のループ処理に入る。このループ処理に入って最初の
Ｓ１２では、画像処理装置６は、撮像素子５から出力さ
れた一走査分の画像データを入力する。The image processing apparatus 6 then proceeds to S12 to S1.
The loop process of 6 is entered. In the first step S12 after entering this loop processing, the image processing apparatus 6 inputs the image data for one scan output from the image sensor 5.
【００５２】次のＳ１３では、画像処理装置６は、Ｓ１
２にて入力した一走査分の画像データに対して、二値化
処理を行う。即ち、一走査分の画像データの輝度を所定
の閾値と比較し、当該所定の閾値よりも輝度が高い部分
を論理値“１”とするとともに当該所定の閾値よりも輝
度が低い部分を論理値“０”とすることにより、画像デ
ータを矩形出力に変換する。At the next step S13, the image processing device 6 makes the step S1.
Binarization processing is performed on the image data for one scan input in 2. That is, the brightness of the image data for one scan is compared with a predetermined threshold value, a part having a brightness higher than the predetermined threshold value is set to a logical value “1”, and a part having a brightness value lower than the predetermined threshold value is set to a logical value. By setting it to "0", the image data is converted into a rectangular output.
【００５３】次のＳ１４では、画像処理装置６は、Ｓ１
３にて変換された矩形出力の幅（論理値“１”の部分の
長さ）Ｔを測定する。次のＳ１５では、画像処理装置６
は、Ｓ１４にて測定された幅Ｔが所定の判定基準値より
も大きいか否かをチェックする。そして、Ｓ１４にて測
定された幅Ｔが所定の判定基準値以下であると判定した
場合には、画像処理装置６は、処理をＳ１６に進める。At the next step S14, the image processing device 6 makes the step S1.
The width (length of the portion of the logical value "1") T of the rectangular output converted in 3 is measured. In the next S15, the image processing device 6
Checks whether or not the width T measured in S14 is larger than a predetermined judgment reference value. Then, when it is determined that the width T measured in S14 is less than or equal to the predetermined determination reference value, the image processing device 6 advances the processing to S16.
【００５４】このＳ１６では、画像処理装置６は、検査
対象光学部材９全体に対応する画像データを入力し終わ
ったかどうかをチェックする。そして、未だ検査対象光
学部材全体に対応する画像データを入力し終わってない
場合には、画像処理装置６は、処理をＳ１２に戻し、新
たな撮像によって撮像素子５から出力された画像データ
を入力する。In step S16, the image processing apparatus 6 checks whether or not the image data corresponding to the entire optical member 9 to be inspected has been input. If the image data corresponding to the entire optical member to be inspected has not been input yet, the image processing device 6 returns the process to S12 and inputs the image data output from the image sensor 5 by new imaging. To do.
【００５５】以上のループ処理を繰り返した結果、Ｓ１
４にて測定された幅Ｔが所定の判定基準値を超えたとＳ
１５にて判定した場合には、画像処理装置６は、Ｓ１８
において、当該検査対象光学部材９が不良品であると判
定して、その旨を外部出力（画像表示，音声出力）す
る。この場合には、以後における画像データの入力は打
ち切られ、この時点でこの制御処理は終了する。As a result of repeating the above loop processing, S1
If the width T measured in 4 exceeds a predetermined judgment reference value, S
If the determination is made in step S15, the image processing device 6 determines in step S18.
In, it is determined that the optical member 9 to be inspected is a defective product, and that effect is externally output (image display, audio output). In this case, the input of the image data after that is terminated, and this control process ends at this point.
【００５６】これに対して、幅Ｔが所定の判定基準値を
超えたと判定することなく検査対象光学部材９全体に対
応する画像データを入力し終えたとＳ１６にて判定した
場合には、画像処理装置６は、Ｓ１７において、当該検
査対象光学部材９が良品であると判定して、その旨を外
部出力（画像表示，音声出力）する。そして、その後、
この制御処理を終了する。On the other hand, if it is determined in S16 that the image data corresponding to the entire inspection target optical member 9 has been input without determining that the width T has exceeded the predetermined determination reference value, the image processing is performed. In S17, the device 6 determines that the inspection target optical member 9 is a non-defective product, and externally outputs that (image display, voice output). And then
This control process ends.
【００５７】本第２実施形態におけるその他の構成及び
作用は、第１実施形態のものと同じなので、その説明を
省略する。The rest of the configuration and operation of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, so a description thereof will be omitted.
【００５８】[0058]
【実施形態３】本発明の第３の実施形態は、円形レンズ
のように光軸を中心にパワーを有する光学部材の検査に
適した構成例を示すものである。このような光学部材
は、第１実施形態の構成によって検査するのには適して
いない。図３３は、このような光学部材としての凹レン
ズ１４ａを第１実施形態のスライドテーブル７に装着し
てスライド移動させた時に撮像装置３の位置から見た状
態を示すものである。この図３３に示すように、凹レン
ズ１４ａを遮光板８に対して図中右側から左側に向けて
移動させると、凹レンズ１４ａ及び遮光板８の見え方
は、同図（ａ）〜（ｃ）に示すように変化する。同様
に、図３４は、凸レンズ１４ｂを第１実施形態のスライ
ドテーブル７に装着してスライド移動させた時に撮像装
置３の位置から見た状態を示すものである。この図３４
に示すように、凸レンズ１４ｂを遮光板８に対して図中
右側から左側に向けて移動させると、凸レンズ１４ｂ及
び遮光板８の見え方は、同図（ａ）〜（ｃ）に示すよう
に変化する。このように、検査対象光学部材１４ａ，１
４ｂの光軸が遮光板８の中心からずれている時には、検
査対象光学部材１４ａ，１４ｂを透過して見える遮光板
８の位置は、実際の位置よりもずれて見える。その結
果、検査対象光学部材１４ａ，１４ｂに光学的欠陥がな
いとしても、拡散板２における遮光板８の側方位置から
発散した光が撮像レンズ４に入射してしまい、撮像素子
５によって撮像される画像データが明るくなってしま
う。そのため、光学的欠陥の明るい像があまり強調され
なくなるとともに、光学的欠陥ではない部分が光学的欠
陥であると判定されてしまうおそれがあるのである。そ
のため、本第３実施形態では、検査対象光学部材１４の
光軸と遮光板の中心とを常に一致させるために、その光
軸を中心として検査対象光学部材１４を回転させる構成
としたのである。
＜光学部材検査装置の構成＞本第３実施形態の概略構成
を、図１４の一部断面側面図に示す。この図１４に示す
ように、光学部材検査装置を構成する照明ランプ１，拡
散板２０，及び撮像装置３は、同一の光軸ｌ上に配置さ
れている。Third Embodiment A third embodiment of the present invention shows a configuration example suitable for inspecting an optical member having a power centering on the optical axis such as a circular lens. Such an optical member is not suitable for inspecting with the configuration of the first embodiment. FIG. 33 shows a state viewed from the position of the image pickup device 3 when the concave lens 14a as such an optical member is mounted on the slide table 7 of the first embodiment and slidably moved. As shown in FIG. 33, when the concave lens 14a is moved from the right side to the left side in the figure with respect to the light shielding plate 8, the appearances of the concave lens 14a and the light shielding plate 8 are as shown in FIGS. It changes as shown. Similarly, FIG. 34 shows a state viewed from the position of the imaging device 3 when the convex lens 14b is mounted on the slide table 7 of the first embodiment and slidably moved. This FIG. 34
As shown in (a) to (c), when the convex lens 14b is moved from the right side to the left side in the figure with respect to the light shielding plate 8, the appearances of the convex lens 14b and the light shielding plate 8 are Change. In this way, the inspection target optical members 14a, 1
When the optical axis of 4b is deviated from the center of the light shielding plate 8, the position of the light shielding plate 8 seen through the optical members 14a and 14b to be inspected appears to be deviated from the actual position. As a result, even if there is no optical defect in the inspection target optical members 14a and 14b, the light diverging from the lateral position of the light shielding plate 8 in the diffusion plate 2 enters the imaging lens 4 and is imaged by the imaging element 5. Image data becomes bright. Therefore, a bright image of an optical defect may not be emphasized so much, and a portion that is not an optical defect may be determined to be an optical defect. Therefore, in the third embodiment, in order to always match the optical axis of the inspection target optical member 14 with the center of the light shielding plate, the inspection target optical member 14 is rotated about the optical axis. <Structure of Optical Member Inspection Apparatus> A schematic structure of the third embodiment is shown in a partial cross-sectional side view of FIG. As shown in FIG. 14, the illumination lamp 1, the diffusing plate 20, and the image pickup device 3 which form the optical member inspection device are arranged on the same optical axis l.
【００５９】この撮像装置３の構成は、第１実施形態の
ものと同じなので、その説明を省略する。画像処理装置
２１は、検査対象光学部材１４が良品であるか不良品で
あるかの判定を行うプロセッサであり、撮像素子５から
入力された画像データに対して所定の画像処理を行い、
検査対象光学部材１４の光学的欠陥の程度を数値化する
とともに、この数値を一定の判定基準値（許容値）と比
較し、この数値が判定基準値内に収まっているか超えて
いるかの判定を行う。即ち、この画像処理装置２１は、
数値化手段，及び判定手段に相当する。この画像処理装
置２１は、また、上述した判定処理を行うのに伴い、撮
像素子５からの画像データが入力されるのと同期して、
検査対象光学部材１４を回転させるための制御信号を駆
動モータ１８に対して出力する。この画像処理装置２１
内には、上述の画像処理を行うに際して画像データを格
納するための第１画像メモリ２１ａ及び第２画像メモリ
２１ｂが、内蔵されている。Since the structure of the image pickup device 3 is the same as that of the first embodiment, its explanation is omitted. The image processing device 21 is a processor that determines whether the inspection target optical member 14 is a non-defective product or a defective product, and performs predetermined image processing on the image data input from the image sensor 5.
The degree of optical defects of the optical member 14 to be inspected is quantified, and this numerical value is compared with a fixed judgment reference value (allowable value) to judge whether this numerical value is within or exceeds the judgment reference value. To do. That is, the image processing device 21
It corresponds to a digitizing means and a judging means. The image processing device 21 also performs the above-described determination process, in synchronization with the input of image data from the image sensor 5,
A control signal for rotating the inspection target optical member 14 is output to the drive motor 18. This image processing device 21
A first image memory 21a and a second image memory 21b for storing image data when performing the above-mentioned image processing are incorporated therein.
【００６０】この駆動モータ１８の駆動軸にはピニオン
ギア１７が取り付けられており、このピニオンギア１７
は、撮像レンズ４の光軸ｌを中心とした環状のホルダ１
５の周縁に取り付けられた環状ギア１６に噛合してい
る。この環状のホルダ１５は、円形レンズである検査対
象光学部材１４の周縁を全周にわたって保持する。従っ
て、検査対象光学部材１４の周縁の中心と光軸とが一致
している限り、検査対象光学部材１４の光軸は、撮像レ
ンズ４の光軸ｌに対して同軸となる。そして、画像処理
装置２１から上述の制御信号が出力されると、駆動モー
タ１８がこの制御信号に従って回転する。すると、両ギ
ヤ１７，１６を介してホルダ１５が回転駆動を受け、ホ
ルダ１５に保持されている検査対象光学部材１４が、光
軸ｌに直交する面内において、等速度で回転駆動され
る。即ち、これら駆動モータ１８，両ギヤ１７，１６，
及びホルダ１５が、検査対象光学部材１４を撮像レンズ
４の光軸ｌを中心に回転させる回転手段を構成してい
る。なお、検査対象光学部材１４の回転方向は、図１５
に示すように、撮像装置３側から見て反時計方向であ
る。この図１５は、検査対象光学部材１４等を撮像装置
３側から見た平面図である。A pinion gear 17 is attached to the drive shaft of the drive motor 18, and the pinion gear 17 is attached.
Is an annular holder 1 centered on the optical axis 1 of the imaging lens 4.
5 meshes with an annular gear 16 attached to the peripheral edge of No. 5. The annular holder 15 holds the peripheral edge of the inspection target optical member 14 which is a circular lens over the entire circumference. Therefore, as long as the center of the peripheral edge of the inspection target optical member 14 and the optical axis coincide with each other, the optical axis of the inspection target optical member 14 is coaxial with the optical axis 1 of the imaging lens 4. Then, when the above-mentioned control signal is output from the image processing device 21, the drive motor 18 rotates according to this control signal. Then, the holder 15 is rotationally driven via both gears 17 and 16, and the inspection target optical member 14 held by the holder 15 is rotationally driven at a constant speed in the plane orthogonal to the optical axis 1. That is, these drive motor 18, both gears 17, 16,
The holder 15 constitutes a rotating means for rotating the inspection target optical member 14 about the optical axis 1 of the imaging lens 4. The rotation direction of the inspection target optical member 14 is as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the direction is counterclockwise when viewed from the image pickup device 3 side. FIG. 15 is a plan view of the inspection target optical member 14 and the like as viewed from the imaging device 3 side.
【００６１】検査対象光学部材１４は、撮像レンズ４に
関してその表面（撮像レンズ４に対向する面）が撮像素
子５の撮像面と共役となるように配置されている。従っ
て、撮像素子５は、検査対象光学部材１４の表面の画像
（１ライン分）を撮像することができるのである。図１
５においては、撮像素子５によって撮像され得る一ライ
ン分の撮像対象領域が、二点鎖線によって示されてい
る。なお、撮像レンズ４の倍率（即ち、撮像装置３自体
の位置，及び撮像レンズ４の撮像素子５に対する位置）
は、検査対象光学部材１４の直径方向における全域を撮
像素子５の撮像面に結像し得るように、調整されてい
る。The optical member 14 to be inspected is arranged with respect to the image pickup lens 4 such that its surface (the surface facing the image pickup lens 4) is conjugate with the image pickup surface of the image pickup device 5. Therefore, the image sensor 5 can capture an image (for one line) of the surface of the inspection target optical member 14. Figure 1
In FIG. 5, the imaging target area for one line that can be imaged by the imaging element 5 is indicated by a chain double-dashed line. The magnification of the image pickup lens 4 (that is, the position of the image pickup device 3 itself and the position of the image pickup lens 4 with respect to the image pickup element 5).
Are adjusted so that the entire area of the inspection target optical member 14 in the diameter direction can be imaged on the imaging surface of the imaging element 5.
【００６２】一方、照明ランプ１は、照明光（白色光）
を発光する白熱ランプであり、光学部材検査装置の図示
せぬフレームに固定されている。この照明ランプ１と検
査対象光学部材１４との間に配置されている拡散板２０
は、図１５に示すように、検査対象光学部材１４よりも
大径な円盤形状を有しており、その表面は粗面として加
工されている。従って、この拡散板２０は、照明ランプ
１から出射された照明光をその裏面全面で受けて、拡散
しつつ透過させることができる。なお、この拡散板２０
は、その中心において撮像レンズ４の光軸ｌと直交する
様に、光学部材検査装置の図示せぬフレームに固定され
ている。On the other hand, the illumination lamp 1 emits illumination light (white light).
It is an incandescent lamp that emits light and is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device. A diffusion plate 20 arranged between the illumination lamp 1 and the optical member 14 to be inspected.
15, has a disk shape with a diameter larger than that of the optical member 14 to be inspected, and its surface is processed as a rough surface. Therefore, the diffusion plate 20 can receive the illumination light emitted from the illumination lamp 1 on the entire back surface thereof, and diffuse and transmit the illumination light. In addition, this diffusion plate 20
Is fixed to a frame (not shown) of the optical member inspection device so that its center is orthogonal to the optical axis 1 of the imaging lens 4.
【００６３】この拡散板２０の表面上には、帯状の形状
を有する遮光手段としての遮光板１９が、その長手方向
を撮像素子５のピクセル列の方向（撮像レンズ４の光軸
ｌに直交する一定方向）と平行な方向に向けて、貼り付
けられている。この遮光板１９の中心は撮像レンズ４の
光軸ｌと一致している。また、遮光板１９の長手方向に
おける全長は検査対象光学部材１４の直径よりも長い。
そして、図１５に示すように、撮像装置３の位置から見
ると、遮光板１９の両端は、検査対象光学部材１４の外
縁よりも外側にはみ出している。また、遮光板１９の幅
は、撮像素子５のピクセル列の方向に直交する方向にお
ける光学部材検査装置の断面図である図１６に示すよう
に、撮像素子５の各ピクセルに入射する光の周縁光線
ｍ，ｍの間隔よりも広い。従って、撮像素子５の各ピク
セルに入射し得る方向からの光は全てこの遮光板１９に
よって遮られるので、撮像素子５によって撮像される検
査対象光学部材１４の背景は、常に暗くなっている。On the surface of the diffusing plate 20, a light-shielding plate 19 as a light-shielding means having a strip-like shape has its longitudinal direction orthogonal to the direction of the pixel row of the image pickup device 5 (the optical axis 1 of the image pickup lens 4). It is affixed in a direction parallel to (constant direction). The center of the light shield plate 19 coincides with the optical axis 1 of the imaging lens 4. Further, the total length of the light shielding plate 19 in the longitudinal direction is longer than the diameter of the inspection target optical member 14.
Then, as shown in FIG. 15, when viewed from the position of the image pickup device 3, both ends of the light shielding plate 19 are protruded outside the outer edge of the inspection target optical member 14. In addition, as shown in FIG. 16 which is a sectional view of the optical member inspection device in the direction orthogonal to the direction of the pixel row of the image sensor 5, the width of the light shielding plate 19 is the periphery of the light incident on each pixel of the image sensor 5. It is wider than the interval between the rays m. Therefore, since all the light from the direction that can enter each pixel of the image pickup device 5 is blocked by the light shielding plate 19, the background of the inspection target optical member 14 imaged by the image pickup device 5 is always dark.
【００６４】この遮光板８の長手方向における両端の側
方には、夫々、図１４及び図１５に示すように、補助照
明装置１０，１０が取り付けられている。この補助照明
装置１０の構成は、第１実施形態のものと同じなので、
その説明を省略する。
＜光学的欠陥検出の原理＞以上のように構成される光学
部材検査装置において、図１６の面内では、撮像レンズ
４に入射して撮像素子５の各ピクセルに入射し得る光
は、撮像レンズ４の光軸ｌに沿った光線を主光線とする
光束であり且つ図１６に示される周縁光線ｍ，ｍ間を通
る光のみである。この周縁光線ｍ，ｍを逆方向に辿る
と、検査対象光学部材１４の表面において交差した後
に、拡散板２０に向かって拡がっている。そして、拡散
板２０上において、この周縁光線ｍ，ｍの間が遮光板１
９によって遮られている。従って、図１６に示すよう
に、検査対象光学部材１４における撮像素子５による撮
像対象領域（撮像レンズ４に関して撮像素子５のピクセ
ル列の受光面と共役な部位及び光軸方向におけるその近
傍）に光学的欠陥がないとすると、撮像素子５の各ピク
セルに入射する光はない。即ち、拡散板２０の表面にお
ける遮光板１９の側方箇所から拡散した光ｎは、検査対
象光学部材１４における撮像対象領域を透過するが、周
縁光線ｍ，ｍの外側を通るので、撮像レンズ４には入射
しない。また、拡散板２の表面における遮光板８の側方
箇所から拡散して検査対象光学部材１４における撮像対
象領域以外の箇所を透過した光は、撮像レンズ４に入射
し得るが、撮像素子５の各ピクセル上には収束されな
い。そのため、撮像素子５から出力される画像データ
は、検査対象光学部材１４の外縁に対応する明部（側面
での拡散光に因る）を除き、全域において暗くなってい
る。As shown in FIGS. 14 and 15, auxiliary lighting devices 10 and 10 are attached to the sides of both ends of the light shielding plate 8 in the longitudinal direction, respectively. Since the configuration of this auxiliary lighting device 10 is the same as that of the first embodiment,
The description is omitted. <Principle of Optical Defect Detection> In the optical member inspection device configured as described above, in the plane of FIG. 16, the light that can enter the imaging lens 4 and enter each pixel of the imaging element 5 is the imaging lens. 4 is a light flux having a light ray along the optical axis 1 of 4 as a principal ray and passing only between the marginal rays m and m shown in FIG. When these marginal rays m, m are traced in the opposite direction, they intersect at the surface of the inspection target optical member 14 and then spread toward the diffusion plate 20. Then, on the diffusion plate 20, the space between the marginal rays m, m is the light blocking plate 1.
Blocked by 9. Therefore, as shown in FIG. 16, an optical image is formed in the imaging target region of the inspection target optical member 14 by the imaging device 5 (a part of the imaging lens 4 that is conjugate with the light receiving surface of the pixel row of the imaging device 5 and its vicinity in the optical axis direction). If there is no physical defect, no light is incident on each pixel of the image sensor 5. That is, the light n diffused from the side portion of the light shielding plate 19 on the surface of the diffusion plate 20 is transmitted through the imaging target region of the inspection target optical member 14, but passes through the outside of the marginal rays m, m. Does not enter. Further, the light diffused from the side portion of the light shield plate 8 on the surface of the diffusion plate 2 and transmitted through the portion other than the image pickup target area of the inspection target optical member 14 may enter the image pickup lens 4, but the light of the image pickup element 5 may be changed. It does not converge on each pixel. Therefore, the image data output from the image sensor 5 is dark over the entire area except for the bright portion (due to diffused light on the side surface) corresponding to the outer edge of the inspection target optical member 14.
【００６５】これに対して、図１５に示すように、検査
対象光学部材１４表面における撮像対象領域内にキズＣ
及びゴミＤがある場合、図１７に示すように、拡散板２
０の表面における遮光板１９の側方箇所から拡散した光
ｎがこれらキズＣ及びゴミＤに当たると、この光ｎがこ
れらキズＣ及びゴミＤによって拡散される。この拡散光
ｎ’は、周縁光線ｍ，ｍの交点を中心として発散するの
で、その一部は、撮像レンズ４を介して撮像素子５の各
画素上に入射する。従って、キズＣ及びゴミＤの像（周
囲よりも明るい像）が撮像素子５の撮像面に形成され
る。なお、検査対象光学部材１４の外周Ａ，Ｂにおいて
も、同様な拡散が生じるので、これら外周Ａ，Ｂの像が
（周囲よりも明るい像）が撮像素子５の撮像面に形成さ
れる。図１８は、図１５に示す位置にて撮像が行われた
時に撮像素子５から出力される画像データの輝度分布を
示すグラフである。なお、図１８においては、一回の撮
像によって各ピクセルに蓄積された電荷を、一走査分の
周期内で順次自己走査によって読み出している様子が示
されている。On the other hand, as shown in FIG. 15, scratches C are formed in the image pickup target area on the surface of the inspection target optical member 14.
If there is dust and dust D, as shown in FIG.
When the light n diffused from the side portion of the light shielding plate 19 on the surface of 0 hits the scratch C and the dust D, the light n is diffused by the scratch C and the dust D. The diffused light n ′ diverges around the intersection of the marginal rays m, m, so that a part of the diffused light n ′ is incident on each pixel of the image sensor 5 via the imaging lens 4. Therefore, an image of the scratch C and the dust D (an image brighter than the surroundings) is formed on the image pickup surface of the image pickup element 5. Similar diffusion occurs on the outer peripheries A and B of the inspection target optical member 14, so that images of these outer peripheries A and B (images brighter than the surroundings) are formed on the imaging surface of the image sensor 5. FIG. 18 is a graph showing the luminance distribution of the image data output from the image sensor 5 when the image is captured at the position shown in FIG. Note that FIG. 18 illustrates a state in which the charge accumulated in each pixel by one imaging is sequentially read out by self-scanning within a period of one scanning.
【００６６】なお、遮光板１９の短手方向と平行に形成
されたキズ又はクラックＫは、図１９に示すように、補
助照明装置１０，１０により、遮光板１９の長手方向に
おける側方から照明される。従って、遮光板８の短手方
向に対して平行に形成されているキズ又はクラックＫ
も、補助照明装置１０からの照明光によって拡散を生
じ、この拡散の一部を撮影レンズ４に入射させ、このキ
ズ又はクラックＫの像が撮像素子５によって撮像され
る。
＜光学的欠陥判定の方式＞上述したように、撮像素子５
による撮像（電荷蓄積及び走査）は、駆動モータ１８に
よる検査対象光学部材１４の回転と同期して、この検査
対象光学部材１４が単位角度だけ回転する毎に行われ
る。そして、撮像素子５による撮像（電荷蓄積及び走
査）がなされる毎に、図１８に示すような画像データ
が、画像処理装置２１に入力されて第１画像メモリ２１
ａに書き込まれる。図２０乃至図２４は、遮光板１９，
撮像素子５による撮像対象領域（二点鎖線にて表示），
及び検査対象光学部材１４の相対位置と第１画像メモリ
２１ａに書き込まれた画像データとの関係を示す。具体
的には、図２０は、初期状態を示し（この時点で撮像さ
れる検査対象光学部材１４の外縁上の点を、夫々
“Ａ”，“Ｂ”とする）、図２１は、初期状態から反時
計方向に４５度回転した状態を示し、図２２は、検査対
象光学部材１４が初期状態から反時計方向に９０度回転
した状態を示し、図２３は、検査対象光学部材１４が初
期状態から反時計方向に１３５度回転した状態を示し、
図２４は、検査対象光学部材１４が初期状態から反時計
方向に１８０度回転した終了態を示す。これら各図に示
すように、検査対象光学部材１４が回転するにつれて、
第１画像メモリ２１ａの各行には、撮像素子５によって
撮像された各走査毎の画像データが、先頭行から順に書
き込まれる。The scratches or cracks K formed in parallel with the lateral direction of the shading plate 19 are illuminated by the auxiliary lighting devices 10, 10 from the lateral side in the longitudinal direction of the shading plate 19, as shown in FIG. To be done. Therefore, scratches or cracks K formed in parallel with the short-side direction of the light shielding plate 8
Also, the illumination light from the auxiliary illumination device 10 causes diffusion, a part of this diffusion is incident on the photographing lens 4, and an image of this flaw or crack K is captured by the image sensor 5. <Optical Defect Judgment Method> As described above, the image sensor 5
The image capturing (charge accumulation and scanning) is performed every time the inspection target optical member 14 rotates by a unit angle in synchronization with the rotation of the inspection target optical member 14 by the drive motor 18. Then, every time image pickup (charge accumulation and scanning) is performed by the image pickup device 5, image data as shown in FIG. 18 is input to the image processing device 21 and the first image memory 21.
Written to a. 20 to 24 show the light blocking plate 19,
Area to be imaged by the image sensor 5 (displayed by a chain double-dashed line),
2 shows the relationship between the relative position of the inspection target optical member 14 and the image data written in the first image memory 21a. Specifically, FIG. 20 shows an initial state (points on the outer edge of the inspection target optical member 14 imaged at this time are designated as “A” and “B”, respectively), and FIG. From the initial state, the inspection target optical member 14 is rotated 90 degrees counterclockwise from the initial state, and FIG. 23 is the initial state of the inspection target optical member 14. Shows a state of rotating 135 degrees counterclockwise from
FIG. 24 shows an end state in which the optical member 14 to be inspected is rotated 180 degrees counterclockwise from the initial state. As shown in each of these figures, as the inspection target optical member 14 rotates,
In each row of the first image memory 21a, the image data of each scan captured by the image sensor 5 is sequentially written from the first row.
【００６７】図２４（ｂ）に示す時点で第１画像メモリ
２１ａに書き込まれている画像データの縦軸は、点Ａ，
Ｂ間を結ぶ直径を基準とした検査対象光学部材１４の回
転角を示し、横軸は、検査対象光学部材１４の中心（光
軸）Ｏから直径方向への距離を示す。即ち、第１画像メ
モリ２１ａに書き込まれる画像データの座標系は、極座
標系である。この極座標系においては、検査対象光学部
材１４の中心Ｏに近い欠陥程面積が大きく写り込み、外
縁に近い欠陥程面積が小さく写り込む。従って、第１画
像メモリ２１ａに書き込まれている画像データそのもの
に基づいて、検査対象光学部材１４が良品であるか否か
の客観的判定はできない。そのため、本実施の形態にお
ける画像処理装置２１は、第１画像メモリ２１ａに書き
込まれている極座標系による画像データを直交座標系に
よる画像データに変換して、第２画像メモリ２１ｂに書
き込む。The vertical axis of the image data written in the first image memory 21a at the time point shown in FIG.
The rotation angle of the inspection target optical member 14 based on the diameter connecting B is shown, and the horizontal axis shows the distance from the center (optical axis) O of the inspection target optical member 14 in the diameter direction. That is, the coordinate system of the image data written in the first image memory 21a is a polar coordinate system. In this polar coordinate system, the closer the defect is to the center O of the inspection target optical member 14, the larger the area is reflected, and the closer the defect is to the outer edge, the smaller the area is reflected. Therefore, it is not possible to objectively judge whether or not the inspection target optical member 14 is a non-defective product based on the image data itself written in the first image memory 21a. Therefore, the image processing device 21 according to the present embodiment converts the image data in the polar coordinate system written in the first image memory 21a into the image data in the orthogonal coordinate system and writes the image data in the second image memory 21b.
【００６８】図２５は、このような極座標系から直交座
標系への座標変換方法を示す図であり、検査対象光学部
材１４の表面上に定義されたローカル座標系と撮像素子
５のピクセル列の方向を基準（縦軸）とした絶対座標系
との関係を示すものである。図２５において、検査対象
光学部材１４の表面上に定義されたローカル座標系は、
検査対象光学部材１４の光軸Ｏを原点０とし、検査対象
光学部材１４外縁上における点Ａと点Ｂとを結ぶ線をＹ
軸とする。また、Ｙ軸と直交し且つ原点０を通る線をＸ
軸とする。また、絶対座標系の縦軸上の各点の値は、撮
像素子５の各ピクセルの走査の順番に対応するので、撮
像素子５の解像度（ピクセル数）をｎとすると０〜ｎ−
１の値をとる。そして、ｎ／２の点において、絶対座標
系の縦軸はローカル座標の原点０と交差することとな
る。FIG. 25 is a diagram showing a coordinate conversion method from such a polar coordinate system to an orthogonal coordinate system, which shows the local coordinate system defined on the surface of the optical member 14 to be inspected and the pixel array of the image sensor 5. It shows the relationship with the absolute coordinate system with the direction as the reference (vertical axis). In FIG. 25, the local coordinate system defined on the surface of the inspection target optical member 14 is
An optical axis O of the inspection target optical member 14 is set as an origin 0, and a line connecting points A and B on the outer edge of the inspection target optical member 14 is defined as Y.
The axis. In addition, a line orthogonal to the Y axis and passing through the origin 0 is X.
The axis. Further, since the value of each point on the vertical axis of the absolute coordinate system corresponds to the scanning order of each pixel of the image pickup device 5, if the resolution (the number of pixels) of the image pickup device 5 is n, then 0 to n−.
Takes a value of 1. Then, at the point of n / 2, the vertical axis of the absolute coordinate system intersects the origin 0 of the local coordinates.
【００６９】検査対象光学部材１４が回転すると、ロー
カル座標系は、原点０を中心として絶対座標系の縦軸に
対して反時計方向に回転する。このとき、撮像開始時か
らの撮像の回数（走査回数）をｋとし、撮像の一周期
（一走査）の間に検査対象光学部材１４が回転する角度
をθとすると、撮像素子５中ｍ（但し、０≦ｍ≦n/2）
番目のピクセルＰのローカル座標系における極座標はＰ
（n/2−ｍ，ｋθ）となり、ｍ’（但し、n/2＜ｍ’≦ｎ
−１）番目のピクセルＰ’のローカル座標系における極
座標はＰ’（ｍ’−n/2，π＋ｋθ）となる。これら極
座標Ｐ，Ｐ’を直交座標によって表すと、Ｐ（Ｐｘ，Ｐ
ｙ），Ｐ’（Ｐ’ｘ，Ｐ’ｙ）となる。ここで、
Ｐｘ＝（n/2−ｍ）sin kθ …（１）
Ｐｙ＝（n/2−ｍ）cos kθ …（２）
Ｐｘ’＝（ｍ’−n/2）sin（180＋ kθ）＝−（ｍ’−n/2）sin kθ…（３）
Ｐｙ’＝（ｍ’−n/2）cos（180＋ｋθ）＝−（ｍ’−n/2）cos kθ…（４）
と表される。従って、これら式（１）〜（４）を用いる
ことにより、極座標系を直交座標系に変換することがで
きるのである。When the optical member 14 to be inspected rotates, the local coordinate system rotates counterclockwise around the origin 0 with respect to the vertical axis of the absolute coordinate system. At this time, when the number of times of imaging (the number of times of scanning) from the start of imaging is k and the angle at which the optical member 14 to be inspected is rotated during one imaging cycle (one scanning) is θ, m () However, 0 ≦ m ≦ n / 2)
The polar coordinate of the th pixel P in the local coordinate system is P
(N / 2−m, kθ) and m ′ (where n / 2 <m ′ ≦ n
The polar coordinate of the -1) -th pixel P'in the local coordinate system is P '(m'-n / 2, π + kθ). If these polar coordinates P and P ′ are represented by orthogonal coordinates, P (Px, P
y) and P '(P'x, P'y). Here, Px = (n / 2−m) sin kθ (1) Py = (n / 2−m) cos kθ (2) Px ′ = (m′−n / 2) sin (180 + kθ) = − (M′−n / 2) sin kθ ... (3) Py ′ = (m′−n / 2) cos (180 + kθ) = − (m′−n / 2) cos kθ ... (4) . Therefore, the polar coordinate system can be converted into the orthogonal coordinate system by using these equations (1) to (4).
【００７０】いま、図２６（ａ）に示すように、撮像素
子５のピクセル数（解像度）ｎが２０４８個であり、検
査対象光学部材１４が半回転（１８０度）する間に２０
４８回の撮像がなされるとする（即ち、θ＝180/204
8）。この場合、画像処理装置２１は、第１画像メモリ
２１ａ中の０〜１０２４列目のピクセルに対しては上記
式（１），（２）を適用し、１０２５〜２０４７列目の
ピクセルに対しては上記式（３），（４）を適用する。
但し、図２６（ｂ）に示すように、第２画像メモリ２１
ｂの原点（０，０）は、中心ではなくて左上に位置する
ので、原点位置をずらすための補正がなされねばならな
い。具体的には、この第２画像メモリ２１ｂのピクセル
数が２０４８×２０４８個であることから、画像処理装
置２１は、上記式（１），（３）によって求められたＸ
座標値に対して一律に１０２４を加算し、上記式
（２），（４）によって求められたＹ座標値の極性を反
転した後に一律に１０２４を加算する補正を施さなけれ
ばならない。Now, as shown in FIG. 26A, the number of pixels (resolution) n of the image pickup device 5 is 2048, and the number of pixels is 20 during half rotation (180 degrees) of the optical member 14 to be inspected.
Assume that imaging is performed 48 times (that is, θ = 180/204
8). In this case, the image processing device 21 applies the above formulas (1) and (2) to the pixels in the 0th to 1024th columns in the first image memory 21a, and to the pixels in the 1025th to 2047th columns. Applies the above equations (3) and (4).
However, as shown in FIG. 26B, the second image memory 21
Since the origin (0, 0) of b is located in the upper left corner, not in the center, correction for shifting the origin position must be made. Specifically, since the number of pixels of the second image memory 21b is 2048 × 2048, the image processing device 21 determines that the X value obtained by the above equations (1) and (3).
It is necessary to uniformly add 1024 to the coordinate value, invert the polarity of the Y coordinate value obtained by the above equations (2) and (4), and then uniformly add 1024.
【００７１】以上をまとめると、画像処理装置２１は、
図２６（ａ）に示す第１画像メモリ２１ａ中のｋ行目，
ｍ列目（ｍ＝０〜１０２４）のピクセルに対しては、下
記式（１’），（２’）を実行する。
Ｐｘ＝１０２４＋（１０２４−ｍ）sin kθ …（１’）
Ｐｙ＝１０２４−（１０２４−ｍ）cos kθ …（２’）
そして、求められたＰｘ，Ｐｙの値に基づき、図２６
（ｂ）に示す第２画像メモリ２１ｂ中のＰｙ行目，Ｐｘ
列目のピクセルを変換後のピクセルとして特定する。そ
して、第１画像メモリ２１ａ中のｋ行目，ｍ列目のピク
セルに書き込まれていたデータを、第２画像メモリ２１
ｂ中のＰｙ行目，Ｐｘ列目のピクセルに書き移す。To summarize the above, the image processing device 21
The k-th row in the first image memory 21a shown in FIG.
For the pixels in the m-th column (m = 0 to 1024), the following expressions (1 ′) and (2 ′) are executed. Px = 1024 + (1024−m) sin kθ (1 ′) Py = 1024− (1024−m) cos kθ (2 ′) Then, based on the obtained Px and Py values, FIG.
Py row, Px in the second image memory 21b shown in (b)
The pixel in the column is specified as the pixel after conversion. Then, the data written in the pixels in the k-th row and the m-th column in the first image memory 21a is transferred to the second image memory 21
Transfer to the pixel in the Py row and Px column in b.
【００７２】一方、画像処理装置２１は、図２６（ａ）
に示す第１画像メモリ２１ａ中のｋ行目，ｍ’列目
（ｍ’＝１０２５〜２０４７）のピクセルに対しては、
下記式（３’），（４’）を実行する。
Ｐｘ’＝１０２４−（ｍ’−１０２４）sin kθ …（３’）
Ｐｙ’＝１０２４＋（ｍ’−１０２４）cos kθ …（４’）
そして、求められたＰｘ’，Ｐｙ’の値に基づき、図２
６（ｂ）に示す第２画像メモリ２１ｂ中のＰｘ’行目，
Ｐｙ’列目のピクセルを変換後のピクセルとして特定す
る。そして、第１画像メモリ２１ａ中のｋ行目，ｍ列目
のピクセルに書き込まれていたデータを、第２画像メモ
リ２１ｂ中のＰｘ’行目，Ｐｙ’列目のピクセルに書き
移す。On the other hand, the image processing device 21 is shown in FIG.
For the pixels of the k-th row and the m'th column (m '= 1025 to 2047) in the first image memory 21a shown in
The following equations (3 ′) and (4 ′) are executed. Px ′ = 1024− (m′−1024) sin kθ (3 ′) Py ′ = 1024 + (m′−1024) cos kθ (4 ′) Then, based on the obtained Px ′ and Py ′ values, Figure 2
6 (b), the Px'th row in the second image memory 21b,
The pixel in the Py ′ column is specified as the pixel after conversion. Then, the data written in the pixels in the k-th row and the m-th column in the first image memory 21a are transferred to the pixels in the Px'th row and the Py'-th column in the second image memory 21b.
【００７３】このような書き移し完了後において第２画
像メモリ２１ｂに格納されている画像データは、検査対
象光学部材１４をエリアセンサによって撮像して得た画
像データと略等価であり、光学的欠陥の位置如何に拘わ
らず、画像データ中の光学的欠陥の面積は実際の光学的
欠陥の面積と正比例関係にある。そこで、画像処理装置
２１は、この第２画像メモリ２１ｂに格納されている画
像データに基づいて、良否判定を行うのである。具体的
には、画像処理装置２１は、第２画像メモリ２１ｂに格
納されている画像データの各ピクセルの輝度を所定の閾
値と比較し、所定の閾値よりも明るいピクセルの値を
“１”とするとともにそれ以外のピクセルの値を“０”
とする二値化処理を行う。そして、二値化処理後におい
て“１”の値を有するピクセルの総数が所定の判定基準
値を超えている場合に、検査対象光学部材１４が不良品
であると判断するのである。
＜制御処理＞次に、検査対象光学部材１４が良品である
か不良品であるかの判定を行うために画像処理装置２１
が実行する制御処理の内容を、図２７のフローチャート
を用いて説明する。The image data stored in the second image memory 21b after the transfer is completed is substantially equivalent to the image data obtained by picking up the image of the optical member 14 to be inspected by the area sensor, and an optical defect. Irrespective of the position of, the area of the optical defect in the image data is directly proportional to the area of the actual optical defect. Therefore, the image processing device 21 makes a pass / fail judgment based on the image data stored in the second image memory 21b. Specifically, the image processing device 21 compares the brightness of each pixel of the image data stored in the second image memory 21b with a predetermined threshold value, and sets the value of the pixel brighter than the predetermined threshold value to “1”. And the other pixel values are set to “0”
Binarization processing is performed. Then, when the total number of pixels having a value of “1” after the binarization process exceeds a predetermined determination reference value, it is determined that the inspection target optical member 14 is a defective product. <Control Processing> Next, in order to determine whether the inspection target optical member 14 is a good product or a defective product, the image processing device 21
The contents of the control processing executed by the above will be described with reference to the flowchart of FIG.
【００７４】図２７の制御処理は、画像処理装置２１に
接続された図示せぬ検査開始ボタンが押下されることに
よりスタートする。スタート後最初のＳ２１では、画像
処理装置２１は、駆動モータ１８に対する駆動信号の出
力を開始し、検査対象光学部材１４の等速回転を開始さ
せる。The control process of FIG. 27 is started by pressing an inspection start button (not shown) connected to the image processing apparatus 21. In the first step S21 after the start, the image processing device 21 starts the output of the drive signal to the drive motor 18, and starts the uniform rotation of the inspection target optical member 14.
【００７５】次のＳ２２では、画像処理装置２１は、撮
像素子５から出力された一走査分の画像データを入力
し、第１画像メモリ２１ａに書き込む。次のＳ２３で
は、画像処理装置２１は、Ｓ２２での画像データの書き
込みによって第１画像メモリ２１ａ内で検査対象光学部
材９全体に対応する極座標系による画像データが合成さ
れたかどうかをチェックする。そして、未だ検査対象光
学部材９全体に対応する極座標系による画像データが合
成されていない場合には、処理をＳ２２に戻し、新たな
撮像によって撮像素子５から出力された画像データを入
力する。In the next step S22, the image processing apparatus 21 inputs the image data for one scan output from the image pickup element 5 and writes it in the first image memory 21a. In next step S23, the image processing device 21 checks whether or not the image data in the polar coordinate system corresponding to the entire inspection target optical member 9 has been combined in the first image memory 21a by the writing of the image data in step S22. Then, if the image data in the polar coordinate system corresponding to the entire optical member 9 to be inspected has not been combined yet, the process is returned to S22, and the image data output from the image sensor 5 by new imaging is input.
【００７６】これに対して、検査対象光学部材９全体に
対応する極座標系による画像データが合成された場合に
は、画像処理装置２１は、Ｓ２４において、第１画像メ
モリ２１ａ内に書き込まれている極座標系による画像デ
ータに対して上記式（１’）〜（４’）を用いた座標変
換を行い、直交座標系に変換された画像データを第２画
像メモリ２１ｂに書き込む。On the other hand, when the image data in the polar coordinate system corresponding to the entire optical member 9 to be inspected is combined, the image processing device 21 is written in the first image memory 21a in S24. The coordinate conversion using the above formulas (1 ′) to (4 ′) is performed on the image data in the polar coordinate system, and the image data converted in the orthogonal coordinate system is written in the second image memory 21b.
【００７７】次のＳ２５では、画像処理装置２１は、第
２画像メモリ２１ｂ内に書き込まれている直交座標系に
よる検査対象光学部材９全体の画像に対して、二値化処
理を行う。即ち、第２画像メモリ２１ｂに格納されてい
る画像データの全ピクセルの輝度を、所定の閾値と比較
する。そして、当該所定の閾値よりも輝度が高いピクセ
ルの値を“１”に置き換えるとともに、当該所定の閾値
よりも輝度が低いピクセルの値を“０”に置き換える。In the next step S25, the image processing device 21 performs binarization processing on the entire image of the optical member 9 to be inspected in the orthogonal coordinate system written in the second image memory 21b. That is, the brightness of all the pixels of the image data stored in the second image memory 21b is compared with a predetermined threshold value. Then, the value of the pixel whose brightness is higher than the predetermined threshold value is replaced with "1", and the value of the pixel whose brightness is lower than the predetermined threshold value is replaced with "0".
【００７８】次のＳ２６では、画像処理装置２１は、第
２画像メモリ２１ｂ内における“１”の値を有するピク
セル（ドット）の総数を計測し、“１”の値を有するピ
クセル（ドット）の数が所定の判定基準値よりも多いか
どうかをチェックする。そして、“１”の値を有するピ
クセル（ドット）の数が所定の判定基準値よりも多い場
合には、Ｓ２７において、当該検査対象光学部材９が不
良品であると判定して、その旨を外部出力（画像表示，
音声出力）する。これに対して、“１”の値を有するピ
クセル（ドット）の数が所定の判定基準値以下である場
合には、Ｓ２８において、当該検査対象光学部材９が良
品であると判定して、その旨を外部出力（画像表示，音
声出力）する。以上の後に、画像処理装置２１は、この
制御処理を終了する。In the next step S26, the image processing device 21 measures the total number of pixels (dots) having a value of "1" in the second image memory 21b, and determines the number of pixels (dots) having a value of "1". Check if the number is greater than a predetermined criterion value. Then, when the number of pixels (dots) having the value of "1" is larger than the predetermined determination reference value, it is determined in S27 that the inspection target optical member 9 is a defective product, and that fact is determined. External output (image display,
Audio output). On the other hand, when the number of pixels (dots) having the value of “1” is less than or equal to the predetermined determination reference value, it is determined in S28 that the inspection target optical member 9 is a good product, and The effect is externally output (image display, audio output). After the above, the image processing device 21 ends this control process.
【００７９】なお、Ｓ２６での判定の代わりに、“１”
の値を有するピクセルの集合からなる領域の直径が所定
値以上あるかどうかによって判定を行っても良いし、
“１”の値を有するピクセルの集合からなる領域に該当
する二値化前画像における輝度値の総和が所定値以上あ
るかどうかによって判定を行っても良い。
＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第３実施
形態によると、検査対象光学部材１４を透過して撮像レ
ンズ４に入射するとともに撮像素子５の各ピクセルに入
射し得る様な光は、遮光板１９によって、予め遮光板２
０上にて遮られている。従って、撮像素子５による撮像
対象領域内において検査対象光学部材１４に光学欠陥が
生じていなければ、撮像素子５によって撮像される画像
データは、全体的に暗い。これに対して、撮像素子５に
よって撮像され得る範囲において検査対象光学部材１４
に光学欠陥が生じている場合には、遮光板１９の側方か
らこの領域内に入射した光が光学的欠陥によって拡散さ
れ、その拡散光の一部が撮像レンズ４に入射する。この
結果、撮像素子５によって撮像される画像データは、光
学欠陥の明るい像が暗黒の背景上に強調されたものとな
る。Instead of the determination in S26, "1"
The determination may be made based on whether or not the diameter of the region formed by the set of pixels having the value of
The determination may be made based on whether or not the total sum of the luminance values in the pre-binarization image corresponding to the area formed of the set of pixels having the value of “1” is equal to or more than a predetermined value. <Operation of Embodiment> According to the third embodiment configured as described above, light that can pass through the optical member 14 to be inspected and enter the imaging lens 4 and can enter each pixel of the imaging element 5. The light-shielding plate 19 causes the light-shielding plate 2 to
Blocked on 0. Therefore, unless the inspection target optical member 14 has an optical defect in the imaging target area of the imaging element 5, the image data captured by the imaging element 5 is dark as a whole. On the other hand, the inspection target optical member 14 is in the range that can be imaged by the image sensor 5.
When there is an optical defect in the light, the light that has entered the region from the side of the light shielding plate 19 is diffused by the optical defect, and a part of the diffused light enters the imaging lens 4. As a result, the image data picked up by the image pickup device 5 has a bright image of an optical defect emphasized on a dark background.
【００８０】なお、本実施形態においては、光軸を中心
として屈折力を有するレンズを検査対象光学部材１４と
しているとともに、この検査対象光学部材１４の光軸を
撮像レンズ４の光軸ｌと一致させ、この光軸を中心に検
査対象光学部材１４を回転させている。従って、撮像装
置３の位置から見た場合、検査対象光学部材１４を透過
して見える遮光板１９の位置は、検査対象光学部材１４
が回転しても、この検査対象光学部材１４の光軸を中心
とした位置から変化しない。従って、検査対象光学部材
１４に光学的欠陥がなければ、撮像素子５によって撮像
される画像データは常に暗黒のままであるし、検査対象
光学部材１４に欠陥があれば、撮像素子５によって撮像
される画像データは欠陥の程度に応じて明るくなる。In the present embodiment, a lens having a refractive power centered on the optical axis is used as the inspection target optical member 14, and the optical axis of the inspection target optical member 14 coincides with the optical axis 1 of the image pickup lens 4. Then, the optical member 14 to be inspected is rotated around this optical axis. Therefore, when viewed from the position of the imaging device 3, the position of the light shielding plate 19 that is seen through the inspection target optical member 14 is the inspection target optical member 14 position.
Even if the optical axis rotates, it does not change from the position around the optical axis of the inspection target optical member 14. Therefore, if there is no optical defect in the inspection target optical member 14, the image data captured by the image sensor 5 always remains dark. If there is a defect in the inspection target optical member 14, the image data is captured by the image sensor 5. The image data of the image becomes brighter according to the degree of the defect.
【００８１】そして、撮像素子５によって撮像された極
座標系による画像データが直交座標系による画像データ
に変換され、変換後の直交座標系による画像データにお
ける所定の判定基準値よりも輝度が高いピクセル（ドッ
ト）の数が測定され、測定されたピクセル（ドット）数
が一定の判断基準値と比較され、この比較結果に応じて
良品であるか不良品であるかの判定が客観的になされる
のである。
＜実施形態の変形例＞上述した拡散光による光学的欠陥
個所の検出は、検査対象光学部材１４の表面における撮
像素子５による撮像対象領域に入射する光の向きが一方
向のみであっても成立する。そのため、上述した遮光板
１９の代わりに、図２８に示すような略半円型の遮光板
１９ａが用いられても良い。Then, the image data in the polar coordinate system imaged by the image pickup device 5 is converted into the image data in the orthogonal coordinate system, and the pixel whose brightness is higher than a predetermined judgment reference value in the converted image data in the orthogonal coordinate system ( The number of dots) is measured, the measured number of pixels (dots) is compared with a certain judgment reference value, and it is objectively judged whether the product is a good product or a defective product according to the comparison result. is there. <Modification of Embodiment> The detection of the optical defect location by the diffused light described above is established even if the direction of the light incident on the imaging target region by the imaging element 5 on the surface of the inspection target optical member 14 is only one direction. To do. Therefore, instead of the light shielding plate 19 described above, a substantially semicircular light shielding plate 19a as shown in FIG. 28 may be used.
【００８２】また、検査対象光学部材１４がシリンドリ
カル成分を含む場合（アナモフィクレンズ，シリンドリ
カルレンズ等）には、この検査対象光学部材１４の屈折
力は、周方向に依って変わっている。従って、撮像装置
３の位置から見た場合、検査対象光学部材１４を透過し
て見える遮光板１９は、検査対象光学部材１４が回転す
るのに従って、図２９又は図３０に示すように歪んでし
まう。このような場合には、このような歪みが生じたと
しても検査対象光学部材１４を透過して撮像レンズ４に
入射する光を遮ることができる様に、図３１に示すよう
な光軸側から外縁側に向けて徐々に幅が拡がった形状の
遮光板１９ｂを採用すれば良い。このような形状の遮光
板１９ｂを採用すれば、光軸ｌ近傍の検出精度が向上す
るとともに、周縁近傍においても、正常箇所を欠陥個所
と誤認するおそれを、少なくとも防ぎ得る。この場合に
も、この遮光板１９ｂの代わりに、図３２に示す略半円
型遮光板１９ｃが用いられても良い。When the optical member 14 to be inspected contains a cylindrical component (anamorphic lens, cylindrical lens, etc.), the refractive power of the optical member 14 to be inspected changes depending on the circumferential direction. Therefore, when viewed from the position of the image pickup device 3, the light shielding plate 19 which is seen through the inspection target optical member 14 is distorted as the inspection target optical member 14 rotates, as shown in FIG. 29 or FIG. . In such a case, from such an optical axis side as shown in FIG. 31, the light transmitted through the inspection target optical member 14 and incident on the imaging lens 4 can be blocked even if such distortion occurs. The light shielding plate 19b having a shape in which the width gradually widens toward the outer edge side may be adopted. If the light-shielding plate 19b having such a shape is adopted, the detection accuracy in the vicinity of the optical axis 1 is improved, and even in the vicinity of the peripheral edge, at least the possibility of erroneously recognizing a normal portion as a defective portion can be prevented. Also in this case, a substantially semi-circular shading plate 19c shown in FIG. 32 may be used instead of the shading plate 19b.
【００８３】[0083]
【実施形態４】本発明の第４の実施形態は、第３実施形
態に比して、画像処理装置２１内に画像メモリ２１ａ，
２１ｂがないとともに、この画像処理装置２１による制
御処理が図３５に示すフローチャートに従ってなされる
ことを特徴とする。この図３５のフローチャートに従っ
た制御処理は、撮像素子５から入力される一ラインづつ
の画像データに対して、直接二値化処理及び判定処理を
実行するものである。[Fourth Embodiment] The fourth embodiment of the present invention is different from the third embodiment in that an image memory 21a,
21b is absent, and the control processing by the image processing apparatus 21 is performed according to the flowchart shown in FIG. The control processing according to the flowchart of FIG. 35 is to directly execute the binarization processing and the determination processing on the image data input from the image sensor 5 for each line.
【００８４】この図３５のフローチャートに従った制御
処理は、画像処理装置２１に接続された図示せぬ検査開
始ボタンが押下されることによりスタートする。スター
ト後最初のＳ３１では、画像処理装置２１は、駆動モー
タ１８に対する駆動信号の出力を開始し、検査対象光学
部材１４の等速回転を開始させる。The control process according to the flowchart of FIG. 35 is started by pressing an inspection start button (not shown) connected to the image processing device 21. In the first step S31 after the start, the image processing device 21 starts the output of the drive signal to the drive motor 18 and starts the uniform rotation of the inspection target optical member 14.
【００８５】画像処理装置２１は、次に、Ｓ３２乃至Ｓ
３６のループ処理に入る。このループ処理に入って最初
のＳ３２では、画像処理装置２１は、撮像素子５から出
力された一走査分の画像データを入力する。The image processing apparatus 21 then proceeds to S32 through S
The loop processing of 36 is started. In the first step S32 after entering this loop processing, the image processing device 21 inputs the image data for one scan output from the image sensor 5.
【００８６】次のＳ３３では、画像処理装置２１は、Ｓ
３２にて入力した一走査分の画像データに対して、二値
化処理を行う。即ち、一走査分の画像データの輝度を所
定の閾値と比較し、当該所定の閾値よりも輝度が高い部
分を論理値“１”とするとともに当該所定の閾値よりも
輝度が低い部分を論理値“０”とすることにより、画像
データを矩形出力に変換する。At the next step S33, the image processing device 21
Binarization processing is performed on the image data for one scan input at 32. That is, the brightness of the image data for one scan is compared with a predetermined threshold value, a part having a brightness higher than the predetermined threshold value is set to a logical value “1”, and a part having a brightness value lower than the predetermined threshold value is set to a logical value. By setting it to "0", the image data is converted into a rectangular output.
【００８７】次のＳ３４では、画像処理装置２１は、Ｓ
３３にて変換された矩形出力の幅（論理値“１”の部分
の長さ）Ｔを測定する。次のＳ３５では、画像処理装置
２１は、Ｓ３４にて測定された幅Ｔが所定の判定基準値
よりも大きいか否かをチェックする。そして、Ｓ３４に
て測定された幅Ｔが所定の判定基準値以下であると判定
した場合には、画像処理装置２１は、処理をＳ３６に進
める。At the next step S34, the image processing device 21
The width (length of the portion of the logical value "1") T of the rectangular output converted at 33 is measured. In the next S35, the image processing device 21 checks whether or not the width T measured in S34 is larger than a predetermined determination reference value. Then, when it is determined that the width T measured in S34 is less than or equal to the predetermined determination reference value, the image processing device 21 advances the process to S36.
【００８８】このＳ３６では、画像処理装置２１は、検
査対象光学部材９全体に対応する画像データを入力し終
わったかどうかをチェックする。そして、未だ検査対象
光学部材９全体に対応する画像データを入力し終わって
いない場合には、画像処理装置２１は、処理をＳ３２に
戻し、新たな撮像によって撮像素子５から出力された画
像データを入力する。In S36, the image processing device 21 checks whether or not the image data corresponding to the entire optical member 9 to be inspected has been input. Then, if the image data corresponding to the entire optical member 9 to be inspected has not been input yet, the image processing device 21 returns the process to S32, and the image data output from the image sensor 5 by the new imaging is acquired. input.
【００８９】以上のループ処理を繰り返した結果、Ｓ３
４にて測定された幅Ｔが所定の判定基準値を超えたとＳ
３５にて判定した場合には、画像処理装置２１は、Ｓ３
８において、当該検査対象光学部材９が不良品であると
判定して、その旨を外部出力（画像表示，音声出力）す
る。この場合には、以後における画像データの入力は打
ち切られ、この時点でこの制御処理は終了する。As a result of repeating the above loop processing, S3
If the width T measured in 4 exceeds a predetermined judgment reference value, S
When the determination is made in S35, the image processing device 21 determines in S3.
In 8, it is determined that the optical member 9 to be inspected is a defective product, and that effect is externally output (image display, voice output). In this case, the input of the image data after that is terminated, and this control process ends at this point.
【００９０】これに対して、幅Ｔが所定の判定基準値を
超えたと判定することなく検査対象光学部材９全体に対
応する画像データを入力したとＳ３６にて判定した場合
には、画像処理装置２１は、Ｓ３７において、当該検査
対象光学部材９が良品であると判定して、その旨を外部
出力（画像表示，音声出力）する。そして、その後、こ
の制御処理を終了する。On the other hand, when it is determined in S36 that the image data corresponding to the entire inspection target optical member 9 is input without determining that the width T exceeds the predetermined determination reference value, the image processing apparatus 21 determines in S37 that the inspection target optical member 9 is a non-defective product, and externally outputs that fact (image display, voice output). Then, thereafter, this control process is ended.
【００９１】本第４実施形態におけるその他の構成及び
作用は、第３実施形態のものと同じなので、その説明を
省略する。The other structure and operation of the fourth embodiment are the same as those of the third embodiment, and the description thereof will be omitted.
【００９２】[0092]
【実施形態５】本発明の第５の実施形態は、円形レンズ
のように光軸を中心にパワーを有する光学部材の検査に
適した構成例を示すものである。但し、第３実施形態に
おいて撮像素子５が検査対象光学部材１４の直径方向の
全域を一度に撮像するのと異なり、本第５実施例におけ
る撮像素子５は、検査対象光学部材１４の中心から外縁
までの領域しか一度に撮像しない。これは、照明対象面
積を狭くすることによって均一照度での照明を容易にす
るため，同一ピクセル数の撮像素子５を用いてより狭い
領域を撮像することによって解像度を上げるため，及
び、極座標系による画像データの全ピクセルに対して同
じ計算式を適用可能にすることによって処理を簡単化す
るためである。
＜光学部材検査装置の構成＞本第５実施形態の概略構成
を、図３６の一部断面側面図に示す。この図３６に示す
ように、光学部材検査装置を構成する照明ランプ１，拡
散板２０，及び撮像装置３は、同一の光軸ｌ上に配置さ
れている。Fifth Embodiment A fifth embodiment of the present invention shows a structural example suitable for inspecting an optical member having a power centering on the optical axis such as a circular lens. However, unlike the image sensor 5 in the third embodiment that images the entire diametrical direction of the inspection target optical member 14 at once, the image sensor 5 in the fifth embodiment has an outer edge from the center of the inspection target optical member 14. Only the area up to is imaged at one time. This is because in order to facilitate illumination with uniform illuminance by narrowing the area to be illuminated, to increase the resolution by imaging a narrower area using the image sensor 5 having the same number of pixels, and by using the polar coordinate system. This is to simplify the process by making the same calculation formula applicable to all pixels of the image data. <Structure of Optical Member Inspecting Device> A schematic structure of the fifth embodiment is shown in a partial sectional side view of FIG. As shown in FIG. 36, the illumination lamp 1, the diffuser plate 20, and the image pickup device 3 which form the optical member inspection device are arranged on the same optical axis l.
【００９３】本第５実施形態においては、図３６及び図
３７に示すように、検査対象光学部材１４の光軸，即
ち、検査対象光学部材１４及びホルダ１５の中心Ｏは、
撮像レンズ４の光軸ｌに対して、平行にオフセットして
いる。具体的には、撮像レンズ４の光軸ｌは、検査対象
光学部材１４における中心Ｏと外縁との中間点を通って
いる。即ち、本第５実施形態における駆動モータ１８，
両ギヤ１７，１６，及びホルダ１５は、検査対象光学部
材１４を撮像レンズ４の光軸ｌからオフセットした回転
軸を中心に回転させる回転手段に相当するのである。そ
して、撮像レンズ４の倍率（即ち、撮像装置３自体の位
置，及び撮像レンズ４の撮像素子５に対する位置）は、
検査対象光学部材１４の表面における中心Ｏから外縁ま
での領域を撮像素子５の撮像面に結像し得るように、調
整されている。In the fifth embodiment, as shown in FIGS. 36 and 37, the optical axis of the inspection target optical member 14, that is, the center O of the inspection target optical member 14 and the holder 15 is
It is offset parallel to the optical axis 1 of the imaging lens 4. Specifically, the optical axis 1 of the imaging lens 4 passes through the midpoint between the center O and the outer edge of the inspection target optical member 14. That is, the drive motor 18 in the fifth embodiment,
The gears 17 and 16 and the holder 15 correspond to a rotating unit that rotates the optical member 14 to be inspected about a rotation axis offset from the optical axis 1 of the imaging lens 4. Then, the magnification of the imaging lens 4 (that is, the position of the imaging device 3 itself and the position of the imaging lens 4 with respect to the imaging element 5) is
It is adjusted so that an area from the center O to the outer edge on the surface of the inspection target optical member 14 can be imaged on the imaging surface of the imaging element 5.
【００９４】画像処理装置２２は、検査対象光学部材１
４が良品であるか不良品であるかの判定を行うプロセッ
サであり、撮像素子５から入力された画像データに対し
て所定の画像処理を行い、検査対象光学部材１４の光学
的欠陥の程度を数値化するとともに、この数値を一定の
判定基準値（許容値）と比較し、この数値が判定基準値
内に収まっているか超えているかの判定を行う。即ち、
この画像処理装置２２は、数値化手段，及び判定手段に
相当する。この画像処理装置２２は、また、上述した判
定処理を行うのに伴い、撮像装置５からの画像データが
入力されるのと同期して、検査対象光学部材１４を回転
させるための制御信号を駆動モータ１８に対して出力す
る。この画像処理装置２２内には、上述の画像処理を行
うに際して画像データを格納するための第１画像メモリ
２２ａ及び第２画像メモリ２２ｂが、内蔵されている。The image processing device 22 includes the optical member 1 to be inspected.
4 is a processor that determines whether the product is a non-defective product or a defective product, performs predetermined image processing on the image data input from the image sensor 5, and determines the degree of optical defects of the inspection target optical member 14. While digitizing, this numerical value is compared with a fixed judgment reference value (allowable value) to judge whether this numerical value is within or exceeds the judgment reference value. That is,
The image processing device 22 corresponds to a digitizing unit and a determining unit. The image processing device 22 also drives a control signal for rotating the inspection target optical member 14 in synchronization with the input of image data from the imaging device 5 in accordance with the above-described determination process. Output to the motor 18. The image processing device 22 includes a first image memory 22a and a second image memory 22b for storing image data when performing the above-mentioned image processing.
【００９５】本第５実施形態におけるその他の構成は第
３実施形態のものと同じであるので、その説明を省略す
る。
＜光学的欠陥検出の原理＞本第５実施形態において検査
対象光学部材の光学的欠陥が検出される原理は、第３実
施形態のものと同じであるので、その説明を省略する。
＜光学的欠陥判定の方式＞撮像素子５による撮像（電荷
蓄積及び走査）は、駆動モータ１８による検査対象光学
部材１４の回転と同期して、この検査対象光学部材１４
が単位角度だけ回転する毎に行われる。そして、撮像素
子５による撮像（電荷蓄積及び走査）がなされる毎に、
図３８に示すような画像データが、画像処理装置２２に
入力されて第１画像メモリ２２ａに書き込まれる。図３
９乃至図４３は、遮光板１９，撮像素子５による撮像対
象領域（二点鎖線にて表示），及び検査対象光学部材１
４の相対位置と第１画像メモリ２２ａに書き込まれた画
像データとの関係を示す。具体的には、図３９は、初期
状態を示し（この時点で撮像される検査対象光学部材１
４の外縁上の点を“Ｂ”とし、この点“Ｂ”から１８０
度離れた外縁上の点を“Ａ”とする）、図４０は、検査
対象光学部材１４が初期状態から反時計方向に９０度回
転した状態を示し、図４１は、検査対象光学部材１４が
初期状態から反時計方向に１８０度回転した状態を示
し、図４２は、検査対象光学部材１４が初期状態から反
時計方向に２７０度回転した状態を示し、図４３は、検
査対象光学部材１４が初期状態から反時計方向に３６０
度回転した終了態を示す。これら各図に示すように、検
査対象光学部材１４が回転するにつれて、第１画像メモ
リ２２ａの各行には、撮像素子５によって撮像された各
走査毎の画像データが、先頭行から順に書き込まれる。The other structure of the fifth embodiment is the same as that of the third embodiment, and the description thereof will be omitted. <Principle of Optical Defect Detection> The principle of detecting an optical defect in the optical member to be inspected in the fifth embodiment is the same as that in the third embodiment, and therefore the description thereof is omitted. <Optical Defect Judgment Method> Image pickup (charge accumulation and scanning) by the image pickup device 5 is synchronized with the rotation of the inspection target optical member 14 by the drive motor 18, and the inspection target optical member 14 is rotated.
Is performed every time a unit angle is rotated. Then, every time image pickup (charge accumulation and scanning) is performed by the image pickup element 5,
Image data as shown in FIG. 38 is input to the image processing device 22 and written in the first image memory 22a. Figure 3
9 to 43 show the light shielding plate 19, the image pickup target area by the image pickup device 5 (indicated by a chain double-dashed line), and the inspection target optical member 1.
4 shows the relationship between the relative position of No. 4 and the image data written in the first image memory 22a. Specifically, FIG. 39 shows an initial state (the inspection target optical member 1 imaged at this time point).
The point on the outer edge of 4 is "B", and 180 points from this point "B"
40 shows a state in which the inspection target optical member 14 is rotated 90 degrees counterclockwise from the initial state, and FIG. 41 shows that the inspection target optical member 14 is 42 shows a state in which the inspection target optical member 14 is rotated counterclockwise by 180 degrees from the initial state, FIG. 42 shows a state in which the inspection target optical member 14 is rotated counterclockwise by 270 degrees in the initial state, and FIG. 360 from the initial state counterclockwise
It shows the end state after rotating once. As shown in these drawings, as the inspection target optical member 14 rotates, the image data of each scan captured by the image sensor 5 is sequentially written in each row of the first image memory 22a from the first row.
【００９６】図４３（ｂ）に示す時点で第１画像メモリ
２２ａに書き込まれている画像データの縦軸は、中心
（光軸）Ｏと点Ｂとを結ぶ半径を基準とした検査対象光
学部材１４の回転角を示し、横軸は、検査対象光学部材
１４の中心Ｏから半径方向への距離を示す。即ち、第１
画像メモリ２２ａに書き込まれる画像データの座標系
は、極座標系である。この極座標系においては、検査対
象光学部材１４の中心Ｏに近い欠陥程面積が大きく写り
込み、外縁に近い欠陥程小さく写り込む。従って、第１
画像メモリ２２ａに書き込まれている画像データそのも
のに基づいて、検査対象光学部材１４が良品であるか否
かの客観的判定はできない。そのため、本実施の形態に
おける画像処理装置２２は、第１画像メモリ２２ａに書
き込まれている極座標系による画像データを直交座標系
による画像データに変換して、第２画像メモリ２２ｂに
書き込む。The vertical axis of the image data written in the first image memory 22a at the time point shown in FIG. 43 (b) is the optical member to be inspected with the radius connecting the center (optical axis) O and the point B as a reference. 14 represents the rotation angle, and the horizontal axis represents the distance from the center O of the inspection target optical member 14 in the radial direction. That is, the first
The coordinate system of the image data written in the image memory 22a is a polar coordinate system. In this polar coordinate system, a defect closer to the center O of the inspection target optical member 14 has a larger area, and a defect closer to the outer edge has a smaller area. Therefore, the first
Based on the image data itself written in the image memory 22a, it is not possible to objectively judge whether the inspection target optical member 14 is a non-defective product. Therefore, the image processing device 22 in the present embodiment converts the image data in the polar coordinate system written in the first image memory 22a into the image data in the orthogonal coordinate system and writes the image data in the second image memory 22b.
【００９７】図４４は、このような極座標系から直交座
標系への座標変換方法を示す図であり、検査対象光学部
材１４の表面上に定義されたローカル座標系と撮像素子
５のピクセル列の方向を基準（縦軸）とした絶対座標系
との関係を示すものである。図４４において、検査対象
光学部材１４の表面上に定義されたローカル座標系は、
検査対象光学部材１４の中心Ｏを原点０とし、検査対象
光学部材１４表面上における点Ａ，Ｂ間を結ぶ線をＹ軸
とする。また、Ｙ軸と直交し且つ原点０を通る線をＸ軸
とする。また、絶対座標系の縦軸上の各点の値は、撮像
素子５の各ピクセルの走査の順番に対応するので、撮像
素子５の解像度（ピクセル数）をｎとすると０〜ｎ−１
の値をとる。そして、０の点において、絶対座標系の縦
軸はローカル座標の原点０と交差することとなる。FIG. 44 is a diagram showing a coordinate conversion method from such a polar coordinate system to an orthogonal coordinate system, which shows the local coordinate system defined on the surface of the optical member 14 to be inspected and the pixel array of the image sensor 5. It shows the relationship with the absolute coordinate system with the direction as the reference (vertical axis). In FIG. 44, the local coordinate system defined on the surface of the inspection target optical member 14 is
The center O of the inspection target optical member 14 is the origin 0, and the line connecting the points A and B on the surface of the inspection target optical member 14 is the Y axis. Further, a line orthogonal to the Y axis and passing through the origin 0 is defined as the X axis. Further, the value of each point on the vertical axis of the absolute coordinate system corresponds to the scanning order of each pixel of the image sensor 5, so that the resolution (the number of pixels) of the image sensor 5 is 0 to n-1.
Takes the value of. Then, at the point of 0, the vertical axis of the absolute coordinate system intersects the origin 0 of the local coordinates.
【００９８】検査対象光学部材１４が回転すると、ロー
カル座標系は、原点０を中心として絶対座標系の縦軸に
対して反時計方向に回転する。このとき、撮像開始時か
らの撮像の回数（走査回数）をｋとし、撮像の一周期
（一走査）の間に検査対象光学部材１４が回転する角度
をθとすると、撮像素子５中ｍ番目のピクセルＰのロー
カル座標系における極座標はＰ（ｍ，ｋθ）となる。こ
こで、
Ｐｘ＝m sin kθ …（５）
Ｐｙ＝m cos kθ …（６）
と表される。従って、これら式（５），（６）を用いる
ことにより、極座標系を直交座標系に変換することがで
きるのである。When the inspection target optical member 14 rotates, the local coordinate system rotates counterclockwise about the origin 0 with respect to the vertical axis of the absolute coordinate system. At this time, when the number of times of imaging (the number of times of scanning) from the start of imaging is k and the angle at which the optical member 14 to be inspected is rotated during one imaging cycle (one scanning) is θ, the m-th image sensor 5 is selected. The polar coordinate of the pixel P in the local coordinate system is P (m, kθ). Here, Px = m sin kθ (5) Py = m cos kθ (6) Therefore, the polar coordinate system can be converted into the orthogonal coordinate system by using these equations (5) and (6).
【００９９】いま、図４５（ａ）に示すように、撮像素
子５のピクセル数（解像度）ｎが２０４８個であり、検
査対象光学部材１４が一回転（３６０度）する間に８１
９２回の撮像がなされるとすると、θ＝360/8192とな
る。但し、図４５（ｂ）に示すように、第２画像メモリ
２２ｂの原点（０，０）は、中心ではなくて左上に位置
するので、原点位置をずらすための補正がなされねばな
らない。この第２画像メモリ２２ｂのピクセル数は４０
９６×４０９６個なので、具体的には、画像処理装置２
２は、上記式（５）によって求められたＸ座標値に対し
て一律に２０４８を加算し、上記式（６）によって求め
られたＹ座標値の極性を反転した後に一律に２０４８を
加算する補正を施さなければならない。Now, as shown in FIG. 45A, the number of pixels (resolution) n of the image pickup device 5 is 2048, and the number of pixels is 81 during one rotation (360 degrees) of the optical member 14 to be inspected.
If imaging is performed 92 times, θ = 360/8192. However, as shown in FIG. 45 (b), the origin (0, 0) of the second image memory 22b is located not at the center but at the upper left, and therefore correction must be made to shift the origin position. The number of pixels of this second image memory 22b is 40.
Since it is 96 × 4096, specifically, the image processing device 2
2 is a correction for uniformly adding 2048 to the X coordinate value obtained by the above equation (5), inverting the polarity of the Y coordinate value obtained by the above equation (6), and then uniformly adding 2048. Must be given.
【０１００】以上をまとめると、画像処理装置２２は、
図４５（ａ）に示す第１画像メモリ２２ａ中の各ピクセ
ルに対して、下記式（５’），（６’）を実行する。
Ｐｘ＝２０４８＋ｍsinｋθ …（５’）
Ｐｙ＝２０４８−ｍcosｋθ …（６’）
そして、求められたＰｘ，Ｐｙの値に基づき、図４５
（ｂ）に示す第２画像メモリ２２ｂ中のＰｙ行目，Ｐｘ
列目のピクセルを変換後のピクセルとして特定する。そ
して、第１画像メモリ２２ａのｋ行目，ｍ列目のピクセ
ルに書き込まれていたデータを、第２画像メモリ２２ｂ
中のＰｙ行目，Ｐｘ列目のピクセルに書き移す。To summarize the above, the image processing device 22
The following equations (5 ') and (6') are executed for each pixel in the first image memory 22a shown in FIG. 45 (a). Px = 2048 + msinkθ (5 ′) Py = 2048−mcoskθ (6 ′) Then, based on the obtained values of Px and Py, FIG.
Py row, Px in the second image memory 22b shown in (b)
The pixel in the column is specified as the pixel after conversion. Then, the data written in the pixels in the k-th row and the m-th column of the first image memory 22a is transferred to the second image memory 22b.
The data is transferred to the pixel in the Py row and Px column in the inside.
【０１０１】このような書き移し完了後において第２画
像メモリ２２ｂに格納されている画像データは、検査対
象光学部材１４をエリアセンサによって撮像して得た画
像データと略等価であり、光学的欠陥の位置如何に拘わ
らず、画像データ中の光学的欠陥の面積は実際の光学的
欠陥の面積と正比例関係にある。そこで、画像処理装置
２２は、この第２画像メモリ２２ｂに格納されている画
像データに基づいて、良否判定を行うのである。具体的
には、画像処理装置２２は、第２画像メモリ２２ｂに格
納されている画像データの各ピクセルの輝度を所定の閾
値と比較し、所定の閾値よりも明るいピクセルの値を
“１”とするとともにそれ以外のピクセルの値を“０”
とする二値化処理を行う。そして、二値化処理後におい
て“１”の値を有するピクセルの総数が所定の判定基準
値を超えている場合に、検査対象光学部材１４が不良品
であると判断するのである。
＜制御処理＞本第５実施形態において、検査対象光学部
材１４が良品であるか不良品であるかの判定を行うため
に画像処理装置２１が実行する制御処理は、第３実施形
態における図２７のフローチャートに従って行われる。
但し、この制御処理におけるＳ２４での座標変換に用い
る式は、上述した通り、式（５’）及び（６’）であ
る。
＜実施形態の作用＞以上のように構成された本第５実施
形態によると、同じピクセル数の撮像素子５を使用した
第３実施形態と比べて、検査対象光学部材１４の表面に
おける撮像対象領域の全長が短いので、光学的欠陥個所
をより拡大して撮像することができる。即ち、光軸を中
心に屈折力を有する光学部材を検査する場合において、
解像度を最大にすることができるのである。また、この
ように狭い領域が撮像対象領域になることから、この撮
像対象領域を照明ランプ１及び拡散板２０によって同一
照度に照明することも容易になる。従って、光学的欠陥
検出の精度もそれだけ向上する。さらに、第１画像メモ
リ２２ａ内に格納されている極座標系による画像データ
を直交座標系へ座標変換する際には、全てのピクセルに
対して共通の式（５’），（６’）を実行すれば足りる
ので、処理を簡単にすることができる。The image data stored in the second image memory 22b after the transfer is completed is substantially equivalent to the image data obtained by picking up the image of the optical member 14 to be inspected by the area sensor, and an optical defect. Irrespective of the position of, the area of the optical defect in the image data is directly proportional to the area of the actual optical defect. Therefore, the image processing device 22 makes a pass / fail judgment based on the image data stored in the second image memory 22b. Specifically, the image processing device 22 compares the brightness of each pixel of the image data stored in the second image memory 22b with a predetermined threshold value, and sets the value of the pixel brighter than the predetermined threshold value to “1”. And the other pixel values are set to “0”
Binarization processing is performed. Then, when the total number of pixels having a value of “1” after the binarization process exceeds a predetermined determination reference value, it is determined that the inspection target optical member 14 is a defective product. <Control Process> In the fifth embodiment, the control process executed by the image processing apparatus 21 to determine whether the inspection target optical member 14 is a good product or a defective product is the same as that of the third embodiment shown in FIG. It is performed according to the flowchart of.
However, the formulas used for the coordinate conversion in S24 in this control process are the formulas (5 ′) and (6 ′) as described above. <Operation of Embodiment> According to the fifth embodiment configured as described above, as compared with the third embodiment using the image sensor 5 having the same number of pixels, the image capturing target area on the surface of the inspection target optical member 14 is obtained. Since the total length is short, it is possible to further magnify and image the optical defect portion. That is, when inspecting an optical member having a refractive power around the optical axis,
The resolution can be maximized. Further, since such a narrow area becomes the imaging target area, it becomes easy to illuminate the imaging target area with the same illuminance by the illumination lamp 1 and the diffusion plate 20. Therefore, the accuracy of optical defect detection is improved accordingly. Further, when the image data in the polar coordinate system stored in the first image memory 22a is coordinate-transformed into the orthogonal coordinate system, the common formulas (5 ') and (6') are executed for all pixels. Since it is sufficient, the processing can be simplified.
【０１０２】本第５実施形態におけるその他の作用は、
第３実施形態と同じであるので、その説明を省略する。
＜実施形態の変形例＞本第５実施形態における光学的欠
陥個所の検出は、検査対象光学部材１４の表面における
撮像素子５による撮像対象領域に入射する光の向きが一
方向のみであっても可能である。そのため、上述した遮
光板１９の代わりに、図４６に示すような略四分円型の
遮光板１９ｄが用いられても良い。また、検査対象光学
部材１４がシリンドリカル成分を含む場合（アナモフィ
クレンズ，シリンドリカルレンズ等）には、この検査対
象光学部材１４の屈折力は、周方向に依って変わってい
る。従って、撮像装置３の位置から見た場合、検査対象
光学部材１４を透過して見える遮光板１９は、検査対象
光学部材１４が回転するのに従って、図４７又は図４８
に示すように歪んでしまう。このような場合には、この
ような歪みが生じたとしても検査対象光学部材１４を透
過して撮像レンズ４に入射する光を遮ることができる様
に、図４９に示すように検査対象光学部材１４の中心Ｏ
側から外縁側に向けて徐々に幅が拡がった形状の遮光板
１９ｅを採用すれば良い。このような形状の遮光板１９
ｅを採用すれば、検査対象光学部材の中心Ｏ近傍の検出
精度が向上するとともに、外縁近傍においても、正常箇
所を欠陥個所と誤認するおそれを、少なくとも防ぎ得
る。この場合にも、この遮光板１９ｅの代わりに、図５
０に示す略四分円型の遮光板１９ｆが用いられても良
い。Other operations in the fifth embodiment are as follows.
Since it is the same as the third embodiment, the description thereof is omitted. <Modification of Embodiment> The detection of the optical defect portion in the fifth embodiment is performed even if the direction of the light incident on the imaging target region by the imaging element 5 on the surface of the inspection target optical member 14 is only one direction. It is possible. Therefore, instead of the light shielding plate 19 described above, a substantially quadrant type light shielding plate 19d as shown in FIG. 46 may be used. When the inspection target optical member 14 contains a cylindrical component (anamorphic lens, cylindrical lens, etc.), the refractive power of the inspection target optical member 14 changes depending on the circumferential direction. Therefore, when viewed from the position of the image pickup device 3, the light shielding plate 19 which is seen through the inspection target optical member 14 is shown in FIG. 47 or FIG. 48 as the inspection target optical member 14 rotates.
It becomes distorted as shown in. In such a case, as shown in FIG. 49, the inspection target optical member can be blocked so that the light that passes through the inspection target optical member 14 and enters the imaging lens 4 can be blocked even if such distortion occurs. Center O of 14
The light shielding plate 19e having a shape in which the width gradually widens from the side toward the outer edge side may be adopted. Light-shielding plate 19 having such a shape
If e is adopted, the detection accuracy in the vicinity of the center O of the optical member to be inspected is improved, and at least the possibility of erroneously recognizing a normal portion as a defective portion even in the vicinity of the outer edge can be prevented. Also in this case, instead of the shading plate 19e, as shown in FIG.
A substantially quadrant type light shielding plate 19f shown in 0 may be used.
【０１０３】さらに、本第５実施形態において、図３５
に示すフローチャートに従って画像処理装置２２による
制御処理が実行されても良い。Furthermore, in the fifth embodiment, FIG.
The control process by the image processing device 22 may be executed according to the flowchart shown in FIG.
【０１０４】[0104]
【実施形態６】本発明の第６の実施形態は、上述の第３
実施形態に比して、照明ランプ１の代わりに２基のライ
ン照明装置２１，２１を備える事を、特徴としている。Sixth Embodiment The sixth embodiment of the present invention is the same as the above-mentioned third embodiment.
Compared to the embodiment, it is characterized in that two line illumination devices 21 and 21 are provided instead of the illumination lamp 1.
【０１０５】図５１は、この第６実施形態による光学部
材検査装置の概略構成を示す一部断面側面図であり、図
５２は、図５１の側方から見た光の進行状態を示す図で
ある。FIG. 51 is a partial sectional side view showing a schematic structure of the optical member inspection device according to the sixth embodiment, and FIG. 52 is a view showing a traveling state of light as seen from the side of FIG. is there.
【０１０６】各ライン照明装置２１は、出射する照明光
が発散するようにレンズの特性が設定されている点を除
き、補助照明装置１０と同様の構成を有している。そし
て、各ライン照明装置２１は、図５１及び図５２に示さ
れるように、拡散板２０の下方（図５２における下方）
において、その照明光出射端の長手方向が遮光板１９の
長手方向と平行になる様、光軸ｌを挟んで対称な位置に
配置されている。更に具体的に述べると、各ライン照明
装置２１は、その照明光出射端が光軸ｌ側に傾いて、遮
光板１９の長手方向の縁を向いている。従って、図５３
に示すように、各ライン照明装置２１は、拡散板２０に
おける遮光板１９の長手方向の縁との接触箇所及びその
側方の領域（点線Ｅにて図示）を、夫々個別に照明す
る。Each line illumination device 21 has the same structure as the auxiliary illumination device 10 except that the characteristics of the lens are set so that the emitted illumination light is diverged. Then, as shown in FIGS. 51 and 52, each line illumination device 21 is below the diffusion plate 20 (below in FIG. 52).
In the above, the illuminating light emitting ends are arranged at symmetrical positions with the optical axis 1 interposed so that the longitudinal direction of the illuminating light emitting end is parallel to the longitudinal direction of the light shielding plate 19. More specifically, each line illumination device 21 has its illumination light emitting end inclined toward the optical axis 1 side and facing the edge of the light shielding plate 19 in the longitudinal direction. Therefore, FIG.
As shown in FIG. 5, each line illuminator 21 individually illuminates the contact portion of the diffusion plate 20 with the edge of the light shield plate 19 in the longitudinal direction and the region on the side thereof (illustrated by the dotted line E).
【０１０７】本第６実施形態におけるその他の構成及び
作用は、第３実施形態のものと同じなので、その説明を
省略する。The rest of the configuration and operation of the sixth embodiment are the same as those of the third embodiment, so a description thereof will be omitted.
【０１０８】[0108]
【実施形態７】本発明の第７の実施形態は、上述の第６
実施形態に比して、拡散板２０及び遮光板１９を削除す
るとともに、撮像素子５の各ピクセルに入射する光の周
縁光線ｍ，ｍの外側に各ライン照明装置２１を配置した
ことを、特徴としている。Seventh Embodiment The seventh embodiment of the present invention is the sixth embodiment described above.
Compared with the embodiment, the diffuser plate 20 and the light shield plate 19 are removed, and each line illumination device 21 is arranged outside the marginal rays m, m of the light incident on each pixel of the image sensor 5. I am trying.
【０１０９】図５４は、この第７実施形態による光学部
材検査装置における光の進行状態を示す図である。この
図５４に示されるように、各ライン照明装置２１は、撮
像素子５の各ピクセルに入射する光の周縁光線ｍ，ｍの
外側から、検査対象光学部材１４における撮像素子５に
よる撮像対象領域（撮像レンズ４に入射した後で撮像素
子５に入射する光が透過する領域）へ向く様に、配置さ
れている。従って、図５５に示されるように、検査対象
光学部材１４における撮像素子による撮像対象領域（点
線Ｅにて図示）が、これら各ライン照明装置２１，２１
によって照明されることとなる。FIG. 54 is a diagram showing a traveling state of light in the optical member inspection apparatus according to the seventh embodiment. As shown in FIG. 54, each line illuminating device 21 has an image pickup target area (image pickup target area of the image pickup device 5 in the inspection target optical member 14) from the outside of the marginal rays m, m of the light incident on each pixel of the image pickup device 5. It is arranged so as to face an area through which light that enters the imaging lens 4 and then enters the imaging element 5 is transmitted. Therefore, as shown in FIG. 55, the image pickup target area (shown by the dotted line E) by the image pickup element in the inspection target optical member 14 is each of these line illumination devices 21, 21.
Will be illuminated by.
【０１１０】以上の構成により、本実施形態において
も、検査対象光学部材１４に光学的欠陥が無い限り、各
ライン照明装置２１から出射された照明光が検査対象光
学部材１４を透過した後で撮像レンズ４に入射すること
はない。従って、撮像素子５によって撮像される画像の
背景は、常に暗くなる。これに対して、検査対象光学部
材１４における撮像素子５による撮像対象領域に光学的
欠陥がある場合には、この光学的欠陥によって照明光が
拡散し、拡散した照明光の一部が撮像レンズ４に入射し
た後で撮像素子５上に収束するので、この光学的欠陥の
像（周囲に比して明るい像）が撮像素子５によって撮像
されることになる。With the above configuration, also in this embodiment, unless the inspection target optical member 14 has an optical defect, the illumination light emitted from each line illuminating device 21 is imaged after passing through the inspection target optical member 14. It does not enter the lens 4. Therefore, the background of the image captured by the image sensor 5 is always dark. On the other hand, when there is an optical defect in the image pickup target area of the inspection target optical member 14 by the image pickup device 5, the illumination light diffuses, and a part of the diffused illumination light is captured by the image pickup lens 4. After being incident on, the image is converged on the image sensor 5, so that an image of this optical defect (an image brighter than the surroundings) is captured by the image sensor 5.
【０１１１】本第７実施形態におけるその他の構成及び
作用は、第３実施形態のものと同じなので、その説明を
省略する。The other structure and operation of the seventh embodiment are the same as those of the third embodiment, and the description thereof will be omitted.
【０１１２】[0112]
【発明の効果】以上のように構成された本発明の光学部
材検査装置によれば、客観的基準に従って良品と不良品
との合否判定を行うことができる。従って、良品として
用いる製品の品質を安定させることができるとともに、
良品を誤判定により廃棄してしまうといった無駄を防止
することができる。According to the optical member inspection apparatus of the present invention configured as described above, it is possible to determine whether the non-defective product is defective or non-defective according to an objective standard. Therefore, it is possible to stabilize the quality of products used as non-defective products, and
It is possible to prevent waste such as discarding non-defective products due to erroneous determination.
【図１】 本発明の第１の実施形態による光学部材検査
装置の概略構成を示す正面図FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of an optical member inspection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 図１の光学部材検査装置の部分側面図2 is a partial side view of the optical member inspection apparatus of FIG.
【図３】 図１の検査対象光学部材等を撮像装置の位置
から見た平面図FIG. 3 is a plan view of the inspection target optical member and the like shown in FIG. 1 as viewed from the position of the imaging device.
【図４】 検査対象光学部材に光学的欠陥がない場合に
おける光の進行状態を示す図FIG. 4 is a diagram showing a traveling state of light when the optical member to be inspected has no optical defect.
【図５】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合に
おける光の進行状態を示す図FIG. 5 is a diagram showing a traveling state of light when an optical member to be inspected has an optical defect.
【図６】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合に
撮像素子から出力される画像データの輝度分布を示すグ
ラフFIG. 6 is a graph showing a luminance distribution of image data output from an image sensor when an optical member to be inspected has an optical defect.
【図７】 遮光板の長手方向と平行にキズ又はクラック
が形成された状態を示す平面図FIG. 7 is a plan view showing a state in which scratches or cracks are formed parallel to the longitudinal direction of the light shielding plate.
【図８】 遮光板の長手方向と直交してキズ又はクラッ
クが形成された状態を示す平面図FIG. 8 is a plan view showing a state in which scratches or cracks are formed perpendicularly to the longitudinal direction of the light shielding plate.
【図９】 図８に示すキズ又はクラックを照明光が透過
する状態を示す縦断面図9 is a vertical cross-sectional view showing a state where illumination light passes through the scratches or cracks shown in FIG.
【図１０】 図８に示すキズ又はクラックによって補助
照明装置からの照明光が拡散する状態を示す縦断面図FIG. 10 is a vertical cross-sectional view showing a state where the illumination light from the auxiliary lighting device is diffused by the scratches or cracks shown in FIG.
【図１１】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と画像メモリに書き込まれた画像データと
の関係を示す図FIG. 11 is a diagram showing a relationship between relative positions of a light shielding plate, an imaging target area, and an inspection target optical member, and image data written in an image memory.
【図１２】 図１の画像処理装置において実行される制
御処理の内容を示すフローチャート12 is a flowchart showing the contents of control processing executed in the image processing apparatus of FIG.
【図１３】 本発明の第２の実施形態において画像処理
装置で実行される制御処理の内容を示すフローチャートFIG. 13 is a flowchart showing the contents of control processing executed by the image processing apparatus according to the second embodiment of the present invention.
【図１４】 本発明の第３の実施形態による光学部材検
査装置の概略構成を示す側面図FIG. 14 is a side view showing a schematic configuration of an optical member inspection device according to a third embodiment of the present invention.
【図１５】 図１４の検査対象光学部材等を撮像装置の
位置から見た平面図FIG. 15 is a plan view of the inspection target optical member and the like shown in FIG. 14 viewed from the position of the imaging device.
【図１６】 検査対象光学部材に光学的欠陥がない場合
における光の進行状態を示す図FIG. 16 is a view showing a traveling state of light when the optical member to be inspected has no optical defect.
【図１７】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合
における光の進行状態を示す図FIG. 17 is a diagram showing a traveling state of light when an optical member to be inspected has an optical defect.
【図１８】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合
に撮像素子から出力される画像データの輝度分布を示す
グラフFIG. 18 is a graph showing a luminance distribution of image data output from the image sensor when the optical member to be inspected has an optical defect.
【図１９】 遮光板の長手方向と直交して形成されたキ
ズ又はクラックによって補助照明装置からの照明光が拡
散する状態を示す縦断面図FIG. 19 is a vertical cross-sectional view showing a state in which the illumination light from the auxiliary illumination device is diffused due to a flaw or a crack formed orthogonal to the longitudinal direction of the light shielding plate.
【図２０】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 20 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図２１】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 21 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図２２】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 22 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図２３】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 23 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図２４】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 24 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図２５】 極座標系から直交座標系への座標変換方法
を示す図FIG. 25 is a diagram showing a coordinate conversion method from a polar coordinate system to a rectangular coordinate system.
【図２６】 図１４の各画像メモリ内に格納されている
画像データを示すメモリマップFIG. 26 is a memory map showing image data stored in each image memory of FIG.
【図２７】 図１４の画像処理装置において実行される
制御処理の内容を示すフローチャート27 is a flowchart showing the contents of control processing executed in the image processing apparatus of FIG.
【図２８】 遮光板の変形例を示す平面図FIG. 28 is a plan view showing a modified example of the light shielding plate.
【図２９】 遮光板が歪んで見える状態を示す平面図FIG. 29 is a plan view showing a state where the light shielding plate looks distorted.
【図３０】 遮光板が歪んで見える状態を示す平面図FIG. 30 is a plan view showing a state where the light shielding plate looks distorted.
【図３１】 遮光板の変形例を示す平面図FIG. 31 is a plan view showing a modified example of the light shielding plate.
【図３２】 遮光板の変形例を示す平面図FIG. 32 is a plan view showing a modified example of the light shielding plate.
【図３３】 本発明の第１実施形態による光学部材検査
装置によって凹レンズを検査した場合における遮光板の
見え方の説明図FIG. 33 is an explanatory diagram of how the light shielding plate looks when the concave lens is inspected by the optical member inspection device according to the first embodiment of the present invention.
【図３４】 本発明の第１実施形態による光学部材検査
装置によって凸レンズを検査した場合における遮光板の
見え方の説明図FIG. 34 is an explanatory diagram of how a light shielding plate looks when a convex lens is inspected by the optical member inspection device according to the first embodiment of the present invention.
【図３５】 本発明の第４の実施形態において画像処理
装置で実行される制御処理の内容を示すフローチャートFIG. 35 is a flowchart showing the contents of control processing executed by the image processing apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.
【図３６】 本発明の第５の実施形態による光学部材検
査装置の概略構成を示す側面図FIG. 36 is a side view showing a schematic configuration of an optical member inspection device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図３７】 図３６の検査対象光学部材等を撮像装置の
位置から見た平面図37 is a plan view of the inspection target optical member and the like shown in FIG. 36 as seen from the position of the image pickup apparatus.
【図３８】 検査対象光学部材に光学的欠陥がある場合
に撮像素子から出力される画像データの輝度分布を示す
グラフFIG. 38 is a graph showing the luminance distribution of image data output from the image sensor when the optical member to be inspected has an optical defect.
【図３９】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 39 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図４０】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 40 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図４１】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 41 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図４２】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 42 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図４３】 遮光板，撮像対象領域及び検査対象光学部
材の相対位置と第１画像メモリに書き込まれた画像デー
タとの関係を示す図FIG. 43 is a diagram showing the relationship between the relative positions of the light shielding plate, the imaging target area, and the inspection target optical member, and the image data written in the first image memory.
【図４４】 極座標系から直交座標系への座標変換方法
を示す図FIG. 44 is a diagram showing a coordinate conversion method from a polar coordinate system to a rectangular coordinate system.
【図４５】 図３６の各画像メモリ内に格納されている
画像データを示すメモリマップFIG. 45 is a memory map showing image data stored in each image memory shown in FIG. 36.
【図４６】 遮光板の変形例を示す平面図FIG. 46 is a plan view showing a modified example of the light shielding plate.
【図４７】 遮光板が歪んで見える状態を示す平面図FIG. 47 is a plan view showing a state where the light shielding plate looks distorted.
【図４８】 遮光板が歪んで見える状態を示す平面図FIG. 48 is a plan view showing a state where the light shielding plate looks distorted.
【図４９】 遮光板の変形例を示す平面図FIG. 49 is a plan view showing a modified example of the light shielding plate.
【図５０】 遮光板の変形例を示す平面図FIG. 50 is a plan view showing a modified example of the light shielding plate.
【図５１】 本発明の第６の実施形態による光学部材検
査装置の概略構成を示す側面図FIG. 51 is a side view showing a schematic configuration of an optical member inspection device according to a sixth embodiment of the present invention.
【図５２】 検査対象光学部材に光学的欠陥がない場合
における光の進行状態を示す図FIG. 52 is a view showing a traveling state of light when the optical member to be inspected has no optical defect.
【図５３】 図５１の拡散板及び遮光板の平面図53 is a plan view of the diffusion plate and the light shielding plate of FIG. 51.
【図５４】 本発明の第７の実施形態による光学部材検
査装置の主要部を示す正面図FIG. 54 is a front view showing the main parts of the optical member inspection device according to the seventh embodiment of the present invention.
【図５５】 図５４の検査対象光学部材の平面図55 is a plan view of the optical member to be inspected in FIG. 54.
１ 照明ランプ ２ 拡散板 ３ 撮像装置 ４ 撮像レンズ ５ 撮像素子 ６ 画像処理装置 ７ スライドテーブル ８ 遮光板 ９ 検査対象光学部材 １０ 補助照明装置 １４ 検査対象光学部材 １５ ホルダ １８ 駆動モータ １９ 遮光板 ２０ 拡散板 ２１ 画像処理装置 ２２ 画像処理装置 1 Lighting lamp 2 diffuser 3 Imaging device 4 Imaging lens 5 Image sensor 6 Image processing device 7 slide table 8 light shield 9 Optical members to be inspected 10 Auxiliary lighting device 14 Optical member to be inspected 15 Holder 18 Drive motor 19 Light shield 20 Diffuser 21 Image processing device 22 Image processing device
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−5248（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−5249（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−327561（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−42039（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−265847（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−190884（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−7288（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/958 G01M 11/00 G01N 21/896 Continuation of the front page (56) Reference JP-A-9-5248 (JP, A) JP-A-9-5249 (JP, A) JP-A-8-327561 (JP, A) JP-A-62-42039 (JP , A) JP 4-265847 (JP, A) JP 7-190884 (JP, A) JP 53-7288 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB) Name) G01N 21/958 G01M 11/00 G01N 21/896
Claims (11)
光学部材検査装置であって、 撮像レンズと、 この撮像レンズに関して前記検査対象光学部材と略共役
な位置において、この撮影レンズの光軸に直交する一定
方向にその走査方向が延びるように配置されたラインセ
ンサと、 前記検査対象光学部材を挟んで前記撮像レンズとは反対
側の位置に配置されてこの検査対象光学部材に向けて照
明光を拡散する拡散板と、前記一定方向にその長手方向を向けて配置された帯状の
形状を有し、前記検査対象部材に光学的欠陥がないとし
たならば前記拡散板から発して 前記検査対象光学部材を
透過して前記撮像レンズに入射した後に前記撮像素子に
入射することになる光を、前記検査光学部材と前記拡散
板との間で遮る遮光手段と、 前記ラインセンサによって撮像された画像中の前記光学
部材の光学的欠陥を示す部位を数値化する数値化手段
と、 この数値化手段によって数値化された数値が所定の判定
基準値を超えたか否かを判定する判定手段とを備えたこ
とを特徴とする光学部材検査装置。1. An optical member inspection device for detecting an optical defect of an inspection target optical member, comprising: an imaging lens; and an optical axis of the imaging lens at a position substantially conjugate with the inspection target optical member with respect to the imaging lens. And a line sensor arranged so that its scanning direction extends in a constant direction orthogonal to, and arranged at a position on the opposite side of the imaging lens with the inspection target optical member interposed therebetween and illuminating toward the inspection target optical member. A diffusion plate for diffusing light, and a strip-shaped member arranged with its longitudinal direction oriented in the predetermined direction.
The member to be inspected has no optical defects.
The light will be transmitted through the inspection target optical member originating from the diffuser enters the image pickup device after entering the imaging lens Once, shielding between the diffusion plate and the inspection optical member A light-shielding means, a digitizing means for digitizing a portion showing an optical defect of the optical member in the image picked up by the line sensor , and a numerical value digitized by the digitizing means is a predetermined judgment reference value. An optical member inspecting apparatus, comprising: a determining unit that determines whether or not the value exceeds.
部材の全幅が前記ラインセンサによって撮像される様に
調整されていることを特徴とする請求項１記載の光学部
材検査装置。Wherein said magnification of photographing lens optical member inspection apparatus according to claim 1, characterized in that it is adjusted so that is captured by the full width is the line sensors of the inspection target optical member.
の走査方向と直交する方向へ移動させる移動手段を更に
備えるとともに、 前記ラインセンサは、前記検査対象光学部材をその各位
置で撮像して１ラインづつの画像データを出力すること
を特徴とする請求項２記載の光学部材検査装置。3. The apparatus further comprises moving means for moving the inspection target optical member in a direction orthogonal to the scanning direction of the line sensor, wherein the line sensor captures an image of the inspection target optical member at each position thereof, and 1 The optical member inspection device according to claim 2 , wherein image data for each line is output.
段によって撮像される部位を、前記一定方向における前
記遮光手段の側方から照明する補助照明装置を更に備え
ることを特徴とする請求項１記載の光学部材検査装置。The 4. A site to be imaged by the imaging means in the inspection target optical member, according to claim 1, further comprising an auxiliary illumination device for illuminating from the side of the light shielding means in the predetermined direction Optical member inspection device.
出力された１ラインづつの画像データに基づいて検査対
象光学部材全体に対応する画像データを再構成するとと
もに、この画像データ中においてその輝度が所定の閾値
を上回っている画素の数を測定することを特徴とする請
求項３記載の光学部材検査装置。5. The digitizing means reconstructs image data corresponding to the entire optical member to be inspected on the basis of the image data for each line output from the line sensor, and the brightness in the image data. 4. The optical member inspection device according to claim 3, wherein the number of pixels in which the number of pixels exceeds a predetermined threshold is measured.
光軸を中心に回転させる回転手段を更に備えるととも
に、 撮影レンズの倍率は前記検査対象光学部材の直径方向に
おける全域が前記ラインセンサによって撮像される様に
調整されており、 前記ラインセンサは、前記検査対象光学部材をその各位
置で撮像して１ラインづつの画像データを出力すること
を特徴とする請求項１記載の光学部材検査装置。6. The optical system further comprises rotating means for rotating the optical member to be inspected about the optical axis of the imaging lens, and the magnification of the taking lens is imaged by the line sensor in the entire area in the diameter direction of the optical member to be inspected. are adjusted so that is, the line sensor, an optical member inspection apparatus according to claim 1, wherein the outputting the image data of one line at a time by imaging the inspection target optical member in each of its positions .
光軸からオフセットした回転軸を中心に回転させる回転
手段を更に備えるとともに、 前記撮影レンズの倍率は前記検査対象光学部材の前記回
転軸から外縁までの領域が前記ラインセンサによって撮
像される様に調整されており、 前記ラインセンサは前記検査対象光学部材をその各位置
で撮像して１ラインづつの画像データを出力することを
特徴とする請求項１記載の光学部材検査装置。7. A rotation means for rotating the inspection target optical member about a rotation axis offset from the optical axis of the imaging lens, wherein the magnification of the photographing lens is from the rotation axis of the inspection target optical member. The area up to the outer edge is adjusted so as to be imaged by the line sensor, and the line sensor images the inspection target optical member at each position and outputs image data for each line. The optical member inspection device according to claim 1 .
出力された１ラインづつの画像データのうちその輝度が
所定の閾値を上回っている箇所の長さを測定することを
特徴とする請求項３又は７記載の光学部材検査装置。8. The digitizing means measures the length of a portion of the image data for each line output from the line sensor, the luminance of which exceeds a predetermined threshold value. 3. The optical member inspection device according to 3 or 7 .
出力された１ラインづつの画像データに基づいて検査対
象光学部材全体に対応する極座標系の画像データを再構
成し、この極座標系の画像データを直交座標系の画像デ
ータに変換し、この直交座標系の画像データ中において
その輝度が所定の閾値を上回っている画素の数を測定す
ることを特徴とする請求項６又は７記載の光学部材検査
装置。9. The digitizing means reconstructs image data of a polar coordinate system corresponding to the entire optical member to be inspected based on the image data of each line output from the line sensor, and the image of the polar coordinate system is reconstructed. 8. The optical system according to claim 6 or 7 , wherein the data is converted into image data of a rectangular coordinate system, and the number of pixels whose brightness exceeds a predetermined threshold value in the image data of the rectangular coordinate system is measured. Material inspection device.
軸を中心にこの検査対象光学部材を回転させることを特
徴とする請求項６又は７記載の光学部材検査装置。Wherein said rotating means includes an optical member inspection apparatus according to claim 6 or 7, wherein the rotating the inspection target optical member around the optical axis of the inspection target optical member.
の光軸に交わる部位から端部に向かうにつれて拡がる帯
状の形状を有していることを特徴とする請求項１０記載
の光学部材検査装置。11. The optical member inspection device according to claim 10 , wherein the light shielding means has a strip-like shape that expands from a portion intersecting the optical axis of the inspection target optical member toward an end portion. .
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|---|---|---|---|
| JP05076097A JP3406795B2 (en) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | Optical member inspection device |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP05076097A JP3406795B2 (en) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | Optical member inspection device |
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| JP (1) | JP3406795B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170129077A (en) * | 2017-11-06 | 2017-11-24 | 동우 화인켐 주식회사 | Transmissive optical inspection device and method of detecting defect using the same |
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-
1997
- 1997-03-05 JP JP05076097A patent/JP3406795B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20170129077A (en) * | 2017-11-06 | 2017-11-24 | 동우 화인켐 주식회사 | Transmissive optical inspection device and method of detecting defect using the same |
| KR102045818B1 (en) | 2017-11-06 | 2019-12-02 | 동우 화인켐 주식회사 | Transmissive optical inspection device and method of detecting defect using the same |
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| JPH10246706A (en) | 1998-09-14 |
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