JPH1026747A - 光変調装置 - Google Patents
光変調装置Info
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- JPH1026747A JPH1026747A JP8198309A JP19830996A JPH1026747A JP H1026747 A JPH1026747 A JP H1026747A JP 8198309 A JP8198309 A JP 8198309A JP 19830996 A JP19830996 A JP 19830996A JP H1026747 A JPH1026747 A JP H1026747A
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- modulation element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 １つの光変調素子において１回目も２回目も
ほぼ同じ入射条件で強度変調を行うことのできる光変調
装置。 【解決手段】 レーザ光源から射出されたレーザビーム
の強度変調を行う光変調装置において、入射したレーザ
ビームを所定の比率で強度変調するための光変調素子
と、レーザ光源からのレーザビームを光変調素子上に集
光するための第１集光手段と、光変調素子を介して強度
変調されたレーザビームを光変調素子上に再び集光する
ための第２集光手段とを備えている。
ほぼ同じ入射条件で強度変調を行うことのできる光変調
装置。 【解決手段】 レーザ光源から射出されたレーザビーム
の強度変調を行う光変調装置において、入射したレーザ
ビームを所定の比率で強度変調するための光変調素子
と、レーザ光源からのレーザビームを光変調素子上に集
光するための第１集光手段と、光変調素子を介して強度
変調されたレーザビームを光変調素子上に再び集光する
ための第２集光手段とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光変調装置に関し、
特にレーザビームの強度変調を行う光変調装置に関する
ものである。
特にレーザビームの強度変調を行う光変調装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、光変調素子として音響光学素子
を用いた従来の光変調装置の構成を概略的に示す図であ
る。図３の光変調装置では、レーザ光源１から射出され
た直線偏光のレーザビーム２が、偏光ビームスプリッタ
ー３および１／４波長板４を介して円偏光となり、集光
レンズ５に入射する。
を用いた従来の光変調装置の構成を概略的に示す図であ
る。図３の光変調装置では、レーザ光源１から射出され
た直線偏光のレーザビーム２が、偏光ビームスプリッタ
ー３および１／４波長板４を介して円偏光となり、集光
レンズ５に入射する。
【０００３】集光レンズ５を介したレーザビームは、集
光レンズ５の光源とは反対側の焦点位置に位置決めされ
た音響光学素子６上に集光する。音響光学素子６を介し
て強度変調されたレーザビームは、平面反射鏡９で反射
された後、再び音響光学素子６に入射する。音響光学素
子６を介して再度強度変調されたレーザビームは、集光
レンズ５、１／４波長板４および偏光ビームスプリッタ
ー３を介して、光路の外へ分離される。
光レンズ５の光源とは反対側の焦点位置に位置決めされ
た音響光学素子６上に集光する。音響光学素子６を介し
て強度変調されたレーザビームは、平面反射鏡９で反射
された後、再び音響光学素子６に入射する。音響光学素
子６を介して再度強度変調されたレーザビームは、集光
レンズ５、１／４波長板４および偏光ビームスプリッタ
ー３を介して、光路の外へ分離される。
【０００４】１つの音響光学素子を用いる場合、その消
光比は通常１０００：１程度である。すなわち、入射レ
ーザビームの強度を約１／１０００倍に低減して射出す
る。したがって、図３に示すように、音響光学素子で２
回強度変調を行う場合、消光比は１００００００：１程
度となり、比較的簡素な構成で大きな消光比を得ること
ができる。
光比は通常１０００：１程度である。すなわち、入射レ
ーザビームの強度を約１／１０００倍に低減して射出す
る。したがって、図３に示すように、音響光学素子で２
回強度変調を行う場合、消光比は１００００００：１程
度となり、比較的簡素な構成で大きな消光比を得ること
ができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な従来の光変調装置では、集光レンズ５を介したレーザ
ビームは、ビーム径が最も小さい状態で音響光学素子６
に入射する。しかしながら、音響光学素子６を介したレ
ーザビームは発散するので、平面反射鏡９で反射されて
音響光学素子６に再び入射する際のビーム径は大きくな
っている。
な従来の光変調装置では、集光レンズ５を介したレーザ
ビームは、ビーム径が最も小さい状態で音響光学素子６
に入射する。しかしながら、音響光学素子６を介したレ
ーザビームは発散するので、平面反射鏡９で反射されて
音響光学素子６に再び入射する際のビーム径は大きくな
っている。
【０００６】このように、従来の光変調装置では、最初
に音響光学素子６に入射するレーザビームの径を小さく
しても、再び音響光学素子６に入射するレーザビームの
径が大きくなってしまう。その結果、音響光学素子６を
二度目に通過する際に高い回折効率を得ることができ
ず、設計上の所要消光比を得ることができなかった。
に音響光学素子６に入射するレーザビームの径を小さく
しても、再び音響光学素子６に入射するレーザビームの
径が大きくなってしまう。その結果、音響光学素子６を
二度目に通過する際に高い回折効率を得ることができ
ず、設計上の所要消光比を得ることができなかった。
【０００７】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、１つの光変調素子において１回目も２回目も
ほぼ同じ入射条件で強度変調を行うことのできる光変調
装置を提供することを目的とする。
のであり、１つの光変調素子において１回目も２回目も
ほぼ同じ入射条件で強度変調を行うことのできる光変調
装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、レーザ光源から射出されたレー
ザビームの強度変調を行う光変調装置において、入射し
たレーザビームを所定の比率で強度変調するための光変
調素子と、前記レーザ光源からのレーザビームを前記光
変調素子上に集光するための第１集光手段と、前記光変
調素子を介して強度変調されたレーザビームを前記光変
調素子上に再び集光するための第２集光手段とを備えて
いることを特徴とする光変調装置を提供する。
に、本発明においては、レーザ光源から射出されたレー
ザビームの強度変調を行う光変調装置において、入射し
たレーザビームを所定の比率で強度変調するための光変
調素子と、前記レーザ光源からのレーザビームを前記光
変調素子上に集光するための第１集光手段と、前記光変
調素子を介して強度変調されたレーザビームを前記光変
調素子上に再び集光するための第２集光手段とを備えて
いることを特徴とする光変調装置を提供する。
【０００９】本発明の好ましい態様によれば、前記第２
集光手段は、前記光変調素子側に凹状反射面を向けた反
射手段、あるいは前記光変調素子を介したレーザビーム
の波面を反転して位相共役波を発生させるための位相共
役鏡である。また、前記第２集光手段は、前記光変調素
子を介したレーザビームを平行光束に変換するためのリ
レーレンズと、該リレーレンズを介した平行光束を入射
方向に沿って反射するための平面反射手段とを有するの
が好ましい。
集光手段は、前記光変調素子側に凹状反射面を向けた反
射手段、あるいは前記光変調素子を介したレーザビーム
の波面を反転して位相共役波を発生させるための位相共
役鏡である。また、前記第２集光手段は、前記光変調素
子を介したレーザビームを平行光束に変換するためのリ
レーレンズと、該リレーレンズを介した平行光束を入射
方向に沿って反射するための平面反射手段とを有するの
が好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明では、レーザ光源からのレ
ーザビームが音響光学素子のような光変調素子上に集光
するとともに、光変調素子を介して一度強度変調された
レーザビームも光変調素子上に再び集光するように構成
されている。したがって、最初に光変調素子に入射する
レーザビームの径が最も小さくなるとともに、再び光変
調素子に入射するレーザビームの径も最も小さくなる。
その結果、光変調素子に対する１回目の入射条件と２回
目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上の所要消光比
を高精度に確保することができる。
ーザビームが音響光学素子のような光変調素子上に集光
するとともに、光変調素子を介して一度強度変調された
レーザビームも光変調素子上に再び集光するように構成
されている。したがって、最初に光変調素子に入射する
レーザビームの径が最も小さくなるとともに、再び光変
調素子に入射するレーザビームの径も最も小さくなる。
その結果、光変調素子に対する１回目の入射条件と２回
目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上の所要消光比
を高精度に確保することができる。
【００１１】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づ
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる光
変調装置の構成を概略的に示す図である。図１の光変調
装置では、レーザ光源１から射出された直線偏光のレー
ザビーム２が、偏光ビームスプリッター３に入射する。
偏光ビームスプリッター３の偏光面を透過したレーザビ
ームは、１／４波長板４を介して円偏光となり、集光レ
ンズ５に入射する。
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる光
変調装置の構成を概略的に示す図である。図１の光変調
装置では、レーザ光源１から射出された直線偏光のレー
ザビーム２が、偏光ビームスプリッター３に入射する。
偏光ビームスプリッター３の偏光面を透過したレーザビ
ームは、１／４波長板４を介して円偏光となり、集光レ
ンズ５に入射する。
【００１２】集光レンズ５に入射したレーザビームはそ
の集光作用により絞られ、集光レンズ５の光源とは反対
側の焦点位置にビームウェストが形成される。こうし
て、集光レンズ５の光源とは反対側の焦点位置に位置決
めされた音響光学素子６には、ビーム径が最も小さい状
態でレーザビームが入射する。したがって、音響光学素
子６では、所定の高い回折効率で所定の消光比にしたが
う強度変調が行われる。
の集光作用により絞られ、集光レンズ５の光源とは反対
側の焦点位置にビームウェストが形成される。こうし
て、集光レンズ５の光源とは反対側の焦点位置に位置決
めされた音響光学素子６には、ビーム径が最も小さい状
態でレーザビームが入射する。したがって、音響光学素
子６では、所定の高い回折効率で所定の消光比にしたが
う強度変調が行われる。
【００１３】音響光学素子６を透過したレーザビーム
は、発散しながら球面反射鏡７に入射する。球面反射鏡
７は、音響光学素子６側に凹面を向けた曲率半径Ｒの反
射球面を有し、上述のビームウェスト位置から所定距離
Ｒだけ間隔を隔てた位置に配置されている。したがっ
て、球面反射鏡７で反射されたレーザビームはその集光
作用により絞られ、集光レンズ５の球面反射鏡側の焦点
位置に再びビームウェストが形成される。
は、発散しながら球面反射鏡７に入射する。球面反射鏡
７は、音響光学素子６側に凹面を向けた曲率半径Ｒの反
射球面を有し、上述のビームウェスト位置から所定距離
Ｒだけ間隔を隔てた位置に配置されている。したがっ
て、球面反射鏡７で反射されたレーザビームはその集光
作用により絞られ、集光レンズ５の球面反射鏡側の焦点
位置に再びビームウェストが形成される。
【００１４】こうして、２回目においても１回目と同
様、音響光学素子６にはビーム径が最も小さい状態でレ
ーザビームが入射する。したがって、音響光学素子６で
は、所定の高い回折効率で所定の消光比にしたがう強度
変調が再度行われる。音響光学素子６を透過して再び強
度変調されたレーザビームは、集光レンズ５を介して平
行光束となり、１／４波長板４に入射する。１／４波長
板４を介したレーザビームは、レーザ光源１から射出さ
れた直線偏光に対して偏光面が９０°だけ回転した直線
偏光となり、偏光ビームスプリッター３の偏光面で反射
された後、光路の外へ分離される。
様、音響光学素子６にはビーム径が最も小さい状態でレ
ーザビームが入射する。したがって、音響光学素子６で
は、所定の高い回折効率で所定の消光比にしたがう強度
変調が再度行われる。音響光学素子６を透過して再び強
度変調されたレーザビームは、集光レンズ５を介して平
行光束となり、１／４波長板４に入射する。１／４波長
板４を介したレーザビームは、レーザ光源１から射出さ
れた直線偏光に対して偏光面が９０°だけ回転した直線
偏光となり、偏光ビームスプリッター３の偏光面で反射
された後、光路の外へ分離される。
【００１５】このように、第１実施例では、球面反射鏡
７の作用により、音響光学素子６を介して一度強度変調
されたレーザビームを、音響光学素子６上に再び集光す
ることができる。換言すれば、１回目においても２回目
においても音響光学素子６に入射するレーザビームの径
が最も小さくなる。その結果、音響光学素子６に対する
１回目の入射条件と２回目の入射条件とがほぼ同じにな
り、設計上の所要消光比を高精度に確保することができ
る。
７の作用により、音響光学素子６を介して一度強度変調
されたレーザビームを、音響光学素子６上に再び集光す
ることができる。換言すれば、１回目においても２回目
においても音響光学素子６に入射するレーザビームの径
が最も小さくなる。その結果、音響光学素子６に対する
１回目の入射条件と２回目の入射条件とがほぼ同じにな
り、設計上の所要消光比を高精度に確保することができ
る。
【００１６】図２は、本発明の第２実施例にかかる光変
調装置の構成を概略的に示す図である。第２実施例は第
１実施例と類似の構成を有する。しかしながら、第１実
施例における球面反射鏡７が、第２実施例ではリレーレ
ンズ８および平面反射鏡９と置換されている点だけが基
本的に相違する。したがって、図２において、第１実施
例の構成要素と同様の機能を有する要素には、図１と同
じ参照符号を付している。以下、第１実施例との相違点
に着目して第２実施例を説明する。
調装置の構成を概略的に示す図である。第２実施例は第
１実施例と類似の構成を有する。しかしながら、第１実
施例における球面反射鏡７が、第２実施例ではリレーレ
ンズ８および平面反射鏡９と置換されている点だけが基
本的に相違する。したがって、図２において、第１実施
例の構成要素と同様の機能を有する要素には、図１と同
じ参照符号を付している。以下、第１実施例との相違点
に着目して第２実施例を説明する。
【００１７】図２の光変調装置では、レーザ光源１から
射出された直線偏光のレーザビーム２が、偏光ビームス
プリッター３および１／４波長板４を介して、集光レン
ズ５に入射する。集光レンズ５を介したレーザビームは
音響光学素子６上に集光され、音響光学素子６では１回
目の強度変調が行われる。音響光学素子６を透過したレ
ーザビームは、発散しながらリレーレンズ８に入射し、
平行光束となる。リレーレンズ８を介したレーザビーム
は、平面反射鏡９によって、入射方向に沿って反射され
た後、再びリレーレンズ８に入射する。
射出された直線偏光のレーザビーム２が、偏光ビームス
プリッター３および１／４波長板４を介して、集光レン
ズ５に入射する。集光レンズ５を介したレーザビームは
音響光学素子６上に集光され、音響光学素子６では１回
目の強度変調が行われる。音響光学素子６を透過したレ
ーザビームは、発散しながらリレーレンズ８に入射し、
平行光束となる。リレーレンズ８を介したレーザビーム
は、平面反射鏡９によって、入射方向に沿って反射され
た後、再びリレーレンズ８に入射する。
【００１８】リレーレンズ８を介したレーザビームは、
音響光学素子６上に再び集光する。したがって、音響光
学素子６では、２回目も所定の高い回折効率で所定の消
光比にしたがう強度変調が行われる。音響光学素子６を
透過したレーザビームは、集光レンズ５、１／４波長板
４および偏光ビームスプリッター３を介して、光路の外
へ取り出される。
音響光学素子６上に再び集光する。したがって、音響光
学素子６では、２回目も所定の高い回折効率で所定の消
光比にしたがう強度変調が行われる。音響光学素子６を
透過したレーザビームは、集光レンズ５、１／４波長板
４および偏光ビームスプリッター３を介して、光路の外
へ取り出される。
【００１９】このように、第２実施例においても、リレ
ーレンズ８と平面反射鏡９との組み合わせ作用により、
音響光学素子６を介して一度強度変調されたレーザビー
ムを、音響光学素子６上に再び集光することができる。
その結果、音響光学素子６に対する１回目の入射条件と
２回目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上の所要消
光比を高精度に確保することができる。
ーレンズ８と平面反射鏡９との組み合わせ作用により、
音響光学素子６を介して一度強度変調されたレーザビー
ムを、音響光学素子６上に再び集光することができる。
その結果、音響光学素子６に対する１回目の入射条件と
２回目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上の所要消
光比を高精度に確保することができる。
【００２０】さらに、第３の実施例として、図４に示す
ように、図２の第２実施例における１／４波長板４に代
えてファラデー効果を用いた素子すなわちファラデー回
転素子４０を使用することもできる。ファラデー回転素
子４０は、直線偏光を片道で４５度回転させるように設
定されている。したがって、音響光学素子６に入射する
光線は直線偏光のままであり、入射光の偏光特性によっ
て効率が異なる結晶を用いた音響光学素子を使用するこ
とができる。音響光学素子６を介して一度強度変調され
たレーザビームは、平面反射鏡９で反射され、音響光学
素子６に入射する。
ように、図２の第２実施例における１／４波長板４に代
えてファラデー効果を用いた素子すなわちファラデー回
転素子４０を使用することもできる。ファラデー回転素
子４０は、直線偏光を片道で４５度回転させるように設
定されている。したがって、音響光学素子６に入射する
光線は直線偏光のままであり、入射光の偏光特性によっ
て効率が異なる結晶を用いた音響光学素子を使用するこ
とができる。音響光学素子６を介して一度強度変調され
たレーザビームは、平面反射鏡９で反射され、音響光学
素子６に入射する。
【００２１】音響光学素子６で再び強度変調されたレー
ザビームは、ファラデー回転素子４０を再度通過して、
元の入射光に対して偏光面が９０度回転した直線偏光と
なり、偏光ビームスプリッター３に入射する。こうし
て、偏光ビームスプリッター３に入射したレーザビーム
は、第２実施例と同様に、光路外へ反射される。なお、
第３実施例において、ファラデー回転素子４０を透過し
た後のレーザビームの直線偏光面と音響光学素子６の入
射偏光面とを、その回折効率が最も高い方向に合わせる
必要がある。
ザビームは、ファラデー回転素子４０を再度通過して、
元の入射光に対して偏光面が９０度回転した直線偏光と
なり、偏光ビームスプリッター３に入射する。こうし
て、偏光ビームスプリッター３に入射したレーザビーム
は、第２実施例と同様に、光路外へ反射される。なお、
第３実施例において、ファラデー回転素子４０を透過し
た後のレーザビームの直線偏光面と音響光学素子６の入
射偏光面とを、その回折効率が最も高い方向に合わせる
必要がある。
【００２２】なお、第１実施例において、球面反射鏡７
に代えて位相共役鏡を用いることもできる。位相共役鏡
は、入射光の波面時間を逆転し、波面が反転した位相共
役波を発生させる反射鏡である（たとえば、ＯplusＥ，
１９９５年６月号，第６８頁〜第７２頁参照）。
に代えて位相共役鏡を用いることもできる。位相共役鏡
は、入射光の波面時間を逆転し、波面が反転した位相共
役波を発生させる反射鏡である（たとえば、ＯplusＥ，
１９９５年６月号，第６８頁〜第７２頁参照）。
【００２３】また、上述の第１実施例〜第３実施例にお
いて、光変調素子として音響光学素子を用いた例を示し
ている。しかしながら、たとえば磁気光学素子や電気光
学素子のような光変調素子を用いて、本発明の作用効果
を得ることができることは明らかである。さらに、上述
の第１実施例〜第３実施例において、音響光学素子の透
過光を利用した例を示している。しかしながら、音響光
学素子の反射光を利用する光変調装置に対して本発明を
適用することもできる。
いて、光変調素子として音響光学素子を用いた例を示し
ている。しかしながら、たとえば磁気光学素子や電気光
学素子のような光変調素子を用いて、本発明の作用効果
を得ることができることは明らかである。さらに、上述
の第１実施例〜第３実施例において、音響光学素子の透
過光を利用した例を示している。しかしながら、音響光
学素子の反射光を利用する光変調装置に対して本発明を
適用することもできる。
【００２４】
【効果】以上説明したように、本発明によれば、１回目
に光変調素子に入射するレーザビームの径も、２回目に
光変調素子に入射するレーザビームの径も最小にするこ
とができる。すなわち、光変調素子に対する１回目の入
射条件と２回目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上
の所要消光比を高精度に確保することができる。
に光変調素子に入射するレーザビームの径も、２回目に
光変調素子に入射するレーザビームの径も最小にするこ
とができる。すなわち、光変調素子に対する１回目の入
射条件と２回目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上
の所要消光比を高精度に確保することができる。
【図１】本発明の第１実施例にかかる光変調装置の構成
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
【図２】本発明の第２実施例にかかる光変調装置の構成
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
【図３】光変調素子として音響光学素子を用いた従来の
光変調装置の構成を概略的に示す図である。
光変調装置の構成を概略的に示す図である。
【図４】本発明の第３実施例にかかる光変調装置の構成
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
１ レーザ光源 ２ レーザビーム ３ 偏光ビームスプリッター ４ １／４波長板 ５ 集光レンズ ６ 音響光学素子 ７ 球面反射鏡 ８ リレーレンズ ９ 平面反射鏡
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光源から射出されたレーザビーム
の強度変調を行う光変調装置において、 入射したレーザビームを所定の比率で強度変調するため
の光変調素子と、 前記レーザ光源からのレーザビームを前記光変調素子上
に集光するための第１集光手段と、 前記光変調素子を介して強度変調されたレーザビームを
前記光変調素子上に再び集光するための第２集光手段と
を備えていることを特徴とする光変調装置。 - 【請求項２】 前記第２集光手段は、前記光変調素子側
に凹状反射面を向けた反射手段であることを特徴とする
請求項１に記載の光変調装置。 - 【請求項３】 前記第２集光手段は、前記光変調素子を
介したレーザビームの波面を反転して位相共役波を発生
させるための位相共役鏡であることを特徴とする請求項
１に記載の光変調装置。 - 【請求項４】 前記第２集光手段は、前記光変調素子を
介したレーザビームを平行光束に変換するためのリレー
レンズと、該リレーレンズを介した平行光束を入射方向
に沿って反射するための平面反射手段とを有することを
特徴とする請求項１に記載の光変調装置。 - 【請求項５】 前記第１集光手段は、前記レーザ光源か
らのレーザビームのうち所定の偏光方向を有するレーザ
ビームを透過するための偏光ビームスプリッターと、該
偏光ビームスプリッターを介したレーザビームを円偏光
に変換するための１／４波長板と、該１／４波長板を介
したレーザビームを前記光変調素子上に集光するための
集光レンズとを有することを特徴とする請求項１乃至４
のいずれか１項に記載の光変調装置。 - 【請求項６】 前記第１集光手段は、前記レーザ光源か
らのレーザビームのうち所定の偏光方向を有するレーザ
ビームを透過するための偏光ビームスプリッターと、該
偏光ビームスプリッターを介したレーザビームの偏波面
を４５度回転させるためのファラデー回転素子と、該フ
ァラデー回転素子を介したレーザビームを前記光変調素
子上に集光するための集光レンズとを有することを特徴
とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光変調装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8198309A JPH1026747A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 光変調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8198309A JPH1026747A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 光変調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1026747A true JPH1026747A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16388995
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP8198309A Pending JPH1026747A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 光変調装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1026747A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008052144A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 熱レンズ往復式光路切替装置および光路切替方法 |
| JP2009212405A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Ihi Corp | レーザ共振器 |
| CN102570297A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-07-11 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 基于单离子光频标的激光脉冲时序产生控制方法 |
| US20180063935A1 (en) * | 2015-10-01 | 2018-03-01 | Asml Netherlands B.V. | Optical isolation module |
| CN112351757A (zh) * | 2018-04-06 | 2021-02-09 | 克拉诺瓦公司 | 包括激光偏转和聚焦的原创光学***的处理组织的设备 |
-
1996
- 1996-07-09 JP JP8198309A patent/JPH1026747A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008052144A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 熱レンズ往復式光路切替装置および光路切替方法 |
| JP4730257B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2011-07-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 熱レンズ往復式光路切替装置および光路切替方法 |
| JP2009212405A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Ihi Corp | レーザ共振器 |
| CN102570297A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-07-11 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 基于单离子光频标的激光脉冲时序产生控制方法 |
| US20180063935A1 (en) * | 2015-10-01 | 2018-03-01 | Asml Netherlands B.V. | Optical isolation module |
| US10645789B2 (en) * | 2015-10-01 | 2020-05-05 | Asml Netherlands B.V. | Optical isolation module |
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| CN112351757A (zh) * | 2018-04-06 | 2021-02-09 | 克拉诺瓦公司 | 包括激光偏转和聚焦的原创光学***的处理组织的设备 |
| CN112351757B (zh) * | 2018-04-06 | 2023-09-29 | 克拉诺瓦公司 | 包括激光偏转和聚焦的原创光学***的处理组织的设备 |
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