JPH10264400A - Manufacture of nozzle formation member - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はノズル形成部材の製
造方法に関し、特に表面に撥水膜等の表面処理膜を形成
するノズル形成部材の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a nozzle forming member, and more particularly to a method for manufacturing a nozzle forming member having a surface treated film such as a water-repellent film on the surface.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、特にカラー化が容易なことから、
コンピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力する
プリンタの他、ファクシミリやコピー機等にも用いられ
るようになっている。このようなインクジェット記録装
置に用いられるインクジェットヘッドは、圧電素子、発
熱抵抗体等のアクチュエータ素子を記録信号に応じて駆
動することによってノズルからインク滴を吐出飛翔させ
ることによって記録媒体上に画像記録を行なうものであ
る。2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus has almost no vibration and noise during recording, and is particularly easy to colorize.
In addition to a printer that outputs data from a digital processing device such as a computer, it is also used for facsimile machines, copiers, and the like. An ink jet head used in such an ink jet recording apparatus records an image on a recording medium by ejecting ink droplets from nozzles by driving actuator elements such as a piezoelectric element and a heating resistor in accordance with a recording signal. It is what you do.
【０００３】このようなインクジェットヘッドは、構造
上、ヘッド構成部材の積層の端面側よりインク滴を吐出
するエッジシュータ方式のものと、ノズル形成部材に円
形のノズルを形成するサイドシュータ方式のものとに大
別することができる。このサイドシュータ方式のインク
ジェットヘッドとしては、従来、例えば特開平６−２５
５０９９号公報に記載されているように、圧電素子上
に、ダイアフラム部を有する振動板を積層し、この振動
板上に圧電素子でダイアフラム部を介して加圧される液
室及びこの液室にインクを供給するインク供給路を形成
する流路形成部材を積層し、更にこの流路形成部材上に
ノズル孔を形成したノズル形成部材を積層したものが知
られている。[0003] Such an ink jet head is structurally divided into an edge shooter type in which ink droplets are ejected from the end face side of a stack of head constituent members, and a side shooter type in which a circular nozzle is formed in a nozzle forming member. Can be roughly divided into As the side shooter type ink jet head, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
As described in Japanese Patent No. 5099, a diaphragm having a diaphragm is laminated on a piezoelectric element, and a liquid chamber which is pressurized by the piezoelectric element through the diaphragm on the diaphragm and a It is known that a flow path forming member that forms an ink supply path for supplying ink is laminated, and a nozzle forming member having a nozzle hole formed on the flow path forming member is further laminated.
【０００４】このようにインクジェットヘッドは、ヒー
タ、圧電素子等のエネルギー発生手段（アクチュエー
タ）を駆動することによってノズルから液滴化したイン
ク（インク滴）を吐出飛翔させて記録を行うため、ノズ
ルの形状、精度等がインク滴の噴射特性（インク滴吐出
性能）に影響を与えると共に、ノズルを形成しているノ
ズル形成部材の表面の特性がインク滴の噴射特性に影響
を与える。例えば、ノズル形成部材表面のノズル周辺部
にインクが付着して不均一なインク溜り（所謂濡れム
ラ）が発生すると、インク滴の吐出方向が曲げられた
り、インク滴の大きさにバラツキが生じたり、インク滴
の飛翔速度が不安定になる等の不都合が生じることが知
られている。[0004] As described above, the ink-jet head performs recording by driving the energy generating means (actuator) such as a heater and a piezoelectric element to eject and fly ink (ink droplets) formed into droplets from the nozzles. The shape, accuracy, and the like affect the ink droplet ejection characteristics (ink droplet ejection performance), and the characteristics of the surface of the nozzle forming member forming the nozzle affect the ink droplet ejection characteristics. For example, when the ink adheres to the periphery of the nozzle on the surface of the nozzle forming member and uneven ink pool (so-called uneven wetting) occurs, the ejection direction of the ink droplet is bent, and the size of the ink droplet varies. It is known that inconveniences such as an unstable flying speed of ink droplets occur.
【０００５】そこで、このようなインクジェットヘッド
のノズル形成部材の表面（インク吐出面）には撥水性材
料で撥水性を有する表面処理膜（撥水膜）を形成するこ
とによって、ノズル形成部材の表面の均一性を高めて、
インク滴の飛翔特性の安定化を図るようにすることが行
われている（例えば特開平６−１４３５８７号公報参
照）。しかしながら、この場合、撥水性材料がノズル孔
内部に侵入して撥水膜を形成すると、インク噴射直後に
ノズル孔部のインク液面（メニスカス面）がノズル孔内
部まで深く引き込まれ、このときに気泡を巻き込み、こ
の気泡の影響によってインク滴の吐出方向がばらついた
り、インク滴の吐出が不能になり、更にメニスカスの保
持性が悪化してインク滴の安定した連続的な吐出が阻害
される。[0005] Therefore, a water-repellent surface treatment film (water-repellent film) made of a water-repellent material is formed on the surface (ink ejection surface) of the nozzle-formed member of such an ink-jet head. To increase the uniformity of
It has been practiced to stabilize the flight characteristics of ink droplets (for example, see JP-A-6-143587). However, in this case, if the water-repellent material enters the inside of the nozzle hole to form a water-repellent film, the ink liquid surface (meniscus surface) of the nozzle hole portion is drawn deep into the nozzle hole immediately after the ink is ejected. Air bubbles are involved, and the ejection direction of the ink droplets varies due to the influence of the air bubbles, and the ejection of the ink droplets becomes impossible. Further, the meniscus holding property is deteriorated and the stable continuous ejection of the ink droplets is hindered.
【０００６】そのため、撥水処理を行なうに際して、
上記特開平６−１４３５８７号公報に記載されているよ
うに、撥水性材料を滲み込ませたウレタンフォームをノ
ズル形成部材の表面に接触させて、ノズル孔内に侵入さ
せないようにして撥水膜を形成することが知られてい
る。また、特開平７−３２９３０３号公報に記載され
ているように、ノズル形成部材の表面を撥水性を有する
粘着剤付きのマスキングテープで覆い、ノズル形成部材
の裏面（インク液室面）及びノズル孔内面に親水化処理
を行なった後、マスキングテープを剥がし、ノズル形成
部材表面に残存した粘着剤を加熱処理して撥水膜を形成
するものもある。なお、特開平７−１２５２２０号公
報に記載されているように、ノズル形成部材の裏面側か
ら感光性樹脂フィルムをノズル孔内に所要量入り込ま
せ、これに撥水性処理を施してノズル孔内部に撥水膜を
形成するようにしたノズルプレートも知られている。Therefore, when performing a water-repellent treatment,
As described in JP-A-6-143587, urethane foam impregnated with a water-repellent material is brought into contact with the surface of the nozzle forming member to prevent the water-repellent film from penetrating into the nozzle holes. It is known to form. Further, as described in JP-A-7-329303, the surface of the nozzle forming member is covered with a masking tape with a water-repellent adhesive, and the back surface (ink liquid chamber surface) of the nozzle forming member and the nozzle holes are formed. In some cases, after performing a hydrophilization treatment on the inner surface, the masking tape is peeled off, and the adhesive remaining on the surface of the nozzle forming member is heated to form a water-repellent film. As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-125220, a required amount of a photosensitive resin film is introduced into the nozzle hole from the back side of the nozzle forming member, and a water-repellent treatment is applied to the photosensitive resin film so that the inside of the nozzle hole is formed. A nozzle plate in which a water-repellent film is formed is also known.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
のウレタンフォームを用いて撥水膜を形成する方法で
は、形成できる撥水膜の膜厚が０．１μｍ前後である。
ところが、インクジェットヘッドでは、インク吐出方向
を安定化するために、インク吐出の前後でシリコンゴム
等のブレードを用いて、ノズル形成部材の表面をワイピ
ングするようにしている。そのため、撥水膜の膜厚が
０．１μｍ前後では、長期間ワイピングを行なうことに
よって撥水膜が摩耗し、撥水性が失われるおそれがあ
る。しかも、この方法では、撥水膜の膜厚を厚くしよう
とすると、撥水性材料がノズル孔内部に侵入することに
なる。However, in the method of forming a water-repellent film using urethane foam, the thickness of the water-repellent film that can be formed is about 0.1 μm.
However, in the inkjet head, in order to stabilize the ink ejection direction, the surface of the nozzle forming member is wiped with a blade of silicon rubber or the like before and after the ink ejection. Therefore, when the thickness of the water-repellent film is about 0.1 μm, the water-repellent film may be worn by long-time wiping, and the water repellency may be lost. In addition, in this method, if the thickness of the water-repellent film is to be increased, the water-repellent material enters the inside of the nozzle hole.
【０００８】また、の撥水性を有する粘着剤付きのマ
スキングテープを用いる方法では、マスキングテープを
剥離するときに、ノズル孔部分ではノズル孔の円周にそ
ってきれいな円状に剥離することが困難であり、粘着剤
がノズル孔を塞いだり、或いはノズル孔の周囲に粘着剤
が残らず、撥水膜が形成されないことがある。しかも、
粘着剤を加熱処理するときに、熱で溶融した粘着剤がノ
ズル孔内部に侵入するおそれがある。なお、上記の撥
水膜をノズル孔内部に入り込ませるノズルプレートにあ
っては、上述したように気泡を巻き込み、この気泡の影
響によってインク滴の吐出方向がばらついたり、インク
滴の吐出が不能になり、更にメニスカスの保持性が悪化
してインク滴の安定した連続的な吐出が阻害される。In the method using a masking tape with a water-repellent adhesive, it is difficult to peel off the masking tape in a clean circular shape along the circumference of the nozzle hole when the masking tape is peeled off. In some cases, the pressure-sensitive adhesive blocks the nozzle hole, or the pressure-sensitive adhesive does not remain around the nozzle hole, and the water-repellent film is not formed. Moreover,
When heat-treating the pressure-sensitive adhesive, the pressure-sensitive adhesive melted by heat may enter the inside of the nozzle hole. In the nozzle plate in which the above-mentioned water-repellent film is inserted into the inside of the nozzle hole, bubbles are entrapped as described above, and the ejection direction of the ink droplets varies due to the influence of the bubbles, and the ejection of the ink droplets becomes impossible. In addition, the meniscus retention is deteriorated, and stable continuous ejection of ink droplets is hindered.
【０００９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、ワイピング耐久性のある表面処理膜を、ノズル孔
内に侵入させることなく、しかも、ノズル孔の径精度を
損なうことなく形成することを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and forms a surface treatment film having wiping durability without penetrating into the nozzle hole and without impairing the diameter accuracy of the nozzle hole. The purpose is to:
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のノズル形成部材の製造方法は、ノズル孔
形成部材の裏面側にネガ型ドライフィルムレジストをラ
ミネートし、これを加熱、加圧してノズル孔から表面側
にはみ出させ、このはみ出した部分を再度加熱して軟化
させた後露光して、前記ノズル孔内から表面側に突出し
た凸状のマスキング部材を形成する構成とした。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a nozzle forming member, comprising laminating a negative dry film resist on a back surface of a nozzle hole forming member, heating the resist, Pressurized to protrude from the nozzle hole to the surface side, and the protruding portion was heated again to soften it and then exposed to form a convex masking member projecting from the nozzle hole to the surface side. .
【００１１】請求項２のノズル形成部材の製造方法は、
ノズル形成部材の裏面にネガ型ドライフィルムレジスト
をラミネートし、これを加熱、加圧してノズル孔から表
面側にはみ出させ、このはみ出した部分を再度加熱し、
加圧して前記ノズル孔径よりも大きくした後露光して、
前記ノズル孔内から表面側に突出した凸状のマスキング
部材を形成する構成とした。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a nozzle forming member.
A negative type dry film resist is laminated on the back surface of the nozzle forming member, heated and pressed to protrude from the nozzle hole to the front side, and the protruding portion is heated again,
Exposure after pressurizing to make it larger than the nozzle hole diameter,
A convex masking member projecting from the inside of the nozzle hole to the surface side is formed.
【００１２】請求項３のノズル形成部材の製造方法は、
上記請求項２のノズル形成部材の製造方法において、前
記はみ出した部分を再度加熱し、加圧して前記ノズル孔
径よりも大きくするときに、前記はみ出した部分を断面
逆テーパー形状にする構成とした。[0012] The method of manufacturing a nozzle forming member according to claim 3 is as follows.
In the method of manufacturing a nozzle forming member according to the second aspect, when the protruding portion is heated again and pressurized so as to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is formed to have a reverse tapered cross section.
【００１３】請求項４のノズル形成部材の製造方法は、
上記請求項２又は３のノズル形成部材の製造方法におい
て、前記はみ出した部分に可撓性フィルムを重ね合わ
せ、熱ロールで順次加圧しながら前記はみ出し部分を熱
変形させて前記ノズル孔径よりも大きくする構成とし
た。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a nozzle forming member.
4. The method for manufacturing a nozzle forming member according to claim 2, wherein a flexible film is superimposed on the protruding portion, and the protruding portion is thermally deformed while being sequentially pressed by a hot roll to make the protruding portion larger than the nozzle hole diameter. The configuration was adopted.
【００１４】請求項５のノズル形成部材の製造方法は、
上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッド
の製造方法において、前記ノズル形成部材をノズル孔位
置に対応する逃げ部を形成した治具と重ねた状態で、前
記ノズル形成部材の裏面にラミネートしたネガ型ドライ
フィルムレジスト加熱、加圧して前記ノズル孔から表面
側にはみ出させる構成とした。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a nozzle forming member.
The method for manufacturing an ink jet head according to any one of claims 1 to 4, wherein the nozzle forming member is laminated on a back surface of the nozzle forming member in a state where the nozzle forming member is overlapped with a jig having a relief portion corresponding to a nozzle hole position. The negative dry film resist was heated and pressurized so as to protrude from the nozzle hole to the surface side.
【００１５】請求項６のノズル形成部材の製造方法は、
ノズル形成部材の裏面に熱可塑性及び溶剤可溶性を有す
る樹脂を塗布し、これを加圧してノズル孔から表面側に
はみ出させて硬化させ、このはみ出した部分を加熱して
前記ノズル孔径よりも大きくし、前記ノズル孔内から表
面側に突出した凸状のマスキング部材を形成する構成と
した。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a nozzle forming member.
A resin having thermoplasticity and solvent solubility is applied to the back surface of the nozzle forming member, and the resin is pressurized so as to protrude from the nozzle hole to the front surface side and is cured, and the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter. In this configuration, a convex masking member protruding from the inside of the nozzle hole toward the surface side is formed.
【００１６】請求項７のノズル形成部材の製造方法は、
上記請求項６のノズル形成部材の製造方法において、前
記はみ出した部分を加熱し前記ノズル孔径よりも大きく
するときに、前記はみ出した部分を断面逆テーパー形状
にする構成とした。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a nozzle forming member.
In the method of manufacturing a nozzle forming member according to claim 6, when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is formed to have a reverse tapered cross section.
【００１７】請求項８のノズル形成部材の製造方法は、
上記請求項６のノズル形成部材の製造方法において、前
記はみ出した部分を加熱し前記ノズル孔径よりも大きく
するときに、前記はみ出した部分を球状にする構成とし
た。[0017] The method of manufacturing a nozzle forming member according to claim 8 is as follows.
In the method for manufacturing a nozzle forming member according to claim 6, when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is formed into a spherical shape.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したイン
クジェットヘッドの分解斜視図、図２は同ヘッドのチャ
ンネル方向（ノズル配列方向）と直交する方向の要部拡
大断面図、図３は同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大
断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet head to which the present invention is applied, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the head in a direction orthogonal to a channel direction (nozzle arrangement direction), and FIG. It is an expanded sectional view.
【００１９】このインクジェットヘッドは、駆動ユニッ
ト１と、液室ユニット２と、ヘッドカバー３とを備えて
いる。駆動ユニット１は、セラミックス基板、例えばチ
タン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶
縁性の基板１１上に、エネルギー発生素子である複数の
積層型圧電素子１２を列状に２列配置して接合し、これ
ら２列の各圧電素子１２の周囲を取り囲む樹脂、セラミ
ック等からなるフレーム部材（支持体）１３を接着剤１
４によって接合している。This ink jet head includes a drive unit 1, a liquid chamber unit 2, and a head cover 3. The drive unit 1 has a plurality of laminated piezoelectric elements 12 as energy generating elements arranged in two rows on a ceramic substrate, for example, an insulating substrate 11 such as barium titanate, alumina, or forsterite, and joined. The frame member (support) 13 made of resin, ceramic, or the like surrounding the periphery of each of the two rows of piezoelectric elements 12 is bonded to the adhesive 1.
4 joined together.
【００２０】複数の圧電素子１２は、インクを液滴化し
て飛翔させるための駆動パルスが与えられる圧電素子
（これを「駆動部」という。）１７，１７…と、駆動部
１７，１７間に位置し、駆動パルスが与えられずに単に
液室ユニット２を基板１１に固定する液室支柱部材とな
る圧電素子（これを「非駆動部」という。）１８，１８
…とを交互に構成している。The plurality of piezoelectric elements 12 are provided between piezoelectric elements 17 (to be referred to as "driving units") to which driving pulses for applying ink to form droplets and fly. A piezoelectric element (hereinafter, referred to as a “non-driving unit”) serving as a liquid chamber support member that is located and receives a driving pulse and simply fixes the liquid chamber unit 2 to the substrate 11.
... are alternately configured.
【００２１】ここで、圧電素子１２としては１０層以上
の積層型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子
は、例えば図２に示すように、厚さ１０〜５０μｍ／１
層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）２０と、厚さ数μ
ｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電
極２１とを交互に積層したものであるが、圧電素子とし
て用いる材料は上記に限られるものでなく、その他の電
気機械変換素子を用いることもできる。Here, as the piezoelectric element 12, a laminated piezoelectric element having ten or more layers is used. This laminated piezoelectric element has a thickness of 10 to 50 μm / 1, for example, as shown in FIG.
Layer of lead zirconate titanate (PZT) 20 and a thickness of several μ
An internal electrode 21 made of silver / paradium (AgPd) of m / 1 layer is alternately laminated, but the material used for the piezoelectric element is not limited to the above, and other electromechanical conversion elements may be used. Can also.
【００２２】各圧電素子１２の内部電極２１は１層おき
にＡgＰdからなる左右の端面電極２２，２３（２つの圧
電素子列の対向する面側を端面電極２２とし、対向しな
い面側を端面電極２３とする。）に接続している。一
方、基板１１上には、図１に示すようにＮi・Ａu蒸着、
Ａuメッキ、ＡgＰtペースト印刷、ＡgＰdペースト印刷
等によって共通電極２４及び個別電極２５の各パターン
を設けている。The internal electrodes 21 of each piezoelectric element 12 are left and right end electrodes 22 and 23 made of AgPd every other layer (the opposing surfaces of the two piezoelectric element rows are end electrodes 22 and the non-opposing surfaces are end electrodes. 23). On the other hand, as shown in FIG.
Each pattern of the common electrode 24 and the individual electrode 25 is provided by Au plating, AgPt paste printing, AgPd paste printing, or the like.
【００２３】そして、各列の各圧電素子１２の対向する
端面電極２２を導電性接着剤２６を介して共通電極２４
に接続し、他方、各列の各圧電素子１２の対向しない端
面電極２３を同じく導電性接着剤２６を介してそれぞれ
個別電極２５に接続している。これにより、駆動部１７
に駆動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発
生して、駆動部１７には積層方向の伸びの変位（ｄ３３
方向の変位）が生起される。なお、共通電極２４は、図
２にも示すように、フレーム部材１３に設けた穴１３ａ
内に導電性接着剤２６を充填することで各圧電素子に接
続されたパターンの導通を取っている。The opposite end face electrodes 22 of each row of the piezoelectric elements 12 are connected to the common electrode 24 via a conductive adhesive 26.
On the other hand, the non-opposing end surface electrodes 23 of the piezoelectric elements 12 in each row are connected to the individual electrodes 25 via the conductive adhesive 26 in the same manner. Thereby, the driving unit 17
When a drive voltage is applied to the drive unit 17, an electric field is generated in the stacking direction, and the driving unit 17 is displaced in the stacking direction (d33).
Direction displacement) occurs. As shown in FIG. 2, the common electrode 24 has a hole 13a formed in the frame member 13.
By filling the inside with the conductive adhesive 26, the pattern connected to each piezoelectric element is conducted.
【００２４】一方、液室ユニット２は、金属薄膜の積層
体からなる振動板３１と、ドライフィルムレジスト（Ｄ
ＦＲ）からなる感光性樹脂層で形成した２層構造の液室
隔壁部材３２と、金属、樹脂等からなるノズルプレート
３３とを順次を積層し、熱融着して形成している。これ
らの各部材によって、１つの圧電素子１２（駆動部１
７）と、この１つの圧電素子１２に対応するダイアフラ
ム部３４と、各ダイアフラム部３４を介して加圧される
加圧液室３５と、この加圧液室３５の両側に位置して加
圧液室３５に供給するインクを導入する共通液室３６，
３６と、加圧液室３５と共通液室３６，３６とを連通す
るインク供給路３７，３７と、加圧液室３５に連通する
ノズル３８とによって１つのチャンネルを形成し、この
チャンネルを複数個２列設けている。On the other hand, the liquid chamber unit 2 includes a diaphragm 31 made of a laminate of metal thin films and a dry film resist (D).
A liquid chamber partition member 32 having a two-layer structure formed of a photosensitive resin layer made of FR) and a nozzle plate 33 made of metal, resin, or the like are sequentially laminated and formed by heat fusion. By each of these members, one piezoelectric element 12 (driving unit 1)
7), a diaphragm portion 34 corresponding to the one piezoelectric element 12, a pressurized liquid chamber 35 pressurized through each diaphragm portion 34, and pressurized portions positioned on both sides of the pressurized liquid chamber 35. A common liquid chamber 36 for introducing ink to be supplied to the liquid chamber 35,
36, ink supply paths 37, 37 communicating the pressurized liquid chamber 35 with the common liquid chambers 36, 36, and a nozzle 38 communicating with the pressurized liquid chamber 35, to form one channel. Two rows are provided.
【００２５】振動板３１は、駆動部１７に対応する前記
ダイアフラム部３４と、駆動部１７と接合するためにこ
のダイアフラム部３４の中央部に一体的に形成した島状
凸部４０と、非駆動部１８に接合する梁４１及びフレー
ム部材１３に接合するベース４２とを形成している。The diaphragm 31 includes the diaphragm portion 34 corresponding to the driving portion 17, the island-shaped convex portion 40 integrally formed at the center of the diaphragm portion 34 for joining with the driving portion 17, A beam 41 joined to the portion 18 and a base 42 joined to the frame member 13 are formed.
【００２６】液室隔壁部材３２は、振動板３１側に予め
ドライフィルムレジストを塗布して所要のマスクを用い
て露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第１
感光性樹脂層４５と、ノズルプレート３３側に予めドラ
イフィルムレジストを塗布して所要のマスクを用いて露
光し、現像して所定の液室パターンを形成した第２感光
性樹脂層４６とを熱圧着で接合してなる。The liquid chamber partition member 32 is formed by applying a dry film resist on the diaphragm 31 side in advance, exposing it using a required mask, and developing it to form a first liquid chamber pattern.
The photosensitive resin layer 45 and the second photosensitive resin layer 46 on which a dry film resist is applied in advance on the nozzle plate 33 side, exposed using a required mask, and developed to form a predetermined liquid chamber pattern are heated. It is joined by crimping.
【００２７】ノズルプレート３３にはインク滴を飛翔さ
せるための微細な吐出口であるノズル孔３８を多数を形
成している。このノズル孔３８の内部形状（内側形状）
は、略円柱形状（又は略円錘台形状でもよい。）に形成
している。また、このノズル孔３８の径はインク滴出口
側の直径で約２５〜３５μｍである。The nozzle plate 33 has a large number of nozzle holes 38 which are fine discharge ports for ejecting ink droplets. Internal shape (inner shape) of this nozzle hole 38
Is formed in a substantially columnar shape (or a substantially truncated cone shape). The diameter of the nozzle hole 38 is about 25 to 35 μm on the ink droplet outlet side.
【００２８】このノズルプレート３３のインク吐出面
（ノズル表面側）は、図１に示すように撥水性の表面処
理を施して撥水処理膜４７を形成している。例えば、Ｐ
ＴＦＥ−Ｎi共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発
性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着
コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤
塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水
処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化
し、高品位の画像品質を得られるようにしている。な
お、ノズルプレート３３の周縁部は撥水処理膜を形成し
ない非撥水処理面４８としている。The ink ejection surface (nozzle surface side) of the nozzle plate 33 is subjected to a water-repellent surface treatment as shown in FIG. For example, P
Ink physical properties such as TFE-Ni eutectoid plating, electrodeposition coating of fluororesin, vapor-deposited evaporative fluororesin (for example, pitch fluoride), baking after solvent application of silicon-based resin and fluorine-based resin, etc. The water-repellent treatment film selected according to the above is provided to stabilize the ink droplet shape and the flying characteristics so that high-quality image quality can be obtained. The periphery of the nozzle plate 33 is a non-water-repellent surface 48 on which no water-repellent film is formed.
【００２９】これらの駆動ユニット１と液室ユニット２
とはそれぞれ別個に加工、組立を行なった後、液室ユニ
ット２の振動板３１と駆動ユニット１の圧電素子１２及
びフレーム部材１３とを接着剤４９で接合している。The drive unit 1 and the liquid chamber unit 2
After processing and assembling separately, the vibration plate 31 of the liquid chamber unit 2 and the piezoelectric element 12 and the frame member 13 of the drive unit 1 are joined with an adhesive 49.
【００３０】そして、基板１１をヘッド支持部材である
スペーサ部材（ヘッドホルダ）５０上に支持して保持
し、このスペーサ部材５０内に配設したヘッド駆動用Ｉ
Ｃ等を有するＰＣＢ基板と駆動ユニット１の各圧電素子
１２（駆動部１７）に接続した各電極２４，２５とをＦ
ＰＣケーブル５１，５１を介して接続している。The substrate 11 is supported and held on a spacer member (head holder) 50 serving as a head support member.
C and the electrodes 24 and 25 connected to the piezoelectric elements 12 (drive unit 17) of the drive unit 1
They are connected via PC cables 51,51.
【００３１】また、ノズルカバー（ヘッドカバー）３
は、ノズルプレート３３の周縁部及びヘッド側面を覆う
箱状に形成したものであり、ノズルプレート３３の撥水
処理面４７に対応して開口部を形成し、ノズルプレート
３３の周縁部に残した非撥水処理面４８に接着剤にて接
着接合している。さらに、このインクジェットヘッドに
は、図示しないインクカートリッジからのインクを液室
に供給するため、スペーサ部材５０、基板１１、フレー
ム部材１３及び振動板３１にそれぞれインク供給穴５２
〜５５を設けている。A nozzle cover (head cover) 3
Is formed in a box shape to cover the peripheral portion of the nozzle plate 33 and the side surface of the head. An opening is formed corresponding to the water-repellent surface 47 of the nozzle plate 33, and is left at the peripheral portion of the nozzle plate 33. The non-water-repellent surface 48 is adhesively bonded with an adhesive. Further, in order to supply ink from an ink cartridge (not shown) to the liquid chamber, the ink supply holes 52 are provided in the spacer member 50, the substrate 11, the frame member 13 and the vibration plate 31, respectively.
To 55 are provided.
【００３２】このように構成したインクジェットヘッド
においては、記録信号に応じて駆動部１７に駆動波形
（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによっ
て、駆動部１７に積層方向の変位が生起し、振動板３１
のダイアフラム部３４を介して加圧液室３５が加圧され
て圧力が上昇し、ノズル孔３８からインク滴が吐出され
る。このとき、加圧液室３５から共通液室３６へ通じる
インク供給路３７，３７方向へもインクの流れが発生す
るが、インク供給路３７，３７の断面積を狭小にするこ
とで流体抵抗部として機能させて共通液室３６，３６側
へのインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防
いでいる。In the ink jet head configured as described above, by applying a drive waveform (pulse voltage of 10 to 50 V) to the drive unit 17 in accordance with the recording signal, a displacement in the stacking direction occurs in the drive unit 17, Diaphragm 31
The pressurized liquid chamber 35 is pressurized via the diaphragm portion 34 of the above, and the pressure is increased, and ink droplets are ejected from the nozzle holes 38. At this time, ink flows also in the direction of the ink supply passages 37, 37 leading from the pressurized liquid chamber 35 to the common liquid chamber 36. However, by reducing the cross-sectional area of the ink supply passages 37, 37, the fluid resistance portion is reduced. Function to reduce the flow of ink toward the common liquid chambers 36, 36, thereby preventing a drop in ink ejection efficiency.
【００３３】そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧
液室３５内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性
と駆動パルスの放電過程によって加圧液室３４内に負圧
が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、イン
クタンクから供給されたインクは共通液室３６，３６に
流入し、共通液室３６，３６からインク供給路３７，３
７を経て加圧液室３５内に充填される。そして、ノズル
孔３８の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰
し、表面張力によってノズル孔３８の出口付近に戻され
て（リフィル）安定状態に至れば、次のインク滴吐出動
作に移行する。Then, with the end of the ejection of the ink droplets, the ink pressure in the pressurized liquid chamber 35 decreases, and a negative pressure is generated in the pressurized liquid chamber 34 due to the inertia of the ink flow and the discharge process of the drive pulse. To the ink filling process. At this time, the ink supplied from the ink tank flows into the common liquid chambers 36, 36, and from the common liquid chambers 36, 36 to the ink supply paths 37, 3.
After that, it is filled into the pressurized liquid chamber 35. Then, when the vibration of the ink meniscus surface near the outlet of the nozzle hole 38 is attenuated and returned to the vicinity of the outlet of the nozzle hole 38 due to surface tension (refill) and a stable state is reached, the next ink droplet ejection operation is started.
【００３４】そこで、このインクジェットヘッドにおけ
るノズルプレート３３の製造方法の一例について図４以
降を参照して説明する。先ず、ノズルプレート３３を構
成するノズル孔を有するノズル孔形成部材の製造工程に
ついて図４を参照して説明する。同図（ａ）に示すよう
なレジストパターンの成膜とメッキ膜を支持するための
電鋳支持基板となる導体基板７１を形成する。この導体
基板７１は、メッキ可能な金属基板、或いはスパッタリ
ングなどで導体化したガラス、セラミックス基板などを
用いることができる。ここでは、ガラス基板の表面にニ
ッケルをスパッタリングしてＮｉスパッタ膜７１ａを成
膜した基板を用いた。また、導体基板７１は複数のノズ
ル孔形成部材を同時に形成する（多数個取りを行う）こ
とが可能な大きさのものを用いている。An example of a method of manufacturing the nozzle plate 33 in the ink jet head will be described with reference to FIG. First, a manufacturing process of a nozzle hole forming member having a nozzle hole constituting the nozzle plate 33 will be described with reference to FIG. A conductive substrate 71 serving as an electroformed support substrate for supporting the formation of a resist pattern and the plating film as shown in FIG. The conductive substrate 71 may be a metal substrate that can be plated, or a glass or ceramic substrate that has been made conductive by sputtering or the like. Here, a substrate in which nickel was sputtered on the surface of a glass substrate to form a Ni sputtered film 71a was used. The conductive substrate 71 has a size capable of forming a plurality of nozzle hole forming members at the same time (performing multiple pieces).
【００３５】そして、この導体基板７１のＮｉスパッタ
膜７１ａ表面（以下、単に「導体基板７１上」とい
う。）に液体レジスト７２を塗布し、これを同図（ｃ）
に示すように所定の開口を有するマスク部材を用いて露
光し、現像することによって、同図（ｄ）に示すように
基板７１上に絶縁性の円形パターン７３を形成する。こ
のとき、図５に示すようにノズル孔３８を２列に複数個
形成するマルチノズルプレートを得る場合には、各ノズ
ル孔３８を形成する各位置に円形レジストパターン７３
を形成する。また、図６に示すように多数個取りを行な
う場合には、個々のノズル孔形成部材に分割するための
外形枠パターン７５及び部分的接続部となるランドパタ
ーン７６も併せて形成する。Then, a liquid resist 72 is applied to the surface of the Ni sputtered film 71a of the conductive substrate 71 (hereinafter, simply referred to as "on the conductive substrate 71"), and this is applied to FIG.
Exposure is performed by using a mask member having a predetermined opening as shown in FIG. 3 and development is performed, thereby forming an insulating circular pattern 73 on the substrate 71 as shown in FIG. At this time, as shown in FIG. 5, when obtaining a multi-nozzle plate in which a plurality of nozzle holes 38 are formed in two rows, a circular resist pattern 73 is formed at each position where each nozzle hole 38 is formed.
To form In the case of performing multi-cavity as shown in FIG. 6, an outer frame pattern 75 for dividing into individual nozzle hole forming members and a land pattern 76 serving as a partial connection portion are also formed.
【００３６】その後、上述した導体基板７１上にニッケ
ル電鋳法によってメッキを施すと、同図（ｅ）に示すよ
うに円形パターン７４上にメッキ金属がせり出すように
Ｎｉメッキ膜７７が析出形成される。そこで、一定のニ
ッケル厚さ、あるいは所要のせり出し量（ノズル孔直
径）に至った時点で電鋳を停止し、メッキ液中から取り
出して、導体基板７１からＮｉメッキ膜７７を分離する
ことによって、同図（ｆ）に示すようにノズル孔３８を
有するノズル孔形成部材８０が得られる。Thereafter, when the above-mentioned conductor substrate 71 is plated by nickel electroforming, a Ni plating film 77 is deposited and formed so that the plating metal protrudes onto the circular pattern 74 as shown in FIG. You. Therefore, when a certain nickel thickness or a required protrusion amount (nozzle hole diameter) is reached, the electroforming is stopped, taken out of the plating solution, and the Ni plating film 77 is separated from the conductive substrate 71. A nozzle hole forming member 80 having the nozzle holes 38 is obtained as shown in FIG.
【００３７】この場合、Ｎｉメッキに代えて、例えばＮ
i−Ｗ、Ｎi−Ｃo、Ｎi−Ｍn、Ｎi−Ｆe、Ｎi−Ｐ、Ｎi
−ＢなどのＮｉ合金メッキを行なうこともできる。ま
た、光沢剤、ピット防止剤などのメッキ添加剤を加える
こともできる。In this case, instead of Ni plating, for example, N
i-W, Ni-Co, Ni-Mn, Ni-Fe, Ni-P, Ni
-B or the like can be plated with a Ni alloy. Further, plating additives such as brighteners and pit inhibitors can be added.
【００３８】また、ノズル孔径（直径）は、レジスト直
径（円形レジストパターン７３の直径）とメッキのせり
出し量によって決定され、メッキせり出し量は、簡便的
にはメッキ厚さで代用することができるので、ノズル孔
径＝（レジスト直径−２）×メッキ厚さ、で概略算出す
ることができる。Further, the nozzle hole diameter (diameter) is determined by the resist diameter (diameter of the circular resist pattern 73) and the amount of plating protrusion, and the amount of plating protrusion can be simply replaced by the plating thickness. Nozzle diameter = (resist diameter-2) x plating thickness.
【００３９】さらに、低ＰＨ領域のインクを使用するよ
うな場合には、耐食性に優れたステンレス板などの金属
薄板に孔を明けてノズルプレートを得ることもできる。
この場合、塑性加工で孔明け加工をすることができる。
また、ポリイミドなどの有機フィルムにエキシマレーザ
ーにより孔明けしてノズルプレートを得ることもでき
る。なお、一般的には、金属材料でノズルプレートを形
成した方が染料インクに対して濡れ易く、そのばらつき
により、インク滴の直進性を阻害し、高精細印字の障害
となるので、金属材料でノズル孔形成部材を形成した場
合の方が、撥水膜を形成する要求が強くなる。Further, when ink in a low PH region is used, a nozzle plate can be obtained by making holes in a thin metal plate such as a stainless steel plate having excellent corrosion resistance.
In this case, drilling can be performed by plastic working.
Alternatively, a nozzle plate can be obtained by forming holes in an organic film such as polyimide by using an excimer laser. In general, forming the nozzle plate with a metal material makes it easier to get wet with the dye ink, and the unevenness hinders the straightness of ink droplets and hinders high-definition printing. The requirement for forming a water-repellent film is stronger when the nozzle hole forming member is formed.
【００４０】次に、このようにして得られたノズル孔形
成部材８０の表面に撥水性の表面処理膜を形成する工程
について図７以降を参照して説明する。先ず、本発明の
第１実施例について図７及び図８を参照して説明する。
図７（ａ）に示すようなノズル孔３８を形成したノズル
孔形成部材８０の裏面側（ノズル吐出面と反対側の面）
に、同図（ｂ）に示すようにネガ型感光性樹脂フィルム
（ドライフィルムレジスト）８１をラミネートする。な
お、多数個取りを行なう場合には、多数のノズル孔形成
部材８０が繋がったシート状の単位でラミネートなどの
以下の工程を行なうことになる。Next, a process of forming a water-repellent surface treatment film on the surface of the nozzle hole forming member 80 thus obtained will be described with reference to FIGS. First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The back side of the nozzle hole forming member 80 in which the nozzle holes 38 are formed as shown in FIG. 7A (the surface opposite to the nozzle discharge surface)
Then, a negative photosensitive resin film (dry film resist) 81 is laminated as shown in FIG. In the case of performing multi-cavity production, the following steps such as lamination are performed in a sheet-like unit in which a large number of nozzle hole forming members 80 are connected.
【００４１】そして、このドライフィルムレジスト８１
を加熱、加圧して、同図（ｃ）に示すようにドライフィ
ルムレジスト８１をノズル孔３８内に充填し、かつ表面
側（ノズル吐出面側）にはみ出させて、はみ出し部分８
１ａを形成する。このとき、はみ出し部分８１のノズル
孔３８開口端からのはみ出し量は成膜する撥水膜の厚み
よりも大きくする。ここでは、撥水膜の厚みを３〜５μ
ｍにするので、１０μｍ前後になるようにしている。Then, the dry film resist 81
Is heated and pressurized to fill the nozzle hole 38 with the dry film resist 81 and protrude to the surface side (nozzle discharge surface side) as shown in FIG.
1a is formed. At this time, the amount of the protruding portion 81 protruding from the opening end of the nozzle hole 38 is made larger than the thickness of the water-repellent film to be formed. Here, the thickness of the water-repellent film is 3 to 5 μm.
m, so that it is about 10 μm.
【００４２】そこで、このはみ出した部分８１ａを再度
加熱して軟化させることによって、同図（ｄ）及び図９
に拡大して示すように、はみ出した部分８１ａはノズル
孔径よりも若干膨らんだ寸法形状になってノズル孔３８
のエッジ部分３８ａが確実に被覆された状態になり、こ
れをノズル孔形成部材８０の裏面側及び表面側から紫外
線（ＵＶ）露光することによって、図８（ａ）に示すよ
うにドライフィルムレジスト８１ははみ出した部分８１
ａを含めて硬化され、ノズル孔３８内から表面側に突出
した凸状部８２ａを有するマスキング部材８２を形成す
る。Then, the protruding portion 81a is heated again to soften it, thereby obtaining the parts shown in FIGS.
As shown in the enlarged view, the protruding portion 81a has a shape slightly larger than the diameter of the nozzle hole, and the nozzle hole 38a.
The edge portion 38a of the nozzle hole is securely covered, and this is exposed to ultraviolet light (UV) from the back side and the front side of the nozzle hole forming member 80, so that the dry film resist 81 as shown in FIG. Overhanging part 81
and a masking member 82 having a convex portion 82a protruding from the inside of the nozzle hole 38 toward the surface side is formed.
【００４３】この状態で、ノズル孔形成部材８０の表面
側にフッ素樹脂−金属共析メッキ、例えばＰＴＦＥ（ポ
リテトロフルオロエチレン）−Ｎｉ共析メッキ液を用い
た電解又は無電解メッキ（例として、商品名：上村工業
（株）製のニムフロン、メタフロン等）を施して図８
（ｂ）に示すように厚み３〜５μｍ程度の撥水膜４７を
成膜し、その後、ドライフィルムレジストからなるマス
キング部材８２を除去することによって、同図（ｃ）に
示すように、表面に撥水膜４７を付与したノズル形成部
材であるノズルプレート３１が得られる。In this state, a fluororesin-metal eutectoid plating, for example, electrolytic or electroless plating using a PTFE (polytetrafluoroethylene) -Ni eutectoid plating solution is applied to the surface side of the nozzle hole forming member 80 (for example, (Product name: Nimflon, Metaflon, etc., manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.)
A water-repellent film 47 having a thickness of about 3 to 5 μm is formed as shown in FIG. 2B, and then a masking member 82 made of a dry film resist is removed, so that the surface is formed as shown in FIG. The nozzle plate 31 which is a nozzle forming member provided with the water-repellent film 47 is obtained.
【００４４】このようにノズル孔形成部材の裏面側にネ
ガ型ドライフィルムレジストをラミネートし、これを加
熱、加圧してノズル孔から表面側にはみ出させ、このは
み出した部分を再度加熱して軟化させることで、はみ出
し部分の先細り補正してノズル孔エッジ部を確実に被覆
することができ、これを露光硬化させて撥水膜形成時の
マスキング部材とすることによって、ノズル孔エッジ部
へのメッキ膜のバリ状の析出を防止することができ、ワ
イピング耐久性のある表面処理膜を、ノズル孔内に侵入
させることなく、しかも、ノズル孔の径精度を損なうこ
となく形成することが可能になる。As described above, the negative type dry film resist is laminated on the back side of the nozzle hole forming member, and is heated and pressed to protrude from the nozzle hole to the front side, and the protruding portion is heated again to soften. This makes it possible to reliably cover the edge of the nozzle hole by correcting the taper of the protruding portion, and to cure this by exposure and curing to form a masking member when forming a water-repellent film. Can be prevented, and a surface treatment film having wiping durability can be formed without penetrating into the nozzle hole and without impairing the diameter accuracy of the nozzle hole.
【００４５】次に、本発明の第２実施例について図１０
を参照して説明する。この実施例においては、上記第１
実施例でノズル孔形成部材８０の裏面側にラミネートし
たネガ型ドライフィルムレジスト８１を加熱、加圧する
とき、ノズル孔３８に対応する凹部８４ａを形成した治
具８４とノズル孔形成部材８０とを重ね合せた状態で、
ドライフィルムレジスト８１を加熱、加圧してノズル孔
３８からノズル孔形成部材８０の表面側にはみ出させる
ようにしている。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. In this embodiment, the first
When heating and pressing the negative dry film resist 81 laminated on the back surface side of the nozzle hole forming member 80 in the embodiment, the jig 84 having the concave portion 84a corresponding to the nozzle hole 38 and the nozzle hole forming member 80 are overlapped. Together
The dry film resist 81 is heated and pressurized so as to protrude from the nozzle hole 38 toward the surface of the nozzle hole forming member 80.
【００４６】このようにすることで、ドライフィルムレ
ジスト８１のはみ出し部分８１ａの形状変化を防止する
ことができて、より確実にノズル孔３８内部にドライフ
ィルムレジスト８１を充填することができる。By doing so, the shape change of the protruding portion 81a of the dry film resist 81 can be prevented, and the inside of the nozzle hole 38 can be more reliably filled with the dry film resist 81.
【００４７】次に、本発明の第３実施例について図１１
を参照して説明する。この実施例においては、上記第１
実施例と同様にしてネガ型ドライフィルムレジスト８１
をノズル孔形成部材８０のノズル孔３８から表面側には
み出させた後、はみ出し部分８１ａ上に可撓性フィルム
８５を重ねて加熱・加圧ロール８６を用いて、可撓性フ
ィルム８５を介してはみ出し部分８１ａを加熱しながら
加圧して、はみ出し部分８１ａの形状を変形させ、ノズ
ル孔３８の直径よりも大きい形状、ここでは、同図
（ｂ）に示すようにはみ出し部８１ａを逆テーパー形状
に形成する。なお、その後の工程は上記第１実施例と同
様である。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. In this embodiment, the first
Negative dry film resist 81 in the same manner as in the embodiment.
Is protruded from the nozzle hole 38 of the nozzle hole forming member 80 to the surface side, a flexible film 85 is stacked on the protruding portion 81a, and the heating / pressing roll 86 is used to interpose the flexible film 85 through the flexible film 85. The protruding portion 81a is pressurized while being heated to deform the shape of the protruding portion 81a, so that the protruding portion 81a has a shape larger than the diameter of the nozzle hole 38, here, as shown in FIG. Form. The subsequent steps are the same as in the first embodiment.
【００４８】この場合、例えばはみ出し量が多くなりす
ぎるとはみ出し部分８１ａが加熱、加圧時に倒れること
があるので、ドライフィルムレジスト８１の表面側への
はみ出し量、はみ出し部分（柱状部分）８１ａの直径、
加圧力、温度などをバランス良く設定する。In this case, for example, if the protruding amount is too large, the protruding portion 81a may fall during heating and pressurization. Therefore, the protruding amount to the surface side of the dry film resist 81, the diameter of the protruding portion (columnar portion) 81a. ,
Set the pressure, temperature, etc. in a well-balanced manner.
【００４９】このように、このはみ出した部分を再度加
熱し、加圧してノズル孔径よりも大きくした凸状のマス
キング部材を形成することによって、ノズル孔内にドラ
イフィルムレジストが確実に充填されるので、後工程で
のノズル孔内周面へのメッキ析出を一層確実に防止する
ことができる。即ち、ノズル孔形成部材の表面側にはみ
出したドライフィルムレジストのはみ出し部分は露光、
現像によって直径細りが生じるが、はみ出し部分の直径
をノズル孔径よりも大きくすることによって、直径細り
が生じてもノズル孔径よりも細くならず、ノズル孔への
充填性が向上し、ノズル孔エッジ部へのメッキ膜の析出
を防止できる。As described above, the protruding portion is heated again and pressurized to form a convex masking member having a diameter larger than the nozzle hole diameter, so that the dry film resist is reliably filled in the nozzle hole. In addition, plating deposition on the inner peripheral surface of the nozzle hole in a later step can be more reliably prevented. That is, the protruding portion of the dry film resist protruding to the surface side of the nozzle hole forming member is exposed,
Although the diameter is reduced by the development, by making the diameter of the protruding portion larger than the diameter of the nozzle hole, even if the diameter is reduced, the diameter does not become smaller than the diameter of the nozzle hole. The deposition of the plating film on the substrate can be prevented.
【００５０】この場合、この実施例のように特に可撓性
フィルムを介して熱ロールで加圧してはみ出し部分の形
状を変形させることによって、はみ出し部分の一方向へ
の倒れを防止することができる。In this case, as in this embodiment, the protruding portion can be prevented from falling in one direction by deforming the shape of the protruding portion by pressing with a hot roll, particularly via a flexible film. .
【００５１】次に、本発明の第４実施例について図１２
を参照して説明する。同図（ａ）に示すようなノズル孔
３８を形成したノズル孔形成部材８０の裏面側（ノズル
吐出面と反対側の面）に、同図（ｂ）に示すように酢酸
ビニール、酢酸セルロースなどの熱可塑性及び溶剤可溶
性を有する樹脂９１を塗布し、これを加圧して、ノズル
孔３８内に充填し、かつ表面側（ノズル吐出面側）には
み出させて、はみ出し部分９１ａを形成する。このとき
のはみ出し部分９１のノズル孔３８開口端からのはみ出
し量は成膜する撥水膜の厚みよりも大きくすることなど
は、上記第１実施例と同様である。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. On the back side (surface opposite to the nozzle discharge surface) of the nozzle hole forming member 80 in which the nozzle holes 38 are formed as shown in FIG. A resin 91 having thermoplasticity and solvent solubility is applied, pressurized, filled in the nozzle hole 38, and protruded to the surface side (nozzle discharge surface side) to form a protruding portion 91a. At this time, the amount of the protruding portion 91 protruding from the opening end of the nozzle hole 38 is made larger than the thickness of the water-repellent film to be formed, as in the first embodiment.
【００５２】その後、上記第３実施例で説明した同様
に、樹脂９１のはみ出し部分９１ａ上に可撓性フィルム
８５を重ねて加熱・加圧ロール８６を用いて、可撓性フ
ィルム８５を介してはみ出し部分９１ａを加熱しながら
加圧して（再加熱、再加圧）、はみ出し部分９１ａを軟
化させながらその形状を変形させ、ノズル孔３８の直径
よりも大きい形状、ここでは、同図（ｄ）に示すように
はみ出し部９１ａを逆テーパー形状に形成し、これを硬
化させて同図（ｅ）に示すようにノズル孔３８内から表
面側に突出した凸状部９２ａを有するマスキング部材９
２を形成する。Thereafter, in the same manner as described in the third embodiment, the flexible film 85 is superposed on the protruding portion 91a of the resin 91, and the heating / pressing roll 86 is used to interpose the flexible film 85 through the flexible film 85. The protruding portion 91a is pressurized while being heated (reheating, re-pressurizing), and the protruding portion 91a is deformed while being softened to have a shape larger than the diameter of the nozzle hole 38, in this case, FIG. The protruding portion 91a is formed in a reverse taper shape as shown in FIG. 3A, and is cured to form a masking member 9 having a convex portion 92a protruding from the inside of the nozzle hole 38 to the surface side as shown in FIG.
Form 2
【００５３】そして、上記第１実施例と同様に、この状
態で、ノズル孔形成部材８０の表面側にフッ素樹脂−金
属共析メッキ等を施して同図（ｅ）に示すように厚み３
〜５μｍ程度の撥水膜４７を成膜し、その後、樹脂９１
を溶剤で除去し、表面に撥水膜４７を付与したノズル形
成部材であるノズルプレート３１を得る。In this state, as in the first embodiment, a fluororesin-metal eutectoid plating or the like is applied to the surface side of the nozzle hole forming member 80, and the thickness is reduced to 3 as shown in FIG.
A water repellent film 47 having a thickness of about 5 μm is formed.
Is removed with a solvent to obtain a nozzle plate 31 which is a nozzle forming member having a surface provided with a water-repellent film 47.
【００５４】このようにノズル形成部材の裏面に熱可塑
性及び溶剤可溶性を有する樹脂を塗布し、これを加圧し
てノズル孔から表面側にはみ出させて硬化させ、このは
み出した部分を加熱してノズル孔径よりも大きくし、ノ
ズル孔内から表面側に突出した凸状のマスキング部材を
形成することによって、メッキの際の電流集中をシール
ドすることができ、ノズル孔エッジ部へのメッキ膜のバ
リ状の析出を防止することができて、ワイピング耐久性
のある表面処理膜を、ノズル孔内に侵入させることな
く、しかも、ノズル孔の径精度を損なうことなく形成す
ることが可能になる。As described above, a resin having thermoplasticity and solvent solubility is applied to the back surface of the nozzle forming member, and the resin is pressurized to protrude from the nozzle hole to the front surface side to be cured, and the protruding portion is heated to form the nozzle. By forming a convex masking member that is larger than the hole diameter and protrudes from the inside of the nozzle hole to the surface side, it is possible to shield current concentration at the time of plating, and to form a burr-like plating film on the edge of the nozzle hole Can be prevented, and a surface treatment film having wiping durability can be formed without penetrating into the nozzle hole and without impairing the diameter accuracy of the nozzle hole.
【００５５】そして、マスキング部材のはみ出し部分の
直径をノズル孔径よりも大きくするときに逆テーパー形
状にすることによって、ノズル孔への充填性、密着性が
向上し、メッキの際の電流集中をより効果的にシールド
することができる。When the diameter of the protruding portion of the masking member is made larger than the diameter of the nozzle hole, a reverse taper shape is provided, whereby the filling property and adhesion to the nozzle hole are improved, and the current concentration during plating is further reduced. It can be shielded effectively.
【００５６】次に、本発明の第５実施例について図１３
を参照して説明する。この実施例においては、上記第４
実施例と同様に、同図（ａ）に示すようにノズル孔形成
部材８０の裏面側に酢酸ビニール、酢酸セルロースなど
の熱可塑性及び溶剤可溶性を有する樹脂９１を塗布し、
これを加圧して、ノズル孔３８内に充填し、かつ表面側
（ノズル吐出面側）にはみ出させて、はみ出し部分９１
ａを形成する。Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. In this embodiment, the fourth
Similarly to the embodiment, as shown in FIG. 9A, a resin 91 having thermoplasticity and solvent solubility such as vinyl acetate and cellulose acetate is applied to the back side of the nozzle hole forming member 80,
This is pressurized to fill the inside of the nozzle hole 38 and protrude to the surface side (nozzle discharge surface side), so that the protruding portion 91
a is formed.
【００５７】その後、はみ出し部分９１ａを再加熱し
て、表面張力の作用によって、同図（ｂ）に示すように
樹脂９１のノズル孔３８からのはみ出し部分９１ａの形
状を球状に変化させている。なお、その後の工程は上記
第４実施例と同様である。Thereafter, the protruding portion 91a is reheated to change the shape of the protruding portion 91a of the resin 91 from the nozzle hole 38 into a spherical shape by the action of surface tension as shown in FIG. The subsequent steps are the same as in the fourth embodiment.
【００５８】このように、はみ出した部分を加熱しノズ
ル孔径よりも大きくするときに、はみ出した部分を球状
にすることで、メッキの際の電流集中をより効果的にシ
ールドすることができ、ノズル孔エッジ部へのメッキ膜
の析出を確実に防止できる。As described above, when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, by forming the protruding portion into a sphere, current concentration during plating can be more effectively shielded, and Deposition of the plating film on the edge of the hole can be reliably prevented.
【００５９】なお、上記実施例においては、本発明をア
クチュエータ素子として圧電素子を用いるピエゾアクチ
ュエータ方式のインクジェットヘッドに適用した例につ
いて説明したが、発熱抵抗体を用いるいわゆるバブルジ
ェット方式のインクジェットヘッドにも適用することが
できる。さらに、ノズル形成部材としては加圧液室を形
成する部材と別体にした構造のものに限らず、加圧液室
を形成する部材と一体構造のものにも適用することがで
きる。In the above embodiment, an example in which the present invention is applied to a piezo actuator type ink jet head using a piezoelectric element as an actuator element has been described. However, a so-called bubble jet type ink jet head using a heating resistor is also used. Can be applied. Further, the nozzle forming member is not limited to a member having a structure separate from a member forming the pressurized liquid chamber, and may be applied to a member integrally formed with a member forming the pressurized liquid chamber.
【００６０】さらに、上記実施例においては、ノズル孔
形成部材としてプレート状のものを用いた例について説
明したが、複数の部材（例えば溝を形成した部材とその
溝を覆う部材）を組合わせてノズルを形成するものであ
っても、本発明を同様に適用することができる。さらに
また、ノズルの開口方向を圧電素子の変位方向と同じに
したサイドシュータ方式のインクジェットヘッドで説明
しているが、ノズルの開口方向を圧電素子の変位方向と
直交する方向にしたエッジシュータ方式のインクジェッ
トヘッドにも適用することができる。Further, in the above-described embodiment, an example in which a plate-shaped member is used as the nozzle hole forming member has been described, but a plurality of members (for example, a member having a groove and a member covering the groove) are combined. The present invention can be similarly applied to a case where a nozzle is formed. Furthermore, the side shooter type inkjet head in which the opening direction of the nozzle is the same as the displacement direction of the piezoelectric element has been described, but the edge shooter type in which the opening direction of the nozzle is in a direction orthogonal to the displacement direction of the piezoelectric element. It can be applied to an ink jet head.
【００６１】[0061]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１のノズル
形成部材の製造方法によれば、ノズル孔形成部材の裏面
側にネガ型ドライフィルムレジストをラミネートし、こ
れを加熱、加圧してノズル孔から表面側にはみ出させ、
このはみ出した部分を再度加熱して軟化させた後露光し
て、ノズル孔内から表面側に突出した凸状のマスキング
部材を形成するので、はみ出し部分の先細り補正してノ
ズル孔エッジ部を確実に被覆し、ノズル孔エッジ部への
メッキ膜のバリ状の析出を防止することができ、ワイピ
ング耐久性のある表面処理膜を、ノズル孔内に侵入させ
ることなく、しかも、ノズル孔の径精度を損なうことな
く形成することが可能になる。As described above, according to the method for manufacturing a nozzle forming member of the first aspect, a negative type dry film resist is laminated on the back side of the nozzle hole forming member, and this is heated and pressed to form a nozzle. Protrude from the hole to the surface side,
The protruding portion is heated again to soften it and then exposed to form a convex masking member projecting from the inside of the nozzle hole to the surface side, so that the protruding portion is tapered and the edge portion of the nozzle hole is reliably formed. The coating prevents the burrs of the plating film from being deposited on the edge of the nozzle hole, and prevents the surface treatment film with wiping durability from penetrating into the nozzle hole. It becomes possible to form without damaging.
【００６２】請求項２のノズル形成部材の製造方法によ
れば、ノズル形成部材の裏面にネガ型ドライフィルムレ
ジストをラミネートし、これを加熱、加圧してノズル孔
から表面側にはみ出させ、このはみ出した部分を再度加
熱し、加圧してノズル孔径よりも大きくした後露光し
て、ノズル孔内から表面側に突出した凸状のマスキング
部材を形成するようにしたので、ノズル孔内への充填性
が向上し、露光、現像等による先細りを防止してエッジ
部を確実に被覆し、ノズル孔エッジ部へのメッキ膜のバ
リ状の析出を防止することができ、ワイピング耐久性の
ある表面処理膜を、ノズル孔内に侵入させることなく、
しかも、ノズル孔の径精度を損なうことなく形成するこ
とが可能になる。According to the method of manufacturing a nozzle forming member of the present invention, a negative type dry film resist is laminated on the back surface of the nozzle forming member, and is heated and pressurized so as to protrude from the nozzle hole to the front surface side. The heated part is heated again, pressurized to make it larger than the nozzle hole diameter, and then exposed to form a convex masking member that protrudes from the inside of the nozzle hole to the surface side. The surface treatment film with improved wiping durability by preventing tapering due to exposure, development, etc., and reliably covering the edge portion, preventing the burr-like deposition of the plating film on the nozzle hole edge portion Without penetrating into the nozzle hole,
In addition, it is possible to form the nozzle holes without impairing the diameter accuracy.
【００６３】請求項３のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項２のノズル形成部材の製造方法におい
て、はみ出した部分を再度加熱し、加圧してノズル孔径
よりも大きくするときに、はみ出した部分を断面逆テー
パー形状にするので、一層確実にはみ出し部分の先細り
を防止してノズル孔エッジ部へのメッキ膜のバリ状の析
出を防止することができる。According to the method of manufacturing a nozzle forming member of the third aspect, in the method of manufacturing a nozzle forming member of the second aspect, when the protruding portion is heated again and pressurized to make it larger than the nozzle hole diameter, Since the protruding portion has an inversely tapered cross section, it is possible to more reliably prevent the protruding portion from being tapered and to prevent the plating film from depositing on the edge of the nozzle hole in a burr-like manner.
【００６４】請求項４のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項２又は３のノズル形成部材の製造方法
において、はみ出した部分に可撓性フィルムを重ね合わ
せ、熱ロールで順次加圧しながらはみ出し部分を熱変形
させてノズル孔径よりも大きくするので、はみ出した部
分の形状を変形させるときの倒れを防止することがで
き、ノズル孔内充填性を向上し、より確実にノズル孔エ
ッジ部へのメッキ膜のバリ状の析出を防止することがで
きる。According to the manufacturing method of the nozzle forming member of the fourth aspect, in the manufacturing method of the nozzle forming member of the second or third aspect, the flexible film is overlapped on the protruding portion and is sequentially pressed by the hot roll. Since the protruding part is thermally deformed to make it larger than the nozzle hole diameter, it can be prevented from falling when deforming the shape of the protruding part, improving the filling property in the nozzle hole, and more reliably the nozzle hole edge part It is possible to prevent burr-like deposition of the plating film on the substrate.
【００６５】請求項５のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェット
ヘッドの製造方法において、ノズル形成部材をノズル孔
位置に対応する逃げ部を形成した治具と重ねた状態で、
ノズル形成部材の裏面にラミネートしたネガ型ドライフ
ィルムレジスト加熱、加圧してノズル孔から表面側には
み出させるようにしたので、ノズル孔内から表面側には
み出させるときの変形を防止することができる。According to the method of manufacturing a nozzle forming member of the fifth aspect, in the method of manufacturing an ink jet head according to any one of the first to fourth aspects, the nozzle forming member is formed by forming a relief portion corresponding to the position of the nozzle hole. In a state where it is stacked with
Since the negative type dry film resist laminated on the back surface of the nozzle forming member is heated and pressed so as to protrude from the nozzle hole to the front side, it is possible to prevent deformation when protruding from the nozzle hole to the front side.
【００６６】請求項６のノズル形成部材の製造方法によ
れば、ノズル形成部材の裏面に熱可塑性及び溶剤可溶性
を有する樹脂を塗布し、これを加圧してノズル孔から表
面側にはみ出させて硬化させ、このはみ出した部分を加
熱してノズル孔径よりも大きくし、ノズル孔内から表面
側に突出した凸状のマスキング部材を形成するので、ノ
ズル孔内への充填性が向上し、ノズル孔エッジ部への電
流集中を防止して、ノズル孔エッジ部へのメッキ膜のバ
リ状の析出を防止することができ、ワイピング耐久性の
ある表面処理膜を、ノズル孔内に侵入させることなく、
しかも、ノズル孔の径精度を損なうことなく形成するこ
とが可能になる。According to the method of manufacturing a nozzle forming member of the present invention, a resin having thermoplasticity and solvent solubility is applied to the back surface of the nozzle forming member, and the resin is pressurized and protruded from the nozzle hole toward the front surface to cure. The protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter to form a convex masking member projecting from the inside of the nozzle hole to the surface side, so that the filling property into the nozzle hole is improved, and the nozzle hole edge is improved. It is possible to prevent the concentration of current on the part, prevent the burr-like deposition of the plating film on the edge of the nozzle hole, and prevent the surface treatment film with wiping durability from penetrating into the nozzle hole.
In addition, it is possible to form the nozzle holes without impairing the diameter accuracy.
【００６７】請求項７のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項６のノズル形成部材の製造方法におい
て、はみ出した部分を加熱しノズル孔径よりも大きくす
るときに、はみ出した部分を断面逆テーパー形状にする
ので、ノズル孔内への充填性が向上し、より確実にノズ
ル孔エッジ部への電流集中を防止して、ノズル孔エッジ
部へのメッキ膜のバリ状の析出を防止することができ
る。According to the method of manufacturing a nozzle forming member of claim 7, in the method of manufacturing a nozzle forming member of claim 6, when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is formed in a cross section. Since the tapered shape is reversed, the filling property in the nozzle hole is improved, the current concentration on the nozzle hole edge is more reliably prevented, and the burr-like deposition of the plating film on the nozzle hole edge is prevented. be able to.
【００６８】請求項８のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項６のノズル形成部材の製造方法におい
て、はみ出した部分を加熱しノズル孔径よりも大きくす
るときに、はみ出した部分を球状にするので、より確実
にノズル孔エッジ部への電流集中を防止して、ノズル孔
エッジ部へのメッキ膜のバリ状の析出を防止することが
できる。According to the method of manufacturing a nozzle forming member of claim 8, in the method of manufacturing a nozzle forming member of claim 6, when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is spherical. Accordingly, it is possible to more reliably prevent the current from concentrating on the edge of the nozzle hole, and prevent the plating film from depositing on the edge of the nozzle hole in a burr-like manner.
【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの分解
斜視図FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet head to which the present invention has been applied.
【図２】同ヘッドのチャンネル方向と直交する方向の要
部拡大断面図FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the head in a direction orthogonal to a channel direction.
【図３】同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the head in a channel direction.
【図４】同ヘッドのノズル孔形成部材の製造方法を説明
する模式的断面図FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a nozzle hole forming member of the head.
【図５】図４の製造方法をマルチノズルプレートに適用
する場合の説明に供する斜視説明図5 is a perspective explanatory view for explaining a case where the manufacturing method of FIG. 4 is applied to a multi-nozzle plate;
【図６】図４の製造方法で多数個取りを行う場合の説明
に供する斜視説明図FIG. 6 is an explanatory perspective view for explaining a case of performing multi-cavity production by the manufacturing method of FIG. 4;
【図７】本発明の第１実施例を説明する模式的断面図FIG. 7 is a schematic sectional view illustrating a first embodiment of the present invention.
【図８】図７の続きを説明する模式的断面図FIG. 8 is a schematic sectional view illustrating a continuation of FIG. 7;
【図９】図７の説明に供する要部拡大模式的断面図9 is an enlarged schematic cross-sectional view of a main part used for explaining FIG. 7;
【図１０】本発明の第２実施例を説明する模式的断面図FIG. 10 is a schematic sectional view illustrating a second embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の第３実施例を説明する模式的断面図FIG. 11 is a schematic sectional view illustrating a third embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第４実施例を説明する模式的断面図FIG. 12 is a schematic sectional view illustrating a fourth embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第５実施例を説明する模式的断面図FIG. 13 is a schematic sectional view illustrating a fifth embodiment of the present invention.
１…駆動ユニット、２…液室ユニット、１２…圧電素
子、３３…ノズルプレート、３８…ノズル孔、４７…撥
水膜、８０…ノズル孔形成部材、８１…ネガ型ドライフ
ィルムレジスト、８１ａ…はみ出し部分、８２…マスキ
ング部材、８４…治具、８５…可撓性フィルム、８６…
加熱・加圧ローラ、９１…熱可塑性・火溶剤可溶性樹
脂、９１ａ…はみ出し部分。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Drive unit, 2 ... Liquid chamber unit, 12 ... Piezoelectric element, 33 ... Nozzle plate, 38 ... Nozzle hole, 47 ... Water repellent film, 80 ... Nozzle hole forming member, 81 ... Negative type dry film resist, 81a ... Protruding Part, 82: masking member, 84: jig, 85: flexible film, 86:
Heating / pressing roller, 91: thermoplastic / fire solvent soluble resin, 91a: protruding portion.
Claims (8)
表面に表面処理膜を形成するノズル形成部材の製造方法
において、前記ノズル孔形成部材の裏面側にネガ型ドラ
イフィルムレジストをラミネートし、これを加熱、加圧
して前記ノズル孔から表面側にはみ出させ、このはみ出
した部分を再度加熱して軟化させた後露光して、前記ノ
ズル孔内から表面側に突出した凸状のマスキング部材を
形成することを特徴とするノズル形成部材の製造方法。1. A method of manufacturing a nozzle forming member in which a surface treatment film is formed on a surface of a nozzle hole forming member having a nozzle hole formed therein, wherein a negative type dry film resist is laminated on the back side of the nozzle hole forming member. Is heated and pressurized to protrude from the nozzle hole to the surface side, and the protruding portion is heated again to soften and then exposed to form a convex masking member projecting from the inside of the nozzle hole to the surface side. A method for manufacturing a nozzle forming member.
表面に表面処理膜を形成するノズル形成部材の製造方法
において、前記ノズル形成部材の裏面にネガ型ドライフ
ィルムレジストをラミネートし、これを加熱、加圧して
前記ノズル孔から表面側にはみ出させ、このはみ出した
部分を再度加熱し、加圧して前記ノズル孔径よりも大き
くした後露光して、前記ノズル孔内から表面側に突出し
た凸状のマスキング部材を形成することを特徴とするノ
ズル形成部材の製造方法。2. A method of manufacturing a nozzle forming member in which a surface treatment film is formed on a surface of a nozzle hole forming member having a nozzle hole formed therein, wherein a negative type dry film resist is laminated on the back surface of the nozzle forming member, and the resist is heated. , Pressurized to protrude from the nozzle hole to the surface side, reheat the protruding portion, pressurized to make it larger than the nozzle hole diameter, and then exposed, and projected from the inside of the nozzle hole to the surface side A method of manufacturing a nozzle forming member, comprising forming a masking member of (1).
方法において、前記はみ出した部分を再度加熱し、加圧
して前記ノズル孔径よりも大きくするときに、前記はみ
出した部分を断面逆テーパー形状にすることを特徴とす
るノズル形成部材の製造方法。3. The method for manufacturing a nozzle forming member according to claim 2, wherein the protruding portion is heated again and pressurized to have a diameter larger than the nozzle hole diameter, and the protruding portion has an inverse tapered cross section. A method for manufacturing a nozzle forming member.
の製造方法において、前記はみ出した部分に可撓性フィ
ルムを重ね合わせ、熱ロールで順次加圧しながら前記は
み出し部分を熱変形させて前記ノズル孔径よりも大きく
することを特徴とするノズル形成部材の製造方法。4. The method for manufacturing a nozzle forming member according to claim 2, wherein a flexible film is overlapped on the protruding portion, and the protruding portion is thermally deformed while being sequentially pressed by a hot roll. A method for manufacturing a nozzle forming member, wherein the diameter is larger than the nozzle hole diameter.
クジェットヘッドの製造方法において、前記ノズル形成
部材をノズル孔位置に対応する逃げ部を形成した治具と
重ねた状態で、前記ノズル形成部材の裏面にラミネート
したネガ型ドライフィルムレジスト加熱、加圧して前記
ノズル孔から表面側にはみ出させることを特徴とするノ
ズル形成部材の製造方法。5. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the nozzle forming member is overlapped with a jig having a relief portion corresponding to a position of a nozzle hole. A method for manufacturing a nozzle forming member, wherein a negative type dry film resist laminated on the back surface of the member is heated and pressed to protrude from the nozzle hole to the front surface side.
表面に表面処理膜を形成するノズル形成部材の製造方法
において、前記ノズル形成部材の裏面に熱可塑性及び溶
剤可溶性を有する樹脂を塗布し、これを加圧して前記ノ
ズル孔から表面側にはみ出させて硬化させ、このはみ出
した部分を加熱して前記ノズル孔径よりも大きくし、前
記ノズル孔内から表面側に突出した凸状のマスキング部
材を形成することを特徴とするノズル形成部材の製造方
法。6. A method of manufacturing a nozzle forming member in which a surface treatment film is formed on a surface of a nozzle hole forming member having a nozzle hole formed therein, wherein a resin having thermoplasticity and solvent solubility is applied to a back surface of the nozzle forming member. This is pressurized to protrude from the nozzle hole to the surface side and cured, and the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, and a convex masking member projecting from the inside of the nozzle hole to the surface side. A method for manufacturing a nozzle forming member, characterized by being formed.
方法において、前記はみ出した部分を加熱し前記ノズル
孔径よりも大きくするときに、前記はみ出した部分を断
面逆テーパー形状にすることを特徴とするノズル形成部
材の製造方法。7. The method of manufacturing a nozzle forming member according to claim 6, wherein when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is formed into a reverse tapered cross section. A method for manufacturing a nozzle forming member.
方法において、前記はみ出した部分を加熱し前記ノズル
孔径よりも大きくするときに、前記はみ出した部分を球
状にすることを特徴とするノズル形成部材の製造方法。8. The method of manufacturing a nozzle forming member according to claim 6, wherein when the protruding portion is heated to be larger than the nozzle hole diameter, the protruding portion is formed into a spherical shape. A method for manufacturing a formed member.
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|---|---|---|---|
| JP6969097A JP3495218B2 (en) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | Method of manufacturing nozzle forming member |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3495218B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000054972A1 (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-21 | Fujitsu Limited | Method for manufacturing nozzle base of ink jet recorded, nozzle base of the ink jet recorder, and ink jet recorder using the same |
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| JP2008087284A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujifilm Corp | Method for manufacturing nozzle plate, liquid delivering head, and image forming apparatus |
| CN102139568A (en) * | 2009-11-26 | 2011-08-03 | 佳能株式会社 | Method of manufacturing liquid discharge head, and method of manufacturing discharge port member |
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-
1997
- 1997-03-24 JP JP6969097A patent/JP3495218B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| WO2000054972A1 (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-21 | Fujitsu Limited | Method for manufacturing nozzle base of ink jet recorded, nozzle base of the ink jet recorder, and ink jet recorder using the same |
| US7334872B2 (en) | 2003-06-30 | 2008-02-26 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Nozzle plate of inkjet head and method for producing the same |
| JP2008087284A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujifilm Corp | Method for manufacturing nozzle plate, liquid delivering head, and image forming apparatus |
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| US8499453B2 (en) | 2009-11-26 | 2013-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid discharge head, and method of manufacturing discharge port member |
| US11059292B2 (en) | 2018-03-14 | 2021-07-13 | Ricoh Company, Ltd. | Head diaphragm substrate, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
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